特開 2024-33149 液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024033149

(43)【公開日】2024-03-13

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240306BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20240306BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 307

B41J2/14 613

B41J2/14 607

B41J2/01 401

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022136574

(22)【出願日】2022-08-30

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】塩沢 優

(72)【発明者】

【氏名】鷹合 仁司

(72)【発明者】

【氏名】鐘ヶ江 貴公

(72)【発明者】

【氏名】平井 栄樹

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EC07

2C056EC37

2C056HA05

2C057AF01

2C057AF10

2C057AF34

2C057AG12

2C057AG29

2C057AG33

2C057AG40

2C057AG44

2C057AG75

2C057AM17

2C057AM18

2C057AQ01

2C057AQ02

2C057AQ03

2C057AQ06

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】吐出特性を維持するため圧力室への素早い液体の充填が必要であったり、ヘッド自体の小型化の要求があったり等、種々の課題を解決可能な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズルが設けられたノズル基板と、ノズルから液体を吐出するための圧力が液体に付与される圧力室と、圧力室よりも上流側に隣接し、圧力室内の液体に圧力が付与された際に発生する液体の振動を吸収する吸収室と、を有する圧力室基板と、圧力室に対応して設けられ、電圧が印加されることで駆動する第１圧電素子と、吸収室に対応して設けられ、電圧が印加されることで第１圧電素子と独立して駆動する第２圧電素子と、を有する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を吐出するノズルが設けられたノズル基板と、
前記ノズルから液体を吐出するための圧力が液体に付与される圧力室と、前記圧力室よりも上流側に隣接し、前記圧力室内の液体に圧力が付与された際に発生する液体の振動を吸収する吸収室と、を有する圧力室基板と、
前記圧力室に対応して設けられ、電圧が印加されることで駆動する第１圧電素子と、
前記吸収室に対応して設けられ、電圧が印加されることで前記第１圧電素子と独立して駆動する第２圧電素子と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記第１圧電素子は、
第１電極と、
第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極を介して電圧が印加されることにより駆動する第１圧電体と、
前記第１圧電体の駆動によって振動する第１振動板と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記第２圧電素子は、
前記第１電極および前記第２電極と電気的に分離した第３電極と、
前記第１電極および前記第２電極と電気的に分離した第４電極と、
前記第１圧電体と電気的に分離し、前記第３電極と前記第４電極を介して電圧が印加されることにより駆動する第２圧電体と、
前記第２圧電体の駆動によって振動する第２振動板と、
を有することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記第１電極と前記第３電極は、同じ材料で形成され、
前記第２電極と前記第４電極は、同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記第１振動板と前記第２振動板は、分離しておらず、一続きの部材で形成されていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記圧力室基板は、複数の前記圧力室と、前記複数の圧力室に対して共通の１つの前記吸収室と、を有することを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記第１電極は、前記複数の圧力室に対して共通に設けられ、
前記第２電極は、前記複数の圧力室に対して個別に設けられることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記第３電極は、前記吸収室において１つのみ設けられ、
前記第４電極は、前記吸収室において１つのみ設けられ、
前記第２圧電体は、前記吸収室において１つのみ設けられることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記第３電極は、前記吸収室において１つのみ設けられ、
前記第４電極は、前記吸収室において前記複数の圧力室に対応して複数設けられ、
前記第２圧電体は、前記吸収室において１つのみ設けられることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記第３電極は、前記吸収室において前記複数の圧力室に対応して複数設けられ、
前記第４電極は、前記吸収室において前記複数の圧力室に対応して複数設けられ、
前記第２圧電体は、前記吸収室において前記複数の圧力室に対応して複数設けられることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記第１電極と前記第２電極の少なくとも一方に電圧を印加する第１駆動回路と、
前記第３電極と前記第４電極の少なくとも一方に電圧を印加する第２駆動回路と、
を更に有することを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

前記第１駆動回路は、第１タイミングにおいて、前記圧力室を収縮させ、
前記第２駆動回路は、前記第１タイミングよりも後の第２タイミングにおいて、前記吸収室を膨張させることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項13】

前記第１駆動回路は、前記第２タイミングにおいて、前記圧力室を膨張させることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項14】

前記第１駆動回路は、第１タイミングにおいて、前記圧力室を収縮させ、
前記第２駆動回路は、前記第１タイミングにおいて、前記吸収室を収縮させることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項15】

前記第１駆動回路は、第１タイミングにおいて前記圧力室を収縮させ、
前記第２駆動回路は、前記第１タイミングよりも前の第３タイミングで前記吸収室を膨張させることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項16】

請求項１～１５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、
を有することを特徴とする液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、圧力室と圧力室内の液体の振動を吸収する吸収室とが、互いに別基板の離間した位置に設けられているため、圧力室における液体振動の吸収効率が低い。これに対し同一の基板の近接する位置に圧力室と吸収室を設けることが検討されている。このとき吸収室には少なくとも振動板を設け、その振動板が圧力変動に応じて振動することで該圧力変動を減衰させ、隣の圧力室等で圧力変動が伝わることを抑制し、吐出特性低下を防止することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－１５３９２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、液体吐出ヘッドにおいては、その他、吐出特性を維持するため圧力室への素早い液体の充填が必要であったり、ヘッド自体の小型化の要求があったり等、種々の課題が生じていた。このような種々の課題を解決可能な液体吐出ヘッドの提供が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。

【0006】

本開示の第１の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルが設けられたノズル基板と、前記ノズルから液体を吐出するための圧力が液体に付与される圧力室と、前記圧力室よりも上流側に隣接し、前記圧力室内の液体に圧力が付与された際に発生する液体の振動を吸収する吸収室と、を有する圧力室基板と、前記圧力室に対応して設けられ、電圧が印加されることで駆動する第１圧電素子と、前記吸収室に対応して設けられ、電圧が印加されることで前記第１圧電素子と独立して駆動する第２圧電素子と、を有する。

【0007】

本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の形態における液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、を有する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本開示の第１実施形態としての液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。

【図2】液体吐出装置を示すブロック図である。

【図3】液体吐出ヘッドの一部断面図である。

【図4】液体吐出ヘッドの断面図であって、図３におけるＩＶ－ＩＶ線断面図である。

【図5】液体吐出ヘッドの断面図であって、図３におけるＶ－Ｖ線断面図である。

【図6】液体吐出ヘッドの断面図であって、図３におけるＶＩ－ＶＩ線断面図である。

【図7】液体吐出時における第１圧電素子および第２圧電素子の動作を模式的に説明する説明図である。

【図8】液体吐出時における第１圧電素子および第２圧電素子の動作を模式的に説明する説明図である。

【図9】本開示の第２実施形態における、液体吐出ヘッドの断面図である。

【図10】本開示の他の形態における、液体吐出ヘッドの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

Ａ．第１実施形態：
Ａ１．液体吐出装置１の構成：
図１は、本開示の第１実施形態としての液体吐出装置１の概略構成を示す説明図である。本実施形態において、液体吐出装置１は、液体の一例としてのインクを印刷媒体である印刷用紙ＰＡ（以下、単に「用紙ＰＡ」という）に吐出して画像を形成するインクジェット式プリンターである。液体吐出装置１は、用紙ＰＡに代えて、樹脂フィルム、布帛等の任意の種類の媒体を、インクの吐出対象としてもよい。

【0010】

液体吐出装置１は、インクを吐出する液体吐出ヘッド１０、インクを貯留する液体容器２、液体吐出ヘッド１０を搭載するキャリッジ３、キャリッジ３を搬送するキャリッジ搬送機構４、用紙ＰＡを搬送する媒体搬送機構５、及び、制御部３０を備える。制御部３０は、液体の吐出を制御する制御部である。

【0011】

液体容器２の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器２に貯留されるインクの種類は任意である。液体吐出装置１は、例えば、４色のインクに対応して複数の液体容器２を備える。４色のインクとしては、例えば、シアン、マゼンダ、イエロー、及び、ブラックがある。液体容器２は、キャリッジ３に搭載されるものでもよい。

【0012】

液体吐出装置１は、インクを循環させる循環機構８を備える。循環機構８は、液体吐出ヘッド１０にインクを供給する供給流路８１と、液体吐出ヘッド１０から排出されたインクを回収する回収流路８２と、インクを移送するポンプ８３と、を含む。

【0013】

キャリッジ搬送機構４は、キャリッジ３を搬送するための搬送ベルト４ａ及びモーターを有する。媒体搬送機構５は、用紙ＰＡを搬送するための搬送ローラー５ａ及びモーターを有する。キャリッジ搬送機構４及び媒体搬送機構５は、制御部３０によって制御される。液体吐出装置１は、媒体搬送機構５によって用紙ＰＡを搬送させながら、キャリッジ搬送機構４によってキャリッジ３を搬送させて、用紙ＰＡにインク滴を吐出して印刷する。

【0014】

図２は、液体吐出装置１を示すブロック図である。液体吐出装置１は、図２に示すように、リニアエンコーダー６を備える。キャリッジ３の位置を検出可能な位置に設けられている。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の位置に関する情報を取得する。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の移動に伴って、制御部３０にエンコーダー信号を出力する。

【0015】

制御部３０は、１又は複数のＣＰＵ３１を含む。制御部３０は、ＣＰＵ３１の代わりに、又は、ＣＰＵ３１に加えて、ＦＰＧＡを備えるものでもよい。制御部３０は、記憶部３５を含む。記憶部３５は、例えばＲＯＭ３６及びＲＡＭ３７を備える。記憶部３５は、ＥＥＰＲＯＭ、又はＰＲＯＭを備えていてもよい。記憶部３５は、ホストコンピューターから供給される印刷データＩｍｇを記憶できる。記憶部３５は、液体吐出装置１の制御プログラムを記憶する。

【0016】

ＣＰＵは、Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔの略称である。ＦＰＧＡは、ｆｉｅｌｄ－ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ｇａｔｅ ａｒｒａｙの略称である。ＲＡＭは、Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＲＯＭは、Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＥＥＰＲＯＭは、Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｅｒａｓａｂｌｅ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｒｅａｄ－Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＰＲＯＭは、Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ＲＯＭの略称である。

【0017】

制御部３０は、液体吐出装置１の各部の動作を制御するための信号を生成する。制御部３０は、印刷信号ＳＩ及び波形指定信号ｄＣｏｍを生成できる。印刷信号ＳＩは、液体吐出ヘッド１０の動作の種類を指定するためのデジタル信号である。印刷信号ＳＩは、圧電素子１１に対して駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを指定できる。波形指定信号ｄＣｏｍは、駆動信号Ｃｏｍの波形を規定するデジタル信号である。駆動信号Ｃｏｍは、圧電素子１１を駆動するためのアナログ信号である。

【0018】

液体吐出装置１は、駆動信号生成回路３２を備える。駆動信号生成回路３２は、制御部３０と電気的に接続されている。駆動信号生成回路３２は、ＤＡ変換回路を含む。駆動信号生成回路３２は、波形指定信号ｄＣｏｍにより規定される波形を有する駆動信号Ｃｏｍを生成する。制御部３０は、リニアエンコーダー６からエンコーダー信号を受信すると、駆動信号生成回路３２に、タイミング信号ＰＴＳを出力する。タイミング信号ＰＴＳは、駆動信号Ｃｏｍの生成タイミングを規定する。駆動信号生成回路３２は、タイミング信号ＰＴＳを受信するごとに、駆動信号Ｃｏｍを出力する。

【0019】

第１駆動回路７ａ、第２駆動回路７ｂは、制御部３０及び駆動信号生成回路３２と電気的に接続されている。第１駆動回路７ａは、印刷信号ＳＩに基づいて、駆動信号Ｃｏｍを第１圧電素子１１に供給するか否かを切り替える。第２駆動回路７ｂは、印刷信号ＳＩに基づいて、駆動信号Ｃｏｍを第２圧電素子１２に供給するか否かを切り替える。駆動信号生成回路３２は、第１駆動回路７ａと第２駆動回路７ｂに対して、それぞれの駆動振動を生成する。なお、第１圧電素子１１および第２圧電素子の構成および動作についての詳細は後述する。各駆動回路７ａ，７ｂは、制御部３０から供給される印刷信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴ、及び、チェンジ信号ＣＨに基づいて、駆動信号Ｃｏｍが供給される圧電素子１１，１２を選択できる。ラッチ信号ＬＡＴは、印刷データＩｍｇのラッチタイミングを規定する。チェンジ信号ＣＨは、駆動信号Ｃｏｍに含まれる駆動パルスの選択タイミングを規定する。

【0020】

制御部３０は、液体吐出ヘッド１０によるインクの吐出動作を制御する。制御部３０は、第１圧電素子１１を駆動することにより、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させて、ノズルＮからインクを吐出する。また、制御部３０は、第２圧電素子１２を駆動することにより、インク吐出時における後述する供給側吸収室４４内の液体流れを制御する。なお、第１圧電素子１１、第２圧電素子１２、圧力室Ｃ、ノズルＮ、および供給側吸収室４４等の詳細構成については後述する。制御部３０は、印刷動作を行う際に、吐出動作を制御する。

【0021】

Ａ２．液体吐出ヘッド１０の構成：
次に、液体吐出ヘッド１０の構成について説明する。液体吐出ヘッド１０は、後述する供給側共通流路４１、個別流路４２、排出側共通流路４３へと液体を循環させる循環方式を採用する。図３は、液体吐出ヘッド１０の一部断面図である。以下の説明において、互いに交差する３方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向として説明する。

【0022】

Ｘ軸方向は、図３における左右方向であり、互いに反対の方向であるＸ１方向（図３においては右方向）及びＸ２方向（図３においては左方向）を含む。Ｘ軸方向は、第３方向の一例である。Ｙ軸方向は、互いに反対の方向であるＹ１方向及びＹ２方向を含む。Ｙ１方向は、図３において、紙面奥行き方向である。Ｙ２方向は、図３において紙面手前方向である。Ｙ軸方向は、第１方向の一例である。Ｚ軸方向は、図３における上下方向であり、互いに反対の方向であるＺ１方向（図３においては下方向）及びＺ２方向（図３においては上方向）を含む。Ｚ軸方向は、第２方向の一例である。

【0023】

また、「Ｚ２側」が「第１側」の一例であり、「Ｚ１側」が「第２側」の一例に相当する。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、直交している。Ｚ軸方向は、通常上下方向に沿う方向であるが、Ｚ軸方向は、上下方向に沿う方向でなくてもよい。なお、以下の説明においては、Ｚ１方向を「上」、Ｚ２方向を「下」として説明する場合もある。

【0024】

本明細書では、「供給側」及び「排出側」との用語を用いる場合がある。「供給側」とは、液体の流路に関してノズルＮよりも上流側を示す。また、ノズルＮよりも上流側に関連するものを「供給側」という場合がある。また、ノズルＮよりも下流側に関連するものを「排出側」という場合がある。

【0025】

液体吐出ヘッド１０は、ノズル基板２１、連通板２２、圧力室基板２３、振動板２４、封止板２５、及び圧電素子１１，１２，１３を備える。また、液体吐出ヘッド１０は、ケース２６、及びＣＯＦ６０を備える。ＣＯＦは、Ｃｈｉｐ ｏｎ Ｆｉｌｍの略称である。さらに、液体吐出ヘッド１０は、供給側共通流路４１、複数の個別流路４２、排出側共通流路４３、複数の圧力室Ｃ、供給側吸収室４４、排出側吸収室４５、第１圧電素子１１、第２圧電素子１２、および第３圧電素子１３、を有する。なお、複数の個別流路４２および複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向に沿って配列されているため、図３では、それぞれ一つずつのみ表されている。本実施形態では、液体の一例であるインクを吐出する液体吐出ヘッド１０について説明する。液体は、インクに限定されず、液体吐出ヘッド１０は、その他の液体を吐出することができる。

【0026】

ノズル基板２１、連通板２２、圧力室基板２３、振動板２４、封止板２５、及びケース２６の厚さ方向は、Ｚ軸方向に沿う。ノズル基板２１は、液体吐出ヘッド１０の底部に配置される。ノズル基板２１のＺ２方向には、連通板２２が配置される。連通板２２のＺ２方向には、圧力室基板２３が配置される。言い換えると、連通板２２は、圧力室基板２３とノズル基板２１の間に設けられる。圧力室基板２３のＺ２方向には、振動板２４が設けられる。振動板２４は、例えばＳｉＯ_２にて形成される。振動板２４は、圧力室基板２３と別の部材であり、圧力室基板２３に接着されることで配置されても良いし、圧力室基板２３のＺ２方向の表面に熱酸化等の処理が行われることで形成されても良い。

【0027】

振動板２４のＺ２方向には、封止板２５が配置される。封止板２５は、振動板２４、複数の圧電素子１１，１２，１３、及び圧力室基板２３を覆う。ケース２６は、封止板２５上に配置される。第１圧電素子１１は、圧力室Ｃに対応して設けられている。

【0028】

［流路の説明］
まず、液体吐出ヘッド１０内に形成される液体流路について説明する。液体流路は、図示しない供給口および排出口、供給側共通流路４１、複数の個別流路４２、および排出側共通流路４３を含む。供給側共通流路４１と各個別流路４２との境界Ｌａを、図３において破線で図示している。なお、供給側共通流路４１と各個別流路４２との境界Ｌａには、図示しない周知の流路絞りが設けられている。

【0029】

供給側共通流路４１は、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。供給側共通流路４１は、複数の圧力室Ｃに亘ってＹ軸方向に連続する。供給側共通流路４１は、ケース２６に設けられた液室部６１、圧力室基板２３に設けられた液室部６２、及び連通板２２に設けられた液室部６３を含む。これらの液室部６１，６２，６３は、Ｚ軸方向に連続する。

【0030】

供給側吸収室４４は、圧力室ＣのＸ１方向に位置する。供給側吸収室４４は、圧力室Ｃの上流に連通する。供給側吸収室４４は、供給側共通流路４１の一部を構成する。

【0031】

複数の個別流路４２は、複数の圧力室Ｃに対してそれぞれ設けられており、Ｙ軸方向に配列されている。個別流路４２は、供給側共通流路４１の下流に配置される。個別流路４２は、圧力室基板２３に設けられた液室部６２の下流に連通する。個別流路４２は、圧力室Ｃと、第１連通流路６５と、第２連通流路６６と、第３連通流路６７と、を上流から順に有している。

【0032】

複数の圧力室Ｃには、第１連通流路６５および第２連通流路６６を介して複数のノズルＮがそれぞれ連通する。各ノズルＮは、各圧力室Ｃに対してＺ１方向に位置する。複数の第１連通流路６５は、Ｚ軸方向に延在する。複数の第２連通流路６６は、第１連通流路６５のＺ１方向の端部に接続し、Ｘ２方向に延在する。ノズルＮは、第２連通流路６６におけるＸ軸方向の略中央に位置する。複数の第３連通流路６７は、第２連通流路６６のＸ２方向の端部に接続し、Ｚ２方向に延在する。

【0033】

排出側共通流路４３は、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。排出側共通流路４３は、複数の個別流路４２に対して共通に連通する。排出側共通流路４３は、各個別流路４２を介して、各圧力室Ｃと連通する。排出側共通流路４３は、各個別流路４２の下流に配置されている。

【0034】

排出側共通流路４３は、Ｙ軸方向に連続する。排出側共通流路４３は、ケース２６に設けられた液室部７１、圧力室基板２３に設けられた液室部７２、及び連通板２２に設けられた液室部７３を含む。これらの液室部７１，７２，７３は、Ｚ軸方向に連続する。

【0035】

［各基板の説明］
図４～図６は、液体吐出ヘッドの断面図であって、図４は、図３におけるＩＶ－ＩＶ線断面図であり、図５は、図３におけるＶ－Ｖ線断面図であり、図６は、図３におけるＶＩ－ＶＩ線断面図である。以下、図３～図６を適宜参照して、液体吐出ヘッド１０を構成する各基板の構造について説明する。図３に示すように、ノズル基板２１には、ノズル基板２１をＺ方向に貫通するノズルＮが形成されている。上述したように、液体吐出ヘッド１０は、このノズルＮを介して液体を吐出する。ノズル基板２１には、複数のノズルＮがＹ軸方向に沿って複数配列されることによって、ノズル列が形成されている。ノズル基板２１は、例えば、ステンレス鋼等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等により形成される。

【0036】

図３、図５に示すように、圧力室基板２３には、供給側液室部６２と、供給側吸収室４４と、圧力室Ｃと、排出側吸収室４５と、排出側液室部７２と、が形成されている。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、ともに、液体の流路の一部を構成する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、Ｘ軸方向に延在する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、圧力室基板２３をＺ軸方向に貫通する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、所定の容積を有する。各吸収室４４，４５は、複数の圧力室Ｃに対して共通の１つの部屋として形成されている。すなわち、各吸収室４４，４５は、Ｙ軸方向に亘って圧力室Ｃよりも長く設けられている。

【0037】

複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向において、供給側吸収室４４および排出側吸収室４５と同じ位置に配置されている。Ｙ軸方向において対応する圧力室Ｃと供給側吸収室４４とは、隣接しており、Ｘ方向に連通している。供給側液室部６２は、ケース２６に設けられた液室部６１と、連通板２２に設けられた液室部６３とともに、供給側共通流路４１を形成している。

【0038】

本実施形態の圧力室基板２３は、シリコン単結晶基板により形成されている。他の実施形態では、圧力室基板２３は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）やニッケル（Ｎｉ）などの金属、ジルコニア（ＺｒＯ_２）あるいはアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を代表とするセラミック材料 、ガラスセラミック材料、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミン酸（ＬａＡｌＯ_３）のような酸化物等によって形成されてもよい。本実施形態では、圧力室Ｃおよび吸収室４４，４５は、例えば、圧力室基板２３を異方性エッチングによって加工することで形成される。なお、圧力室Ｃおよび吸収室４４，４５の機能の詳細については後述する。

【0039】

連通板２２は、ノズル基板２１と圧力室基板２３との間に配置され、接着剤等によってノズル基板２１上に固定されている。連通板２２は、例えば、シリコン単結晶基板によって形成される。図３、図６に示すように、連通板２２には、供給側液室部６３と、排出側液室部７３と、第１連通流路６５と、第２連通流路６６と、第３連通流路６７と、が形成されている。各液室部６３，７３、第１連通流路６５、および第３連通流路６７は、連通板２２をＺ方向に貫通して形成されている。また、第２連通流路６６は、連通板２２をＺ方向に貫通することなく、連通板２２の下面が窪んだ部分として形成されている。第２連通流路６６において、Ｘ軸方向の略中間位置に、ノズルＮが接続している。液室部７３は、ケース２６に形成された液室部７１、圧力室基板２３に形成された液室部７２とともに、排出側共通流路４３を形成している。

【0040】

図３に示すように、封止板２５は、Ｚ１方向の下面に凹部が設けられた部材である。凹部は、圧力室Ｃおよび各吸収室４４，４５のＺ２側において、圧力室Ｃおよび各吸収室４４，４５に対向する位置に開口している。具体的には、本実施形態の封止板２５には、凹部として、第１凹部７５と、第２凹部７６と、第３凹部７７と、が設けられている。

【0041】

第１凹部７５は、圧力室Ｃと対向する位置に開口している。第２凹部７６は、供給側吸収室４４と対向する位置に開口している。第３凹部７７は、排出側吸収室４５と対向する位置に開口している。各凹部７５，７６，７７の間は、封止板２５の一部として形成された壁部によって隔てられている。なお、本実施形態において、各凹部７５，７６，７７の開口の深さは等しい。すなわち、各凹部７５，７６，７７のＺ方向の寸法は等しい。

【0042】

また、各凹部７５，７６，７７は、液体の流路と連通しておらず、凹部７５，７６，７７には液体が流通しない。各凹部７５，７６，７７のＸ軸方向の幅は、大きい順に第１凹部７５、第２凹部７６、第３凹部７７となっている。図３、図４に示すように、第１凹部７５、第２凹部７６および第３凹部７７は、液体吐出ヘッド１０のＹ軸方向の幅に亘って延在する。第２凹部７６および第３凹部７７のＹ軸方向の幅は同じである。封止板２５のＸ軸方向の中央部よりもＸ２方向寄りの位置には、封止板２５をＺ軸方向に貫通する貫通孔７８が設けられている。貫通孔７８には、上記ＣＯＦ６０が挿入されている。

【0043】

振動板２４は、圧力室基板２３上に積層されている。圧電素子１１，１２，１３は、振動板２４上に積層されている。複数の第１圧電素子１１は、第１凹部７５内に位置する。第２圧電素子１２は、第２凹部７６内に位置する。第３圧電素子１３は、第３凹部７７内に位置する。第１凹部７５に位置する圧力室Ｃに対応する第１圧電素子１１は、第１電極５１と、第１圧電体５２と、第２電極５３と、第１振動板５４と、がＺ１方向へ順に積層されて構成されるアクチュエーターである。第１圧電素子１１は、液体吐出用の圧電素子である。第１圧電体５２は、第１電極５１と第２電極５３を介して電圧が印加されることにより駆動する。第１振動板５４は、振動板２４における中央からＸ１方向寄りに位置する一部位である。第１電極５１は、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。第２電極５３は、複数の圧力室Ｃに対応して区切られており、個別に複数設けられている。

【0044】

第２凹部７６内に位置する第２圧電素子１２は、Ｙ軸方向の幅に亘ってＹ軸方向に連続する。第２圧電素子１２は、第３電極５５と、第２圧電体５６と、第４電極５７と、第２振動板５８と、がＺ１方向へ順に積層されて構成されるアクチュエーターである。第３電極５５は、第１電極５１および第２電極５３と電気的に分離している。第４電極５７は、第１電極５１および第２電極５３と電気的に分離している。第２圧電体５６は、第１圧電体５２と電気的に分離している。第２圧電体５６は、第３電極５５と第４電極５７を介して電圧が印加されることにより駆動する。第２振動板５８は、振動板２４において、上記第１振動板５４よりもさらにＸ１方向側の端部寄りに位置する一部位である。第１振動板５４と第２振動板５８とは、分離しておらず、一続きの部材で形成されている。

【0045】

図４に示すように、第２圧電素子１２は、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。すなわち、第２圧電素子１２を構成する第３電極５５、第４電極５７、および第２圧電体５６は、Ｙ軸方向に延びて形成されており、吸収室４４においてそれぞれ１つのみ設けられている。なお、第１電極５１と第３電極５５は、同じ材料で形成されている。第２電極５３と第４電極５７は、同じ材料で形成されている。

【0046】

第１電極５１～第４電極５７には、それぞれに異なる配線が電気接続している。なお、図３においては、これらの配線部の図示は省略している。複数の第２電極５３および第４電極５７には、図示しない複数のＣＯＭ配線が接続されている。複数のＣＯＭ配線は、Ｘ軸方向に延在し、封止板２５の貫通孔７８内まで引き出されている。なお、図３において、ＣＯＭ配線の図示は省略されている。ＣＯＭ配線は、第１電極５１よりも低抵抗な導電材料で形成される。例えば、ＣＯＭ配線は、ニクロム（ＮｉＣｒ）で形成された導電膜の表面に金（Ａｕ）の導電膜を積層した構造の導電パターンである。

【0047】

本実施形態では、第３凹部７７内に位置する第３圧電素子１３についても、第１、第２圧電素子と同様に、２つの電極と圧電体とを有する構成である。ただし、第３凹部７７内に位置する圧電素子１３は、第１，第２圧電素子１１，１２とは異なり、流路内の液体に圧力を付与するものではなく、振動吸収をするためのものであるため、制御部３０とは電気的に接続されていないことが好ましい。

【0048】

Ａ３．動作説明・液体の流れ：
液体容器２内の液体は、ポンプ８３によって移送され、供給流路８１内を流れて、図示しない供給口を通り、供給側共通流路４１に流入する。供給側共通流路４１内の液体は、供給側吸収室４４を通り、個別流路４２の一部を構成する圧力室Ｃに供給される。圧力室Ｃ内の液体の一部は、ノズルＮから吐出される。

【0049】

ノズルＮから吐出されなかった液体は、第２連通流路６６および第３連通流路６７、個別流路４２の一部を構成する排出側吸収室４５を通り、排出側共通流路４３に流入する。排出側共通流路４３内の液体は、図示しない排出口を通じて、回収流路８２内に流入し、液体容器２に回収される。液体吐出ヘッド１０では、このように液体が循環される。

【0050】

上述した圧力室Ｃは、振動板２４の振動によって、圧力室Ｃ内の液体に圧力を付与する。振動板２４は、第１圧電素子１１の駆動によって振動する。具体的には、第１圧電体５２に電圧が印加されることによって、第１圧電体５２のうち第１電極５１と第２電極５３とによってＺ方向に挟まれた部分である能動部に、圧電歪みが生じる。圧電素子１１は、この圧電歪みによって、振動板２４を撓むように振動させて圧力室の容積を変化させることで、圧力室Ｃ内の液体に圧力を付与する。

【0051】

Ａ４．液体吐出制御：
図７、図８は、液体吐出時における第１圧電素子１１および第２圧電素子１２の動作を模式的に説明する説明図である。なお、図７、図８では、第１振動板５４、第２振動板５８および電極５１，５３，５５，５７等の詳細を省略し、各圧電素子１１，１２の構成の図示を簡略化して図示している。また、図７は、後述する第２タイミングにおける態様を示す、図８は、後述する第１タイミングにおける態様を示す。液体吐出ヘッド１０は、上述したように、圧力室Ｃにおいて液体に圧力を付与することによって、ノズルＮから液体を吐出する。以下、本実施形態にて実行する液体吐出制御について、その効果とともに説明する。

【0052】

本実施形態では、第１駆動回路７ａは、液体吐出のためのタイミングである第１タイミングにおいて、圧力室Ｃを収縮させ、第２駆動回路７ｂは、第１タイミングよりも後の第２タイミングにおいて、供給側吸収室４４を膨張させる。第２タイミングは、第１タイミングにおいて第１圧電素子１１がＺ１方向へ撓んで圧力室Ｃを収縮させることによりノズルＮから液体を吐出した後に、図７における矢印Ａ１に示すように第１圧電素子１１の撓みが元の位置へ戻るときのタイミングである。つまり、第１圧電素子１１の撓みがＺ２方向へ戻る第２タイミングにおいて、図７における矢印Ａ２に示すように、第２圧電素子１２はＺ２方向へ撓んで供給側吸収室４４を膨張させる。「第２タイミングにおいて」とは、第１タイミングにおける第１圧電素子１１の駆動開始よりも時間的に後であることを意味する。なお、「第２タイミング」は、第１圧電素子１１の駆動により圧力室Ｃが収縮した後、第１圧電素子１１が元の状態へ復帰することに伴う圧力室Ｃの膨張と、供給側吸収室４４の膨張とが時間的に重複している状態となるように設定されることが好ましい。

【0053】

以上のように、第２タイミングにおいて、第１圧電素子１１と第２圧電素子１２とが共にＺ２方向へ撓む。このとき、図７に示すように、第１圧電素子１１の動作により、圧力室Ｃ内の液体は、矢印Ａ３に示すようにノズルＮから圧力室Ｃ（個別流路４２）への引き込み方向の力と、矢印Ａ４に示すように共通流路４１から個別流路４２への引き込み方向の力とを受ける。このとき、Ｘ軸方向において、矢印Ａ３，Ａ４の大小（Ａ３＞Ａ４）として示すように、ノズルＮから圧力室Ｃへの引き込み方向の力は、共通流路４１から個別流路４２への引き込み方向の力よりも大きい。これは、共通流路４１と個別流路４２との境界に前述の流路絞りが設けられているため、流路内の液体の流れやすさに差異が生じているためである。すなわち、流路絞りからＸ２方向へは流れにくく、流路絞りのない第１連通流路６５からＸ１方向へは流れやすい。

【0054】

同様に、第２圧電素子１２の動作により、供給側吸収室４４内の液体は、矢印Ａ５に示すように個別流路４２から共通流路４１への引き込み方向の力と、矢印Ａ６に示すように上流流路から共通流路４１への引き込み方向の力とを受ける。このとき、Ｘ軸方向において、矢印Ａ５，Ａ６の大小（Ａ６＞Ａ５）として示すように、上流流路から共通流路４１への引き込み方向の力は、個別流路４２から共通流路４１への引き込み方向の力よりも大きい。図７において、圧力室Ｃと供給側吸収室４４とを含む流路全体で見たとき、Ｘ軸方向において、上記矢印Ａ３～Ａ６に示す力は相殺される。

【0055】

例えば、第２圧電素子１２による第２タイミングの駆動がない場合には、矢印Ａ５および矢印Ａ６に示す力は作用せずに、矢印Ａ３，Ａ４に示す力のみが作用する。このとき、ノズルＮから圧力室Ｃ（個別流路４２）への引き込み方向の力（Ａ３）が、共通流路４１から個別流路４２への引き込み方向の力（Ａ４）よりも大きいために、圧力室Ｃ内の液体には、ノズルＮから圧力室Ｃ（個別流路４２）へのＸ１方向への引き込み力が作用する。すなわち、第１圧電素子１１が通常の位置に戻ったときに、ノズルＮからの引き込みの量が多いので、この引き込みで空気を引き込んでしまう。このとき、共通流路４１から圧力室Ｃへの引き込みが小さいと、圧力室Ｃ内の液体充填に時間を要し、高速吐出での安定駆動に支障を来す虞があった。

【0056】

その点、第１実施形態では、第１タイミングにおいてノズルＮからの液体を吐出した後に、第２タイミングにおいて第２圧電素子１２を駆動することにより供給側吸収室４４を膨張させるため、供給側共通流路４１および圧力室Ｃ内に液体を満たした状態を作りやすくできる。これにより、リフィル性を向上させることができる。なお、「リフィル性」とは、液体吐出時における圧力室Ｃ内への液体の充填性能を意味する。また、ノズルＮからの液体吐出の圧力が、供給側共通流路４１側へ逃げないようにできるため、吐出性能を安定させることができる。

【0057】

本実施形態では、さらに、第１駆動回路７ａは、上記第２タイミングにおいて、圧力室Ｃを膨張させる。すなわち、上記したように供給側吸収室４４の膨張と同じ第２タイミングで圧力室Ｃを膨張させる。第２タイミングにおいて、第１圧電素子１１が自然に元の位置に復帰することに加えて、第１圧電素子１１がＺ２方向へ積極的に駆動されるため、さらに強い力で共通流路４１から圧力室Ｃ内へ液体を引き込むことができる。

【0058】

本実施形態では、さらに、第１駆動回路７ａは、液体をノズルＮから吐出する第１タイミングにおいて、圧力室Ｃを収縮させ、第２駆動回路７ｂは、第１タイミングにおいて、供給側吸収室４４を収縮させる。すなわち、図８に示すように、液体吐出の第１タイミングにおいて、供給側吸収室４４の第２圧電素子１２を矢印Ａ７に示すようにＺ１方向へ撓むように駆動させることで、共通流路４１から圧力室Ｃへ液体を押し出す。これにより、吐出時の圧力室Ｃの収縮に伴う圧力の逃げを抑制して、その後の圧力室Ｃ内の液体の充填をしやすくできる。

【0059】

なお、ここで、「第１タイミングにおいて」とは、第１圧電素子１１の駆動開始と第２圧電素子１２の駆動開始とが完全に同時である場合の他、第１圧電素子１１が収縮する時間と、第２圧電素子１２が膨張する時間とが重複する任意の場合も含む広い概念を意味する。

【0060】

本実施形態では、さらに、第１駆動回路７ａは、第１タイミングにおいて、圧力室Ｃを収縮させ、第２駆動回路７ｂは、第１タイミングよりも前の第３タイミングにおいて、供給側吸収室４４を膨張させる。すなわち、液体吐出前の第３タイミングにおいて、第２圧電素子１２を駆動させ、供給側吸収室４４を膨張させる。これにより、控除体積を増すことで、共通流路の上流から圧力室Ｃ付近へと液体を引き込むことができ、液体吐出時に液体が圧力室Ｃへ流れやすいようにできる。すなわち、リフィル性を向上させることができる。

【0061】

上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０および液体吐出装置１によれば、さらに以下の効果を奏することができる。上記第１実施形態では、各圧電素子１１，１２，１３を、例えば、フォトレジストによるマスキングを利用したエッチング等の既知の方法を用いて作成することができる。例えば、第１凹部７５内の第１圧電素子１１を含むアクチュエーターを構成する各部材を形成する際に、アクチュエーターを構成する各部材を形成するのと同様の方法を用いて、第２圧電素子１２および第３圧電素子１３を構成する各部材を形成できる。また、アクチュエーターを構成する同じ材料の部材を用いて各圧電素子を簡易に製造できる。

【0062】

上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０および液体吐出装置１によれば、第１電極５１と第３電極５５は、同じ材料で形成されている。また、第２電極５３と第４電極５７は、同じ材料で形成されている。このため、それぞれの電極の組み合わせにおいて、同じ製造過程で１つの層として製造できるため、製造過程を簡易にできる。

【0063】

上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０および液室吐出装置によれば、第１振動板５４と第２振動板５８とは、分離しておらず、一続きの部材で形成されている。このため、分離に伴う製造工程の増加を抑制できる。

【0064】

Ｂ．第２実施形態：
次に、本開示の第２実施形態について、図９を参照して説明する。なお、上記第１実施形態と実質的に同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。図９は、本開示の第２実施形態における、液体吐出ヘッドの断面図である。第２実施形態の液体吐出ヘッド１０は、上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０に対して、第２圧電素子１２を構成する第４電極６４が、供給側吸収室４４において、複数の圧力室Ｃに対応して複数設けられている点が異なっている。第３電極５５および第２圧電体５６については、上記第１実施形態と同様に、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。共通の第３電極５５は、０ボルトで接地している。

【0065】

この構成によれば、上記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。さらに、液体を吐出するノズルＮに対応するセグメント位置の第２圧電素子１２のみを駆動することができるため、第２圧電素子１２の駆動により、吐出していないノズルＮへ影響が及ぶことを抑制することができる。特に、液体を吐出するノズルＮとそうでないノズルＮとが存在するパターン印刷などにおいて有効である。

【0066】

Ｃ．他の形態：
（Ｃ１）上記各実施形態の液体吐出装置１では、液体吐出ヘッド１０に流入した液体が循環する循環ヘッドとしたが、液体が循環しない非循環ヘッドであってもよい。

【0067】

（Ｃ２）上記第１実施形態の液体吐出装置１における第１圧電素子１１を構成する第３電極５５、第４電極５７、および第２圧電体５６は、供給側吸収室４４においてそれぞれ１つのみ設けられているものとした。図１０は、本開示の他の形態における、液体吐出ヘッドの断面図である。上記構成に代えて、図１０に示すように、第３電極５５、第４電極５７、および第２圧電体５６を、供給側吸収室４４において複数の圧力室Ｃに対応して複数設けてもよい。

【0068】

（Ｃ３）上記各実施形態の液体吐出装置１では、各圧電素子１１，１２，１３は、Ｚ軸方向において、二つの電極に挟まれている構成としたが、電極の一方を省略してもよい。第２圧電素子１２を、第１圧電素子１１に対して独立して駆動できればよい。

【0069】

（Ｃ４）上記各実施形態の液体吐出装置１では、第１電極５１と第３電極５５は、同じ材料で形成されているとしたが、互いに異なる材料で形成されていてもよい。第２電極５３と第４電極５７，６４についても、同様に互いに異なる材料で形成されていてもよい。

【0070】

（Ｃ５）上記各実施形態の液体吐出装置１では、液体吐出制御において、第２タイミングにおいて、供給側吸収室４４を膨張させたが、第１タイミングにおいて圧力室Ｃを収縮させるのみでもよい。その他、第２タイミングにおいて圧力室Ｃを膨張させる制御や、第３タイミングにおいて供給側吸収室４４を膨張させる制御等は、適宜省略してもよい。

【0071】

本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

【0072】

（１）本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルが設けられたノズル基板と、前記ノズルから液体を吐出するための圧力が液体に付与される圧力室と、前記圧力室よりも上流側に隣接し、前記圧力室内の液体に圧力が付与された際に発生する液体の振動を吸収する吸収室と、を有する圧力室基板と、前記圧力室に対応して設けられ、電圧が印加されることで駆動する第１圧電素子と、前記吸収室に対応して設けられ、電圧が印加されることで前記第１圧電素子と独立して駆動する第２圧電素子と、を有する。
この形態によれば、圧力室に対応して設けられ電圧が印加されることで駆動する第１圧電素子に対して、吸収室に対応して設けられ電圧が印加されることで独立して駆動する第２圧電素子を有するため、例えば、圧力室への素早い液体の充填が可能となったり、振動吸収のための構成を小さくしてヘッド自体を小型化できたりと、液体吐出ヘッドに関する種々の課題を解決できる。

【0073】

（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１圧電素子は、第１電極と、第２電極と、前記第１電極と前記第２電極を介して電圧が印加されることにより駆動する第１圧電体と、前記第１圧電体の駆動によって振動する第１振動板と、を有してもよい。この形態によれば、吐出用の第１圧電素子を、第１電極、第２電極、第１圧電体、および第１振動板を有する容易な構成として実現できる。

【0074】

（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２圧電素子は、前記第１電極および前記第２電極と電気的に分離した第３電極と、前記第１電極および前記第２電極と電気的に分離した第４電極と、前記第１圧電体と電気的に分離し、前記第３電極と前記第４電極を介して電圧が印加されることにより駆動する第２圧電体と、前記第２圧電体の駆動によって振動する第２振動板と、を有してもよい。この形態によれば、第２圧電素子を、第１圧電素子に対して独立して駆動する構成を容易に実現できる。

【0075】

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１電極と前記第３電極は、同じ材料で形成され、前記第２電極と前記第４電極は、同じ材料で形成されていてもよい。この形態によれば、第１電極と第３電極、第２電極と第４電極、の各組み合わせにおいては、同じ製造過程で製造できるため、製造過程を簡易にできる。

【0076】

（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１振動板と前記第２振動板は、分離しておらず、一続きの部材で形成されていてもよい。この形態によれば、振動板の分離に伴う製造工程の増加を抑制できる。

【0077】

（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室基板は、複数の前記圧力室と、前記複数の圧力室に対して共通の１つの前記吸収室と、を有してもよい。

【0078】

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１電極は、前記複数の圧力室に対して共通に設けられ、前記第２電極は、前記複数の圧力室に対して個別に設けられてもよい。

【0079】

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３電極は、前記吸収室において１つのみ設けられ、前記第４電極は、前記吸収室において１つのみ設けられ、前記第２圧電体は、前記吸収室において１つのみ設けられてもよい。

【0080】

（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３電極は、前記吸収室において１つのみ設けられ、前記第４電極は、前記吸収室において前記複数の圧力室に対応して複数設けられ、前記第２圧電体は、前記吸収室において１つのみ設けられてもよい。

【0081】

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３電極は、前記吸収室において前記複数の圧力室に対応して複数設けられ、前記第４電極は、前記吸収室において前記複数の圧力室に対応して複数設けられ、前記第２圧電体は、前記吸収室において前記複数の圧力室に対応して複数設けられてもよい。

【0082】

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１電極と前記第２電極の少なくとも一方に電圧を印加する第１駆動回路と、前記第３電極と前記第４電極の少なくとも一方に電圧を印加する第２駆動回路と、を更に有してもよい。この形態によれば、第１駆動回路により第１圧電素子を駆動し、第２駆動回路により第２圧電素子を駆動できる。

【0083】

（１２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１駆動回路は、第１タイミングにおいて、前記圧力室を収縮させ、前記第２駆動回路は、前記第１タイミングよりも後の第２タイミングにおいて、前記吸収室を膨張させてもよい。この形態によれば、第１タイミングにおいて液体を吐出した後に、第２タイミングにおいて第２圧電素子を駆動することにより供給側吸収室を膨張させるため、圧力室内に液体を満たした状態を作りやすくできる。これにより、リフィル性を向上させることができる。

【0084】

（１３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１駆動回路は、前記第２タイミングにおいて、前記圧力室を膨張させてもよい。この形態によれば、吸収室を膨張させる第２タイミングにおいて、圧力室を膨張させるため、さらにリフィル性を向上させることができる。

【0085】

（１４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１駆動回路は、第１タイミングにおいて、前記圧力室を収縮させ、前記第２駆動回路は、前記第１タイミングにおいて、前記吸収室を収縮させてもよい。この形態によれば、第１タイミングにおいて、圧力室と吸収室を同時に収縮させるため、吐出時の圧力室収縮に伴う圧力室からの圧力の逃げを抑制できる。

【0086】

（１５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１駆動回路は、第１タイミングにおいて前記圧力室を収縮させ、前記第２駆動回路は、前記第１タイミングよりも前の第３タイミングで前記吸収室を膨張させてもよい。この形態によれば、液体吐出前の第３タイミングにおいて、吸収室を膨張させて控除体積を増すことで、リフィル性を向上させることができる。

【0087】

（１６）本開示の他の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、を有する。この形態によれば、十分な振動吸収が可能になるとともに、液体吐出ヘッドのサイズアップを抑制することができる。

【0088】

また、本開示は、インクジェット方式に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体消費ヘッドを備える液体吐出装置。

【0089】

「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であれば良い。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。また、第１液体と第２液体との組み合わせの代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクと反応液との組み合わせのほか、以下のものが挙げられる。
（１）接着剤の主剤および硬化剤
（２）塗料のベース塗料および希釈剤や、クリア塗料および希釈剤
（３）細胞用インクの細胞を含有する主溶媒および希釈溶媒
（４）金属光沢感を発現するインク（メタリックインク）のメタリックリーフ顔料分散液および希釈溶媒
（５）車両用燃料のガソリン・軽油およびバイオ燃料
（６）薬品の薬主成分および保護成分
（７）発光ダイオード（ＬＥＤ）の蛍光体および封止材

【0090】

さらに、本開示は、上述した液体吐出ヘッド、液体吐出装置としての形態に限らず、液体吐出システムや、液体吐出装置を備える複合機等の種々の態様で実現可能である。

【符号の説明】

【0091】

１…液体吐出装置、２…液体容器、３…キャリッジ、４…キャリッジ搬送機構、４ａ…搬送ベルト、５…媒体搬送機構、５ａ…搬送ローラー、６…リニアエンコーダー、７ａ…第１駆動回路、７ｂ…第２駆動回路、８…循環機構、１０…液体吐出ヘッド、１１…第１圧電素子、１２…第２圧電素子、１３…第３圧電素子、２１…ノズル基板、２２…連通板、２３…圧力室基板、２４…振動板、２５…封止板、２６…ケース、３０…制御部、３１…ＣＰＵ、３２…駆動信号生成回路、３５…記憶部、３６…ＲＯＭ、３７…ＲＡＭ、４１…供給側共通流路、４２…個別流路、４３…排出側共通流路、４４…供給側吸収室、４５…排出側吸収室、５１…第１電極、５２…第１圧電体、５３…第２電極、５４…第１振動板、５５…第３電極、５６…第２圧電体、５７…第４電極、５８…第２振動板、６１，６２，６３…供給側液室部、６４…第４電極、６５…第１連通流路、６６…第２連通流路、６７…第３連通流路、７１，７２，７３…排出側液室部、７５…第１凹部、７６…第２凹部、７７…第３凹部、７８…貫通孔、８１…供給流路、８２…回収流路、８３…ポンプ、Ｃ…圧力室、Ｎ…ノズル、ＰＡ…印刷用紙

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】