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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024033148
(43)【公開日】2024-03-13
(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、および液体吐出装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240306BHJP
B41J 2/01 20060101ALI20240306BHJP
B41J 2/175 20060101ALI20240306BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 605
B41J2/14 603
B41J2/01 301
B41J2/175 501
【審査請求】未請求
【請求項の数】16
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022136573
(22)【出願日】2022-08-30
(71)【出願人】
【識別番号】000002369
【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100179475
【弁理士】
【氏名又は名称】仲井 智至
(74)【代理人】
【識別番号】100216253
【弁理士】
【氏名又は名称】松岡 宏紀
(74)【代理人】
【識別番号】100225901
【弁理士】
【氏名又は名称】今村 真之
(72)【発明者】
【氏名】塩沢 優
(72)【発明者】
【氏名】鷹合 仁司
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼部 本規
(72)【発明者】
【氏名】平井 栄樹
(72)【発明者】
【氏名】鐘ヶ江 貴公
【テーマコード（参考）】
2C056
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C056HA05
2C056KB35
2C057AF10
2C057AF40
2C057AG29
2C057AG44
2C057AG75
2C057BA04
(57)【要約】
【課題】液体吐出ヘッドにおいて、サイズアップを抑制しつつ振動吸収特性を向上可能な技術を提供する。
【解決手段】ノズルと、ノズルから液体を吐出するための圧力が付与される圧力室と、をそれぞれ有し、第１方向に配列された複数の個別流路と、複数の個別流路に共通に連通する共通流路と、圧力室の第１方向と交差する第２方向の一方側である第１側に設けられ、圧力室内の液体に圧力を付与してノズルから液体を吐出させる圧電素子と、を有する液体吐出ヘッドであって、共通流路のうちの複数の個別流路と接続する接続領域の第１側に面した位置には、第１コンプライアンスが設けられ、共通流路のうちの接続領域において第２方向の他方側であって第１側と反対の第２側に面した位置には、第１コンプライアンスと異なる第２コンプライアンスが設けられ、第２方向からみたとき、第１コンプライアンスと第２コンプライアンスは、一部が重なる重複部を有する。
【選択図】図３
【解決手段】ノズルと、ノズルから液体を吐出するための圧力が付与される圧力室と、をそれぞれ有し、第１方向に配列された複数の個別流路と、複数の個別流路に共通に連通する共通流路と、圧力室の第１方向と交差する第２方向の一方側である第１側に設けられ、圧力室内の液体に圧力を付与してノズルから液体を吐出させる圧電素子と、を有する液体吐出ヘッドであって、共通流路のうちの複数の個別流路と接続する接続領域の第１側に面した位置には、第１コンプライアンスが設けられ、共通流路のうちの接続領域において第２方向の他方側であって第１側と反対の第２側に面した位置には、第１コンプライアンスと異なる第２コンプライアンスが設けられ、第２方向からみたとき、第１コンプライアンスと第２コンプライアンスは、一部が重なる重複部を有する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ノズルと、前記ノズルから液体を吐出するための圧力が付与される圧力室と、をそれぞれ有し、第１方向に配列された複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に共通に連通する共通流路と、
前記圧力室の前記第１方向と交差する第２方向の一方側である第１側に設けられ、前記圧力室内の液体に圧力を付与して前記ノズルから液体を吐出させる圧電素子と、
を有する液体吐出ヘッドであって、
少なくとも前記共通流路のうちの前記複数の個別流路と接続する接続領域の前記第１側に面した位置には、第１コンプライアンスが設けられ、
少なくとも前記共通流路のうちの前記接続領域において前記第２方向の他方側であって前記第１側と反対の第２側に面した位置には、前記第１コンプライアンスと異なる第２コンプライアンスが設けられ、
前記第２方向からみたとき、前記第１コンプライアンスと前記第２コンプライアンスは、一部が重なる重複部を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
前記複数の個別流路に共通に連通する共通流路と、
前記圧力室の前記第１方向と交差する第２方向の一方側である第１側に設けられ、前記圧力室内の液体に圧力を付与して前記ノズルから液体を吐出させる圧電素子と、
を有する液体吐出ヘッドであって、
少なくとも前記共通流路のうちの前記複数の個別流路と接続する接続領域の前記第１側に面した位置には、第１コンプライアンスが設けられ、
少なくとも前記共通流路のうちの前記接続領域において前記第２方向の他方側であって前記第１側と反対の第２側に面した位置には、前記第１コンプライアンスと異なる第２コンプライアンスが設けられ、
前記第２方向からみたとき、前記第１コンプライアンスと前記第２コンプライアンスは、一部が重なる重複部を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項2】
前記第２コンプライアンスのコンプライアンス能力は、前記第１コンプライアンスのコンプライアンス能力よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項3】
前記第２コンプライアンスのヤング率は、前記第１コンプライアンスのヤング率よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項4】
前記第２コンプライアンスの前記第２方向の厚さは、前記第１コンプライアンスの前記第２方向の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項5】
前記第２コンプライアンスの幅であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向の幅は、前記第１コンプライアンスの前記第３方向の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項6】
前記第２コンプライアンスの前記第１方向の幅は、前記第１コンプライアンスの前記第１方向の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項7】
前記第１コンプライアンスは、前記第１方向に複数に分割されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項8】
前記第２コンプライアンスは、前記第１方向に複数に分割されていないことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項9】
前記圧力室と前記第１コンプライアンスとの前記第２方向に沿った距離は、前記圧力室と前記第２コンプライアンスの前記第２方向に沿った距離よりも短いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項10】
前記第２方向からみたとき、前記第１コンプライアンスは、前記第２コンプライアンスと重ならない第１非重複部を更に有し、
前記第２方向からみたとき、前記第２コンプライアンスは、前記第１コンプライアンスと重ならない第２非重複部を更に有することを特徴とする請求項１の記載の液体吐出ヘッド。
前記第２方向からみたとき、前記第２コンプライアンスは、前記第１コンプライアンスと重ならない第２非重複部を更に有することを特徴とする請求項１の記載の液体吐出ヘッド。
【請求項11】
前記第２方向からみたときの前記第１非重複部の面積は、前記第２方向からみたときの前記第２非重複部の面積よりも狭いことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項12】
前記共通流路は、
前記複数の個別流路に液体を供給する供給側共通流路と、
前記複数の個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を含み、
前記第１コンプライアンスおよび前記第２コンプライアンスは、前記供給側共通流路に設けられ、
少なくとも前記排出側共通流路のうちの前記複数の個別流路と接続する第２接続領域の前記第１側に面した位置には、第３コンプライアンスが設けられ、
少なくとも前記排出側共通流路のうちの前記第２接続領域の前記第２側に面した位置には、前記第３コンプライアンスと異なる第４コンプライアンスが設けられ、
前記第２方向からみたとき、前記第３コンプライアンスと前記第４コンプライアンスは、一部が重なる第２重複部を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記複数の個別流路に液体を供給する供給側共通流路と、
前記複数の個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を含み、
前記第１コンプライアンスおよび前記第２コンプライアンスは、前記供給側共通流路に設けられ、
少なくとも前記排出側共通流路のうちの前記複数の個別流路と接続する第２接続領域の前記第１側に面した位置には、第３コンプライアンスが設けられ、
少なくとも前記排出側共通流路のうちの前記第２接続領域の前記第２側に面した位置には、前記第３コンプライアンスと異なる第４コンプライアンスが設けられ、
前記第２方向からみたとき、前記第３コンプライアンスと前記第４コンプライアンスは、一部が重なる第２重複部を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項13】
前記第３コンプライアンスのコンプライアンス能力は、前記第１コンプライアンスのコンプライアンス能力よりも小さいことを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項14】
前記第４コンプライアンスのコンプライアンス能力は、前記第２コンプライアンスのコンプライアンス能力よりも小さいことを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項15】
前記第２重複部の幅であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向の幅は、前記重複部の前記第３方向の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項16】
請求項１～１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、
を有することを特徴とする液体吐出装置。
前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、
を有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
プリンター等の液体吐出装置に備えられる液体吐出ヘッドに関して、特許文献１には、コンプライアンス基板を有する液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドでは、コンプライアンス基板によって液体による圧力変動を吸収し、液体吐出ヘッドからの液体吐出の安定性を高めている。特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、圧力室へと繋がる共通流路の下部にコンプライアンス基板を設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１８－１５３９２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、コンプライアンス基板が圧力室から離間しているため、振動の吸収特性が十分に得られない虞があった。そこで、例えば、共通流路およびコンプライアンス基板の横方向の寸法を増大させて振動吸収特性を向上させる場合には、振動吸収特性を向上できたとしても液体吐出ヘッドのサイズアップを招いてしまうという問題がある。このため、液体吐出ヘッドにおいて、サイズアップを抑制しつつ振動吸収特性を向上可能な技術が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示は、以下の形態として実現することが可能である。
【0006】
本開示の第１の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、ノズルと、前記ノズルから液体を吐出するための圧力が付与される圧力室と、をそれぞれ有し、第１方向に配列された複数の個別流路と、前記複数の個別流路に共通に連通する共通流路と、前記圧力室の前記第１方向と交差する第２方向の一方側である第１側に設けられ、前記圧力室内の液体に圧力を付与して前記ノズルから液体を吐出させる圧電素子と、を有する液体吐出ヘッドであって、少なくとも前記共通流路のうちの前記複数の個別流路と接続する接続領域の前記第１側に面した位置には、第１コンプライアンスが設けられ、少なくとも前記共通流路のうちの前記接続領域において前記第２方向の他方側であって前記第１側と反対の第２側に面した位置には、前記第１コンプライアンスと異なる第２コンプライアンスが設けられ、前記第２方向からみたとき、前記第１コンプライアンスと前記第２コンプライアンスは、一部が重なる重複部を有する。
【0007】
本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の形態における液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本開示の第１実施形態における液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。
【図2】液体吐出装置を示すブロック図である。
【図3】液体吐出ヘッドの一部断面図である。
【図7】第１実施形態の液体吐出ヘッドにおいて、圧力吸収の効果を説明する図である。
【図8】本開示の第２実施形態における、液体吐出ヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
Ａ．第１実施形態：
Ａ１．液体吐出装置１の構成：
図１は、本開示の第１実施形態としての液体吐出装置１の概略構成を示す説明図である。本実施形態において、液体吐出装置１は、液体の一例としてのインクを印刷媒体である印刷用紙ＰＡ（以下、単に「用紙ＰＡ」という）に吐出して画像を形成するインクジェット式プリンターである。液体吐出装置１は、用紙ＰＡに代えて、樹脂フィルム、布帛等の任意の種類の媒体を、インクの吐出対象としてもよい。
Ａ１．液体吐出装置１の構成：
図１は、本開示の第１実施形態としての液体吐出装置１の概略構成を示す説明図である。本実施形態において、液体吐出装置１は、液体の一例としてのインクを印刷媒体である印刷用紙ＰＡ（以下、単に「用紙ＰＡ」という）に吐出して画像を形成するインクジェット式プリンターである。液体吐出装置１は、用紙ＰＡに代えて、樹脂フィルム、布帛等の任意の種類の媒体を、インクの吐出対象としてもよい。
【0010】
液体吐出装置１は、インクを吐出する液体吐出ヘッド１０、インクを貯留する液体容器２、液体吐出ヘッド１０を搭載するキャリッジ３、キャリッジ３を搬送するキャリッジ搬送機構４、用紙ＰＡを搬送する媒体搬送機構５、及び、制御部３０を備える。制御部３０は、液体の吐出を制御する制御部である。
【0011】
液体容器２の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器２に貯留されるインクの種類は任意である。液体吐出装置１は、例えば、４色のインクに対応して複数の液体容器２を備える。４色のインクとしては、例えば、シアン、マゼンダ、イエロー、及び、ブラックがある。液体容器２は、キャリッジ３に搭載されるものでもよい。
【0012】
液体吐出装置１は、インクを循環させる循環機構８を備える。循環機構８は、液体吐出ヘッド１０にインクを供給する供給流路８１と、液体吐出ヘッド１０から排出されたインクを回収する回収流路８２と、インクを移送するポンプ８３と、を含む。
【0013】
キャリッジ搬送機構４は、キャリッジ３を搬送するための搬送ベルト４ａ及びモーターを有する。媒体搬送機構５は、用紙ＰＡを搬送するための搬送ローラー５ａ及びモーターを有する。キャリッジ搬送機構４及び媒体搬送機構５は、制御部３０によって制御される。液体吐出装置１は、媒体搬送機構５によって用紙ＰＡを搬送させながら、キャリッジ搬送機構４によってキャリッジ３を搬送させて、用紙ＰＡにインク滴を吐出して印刷する。
【0014】
図２は、液体吐出装置１を示すブロック図である。液体吐出装置１は、図２に示すように、リニアエンコーダー６を備える。キャリッジ３の位置を検出可能な位置に設けられている。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の位置に関する情報を取得する。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の移動に伴って、制御部３０にエンコーダー信号を出力する。
【0015】
制御部３０は、１又は複数のＣＰＵ３１を含む。制御部３０は、ＣＰＵ３１の代わりに、又は、ＣＰＵ３１に加えて、ＦＰＧＡを備えるものでもよい。制御部３０は、記憶部３５を含む。記憶部３５は、例えばＲＯＭ３６及びＲＡＭ３７を備える。記憶部３５は、ＥＥＰＲＯＭ、又はＰＲＯＭを備えていてもよい。記憶部３５は、ホストコンピューターから供給される印刷データＩｍｇを記憶できる。記憶部３５は、液体吐出装置１の制御プログラムを記憶する。
【0016】
ＣＰＵは、Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔの略称である。ＦＰＧＡは、ｆｉｅｌｄ－ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ｇａｔｅ ａｒｒａｙの略称である。ＲＡＭは、Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＲＯＭは、Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＥＥＰＲＯＭは、Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｅｒａｓａｂｌｅ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｒｅａｄ－Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＰＲＯＭは、Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ＲＯＭの略称である。
【0017】
制御部３０は、液体吐出装置１の各部の動作を制御するための信号を生成する。制御部３０は、印刷信号ＳＩ及び波形指定信号ｄＣｏｍを生成できる。印刷信号ＳＩは、液体吐出ヘッド１０の動作の種類を指定するためのデジタル信号である。印刷信号ＳＩは、圧電素子２０に対して駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを指定できる。波形指定信号ｄＣｏｍは、駆動信号Ｃｏｍの波形を規定するデジタル信号である。駆動信号Ｃｏｍは、圧電素子２０を駆動するためのアナログ信号である。
【0018】
液体吐出装置１は、駆動信号生成回路３２を備える。駆動信号生成回路３２は、制御部３０と電気的に接続されている。駆動信号生成回路３２は、ＤＡ変換回路を含む。駆動信号生成回路３２は、波形指定信号ｄＣｏｍにより規定される波形を有する駆動信号Ｃｏｍを生成する。制御部３０は、リニアエンコーダー６からエンコーダー信号を受信すると、駆動信号生成回路３２に、タイミング信号ＰＴＳを出力する。タイミング信号ＰＴＳは、駆動信号Ｃｏｍの生成タイミングを規定する。駆動信号生成回路３２は、タイミング信号ＰＴＳを受信するごとに、駆動信号Ｃｏｍを出力する。
【0019】
駆動回路７は、制御部３０及び駆動信号生成回路３２と電気的に接続されている。駆動回路７は、印刷信号ＳＩに基づいて、駆動信号Ｃｏｍを圧電素子２０に供給するか否かを切り替える。駆動回路７は、制御部３０から供給される印刷信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴ、及び、チェンジ信号ＣＨに基づいて、駆動信号Ｃｏｍが供給される圧電素子２０を選択できる。ラッチ信号ＬＡＴは、印刷データＩｍｇのラッチタイミングを規定する。チェンジ信号ＣＨは、駆動信号Ｃｏｍに含まれる駆動パルスの選択タイミングを規定する。
【0020】
制御部３０は、液体吐出ヘッド１０によるインクの吐出動作を制御する。制御部３０は、圧電素子２０を駆動することにより、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させて、ノズルＮからインクを吐出する。圧電素子２０、圧力室Ｃ、ノズルＮ等の詳細構成については後述する。制御部３０は、印刷動作を行う際に、吐出動作を制御する。
【0021】
Ａ２．液体吐出ヘッド１０の構成：
次に、液体吐出ヘッド１０の構成について説明する。液体吐出ヘッド１０は、後述する供給側共通流路４１、個別流路４２、排出側共通流路４３へと液体を循環させる循環方式を採用する。図３は、液体吐出ヘッド１０の一部断面図である。以下の説明において、互いに交差する３方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向として説明する。
次に、液体吐出ヘッド１０の構成について説明する。液体吐出ヘッド１０は、後述する供給側共通流路４１、個別流路４２、排出側共通流路４３へと液体を循環させる循環方式を採用する。図３は、液体吐出ヘッド１０の一部断面図である。以下の説明において、互いに交差する３方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向として説明する。
【0022】
Ｘ軸方向は、図３における左右方向であり、互いに反対の方向であるＸ１方向（図３においては右方向）及びＸ２方向（図３においては左方向）を含む。Ｘ軸方向は、第３方向の一例である。Ｙ軸方向は、互いに反対の方向であるＹ１方向及びＹ２方向を含む。Ｙ１方向は、図３において、紙面奥行き方向である。Ｙ２方向は、図３において紙面手前方向である。Ｙ軸方向は、第１方向の一例である。Ｚ軸方向は、図３における上下方向であり、互いに反対の方向であるＺ１方向（図３においては下方向）及びＺ２方向（図３においては上方向）を含む。Ｚ軸方向は、第２方向の一例である。
【0023】
また、「Ｚ２側」が「第１側」の一例であり、「Ｚ１側」が「第２側」の一例に相当する。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、直交している。Ｚ軸方向は、通常上下方向に沿う方向であるが、Ｚ軸方向は、上下方向に沿う方向でなくてもよい。なお、以下の説明においては、Ｚ１方向を「上」、Ｚ２方向を「下」として説明する場合もある。
【0024】
本明細書では、「供給側」及び「排出側」との用語を用いる場合がある。「供給側」とは、液体の流路に関してノズルＮよりも上流側を示す。また、ノズルＮよりも上流側に関連するものを「供給側」という場合がある。また、ノズルＮよりも下流側に関連するものを「排出側」という場合がある。
【0025】
液体吐出ヘッド１０は、ノズル基板２１、連通板２２、圧力室基板２３、振動板２４、封止板２５、及び圧電素子２０を備える。また、液体吐出ヘッド１０は、ケース２６、及びＣＯＦ６０を備える。ＣＯＦは、Ｃｈｉｐ ｏｎ Ｆｉｌｍの略称である。さらに、液体吐出ヘッド１０は、供給側共通流路４１、複数の個別流路４２、排出側共通流路４３、複数の圧力室Ｃ、供給側吸収室４４、排出側吸収室４５、第１コンプライアンス５１、第２コンプライアンス５２、第３コンプライアンス５３、および第４コンプライアンス５４、を有する。なお、複数の個別流路４２および複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向に沿って配列されているため、図３では、それぞれ一つずつのみ表されている。本実施形態では、液体の一例であるインクを吐出する液体吐出ヘッド１０について説明する。液体は、インクに限定されず、液体吐出ヘッド１０は、その他の液体を吐出することができる。
【0026】
ノズル基板２１、連通板２２、圧力室基板２３、振動板２４、封止板２５、及びケース２６の厚さ方向は、Ｚ軸方向に沿う。ノズル基板２１は、液体吐出ヘッド１０の底部に配置される。ノズル基板２１のＺ２方向には、連通板２２が配置される。連通板２２のＺ２方向には、圧力室基板２３が配置される。言い換えると、連通板２２は、圧力室基板２３とノズル基板２１の間に設けられる。圧力室基板２３のＺ２方向には、振動板２４が設けられる。振動板２４は、例えばＳｉＯ２にて形成される。振動板２４は、圧力室基板２３と別の部材であり、圧力室基板２３に接着されることで配置されても良いし、圧力室基板２３のＺ２方向の表面に熱酸化等の処理が行われることで形成されても良い。
【0027】
振動板２４のＺ２方向には、封止板２５が配置される。封止板２５は、振動板２４、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３、圧電素子１５，１６，２０、及び圧力室基板２３を覆う。ケース２６は、封止板２５上に配置される。圧電素子２０は、圧力室Ｃに対応して設けられている。
【0028】
［流路の説明］
まず、液体吐出ヘッド１０内に形成される液体流路について説明する。液体流路は、図示しない供給口および排出口、供給側共通流路４１、複数の個別流路４２、および排出側共通流路４３を含む。供給側共通流路４１と各個別流路４２との境界Ｌａを、図３において破線で図示している。なお、供給側共通流路４１と各個別流路４２との境界には、図示しない周知の流路絞りが設けられている。
まず、液体吐出ヘッド１０内に形成される液体流路について説明する。液体流路は、図示しない供給口および排出口、供給側共通流路４１、複数の個別流路４２、および排出側共通流路４３を含む。供給側共通流路４１と各個別流路４２との境界Ｌａを、図３において破線で図示している。なお、供給側共通流路４１と各個別流路４２との境界には、図示しない周知の流路絞りが設けられている。
【0029】
供給側共通流路４１は、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。供給側共通流路４１は、複数の圧力室Ｃに亘ってＹ軸方向に連続する。供給側共通流路４１は、ケース２６に設けられた液室部６１、圧力室基板２３に設けられた液室部６２、及び連通板２２に設けられた液室部６３を含む。これらの液室部６１，６２，６３は、Ｚ軸方向に連続する。
【0030】
供給側吸収室４４は、圧力室ＣのＸ１方向に位置する。供給側吸収室４４は、圧力室Ｃの上流に連通する。供給側吸収室４４は、供給側共通流路４１の一部を構成する。
【0031】
複数の個別流路４２は、複数の圧力室Ｃに対してそれぞれ設けられており、Ｙ軸方向に配列されている。個別流路４２は、供給側共通流路４１の下流に配置される。個別流路４２は、圧力室基板２３に設けられた液室部６２の下流に連通する。個別流路４２は、圧力室Ｃと、第１連通流路６５と、第２連通流路６６と、第３連通流路６７と、を上流から順に有している。
【0032】
複数の圧力室Ｃには、第１連通流路６５および第２連通流路６６を介して複数のノズルＮがそれぞれ連通する。各ノズルＮは、各圧力室Ｃに対してＺ１方向に位置する。複数の第１連通流路６５は、Ｚ軸方向に延在する。複数の第２連通流路６６は、第１連通流路６５のＺ１方向の端部に接続し、Ｘ２方向に延在する。ノズルＮは、第２連通流路６６におけるＸ軸方向の略中央に位置する。複数の第３連通流路６７は、第２連通流路６６のＸ２方向の端部に接続し、Ｚ２方向に延在する。
【0033】
排出側共通流路４３は、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。排出側共通流路４３は、複数の個別流路４２に対して共通に連通する。排出側共通流路４３は、個別流路４２を介して、各圧力室Ｃと連通する。排出側共通流路４３は、各個別流路４２の下流に配置されている。
【0034】
排出側共通流路４３は、Ｙ軸方向に連続する。排出側共通流路４３は、ケース２６に設けられた液室部７１、圧力室基板２３に設けられた液室部７２、及び連通板２２に設けられた液室部７３を含む。これらの液室部７１，７２，７３は、Ｚ軸方向に連続する。なお、液室部６１，７１は、ケース２６に設けられた貫通孔により形成されている。
【0035】
［各基板の説明］
図４～図６は、液体吐出ヘッドの断面図であって、図４は、図３におけるＩＶ－ＩＶ線断面図であり、図５は、図３におけるＶ－Ｖ線断面図であり、図６は、図３におけるＶＩ－ＶＩ線断面図である。以下、図３～図６を適宜参照して、液体吐出ヘッド１０を構成する各基板の構造について説明する。図３に示すように、ノズル基板２１には、ノズル基板２１をＺ方向に貫通するノズルＮが形成されている。上述したように、液体吐出ヘッド１０は、このノズルＮを介して液体を吐出する。ノズル基板２１には、複数のノズルＮがＹ軸方向に沿って複数配列されることによって、ノズル列が形成されている。ノズル基板２１は、例えば、ステンレス鋼等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等により形成される。
図４～図６は、液体吐出ヘッドの断面図であって、図４は、図３におけるＩＶ－ＩＶ線断面図であり、図５は、図３におけるＶ－Ｖ線断面図であり、図６は、図３におけるＶＩ－ＶＩ線断面図である。以下、図３～図６を適宜参照して、液体吐出ヘッド１０を構成する各基板の構造について説明する。図３に示すように、ノズル基板２１には、ノズル基板２１をＺ方向に貫通するノズルＮが形成されている。上述したように、液体吐出ヘッド１０は、このノズルＮを介して液体を吐出する。ノズル基板２１には、複数のノズルＮがＹ軸方向に沿って複数配列されることによって、ノズル列が形成されている。ノズル基板２１は、例えば、ステンレス鋼等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等により形成される。
【0036】
図３、図５に示すように、圧力室基板２３には、供給側液室部６２と、供給側吸収室４４と、圧力室Ｃと、排出側吸収室４５と、排出側液室部７２と、が形成されている。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、ともに、液体の流路の一部を構成する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、Ｘ軸方向に延在する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、圧力室基板２３をＺ軸方向に貫通する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、所定の容積を有する。
【0037】
複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向において、供給側吸収室４４および排出側吸収室４５と同じ位置に配置されている。Ｙ軸方向において対応する圧力室Ｃと供給側吸収室４４とは、隣接しており、Ｘ軸方向に連通している。供給側液室部６２は、ケース２６に設けられた液室部６１と、連通板２２に設けられた液室部６３とともに、供給側共通流路４１を形成している。
【0038】
本実施形態の圧力室基板２３は、シリコン単結晶基板により形成されている。他の実施形態では、圧力室基板２３は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）やニッケル（Ｎｉ）などの金属、ジルコニア（ＺｒＯ２）あるいはアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を代表とするセラミック材料 、ガラスセラミック材料、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミン酸（ＬａＡｌＯ３）のような酸化物等によって形成されてもよい。本実施形態では、圧力室Ｃおよび吸収室４４，４５は、例えば、圧力室基板２３を異方性エッチングによって加工することで形成される。なお、圧力室Ｃおよび吸収室４４，４５の機能の詳細については後述する。
【0039】
連通板２２は、ノズル基板２１と圧力室基板２３との間に配置され、接着剤等によってノズル基板２１上に固定されている。連通板２２は、例えば、シリコン単結晶基板によって形成される。図３、図６に示すように、連通板２２には、供給側液室部６３と、排出側液室部７３と、第１連通流路６５と、第２連通流路６６と、第３連通流路６７と、が形成されている。各液室部６３，７３、第１連通流路６５、および第３連通流路６７は、連通板２２をＺ方向に貫通して形成されている。また、第２連通流路６６は、連通板２２をＺ方向に貫通することなく、連通板２２の下面が窪んだ部分として形成されている。液室部７３は、ケース２６に形成された液室部７１、圧力室基板２３に形成された液室部７２とともに、排出側共通流路４３を形成している。
【0040】
図３に示すように、封止板２５は、Ｚ１方向の下面に凹部が設けられた部材である。凹部は、圧力室Ｃおよび各吸収室４４，４５のＺ２側において、圧力室Ｃおよび各吸収室４４，４５に対向する位置に開口している。具体的には、本実施形態の封止板２５には、凹部として、第１凹部７５と、第２凹部７６と、第３凹部７７と、が設けられている。
【0041】
第１凹部７５は、圧力室Ｃと対向する位置に開口している。第２凹部７６は、供給側吸収室４４と対向する位置に開口している。第３凹部７７は、排出側吸収室４５と対向する位置に開口している。各凹部７５，７６，７７の間は、封止板２５の一部として形成された壁部によって隔てられている。なお、本実施形態において、各凹部７５，７６，７７の開口の深さは等しい。すなわち、各凹部７５，７６，７７のＺ方向の寸法は等しい。
【0042】
また、各凹部７５，７６，７７は、液体の流路と連通しておらず、凹部７５，７６，７７には液体が流通しない。各凹部７５，７６，７７のＸ軸方向の幅は、大きい順に第１凹部７５、第２凹部７６、第３凹部７７となっている。図３、図４に示すように、第１凹部７５、第２凹部７６および第３凹部７７は、液体吐出ヘッド１０のＹ軸方向の幅に亘って延在する。第２凹部７６および第３凹部７７のＹ軸方向の幅は同じである。封止板２５のＸ軸方向の中央部よりもＸ２方向寄りの位置には、封止板２５をＺ軸方向に貫通する貫通孔７８が設けられている。貫通孔７８には、上記ＣＯＦ６０が挿入されている。
【0043】
振動板２４は、圧力室基板２３上に積層されている。圧電素子１５，１６，２０は、振動板２４上に積層されている。複数の圧電素子２０は、第１凹部７５内に位置する。圧電素子１５は、第２凹部７６内に位置する。圧電素子１６は、第３凹部７７内に位置する。第１凹部７５に位置する圧力室Ｃに対応する圧電素子２０は、例えば、図示しない第１電極と、圧電体と、第２電極と、がＺ１方向へ積層されて構成されるアクチュエーターである。なお、図３において、第１電極または第２電極と、ＣＯＦ６０とを電気的に接続する配線部の図示は省略している。本実施形態では、第２凹部７６および第３凹部７７内に位置する圧電素子１５，１６についても、第１凹部７５内に位置するアクチュエーターと同様の構成である。
【0044】
［コンプライアンスの説明］
次に、第１コンプライアンス５１～第４コンプライアンス５４の構成について説明する。第１コンプライアンス５１は、供給側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第１コンプライアンス５１は、少なくとも供給側共通流路４１のうちの複数の個別流路４２と接続する接続領域Ａ１のＺ２側に面した位置に配置される。
次に、第１コンプライアンス５１～第４コンプライアンス５４の構成について説明する。第１コンプライアンス５１は、供給側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第１コンプライアンス５１は、少なくとも供給側共通流路４１のうちの複数の個別流路４２と接続する接続領域Ａ１のＺ２側に面した位置に配置される。
【0045】
ここでの「接続領域Ａ１」とは、供給側共通流路４１と各個別流路４２とを接続する部位の周辺であって、供給側共通流路４１内の領域を指す。「接続領域Ａ１」は、例えば、図３において二点鎖線で囲んで示すように、供給側共通流路４１と個別流路４２との境界Ｌａよりも上流側であって、ケース２６に形成される液室部６１よりも下流であって、液室部６１に対してＺ１方向側かつＸ２方向側の部分である。図３では、接続領域Ａ１のＸ１側の端を第１コンプライアンス５１の中央付近に設定しているが、上記条件を満たしていれば、よりＸ１側、或いはよりＸ２側に設定しても良い。後述する接続領域Ａ２についても同様である。
【0046】
第１コンプライアンス５１は、振動板２４と、圧電素子１５と、を備える。図４に示すように、第１コンプライアンス５１は、排出側共通流路４３のＹ軸方向の幅に亘ってＹ軸方向に連続する。振動板２４上に、Ｙ軸方向の幅に亘ってＹ軸方向に連続する圧電素子１５が形成されている。第１コンプライアンス５１のＸ軸方向の幅Ｗ１は、圧電素子１５のＸ軸方向における幅に相当する。振動板２４は、液体の圧力を受けて変形可能である。振動板２４は、液体の圧力によって変形し、供給側吸収室４４内の液体の圧力変動を吸収できる。圧電素子１５は、Ｚ軸方向に見て供給側吸収室４４に重なる位置に配置される。
【0047】
第２コンプライアンス５２は、供給側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第２コンプライアンス５２は、連通板２２のＺ１方向に設けられる。すなわち、第２コンプライアンス５２は、少なくとも供給側共通流路４１のうちの接続領域Ａ１のＺ１側に面した位置に配置される。第２コンプライアンス５２は、供給側共通流路４１内の液体の圧力変動を吸収する可撓性フィルムである。図３に示すように、第２コンプライアンス５２は、連通板２２の液室部６３のＺ１方向側の開口部を閉塞するように、連通板２２の下面に設置されて、供給側共通流路４１の壁面（具体的には底面）を構成する。
【0048】
ここで、圧力室ＣのＺ方向における中心位置を通り、Ｘ軸とＹ軸とを含むＸＹ平面上にある線Ｌ１を、圧力室Ｃの基準位置とする。圧力室Ｃと第１コンプライアンス５１とのＺ軸方向の距離Ｄ１は、圧力室Ｃと第２コンプライアンス５２とのＺ軸方向の距離Ｄ２よりも短い。距離Ｄ１は、圧力室Ｃの基準位置から振動板２４の底面までの距離であり、「圧力室Ｃと第１コンプライアンス５１との第２方向に沿った距離」の一例に相当する。距離Ｄ２は、圧力室Ｃの基準位置から第２コンプライアンス５２の上面までの距離であり、「圧力室Ｃと第２コンプライアンス５２の第２方向に沿った距離」の一例に相当する。なお、圧力室Ｃから第１コンプライアンス５１までの流路長は、圧力室Ｃから第２コンプライアンス５２までの流路長より短い。
【0049】
第２コンプライアンス５２のＺ軸方向の厚さは、第１コンプライアンス５１のＺ軸方向の厚さより薄い。第２コンプライアンス５２のＸ軸方向の幅Ｗ２（図６参照）は、第１コンプライアンス５１のＸ軸方向の幅Ｗ１（図４参照）よりも大きい。第１コンプライアンス５１のＹ軸方向の幅と、第２コンプライアンス５２のＹ軸方向の幅とは略同じである。
【0050】
また、第２コンプライアンス５２のヤング率は、第１コンプライアンス５１のヤング率よりも小さい。ここで、第１コンプライアンス５１のヤング率は、第１コンプライアンス５１を一つの積層膜と捉えて算出できる。具体的には、積層膜におけるヤング率に重み係数を乗じることにより重み付けを行い、重み付けされた各積層膜の平均値を取ることにより算出できる。重み係数は、例えば膜の厚みに相当する定数である。
【0051】
Ｚ軸方向から見たとき、第１コンプライアンス５１と、第２コンプライアンス５２は、一部が重なる重複部１１を有する。Ｚ軸方向から見たとき、第１コンプライアンス５１は、第２コンプライアンス５２とは重ならない第１非重複部１２を有する。Ｚ軸方向から見たとき、第２コンプライアンス５２は、第１コンプライアンス５１とは重ならない第２非重複部１３を有する。Ｚ軸方向から見たときの第１非重複部１２の面積は、Ｚ軸方向から見たときの第２非重複部１３の面積よりも狭い。
【0052】
上述のような第１コンプライアンス５１および第２コンプライアンス５２の物性や寸法等により、第２コンプライアンス５２のコンプライアンス能力は、第１コンプライアンス５１のコンプライアンス能力よりも大きい。コンプライアンス能力は、コンプライアンス量と同じ意味であり、以下の式（１）を用いて表現できる。
【数1】
【0053】
式（１）中、「ν」は、振動板２４のポアソン比である。「ν」は、コンプライアンスを構成する材料の物性値である。「Ｅ」は、ヤング率である。「Ｅ」は、コンプライアンスを構成する材料の物性値である。
【0054】
「ｗ」は、コンプライアンスが覆うＸ軸に沿う開口の長さである。「ｌ」は、コンプライアンスが覆うＹ軸に沿う開口の長さである。「ｔ」は、コンプライアンスの厚さである。なおここではｗ＜ｌであるため上記の条件となるが、ｗ＞ｌの場合は「ｗ」はＹ軸に沿う長さ、「ｌ」はＸ軸に沿う長さとなる。
【0055】
第３コンプライアンス５３は、排出側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第３コンプライアンス５３は、少なくとも排出側共通流路４３のうちの複数の個別流路４２と接続する第２接続領域Ａ２のＺ２側に面した位置に配置される。ここでの「第２接続領域Ａ２」とは、排出側共通流路４３と個別流路４２とを接続する部位の周辺であって、排出側共通流路４３内の領域を指す。「第２接続領域Ａ２」は、例えば、図３において二点鎖線で囲んで示すように、排出側共通流路４３と個別流路４２との境界線Ｌｂよりも下流側かつ、ケース２６に形成される液室部７１よりも上流側であって、液室部７１のＸ１方向側かつＺ１方向側の部分である。
【0056】
第３コンプライアンス５３の構成は、第１コンプライアンス５１と略同様であり、振動板２４と、圧電素子１６と、を備える。第３コンプライアンス５３を構成する振動板２４は、Ｙ軸方向に連続する。第３コンプライアンス５３のＸ軸方向の幅は、複数の圧電素子１６のＸ軸方向における幅に相当する。振動板２４は、液体の圧力を受けて変形可能である。振動板２４は、液体の圧力によって変形し、排出側吸収室４５内の液体の圧力変動を吸収できる。
【0057】
振動板２４上には、Ｙ軸方向の幅に亘ってＹ軸方向に連続する圧電素子１６が形成されている。圧電素子１６は、Ｚ軸方向に見て複数の排出側吸収室４５に重なる位置に対応して配置される。
【0058】
第４コンプライアンス５４は、排出側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第４コンプライアンス５４は、連通板２２のＺ１方向に設けられる。すなわち、第４コンプライアンス５４は、少なくとも排出側共通流路４３のうちの第２接続領域Ａ２のＺ１側に面した位置に配置される。第４コンプライアンス５４は、排出側共通流路４３内の液体の圧力変動を吸収する可撓性フィルムである。第４コンプライアンス５４は、連通板２２の液室部７３のＺ１方向側の開口部を閉塞するように、連通板２２の下面に設置されて、排出側共通流路４３の壁面（具体的には底面）を構成する。
【0059】
ここで、圧力室Ｃと第３コンプライアンス５３とのＺ軸方向の距離は、圧力室Ｃと第１コンプライアンス５１とのＺ軸方向の距離Ｄ１と同じである。また、圧力室Ｃと第４コンプライアンス５４とのＺ軸方向の距離は、圧力室Ｃと第２コンプライアンス５２とのＺ軸方向の距離Ｄ２と同じである。すなわち、圧力室Ｃと第３コンプライアンス５３とのＺ軸方向の距離Ｄ１は、圧力室Ｃと第４コンプライアンス５４とのＺ軸方向の距離Ｄ２よりも短い。
【0060】
第４コンプライアンス５４のＺ軸方向の厚さは、第３コンプライアンス５３のＺ軸方向の厚さより薄い。第４コンプライアンス５４のＸ軸方向の幅は、第３コンプライアンス５３のＸ軸方向の幅よりも大きい。第３コンプライアンス５３のＹ軸方向の幅と、第４コンプライアンス５４のＹ軸方向の幅とは略同じである。
【0061】
また、第４コンプライアンス５４のヤング率は、第３コンプライアンス５３のヤング率よりも小さい。ここで、第３コンプライアンス５３のヤング率は、第１コンプライアンス５１と同様に、第３コンプライアンス５３を一つの積層膜と捉えて算出できる。
【0062】
Ｚ軸方向から見たとき、第３コンプライアンス５３と、第４コンプライアンス５４は、一部が重なる第２重複部１４を有する。第２重複部１４のＸ軸方向の幅Ｗ４は、重複部１１のＸ軸方向の幅Ｗ３よりも小さい。第２重複部１４の面積は、重複部１１の面積より小さい。
【0063】
Ｚ軸方向から見たとき、第４コンプライアンス５４は、排出側共通流路４３におけるＸ２方向側に、第３コンプライアンス５３とは重ならない非重複部を有する。また、第４コンプライアンス５４のコンプライアンス能力は、第３コンプライアンス５３のコンプライアンス能力よりも大きい。第３コンプライアンス５３のコンプライアンス能力は、第１コンプライアンス５１のコンプライアンス能力より小さい。さらに、第２コンプライアンス５２のコンプライアンス能力は、第４コンプライアンス５４のコンプライアンス能力よりも大きい。
【0064】
なお、上記各コンプライアンス５１～５４を形成する材料や、コンプライアンス５１～５４の厚み等を調整することによって、圧力室Ｃから伝搬した液体の振動を吸収するのに適した可撓性を有するように、コンプライアンス５１～５４を形成することが好ましい。また、液体の振動を効果的に吸収するため、本実施形態の第１、第３コンプライアンス５３のように、コンプライアンスが圧電素子１５，１６を構成する部材を含む場合、コンプライアンスは、圧電体に電圧が負荷された際に圧電歪みを生じないように構成されていると好ましい。すなわち、第２凹部７６及び第３凹部７７内に位置する圧電素子１５，１６は、第１凹部７５内の圧電素子２０とは異なり圧力室内の液体に圧力を付与するものではないため、制御部３０とは電気的に接続されていないことが好ましい。
【0065】
［動作説明・液体の流れ］
液体容器２内の液体は、ポンプ８３によって移送され、供給流路８１内を流れて、図示しない供給口を通り、供給側共通流路４１に流入する。供給側共通流路４１内の液体は、供給側吸収室４４を通り、個別流路４２の一部を構成する圧力室Ｃに供給される。圧力室Ｃ内の液体の一部は、ノズルＮから吐出される。
液体容器２内の液体は、ポンプ８３によって移送され、供給流路８１内を流れて、図示しない供給口を通り、供給側共通流路４１に流入する。供給側共通流路４１内の液体は、供給側吸収室４４を通り、個別流路４２の一部を構成する圧力室Ｃに供給される。圧力室Ｃ内の液体の一部は、ノズルＮから吐出される。
【0066】
ノズルＮから吐出されなかった液体は、第２連通流路６６および第３連通流路６７、個別流路４２の一部を構成する排出側吸収室４５を通り、排出側共通流路４３に流入する。排出側共通流路４３内の液体は、図示しない排出口を通じて、回収流路８２内に流入し、液体容器２に回収される。液体吐出ヘッド１０では、このように液体が循環される。
【0067】
上述した圧力室Ｃは、振動板２４の振動によって、圧力室Ｃ内の液体に圧力を付与する。振動板２４は、圧電素子２０の駆動によって振動する。具体的には、圧電体に電圧が印加されることによって、圧電体のうち第１電極と第２電極とによってＺ方向に挟まれた部分である能動部に、圧電歪みが生じる。圧電素子２０は、この圧電歪みによって、振動板２４を撓むように振動させて圧力室の容積を変化させることで、圧力室Ｃ内の液体に圧力を付与する。なお、圧電体のうち、第１電極と第２電極とによってＺ方向に挟まれない部分である非能動部では、圧電体に電圧が印加された場合であっても、上記の圧電歪みは生じない。
【0068】
液体吐出ヘッド１０は、上述したように、圧力室Ｃにおいて液体に圧力を付与することによって、ノズルＮから液体を吐出する。ここで、圧力室Ｃにおいて液体に圧力が付与された場合、圧力室Ｃ内の液体の一部は、圧力室Ｃよりも上流に位置する、複数の圧力室Ｃに共通の液室等に流れ、圧力室Ｃから液室等へと液体の振動が伝搬する。ここで、複数の圧力室Ｃにおいて液体に圧力が付与された場合、ある圧力室Ｃから液室等へと流れる液体は、例えば、他の圧力室Ｃから液室等へと流れる液体によって流通を阻害される等の影響を受ける。そのため、ある圧力室Ｃからの液体の振動の伝搬の態様が、他の圧力室Ｃからの液体の振動の伝搬の影響によって変化し、ある圧力室Ｃを介してノズルＮから吐出される液体の品質の安定性が低下する場合がある。
【0069】
上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０および液体吐出装置１によれば、以下の効果を奏することができる。
【0070】
上述した供給側吸収室４４は、圧力室Ｃから伝搬した液体の振動を吸収する。具体的には、供給側吸収室４４のＺ２方向側に設けられた第１コンプライアンス５１および供給側吸収室４４のＺ１方向側に設けられた第２コンプライアンス５２が、圧力室Ｃから吸収室４４に伝搬した液体の振動に応じて撓むことによって、液体の振動を吸収する。図３に示すように、圧力室Ｃと供給側吸収室４４とは、Ｚ軸方向において同じ位置に、Ｘ軸方向において互いに隣接して設けられている。この隣接した位置に、すなわちより近い位置に設けられた第１コンプライアンス５１により、圧力室Ｃから伝搬した液体の振動を効果的に吸収することができる。
【0071】
また、第２コンプライアンス５２のコンプライアンス能力は、第１コンプライアンス５１のコンプライアンス能力より高い。このため、第１コンプライアンス５１と比較して圧力室Ｃからの距離が遠い第２コンプライアンス５２においても、液体の振動を効果的に吸収することができる。
【0072】
なお、振動が伝わりやすい位置にある圧力室Ｃの圧電素子２０に近い方が、振動が伝わりやすいため、吐出の振動吸収だけを考えれば、本来第１コンプライアンス５１のコンプライアンス能力を大きくしておく方が好ましい。しかし、コンプライアンス能力が高いということは、振動吸収のためにコンプライアンス自身がよく振動する（この振動を「追従振動」という）ということである。
【0073】
このため、あるタイミングでの吐出に由来する振動を吸収するために第１コンプライアンス５１が追従振動している間に、次のタイミングで吐出が行われてしまい、その吐出に対して追従振動が影響を及ぼし、吐出特性に好ましくない影響を与える虞がある。ゆえに、上記第１実施形態では、敢えて第１コンプライアンス５１は第２コンプライアンス５２よりもコンプライアンス能力を落とし、相対的に圧電素子２０から離れており追従振動が生じにくい第２コンプライアンス５２を追加することで、吐出の振動吸収と連続吐出時の特性低下抑制の両方を達成させることができる。
【0074】
図７は、上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０において、圧力吸収の効果を説明する図である。図７において、第１実施形態を実線で示し、比較形態を破線で示している。図７は、圧力吸収を等価回路モデルとして考え、供給側共通流路４１と個別流路４２との境界に設けられる流路絞り直後における圧力を計算したものである。比較形態は、供給側共通流路４１の底面のみにコンプライアンスが設けられる形態である。図５に示すように、上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０では、比較形態と比較して、全体的に圧力値が小さく、圧力吸収の効果がより向上していることが確認できる。
【0075】
さらに、上記第１実施形態では、重複部１１および第２重複部１４が設けられている。例えば、重複部１１および第２重複部１４が設けられておらず、上下のコンプライアンスがＺ軸方向から見たときに重ならない位置に配置されていると、Ｘ軸方向（横方向）のサイズが大きくなる。この点、上記第１実施形態では、上下のコンプライアンスの少なくとも一部がＺ軸方向から見たときに重なるように配置されているため、Ｘ軸方向（横方向）のサイズが大きくなることを抑制できる。すなわち、上記第１実施形態では、サイズアップ抑制と振動吸収双方の観点において優れた液体吐出ヘッド１０とすることができる。
【0076】
更に、重複部１１、重複部１４が設けられていることで、振動の吸収を好適に抑えることができる。例えば、接続領域Ａ１において第１コンプライアンス５１が設けられているものの、第２コンプライアンス５２が設けられていない場合、第１コンプライアンス５１と対向するＺ１側では撓みは生じないため、例えＺ２側で第１コンプライアンス５１が撓むことにより圧力を多少吸収することができたとしても、Ｚ１側ではその作用を得られず、接続領域Ａ１全体でみると十分に振動を吸収することができない虞があった。第１実施形態のように、接続領域Ａ１のＺ１側、Ｚ２側の両方にコンプライアンスを配置することで、好適に振動を吸収することが可能となる。
【0077】
すなわち、上記第１実施形態では、サイズアップ抑制と振動吸収双方の観点において優れた液体吐出ヘッド１０とすることができる。
【0078】
上記第１実施形態では、第２重複部１４のＸ軸方向の幅Ｗ４は、重複部１１のＸ軸方向の幅Ｗ３よりも小さい。重複部１１では、上下で減衰しあうのでその減衰効果はコンプライアンスが上下のうち片方だけしかないときよりも強い。このため、供給側については、排出側よりも重複部１１を大きくしておくことで、さらに減衰効果を高めることができる。
【0079】
排出側については、ノズルＮから吐出された後の比較的圧力の小さい液体が流通する部位であり、供給側ほどの減衰効果を求める必要性がない。むしろ、不要にコンプライアンスを大きくすることは無駄に流路壁面を振動させることに繋がり、かえって流路内の液体の流れを不要に阻害することになり好ましくない。第２重複部１４のＸ軸方向の幅Ｗ４を、重複部１１のＸ軸方向の幅Ｗ３よりも小さくしておくことで、上記問題を解消し好適な構成とできる。また、第３コンプライアンス５３のコンプライアンス能力を、第１コンプライアンス５１のコンプライアンス能力より小さくすることで、同様に、不要にサイズアップしてしまうことを抑制できる。
【0080】
上記第１実施形態では、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３を、例えば、フォトレジストによるマスキングを利用したエッチング等の既知の方法を用いて作成することができる。例えば、第１凹部７５内の圧電素子２０を含むアクチュエーターを構成する各部材を形成する際に、アクチュエーターを構成する各部材を形成するのと同様の方法を用いて、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３を構成する各部材を形成できる。アクチュエーターを構成する部材を用いて第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３を簡易に製造できる。また、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３を構成する部材とアクチュエーターを構成する部材とを、同様の製造方法によって製造することによって、液体吐出ヘッド１０の製造工程をより簡略化できる。
【0081】
Ｂ．第２実施形態：
次に、本開示の第２実施形態について、図８を参照して説明する。なお、上記第１実施形態と実質的に同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。第２実施形態の液体吐出ヘッド１０は、上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０に対して、第１コンプライアンス５１が、Ｙ軸方向において複数（本実施形態では２つ）に分割されている点が異なっている。
次に、本開示の第２実施形態について、図８を参照して説明する。なお、上記第１実施形態と実質的に同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。第２実施形態の液体吐出ヘッド１０は、上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０に対して、第１コンプライアンス５１が、Ｙ軸方向において複数（本実施形態では２つ）に分割されている点が異なっている。
【0082】
図８は、第２実施形態において、液体吐出ヘッド１０の圧力室Ｃおよび供給側の部位を模式的に示す平面図である。図８に示すように、第１コンプライアンス５１は、上記第１実施形態のように供給側共通流路４１のＹ軸方向の幅に亘って全面をカバーする１枚の振動板２４によって単一に構成されるのでなく、Ｙ軸方向に２つに分割された振動板により、２つの分割コンプライアンス５５，５６を有して構成されている。
【0083】
この構成によれば、上記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。さらに、振動板２４が１枚の連続した部材として構成されている場合と比較して、振動板２４を圧力室基板２３に接着させやすいため、この部位での接着性や保持力を向上させることができたり、サイズを小さくすることで振動板２４の撓みを小さくし振動板２４の破損をしにくくしたりすることができる。
【0084】
なお、第２コンプライアンス５２および第４コンプライアンス５４は、圧電素子２０から離れているため振動を受けにくく、接着性や保持力はそこまで必要ではない。むしろ、第２コンプライアンス５２および第４コンプライアンス５４では、上記したようにコンプライアンス能力を大きくしたいため、分割されない状態で配置されるのが好ましい。また、第２コンプライアンス５２および第４コンプライアンス５４は、破損しにくい材料で形成されているので、破損しにくくするために分割する必要が然程なく、それよりも分割せずにコンプライアンス能力を大きくした方が好ましい。
【0085】
Ｃ．他の形態：
（Ｃ１）上記各実施形態の液体吐出装置１では、液体吐出ヘッド１０に流入した液体が循環する循環ヘッドとしたが、液体が循環しない非循環ヘッドであってもよい。非循環ヘッドの場合、排出側共通流路４３を備えないため、第３コンプライアンス５３と第４コンプライアンス５４は備えず、供給側共通流路４１に第１コンプライアンス５１と第２コンプライアンス５２とを備える構成として実施できる。
（Ｃ１）上記各実施形態の液体吐出装置１では、液体吐出ヘッド１０に流入した液体が循環する循環ヘッドとしたが、液体が循環しない非循環ヘッドであってもよい。非循環ヘッドの場合、排出側共通流路４３を備えないため、第３コンプライアンス５３と第４コンプライアンス５４は備えず、供給側共通流路４１に第１コンプライアンス５１と第２コンプライアンス５２とを備える構成として実施できる。
【0086】
（Ｃ２）上記各実施形態の液体吐出装置１では、供給側および外出側にコンプライアンス５１～５４を設ける構成としたが、供給側と排出側のうちいずれか一方にのみ、Ｚ方向に対向するコンプライアンスを設けてもよい。
【0087】
（Ｃ３）上記各実施形態の液体吐出装置１では、第４コンプライアンス５４のコンプライアンス能力は、第３コンプライアンス５３のコンプライアンス能力よりも大きいとしたが、必ずしも上記関係でなくてもよい。また、第２コンプライアンス５２のコンプライアンス能力の方が、第４コンプライアンス５４のコンプライアンス能力よりも小さくてもよい。また、第１コンプライアンス５１のコンプライアンス能力の方が。第２コンプライアンス５２のコンプライアンス能力よりも大きくてもよい。
【0088】
（Ｃ４）上記各実施形態の液体吐出装置１において、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３は、振動板２４と、第１電極と、圧電体、第２電極を有するものとしたが、振動板２４のみで構成してもよいし、第１電極および第２電極の一方を有していなくてもよい。また、第２コンプライアンス５２および第４コンプライアンス５４と同様に樹脂フィルムで構成してもよい。
【0089】
（Ｃ５）上記第１実施形態の液体吐出装置１において、第１コンプライアンス５１のＹ軸方向の幅と、第２コンプライアンス５２のＹ軸方向の幅とは略同じであるとしたが、第２コンプライアンス５２のＹ軸方向の幅は、第１コンプライアンス５１のＹ軸方向の幅よりも長くてもよい。
【0090】
（Ｃ６）上記各実施形態の液体吐出装置１において、第１非重複部１２および第２非重複部１３はなくてもよい。すなわち、Ｚ軸方向に見たとき、第１コンプライアンス５１と第２コンプライアンス５２とが完全に重複していてもよい。同様に、Ｚ軸方向に見たとき、第２コンプライアンス５２と第４コンプライアンス５４とが完全に重複していてもよい。
【0091】
（Ｃ７）上記各実施形態の液体吐出装置１において、第２重複部１４のＸ軸方向の幅Ｗ２は、重複部１１のＸ軸方向の幅Ｗ１よりも小さいものとしたが、第２重複部１４のＸ軸方向の幅Ｗ２は、重複部１１のＸ軸方向の幅Ｗ１以上であってもよい。
【0092】
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【0093】
（１）本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、ノズルと、前記ノズルから液体を吐出するための圧力が付与される圧力室と、をそれぞれ有し、第１方向に配列された複数の個別流路と、前記複数の個別流路に共通に連通する共通流路と、前記圧力室の前記第１方向と交差する第２方向の一方側である第１側に設けられ、前記圧力室内の液体に圧力を付与して前記ノズルから液体を吐出させる圧電素子と、を有する液体吐出ヘッドであって、少なくとも前記共通流路のうちの前記複数の個別流路と接続する接続領域の前記第１側に面した位置には、第１コンプライアンスが設けられ、少なくとも前記共通流路のうちの前記接続領域において前記第２方向の他方側であって前記第１側と反対の第２側に面した位置には、前記第１コンプライアンスと異なる第２コンプライアンスが設けられ、前記第２方向からみたとき、前記第１コンプライアンスと前記第２コンプライアンスは、一部が重なる重複部を有することを特徴とする。
この形態によれば、共通流路のうちの複数の個別流路と接続する接続領域において、第１コンプライアンスと第２コンプライアンスとが、第２方向から見たときその一部が重なるように設けられる。このため、十分な振動吸収が可能になるとともに、液体吐出ヘッドのサイズアップを抑制できる。
この形態によれば、共通流路のうちの複数の個別流路と接続する接続領域において、第１コンプライアンスと第２コンプライアンスとが、第２方向から見たときその一部が重なるように設けられる。このため、十分な振動吸収が可能になるとともに、液体吐出ヘッドのサイズアップを抑制できる。
【0094】
（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２コンプライアンスのコンプライアンス能力は、前記第１コンプライアンスのコンプライアンス能力よりも大きくてもよい。この形態によれば、第２コンプライアンスのコンプライアンス能力は、第１コンプライアンスのコンプライアンス能力より大きいため、第２コンプライアンスにおいて、液体の振動を効果的に吸収することができる。
【0095】
（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２コンプライアンスのヤング率は、前記第１コンプライアンスのヤング率よりも小さくてもよい。この形態によれば、第２コンプライアンスのコンプライアンス能力を、第１コンプライアンスのコンプライアンス能力より大きくできる。
【0096】
（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２コンプライアンスの前記第２方向の厚さは、前記第１コンプライアンスの前記第２方向の厚さよりも薄くてもよい。この形態によれば、第２コンプライアンスのコンプライアンス能力を、第１コンプライアンスのコンプライアンス能力より大きくできる。
【0097】
（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２コンプライアンスの幅であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向の幅は、前記第１コンプライアンスの前記第３方向の幅よりも大きくてもよい。この形態によれば、第２コンプライアンスのコンプライアンス能力を、第１コンプライアンスのコンプライアンス能力より大きくできる。
【0098】
（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２コンプライアンスの前記第１方向の幅は、前記第１コンプライアンスの前記第１方向の幅よりも大きくてもよい。この形態によれば、第２コンプライアンスのコンプライアンス能力を、第１コンプライアンスのコンプライアンス能力より大きくできる。
【0099】
（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１コンプライアンスは、前記第１方向に複数に分割されていてもよい。この形態によれば、第１コンプライアンスの接着性や液体吐出ヘッドにおける保持力を向上させることができる。
【0100】
（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２コンプライアンスは、前記第１方向に複数に分割されていなくてもよい。この形態によれば、第２コンプライアンスの部材構成が容易にできるとともに、コンプライアンス能力を大きくできる。
【0101】
（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室と前記第１コンプライアンスとの前記第２方向に沿った距離は、前記圧力室と前記第２コンプライアンスの前記第２方向に沿った距離よりも小さくてもよい。この形態によれば、第１コンプライアンスを、第２コンプライアンスよりも、圧力室からの距離が短い構成とできる。
【0102】
（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２方向からみたとき、前記第１コンプライアンスは、前記第２コンプライアンスと重ならない第１非重複部を更に有し、前記第２方向からみたとき、前記第２コンプライアンスは、前記第１コンプライアンスと重ならない第２非重複部を更に有してもよい。
【0103】
（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２方向からみたときの前記第１非重複部の面積は、前記第２方向からみたときの前記第２非重複部の面積よりも狭くてもよい。
【0104】
（１２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記共通流路は、前記複数の個別流路に液体を供給する供給側共通流路と、前記複数の個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を含み、前記第１コンプライアンスおよび前記第２コンプライアンスは、前記供給側共通流路に設けられ、少なくとも前記排出側共通流路のうちの前記複数の個別流路と接続する第２接続領域の前記第１側に面した位置には、第３コンプライアンスが設けられ、少なくとも前記排出側共通流路のうちの前記第２接続領域の前記第２側に面した位置には、前記第３コンプライアンスと異なる第４コンプライアンスが設けられ、前記第２方向からみたとき、前記第３コンプライアンスと前記第４コンプライアンスは、一部が重なる第２重複部を有してもよい。
【0105】
（１３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３コンプライアンスのコンプライアンス能力は、前記第１コンプライアンスのコンプライアンス能力よりも小さくてもよい。この形態によれば、圧力室からの距離が遠く、供給側に比べてコンプライアンス能力が必要とされない排出側の第３コンプライアンスのコンプライアンス能力が、供給側の第１コンプライアンスのコンプライアンス能力よりも小さいため、排出側においてコンプライアンスの設置に伴うサイズアップを抑制できる。
【0106】
（１４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第４コンプライアンスのコンプライアンス能力は、前記第２コンプライアンスのコンプライアンス能力よりも小さくてもよい。この形態によれば、圧力室からの距離が遠く、供給側に比べてコンプライアンス能力が必要とされない排出側の第４コンプライアンスのコンプライアンス能力が、供給側の第２コンプライアンスのコンプライアンス能力よりも小さいため、排出側においてコンプライアンスの設置に伴うサイズアップを抑制できる。
【0107】
（１５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２重複部の幅であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向の幅は、前記重複部の前記第３方向の幅よりも小さくてもよい。この形態によれば、排出側の第２重複部の第３方向の幅が、供給側の重複部の第３方向の幅より小さいため、排出側においてコンプライアンスの設置に伴うサイズアップを抑制できる。
【0108】
（１６）本開示の他の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、を有する。この形態によれば、十分な振動吸収が可能になるとともに、液体吐出ヘッドのサイズアップを抑制することができる。
【0109】
また、本開示は、インクジェット方式に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体消費ヘッドを備える液体吐出装置。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体消費ヘッドを備える液体吐出装置。
【0110】
「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であれば良い。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。また、第１液体と第２液体との組み合わせの代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクと反応液との組み合わせのほか、以下のものが挙げられる。
（１）接着剤の主剤および硬化剤
（２）塗料のベース塗料および希釈剤や、クリア塗料および希釈剤
（３）細胞用インクの細胞を含有する主溶媒および希釈溶媒
（４）金属光沢感を発現するインク（メタリックインク）のメタリックリーフ顔料分散液および希釈溶媒
（５）車両用燃料のガソリン・軽油およびバイオ燃料
（６）薬品の薬主成分および保護成分
（７）発光ダイオード（ＬＥＤ）の蛍光体および封止材
（１）接着剤の主剤および硬化剤
（２）塗料のベース塗料および希釈剤や、クリア塗料および希釈剤
（３）細胞用インクの細胞を含有する主溶媒および希釈溶媒
（４）金属光沢感を発現するインク（メタリックインク）のメタリックリーフ顔料分散液および希釈溶媒
（５）車両用燃料のガソリン・軽油およびバイオ燃料
（６）薬品の薬主成分および保護成分
（７）発光ダイオード（ＬＥＤ）の蛍光体および封止材
【0111】
さらに、本開示は、上述した液体吐出ヘッド、液体吐出装置としての形態に限らず、液体吐出システムや、液体吐出装置を備える複合機等の種々の態様で実現可能である。
【符号の説明】
【0112】
１…液体吐出装置、２…液体容器、３…キャリッジ、４…キャリッジ搬送機構、４ａ…搬送ベルト、５…媒体搬送機構、５ａ…搬送ローラー、６…リニアエンコーダー、７…駆動回路、８…循環機構、１０…液体吐出ヘッド、１１…重複部、１２…第１非重複部、１３…第２非重複部、１４…第２重複部、１５，１６，２０…圧電素子、２１…ノズル基板、２２…連通板、２３…圧力室基板、２４…振動板、２５…封止板、２６…ケース、３０…制御部、３１…ＣＰＵ、３２…駆動信号生成回路、３５…記憶部、３６…ＲＯＭ、３７…ＲＡＭ、４１…供給側共通流路、４２…個別流路、４３…排出側共通流路、４４…供給側吸収室、４５…排出側吸収室、５１…第１コンプライアンス、５２…第２コンプライアンス、５３…第３コンプライアンス、５４…第４コンプライアンス、５５，５６…分割コンプライアンス、６１，６２，６３…供給側液室部、６５…第１連通流路、６６…第２連通流路、６７…第３連通流路、７１，７２，７３…排出側液室部、７５…第１凹部、７６…第２凹部、７７…第３凹部、７８…貫通孔、８２…回収流路、８３…ポンプ、Ａ１…接続領域、Ａ２…第２接続領域、Ｃ…圧力室、Ｄ１…距離、Ｄ２…距離、Ｎ…ノズル、ＰＡ…印刷用紙
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】