特開 2024-33111 アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024033111

(43)【公開日】2024-03-13

(54)【発明の名称】アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   H02K 33/18 20060101AFI20240306BHJP

【ＦＩ】

H02K33/18 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022136505

(22)【出願日】2022-08-30

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(74)【代理人】

【識別番号】100196140

【弁理士】

【氏名又は名称】岩垂 裕司

(72)【発明者】

【氏名】羽多野 慎司

【テーマコード（参考）】

5H633

【Ｆターム（参考）】

5H633BB08

5H633GG02

5H633HH02

5H633HH05

5H633JA01

(57)【要約】

【課題】アクチュエータの磁石とコイルとのギャップを狭くし、且つ、接続体の厚さを確保する。
【解決手段】アクチュエータ１は、コイルホルダ１７に保持されるコイル１０とヨーク８に固定される磁石７とがＺ方向で対向し、コイル１０に通電してＸ方向に可動体５を振動させる。コイルホルダ１７は、コイル１０のＹ方向の両側を囲む板部１７１を備える。板部１７１は、コイル１０の外縁に沿うコイル保持部１７３と、コイル保持部１７３よりもＺ方向の板厚が薄い接続体固定部１７４を備える。ヨークは、コイル１０にＺ方向から対向する第１対向部８０１と、コイル１０にＺ方向から対向する第２対向部８０２を備える。接続体４は、第１対向部８０１と接続体固定部１７４とを接続する第１接続体９Ａと、第２対向部８０２と接続体固定部１７４とを接続する第２接続体９Ｂを備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

可動体と、
コイルホルダを備える支持体と、
前記可動体および前記支持体に接続される接続体と、
前記コイルホルダに保持されるコイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に交差する第２方向に振動させる磁気駆動回路と、を有し、
前記コイルホルダは、前記コイルの少なくとも一部を囲む板部を備え、
前記可動体は、前記磁石を保持するヨークを備え、
前記ヨークは、前記コイルに前記第１方向の一方側から対向する第１対向部、および、前記コイルに前記第１方向の他方側から対向する第２対向部を備え、前記第１対向部と前記第２対向部の少なくとも一方に前記磁石が固定され、
前記板部は、前記コイルの外縁に沿うコイル保持部と、前記コイル保持部よりも前記第１方向の板厚が薄い接続体固定部と、を備え、
前記接続体は、前記第１対向部と前記接続体固定部とを接続する第１接続体、および、前記第２対向部と前記接続体固定部とを接続する第２接続体の少なくとも一方を備えることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項2】

前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する方向を第３方向とするとき、
前記コイル保持部は、前記コイルの前記第３方向の一方側、および前記コイルの前記第３方向の他方側を囲んでおり、
前記接続体固定部は、前記コイルに対して前記第３方向の一方側に設けられた一方側固定部、および、前記コイルに対して前記第３方向の他方側に設けられた他方側固定部を備え、
前記一方側固定部および前記他方側固定部は、それぞれ、前記第１接続体および前記第２接続体を介して前記第１対向部および前記第２対向部に接続されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記板部には、前記第１方向の他方側に凹む第１凹部、および、前記第１凹部に対して前記第１方向で反対側において前記第１方向の一方側へ凹む第２凹部が設けられ、
前記接続体固定部は、前記第１凹部の底面および前記第２凹部の底面を表面とする薄肉部であり、
前記第１接続体は、前記第１対向部と前記第１凹部の底面とを接続し、
前記第２接続体は、前記第２対向部と前記第２凹部の底面とを接続することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記支持体は、前記コイルおよび前記コイル保持部に前記第１方向の一方側から重なる金属製の第１プレートと、前記コイルおよび前記コイル保持部に前記第１方向の他方側から重なる金属製の第２プレートと、を備え、
前記接続体固定部は、前記第１プレートおよび前記第２プレートから露出することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

前記第１プレートは、前記第２方向の両端から前記第１方向の他方側に屈曲して前記コイル保持部の前記第２方向の側面に係止される第１固定部を備え、
前記第２プレートは、前記第２方向の両端から前記第１方向の一方側に屈曲して前記コイル保持部の前記第２方向の側面に係止される第２固定部を備えることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。

【請求項6】

前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する方向を第３方向とするとき、
前記コイルホルダは、前記コイルに対して前記第３方向の一方側に配置される第１ホルダ部材と、前記コイルに対して前記第３方向の他方側に配置される第２ホルダ部材と、を備え、
前記コイル保持部は、前記第１ホルダ部材の前記第３方向の他方側の端部に設けられた第１コイル保持部と、前記第２ホルダ部材の前記第３方向の一方側の端部に設けられた第２コイル保持部と、を備え、
前記接続体固定部は、前記第１コイル保持部の前記第３方向の一方側に設けられた一方側固定部と、前記第２コイル保持部の前記第３方向の他方側に設けられた他方側固定部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項7】

前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する方向を第３方向とするとき、
前記コイルホルダは、前記第３方向の一方側の端部において前記第１方向に延びる第１ホルダ側板部を備え、前記第１ホルダ側板部に基板が固定され、
前記板部には、前記コイルから引き出されたコイル線が配置される溝が設けられ、
前記溝は、前記コイル保持部および前記接続体固定部の表面を経由して、前記第１ホルダ側板部を前記第１方向に切り欠いた切欠き部まで延びていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、磁石を備えた可動体と、コイルを備えた支持体とを備え、コイルに駆動電流を流すことにより、可動体を支持体に対して振動させるアクチュエータが開示される。この種のアクチュエータは、支持体と可動体とを接続する接続体として弾性体や粘弾性体を用いる。特許文献１のアクチュエータでは、接続体として、シリコーンゲルなどのゲル状部材を用いる。

【0003】

特許文献１では、支持体は、アクチュエータの外形を規定する金属製のケースと、樹脂製のコイルホルダを備える。コイルは空芯コイルであり、コイルホルダの板部に設けられたコイル配置穴に配置される。可動体は、コイルに厚さ方向の一方側から対向する第１ヨークと、コイルに第１ヨークとは反対側から対向する第２ヨークを備えており、第１ヨークおよび第２ヨークは、それぞれ、コイルと対向する面に磁石が固定される。

【0004】

特許文献１では、コイルホルダには、コイル配置穴が形成された板部を板厚方向の一方側から覆う第１プレートと、板部を板厚方向の他方側から覆う第２プレートが取り付けられている。接続体は、第１プレートと第１ヨークとが対向する箇所、および、第２プレートと第２ヨークとが対向する箇所に配置される。コイルに通電すると、可動体は、コイルと磁石が対向する方向と交差する方向に振動する。このとき、第１プレートと第１ヨークとを接続する接続体、および、第２プレートと第２ヨークとを接続する接続体は、せん断方向に変形する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－１６２３９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

アクチュエータにおいて、可動体が振動する際の加速度を大きくするため、磁石とコイルとのギャップを小さくしたいという要望がある。しかしながら、特許文献１の構造では、磁石とコイルとのギャップを小さくすると接続体（ゲル状部材）の厚さも小さくなってしまう。ゲル状部材がせん断変形する場合、ゲル状部材の厚さを小さくしすぎると、安定して振動させることができないおそれがある。例えば、ゲル状部材の厚さが可動体の振幅よりも小さい場合、ゲル状部材が接合面から剥がれるおそれがある。

【0007】

本発明の課題は、以上の問題点に鑑みて、磁石とコイルとのギャップを小さくすることができ、且つ、接続体の厚さを確保できるアクチュエータの構成を提案することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、可動体と、コイルホルダを備える支持体と、前記可動体および前記支持体に接続される接続体と、前記コイルホルダに保持されるコイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に交差する第２方向に振動させる磁気駆動回路と、を有し、前記コイルホルダは、前記コイルの少なくとも一部を囲む板部を備え、前記可動体は、前記磁石を保持するヨークを備え、前記ヨークは、前記コイルに前記第１方向の一方側か
ら対向する第１対向部、および、前記コイルに前記第１方向の他方側から対向する第２対向部を備え、前記第１対向部と前記第２対向部の少なくとも一方に前記磁石が固定され、前記板部は、前記コイルの外縁に沿うコイル保持部と、前記コイル保持部よりも前記第１方向の板厚が薄い接続体固定部と、を備え、前記接続体は、前記第１対向部と前記接続体固定部とを接続する第１接続体、および、前記第２対向部と前記接続体固定部とを接続する第２接続体の少なくとも一方を備えることを特徴とする。

【0009】

本発明によれば、アクチュエータの支持体を構成するコイルホルダは、コイルを囲む板部を備えており、板部は、コイルの外縁に沿うコイル保持部よりも板厚が薄い接続体固定部を備えている。可動体と支持体とを接続する接続体は、板厚が薄い接続体固定部とヨークとが対向する箇所に配置される。このように、接続体が配置される個所の板厚を薄くすると、ヨークに固定される磁石とコイルとのギャップを小さくした場合でも、接続体固定部の厚さを薄くした分、接続体の厚さが小さくなることを抑制でき、接続体の厚さを確保できる。よって、磁石とコイルとのギャップを小さくすることにより可動体が振動する際の加速度を大きくでき、且つ、接続体の厚さが小さくなりすぎて安定して振動できなくなることを回避できる。

【0010】

本発明において、前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する方向を第３方向とするとき、前記コイル保持部は、前記コイルの前記第３方向の一方側、および前記コイルの前記第３方向の他方側を囲んでおり、前記接続体固定部は、前記コイルに対して前記第３方向の一方側に設けられた一方側固定部、および、前記コイルに対して前記第３方向の他方側に設けられた他方側固定部を備え、前記一方側固定部および前記他方側固定部は、それぞれ、前記第１接続体および前記第２接続体を介して前記第１対向部および前記第２対向部に接続されることが好ましい。このようにすると、コイルホルダは、第３方向の両端部分が、それぞれ、第１方向の両側から接続体を介してヨークに接続される。従って、可動体を安定して支持できる。

【0011】

本発明において、前記板部には、前記第１方向の他方側に凹む第１凹部、および、前記第１凹部に対して前記第１方向で反対側において前記第１方向の一方側へ凹む第２凹部が設けられ、前記接続体固定部は、前記第１凹部の底面および前記第２凹部の底面を表面とする薄肉部であり、前記第１接続体は、前記第１対向部と前記第１凹部の底面とを接続し、前記第２接続体は、前記第２対向部と前記第２凹部の底面とを接続することが好ましい。このようにすると、板部の第１方向の両側において、それぞれ、凹部の深さの分だけヨークとの第１方向の間隔が広がる。従って、コイルに第１方向の一方側から対向する磁石とのギャップ、および、コイルに第１方向の他方側から対向する磁石とのギャップをいずれも狭くした場合でも、接続体の厚さが小さくなりすぎて安定して振動できなくなることを回避できる。

【0012】

本発明において、前記支持体は、前記コイルおよび前記コイル保持部に前記第１方向の一方側から重なる金属製の第１プレートと、前記コイルおよび前記コイル保持部に前記第１方向の他方側から重なる金属製の第２プレートと、を備え、前記接続体固定部は、前記第１プレートおよび前記第２プレートから露出することが好ましい。このようにすると、第１プレートと第２プレートによってコイルを保護できるので、磁石とコイルとのギャップを狭くした場合でも、磁石との衝突によりコイルが損傷するおそれが少ない。また、接続体固定部は第１プレートおよび第２プレートから露出しているので、接続体の配置スペースの第１方向の高さが低くなることはない。従って、接続体の厚さを確保できる。

【0013】

本発明において、前記第１プレートは、前記第２方向の両端から前記第１方向の他方側に屈曲して前記コイル保持部の前記第２方向の側面に係止される第１固定部を備え、前記第２プレートは、前記第２方向の両端から前記第１方向の一方側に屈曲して前記コイル保
持部の前記第２方向の側面に係止される第２固定部を備えることが好ましい。このようにすると、第１プレート、第２プレート、コイルホルダ、およびコイルを組み立ててコイル組として取り扱うことができる。従って、コイルホルダを２部材に分割する際に、アクチュエータ１の組立容易性の低下を抑制できる。

【0014】

本発明において、前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する方向を第３方向とするとき、前記コイルホルダは、前記コイルに対して前記第３方向の一方側に配置される第１ホルダ部材と、前記コイルに対して前記第３方向の他方側に配置される第２ホルダ部材と、を備え、前記コイル保持部は、前記第１ホルダ部材の前記第３方向の他方側の端部に設けられた第１コイル保持部と、前記第２ホルダ部材の前記第３方向の一方側の端部に設けられた第２コイル保持部と、を備え、前記接続体固定部は、前記第１コイル保持部の前記第３方向の一方側に設けられた一方側固定部と、前記第２コイル保持部の前記第３方向の他方側に設けられた他方側固定部と、を備えることが好ましい。このように、コイルホルダを２部材に分割することにより、コイルの第２方向の両側を覆う部分を省略できる。これにより、可動体の第２方向のサイズを小さくすることができ、アクチュエータの第２方向のサイズの小型化を図ることができる。

【0015】

本発明において、前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する方向を第３方向とするとき、前記コイルホルダは、前記第３方向の一方側の端部において前記第１方向に延びる第１ホルダ側板部を備え、前記第１ホルダ側板部に基板が固定され、前記板部には、前記コイルから引き出されたコイル線が配置される溝が設けられ、前記溝は、前記コイル保持部および前記接続体固定部の表面を経由して、前記第１ホルダ側板部を前記第１方向に切り欠いた切欠き部まで延びていることが好ましい。このようにすると、コイル線を基板まで引き回す際に接続体と干渉せずに引き回すことができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、アクチュエータの支持体を構成するコイルホルダは、コイルを囲む板部を備えており、板部は、コイルの外縁に沿うコイル保持部よりも板厚が薄い接続体固定部を備えている。可動体と支持体とを接続する接続体は、板厚が薄い接続体固定部とヨークとが対向する箇所に配置される。このように、接続体が配置される個所の板厚を薄くすると、ヨークに固定される磁石とコイルとのギャップを小さくした場合でも、接続体固定部の厚さを薄くした分、接続体の厚さが小さくなることを抑制でき、接続体の厚さを確保できる。よって、磁石とコイルとのギャップを小さくすることにより可動体が振動する際の加速度を大きくでき、且つ、接続体の厚さが小さくなりすぎて安定して振動できなくなることを回避できる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明を適用したアクチュエータをＺ２方向およびＺ１方向から見た斜視図である。

【図2】アクチュエータを長手方向に切断した場合の断面図（図１（ａ）のＡ－Ａ位置で切断した断面図）である。

【図3】アクチュエータを長手方向と直交する方向に切断した場合の断面図（図１（ａ）のＢ－Ｂ位置で切断した断面図）である。

【図4】Ｚ２方向から見た可動体およびコイル組の分解斜視図である。

【図5】Ｚ１方向から見た可動体およびコイル組の分解斜視図である。

【図6】コイル組の組立方法を示す分解斜視図である。

【図7】コイル組の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下に、図面を参照して、本発明を適用したアクチュエータの実施形態を説明する。

【0019】

（全体構成）
図１（ａ）は、本発明を適用したアクチュエータ１をＺ２方向から見た斜視図である。図１（ｂ）は、本発明を適用したアクチュエータ１をＺ１方向から見た斜視図である。図２は、アクチュエータ１を長手方向に切断した場合の断面図であり、図１（ａ）のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図３は、アクチュエータ１を長手方向と直交する方向に切断した場合の断面図であり、図１（ａ）のＢ－Ｂ位置で切断した断面図である。図４は、Ｚ２方向から見た可動体５およびコイル組１３の分解斜視図である。図５は、Ｚ１方向から見た可動体５およびコイル組１３の分解斜視図である。図６は、コイル組１３の組立方法を示す分解斜視図である。図７は、コイル組１３の斜視図である。

【0020】

アクチュエータ１は、振動によって情報を伝達する触覚デバイスとして用いられる。図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、アクチュエータ１の外形は直方体形状である。アクチュエータ１は、その外形の短手方向に振動を発生させる。以下の説明では、振動が発生する短手方向をＸ方向（第２方向）、アクチュエータ１の長手方向であってＸ方向と直交する方向をＹ方向（第３方向）とし、アクチュエータ１の厚み方向（高さ方向）であって、Ｘ方向およびＹ方向と直交する方向をＺ方向（第１方向）とする。また、Ｘ方向の一方側をＸ１方向、他方側をＸ２方向とする。Ｙ方向の一方側をＹ１方向、他方側をＹ２方向とする。Ｚ方向の一方側をＺ１方向、他方側をＺ２方向とする。

【0021】

図１、図２、図３に示すように、アクチュエータ１は、外形を規定するケース２を備える支持体３と、ケース２の内部に収容される可動体５を有する。また、アクチュエータ１は、支持体３と可動体５とを接続する接続体４と、可動体５を支持体３に対してＸ方向に相対移動させる磁気駆動回路６を備える。

【0022】

（支持体）
支持体３は、ケース２およびコイル組１３を備える。図４、図５、図６、図７に示すように、コイル組１３は、コイル１０と、コイル１０のＹ１側およびＹ２側を囲むコイルホルダ１７と、コイル１０にＺ１方向から重なる第１プレート１１と、コイル１０にＺ２方向から重なる第２プレート１２を備える。第１プレート１１および第２プレート１２は、非磁性の金属からなる。

【0023】

図２、図３に示すように、コイル１０は、ケース２のＺ方向の中央に位置する。コイル１０は扁平な空芯コイルであり、その厚み方向をＺ方向に向けている。図４、図５に示すように、コイル１０は、Ｙ方向に長い長円状であり、Ｙ方向に平行に延びる一対の長辺部１０ａ、１０ｂを備える。一対の長辺部１０ａ、１０ｂの間には、Ｙ方向に延びる中心穴１０ｃが設けられている。

【0024】

（コイルホルダ）
図４、図５に示すように、コイルホルダ１７は、２部材に分割されている。コイルホルダ１７は、コイル１０のＹ１側に配置される第１ホルダ部材１５と、コイル１０のＹ２側に配置される第２ホルダ部材１６を備える。第１ホルダ部材１５および第２ホルダ部材１６は、樹脂からなる。

【0025】

第１ホルダ部材１５は、コイル１０のＹ１側においてＹ方向に延びる第１板部１５１と、第１板部１５１のＹ１側の端からＺ１方向およびＺ２方向へ延びる第１ホルダ側板部１５２を備える。第２ホルダ部材１６は、コイル１０のＹ２側においてＹ方向に延びる第２板部１６１と、第２板部１６１のＹ２側の端からＺ１方向およびＺ２方向へ延びる第２ホルダ側板部１６２を備える。

【0026】

コイルホルダ１７は、板厚方向がＺ方向を向く板部１７１を備える。本形態では、コイルホルダ１７が２部材に分割されており、第１板部１５１と第２板部１６１が板部１７１を構成する。板部１７１は、コイル１０のＹ１側およびＹ２側においてコイル１０の外縁を囲むコイル保持部１７３を備える。コイル保持部１７３は、第１板部１５１のＹ２側の端部に設けられた第１コイル保持部１５３と、第２板部１６１のＹ１側の端部に設けられた第２コイル保持部１６３を備える。コイル１０は、第１コイル保持部１５３と第２コイル保持部１６３の間に配置される。第１コイル保持部１５３のＹ２側の端部、および、第２コイル保持部１６３のＹ１側の端部は、コイル１０の外縁に沿う円弧形状である。

【0027】

コイル保持部１７３（第１コイル保持部１５３および第２コイル保持部１６３）は、Ｚ方向の板厚がコイル１０のＺ方向の厚さよりも厚い。板部１７１は、コイル保持部１７３よりもＺ方向の板厚が薄い接続体固定部１７４を備える。接続体固定部１７４は、Ｚ方向の板厚がコイル１０のＺ方向の厚さよりも薄い。接続体固定部１７４は、第１コイル保持部１５３のＹ１側に設けられた一方側固定部１５４、および、第２コイル保持部１６３のＹ２側に設けられた他方側固定部１６４を備える。

【0028】

第１ホルダ部材１５において、第１コイル保持部１５３のＹ１側には、Ｚ１方向に凹む第１凹部１５５と、第１凹部１５５に対してＺ方向で反対側においてＺ２方向に凹む第２凹部１５６が設けられている。第１凹部１５５と第２凹部１５６のＺ方向の深さは同一である。一方側固定部１５４は、第１凹部１５５の底面をＺ２方向の表面とし、第２凹部１５６の底面をＺ１方向の表面とする薄肉部である。

【0029】

第２ホルダ部材１６において、第２コイル保持部１６３のＹ１側には、Ｚ１方向に凹む第１凹部１６５と、第１凹部１６５に対してＺ方向で反対側においてＺ２方向に凹む第２凹部１６６が設けられている。第１凹部１６５と第２凹部１６６のＺ方向の深さは同一である。他方側固定部１６４は、第１凹部１６５の底面をＺ２方向の表面とし、第２凹部１６６の底面をＺ１方向の表面とする薄肉部である。

【0030】

図２に示すように、接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）には、Ｚ１方向およびＺ２方向からヨーク８が対向する。後述するように、本形態では、接続体固定部１７４とヨーク８との間に配置される接続体４（第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂ）によって可動体５と支持体３とが接続される。

【0031】

（基板）
第１ホルダ部材１５には、給電基板１４が固定される。コイル１０には、給電基板１４を介して、電力が供給される。コイル１０から引き出された２本のコイル線（図示省略）は、第１板部１５１のＺ１方向の表面に形成された２本の溝１４１に配置され、第１ホルダ側板部１５２のＸ方向の中央部分をＺ１方向に切り欠いた切欠き部１５８からＹ１方向に引き出され、切欠き部１５８のＺ１方向に固定された給電基板１４に接続される。

【0032】

本形態では、第１ホルダ部材１５と第２ホルダ部材１６は、同一形状であり、Ｙ方向で逆向きに配置される。第２ホルダ側板部１６２には、第１ホルダ側板部１５２の切欠き部１５８と同一形状の切欠き部１６８が形成されており、第２板部１６１のＺ１方向の表面には、２本の溝１４１が形成されている。そのため、コイル１０からＹ２方向に引き出したコイル線を第２板部１６１の溝１４１に配置し、第１ホルダ側板部１５２でなく第２ホルダ側板部１６２に固定した給電基板１４にコイル線を接続する構成を採用することも可能である。

【0033】

（プレート）
第１プレート１１は、コイル１０にＺ１側から重なる第１板部１１１と、第１板部１１
１のＸ方向の両端からＺ２方向に屈曲した一対の第１曲げ部１１２を備える。第２プレート１２は、コイル１０にＺ２側から重なる第２板部１２１と、第２板部１２１のＸ方向の両端からＺ１方向に屈曲した一対の第２曲げ部１２２を備える。

【0034】

第１プレート１１において、各第１曲げ部１１２のＹ１側およびＹ２側には、第１板部１１１からＺ２方向に屈曲した第１固定部１１３が設けられている。第２プレート１２において、各第２曲げ部１２２のＹ１側およびＹ２側には、第２板部１２１からＺ１方向に屈曲した第２固定部１２３が設けられている。

【0035】

第１プレート１１と第２プレート１２を第１板部１５１および第２板部１６１に対してＺ方向の両側から組み付けると、図７に示すように、第１曲げ部１１２と第２曲げ部１２２は、コイル１０の長辺部１０ａ、１０ｂをＸ方向の両側から覆う。また、第１曲げ部１１２と第２曲げ部１２２のＹ方向の両側において、第１プレート１１の第１固定部１１３と第２プレート１２の第２固定部１２３とが重なる。第１固定部１１３と第２固定部１２３は、Ｚ方向に係止される。また、第１コイル保持部１５３の側面に設けられた爪部１５７と、第２コイル保持部１６３の側面に設けられた爪部１６７は、それぞれ、第１固定部１１３に設けられた切欠き部１１４、および、第２固定部１２３に設けられた切欠き部１２４に係止される。

【0036】

（コイル組の組立方法）
アクチュエータ１を製造する際、コイル１０、第１プレート１１、第２プレート１２、第１ホルダ部材１５、および第２ホルダ部材１６からコイル組１３を組み立てる。例えば、図６に示すように、第１プレート１１のＹ方向の両端において、一対の第１固定部１１３の間に、第１コイル保持部１５３および第２コイル保持部１６３をＺ１側から嵌め込んで、第１固定部１１３の切欠き部１１４から爪部１５７、１６７をＸ方向の両側に突出させる。これにより、第１ホルダ部材１５および第２ホルダ部材１６が第１プレート１１からＹ方向に抜けない状態に組み立てられる。

【0037】

しかる後に、第１コイル保持部１５３と第２コイル保持部１６３の間にコイル１０を配置し、コイル線（図示省略）を溝１４１に配置して切欠き部１５８からＹ１側へ引き出す。そして、コイル１０の中心穴１０ｃに接着剤１８（図２、図３参照）を入れた後に、第２プレート１２をＺ２側から被せる。このとき、第２プレート１２のＹ方向の両端において、一対の第２固定部１２３の間に一対の第１固定部１１３を嵌め込んで、第２固定部１２３の切欠き部１２４から爪部１５７、１６７をＸ方向の両側に突出させる。

【0038】

図７に示すように、コイル組１３を組み立てたとき、コイルホルダ１７の板部１７１は、コイル保持部１７３（第１コイル保持部１５３および第２コイル保持部１６３）が第１プレート１１および第２プレート１２によって覆われ、接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）は露出する。一方側固定部１５４は、第１プレート１１および第２プレート１２のＹ１側に延びており、他方側固定部１６４は、第１プレート１１および第２プレート１２のＹ２側に延びている。

【0039】

（可動体）
可動体５は、磁石７およびヨーク８を備える。図２、図３に示すように、磁石７は、コイル１０とＺ方向で対向する。コイル１０と磁石７とは、磁気駆動回路６を構成する。可動体５は、磁石７として、第１磁石７１および第２磁石７２を備える。第１磁石７１は、コイル１０のＺ１方向に位置する。第２磁石７２は、コイル１０のＺ２方向に位置する。第１磁石７１および第２磁石７２は、Ｘ方向で２つに分極されている。図３に示すように、可動体５と支持体３とを組み立てると、コイル１０の長辺部１０ａ、１０ｂには、Ｚ１方向で第１磁石７１が対向し、Ｚ２方向で第２磁石７２が対向する。

【0040】

ヨーク８は磁性材料からなる。図３に示すように、ヨーク８は、コイル１０に対してＺ１方向から対向する第１対向部８０１と、コイル１０に対してＺ２方向から対向する第２対向部８０２を備える。第１対向部８０１には、第１磁石７１が固定される。第２対向部８０２には、第２磁石７２が固定される。また、ヨーク８は、コイル１０のＸ方向の両側においてＺ方向に延びる一対の接続部８０３を備える。一対の接続部８０３は、第１対向部８０１と第２対向部８０２とを接続する。

【0041】

ヨーク８を組み立てる際、第１対向部８０１のＸ方向の両端からＺ２方向に延びる一対の連結板部８０４の内側に、第２対向部８０２のＸ方向の両端からＺ１方向に延びる一対の連結板部８０５を圧入して固定する。これにより、一対の接続部８０３が形成され、ヨーク８は、コイル１０、第１プレート１１、および第２プレート１２の外周側を囲む形状に組み立てられる。図４、図５に示すように、本形態では、連結板部８０５は、Ｙ方向の長さが連結板部８０４よりも短い。

【0042】

図２、図３、図４、図５に示すように、ヨーク８は、第１ヨーク８１と第２ヨーク８２を備える。第１ヨーク８１は、コイル１０にＺ１方向から重なる第１内側部材８３と、第１内側部材８３にＺ１方向から重なる第１外側部材８４の２部材を接合して構成される。第１内側部材８３には、第１磁石７１が固定される。第１外側部材８４は、第１内側部材８３にＺ１方向から重なる第１平板部８７と、第１平板部８７のＸ方向の両端からＺ２方向へ延びる一対の連結板部８０４を備える。

【0043】

第２ヨーク８２は、コイル１０にＺ１方向から重なる第２内側部材８５と、第２内側部材８５にＺ１方向から重なる第２外側部材８６の２部材を接合して構成される。第２内側部材８５には、第２磁石７２が固定される。第２外側部材８６は、第２内側部材８５にＺ１方向から重なる第２平板部８８と、第２平板部８８のＸ方向の両端からＺ１方向へ延びる一対の連結板部８０５を備える。

【0044】

ヨーク８の第１対向部８０１は、第１外側部材８４の第１平板部８７と第１内側部材８３とをＺ方向に積層して構成される。図２に示すように、第１内側部材８３は、Ｙ方向の長さが第１磁石７１と同一であり、且つ、第１外側部材８４の第１平板部８７よりも短い。第１平板部８７のＹ方向の両端には、第１内側部材８３および第１磁石７１のＹ１側およびＹ２側へ延びる第１接続体固定部８０６が設けられている。２箇所の第１接続体固定部８０６は、それぞれ、コイル組１３の接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）とＺ方向に対向する。

【0045】

ヨーク８の第２対向部８０２は、第２外側部材８６の第２平板部８８と第２内側部材８５とをＺ方向に積層して構成される。図２に示すように、第２内側部材８５は、Ｙ方向の長さが第２磁石７２と同一であり、且つ、第２外側部材８６の第２平板部８８よりも短い。第２平板部８８のＹ方向の両端には、第２内側部材８５および第２磁石７２のＹ１側およびＹ２側へ延びる第２接続体固定部８０７が設けられている。２箇所の第２接続体固定部８０７は、それぞれ、コイル組１３の接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）とＺ方向に対向する。

【0046】

アクチュエータ１を組み立てる際は、コイル組１３を囲むように可動体５を組み立てるとともに、可動体５とコイル組１３とを接続体４によって接続する。すなわち、Ｚ方向に対向する第１接続体固定部８０６と接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）とを第１接続体９Ａを介して接続するとともに、Ｚ方向に対向する第２接続体固定部８０７と接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）とを第２接続体９Ｂを介して接続する。

【0047】

（接続体）
図２に示すように、接続体４は、第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂを備える。図４、図５に示すように、第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂは、Ｘ方向に長い直方体形状である。第１接続体９Ａは、コイル１０のＺ１側に位置する。第２接続体９Ｂは、コイル１０のＺ２側に位置する。第１接続体９Ａは、第１磁石７１のＹ１側およびＹ２側の２箇所に配置されており、同一形状の２部材からなる。第２接続体９Ｂは、第２磁石７２のＹ１側およびＹ２側の２箇所に配置されており、同一形状の２部材からなる。第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂは、それぞれ、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える。

【0048】

第１接続体９Ａは、上記のように、コイル１０のＹ方向の両側において、ヨーク８の第１対向部８０１とコイルホルダ１７の接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）との間に挟まれている。第１接続体９Ａは、第１対向部８０１と接続体固定部１７４との間でＺ方向に圧縮される。第２接続体９Ｂは、上記のように、コイル１０のＹ方向の両側において、ヨーク８の第２対向部８０２と接続体固定部１７４との間に挟まれている。第２接続体９Ｂは、第２対向部８０２と接続体固定部１７４との間でＺ方向に圧縮される。

【0049】

本形態では、第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂは、シリコーンゲルからなるゲル状部材である。より具体的には、ゲル状部材のＺ１方向およびＺ２方向の表面には、ゲル状部材自身の粘着性によってＰＥＴシートなどの可撓性フィルムが貼りつけられており、ゲル状部材は、ＰＥＴシートを介して可動体５および支持体３に接合されている。なお、ＰＥＴシートを省略することもできる。シリコーンゲルは、伸縮方向に変形する際のばね定数が、せん断方向に変形する際のばね定数の３倍程度になる粘弾性体である。粘弾性体は、厚さ方向と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を備える。また、厚さ方向に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。

【0050】

あるいは、第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂとして、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

【0051】

（ケース）
図１、図２、図３に示すように、ケース２は、Ｚ方向に重ねられた第１ケース部材３０および第２ケース部材４０を備える。第１ケース部材３０は、Ｚ１方向からコイル組１３に組み付けられている。第２ケース部材４０は、Ｚ２方向からコイル組１３および第１ケース部材３０に組み付けられている。

【0052】

第１ケース部材３０は、コイル１０にＺ１方向から対向する略長方形の第１端板部３１と、第１端板部３１の外縁からＺ２方向へ延びる第１側板部３２を備える。第２ケース部材４０は、コイル１０にＺ１方向から対向する略長方形の第２端板部４１と、第２端板部４１の外縁からＺ１方向へ延びる第２側板部４２を備える。

【0053】

コイル組１３および可動体５をケース２に収容する際、図２に示すように、コイル組１３は、第１ホルダ側板部１５２のＺ１方向の先端、および、第２ホルダ側板部１６２のＺ
１方向の先端が第１端板部３１にＺ１方向から当接する。これにより、第１ケース部材３０に対してコイル組１３がＺ方向に位置決めされる。

【0054】

図４、図５に示すように、コイル組１３は、第１ホルダ側板部１５２のＹ１側の表面からＹ１方向に突出する第１受け部１５９、および、第２ホルダ側板部１６２のＹ２側の表面からＹ２方向に突出する第２受け部１６９を備える。第１ケース部材３０、コイル組１３、および可動体５に対して第２ケース部材４０をＺ２方向から被せる際、図２に示すように、第２ケース部材４０の第２側板部４２を第１受け部１５９と第２受け部１６９にそれぞれＺ２方向から当接させる。これにより、第２ケース部材４０は、コイル組１３を介して、第１ケース部材３０に対してＸ方向に位置決めされる。

【0055】

（本形態の主な作用効果）
以上のように、本形態のアクチュエータ１は、可動体５と、コイルホルダ１７を備える支持体３と、可動体５および支持体３に接続される接続体４と、コイルホルダ１７に保持されるコイル１０およびコイル１０にＺ方向（第１方向）で対向する磁石７を備え、可動体５を支持体３に対してＺ方向に交差するＸ方向（第２方向）に振動させる磁気駆動回路６と、を有する。コイルホルダ１７は、コイル１０のＹ１方向（第３方向の一方側）の端部、およびコイル１０のＹ２方向（第３方向の他方側）の端部を囲む板部１７１（第１板部１５１および第２板部１６１）を備える。可動体５は、磁石７を保持するヨーク８を備え、ヨーク８は、コイル１０にＺ１方向（第１方向の一方側）から対向する第１対向部８０１、および、コイル１０にＺ２方向（第１方向の他方側）から対向する第２対向部８０２を備える。磁石７は、第１対向部８０１に固定される第１磁石７１と、第２対向部８０２に固定される第２磁石７２を備える。コイルホルダ１７の板部１７１は、コイル１０のＹ１方向の端部の外縁、および、コイル１０のＹ２方向の端部の外縁に沿うコイル保持部１７３（第１コイル保持部１５３および第２コイル保持部１６３）と、コイル保持部１７３よりもＺ方向の板厚が薄い接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）を備える。接続体４は、第１対向部８０１と接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）とを接続する第１接続体９Ａ、および、第２対向部８０２と接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）とを接続する第２接続体９Ｂを備える。

【0056】

本形態では、コイルホルダ１７とヨーク８とがＺ方向に対向する箇所に接続体４が配置される。コイルホルダ１７は、コイル１０の外縁に沿うコイル保持部１７３よりも、接続体４が配置される接続体固定部１７４の方がＺ方向の板厚が薄い。従って、ヨーク８に固定される磁石７とコイル１０とのギャップを小さくした場合でも、接続体固定部１７４の厚さを薄くした分、接続体４の厚さが小さくなることを抑制でき、接続体４の厚さを確保できる。よって、磁石７とコイル１０とのギャップを小さくすることにより可動体５が振動する際の加速度を大きくでき、且つ、接続体４の厚さが小さくなりすぎて安定して振動できなくなることを回避できる。接続体４の厚さを可動体５の振幅以上の寸法にすることで、可動体５を安定して支持でき、安定した振動特性が得られる。本形態では、接続体４の厚さを可動体５の振幅の倍以上としている。

【0057】

本形態では、コイル保持部１７３（第１コイル保持部１５３および第２コイル保持部１６３）は、コイル１０のＹ１方向およびＹ２方向を囲んでおり、接続体固定部１７４は、コイル１０に対してＹ１方向に設けられた一方側固定部１５４、および、コイル１０に対してＹ２方向に設けられた他方側固定部１６４を備える。一方側固定部１５４および他方側固定部１６４は、それぞれ、第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂを介して第１対向部８０１および第２対向部８０２に接続される。このように、コイルホルダ１７のＹ１方向の両端部分が、それぞれ、Ｚ方向の両側から接続体４（第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂ）を介してヨーク８に接続されることにより、可動体５を安定して支持できる。

【0058】

本形態では、コイルホルダ１７の板部１７１には、Ｚ２方向に凹む第１凹部（第１板部１５１の第１凹部１５５，および、第２板部１６１の第１凹部１６５）が設けられるとともに、第１凹部１５５に対してＺ方向で反対側においてＺ２方向に凹む第２凹部１５６、および、第１凹部１６５に対してＺ方向で反対側においてＺ２方向に凹む第２凹部１６６が設けられている。接続体固定部１７４は、第１凹部１５５の底面および第２凹部１５６の底面を表面とする薄肉部である一方側固定部１５４、および、第１凹部１６５の底面および第２凹部１６６の底面を表面とする薄肉部である他方側固定部１６４である。第１接続体９Ａは、第１対向部８０１と第１凹部１５５、１６５の底面とを接続する。第２接続体９Ｂは、第２対向部８０２と第２凹部１５６、１６６の底面とを接続する。このように、板部１７１のＺ方向の両面にそれぞれ凹部を形成することにより、板部１７１のＺ方向の両側において、それぞれ、凹部の深さの分だけヨーク８とのＺ方向の間隔が広がる。従って、コイル１０にＺ１方向から対向する第１磁石７１とのギャップ、および、コイル１０にＺ２方向から対向する第２磁石７２とのギャップをいずれも狭くした場合でも、接続体４（第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂ）の厚さが小さくなりすぎて安定して振動できなくなることを回避できる。

【0059】

本形態では、支持体３は、コイル１０およびコイル保持部１７３（第１コイル保持部１５３および第２コイル保持部１６３）にＺ１方向から重なる金属製の第１プレート１１と、コイル１０およびコイル保持部１７３にＺ２方向から重なる金属製の第２プレート１２を備える。接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）は、第１プレート１１および第２プレート１２から露出する。従って、第１プレート１１と第２プレート１２によってコイル１０を保護できるので、磁石７とコイル１０とのギャップを狭くした場合でも、磁石７との衝突によりコイル１０が損傷するおそれが少ない。また、接続体固定部１７４（一方側固定部１５４および他方側固定部１６４）は第１プレート１１および第２プレート１２から露出しているので、接続体４（第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂ）の配置スペースのＺ方向の高さが低くなることはなく、接続体４の厚さを確保できる。

【0060】

本形態では、第１プレート１１は、Ｘ方向（第２方向）の両端からＺ方向に屈曲してコイル保持部１７３（第１コイル保持部１５３および第２コイル保持部１６３）のＸ方向の側面に係止される第１固定部１１３を備える。第２プレート１２は、Ｘ方向（第２方向）の両端からＺ方向に屈曲してコイル保持部１７３（第１コイル保持部１５３および第２コイル保持部１６３）のＸ方向の側面に係止される第２固定部１２３を備える。これにより、第１プレート１１、第２プレート１２、コイルホルダ１７、およびコイル１０を組み立ててコイル組１３として取り扱うことができるので、コイルホルダ１７を第１ホルダ部材１５と第２ホルダ部材１６の２部材に分割する際に、アクチュエータ１の組立容易性の低下を抑制できる。

【0061】

本形態では、コイルホルダ１７は、コイル１０に対してＹ１方向に配置される第１ホルダ部材１５と、コイル１０に対してＹ２方向に配置される第２ホルダ部材１６を備える。コイル保持部１７３は、第１ホルダ部材１５のＹ２方向の端部に設けられた第１コイル保持部１５３と、第２ホルダ部材１６のＹ１方向の端部に設けられた第２コイル保持部１６３を備える。接続体固定部１７４は、第１コイル保持部１５３のＹ１方向に設けられた一方側固定部１５４と、第２コイル保持部１６３のＹ２方向に設けられた他方側固定部１６４を備える。このように、コイルホルダ１７を２部材に分割することにより、コイル１０のＸ方向の両側を覆う部分を省略できる。これにより、可動体５のＸ方向のサイズを小さくすることができ、アクチュエータ１のＸ方向のサイズの小型化を図ることができる。

【0062】

本形態では、コイルホルダ１７は、Ｙ１方向の端部においてＺ方向に延びる第１ホルダ
側板部１５２を備え、第１ホルダ側板部１５２に給電基板１４が固定される。板部１７１には、コイル１０から引き出されたコイル線が配置される溝１４１が設けられ、溝１４１は、第１コイル保持部１５３および一方側固定部１５４の表面を経由して、第１ホルダ側板部１５２をＺ方向に切り欠いた切欠き部１５８まで延びている。従って、コイル線を給電基板１４まで引き回す際に接続体４（第２接続体９Ｂ）と干渉せずに引き回すことができる。

【0063】

（変形例）
（１）上記形態は、コイルホルダ１７を第１ホルダ部材１５と第２ホルダ部材１６の２部材に分割しているが、コイルホルダ１７を１つの部材で構成してもよい。例えば、コイル１０のＸ方向の両側においてＹ方向に延びて第１ホルダ部材１５と第２ホルダ部材１６を接続する部分を設けて、コイル１０の全周をコイルホルダ１７が囲む構成にすることができる。

【0064】

（２）上記形態のコイルホルダ１７は、コイルのＹ１側およびＹ２側を囲むように構成されているが、他の部位を囲むようにコイルホルダ１７を構成してもよい。例えば、コイルのＸ１側およびＸ２側を囲む形状としてもよい。また、上記形態では、接続体固定部１７４は、コイルのＹ１側およびＹ２側の２箇所に配置されているが、他の位置に接続体固定部１７４を配置してもよい。例えば、コイル１０のＸ１側およびＸ２側に接続体固定部１７４を配置することもできる。

【0065】

（３）上記形態は、コイルホルダ１７の板部１７１にＺ１方向に凹む第１凹部１５５、１６５と、Ｚ２方向に凹む第２凹部１５６、１６６を設けることにより、板部１７１のＺ方向の両側において接続体４が配置されるスペースの高さを大きくしたものであるが、第１凹部１５５、１６５のいずれか一方、および、第２凹部１５６、１６６のいずれか一方のみを設ける構成としてもよい。

【0066】

（４）上記形態では、磁石７として第１磁石７１と第２磁石７２を備えているが、第１磁石７１と第２磁石７２の一方のみを備えている構成であってもよい。

【0067】

（５）上記形態では、接続体４として第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂを備えているが、第１接続体９Ａと第２接続体９Ｂの一方のみが設けられている構成であってもよい。また、第１接続体９Ａおよび第２接続体９Ｂは、それぞれ、２箇所に配置されているが、１箇所、もしくは、３箇所以上に配置してもよい。

【0068】

（６）上記形態では、ヨーク８は、第１ヨーク８１と第２ヨーク８２がそれぞれ、内側部材と外側部材を積層して構成されているが、第１ヨーク８１と第２ヨーク８２のそれぞれを外側部材のみで構成することができる。

【符号の説明】

【0069】

１…アクチュエータ、２…ケース、３…支持体、４…接続体、５…可動体、６…磁気駆動回路、７…磁石、８…ヨーク、９Ａ…第１接続体、９Ｂ…第２接続体、１０…コイル、１０ａ、１０ｂ…長辺部、１０ｃ…中心穴、１１…第１プレート、１２…第２プレート、１３…コイル組、１４…給電基板、１５…第１ホルダ部材、１６…第２ホルダ部材、１７…コイルホルダ、３０…第１ケース部材、３１…第１端板部、３２…第１側板部、４０…第２ケース部材、４１…第２端板部、４２…第２側板部、７１…第１磁石、７２…第２磁石、８１…第１ヨーク、８２…第１ヨーク、８３…第１内側部材、８４…第１外側部材、８５…第２内側部材、８６…第２外側部材、８７…第１平板部、８８…第２平板部、１１１…第１板部、１１２…第１曲げ部、１１３…第１固定部、１１４…切欠き部、１２１…第２板部、１２２…第２曲げ部、１２３…第２固定部、１２４…切欠き部、１４１…溝、１
５１…第１板部、１５２…第１ホルダ側板部、１５３…第１コイル保持部、１５４…一方側固定部、１５５…第１凹部、１５６…第２凹部、１５７…爪部、１５８…切欠き部、１５９…第１受け部、１６１…第２板部、１６２…第２ホルダ側板部、１６３…第２コイル保持部、１６４…他方側固定部、１６５…第１凹部、１６６…第２凹部、１６７…爪部、１６８…切欠き部、１６９…第２受け部、１７１…板部、１７３…コイル保持部、１７４…接続体固定部、８０１…第１対向部、８０２…第２対向部、８０３…接続部、８０４…連結板部、８０５…連結板部、８０６…第１接続体固定部、８０７…第２接続体固定部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】