特開 2024-36140 超純水製造装置および超純水製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024036140

(43)【公開日】2024-03-15

(54)【発明の名称】超純水製造装置および超純水製造方法

(51)【国際特許分類】

   C02F 1/42 20230101AFI20240308BHJP

   B01J 39/04 20170101ALI20240308BHJP

   B01J 41/04 20170101ALI20240308BHJP

   B01J 39/16 20170101ALI20240308BHJP

   B01J 41/12 20170101ALI20240308BHJP

   B01J 47/028 20170101ALI20240308BHJP

   B01J 47/04 20060101ALI20240308BHJP

   B01J 49/08 20170101ALI20240308BHJP

   C02F 1/32 20230101ALI20240308BHJP

   B01J 31/28 20060101ALI20240308BHJP

【ＦＩ】

C02F1/42 A

C02F1/42 B

B01J39/04

B01J41/04

B01J39/16

B01J41/12

B01J47/028

B01J47/04

B01J49/08

C02F1/32

B01J31/28 M

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022140883

(22)【出願日】2022-09-05

(71)【出願人】

【識別番号】000004400

【氏名又は名称】オルガノ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100123788

【弁理士】

【氏名又は名称】宮崎 昭夫

(74)【代理人】

【識別番号】100127454

【弁理士】

【氏名又は名称】緒方 雅昭

(72)【発明者】

【氏名】椙原 健司

(72)【発明者】

【氏名】津田 晃彦

(72)【発明者】

【氏名】菅原 広

【テーマコード（参考）】

4D025

4D037

4G169

【Ｆターム（参考）】

4D025AA04

4D025BA08

4D025BA13

4D025BB03

4D025BB04

4D025BB09

4D025BB16

4D025DA01

4D025DA04

4D025DA05

4D025DA10

4D037AA03

4D037BA18

4D037CA03

4D037CA15

4G169AA03

4G169BA22A

4G169BC75A

4G169CA01

4G169CA10

4G169CA11

4G169DA06

(57)【要約】

【課題】製造される超純水の水質を維持しながら、コスト削減や環境負荷軽減を実現する。
【解決手段】超純水製造装置１は、第１のイオン交換装置１１と、第１のイオン交換装置１１の下流側に配置された第２のイオン交換装置１２とを含むイオン交換装置ユニット１０を有し、第１のイオン交換装置１１は、カチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂が互いに分離した状態で充填された樹脂再利用型のイオン交換装置であり、第２のイオン交換装置１２は、カチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂が混合された状態で充填された樹脂非再利用型のイオン交換装置である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被処理水を処理して超純水を製造する超純水製造装置であって、
第１のイオン交換装置と、前記第１のイオン交換装置の下流側に配置された第２のイオン交換装置とを含むイオン交換装置ユニットを有し、
前記第１のイオン交換装置は、カチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂が互いに分離した状態で充填された樹脂再利用型のイオン交換装置であり、前記第２のイオン交換装置は、カチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂が混合された状態で充填された樹脂非再利用型のイオン交換装置である、超純水製造装置。

【請求項2】

前記イオン交換装置ユニットの上流側に配置された紫外線酸化装置を有する、請求項１に記載の超純水製造装置。

【請求項3】

前記第２のイオン交換装置における前記被処理水の空間速度は、前記第１のイオン交換装置における前記被処理水の空間速度よりも大きい、請求項１に記載の超純水製造装置。

【請求項4】

前記第２のイオン交換装置における前記空間速度は、前記第１のイオン交換装置における前記空間速度の２０倍未満である、請求項３に記載の超純水製造装置。

【請求項5】

前記第１のイオン交換装置における前記アニオン交換樹脂の充填量は、前記第１のイオン交換装置における前記カチオン交換樹脂の充填量と同量以上である、請求項１から４のいずれか１項に記載の超純水製造装置。

【請求項6】

前記第１のイオン交換装置は、白金族金属担持樹脂が前記カチオン交換樹脂と分離した状態でさらに充填されている、請求項１から４のいずれか１項に記載の超純水製造装置。

【請求項7】

前記白金族金属担持樹脂と前記アニオン交換樹脂は、互いに分離かつ隣接した状態で１つの樹脂塔に充填されているか、または、それぞれ別の樹脂塔に充填されている、請求項６に記載の超純水製造装置。

【請求項8】

前記第１のイオン交換装置は、前記被処理水が前記アニオン交換樹脂と前記白金族金属担持樹脂とをこの順に流れるように構成されている、請求項７に記載の超純水製造装置。

【請求項9】

前記アニオン交換樹脂と前記白金族金属担持樹脂は、混合された状態で１つの樹脂塔に充填されている、請求項６に記載の超純水製造装置。

【請求項10】

請求項１から４のいずれか１項に記載の超純水製造装置を用いて超純水を製造する超純水製造方法であって、
前記第１のイオン交換装置から前記カチオン交換樹脂と前記アニオン交換樹脂とを抜き出し、該抜き出した樹脂を再生する工程と、
前記再生した樹脂を前記第１のイオン交換装置に戻し、前記第１のイオン交換装置に前記被処理水を通水して処理水を得る工程と、含む超純水製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、超純水製造装置および超純水製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスや液晶デバイスの製造プロセスでは、洗浄工程など様々な用途に、不純物が高度に除去された超純水が用いられている。超純水は、一般に、原水（河川水、地下水、工業用水など）を、前処理システム、一次純水システム、および二次純水システム（サブシステム）で順次処理することで製造されるが、そのうち一次純水システムやサブシステムの中には、内部にイオン交換樹脂が充填されたイオン交換装置を備えたものがある。特にサブシステムでは、超純水に対する厳しい水質要求（例えば、金属濃度がｐｇ／Ｌレベル）を満たすために、それぞれ高度に精製されたカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とが混床で充填された非再生型イオン交換装置（カートリッジポリッシャー）が好適に用いられている。

【0003】

このような非再生型イオン交換装置では、イオン交換樹脂の性能が低下すると、被処理水に含まれる金属イオンなどのイオン成分が除去されずに処理水中にリークしてしまい、超純水の水質が要求するレベルを満たさなくなる。そのため、従来から、イオン交換樹脂の適切な交換時期を把握するために、イオン交換樹脂の性能を評価する方法がいくつか提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－１５４６３４号公報

【特許文献2】特許第６８０６２０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、交換された使用済みのイオン交換樹脂は、ＳＤＧｓ（持続可能な開発目標）の観点からも、繰り返し再生されて再利用されることが望ましい。しかしながら、上述した混床式のイオン交換樹脂（カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂との混合物）を再生するには、まずカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とに分離する必要があるが、その分離工程は技術的に難易度が高く、品質管理やコストの面でも課題が多い。したがって、使用済みの混床式のイオン交換樹脂は、超純水製造に求められる極めて高い品質に再生することが難しく、その大部分が再利用されずに廃棄されているのが現状である。近年、半導体需要の高まりから、その製造プロセスで使用される超純水の使用量は増加する傾向にあり、それに伴ってイオン交換樹脂の使用量すなわち廃棄量も増加する傾向にあるため、そのような廃棄量の増加に対する何らかの対策が求められている。

【0006】

そこで、本発明の目的は、製造される超純水の水質を維持しながら、コスト削減や環境負荷軽減を実現する超純水製造装置および超純水製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した目的を達成するために、本発明の超純水製造装置は、被処理水を順次処理して超純水を製造する超純水製造装置であって、第１のイオン交換装置と、第１のイオン交換装置の下流側に配置された第２のイオン交換装置とを含むイオン交換装置ユニットを有し、第１のイオン交換装置は、カチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂が互いに分離した状態で充填された樹脂再利用型のイオン交換装置であり、第２のイオン交換装置は、カチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂が混合された状態で充填された樹脂非再利用型のイオン交換装置である。

【0008】

また、本発明の超純水製造方法は、上記の超純水製造装置を用いて超純水を製造する超純水製造方法であって、第１のイオン交換装置からカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを抜き出し、抜き出した樹脂を再生する工程と、再生した樹脂を第１のイオン交換装置に戻し、第１のイオン交換装置に被処理水を通水して処理水を得る工程と、含んでいる。

【0009】

このような超純水製造装置および超純水製造方法によれば、第１のイオン交換装置によりイオン成分が十分に除去された水が第２のイオン交換装置に供給されるため、第２のイオン交換装置の負荷を低減することができる。その結果、第２のイオン交換装置と同様のイオン交換装置が単独で用いられる場合に比べて、処理水量および処理水質が同じであっても、第２のイオン交換装置におけるイオン交換樹脂の充填量を少なくすることができる。また、第１のイオン交換装置では、使用済みのイオン交換樹脂をカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂に分離する工程が不要になるため、比較的低コストでイオン交換樹脂を再生して再利用することが可能になる。こうして、イオン交換装置ユニット全体での混床式のイオン交換樹脂の使用量（廃棄量）を低減することが可能になる。

【発明の効果】

【0010】

以上、本発明によれば、製造される超純水の水質を維持しながら、コスト削減や環境負荷軽減を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る超純水製造装置の概略構成図である。

【図2】本発明の第２の実施形態に係るイオン交換装置ユニットの概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。

【0013】

（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る超純水製造装置の概略構成図である。図１（ｂ）は、本実施形態の超純水製造装置を構成するイオン交換装置ユニットの概略構成図である。なお、図示した超純水製造装置およびイオン交換装置ユニットの構成は、単なる一例であり、本発明を制限するものではない。

【0014】

超純水製造装置１は、一次純水タンク２と、ポンプ３と、熱交換器４と、紫外線酸化装置５と、イオン交換装置ユニット１０と、膜脱気装置６と、限外ろ過（ＵＦ）膜装置７とを有している。これらは、二次純水システム（サブシステム）を構成し、一次純水システム（図示せず）で製造された一次純水を順次処理して超純水を製造し、その超純水をユースポイント８に供給するものである。

【0015】

一次純水タンク２に貯留された被処理水（一次純水）は、ポンプ３により送出され、熱交換器４に供給される。熱交換器４を通過して温度調節された被処理水は、紫外線酸化装置５に供給されて紫外線を照射され、これにより、被処理水中の全有機炭素（ＴＯＣ）が分解される。その後、被処理水は、イオン交換装置ユニット１０においてイオン交換処理により金属イオンなどのイオン成分が除去された後、膜脱気装置６において溶存ガスが除去され、ＵＦ膜装置７において微粒子が除去される。こうして得られた超純水は、一部がユースポイント８に供給され、残りが一次純水タンク２に返送される。一次純水タンク２には、必要に応じて、一次純水システム（図示せず）から一次純水が供給される。

【0016】

一次純水タンク２、ポンプ３、熱交換器４、紫外線酸化装置５、膜脱気装置６、およびＵＦ膜装置７としては、超純水製造装置のサブシステムにおいて一般的に用いられているものを使用することができる。一方、超純水製造装置のサブシステムにおいて用いられるイオン交換装置としては、非再生型混床式イオン交換装置（カートリッジポリッシャー）が一般的であるが、本実施形態では、単一のイオン交換装置ではなく、イオン交換樹脂の充填形態が異なる２種類のイオン交換装置１１，１２が用いられている。すなわち、第１のイオン交換装置１１と、その下流側で第１のイオン交換装置１１に直列に接続された第２のイオン交換装置１２とからなるイオン交換装置ユニット１０が用いられている。

【0017】

第１のイオン交換装置１１は、カチオン交換樹脂からなる上層Ｃとアニオン交換樹脂からなる下層Ａとを内部に含む樹脂塔１１ａを有し、上層Ｃと下層Ａは、樹脂塔１１ａの内部を上下に仕切るスクリーン１１ｂによって互いに分離されている。換言すると、第１のイオン交換装置１１は、樹脂塔１１ａ内にカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とが互いに分離した状態で充填された複床式イオン交換装置であり、以下に示すように、樹脂塔１１ａ内のイオン交換樹脂を再生して再利用する樹脂再利用型のイオン交換装置である。

【0018】

第１のイオン交換装置１１では、樹脂塔１１ａ内のイオン交換樹脂が長期間の使用により飽和状態に達すると、再生済みのイオン交換樹脂と交換される。このとき、イオン交換樹脂のみが交換されてもよく、樹脂塔１１ａごと交換されてもよい。飽和状態に達した使用済みのイオン交換樹脂（カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂）は、樹脂塔１１ａから抜き出されて再生工場に送られ、再生剤（酸とアルカリ）により再生された後、高度に精製（洗浄）される。そして、次回以降の交換時に、第１のイオン交換装置１１に戻されて再び使用される。こうして、第１のイオン交換装置１１のイオン交換樹脂は、繰り返し再生されて再利用されるが、これを容易にするために、本実施形態では、樹脂塔１１ａ内にカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂が互いに分離して充填されている。イオン交換樹脂の交換は、超純水製造装置１の運転中にも行えることが好ましく、そのために、第１のイオン交換装置１１を構成する樹脂塔１１ａの数は１つに限定されず、複数であってもよい。この場合、複数の樹脂塔１１ａは並列に接続されていることが好ましい。

【0019】

なお、イオン交換樹脂を再生して再利用する方法としては、例えば、第１のイオン交換装置１１からイオン交換樹脂を抜き出さずに再生する方法を用いてもよく、すなわち、第１のイオン交換装置１１が、樹脂塔１１ａに再生剤を導入してイオン交換樹脂を再生する再生手段を備えていてもよい。ただし、再生手段による再生時に不純物混入によりイオン交換樹脂が汚染される可能性があるため、上述したように、第１のイオン交換装置１１からイオン交換樹脂を抜き出し、それを超純水製造装置１から独立した再生工場に持ち込んで再生することが好ましい。このことは、専門の再生工場において蓄積された技術やノウハウを活用してイオン交換樹脂を高品質に再生することが可能になる点でも有利である。

【0020】

第２のイオン交換装置１２は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とからなる混合層Ｍを内部に含む樹脂塔１２ａを有している。換言すると、第２のイオン交換装置１２は、樹脂塔１２ａ内にカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とが混合された状態で充填された混床式イオン交換装置であり、以下に示すように、樹脂塔１２ａ内のイオン交換樹脂を再利用せずに廃棄する樹脂非再利用型のイオン交換装置である。すなわち、第２のイオン交換装置１２は、超純水製造装置のサブシステムにおいて一般的に用いられるカートリッジポリッシャーと同様の構成を有している。

【0021】

第２のイオン交換装置１２では、樹脂塔１２ａ内のイオン交換樹脂が長期間の使用により飽和状態に達すると、新品のイオン交換樹脂と交換される。このとき、イオン交換樹脂のみが交換されてもよく、樹脂塔１２ａごと交換されてもよい。飽和状態に達した使用済みのイオン交換樹脂は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とに分離することが技術的に難しく、品質管理やコストの面でも課題が多いことから、再生されずにそのまま廃棄される。イオン交換樹脂の交換は、超純水製造装置１の運転中にも行えることが好ましく、そのために、第２のイオン交換装置１２を構成する樹脂塔１２ａの数は１つに限定されず、複数であってもよい。この場合、複数の樹脂塔１２ａは並列に接続されていることが好ましい。

【0022】

このような構成によれば、第２のイオン交換装置１２には、第１のイオン交換装置１１によりイオン成分が十分に除去された水（第１のイオン交換装置１１の処理水）が被処理水として供給されるため、第２のイオン交換装置１２の負荷を低減することができる。その結果、第２のイオン交換装置１２と同様のカートリッジポリッシャーが単独で用いられる従来の構成に比べて、処理水量および処理水質が同じであっても、第２のイオン交換装置１２における空間速度を高くすることができ、すなわち、イオン交換樹脂の充填量を少なくすることができる。また、第１のイオン交換装置１１では、樹脂塔１１ａ内にカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂が互いに分離して充填されているため、使用済みのイオン交換樹脂を分離する工程が不要になり、比較的低コストでイオン交換樹脂を再生して再利用することが可能になる。こうして、上述した従来の構成に比べて、イオン交換装置ユニット１０全体での混床式のイオン交換樹脂の使用量（廃棄量）を低減することができ、コスト削減や環境負荷軽減を実現することができる。

【0023】

また、第２のイオン交換装置１２の負荷が低減されることは、イオン交換樹脂の長寿命化につながり、結果的に、イオン交換樹脂の交換頻度を減らすことにつながる。イオン交換樹脂の交換時には、要求水質を満たす超純水が得られるまで立ち上げ運転を行う必要があるが、イオン交換樹脂の交換頻度が減ることで、その立ち上げ運転の回数を減らすことができ、加えて、イオン交換樹脂の交換に伴う汚染の影響を低減することができる。したがって、従来のようにカートリッジポリッシャーを単体で用いる代わりに、２つのイオン交換装置１１，１２からなるイオン交換装置ユニット１０を用いることで、長期にわたって良好な水質の超純水を安定的に供給することも可能になる。

【0024】

混床式のイオン交換樹脂の使用量（廃棄量）をできるだけ少なくするという観点から、第１のイオン交換装置１１におけるイオン交換樹脂の充填量に比べて、第２のイオン交換装置１２におけるイオン交換樹脂の充填量を少なくすることが好ましい。すなわち、第１のイオン交換装置１１と第２のイオン交換装置１２とで処理水量が同じであることから、イオン交換装置ユニット１０は、被処理水の空間速度が第１のイオン交換装置１１よりも第２のイオン交換装置１１で大きくなるように構成されていることが好ましい。ただし、イオン交換装置ユニット１０全体でイオン交換樹脂の総量をそのままに、第２のイオン交換装置１２におけるイオン交換樹脂の充填量を少なくしすぎると、すなわち、第２のイオン交換装置１２における空間速度を大きくしすぎると、十分なイオン交換性能が得られなくなり、従来のカートリッジポリッシャー単体の場合と同じ処理水量および処理水質を維持することができなくなる。そのため、第２のイオン交換装置１２におけるイオン交換樹脂の充填量は少なすぎないことが好ましく、すなわち、第２のイオン交換装置１２における空間速度は、第１のイオン交換装置１１における空間速度に対して大きすぎないことが好ましく、例えば、２０倍未満であることが好ましい。

【0025】

一方で、第１のイオン交換装置１１におけるイオン交換樹脂の充填量については、アニオン交換樹脂の充填量がカチオン交換樹脂の充填量と同量以上であることが好ましい。これは、第１のイオン交換装置１１の上流側の紫外線酸化装置５において被処理水中のＴＯＣが炭酸に分解されることから、第１のイオン交換装置１１のイオン負荷の大部分が炭酸であると考えられるためである。

【0026】

なお、図１（ｂ）では、第１のイオン交換装置１１の樹脂塔１１ａが第２のイオン交換装置１２の樹脂塔１２ａよりも大きく描かれているが、これは本発明を制限するものではない。例えば、第２のイオン交換装置１２の樹脂塔１２ａの容積が第１のイオン交換装置１１の樹脂塔１１ａの容積よりも大きくてもよく、両者が同じであってもよい。すなわち、第１のイオン交換装置１１と第２のイオン交換装置１２におけるイオン交換樹脂の充填量は、どちらが大きくてもよく、同じであってもよい。また、各イオン交換装置１１，１２におけるイオン交換樹脂の充填量そのものも特に限定されず、被処理水の水質や処理水（超純水）に要求される水質に応じて適宜調整することができる。

【0027】

図示した構成では、第１および第２のイオン交換装置１１，１２はいずれも、被処理水が樹脂塔１１ａ，１２ａの内部を上向きに流れるようになっているが、被処理水の流れ方向はこれに限定されず、下向きであってもよい。また、第１のイオン交換装置１１の樹脂塔１１ａ内でのカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂の位置は逆であってもよく、すなわち、スクリーン１１ｂの上部にアニオン交換樹脂が充填され、下部にカチオン交換樹脂が充填されていてもよい。したがって、第１のイオン交換装置１１における被処理水の通水順は、図示したアニオン交換樹脂（下層Ａ）およびカチオン交換樹脂（上層Ｃ）の順に限定されるものではない。さらに、第１のイオン交換装置１１は、図示した複床式のものに限定されず、例えば、カチオン交換樹脂のみが充填されたカチオン交換樹脂塔と、アニオン交換樹脂のみが充填されたカチオン交換樹脂塔とが直列に接続された２床２塔式のものであってもよい。すなわち、第１のイオン交換装置１１のカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂は、それぞれ別の樹脂塔に充填されていてもよい。なお、このような場合も、被処理水の通水順は特に限定されず、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂のどちらが先でもよい。

【0028】

上述したように、超純水製造装置１の構成は図示した構成に限定されず、したがって、イオン交換装置ユニット１０の設置位置も、図示した位置に限定されるものではない。例えば、膜脱気装置６が省略され、それにより、サブシステムの最も下流側のＵＦ膜装置７のすぐ上流側にイオン交換装置ユニット１０が設置されてもよい。また、膜脱気装置６とＵＦ膜装置７が省略され、それにより、サブシステムの最も下流側にイオン交換装置ユニット１０が設置されてもよい。また、第１のイオン交換装置１１の処理水（第２のイオン交換装置１２の被処理水）中のイオン成分濃度を変化させないものであれば、第１のイオン交換装置１１と第２のイオン交換装置１２との間に別の装置が設けられていてもよい。

【0029】

（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係るイオン交換装置ユニットの概略構成図である。本実施形態は、第１の実施形態の変形例であり、イオン交換装置ユニットの構成、具体的には、第１のイオン交換装置の構成を変更した変形例である。以下では、本実施形態の第１のイオン交換装置のうち第１の実施形態と異なる構成のみ説明する。

【0030】

本実施形態の第１のイオン交換装置１１は、樹脂塔１１ａ内にカチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂と分離した状態で充填された白金族金属担持樹脂をさらに含んでいる。具体的には、第１のイオン交換装置１１の樹脂塔１１ａ内のスクリーン１１ｂとアニオン交換樹脂からなる下層Ａとの間に、白金族金属担持樹脂からなる中間層Ｐが形成されている。白金族金属担持樹脂は、白金族金属が担体としてのアニオン交換樹脂に担持されたものであり、過酸化水素を水と酸素とに分解する触媒作用を有している（２Ｈ_２Ｏ_２→２Ｈ_２Ｏ＋Ｏ_２）。そのため、第１のイオン交換装置１１は、被処理水を白金族金属担持樹脂に接触させることで、被処理水に含まれる金属イオンなどのイオン成分だけでなく、過酸化水素も除去することができる。白金族金属担持樹脂に用いられる白金族金属としては、触媒活性に優れ、比較的安価であることから、パラジウムを用いることが好ましい。

【0031】

本実施形態の第１のイオン交換装置１１では、被処理水がアニオン交換樹脂（下層Ａ）と白金族金属担持樹脂（中間層Ｐ）とカチオン交換樹脂（上層Ｃ）とをこの順に流れるようになっているが、被処理水の通水順はこれに限定されるものではない。ただし、白金族金属による過酸化水素の除去効率は、アニオン負荷が少ないほど向上することが知られている。そのため、樹脂塔１１ａ内でのカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂の位置は特に限定されないが、白金族金属担持樹脂の位置は、被処理水の流れ方向においてアニオン交換樹脂の下流側であることが好ましい。また、この場合、上述したように白金族金属担持樹脂の担体がアニオン交換樹脂であることから、白金族金属担持樹脂とアニオン交換樹脂は互いに隣接していることが好ましい。これにより、再生時に白金族金属担持樹脂とアニオン交換樹脂を一括して取り扱うことができ、再生工程を簡略化することができる。一方で、このような観点から、白金族金属担持樹脂とアニオン交換樹脂は、予め混合された状態で樹脂塔１１ａに充填されていてもよい。

【0032】

なお、本実施形態においても、第１のイオン交換装置１１のカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂は、それぞれ別の樹脂塔に充填されていてもよく、アニオン交換樹脂と白金族金属担持樹脂も、それぞれ別の樹脂塔に充填されていてもよい。ただし、省スペース化と再生時の取り扱い性の観点から、少なくともアニオン交換樹脂と白金族金属担持樹脂は、１つの同じ樹脂塔に充填されていることが好ましい。

【符号の説明】

【0033】

１ 超純水製造装置
２ 一次純水タンク
３ ポンプ
４ 熱交換器
５ 紫外線酸化装置
１０ イオン交換装置ユニット
１１ 第１のイオン交換装置
１１ａ 樹脂塔
Ａ 下層
Ｃ 上層
Ｐ 中間層
１２ 第２のイオン交換装置
１２ａ 樹脂塔
Ｍ 混合層
６ 膜脱気装置
７ 限外ろ過膜装置
８ ユースポイント

【図1】

【図2】