特開 2024-36725 ブレーキング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024036725

(43)【公開日】2024-03-18

(54)【発明の名称】ブレーキング装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20240311BHJP

   B28D 5/00 20060101ALI20240311BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 T

B28D5/00 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022141140

(22)【出願日】2022-09-06

(71)【出願人】

【識別番号】522327359

【氏名又は名称】株式会社ＡＣ－Ｘ Ｔｅｃｈ

(74)【代理人】

【識別番号】100105980

【弁理士】

【氏名又は名称】梁瀬 右司

(74)【代理人】

【識別番号】100121027

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 公一

(74)【代理人】

【識別番号】100178995

【弁理士】

【氏名又は名称】丸山 陽介

(72)【発明者】

【氏名】國柄 智章

(72)【発明者】

【氏名】高 楊

(72)【発明者】

【氏名】竹原 尚吾

【テーマコード（参考）】

3C069

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C069AA03

3C069BA03

3C069BA04

3C069BB01

3C069BC02

3C069CA05

3C069CB01

3C069EA05

5F063AA05

5F063CB07

5F063CB28

5F063DD27

5F063DD81

5F063DD83

5F063DF12

(57)【要約】

【課題】簡単な構成の装置により、チッピングの発生を防止しつつ、基板を全てのブレーキング予定線で無駄なくブレーキングできるようにする。
【解決手段】ブレード５の下面及び左側の当接体２７ｂの上面が基板２０の上面、下面にそれぞれ当接した状態で、加圧シリンダ３２により基板２０のブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａ上に曲げ応力が付与されて基板２０がブレーキングされ、左側の当接体２７ｂと基板２０との間に介在した弾性を有する緩衝シートＳＡにより、ブレーキングした後に基板２０のエッジに生じる過剰な応力が吸収される。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

格子状に複数のブレーキング予定線が形成されて複数のチップ領域が形成された基板を保持枠の内側に配置し、前記保持枠及び前記基板の少なくとも上面を粘着シートにより覆った状態で、ブレーキング対象の前記ブレーキング予定線に沿って前記基板をブレーキングするブレーキング装置において、
前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上、下に位置して前記基板の上面及び下面に接離自在に当接する上、下当接部を有する割断手段と、
前記割断手段の前記上、下当接部が当接した状態で前記基板の前記ブレーキング対象のブレーキング予定線上に曲げ応力を付与して前記基板をブレーキングする応力付与手段と
を備え、
前記下当接部と前記基板との間に、
前記応力付与手段による曲げ応力によりブレーキングした後に前記基板に生じる過剰な応力を吸収するための弾性を有する緩衝層を配置してブレーキングすることを特徴とするブレーキング装置。

【請求項2】

前記緩衝層は、前記下当接部の上面に弾性材が貼着されて形成されていることを特徴とする請求項１に記載のブレーキング装置。

【請求項3】

前記緩衝層は、前記基板の下面に弾性材が貼着されて形成されていることを特徴とする請求項１に記載のブレーキング装置。

【請求項4】

前記基板を前記保持枠ごと移動させる移動手段を更に備え、
前記割断手段の前記上、下当接部が前記基板の前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上、下に当接する位置に、前記移動手段により前記基板が前記保持枠ごと移動されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のブレーキング装置。

【請求項5】

前記下当接部の上面寸法は、前記基板の外形寸法とほぼ同じまたは前記基板の外形寸法よりも大きく、かつ、前記保持枠の内側寸法よりも小さく、
前記下当接部と一緒に、前記基板を前記保持枠ごと移動させる移動手段を更に備え、
前記割断手段の前記上当接部が前記基板の前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上に当接する位置に、前記移動手段により前記下当接部と一緒に前記基板が移動されることを特徴とする請求１ないし３のいずれかに記載のブレーキング装置。

【請求項6】

前記下当接部の上面は、複数に分割されて成ることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか、または、請求項１に従属する請求項４または請求項５に記載のブレーキング装置。

【請求項7】

前記緩衝層は、一方の面が粘着性を有することを特徴とする請求項２または３に記載のブレーキング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板の縦横に形成された複数のブレーキング予定線のうち、ブレーキング対象のブレーキング予定線に沿って基板をブレーキングするブレーキング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板（ウエハ）を複数の半導体チップにブレーキングするブレーキング装置として、特許文献１に記載のものがある。この種、従来のブレーキング装置では、ブレード周辺を拡大した切断正面図である図７に示すように、ほぼ円形の基板５０の下面にはブレーキング予定線５０ａとなる罫書筋がダイヤモンドブレード等により格子状に形成され、これにより基板５０に複数のチップ領域が形成され、基板５０の下面には保護シート５１が貼着される一方、基板５０の上面側には粘着シート５２が貼着され、粘着シート５２は基板５０よりも大きな内寸を有するほぼ円環状の保持枠（図示省略）に張設され、粘着シート５２、保護シート５１及び保持枠によって基板５０が保持されている。

【0003】

そして、図７に示すように、保護シート５１を下向きにして受け部５４上に基板５０が載置され、粘着シート５２の上方から図７中の矢印に示すように、ブレード５５が基板５０のブレーキング対象のブレーキング予定線５０ａ上に押し当てられ、さらにブレード５５が下方に押し込まれることによって基板５０に曲げ応力が付与され、これにより基板５０がブレーキング対象のブレーキング予定線５０ａに沿って切断され、このような切断作業が全てのブレーキング予定線５０ａに沿って繰り返し行われて基板５０が複数の半導体チップにブレーキングされる。このとき、受け部５４はブレード５５の下方に空間を有し、ブレーキング対象のブレーキング予定線５０ａを挟んで当該ブレーキング予定線５０ａの両側を支持し、受け部５４による下２点、及び、ブレード５５による上１点の３つの支持点で基板５０を支持しつつブレーキングするようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－２２２１９８号公報（段落０００２～０００５、図７参照）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、従来のブレーキング装置では、図８に示すように、曲げ応力により基板５０が所定のブレーキング予定線５０ａで切断されても、ブレード５５の過剰な押し込みが停止されないことがあり、このような過剰なブレード５５の押し込みが生じた場合には、基板５０の切断されたブレーキング予定線５０ａの上端エッジに負荷がかかり、当該エッジに欠け（チッピング）が生じるという問題がある。また、ブレード５５の過剰な押込みが生じないようにブレード５５の押し込み量を精度よく制御すればよいが、係る高精度の制御を行うにはコストがかかる。

【0006】

また、３つの支持点で基板５０を支持しつつブレーキングする場合に、基板５０の周縁に近いブレーキング予定線５０ａをブレーキングするために基板５０を保持枠ごと移動させると、図９に示すように、基板５０の周縁の下方から受け部５４の一方がはみ出して、一方の下１点の支持点が基板５０の下面から外れて支持できなくなるため、、基板５０の周縁に近いブレーキング予定線５０ａをブレーキングできなくなって無駄が生じるという問題もある。

【0007】

本発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成の装置により、チッピングの発生を防止しつつ、基板を全てのブレーキング予定線で無駄なくブレーキングできるようにすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記した課題を解決するために、本発明に係るブレーキング装置は、格子状に複数のブレーキング予定線が形成されて複数のチップ領域が形成された基板を保持枠の内側に配置し、前記保持枠及び前記基板の少なくとも上面を粘着シートにより覆った状態で、ブレーキング対象の前記ブレーキング予定線に沿って前記基板をブレーキングするブレーキング装置において、前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上、下に位置して前記基板の上面及び下面に接離自在に当接する上、下当接部を有する割断手段と、前記割断手段の前記上、下当接部が当接した状態で前記基板の前記ブレーキング対象のブレーキング予定線上に曲げ応力を付与して前記基板をブレーキングする応力付与手段とを備え、前記下当接部と前記基板との間に、前記応力付与手段による曲げ応力によりブレーキングした後に前記基板に生じる過剰な応力を吸収するための弾性を有する緩衝層を配置してブレーキングすることを特徴としている。

【0009】

このような構成によれば、割断手段の上、下当接部が基板の上面、下面にそれぞれ当接した状態で、応力付与手段により基板のブレーキング対象のブレーキング予定線上に曲げ応力が付与されて基板がブレーキングされ、割断手段の下当接部と基板との間に配置された弾性を有する緩衝層により、ブレーキングした後に基板に生じる過剰な応力が吸収されるため、従来のように、過剰な応力によってブレーキングされた基板のエッジに欠け（チッピング）が生じるのを未然に防止することができる。また、基板の周縁に近いブレーキング予定線であっても、割断手段の下当接部により基板を下から支えつつブレーキングできるため、基板の全てのブレーキング予定線で無駄なくブレーキングすることができる。なお、基板の形状は円形に限るものではなく、四角以上の多角形であってもよい。

【0010】

また、前記緩衝層は、前記下当接部の上面に弾性材が貼着されて形成されているとよく、前記基板の下面に弾性材が貼着されて形成されていてもよい。こうすることで、割断手段の下当接部と基板との間に、簡単に緩衝層を配置することができる。

【0011】

また、前記基板を前記保持枠ごと移動させる移動手段を更に備え、前記割断手段の前記上、下当接部が前記基板の前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上、下に当接する位置に、前記移動手段により前記基板が前記保持枠ごと移動されるようにしてもよい。

【0012】

この場合、基板を保持枠ごと移動させる移動手段を備えるため、割断手段の上、下当接部が基板のブレーキング対象のブレーキング予定線の上、下に当接する位置に、移動手段により基板を保持枠ごと移動することができ、下当接部と基板との間に弾性を有する緩衝層を配置した状態でブレーキングすることができ、基板の周縁に近いブレーキング予定線であっても、その上、下に割断手段の上、下当接部を当接させ、かつ、下当接部と基板との間に弾性を有する緩衝層を配置した状態でブレーキングすることが可能になる。

【0013】

また、前記下当接部の上面寸法は、前記基板の外形寸法とほぼ同じまたは前記基板の外形寸法よりも大きく、かつ、前記保持枠の内側寸法よりも小さく、前記下当接部と一緒に、前記基板を前記保持枠ごと移動させる移動手段を更に備え、前記割断手段の前記上当接部が前記基板の前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上に当接する位置に、前記移動手段により前記下当接部と一緒に前記基板が移動されるようにするとよい。

【0014】

こうすると、割断手段の下当接部と一緒に、基板を保持枠ごと移動させる移動手段を備えるため、割断手段の下当接部の上面寸法を、基板の外形寸法とほぼ同じまたは基板の外形寸法よりも大きく、かつ、保持枠の内側寸法よりも小さく設定しておくことにより、移動手段により下当接部と一緒に基板が移動して、割断手段の上当接部が基板のブレーキング対象のブレーキング予定線の上に当接する位置に移動しても、常に下当接部と基板との間に緩衝層を配置した状態で下当接部によって基板を下から支えることができ、基板の周縁に近いブレーキング予定線も無駄なくブレーキングすることが可能になる。

【0015】

また、前記下当接部の上面は、複数に分割されていてもよい。このように、割断手段の下当接部はその上面が複数に分割された形態であっても、割断手段の下当接部と基板との間に緩衝層を配置することは可能であるため、ブレーキングの状況に応じ、最適な形態の下当接部を選択して使用することができる。

【0016】

また、前記緩衝層は、一方の面が粘着性を有するのが望ましい。この場合、緩衝層の粘着性を有する一方面を割断手段の下当接部の上面、または、基板の下面のどちらにでも貼り付けることができ、割断手段の下当接部と基板との間に緩衝層を容易に配置することができ、緩衝層を貼り替えによって容易に交換することができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、割断手段の下当接部と基板との間に配置された弾性を有する緩衝層により、ブレーキングした後に基板に生じる過剰な応力が吸収されるため、簡単な構成の装置により、チッピングの発生を防止することができ、しかも基板の周縁に近いブレーキング予定線であっても、割断手段の下当接部により基板を下から支えつつブレーキングできることから、基板の全てのブレーキング予定線で無駄なくブレーキングすることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明のブレーキング装置の一実施形態の正面図である。

【図2】図１の使用状態における正面図である。

【図3】図１の一部の平面図である。

【図4】図１の他の一部のある状態を拡大した正面図である。

【図5】基板の概略平面図である。

【図6】図４の他の状態を拡大した正面図である。

【図7】従来例の一部の正面図である。

【図8】図７のある状態の正面図である。

【図9】図７の他の状態の正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

本発明に係るブレーキング装置の一実施形態について、図１ないし図６を参照して説明する。

【0020】

（装置構成）
図１は本実施形態のブレーキング装置１を示し、基板が載置される載置台２と、載置台２を左右方向に長尺の一対のガイドレール３に沿って走行させる駆動機構４と、ガイドレール３の長さ方向に直交する前後方向に長尺のブレード５を上下動自在に支持した支持部６とを備える。ここで、ブレード５が、本発明における割断手段の「上当接部」に相当し、後述する基板のブレーキング対象のブレーキング予定線の上方に位置して基板の上面に接離自在に当接する。

【0021】

載置台２は、図１～図３に示すように、両ガイドレール３に沿って走行する左右一対の走行体２ａと、両走行体２ａ上にわたり架設された平面視がほぼ矩形を有するベース板２ｂと、ベース板２ｂ上に回転自在に載置された円形板状の回転板２ｃと、回転板２ｃ上に固定され後述する保持枠を支持する支持テーブル２ｄとを備える。

【0022】

ここで、回転板２ｃは、図３に示すように、その下面側周縁に設けられた摺接リング２ｃ１と、ベース板２ｂ上に回転板２ｃの周囲に平面視で正三角形の３つの頂点位置に配置されて回転板２ｃの周縁の摺接リング２ｃ１の外周に回転自在に係合した３個の回転体２ｃ２と、いずれかの回転体２ｃ２を回転駆動する図示省略のモータとを備える回転機構により回転され、モータが回転することにより回転体２ｃ２が回転して、摩擦力により当該回転体２ｃ２の回転が摺接リング２ｃ１に伝達されて、摺接リング２ｃ１が回転して回転板２ｃが回転する。なお、この回転機構は、以下に詳述する駆動機構４とともに本発明における「移動手段」を構成する。

【0023】

駆動機構４は、左右の両端が軸受１０により回転自在に支持された左右に長尺のボールねじ１１と、ベース板２ｂの下面中央部に固着されボールねじ１１の外周の雄ねじが螺合した雌ねじを有する図示省略の固定部と、ボールねじ１１の右端にカップリング１２を介してその回転軸が連結されたモータ１３とを備える。そして、両走行体２ａは、例えば側面視コ字状を有し、基部がベース板２ｂの下面に固着され、基部の前後両端から下方に垂下した脚部が左右のガイドレール３それぞれに沿って移動可能に係合するように配置され、モータ１４の回転によってボールねじ１１が回転することにより、両走行体２ａの脚部に内蔵のローラがガイドレール３を転動して、両ガイドレール３に沿って走行体２ａ及びベース板２ｂが一体となって走行する。なお、モータ１３の双方向への回転に応じて両走行体２ａがベース板２ｂとともに左、右方向に走行し、後述する基板を所定のブレードの下方位置に移動させる。

【0024】

載置台２に載置される基板は、図３、図４に示すように保持枠に保持されている。すなわち、下面側に格子状に複数のブレーキング予定線２０ａが形成されて複数のチップ領域が形成されたほぼ円形の半導体基板（ウエハ）２０が、ほぼ円環状の保持枠２１の内側に配置され、保持枠２１及び基板２０の上面を粘着シート２２により覆われるとともに、基板２０の下面側に保護シート２３が貼り付けられた状態で保持枠２１に保持されている。そして、図３に示すように、回転板２ｃ上に固定された支持テーブル２ｄ上に保持枠２１の周縁部が載置されて固定支持されている。

【0025】

ここで、粘着シート２２には、例えばポリ塩化ビニルやポリオレフィン等の透過性及び伸縮性を有する合成樹脂フィルム材を用いるとよく、その粘着面にアクリル系の粘着剤を塗布するとよい。こうすると、表面（上面）側からブレーキング予定線２０ａを視認し易くなる。また、保護シート２３にはポリエチレン等の透明な樹脂フィルム材を用いるとよく、平面視でほぼ正方形に形成するのが望ましい。

【0026】

また、基板２０のブレーキング予定線２０ａは、粘着シート２２及び保護シート２３を貼着する前の段階において、例えばレーザ光を基板２０の下面側から内部に向けてレーザ光を照射することにより、ブレーキング予定線２０ａとなる改質層が格子状に形成されてブレーキング予定線２０ａが形成される。そのほかに、例えばダイヤモンドスクライブまたはダイシングブレードなどの手法によりケガキ溝を加工することによりブレーキング予定線２０ａを形成することができるが、ブレーキング予定線２０ａの形成手法は、これらに限定されるものではない。

【0027】

ところで、基板２０の下方には、図１に示すように、走行体２ａと一緒にガイドレール３に沿って移動し基板２０を下方から支える支持体２７が配置されている。この支持体２７は、走行体２ａ及びベース板２ｂに連結かつ分離自在に形成され、ブレード５の前後方向の長さと同程度の長さを有する板状基材２７ａ，２７ａを備え、駆動機構４と同様の構成を有する移動機構２８により、少なくとも左側の基材２７ａが右側の基材２７ａに対して接近・離間自在に移動可能に構成されている。

【0028】

ここで、移動機構２８は、左右の両端が軸受２８ａにより回転自在に支持された左右に長尺のボールねじ２８ｂと、左側の基材２７ａが載置状態で固定されボールねじ２８ｂの外周の雄ねじが螺合した雌ねじを有する一方の固定部２８ｃと、右側の基材２７ａが載置状態で固定され左右方向の貫通孔をボールねじ２８ｂが貫通した他方の固定部２８ｄと、ボールねじ２８ｂの左端にカップリング２８ｅを介してその回転軸が連結されたモータ２８ｆとを備え、モータ２８ｆが駆動してボールねじ２８ｂが回転することにより、左側の基材２７ａが固定された固定部２８ｃが、右側の基材２７ａが固定された固定部２８ｄに対して接近・離間するように左右方向に移動する。

【0029】

さらに、図１、図２に示すように、支持体２７の両基材２７ａ，２７ａの上面にはそれぞれ前後方向に長尺の当接体２７ｂ，２７ｂが着脱自在に取り付けられており、移動機構２８により、支持体２７の左側の基材２７ａが右側の基材２７ａに接近することにより両当接体２７ｂ，２７ｂが合体するようになっている。そして、基板２０を下２点、上１点の３つの支持点で支持しつつブレーキングするときには、両当接体２７ｂ，２７ｂが離間されて使用され、基板２０を下１点、上１点の２つの支持点で支持しつつブレーキングするときには、両当接体２７ｂ，２７ｂのうち右側の当接体２７ｂが図２に示すように取り外され、左側の当接体２７ｂのみが本発明における割断手段の「下当接部」として使用される。なお、右側の当接体２７ｂを「下当接部」として使用することも可能であり、両当接体２７ｂを合体させて、基板２０を下１点、上１点の２つの支持点で支持しつつブレーキングする際の「下当接部」とし使用することが可能である。

【0030】

ところで、ブレード５を支持する支持部６は、図１、図２に示すように、固定された架台３０及び架台３０に設けられた上下動機構３１により構成されており、上下動機構３１は、図１、図２に示すように、ボールねじの回転により一緒に上下動する上下２つのガイド体３１ａ，３１ｂと、下方のガイド体３１ｂに取り付けられブレード５に下向きの加圧力を加える加圧シリンダ３２とを備え、下方のガイド体３１ｂは、上方のガイド体３１ａとは別に上下動可能に構成されている。ここで、加圧シリンダ３２ｃが、本発明における「応力付与手段」に相当し、基板２０のブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａの上方から所定の押圧力を加えて基板２０に曲げ応力を付与する。

【0031】

本発明の最大の特徴として、図４に示すように、支持体２７の左側の当接体２７ｂの上面に、弾性を有する緩衝シートＳＡが貼り付けられて緩衝層が形成されている。この緩衝シートＳＡは、例えば厚さ１００μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）のベース材の下面に厚さ１８０μｍの例えばアクリル系粘着剤から成る粘着層が形成されて成り、粘着層が左側の当接体２７ｂの上面に貼り付けられている。なお、緩衝シートＳＡは、シリコンゴムをはじめ、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ＥＰＤＭ、フッ素ゴム、ウレタンゴム、アクリルゴムなどのゴムシートに粘着層を形成したものや、ＰＰ（ポロプロピレン）、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＥ（ポロエチレン）、ポリオレフィン、アクリル、ポリイミドなどの樹脂製のベース板に粘着層を形成したものであるのが望ましい。

【0032】

（ブレーキング動作）
続いて、基板２０のブレーキング動作について説明する。

【0033】

図１に示す支持体２７の両当接体２７ｂ，２７ｂのうち、右側の当接体２７ｂが図２に示すように取り外されて左側の当接体２７ｂが下当接部として使用され、左側の当接体２７ｂが図４に示すようにブレード５の下方に位置するまで、駆動機構４により、支持体２７が走行体２ａ及びベース板２ｂに連結された状態で基板２０及び保持枠２１と一緒に移動され、所定位置までの移動が完了すると、支持体２７が走行体２ａ及びベース板２ｂから分離されて支持体２７が走行体２ａの移動から切り離される。このとき、左側の当接体２７ｂの上面には、図４に示すように緩衝シートＳＡが貼り付けられている。

【0034】

そして、図４に示すように、ブレード５と左側の当接体２７ｂとの間に保持枠２１に保持された基板２０が配置された状態となり、その状態でブレーキング対象であるブレーキング予定線２０ａが、ブレード５の長さ方向と平行で、かつ、ブレード５の先端と左側の当接体２７ｂとの間に位置するように、走行体２ａ及びベース板２ｂの移動、及び、上記した回転機構による回転板２ｃの回転により基板２０の位置が微調整され、左側の当接体２７ｂによる下１点とブレード５による上１点の２つの支持点において、基板２０がブレーキング対象であるブレーキング予定線２０ａで支持される。

【0035】

続いて、加圧シリンダ３２によりブレード５に所定の加圧力が加えられ、基板２０のブレーキング対象であるブレーキング予定線２０ａの位置に曲げ応力が付与されて、基板２０の当該ブレーキング予定線２０ａが破断され、基板２０が当該ブレーキング予定線２０ａでブレーキングされる。

【0036】

このようにして、１つのブレーキング予定線２０ａのブレーキングが終了すると、走行体２ａ及びベース板２ｂが移動されて次のブレーキング予定線２０ａがブレード５の下方位置に移動されて、上記したブレーキング動作が繰り返される。また、格子状のブレーキング予定線２０ａの例えば横方向のブレーキング予定線２０ａの切断が終了して縦方向のブレーキング予定線２０ａのブレーキングを行う場合、上記した回転機構により回転板２ｃが９０°回転されて、縦方向のブレーキング予定線２０ａがブレード５の長さ方向に平行で、かつ、ブレード５の先端と左側の当接体２７ｂとの間に配置されてブレーキングが行われる。

【0037】

このとき、左側の当接体２７ｂと基板２０との間に弾性を有する緩衝シートＳＡが配置されてブレーキングされるため、ブレーキングした基板２０に生じる過剰な応力が緩衝シートＳＡにより吸収され、その結果、加圧シリンダ３２の加圧力による過剰な応力によって、ブレーキングされた後の基板２０のエッジに欠け（チッピング）が生じることを未然に防止できる。

【0038】

また、格子状のブレーキング予定線２０ａのうち基板２０の周縁に近いブレーキング予定線Ｌ（図５中の矢印）をブレーキングする場合には、図６に示すように、基板２０の周縁に近いブレーキング予定線Ｌがブレード５の長さ方向に平行で、かつ、ブレード５の先端と左側の当接体２７ｂとの間に配置されてブレーキングが行われるが、その際、左側の当接体２７ｂが基板２０の外方にずれてはみ出すことがなく、基板２０の当該ブレーキング予定線Ｌの下方に左側の当接体２７ｂが位置して基板２０を下から支えつつ、左側の当接体２７ｂと基板２０との間に弾性を有する緩衝シートＳＡが配置された状態でブレーキングされる。

【0039】

そのため、基板２０の周縁に近いブレーキング予定線Ｌをブレーキングする場合であっても、加圧シリンダ３２の加圧力による過剰な応力によって、ブレーキングされた後の基板２０のエッジに欠け（チッピング）が生じることを未然に防止できる。

【0040】

したがって、上記した実施形態によれば、ブレード５の下面及び左側の当接体２７ｂの上面が基板２０の上面、下面にそれぞれ当接した状態で、加圧シリンダ３２により基板２０のブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａ上に曲げ応力が付与されて基板２０がブレーキングされ、左側の当接体２７ｂと基板２０との間に介在した弾性を有する緩衝シートＳＡにより、ブレーキングした後に基板２０のエッジに生じる過剰な応力が吸収されるため、従来のように、過剰な応力によってブレーキングされた基板のエッジに欠け（チッピング）が生じるのを未然に防止することができる。

【0041】

また、基板２０の周縁に近いブレーキング予定線Ｌ（図５参照）であっても、左側の当接体２７ｂにより基板２０を下から支えつつブレーキングできるため、基板２０の全てのブレーキング予定線２０ａで無駄なくブレーキングすることができる。

【0042】

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記した実施形態では、左側の当接体２７ｂを本発明における割断手段の「下当接部」として使用する場合について説明したが、右側の当接体２７ｂを「下当接部」として使用してもよい。さらに、合体状態の両当接体２７ｂ，２７ｂを「下当接部」として使用してもよく、この場合、合体した両当接体２７ｂ，２７ｂの上面全体に緩衝シートＳＡを貼り付けるのが好ましい。

【0043】

また、上記した実施形態では、割断手段の「下当接部」として使用する左側の当接体２７ｂの上面に緩衝シートＳＡを貼り付けた例について説明したが、基板２０の下面側の保護シート２３に代えて、弾性を有する緩衝シートＳＡを基板２０の下面に直接貼り付けるようにしても、上記した実施形態と同等の効果を得ることができる。

【0044】

また、上記した実施形態では、加圧シリンダ３２による押圧力により基板２０のブレーキング予定線２０ａに曲げ応力を付与してブレーキングする、つまり加圧シリンダ３２による押圧力のみでブレーキングする場合について説明したが、加圧シリンダ３２による押圧力を、それのみではブレーキングできない程度の弱い加圧力に抑えておき、弱い加圧力が加えられた状態のブレード５に、圧縮空気の膨張によるハンマーの衝撃や、振り子による衝撃その他の衝撃力を一気に加えてブレーキングするようにしてもよく、こうすると緩衝シートＳＡがなくても加圧シリンダ３２による押圧力のみでブレーキングする場合よりもチッピングの発生を抑制することができ、緩衝シートＳＡを組み合わせることで、より確実にチッピングの発生を防止することが可能になる。

【0045】

また、上記した両当接体２７ｂ，２７ｂを合体して成る平面視ほぼ円形の１つの当接体を形成して割断手段の下当接部として使用し、このとき両当接体２７ｂ，２７ｂを合体して成る１つ当接体の上面寸法（直径）を、基板２０の外形寸法（直径）とほぼ同じまたは基板２０の外形寸法（直径）よりも大きく、かつ、保持枠２１の内側寸法よりも小さく設定し、平面視ほぼ円形の１つの当接体から成る下当接部と一緒に、基板２０を保持枠２１ごと移動させる移動手段を更に備え、当該移動手段により、ブレード５が基板２０のブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａの上に当接する位置に、１つの当接体から成る下当接部と一緒に基板２０が移動されるようにしてもよい。

【0046】

また、上記した実施形態では、基板２０のブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａ上に曲げ応力を付与する応力付与手段を加圧シリンダ３２とした場合について説明したが、応力付与手段はこのような加圧シリンダ３２に限定されるものではない。

【0047】

また、基板２０を保持枠２１ごと移動させる移動手段である駆動機構４は、記した構成に限定されるものではない。

【0048】

また、ブレード５、当接体２７ｂから成る割断手段は、上記した構成に限定されるものではなく、基板２０の上面及び下面に接離自在に当接する上、下当接部を有するものであって応力付与手段により基板２０に対して曲げ応力を付与し得る構成であればよい。

【0049】

そして、本発明は、基板に縦横に形成された複数のブレーキング予定線のうち、ブレーキング対象のブレーキング予定線に沿って基板をブレーキングするブレーキング装置に適用することができる。

【符号の説明】

【0050】

１ …ブレーキング装置
２ｃ１ …摺接リング（回転機構）
２ｃ２ …回転体（回転機構）
４ …駆動機構（移動手段）
５ …ブレード（割断手段、上当接部）
２０ …基板
２０ａ，Ｌ …ブレーキング予定線
２１ …保持枠
２７ｂ …当接体（割断手段、下当接部）
３２ …加圧シリンダ（応力付与手段）
ＳＡ …緩衝シート（緩衝層）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】