(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024034780
(43)【公開日】2024-03-13
(54)【発明の名称】積層装置、積層体の製造方法および積層状態監視方法
(51)【国際特許分類】
B32B 41/00 20060101AFI20240306BHJP
B28B 11/00 20060101ALI20240306BHJP
H01G 13/00 20130101ALI20240306BHJP
H01G 4/30 20060101ALI20240306BHJP
【ＦＩ】
B32B41/00
B28B11/00
H01G13/00 331D
H01G4/30 311F
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022139254
(22)【出願日】2022-09-01
(71)【出願人】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】平川 翔太
【テーマコード（参考）】
4F100
4G055
5E082
【Ｆターム（参考）】
4F100AD00
4F100DC11
4F100EK03
4F100EK13
4G055AA08
4G055AC09
4G055BA22
5E082AB03
5E082FF05
5E082FG26
5E082LL02
5E082MM21
(57)【要約】
【課題】被積層体の積層ごとの積層状態を監視可能な積層装置および積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る積層装置１，１Ａ～１Ｃは、複数のシート状の被積層体Ｓを積層する積層装置である。積層装置は、被積層体が積層される積層面７ａを有する積層台７と、被積層体を積層台へ搬送する搬送装置６と、積層台に積層されている被積層体により構成される中間積層体ＩＬにおいて、各被積層体に共通して形成されている貫通孔Ｓａを、中間積層体の上方から撮像する撮像装置８２と、撮像装置に撮像された貫通孔の撮像画像に基づいて、中間積層体における被積層体の積層状態を監視する状態監視部２１４と、を有してなる。撮像装置８２は、積層台７に対して、積層面に平行な方向に相対的に移動可能に構成される。
【選択図】図１
【解決手段】本発明に係る積層装置１，１Ａ～１Ｃは、複数のシート状の被積層体Ｓを積層する積層装置である。積層装置は、被積層体が積層される積層面７ａを有する積層台７と、被積層体を積層台へ搬送する搬送装置６と、積層台に積層されている被積層体により構成される中間積層体ＩＬにおいて、各被積層体に共通して形成されている貫通孔Ｓａを、中間積層体の上方から撮像する撮像装置８２と、撮像装置に撮像された貫通孔の撮像画像に基づいて、中間積層体における被積層体の積層状態を監視する状態監視部２１４と、を有してなる。撮像装置８２は、積層台７に対して、積層面に平行な方向に相対的に移動可能に構成される。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数のシート状の被積層体を積層する積層装置であって、
前記被積層体が積層される積層面を有する積層台と、
前記被積層体を前記積層台へ搬送する搬送装置と、
前記積層台に積層されている前記被積層体により構成される中間積層体において、各被積層体に共通して形成されている貫通孔を、前記中間積層体の上方から撮像する撮像装置と、
前記撮像装置に撮像された前記貫通孔の撮像画像に基づいて、前記中間積層体における前記被積層体の積層状態を監視する状態監視部と、
を有してなり、
前記撮像装置は、前記積層台に対して、前記積層面に平行な方向に相対的に移動可能に構成される、
積層装置。
前記被積層体が積層される積層面を有する積層台と、
前記被積層体を前記積層台へ搬送する搬送装置と、
前記積層台に積層されている前記被積層体により構成される中間積層体において、各被積層体に共通して形成されている貫通孔を、前記中間積層体の上方から撮像する撮像装置と、
前記撮像装置に撮像された前記貫通孔の撮像画像に基づいて、前記中間積層体における前記被積層体の積層状態を監視する状態監視部と、
を有してなり、
前記撮像装置は、前記積層台に対して、前記積層面に平行な方向に相対的に移動可能に構成される、
積層装置。
【請求項2】
前記撮像装置は、前記搬送装置に取り付けられ、前記搬送装置と共に移動する、
請求項１に記載の積層装置。
請求項１に記載の積層装置。
【請求項3】
前記搬送装置は、前記被積層体を吸着保持する保持部材を備え、
前記撮像装置は、前記保持部材に取り付けられ、前記保持部材から前記搬送装置の搬送方向における進行方向側に突出して配置される、
請求項２に記載の積層装置。
前記撮像装置は、前記保持部材に取り付けられ、前記保持部材から前記搬送装置の搬送方向における進行方向側に突出して配置される、
請求項２に記載の積層装置。
【請求項4】
前記保持部材に取り付けられ、前記撮像装置を前記積層面と平行、かつ、前記搬送方向に垂直な方向に移動させる撮像移動装置を有してなる、
請求項３に記載の積層装置。
請求項３に記載の積層装置。
【請求項5】
前記被積層体が前記積層台に積層されるとき、前記撮像装置は、前記積層台の上方に配置され、
前記被積層体が前記積層台に積層されないとき、前記撮像装置または前記積層台は、前記積層面に平行な方向に移動可能に構成される、
請求項１に記載の積層装置。
前記被積層体が前記積層台に積層されないとき、前記撮像装置または前記積層台は、前記積層面に平行な方向に移動可能に構成される、
請求項１に記載の積層装置。
【請求項6】
前記状態監視部は、
前記撮像画像に撮像されている前記貫通孔のうち、前記中間積層体を貫通している貫通領域を抽出する領域抽出部と、
抽出された前記貫通領域に基づいて、前記中間積層体を構成する前記被積層体の積層ずれ量を算出する積層ずれ量算出部と、
を備える、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の積層装置。
前記撮像画像に撮像されている前記貫通孔のうち、前記中間積層体を貫通している貫通領域を抽出する領域抽出部と、
抽出された前記貫通領域に基づいて、前記中間積層体を構成する前記被積層体の積層ずれ量を算出する積層ずれ量算出部と、
を備える、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の積層装置。
【請求項7】
前記状態監視部は、抽出された前記貫通領域を挟み込むように前記貫通領域に外接する相互に平行な一対の仮想平行線を生成し、一対の前記仮想平行線の間の間隔を、前記貫通領域と前記仮想平行線との相対角度を変えながら所定角度ごとに計測する間隔計測部を備え、
前記積層ずれ量算出部は、前記貫通領域において計測された前記間隔に基づいて、前記被積層体の前記積層ずれ量を算出する、
請求項６に記載の積層装置。
前記積層ずれ量算出部は、前記貫通領域において計測された前記間隔に基づいて、前記被積層体の前記積層ずれ量を算出する、
請求項６に記載の積層装置。
【請求項8】
前記状態監視部は、計測された前記間隔に基づいて、前記中間積層体を構成する複数の前記被積層体のうち、最後に積層された前記被積層体の積層ずれ方向を特定する積層ずれ方向特定部を備える、
請求項７に記載の積層装置。
請求項７に記載の積層装置。
【請求項9】
シート状の被積層体が積層される積層面を有する積層台と、
前記被積層体を前記積層台へ搬送する搬送装置と、
前記積層台に積層されている前記被積層体により構成される中間積層体において、各被積層体に共通して形成されている貫通孔を上方から撮像する撮像装置と、
前記中間積層体における前記被積層体の積層状態を監視する状態監視部と、
を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、
前記撮像装置が、前記積層台に対して、前記積層面に平行な方向に相対的に移動して撮像画像を撮像する撮像ステップと、
前記状態監視部が、前記撮像画像に基づいて、前記積層状態を監視する積層状態監視ステップと、
を含む、
積層体の製造方法。
前記被積層体を前記積層台へ搬送する搬送装置と、
前記積層台に積層されている前記被積層体により構成される中間積層体において、各被積層体に共通して形成されている貫通孔を上方から撮像する撮像装置と、
前記中間積層体における前記被積層体の積層状態を監視する状態監視部と、
を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、
前記撮像装置が、前記積層台に対して、前記積層面に平行な方向に相対的に移動して撮像画像を撮像する撮像ステップと、
前記状態監視部が、前記撮像画像に基づいて、前記積層状態を監視する積層状態監視ステップと、
を含む、
積層体の製造方法。
【請求項10】
貫通孔を有する複数のシート状の被積層体が積層されて構成される中間積層体の積層状態を監視する積層状態監視方法であって、
プロセッサが、前記中間積層体の上方から撮像された撮像画像に撮像されている前記貫通孔のうち、前記中間積層体を貫通している貫通領域を抽出する抽出ステップと、
前記プロセッサが、抽出された前記貫通領域を挟み込むように前記貫通領域に外接する相互に平行な一対の仮想平行線を生成する生成ステップと、
前記プロセッサが、一対の前記仮想平行線の間の間隔を、前記貫通領域と前記仮想平行線との相対角度を変えながら所定角度ごとに計測する計測ステップと、
前記プロセッサが、前記貫通領域において計測された前記間隔に基づいて、前記被積層体の積層ずれ量を算出する算出ステップと、
を含む、
積層状態監視方法。
プロセッサが、前記中間積層体の上方から撮像された撮像画像に撮像されている前記貫通孔のうち、前記中間積層体を貫通している貫通領域を抽出する抽出ステップと、
前記プロセッサが、抽出された前記貫通領域を挟み込むように前記貫通領域に外接する相互に平行な一対の仮想平行線を生成する生成ステップと、
前記プロセッサが、一対の前記仮想平行線の間の間隔を、前記貫通領域と前記仮想平行線との相対角度を変えながら所定角度ごとに計測する計測ステップと、
前記プロセッサが、前記貫通領域において計測された前記間隔に基づいて、前記被積層体の積層ずれ量を算出する算出ステップと、
を含む、
積層状態監視方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、積層装置、積層体の製造方法および積層状態監視方法に関する。
【背景技術】
【0002】
多層構造を有する積層セラミック電子部品（例えば、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ：Multilayer Ceramic Capacitors）、チップインダクタ、低温同時焼成セラミック（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics）など）の製造工程では、内部電極が適宜印刷された複数のセラミックグリーンシート同士が積層されて、セラミックグリーンシートの積層体が形成される。この積層体が加熱・圧着され、所定のサイズに切断されることにより、積層体がチップ化される。次いで、チップ化された積層体が焼成され、焼成体の表面に外部電極が形成され、積層セラミック電子部品が完成する（例えば、特許文献１参照）。
【0003】
このように、複数のセラミックグリーンシートが積層された積層体から多数の積層セラミック電子部品が製造されている。近年、積層セラミック電子部品の小型化が進み、１つの積層体から製造される積層セラミック電子部品の数は、増大している。そのため、内部電極は微細化され、高精度なセラミックグリーンシートの積層が必要となっている。また、セラミックグリーンシートの積層ずれの許容値は小さくなり、セラミックグリーンシートの積層状態（積層ずれ量、積層ずれ方向など）の監視の重要性は高まっている。
【0004】
一般的に、セラミックグリーンシートは、アライメント台において位置を調整された後、保持部材（ホルダ）に吸着・搬送され、積層台において積層される。このとき、保持部材が備えるガイドピンが、アライメント台および積層台それぞれが備えるガイド孔に挿入されることにより、搬送ホルダは、アライメント台および積層台と機械的に位置合わせされる（例えば、特許文献２参照）。そして、セラミックグリーンシートの積層完了後に、積層体の積層ずれの検査が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０２１－１２２０６８号公報
【特許文献2】特開２００６－２８６６７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、積層途中で許容値を超える積層ずれが生じていた場合、積層ずれが生じた層までの再回収および再積層は技術的に難しく、その積層体は廃棄せざるを得ない。そのため、セラミックグリーンシートの積層ごとの積層状態（積層ずれ量、ずれの方向など）を監視する手法が望まれている。
【0007】
本発明は、被積層体の積層ごとの積層状態を監視可能な積層装置、積層体の製造方法および積層状態監視方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一実施態様における積層装置は、複数のシート状の被積層体を積層する積層装置であって、前記被積層体が積層される積層面を有する積層台と、前記被積層体を前記積層台へ搬送する搬送装置と、前記積層台に積層されている前記被積層体により構成される中間積層体において、各被積層体に共通して形成されている貫通孔を、前記中間積層体の上方から撮像する撮像装置と、前記撮像装置に撮像された前記貫通孔の撮像画像に基づいて、前記中間積層体における前記被積層体の積層状態を監視する状態監視部と、を有してなり、前記撮像装置は、前記積層台に対して、前記積層面に平行な方向に相対的に移動可能に構成される、積層装置である。
【0009】
本発明の一実施形態における積層体の製造方法は、シート状の被積層体が積層される積層面を有する積層台と、前記被積層体を前記積層台へ搬送する搬送装置と、前記積層台に積層されている複数の前記被積層体により構成される中間積層体において、各被積層体に共通して形成されている貫通孔を上方から撮像する撮像装置と、前記中間積層体における前記被積層体の積層状態を監視する状態監視部と、を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、前記撮像装置が、前記積層台に対して、前記積層面に平行な方向に相対的に移動して前記撮像画像を撮像する撮像ステップと、前記状態監視部が、前記撮像画像に基づいて、前記積層状態を監視する積層状態監視ステップと、を含む、積層体の製造方法である。
【0010】
本装置の一実施形態における積層状態監視方法は、貫通孔を有する複数のシート状の被積層体が積層されて構成される中間積層体の積層状態を監視する積層状態監視方法であって、プロセッサが、前記中間積層体の上方から撮像された撮像画像に撮像されている前記貫通孔のうち、前記中間積層体を貫通している貫通領域を抽出するステップと、前記プロセッサが、抽出された前記貫通領域を挟み込むように前記貫通領域に外接する相互に平行な一対の仮想平行線を生成するステップと、前記プロセッサが、一対の前記仮想平行線の間の間隔を、前記貫通領域と前記仮想平行線との相対角度を変えながら所定角度ごとに計測するステップと、前記プロセッサが、前記貫通領域において計測された前記間隔に基づいて、前記被積層体の積層ずれ量を算出するステップと、を含む、積層状態監視方法である。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、被積層体の積層ごとの積層状態を監視できる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本発明に係る積層装置の実施の形態を示す模式斜視図である。
【図5】図１の積層装置が備える撮像装置に撮像される貫通孔の一例を示す模式図であり、（ａ）は積層ずれが生じていない状態の模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡＡ線における模式断面図であり、（ｃ）は積層ずれが生じている状態の模式平面図であり、（ｄ）は（ｃ）のＢＢ線における模式断面図である。
【図14】図１の積層装置の動作過程を示す模式平面図であり、（ａ）は積層装置が備える保持部材が積層装置が備える積層台の上方に上昇した状態を示し、（ｂ）は積層装置が備える撮像装置が第１撮像位置に位置している状態を示し、（ｃ）は撮像装置が第２撮像位置に位置している状態を示している。
【図18】第１変形例に係る積層装置を示す模式側面図である。
【図19】第２変形例に係る積層装置を示す模式側面図である。
【図20】第３変形例に係る積層装置を示す模式側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る積層装置、積層体の製造方法（以下「本製法」という。）、および積層状態監視方法（以下「本監視方法」という。）の実施の形態について説明する。各図において、同一の部材および要素については同一の符号が付され、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に図示されている比率に限定されない。
【0014】
以下の説明および図面において、本発明に係る積層装置を説明するための方向軸として、空間において相互に直交する３軸であるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が、適宜用いられる。Ｘ軸およびＹ軸は、水平面上で相互に直交する軸である。Ｚ軸は、鉛直方向に沿う、Ｘ軸およびＹ軸と直交する軸である。
【0015】
●積層装置●
先ず、本発明に係る積層装置の実施の形態について説明する。
先ず、本発明に係る積層装置の実施の形態について説明する。
【0016】
【0017】
積層装置１は、セラミックグリーンシート（以下「シートＳ」という。）を積層して、シートＳの積層体Ｌを製造する。積層装置１は、例えば、多層構造を有する積層セラミック電子部品の製造工程において、積層体Ｌを製造するために用いられている。積層装置１は、制御装置２、載置台３、第１搬送装置４、アライメント装置５、第２搬送装置６、積層台７、および撮像ユニット８を有してなる。以下の説明において、載置台３、アライメント装置５、および積層台７は、Ｘ軸方向に並んで配置されている。
【0018】
「積層セラミック電子部品」は、例えば、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ：Multilayer Ceramic Capacitors）、チップインダクタ、低温同時焼成セラミック（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics）などのセラミックの多層構造を有する電子部品である。
【0019】
図３は、シートＳの模式平面図である。
【0020】
「シートＳ」は、積層セラミック電子部品の各層（誘電体層）となるシート状の部材である。シートＳは、本発明における被積層体の一例である。シートＳの４隅（各角部）には、円形の貫通孔Ｓａが配置されている。すなわち、貫通孔Ｓａは、各シートＳに共通して形成されている。また、シートＳには、積層セラミック電子部品の内部電極（不図示）が適宜印刷されている。
【0021】
なお、本発明において、シートＳには、積層体ＬにおけるシートＳの位置に応じて、内部電極が印刷されていなくてもよい。
【0022】
また、本発明において、貫通孔Ｓａの配置は、シートＳの４隅に限定されない。すなわち、例えば、貫通孔Ｓａは、シートＳの各辺の中央部付近に配置されていてもよい。また、例えば、貫通孔Ｓａは、シートＳの４隅のうち、シートＳの対角となる一対の角部のみに配置されていてもよい。さらに、例えば、１の貫通孔Ｓａが、シートＳの任意の位置（例えば、端部）に配置されていてもよい。さらにまた、例えば、複数の貫通孔Ｓａが、Ｘ軸方向またはＹ軸方向のみに１列に並んで配置されていてもよい。
【0023】
さらに、本発明において、貫通孔Ｓａの形状は、後述される積層状態監視処理（Ｓ５）が実行可能な形状であればよく、円形に限定されない。すなわち、例えば、貫通孔Ｓａの形状は、正六面体や正八面体などの多角形でもよい。
【0024】
図１および図２に戻る。
「積層体Ｌ」は、複数のシートＳが積層されることにより形成される、シートＳの集合体である。積層体Ｌは、本発明に係る積層体の一例である。積層体Ｌの構成は、公知のセラミックグリーンシートの積層体の構成と共通する。そのため、積層体Ｌの構成の詳細は、省略される。
「積層体Ｌ」は、複数のシートＳが積層されることにより形成される、シートＳの集合体である。積層体Ｌは、本発明に係る積層体の一例である。積層体Ｌの構成は、公知のセラミックグリーンシートの積層体の構成と共通する。そのため、積層体Ｌの構成の詳細は、省略される。
【0025】
図４は、積層装置１の機能ブロック図である。
【0026】
制御装置２は、積層装置１全体の動作を制御している。制御装置２は、例えば、１以上のＰＬＣ（Programmable Logic Controller）により構成されている。制御装置２は、制御部２１および記憶部２２を備える。
【0027】
制御部２１は、第１搬送装置４、アライメント装置５、第２搬送装置６、および撮像ユニット８の動作を制御する。制御部２１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２１ａなどのプロセッサ、ＣＰＵ２１ａの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）２１ｂなどの揮発性メモリ、および、制御プログラムなどの各種情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）２１ｃなどの不揮発性メモリ、により構成されている。制御部２１は、位置調整部２１１、搬送制御部２１２、撮像制御部２１３、および状態監視部２１４を備える。
【0028】
なお、本発明において、制御装置２を構成する機器は、ＰＬＣに限定されない。すなわち、例えば、制御装置２は、パーソナルコンピュータ、マイクロコントローラ、または、これらおよびＰＬＣの組合せにより構成されていてもよい。
【0029】
また、本発明において、制御装置２は、第１搬送装置４、アライメント装置５、第２搬送装置６、および撮像ユニット８それぞれの動作を個別に制御する複数の制御機器により構成されていてもよい。
【0030】
位置調整部２１１は、アライメント装置５の動作を制御して、アライメント装置５に搬送されたシートＳの位置を調整する。位置調整部２１１の具体的な動作は、後述される。
【0031】
搬送制御部２１２は、第１搬送装置４および第２搬送装置６の動作を制御する。搬送制御部２１２の具体的な動作は、後述される。
【0032】
撮像制御部２１３は、撮像ユニット８の動作を制御する。撮像制御部２１３の具体的な動作は、後述される。
【0033】
状態監視部２１４は、撮像ユニット８に撮像された貫通孔Ｓａの撮像画像に基づいて、中間積層体ＩＬにおけるシートＳの積層状態を監視する。状態監視部２１４は、領域抽出部２１５、間隔計測部２１６、積層ずれ量算出部２１７、積層ずれ方向特定部２１８、および積層ずれ判定部２１９を備える。
【0034】
「中間積層体ＩＬ」は、積層台７に積層予定のシートＳのうち、積層台７に積層された一部のシートＳにより構成される積層体である。すなわち、中間積層体ＩＬは、積層体Ｌの積層途中の状態（例えば、１００層の積層であれば、１層～９９層のシートＳが積層された状態）である。説明の便宜上、中間積層体ＩＬには、最下層のシートＳのみが積層台７に載置されている状態も含まれる。
【0035】
「積層状態」は、上方視において、最後に積層されたシートＳ（最上層のシートＳ）の他のシートＳに対する積層ずれの状態（例えば、積層ずれ量、積層ずれ方向、積層ずれ方向に沿う積層ずれ方向軸）である。
【0036】
領域抽出部２１５は、撮像画像に撮像される貫通孔Ｓａのうち、後述される貫通領域Ｓｂを抽出する。領域抽出部２１５の具体的な動作は、後述される。
【0037】
図５は、撮像画像に撮像されている貫通孔Ｓａの一例を示す模式図であり、（ａ）は積層ずれが生じていない状態の模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡＡ線における模式断面図であり、（ｃ）は積層ずれが生じている状態の模式平面図であり、（ｄ）は（ｃ）のＢＢ線における模式断面図である。
同図では、積層ずれの状態の理解を容易にするため、シートＳがリング状に表されている。また、同図（ａ）（ｃ）では、説明の便宜上、貫通領域Ｓｂはグレーに着色されている（後述される図６、図７および図１６も同じ。）。
同図では、積層ずれの状態の理解を容易にするため、シートＳがリング状に表されている。また、同図（ａ）（ｃ）では、説明の便宜上、貫通領域Ｓｂはグレーに着色されている（後述される図６、図７および図１６も同じ。）。
【0038】
「貫通領域Ｓｂ」は、貫通孔Ｓａのうち、上方視において、中間積層体ＩＬの上端から下端までＺ軸方向に中間積層体ＩＬを貫通している領域（図５（ａ）（ｃ）にグレーに着色された領域）である。貫通領域Ｓｂの形状は、各貫通孔Ｓａの内周面により確定される。そのため、例えば、貫通領域Ｓｂの形状は、中間積層体ＩＬの直下に配置されている物（例えば、積層台７）のうち、上方から貫通孔Ｓａを介して視認できる部分の形状として特定される。
【0039】
図５（ａ）（ｂ）に示されているとおり、積層ずれが生じていない状態では、各シートＳの貫通孔Ｓａは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向にずれることなく、Ｚ軸方向に並んで配置されている。そのため、上方視において、貫通孔Ｓａの全ての領域が貫通領域Ｓｂとなっている。したがって、積層ずれが生じていない状態では、上方視における貫通領域Ｓｂの形状は貫通孔Ｓａの形状と同じであり、変形していない。
【0040】
図５（ｃ）（ｄ）に示されているとおり、積層ずれが生じている状態では、各シートＳの貫通孔Ｓａは、Ｘ軸方向および／またはＹ軸方向にずれた状態で、Ｚ軸方向に並んで配置されている。そのため、上方視において、貫通孔Ｓａの一部の領域のみが貫通領域Ｓｂとなっている。したがって、積層ずれが生じている状態では、上方視における貫通領域Ｓｂの形状は、各層の積層ずれ量および積層ずれ方向に応じて変形している。
【0041】
なお、本発明において、貫通孔Ｓａの積層ずれは、各シートＳの収縮の差異によっても生じ得る。
【0042】
図４に戻る。
間隔計測部２１６は、一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２（図６参照。以下同じ。）を生成し、一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の間の間隔Ｄ（図６参照。以下同じ。）を、貫通領域Ｓｂと仮想平行線Ｃ１，Ｃ２との相対角度を変えながら所定角度ごとに計測する。「間隔Ｄ」は、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２との間の最短距離を意味している。すなわち、例えば、間隔Ｄは、仮想平行線Ｃ１から仮想平行線Ｃ２まで延出される、仮想平行線Ｃ１．Ｃ２に垂直な線分の長さに相当する。間隔計測部２１６の具体的な動作は、後述される。
間隔計測部２１６は、一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２（図６参照。以下同じ。）を生成し、一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の間の間隔Ｄ（図６参照。以下同じ。）を、貫通領域Ｓｂと仮想平行線Ｃ１，Ｃ２との相対角度を変えながら所定角度ごとに計測する。「間隔Ｄ」は、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２との間の最短距離を意味している。すなわち、例えば、間隔Ｄは、仮想平行線Ｃ１から仮想平行線Ｃ２まで延出される、仮想平行線Ｃ１．Ｃ２に垂直な線分の長さに相当する。間隔計測部２１６の具体的な動作は、後述される。
【0043】
図６は、間隔計測部２１６による間隔Ｄの計測方法を説明する模式図である。
同図は、撮像画像を反時計回りに１５°ステップで回転させたときの角度ごとの間隔Ｄの計測方法を示している。
同図は、撮像画像を反時計回りに１５°ステップで回転させたときの角度ごとの間隔Ｄの計測方法を示している。
【0044】
図６に示されているとおり、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂを挟み込むように、貫通領域Ｓｂに外接する一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を生成する。仮想平行線Ｃ１，Ｃ２は、相互に平行している。次いで、間隔計測部２１６（図４参照。以下同じ。）は、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の間の間隔Ｄを計測する。次いで、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂを所定角度（図６の例では、１５°）、所定方向（図６の例では、反時計回り方向）に回転させる。次いで、間隔計測部２１６は、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の生成、間隔Ｄの計測、および貫通領域Ｓｂの回転、を回転角度が１８０°になるまで繰り返す。ここで、回転後に生成された仮想平行線Ｃ１，Ｃ２は、回転前に生成された仮想平行線Ｃ１，Ｃ２と平行である。したがって、貫通領域Ｓｂは、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２に対して、相対的に回転している。つまり、回転ごとに、貫通領域Ｓｂと仮想平行線Ｃ１，Ｃ２との相対角度は、所定角度ごとに変えられている。
【0045】
ここで、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２は、貫通領域Ｓｂを挟み込むように貫通領域Ｓｂに外接している。そのため、回転角度が１８０°のときの間隔Ｄは、回転角度が０°の時の間隔Ｄと同じとなる。また、回転角度が１８０°～３６０°の範囲における間隔Ｄの変化は、回転角度が０°～１８０°の範囲における間隔Ｄの変化と同じとなる。
【0046】
なお、本発明において、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂに代えて、撮像画像そのものを回転させてもよい。この場合、領域抽出部２１５は、撮像画像の回転ごとに、貫通領域Ｓｂを抽出していてもよい。
【0047】
また、本発明において、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂを時計回り方向に回転させていてもよい。
【0048】
さらに、本発明において、間隔計測部２１６は、回転ごとに仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を生成せず、最初に生成された仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の位置を回転ごとに変更して間隔Ｄを計測していてもよい。
【0049】
さらにまた、本発明において、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂに代えて、一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を所定角度回転させてもよい。すなわち、例えば、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２が貫通領域Ｓｂに対して、相対的に回転していてもよい。
【0050】
図７は、間隔計測部２１６による間隔Ｄの別の計測方法を説明する模式図である。
同図は、撮像画像を固定し、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を反時計回りに１５°ステップで回転させたときの角度ごとの間隔Ｄの計測方法を示している。
同図は、撮像画像を固定し、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を反時計回りに１５°ステップで回転させたときの角度ごとの間隔Ｄの計測方法を示している。
【0051】
図７に示されているとおり、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂを挟み込むように、貫通領域Ｓｂに外接する一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を生成する。次いで、間隔計測部２１６は、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の間の間隔Ｄを計測する。次いで、間隔計測部２１６は、生成された仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を所定角度（図７の例では、１５°）、所定方向（図７の例では、反時計回り方向）に回転させる。次いで、間隔計測部２１６は、間隔Ｄの計測、および仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の回転を回転角度が１８０°になるまで繰り返す。
【0052】
図４に戻る。
積層ずれ量算出部２１７は、抽出された貫通領域Ｓｂにおいて計測された間隔Ｄに基づいて、中間積層体ＩＬを構成する複数のシートＳのうち、最上層のシートＳの積層ずれ量を算出する。積層ずれ量算出部２１７の具体的な動作は、後述される。
積層ずれ量算出部２１７は、抽出された貫通領域Ｓｂにおいて計測された間隔Ｄに基づいて、中間積層体ＩＬを構成する複数のシートＳのうち、最上層のシートＳの積層ずれ量を算出する。積層ずれ量算出部２１７の具体的な動作は、後述される。
【0053】
積層ずれ方向特定部２１８は、抽出された貫通領域Ｓｂにおいて計測された間隔Ｄに基づいて、中間積層体ＩＬを構成する複数のシートＳのうち、最上層のシートＳの積層ずれ方向を特定する。積層ずれ方向特定部２１８の具体的な動作は、後述される。
【0054】
積層ずれ判定部２１９は、算出された積層ずれ量に基づいて、中間積層体ＩＬにおけるシートＳの積層ずれが許容値を超えているか否かを判定する。積層ずれ判定部２１９の具体的な動作は、後述される。
【0055】
図１および図２に戻る。
載置台３は、積層装置１において取り扱われる（積層される）シートＳが載置されるステージである。載置台３の形状は、例えば、上方視において矩形状である。載置台３は、例えば、金属製である。
載置台３は、積層装置１において取り扱われる（積層される）シートＳが載置されるステージである。載置台３の形状は、例えば、上方視において矩形状である。載置台３は、例えば、金属製である。
【0056】
第１搬送装置４は、載置台３に載置されているシートＳを保持し、保持したシートＳを載置台３から後述されるアライメント台５２まで搬送する。第１搬送装置４は、移動装置４１および保持部材４２を備える。
【0057】
移動装置４１は、例えば、ガイドレール、ラック・ピニオン機構、およびモータ（例えば、サーボモータ）を備え、保持部材４２をＸ軸方向およびＺ軸方向に移動可能に構成されている。
【0058】
保持部材４２は、シートＳを吸着保持する。保持部材４２の形状は、例えば、下方視において矩形状である。保持部材４２は、例えば、金属製である。保持部材４２は、シートＳを吸着保持する保持面である下面４２ａを備える。同下面４２ａには複数の吸着孔（不図示）が配置され、各吸着孔は配管（不図示）を介して真空ポンプなどの真空発生器（不図示）に接続されている。各吸着孔内が負圧にされることによりシートＳは吸着保持され、各吸着孔内が加圧されることによりシートＳの吸着保持は解除される。
【0059】
アライメント装置５は、第２搬送装置６に対するシートＳの位置の調整を行う。アライメント装置５は、移動装置５１、アライメント台５２、およびアライメント用撮像装置５３，５４，５５，５６を備える。
【0060】
移動装置５１は、例えば、ガイドレール、複数のギア、およびモータ（例えば、サーボモータ）を備え、アライメント台５２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能、かつ、Ｚ軸を回転軸としてアライメント台５２を回転可能に構成されている。
【0061】
アライメント台５２は、第１搬送装置４により載置台３から搬送されたシートＳが載置されるステージである。アライメント台５２の形状は、例えば、上方視において矩形状である。アライメント台５２は、透光性材料製の透光部５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄを備える。透光部５２ａ～５２ｄは、例えば、アライメント台５２の４隅（各角部）に配置されている。
【0062】
アライメント用撮像装置５３～５６は、透光部５２ａ～５２ｄを介して、アライメント台５２に載置されたシートＳの特徴部（例えば、角部、アライメントマーク、貫通孔Ｓａなど）を撮像する。アライメント用撮像装置５３～５６それぞれは、例えば、デジタルカメラである。アライメント用撮像装置５３～５６それぞれは、対応する透光部５２ａ～５２ｄの下方に配置されている。
【0063】
なお、本発明において、アライメント装置５が備えるアライメント用撮像装置５３～５６の数は「４」に限定されない。すなわち、例えば、アライメント装置５は、アライメント台５２の対角の位置に対応する２つのアライメント用撮像装置５３，５５（５４，５６）のみを備えていてもよい。この場合、アライメント台５２は、アライメント用撮像装置５３，５５（５４，５６）に対応する透光部５２ａ，５２ｃ（５２ｂ、５２ｄ）のみを備えていてもよい。
【0064】
第２搬送装置６は、アライメント台５２に載置されている位置の調整後のシートＳを保持し、保持したシートＳをアライメント台５２から積層台７まで搬送する。第２搬送装置６は、本発明における搬送装置の一例である。第２搬送装置６の搬送方向はＸ軸方向であり、搬送方向において、進行方向は後述される保持部材６２が積層台７側に移動する方向であり、退行方向は同保持部材６２がアライメント台５２側に移動する方向である。第２搬送装置６は、移動装置６１および保持部材６２を備える。
【0065】
移動装置６１は、例えば、ガイドレール、ラック・ピニオン機構、およびモータ（例えば、サーボモータ）を備え、保持部材６２をＸ軸方向およびＺ軸方向に移動可能に構成されている。
【0066】
保持部材６２は、シートＳを吸着保持する。保持部材６２の形状は、例えば、下方視において矩形状である。保持部材６２は、例えば、金属製である。保持部材６２は、シートＳを吸着保持する保持面である下面６２ａを備える。同下面６２ａには複数の吸着孔（不図示）が配置され、各吸着孔は配管（不図示）を介して真空ポンプなどの真空発生器（不図示）に接続されている。各吸着孔内が負圧にされることによりシートＳは吸着保持され、各吸着孔内が加圧されることによりシートＳの吸着保持は解除される。
【0067】
積層台７は、複数のシートＳが積層されるステージである。積層台７の形状は、上方視において矩形状である。積層台７は、例えば、金属製である。積層台７は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に平行で、複数のシートＳが積層される積層面である上面７ａを備える。
【0068】
撮像ユニット８は、積層台７に載置されている中間積層体ＩＬの貫通孔Ｓａを、中間積層体ＩＬの上方から撮像する。撮像ユニット８は、撮像移動装置８１および撮像装置８２を備える。
【0069】
撮像移動装置８１は、例えば、ガイドレールおよびモータ（例えば、サーボモータ）を備え、撮像装置８２をＹ軸方向に移動可能に構成されている。撮像移動装置８１は、保持部材６２の上面６２ｂに取り付けられている。
【0070】
撮像装置８２は、積層台７に載置されている中間積層体において、各シートＳに共通して形成されている貫通孔Ｓａを、中間積層体ＩＬの上方から撮像する。撮像装置８２は、例えば、デジタルカメラである。撮像装置８２は、撮像移動装置８１に取り付けられ、保持部材６２から第２搬送装置６の搬送方向（Ｘ軸方向）の進行方向側（積層台７側）に突出して配置されている。すなわち、撮像装置８２は、撮像移動装置８１を介して、保持部材６２にＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。
【0071】
●積層装置の動作●
次に、積層装置１の動作（すなわち、本製法および本監視方法）が、以下に説明される。以下の説明において、図１～図６は、適宜参照される。また、以下の図９～図１４において、説明の便宜上、制御装置２の構成の一部が、二点鎖線で図示されている。
次に、積層装置１の動作（すなわち、本製法および本監視方法）が、以下に説明される。以下の説明において、図１～図６は、適宜参照される。また、以下の図９～図１４において、説明の便宜上、制御装置２の構成の一部が、二点鎖線で図示されている。
【0072】
【0073】
先ず、搬送制御部２１２は、図９および図１０に示されているとおり、移動装置４１の動作を制御することにより、保持部材４２を移動させ、シートＳを載置台３からアライメント台５２に搬送させる（Ｓ１）。具体的には、搬送制御部２１２は、載置台３に載置されているシートＳを保持部材４２に吸着保持させ、保持部材４２をアライメント台５２まで移動させ、シートＳをアライメント台５２に載置させる。その後、搬送制御部２１２は、移動装置４１の動作を制御することにより、保持部材４２をアライメント台５２から退避させる。
【0074】
次いで、位置調整部２１１は、図１１に示されているとおり、アライメント台５２に載置されているシートＳの位置を調整する（Ｓ２）。具体的には、位置調整部２１１は、アライメント用撮像装置５３～５６にシートＳを撮像させる。次いで、位置調整部２１１は、撮像された撮像画像に基づいて、移動装置５１の動作を制御することによりアライメント台５２を移動させ、シートＳの位置を調整する。このとき、位置調整部２１１は、例えば、撮像画像と記憶部２２に予め記憶されている参照画像とを比較して、シートＳの位置ずれ量および角度ずれ量を算出し、位置ずれ量および角度ずれ量に基づいて移動装置５１の動作を制御する。
【0075】
次いで、搬送制御部２１２は、図１２および図１３に示されているとおり、移動装置６１の動作を制御することにより、保持部材６２を移動させ、位置の調整後のシートＳをアライメント台５２から積層台７に搬送させる（Ｓ３）。具体的には、搬送制御部２１２は、アライメント台５２に載置されているシートＳを保持部材６２に吸着保持させ、保持部材６２を積層台７まで移動させる。次いで、搬送制御部２１２は、シートＳが１層目のときシートＳを上面７ａに載置させ、シートＳが２層目以降のときシートＳを中間積層体ＩＬに積層させる。その後、搬送制御部２１２は、移動装置６１の動作を制御することにより、保持部材６２を上昇させる。
【0076】
なお、１層目のシートＳと上面７ａとの間には、公知の積層シートまたは積層フィルムが配置されていてもよい。
【0077】
図１４は、積層装置１の動作過程を示す模式平面図であり、（ａ）は保持部材６２が積層台７の上方に上昇した状態を示し、（ｂ）は撮像装置８２が第１撮像位置Ｐ１に位置している状態を示し、（ｃ）は撮像装置８２が第２撮像位置Ｐ２に位置している状態を示している。同図は、説明の便宜上、積層台７およびシートＳを透過して表している。
【0078】
次いで、搬送制御部２１２および撮像制御部２１３は、移動装置６１および撮像移動装置８１の動作を制御することにより保持部材６２および撮像装置８２を移動させて、撮像装置８２に状態監視用の撮像画像を撮像させる（Ｓ４：撮像ステップ）。具体的には、搬送制御部２１２および撮像制御部２１３は、撮像装置８２を第１撮像位置Ｐ１に移動させて第１画像を撮像させ、次いで、撮像装置８２を第２撮像位置Ｐ２に移動させて第２画像を撮像させる。このとき、撮像装置８２は、保持部材６２がＸ軸方向に移動することにより保持部材６２と共にＸ軸方向に移動し、撮像移動装置８１の制御によりＹ軸方向に移動する。すなわち、撮像装置８２は、積層台７（中間積層体ＩＬ）に対して、上面７ａと平行な方向に相対的に移動する。
【0079】
「第１撮像位置Ｐ１」は、中間積層体ＩＬの上方であって、中間積層体ＩＬにおける最上層のシートＳが備える貫通孔Ｓａのうち、第２搬送装置６の進行方向側に位置している１の貫通孔Ｓａを撮像装置８２が撮像可能な位置である。第１撮像位置Ｐ１において、貫通孔Ｓａは、例えば、撮像装置８２の画角のほぼ中心に位置している。
【0080】
「第１画像」は、第１撮像位置Ｐ１に位置している撮像装置８２により撮像された撮像画像である。第１画像には、貫通孔Ｓａ（貫通領域Ｓｂ）が撮像されている。
【0081】
「第２撮像位置Ｐ２」は、中間積層体ＩＬの上方であって、中間積層体ＩＬにおける最上層のシートＳが備える貫通孔Ｓａのうち、第２搬送装置６の退行方向側に位置している１の貫通孔Ｓａを撮像装置８２が撮像可能な位置である。本実施の形態では、第２撮像位置Ｐ２において撮像される貫通孔Ｓａは、シートＳの４隅のうち、第１撮像位置Ｐ１において撮像される貫通孔Ｓａが配置されている角部の対角となる角部に配置されている。第２撮像位置Ｐ２において、貫通孔Ｓａは、例えば、撮像装置８２の画角のほぼ中心に位置している。
【0082】
「第２画像」は、第２撮像位置Ｐ２に位置している撮像装置８２により撮像された撮像画像である。第２画像には、貫通孔Ｓａが撮像されている。ここで、第１画像および第２画像は中間積層体ＩＬの上方からの照明を用いて撮像されているため、第１画像および第２画像において貫通領域Ｓｂは黒い領域として撮像されている。
【0083】
なお、本発明において、第２撮像位置Ｐ２は、第１撮像位置Ｐ１から離れていればよく、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、第２撮像位置Ｐ２は、第１撮像位置Ｐ１において撮像される貫通孔ＳａとＸ軸方向またはＹ軸方向に並ぶ位置に配置されている貫通孔Ｓａが撮像可能な位置でもよい。
【0084】
図８に戻る。
次いで、状態監視部２１４は、後述される積層状態監視処理（Ｓ５）を実行する。
次いで、状態監視部２１４は、後述される積層状態監視処理（Ｓ５）を実行する。
【0085】
次いで、制御部２１は、規定数のシートＳが積層されたか否かを判定する（Ｓ６）。規定数のシートＳが積層されていないとき（Ｓ６の「Ｎ」）、積層装置１の動作は、処理（Ｓ１）に戻る。一方、規定数のシートＳが積層されているとき（Ｓ６の「Ｙ」）、積層装置１の動作は、終了する。
【0086】
●積層状態監視処理
図１５は、積層状態監視処理（Ｓ５）の一例を示すフローチャートである。
図１５は、積層状態監視処理（Ｓ５）の一例を示すフローチャートである。
【0087】
「積層状態監視処理（Ｓ５）」は、中間積層体ＩＬの貫通孔Ｓａが撮像された撮像画像（第１画像、第２画像）に基づいて、シートＳの積層状態（積層ずれ量、積層ずれ方向）を監視する処理である。積層状態監視処理（Ｓ５）は、本発明における積層状態監視ステップの一例であり、本監視方法の一例である。
【0088】
先ず、領域抽出部２１５は、貫通領域Ｓｂを抽出する撮像画像を選択する（Ｓ５１）。具体的には、例えば、領域抽出部２１５は、撮像画像の撮像順（第１画像、第２画像の順）に撮像画像を選択する。
【0089】
次いで、領域抽出部２１５は、例えば、公知の画像処理アルゴリズムを用いて、第１画像から貫通領域Ｓｂを抽出する（Ｓ５２：抽出ステップ）。
【0090】
次いで、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂに外接する一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を生成して、間隔Ｄを計測する（Ｓ５３：生成ステップおよび計測ステップ）。計測された間隔Ｄは、例えば、対応する回転角度に関連付けられて、記憶部２２に記憶される。
【0091】
次いで、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂが所定方向（例えば、時計回り方向）に最大角度（例えば、１８０°）回転したか否かを判定する（Ｓ５４）。
【0092】
抽出された貫通領域Ｓｂが最大角度回転していないとき（Ｓ５４の「Ｎ」）、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂを所定方向に所定角度（例えば、１°）回転させる（Ｓ５５）。次いで、積層装置１の動作は、処理（Ｓ５３）に戻る。すなわち、間隔計測部２１６は、図６に示されているように、抽出された貫通領域Ｓｂが最大角度回転するまでの間、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の生成、間隔Ｄの計測、抽出された貫通領域Ｓｂの回転を繰り返す。
【0093】
一方、抽出された貫通領域Ｓｂが最大角度回転していたとき（Ｓ５４の「Ｙ」）、積層ずれ量算出部２１７は、計測された間隔Ｄに基づいて、最上層のシートＳの積層ずれ量を算出する（Ｓ５６：算出ステップ）。具体的には、例えば、積層ずれ量算出部２１７は、回転角度ごとの間隔Ｄのうち、最小値となる間隔Ｄ（最小間隔Ｄｍｉｎ）を抽出する。次いで、積層ずれ量算出部２１７は、最小間隔Ｄｍｉｎに対応する回転角度を特定する。次いで、積層ずれ量算出部２１７は、基準間隔Ｄｓｔｄと最小間隔Ｄｍｉｎとの差分値を算出する。次いで、積層ずれ量算出部２１７は、同差分値に基づいて、例えば、予め記憶部２２に記憶されている関数やテーブルを用いて積層ずれ量を算出する。ここで、「基準間隔Ｄｓｔｄ」は、例えば、１層目のシートＳで計測された間隔Ｄの平均値である。
【0094】
次いで、積層ずれ方向特定部２１８は、計測された間隔Ｄに基づいて、最上層のシートＳの積層ずれ方向を特定する（Ｓ５７）。
【0095】
図１６は、積層ずれ方向を特定する処理（Ｓ５７）の一例を示す模式図である。
【0096】
具体的には、例えば、積層ずれ方向特定部２１８は、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２に直交する方向軸を生成し、同方向軸を回転方向の逆方向（時計回り方向）に、最小間隔Ｄｍｉｎに対応する回転角度だけ回転させる。このときの方向軸は、撮像画像（第１画像、第２画像）において、積層ずれの方向に沿う方向軸（積層ずれ方向軸）となる。次いで、積層ずれ方向特定部２１８は、積層ずれ方向軸に沿う２方向を積層ずれ方向として特定する。
【0097】
なお、本発明において、図７に示されているように、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２が回転する場合、最小間隔Ｄｍｉｎとなる仮想平行線Ｃ１，Ｃ２に直交する方向軸が積層ずれ方向軸となり、積層ずれ方向特定部２１８は、積層ずれ方向軸に沿う２方向を積層ずれ方向として特定してもよい。
【0098】
図１５に戻る。
次いで、制御部２１は、未選択の撮像画像の有無を判定する（Ｓ５８）。未選択の撮像画像が有るとき（Ｓ５８の「Ｙ」）、積層状態監視処理（Ｓ５）は、処理（Ｓ５１）に戻る。
次いで、制御部２１は、未選択の撮像画像の有無を判定する（Ｓ５８）。未選択の撮像画像が有るとき（Ｓ５８の「Ｙ」）、積層状態監視処理（Ｓ５）は、処理（Ｓ５１）に戻る。
【0099】
一方、未選択の撮像画像が無いとき（Ｓ５８の「Ｎ」）、積層ずれ判定部２１９は、算出された積層ずれ量に基づいて、中間積層体ＩＬにおけるシートＳの積層ずれ量が許容値を超えるか否かを判定する（Ｓ５９）。具体的には、例えば、積層ずれ判定部２１９は、算出された積層ずれ量と所定の閾値（許容値）とを比較し、積層ずれ量が閾値以上のとき積層ずれ量が許容値を超えていると判定し、積層ずれ量が閾値未満のとき積層ずれが許容値以内と判定する。所定の閾値は、例えば、予め積層体Ｌごとに設定され、記憶部２２に記憶されている。
【0100】
積層ずれ量が許容値を超えているとき（Ｓ５９の「Ｎ」）、制御部２１は積層装置１の動作を停止し（Ｓ６０）、積層状態監視処理（Ｓ５）は終了する。一方、積層ずれ量が許容値以内のとき（Ｓ５９の「Ｙ」）、積層状態監視処理（Ｓ５）は終了する。
【0101】
なお、本発明において、撮像装置８２は、第２搬送装置６がアライメント装置５から積層台７にシートＳを搬送している途中に、撮像画像（第１画像、第２画像）を撮像してもよい。すなわち、撮像装置８２は、シートＳの積層前に撮像画像を撮像してもよい。この場合、積層状態監視処理（Ｓ５）は、シートＳの積層前に実行される。この構成では、保持部材６２に保持されているシートＳが無駄になり得るが、シートＳの積層ごとの積層状態は監視可能である。
【0102】
また、本発明において、撮像装置８２は、シートＳの積層前および積層後に撮像画像（第１画像、第２画像）を撮像してもよい。この場合、積層状態監視処理（Ｓ５）は、シートＳの積層前および積層後に実行される。
【0103】
さらに、本発明において、積層状態監視処理（Ｓ５）は、撮像画像が撮像される度に実行されていてもよい。
【0104】
●実施例●
次に、複数の積層状態のワーク（中間積層体ＩＬ）において、回転角度ごとの間隔Ｄを実測した結果が、本発明の実施例として説明される。以下の実施例の説明において、回転角度は１°ステップである。各ワークの積層状態は、以下のとおりである。
ワーク「１」：積層ずれは殆ど生じていない。
ワーク「２」：許容値以内の積層ずれが生じている。
ワーク「３」：許容値を超える積層ずれが生じている。
ワーク「４」：積層ずれは生じていない（リファレンス）。
次に、複数の積層状態のワーク（中間積層体ＩＬ）において、回転角度ごとの間隔Ｄを実測した結果が、本発明の実施例として説明される。以下の実施例の説明において、回転角度は１°ステップである。各ワークの積層状態は、以下のとおりである。
ワーク「１」：積層ずれは殆ど生じていない。
ワーク「２」：許容値以内の積層ずれが生じている。
ワーク「３」：許容値を超える積層ずれが生じている。
ワーク「４」：積層ずれは生じていない（リファレンス）。
【0105】
図１７は、積層装置１の実施例として、各ワークにおける回転角度と間隔Ｄとの関係を示すグラフである。
同図の縦軸は間隔Ｄを示し、横軸は回転角度を示している。
同図の縦軸は間隔Ｄを示し、横軸は回転角度を示している。
【0106】
ワーク「１」において、間隔Ｄは、回転角度に応じて若干増減しているが、全体的に安定している。ワーク「１」に積層ずれは殆ど生じておらず、ワーク「１」の積層状態は実測値に正しく反映されている。次いで、ワーク「２」において、間隔Ｄは、約５０°～約１１０°において少し減少し、他の回転角度では安定している。ワーク「２」には許容できる積層ずれが生じており、積層ずれ方向が約８０°（または約２６０°）前後であることが推測される。次いで、ワーク「３」において、間隔Ｄは、回転角度に応じて正弦波状に増減している。ワーク「３」には許容できない積層ずれが生じており、その積層ずれ量に応じて間隔Ｄが増減しており、積層ずれ方向が約１３０°（または約３１０°）前後であることが推測される。また、ワーク「４」において、間隔Ｄは、回転角度に寄らず安定している。ワーク「４」に積層ずれは生じておらず、ワーク「４」の積層状態は実測値に正しく反映されている。このように、各ワークの積層状態は実測値に反映されており、シートＳの積層状態は積層状態監視処理（Ｓ５）により適切に監視可能である。
【0107】
●変形例●
次に、積層装置１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。また、以下の変形例において、図１～図５は、適宜参照される。
次に、積層装置１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。また、以下の変形例において、図１～図５は、適宜参照される。
【0108】
●第１変形例
図１８は、第１変形例に係る積層装置１Ａを示す模式側面図である。
図１８は、第１変形例に係る積層装置１Ａを示す模式側面図である。
【0109】
第１変形例に係る積層装置１Ａでは、撮像ユニット８の配置が、第１実施形態と異なる。撮像ユニット８は、第２搬送装置６に取り付けられておらず、積層台７の上方に配置されている。撮像移動装置８１が撮像装置８２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させることにより、撮像装置８２は、積層台７の上面７ａの全体を撮像可能である。すなわち、第１変形例では、撮像装置８２は、シートＳが積層されるとき、積層台７の上方に配置されている。また、シートＳが積層されないとき、撮像装置８２が移動することにより、撮像装置８２は積層台７に対して、上面７ａに平行な方向に相対的に移動可能に構成されている。そのため、撮像装置８２は、シートＳが積層台７に積層されるたびに、積層台７に載置されている中間積層体ＩＬの上面の任意の位置（貫通孔Ｓａ）を撮像可能である。この構成においても、積層装置１Ａは、第１実施形態と同様に、シートＳの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0110】
なお、第１変形例において、撮像移動装置８１は、撮像装置８２をＸ軸方向またはＹ軸方向のみに移動させるように構成されていてもよい。
【0111】
●第２変形例
図１９は、第２変形例に係る積層装置１Ｂを示す模式側面図である。
図１９は、第２変形例に係る積層装置１Ｂを示す模式側面図である。
【0112】
第２変形例に係る積層装置１Ｂでは、積層台７の構成、撮像ユニット８の配置、および、積層装置１Ｂが圧着機９を備える点が第１実施形態と異なる。積層台７は、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。撮像ユニット８は、第２搬送装置６に取り付けられておらず、積層台７の上方に配置されている。撮像移動装置８１は、撮像装置８２をＹ軸方向に移動させる。圧着機９は、積層台７に載置されている積層体Ｌを圧着する。圧着機９は、Ｘ軸方向において、積層台７に対してアライメント装置５の反対側の位置の上方に配置されている。撮像移動装置８１が撮像装置８２をＹ軸方向に移動させ、積層台７がＸ軸方向に移動することにより、撮像装置８２は、積層台７の上面７ａの全体を撮像可能である。すなわち、第２変形例では、撮像装置８２は、シートＳが積層されるとき、積層台７の上方に配置されている。また、シートＳが積層されないとき、積層台７および撮像装置８２が移動することにより、撮像装置８２は積層台７に対して、上面７ａに平行な方向に相対的に移動可能に構成されている。そのため、撮像装置８２は、シートＳが積層台７に積層されるたびに、積層台７に載置されている中間積層体ＩＬの上面の任意の位置（貫通孔Ｓａ）を撮像可能である。全てのシートＳが積層された後、積層台７は圧着機９の下方に移動し、積層台７に載置されている積層体Ｌは圧着機９により圧着される。この構成においても、積層装置１Ｂは、第１実施形態と同様に、シートＳの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0113】
なお、第２変形例において、撮像装置８２は、固定されていてもよい。この場合、積層台７がＸ軸方向に移動することにより、撮像装置８２は、Ｘ軸方向において並ぶように配置されている２つの貫通孔Ｓａそれぞれを撮像してもよい。
【0114】
また、第２変形例において、圧着機９は、Ｙ軸方向において、積層台７と並んで配置されていてもよい。この場合、積層台７はＹ軸方向に移動可能に構成され、撮像装置８２はＸ軸方向に移動可能に構成される。
【0115】
●第３変形例
図２０は、第３変形例に係る積層装置１Ｃを示す模式側面図である。
図２０は、第３変形例に係る積層装置１Ｃを示す模式側面図である。
【0116】
第３変形例に係る積層装置１Ｃでは、撮像ユニット８の配置が第１実施形態と異なる。撮像移動装置８１は、保持部材６２の上面６２ｂに取り付けられている。撮像装置８２は、撮像移動装置８１に取り付けられ、保持部材６２から第２搬送装置６の搬送方向（Ｘ軸方向）の退行方向側（アライメント装置５側）に突出して配置されている。搬送制御部２１２は、シートＳの積層後に、保持部材６２を上昇させ、さらに進行方向側に移動させる。このとき、撮像移動装置８１が撮像装置８２をＹ軸方向に移動させることにより、撮像装置８２は、積層台７に載置されている中間積層体ＩＬの上面の任意の位置（貫通孔Ｓａ）を撮像可能である。この構成においても、保持部材６２の移動量および移動スペースが第１実施形態よりも増加するが、積層装置１Ｃは、第１実施形態と同様に、シートＳの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0117】
●まとめ
以上説明した実施の形態によれば、積層装置１は、状態監視部２１４、第２搬送装置６、積層台７、および撮像装置８２を有してなり、複数のシートＳを積層する。第２搬送装置６は、シートＳを積層台７へ搬送する。積層台７は、シートＳが積層される上面７ａを備える。撮像装置８２は、積層台７に載置されている中間積層体ＩＬにおいて、各シートＳに共通して形成されている貫通孔Ｓａを、中間積層体ＩＬの上方から撮像する。状態監視部２１４は、撮像装置８２に撮像された貫通孔Ｓａの撮像画像に基づいて、中間積層体ＩＬにおけるシートＳの積層状態を監視する。撮像装置８２は、積層台７に対して、上面７ａに平行なＸ軸方向に相対的に移動可能に構成されている。この構成によれば、撮像装置８２は、シートＳの積層のタイミングに合わせて、積層台７上に載置されている中間積層体ＩＬに対して相対的に移動し、貫通孔Ｓａの撮像画像を容易に取得できる。また、状態監視部２１４は、シートＳの積層のタイミングに合わせて、シートＳの積層ごとにシートＳの積層状態を監視できる。したがって、積層装置１では、積層ずれの傾向から不良となる（許容値を超える）積層ずれが予測でき、不良発生前にメンテナンスなどの処置が可能となる。また、仮に、不良が発生しても、その発生タイミングで不良の検知が可能となり、不良発生後の無駄なシートＳの積層は阻止できる。このように、積層装置１は、シートＳの積層ごとの積層状態を監視できる。
以上説明した実施の形態によれば、積層装置１は、状態監視部２１４、第２搬送装置６、積層台７、および撮像装置８２を有してなり、複数のシートＳを積層する。第２搬送装置６は、シートＳを積層台７へ搬送する。積層台７は、シートＳが積層される上面７ａを備える。撮像装置８２は、積層台７に載置されている中間積層体ＩＬにおいて、各シートＳに共通して形成されている貫通孔Ｓａを、中間積層体ＩＬの上方から撮像する。状態監視部２１４は、撮像装置８２に撮像された貫通孔Ｓａの撮像画像に基づいて、中間積層体ＩＬにおけるシートＳの積層状態を監視する。撮像装置８２は、積層台７に対して、上面７ａに平行なＸ軸方向に相対的に移動可能に構成されている。この構成によれば、撮像装置８２は、シートＳの積層のタイミングに合わせて、積層台７上に載置されている中間積層体ＩＬに対して相対的に移動し、貫通孔Ｓａの撮像画像を容易に取得できる。また、状態監視部２１４は、シートＳの積層のタイミングに合わせて、シートＳの積層ごとにシートＳの積層状態を監視できる。したがって、積層装置１では、積層ずれの傾向から不良となる（許容値を超える）積層ずれが予測でき、不良発生前にメンテナンスなどの処置が可能となる。また、仮に、不良が発生しても、その発生タイミングで不良の検知が可能となり、不良発生後の無駄なシートＳの積層は阻止できる。このように、積層装置１は、シートＳの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0118】
また、以上説明した実施の形態によれば、撮像装置８２は、第２搬送装置６の保持部材６２に取り付けられ、保持部材６２と共に移動する。この構成によれば、保持部材６２がシートＳを積層するために進退するとき、撮像装置８２は、積層台７上に載置されている中間積層体ＩＬに対して相対的に移動する。したがって、撮像装置８２は、シートＳの搬送ごとに貫通孔Ｓａの撮像画像を容易に撮像できる。その結果、積層装置１は、シートＳの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0119】
さらに、以上説明した実施の形態によれば、撮像装置８２は、保持部材６２に取り付けられ、保持部材６２から保持部材６２の搬送方向における進行方向側に突出して配置されている。この構成によれば、撮像装置８２は、保持部材６２の搬送範囲を逸脱することなく、保持部材６２の進行時および／または退行時に貫通孔Ｓａの撮像画像を撮像できる。その結果、積層装置１は、効率よくシートＳの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0120】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、撮像ユニット８は、保持部材６２に取り付けられ、撮像装置８２を上面７ａと平行、かつ、搬送方向に垂直な方向（Ｙ軸方向）に移動させる撮像移動装置８１を備える。この構成によれば、撮像装置８２は、保持部材６２の進行時および／または退行時に中間積層体ＩＬの上面の任意の位置（貫通孔Ｓａ）を撮像できる。その結果、積層装置１は、さらに効率よくシートＳの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0121】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、状態監視部２１４は、領域抽出部２１５および積層ずれ量算出部２１７を備える。領域抽出部２１５は、撮像画像に撮像されている貫通孔Ｓａのうち、中間積層体ＩＬを貫通している貫通領域Ｓｂを抽出する。積層ずれ量算出部２１７は、抽出された貫通領域Ｓｂに基づいて、中間積層体ＩＬを構成しているシートＳの積層ずれのずれ量を算出する。この構成によれば、貫通孔Ｓａは各シートＳに共通に形成されているため、積層ずれが生じていないときの貫通領域Ｓｂの形状は、貫通孔Ｓａの形状と同じである。一方、積層ずれが生じているときの貫通領域Ｓｂの形状は、変形している。この変形の量および形状は、シートＳの積層ずれの量および方向に応じている。そのため、積層装置１は、貫通領域Ｓｂを抽出して、貫通領域Ｓｂの形状を監視することにより、精度よくシートＳの積層ごとの積層状態（積層ずれ量）を監視できる。
【0122】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、状態監視部２１４は、間隔計測部２１６を備える。間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂを挟み込むように貫通領域Ｓｂに外接する相互に平行な一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を生成し、一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２の間の間隔Ｄを、貫通領域Ｓｂと仮想平行線Ｃ１，Ｃ２との間の相対角度を変えながら所定角度ごとに計測する。積層ずれ量算出部２１７は、貫通領域Ｓｂにおいて計測された間隔Ｄに基づいて、中間積層体ＩＬを構成しているシートＳの積層ずれのずれ量を算出する。この構成によれば、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２は抽出された貫通領域Ｓｂに外接している。そのため、貫通領域Ｓｂの内側に異物や貫通孔Ｓａの一部のバリが撮像されていても、間隔計測部２１６は、これらの影響を受けることなく安定して間隔Ｄを計測できる。また、間隔計測部２１６は、所定角度ごとに貫通領域Ｓｂの全周における間隔Ｄ（直径）を計測できる。そのため、積層ずれ量算出部２１７は、積層ずれがどの方向に生じていても、積層ずれ量を算出できる。このように、積層装置１は、回転角度ごとの間隔Ｄに基づいて積層ずれ量を算出することにより、精度よく安定してシートＳの積層ごとの積層状態（積層ずれ量）を監視できる。
【0123】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、状態監視部２１４は、積層ずれ方向特定部２１８を備える。積層ずれ方向特定部２１８は、計測された間隔Ｄに基づいて、中間積層体ＩＬを構成するシートＳのうち、最後に積層されたシートＳの積層ずれ方向軸を特定する。この構成によれば、積層装置１は、回転角度ごとの間隔Ｄに基づいて積層ずれ方向軸を特定することにより、精度よく安定してシートＳの積層ごとの積層状態（積層ずれ量、積層ずれ方向軸）を監視できる。
【0124】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、載置台３、アライメント装置５、および積層台７の配置は、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、載置台３、アライメント装置５、および積層台７は、Ｙ軸方向に並んで配置されていてもよい。また、例えば、載置台３およびアライメント装置５がＸ軸方向に並んで配置され、アライメント装置５および積層台７がＹ軸方向に並んで配置されていてもよい。この場合、第１搬送装置４および第２搬送装置６の搬送方向は、載置台３、アライメント装置５、および積層台７の配置に応じて適宜設定されている。
なお、本発明において、載置台３、アライメント装置５、および積層台７の配置は、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、載置台３、アライメント装置５、および積層台７は、Ｙ軸方向に並んで配置されていてもよい。また、例えば、載置台３およびアライメント装置５がＸ軸方向に並んで配置され、アライメント装置５および積層台７がＹ軸方向に並んで配置されていてもよい。この場合、第１搬送装置４および第２搬送装置６の搬送方向は、載置台３、アライメント装置５、および積層台７の配置に応じて適宜設定されている。
【0125】
また、本発明において、間隔計測部２１６は、一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２に加えて、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２に直交する一対の第２仮想平行線を生成し、第２仮想平行線の間の第２間隔も計測してもよい。この構成では、第２仮想平行線は、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２が９０°回転した状態に等しいため、間隔計測部２１６は、抽出された貫通領域Ｓｂを０°～９０°までの範囲で回転させればよい。
【0126】
さらに、本発明において、間隔計測部２１６は、一対の仮想平行線Ｃ１，Ｃ２を含み、抽出された貫通領域Ｓｂに外接する矩形状の仮想図形を生成してもよい。
【0127】
さらにまた、本発明において、載置台３は、移動可能に構成されていてもよい。すなわち、例えば、載置台３は、昇降可能に構成されていてもよく、あるいは、前工程（フィルムからシートＳを剥離する工程）から搬送可能に構成されていてもよい。
【0128】
さらにまた、本発明において、載置台３には、１つのシートＳのみが載置されていてもよく、あるいは、複数のシートＳが重ねられて載置されていてもよい。
【0129】
さらにまた、本発明において、積層装置１は、複数の載置台３を備えていてもよい。この場合、例えば、複数の載置台３は、上下方向において、棚状に並べて配置されていてもよく、あるいは、Ｘ軸方向および／またはＹ軸方向に並んで配置されていてもよい。この場合、第１搬送装置４は、各載置台３からシートＳを搬送できるように移動可能に構成されている。
【0130】
さらにまた、本発明において、積層台７は、第２変形例に示されているとおり、上面７ａに平行な方向に移動可能に構成されていてもよい。
【0131】
さらにまた、本発明において、撮像ユニット８は、複数の撮像装置８２を備えていてもよい。この場合、各撮像装置８２は、保持部材６２に固定されていてもよい。
【0132】
さらにまた、本発明において、撮像装置８２は、第１撮像位置Ｐ１および第２撮像位置Ｐ２のいずれか一方のみで貫通孔Ｓａを撮像してもよく、あるいは、３か所以上の撮像位置で貫通孔Ｓａを撮像していてもよい。
【0133】
さらにまた、本発明において、状態監視部２１４は、積層ずれ量のみを監視し、積層ずれ方向を監視していなくてもよい。
【0134】
さらにまた、本発明において、積層ずれ方向特定部２１８は、例えば、公知の画像処理アルゴリズムを用いて、積層ずれ方向を特定していてもよい。この場合、例えば、積層ずれ方向特定部２１８は、積層ずれ方向軸に基づいて、画像処理を実行する領域を限定していてもよい。また、例えば、積層ずれ方向特定部２１８は、第１画像、および１つ前の層における第１画像を用いてテンプレートマッチングを実行して、貫通領域Ｓｂの外縁のうち、変化の無い部分が位置する方向を積層ずれ方向として特定していてもよい。
【0135】
さらにまた、本発明において、積層ずれ量算出部２１７は、間隔Ｄに基づいて積層ずれ量を算出すればよく、その手法は本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、積層ずれ量算出部２１７は、例えば、最上層の１つ下の層のシートＳにおいて計測された間隔Ｄと、最上層のシートＳにおいて計測された間隔Ｄと、の間の差分値を回転角度ごとに算出していてもよい。この場合、積層ずれ量算出部２１７は、例えば、算出された差分値のうち、最大値を積層ずれ量として特定する。
【0136】
さらにまた、本発明において、積層装置１は、許容範囲外の積層ずれの存在を報知する機能（例えば、アラームなど）を備えていてもよい。
【0137】
さらにまた、本発明において、積層ずれ量算出部２１７は、間隔Ｄ、および関数に基づいて貫通領域Ｓｂの面積を算出し、同面積に基づいて積層ずれ量を算出していてもよい。
【0138】
さらにまた、本発明において、状態監視処理（Ｓ５）は、積層装置１とは異なる情報処理端末（例えば、パーソナルコンピュータなど）が備えるプロセッサにより実行されていてもよい。この場合、同情報処理端末は、例えば、積層装置１と通信回線を介して接続され、積層装置１から撮像画像を取得していてもよい。
【0139】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0140】
本発明の第１の実施態様は、複数のシート状の被積層体（例えば、シートＳ）を積層する積層装置（例えば、積層装置１，１Ａ～１Ｃ）であって、前記被積層体が積層される積層面（例えば、上面７ａ）を有する積層台（例えば、積層台７）と、前記被積層体を前記積層台へ搬送する搬送装置（例えば、第２搬送装置６）と、前記積層台に積層されている前記被積層体により構成される中間積層体（例えば、中間積層体ＩＬ）において、各被積層体に共通して形成されている貫通孔（例えば、貫通孔Ｓａ）を、前記中間積層体の上方から撮像する撮像装置（例えば、撮像装置８２）と、前記撮像装置に撮像された前記貫通孔の撮像画像に基づいて、前記中間積層体における前記被積層体の積層状態を監視する状態監視部（例えば、状態監視部２１４）と、を有してなり、前記撮像装置は、前記積層台に対して、前記積層面に平行な方向に相対的に移動可能に構成される、積層装置である。
この構成によれば、積層装置は、シートの積層のタイミングに合わせて、貫通孔の撮像画像を容易に取得でき、シートの積層状態を監視できる。その結果、積層装置は、シートの積層ごとの積層状態を監視できる。
この構成によれば、積層装置は、シートの積層のタイミングに合わせて、貫通孔の撮像画像を容易に取得でき、シートの積層状態を監視できる。その結果、積層装置は、シートの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0141】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記撮像装置は、前記搬送装置に取り付けられ、前記搬送装置と共に移動する、積層装置（例えば、積層装置１，１Ｃ）である。
この構成によれば、撮像装置は、シートの搬送ごとに貫通孔の撮像画像を容易に撮像できる。
この構成によれば、撮像装置は、シートの搬送ごとに貫通孔の撮像画像を容易に撮像できる。
【0142】
本発明の第３の実施態様は、第２の実施態様において、前記搬送装置は、前記被積層体を吸着保持する保持部材（例えば、保持部材６２）を備え、前記撮像装置は、前記保持部材に取り付けられ、前記保持部材から前記搬送装置の搬送方向における進行方向側に突出して配置される、積層装置である。
この構成によれば、撮像装置は、保持部材の搬送範囲を逸脱することなく、保持部材の進行時および／または退行時に貫通孔の撮像画像を撮像できる。
この構成によれば、撮像装置は、保持部材の搬送範囲を逸脱することなく、保持部材の進行時および／または退行時に貫通孔の撮像画像を撮像できる。
【0143】
本発明の第４の実施態様は、第３の実施態様において、前記保持部材に取り付けられ、前記撮像装置を前記積層面と平行、かつ、前記搬送方向に垂直な方向に移動させる撮像移動装置（例えば、撮像移動装置８１）を有してなる、積層装置である。
この構成によれば、撮像装置は、保持部材の進行時および／または退行時に中間積層体の上面の任意の位置を撮像できる。
この構成によれば、撮像装置は、保持部材の進行時および／または退行時に中間積層体の上面の任意の位置を撮像できる。
【0144】
本発明の第５の実施態様は、第１の実施態様において、前記被積層体が前記積層台に積層されるとき、前記撮像装置は、前記積層台の上方に配置され、前記被積層体が前記積層台に積層されないとき、前記撮像装置または前記積層台は、前記積層面に平行な方向に移動可能に構成される、積層装置（例えば、積層装置１Ａ，１Ｂ）である。
この構成によれば、積層装置は、シートの搬送ごとに貫通孔の撮像画像を容易に撮像できる。
この構成によれば、積層装置は、シートの搬送ごとに貫通孔の撮像画像を容易に撮像できる。
【0145】
本発明の第６の実施態様は、第１乃至第５のいずれか１の実施態様において、前記状態監視部は、前記撮像画像に撮像されている前記貫通孔のうち、前記中間積層体を貫通している貫通領域（例えば、貫通領域Ｓｂ）を抽出する領域抽出部（例えば、領域抽出部２１５）と、抽出された前記貫通領域に基づいて、前記中間積層体を構成する前記被積層体の積層ずれ量を算出する積層ずれ量算出部（例えば、積層ずれ量算出部２１７）と、を備える、積層装置である。
この構成によれば、積層装置は、精度よくシートの積層ごとの積層状態（積層ずれ量）を監視できる。
この構成によれば、積層装置は、精度よくシートの積層ごとの積層状態（積層ずれ量）を監視できる。
【0146】
本発明の第７の実施態様は、第６の実施態様において、前記状態監視部は、抽出された前記貫通領域を挟み込むように前記貫通領域に外接する相互に平行な一対の仮想平行線（例えば、仮想平行線Ｃ１，Ｃ２）を生成し、一対の前記仮想平行線の間の間隔（例えば、間隔Ｄ）を、前記貫通領域と前記仮想平行線との相対角度を変えながら所定角度ごとに計測する間隔計測部（例えば、間隔計測部２１６）を備え、前記積層ずれ量算出部は、前記貫通領域において計測された前記間隔に基づいて、前記被積層体の前記積層ずれ量を算出する、積層装置である。
この構成によれば、積層ずれ量算出部は、積層ずれがどの方向に生じていても、積層ずれ量を算出できる。
この構成によれば、積層ずれ量算出部は、積層ずれがどの方向に生じていても、積層ずれ量を算出できる。
【0147】
本発明の第８の実施態様は、第７の実施態様において、前記状態監視部は、計測された前記間隔に基づいて、前記中間積層体を構成する複数の前記被積層体のうち、最後に積層された前記被積層体の積層ずれ方向を特定する積層ずれ方向特定部（例えば、積層ずれ方向特定部２１８）を備える、積層装置である。
この構成によれば、積層装置は、精度よく安定してシートの積層ごとの積層状態（積層ずれ量、積層ずれ方向軸）を監視できる。
この構成によれば、積層装置は、精度よく安定してシートの積層ごとの積層状態（積層ずれ量、積層ずれ方向軸）を監視できる。
【0148】
本発明の第９の実施態様は、シート状の被積層体が積層される積層面を有する積層台と、前記被積層体を前記積層台へ搬送する搬送装置と、前記積層台に積層されている前記被積層体により構成される中間積層体において、各被積層体に共通して形成されている貫通孔を上方から撮像する撮像装置と、前記中間積層体における前記被積層体の積層状態を監視する状態監視部と、を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、前記撮像装置が、前記積層台に対して、前記積層面に平行な方向に相対的に移動して撮像画像を撮像する撮像ステップ（例えば、撮像ステップ（Ｓ４））と、前記状態監視部が、前記撮像画像に基づいて、前記積層状態を監視する積層状態監視ステップ（例えば、積層状態監視処理（Ｓ５））と、を含む、積層体の製造方法である。
この構成によれば、積層装置は、シートの積層ごとの積層状態を監視できる。
この構成によれば、積層装置は、シートの積層ごとの積層状態を監視できる。
【0149】
本発明の第１０の実施態様は、貫通孔を有する複数のシート状の被積層体が積層されて構成される中間積層体の積層状態を監視する積層状態監視方法（例えば、積層状態監視処理（Ｓ５））であって、プロセッサ（例えば、ＣＰＵ２１ａ）が、前記中間積層体の上方から撮像された撮像画像に撮像されている前記貫通孔のうち、前記中間積層体を貫通している貫通領域を抽出する抽出ステップ（例えば、抽出ステップ（Ｓ５２））と、前記プロセッサが、抽出された前記貫通領域を挟み込むように前記貫通領域に外接する相互に平行な一対の仮想平行線を生成する生成ステップ（例えば、生成ステップ（Ｓ５３））と、前記プロセッサが、一対の前記仮想平行線の間の間隔を、前記貫通領域と前記仮想平行線との相対角度を変えながら所定角度ごとに計測する計測ステップ（例えば、計測ステップ（Ｓ５３））と、前記プロセッサが、前記貫通領域において計測された前記間隔に基づいて、前記被積層体の積層ずれ量を算出する算出ステップ（例えば、計測ステップ（Ｓ５６））と、を含む、積層状態監視方法である。
この構成によれば、プロセッサは、シートの積層ごとの積層状態を監視できる。
この構成によれば、プロセッサは、シートの積層ごとの積層状態を監視できる。
【符号の説明】
【0150】
１ 積層装置
１Ａ 積層装置
１Ｂ 積層装置
１Ｃ 積層装置
２１４ 状態監視部
２１５ 領域抽出部
２１６ 間隔計測部
２１７ 積層ずれ量算出部
２１８ 積層ずれ方向特定部
６ 第２搬送装置（搬送装置）
６２ 保持部材
７ 積層台
７ａ 上面（積層面）
８１ 撮像移動装置
８２ 撮像装置
Ｃ１ 仮想平行線
Ｃ２ 仮想平行線
Ｄ 間隔
ＩＬ 中間積層体
Ｌ 積層体
Ｓ セラミックグリーンシート
Ｓａ 貫通孔
Ｓｂ 貫通領域
１Ａ 積層装置
１Ｂ 積層装置
１Ｃ 積層装置
２１４ 状態監視部
２１５ 領域抽出部
２１６ 間隔計測部
２１７ 積層ずれ量算出部
２１８ 積層ずれ方向特定部
６ 第２搬送装置（搬送装置）
６２ 保持部材
７ 積層台
７ａ 上面（積層面）
８１ 撮像移動装置
８２ 撮像装置
Ｃ１ 仮想平行線
Ｃ２ 仮想平行線
Ｄ 間隔
ＩＬ 中間積層体
Ｌ 積層体
Ｓ セラミックグリーンシート
Ｓａ 貫通孔
Ｓｂ 貫通領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】