特開 2024-36168 カラーフィルタ及び固体撮像素子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024036168

(43)【公開日】2024-03-15

(54)【発明の名称】カラーフィルタ及び固体撮像素子

(51)【国際特許分類】

   G02B 5/20 20060101AFI20240308BHJP

   H01L 27/146 20060101ALI20240308BHJP

   H01L 27/144 20060101ALI20240308BHJP

【ＦＩ】

G02B5/20 101

H01L27/146 D

H01L27/144 K

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022140929

(22)【出願日】2022-09-05

(71)【出願人】

【識別番号】000003193

【氏名又は名称】ＴＯＰＰＡＮホールディングス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003708

【氏名又は名称】弁理士法人鈴榮特許綜合事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100108855

【弁理士】

【氏名又は名称】蔵田 昌俊

(74)【代理人】

【識別番号】100179062

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 正

(74)【代理人】

【識別番号】100199565

【弁理士】

【氏名又は名称】飯野 茂

(74)【代理人】

【識別番号】100209048

【弁理士】

【氏名又は名称】森川 元嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100212705

【弁理士】

【氏名又は名称】矢頭 尚之

(74)【代理人】

【識別番号】100219542

【弁理士】

【氏名又は名称】大宅 郁治

(72)【発明者】

【氏名】北嵜 仁

【テーマコード（参考）】

2H148

4M118

【Ｆターム（参考）】

2H148BE13

2H148BE15

2H148BE18

2H148BF02

2H148BG11

2H148BH07

2H148BH12

4M118AA10

4M118AB01

4M118BA10

4M118BA14

4M118CA02

4M118CA22

4M118FA06

4M118GC08

4M118GC09

4M118GC11

4M118GC20

4M118GD04

4M118GD07

(57)【要約】

【課題】放射線環境下で使用可能なカラーフィルタおよび放射線環境下で使用可能な固体撮像素子を提供する。
【解決手段】放射線環境下で使用するためのカラーフィルタであって、透過スペクトルが異なる複数種のフィルタ部を含み、前記複数種のフィルタ部の少なくとも１種は、１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合に４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内で示す透過率の最大値Ｔ１が、前記放射線の照射前において４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内で示す透過率の最大値Ｔ０の８０％以上であるカラーフィルタ。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

放射線環境下で使用するためのカラーフィルタであって、透過スペクトルが異なる複数種のフィルタ部を含み、前記複数種のフィルタ部の少なくとも１種は、１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合に４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内で示す透過率の最大値Ｔ１が、前記放射線の照射前において４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内で示す透過率の最大値Ｔ０の８０％以上であるカラーフィルタ。

【請求項2】

前記最大値Ｔ１が前記最大値Ｔ０の９０％以上である請求項１に記載のカラーフィルタ。

【請求項3】

Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６を含む請求項１に記載のカラーフィルタ。

【請求項4】

Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６と黄色顔料とを含む請求項１に記載のカラーフィルタ。

【請求項5】

Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５を含む請求項１に記載のカラーフィルタ。

【請求項6】

Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５と緑色顔料とを含む請求項１に記載のカラーフィルタ。

【請求項7】

Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５とを含む請求項１に記載のカラーフィルタ。

【請求項8】

放射線環境下で使用するための固体撮像素子であって、
請求項１乃至７の何れか１項に記載のカラーフィルタと、
受光面に前記カラーフィルタが配置された光電変換素子と
を備えた固体撮像素子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、カラーフィルタ及び固体撮像素子に関する。

【背景技術】

【0002】

固体撮像素子（又はイメージセンサ）には、フォトダイオードが形成された基板上に、下地膜、カラーフィルタ、及びマイクロレンズアレイをこの順に設けた構造を有しているものがある。カラーフィルタは、顔料等の着色材を含む感光性着色組成物を使用して形成する（特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６－７７０９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明は、放射線環境下で使用可能なカラーフィルタ及び放射線環境下で使用可能な固体撮像素子を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一側面によると、放射線環境下で使用するためのカラーフィルタであって、透過スペクトルが異なる複数種のフィルタ部を含み、前記複数種のフィルタ部の少なくとも１種は、１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合に４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内で示す透過率の最大値Ｔ１が、前記放射線の照射前において４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内で示す透過率の最大値Ｔ０の８０％以上であるカラーフィルタが提供される。

【0006】

本発明の他の側面によると、前記最大値Ｔ１が前記最大値Ｔ０の９０％以上である上記側面に係るカラーフィルタが提供される。

【0007】

本発明の更に他の側面によると、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６を含む上記側面の何れかに係るカラーフィルタが提供される。

【0008】

本発明の更に他の側面によると、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６と黄色顔料とを含む上記側面の何れかに係るカラーフィルタが提供される。

【0009】

本発明の更に他の側面によると、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５を含む上記側面の何れかに係るカラーフィルタが提供される。

【0010】

本発明の更に他の側面によると、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５と緑色顔料とを含む上記側面の何れかに係るカラーフィルタが提供される。

【0011】

本発明の更に他の側面によると、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５とを含む上記側面の何れかに係るカラーフィルタが提供される。

【0012】

本発明の更に他の側面によると、放射線環境下で使用するための固体撮像素子であって、上記側面の何れかに係るカラーフィルタと、受光面に前記カラーフィルタが配置された光電変換素子とを備えた固体撮像素子が提供される。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、放射線環境下で使用可能なカラーフィルタ及び放射線環境下で使用可能な固体撮像素子が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る固体撮像素子の一部を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示す固体撮像素子のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。

【図3】図３は、例１のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【図4】図４は、例２のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【図5】図５は、例３のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【図6】図６は、例４のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【図7】図７は、例５のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【図8】図８は、例６のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【図9】図９は、例７のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【図10】図１０は、例８のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【図11】図１１は、例９のサンプルの透過スペクトルを示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下に、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。以下に説明する実施形態は、上記側面の何れかをより具体化したものである。以下に記載する事項は、単独で又は複数を組み合わせて、上記側面の各々に組み入れることができる。

【0016】

また、以下に示す実施形態は、本発明の技術的思想を具体化するための構成を例示するものであって、本発明の技術的思想は、下記の構成部材の材質、形状、及び構造等によって限定されるものではない。本発明の技術的思想には、請求の範囲に記載された請求項が規定する技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。

【0017】

なお、同様又は類似した機能を有する要素については、以下で参照する図面において同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。また、図面は模式的なものであり、或る方向の寸法と別の方向の寸法との関係、及び、或る部材の寸法と他の部材の寸法との関係等は、現実のものとは異なり得る。

【0018】

図１は、本発明の一実施形態に係る固体撮像素子の一部を示す斜視図である。図２は、図１に示す固体撮像素子のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。

【0019】

図１及び図２に示す固体撮像素子１Ａは、例えば、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサ又はＣＣＤ（Charge-Coupled Device）イメージセンサである。固体撮像素子１Ａは、基板２と、下地膜３と、色分解フィルタ４と、マイクロレンズアレイ５とを含んでいる。

【0020】

なお、各図において、Ｘ方向は、基板２のマイクロレンズアレイ５と向き合った主面に平行な方向である。Ｙ方向は、先の主面に平行であり且つＸ方向と交差する方向である。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に対して垂直な方向、即ち、基板２の厚さ方向である。ここでは、一例として、Ｘ方向及びＹ方向は、互いに対して垂直であるとする。

【0021】

基板２は、シリコン基板等の半導体基板である。基板２の表面領域には、図２に示すように、光電変換素子である複数のフォトダイオード２１が設けられている。フォトダイオード２１は、Ｘ方向とＹ方向とに配列している。

【0022】

下地膜３は、基板２のフォトダイオード２１側の主面上に設けられている。下地膜３は、色分解フィルタ４へ平坦な下地を提供している。下地膜３は、無色透明であり、フォトダイオード２１に入射させるべき光に対して高い透過率を示す。下地膜３は、例えば、アクリル樹脂などのポリマーからなる。下地膜３は、省略することができる。

【0023】

色分解フィルタ４は、下地膜３上に設けられている。色分解フィルタ４は、透過スペクトルが異なる複数種のフィルタ部を含んでいる。ここでは、色分解フィルタ４は、第１フィルタ部４１、第２フィルタ部４２、第３フィルタ部４３及び第４フィルタ部４４を含んでいる。色分解フィルタ４が含むフィルタ部の種類は、２以上であれば、４種でなくてもよい。

【0024】

第１フィルタ部４１及び第２フィルタ部４２は、Ｘ方向へ各々が伸び、Ｙ方向へ配列した複数の第１列を形成している。第１列の各々において、第１フィルタ部４１及び第２フィルタ部４２は、Ｘ方向へ交互に配列している。第３フィルタ部４３及び第４フィルタ部４４は、Ｘ方向へ各々が伸び、Ｙ方向へ配列した複数の第２列を形成している。第２列の各々において、第３フィルタ部４３及び第４フィルタ部４４は、Ｘ方向へ交互に配列している。そして、第１列及び第２列は、Ｙ方向へ交互に配列している。

【0025】

第１フィルタ部４１、第２フィルタ部４２、第３フィルタ部４３及び第４フィルタ部４４は、透過スペクトルが異なっている。第１フィルタ部４１、第２フィルタ部４２、第３フィルタ部４３及び第４フィルタ部４４の各々は、例えば、赤色層、青色層、緑色層、イエロー色層、マゼンタ色層、シアン色層、無色透明層、近赤外透過層、又は近赤外吸収層である。一例によれば、第１フィルタ部４１、第２フィルタ部４２及び第３フィルタ部４３は、赤色層、青色層及び緑色層であり、第４フィルタ部は、無色透明層、近赤外透過層、又は近赤外吸収層である。他の例によれば、第１フィルタ部４１、第２フィルタ部４２及び第３フィルタ部４３は、イエロー色層、マゼンタ色層及びシアン色層であり、第４フィルタ部は、無色透明層、近赤外透過層、又は近赤外吸収層である。

【0026】

各層は、感光性樹脂を含む塗膜の形成、およびフォトリソグラフィ法を用いた塗膜のパターニングによって形成される。例えば、赤色用感光性樹脂を含む塗膜は、赤色用感光性樹脂を含む塗布液の塗布、および塗膜の乾燥によって形成される。赤色層は、赤色用感光性樹脂を含む塗膜のうち赤色層に相当する領域に対する露光、および現像を経て形成される。

【0027】

マイクロレンズアレイ５は、色分解フィルタ４上に設けられている。マイクロレンズアレイ５は、透明材料からなる。この透明材料は、有機物であってもよく、無機物であってもよい。

【0028】

マイクロレンズアレイ５は、複数のマイクロレンズ５１を含んでいる。これらマイクロレンズ５１は、下地膜３及び色分解フィルタ４を間に挟んでフォトダイオード２１とそれぞれ向き合っている。

【0029】

マイクロレンズ５１の各々は、上面が凸面である凸レンズである。ここでは、各マイクロレンズ５１は、Ｚ方向に対して垂直な平面への正射影が円形である。この正射影は、角が丸まった四角形などの他の形状を有していてもよい。

【0030】

色分解フィルタ４とマイクロレンズアレイ５との間には、平坦化膜を設けてもよい。平坦化膜は、無色透明であり、フォトダイオード２１に入射させるべき光に対して高い透過率を示す。平坦化膜は、マイクロレンズアレイ５へ平坦な下地を提供する。平坦化膜は、例えば、アクリル樹脂などのポリマーからなる。

【0031】

この固体撮像素子１Ａは、Ｘ方向とＹ方向とに配列した複数の画素を含んでいる。ここでは、各画素は、第１乃至第４サブ画素を含んでいる。第１サブ画素は、第１フィルタ部４１と、これと向き合ったフォトダイオード２１及びマイクロレンズ５１を含んでいる。第２サブ画素は、第２フィルタ部４２と、これと向き合ったフォトダイオード２１及びマイクロレンズ５１を含んでいる。第３サブ画素は、第３フィルタ部４３と、これと向き合ったフォトダイオード２１及びマイクロレンズ５１を含んでいる。第４サブ画素は、第４フィルタ部４４と、これと向き合ったフォトダイオード２１及びマイクロレンズ５１を含んでいる。

【0032】

上述のとおり、色分解フィルタ４は、透過スペクトルが異なる複数種のフィルタ部を含む。色分解フィルタ４において、複数種のフィルタ部の少なくとも１種は、１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合に４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内で示す透過率の最大値Ｔ１が、放射線の照射前において４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内で示す透過率の最大値Ｔ０の８０％以上である。好ましくは、最大値Ｔ１は、最大値Ｔ０の９０％以上である。

【0033】

このように、色分解フィルタ４のフィルタ部の少なくとも１種は、１２００ｋＧｙという高い放射線量の照射後であっても、「４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内の透過率の最大値Ｔ１」が、放射線の照射前における「４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内の透過率の最大値Ｔ０」の少なくとも８０％維持されている。したがって、色分解フィルタ４は、放射線環境下、とりわけ、高い放射線量に晒される環境下、例えば原子力発電所での使用に適している。

【0034】

色分解フィルタ４は、以下で例示する顔料を含むことが好ましい。なお、本明細書では、「Ｃ．Ｉ．」はカラーインデックスを表す。

【0035】

好ましい態様において、色分解フィルタ４は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６を含む。

【0036】

別の好ましい態様において、色分解フィルタ４は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６と黄色顔料とを含む。ここで、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６と黄色顔料とは、同一のフィルタ部に含まれていてもよいし、異なるフィルタ部に含まれていてもよい。黄色顔料は、任意の種類の黄色顔料であってもよいが、例えば、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９、１５０、若しくは１８５、又はこれらの任意の組み合わせである。

【0037】

別の好ましい態様において、色分解フィルタ４は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５を含む。

【0038】

別の好ましい態様において、色分解フィルタ４は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５と緑色顔料とを含む。ここで、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５と緑色顔料とは、同一のフィルタ部に含まれていてもよいし、異なるフィルタ部に含まれていてもよい。緑色顔料は、任意の種類の緑色顔料であってもよいが、例えば、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６、５８、又はこれらの組み合わせである。

【0039】

別の好ましい態様において、色分解フィルタ４は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５とを含む。

【0040】

色分解フィルタ４は、従来の色分解フィルタに含まれる緑色顔料又は黄色顔料を、上記で例示した同色の顔料に置き換えたこと以外は、従来の色分解フィルタと同様の構成とすることができる。

【0041】

上記の色分解フィルタ４及びそれを含む固体撮像素子１Ａは、本発明者が、新規な課題を見出し、その課題を解決することにより得られたものであることを以下に説明する。

【0042】

撮像素子は、放射線環境下で使用することがある。例えば、撮像素子は、原子力発電所における原子炉の点検又は廃炉作業や宇宙環境において使用することがある。

【0043】

撮像素子として固体撮像素子を含んだ市販のカメラは、放射線環境下で使用することは想定されていない。そのようなカメラを、強い放射線環境下で、例えば、燃料デブリを識別するために使用した場合、放射線の影響により、その半導体部品が数日で壊れてしまう。これに対し、撮像素子として撮像管を含んだカメラは、高い耐放射線性を有している。しかしながら、そのようなカメラは、大きく且つ重いため扱いづらい。従って、放射線環境下での使用に耐え得る固体撮像素子が望まれる。

【0044】

放射線環境下で使用する固体撮像素子がカラー画像を取得可能なものである場合、色を利用して燃料デブリ等を識別することが可能となる。そのような固体撮像素子が含むカラーフィルタも、放射線環境下での使用に耐え得るものである必要がある。

【0045】

本発明者は、カラーフィルタには、放射線環境下で使用した場合に光学特性が大きく劣化するものがあることを見出した。そして、本発明者は、光学特性の劣化に関して詳しく分析したところ、このような劣化を生じるものは、放射線照射によって、緑色以外の帯域における透過率は大きくは変化せず、緑色の帯域における透過率が大幅に低下することを見出した。即ち、放射線照射によって、緑色の帯域における透過率が大幅に低下しないカラーフィルタであれば、放射線環境下での使用に耐え得ることを見出した。

【0046】

上述のとおり、上記の色分解フィルタ４は、放射線を照射した場合に、緑色の帯域における透過率が大幅に低下しない。加えて、色分解フィルタ４は、従来の色分解フィルタと同様、放射線を照射した場合に、緑色以外の帯域における透過率は大きくは変化しない。また、色分解フィルタ４は、放射線を照射した場合に、透過スペクトルのピーク波長がほとんど変化しない。このため、色分解フィルタ４及びそれを含む固体撮像素子１Ａは、放射線環境下での使用に耐えることができ、放射線環境下での長期的な使用が可能である。また、固体撮像素子１Ａは、原子力発電所における廃炉作業で使用した場合、色情報に基づいて燃料デブリ等を識別することが可能である。

【実施例0047】

以下に、本発明に関連して行った試験を記載する。

【0048】

＜放射線照射サンプルの調製＞
ガラス基板に、下記顔料を含有する層を形成した。これにより、例１乃至９のサンプルを調製した。
［例１］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８、及び
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０
［例２］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０、及び
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９
［例３］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８、及び
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５
［例４］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０、及び
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９
［例５］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７、及び
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９
［例６］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６、及び
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５
［例７］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０
［例８］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９、及び
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５
［例９］Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５

【0049】

＜放射線の照射＞
例１乃至９のサンプルの各々に、２４０ｋＧｙ又は１２００ｋＧｙの累積線量で放射線を照射した。コントロールとして、放射線を照射しない各サンプルを準備した。

【0050】

＜透過率の測定＞
放射線を照射しなかったサンプル、２４０ｋＧｙの放射線を照射したサンプル、及び１２００ｋＧｙの放射線を照射したサンプルについて、波長３８０乃至７８０ｎｍの光の透過率を測定した。

【0051】

＜結果＞
透過率の測定結果を図３乃至１１に示す。図３乃至１１は、それぞれ、例１乃至９の結果を示す。図３乃至１１において、「０ｋＧｙ」は、放射線を照射しなかったサンプル、「２４０ｋＧｙ」は、２４０ｋＧｙの放射線を照射したサンプル、及び「１２００ｋＧｙ」は、１２００ｋＧｙの放射線を照射したサンプルの結果を示す。

【0052】

また、例１乃至９のサンプルについて、１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」を以下の式により求めた。
透過率の維持率［％］＝（Ｔ１／Ｔ０）×１００
Ｔ１：１２００ｋＧｙの放射線の照射後における４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内の透過率の最大値
Ｔ０：放射線の照射前における４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内の透過率の最大値

【0053】

同様に、例１乃至９のサンプルについて、２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」を以下の式により求めた。
透過率の維持率［％］＝（Ｔ２／Ｔ０）×１００
Ｔ２：２４０ｋＧｙの放射線の照射後における４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内の透過率の最大値
Ｔ０：放射線の照射前における４８０乃至６００ｎｍの波長範囲内の透過率の最大値

【0054】

［例１］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：２９％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：９１％
［例２］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：７８％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１００％
［例３］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：９２％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１００％
［例４］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１０５％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１００％
［例５］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１００％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１００％
［例６］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１０４％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１０３％
［例７］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：８３％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１０１％
［例８］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１０２％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１００％
［例９］
１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１０２％
２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」：１０１％

【0055】

２４０ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」は、例１乃至９の全てのサンプルにおいて９０％以上であった。１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」は、例１及び２のサンプルで８０％未満であったが、例３乃至９のサンプルで８０％以上であった。とりわけ、例３乃至６、８及び９のサンプルでは、１２００ｋＧｙの放射線を照射した場合の「透過率の維持率」が９０％以上と高かった。

【符号の説明】

【0056】

１Ａ…固体撮像素子、２…基板、３…下地膜、４…色分解フィルタ、５…マイクロレンズアレイ、２１…フォトダイオード、４１…第１フィルタ部、４２…第２フィルタ部、４３…第３フィルタ部、４４…第４フィルタ部、５１… マイクロレンズ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】