特開 2024-34641 ワーク保持装置と、ワーク保持装置を備えた検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024034641

(43)【公開日】2024-03-13

(54)【発明の名称】ワーク保持装置と、ワーク保持装置を備えた検査装置

(51)【国際特許分類】

   G11B 5/48 20060101AFI20240306BHJP

   B65G 47/91 20060101ALI20240306BHJP

   G11B 21/21 20060101ALI20240306BHJP

【ＦＩ】

G11B5/48 D

B65G47/91

G11B21/21 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022139031

(22)【出願日】2022-09-01

(71)【出願人】

【識別番号】000004640

【氏名又は名称】日本発條株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】福島 光一

(72)【発明者】

【氏名】本間 彰

【テーマコード（参考）】

3F072

【Ｆターム（参考）】

3F072AA14

3F072KD03

3F072KE18

(57)【要約】

【課題】薄い板状のワークをワーク支持面によって保持することができるワーク保持装置を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置３３は、ワーク支持面８０と、吹付け吸引ユニット９０とを有している。ワーク支持面８０に吸引孔８２が形成されている。ワーク支持面８０に置かれたワークＷが吸引孔８２によって吸着される。吹付け吸引ユニット９０は、気体（例えば空気）をイオン化するイオナイザ９３と、ワークＷに向けて前記気体を噴射する噴出口１００と、吸入口１０１とを有している。ワークＷに衝突し反射した前記気体が、吸入口１０１から吸入される。イオン化された前記気体をワークＷに吹付けながら、吹付け吸引ユニット９０をワークＷの長さ方向に相対的に移動させる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを載置するワーク支持面を有したワーク載置台と、
前記ワーク支持面に形成され、前記ワーク支持面に置かれた前記ワークと対応した位置に開口する吸引孔と、
前記吸引孔に接続され、前記吸引孔から空気を吸引する負圧発生源と、
前記ワーク支持面に置かれた前記ワークに向けて前記ワークの上方から気体を噴射する噴出口を有しかつ前記ワークに衝突し反射した前記気体を吸入する吸入口を有した吹付け吸引ユニットと、
前記ワーク支持面に置かれた前記ワークと前記吹付け吸引ユニットとを前記ワークの長さ方向に相対的に移動させる移動機構と、
を具備したことを特徴とするワーク保持装置。

【請求項2】

請求項１に記載のワーク保持装置において、さらに、
前記噴出口に供給される前記気体をイオン化するイオナイザを有したワーク保持装置。

【請求項3】

請求項１に記載のワーク保持装置において、さらに、
前記ワーク支持面に前記ワークの孔が挿入される位置決めピンを有したワーク保持装置。

【請求項4】

請求項３に記載のワーク保持装置において、
前記移動機構が、
前記吹付け吸引ユニットを前記ワークの第１の端部から前記ワークの第２の端部に向けて相対的に移動させるワーク保持装置。

【請求項5】

請求項４に記載のワーク保持装置において、
前記第１の端部の近くに前記位置決めピンを有したワーク保持装置。

【請求項6】

請求項１に記載のワーク保持装置において、
複数の前記吸引孔を有し、これら吸引孔が前記ワークの前記長さ方向に間隔を存して形成されたワーク保持装置。

【請求項7】

請求項３に記載のワーク保持装置において、
前記ワークがディスク装置用サスペンションであり、
前記ディスク装置用サスペンションのベースプレートに形成されたボス部の孔に前記位置決めピンが挿入されるワーク保持装置。

【請求項8】

請求項１に記載のワーク保持装置を備えた検査装置であって、
複数の前記ワークが配置されるワーク配置部と、
前記ワーク配置部とは異なる位置に設けられ、前記ワークを検査する検査部と、
前記ワーク配置部に配置された前記ワークを前記検査部に向けて移動させ、前記検査部において検査されたワークを前記ワーク配置部に戻す搬送機構とを有し、
前記搬送機構が、
前記ワーク配置部に配置された検査前のワークを吸着し、前記検査前のワークが前記ワーク支持面の上に位置した状態において前記検査前のワークの吸着を解除し、前記ワーク支持面に載置された検査済のワークを吸着し、前記検査済のワークが前記ワーク配置部の上に位置した状態において前記検査済のワークの吸着を解除する吸着ユニットを有したことを特徴とする検査装置。

【請求項9】

請求項８に記載の検査装置であって、
前記吸着ユニットが、
前記ワーク配置部に配置された前記検査前のワークを吸着し、前記検査前のワークが前記ワーク配置部から前記ワーク支持面の上に移動するまで前記検査前のワークを保持する第１の吸着部と、
前記ワーク支持面に載置された前記検査済のワークを吸着し、前記検査済のワークが前記ワーク支持面から前記ワーク配置部の上に移動するまで前記検査済のワークを保持する第２の吸着部と、
を有した検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えばディスク装置用サスペンション等のワークを保持するためのワーク保持装置と、ワーク保持装置を備えた検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

パーソナルコンピュータ等の情報処理装置にディスク装置が使用されている。ディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームにディスク装置用サスペンションが設けられている。

【0003】

ディスク装置用サスペンションは、ベースプレートと、ロードビーム(load beam)と、フレキシャ(flexure)などを備えている。例えば特開２０１６－８７６１１号公報（特許文献１）に記載されたように、フレキシャは、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベースと、メタルベース上に形成された配線部とを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部にスライダが配置されている。前記スライダには磁気ヘッドとして機能する素子が設けられている。前記フレキシャは、前記ロードビームの長さ方向に延びるフレキシャテールを含んでいる。

【0004】

前記フレキシャと前記ロードビームとを含むディスク装置用サスペンションを検査するために、検査装置が使用されることがある。検査装置の一例は、ディスク装置用サスペンション等のワークを所定位置に保持するワーク保持装置と、ワーク保持装置によって固定されたワークを撮影するカメラと、ワークを搬送する搬送機構などを含んでいる。

【0005】

前記ディスク装置用サスペンションのように、薄く細長いワークを扱うには細心の注意が必要である。こうしたワークを所定位置に保持するための前記ワーク保持装置は、例えば負圧によってワークを吸着する吸着ステージを有している。例えば特開２０１６－７４０９９（特許文献２）に記載された吸着装置では、吸着ステージに置かれたワークを負圧によって載置面に固定するように構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１６－８７６１１号公報

【特許文献2】特開２０１６－７４０９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ディスク装置用サスペンションのフレキシャは、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベースと、メタルベースの上に形成された絶縁層と、絶縁層の上に形成された銅などの導体を含んでいる。このようなワーク（ディスク装置用サスペンション）は、製造工程等において静電気を帯びたり、搬送中に静電気を帯びたりすることがある。薄く細長いワークは厚さ方向に変形しやすく、反りが生じやすい。

【0008】

特に静電気を帯びたワークは、吸着ステージの上に置かれた状態において、負圧によって吸着ステージに吸着したとしても、ワークの一部が吸着ステージから離れたり、反ったりすることがある。ワークが吸着ステージに正しく置かれていないと、ワークを正しく撮像することができず、検査に支障が生じる。

【0009】

本発明の目的は、ディスク装置用サスペンション等の板状のワークを検査する際に、ワークを確実に保持することができるワーク保持装置と、ワーク保持装置を備えた検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

１つの実施形態に係るワーク保持装置は、ワークを載置するワーク支持面を有したワーク載置台と、前記ワーク支持面に形成され前記ワーク支持面に置かれた前記ワークと対応した位置に開口する吸引孔と、前記吸引孔に接続され前記吸引孔から空気を吸引する負圧発生源と、吹付け吸引ユニットと、移動機構とを具備している。前記吹付け吸引ユニットは、前記ワーク支持面に置かれた前記ワークに向けて該ワークの上方から気体（例えば空気）を噴射する噴出口と、前記ワークに衝突し反射した前記気体を吸入する吸入口とを有している。前記移動機構は、前記ワーク支持面に置かれた前記ワークと前記吹付け吸引ユニットとを、前記ワークの長さ方向に相対的に移動させる。この実施形態のワーク保持装置が、前記噴出口に供給される前記気体をイオン化するイオナイザを有しているとよい。なおワークの静電気帯電が問題のない程度であれば、イオナイザを用いなくてもよい。前記ワーク支持面に、前記ワークの孔が挿入される位置決めピンを有してもよい。

【0011】

前記移動機構が、前記吹付け吸引ユニットを前記ワークの第１の端部から前記ワークの第２の端部に向けて相対的に移動させてもよい。前記第１の端部の近くに前記位置決めピンを有してもよい。複数の前記吸引孔を有し、これら吸引孔が前記ワークの前記長さ方向に間隔を存して形成されていてもよい。前記ワークの一例がディスク装置用サスペンションであり、前記ディスク装置用サスペンションのベースプレートに形成されたボス部の孔に前記位置決めピンが挿入されてもよい。

【0012】

前記ワーク保持装置を備えた検査装置の１つの実施形態は、複数の前記ワークが配置されるワーク配置部と、前記ワーク配置部とは異なる位置に設けられた検査部と、吸着ユニットを備えた搬送機構とを有している。前記検査部は、前記ワークを検査するための例えばカメラ等を備えている。前記搬送機構は、前記ワーク配置部に配置された前記ワークを前記検査部に向けて移動させ、前記検査部において検査されたワークを前記ワーク配置部に戻すように構成されている。

【0013】

前記吸着ユニットは、前記ワーク配置部に配置された検査前のワークを吸着し、前記検査前のワークが前記ワーク支持面の上に位置した状態において、前記検査前のワークの吸着を解除する。また前記ワーク支持面に載置された検査済のワークを吸着し、前記検査済のワークが前記ワーク配置部の上に位置した状態において前記検査済のワークの吸着を解除する。

【0014】

前記吸着ユニットが第１の吸着部と第２の吸着部とを有してもよい。前記第１の吸着部
は、前記ワーク配置部に配置された前記検査前のワークを吸着し、前記検査前のワークが前記ワーク配置部から前記ワーク支持面の上に移動するまで前記検査前のワークを保持する。前記第２の吸着部は、前記ワーク支持面に載置された前記検査済のワークを吸着し、前記検査済のワークが前記ワーク支持面から前記ワーク配置部の上に移動するまで前記検査済のワークを保持する。

【発明の効果】

【0015】

本発明に係るワーク保持装置によれば、ディスク装置用サスペンションのように薄く細長いワークをワーク支持面に確実に保持させることができる。また本発明に係るワーク保持装置を備えた検査装置によれば、検査すべきワークを検査部に正しい状態で保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】１つの実施形態に係る検査装置の吸着ユニットやワーク等が第１の位置にあるときの斜視図。

【図2】ワークの一例としてのディスク装置用サスペンションの平面図。

【図3】図１に示された検査装置のワーク保持装置の一部を示す斜視図。

【図4】図１に示された検査装置のワーク保持装置の一部の断面図。

【図5】図１に示された検査装置の吸着ユニットやワーク等が第２の位置に移動した状態を示す斜視図。

【図6】同検査装置の吸着ユニットやワーク等が第３の位置に移動した状態を示す斜視図。

【図7】同検査装置の第２の移動ユニットやワーク等が第４の位置に移動した状態を示す斜視図。

【図8】同検査装置の第２の移動ユニットやワーク等が第５の位置に移動した状態を示す斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下に１つの実施形態に係る検査装置１０について図１から図８を参照して説明する。
図１は、検査装置１０を構成する各部（例えば吸着ユニット６０やワーク等）が第１の位置にあるときの斜視図である。検査装置１０はワーク配置部３０を有している。ワーク配置部３０に複数のワークＷが水平方向に所定ピッチで面状に配置されている。この明細書と図面では、説明の都合上、ワークを示すために複数の符号（Ｗ，Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３）を用いるが、これはあくまで説明の便宜のためであり、これらワークＷ，Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３は全て共通である。

【0018】

図２は、ワークＷの一例としてのディスク装置用サスペンションの平面図である。図２に示されたワークＷは、ベースプレート２０と、ロードビーム２１と、フレキシャ２２などを含み、薄く細長い形状（板状）をなしている。フレキシャ２２は、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベースと、メタルベース上に形成された配線部とを含んでいる。フレキシャ２２は、ワークＷの長さ方向に延びている。図２において両方向矢印Ｌ１はワークＷの長さ方向を示している。ベースプレート２０のボス部２３に円形の孔２４が形成されている。ボス部２３はハードディスク装置のキャリッジアームに固定される。

【0019】

検査装置１０は、ワークＷを搬送する搬送機構３１と、ワークＷの位置決めをなす位置決め機構３２と、ワーク保持装置３３と、カメラ３４を含む検査部３５と、カメラ３４によって撮影されたワークＷを判定する制御部３６などを有している。検査すべきワークＷがワーク保持装置３３に保持される。図３はワーク保持装置３３の一部の斜視図、図４はワーク保持装置３３の一部の断面図である。

【0020】

搬送機構３１は、図１において左側に位置する第１の移動ユニット４１と、図１において右側に位置する第２の移動ユニット４２とを含んでいる。第１の移動ユニット４１は、第１のＸ方向ガイド部材５０と、第１のＹ方向ガイド部材５１と、第１のキャリッジ５２とを含んでいる。第１のＸ方向ガイド部材５０はＸ軸方向（図１に両方向矢印Ｘで示す）に延びている。第１のＹ方向ガイド部材５１はＹ軸方向（図１に両方向矢印Ｙで示す）に延びている。第１のキャリッジ５２は第１のＹ方向ガイド部材５１に搭載されている。

【0021】

第１のＹ方向ガイド部材５１は、例えばサーボモータとボールねじ等を含む駆動機構によって、第１のＸ方向ガイド部材５０に沿ってＸ軸方向に移動する。第１のキャリッジ５２は、例えばサーボモータとボールねじとを含む駆動機構によって、第１のＹ方向ガイド部材５１に沿ってＹ軸方向に移動する。すなわち第１の移動ユニット４１はＸＹ移動テーブルとして機能し、第１のキャリッジ５２をＸＹ軸の所望の位置に移動させる。

【0022】

第１のキャリッジ５２に、上下方向に移動可能な吸着ユニット６０が設けられている。吸着ユニット６０は第１の吸着部６１と第２の吸着部６２とを含んでいる。第１の吸着部６１と第２の吸着部６２とは、それぞれ昇降駆動機構６３，６４によって、互いに独立して上下方向すなわちＺ軸方向（図１に両方向矢印Ｚで示す）に移動することができる。吸着部６１，６２の下端に、それぞれ、空気を吸い込む吸引口が形成され、負圧によってワークＷを吸着することができるようになっている。吸着部６１，６２の負圧が断たれると、ワークの吸着が解除される。

【0023】

位置決め機構３２は検査装置１０の所定位置に設けられている。位置決め機構３２は、ワークＷを支持する上面７０と、ワークＷの水平方向の位置決めをなす位置決め部材７１とを含んでいる。位置決め部材７１はアクチュエータによってワークＷを挟む方向に移動することにより、ワークＷの位置決めをなす。

【0024】

第２の移動ユニット４２は、第２のＸ方向ガイド部材７５と、第２のＹ方向ガイド部材７６と、第２のキャリッジ７７とを含んでいる。第２のＸ方向ガイド部材７５はＸ軸方向に延びている。第２のＹ方向ガイド部材７６はＹ軸方向に延びている。第２のＹ方向ガイド部材７６は、例えばサーボモータとボールねじ等を含む駆動機構によって、第２のＸ方向ガイド部材７５に沿ってＸ軸方向に移動する。

【0025】

第２のキャリッジ７７は第２のＹ方向ガイド部材７６に搭載されている。第２のキャリッジ７７は、例えばサーボモータとボールねじとを含む駆動機構によって、第２のＹ方向ガイド部材７６に沿ってＹ軸方向に移動する。すなわち第２の移動ユニット４２はＸＹ移動テーブルとして機能し、第２のキャリッジ７７をＸＹ軸の所望の位置に移動させる。

【0026】

図１と図３等に示されたように、第２のキャリッジ７７の上部にワーク載置台７８が設けられている。ワーク載置台７８に、ワークＷを所定位置に支持するためのワーク支持面８０が設けられている。ワーク支持面８０は実質的に水平方向に延びている。ワーク支持面８０に位置決めピン８１が設けられている。位置決めピン８１はワーク支持面８０から上方に突出している。ワーク支持面８０に乗せられたワークＷのボス部２３の孔２４に、位置決めピン８１が挿入される。

【0027】

ワーク支持面８０に複数の吸引孔８２が形成されている。これら吸引孔８２は、ワーク支持面８０の所定位置に載置されたワークＷ（図３に２点鎖線で示す）と対応した位置に開口している。複数の吸引孔８２は、ワーク支持面８０に載置されたワークＷの長さ方向に間隔を存して形成されている。

【0028】

図４に示されたように、吸引孔８２は、それぞれ、吸引管８３を介して排気ポンプ等の負圧発生源８５に接続されている。負圧発生源８５に生じた負圧によって、吸引孔８２から空気が吸い込まれる。吸引孔８２から空気が吸い込まれると、ワーク支持面８０に置かれたワークＷがワーク支持面８０に吸着され保持される。

【0029】

図１と図４等に示されたように、ワーク保持装置３３は吹付け吸引ユニット９０を有している。吹付け吸引ユニット９０は、外筒９１と、内筒９２と、イオナイザ９３（静電気除去装置）と、フィルタ９４と、気体の供給源９５などを含んでいる。供給源９５は、空気あるいは不活性ガス等の圧縮された気体を、イオナイザ９３を介して内筒９２に供給する。イオナイザ９３の一例は、放電針に高電圧を印加しイオンを放出することにより、イオン化された気体（例えば空気）を供給管９６に供給する。なお、ワークの静電気帯電が問題のない程度であれば、イオナイザ９３を用いなくてもよい。

【0030】

内筒９２の下端に噴出口１００が開口している。噴出口１００は、供給管９６とイオナイザ９３とを介して供給源９５に接続されている。供給源９５から供給された気体（例えば空気）がイオナイザ９３によってイオン化され、噴出口１００からワークＷに向けてワークＷの上方から噴射する。噴出口１００から噴出した気体（例えば空気）は、図４に矢印Ａで示すようにワークＷやワーク支持面８０に衝突し反射する。

【0031】

外筒９１の下端と内筒９２との間に吸入口１０１が開口している。外筒９１と内筒９２との間に吸引チャンバ１０２が形成されている。吸入口１０１は吸引チャンバ１０２と連通している。吸引チャンバ１０２は、吸入管１０３を介して負圧発生源８５に接続されている。吸入口１０１から吸引チャンバ１０２を経て負圧発生源８５に吸い込まれた気体（例えば空気）は、フィルタ１０４を通って排出される。

【0032】

吹付け吸引ユニット９０は、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能な昇降部材１１０に設けられている。昇降部材１１０は駆動部１１１によって上下方向に移動する。ワークＷに空気を吹き付ける際、吹付け吸引ユニット９０の噴出口１００がワークＷの真上の至近距離まで降下する。イオン化された空気が噴出口１００からワークＷに向けて噴射された状態において、第２のキャリッジ７７がＹ軸方向（図４に矢印Ｙ１で示す方向）に移動する。このときワークＷは、ワーク支持面８０の吸引孔８２から吸い込まれる空気によって、ワーク支持面８０に吸引されている。

【0033】

すなわちワークＷがワーク支持面８０に吸着された状態のもとで、イオン化された空気が噴出口１００からワークＷに向けて噴出しつつ、ワーク載置台７８が吹付け吸引ユニット９０に対して相対的にワークＷの長さ方向（図４に矢印Ｙ１で示す方向）に移動する。このためワーク支持面８０に吸着されたワークＷに、イオン化された空気がワークＷの第１の端部Ｅ１（ベースプレート２０付近）からワークＷの第２の端部Ｅ２に向かって、ワークＷの長さ方向に連続して吹き付けられる。

【0034】

イオン化された空気がワークＷに吹き付けられるため、ワークＷに帯電している可能性のある静電気が除去される。このため薄く撓みやすいワークＷの長さ方向の一部がワーク支持面８０から離れたり、反ったりすることが抑制される。こうしてワークＷのほぼ全面がワーク支持面８０に沿ってぴったりと吸着される。

【0035】

本実施形態では、ワークＷが乗ったワーク載置台７８を図４に矢印Ｙ１で示す方向に移動させている。本実施形態の第２の移動ユニット４２は移動機構の一例である。この移動機構は、ワーク支持面８０に置かれたワークＷに対し、吹付け吸引ユニット９０をワークＷの長さ方向に相対的に移動させる。このため吹付け吸引ユニット９０を図４に矢印Ｙ２で示す方向に移動させてもよい。

【0036】

図１等に示されたように検査部３５は、ワークＷを撮像するカメラ３４と、ワークＷに照明光を当てるライト１１２（例えばリングライト）とを有している。検査すべきワークＷを乗せた第２のキャリッジ７７は、カメラ３４の下方に移動する。カメラ３４によって撮影されたワークＷの画像は制御部３６に送られ、画像処理がなされる。

【0037】

ワークＷの全体を１回で撮影することができる場合には、カメラ３４の真下にワークＷを移動させた状態においてワークＷを撮影する。ワークＷの長さやカメラ３４の仕様によっては、ワークＷを一度に撮影することができないことがある。その場合、ワークＷが乗った第２のキャリッジ７７をＹ軸方向に間欠的に前進させながら、複数回に分けて撮影する。

【0038】

次に本実施形態の検査装置１０の作用について、図１と図５から図８を参照して説明する。検査するワークＷの一例はディスク装置用サスペンションである。しかし検査対象物（ワーク）がディスク装置用サスペンション以外であってもよい。またカメラ３４以外の機器を用いてワークＷを検査してもよい。

【0039】

図１は、ワークＷや吸着ユニット６０等が第１の位置にあるときを模式的に表わしている。ワーク配置部３０に複数のワークＷが所定ピッチで配置されている。この明細書では、ワーク配置部３０に載置された複数のワークＷのうち、右から４つ目のワークＷ１を検査する場合を代表して説明する。図１において検査部３５に位置しているワーク載置台７８には、検査が済んだ１つ前のワークＷ２が載置されている。

【0040】

図１に示されたように、吸着ユニット６０の第１の吸着部６１がワークＷ１の真上に位置している。この状態で第１の吸着部６１がワークＷ１に向かって降下する。そして第１の吸着部６１がワークＷ１を吸着したのち上昇する。こうして第１の吸着部６１によって保持されたワークＷ１が、第１の移動ユニット４１によって位置決め機構３２に向けて搬送される。

【0041】

図５は吸着ユニット６０やワーク等が第２の位置（位置決めステージＳＴ１）に移動した状態を示している。第２の位置では、検査すべきワークＷ１を保持した第１の吸着部６１が、位置決め機構３２の上方に位置している。そして位置決め部材７１によってワークＷ１の位置決めがなされる。このときワーク載置台７８は、位置決めステージＳＴ１の近くに移動している。ワーク載置台７８には、検査が終了した１つ前のワークＷ２が載置されている。

【0042】

図６は、吸着ユニット６０やワーク載置台７８等が第３の位置（乗せ換えステージＳＴ２）に移動した状態を示している。ワーク載置台７８の上に、検査済みのワークＷ２が乗っている。図６に示されたように、第２の吸着部６２が検査済のワークＷ２の真上に移動し、降下する。そして第２の吸着部６２が検査済のワークＷ２を吸着し上昇することにより、検査済のワークＷ２がワーク支持面８０から離れる。

【0043】

その直後に、第１の吸着部６１に吸着された状態の検査前のワークＷ１が、ワーク支持面８０の上方に移動し降下する。そして第１の吸着部６１の負圧が断たれることにより、第１の吸着部６１によるワークＷ１の吸着が解除される。こうして検査前のワークＷ１がワーク支持面８０に乗る。

【0044】

図７は、第２の移動ユニット４２やワークＷ１等が第４の位置（吹付けステージＳＴ３）に移動した状態を示している。検査すべきワークＷ１が吹付け吸引ユニット９０の下方に位置している。このワークＷ１に、イオン化された空気が噴出口１００（図４に示す）から吹き付けられる。空気の吹き付けと同時に、第２のキャリッジ７７が第２の移動ユニット４２によってＹ軸方向（図４に矢印Ｙ１で示す方向）に移動する。このためイオン化された空気がワークＷ１の第１の端部Ｅ１（ベースプレート２０付近）からワークＷ１の第２の端部Ｅ２に向かって、ワークＷ１の長さ方向に連続して吹き付けられる。第２の移動ユニット４２は、吹付け吸引ユニット９０をワークＷの長さ方向に相対移動させるための移動機構として機能する。

【0045】

図４に示されたように、内筒９２の先端の噴出口１００からワークＷ１に向かって噴射された空気が、ワークＷ１やワーク支持面８０に衝突し反射する。反射した空気が外筒９１の下端の吸入口１０１から吸引チャンバ１０２に吸引される。ワークＷ１やワーク支持面８０に衝突し反射した空気に微細なパーティクルなどが含まれていると、クリーンルームが汚染される原因となる。検査装置１０はクリーンルームに配置されている。本実施形態の吹付け吸引ユニット９０は、ワークＷ１に吹き付けた空気を吸引チャンバ１０２に吸引し、フィルタ１０４等を経て排出する。このためパーティクルが含まれた空気がクリーンルーム内に放出されることが抑制される。

【0046】

本実施形態の検査装置１０は、検査すべきワークＷ１にイオン化された空気を吹き付けるため、ワークＷ１に帯電している可能性のある静電気が除去される。そしてこのワークＷ１は、吸引孔８２から吸い込まれる空気によってワーク支持面８０に吸着される。このため薄く撓みやすいワークＷ１の長さ方向の一部がワーク支持面８０から離れたり、反ったりすることが抑制される。こうして検査前のワークＷ１がワーク支持面８０の所定の位置に確実に吸着される。

【0047】

図７に示されたように、検査すべきワークＷ１が吹付けステージＳＴ３に移動している。これに対し検査済みのワークＷ２は、第２の吸着部６２によって保持された状態において、ワーク配置部３０に搬送される。そして第２の吸着部６２による吸着が解除されることにより、検査済のワークＷ２がワーク配置部３０の所定位置に戻される。

【0048】

図８は、第２の移動ユニット４２やワークＷ１等が第５の位置（検査ステージＳＴ４）に移動した状態を示している。図８に示されたように、ワーク支持面８０に載置されたワークＷ１がカメラ３４の下方に移動する。そしてカメラ３４によってワークＷ１が撮影される。撮影されたワークＷ１の画像が制御部３６によって解析され、ワークＷの形状等が合格か不合格かなどの判定がなされる。その検査結果が制御部３６のメモリ等に記憶されるとともに、必要に応じて表示される。検査の結果、不合格となったワークは製品として使用されない。

【0049】

図８に示されたように、ワーク配置部３０には検査すべき次のワークＷ３が置かれている。検査部３５においてワークＷ１が検査されているとき、次に検査するワークＷ３が第１の吸着部６１によって吸着され、位置決めステージＳＴ１（図５）に向けて移動する。そして位置決めステージＳＴ１においてワークＷ３の位置決めがなされたのち、このワークＷ３は乗せ換えステージＳＴ２（図６）に向けて移動する。

【0050】

一方、図８に示された検査後のワークＷ１は、ワーク支持面８０に乗った状態において、乗せ換えステージＳＴ２（図６）に向けて移動する。そしてこのワークＷ１は、第２の吸着部６２に吸着されたのち、第１の移動ユニット４１によってワーク配置部３０に送られ、ワーク配置部３０の所定の位置に戻される。

【0051】

以上述べた工程を繰り返すことにより、ワーク配置部３０に載置された複数のワークＷが次々と検査部３５に搬送されるとともに、検査部３５において検査されたワークＷがワーク配置部３０に戻される。このようにして、ワーク配置部３０に載置されていた全てのワークＷの検査が終了する。

【0052】

本実施形態の検査装置１０は、吸着ユニット６０が一対の吸着部（第１の吸着部６１と第２の吸着部６２）を有している。第１の吸着部６１は、検査前のワークをワーク配置部３０からワーク支持面８０に移動させる際に使用される。第２の吸着部６２は、検査済のワークをワーク支持面８０からワーク配置部３０に戻す際に使用される。すなわち１つの吸着ユニット６０によって、検査前のワークと検査済のワークとを同時に保持することができる。

【0053】

このため図６に示された乗せ換えステージＳＴ２において、ワーク支持面８０の同じ位置に、検査前のワークＷ１と検査済のワークＷ２とを入れ替わりに乗せることができる。なお吸着ユニット６０が吸着部を１つだけ有してもよい。その場合、１つのワーク載置台７８に、検査前のワークを乗せるための第１のワーク支持面と、検査済のワークを乗せるための第２のワーク支持面を設ける。そして第１のワーク支持面と第２のワーク支持面の位置に応じて、ワーク載置台７８を第２の移動ユニット４２によって移動させる。

【0054】

このように検査装置１０は、検査部３５においてワークに空気を吹き付け、カメラ３４による検査等の工程を行なう。さらにこの検査装置１０は、検査済のワークをワーク配置部３０に戻し、次に検査するワークを吸着ユニット６０に吸着させる工程も行なう。本実施形態の検査装置１０によれば、これらの工程を並行して行なうことができるため、多数のワークＷの検査を能率良く行なうことができる。

【0055】

本発明を実施するに当たり、ワーク保持装置の構成要素、例えばワーク載置台やワーク支持面、吸着ユニット、移動機構、吹付け吸引ユニット等を種々に変更して実施できることは言うまでもない。また検査装置の構成要素、例えばワーク配置部や検査部、搬送機構等についても、発明を逸脱しない範囲で変更して実施することができる。

【符号の説明】

【0056】

Ｗ，Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３…ワーク（ディスク装置用サスペンション）、１０…検査装置、３０…ワーク配置部、３１…搬送機構、３２…位置決め機構、３３…ワーク保持装置、３４…カメラ、３５…検査部、３６…制御部、４１…第１の移動ユニット、４２…第２の移動ユニット（移動機構）、５０…第１のＸ方向ガイド部材、５１…第１のＹ方向ガイド部材、５２…第１のキャリッジ、６０…吸着ユニット、６１…第１の吸着部、６２…第２の吸着部、７５…第２のＸ方向ガイド部材、７６…第２のＹ方向ガイド部材、７７…第２のキャリッジ、７８…ワーク載置台、８０…ワーク支持面、８１…位置決めピン、８２…吸引孔、８５…負圧発生源、９０…吹付け吸引ユニット、９１…外筒、９２…内筒、９３…イオナイザ、９５…供給源、１００…噴出口、１０１…吸入口、１０２…吸引チャンバ、１１２…ライト。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】