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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024036919
(43)【公開日】2024-03-18
(54)【発明の名称】Ｘ線管装置
(51)【国際特許分類】
H01J 35/16 20060101AFI20240311BHJP
【ＦＩ】
H01J35/16
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022141475
(22)【出願日】2022-09-06
(71)【出願人】
【識別番号】503382542
【氏名又は名称】キヤノン電子管デバイス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001737
【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】加藤 豪
(57)【要約】
【課題】 電気絶縁性の低下を防止できる信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】 電子を放出するフィラメントを備える陰極と、フィラメントから放出された電子が照射されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットを備える陽極と、Ｘ線を取り出すＸ線取出し窓を有し、前記陰極及び前記陽極を収容して真空に維持するセラミックス製の真空外囲器と、を備えるインサートＸ線管と、インサートＸ線管を収納するハウジングと、インサートＸ線管と前記ハウジングとの間に充填される電気絶縁性のモールド材と、インサートＸ線管の前記陽極に接続する高電圧供給ケーブルと、を備えるＸ線管装置であって、
ハウジング内に、モールド材の主成分の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数の部材であり、モールド材の応力を緩和する応力緩和部材を設けている。
【選択図】図１
【解決手段】 電子を放出するフィラメントを備える陰極と、フィラメントから放出された電子が照射されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットを備える陽極と、Ｘ線を取り出すＸ線取出し窓を有し、前記陰極及び前記陽極を収容して真空に維持するセラミックス製の真空外囲器と、を備えるインサートＸ線管と、インサートＸ線管を収納するハウジングと、インサートＸ線管と前記ハウジングとの間に充填される電気絶縁性のモールド材と、インサートＸ線管の前記陽極に接続する高電圧供給ケーブルと、を備えるＸ線管装置であって、
ハウジング内に、モールド材の主成分の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数の部材であり、モールド材の応力を緩和する応力緩和部材を設けている。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
電子を放出するフィラメントを備える陰極と、前記フィラメントから放出された電子が照射されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットを備える陽極と、前記Ｘ線を取り出すＸ線取出し窓を有し、前記陰極及び前記陽極を収容して真空に維持するセラミックス製の真空外囲器と、を備えるインサートＸ線管と、
前記インサートＸ線管を収納するハウジングと、
前記インサートＸ線管と前記ハウジングとの間に充填される電気絶縁性のモールド材と、
前記インサートＸ線管の前記陽極に接続する高電圧供給ケーブルと、
を備えるＸ線管装置であって、
前記ハウジング内に、前記モールド材の主成分の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数の部材であり、前記モールド材の応力を緩和する応力緩和部材を設けたＸ線管装置。
前記インサートＸ線管を収納するハウジングと、
前記インサートＸ線管と前記ハウジングとの間に充填される電気絶縁性のモールド材と、
前記インサートＸ線管の前記陽極に接続する高電圧供給ケーブルと、
を備えるＸ線管装置であって、
前記ハウジング内に、前記モールド材の主成分の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数の部材であり、前記モールド材の応力を緩和する応力緩和部材を設けたＸ線管装置。
【請求項2】
前記応力緩和部材は、前記高電圧供給ケーブルの周囲に設けてある請求項１に記載のＸ線管装置。
【請求項3】
前記応力緩和部材は、前記ケーブルの周囲を囲む環状部材であり、前記環状部材には、
溶融状態のモールド材をハウジング内に注入するときに、前記溶融状態のモールド材が通過可能なモールド材通過孔が形成されている請求項２に記載のＸ線管装置。
溶融状態のモールド材をハウジング内に注入するときに、前記溶融状態のモールド材が通過可能なモールド材通過孔が形成されている請求項２に記載のＸ線管装置。
【請求項4】
前記応力緩和部材は、インサートＸ線管の周囲に設けてある請求項１に記載のＸ線管装置。
【請求項5】
前記応力緩和部材は、前記インサートＸ線管の側面を囲む環状部材であり、前記環状部材には、溶融状態のモールド材をハウジング内に注入するときに、前記溶融状態のモールド材が通過可能なモールド材通過孔が形成されている請求項４に記載のＸ線管装置。
【請求項6】
前記モールド材の主成分はシリコーン樹脂であり、前記応力緩和部材は、フェノール樹脂、ポリエーテルエーテルケトン及びポリテトラフルオロエチレンの群から選択される少なくとも１つの樹脂材を含む請求項１に記載のＸ線管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、Ｘ線管装置に関する。
【背景技術】
【0002】
Ｘ線管装置として、Ｘ線管に高電圧を供給する高電圧供給ケーブルと、Ｘ線管とを分割できるように接続して、メンテナンスし易くしているものがある。
かかるＸ線管装置は、電子を放出するフィラメントを備える陰極と、フィラメントから放出された電子が照射されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットを備える陽極と、Ｘ線取出し窓を有すると共に陰極及び陽極を収容して真空に維持するセラミック真空外囲器とを備えるインサートＸ線管と、インサートＸ線管を収納するハウジングとで構成し、インサートＸ線管の陽極に高電圧供給ケーブルを接続している。
インサートＸ線管とハウジングとの間には、電気絶縁性のモールド材を充填している。
かかるＸ線管装置は、電子を放出するフィラメントを備える陰極と、フィラメントから放出された電子が照射されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットを備える陽極と、Ｘ線取出し窓を有すると共に陰極及び陽極を収容して真空に維持するセラミック真空外囲器とを備えるインサートＸ線管と、インサートＸ線管を収納するハウジングとで構成し、インサートＸ線管の陽極に高電圧供給ケーブルを接続している。
インサートＸ線管とハウジングとの間には、電気絶縁性のモールド材を充填している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１３-１７５３５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、高電圧供給ケーブルは、芯線の周囲を絶縁性の高いシリコーン樹脂、フッ素樹脂等の被覆材で覆われている。
一方、インサートＸ線管とハウジングとの間に充填されるモールド材は、例えば主成分がシリコーン樹脂であるが、シリコーン樹脂は他の樹脂との密着性が低い為、モールド材と高電圧供給ケーブルの被覆材との密着性が低く、使用中の熱収縮や高電圧供給ケーブル取り扱い時に発生する外力により、密着が損なわれ空乏が発生してしまうことがあった。
一方、インサートＸ線管とハウジングとの間に充填されるモールド材は、例えば主成分がシリコーン樹脂であるが、シリコーン樹脂は他の樹脂との密着性が低い為、モールド材と高電圧供給ケーブルの被覆材との密着性が低く、使用中の熱収縮や高電圧供給ケーブル取り扱い時に発生する外力により、密着が損なわれ空乏が発生してしまうことがあった。
【0005】
更に、Ｘ線管装置の製造時において、モールド材の加熱硬化後に室温もしくは動作温度に戻った際に発生する収縮応力により、モールド材内部に微小空洞などが存在すると応力集中により、モールド材の材料強度以上の応力によりモールド材内部破壊により亀裂が発生することがある。
そして、亀裂部分の空乏に高電圧を印加すると、絶縁抵抗が低下するため放電が発生し、インサートＸ線管の電気絶縁が低下してしまう問題があった。
そして、亀裂部分の空乏に高電圧を印加すると、絶縁抵抗が低下するため放電が発生し、インサートＸ線管の電気絶縁が低下してしまう問題があった。
【0006】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、電気絶縁性の低下を防止できる信頼性の高いＸ線管装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するため、一実施形態は、電子を放出するフィラメントを備える陰極と、前記フィラメントから放出された電子が照射されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットを備える陽極と、前記Ｘ線を取り出すＸ線取出し窓を有し、前記陰極及び前記陽極を収容して真空に維持するセラミックス製の真空外囲器と、を備えるインサートＸ線管と、
前記インサートＸ線管を収納するハウジングと、
前記インサートＸ線管と前記ハウジングとの間に充填される電気絶縁性のモールド材と、
前記インサートＸ線管の前記陽極に接続する高電圧供給ケーブルと、
を備えるＸ線管装置であって、
前記ハウジング内に、前記モールド材の主成分の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数の部材であり、前記モールド材の応力を緩和する応力緩和部材を設けたＸ線管装置である。
前記インサートＸ線管を収納するハウジングと、
前記インサートＸ線管と前記ハウジングとの間に充填される電気絶縁性のモールド材と、
前記インサートＸ線管の前記陽極に接続する高電圧供給ケーブルと、
を備えるＸ線管装置であって、
前記ハウジング内に、前記モールド材の主成分の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数の部材であり、前記モールド材の応力を緩和する応力緩和部材を設けたＸ線管装置である。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
以下、図面を参照しながら、一実施形態に係るＸ線管として固定陽極型Ｘ線管について詳細に説明する。なお、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【0010】
図１に示すように、Ｘ線管装置１は、インサートＸ線管３と、ハウジング５と、高電圧供給ケーブル７とを備えており、ハウジング５内には、モールド材９と、応力緩和部材１１とが設けられている。
インサートＸ線管３は、陰極１３と、陽極１５と、陰極１３及び陽極１５を収納した真空外囲器１９とを備えている。
インサートＸ線管３は、陰極１３と、陽極１５と、陰極１３及び陽極１５を収納した真空外囲器１９とを備えている。
【0011】
陰極１３には、電子を放出するフィラメント２１が設けられており、陽極１５には先端部１５ａに陽極ターゲット２３が設けられている。
フィラメント２１は、陽極ターゲット２３の外周側に配置されており、陽極ターゲット２３とフィラメント２１との間には、収束電極２５が設けてある。
フィラメント２１は、陽極ターゲット２３の外周側に配置されており、陽極ターゲット２３とフィラメント２１との間には、収束電極２５が設けてある。
【0012】
真空外囲器１９は、陰極側真空外囲器１９ａと陽極側真空外囲器１９ｂとから構成されている。
陰極側真空外囲器１９ａは、内部を真空保持しており、先端外径が徐々に細くした筒状であり、先端面の平坦部にＸ線を透過するＸ線取出し窓１７が設けられている。
Ｘ線取出し窓１７は、陰極側真空外囲器１９ａの先端側に形成されており、Ｘ線の減衰が少ない材料、例えばベリリウム（Ｂｅ）で形成されている。
陰極側真空外囲器１９ａは、内部を真空保持しており、先端外径が徐々に細くした筒状であり、先端面の平坦部にＸ線を透過するＸ線取出し窓１７が設けられている。
Ｘ線取出し窓１７は、陰極側真空外囲器１９ａの先端側に形成されており、Ｘ線の減衰が少ない材料、例えばベリリウム（Ｂｅ）で形成されている。
【0013】
陰極側真空外囲器１９ａ内の中心部には、陽極１５の先端部１５ａが配置されている。陽極１５の先端部１５ａは収束電極２５の内周側に配置されるとともに先端で陽極ターゲット２３を支持している。陽極１５の後端部１５ｂは、セラミックス製の陽極側真空外囲器１９ｂの後端から後側に突設してあり、陽極側真空外囲器１９ｂと陽極１５との間が封止状態で結合されている。
【0014】
陽極側真空外囲器１９ｂの先端側は、外周に向けて突設した鍔部３１が形成されており、この鍔部３１がハウジング５の先端部５ａに重ねてハウジング５に取り付けられている。これにより、陽極側真空外囲器１９ｂは、鍔部３１を除く全体がハウジング５内に配置される。
また、鍔部３１の先端面２７には金属膜２９が形成してあり、金属膜２９にフィラメント２１を支持する陰極側真空外囲器１９ａがろう付けされている。
また、鍔部３１の先端面２７には金属膜２９が形成してあり、金属膜２９にフィラメント２１を支持する陰極側真空外囲器１９ａがろう付けされている。
【0015】
陽極１５には、その後端部１５ｂに陽極ターゲット２３に高電圧を印加するための高電圧供給ケーブル７が接続されている。
高電圧供給ケーブル７は、ハウジング５の外部からケーブル挿入口３３を介してハウジング５内に導入されている。
高電圧供給ケーブル７は、ハウジング５の外部からケーブル挿入口３３を介してハウジング５内に導入されている。
【0016】
高電圧供給ケーブル７は、芯線７ａと、被覆材７ｂとから構成されており、芯線７ａは接続線８を介して陽極１５の後端部１５ｂに接続されている。
被覆材７ｂとしては、シリコーン樹脂、フッ素樹脂やニトリルゴムが用いられる。
ケーブル挿入口３３には、ケーブル支持部品３５が設けられており、高電圧供給ケーブル７はケーブル支持部品３５に挿通されていると共に、ケーブル支持部品３５でケーブル挿入口３３が蓋をされている。
被覆材７ｂとしては、シリコーン樹脂、フッ素樹脂やニトリルゴムが用いられる。
ケーブル挿入口３３には、ケーブル支持部品３５が設けられており、高電圧供給ケーブル７はケーブル支持部品３５に挿通されていると共に、ケーブル支持部品３５でケーブル挿入口３３が蓋をされている。
【0017】
ハウジング５内には、モールド材９と応力緩和部材１１とが設けられている。
モールド材９はハウジング５内に充填されており、応力緩和部材１１はハウジング５の軸線Ｘ方向に沿って間隔をあけて設けている。
応力緩和部材１１は、モールド材９の変形を防止するものであり、モールド材９が加熱後に常温に戻った際に変形しにくい状態になることを目的としており、変形量が少なくなることで、微小亀裂部分等によるモールド材９の亀裂の進行を抑制することができる。
モールド材９はハウジング５内に充填されており、応力緩和部材１１はハウジング５の軸線Ｘ方向に沿って間隔をあけて設けている。
応力緩和部材１１は、モールド材９の変形を防止するものであり、モールド材９が加熱後に常温に戻った際に変形しにくい状態になることを目的としており、変形量が少なくなることで、微小亀裂部分等によるモールド材９の亀裂の進行を抑制することができる。
【0018】
モールド材９は、電気絶縁性を有する熱硬化樹脂であり、例えば主成分がシリコーン樹脂（熱膨張係数が２～４ｘ１０-4/Ｋ）である。モールド材９の充填方法については、後述する。
応力緩和部材１１は、本実施形態では、設置位置及び大きさの異なるものが３種類用いられている。即ち、ケーブル挿入口３３において、高電圧供給ケーブル７の周囲に設けた第１応力緩和部材１１ａと、ケーブル挿入口３３とインサートＸ線管３との間で、高電圧供給ケーブル７の周囲に設けた第２応力緩和部材１１ｂと、インサートＸ線管３の周囲に設けた第３応力緩和部材１１ｃとである。
応力緩和部材１１は、本実施形態では、設置位置及び大きさの異なるものが３種類用いられている。即ち、ケーブル挿入口３３において、高電圧供給ケーブル７の周囲に設けた第１応力緩和部材１１ａと、ケーブル挿入口３３とインサートＸ線管３との間で、高電圧供給ケーブル７の周囲に設けた第２応力緩和部材１１ｂと、インサートＸ線管３の周囲に設けた第３応力緩和部材１１ｃとである。
【0019】
応力緩和部材１１の材質は、絶縁材があることが必要であるが、モールド材９の加熱硬化時に発生する熱膨張・熱収縮による応力によって異なるが、加熱温度とモールド材の熱膨張係数により決まる。
【0020】
係る応力緩和部材１１の一例としては、フェノール樹脂（熱膨張係数３x１０-5/Ｋ）、ポリエーテルエーテルケトン（PEEK：熱膨張係数５x１０-5/Ｋ）、ポリテトラフルオロエチレン（熱膨張係数１２x１０-5/Ｋ）等が挙げられる。
【0021】
図２に示すように、第１応力緩和部材１１ａは環状を成しており、中央孔４１と、環状部分（環状部材）４３の周方向に間隔を空けて設けたモールド材通過孔４５とが形成されている。第１応力緩和部材１１ａでは、中央孔４１に高電圧供給ケーブル７が挿通されている。モールド材通過孔４５は後述するが、溶融モールド材９の通過孔となっている。
図１に参照されるように、第１応力緩和部材１１ａの外周縁はネジ等の固定部材でケーブル挿入口３３に固定されている。
図１に参照されるように、第１応力緩和部材１１ａの外周縁はネジ等の固定部材でケーブル挿入口３３に固定されている。
【0022】
第２応力緩和部材１１ｂ及び第３応力緩和部材１１ｃは、第１応力緩和部材１１ａと寸法は異なるが、同様な形状を成しており、それぞれ中央孔４１と、環状部分４３に設けたモールド材通過孔４５とが形成されている。尚、図１では、第３応力緩和部材１１ｃのモールド材通過孔４５を省略している。
第２応力緩和部材１１ｂは、ハウジング５内に設けてあり、中央孔４１には、高電圧供給ケーブル７の先端部及び接続線８が挿通されている。
第３応力緩和部材１１ｃは、中央孔４１にインサートＸ線管３が挿通されている。
第２応力緩和部材１１ｂは、ハウジング５内に設けてあり、中央孔４１には、高電圧供給ケーブル７の先端部及び接続線８が挿通されている。
第３応力緩和部材１１ｃは、中央孔４１にインサートＸ線管３が挿通されている。
【0023】
第２及び第３応力緩和部材１１ｂ、１１ｃにおいて、モールド材通過孔４５は、第１応力緩和部材１１ａと同様に溶融したモールド材９の通過孔となっている。また、第２及び第３応力緩和部材１１ｂ、１１ｃ外周縁は、ネジ等の固定部材でハウジング５の内周面に固定されている。
【0024】
次に、Ｘ線管装置１の製造方法について説明する。
ハウジング５内に各応力緩和部材１１ａ～１１ｃを配置して、固定する。
次に、ハウジング５にインサートＸ線管３を挿入して固定する。
ハウジング５内に各応力緩和部材１１ａ～１１ｃを配置して、固定する。
次に、ハウジング５にインサートＸ線管３を挿入して固定する。
【0025】
その後、図３に示すように、インサートＸ線管３を下に向け、ケーブル挿入口３３を上に向けて配置し、ケーブル挿入口３３から溶融したモールド材９を注入する。注入された溶融モールド材９は重力により落下し、各応力緩和部材１１ａ～１１ｃのモールド材通過孔４５や中央孔４１の隙間を介して、ハウジング５内に充填される。
次に、溶融モールド材９を加熱硬化し、その後ケーブル支持部品３５でケーブル挿入口３３に蓋をして、図１に示すＸ線管装置１を得る。
次に、溶融モールド材９を加熱硬化し、その後ケーブル支持部品３５でケーブル挿入口３３に蓋をして、図１に示すＸ線管装置１を得る。
【0026】
本実施形態に係るＸ線管装置１の作用効果について説明する。
Ｘ線管装置１の製造時において、モールド材９の加熱硬化後に室温もしくは動作温度に戻った際に発生する収縮応力により、モールド材９の内部に微小空洞などが発生し、更に応力集中により、亀裂が発生しようとする。
しかし、図１に示すように、ハウジング５内にモールド材９に対する応力緩和部材１１を設けて、ハウジング５内を区切っているので、収縮応力を低減でき、亀裂の発生を防止できると共に亀裂が生じた場合でも亀裂を小さくできる。
Ｘ線管装置１の製造時において、モールド材９の加熱硬化後に室温もしくは動作温度に戻った際に発生する収縮応力により、モールド材９の内部に微小空洞などが発生し、更に応力集中により、亀裂が発生しようとする。
しかし、図１に示すように、ハウジング５内にモールド材９に対する応力緩和部材１１を設けて、ハウジング５内を区切っているので、収縮応力を低減でき、亀裂の発生を防止できると共に亀裂が生じた場合でも亀裂を小さくできる。
【0027】
特に、第１及び第２応力緩和部材１１ａ、１１ｂを設けて、高電圧供給ケーブル７の被覆材７ｂと密着性の低いモールド材９について、ハウジング５内における高電圧供給ケーブル７がある付近に第１応力緩和部材１１ａ及び第２応力緩和部材１１ｂを設けているので、高電圧供給ケーブル７付近で生じ易い亀裂の発生を防止できると共に亀裂が生じた場合でも亀裂を小さくできる。
応力緩和部材１１は、ハウジング５の長手軸線Ｘ方向に沿って複数設けているので、高電圧供給ケーブル７から長手軸線方向に生じ易い長い亀裂の発生を防止できる。
応力緩和部材１１は、ハウジング５の長手軸線Ｘ方向に沿って複数設けているので、高電圧供給ケーブル７から長手軸線方向に生じ易い長い亀裂の発生を防止できる。
【0028】
即ち、本実施形態に係るＸ線管装置１によれば、図４に示すように、モールド材９の応力（ａ）は、応力緩和部材１１のない従来品Ｅ１と、本実施形態品Ｅ２とでほとんど変わらないが、ひずみ（ε）を従来品Ｅ１よりも低減できる。
【0029】
各応力緩和部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、環状部分４３に周方向に間隔をあけて形成したモールド材通過孔４５を設けているので、ハウジング５内に溶融モールド材９を充填する製造時に、溶融モールド材９をハウジング５内の全体に行き渡らせることができる。
【0030】
以下に他の実施の形態について説明するが、以下に説明する実施の形態において、上述した第１実施の形態と同一の作用効果を奏する部分には、同一の符号を付して、その部分の詳細な説明を省略する。
図５を参照して、第２実施の形態について説明する。
この第２実施形態では、高電圧供給ケーブル７の付近にのみ応力緩和部材１１を設けている。即ち、第１実施形態における第１応力緩和部材１１ａ及び第２応力緩和部材１１ｂのみをハウジング５内に設けており、第３応力緩和部材１１を設けていないことが第１実施形態と異なっている。
その他の構成は、第１実施形態と同様である。
図５を参照して、第２実施の形態について説明する。
この第２実施形態では、高電圧供給ケーブル７の付近にのみ応力緩和部材１１を設けている。即ち、第１実施形態における第１応力緩和部材１１ａ及び第２応力緩和部材１１ｂのみをハウジング５内に設けており、第３応力緩和部材１１を設けていないことが第１実施形態と異なっている。
その他の構成は、第１実施形態と同様である。
【0031】
この第２実施形態によれば、高電圧供給ケーブル７の被覆材７ｂと密着性の低いモールド材９について、高電圧供給ケーブル７付近で生じ易い亀裂の発生を防止できると共に亀裂が生じた場合でも亀裂を小さくできる。
応力緩和部材１１は、ハウジング５の長手軸線Ｘ方向に沿って複数設けているので、高電圧供給ケーブル７から長手軸線方向に生じ易い長い亀裂の発生を防止できる。
応力緩和部材１１は、ハウジング５の長手軸線Ｘ方向に沿って複数設けているので、高電圧供給ケーブル７から長手軸線方向に生じ易い長い亀裂の発生を防止できる。
【0032】
上述した一実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0033】
１…Ｘ線管装置、３…インサートＸ線管、５…ハウジング、７…高電圧供給ケーブル、９…モールド材、１１…応力緩和部材、１１ａ…第１応力緩和部材、１１ｂ…第２応力緩和部材、１１ｃ…第３応力緩和部材、１３…陰極、１５…陽極、１７…Ｘ線取出し窓、１９…真空外囲器、２１…フィラメント、２３…陽極ターゲット。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】