特開 2024-34041 フィルタ装置及びマルチプレクサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024034041

(43)【公開日】2024-03-13

(54)【発明の名称】フィルタ装置及びマルチプレクサ

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/145 20060101AFI20240306BHJP

【ＦＩ】

H03H9/145 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022138030

(22)【出願日】2022-08-31

(71)【出願人】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001232

【氏名又は名称】弁理士法人大阪フロント特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】高田 俊明

【テーマコード（参考）】

5J097

【Ｆターム（参考）】

5J097AA01

5J097BB15

5J097CC05

5J097DD12

5J097KK03

5J097KK04

(57)【要約】      （修正有）

【課題】通過帯域内における低域側の挿入損失を小さくすることができる、フィルタ装置を提供する。
【解決手段】フィルタ装置１は、入力及び出力端子２Ａ、２Ｂと、グラウンド端子９と、第１、第２の並列腕共振子Ｐ３ａ、Ｐ３ｂを含む複数の並列腕共振子とを備える。複数の並列腕共振子は各々、複数の電極指を含むＩＤＴ電極を有し、電極指が延びる方向を電極指延伸方向としたとき、電極指延伸方向と直交し、隣り合う電極指同士が重なり合っている交叉領域を含む。第１、第２の並列腕共振子の反共振周波数が通過帯域内に有り、第１の並列腕共振子の共振周波数が第２の並列腕共振子の共振周波数よりも高い。第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数が、第２の並列腕共振子の対数よりも多い。交叉領域の電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅としたときに、第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅が、第２の並列腕共振子の交叉幅よりも狭い。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

通過帯域を有する帯域通過型のフィルタ装置であって、
入力端子及び出力端子と、
少なくとも１つのグラウンド端子と、
第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子を含む複数の並列腕共振子と、
を備え、
回路構成において、前記入力端子及び前記出力端子を結ぶ経路が直列腕であり、前記直列腕から前記グラウンド端子に分岐する複数の経路が、複数の並列腕であり、
前記複数の並列腕が、前記直列腕における同じ電位の部分から前記グラウンド端子に分岐している第１の並列腕及び第２の並列腕を含み、前記第１の並列腕共振子が前記第１の並列腕に設けられており、前記第２の並列腕共振子が前記第２の並列腕に設けられており、
前記複数の並列腕共振子がそれぞれ、複数の電極指を含むＩＤＴ電極を有し、各前記ＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が延びる方向を電極指延伸方向としたときに、各前記ＩＤＴ電極が、前記電極指延伸方向と直交する方向において、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域である交叉領域を含み、
前記第１の並列腕共振子及び前記第２の並列腕共振子の反共振周波数の双方が前記通過帯域内に位置しており、
前記第１の並列腕共振子の共振周波数が前記第２の並列腕共振子の共振周波数よりも高く、前記第１の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記電極指の対数が、前記第２の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記電極指の対数よりも多く、前記交叉領域の前記電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅としたときに、前記第１の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅が、前記第２の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅よりも狭い、フィルタ装置。

【請求項2】

前記第１の並列腕共振子及び前記第２の並列腕共振子がそれぞれ、前記ＩＤＴ電極を挟み対向している１対の反射器を有し、
各前記反射器が複数の反射器電極指を含み、
前記第１の並列腕共振子における前記反射器の前記反射器電極指の本数が、前記第２の並列腕共振子における前記反射器の前記反射器電極指の本数よりも少ない、請求項１に記載のフィルタ装置。

【請求項3】

前記第１の並列腕共振子におけるＱ値が最も高い周波数をｆ１、前記第２の並列腕共振子におけるＱ値が最も高い周波数をｆ２としたときに、（｜ｆ１－ｆ２｜／ｆ１）×１００［％］≦１［％］である、請求項１に記載のフィルタ装置。

【請求項4】

前記第１の並列腕共振子の静電容量が、前記第２の並列腕共振子の静電容量よりも小さい、請求項１に記載のフィルタ装置。

【請求項5】

前記複数の並列腕共振子が、前記第１の並列腕に設けられており、前記第１の並列腕共振子と直列に接続されている、第３の並列腕共振子を含む、請求項１に記載のフィルタ装置。

【請求項6】

前記第１の並列腕共振子及び前記第３の並列腕共振子の合成された静電容量が、前記第２の並列腕共振子の静電容量よりも小さい、請求項５に記載のフィルタ装置。

【請求項7】

前記直列腕に設けられている少なくとも１つの弾性波素子をさらに備え、
前記複数の並列腕が少なくとも１つの第３の並列腕を含み、前記直列腕における前記第３の並列腕が分岐している部分と、前記直列腕における前記第１の並列腕及び前記第２の並列腕が分岐している部分とが、前記弾性波素子により隔てられており、
前記複数の並列腕共振子が、前記第３の並列腕に設けられている少なくとも１つの第４の並列腕共振子を含み、
全ての前記並列腕共振子の共振周波数のうち、前記第１の並列腕共振子の共振周波数が最も高く、全ての前記並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅のうち、前記第１の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅が最も狭い、請求項１に記載のフィルタ装置。

【請求項8】

ラダー型フィルタであって、
前記直列腕に設けられている少なくとも１つの弾性波素子をさらに備え、
前記弾性波素子が直列腕共振子である、請求項１に記載のフィルタ装置。

【請求項9】

共通接続端子と、
前記共通接続端子に共通接続されている複数のフィルタと、
を備え、
少なくとも１つの前記フィルタが、請求項１に記載のフィルタ装置である、マルチプレクサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、フィルタ装置及びマルチプレクサに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、複数の弾性波共振子を有するフィルタ装置が、携帯電話機のフィルタなどとして広く用いられている。下記の特許文献１には、弾性表面波フィルタの一例が開示されている。特許文献１の弾性表面波フィルタはラダー型回路を有する。ラダー型回路においては、並列共振子群が設けられている。並列共振子群においては、２つの並列共振子が互いに並列に接続されている。並列共振子群における２つの並列共振子の共振周波数は、互いに異なる。一方で、該２つ並列共振子においては、ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極の電極指の対数、及び交叉幅は同じである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１１－３１２９５１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の弾性表面波フィルタにおいては、並列共振子群における２つの並列共振子のＱ値を合成したＱ値としての、合成Ｑ値の最大値を十分に高くすることはできない。そのため、通過帯域内における低域側の挿入損失が大きくなる。

【0005】

本発明の目的は、通過帯域内における低域側の挿入損失を小さくすることができる、フィルタ装置及びマルチプレクサを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係るフィルタ装置は、通過帯域を有する帯域通過型のフィルタ装置であって、入力端子及び出力端子と、少なくとも１つのグラウンド端子と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子を含む複数の並列腕共振子とを備え、回路構成において、前記入力端子及び前記出力端子を結ぶ経路が直列腕であり、前記直列腕から前記グラウンド端子に分岐する複数の経路が、複数の並列腕であり、前記複数の並列腕が、前記直列腕における同じ電位の部分から前記グラウンド端子に分岐している第１の並列腕及び第２の並列腕を含み、前記第１の並列腕共振子が前記第１の並列腕に設けられており、前記第２の並列腕共振子が前記第２の並列腕に設けられており、前記複数の並列腕共振子がそれぞれ、複数の電極指を含むＩＤＴ電極を有し、各前記ＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が延びる方向を電極指延伸方向としたときに、各前記ＩＤＴ電極が、前記電極指延伸方向と直交する方向において、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域である交叉領域を含み、前記第１の並列腕共振子及び前記第２の並列腕共振子の反共振周波数の双方が前記通過帯域内に位置しており、前記第１の並列腕共振子の共振周波数が前記第２の並列腕共振子の共振周波数よりも高く、前記第１の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記電極指の対数が、前記第２の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記電極指の対数よりも多く、前記交叉領域の前記電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅としたときに、前記第１の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅が、前記第２の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅よりも狭い。

【0007】

本発明に係るマルチプレクサは、共通接続端子と、前記共通接続端子に共通接続されている複数のフィルタとを備え、少なくとも１つの前記フィルタが、本発明に従い構成されているフィルタ装置である。

【発明の効果】

【0008】

本発明に係るフィルタ装置及びマルチプレクサによれば、通過帯域内における低域側の挿入損失を小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第１の実施形態に係るフィルタ装置の回路図である。

【図2】本発明の第１の実施形態における第１の並列腕共振子の電極構成の概略を示す平面図である。

【図3】本発明の第１の実施形態及び第１の参考例における減衰量周波数特性を示す図である。

【図4】本発明の第１の実施形態における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれのインピーダンス周波数特性と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたインピーダンス周波数特性とを示す図である。

【図5】第１の参考例における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれのインピーダンス周波数特性と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたインピーダンス周波数特性とを示す図である。

【図6】本発明の第１の実施形態における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれのＱ特性と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ特性とを示す図である。

【図7】第１の参考例における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれのＱ特性と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ特性とを示す図である。

【図8】本発明の第１の実施形態の変形例に係るフィルタ装置の回路図である。

【図9】本発明の第２の実施形態に係るマルチプレクサの模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

【0011】

なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

【0012】

図１は、本発明の第１の実施形態に係るフィルタ装置の回路図である。

【0013】

フィルタ装置１はラダー型フィルタである。本実施形態においては、フィルタ装置１は送信フィルタである。フィルタ装置１の通過帯域は、Ｂａｎｄ１３及び１４の送信帯域であり、７７７ＭＨｚ～７９８ＭＨｚである。もっとも、フィルタ装置１の通過帯域は上記に限定されない。さらに、本発明のフィルタ装置は、通過帯域を有する帯域通過型のフィルタ装置であればよい。例えば、フィルタ装置１は受信フィルタであってもよい。なお、本明細書において、フィルタ装置の通過帯域とは、フィルタ装置における挿入損失のピーク値を基準とした場合に、挿入損失の値がピーク値から３ｄＢ以内となる帯域のことである。挿入損失のピーク値とは、フィルタ装置における挿入損失の最小値である。

【0014】

フィルタ装置１は、入力端子２Ａと、出力端子２Ｂと、複数のグラウンド端子９と、複数の直列腕共振子と、複数の並列腕共振子とを有する。本実施形態では、入力端子２Ａ、出力端子２Ｂ及びグラウンド端子９は、電極パッドとして構成されている。もっとも、入力端子２Ａ、出力端子２Ｂ及びグラウンド端子９は、配線として構成されていてもよい。

【0015】

なお、フィルタ装置１の回路構成は、直列腕Ａ及び複数の並列腕を含む。直列腕Ａは、入力端子２Ａ及び出力端子２Ｂを結ぶ経路である。直列腕Ａに、各直列腕共振子が設けられている。一方で、各並列腕は、直列腕Ａから各グラウンド端子９に分岐する経路である。各並列腕に、各並列腕共振子が設けられている。なお、グラウンド端子９は基準電位に接続される端子である。

【0016】

本実施形態の複数の直列腕共振子は、具体的には、直列腕共振子Ｓ１、直列腕共振子Ｓ２、直列腕共振子Ｓ３及び直列腕共振子Ｓ４である。入力端子２Ａ側から、直列腕共振子Ｓ１、直列腕共振子Ｓ２、直列腕共振子Ｓ３及び直列腕共振子Ｓ４が、この順序において接続されている。

【0017】

本実施形態の複数の並列腕共振子は、具体的には、並列腕共振子Ｐ１、並列腕共振子Ｐ２、並列腕共振子Ｐ３ａ、並列腕共振子Ｐ３ｂ及び並列腕共振子Ｐ４である。ここで、複数の並列腕は、並列腕Ｂ１、並列腕Ｂ２、並列腕Ｂ３ａ、並列腕Ｂ３ｂ及び並列腕Ｂ４を含む。並列腕Ｂ１は、直列腕Ａにおける、入力端子２Ａ及び直列腕共振子Ｓ１の間の部分から分岐している。並列腕Ｂ１に並列腕共振子Ｐ１が設けられている。並列腕Ｂ２は、直列腕Ａにおける、直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ２の間の部分から分岐している。並列腕Ｂ２に並列腕共振子Ｐ２が設けられている。

【0018】

並列腕Ｂ３ａ及び並列腕Ｂ３ｂは、直列腕Ａにおける、直列腕共振子Ｓ２及び直列腕共振子Ｓ３の間の部分から分岐している。すなわち、並列腕Ｂ３ａ及び並列腕Ｂ３ｂは、直列腕Ａにおける同じ電位の部分からグラウンド端子９に分岐している。並列腕Ｂ３ａに並列腕共振子Ｐ３ａが設けられている。並列腕Ｂ３ｂに並列腕共振子Ｐ３ｂが設けられている。並列腕Ｂ３ａは、本発明における第１の並列腕である。並列腕共振子Ｐ３ａは、本発明における第１の並列腕共振子である。一方で、並列腕Ｂ３ｂは、本発明における第２の並列腕である。並列腕共振子Ｐ３ｂは、本発明における第２の並列腕共振子である。

【0019】

並列腕Ｂ４は、直列腕Ａにおける、直列腕共振子Ｓ３及び直列腕共振子Ｓ４の間の部分から分岐している。並列腕Ｂ４に並列腕共振子Ｐ４が設けられている。なお、フィルタ装置１の回路構成は上記に限定されない。フィルタ装置１は、第１の並列腕及び第２の並列腕を含んでいればよく、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子を含んでいればよい。図１に示すように、本実施形態においては、全ての並列腕が個別にグラウンド端子９に接続されている。もっとも、２つ以上の並列腕が、１つのグラウンド端子９に共通接続されていてもよい。少なくとも１つのグラウンド端子９が設けられていればよい。

【0020】

フィルタ装置１の全ての直列腕共振子及び全ての並列腕共振子は弾性波素子である。より具体的には、フィルタ装置１の全ての直列腕共振子及び全ての並列腕共振子は弾性表面波共振子である。各共振子の具体的な構成を、以下において説明する。

【0021】

図２は、第１の実施形態における第１の並列腕共振子の電極構成の概略を示す平面図である。なお、図２においては、第１の並列腕共振子としての並列腕共振子Ｐ３ａに接続された配線などを省略している。

【0022】

並列腕共振子Ｐ３ａは、他の各並列腕共振子及び各直列腕共振子と、圧電性基板３を共有している。本実施形態では、圧電性基板３は、圧電材料のみからなる基板である。圧電材料としては、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、水晶、またはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などを用いることができる。

【0023】

なお、圧電性基板３は、圧電体層を含む積層基板であってもよい。圧電体層には、上記のような圧電材料を用いることができる。圧電性基板３が積層基板である場合、例えば、支持基板上に圧電体層が積層されていてもよい。あるいは、例えば、支持基板及び圧電体層の間に、少なくとも１層の誘電体層が積層されていてもよい。

【0024】

図２に示すように、並列腕共振子Ｐ３ａは、ＩＤＴ電極４と、１対の反射器５Ａ及び反射器５Ｂとを有する。圧電性基板３上にＩＤＴ電極４及び１対の反射器が設けられている。ＩＤＴ電極４に交流電圧を印加することにより、弾性波が励振される。

【0025】

ＩＤＴ電極４は、第１のバスバー７Ａ及び第２のバスバー７Ｂと、複数の第１の電極指８Ａ及び複数の第２の電極指８Ｂとを有する。第１のバスバー７Ａ及び第２のバスバー７Ｂは互いに対向している。複数の第１の電極指８Ａの一端がそれぞれ、第１のバスバー７Ａに接続されている。複数の第２の電極指８Ｂの一端がそれぞれ、第２のバスバー７Ｂに接続されている。第１の電極指８Ａ及び第２の電極指８Ｂは、互いに異なる電位に接続される。複数の第１の電極指８Ａ及び複数の第２の電極指８Ｂは互いに間挿し合っている。

【0026】

以下においては、第１の電極指８Ａ及び第２の電極指８Ｂをまとめて、単に電極指と記載することがある。複数の電極指が延びる方向を電極指延伸方向とし、電極指延伸方向に垂直な方向から見たときに、互いに異なる電位に接続される、隣り合う電極指同士が重なり合う領域が、ＩＤＴ電極４の交叉領域Ｄである。交叉領域Ｄにおいて弾性波が励振される。以下においては、交叉領域Ｄの電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅とする。なお、互いに異なる電位に接続される、隣り合う電極指１本ずつの組を１対の電極指とする。交叉領域Ｄを構成する電極指の総本数をＮ本としたとき、電極指の対数は（Ｎ－１）／２［対］として導出できる。

【0027】

反射器５Ａ及び反射器５Ｂは、電極指延伸方向に垂直な方向において、ＩＤＴ電極４を挟み互いに対向している。各反射器は、複数の反射器電極指６Ａを含む。ＩＤＴ電極４、反射器５Ａ及び反射器５Ｂは、単層の金属膜からなっていてもよく、あるいは積層金属膜からなっていてもよい。

【0028】

図１に示す、並列腕共振子Ｐ３ａ以外の各並列腕共振子及び各直列腕共振子も、並列腕共振子Ｐ３ａと同様に、ＩＤＴ電極及び１対の反射器を有し、かつ交叉領域を有する。上記のように、フィルタ装置１においては、全ての並列腕共振子及び全ての直列腕共振子は、圧電性基板３を共有している。もっとも、各直列腕共振子及び各並列腕共振子が、圧電性基板３を個別に有していても構わない。

【0029】

本実施形態の特徴は、以下の構成を有することにある。１）第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の反共振周波数の双方が通過帯域内に位置していること。２）第１の並列腕共振子の共振周波数が第２の並列腕共振子の共振周波数よりも高いこと。３）第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数が、第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数よりも多いこと。４）第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅が、第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅よりも狭いこと。それによって、フィルタ装置１の通過帯域内における低域側の挿入損失を小さくすることができる。この詳細を、本実施形態と第１の参考例とを比較することにより、以下において説明する。

【0030】

第１の参考例は、第１の実施形態と同様の回路構成を有する。第１の参考例は、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子における、ＩＤＴ電極の電極指の対数及び交叉幅のみにおいて、第１の実施形態と異なる。具体的には、第１の参考例は、第１の実施形態における、上記３）及び４）の構成を有しない。より具体的には、第１の実施形態及び第１の参考例における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の設計パラメータは、表１に示す通りである。なお、第１の参考例の回路構成は、第１の実施形態の回路構成と同じであるため、図１などの符号を、第１の参考例の説明に援用することがある。

【0031】

【表1】

【0032】

第１の実施形態及び第１の参考例の、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子以外の並列腕共振子の設計パラメータは、表２に示す通りである。なお、表１及び表２に示す設計パラメータは一例であって、第１の実施形態における各並列腕共振子の設計パラメータは、表１及び表２の設計パラメータに限定されない。

【0033】

【表2】

【0034】

第１の実施形態及び第１の参考例の減衰量周波数特性を比較した。

【0035】

図３は、第１の実施形態及び第１の参考例における減衰量周波数特性を示す図である。図３中の両矢印Ｗは、第１の実施形態及び第１の参考例のフィルタ装置の通過帯域を示す。他の図においても同様である。

【0036】

図３に示すように、第１の実施形態においては、第１の参考例よりも、通過帯域内における低域側の挿入損失が小さいことがわかる。これは、第１の実施形態が上記１）～４）の構成を有することによる。すなわち、第１の実施形態においては、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の反共振周波数の双方が通過帯域内に位置している。そのため、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子は、フィルタ装置１の通過帯域を構成している。そして、上記２）～４）の構成により、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ値を、通過帯域内の低域側において高くすることができる。それによって、通過帯域内における低域側の挿入損失を小さくすることができる。合成されたＱ値を高くできることの詳細を、以下において説明する。

【0037】

フィルタ装置１における各共振子の電気的特性が、フィルタ装置１のフィルタ特性などを構成する。例えば、図１に示す並列腕共振子Ｐ１や並列腕共振子Ｐ２が上記フィルタ特性などを構成する要素は、該並列腕共振子の個別の電気的特性である。一方で、第１の並列腕共振子としての並列腕共振子Ｐ３ａ、及び第２の並列腕共振子としての並列腕共振子Ｐ３ｂは、直列腕Ａの同じ電位の部分から分岐された各並列腕に設けられている。そのため、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子が上記フィルタ特性などを構成する要素は、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成された電気的特性となる。図４及び図５により、第１の実施形態及び第１の参考例における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたインピーダンス周波数特性を示す。

【0038】

図４は、第１の実施形態における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれのインピーダンス周波数特性と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたインピーダンス周波数特性とを示す図である。図５は、第１の参考例における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれのインピーダンス周波数特性と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたインピーダンス周波数特性とを示す図である。

【0039】

図４に示すように、合成されたインピーダンス周波数特性においては、２つの共振点と、１つの反共振点とが現れている。合成されたインピーダンス周波数特性における２つの共振点のうち一方の周波数は、第１の並列腕共振子の共振周波数と同じである。２つの共振点のうち他方の周波数は、第２の並列腕共振子の共振周波数と同じである。合成されたインピーダンス周波数特性における反共振点は、第１の並列腕共振子の反共振周波数と、第２の並列腕共振子の反共振周波数との間に位置している。

【0040】

図４及び図５に示すように、第１の実施形態と、第１の参考例との間においては、合成されたインピーダンス周波数特性における、２つの共振点及び１つの反共振点の周波数に、ほぼ変わりはない。このように、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数及び交叉幅は、上記２つの共振点及び１つの反共振点の周波数に、影響をほぼ与えないことがわかる。他方、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数及び交叉幅は、Ｑ特性には影響を与える。これを、図６及び図７により示す。

【0041】

図６は、第１の実施形態における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれのＱ特性と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ特性とを示す図である。図７は、第１の参考例における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれのＱ特性と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ特性とを示す図である。

【0042】

図６に示すように、第１の実施形態では、通過帯域内における低域側において、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の双方のＱ値が高くなっている。それによって、通過帯域内における低域側において、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ値を高くすることができている。これは以下の理由による。なお、以下においては、Ｑ値が最も高い周波数をＱｍａｘ周波数とする。

【0043】

第１の実施形態においては、第１の並列腕共振子の共振周波数は第２の並列腕共振子の共振周波数よりも高い。そのため、第１の並列腕共振子の共振周波数は、フィルタ装置１の通過帯域における低域側の端部の周波数に近い。この場合、ＩＤＴ電極の電極指の対数が多く、かつ交叉幅が狭いほど、Ｑｍａｘ周波数が、上記端部の周波数に近づく。一方で、第２の並列腕共振子の共振周波数は低く、反共振周波数も低い。そのため、第２の並列腕共振子の反共振周波数は、フィルタ装置１の通過帯域における低域側の端部の周波数に近い。この場合、ＩＤＴ電極の電極指の対数が少なく、かつ交叉幅が広いほど、Ｑｍａｘ周波数が、上記端部の周波数に近づく。

【0044】

そして、第１の実施形態においては、第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数が、第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数よりも多い。さらに、第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅が、第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅よりも狭い。これらにより、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の双方におけるＱ値を、フィルタ装置１の通過帯域における低域側の端部の周波数付近において最も高くすることができる。よって、通過帯域内における低域側において、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ値を高くすることができる。従って、通過帯域内における低域側において、挿入損失を小さくすることができる。

【0045】

加えて、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の共振周波数が互いに異なることにより、通過帯域よりも低域側であり、かつ通過帯域に近い周波数帯域にリップルを生じさせることができる。具体的には、図３に示すように、７６８ＭＨｚ～７７５ＭＨｚ付近にリップルが生じている。これにより、低域側の通過帯域近傍の、帯域外減衰量を大きくすることができる。さらに、通過帯域における低域側の急峻性を高めることができる。本明細書において、急峻性が高いとは、通過帯域の端部付近において、ある一定の減衰量の変化量に対して、周波数の変化量が小さいことをいう。

【0046】

他方、第１の参考例においては、共振周波数が高い、第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数が少なく、かつ交叉幅が広い。共振周波数が低い、第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数が多く、かつ交叉幅が狭い。そのため、図７に示すように、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれにおいて、Ｑｍａｘ周波数は、通過帯域の低域側における端部の周波数から離れている。よって、第１の参考例では、通過帯域内における低域側において、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ値は低く、挿入損失を小さくし難い。

【0047】

なお、第１の参考例とは異なり、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の間において、ＩＤＴ電極の対数及び交叉幅が同じとした場合においても、第１の実施形態のような効果を得ることはできない。これを以下において示す。ここで、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の間において、ＩＤＴ電極の対数及び交叉幅が同じである点において第１の実施形態と異なる例を第２の参考例とする。第２の参考例の回路構成は、第１の実施形態の回路構成と同じであるため、図１などの符号を、第２の参考例の説明に援用することがある。

【0048】

表３により、第１の実施形態、第１の参考例及び第２の参考例における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の設計パラメータを示す。表４により、第１の実施形態、第１の参考例及び第２の参考例における、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のＱｍａｘ周波数と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱｍａｘ周波数とを示す。

【0049】

【表3】

【0050】

【表4】

【0051】

表３に示すように、第２の参考例では、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の間において、ＩＤＴ電極の対数及び交叉幅が同じであり、かつ共振周波数が互いに異なる。この場合には、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の間においては、共振周波数の差の分、Ｑｍａｘ周波数にも差が生じる。表４に示すように、第２の参考例における第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の間において、Ｑｍａｘ周波数の差が大きいことがわかる。そのため、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ値は低い。よって、第２の参考例では、通過帯域内における低域側において、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱ値は低く、挿入損失を小さくし難い。

【0052】

以下において、第１の実施形態の好ましい構成を説明する。

【0053】

表３に示すように、第１の実施形態においては、第１の並列腕共振子の反射器における反射器電極指は１７本である。第２の並列腕共振子の反射器における反射器電極指は２５本である。このように、第１の並列腕共振子における反射器の反射器電極指の本数が、第２の並列腕共振子における反射器の反射器電極指の本数よりも少ないことが好ましい。それによって、フィルタ装置１の挿入損失を小さくすることができ、かつフィルタ装置１の小型化を進めることができる。

【0054】

より詳細には、第１の実施形態では、第１の並列腕共振子においては、共振周波数が高く、ＩＤＴ電極における電極指の対数が多く、かつ交叉幅が狭い。そのため、Ｑｍａｘ周波数は共振周波数に近づく。なお、該共振周波数は、上述したように、フィルタ装置１の通過帯域における低域側の端部の周波数に近い。反射器電極指の本数が少ない場合には、反共振周波数付近のＱ値は低くなるが、共振周波数付近のＱ値の変化は小さい。よって、第１の並列腕共振子における反射器電極指の本数を少なくしても、フィルタ装置１の通過帯域の低域側においては、Ｑ値は低くなり難い。加えて、反射器電極指の本数が少ない場合には、第１の並列腕共振子の小型化を進めることができる。従って、フィルタ装置１の挿入損失を小さくすることができ、かつフィルタ装置１の小型化を進めることができる。

【0055】

表３に示すように、第１の並列腕共振子の静電容量は１．２６ｐＦである。第２の並列腕共振子の静電容量は１．９ｐＦである。なお、ここでいう静電容量とは、並列腕共振子のＩＤＴ電極が設けられている部分における静電容量である。第１の並列腕共振子の静電容量は、第２の並列腕共振子の静電容量よりも小さいことが好ましい。それによって、フィルタ装置１の挿入損失をより確実に小さくすることができる。

【0056】

より詳細には、第１の並列腕共振子の共振周波数は、第２の並列腕共振子の共振周波数よりも高い。そのため、第１の並列腕共振子の共振周波数は、第２の並列腕共振子の共振周波数よりも、フィルタ装置１の通過帯域の低域側における端部の周波数に近い。よって、第１の並列腕共振子は、第２の並列腕共振子に比べて、通過帯域の低域側に対する影響が大きい。もっとも、第１の実施形態においては、第１の並列腕共振子の静電容量が、第２の並列腕共振子の静電容量よりも小さい。これにより、第１の並列腕共振子による、フィルタ装置１の挿入損失に対する影響を小さくすることができる。よって、挿入損失をより確実に小さくすることができる。

【0057】

なお、静電容量は、ＩＤＴ電極における、複数の電極指の対数及び交叉幅の積に主に比例する。静電容量が大きいほど、複数の電極指の対数及び交叉幅の積が大きい。第１の並列腕共振子のＩＤＴ電極における電極指の対数及び交叉幅の積が、第２の並列腕共振子のＩＤＴ電極における電極指の対数及び交叉幅の積よりも小さいことが好ましい。この場合には、第１の並列腕共振子の静電容量を、第２の並列腕共振子の静電容量よりも小さくすることができる。それによって、上記のように、フィルタ装置１の挿入損失をより確実に小さくすることができる。

【0058】

以下においては、第１の並列腕共振子のＱｍａｘ周波数をｆ１、第２の並列腕共振子のＱｍａｘ周波数をｆ２とする。表４に示すように、第１の実施形態においては、Ｑｍａｘ周波数ｆ１は７７４ＭＨｚである。Ｑｍａｘ周波数ｆ２は７７８ＭＨｚである。よって、（｜ｆ１－ｆ２｜／ｆ１）×１００［％］は約０．５％である。このように、（｜ｆ１－ｆ２｜／ｆ１）×１００［％］≦１［％］であることが好ましい。この場合、Ｑｍａｘ周波数ｆ１及びＱｍａｘ周波数ｆ２は略一致しているといえる。それによって、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の合成されたＱｍａｘ周波数におけるＱ値を効果的に高くすることができる。従って、フィルタ装置１の通過帯域内における低域側の挿入損失を効果的に小さくすることができる。

【0059】

ところで、第１の実施形態においては、第１の並列腕及び第２の並列腕には、それぞれ１つずつの並列腕共振子が設けられている。もっとも、これに限定されるものではない。例えば、図８に示す第１の実施形態の変形例においては、第１の並列腕に、第１の並列腕共振子としての並列腕共振子Ｐ１３ａ及び第３の並列腕共振子としての並列腕共振子Ｐ１３ｃが設けられている。第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子は互いに直列に接続されている。表５により、本変形例における第１の並列腕共振子、第２の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子の設計パラメータを示す。

【0060】

【表5】

【0061】

表５に示すように、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子の設計パラメータは同じである。なお、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子の設計パラメータは、必ずしも同じではなくともよい。第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数が、第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数よりも多く、かつ第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅が、第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅よりも狭ければよい。

【0062】

本変形例においては、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子の合成された静電容量は、１．２６ｐＦである。すなわち、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子の合成された静電容量は、表１に示す、第１の実施形態における第１の並列腕共振子の静電容量と同じである。一方で、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子のそれぞれの静電容量は、第１の実施形態における第１の並列腕共振子よりも大きい。このように、本変形例においては、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子のそれぞれの静電容量を大きくしても、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子の合成された静電容量は大きくなり難い。そして、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子の静電容量が大きいため、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子のそれぞれにおいて、大きな電力が印加された場合にも消費電力を小さくすることができる。よって、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子のそれぞれにおいて、発熱を抑制することができ、耐電力性を高めることができる。

【0063】

他方、表５に示すように、第２の並列腕共振子の静電容量は１．９ｐＦである。このように、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子の合成された静電容量が、第２の並列腕共振子の静電容量よりも小さいことが好ましい。それによって、第１の並列腕共振子及び第３の並列腕共振子による、フィルタ装置１１の挿入損失に対する影響を小さくすることができる。従って、挿入損失をより確実に小さくすることができる。

【0064】

なお、複数の共振子における合成された静電容量は、複数の共振子が互いに直列に接続されている場合と、互いに並列に接続されている場合にとにおいて互いに異なる。例えば、２つの共振子が互いに直列に接続されており、一方の共振子の静電容量がＣ１、他方の共振子の静電容量がＣ２、合成された静電容量がＣである場合、（１／Ｃ）＝（１／Ｃ１）＋（１／Ｃ２）の関係が成立する。上記２つの共振子が互いに並列に接続されている場合、Ｃ＝Ｃ１＋Ｃ２の関係が成立する。

【0065】

図１に戻り、第１の実施形態における第１の並列腕は、並列腕Ｂ３ａである。第２の並列腕は並列腕Ｂ３ｂである。そして、複数の並列腕のうち、第１の並列腕及び第２の並列腕以外の並列腕は、第３の並列腕である。具体的には、並列腕Ｂ１、並列腕Ｂ２及び並列腕Ｂ４のそれぞれが、第３の並列腕である。直列腕Ａおける各第３の並列腕が分岐している部分と、直列腕Ａおける第１の並列腕及び第２の並列腕が分岐している部分とは、直列腕共振子により隔てられている。よって、直列腕Ａおける各第３の並列腕が分岐している部分の電位と、直列腕Ａおける第１の並列腕及び第２の並列腕が分岐している部分の電位とは、互いに異なる。

【0066】

第３の並列腕に設けられている並列腕共振子は、本発明における第４の並列腕共振子である。具体的には、並列腕共振子Ｐ１、並列腕共振子Ｐ２及び並列腕共振子Ｐ４のそれぞれが、第４の並列腕共振子である。第１の実施形態では、全ての並列腕共振子の共振周波数のうち、第１の並列腕共振子の共振周波数が最も高く、全ての並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅のうち、第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅が最も狭い。それによって、フィルタ装置１の通過帯域内における低域側の挿入損失をより確実に小さくすることができる。

【0067】

より詳細には、上記のように、第１の実施形態では、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子の共振周波数は、第１の並列腕共振子の共振周波数よりも低い。この場合、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子の反共振周波数は、フィルタ装置１の通過帯域の低域側における端部の周波数に近い。そのため、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子の反共振周波数において、Ｑ値が低い場合には、通過帯域内の低域側における挿入損失は大きくなる。ここで、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子における交叉幅が狭い場合には、交叉領域から各バスバー側に弾性表面波が漏洩し易い。よって、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子におけるＱ値が低くなる。これに対して、第１の実施形態では、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅は、第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅よりも広い。従って、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子の反共振周波数におけるＱ値をより確実に高めることができる。

【0068】

さらに、第１の並列腕共振子の共振周波数は高い。そのため、第１の並列腕共振子の反共振周波数は、通過帯域の低域側における端部の周波数から離れている。よって、第１の並列腕共振子の反共振周波数においてＱ値が低くても、通過帯域内の低域側における挿入損失に影響は生じ難い。従って、フィルタ装置１の通過帯域内における低域側の挿入損失をより確実に小さくすることができる。

【0069】

ＩＤＴ電極の電極指ピッチにより規定される波長をλとしたときに、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅は、１０λ以上であることが好ましい。それによって、第２の並列腕共振子及び各第４の並列腕共振子の反共振周波数において、Ｑ値をより確実に高めることができる。第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の交叉幅は１０λ未満であることが好ましい。この場合において、第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指の対数を多くすることにより、共振周波数において、Ｑ値を効果的に高めることができる。なお、電極指ピッチとは、互いに異なる電位に接続される、隣り合う電極指同士の中心間距離である。

【0070】

もっとも、第１の並列腕共振子と、各第４の並列腕共振子とにおける、共振周波数及びＩＤＴ電極の交叉幅の関係は上記に限定されない。そして、フィルタ装置１は、３つの第３の並列腕及び３つの第４の並列腕共振子を含んでいるが、これに限定されるものではない。例えば、フィルタ装置１は、少なくとも１つの第３の並列腕及び少なくとも１つの第４の並列腕共振子を含んでいてもよい。

【0071】

なお、フィルタ装置１は、必ずしも直列腕共振子を有していなくともよい。フィルタ装置１は、例えば、縦結合共振子型弾性波フィルタを有していてもよい。この場合、直列腕に縦結合共振子型弾性波フィルタが配置されていてもよい。そして、弾性波素子としての縦結合共振子型弾性波フィルタにより、第３の並列腕が分岐している直列腕の部分と、第１の並列腕及び第２の並列腕が分岐している直列腕の部分とが隔てられていてもよい。この場合においても、フィルタ装置の通過帯域内における低域側の挿入損失を小さくすることができる。

【0072】

ところで、弾性表面波共振子同士の共振周波数は、電極指ピッチ及びデューティ比を用いて比較することができる。例えば、弾性表面波共振子同士の電極指の厚みが同じである場合には、電極指ピッチ及びデューティ比の積の逆数が大きい方の弾性表面波共振子の共振周波数が、他方の弾性表面波共振子の共振周波数よりも高い。

【0073】

第１の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指ピッチ及びデューティ比の積の逆数が、第２の並列腕共振子におけるＩＤＴ電極の電極指ピッチ及びデューティ比の積の逆数よりも大きいことが好ましい。それによって、第１の並列腕共振子の共振周波数を、第２の並列腕共振子の共振周波数よりも、より確実に高くさせることができる。

【0074】

第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれにおける電極指ピッチが、各直列腕共振子における電極指ピッチよりも広いことが好ましい。それによって、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子のそれぞれの反共振周波数を、各直列腕共振子の反共振周波数よりも、より確実に低くさせることができる。

【0075】

図２に示す並列腕共振子Ｐ３ａの圧電性基板３上に、ＩＤＴ電極４を覆うように、誘電体膜が設けられていてもよい。他の各並列腕共振子及び各直列腕共振子においても同様である。この場合においても、第１の実施形態と同様に、フィルタ装置の通過帯域内における低域側の挿入損失を小さくすることができる。加えて、ＩＤＴ電極４が破損し難い。

【0076】

誘電体膜を有する弾性表面波共振子同士の誘電体膜の厚みが同じであり、かつ電極指の厚みが同じである場合には、電極指ピッチ及びデューティ比の積の逆数が大きい方の弾性表面波共振子の共振周波数が、他方の弾性表面波共振子の共振周波数よりも高い。

【0077】

本発明に係るフィルタ装置は、例えばマルチプレクサに用いることができる。この例を以下において示す。

【0078】

図９は、本発明の第２の実施形態に係るマルチプレクサの模式図である。

【0079】

マルチプレクサ２０は、共通接続端子２２と、複数のフィルタとを有する。共通接続端子２２に、複数のフィルタが共通接続されている。本実施形態においては、共通接続端子２２はアンテナ端子である。アンテナ端子はアンテナに接続される。

【0080】

マルチプレクサ２０の複数のフィルタは、第１のフィルタ２１Ａ、第２のフィルタ２１Ｂ及び第３のフィルタ２１Ｃと、他の複数のフィルタとを含む。なお、マルチプレクサ２０は、２つ以上のフィルタを有していればよい。

【0081】

第１のフィルタ２１Ａは、第１の実施形態のフィルタ装置である。もっとも、マルチプレクサ２０は、本発明に係るフィルタを少なくとも１つ有していればよい。本実施形態では、マルチプレクサ２０における第１のフィルタ２１Ａにおいて、通過帯域内の低域側における挿入損失を小さくすることができる。

【0082】

以下において、本発明に係るフィルタ装置及びマルチプレクサの形態の例をまとめて記載する。

【0083】

＜１＞通過帯域を有する帯域通過型のフィルタ装置であって、入力端子及び出力端子と、少なくとも１つのグラウンド端子と、第１の並列腕共振子及び第２の並列腕共振子を含む複数の並列腕共振子と、を備え、回路構成において、前記入力端子及び前記出力端子を結ぶ経路が直列腕であり、前記直列腕から前記グラウンド端子に分岐する複数の経路が、複数の並列腕であり、前記複数の並列腕が、前記直列腕における同じ電位の部分から前記グラウンド端子に分岐している第１の並列腕及び第２の並列腕を含み、前記第１の並列腕共振子が前記第１の並列腕に設けられており、前記第２の並列腕共振子が前記第２の並列腕に設けられており、前記複数の並列腕共振子がそれぞれ、複数の電極指を含むＩＤＴ電極を有し、各前記ＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が延びる方向を電極指延伸方向としたときに、各前記ＩＤＴ電極が、前記電極指延伸方向と直交する方向において、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域である交叉領域を含み、前記第１の並列腕共振子及び前記第２の並列腕共振子の反共振周波数の双方が前記通過帯域内に位置しており、前記第１の並列腕共振子の共振周波数が前記第２の並列腕共振子の共振周波数よりも高く、前記第１の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記電極指の対数が、前記第２の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記電極指の対数よりも多く、前記交叉領域の前記電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅としたときに、前記第１の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅が、前記第２の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅よりも狭い、フィルタ装置。

【0084】

＜２＞前記第１の並列腕共振子及び前記第２の並列腕共振子がそれぞれ、前記ＩＤＴ電極を挟み対向している１対の反射器を有し、各前記反射器が複数の反射器電極指を含み、前記第１の並列腕共振子における前記反射器の前記反射器電極指の本数が、前記第２の並列腕共振子における前記反射器の前記反射器電極指の本数よりも少ない、＜１＞に記載のフィルタ装置。

【0085】

＜３＞前記第１の並列腕共振子におけるＱ値が最も高い周波数をｆ１、前記第２の並列腕共振子におけるＱ値が最も高い周波数をｆ２としたときに、（｜ｆ１－ｆ２｜／ｆ１）×１００［％］≦１［％］である、＜１＞または＜２＞に記載のフィルタ装置。

【0086】

＜４＞前記第１の並列腕共振子の静電容量が、前記第２の並列腕共振子の静電容量よりも小さい、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載のフィルタ装置。

【0087】

＜５＞前記複数の並列腕共振子が、前記第１の並列腕に設けられており、前記第１の並列腕共振子と直列に接続されている、第３の並列腕共振子を含む、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載のフィルタ装置。

【0088】

＜６＞前記第１の並列腕共振子及び前記第３の並列腕共振子の合成された静電容量が、前記第２の並列腕共振子の静電容量よりも小さい、＜５＞に記載のフィルタ装置。

【0089】

＜７＞前記直列腕に設けられている少なくとも１つの弾性波素子をさらに備え、前記複数の並列腕が少なくとも１つの第３の並列腕を含み、前記直列腕における前記第３の並列腕が分岐している部分と、前記直列腕における前記第１の並列腕及び前記第２の並列腕が分岐している部分とが、前記弾性波素子により隔てられており、前記複数の並列腕共振子が、前記第３の並列腕に設けられている少なくとも１つの第４の並列腕共振子を含み、全ての前記並列腕共振子の共振周波数のうち、前記第１の並列腕共振子の共振周波数が最も高く、全ての前記並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅のうち、前記第１の並列腕共振子における前記ＩＤＴ電極の前記交叉幅が最も狭い、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載のフィルタ装置。

【0090】

＜８＞ラダー型フィルタであって、前記直列腕に設けられている少なくとも１つの弾性波素子をさらに備え、前記弾性波素子が直列腕共振子である、＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載のフィルタ装置。

【0091】

＜９＞共通接続端子と、前記共通接続端子に共通接続されている複数のフィルタと、
を備え、少なくとも１つの前記フィルタが、＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載のフィルタ装置である、マルチプレクサ。

【符号の説明】

【0092】

１…フィルタ装置
２Ａ…入力端子
２Ｂ…出力端子
３…圧電性基板
４…ＩＤＴ電極
５Ａ，５Ｂ…反射器
６Ａ…反射器電極指
７Ａ，７Ｂ…第１，第２のバスバー
８Ａ，８Ｂ…第１，第２の電極指
９…グラウンド端子
１１…フィルタ装置
２０…マルチプレクサ
２１Ａ～２１Ｃ…第１～第３のフィルタ
２２…共通接続端子
Ａ…直列腕
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３ａ，Ｂ３ｂ，Ｂ４…並列腕
Ｄ…交叉領域
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３ａ，Ｐ３ｂ，Ｐ４，Ｐ１３ａ，Ｐ１３ｃ…並列腕共振子
Ｓ１～Ｓ４…直列腕共振子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】