特開 2024-371 紫外線照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024000371

(43)【公開日】2024-01-05

(54)【発明の名称】紫外線照射装置

(51)【国際特許分類】

   B01J 19/12 20060101AFI20231225BHJP

【ＦＩ】

B01J19/12 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022099120

(22)【出願日】2022-06-20

(71)【出願人】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100087985

【弁理士】

【氏名又は名称】福井 宏司

(72)【発明者】

【氏名】要田 涼介

(72)【発明者】

【氏名】楠本 佳宏

【テーマコード（参考）】

4G075

【Ｆターム（参考）】

4G075AA22

4G075AA61

4G075BA04

4G075CA33

4G075DA02

4G075EB31

4G075EC01

4G075EC06

4G075EC21

(57)【要約】

【課題】ランプをより適切に冷却する。
【解決手段】紫外線照射装置１０は、照射ユニット２０と、空冷ユニット４０と、を備えている。照射ユニット２０は、紫外線を照射する第１ランプ２１Ａ～第４ランプ２１Ｄを有している。空冷ユニット４０は、メイン配管４１と、第１分岐配管４２Ａと、第２分岐配管４２Ｂと、第１風量調整機構５２Ａと、第２風量調整機構５２Ｂと、を有している。第１分岐配管４２Ａは、メイン配管４１から分岐している。第２分岐配管４２Ｂは、メイン配管４１から分岐している。第１風量調整機構５２Ａは、第１分岐配管４２Ａに取り付けられている。第２風量調整機構５２Ｂは、第２分岐配管４２Ｂに取り付けられている。第１分岐配管４２Ａ及び第２分岐配管４２Ｂは、個別に流量調整が可能である。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

紫外線を照射するランプを有する照射ユニットと、
前記ランプをガスで冷却するための空冷ユニットと、
を備えており、
前記空冷ユニットは、
圧送されたガスが流れるメイン配管と、
前記メイン配管から分岐し、前記照射ユニットにガスを噴射する第１分岐配管と、
前記メイン配管から分岐し、前記照射ユニットにガスを噴射する第２分岐配管と、
前記第１分岐配管に取り付けられており、当該第１分岐配管を流れるガスの量を調整できる第１風量調整機構と、
前記第２分岐配管に取り付けられており、当該第２分岐配管を流れるガスの量を調整できる第２風量調整機構と、
を有しており、
前記第１風量調整機構及び前記第２風量調整機構は、個別に流量調整が可能である
紫外線照射装置。

【請求項2】

前記照射ユニットは、前記ランプを第１ランプとしたとき、紫外線を照射する第２ランプをさらに有しており、
前記第１分岐配管の下流側の開口を第１吐出口とし、前記第２分岐配管の下流側の開口を第２吐出口としたとき、
前記第１吐出口は、前記第１分岐配管の下流側の端を仮想的に延長した場合に、前記第１分岐配管と前記第１ランプとが重なる方向を向いており、
前記第２吐出口は、前記第２分岐配管の下流側の端を仮想的に延長した場合に、前記第２分岐配管と前記第２ランプとが重なる方向を向いている
請求項１に記載の紫外線照射装置。

【請求項3】

前記空冷ユニットは、圧送されるガスの圧力を調整するレギュレータをさらに備え、
前記レギュレータは、前記メイン配管に取り付けられている
請求項１又は請求項２に記載の紫外線照射装置。

【請求項4】

前記ランプは、光を発する発光管体と、前記発光管体の内部に電力を供給するための電極と、を有しており、
前記第１分岐配管の下流側の開口を第１吐出口としたとき、
前記第１吐出口は、前記第１分岐配管の下流側の端を仮想的に延長した場合に、前記第１分岐配管と前記電極とが重なる方向を向いている
請求項１又は請求項２に記載の紫外線照射装置。

【請求項5】

前記ランプを冷却水によって冷却する水冷ユニットをさらに備えている
請求項１又は請求項２に記載の紫外線照射装置。

【請求項6】

前記第１分岐配管の下流側の開口を第１吐出口としたとき、
前記水冷ユニットは、前記ランプを挟んで、前記第１吐出口が存在している側とは反対側に位置している
請求項５に記載の紫外線照射装置。

【請求項7】

前記ランプは、水銀ランプである
請求項１又は請求項２に記載の紫外線照射装置。

【請求項8】

前記第１風量調整機構及び前記第２風量調整機構を制御する制御ユニットをさらに備えており、
前記照射ユニットは、前記ランプを第１ランプとしたとき、紫外線を照射する第２ランプをさらに有しており、
前記制御ユニットは、
前記第１ランプの照射強度と前記第２ランプの照射強度とが同じ強度となるように、前記第１風量調整機構及び前記第２風量調整機構を制御する
請求項１又は請求項２に記載の紫外線照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、紫外線照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、紫外線照射装置が開示されている。この紫外線照射装置は、紫外線を照射する複数のランプと、これらのランプをガスで冷却する空冷ユニットと、を有している。空冷ユニットは、圧送されたガスが流れるメイン配管と、メイン配管から分岐した複数のノズルと、を備えている。ノズルは、ランプと同数存在している。各ノズルにおける下流側の開口は、各ランプを向いている。したがって、メイン配管に圧送されたガスは、ノズルから各ランプに向かって噴射される。そして、ランプは、噴射されたガスが当たることにより冷却される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００１－１３５４８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載のような紫外線照射装置の空冷ユニットでは、各ノズルの形状が同じであれば、各ノズルから同程度の量のガスが噴射される。そのため、空冷ユニットは、各ランプを一様に冷却してしまう。しかしながら、紫外線照射装置の駆動時において、各ランプの温度が一様であるとは限らないし、同一のランプであっても箇所毎に温度が一様であるとは限らない。したがって、従来の紫外線照射装置では、各ランプの温度の差、ランプの箇所毎の温度の差などに応じて適切にランプを冷却できない。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するため、本発明は、紫外線を照射するランプを有する照射ユニットと、前記ランプをガスで冷却するための空冷ユニットと、を備えており、前記空冷ユニットは、圧送されたガスが流れるメイン配管と、前記メイン配管から分岐し、前記照射ユニットにガスを噴射する第１分岐配管と、前記メイン配管から分岐し、前記照射ユニットにガスを噴射する第２分岐配管と、前記第１分岐配管に取り付けられており、当該第１分岐配管を流れるガスの量を調整できる第１風量調整機構と、前記第２分岐配管に取り付けられており、当該第２分岐配管を流れるガスの量を調整できる第２風量調整機構と、を有しており、前記第１風量調整機構及び前記第２風量調整機構は、個別に流量調整が可能である紫外線照射装置である。

【0006】

上記構成によれば、第１風量調整機構によって、第１分岐配管を流れるガスの量を調整できる。また、第２風量調整機構によって、第２分岐配管を流れるガスの量を、第１分岐配管を流れるガスの量とは別個に調整できる。そのため、第１分岐配管を流れるガスの量と、第２分岐配管を流れるガスの量と、を別々に調整できる。その結果、各ランプの温度の違いに合わせて、第１分岐配管から噴射されるガスの量と第２分岐配管から噴射されるガスの量とを調整できる。

【発明の効果】

【0007】

紫外線照射装置のランプを適切に冷却できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、紫外線照射装置を示す全体斜視図である。

【図2】図２は、紫外線照射装置を示す側面図である。

【図3】図３は、紫外線照射装置を示す正面図である。

【図4】図４は、紫外線照射装置を示す上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（一実施形態）
以下、紫外線照射装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、図面は、理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図面中のものと異なる場合がある。

【0010】

図１に示すように、紫外線照射装置１０は、照射ユニット２０と、水冷ユニット３０と、空冷ユニット４０と、制御ユニット６０と、照射テーブル７０と、を備えている。なお、図１及び図２では、制御ユニット６０を省略している。

【0011】

＜照射ユニット＞
照射ユニット２０は、複数のランプ２１を備えている。ランプ２１は、紫外線を照射するランプである。具体的には、ランプ２１は、水銀ランプである。ランプ２１は、全体として円管状となっている。複数のランプ２１は、図示しないケーシングにより支持されている。

【0012】

図２に示すように、ランプ２１は、発光管体２２と、２つの電極２３と、を有している。発光管体２２は、紫外線を発する。発光管体２２は、円管状となっている。また、発光管体２２は、中央部分で１８０度曲がっている。発光管体２２は、１８０度曲がっている箇所を除いて、直線状に延びている。つまり、発光管体２２は、Ｕ字状である。

【0013】

電極２３は、図示しない電源からの電力を、発光管体２２の内部に供給する。各電極２３は、発光管体２２の両端に繋がっている。上述のとおり、発光管体２２がＵ字状であることから、２つの電極２３は、互いに隣り合っている。

【0014】

なお、以下の説明では、図１に示すように、発光管体２２のうち直線状に延びている箇所と平行な軸を第１軸Ｘとし、第１軸Ｘに直交する軸の１つを第２軸Ｙとする。この例では、１つのランプ２１において、直線状に延びる２つの箇所が隣り合っている向きに平行な軸を第２軸Ｙとする。また、第１軸Ｘ及び第２軸Ｙのいずれにも直交する軸を第３軸Ｚとする。

【0015】

さらに、第１軸Ｘに沿う方向の一方を第１正方向Ｘ１とし、第１軸Ｘに沿う方向のうち第１正方向Ｘ１と反対方向を第１負方向Ｘ２とする。また、第２軸Ｙに沿う方向の一方を第２正方向Ｙ１とし、第２軸Ｙに沿う方向のうち第２正方向Ｙ１と反対方向を第２負方向Ｙ２とする。そして、第３軸Ｚに沿う方向の一方を第３正方向Ｚ１とし、第３軸Ｚに沿う方向のうち第３正方向Ｚ１と反対方向を第３負方向Ｚ２とする。

【0016】

本実施形態のランプ２１の数は、４つである。複数のランプ２１は、直線状に延びている箇所が互いに平行に位置するように並んでいる。本実施形態では、第２軸Ｙに沿って、４つのランプ２１が並んでいる。なお、４つのランプ２１を区別して称呼するときは、最も第２正方向Ｙ１側に位置するランプ２１を第１ランプ２１Ａとする。そして、第１ランプ２１Ａから第２負方向Ｙ２に向かって順に、第２ランプ２１Ｂ、第３ランプ２１Ｃ、第４ランプ２１Ｄとする。

【0017】

照射ユニット２０は、反射板２４を備えている。反射板２４は、ランプ２１が照射した光を反射する。図２に示すように、反射板２４は、ランプ２１に対して、第３正方向Ｚ１側に位置している。照射ユニット２０は、図示しないケーシングにより支持されている。

【0018】

図４に示すように、第３負方向Ｚ２を向いて視たときに、反射板２４は、四角形状である。また、第３負方向Ｚ２を向いて視たときに、反射板２４は、４つのランプ２１の発光管体２２のすべてを第３正方向Ｚ１側から覆っている。

【0019】

図２に示すように、照射テーブル７０の一部は、照射ユニット２０から視て第３負方向Ｚ２側に位置している。照射テーブル７０の主面は、第３正方向Ｚ１を向いている。すなわち、照射テーブル７０の主面は、照射ユニット２０における各ランプ２１と向かい合っている。なお、図２では、照射テーブル７０のうち、照射ユニット２０から視て第３負方向Ｚ２側の部分のみを図示し、その他の部分の図示を省略している。

【0020】

図２に示すように、照射テーブル７０の主面上には、照射対象物９０が配置される。照射対象物９０は、図示を省略するアーム型の産業用ロボット等によって、照射テーブル７０の主面上に配置される。また、照射テーブル７０の主面上には、複数の紫外線センサ８０が設置されている。紫外線センサ８０は、照射ユニット２０から照射される紫外線の照射強度を検出する。

【0021】

図２に示すように、照射ユニット２０は、ランプカバー２５と、排気ダクト２６と、を有している。ランプカバー２５は、図示しないケーシングにより支持されている。ランプカバー２５は、第３正方向Ｚ１側が凸となるドーム形状である。ランプカバー２５は、第３負方向Ｚ２を向いて視たときに、ランプ２１及び反射板２４を全て覆っている。

【0022】

排気ダクト２６は、筒状である。排気ダクト２６は、ランプカバー２５における最も第３正方向Ｚ１側の部分に接続している。排気ダクト２６は、ランプカバー２５から第３正方向Ｚ１に向けて延びている。排気ダクト２６は、ランプカバー２５を貫通している。排気ダクト２６は、図示を省略するファンによって、ランプカバー２５内のランプカバー２５の外部へと排気する。第３負方向Ｚ２を向いて視たとき、排気ダクト２６は、ランプカバー２５の概ね中央に位置している。

【0023】

＜水冷ユニット＞
図１に示すように、水冷ユニット３０は、複数のランプ２１に対して、第３正方向Ｚ１側に位置している。水冷ユニット３０は、図示しないケーシングに支持されている。水冷ユニット３０は、内部に冷却水の通る冷却水路が区画されたブロック体である。水冷ユニット３０の冷却水路には、図示を省略するポンプから冷却水が流される。

【0024】

水冷ユニット３０は、第１軸Ｘに沿う寸法、及び第３軸Ｚに沿う寸法よりも、第２軸Ｙに沿う寸法が大きくなっている。すなわち、水冷ユニット３０は、第２軸Ｙに長尺な形状である。第３負方向Ｚ２を向いて視たときに、水冷ユニット３０は、すべてのランプ２１の電極２３を覆っている。水冷ユニット３０は、ランプ２１を挟んで、後述する空冷ユニット４０が存在している側とは反対側に位置している。また、水冷ユニット３０は、各電極２３に接触している。

【0025】

＜空冷ユニット＞
空冷ユニット４０は、複数のランプ２１をガスで冷却するユニットである。空冷ユニット４０は、図示しないケーシングに支持されている。空冷ユニット４０は、メイン配管４１と、２つの中間配管４２と、４つの分岐配管４３と、を備えている。

【0026】

メイン配管４１は、図示を省略する圧送源から圧送されたガスが流れる配管である。本実施形態では、ガスは、空気である。２つの中間配管４２は、メイン配管４１の下流端に繋がっている。そのため、２つの中間配管４２は、メイン配管４１から２つに分岐している。

【0027】

図３に示すように、メイン配管４１は、第３軸Ｚと略平行に延びている。２つの中間配管４２は、メイン配管４１の下流端から、第２正方向Ｙ１と、第２負方向Ｙ２と、へそれぞれ延びている。２つの中間配管４２のうち、第２正方向Ｙ１へ向かって延びている配管を、第１中間配管４２Ａとする。また、２つの中間配管４２のうち、第２負方向Ｙ２へ向かって延びている配管を、第２中間配管４２Ｂとする。

【0028】

４つの分岐配管４３は、第１中間配管４２Ａ又は第２中間配管４２Ｂを介して、メイン配管４１から分岐している。分岐配管４３は、照射ユニット２０にガスを噴射する配管である。

【0029】

具体的には、４つの分岐配管４３のうち、第１分岐配管４３Ａ及び第２分岐配管４３Ｂは、第１中間配管４２Ａの下流端に繋がっている。第１分岐配管４３Ａは、第１ランプ２１Ａの電極２３に向かって延びている。そのため、第１分岐配管４３Ａの下流側の開口を第１吐出口４４Ａとしたとき、第１吐出口４４Ａは、第１ランプ２１Ａの電極２３を向いている。また、第１吐出口４４Ａは、第１ランプ２１Ａを挟んで、水冷ユニット３０が存在している側とは反対側に位置している。さらに、第１吐出口４４Ａは、第１ランプ２１Ａを挟んで、反射板２４が存在している側とは反対側に位置している。すなわち、第１吐出口４４Ａから噴射されるガスは、第１ランプ２１Ａの下側から上側に向けて、重力方向とは反対方向に噴射される。

【0030】

なお、第１吐出口４４Ａが、第１ランプ２１Ａの電極２３に向いているとは、第１分岐配管４３Ａの下流側の端を、仮想的に延長した場合に、第１分岐配管４３Ａと第１ランプ２１Ａの電極２３とが重なることである。他の配管についても同様である。

【0031】

第２分岐配管４３Ｂは、第２ランプ２１Ｂの電極２３に向かって延びている。第２分岐配管４３Ｂの下流側の開口を第２吐出口４４Ｂとしたとき、第２吐出口４４Ｂは、第２ランプ２１Ｂの電極２３を向いている。

【0032】

また、４つの分岐配管４３のうち、第３分岐配管４３Ｃ及び第４分岐配管４３Ｄは、第２中間配管４２Ｂの下流端に繋がっている。第３分岐配管４３Ｃは、第３ランプ２１Ｃの電極２３に向かって延びている。第３分岐配管４３Ｃの下流側の開口を第３吐出口４４Ｃとしたとき、第３吐出口４４Ｃは、第３ランプ２１Ｃの電極２３を向いている。

【0033】

第４分岐配管４３Ｄは、第４ランプ２１Ｄの電極２３に向かって延びている。第４分岐配管４３Ｄの下流側の開口を第４吐出口４４Ｄとしたとき、第４吐出口４４Ｄは、第４ランプ２１Ｄの電極２３を向いている。

【0034】

メイン配管４１の下流端から第１吐出口４４Ａまでの配管の長さは、メイン配管４１の下流端から第４吐出口４４Ｄまでの配管の長さと等しい。また、メイン配管４１の下流端から第２吐出口４４Ｂまでの配管の長さは、メイン配管４１の下流端から第３吐出口４４Ｃまでの配管の長さと等しい。

【0035】

空冷ユニット４０は、レギュレータ５１と、複数の風量調整機構５２と、を備えている。レギュレータ５１は、圧送されるガスの圧力を調整する。レギュレータ５１は、メイン配管４１に取り付けられている。

【0036】

風量調整機構５２は、取り付けられる配管を流れるガスの量を調整できる機構である。具体的には、本実施形態では、風量調整機構５２は、圧力調整が可能な電磁式のバルブである。風量調整機構５２は、分岐配管４３のうち、風量調整機構５２から視て下流側のガスの圧力を１ｋＰａ以下の単位で調整できる。

【0037】

本実施形態では、風量調整機構５２の数は、分岐配管４３の数と同じで４つである。風量調整機構５２は、各分岐配管４３に取り付けられている。そして、各風量調整機構５２は、個別に流量調整が可能である。つまり、各風量調整機構５２は連動しておらず、他の風量調整機構５２の制御状態とは無関係に流量調整が可能である。

【0038】

なお、風量調整機構５２を区別して称呼するときには、第１分岐配管４３Ａに取り付けられている風量調整機構５２を、第１風量調整機構５２Ａとする。また、第２分岐配管４３Ｂに取り付けられている風量調整機構５２を、第２風量調整機構５２Ｂとする。第３分岐配管４３Ｃに取り付けられている風量調整機構５２を、第３風量調整機構５２Ｃとする。第４分岐配管４３Ｄに取り付けられている風量調整機構５２を、第４風量調整機構５２Ｄとする。

【0039】

図２に示すように、空冷ユニット４０は、遮光板５５を有する。遮光板５５は、風量調整機構５２とランプ２１との間に介在している。ただし、各分岐配管４３における風量調整機構５２から視て下流側の部分は、遮光板５５を貫通している。つまり、各分岐配管４３における下流端を含む一部は、遮光板５５から視てランプ２１の側に位置している。遮光板５５は、風量調整機構５２、レギュレータ５１、メイン配管４１等に、紫外線が照射されることを遮る。

【0040】

＜制御ユニット＞
図３に示すように、制御ユニット６０は、レギュレータ５１及び各風量調整機構５２を制御する。制御ユニット６０は、図示は省略するが、ＣＰＵとＲＯＭとを有している。特に、ＲＯＭは、各風量調整機構５２を制御するためのプログラムを記憶している。制御ユニット６０のＣＰＵは、上記プログラムの実行可能である。制御ユニット６０のＣＰＵがプログラムを実行することにより、制御ユニット６０は、各風量調整機構５２の制御を通じて各ランプ２１の空冷の程度を調整する。制御ユニット６０のＣＰＵは、当該プログラムを実行すると、以下の調整制御を行う。なお、以下の調整制御は、照射対象物９０を照射テーブル７０に載せていない状態、つまり、紫外線センサ８０への紫外線が遮られない状態で実施される。

【0041】

制御ユニット６０は、調整制御において、各ランプ２１の照射強度がすべて同じ強度となるように、各風量調整機構５２の開度を調整する。具体的には、制御ユニット６０は、各紫外線センサ８０の検出する照射強度が同一となるように、各風量調整機構５２の開度を調整する。なお、図３には、各風量調整機構５２のそれぞれの操作信号ＭＳ１～ＭＳ４を記載している。

【0042】

なお、ランプ２１の照射強度は、ランプ２１の温度によって変動する。ランプ２１の照射強度は、特定の温度域のときに、強度が相応に高く安定しやすくなる。そのため、風量調整機構５２の開度を調整することにより、各分岐配管４３から噴出されるガスの勢いが調整される結果、ランプ２１の温度が調整される。

【0043】

（実施形態の作用について）
上記実施形態によれば、ランプ２１は、発光管体２２から紫外線を発するのに伴って発熱する。特に、ランプ２１のうちの電極２３は、当該電極２３に電力が供給される際の電気抵抗により高温になりやすい。また、照射ユニット２０の使用中に、排気ダクト２６を通じてガスが排出される。このとき、排気ダクト２６に向かって流れるガスにより、各ランプ２１が冷却される。その一方で、排気ダクト２６と各ランプ２１との位置関係が、すべてのランプ２１について同一でないことから、ランプ２１毎に温度に差が生じ得る。また、４つのランプ２１のうち、第２ランプ２１Ｂ及び第３ランプ２１Ｃは、他のランプ２１に挟まれている。そのため、これら第２ランプ２１Ｂ及び第３ランプ２１Ｃについては、他のランプ２１が発した熱により、高温になりやすい。

【0044】

（実施形態の効果について）
なお、以下では、第１ランプ２１Ａ～第４ランプ２１Ｄに共通の効果については、第１ランプ２１Ａの効果を代表で説明する。

【0045】

（１）上記実施形態によれば、第１風量調整機構５２Ａによって、第１分岐配管４３Ａを流れるガスの量を調整できる。また、第２風量調整機構５２Ｂによって、第２分岐配管４３Ｂを流れるガスの量を、第１分岐配管４３Ａを流れるガスの量とは別個に調整できる。そのため、第１分岐配管４３Ａを流れるガスの量と、第２分岐配管４３Ｂを流れるガスの量と、を別々に調整できる。その結果、第１ランプ２１Ａと第２ランプ２１Ｂとの温度の違いに合わせて、第１分岐配管４３Ａから噴射されるガスの量と第２分岐配管４３Ｂから噴射されるガスの量とを調整できる。

【0046】

（２）上記実施形態によれば、第１吐出口４４Ａは第１ランプ２１Ａを向いており、第２吐出口４４Ｂは第２ランプ２１Ｂを向いている。これにより、第１分岐配管４３Ａを流れるガスの量と、第２分岐配管４３Ｂを流れるガスの量と、を別々に調整することで、第１ランプ２１Ａと第２ランプ２１Ｂとのそれぞれについて、個別に冷却の程度を調整できる。

【0047】

（３）例えば、第４吐出口４４Ｄから噴射されるガスの量を第１吐出口４４Ａから噴射されるガスの量と同等にするように、第１風量調整機構５２Ａ及び第４風量調整機構５２Ｄを制御することがある。上記実施形態によれば、メイン配管４１の下流端から第１吐出口４４Ａまでの配管の長さは、メイン配管４１の下流端から第４吐出口４４Ｄまでの配管の長さと等しい。そのため、第４風量調整機構５２Ｄは、第１風量調整機構５２Ａと同様の制御をすれば、第４吐出口４４Ｄから噴射されるガスの量を第１吐出口４４Ａから噴射されるガスの量と同等にできる。つまり、第４吐出口４４Ｄから噴射されるガスの量を第１吐出口４４Ａから噴射されるガスの量と同等に調整する上で、第４風量調整機構５２Ｄの制御を簡略化できる。この点、上記実施形態によれば、メイン配管４１の下流端から第２吐出口４４Ｂまでの配管の長さは、メイン配管４１の下流端から第３吐出口４４Ｃまでの配管の長さと等しい。そのため、第３吐出口４４Ｃから噴射されるガスの量を第２吐出口４４Ｂから噴射されるガスの量と同等に調整する上で、第３風量調整機構５２Ｃは、第２風量調整機構５２Ｂと同様の制御をすればよい。よって、第３吐出口４４Ｃから噴射されるガスの量を第２吐出口４４Ｂから噴射されるガスの量と同等に調整する上で、第３風量調整機構５２Ｃの制御を簡略化できる。

【0048】

（４）上記実施形態によれば、空冷ユニット４０は、レギュレータ５１をさらに備えている。レギュレータ５１により、メイン配管４１のガスの圧力を調整することで、各分岐配管４３を流れるガスの圧力の変動を抑えることができる。

【0049】

（５）上記実施形態によれば、第１吐出口４４Ａは、第１ランプ２１Ａの電極２３を向いている。上述したように、第１ランプ２１Ａのうち、電極２３が最も発熱しやすい。そのため、第１吐出口４４Ａから噴射されるガスを電極２３に衝突させることで、空冷ユニット４０による冷却を効率よくできる。

【0050】

（６）上記実施形態によれば、第１吐出口４４Ａから噴射されるガスは、第１ランプ２１Ａの下側から上側に向けて噴射される。そのため、第１ランプ２１Ａに噴射されて高温となったガスを、排気ダクト２６から効率よく排気することができる。

【0051】

（７）また、上記実施形態によれば、第１吐出口４４Ａは、第１ランプ２１Ａを挟んで、反射板２４が存在している側と反対側に位置している。そのため、第３正方向Ｚ１を向いて反射板２４を視たとき、反射板２４の大きさを、第１吐出口４４Ａと干渉せずに大きく設定することができる。反射板２４の大きさを大きく設定することで、反射板２４からの反射光を強くすることができる。

【0052】

（８）上記実施形態によれば、水冷ユニット３０は、第１ランプ２１Ａを挟んで、第１吐出口４４Ａが存在している側とは反対側に位置している。そのため、第１ランプ２１Ａを、水冷ユニット３０と空冷ユニット４０とで、両側から冷却することができる。

【0053】

（９）上記実施形態によれば、ランプ２１は、水銀ランプである。水銀ランプは、比較的発熱しやすいため、水冷ユニット３０及び空冷ユニット４０による冷却の効果を得やすい。

【0054】

（１０）上記実施形態によれば、制御ユニット６０は、調整制御によって、各ランプ２１の照射強度がすべて同じ強度となるように、各風量調整機構５２を制御する。そのため、照射テーブル７０の主面上において、箇所毎の紫外線の強度むらが生じにくい。

【0055】

（その他の実施形態）
上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

【0056】

・ランプ２１の構成は、上記実施形態の例に限られない。ランプ２１が全体として直線状に延びていてもよい。
・ランプ２１は、水銀ランプに限られない。ランプ２１は、ＬＥＤランプなど、紫外線を照射できるものであれば、構わない。また、複数のランプ２１は、互いに異なる種類であっても構わない。

【0057】

・水冷ユニット３０の設置個所は、第１ランプ２１Ａを挟んで第１吐出口４４Ａが存在している側とは反対側には限られない。例えば、水冷ユニット３０は、４つのランプ２１に対して、第３負方向Ｚ２側に位置していてもよい。また、紫外線照射装置１０から水冷ユニット３０を省いてもよい。

【0058】

・空冷ユニット４０から、レギュレータ５１は省いてもよい。
・空冷ユニット４０から、中間配管４２は省いてもよい。分岐配管４３がメイン配管４１から直接分岐していてもよい。

【0059】

・分岐配管４３の数は、３本であってもよいし、５本以上であってもよい。少なくとも２本あればよい。また、風量調整機構５２の数は、分岐配管４３の数に合わせて変更すればよい。なお、分岐配管４３の数が３本以上である場合、風量調整機構５２が取り付けられていない分岐配管４３があっても構わない。

【0060】

・第１中間配管４２Ａに繋がっている分岐配管４３の数と、第２中間配管４２Ｂに繋がっている分岐配管４３の数とは、異なっていても構わない。
・第１吐出口４４Ａは、第１ランプ２１Ａの電極２３を向いていなくてもよい。例えば、第１吐出口４４Ａは、第１ランプ２１Ａの発光管体２２を向いていてもよい。照射ユニット２０全体の構造によって、局所的に発熱しやすい箇所があれば、第１吐出口４４Ａは、当該箇所を向いていてもよい。局所的に発熱しやすい箇所とは、例えば、排気ダクト２６から相応の距離がある箇所である。この点、第２吐出口４４Ｂ、第３吐出口４４Ｃ、及び第４吐出口４４Ｄについても同様である。

【0061】

・第１吐出口４４Ａと第２吐出口４４Ｂとが、同一のランプ２１を向いていてもよい。同一のランプ２１であっても、隣り合うランプ２１との距離が異なっていたり、排気ダクト２６からの距離が異なっていたりすれば、箇所毎に温度差が生じ得る。

【0062】

・第１吐出口４４Ａは、隣り合う電極２３の間を向いていてもよい。これにより、複数の電極２３の隣り合う距離が小さい場合には、第１吐出口４４Ａから噴射されるガスによって、隣り合う電極２３のいずれをも効率よく冷却することができる。

【0063】

・レギュレータ５１から各風量調整機構５２までの距離が同一であると好ましい。このように各配管の長さを調整すると、各分岐配管４３から噴射されるガスの圧力が均一となりやすい。

【0064】

・風量調整機構５２の構成は、電磁式のバルブに限られない。例えば、風量調整機構５２は、ユーザが操作することにより流量の調整が可能な機械式のバルブであってもよい。さらに、風量調整機構５２は、バルブに限られない。例えば、風量調整機構５２は、ガスを送風可能なファンを有していてもよい。この場合であっても、ファンの回転数を調整することで、各分岐配管４３を流れる風量を調整できる。

【0065】

・制御ユニット６０は、調整制御において、各ランプ２１の温度が同一となるように、各風量調整機構５２を調整してもよい。この場合、各ランプ２１の温度を温度センサによって検出すればよい。

【0066】

・制御ユニット６０は、照射対象物９０に紫外線を照射するのと並行して、調整制御を実行してもよい。各紫外線センサ８０への紫外線が、照射対象物９０に遮られないのであれば、調整制御の実行に差支えはない。

【0067】

・制御ユニット６０は、調整制御を、第１ランプ２１Ａ及び第２ランプ２１Ｂのみを制御対象として実行してもよい。同様に、制御ユニット６０は、調整制御を、第２ランプ２１Ｂ及び第３ランプ２１Ｃのみを制御対象としてもよいし、４つのランプ２１のうちの３つのみを対象としてもよい。また、制御ユニット６０は、調整制御を実行しなくてもよい。なお、風量調整機構５２を電気的に制御しないのであれば、紫外線照射装置１０から制御ユニット６０を省いてもよい。

【0068】

・制御ユニット６０は、ＣＰＵとＲＯＭとを備えて、ソフトウェア処理を実行するものに限らない。たとえば、上記各実施形態においてソフトウェア処理されたものの少なくとも一部を、ハードウェア処理する専用のハードウェア回路（たとえばＡＳＩＣ等）を備えてもよい。すなわち、制御ユニット６０は、以下の（ａ）～（ｃ）のいずれかの構成であればよい。（ａ）上記処理の全てを、プログラムに従って実行する処理装置と、プログラムを記憶するＲＯＭ等のプログラム格納装置とを備える。（ｂ）上記処理の一部をプログラムに従って実行する処理装置およびプログラム格納装置と、残りの処理を実行する専用のハードウェア回路とを備える。（ｃ）上記処理の全てを実行する専用のハードウェア回路を備える。ここで、処理装置およびプログラム格納装置を備えたソフトウェア実行装置や、専用のハードウェア回路は複数であってもよい。

【0069】

・上記実施形態において、各ユニットを支持しているケーシングは、複数の部材からなっていてもよいし、１つの部材からなっていてもよい。
上記実施形態及び変更例から把握できる技術的思想について記載する。

【0070】

＜１＞
紫外線を照射するランプを有する照射ユニットと、
前記ランプをガスで冷却するための空冷ユニットと、
を備えており、
前記空冷ユニットは、
圧送されたガスが流れるメイン配管と、
前記メイン配管から分岐し、前記照射ユニットにガスを噴射する第１分岐配管と、
前記メイン配管から分岐し、前記照射ユニットにガスを噴射する第２分岐配管と、
前記第１分岐配管に取り付けられており、当該第１分岐配管を流れるガスの量を調整できる第１風量調整機構と、
前記第２分岐配管に取り付けられており、当該第２分岐配管を流れるガスの量を調整できる第２風量調整機構と、
を有しており、
前記第１風量調整機構及び前記第２風量調整機構は、個別に流量調整が可能である
紫外線照射装置。

【0071】

＜２＞
前記照射ユニットは、前記ランプを第１ランプとしたとき、紫外線を照射する第２ランプをさらに有しており、
前記第１分岐配管の下流側の開口を第１吐出口とし、前記第２分岐配管の下流側の開口を第２吐出口としたとき、
前記第１吐出口は、前記第１分岐配管の下流側の端を仮想的に延長した場合に、前記第１分岐配管と前記第１ランプとが重なる方向を向いており、
前記第２吐出口は、前記第２分岐配管の下流側の端を仮想的に延長した場合に、前記第２分岐配管と前記第２ランプとが重なる方向を向いている
＜１＞に記載の紫外線照射装置。

【0072】

＜３＞
前記空冷ユニットは、圧送されるガスの圧力を調整するレギュレータをさらに備え、
前記レギュレータは、前記メイン配管に取り付けられている
＜１＞又は＜２＞に記載の紫外線照射装置。

【0073】

＜４＞
前記ランプは、光を発する発光管体と、前記発光管体の内部に電力を供給するための電極と、を有しており、
前記第１分岐配管の下流側の開口を第１吐出口としたとき、
前記第１吐出口は、前記第１分岐配管の下流側の端を仮想的に延長した場合に、前記第１分岐配管と前記電極とが重なる方向を向いている
＜１＞から＜３＞のいずれか１つに記載の紫外線照射装置。

【0074】

＜５＞
前記ランプを冷却水によって冷却する水冷ユニットをさらに備えている
＜１＞から＜４＞のいずれか１つに記載の紫外線照射装置。

【0075】

＜６＞
前記第１分岐配管の下流側の開口を第１吐出口としたとき、
前記水冷ユニットは、前記ランプを挟んで、前記第１吐出口が存在している側とは反対側に位置している
＜５＞に記載の紫外線照射装置。

【0076】

＜７＞
前記ランプは、水銀ランプである
＜１＞から＜６＞のいずれか１つに記載の紫外線照射装置。

【0077】

＜８＞
前記第１風量調整機構及び前記第２風量調整機構を制御する制御ユニットをさらに備えており、
前記照射ユニットは、前記ランプを第１ランプとしたとき、紫外線を照射する第２ランプをさらに有しており、
前記制御ユニットは、
前記第１ランプの照射強度と前記第２ランプの照射強度とが同じ強度となるように、前記第１風量調整機構及び前記第２風量調整機構を制御する
＜１＞から＜７＞のいずれか１つに記載の紫外線照射装置。

【符号の説明】

【0078】

１０…紫外線照射装置
２０…照射ユニット
２１…ランプ
２１Ａ…第１ランプ
２１Ｂ…第２ランプ
２１Ｃ…第３ランプ
２１Ｄ…第４ランプ
２２…発光管体
２３…電極
２４…反射板
２５…ランプカバー
２６…排気ダクト
３０…水冷ユニット
４０…空冷ユニット
４１…メイン配管
４２…中間配管
４２Ａ…第１中間配管
４２Ｂ…第２中間配管
４３…分岐配管
４３Ａ…第１分岐配管
４３Ｂ…第２分岐配管
４３Ｃ…第３分岐配管
４３Ｄ…第４分岐配管
４４Ａ…第１吐出口
４４Ｂ…第２吐出口
４４Ｃ…第３吐出口
４４Ｄ…第４吐出口
５１…レギュレータ
５２…風量調整機構
５２Ａ…第１風量調整機構
５２Ｂ…第２風量調整機構
５２Ｃ…第３風量調整機構
５２Ｄ…第４風量調整機構
５５…遮光板
６０…制御ユニット
７０…照射テーブル
８０…紫外線センサ
９０…照射対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】