特開 2024-37281 プラズマ処理システム及びプラズマ処理システムの情報設定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024037281

(43)【公開日】2024-03-19

(54)【発明の名称】プラズマ処理システム及びプラズマ処理システムの情報設定方法

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/26 20060101AFI20240312BHJP

【ＦＩ】

H05H1/26

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022142004

(22)【出願日】2022-09-07

(71)【出願人】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】日下 航

(72)【発明者】

【氏名】神藤 高広

【テーマコード（参考）】

2G084

【Ｆターム（参考）】

2G084AA07

2G084BB37

2G084CC34

2G084HH53

2G084HH57

(57)【要約】

【課題】マスタ／スレーブの関係を形成する制御装置の簡素化が可能なプラズマ処理システムを提供すること。
【解決手段】プラズマ処理システムは、複数のプラズマ発生装置と、各々のプラズマ発生装置の動作を制御する複数の制御装置と、を備え、複数の制御装置のうちの一つをマスタ制御装置、且つ、マスタ制御装置以外の制御装置をスレーブ制御装置とし、複数のプラズマ発生装置の各々は、ネットワークを介してマスタ制御装置からのプラズマ発生装置の動作に関する動作指令情報を含む指令情報がスレーブ制御装置に出力されることによって連携して動作可能とされており、マスタ制御装置のみが制御装置の間で共用可能な共用装置の少なくとも一つを有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のプラズマ発生装置と、
各々の前記プラズマ発生装置の動作を制御する複数の制御装置と、を備え、
複数の前記制御装置のうちの一つをマスタ制御装置、且つ、前記マスタ制御装置以外の前記制御装置をスレーブ制御装置とし、
複数の前記プラズマ発生装置の各々は、ネットワークを介して前記マスタ制御装置からの前記プラズマ発生装置の動作に関する動作指令情報を含む指令情報が前記スレーブ制御装置に出力されることによって連携して動作可能とされており、
前記マスタ制御装置のみが前記制御装置の間で共用可能な共用装置の少なくとも一つを有する、プラズマ処理システム。

【請求項2】

前記指令情報は、前記プラズマ発生装置を緊急停止させる緊急停止情報を含む、請求項１に記載のプラズマ処理システム。

【請求項3】

前記緊急停止情報は、前記マスタ制御装置に設けられた前記共用装置としての緊急停止装置によって発生する、請求項２に記載のプラズマ処理システム。

【請求項4】

複数の前記スレーブ制御装置の各々は、
信号の送受信が可能な信号線を介して、前記マスタ制御装置に接続される、請求項１－３の何れか一項に記載のプラズマ処理システム。

【請求項5】

前記マスタ制御装置は、
前記信号線を介して、少なくとも前記ネットワーク上において前記スレーブ制御装置を識別するための識別情報を出力する、請求項４に記載のプラズマ処理システム。

【請求項6】

前記識別情報は、前記信号線を介して、前記マスタ制御装置から各々の前記スレーブ制御装置に出力される複数の信号の各々の状態を表す信号状態に応じて決定されるＩＰアドレスである、請求項５に記載のプラズマ処理システム。

【請求項7】

前記マスタ制御装置及び前記スレーブ制御装置は、前記ネットワークを介して前記指令情報を送受信する情報送受信部、及び、前記信号線を介して前記ネットワーク上における前記スレーブ制御装置の識別に用いられる信号を送受信する信号送受信部を有するシングルボードコンピュータを備え、
前記マスタ制御装置が備える前記シングルボードコンピュータは、更に、前記共用装置を接続する共用装置接続部を有する、請求項４に記載のプラズマ処理システム。

【請求項8】

前記共用装置は、入力装置又は表示装置を含む、請求項１又は２に記載のプラズマ処理システム。

【請求項9】

前記マスタ制御装置及び前記スレーブ制御装置は、前記プラズマ発生装置を緊急停止させる緊急停止情報を発生する緊急停止装置を有する、請求項１に記載のプラズマ処理システム。

【請求項10】

前記スレーブ制御装置は、前記マスタ制御装置から出力された前記指令情報以外の指令情報に従って前記プラズマ発生装置の動作を制御可能である、請求項１に記載のプラズマ処理システム。

【請求項11】

前記指令情報には、前記プラズマ発生装置を動作させるオン信号又は前記プラズマ発生装置を停止させるオフ信号が含まれ、
前記マスタ制御装置及び前記スレーブ制御装置が動作を制御する全ての前記プラズマ発生装置について、前記マスタ制御装置及び前記スレーブ制御装置は、前記オン信号に応じて全ての前記プラズマ発生装置を動作させ、若しくは、前記オフ信号に応じて全ての前記プラズマ発生装置を停止させ、又は、
前記マスタ制御装置及び前記スレーブ制御装置の各々が動作を制御する前記プラズマ発生装置について、前記マスタ制御装置及び前記スレーブ制御装置の各々は、前記オン信号に応じて前記プラズマ発生装置を個別に動作させ、若しくは、前記オフ信号に応じて各々の前記プラズマ発生装置を個別に停止させる、請求項１又は２に記載のプラズマ処理システム。

【請求項12】

前記マスタ制御装置及び前記スレーブ制御装置は、前記オフ信号に応じて、前記プラズマ発生装置に供給される電力を遮断してから所定時間の経過後に、前記プラズマ発生装置にてプラズマ化されるプロセスガスの供給を遮断する、請求項１１に記載のプラズマ処理システム。

【請求項13】

前記マスタ制御装置及び前記スレーブ制御装置は、前記オン信号に応じて、前記プラズマ発生装置を暖機運転させる、請求項１１に記載のプラズマ処理システム。

【請求項14】

複数のプラズマ発生装置と、
各々の前記プラズマ発生装置の動作を制御する複数の制御装置と、を備えるプラズマ処理システムに適用され、
複数の前記制御装置のうちの一つをマスタ制御装置、且つ、前記マスタ制御装置以外の前記制御装置をスレーブ制御装置とし、
複数の前記プラズマ発生装置の各々は、ネットワークを介して前記マスタ制御装置からの前記プラズマ発生装置の動作に関する動作指令情報を含む指令情報が前記スレーブ制御装置に出力されることによって連携して動作可能とされており、
前記プラズマ処理システムは、前記マスタ制御装置のみが前記制御装置の間で共用可能な共用装置の少なくとも一つを有し、
前記マスタ制御装置が各々の前記スレーブ制御装置に対して、前記スレーブ制御装置を識別する識別情報を設定するための複数の信号を出力する第一工程と、
前記スレーブ制御装置が前記マスタ制御装置から出力された複数の前記信号を入力し、複数の前記信号の各々の状態を表す信号状態を判別し、判別した前記信号状態に対応する前記識別情報を設定する第二工程と、
を備える、プラズマ処理システムの情報設定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、プラズマ処理システム及びプラズマ処理システムの情報設定方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

複数の装置の接続に関し、例えば、特許文献１－３には、複数の装置においてマスタ／スレーブの関係を形成することが開示されている。特許文献１には、複数のインバータにおいてマスタ／スレーブの関係を形成することが開示されている。又、特許文献２には、複数のマイクロコントローラにおいてマスタ／スレーブの関係を形成することが開示されている。又、特許文献３には、複数の電源装置においてマスタ／スレーブの関係を形成することが開示されている。このように、マスタ／スレーブの関係を形成した場合、マスタの操作に対して全てのスレーブを同様に動作させたり、マスタの操作に対して特定のスレーブを選択的に動作させたりできる。従って、マスタ／スレーブの関係を形成することは、作業者による個々の機器の操作を省略できて作業負荷を低減できるという点で極めて有望である。

【0003】

又、特許文献４には、複数のプラズマトーチを有するプラズマ切断機が開示されている。この従来のプラズマ切断機においては、複数のプラズマトーチを独立して非同期で動作できるように、プラズマ電源装置から分配器を通じて出力電流が分配されると共に、転か回路が各々のプラズマトーチに割り当てられるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平８－１３５０号公報

【特許文献2】特表２０１９－５１３５６１号公報

【特許文献3】特開２００９－２８４７３４号公報

【特許文献4】特開２００８－１０５０４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上述した従来のようにマスタ／スレーブの関係を形成する場合においては、マスタとなる装置もスレーブとなる装置も同一の構成である。即ち、従来のようにマスタ／スレーブの関係を形成する場合においては、全ての装置等が同一の部品、例えば、装置間で共用可能な共用装置を備えており、どの装置であってもマスタ又はスレーブになることができるようになっている。ところが、上述したように、マスタ／スレーブの関係が形成された場合には、マスタを操作することによってスレーブを動作させることができる。従って、特に、スレーブに設けられた共用装置については、利用される頻度が低いにもかかわらず、共用装置の分が高価になると共に装置自体が複雑化且つ大型化する虞がある。

【0006】

本明細書は、マスタ／スレーブの関係を形成する制御装置の簡素化が可能なプラズマ処理システム及びプラズマ処理システムの情報設定方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本明細書は、複数のプラズマ発生装置と、各々のプラズマ発生装置の動作を制御する複数の制御装置と、を備え、複数の制御装置のうちの一つをマスタ制御装置、且つ、マスタ制御装置以外の制御装置をスレーブ制御装置とし、複数のプラズマ発生装置の各々は、ネットワークを介してマスタ制御装置からのプラズマ発生装置の動作に関する動作指令情報を含む指令情報がスレーブ制御装置に出力されることによって連携して動作可能とされており、マスタ制御装置のみが制御装置の間で共用可能な共用装置の少なくとも一つを有する、プラズマ処理システムを開示する。

【0008】

又、本明細書は、複数のプラズマ発生装置と、各々のプラズマ発生装置の動作を制御する複数の制御装置と、を備えるプラズマ処理システムに適用され、、複数の制御装置のうちの一つをマスタ制御装置、且つ、マスタ制御装置以外の制御装置をスレーブ制御装置とし、複数のプラズマ発生装置の各々は、ネットワークを介してマスタ制御装置からのプラズマ発生装置の動作に関する動作指令情報を含む指令情報がスレーブ制御装置に出力されることによって連携して動作可能とされており、プラズマ処理システムは、マスタ制御装置のみが制御装置の間で共用可能な共用装置の少なくとも一つを有し、マスタ制御装置が各々のスレーブ制御装置に対して、スレーブ制御装置を識別する識別情報を設定するための複数の信号を出力する第一工程と、スレーブ制御装置がマスタ制御装置から出力された複数の信号を入力し、複数の信号の各々の状態を表す信号状態を判別し、判別した信号状態に対応する識別情報を設定する第二工程と、を備える、プラズマ処理システムの情報設定方法を開示する。

【0009】

本明細書では、出願当初の請求項８において、「請求項１又は２に記載のプラズマ処理システム」を「請求項１－７の何れか一項に記載のプラズマ処理システム」に変更した技術的思想も開示されている。又、本明細書では、出願当初の請求項９において、「請求項１に記載のプラズマ処理システム」を「請求項１－８の何れか一項に記載のプラズマ処理システム」に変更した技術的思想も開示されている。又、本明細書では、出願当初の請求項１０において、「請求項１に記載のプラズマ処理システム」を「請求項１－９の何れか一項に記載のプラズマ処理システム」に変更した技術的思想も開示されている。更に、本明細書では、出願当初の請求項１１において、「請求項１又は２に記載のプラズマ処理システム」を「請求項１－１０の何れか一項に記載のプラズマ処理システム」に変更した技術的思想も開示されている。

【発明の効果】

【0010】

これらによれば、マスタ／スレーブの関係を形成する制御装置の簡素化が可能であり、制御装置、ひいては、プラズマ処理システムの製造コストを低減することができる。プラズマ処理システムの情報設定方法についても、同様である。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】プラズマ処理システムの全体構成を説明するための概略図である。

【図2】プラズマ発生装置の構成を説明するための概略図である。

【図3】図１のマスタ制御装置の構成を説明するための機能ブロック図である。

【図4】図１のスレーブ制御装置の構成を説明するための機能ブロック図である。

【図5】識別情報の設定を説明するための表である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、プラズマ処理システムについて、図面を参照しながら説明する。本実施形態においては、プラズマ処理システムを形成するプラズマ発生装置が大気圧プラズマ発生装置である場合を例示して説明する。

【0013】

１．プラズマ処理システム１の概要
プラズマ処理システム１は、図１に示すように、複数のプラズマ発生装置１０と、各々のプラズマ発生装置１０に設けられた制御装置１００とを備える。各々のプラズマ発生装置１０は、大気圧下でプラズマを発生させる大気圧プラズマ発生装置である。各々の制御装置１００は、対応する各々のプラズマ発生装置１０の動作を統括的に制御する。そして、各々の制御装置１００は、ネットワークＮを介して、互いに通信可能に接続されている。

【0014】

ここで、プラズマ処理システム１を形成する複数の制御装置１００は、１つの制御装置１００を「マスタ」とし、他の制御装置１００を「スレーブ」とするマスタ／スレーブの関係を形成する。このため、本実施形態の説明において、図１に示すように、ネットワークＮに接続された複数の制御装置１００のうちの１つの制御装置１００を「マスタ制御装置１００Ｍ」とする。又、本実施形態の説明において、ネットワークＮに接続された複数の制御装置１００のうちの他の制御装置１００を「スレーブ制御装置１００Ｓ」とする。そして、マスタ制御装置１００Ｍと、各々のスレーブ制御装置１００Ｓとは、それぞれ、接続線Ｌｃによって直接的に接続されている。

【0015】

１－１．プラズマ発生装置１０の全体構成
プラズマ発生装置１０は、図２に示すように、大気圧下でプラズマを発生させるプラズマヘッド１１を備えている。又、プラズマ発生装置１０は、電源装置１２と、ガス供給装置１３と、を備えている。プラズマ発生装置１０は、電源装置１２から電源ケーブル１４を介してプラズマヘッド１１に電力を供給し、ガス供給装置１３からガス配管１５を介してプラズマ化するプロセスガスを供給する。これにより、プラズマ発生装置１０は、プラズマヘッド１１から生成したプラズマガスを照射することができる。

【0016】

プラズマヘッド１１は、産業用ロボット１６のロボットアーム１６Ａ，１６Ｂの先端に取り付けられている。ここで、電源ケーブル１４及びガス配管１５は、ロボットアーム１６Ａ，１６Ｂに沿って取り付けられている。ロボットアーム１６Ａ，１６Ｂは、一方向に連結されて、多関節ロボットを形成する。そして、産業用ロボット１６は、ロボットアーム１６Ａ，１６Ｂを駆動してプラズマヘッド１１を移動させ、ワーク台Ｄが支持するワークＷにプラズマガスを照射する作業を行う。尚、照射されたプラズマガスは、例えば、ワークＷの表面を疎水性から親水性へと改質する改質処理を行うことができる。

【0017】

電源装置１２は、例えば、商用電源（図示省略）からプラズマヘッド１１の電極（図示省略）に供給する電力を生成する。そして、電源装置１２は、電源ケーブル１４を介して、生成した電力をプラズマヘッド１１の電極に供給する。ガス供給装置１３は、窒素等の不活性ガスと酸素等の活性ガスとの少なくとも一方を含む、例えば、空気等をプロセスガスとして圧送して供給する。このため、ガス供給装置１３は、プロセスガスを貯留するタンク（図示省略）を備えている。

【0018】

制御装置１００は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、各種インターフェース等を有する、所謂、シングルボードコンピュータを備えるものである。本実施形態においては、複数（４つ）の制御装置１００のうちの１つが予めマスタ制御装置１００Ｍとして設定されている。そして、残り（３つ）の制御装置１００がスレーブ制御装置１００Ｓとして設定される。

【0019】

マスタ制御装置１００Ｍは、ネットワークＮ及び接続線Ｌｃ（より詳しくは、後述する信号線Ｌｃｓ）に接続可能であり、且つ、後述する共用装置Ｃである入力装置１０１、表示装置１０２及び緊急停止ボタン１０３が接続可能である。このため、マスタ制御装置１００に備えられたシングルボードコンピュータが有する各種インターフェースは、ネットワークＮに接続して指令情報を送受信する情報送受信部としての通信インターフェースＩｔと、接続線Ｌｃ（より詳しくは、後述する信号線Ｌｃｓ）に接続して信号を送受信する信号送受信部としての信号インターフェースＩｓとを備える。又、制御装置１００のうちの少なくともマスタ制御装置１００Ｍは、各種インターフェースは、共用装置Ｃと接続する共用装置接続部としての接続インターフェースＩｃを備える。

【0020】

スレーブ制御装置１００Ｓも、ネットワークＮ及び接続線Ｌｃに接続可能である。但し、本実施形態においては、スレーブ制御装置１００Ｓには、共用装置Ｃは接続されない。このため、スレーブ制御装置１００に備えられたシングルボードコンピュータが有する各種インターフェースは、通信インターフェースＩｔと、信号インターフェースＩｓとを備える。尚、必要に応じて、スレーブ制御装置１００Ｓの各種インターフェースに、接続インターフェースＩｃを設けることも可能である。

【0021】

マスタ制御装置１００Ｍは、後述するように、信号線Ｌｃｓを介してスレーブ制御装置１００Ｓに対して識別情報ＩであるＩＰアドレスを設定するための信号を出力する。これにより、スレーブ制御装置１００Ｓは、入力した信号の状態に応じて自身のＩＰアドレスを設定する。尚、マスタ制御装置１００Ｍにおいては、予め自身のＩＰアドレスが設定されている。

【0022】

そして、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓは、ＩＰアドレスを設定することによってネットワークＮに接続された状態で互いに通信可能となる。これにより、マスタ制御装置１００Ｍは、後述するように、ネットワークＮを介して、例えば、作業者によって入力された指令情報としての動作指令を表す動作指令情報Ｏｍをスレーブ制御装置１００Ｓに出力する。従って、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓは、連携して（或いは、協働して）各々が対応するプラズマ発生装置１０の動作を統括的に制御する。

【0023】

ここで、指令情報には、プラズマ発生装置１０を動作させるオン信号又はプラズマ発生装置１０を停止させるオフ信号が含まれる。具体的に、本実施形態においては、動作指令情報Ｏｍに、プラズマ発生装置１０を動作させるオン信号又はプラズマ発生装置１０を停止させるオフ信号が含まれる。

【0024】

そして、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓが動作を制御する全てのプラズマ発生装置１０について、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓは、動作指令情報Ｏｍに含まれるオン信号に応じて全てのプラズマ発生装置１０を動作させることができる。若しくは、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓは、動作指令情報Ｏｍに含まれるオフ信号に応じて全てのプラズマ発生装置１０を停止させることができる。

【0025】

又は、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓの各々が動作を制御するプラズマ発生装置１０について、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓの各々は、動作指令情報Ｏｍに含まれるオン信号に応じてプラズマ発生装置１０を個別に動作させることができる。若しくは、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓの各々は、動作指令情報Ｏｍに含まれるオフ信号に応じて各々のプラズマ発生装置１０を個別に停止させることができる。

【0026】

１－２．マスタ制御装置１００Ｍ
複数のプラズマ発生装置１０の各々に設けられる制御装置１００については、一般に、製造作業の容易性を勘案して、全て同一の構成にして製造される場合がある。ところで、複数の制御装置１００について、マスタ／スレーブの関係が形成される場合、作業者は、主にマスタ制御装置１００Ｍを操作してマスタ制御装置１００Ｍに制御されるプラズマ発生装置１０を動作させると共に、マスタ制御装置１００Ｍを介して各々のスレーブ制御装置１００Ｓを操作してそれぞれのスレーブ制御装置１００Ｓに制御されるプラズマ発生装置１０を動作せることが行われる。

【0027】

従って、複数の制御装置１００について、マスタ／スレーブの関係が形成される場合、全ての制御装置１００が同一の構成を有する必要がなく、特に、制御装置１００において共用可能な共用装置の少なくとも一つ、例えば、入力装置や表示装置等は、マスタ制御装置１００Ｍにのみ別途設けられていれば良い。換言すれば、プラズマ発生装置１０の動作を制御するコンピュータ装置として必要最低限の共通の構成を有するシングルボードコンピュータを用いて制御装置１００を製造する。そして、プラズマ処理システム１を形成する複数の制御装置１００（シングルボードコンピュータ）のうちの１つをマスタ制御装置１００Ｍとした場合、マスタ制御装置１００Ｍに対してのみ共用装置の少なくとも一つを設けることにより、プラズマ処理システム１の全体を統括的に制御することができる。

【0028】

そこで、本実施形態においては、マスタ制御装置１００Ｍは、図３に示すように、シングルボードコンピュータを「マスタ」として機能させるために、通信制御部１１０、指令取得部１２０、指令出力部１３０、及び、情報記憶部１４０を備えている。又、マスタ制御装置１００Ｍには、共用装置Ｃとして、作業者によって操作される入力装置１０１、及び、作業者に対して各種情報を表示する表示装置１０２が接続されている。

【0029】

又、マスタ制御装置１００Ｍには、緊急時に作業者によって操作されて、プラズマ発生装置１０の動作を停止させるための緊急停止装置としての緊急停止ボタン１０３が接続されている。尚、本実施形態においては、緊急停止装置としてボタン操作可能な緊急停止ボタン１０３を例示する。しかし、停止装置としては、ボタン形式に限られず、例えば、スイッチやレバー、或いは、タッチパネル等種々の形式を採用することが可能である。

【0030】

マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０は、接続線Ｌｃを介して、スレーブ制御装置１００Ｓに識別情報ＩであるＩＰアドレスを設定するための第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を出力する。より詳しく、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０は、第一信号Ｆｓ１の信号状態をＨｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態に切り替えてスレーブ制御装置１００Ｓに出力すると共に、第二信号Ｆｓ２の信号状態をＨｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態に切り替えてスレーブ制御装置１００Ｓに出力する。即ち、通信制御部１１０は、後述するように、各々のスレーブ制御装置１００Ｓが設定すべき識別情報ＩであるＩＰアドレスを表すように、第一信号Ｆｓ１の信号状態と第二信号Ｆｓ２の信号状態とを組み合わせる。

【0031】

尚、第一信号Ｆｓ１の信号状態及び第二信号Ｆｓ２の信号状態については、Ｈｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態に限られず、例えば、Ｈｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態の継続時間を変更した状態も含まれる。又、通信制御部１１０は、第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を出力することに加えて、後述するように情報記憶部１４０にＩＰアドレスを表す情報として予め記憶されているテーブルＨを出力することも可能である。

【0032】

これにより、スレーブ制御装置１００Ｓにおいては、受信した（入力した）第一信号Ｆｓ１の信号状態及び第二信号Ｆｓ２の信号状態に基づいて、自身が設定すべきＩＰアドレスを確認し、自身によって確認したＩＰアドレスを設定する。ここで、接続線Ｌｃは、第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を送受信するための信号線Ｌｃｓ（図１にて実線により示す）と、マスタ制御装置１００Ｍに設けられた電源（図示省略）からの電力を供給するための電力線Ｌｃｐ（図１にて破線により示す）とを有する。

【0033】

マスタ制御装置１００Ｍの指令取得部１２０は、例えば、作業者によって入力装置１０１を介して入力されたプラズマ発生装置１０の動作に関する動作指令を表す動作指令情報Ｏｍを取得する。ここで、動作指令情報Ｏｍは、プラズマ発生装置１０の動作に関する動作指令として、プラズマ発生装置１０に設けられた各種センサによって検出された検出値や、動作の設定に関する各種パラメータ等を例示することができる。尚、マスタ制御装置１００Ｍの指令取得部１２０については、直接的に接続された入力装置１０１から入力された動作指令情報Ｏｍに限られず、例えば、別途記憶媒体に予め記憶された動作指令情報Ｏｍ、或いは、ネットワークＮを介して別途装置から供給された動作指令情報Ｏｍを取得することが可能である。

【0034】

又、マスタ制御装置１００Ｍの指令取得部１２０は、例えば、作業者によって緊急停止ボタン１０３が操作された際に、マスタ制御装置１００Ｍによって制御されるプラズマ発生装置１０及びスレーブ制御装置１００Ｓによって制御されるプラズマ発生装置１０、即ち、プラズマ処理システム１の全てのプラズマ発生装置１０の動作を一斉に緊急停止させるための緊急停止情報Ｏｓを取得する。ここで、上述したように、指令情報には、動作しているプラズマ発生装置１０を停止させるオフ信号を含むことができるため、緊急停止情報Ｏｓをオフ信号としたり、緊急停止情報Ｏｓにオフ信号を含ませたりとすることも可能である。尚、後述するように、各々のスレーブ制御装置１００Ｓに緊急停止ボタン１０３が設けられる場合には、各々のプラズマ発生装置１０の動作を個別に停止させることができる。

【0035】

マスタ制御装置１００Ｍの指令出力部１３０は、指令取得部１２０によって取得された動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓを、ネットワークＮを介して、スレーブ制御装置１００Ｓに出力する。ここで、指令情報としての動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓは、図１に示すように、例えば、ＩＰアドレスが記載されるヘッダ及び動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓが記載されるデータフィールドを有するフレームＦとして出力される。つまり、マスタ制御装置１００Ｍの指令出力部１３０から出力される動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓ即ちフレームＦは、スレーブ制御装置１００Ｓを特定した状態でネットワークＮを介して供給される。このため、スレーブ制御装置１００Ｓは、後述するように、自身でＩＰアドレスを設定した後のコンフィグレーション処理により、ネットワークＮに対して通信可能に接続される必要がある。

【0036】

マスタ制御装置１００Ｍの情報記憶部１４０は、スレーブ制御装置１００Ｓが設定すべきＩＰアドレスを表す情報としてテーブルＨ（図５を参照）を予め記憶している。又、情報記憶部１４０は、指令取得部１２０によって取得された動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓを一時的に記憶する。

【0037】

１－３．スレーブ制御装置１００Ｓ
スレーブ制御装置１００Ｓは、図４に示すように、シングルボードコンピュータを「スレーブ」として機能させるために、通信制御部１５０、識別情報設定部１６０、指令取得部１７０、指令出力部１８０、及び、情報記憶部１９０を備えている。尚、本実施形態においては、上述したように、マスタ制御装置１００Ｍにのみ緊急停止ボタン１０３を設ける場合を例示する。しかし、各々のスレーブ制御装置１００Ｓのそれぞれに緊急停止ボタン１０３を設けることも可能である。

【0038】

スレーブ制御装置１００Ｓの通信制御部１５０は、接続線Ｌｃを介して、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０から出力された第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を入力する。即ち、通信制御部１５０は、通信制御部１１０によって信号状態がＨｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態に切り替えられた第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を入力する。そして、通信制御部１５０は、入力した第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を識別情報設定部１６０に出力する。

【0039】

識別情報設定部１６０は、通信制御部１５０が入力した第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の信号状態、換言すれば、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０によって切り替えられた第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の信号状態を判別し、信号状態に対応する識別情報ＩであるＩＰアドレスを設定する。このため、識別情報設定部１６０は、信号状態判別部１６１と、対応判定部１６２とを備えている。

【0040】

信号状態判別部１６１は、通信制御部１５０から取得した第一信号Ｆｓ１の信号状態及び第二信号Ｆｓ２の信号状態を判別する。即ち、信号状態判別部１６１は、第一信号Ｆｓ１の信号状態がＨｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態であるかを判別すると共に、第二信号Ｆｓ２の信号状態がＨｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態であるかを判別する。尚、信号状態判別部１６１は、第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の信号状態として、Ｈｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態を判別することに代えて又は加えて、例えば、Ｈｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態の継続時間を判別したり、所定時間内におけるＨｉｇｈ状態及びＬｏｗ状態の繰り返し回数等を判別したりすることができる。そして、信号状態判別部１６１は、判別した第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の信号状態を対応判定部１６２に出力する。

【0041】

対応判定部１６２は、信号状態判別部１６１によって判別された第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の信号状態に対応する識別情報ＩであるＩＰアドレスを判定する。対応判定部１６２は、例えば、情報記憶部１９０に予め記憶されている、或いは、マスタ制御装置１００Ｍから供給された図５に示すテーブルＨを参照し、テーブルＨに表された第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の信号状態に対応するＩＰアドレスを決定する。そして、対応判定部１６２は、決定したＩＰアドレスを、スレーブ制御装置１００Ｓ自身のＩＰアドレスとして設定する。これにより、第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を入力したスレーブ制御装置１００Ｓにおいては、自身により、ネットワークＮにおいて識別されるＩＰアドレスを設定する。

【0042】

スレーブ制御装置１００Ｓの指令取得部１７０は、マスタ制御装置１００Ｍの指令出力部１３０からネットワークＮを介して出力された動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓを取得する。尚、指令取得部１７０は、動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓが記載されてネットワークＮ上に供給されたフレームＦにおけるヘッダを参照し、自身のスレーブ制御装置１００Ｓ宛てに供給されたフレームＦ即ち指令情報としての動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓを取得する。

【0043】

スレーブ制御装置１００Ｓの指令出力部１８０は、例えば、自身が制御しているプラズマ発生装置１０の動作状態やプラズマガスを照射したワークＷの改質処理の程度、工程の下流側におけるワークＷに対する追加処理等の動作指令情報Ｏｍを、マスタ制御装置１００Ｍや他のスレーブ制御装置１００Ｓに出力する。或いは、スレーブ制御装置１００Ｓに緊急停止ボタン１０３が設けられている場合において、緊急停止ボタン１０３が操作された際、マスタ制御装置１００Ｍ及び他のスレーブ制御装置１００Ｓに緊急停止情報Ｏｓを出力する。尚、スレーブ制御装置１００Ｓの指令出力部１８０については、必要に応じて、省略することが可能である。

【0044】

スレーブ制御装置１００Ｓの情報記憶部１９０は、例えば、マスタ制御装置１００Ｍと接続線Ｌｃを介して直接的に接続された際に供給された、或いは、予め与えられている図５に示すテーブルＨを記憶する。又、情報記憶部１９０は、指令取得部１７０によって取得された動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓを一時的に記憶する。尚、スレーブ制御装置１００Ｓの情報記憶部１９０についても、必要に応じて、省略することが可能である。

【0045】

１－４．スレーブ制御装置１００Ｓ自身によるＩＰアドレスの設定（プラズマ処理システムの情報設定方法）
上述したように、プラズマ処理システム１を形成する複数の制御装置１００については、１つの制御装置１００をマスタ制御装置１００Ｍとして設定し、他の制御装置１００をスレーブ制御装置１００Ｓとして設定する、マスタ／スレーブの関係が形成される。そして、マスタ制御装置１００Ｍ及び複数のスレーブ制御装置１００Ｓは、ネットワークＮに接続され、特に、マスタ制御装置１００Ｍから出力される自身宛てのフレームＦ（動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓ）をスレーブ制御装置１００Ｓが取得する。

【0046】

ここで、本実施形態においては、ネットワークＮとして、例えば、イーサネット（登録商標）に準拠した通信方式を用いた通信により各種の情報伝送を行う産業用イーサネットを適用した場合を例示する。この場合、マスタ制御装置１００Ｍ（指令出力部１３０）は、ネットワークＮを介して、各々のスレーブ制御装置１００Ｓ（指令取得部１７０）と定周期で通信を行う。尚、ネットワークＮにおける通信は、マスタ制御装置１００Ｍの指令出力部１３０から送信されたフレームＦが全てのスレーブ制御装置１００Ｓを通過すると共に、フレームＦが再び全てのスレーブ制御装置１００Ｓを通過してマスタ制御装置１００Ｍに戻される処理を一周期とする。

【0047】

このように、ネットワークＮにおいて通信を行うためには、マスタ制御装置１００Ｍを含め、各々のスレーブ制御装置１００Ｓは、ネットワークＮ上にて自身を識別するためのＩＰアドレスを設定する必要がある。そこで、プラズマ処理システム１において予め指定されているマスタ制御装置１００Ｍを除き、ネットワークＮにおいて通信を行うスレーブ制御装置１００Ｓは自身でＩＰアドレスを設定する。以下、このＩＰアドレスを設定する情報設定方法について説明する。

【0048】

例えば、ネットワークＮが構築される前、或いは、構築されたネットワークＮに新たなに参加する際には、ＩＰアドレスによって各々の制御装置１００が識別される必要がある。このため、マスタ制御装置１００Ｍは、接続線Ｌｃの信号線Ｌｃｓを介して制御装置１００即ちスレーブ制御装置１００Ｓが接続された場合、通信制御部１１０が第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を接続されたスレーブ制御装置１００Ｓに出力する（第一工程）。この場合、通信制御部１１０は、過去に設定がなされていないＩＰアドレスに対応するように、第一信号Ｆｓ１の信号状態及び第二信号Ｆｓ２の信号状態を切り替える。尚、通信制御部１１０は、例えば、接続線Ｌｃに接続された後（例えば、電力線Ｌｃｐを介して電力の供給が開始された後）に、接続されたスレーブ制御装置１００Ｓに第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を出力する。

【0049】

スレーブ制御装置１００Ｓにおいては、通信制御部１５０がマスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０から出力された第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を取得し、識別情報設定部１６０に出力する。そして、上述したように、識別情報設定部１６０は、信号状態判別部１６１が通信制御部１５０から供給された第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の各々の信号状態を判別し、対応判定部１６２が信号状態判別部１６１によって判別された信号状態についてテーブルＨを参照して各々の信号状態に対応するＩＰアドレスを決定する（第二工程）。

【0050】

具体的に、プラズマ処理システム１において、１つのマスタ制御装置１００Ｍが設定されると共に、３つのスレーブ制御装置１００Ｓが設けられる場合を想定して説明する。この場合、マスタ制御装置１００Ｍについては、例えば、「１９２．１６８．１．１」となるＩＰアドレスが予め割り当てられているとする。従って、この場合、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０は、接続線Ｌｃの信号線Ｌｃｓを介してスレーブ制御装置１００Ｓが接続された際には、「１９２．１６８．１．１」以外のＩＰアドレスを割り当てる。

【0051】

例えば、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０は、１つ目のスレーブ制御装置１００Ｓに「１９２．１６８．１．２」となるＩＰアドレスを設定させる。この場合、通信制御部１１０は、信号線Ｌｃｓを介して、第一信号Ｆｓ１をＨｉｇｈ状態として供給すると共に、第二信号Ｆｓ２をＬｏｗ状態として供給する（第一工程）。

【0052】

スレーブ制御装置１００Ｓの通信制御部１５０は、信号線Ｌｃｓを介して、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０から供給された、Ｈｉｇｈ状態の第一信号Ｆｓ１及びＬｏｗ状態の第二信号Ｆｓ２を入力する。そして、１つ目のスレーブ制御装置１００Ｓの識別情報設定部１６０は、図５に示すように、例えば、情報記憶部１９０に予め記憶しているテーブルＨを参照する。これにより、１つ目のスレーブ制御装置１００Ｓ（より詳しくは、識別情報設定部１６０の対応判定部１６２）は、第一信号Ｆｓ１がＨｉｇｈ状態且つ第二信号Ｆｓ２がＬｏｗ状態に対応する「１９２．１６８．１．２」を、ネットワークＮ上において自身を識別するＩＰアドレスとして決定して設定する（第二工程）。

【0053】

又、例えば、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０は、２つ目のスレーブ制御装置１００Ｓに「１９２．１６８．１．３」となるＩＰアドレスを設定させる。この場合、通信制御部１１０は、信号線Ｌｃｓを介して、第一信号Ｆｓ１をＬｏｗ状態として供給すると共に、第二信号Ｆｓ２をＨｉｇｈ状態として供給する（第一工程）。

【0054】

２つ目のスレーブ制御装置１００Ｓの通信制御部１５０は、信号線Ｌｃｓを介して、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０から供給された、Ｌｏｗ状態の第一信号Ｆｓ１及びＨｉｇｈ状態の第二信号Ｆｓ２を入力する。そして、２つ目のスレーブ制御装置１００Ｓ（より詳しくは、識別情報設定部１６０の対応判定部１６２）は、テーブルＨを参照し、第一信号Ｆｓ１がＬｏｗ状態且つ第二信号Ｆｓ２がＨｉｇｈ状態に対応する「１９２．１６８．１．３」を、ネットワークＮ上において自身を識別するＩＰアドレスとして決定して設定する（第二工程）。

【0055】

更に、例えば、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０は、３つ目のスレーブ制御装置１００Ｓに「１９２．１６８．１．４」となるＩＰアドレスを設定させる。この場合、通信制御部１１０は、信号線Ｌｃｓを介して、第一信号Ｆｓ１をＬｏｗ状態として供給すると共に、第二信号Ｆｓ２をＬｏｗ状態として供給する（第一工程）。

【0056】

３つ目のスレーブ制御装置１００Ｓの通信制御部１５０は、信号線Ｌｃｓを介して、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０から供給された、Ｌｏｗ状態の第一信号Ｆｓ１及びＬｏｗ状態の第二信号Ｆｓ２を入力する。そして、３つ目のスレーブ制御装置１００Ｓ（より詳しくは、識別情報設定部１６０の対応判定部１６２）は、テーブルＨを参照し、第一信号Ｆｓ１がＬｏｗ状態且つ第二信号Ｆｓ２がＬｏｗ状態に対応する「１９２．１６８．１．４」を、ネットワークＮ上において自身を識別するＩＰアドレスとして決定して設定する（第二工程）。

【0057】

このように、プラズマ処理システム１を形成する複数のスレーブ制御装置１００Ｓは、接続線Ｌｃを介してマスタ制御装置１００Ｍに接続されると、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０から出力された第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を入力することができる。そして、第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を入力したスレーブ制御装置１００Ｓは、第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の各々の信号状態を判別し、自身により、ネットワークＮ上で識別するための識別情報ＩとしてのＩＰアドレスを自動的に設定することができる。そして、このように、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００ＳがＩＰアドレスを設定することにより、ネットワークＮを介した通信により、動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓを取得することができる。

【0058】

１－５．ネットワークＮを介した動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓ（フレームＦ）の通信
上述したように、マスタ制御装置１００Ｍは、上述したように、識別情報ＩとしてのＩＰアドレスを設定した複数のスレーブ制御装置１００Ｓとの通信において、フレームＦを送受信する。このようなフレームＦを用いた通信を行うネットワークＮにおいて、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０は、指令出力部１３０と協働して、フレームＦの送受信可能となるようにコンフィグレーション処理の実行を各々のスレーブ制御装置１００Ｓに指令する。コンフィグレーション処理の実行により、スレーブ制御装置１００Ｓは、動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓが記載されるデータフィールドのうち自己に割り当てられたデータ区画を割り当てられる。

【0059】

ここで、コンフィグレーション処理は、通常は、各々のスレーブ制御装置１００Ｓが通信可能に接続されて、即ち、ＩＰアドレスを設定してネットワークＮが構築された場合に実行される。その他に、コンフィグレーション処理は、ネットワークＮへの加入要求をするスレーブ制御装置１００Ｓが検出された場合（例えば、電源がオンされた場合）や、一部のスレーブ制御装置１００ＳがネットワークＮから除外された場合（例えば、電源がオフされた場合）等に、必要に応じて実行される。

【0060】

ところで、各々の制御装置１００（マスタ制御装置１００Ｍ及び各々のスレーブ制御装置１００Ｓ）は、入力された動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓに基づいて、制御するプラズマ発生装置１０のプラズマ発生処理における制御内容等を決定する。これにより、各々の制御装置１００は、例えば、プラズマヘッド１１にプラズマガスを照射するように指令したり、産業用ロボット１６に制御プログラムに応じてプラズマガスの照射範囲内にてプラズマヘッド１１を移動するように指令したり、或いは、プラズマ発生装置１０の動作を停止するように指令したりする。このため、プラズマ発生装置１０の動作中においては、各々の制御装置１００が取得した動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓを反映させた動作が必要となり、通信にリアルタイム性が要求される。

【0061】

ここで、ネットワークＮにおける複数の制御装置１００（マスタ制御装置１００Ｍ及び各々のスレーブ制御装置１００Ｓ）は、アクティブ状態とパッシブ状態とを切り換え可能に構成される。ここで、制御装置１００の「アクティブ状態」とは、受信したフレームＦの通過を許容し、且つフレームＦへの書き込みを許容された状態をいう。つまり、アクティブ状態の制御装置１００は、フレームＦを通過させる際に、フレームＦにおけるデータフィールドのうち自己に割り当てられたデータ区画にデータを書き込みすることを許容される。

【0062】

又、制御装置１００の「パッシブ状態」とは、ネットワークＮに加入した状態であり、且つ受信したフレームＦの通過を許容しつつフレームＦへの書き込みを禁止された状態をいう。つまり、パッシブ状態の制御装置１００は、自己のデータ区画に対して書き込みを行わない。但し、パッシブ状態の制御装置１００は、アクティブ状態の制御装置１００と同様にデータの読み取りについては禁止されていない。従って、パッシブ状態の制御装置１００は、通過させたフレームＦにおけるデータフィールドのうち自己又は他の制御装置１００に割り当てられたデータ区画のデータを読み取ることは許容される。

【0063】

上述のように、コンフィグレーション処理が行われ、ネットワークＮにおいてアクティブ状態（又は、パッシブ状態）とされた場合、マスタ制御装置１００Ｍは、ネットワークＮを介して、スレーブ制御装置１００Ｓに動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓが記載されたフレームＦを送信することができる。つまり、マスタ制御装置１００Ｍは、各々のスレーブ制御装置１００Ｓを指定、即ち、フレームＦのヘッダに対象となるスレーブ制御装置１００Ｓに割り当てられたＩＰアドレスを記載して、フレームＦを送信する。これにより、対象となるスレーブ制御装置１００Ｓは、自身に宛てて送信されたフレームＦを取得し、動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓに従ってプラズマ発生装置１０の動作を制御する。

【0064】

特に、作業者によってマスタ制御装置１００Ｍに設けられた緊急停止ボタン１０３が操作された際に、マスタ制御装置１００Ｍは、ネットワークＮを介して、リアルタイムに個々のスレーブ制御装置１００Ｓ又は全てのスレーブ制御装置１００Ｓに緊急停止情報Ｏｓを送信することができる。従って、例えば、複数のプラズマ発生装置１０によって形成されるプラズマ処理システム１において異常等が発生した場合には、作業者は、一部のプラズマ発生装置１０又は全てのプラズマ発生装置１０の動作を緊急停止することができる。

【0065】

尚、上述したように、各々のスレーブ制御装置１００Ｓにおいて、それぞれのスレーブ制御装置１００Ｓが緊急停止ボタン１０３を備えることができる。この場合には、例えば、プラズマ発生装置１０において異常が発生すると、異常の発生したプラズマ発生装置１０に対応する緊急停止ボタン１０３が操作される。これにより、作業者は、異常の発生したプラズマ発生装置１０の動作を個々に緊急停止することができる。つまり、この場合には、ネットワークＮを介してマスタ装置Ｍｍから出力される緊急停止情報Ｏｓに依らずに、異常の発生したプラズマ発生装置１０の動作を個別に緊急停止することができる。

【0066】

ここで、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓの各々は、動作指令情報Ｏｍ（指令情報又は指令情報に含まれる緊急停止情報Ｏｓ）に含まれるオフ信号に応じて、電源装置１２によってプラズマ発生装置１０のプラズマヘッド１１に供給される電力を遮断することができる。そして、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓの各々は、動作指令情報Ｏｍ（指令情報又は指令情報に含まれる緊急停止情報Ｏｓ）に含まれるオフ信号に応じて、電力の供給を遮断してから予め設定された所定時間の経過後に、ガス供給装置１３からプラズマ発生装置１０のプラズマヘッド１１に供給されてプラズマヘッド１１にてプラズマ化されるプロセスガスを遮断することができる。

【0067】

これにより、例えば、電力の供給を遮断して動作しているプラズマ発生装置１０を停止させる場合、電力の供給が遮断された後に所定時間が経過するまではプロセスガスの供給を継続することができる。従って、例えば、所定時間が経過するまでに、或いは、所定時間が経過した後であっても、プラズマ発生装置１０の動作を再開させる場合には効率的にプラズマガスを生成させることができる。

【0068】

又、マスタ制御装置１００Ｍ及びスレーブ制御装置１００Ｓの各々は、動作指令情報Ｏｍ（指令情報）に含まれるオン信号に応じて、プラズマ発生装置１０を暖機運転させることができる。例えば、プラズマ発生装置１０の動作開始直後においてはプロセスガスのプラズマ化処理が不安定になる可能性が高く、その結果、プラズマガスの生成が不安定になる可能性がある。このため、暖機運転を行わない場合には、通常、プラズマ発生装置１０の動作開始直後にはプラズマガスの被処理物への照射を行わない。これに対して、プラズマ発生装置１０を暖機運転させた場合には、暖機運転によってプラズマ化処理を安定させることができ、プラズマガスを安定して生成することができる。このため、プラズマ発生装置１０を暖機運転させた場合には、被処理物に安定して生成されたプラズマガスを速やかに照射することができる。

【0069】

以上の説明からも理解できるように、プラズマ処理システム１は、プラズマガスを生成して照射するプラズマヘッド１１を有する複数のプラズマ発生装置１０と、各々のプラズマ発生装置１０の動作を制御する複数の制御装置１００と、を備え、複数の制御装置１００のうちの少なくとも一つがマスタ制御装置１００Ｍ、且つ、マスタ制御装置１００Ｍ以外の制御装置１００がスレーブ制御装置１００Ｓであり、ネットワークＮを介してマスタ制御装置１００Ｍからのプラズマ発生装置１０の動作に関する動作指令情報Ｏｍを含む指令情報を記載したフレームＦがスレーブ制御装置１００Ｓに出力されることによって複数のプラズマ発生装置１０の各々が動作可能とされており、マスタ制御装置１００Ｍのみが制御装置１００の間で共用可能な共用装置Ｃを有する。

【0070】

これによれば、マスタ制御装置１００Ｍのみが、プラズマ発生装置１０を動作させる際に作業者によって利用される入力装置１０１や表示装置１０２等の共用装置Ｃを備えることができる。換言すれば、スレーブ制御装置１００Ｓには、プラズマ発生装置１０を動作させる際に作業者による利用頻度の低い共用装置Ｃは設けられない。従って、マスタ／スレーブの関係を形成する制御装置１００のうち、スレーブ制御装置１００Ｓの簡素化が可能であり、制御装置１００、ひいては、プラズマ処理システム１の製造コストを低減することができる。

【0071】

又、制御装置１００は、必要最低限の構成を有するシングルボードコンピュータを用いて形成することができる。これにより、プラズマ発生装置１０を動作させる際に不要な部品を設ける必要がなく、従って、制御装置１００の簡素化が可能であり、製造コストを低減することができる。

【0072】

又、マスタ制御装置１００Ｍに共用装置Ｃに含まれる緊急停止ボタン１０３を設け、緊急停止ボタン１０３が操作された際に、マスタ制御装置１００ＭがネットワークＮを介してスレーブ制御装置１００Ｓに緊急停止情報Ｏｓを出力することができる。これにより、例えば、プラズマ処理システム１を形成する複数のプラズマ発生装置１０において何らかの異常が発生した場合であっても、プラズマ発生装置１０を一斉に停止させることができる。

【0073】

ここで、スレーブ制御装置１００Ｓにも、必要に応じて、緊急停止ボタン１０３を設けることも可能である。この場合には、例えば、異常の発生したプラズマ発生装置１０のみの動作を停止させることができる。これにより、例えば、プラズマ処理システム１全体の生産への影響を小さく抑えることができる。

【0074】

２．変形例
上述した実施形態においては、スレーブ制御装置１００Ｓは、ネットワークＮを介してマスタ制御装置１００Ｍから供給されるフレームＦに記載された動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓに従って、プラズマ発生装置１０の動作を制御するようにした。しかしながら、例えば、スレーブ制御装置１００Ｓは、プラズマ発生装置１０に設けられた各種センサによる検出値に基づいて、或いは、ネットワークＮを介して他のスレーブ制御装置１００Ｓから取得した指令情報に基づいて、プラズマ発生装置１０の動作を制御するようにしても良い。即ち、この場合には、各々のスレーブ制御装置１００Ｓは、独自のコマンド等に従って、プラズマ発生装置１０の動作を制御することができる。この場合においても、常に共用装置Ｃを設けておく必要がなく、上述した実施形態と同様の効果が期待できる。

【0075】

又、上述した実施形態においては、プラズマ処理システム１が３つのスレーブ制御装置１００Ｓを有する場合を例示した。しかしながら、スレーブ制御装置１００Ｓの数については、これに限られず、２つ以下、又は、４つ以上設けることが可能であることは言うまでもない。ここで、スレーブ制御装置１００Ｓが４つ以上となる場合には、マスタ制御装置１００Ｍの通信制御部１１０は、出力する第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の信号状態として、例えば、Ｈｉｇｈ状態又はＬｏｗ状態の継続時間を異ならせたり、Ｈｉｇｈ状態とＬｏｗ状態の切替パターンを異ならせたりする。

【0076】

これにより、第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２の信号状態に対応してネットワークＮ上において識別可能な識別情報ＩであるＩＰアドレスの数を増やすことができる。従って、例えば、第一信号Ｆｓ１及び第二信号Ｆｓ２を受信した４番目以降のスレーブ制御装置１００Ｓは、上述した実施形態と同様に、自身でＩＰアドレスを決定して設定することができる。

【0077】

更に、上述した実施形態においては、ネットワークＮを介して、マスタ制御装置１００Ｍからスレーブ制御装置１００Ｓに対して動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓが供給される場合を例示した。しかしながら、例えば、プラズマ処理システム１の稼働に伴って状況変化等が生じた場合、図４にて二点鎖線により示すように、スレーブ制御装置１００Ｓの指令出力部１８０が、生じた状況変化等を動作指令情報Ｏｍ及び緊急停止情報Ｏｓとして、マスタ制御装置１００Ｍや他のスレーブ制御装置１００Ｓに出力することも可能である。

【符号の説明】

【0078】

１…プラズマ処理システム、１０…プラズマ発生装置、１１…プラズマヘッド、１２…電源装置、１３…ガス供給装置、１４…電源ケーブル、１５…ガス配管、１６…産業用ロボット、１６Ａ，１６Ｂ…ロボットアーム、１００…制御装置、１００Ｍ…マスタ制御装置、１００Ｓ…スレーブ制御装置、１０１…入力装置、１０２…表示装置、１０３…緊急停止ボタン、１１０…通信制御部、１２０…指令取得部、１３０…指令出力部、１４０…情報記憶部、１５０…通信制御部、１６０…識別情報設定部、１６１…信号状態判別部、１６２…対応判定部、１７０…指令取得部、１８０…指令出力部、１９０…情報記憶部、Ｃ…共用装置、Ｉｔ…通信インターフェース（情報送受信部）、Ｉｓ…信号インターフェース（信号送受信部）、Ｉｃ…接続インターフェース（共用装置接続部）、Ｆｓ１…第一信号、Ｆｓ２…第二信号、Ｎ…ネットワーク、Ｈ…テーブル、Ｉ…識別情報、Ｌｃ…接続線、Ｌｃｓ…信号線、Ｌｃｐ…電力線、Ｆ…フレーム（指令情報）、Ｏｍ…動作指令情報、Ｏｓ…緊急停止情報、Ｗ…ワーク、Ｄ…ワーク台

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】