特開 2024-33792 振動デバイス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024033792

(43)【公開日】2024-03-13

(54)【発明の名称】振動デバイス

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/19 20060101AFI20240306BHJP

【ＦＩ】

H03H9/19 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022137621

(22)【出願日】2022-08-31

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】松尾 敦司

(72)【発明者】

【氏名】磯畑 健作

(72)【発明者】

【氏名】松川 典仁

【テーマコード（参考）】

5J108

【Ｆターム（参考）】

5J108AA01

5J108BB02

5J108CC04

5J108CC10

5J108DD02

5J108EE03

5J108EE09

5J108EE18

5J108FF06

5J108GG03

(57)【要約】

【課題】支持応力による振動への影響を低減し、主振動の漏洩を抑制する振動デバイスを提供する。
【解決手段】振動デバイス１は、振動片２０と、振動片２０を収容する容器１０と、振動片２０と容器１０とを接合する接着部材５０と、を備え、振動片２０は、第１励振電極３１が設けられた第１主面２１ａと、第２励振電極３２が設けられ第１主面２１ａと表裏関係にある第２主面２１ｂと、第１励振電極３１及び第２励振電極３２によって励振される厚み滑り振動の変位方向に沿う第１方向に延在する側面２５と、を含み、第１方向と交差する方向である第２方向を長手方向とする振動部２１と、振動部２１の側面２５から第２方向に延出する連結腕２２と、連結腕２２から第１方向に延出する第１支持腕２３を含み、第１方向に沿って延在し、接着部材５０を介して容器１０に接合される支持部２４と、を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

振動片と、前記振動片を収容する容器と、前記振動片と前記容器とを接合する接着部材と、を備え、
前記振動片は、
第１励振電極が設けられた第１主面と、第２励振電極が設けられ前記第１主面と表裏関係にある第２主面と、前記第１励振電極及び前記第２励振電極によって励振される厚み滑り振動の変位方向に沿う第１方向に延在する側面と、を含み、前記第１方向と交差する方向である第２方向を長手方向とする振動部と、
前記振動部の前記側面から前記第２方向に延出する連結腕と、
前記連結腕から前記第１方向に延出する第１支持腕を含み、前記第１方向に沿って延在し、前記接着部材を介して前記容器に接合される支持部と、を有する、
振動デバイス。

【請求項2】

平面視において、前記接着部材が前記支持部と接合されている領域の接着面積が、前記支持部の面積の２０％以上である、
請求項１に記載の振動デバイス。

【請求項3】

前記連結腕は、前記側面における前記第１方向と反対方向側のコーナー部から延出している、
請求項１に記載の振動デバイス。

【請求項4】

平面視において、前記接着部材は、前記連結腕より前記第１方向側に位置している、
請求項３に記載の振動デバイス。

【請求項5】

前記支持部は、前記連結腕から前記第１方向とは反対方向の第３方向に延出する第２支持腕を含む、
請求項１に記載の振動デバイス。

【請求項6】

前記支持部は、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第１方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記接着部材は、第１接着剤と、前記第１接着剤から離間して配置された第２接着剤と、を含み、
前記第１接着剤及び前記第２接着剤は、導電性接着剤であり、
前記第１支持電極は、前記第１接着剤を介して前記容器と接着され、
前記第２支持電極は、前記第２接着剤を介して前記容器と接着される、
請求項１に記載の振動デバイス。

【請求項7】

前記支持部は、第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にあり、前記接着部材を介して前記容器に接着される第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第１方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、ボンディングワイヤーを介して前記容器に電気的に接続されている、
請求項１に記載の振動デバイス。

【請求項8】

前記接着部材は、非導電性接着剤である、
請求項７に記載の振動デバイス。

【請求項9】

前記支持部は、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第１方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第２支持電極は、前記第２支持主面に設けられており、
前記接着部材は、導電性接着剤であり、
前記第１支持電極は、前記接着部材を介して前記容器に電気的に接続されており、
前記第２支持電極は、ボンディングワイヤーを介して前記容器に電気的に接続されている、
請求項１に記載の振動デバイス。

【請求項10】

前記接着部材は、第１接着剤と、前記第１接着剤から離間して配置された第２接着剤と、前記第１接着剤及び前記第２接着剤から離間して配置された第３接着剤と、を含む、
請求項１に記載の振動デバイス。

【請求項11】

前記支持部は、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第１方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第１支持電極は、前記第１接着剤を介して前記容器と接着され、
前記第２支持電極は、前記第２接着剤を介して前記容器と接着され、
前記第１支持主面は、前記第３接着剤を介して前記容器と接着され、
前記第１接着剤及び前記第２接着剤は、導電性接着剤であり、
前記第３接着剤は、非導電性接着剤である、
請求項１０に記載の振動デバイス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動デバイスに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、一対の励振電極が設けられた振動部と、振動部から離間して伸びる支持部と、支持部の一端と振動部の端部とを連結するように伸びる連結部を備え、一対の励振電極から支持部の接合面までそれぞれ引出電極が引き出された構成とする圧電振動片を搭載することで、支持応力による振動への影響が抑制された振動デバイスである圧電デバイスが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５－１８６１９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１の圧電デバイスは、支持応力による主振動である厚み滑り振動への影響を抑制することはできるが、圧電振動片の連結部が厚み滑り振動する方向である水晶結晶のＸ軸に沿って振動部から延出しているため、振動漏れが大きくなり易く、振動特性が劣化するという課題があった。

【課題を解決するための手段】

【0005】

振動デバイスは、振動片と、前記振動片を収容する容器と、前記振動片と前記容器とを接合する接着部材と、を備え、前記振動片は、第１励振電極が設けられた第１主面と、第２励振電極が設けられ前記第１主面と表裏関係にある第２主面と、前記第１励振電極及び前記第２励振電極によって励振される厚み滑り振動の変位方向に沿う第１方向に延在する側面と、を含み、前記第１方向と交差する方向である第２方向を長手方向とする振動部と、前記振動部の前記側面から前記第２方向に延出する連結腕と、前記連結腕から前記第１方向に延出する第１支持腕を含み、前記第１方向に沿って延在し、前記接着部材を介して前記容器に接合される支持部と、を有する。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】第１実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。

【図2】図１中のＡ－Ａ線断面図。

【図3】図１中のＢ－Ｂ線断面図。

【図4】振動片の支持部の面積と接着部材の接着面積とを説明する平面図。

【図5】支持腕の面積と接着部材の接着面積との面積比に対するスプリアス振動のＱ値の関係を示す図。

【図6】第２実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。

【図7】第３実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。

【図8】第４実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。

【図9】第５実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。

【発明を実施するための形態】

【0007】

１．第１実施形態
先ず、第１実施形態に係る振動デバイス１について、図１～図４を参照して説明する。本実施形態の振動デバイス１では、振動片２０としてＡＴカットの水晶片を一例として挙げ説明する。

【0008】

尚、図１において、振動デバイス１の内部構成を説明する便宜上、リッド１３を取り外した状態を図示している。また、振動片２０としてのＡＴカット水晶振動片は、ＸＺ面の主面がＸ、Ｙ、Ｚの結晶軸のＸ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に約３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカット水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用い、以降の各図には、互いに直交するＸ軸、Ｙ’軸、及びＺ’軸を図示している。また、振動片２０の長手方向をＺ’軸に沿った方向として「Ｚ’方向」、振動片２０の厚み方向をＹ’軸に沿った方向として「Ｙ’方向」、Ｙ’軸及びＺ’軸に垂直な方向をＸ軸に沿った方向として「Ｘ方向」と言う。また、各軸の矢印側を「プラス側」、矢印と反対側を「マイナス側」とも言う。また、Ｙ’方向のプラス側を「上」、Ｙ’方向のマイナス側を「下」とも言う。また、本明細書では、第１方向がＸ方向又はプラスＸ方向であり、第１方向と交差する第２方向がＺ’方向であり、第１方向とは反対方向の第３方向がＸ方向又はマイナスＸ方向である。

【0009】

本実施形態の振動デバイス１は、図１、図２、及び図３に示すように、振動片２０と、振動片２０を収容する容器１０と、振動片２０と容器１０とを接合する接着部材５０と、を有する。

【0010】

振動片２０は、厚み滑り振動の変位方向に沿う第１方向であるＸ方向に延在する側面２５を含み、Ｘ方向と交差する第２方向であるＺ’方向を長手方向とする振動部２１と、振動部２１の側面２５からプラスＺ’方向に延出する連結腕２２と、連結腕２２からプラスＸ方向に延出する第１支持腕２３を含み、プラスＸ方向に沿って延在し、接着部材５０を介して容器１０に接合される支持部２４と、を有する。

【0011】

振動部２１は、第１主面２１ａと、第１主面２１ａと表裏関係にある第２主面２１ｂと、を有し、第１主面２１ａに第１励振電極３１が設けられ、第２主面２１ｂに第２励振電極３２が設けられている。そのため、第１励振電極３１及び第２励振電極３２によって、Ｘ方向を変位方向とする厚み滑り振動を励振させることができる。

【0012】

連結腕２２は、振動部２１の側面２５におけるＸ方向と反対方向側のコーナー部、つまり、マイナスＸ方向側のコーナー部からプラスＺ’方向に延出している。

【0013】

支持部２４は、接着部材５０を介して容器１０に接合される第１支持主面２３ａと、第１支持主面２３ａと表裏関係にある第２支持主面２３ｂと、を有し、第１支持主面２３ａには、第１励振電極３１と電気的に接続された第１支持電極３５と、第２励振電極３２と電気的に接続されて第１支持電極３５よりプラスＸ方向側に位置する第２支持電極３６と、が設けられている。

【0014】

尚、第１励振電極３１と第１支持電極３５とは、連結腕２２の第１連結主面２２ａに設けられた第１リード電極３３を介して電気的に接続され、第２励振電極３２と第２支持電極３６とは、連結腕２２の第２連結主面２２ｂ及び支持部２４の第２支持主面２３ｂに設けられた第２リード電極３４を介して電気的に接続されている。また、第１支持主面２３ａに設けられた第２支持電極３６と支持部２４の第２支持主面２３ｂに設けられた第２リード電極３４とは、支持部２４の側面に設けられた図示しない側面電極を介して電気的に接続されている。

【0015】

接着部材５０は、連結腕２２よりプラスＸ方向側に位置し、導電性接着剤であり、連結腕２２よりプラスＸ方向側に位置し、第１接着剤５１と、第１接着剤５１から離間して配置された第２接着剤５２と、を含む。また、第１接着剤５１及び第２接着剤５２は、導電性接着剤である。第１支持電極３５は、第１接着剤５１を介して容器１０と接合され、第２支持電極３６は、第２接着剤５２を介して容器１０と接合されている。尚、具体的には、支持部２４に設けられた第１支持電極３５及び第２支持電極３６は、それぞれ第１接着剤５１及び第２接着剤５２を介して容器１０に設けられた内部電極１４，１５に電気的に接続され、且つ、機械的に接合されている。そのため、振動片２０は、支持部２４を固定部とする片持ち構造で容器１０内に接合される。

【0016】

本実施形態の振動片２０は、振動部２１と支持部２４とを連結する連結腕２２が振動部２１の側面２５から第２方向であるＺ’方向のプラス方向に延出しているため、Ｘ方向を変位方向とする厚み滑り振動が支持部２４へ振動漏れするのを抑制することができる。

【0017】

次に、接着部材５０の接着面積Ａ３と主振動の近傍に生ずるスプリアス振動のＱ値との関係について、図４及び図５を参照して説明する。

【0018】

振動片２０は、振動部２１、連結腕２２、及び第１支持腕２３を含む支持部２４で構成され、支持部２４の面積Ａ０は、平面視で、連結腕２２からプラスＸ方向に延出した部分であり、図４に示すように、ハッチングした部分である。

【0019】

また、支持部２４と接合されている領域の接着部材５０の接着面積Ａ３は、平面視で、ハッチングで示した第１接着剤５１の接着面積Ａ１と第２接着剤５２の接着面積Ａ２とを加算した値である。

【0020】

次に、振動片２０の支持腕２３の面積Ａ０に対する接着部材５０の接着面積Ａ３の面積比（Ａ３／Ａ０）と面積比（Ａ３／Ａ０）が１０％におけるスプリアス振動のＱ値をＱ０として基準とするスプリアス振動のＱ値比（Ｑ／Ｑ０）との関係は、図５に示すように、面積比（Ａ３／Ａ０）が２０％以上において、面積比（Ａ３／Ａ０）が１０％の場合に比べ、約６０％以下となる傾向を示している。

【0021】

これは、面積比（Ａ３／Ａ０）が２０％以上となると、接着部材５０にダンピング効果が生じ、スプリアスの振動を減衰させるためで、接着部材５０の支持部２４と接合されている領域の接着面積Ａ３を、支持部２４の面積Ａ０の２０％以上とすることで接着部材５０のダンピング効果により不要な振動であるスプリアス振動を抑制することができる。従って、本実施形態では、接着部材５０の支持部２４と接合されている領域の接着面積Ａ３は、支持部２４の面積Ａ０の２０％以上である。

【0022】

尚、面積比（Ａ３／Ａ０）が３０％以上であると、面積比（Ａ３／Ａ０）が１０％の場合に比べ、スプリアス振動のＱ値が約４０％以下となる。そのため、接着部材５０の支持部２４と接合されている領域の接着面積Ａ３は、支持部２４の面積Ａ０の３０％以上であることがより望ましい。

【0023】

また、本実施形態では、接着部材５０の支持腕２３と接合されている領域の接着面積Ａ３は、支持腕２３の面積Ａ０の７０％以下であっても良い。このようにすることで、第１接着剤５１と第２接着剤５２とがショートすることを防止し易くなる。

【0024】

容器１０は、板状の第１基板１１ａと枠状で収容空間Ｓを構成する第２基板１１ｂとを積層してなるベース基板１１と、振動片２０を収容する収容空間Ｓを覆うリッド１３と、ベース基板１１とリッド１３とを接合し、収容空間Ｓを気密状態とする接合部材１２と、を有する。

【0025】

また、容器１０の第１基板１１ａの上面には、２つの内部電極１４，１５が設けられており、第１基板１１ａの下面には、２つの外部端子１６，１７が設けられている。内部電極１４は、外部端子１６とは反対側の端部において、第１接着剤５１を介して第１支持電極３５と電気的に接続され、内部電極１５は、外部端子１７とは反対側の端部において、第２接着剤５２を介して第２支持電極３６と電気的に接続されている。尚、内部電極１４と外部端子１６とは、第１基板１１ａを貫通する図示しない貫通電極を介して電気的に接続され、内部電極１５と外部端子１７とは、第１基板１１ａを貫通する図示しない貫通電極を介して電気的に接続されている。

【0026】

以上で述べたように本実施形態の振動デバイス１は、振動部２１と支持部２４とを連結する連結腕２２が振動部２１の側面２５から第２方向であるＺ’方向のプラス方向に延出しているため、Ｘ方向を変位方向とする厚み滑り振動が支持部２４へ振動漏れするのを抑制することができ、振動特性の劣化を低減することができる。そのため、安定な振動特性を有する振動デバイス１を得ることができる。

【0027】

２．第２実施形態
次に、第２実施形態に係る振動デバイス１ａについて、図６を参照して説明する。
尚、図６において、振動デバイス１ａの内部構成を説明する便宜上、リッド１３を取り外した状態を図示している。

【0028】

本実施形態の振動デバイス１ａは、振動片２０ａの形状と内部電極１４ａの配置位置が異なること以外は、第１実施形態の振動デバイス１と同様である。尚、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

【0029】

本実施形態の振動デバイス１ａは、図６に示すように、第１支持腕２３に加え、連結腕２２から第１方向であるプラスＸ方向とは反対方向の第３方向であるマイナスＸ方向に延出する第２支持腕２６を含む支持部２４を有する振動片２０ａを備えている。

【0030】

振動片２０ａは、振動部２１と、振動部２１の側面２５のＸ方向の中央部からプラスＺ’方向に延出する連結腕２２と、連結腕２２のＺ’方向のプラス側端部からプラスＸ方向に延出する第１支持腕２３を含む支持部２４ａと、連結腕２２のＺ’方向のプラス側端部からマイナスＸ方向に延出する第２支持腕２６を含む支持部２４ｂと、有する。

【0031】

支持部２４ａの第１支持主面２３ａには、第１励振電極３１と電気的に接続された第１支持電極３５が設けられ、支持部２４ｂの第１支持主面２３ａには、第２励振電極３２と電気的に接続された第２支持電極３６が設けられている。
第１支持電極３５は、第１接着剤５１を介して容器１０ａに設けられた内部電極１５に電気的に接続され、且つ、機械的に接合されている。また、第２支持電極３６は、第２接着剤５２を介して容器１０ａの第２支持電極３６に対向した位置に設けられた内部電極１４ａに電気的に接続され、且つ、機械的に接合されている。

【0032】

本実施形態の振動片２０ａは、振動部２１と支持部２４ａ，２４ｂとを連結する連結腕２２が振動部２１の側面２５のＸ方向の中央部から延出しているので、第１実施形態の連結腕２２が振動部２１のコーナー部から延出している振動片２０に比べ、Ｙ’方向の衝撃やＹ’軸回りの衝撃に対しての機械的強度を高くすることができる。

【0033】

このような構成とすることで、第１実施形態で得られる効果に加え、振動片２０ａの衝撃に対しての機械的強度を高めることができる。

【0034】

３．第３実施形態
次に、第３実施形態に係る振動デバイス１ｂについて、図７を参照して説明する。
尚、図７において、振動デバイス１ｂの内部構成を説明する便宜上、リッド１３を取り外した状態を図示している。

【0035】

本実施形態の振動デバイス１ｂは、振動片２０が表裏反転し、接着部材５０ｂが非導電性接着剤であり、第１支持電極３５及び第２支持電極３６がボンディングワイヤー５５を介して容器１０ｂに電気的に接続され、内部電極１４ｂ，１５ｂの形状が異なること以外は、第１実施形態の振動デバイス１と同様である。尚、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

【0036】

本実施形態の振動デバイス１ｂは、図７に示すように、第１実施形態と同じ振動片２０の第２主面２１ｂ及び第２支持主面２３ｂが容器１０ｂ側に位置するように、表裏反転して配置され、支持部２４の第２支持主面２３ｂが接着部材５０ｂを介して容器１０ｂに接合されている。尚、本実施形態では、接着部材５０ｂは非導電性接着剤であるが、これに限定されず、導電性接着剤であっても良い。

【0037】

第１支持主面２３ａに設けられた第１支持電極３５及び第２支持電極３６は、容器１０ｂ側とは反対側に配置されている。そのため、第１支持電極３５と内部電極１５ｂとは、ボンディングワイヤー５５を介して電気的に接続され、第２支持電極３６と内部電極１４ｂとは、ボンディングワイヤー５５を介して電気的に接続されている。

【0038】

第１支持電極３５及び第２支持電極３６と内部電極１４ｂ，１５ｂとがボンディングワイヤー５５を介して電気的に接続されているため、支持部２４を容器１０ｂに接合する接着部材５０ｂの接着面積Ａ３を大きくすることができ、接着強度をより高め、且つ、接着部材５０ｂのダンピング効果によってスプリアス振動をより抑制することができる。

【0039】

このような構成とすることで、第１実施形態で得られる効果に加え、スプリアス振動を抑制することができる。

【0040】

４．第４実施形態
次に、第４実施形態に係る振動デバイス１ｃについて、図８を参照して説明する。
尚、図８において、振動デバイス１ｃの内部構成を説明する便宜上、リッド１３を取り外した状態を図示している。

【0041】

本実施形態の振動デバイス１ｃは、第２支持電極３６ｃが第２支持主面２３ｂに配置され、第２支持電極３６ｃがボンディングワイヤー５５を介して容器１０ｃに電気的に接続され、内部電極１５ｃの形状が異なること以外は、第１実施形態の振動デバイス１と同様である。尚、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

【0042】

本実施形態の振動デバイス１ｃは、図８に示すように、第２支持電極３６ｃが第２支持主面２３ｂに配置され、第２支持電極３６ｃがボンディングワイヤー５５を介して容器１０ｃに電気的に接続されている。

【0043】

支持部２４は、第１支持主面２３ａ側を導電性接着剤である接着部材５０を介して容器１０ｃに接合されている。より具体的には、第１支持主面２３ａに設けられた第１支持電極３５が接着部材５０ｃを介して容器１０ｃに設けられた内部電極１４に電気的に接続され、第１支持電極３５が設けられていない第１支持主面２３ａの一部が接着部材５０ｃを介して容器１０ｃに接合されている。そのため、接着部材５０ｃの接着面積Ａ３を大きくすることができ、接着強度をより高め、且つ、接着部材５０ｃのダンピング効果によってスプリアス振動をより抑制することができる。

【0044】

このような構成とすることで、第１実施形態で得られる効果に加え、スプリアス振動をより抑制することができる。尚、本実施形態では、１つの接着部材５０ｃで支持腕２３を容器１０ｃに接合しているが、第１実施形態と同様に２つの接着部材５０ｃで支持腕２３を容器１０ｃに接合してても構わない。

【0045】

５．第５実施形態
次に、第５実施形態に係る振動デバイス１ｄについて、図９を参照して説明する。
尚、図９において、振動デバイス１ｄの内部構成を説明する便宜上、リッド１３を取り外した状態を図示している。

【0046】

本実施形態の振動デバイス１ｄは、第１接着剤５１と第２接着剤５２との間に第３接着剤５３が配置されていること以外は、第１実施形態の振動デバイス１と同様である。尚、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

【0047】

本実施形態の振動デバイス１ｄは、図９に示すように、支持部２４を容器１０に接着する接着部材５０ｄが第１接着剤５１と、第１接着剤５１から離間して配置された第２接着剤５２と、第１接着剤５１及び第２接着剤５２から離間して配置された第３接着剤５３と、含む。より具体的には、第１接着剤５１と第２接着剤５２との間に第３接着剤５３が配置されている。

【0048】

第１接着剤５１は、導電性接着剤であり、支持部２４の第１支持主面２３ａに設けられた第１支持電極３５と容器１０に設けられた内部電極１４とを電気的に接続している。第２接着剤５２は、導電性接着剤であり、支持部２４の第１支持主面２３ａに設けられた第２支持電極３６と容器１０に設けられた内部電極１５とを電気的に接続している。第３接着剤５３は、非導電性接着剤であり、支持部２４の第１支持主面２３ａに設けられた第１支持電極３５と第２支持電極３６との間と容器１０とを接合している。

【0049】

第１接着剤５１と第２接着剤５２との間に非導電性接着剤である第３接着剤５３を配置することで、第１支持電極３５と第２支持電極３６とのショートを防止しつつ接着部材５０ｄの接着面積Ａ３を大きくすることができ、接着強度をより高め、且つ、接着部材５０ｄのダンピング効果によってスプリアス振動をより抑制することができる。尚、本実施形態では、第３接着剤５３を非導電性接着剤とすることで電極間のショートを防止できるが、必ずしもこれに限定されない。第１接着剤５１と第３接着剤５３との距離、および第２接着剤５２と第３接着剤５３との距離を十分に確保すれば、第３接着剤５３は導電性接着剤であっても良い。

【0050】

このような構成とすることで、第１実施形態で得られる効果に加え、スプリアス振動をより抑制することができる。

【符号の説明】

【0051】

１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ…振動デバイス、１０…容器、１１…ベース基板、１１ａ…第１基板、１１ｂ…第２基板、１２…接合部材、１３…リッド、１４，１５…内部電極、１６，１７…外部端子、２０…振動片、２１…振動部、２１ａ…第１主面、２１ｂ…第２主面、２２…連結腕、２２ａ…第１連結主面、２２ｂ…第２連結主面、２３…第１支持腕、２３ａ…第１支持主面、２３ｂ…第２支持主面、２４…支持部、２５…側面、３１…第１励振電極、３２…第２励振電極、３３…第１リード電極、３４…第２リード電極、３５…第１支持電極、３６…第２支持電極、５０…接着部材、５１…第１接着剤、５２…第２接着剤、Ａ０…面積、Ａ１，Ａ２，Ａ３…接着面積、Ｓ…収容空間。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】