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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024033058
(43)【公開日】2024-03-13
(54)【発明の名称】検査装置
(51)【国際特許分類】
G01N 29/24 20060101AFI20240306BHJP
G01N 29/32 20060101ALI20240306BHJP
G07D 7/08 20060101ALI20240306BHJP
【ＦＩ】
G01N29/24
G01N29/32
G07D7/08
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022136436
(22)【出願日】2022-08-30
(71)【出願人】
【識別番号】000003078
【氏名又は名称】株式会社東芝
(71)【出願人】
【識別番号】598076591
【氏名又は名称】東芝インフラシステムズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110004026
【氏名又は名称】弁理士法人ｉＸ
(72)【発明者】
【氏名】中井 豊
(72)【発明者】
【氏名】小野 富男
(72)【発明者】
【氏名】山本 紀子
【テーマコード（参考）】
2G047
3E041
【Ｆターム（参考）】
2G047AA08
2G047AB04
2G047AD16
2G047BA01
2G047BC03
2G047EA10
2G047GA14
2G047GB17
3E041AA01
3E041AA02
3E041BB10
3E041EA05
(57)【要約】
【課題】検査精度を向上できる検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、検査装置は、超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を含む。複数の出射素子は、第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、第１周辺素子と、第２周辺素子と、を含む。第２周辺素子の第２方向における第２周辺素子位置は、第１周辺素子の第２方向における第１周辺素子位置と異なる。第１周辺素子の第１方向における位置は、第２周辺素子の第１方向における位置と、複数の第１列素子の第１方向における位置と、の間にある。第１周辺素子と第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、複数の第１列素子の１つと、複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長い。複数の第１列素子の他の１つは、複数の第１列素子の１つの隣である。
【選択図】図１
【解決手段】実施形態によれば、検査装置は、超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を含む。複数の出射素子は、第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、第１周辺素子と、第２周辺素子と、を含む。第２周辺素子の第２方向における第２周辺素子位置は、第１周辺素子の第２方向における第１周辺素子位置と異なる。第１周辺素子の第１方向における位置は、第２周辺素子の第１方向における位置と、複数の第１列素子の第１方向における位置と、の間にある。第１周辺素子と第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、複数の第１列素子の１つと、複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長い。複数の第１列素子の他の１つは、複数の第１列素子の１つの隣である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を備え、
前記複数の出射素子は、
第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、
第１周辺素子と、
第２周辺素子と、
を含み、
前記第１方向に対して垂直な第２方向において前記第１周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２周辺素子の前記第２方向における第２周辺素子位置は、前記第１周辺素子の前記第２方向における第１周辺素子位置と異なり、
前記第１周辺素子の前記第１方向における位置は、前記第２周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記第１周辺素子と前記第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、前記複数の第１列素子の１つと、前記複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長く、
前記複数の第１列素子の前記他の１つは、前記複数の第１列素子の前記１つの隣である、検査装置。
前記複数の出射素子は、
第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、
第１周辺素子と、
第２周辺素子と、
を含み、
前記第１方向に対して垂直な第２方向において前記第１周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２周辺素子の前記第２方向における第２周辺素子位置は、前記第１周辺素子の前記第２方向における第１周辺素子位置と異なり、
前記第１周辺素子の前記第１方向における位置は、前記第２周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記第１周辺素子と前記第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、前記複数の第１列素子の１つと、前記複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長く、
前記複数の第１列素子の前記他の１つは、前記複数の第１列素子の前記１つの隣である、検査装置。
【請求項2】
前記第１周辺素子の前記第１方向における中心と、前記第２周辺素子の前記第１方向における中心と、の間の前記第１方向における距離は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における中心と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における中心と、の間の距離の０．８倍以上１．２倍以下である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項3】
前記複数の出射素子は、第１他周辺素子及び第２他周辺素子をさらに含み、
前記第１他周辺素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、前記第２他周辺素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置は、前記第１周辺素子の前記第１方向における前記位置と、前記第１他周辺素子の前記第１方向における前記位置と、の間にあり、
前記第２方向において前記第１他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２他周辺素子の前記第２方向における第２他周辺素子位置は、前記第１他周辺素子の前記第２方向における第１他周辺素子位置と異なり、
前記第１他周辺素子と前記第２他周辺素子との間の第１他周辺素子距離は、前記第１列素子距離よりも長い、請求項１に記載の検査装置。
前記第１他周辺素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、前記第２他周辺素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置は、前記第１周辺素子の前記第１方向における前記位置と、前記第１他周辺素子の前記第１方向における前記位置と、の間にあり、
前記第２方向において前記第１他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２他周辺素子の前記第２方向における第２他周辺素子位置は、前記第１他周辺素子の前記第２方向における第１他周辺素子位置と異なり、
前記第１他周辺素子と前記第２他周辺素子との間の第１他周辺素子距離は、前記第１列素子距離よりも長い、請求項１に記載の検査装置。
【請求項4】
前記複数の出射素子は、前記第１方向に沿って並ぶ複数の第２列素子をさらに含み、
前記複数の第２列素子の前記第２方向における第２列素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なり、
前記複数の第２列素子の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における位置と、の間にある、請求項１に記載の検査装置。
前記複数の第２列素子の前記第２方向における第２列素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なり、
前記複数の第２列素子の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における位置と、の間にある、請求項１に記載の検査装置。
【請求項5】
前記第１周辺素子距離は、前記第１列素子距離の１．７倍以上である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項6】
超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を備え、
前記出射部は、第１面を含み、
前記第１面は、第１領域及び第１周辺領域を含み、
前記複数の出射素子は、
前記第１領域に設けられた複数の第１列素子と、
前記第１周辺領域に設けられた複数の周辺素子と、
を含み、
前記複数の周辺素子は、第１周辺素子及び第２周辺素子を含み、
前記複数の第１列素子は、前記第１面に沿う第１方向に沿って並び、
前記第１周辺領域の第２方向に沿う第１周辺領域長さは、前記第１領域の前記第２方向に沿う第１領域長さよりも長く、
前記第２方向は、前記第１面に沿い、前記第２方向は、前記第１方向に対して垂直である、検査装置。
前記出射部は、第１面を含み、
前記第１面は、第１領域及び第１周辺領域を含み、
前記複数の出射素子は、
前記第１領域に設けられた複数の第１列素子と、
前記第１周辺領域に設けられた複数の周辺素子と、
を含み、
前記複数の周辺素子は、第１周辺素子及び第２周辺素子を含み、
前記複数の第１列素子は、前記第１面に沿う第１方向に沿って並び、
前記第１周辺領域の第２方向に沿う第１周辺領域長さは、前記第１領域の前記第２方向に沿う第１領域長さよりも長く、
前記第２方向は、前記第１面に沿い、前記第２方向は、前記第１方向に対して垂直である、検査装置。
【請求項7】
複数の受信素子を含む受信部をさらに備え、
前記複数の受信素子の１つは、前記複数の出射素子の１つと対向し、
前記複数の受信素子は、前記複数の出射素子から出射された前記超音波を受信可能である、請求項１または６に記載の検査装置。
前記複数の受信素子の１つは、前記複数の出射素子の１つと対向し、
前記複数の受信素子は、前記複数の出射素子から出射された前記超音波を受信可能である、請求項１または６に記載の検査装置。
【請求項8】
検査対象を支持可能な支持部をさらに備え、
前記支持部は、前記複数の出射素子と前記複数の受信素子との間の空間を搬送方向に沿って前記検査対象を通過させ、
前記搬送方向は、前記複数の出射素子の前記１つから前記複数の受信素子の前記１つへの第３方向と交差する、請求項７に記載の検査装置。
前記支持部は、前記複数の出射素子と前記複数の受信素子との間の空間を搬送方向に沿って前記検査対象を通過させ、
前記搬送方向は、前記複数の出射素子の前記１つから前記複数の受信素子の前記１つへの第３方向と交差する、請求項７に記載の検査装置。
【請求項9】
前記検査対象が前記空間を通過するときに、前記検査対象の一部は、前記第３方向において前記複数の第１列素子と重なる、請求項８に記載の検査装置。
【請求項10】
前記検査対象が前記空間を通過するときに、前記検査対象の端部は、前記第３方向において、前記第１周辺素子及び前記第２周辺素子の少なくともいずれかと重なる、請求項９に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば超音波などを用いた検査装置がある。検査精度の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－５７８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態は、検査精度を向上できる検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施形態によれば、検査装置は、超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を含む。前記複数の出射素子は、第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、第１周辺素子と、第２周辺素子と、を含む。前記第１方向に対して垂直な第２方向において前記第１周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられない。前記第２方向において前記第２周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられない。前記第２周辺素子の前記第２方向における第２周辺素子位置は、前記第１周辺素子の前記第２方向における第１周辺素子位置と異なる。前記第１周辺素子の前記第１方向における位置は、前記第２周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における位置と、の間にある。前記第１周辺素子と前記第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、前記複数の第１列素子の１つと、前記複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長い。前記複数の第１列素子の前記他の１つは、前記複数の第１列素子の前記１つの隣である。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0008】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図１及び図２に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、出射部１０を含む。出射部１０は、複数の出射素子１０Ｅを含む。複数の出射素子１０Ｅは、超音波１０ｗを出射可能である。
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図１及び図２に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、出射部１０を含む。出射部１０は、複数の出射素子１０Ｅを含む。複数の出射素子１０Ｅは、超音波１０ｗを出射可能である。
【0009】
図２に示すように、検査装置１１０において、受信部５０が設けられる。受信部５０は、複数の受信素子５０Ｅを含んで良い。検査装置１１０において、支持部６０が設けられて良い。
【0010】
超音波１０ｗは、出射部１０と受信部５０との間の検査対象８０に入射する。検査対象８０を通過した超音波１０ｗが、受信部５０の複数の受信素子５０Ｅに入射する。受信部５０から信号Ｓｄが出力される。信号Ｓｄは、受信部５０に入射した超音波１０ｗに応じている。
【0011】
支持部６０は、例えば、出射部１０と受信部５０との間に設けられる。支持部６０は、検査対象８０を支持可能である。検査対象８０は、出射部１０と受信部５０との間の空間ＳＰを、搬送方向８０Ｄに沿って通過する。出射部１０から受信部５０への方向（例えば、第３方向Ｄ３）は、搬送方向８０Ｄと交差する。第３方向Ｄ３は、搬送方向８０Ｄに対して傾斜しても良い。
【0012】
検査対象８０は、例えば紙幣などである。検査対象は、有価証券などの紙類でも良い。検査対象８０の材料は任意である。検査対象８０は、例えば、紙及び樹脂の少なくともいずれかを含む。
【0013】
例えば、支持部６０は、第１搬送部６１（例えばローラ）及び第２搬送部６２（例えばローラ）により搬送される。支持部６０において、第１搬送部６１及び第２搬送部６２との間に搬送ベルト（またはローラ）などが設けられて良い。支持部６０の上に検査対象８０が置かれる。支持部６０の搬送に伴って、検査対象８０が搬送方向８０Ｄに沿って搬送される。
【0014】
例えば、出射部１０の複数の出射素子１０Ｅは、変形可能な膜部を含む。複数の出射素子１０Ｅの膜部は、超音波１０ｗを出射する。複数の出射素子１０Ｅに送信回路１０Ｄが接続される。送信回路１０Ｄからの駆動信号により、複数の出射素子１０Ｅの膜部が変形して、超音波１０ｗが出射する。複数の出射素子１０Ｅの膜部の変形は、例えば、圧電素子などにより生じる。
【0015】
例えば、受信部５０に含まれる複数の受信素子５０Ｅは、変形可能な膜部を含む。複数の受信素子５０Ｅの膜部は、受信した超音波１０ｗにより変形する。複数の受信素子５０Ｅの膜部の変形が、圧電素子などにより電気信号に変換される。例えば、複数の受信素子５０Ｅから出力された信号が、受信回路５０Ｄに供給される。受信回路５０Ｄは、信号を増幅して、信号Ｓｄを出力する。
【0016】
処理部７０は、信号Ｓｄを処理して、検査信号Ｓ１を出力可能である。検査信号Ｓ１は、検査対象８０の検査結果に関する情報を含む。処理部７０は、送信回路１０Ｄに制御信号Ｓｃを供給しても良い。送信回路１０Ｄからの駆動信号は、制御信号Ｓｃに基づく。
【0017】
図２に示すように、出射部１０は、第１導波部１０Ｇを含んでも良い。複数の出射素子１０Ｅのそれぞれで発生した超音波１０ｗは、第１導波部１０Ｇを通過して、受信部５０に向けて進む。受信部５０は、第２導波部５０Ｇを含んでも良い。検査対象８０を含む空間ＳＰを通過した超音波１０ｗは、第２導波部５０Ｇを通過して、複数の受信素子５０Ｅのそれぞれに向けて進む。
【0018】
出射部１０は、第１面１０Ｆを含む。例えば、第１面１０Ｆに複数の出射素子１０Ｅが設けられる。受信部５０は、第２面５０Ｆを含む。例えば、第２面５０Ｆに複数の受信素子５０Ｅが設けられる。第２面５０Ｆは、第１面１０Ｆと対向する。
【0019】
図１は、第１面１０Ｆに設けられた複数の出射素子１０Ｅの配列の例を示している。図１に示すように、複数の第１列素子１１、第１周辺素子２１及び第２周辺素子２２を含む。複数の第１列素子１１は、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。
【0020】
図１に示すように、複数の第１列素子１１は、出射部１０から受信部５０への方向（第３方向Ｄ３）において、検査対象８０の中央部と重なる。第１周辺素子２１及び第２周辺素子２２は、第３方向Ｄ３において、検査対象８０の１つの端部を含む領域と重なる。検査対象８０は、搬送方向８０Ｄに沿って移動する。図１には、搬送ローラまたは搬送ベルトなどの搬送領域６０Ｒが例示されている。
【0021】
図２に示すように、第３方向Ｄ３は、第１面１０Ｆに対して垂直である。図１に示すように、第１方向Ｄ１は、第１面１０Ｆに沿う。第１方向Ｄ１をＸ軸方向とする。Ｘ軸方向に対して垂直な１つの方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して垂直な方向をＺ軸方向とする。
【0022】
第１方向Ｄ１に対して垂直な１つの方向を第２方向Ｄ２とする。第２方向Ｄ２は、第１面１０Ｆに沿う。第２方向Ｄ２は、例えば、Ｙ軸方向である。第３方向Ｄ３は、例えば、Ｚ軸方向に沿う。
【0023】
図１に示すように、第１方向Ｄ１に対して垂直な第２方向Ｄ２において第１周辺素子２１と重なる他の出射素子１０Ｅが設けられない。第２方向Ｄ２において第２周辺素子２２と重なる他の出射素子１０Ｅが設けられない。不要な出射素子１０Ｅが省略される。実用的な検査装置１１０が得られる。
【0024】
第２周辺素子２２の第２方向Ｄ２における第２周辺素子位置Ｐ２２は、第１周辺素子２１の第２方向Ｄ２における第１周辺素子位置Ｐ２１と異なる。第１周辺素子２１の第１方向Ｄ１における位置は、第２周辺素子２２の第１方向Ｄ１における位置と、複数の第１列素子１１の第１方向Ｄ１における位置と、の間にある。
【0025】
第１周辺素子２１と第２周辺素子２２との間の距離を第１周辺素子距離ｄｐ１とする。複数の第１列素子１１の１つ（素子１１ａ）と、複数の第１列素子１１の他の１つ（素子１１ｂ）と、の間の距離を第１列素子距離ｄ１とする。複数の第１列素子１１の上記の他の１つ（素子１１ｂ）は、複数の第１列素子１１の上記の１つ（素子１１ａ）の隣である。
【0026】
実施形態において、第１周辺素子距離ｄｐ１は、第１列素子距離ｄ１よりも長い。これにより、以下に説明するように、検査対象８０の端部において、クロストークが抑制される。これにより、検査精度を向上できる。
【0027】
例えば、検査対象８０の端部の第１方向Ｄ１における位置は変動する。これにより、例えば、検査対象８０の端部に対応する位置の出射素子１０Ｅにおいて、検査対象８０との重なり状態が変化する。例えば、出射素子１０Ｅが検査対象８０と重ならない場合、その出射素子１０Ｅから出射した超音波１０ｗの強度は実質的に減衰しない。一方、出射素子１０Ｅが検査対象８０と重なる場合、その出射素子１０Ｅから出射した超音波１０ｗは検査対象８０の状況に応じて減衰する。例えば、超音波１０ｗの強度が減衰しない場合、超音波１０ｗは、周辺の出射素子１０Ｅから出射した超音波１０ｗに影響を与える。これにより、クロストークが生じる。クロストークに起因するノイズが生じる。
【0028】
実施形態においては、検査対象８０の端部に対応する複数の出射素子１０Ｅ（例えば、第１周辺素子２１及び第２周辺素子２２）において、互いの距離が、複数の第１列素子１１における互いの距離よりも長くする。これにより、検査対象８０の端部の第１方向Ｄ１における位置が変動した場合においても、位置の変動に基づくクロストークが抑制できる。実施形態によれば、検査精度を向上できる検査装置を提供できる。
【0029】
図１に示すように、この例では、第１周辺素子２１の第２方向Ｄ２における第１周辺素子位置Ｐ２１は、複数の第１列素子１１の第２方向Ｄ２における第１列素子位置Ｐ１１とは異なる。これにより、第１周辺素子２１から出射した超音波１０ｗにおいて、検査対象８０の端部の位置の変動が第１列素子１１に与える影響が抑制できる。
【0030】
この例では、第２周辺素子２２から複数の第１列素子１１の上記の１つ（素子１１ａ）への方向は、第１方向Ｄ１に沿う。例えば、第２周辺素子位置Ｐ２２は、第１列素子位置Ｐ１１と実質的に同じである。
【0031】
実施形態において、第１周辺素子位置Ｐ２１及び第２周辺素子位置Ｐ２２の少なくともいずれかが、複数の第１列素子１１の第２方向Ｄ２における第１列素子位置Ｐ１１と異なっても良い。
【0032】
図１に示すように、第１周辺素子２１の第１方向Ｄ１における中心と、第２周辺素子２２の第１方向Ｄ１における中心と、の間の第１方向Ｄ１における距離を距離ｐｔ２とする。複数の第１列素子１１の上記の１つ（素子１１ａ）の第１方向Ｄ１における中心と、複数の第１列素子１１の上記の他の１つの第１方向Ｄ１における中心と、の間の距離を距離ｐｔ１とする。距離ｐｔ１は、複数の第１列素子１１のピッチに対応する。実施形態において、距離ｐｔ２は、距離ｐｔ１と実質的に同じで良い。例えば、距離ｐｔ２は、距離ｐｔ１の０．８倍以上１．２倍以下であることが好ましい。これにより、例えば、検査対象８０の端部の第１方向Ｄ１における位置を、目的とする高い精度で検出できる。例えば、検査対象８０の端部に含まれる異常を、高い精度で検出できる。
【0033】
図１に示すように、複数の出射素子１０Ｅは、第１他周辺素子３１及び第２他周辺素子３２をさらに含んで良い。第１他周辺素子３１の第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１列素子１１の第１方向Ｄ１における位置と、第２他周辺素子３２の第１方向Ｄ１における位置と、の間にある。複数の第１列素子１１の第１方向Ｄ１における位置は、第１周辺素子２１の第１方向Ｄ１における位置と、第１他周辺素子３１の第１方向Ｄ１における位置と、の間にある。
【0034】
第１周辺素子２１及び第２周辺素子２２は、検査対象８０の１つの端部を含む領域に対応する位置に設けられる。第１他周辺素子３１及び第２他周辺素子３２は、検査対象の他の１つの端部を含む領域に対応する位置に設けられる。複数の第１列素子１１は、検査対象８０の中央部（２つの端部の間）に対応する位置に設けられる。
【0035】
例えば、第２方向Ｄ２において、第１他周辺素子３１と重なる他の出射素子が設けられない。第２方向Ｄ２において、第２他周辺素子３２と重なる他の出射素子が設けられない。不要な出射素子１０Ｅが省略される。実用的な検査装置１１０が得られる。
【0036】
第２他周辺素子３２の第２方向Ｄ２における第２他周辺素子位置Ｐ３２は、第１他周辺素子３１の第２方向Ｄ２における第１他周辺素子位置Ｐ３１と異なる。第１他周辺素子３１と第２他周辺素子３２との間の第１他周辺素子距離ｄｑ１は、第１列素子距離ｄ１よりも長い。検査対象８０の他の端部の第１方向Ｄ１における位置の変動に起因するクロストークが、抑制できる。
【0037】
第１他周辺素子３１の第１方向Ｄ１における中心と、第２他周辺素子３２の第１方向Ｄ１における中心と、の間の第１方向Ｄ１における距離を距離ｐｔ３とする。距離ｐｔ３は、例えば、距離ｐｔ１の０．８倍以上１．２倍以下であることが好ましい。上記のように、距離ｐｔ１は、複数の第１列素子１１の上記の１つ（素子１１ａ）の第１方向Ｄ１における中心と、複数の第１列素子１１の上記の他の１つの第１方向Ｄ１における中心と、の間の距離である。例えば、検査対象８０の他の端部の第１方向Ｄ１における位置を、目的とする高い精度で検出できる。例えば、検査対象８０の他の端部に含まれる異常を、高い精度で検出できる。
【0038】
図１に示すように、この例では、第１他周辺素子位置Ｐ３１は、複数の第１列素子１１の第２方向Ｄ２における第１列素子位置Ｐ１１とは異なる。第２他周辺素子位置Ｐ３２が、第１列素子位置Ｐ１１と異なっても良い。
【0039】
図３は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図３は、受信部５０の第２面５０Ｆにおける複数の受信素子５０Ｅの配列を例示している。第２面５０Ｆに複数の受信素子５０Ｅが設けられる。図１及び図３に示すように、この例では、複数の受信素子５０Ｅの位置は、複数の出射素子１０Ｅの位置と対応する。
図３は、受信部５０の第２面５０Ｆにおける複数の受信素子５０Ｅの配列を例示している。第２面５０Ｆに複数の受信素子５０Ｅが設けられる。図１及び図３に示すように、この例では、複数の受信素子５０Ｅの位置は、複数の出射素子１０Ｅの位置と対応する。
【0040】
例えば、複数の受信素子５０Ｅの１つは、複数の出射素子１０Ｅの１つと対向する。複数の受信素子５０Ｅは、複数の出射素子１０Ｅから出射された超音波１０ｗを受信可能である。
【0041】
図２に関して説明したように、検査装置１１０は、支持部６０を含んで良い。支持部６０は、検査対象８０を支持可能である。支持部６０は、複数の出射素子１０Ｅと複数の受信素子５０Ｅとの間の空間ＳＰを搬送方向８０Ｄに沿って検査対象８０を通過させる。搬送方向８０Ｄは、複数の出射素子１０Ｅの上記の１つから複数の受信素子５０Ｅの上記の１つへの方向（例えば第３方向Ｄ３）と交差する。
【0042】
検査対象８０が空間ＳＰを通過するときに、検査対象８０の一部（例えば中央部）は、第３方向Ｄ３において複数の第１列素子１１と重なる。検査対象８０が空間ＳＰを通過するときに、検査対象８０の端部は、第３方向Ｄ３において、第１周辺素子２１及び第２周辺素子２２の少なくともいずれかと重なる。検査対象８０が空間ＳＰを通過するときに、検査対象８０の他の端部は、第３方向Ｄ３において、第１他周辺素子３１及び第２他周辺素子３２の少なくともいずれかと重なる。
【0043】
実施形態において、複数の受信素子５０Ｅの配置は、種々の変形が可能である。例えば、多くの複数の受信素子５０Ｅがマトリクス状に設けられても良い。図１及び図３に例示するように、複数の受信素子５０Ｅが複数の出射素子１０Ｅに対応して設けられることで、より効率的な検査が実施できる。
【0044】
図４は、検査装置の特性を例示するグラフである。
図４は、第１周辺素子距離ｄｐ１を変更したときの特性を例示している。既に説明したように、第１周辺素子距離ｄｐ１は、第１周辺素子２１と第２周辺素子２２との間の距離である。図４の横軸は、距離比Ｒ１である。距離比Ｒ１は、第１周辺素子距離ｄｐ１の第１列素子距離ｄ１に対する比（ｄｐ１／ｄ１）である。既に説明したように、第１列素子距離ｄ１は、複数の第１列素子１１の１つ（素子１１ａ）と、複数の第１列素子１１の他の１つ（隣の素子１１ｂ）と、の間の距離である。図４の縦軸は、Ｓ／Ｎ比である。Ｓ／Ｎ比は、検査対象８０の端部の位置が変動したときに生じるクロストークの程度に対応する。Ｓ／Ｎ比が低いときに、クロストークが大きい。Ｓ／Ｎ比が高いときに、クロストークが小さい。
図４は、第１周辺素子距離ｄｐ１を変更したときの特性を例示している。既に説明したように、第１周辺素子距離ｄｐ１は、第１周辺素子２１と第２周辺素子２２との間の距離である。図４の横軸は、距離比Ｒ１である。距離比Ｒ１は、第１周辺素子距離ｄｐ１の第１列素子距離ｄ１に対する比（ｄｐ１／ｄ１）である。既に説明したように、第１列素子距離ｄ１は、複数の第１列素子１１の１つ（素子１１ａ）と、複数の第１列素子１１の他の１つ（隣の素子１１ｂ）と、の間の距離である。図４の縦軸は、Ｓ／Ｎ比である。Ｓ／Ｎ比は、検査対象８０の端部の位置が変動したときに生じるクロストークの程度に対応する。Ｓ／Ｎ比が低いときに、クロストークが大きい。Ｓ／Ｎ比が高いときに、クロストークが小さい。
【0045】
図４に示すように、距離比Ｒ１が低いとＳ／Ｎ比が低い。距離比Ｒ１が１．７以上になると、Ｓ／Ｎ比は２以上になる。
【0046】
実施形態において、第１周辺素子距離ｄｐ１は、第１列素子距離ｄ１の１．７倍以上であることが好ましい。これにより、高いＳ／Ｎ比が得られる。第１周辺素子距離ｄｐ１は、第１列素子距離ｄ１の２倍以上でも良い。より高いＳ／Ｎ比が得られる。例えば、第１周辺素子距離ｄｐ１は、第１列素子距離ｄ１の１０倍以下でも良い。第１周辺素子距離ｄｐ１が過度に長いと、出射部１０の第２方向Ｄ２に沿う長さが過度に長くなる。第１周辺素子距離ｄｐ１が第１列素子距離ｄ１の１０倍以下であることで、実用的な小型の出射部１０が得られる。
【0047】
図５は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図５は、検査装置１１０の出射部１０を例示している。既に説明したように、出射部１０は、複数の出射素子１０Ｅを含む。複数の出射素子１０Ｅは、超音波１０ｗを出射可能である（図２参照）。出射部１０は、第１面１０Ｆを含む。
図５は、検査装置１１０の出射部１０を例示している。既に説明したように、出射部１０は、複数の出射素子１０Ｅを含む。複数の出射素子１０Ｅは、超音波１０ｗを出射可能である（図２参照）。出射部１０は、第１面１０Ｆを含む。
【0048】
図５に示すように、第１面１０Ｆは、第１領域１０Ｒ及び第１周辺領域１０Ａを含む。複数の出射素子１０Ｅは、第１領域１０Ｒに設けられた複数の第１列素子１１と、第１周辺領域１０Ａに設けられた複数の周辺素子２０と、を含む。複数の周辺素子２０は、第１周辺素子２１及び第２周辺素子２２を含む。複数の第１列素子１１は、第１面１０Ｆに沿う第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。
【0049】
図５に示すように、第１周辺領域１０Ａの第２方向Ｄ２に沿う第１周辺領域長さＬＰ１は、第１領域１０Ｒの第２方向Ｄ２に沿う第１領域長さＬ１よりも長い。第２方向Ｄ２は、第１面１０Ｆに沿う。第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１に対して垂直である。
【0050】
第２方向Ｄ２に沿う長さが長い第１周辺領域１０Ａに複数の周辺素子２０が設けられる。第１周辺領域１０Ａにおける複数の周辺素子２０の密度は、第１領域１０Ｒにおける複数の第１列素子１１の密度よりも低い。これにより、第１周辺領域１０Ａにおいてクロストークが抑制できる。
【0051】
後述するように、複数の周辺素子２０の数は３以上でも良い。第２周辺素子２２は、複数の周辺素子２０の中で、第１周辺素子２１に最も近い。
【0052】
図５に示すように、第１面１０Ｆは、第２周辺領域１０Ｂをさらに含んで良い。第１領域１０Ｒは、第１方向Ｄ１において、第１周辺領域１０Ａと第２周辺領域１０Ｂとの間にある。複数の出射素子１０Ｅは、第２周辺領域１０Ｂに設けられた複数の他周辺素子３０を含む。第２周辺領域１０Ｂの第２方向Ｄ２に沿う第２周辺領域長さＬＰ２は、第１領域長さＬ１よりも長い。例えば、第２周辺領域１０Ｂにおける複数の他周辺素子３０の密度は、第１領域１０Ｒにおける複数の第１列素子１１の密度よりも低い。これにより、第２周辺領域１０Ｂにおいてクロストークが抑制できる。
【0053】
後述するように、複数の他周辺素子３０の数は３以上でも良い。第２他周辺素子３２は、複数の他周辺素子３０の中で、第１他周辺素子３１に最も近い。
【0054】
第２方向Ｄ２において第１周辺素子２１と重なる他の出射素子１０Ｅが設けられなくて良い。第２方向Ｄ２において第２周辺素子２２と重なる他の出射素子１０Ｅが設けられなくて良い。第２方向Ｄ２において第１他周辺素子３１と重なる他の出射素子１０Ｅが設けられなくて良い。第２方向Ｄ２において第２他周辺素子３２と重なる他の出射素子１０Ｅが設けられなくて良い。
【0055】
図５に例示する第１周辺領域１０Ａに設けられた複数の周辺素子２０において、複数の周辺素子２０の第１方向Ｄ１におけるピッチ（図１に例示する距離ｐｔ２）は、複数の第１列素子１１の第１方向Ｄ１におけるピッチ（図１に例示する距離ｐｔ１）と実質的に同じで良い。
【0056】
図５に例示する第２周辺領域１０Ｂに設けられた複数の他周辺素子３０において、複数の他周辺素子３０の第１方向Ｄ１におけるピッチ（図１に例示する距離ｐｔ３）は、複数の第１列素子１１の第１方向Ｄ１におけるピッチ（図１に例示する距離ｐｔ１）と実質的に同じで良い。
【0057】
例えば、第１周辺領域１０Ａと第１領域１０Ｒとの間の領域は、搬送領域６０Ｒ（図１参照）と対向して良い。例えば、第２周辺領域１０Ｂと第１領域１０Ｒとの間の領域は、他の搬送領域６０Ｒ（図１参照）と対向して良い。第１周辺領域１０Ａは、搬送領域６０Ｒの外に位置する。第２周辺領域１０Ｂは、搬送領域６０Ｒの外に位置する。第１領域１０Ｒは、２つの搬送領域６０Ｒの間の領域に対応する。
【0058】
図６は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図６は、出射部１０に関する１つの例を示している。図６に示すように、実施形態に係る検査装置１１１において、複数の出射素子１０Ｅは、複数の第２列素子１２を含む。これを除く検査装置１１１の構成は、検査装置１１０の構成と同様で良い。
図６は、出射部１０に関する１つの例を示している。図６に示すように、実施形態に係る検査装置１１１において、複数の出射素子１０Ｅは、複数の第２列素子１２を含む。これを除く検査装置１１１の構成は、検査装置１１０の構成と同様で良い。
【0059】
複数の第２列素子１２は、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。複数の第２列素子１２の第２方向Ｄ２における第２列素子位置Ｐ１２は、複数の第１列素子１１の第２方向Ｄ２における第１列素子位置Ｐ１１とは異なる。
【0060】
複数の第２列素子１２の１つの第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１列素子１１の上記の１つ（例えば素子１１ａ）の第１方向Ｄ１における位置と、複数の第１列素子１１の上記の他の１つ（例えば素子１１ｂ）の第１方向Ｄ１における位置と、の間にある。
【0061】
複数の第２列素子１２のピッチは、複数の第１列素子１１のピッチ（距離ｐｔ１）と実質的に同じでよい。半ピッチシフトした複数の第２列素子１２が設けられて良い。これにより、検査における高い解像度が得られる。
【0062】
図６に示すように、複数の出射素子１０Ｅは、第３周辺素子２３をさらに含んで良い。例えば、第２方向Ｄ２において第３周辺素子２３と重なる他の出射素子１０Ｅが設けられない。第１周辺素子２１の第１方向Ｄ１における位置は、第３周辺素子２３の第１方向Ｄ１における位置と、複数の第１列素子１１の第１方向Ｄ１における位置と、の間にある。第１周辺素子２１と第３周辺素子２３との間の距離、及び、第２周辺素子２２と第３周辺素子２３との間の距離は、第１列素子距離ｄ１よりも長い。クロストークが抑制される。検査対象８０の端部において、高い解像度を維持した検査が可能である。
【0063】
図６に示すように、複数の出射素子１０Ｅは、第３他周辺素子３３をさらに含んで良い。例えば、第２方向Ｄ２において第３他周辺素子３３と重なる他の出射素子１０Ｅが設けられない。第１他周辺素子３１の第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１列素子１１の第１方向Ｄ１における位置と、第３他周辺素子３３の第１方向Ｄ１における位置と、の間にある。第１他周辺素子３１と第３他周辺素子３３との間の距離、及び、第２他周辺素子３２と第３他周辺素子３３との間の距離は、第１列素子距離ｄ１よりも長い。クロストークが抑制される。検査対象８０の端部において、より高い解像度の検査が可能である。検査精度を向上できる検査装置が提供できる。
【0064】
図７は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図７は、検査装置１１１の出射部１０を例示している。図７に示すように、第１面１０Ｆは、第１領域１０Ｒ、第１周辺領域１０Ａ及び第２周辺領域１０Ｂを含む。第１領域１０Ｒに、複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２が設けられる。第１周辺領域１０Ａに複数の周辺素子２０（第１周辺素子２１、第２周辺素子２２及び第３周辺素子２３など）が設けられる。第２周辺領域１０Ｂに複数の他周辺素子３０（第１他周辺素子３１、第２他周辺素子３２及び第３他周辺素子３３など）が設けられる。
図７は、検査装置１１１の出射部１０を例示している。図７に示すように、第１面１０Ｆは、第１領域１０Ｒ、第１周辺領域１０Ａ及び第２周辺領域１０Ｂを含む。第１領域１０Ｒに、複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２が設けられる。第１周辺領域１０Ａに複数の周辺素子２０（第１周辺素子２１、第２周辺素子２２及び第３周辺素子２３など）が設けられる。第２周辺領域１０Ｂに複数の他周辺素子３０（第１他周辺素子３１、第２他周辺素子３２及び第３他周辺素子３３など）が設けられる。
【0065】
図７に示すように、第１周辺領域１０Ａの第２方向Ｄ２に沿う第１周辺領域長さＬＰ１は、第１領域１０Ｒの第２方向Ｄ２に沿う第１領域長さＬ１よりも長い。第２周辺領域１０Ｂの第２方向Ｄ２に沿う第２周辺領域長さＬＰ２は、第１領域１０Ｒの第２方向Ｄ２に沿う第１領域長さＬ１よりも長い。
【0066】
例えば、第１周辺領域１０Ａにおける複数の周辺素子２０の密度は、第１領域１０Ｒにおける複数の第１列素子１１の密度よりも低い。これにより、第１周辺領域１０Ａにおいてクロストークが抑制できる。例えば、第２周辺領域１０Ｂにおける複数の他周辺素子３０の密度は、第１領域１０Ｒにおける複数の第１列素子１１の密度よりも低い。これにより、第２周辺領域１０Ｂにおいてクロストークが抑制できる。
【0067】
図８は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図８は、出射部１０の１つの例を示している。図８に示すように、実施形態に係る検査装置１１２において、複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２が設けられる領域が、第１周辺素子２１、第２周辺素子２２及び第３周辺素子２３が設けられる領域と離れている。複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２が設けられる領域が、第１他周辺素子３１、第２他周辺素子３２及び第３他周辺素子３３が設けられる領域と離れている。これらを除く検査装置１１２の構成は、例えば、検査装置１１１の構成と同様で良い。
図８は、出射部１０の１つの例を示している。図８に示すように、実施形態に係る検査装置１１２において、複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２が設けられる領域が、第１周辺素子２１、第２周辺素子２２及び第３周辺素子２３が設けられる領域と離れている。複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２が設けられる領域が、第１他周辺素子３１、第２他周辺素子３２及び第３他周辺素子３３が設けられる領域と離れている。これらを除く検査装置１１２の構成は、例えば、検査装置１１１の構成と同様で良い。
【0068】
例えば、検査装置１１２において、第１周辺素子距離ｄｐ１は、第１列素子距離ｄ１よりも長い。第１他周辺素子距離ｄｑ１は、第１列素子距離ｄ１よりも長い。クロストークが抑制される。検査精度を向上できる検査装置が提供できる。
【0069】
検査装置１１２において、第１周辺素子２１の第１方向Ｄ１における中心と、第３周辺素子２３の第１方向Ｄ１における中心と、の間の第１方向Ｄ１における距離ｐｘ２は、距離ｐｔ１の０．８倍以上１．２倍以下でも良い。第１他周辺素子３１の第１方向Ｄ１における中心と、第３他周辺素子３３の第１方向Ｄ１における中心と、の間の第１方向Ｄ１における距離ｐｘ３は、距離ｐｔ１の０．８倍以上１．２倍以下でも良い。
【0070】
図９は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図９は、検査装置１１２の出射部１０を例示している。図９に示すように、第１面１０Ｆは、第１領域１０Ｒ、第１周辺領域１０Ａ及び第２周辺領域１０Ｂを含む。第１周辺領域長さＬＰ１は、第１領域長さＬ１よりも長い。第２周辺領域長さＬＰ２は、第１領域長さＬ１よりも長い。例えば、第１周辺領域１０Ａにおける複数の周辺素子２０の密度は、第１領域１０Ｒにおける複数の第１列素子１１の密度よりも低い。これにより、第１周辺領域１０Ａにおいてクロストークが抑制できる。例えば、第２周辺領域１０Ｂにおける複数の他周辺素子３０の密度は、第１領域１０Ｒにおける複数の第１列素子１１の密度よりも低い。これにより、第２周辺領域１０Ｂにおいてクロストークが抑制できる。
図９は、検査装置１１２の出射部１０を例示している。図９に示すように、第１面１０Ｆは、第１領域１０Ｒ、第１周辺領域１０Ａ及び第２周辺領域１０Ｂを含む。第１周辺領域長さＬＰ１は、第１領域長さＬ１よりも長い。第２周辺領域長さＬＰ２は、第１領域長さＬ１よりも長い。例えば、第１周辺領域１０Ａにおける複数の周辺素子２０の密度は、第１領域１０Ｒにおける複数の第１列素子１１の密度よりも低い。これにより、第１周辺領域１０Ａにおいてクロストークが抑制できる。例えば、第２周辺領域１０Ｂにおける複数の他周辺素子３０の密度は、第１領域１０Ｒにおける複数の第１列素子１１の密度よりも低い。これにより、第２周辺領域１０Ｂにおいてクロストークが抑制できる。
【0071】
図１０は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１０は、出射部１０を例示している。図１０に示すように、実施形態に係る検査装置１１３において、複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２に加えて、複数の第３列素子１３及び第４列素子１４が設けられる。これを除く検査装置１１３の構成は、例えば、検査装置１１１の構成と同様で良い。
図１０は、出射部１０を例示している。図１０に示すように、実施形態に係る検査装置１１３において、複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２に加えて、複数の第３列素子１３及び第４列素子１４が設けられる。これを除く検査装置１１３の構成は、例えば、検査装置１１１の構成と同様で良い。
【0072】
複数の第３列素子１３は、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。複数の第４列素子１４は、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。複数の第４列素子１４の１つの第１方向Ｄ１における位置は、複数の第３列素子１３の１つの第１方向Ｄ１における位置と、複数の第３列素子１３の他の１つの第１方向Ｄ１における位置と、の間にある。
【0073】
例えば、複数の搬送領域６０Ｒが第２方向Ｄ２において互いに離れて設けられても良い。複数の搬送領域６０Ｒの第２方向Ｄ２における１つの位置に対応して、複数の第１列素子１１及び複数の第２列素子１２が設けられて良い。複数の搬送領域６０Ｒの第２方向Ｄ２における他の１つの位置に対応して、複数の第３列素子１３及び複数の第４列素子１４が設けられて良い。検査装置１１３においても、クロストークが抑制できる。検査精度を向上できる検査装置が提供できる。
【0074】
実施形態は、以下の構成（例えば技術案）を含んで良い。
（構成１）
超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を備え、
前記複数の出射素子は、
第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、
第１周辺素子と、
第２周辺素子と、
を含み、
前記第１方向に対して垂直な第２方向において前記第１周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２周辺素子の前記第２方向における第２周辺素子位置は、前記第１周辺素子の前記第２方向における第１周辺素子位置と異なり、
前記第１周辺素子の前記第１方向における位置は、前記第２周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記第１周辺素子と前記第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、前記複数の第１列素子の１つと、前記複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長く、
前記複数の第１列素子の前記他の１つは、前記複数の第１列素子の前記１つの隣である、検査装置。
（構成１）
超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を備え、
前記複数の出射素子は、
第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、
第１周辺素子と、
第２周辺素子と、
を含み、
前記第１方向に対して垂直な第２方向において前記第１周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２周辺素子の前記第２方向における第２周辺素子位置は、前記第１周辺素子の前記第２方向における第１周辺素子位置と異なり、
前記第１周辺素子の前記第１方向における位置は、前記第２周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記第１周辺素子と前記第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、前記複数の第１列素子の１つと、前記複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長く、
前記複数の第１列素子の前記他の１つは、前記複数の第１列素子の前記１つの隣である、検査装置。
【0075】
（構成２）
前記第１周辺素子位置及び前記第２周辺素子位置の少なくともいずれかは、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なる、構成１に記載の検査装置。
前記第１周辺素子位置及び前記第２周辺素子位置の少なくともいずれかは、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なる、構成１に記載の検査装置。
【0076】
（構成３）
前記第１周辺素子の前記第１方向における中心と、前記第２周辺素子の前記第１方向における中心と、の間の前記第１方向における距離は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における中心と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における中心と、の間の距離の０．８倍以上１．２倍以下である、構成１に記載の検査装置。
前記第１周辺素子の前記第１方向における中心と、前記第２周辺素子の前記第１方向における中心と、の間の前記第１方向における距離は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における中心と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における中心と、の間の距離の０．８倍以上１．２倍以下である、構成１に記載の検査装置。
【0077】
（構成４）
前記第１周辺素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なる、構成３に記載の検査装置。
前記第１周辺素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なる、構成３に記載の検査装置。
【0078】
（構成５）
前記第２周辺素子から前記複数の第１列素子の前記１つへの方向は、前記第１方向に沿う、構成４に記載の検査装置。
前記第２周辺素子から前記複数の第１列素子の前記１つへの方向は、前記第１方向に沿う、構成４に記載の検査装置。
【0079】
（構成６）
前記複数の出射素子は、第１他周辺素子及び第２他周辺素子をさらに含み、
前記第１他周辺素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、前記第２他周辺素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置は、前記第１周辺素子の前記第１方向における前記位置と、前記第１他周辺素子の前記第１方向における前記位置と、の間にあり、
前記第２方向において前記第１他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２他周辺素子の前記第２方向における第２他周辺素子位置は、前記第１他周辺素子の前記第２方向における第１他周辺素子位置と異なり、
前記第１他周辺素子と前記第２他周辺素子との間の第１他周辺素子距離は、前記第１列素子距離よりも長い、構成１に記載の検査装置。
前記複数の出射素子は、第１他周辺素子及び第２他周辺素子をさらに含み、
前記第１他周辺素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、前記第２他周辺素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置は、前記第１周辺素子の前記第１方向における前記位置と、前記第１他周辺素子の前記第１方向における前記位置と、の間にあり、
前記第２方向において前記第１他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２他周辺素子の前記第２方向における第２他周辺素子位置は、前記第１他周辺素子の前記第２方向における第１他周辺素子位置と異なり、
前記第１他周辺素子と前記第２他周辺素子との間の第１他周辺素子距離は、前記第１列素子距離よりも長い、構成１に記載の検査装置。
【0080】
（構成７）
前記第１他周辺素子の前記第１方向における中心と、前記第２他周辺素子の前記第１方向における中心と、の間の前記第１方向における距離は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における中心と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における中心と、の間の距離の０．８倍以上１．２倍以下である、構成６に記載の検査装置。
前記第１他周辺素子の前記第１方向における中心と、前記第２他周辺素子の前記第１方向における中心と、の間の前記第１方向における距離は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における中心と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における中心と、の間の距離の０．８倍以上１．２倍以下である、構成６に記載の検査装置。
【0081】
（構成８）
前記第１他周辺素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なる、構成６に記載の検査装置。
前記第１他周辺素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なる、構成６に記載の検査装置。
【0082】
（構成９）
前記複数の出射素子は、第３他周辺素子をさらに含み、
前記第２方向において前記第３他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第１他周辺素子の前記第１方向における前記位置は、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、前記第３他周辺素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記第１他周辺素子と前記第３他周辺素子との間の距離、及び、前記第２他周辺素子と前記第３他周辺素子との間の距離は、前記第１列素子距離よりも長い、構成６に記載の検査装置。
前記複数の出射素子は、第３他周辺素子をさらに含み、
前記第２方向において前記第３他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第１他周辺素子の前記第１方向における前記位置は、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、前記第３他周辺素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記第１他周辺素子と前記第３他周辺素子との間の距離、及び、前記第２他周辺素子と前記第３他周辺素子との間の距離は、前記第１列素子距離よりも長い、構成６に記載の検査装置。
【0083】
（構成１０）
前記複数の出射素子は、第３周辺素子をさらに含み、
前記第２方向において前記第３周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第１周辺素子の前記第１方向における前記位置は、前記第３周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、の間にあり、
前記第１周辺素子と前記第３周辺素子との間の距離、及び、前記第２周辺素子と前記第３周辺素子との間の距離は、前記第１列素子距離よりも長い、構成１～９のいずれか１つに記載の検査装置。
前記複数の出射素子は、第３周辺素子をさらに含み、
前記第２方向において前記第３周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第１周辺素子の前記第１方向における前記位置は、前記第３周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、の間にあり、
前記第１周辺素子と前記第３周辺素子との間の距離、及び、前記第２周辺素子と前記第３周辺素子との間の距離は、前記第１列素子距離よりも長い、構成１～９のいずれか１つに記載の検査装置。
【0084】
（構成１１）
前記複数の出射素子は、前記第１方向に沿って並ぶ複数の第２列素子をさらに含み、
前記複数の第２列素子の前記第２方向における第２列素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なり、
前記複数の第２列素子の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における位置と、の間にある、構成１に記載の検査装置。
前記複数の出射素子は、前記第１方向に沿って並ぶ複数の第２列素子をさらに含み、
前記複数の第２列素子の前記第２方向における第２列素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なり、
前記複数の第２列素子の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における位置と、の間にある、構成１に記載の検査装置。
【0085】
（構成１２）
前記第１周辺素子距離は、前記第１列素子距離の１．７倍以上である、構成１に記載の検査装置。
前記第１周辺素子距離は、前記第１列素子距離の１．７倍以上である、構成１に記載の検査装置。
【0086】
（構成１３）
超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を備え、
前記出射部は、第１面を含み、
前記第１面は、第１領域及び第１周辺領域を含み、
前記複数の出射素子は、
前記第１領域に設けられた複数の第１列素子と、
前記第１周辺領域に設けられた複数の周辺素子と、
を含み、
前記複数の周辺素子は、第１周辺素子及び第２周辺素子を含み、
前記複数の第１列素子は、前記第１面に沿う第１方向に沿って並び、
前記第１周辺領域の第２方向に沿う第１周辺領域長さは、前記第１領域の前記第２方向に沿う第１領域長さよりも長く、
前記第２方向は、前記第１面に沿い、前記第２方向は、前記第１方向に対して垂直である、検査装置。
超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を備え、
前記出射部は、第１面を含み、
前記第１面は、第１領域及び第１周辺領域を含み、
前記複数の出射素子は、
前記第１領域に設けられた複数の第１列素子と、
前記第１周辺領域に設けられた複数の周辺素子と、
を含み、
前記複数の周辺素子は、第１周辺素子及び第２周辺素子を含み、
前記複数の第１列素子は、前記第１面に沿う第１方向に沿って並び、
前記第１周辺領域の第２方向に沿う第１周辺領域長さは、前記第１領域の前記第２方向に沿う第１領域長さよりも長く、
前記第２方向は、前記第１面に沿い、前記第２方向は、前記第１方向に対して垂直である、検査装置。
【0087】
（構成１４）
前記第１面は、第２周辺領域をさらに含み、
前記第１領域は、前記第１方向において、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域との間にあり、
前記複数の出射素子は、前記第２周辺領域に設けられた複数の他周辺素子を含み、
前記第２周辺領域の前記第２方向に沿う第２周辺領域長さは、前記第１領域長さよりも長い、構成１３に記載の検査装置。
前記第１面は、第２周辺領域をさらに含み、
前記第１領域は、前記第１方向において、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域との間にあり、
前記複数の出射素子は、前記第２周辺領域に設けられた複数の他周辺素子を含み、
前記第２周辺領域の前記第２方向に沿う第２周辺領域長さは、前記第１領域長さよりも長い、構成１３に記載の検査装置。
【0088】
（構成１５）
前記複数の出射素子は、前記第１領域に設けられた複数の第２列素子をさらに含み、
前記複数の第２列素子の前記第２方向における第２列素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なり、
前記複数の第２列素子の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における位置と、の間にある、構成１４に記載の検査装置。
前記複数の出射素子は、前記第１領域に設けられた複数の第２列素子をさらに含み、
前記複数の第２列素子の前記第２方向における第２列素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なり、
前記複数の第２列素子の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における位置と、の間にある、構成１４に記載の検査装置。
【0089】
（構成１６）
前記複数の周辺素子の前記第１方向におけるピッチは、前記複数の第１列素子の前記第１方向におけるピッチと実質的に同じである、構成１５に記載の検査装置。
前記複数の周辺素子の前記第１方向におけるピッチは、前記複数の第１列素子の前記第１方向におけるピッチと実質的に同じである、構成１５に記載の検査装置。
【0090】
（構成１７）
複数の受信素子を含む受信部をさらに備え、
前記複数の受信素子の１つは、前記複数の出射素子の１つと対向し、
前記複数の受信素子は、前記複数の出射素子から出射された前記超音波を受信可能である、構成１または１３に記載の検査装置。
複数の受信素子を含む受信部をさらに備え、
前記複数の受信素子の１つは、前記複数の出射素子の１つと対向し、
前記複数の受信素子は、前記複数の出射素子から出射された前記超音波を受信可能である、構成１または１３に記載の検査装置。
【0091】
（構成１８）
検査対象を支持可能な支持部をさらに備え、
前記支持部は、前記複数の出射素子と前記複数の受信素子との間の空間を搬送方向に沿って前記検査対象を通過させ、
前記搬送方向は、前記複数の出射素子の前記１つから前記複数の受信素子の前記１つへの第３方向と交差する、構成１７に記載の検査装置。
検査対象を支持可能な支持部をさらに備え、
前記支持部は、前記複数の出射素子と前記複数の受信素子との間の空間を搬送方向に沿って前記検査対象を通過させ、
前記搬送方向は、前記複数の出射素子の前記１つから前記複数の受信素子の前記１つへの第３方向と交差する、構成１７に記載の検査装置。
【0092】
（構成１９）
前記検査対象が前記空間を通過するときに、前記検査対象の一部は、前記第３方向において前記複数の第１列素子と重なる、構成１８に記載の検査装置。
前記検査対象が前記空間を通過するときに、前記検査対象の一部は、前記第３方向において前記複数の第１列素子と重なる、構成１８に記載の検査装置。
【0093】
（構成２０）
前記検査対象が前記空間を通過するときに、前記検査対象の端部は、前記第３方向において、前記第１周辺素子及び前記第２周辺素子の少なくともいずれかと重なる、構成１９に記載の検査装置。
前記検査対象が前記空間を通過するときに、前記検査対象の端部は、前記第３方向において、前記第１周辺素子及び前記第２周辺素子の少なくともいずれかと重なる、構成１９に記載の検査装置。
【0094】
実施形態によれば、検査精度を向上できる検査装置が提供できる。
【0095】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、検査装置に含まれる出射部、受信部、支持部、送信回路、受信回路及び処理部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
【0096】
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【0097】
その他、本発明の実施の形態として上述した検査装置及び検査方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての検査装置及び検査方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【0098】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【0099】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0100】
１０…出射部、 １０Ａ、１０Ｂ…第１、第２周辺領域、 １０Ｄ…送信回路、 １０Ｅ…出射素子、 １０Ｆ…第１面、 １０Ｇ…第１導波部、 １０Ｒ…第１領域、 １０ｗ…超音波、 １１～１４…第１～第４列素子、 １１ａ、１１ｂ…素子、 ２０…周辺素子、 ２１～２３…第１～第３周辺素子、 ３０…他周辺素子、 ３１～３３…第１～第３他周辺素子、 ５０…受信部、 ５０Ｄ…受信回路、 ５０Ｅ…受信素子、 ５０Ｆ…第２面、 ５０Ｇ…第２導波部、 ６０…支持部、 ６０Ｒ…搬送領域、 ６１、６２…第１、第２搬送部、 ７０…処理部、 ８０…検査対象、 ８０Ｄ…搬送方向、 １１０～１１３…検査装置、 Ｄ１～Ｄ３…第１～第３方向、 Ｌ１…第１領域長さ、 ＬＰ１、ＬＰ２…第１、第２周辺領域長さ、 Ｐ１１、Ｐ１２…第１、第２列素子位置、 Ｐ２１、Ｐ２２…第１、第２周辺素子位置、 Ｐ３１、Ｐ３２…第１、第２他周辺素子位置、 Ｒ１…距離比、 Ｓ１…検査信号、 ＳＰ…空間、 Ｓｃ…制御信号、 Ｓｄ…信号、 ｄ１…第１列素子距離、 ｄｐ１…第１周辺素子距離、 ｄｑ１…第１他周辺素子距離、 ｐｔ１～ｐｔ３…距離、 ｐｘ２、ｐｘ３…距離
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】