特開 2024-37648 除電システム、制御装置、管理方法および管理プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024037648

(43)【公開日】2024-03-19

(54)【発明の名称】除電システム、制御装置、管理方法および管理プログラム

(51)【国際特許分類】

   H05F 3/04 20060101AFI20240312BHJP

   H01T 19/00 20060101ALI20240312BHJP

   H01T 23/00 20060101ALI20240312BHJP

【ＦＩ】

H05F3/04 A

H01T19/00

H01T23/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】18

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022177305

(22)【出願日】2022-11-04

(31)【優先権主張番号】P 2022142586

(32)【優先日】2022-09-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000129253

【氏名又は名称】株式会社キーエンス

(74)【代理人】

【識別番号】100108523

【弁理士】

【氏名又は名称】中川 雅博

(74)【代理人】

【識別番号】100187931

【弁理士】

【氏名又は名称】澤村 英幸

(72)【発明者】

【氏名】大上 由里

【テーマコード（参考）】

5G067

【Ｆターム（参考）】

5G067AA21

5G067DA01

5G067DA21

5G067DA22

5G067EA01

(57)【要約】

【課題】除電器の除電性能を容易にかつ高い信頼性で記録することが可能な除電システム、制御装置、管理方法および管理プログラムを提供する。
【解決手段】除電システム１は、イオンを放出して対象物を除電する除電器２００と、制御装置３００とを備える。また、除電システム１は、イオン発生部、測定値取得部３５１およびレポート出力部３５７を含む。イオン発生部は、イオンを発生させる。測定値取得部３５１は、イオン量の測定値を取得する。レポート出力部３５７は、測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

イオンを放出して対象物を除電する除電器と、制御装置とを備える除電システムであって、
前記イオンを発生させるイオン発生部と、
イオン量の測定値を取得する測定値取得部と、
前記測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力するレポート出力部とを備える、除電システム。

【請求項2】

前記基準状態におけるイオン量の値に対する前記測定値の比を前記除電情報として算出する算出部をさらに備える、請求項１記載の除電システム。

【請求項3】

前記基準状態におけるイオン量の値を記憶する記憶部をさらに備え、
前記算出部は、前記記憶部に記憶されたイオン量の値に基づいて前記除電情報を算出する、請求項２記載の除電システム。

【請求項4】

前記レポート出力部は、所定の時間間隔で記録される前記除電情報を表示する前記レポートを定期レポートとして出力する、請求項１～３のいずれか一項に記載の除電システム。

【請求項5】

前記レポート出力部は、前記イオン発生部の清掃が行われたときの前記除電情報を表示する前記レポートをクリーンレポートとして出力する、請求項１～３のいずれか一項に記載の除電システム。

【請求項6】

前記クリーンレポートは、前記イオン発生部の清掃が行われたときの前記除電情報を、前記イオン発生部の清掃が行われる前後の前記除電情報と比較可能に表示する、請求項５記載の除電システム。

【請求項7】

前記レポートは、前記測定値が取得された時間帯をさらに表示する、請求項１～３のいずれか一項に記載の除電システム。

【請求項8】

前記除電性能の良否を判定する判定部をさらに備え、
前記レポートは、前記判定部による判定結果をさらに表示する、請求項１～３のいずれか一項に記載の除電システム。

【請求項9】

前記除電情報に付帯する付帯情報を取得する付帯情報取得部をさらに備え、
前記レポートは、前記付帯情報取得部により取得された前記付帯情報をさらに表示する、請求項１～３のいずれか一項に記載の除電システム。

【請求項10】

前記付帯情報は、温度、湿度、イオンバランスおよび前記イオン発生部の駆動パラメータの少なくとも１つを含む、請求項９記載の除電システム。

【請求項11】

前記除電情報に付帯する付帯情報の入力を受け付ける付帯情報受付部をさらに備え、
前記レポートは、前記付帯情報受付部により受け付けられた前記付帯情報をさらに表示する、請求項１～３のいずれか一項に記載の除電システム。

【請求項12】

前記イオン発生部による発生イオン量を測定する測定部をさらに備え、
前記測定値取得部は、前記測定部による前記測定値を取得し、
前記レポートは、前記測定値を前記除電性能として、前記基準状態における発生イオン量の値と対比した前記除電情報を表示する、請求項１～３のいずれか一項に記載の除電システム。

【請求項13】

前記イオン発生部による発生イオンの送り出し量を示す付帯情報を取得する付帯情報取得部をさらに備える、請求項１２記載の除電システム。

【請求項14】

前記イオン発生部による発生イオンの前記対象物への到達有無を示す付帯情報を取得する付帯情報取得部をさらに備える、請求項１２記載の除電システム。

【請求項15】

前記対象物への到達イオン量を測定するセンサをさらに備え、
前記測定値取得部は、前記センサによる前記測定値を取得し、
前記レポートは、前記測定値を前記除電性能として、前記基準状態における到達イオン量の値と対比した前記除電情報を表示する、請求項１～３のいずれか一項に記載の除電システム。

【請求項16】

イオンを放出して対象物を除電する除電器と通信可能な制御装置であって、
イオン量を測定した測定値を取得する測定値取得部と、
前記測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力するレポート出力部とを備える、制御装置。

【請求項17】

イオンを放出して対象物を除電する除電器と通信可能な制御装置で実行される管理方法あって、
イオン量を測定した測定値を取得する測定値取得ステップと、
前記測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力するレポート出力ステップと、を制御装置に実行させる管理方法。

【請求項18】

イオンを放出して対象物を除電する除電器と通信可能なコンピュータで実行される管理プログラムあって、
イオン量を測定した測定値を取得する測定値取得ステップと、
前記測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力するレポート出力ステップと、を管理コンピュータに実行させる管理プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、除電対象物を除電する除電システム、制御装置、管理方法および管理プログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスまたは液晶表示装置等の製造ラインにおいて、製造に用いられる各部品が帯電していると、当該部品に異物が付着することにより製品の歩留まりが低下する可能性がある。各部品が帯電することに起因する歩留まりの低下を抑制するために、除電器が用いられる。

【0003】

特許文献１に記載された除電装置（除電器）においては、正イオンおよび負イオンを含むエアが、ノズルから被除電物に向けて噴射される。また、除電装置においては、被除電物の周囲のイオンバランスが測定される。測定結果に基づいて、ノズルから被除電物に供給される正イオンの量および負イオンの量が調整される。これにより、被除電物に蓄積された電荷が除去される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００７－２５８１０８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

除電器の経時的な性能の変化を把握するため、各種規格に従って、定期的に除電性能を示すパラメータの測定および記録が行われることがある。除電性能を示すパラメータは、一般にイオンバランスおよび除電時間であり、除電時間はチャージプレートモニタにより測定することが可能である。しかしながら、チャージプレートモニタを用いて除電時間を測定するためには、製造ラインの稼働を停止させる必要がある。また、除電時間の測定および記録を頻繁に行うと、使用者の負担が増加する。さらに、記録の改ざんを行うことは比較的容易であるため、作成された記録の信頼性は高いとは限らない。

【0006】

本発明の目的は、除電器の除電性能を容易にかつ高い信頼性で記録することが可能な除電システム、制御装置、管理方法および管理プログラムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一局面に従う除電システムは、イオンを放出して対象物を除電する除電器と、制御装置とを備える除電システムであって、前記イオンを発生させるイオン発生部と、イオン量の測定値を取得する測定値取得部と、前記測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力するレポート出力部とを備える。

【0008】

本発明の他の局面に従う制御装置は、イオンを放出して対象物を除電する除電器と通信可能な制御装置であって、イオン量を測定した測定値を取得する測定値取得部と、前記測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力するレポート出力部とを備える。

【0009】

本発明のさらに他の局面に従う管理方法は、イオンを放出して対象物を除電する除電器と通信可能な制御装置で実行される管理方法あって、イオン量を測定した測定値を取得する測定値取得ステップと、前記測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力するレポート出力ステップと、を制御装置に実行させる。

【0010】

本発明のさらに他の局面に管理プログラムは、イオンを放出して対象物を除電する除電器と通信可能なコンピュータで実行される管理プログラムあって、イオン量を測定した測定値を取得する測定値取得ステップと、前記測定値を除電性能として、基準状態におけるイオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートを出力するレポート出力ステップと、を管理コンピュータに実行させる。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、除電器の除電性能を容易にかつ高い信頼性で記録することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施の形態に係る除電システムの構成の概略および使用例を説明するための図である。

【図2】帯電検出システムの簡易的な構成を示すブロック図である。

【図3】図１のイオンバランスセンサの基本構成を説明するための除電システムのブロック図である。

【図4】図１の除電器の基本構成を説明するための除電システムのブロック図である。

【図5】図４の除電器の構成を示すブロック図である。

【図6】図１の除電器の基本構成を説明するための除電システムのブロック図である。

【図7】出力されたレポートの一例を示す図である。

【図8】定期レポート情報およびクリーンレポート情報が記録されるタイミングを説明するための図である。

【図9】除電システムにより実行されるレポート出力処理のアルゴリズムの一例を示すフローチャートである。

【図10】除電システムにより実行されるレポート出力処理のアルゴリズムの一例を示すフローチャートである。

【図11】他の実施において除電器により実行されるレポート出力処理のアルゴリズムの一例を示すフローチャートである。

【図12】他の実施において除電器により実行されるレポート出力処理のアルゴリズムの一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0013】

１．除電システムの構成の概略および使用例
以下、本発明の一実施の形態に係る除電システム、制御装置、管理方法および管理プログラムについて、図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係る除電システムの構成の概略および使用例を説明するための図である。図１に示すように、本実施の形態に係る除電システム１は、主としてイオンバランスセンサ１００、除電器２００および制御装置３００を備える。除電システム１は、帯電検出システム４００をさらに備えてもよい。

【0014】

除電器２００は、除電器筐体１１を含み、その除電器筐体１１内に、正イオンおよび負イオンを発生させるための各種高圧回路等が収容された構成を有する。除電器筐体１１には、送風口１２が形成されている。除電器筐体１１には、後述するファン２０１の前方を覆うようにカバー１３が取り付けられてもよい。この場合、送風口１２は、カバー１３に形成される。また、除電器筐体１１には、カバー１３の取付部にカバー１３が取り付けられていることを検出するカバー検出センサが設けられてもよい。

【0015】

除電器２００は、除電器筐体１１内で発生した正イオンおよび負イオンを送風口１２を通して除電器２００の外方に送り出す。図１では、除電器筐体１１の送風口１２から、除電器２００の外方に流れる除電気体（本例では、正イオンおよび負イオンを含むエア）の流れが、複数の太い一点鎖線の矢印ｉｆで示される。カバー１３は、除電気体の拡散角を調整するルーバとして機能する。また、除電器筐体１１には、除電気体の拡散角が異なる複数種類のカバー１３を取り付け可能であってもよい。この場合、除電器筐体１１に取り付けられたカバー１３の種類は、カバー検出センサにより特定される。

【0016】

以下の説明では、除電器２００から送り出される除電気体が供給されるべき空間、すなわち対象物９の除電が行われるべき除電対象空間を対象空間と呼ぶ。図１の例では、除電器２００は、除電気体がベルトコンベア２の一部を含む対象空間３を流れるように、図示しない設置面上に設けられている。この場合、ベルトコンベア２が動作することにより複数の対象物９がベルトコンベア２の方向（図１の太い二点鎖線の矢印参照）に移動すると、各対象物９は対象空間３の通過時に除電気体により除電される。

【0017】

複数のベルトコンベア２が準備され、各ベルトコンベア２により複数の対象物９が順次運搬されることがある。この場合、除電システム１は、複数の除電器２００を備えてもよい。この構成においては、複数の除電器２００により、複数のベルトコンベア２上の対象空間３にそれぞれ除電気体が供給される。これにより、各ベルトコンベア２上の対象空間３において、各対象物９の除電が行われる。

【0018】

対象空間３のイオンバランスに偏りがあると、各対象物９を適切に除電することができない。そこで、対象空間３のイオンバランスを検出するために、対象空間３にイオンバランスセンサ１００が設けられる。本実施の形態においては、対象空間３のイオンバランスとは、対象空間３内の電気的な極性の偏りの度合いである。

【0019】

対象空間３のイオンバランスは、例えば除電器２００から対象空間３に流れる除電気体に含まれる正イオンの量と負イオンの量とが等しいかまたはほぼ等しい場合に０に近づく。一方、対象空間３のイオンバランスは、例えば除電器２００から対象空間３に流れる除電気体に含まれる正イオンの量と負イオンの量とが異なることにより０から乖離する（偏る）。イオンバランスセンサ１００は、導電性の検出プレート１１０Ａを有する。検出プレート１１０Ａの電位に基づいて対象空間３のイオンバランスが検出される。イオンバランスセンサ１００の構造の詳細については後述する。

【0020】

本実施の形態に係るイオンバランスセンサ１００は、対象空間３に設けられることにより、対象空間３のイオンバランスに加えて、対象空間３の環境に関する情報を検出することが可能である。具体的には、イオンバランスセンサ１００は、対象空間３の環境に関する情報として、単位時間当たりに対象空間３を流れるイオンの量（以下、対象空間３のイオン電流と呼ぶ。）を検出することが可能である。さらに、イオンバランスセンサ１００は、対象空間３の環境に関する情報として、対象空間３の温度および湿度を検出することが可能である。

【0021】

イオンバランスセンサ１００は、中継ケーブルＣＡ１を含む。イオンバランスセンサ１００から延びる中継ケーブルＣＡ１の先端部（一端部）は、除電器２００に接続される。イオンバランスセンサ１００において検出される上記の各種情報は、中継ケーブルＣＡ１を通して除電器２００に伝送される。この場合、除電器２００においては、対象空間３のイオンバランスの検出結果に基づいて当該除電器２００における正イオンの発生状態および負イオンの発生状態を調整することができる。それにより、複数の対象物９の除電に適切な除電気体が対象空間３に供給される。

【0022】

ここで、除電器２００の送風口１２が対象空間３からずれた位置に向いていると、除電気体が除電器２００から対象空間３に流れない。この場合、イオン電流は０または０に近い値で検出される。一方、除電器２００の送風口１２が対象空間３に向いていると、除電気体は除電器２００から対象空間３に適切に流れる。この場合、イオン電流は、除電気体に含まれるイオンの量に応じた値で検出される。

【0023】

したがって、除電器２００においては、イオン電流の検出結果に基づいて、除電器２００の位置および姿勢（設置状態）が適切であるか否かを判定することができる。具体的には、イオン電流の値が予め定められたイオン電流しきい値以下である場合に除電器２００の設置状態が適切でないと判定することができる。また、イオン電流の値がイオン電流しきい値よりも大きい場合に除電器２００の設置状態が適切であると判定することができる。このような判定結果が使用者に提示されることにより、使用者は、除電器２００の設置状態の調整の要否を容易に把握することができる。

【0024】

さらに、除電器２００においては、対象空間３の温度および湿度の検出結果をメモリに記憶させておくことにより、複数の対象物９の除電時における対象空間３の環境状態の変化を管理することができる。

【0025】

除電器２００は、中継ケーブルＣＡ２を介して制御装置３００に接続されている。制御装置３００は、例えばパーソナルコンピュータであり、例えばＣＰＵ（中央演算制御装置）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）およびＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）を含む。制御装置３００には、本体表示部３１０および本体操作部３２０が接続されている。本体表示部３１０は、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルにより構成される。操作装置は、キーボードおよびポインティングデバイスを含み、使用者により操作可能に構成される。

【0026】

制御装置３００は、例えば除電器２００についての各種動作条件の設定または除電器２００の動作状態の監視等に用いられる。除電器２００の複数の動作条件には、後述する除電器２００のファン２０１（図４）の回転速度、除電器２００から制御装置３００に出力される各種信号の出力条件、または除電器２００における後述する操作部２６０（図４）の操作を無効にするための条件等が含まれる。制御装置３００は、帯電検出システム４００により検出される帯電量の監視に用いられてもよい。

【0027】

２．帯電検出システムの構成
図２は、帯電検出システム４００の簡易的な構成を示すブロック図である。図２に示すように、帯電検出システム４００は、帯電検出装置４１０、複数の帯電検出装置４２０および通信装置４３０を含む。帯電検出装置４１０、複数の帯電検出装置４２０および通信装置４３０の各々は、ＣＰＵを含むとともに、通信機能を有する。

【0028】

帯電検出装置４１０には、検出ヘッド４１１が接続される。検出ヘッド４１１は、複数のベルトコンベア２のうち、いずれかのベルトコンベア２上の対象空間３よりも下流の空間に配置される。検出ヘッド４１１は、帯電検出装置４１０による制御に従って、検出ヘッド４１１が配置された空間の帯電量を検出する。また、検出ヘッド４１１は、検出された帯電量を帯電検出装置４１０に与える。これにより、帯電検出装置４１０は、検出ヘッド４１１により検出された帯電量を取得する。

【0029】

複数の帯電検出装置４２０には、複数の検出ヘッド４２１がそれぞれ接続される。複数の検出ヘッド４２１は、複数のベルトコンベア２のうち、残りの複数のベルトコンベア２上の対象空間３よりも下流の空間にそれぞれ配置される。各検出ヘッド４２１は、対応する帯電検出装置４２０による制御に従って、当該検出ヘッド４２１が配置された空間の帯電量を検出する。また、各検出ヘッド４２１は、検出された帯電量を対応する帯電検出装置４２０に与える。これにより、各帯電検出装置４２０は、対応する検出ヘッド４２１により検出された帯電量を取得する。

【0030】

帯電検出装置４１０は、各帯電検出装置４２０により取得された帯電量を各帯電検出装置４２０から取得する。通信装置４３０は、帯電検出装置４１０と制御装置３００との間の通信プロトコル変換を行うことにより、帯電検出装置４１０により取得された帯電量を図１の中継ケーブルＣＡ３を通して制御装置３００に送信する。

【0031】

この構成によれば、複数のベルトコンベア２が配置された作業場において、各ベルトコンベア２上の対象空間３で、対応する除電器２００により複数の対象物９の除電が行われる。また、対象空間３の下流に順次運搬される複数の対象物９の帯電量が、検出ヘッド４１１および複数の検出ヘッド４２１のいずれかにより検出される。これにより、各対象物９の除電が適切に行われたか否かを制御装置３００において監視することができる。

【0032】

３．イオンバランスセンサの基本構成
図３は、図１のイオンバランスセンサ１００の基本構成を説明するための除電システム１のブロック図である。図３に示すように、イオンバランスセンサ１００は、検出プレート１１０Ａ、イオン検出回路１１０Ｂ、温度検出素子１２０、湿度検出素子１３０、センサ表示灯１４０、センサ通信部１５０、センサ電源部１６０およびセンサ制御部１９０を含む。

【0033】

検出プレート１１０Ａは、導電性を有する材料（例えば金属材料）で構成され、イオンバランスセンサ１００を取り囲む空間に露出するように設けられる。イオン検出回路１１０Ｂは、検出プレート１１０Ａに接続され、検出プレート１１０Ａの経時的な電位の変化に基づいて、対象空間３のイオンバランスおよびイオン電流に対応する信号を出力する。イオン検出回路１１０Ｂの具体的な構成については後述する。

【0034】

温度検出素子１２０は、当該温度検出素子１２０が配置される空間の温度に対応する信号を出力する素子であり、例えば熱電対または測温抵抗体である。イオンバランスセンサ１００は、温度検出素子１２０が配置される空間とイオンバランスセンサ１００を取り囲む空間とが連通するように構成されるため、温度検出素子１２０は、イオンバランスセンサ１００を取り囲む空間（対象空間３）の温度に対応する信号を出力する。湿度検出素子１３０は、例えば高分子湿度検出素子であり、イオンバランスセンサ１００を取り囲む空間（対象空間３）の湿度に対応する信号を出力する。

【0035】

センサ表示灯１４０は、例えば異なる色で発光する複数の発光ダイオードを含む。センサ通信部１５０は、センサ制御部１９０から出力される各種信号を中継ケーブルＣＡ１を介して除電器２００に送信する。また、センサ通信部１５０は、中継ケーブルＣＡ１を介して除電器２００から送信される各種情報を受信し、センサ制御部１９０に与える。

【0036】

センサ電源部１６０は、中継ケーブルＣＡ１を介して除電器２００から供給される電力を受け、受けた電力を適宜変換してイオンバランスセンサ１００の各構成要素に供給する。

【0037】

センサ制御部１９０は、マイクロコンピュータを含み、各種情報の生成および各構成要素の制御を行う。なお、センサ制御部１９０は、マイクロコンピュータに代えて、ＣＰＵ（中央演算制御装置）およびメモリを含んでもよい。センサ制御部１９０のマイクロコンピュータまたはメモリには、主として対象空間３のイオンバランス、イオン電流、温度および湿度を検出するため、ならびに除電器２００との間で各種情報の授受を行うためのプログラムが記憶されている。センサ制御部１９０においては、マイクロコンピュータまたはＣＰＵが当該センサ制御部１９０に記憶されたプログラムを実行することにより、複数の機能部が実現される。

【0038】

センサ制御部１９０は、複数の機能部として、バランス情報生成部１９１、イオン量情報生成部１９２、温度情報生成部１９３、湿度情報生成部１９４および表示灯制御部１９５を含む。なお、これらの複数の機能部の一部または全ては、電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。

【0039】

バランス情報生成部１９１は、イオン検出回路１１０Ｂから出力される信号に基づいて対象空間３のイオンバランスを検出し、検出結果を示す信号をイオンバランス信号として生成する。換言すれば、バランス情報生成部１９１は、検出プレート１１０Ａの経時的な電位の変化に基づいてイオンバランス信号を生成する。生成されたイオンバランス信号は、センサ制御部１９０から出力される。バランス情報生成部１９１によるイオンバランスの検出方法の具体例については後述する。

【0040】

イオン量情報生成部１９２は、イオン検出回路１１０Ｂから出力される信号に基づいて対象空間３のイオン電流を検出し、検出結果を示す信号をイオン電流信号として生成する。換言すれば、イオン量情報生成部１９２は、検出プレート１１０Ａの経時的な電位の変化に基づいてイオン電流信号を生成する。生成されたイオン電流信号は、センサ制御部１９０から出力される。イオン量情報生成部１９２によるイオン電流の検出方法の具体例については後述する。

【0041】

温度情報生成部１９３は、温度検出素子１２０から出力される信号に基づいて対象空間３の温度を検出し、検出結果を示す信号を温度信号として生成する。生成された温度信号は、センサ制御部１９０から出力される。湿度情報生成部１９４は、湿度検出素子１３０から出力される信号に基づいて対象空間３の湿度を検出し、検出結果を示す信号を湿度信号として生成する。生成された湿度信号は、センサ制御部１９０から出力される。

【0042】

表示灯制御部１９５は、センサ表示灯１４０の発光状態を制御する。表示灯制御部１９５は、例えばイオンバランスセンサ１００において検出されたイオンバランスおよびイオン電流が予め定められた許容条件を満たす場合に、特定の一の色（例えば、緑色）で発光するようにセンサ表示灯１４０を制御する。一方、表示灯制御部１９５は、例えばイオンバランスセンサ１００において検出されたイオンバランスおよびイオン電流が上記の許容条件を満たさない場合に、特定の他の色（例えば、赤色）で発光するようにセンサ表示灯１４０を制御する。

【0043】

４．除電器の基本構成
図４は、図１の除電器２００の基本構成を説明するための除電システム１のブロック図である。図５は、図４の除電器２００の構成を示すブロック図である。図４および図５に示すように、除電器２００は、ファン２０１、ファン駆動部２０２、検知電極２０３、正イオン発生部２１１、正極側高圧回路２１２、負イオン発生部２２１、負極側高圧回路２２２、除電器制御部２３０およびイオン情報生成部２４０を含む。これらの構成要素は、除電器筐体１１内に収容される。

【0044】

図４では、正イオン発生部２１１および負イオン発生部２２１の模式的正面図がそれぞれ吹き出し内に示される。正イオン発生部２１１は、円環状部材２１１ａおよび複数（本例では４つ）の電極針ｅｎ１を含む。複数の電極針ｅｎ１は、円環状部材２１１ａの中心に向かって延びるように、円環状部材２１１ａの内周部に等間隔で設けられている。負イオン発生部２２１は、正イオン発生部２１１と同様に、円環状部材２２１ａおよび複数の電極針ｅｎ２を含む。複数の電極針ｅｎ２は、円環状部材２２１ａの中心に向かって延びるように、円環状部材２２１ａの内周部に等間隔で設けられている。

【0045】

正イオン発生部２１１には、正極側高圧回路２１２が接続されている。正極側高圧回路２１２は、抵抗および昇圧回路を含み、除電器制御部２３０の制御に基づいて正イオン発生部２１１の複数の電極針ｅｎ１に高電圧を印加する。それにより、コロナ放電が発生し、正イオンが生成される。負イオン発生部２２１には、負極側高圧回路２２２が接続されている。負極側高圧回路２２２は、抵抗および昇圧回路を含み、除電器制御部２３０の制御に基づいて負イオン発生部２２１の複数の電極針ｅｎ２に高電圧を印加する。それにより、コロナ放電が発生し、負イオンが生成される。

【0046】

ファン２０１は、図１の除電器筐体１１の内部で、送風口１２に対向するようにかつ所定の回転軸２０１ａの周りで回転可能となるように設けられている。ファン駆動部２０２は、例えばモータを含み、除電器制御部２３０の制御に基づいてファン２０１を回転軸２０１ａの周りで回転させる。

【0047】

ファン２０１、負イオン発生部２２１および正イオン発生部２１１は、この順で図１の送風口１２からファン２０１の回転軸２０１ａの方向に並ぶように配置されている。正イオン発生部２１１および負イオン発生部２２１の円環状部材２１１ａ，２２１ａの中心は、ファン２０１の回転軸２０１ａ上に位置する。

【0048】

正イオン発生部２１１および負イオン発生部２２１においては、正極側高圧回路２１２および負極側高圧回路２２２が動作することにより、正イオンおよび負イオンがそれぞれ生成される。この状態で、ファン２０１が回転する。それにより、正イオンおよび負イオンを含む除電気体が除電器筐体１１の送風口１２を通して除電器２００の外方に流れる。図４では、図１の例と同様に、除電器筐体１１の送風口１２から除電器２００の外方に流れる除電気体の流れが、複数の太い一点鎖線の矢印ｉｆで示される。検知電極２０３は、ファン２０１により送られる除電気体の流路上に配置される。検知電極２０３には、除電気体に起因するイオン電流が流れる。

【0049】

イオン情報生成部２４０は、除電器２００において発生される正イオンおよび負イオンの全体的なイオンバランスをイオン情報として検出する。イオン情報は、除電器制御部２３０が正極側高圧回路２１２または負極側高圧回路２２２を制御するときに用いる情報である。イオン情報は、イオンバランスセンサ１００により検出される対象空間３のイオンバランスとは異なり、除電器２００の送風口１２を流れる除電気体のイオンバランスを含んでもよい。また、イオン情報は、対象空間３および除電器２００を取り囲む空間のイオンバランスを含んでもよい。したがって、イオン情報は、例えばファン２０１の近傍を流れる除電気体のイオンバランスを検出するとともに、対象空間３および除電器２００を取り囲む空間のイオンバランスを検出することにより、それらの検出結果に基づいて生成される。

【0050】

本例では、図５に示すように、イオン情報生成部２４０は、内部イオン電流検出回路２４１および外部イオン電流検出回路２４２を含む。内部イオン電流検出回路２４１は、検知電極２０３に接続されるとともに、除電器筐体１１に接続される。内部イオン電流検出回路２４１は、検知電極２０３を流れるイオン電流と、除電器筐体１１の表面を流れるイオン電流とを内部イオン電流として検出する。外部イオン電流検出回路２４２は、アース電位に維持されたアース電極に接続される。外部イオン電流検出回路２４２は、対象空間３からアースを経由して除電器２００に戻るイオン電流を外部イオン電流として検出する。これらの内部イオン電流および外部イオン電流が検出されることにより、正イオン発生部２１１および正極側高圧回路２１２による発生イオン量が測定される。

【0051】

除電器制御部２３０は、ＣＰＵおよびメモリまたはマイクロコンピュータを含む。除電器制御部２３０は、除電器２００による複数の対象物９の除電時に、予め定められた回転速度でファン２０１が回転するようにファン駆動部２０２を制御する。また、除電器制御部２３０は、イオン情報生成部２４０により生成されるイオン情報に基づいて、除電気体のイオンバランスが０に近づくように正極側高圧回路２１２および負極側高圧回路２２２を制御する。内部イオン電流は短期的なイオンバランスの変化を抑制するために用いられ、外部イオン電流は長期的なイオンバランスの変化を抑制するために用いられる。

【0052】

除電器２００は、上記の各構成要素（２０１，２０２，２１１，２１２，２２１，２２２，２３０，２４０）に加えて、表示部２５０、操作部２６０、除電器記憶部２７０、一時記憶部２７１、除電器通信部２８０および除電器電源部２９０をさらに含む。表示部２５０および操作部２６０は、図１の除電器筐体１１の一部に取り付けられる。除電器記憶部２７０、一時記憶部２７１、除電器通信部２８０および除電器電源部２９０は、図１の除電器筐体１１内に収容される。

【0053】

表示部２５０は、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルにより構成されている。表示部２５０は、図１に示すように、除電器２００の送風口１２の下方の位置で、除電器２００の前方に向いて露出するように除電器筐体１１に設けられている。表示部２５０は、除電器制御部２３０の制御に基づいて除電器２００の各種設定情報および警報等を表示する。

【0054】

操作部２６０は、図１に示すように、複数の操作ボタンを含み、表示部２５０に隣り合うように除電器筐体１１に設けられている。使用者は、操作部２６０を操作することにより、除電器２００についての各種設定を行うこと、またはイオンバランスセンサ１００によるイオンバランスの検出結果等を表示部２５０に表示させること等が可能である。

【0055】

また、除電器２００には、図示しないブラシを用いて正イオン発生部２１１の複数の電極針ｅｎ１および負イオン発生部２２１の複数の電極針ｅｎ２を清掃するオートクリーン機能が設けられている。使用者は、操作部２６０を操作することにより、オートクリーン機能の実行を除電器２００に指示することができる。あるいは、使用者は、操作部２６０を操作することにより、オートクリーン機能を実行するタイミングを設定することができる。この場合、設定されたタイミングで、オートクリーン機能が実行される。オートクリーン機能が実行された場合、その旨を示す清掃信号が制御装置３００に与えられる。

【0056】

除電器通信部２８０は、中継ケーブルＣＡ１を介してイオンバランスセンサ１００のセンサ通信部１５０（図３）から送信される各種情報の信号を受信し、除電器制御部２３０に与える。また、除電器通信部２８０は、図１の中継ケーブルＣＡ２を介して制御装置３００から送信される各種情報の信号を受信し、除電器制御部２３０に与える。さらに、除電器通信部２８０は、除電器制御部２３０から出力される各種情報の信号を中継ケーブルＣＡ２を介して制御装置３００に送信する。

【0057】

一時記憶部２７１は、揮発性記憶部であり、例えばＲＡＭにより実現される。一時記憶部２７１には、各種情報が一定の時間間隔（本例では０．１秒）で順次記憶される。一時記憶部２７１の全記憶領域に情報が記憶された場合、最先に記憶された情報が削除され、それにより生じた記憶領域に最新の情報が記憶される。これにより、最先の情報が最新の情報に上書きされる。したがって、一時記憶部２７１は、リングバッファとして機能し、リングバッファに一度記憶された情報は、最新の情報により上書きされるまで一定期間保持される。

【0058】

除電器制御部２３０は、除電器通信部２８０がイオンバランスセンサ１００からイオンバランス信号を受信することにより、対象空間３のイオンバランスを時間情報とともに一時記憶部２７１に記憶させる。このとき、除電器制御部２３０は、上記の記憶動作に加えて、対象空間３におけるイオンバランスが０に近づくように、受信したイオンバランス信号に基づいて正極側高圧回路２１２および負極側高圧回路２２２を制御してもよい。

【0059】

また、除電器制御部２３０は、除電器通信部２８０がイオンバランスセンサ１００からイオン電流信号を受信することにより、対象空間３におけるイオン電流を時間情報とともに一時記憶部２７１に記憶させる。このとき、除電器制御部２３０は、上記の記憶動作に加えて、受信したイオン電流の値が上記のイオン電流しきい値以下である場合に除電器２００の設置状態が適切でないことを示すメッセージを表示部２５０に表示させてもよい。

【0060】

さらに、除電器制御部２３０は、除電器通信部２８０がイオンバランスセンサ１００から温度信号および湿度信号を受信することにより、対象空間３の温度および湿度を時間情報とともに一時記憶部２７１に記憶させる。また、除電器制御部２３０は、イオン情報生成部２４０による発生イオンの測定値を一時記憶部２７１に記憶させる。除電器制御部２３０は、ファン２０１の回転速度を時間情報とともに一時記憶部２７１に記憶させてもよい。

【0061】

また、除電の結果は、図１の除電器筐体１１に取り付けられたカバー１３による除電気体の拡散角により異なる。そこで、除電器制御部２３０は、除電時に除電器筐体１１に取り付けられていたカバー１３の種類をカバー検出センサから取得し、取得結果を示す情報を時間情報とともに一時記憶部２７１に記憶させてもよい。さらに、除電器制御部２３０は、外部イオン電流検出回路２４２により検出される外部電流に基づいて対象空間３の帯電量を評価し、評価された帯電量を時間情報とともに一時記憶部２７１に記憶させてもよい。

【0062】

除電器記憶部２７０は、不揮発性記憶部であり、メモリまたはハードディスクで構成される。除電器制御部２３０は、一時記憶部２７１に記憶された各種情報をサンプリングして除電器記憶部２７０に記憶させる。本例では、１時間に１度、特定の時点に一時記憶部２７１に記憶された各種情報のみが除電器記憶部２７０に記憶される。これにより、除電器記憶部２７０に記憶されるデータ量が増大することを抑制しつつ、除電器記憶部２７０に記憶された対象空間３の環境に関する各種情報に基づいて、複数の対象物９の除電状態を管理することが可能になる。

【0063】

また、除電器記憶部２７０には、基準状態における発生イオン量の値が予め記憶されている。基準状態とは、除電性能を評価するための基準となる除電器２００の状態である。基準状態は、例えば、除電器２００の出荷時の状態であってもよい。さらに、除電器記憶部２７０には、後述する除電情報の良否を判定するための除電しきい値が予め記憶されている。除電器記憶部２７０に記憶された各種情報は、制御装置３００に与えられる。

【0064】

除電器電源部２９０は、図示しない電源ケーブルを通して商用電源から供給される電力を受けるとともに、受けた電力の一部を除電器２００に設けられる他の構成要素に供給する。また、除電器電源部２９０は、受けた電力の残りを中継ケーブルＣＡ１を通してイオンバランスセンサ１００のセンサ電源部１６０（図３）に供給する。本例では、除電器２００の電源が投入されることにより、除電器２００が起動し、除電器２００の各構成要素への電力の供給が開始される。また、除電器２００が起動した時点を起点として、経過時間が起算される。

【0065】

５．制御装置の基本構成
図６は、図１の除電器２００の基本構成を説明するための除電システム１のブロック図である。図６に示すように、制御装置３００は、主通信部３３０、主記憶部３４０および主制御部３５０を含む。主通信部３３０は、中継ケーブルＣＡ２を介して除電器２００から送信される各種情報を受信し、主制御部３５０に与える。また、主通信部３３０は、制御装置３００で受け付けられた各種動作条件の設定を中継ケーブルＣＡ２を介して除電器２００に送信する。

【0066】

主記憶部３４０は、例えばハードディスク、ＲＯＭおよびＲＡＭを含む。主制御部３５０は、例えばＣＰＵを含む。主記憶部３４０および主制御部３５０は、マイクロコンピュータにより実現されてもよい。主記憶部３４０には、除電器２００の制御および管理を行うための管理プログラムが記憶されている。管理プログラムは、主記憶部３４０に代えて、コンピュータが読み取り可能なＣＤ（Compact Disc）－ＲＯＭ等の記憶媒体３４１に記憶されていてもよい。あるいは、管理プログラムは、記憶媒体３４１に格納された形態で提供され、主記憶部３４０にインストールされてもよい。

【0067】

主制御部３５０においては、マイクロコンピュータまたはＣＰＵが管理プログラムを実行することにより、複数の機能部が実現される。主制御部３５０は、複数の機能部として、測定値取得部３５１、算出部３５２、判定部３５３、付帯情報取得部３５４、付帯情報受付部３５５、清掃信号取得部３５６およびレポート出力部３５７を含む。なお、これらの複数の機能部の一部または全ては、電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。

【0068】

測定値取得部３５１は、発生イオンの測定値を除電器２００から取得する。一般に、除電器２００の除電性能は除電時間とオフセット電圧とにより規格化されている。オフセット電圧はイオンバランスセンサ１００から取得されるイオンバランスに対応する。除電時間は、規格で規定された電荷量を保持した金属板に対して、除電器２００がイオンを発生させることにより、金属板の電荷を中和するために要する時間を意味する。

【0069】

ここで、除電時間はイオンの発生量が多いほど短い。すなわち、除電時間と発生イオン量とは強い相関関係を有し、具体的には、除電時間は発生イオン量に概ね反比例する。そこで、本例では、除電時間に代えて、測定値取得部３５１により取得された発生イオンの測定値が除電器２００の除電性能を示す値として扱われる。

【0070】

さらに、除電時間とは、単位時間当たりの対象空間３に到達するイオン量である到達イオン量と強い相関関係を有する。除電時間は対象空間３に、電荷量を保持した金属板を配置して計測するため、単位時間当たりで対象空間３に到達するイオン量が多ければ多いほど、金属板の電荷が中和するために要する時間が短くなるためである。使用者が除電器２００を一定の設定で動作させているとき、単位時間当たりで対象空間３に到達するイオン量が維持されることは、電極針ｅｎ１，ｅｎ２による単位時間当たりのイオンの発生量が維持されること、除電器２００が単位時間当たりに除電気体を送り出す量が維持されること、および、除電気体が対象空間３に到達すること、により確認される。除電気体はファン２０１の回転によって送り出されるため、除電器２００の除電気体を送り出す量はファン２０１の回転速度（回転数）が低下すること等により低下する。除電気体が対象空間３に到達しないこと、は、除電器２００と対象空間３との間に遮蔽物が置かれる、除電器２００のファン２０１の送風向きが対象空間３と異なる方向に向けられている、場合に生じる。本実施例では、除電器制御部２３０がファン２０１の回転速度を記憶し、また、イオンバランスセンサ１００が対象空間３へのイオンの到達有無を検出するため、除電器２００が単位時間当たりに除電気体を送り出す量が維持されることと、除電気体が対象空間３に到達することとが確認され得る。

【0071】

なお、本実施例においては、イオンバランスセンサ１００が対象空間３へのイオンの到達を検出するため、対象空間３へのイオンの到達があることとファンの回転速度が維持されていることを前提として、発生イオン量が除電時間に代わる値として扱われるが、イオンバランスセンサ１００が対象空間３へのイオンの到達量である到達イオン量を検出する場合、到達イオン量が除電時間に代わる値として扱われてもよい。

【0072】

算出部３５２は、基準状態における発生イオン量の値を除電器２００から取得する。また、算出部３５２は、測定値取得部３５１により取得された測定値を基準状態における発生イオン量の値で除算する。これにより、基準状態における発生イオン量の値に対する測定値の比が除電情報として算出される。算出される除電情報は、０％～１００％の値を有する。除電情報の値が１００％に近いほど除電性能が高いことが示され、除電情報の値が０％に近いほど除電性能が低いことが示される。

【0073】

判定部３５３は、除電しきい値を除電器２００から取得する。また、判定部３５３は、算出部３５２により算出された除電情報の値を除電しきい値と比較することにより、除電性能の良否を判定する。除電情報の値が除電しきい値よりも大きい場合に、除電性能が良好であると判定することができる。一方、除電情報の値が除電しきい値以下である場合に、除電性能が良好ではないと判定することができる。

【0074】

付帯情報取得部３５４は、除電情報に付帯する付帯情報として、発生イオン量の測定日時、対象空間３の温度、対象空間３の湿度、イオンバランスおよび除電器２００の駆動パラメータの一部または全部を除電器２００から取得する。除電器２００の駆動パラメータは、図４のファン２０１の回転速度、正イオン発生部２１１に印加される電圧または負イオン発生部２２１に印加される電圧を含む。除電情報は、イオンバランスセンサ１００の型番、除電器２００の型番または除電器２００の各種設定をさらに含んでもよい。除電器２００から取得されるこれらの付帯情報は、基本的に除電器記憶部２７０に記憶されている。

【0075】

ファン２０１の回転速度が付帯情報として取得されることにより、除電器２００から送り出される除電気体の量が不変であるか否かを容易に判断することが可能になる。したがって、除電情報として算出される発生イオン量と合わせて評価することにより、除電器２００から送り出される除電気体に含まれるイオン量が維持されているかどうかを容易に判断することが可能になる。また、付帯情報取得部３５４は、除電器２００に取り付けられているカバー１３の種類を取得してもよい。カバー１３はその種類に応じて除電気体の拡散角を調整するため、ファン２０１の回転速度、および発生イオン量と合わせて評価することにより、除電器２００外に送り出される除電気体に含まれるイオン量が維持されているかどうかを容易に判断することができる。

【0076】

付帯情報取得部３５４は、イオンバランスセンサ１００による検出結果を付帯情報として取得てもよい。イオンバランスセンサ１００が配置される対象空間３に到達するイオンの有無が検出結果である場合、イオンバランスセンサ１００による検出結果が取得されることにより、除電器２００から対象空間３へイオンが到達しているか否かを容易に判断することが可能になる。ファン２０１の回転数と、対象空間３へのイオンの到達有無に関する検出結果とを合わせて評価することにより、イオンを含み、単位時間当たり決められた量送り出される除電気体が対象空間３にイオンを到達させているか否かを容易に判断することができる。さらに、発生イオン量と、ファン２０１の回転数と、対象空間３へのイオンの到達有無に関する検出結果とを合わせて評価することにより、単位時間当たりに対象空間３に到達するイオン量、すなわち、除電時間と強い相関を持つ値が、維持されているかどうかを容易に判断することができる。このように、除電器２００から送り出される除電気体量、および対象空間３への発生イオンの到達有無を示す付帯情報が取得されることにより、除電性能を扱う値として、除電時間に代えて発生イオンの測定値を用いることがより妥当になる。

【0077】

また、制御装置３００に図２の帯電検出システム４００が接続されている場合には、付帯情報取得部３５４は、除電情報に付帯する付帯情報として、対象物９の帯電量を帯電検出システム４００から取得してもよい。取得された帯電量は、時間情報と対応付けられた状態で管理される。

【0078】

付帯情報受付部３５５は、他の付帯情報の入力を受け付ける。使用者は、本体操作部３２０を操作することにより、上記の付帯情報には含まれない他の付帯情報、すなわち除電器記憶部２７０に記憶されていない付帯情報を付帯情報受付部３５５に入力することができる。他の付帯情報としては、例えば、発生イオン量の測定場所、測定場所の風速、測定担当者または測定場所の結露の有無が挙げられるが、実施の形態はこれに限定されない。使用者は、これ以外の任意の付帯情報を付帯情報受付部３５５に入力することができる。付帯情報受付部３５５に付帯情報が入力された場合、付帯情報取得部３５４は、入力された付帯情報を取得する。

【0079】

清掃信号取得部３５６は、除電器２００のオートクリーン機能が実行された場合、その旨を示す清掃信号を除電器２００から取得する。レポート出力部３５７は、除電器２００の除電性能を示すレポートを出力する。レポートは、例えばＰＤＦ（Portable Document Format）形式の電子ファイルである。レポートは、Ｅｘｃｅｌ（登録商標）形式等の他の形式を有してもよい。

【0080】

主記憶部３４０には、所定のレポートフォーマットが予め記憶されている。レポート出力部３５７は、主記憶部３４０からレポートフォーマットを取得し、算出部３５２により算出された除電情報をレポートフォーマットの所定の箇所に転記することによりレポートを出力する。出力されたレポートは、主記憶部３４０に記憶される。また、出力されたレポートは、本体表示部３１０に表示することが可能である。使用者は、レポートを確認することにより、除電器２００の稼働状況、除電状況および性能状況を認識することができる。

【0081】

図７は、出力されたレポートの一例を示す図である。図７に示すように、レポートには、除電情報の他に、測定値が取得された日付および時間帯がさらに表示されてもよい。この場合、使用者は、除電性能の経時的な変化をより容易に認識することができる。また、除電性能に異変が発生した場合、その時点を特定することが容易になる。レポートには、判定部３５３による除電性能の判定結果がさらに表示されてもよい。この場合、使用者は、除電性能の良否を容易に認識することができる。

【0082】

また、付帯情報受付部３５５により付帯情報が取得された場合には、レポートには、取得された付帯情報がさらに表示されてもよい。この場合、除電情報に付帯する付帯情報を除電情報に対応付けて記録することができる。レポート出力部３５７は、付帯情報受付部３５５により取得された付帯情報をレポートフォーマットの所定の箇所に転記することにより、レポートに付帯情報を表示させることができる。

【0083】

上記の処理により出力されたレポートには、各種情報が自動的に転記されるため、情報を改ざんする余地がない。また、使用者による情報の転記ミスが発生しない。したがって、出力されたレポートは、高い信頼性を有する。また、使用者はレポートを手作業で作成する必要がない。これにより、使用者の負担が低減される。

【0084】

図７の例では、付帯情報として、対象空間３の温度、対象空間３の湿度、イオンバランス、ファン２０１の回転速度および担当測定者が表示されている。レポートに温度、湿度、イオンバランスまたは除電器２００の駆動パラメータ等が表示されることにより、除電性能をより正確に評価することができる。

【0085】

予め準備されたレポートフォーマットには、いくつかの付帯情報を転記するための領域が設けられていないことがある。この場合でも、使用者は、レポートフォーマットを編集することにより、所望の付帯情報を転記するための領域を追加することができる。これにより、使用者は、所望の付帯情報の全部をレポートに表示させることができる。また、編集されたレポートフォーマットを登録することができる。登録されたレポートフォーマットは、主記憶部３４０に記憶される。そのため、以降、登録されたレポートフォーマットを使用することにより、同様の付帯情報の記録を容易に行うことができる。

【0086】

レポート出力部３５７により出力されるレポートは、定期レポートと、クリーンレポートとを含む。定期レポートは、所定の時間間隔で記録される測定値、除電情報または除電性能の判定結果等の情報（以下、定期レポート情報と呼ぶ。）に基づいて出力されるレポートである。使用者は、定期レポートを確認することにより、除電性能の経時的な変化を認識することができる。定期レポート情報が記録される時間間隔は、例えば１時間であるが、使用者により設定されてもよい。また、定期レポート情報が記録されるタイミングは、絶対時刻により定められてもよいし、除電器２００が起動した時点を起点とする相対時刻により定められてもよい。

【0087】

クリーンレポートは、除電器２００の清掃が行われたときに記録される測定値、除電情報または除電性能の判定結果等の情報（以下、クリーンレポート情報と呼ぶ。）に基づいて出力されるレポートである。クリーンレポート情報は、清掃信号取得部３５６が清掃信号を取得することに応答して記録される。使用者は、クリーンレポートを確認することにより、除電器２００の清掃が行われたときの除電性能を認識することができる。

【0088】

クリーンレポートにおいては、除電器２００の清掃が行われたときの除電情報が、除電器２００の清掃が行われる前後の除電情報と比較可能に表示されてもよい。この場合、使用者は、クリーンレポートを確認することにより、除電器２００の清掃による除電性能の変化を容易に認識することができる。

【0089】

クリーンレポートとして除電器２００の清掃が行われる前後の除電情報が比較可能に表示される場合、除電器２００の清掃による除電性能の変化が微小であっても変化があったことを認識しやすく、また、他のクリーンレポートと比較することにより除電器２００の清掃による除電性能の変化の大小を確認することができる。つまり、正イオン発生部２１１の電極針ｅｎ１および負極側高圧回路２２２の電極針ｅｎ２の各々による発生イオン量が改善されたか否かを容易に確認することができる。ここで、発生イオン量は、常に一定であることが好ましい。そのため、電極針ｅｎ１，ｅｎ２により発生イオン量が大きく改善された場合には、電極針ｅｎ１，ｅｎ２の清掃の頻度が不足していた可能性がある。したがって、使用者は、クリーンレポートを確認することにより、電極針ｅｎ１，ｅｎ２の清掃の頻度が適正か否かを検討することができる。

【0090】

図８は、定期レポート情報およびクリーンレポート情報が記録されるタイミングを説明するための図である。図８の例では、９：００に除電器２００が起動され、１０：３０に除電器２００が清掃され、１２：３０に除電器２００が停止される。この場合、除電器２００が起動された９：００から１時間後の１０：００に、９：００～１０：００の時間帯の定期レポート情報が記録される。１０：３０に、除電器２００が清掃されたことに応答して、クリーンレポート情報が記録される。

【0091】

１０：００から１時間後の１１：００に、１０：００～１１：００の時間帯の定期レポート情報が記録される。１１：００から１時間後の１２：００に、１１：００～１２：００の時間帯の定期レポート情報が記録される。１２：３０に除電器２００が停止されることにより、以降の時間帯の定期レポート情報およびクリーンレポート情報は記録されない。

【0092】

なお、図８の例では、１０：３０に清掃が行われたことに応答して、１０：３０にクリーンレポート情報が記録されるが、実施の形態はこれに限定されない。上記のように、クリーンレポートには、除電器２００の清掃が行われる前後の除電情報と比較可能に表示されてもよい。ここで、清掃前の除電情報は９：００～１０：００の時間帯の定期レポート情報に含まれる。そこで、この時間帯の定期レポート情報が清掃前のクリーンレポート情報として用いられてもよい。同様に、清掃後の除電情報は１１：００～１２：００の時間帯の定期レポート情報に含まれる。そこで、この時間帯の定期レポート情報が清掃後のクリーンレポート情報として用いられてもよい。

【0093】

６．レポート出力処理
図９および図１０は、除電システム１により実行されるレポート出力処理のアルゴリズムの一例を示すフローチャートである。以下、図６の主制御部３５０と、図９および図１０のフローチャートとを用いてレポート出力処理を説明する。

【0094】

まず、付帯情報受付部３５５は、付帯情報の入力が受け付けられたか否かを判定する（ステップＳ１）。付帯情報の入力が受け付けられない場合、処理はステップＳ３に進む。付帯情報の入力が受け付けられた場合、付帯情報取得部３５４は、ステップＳ１の付帯情報を取得する（ステップＳ２）。ステップＳ２で取得される付帯情報は、図４の除電器２００の除電器記憶部２７０に記憶されていない付帯情報である。

【0095】

また、算出部３５２は、基準状態における発生イオン量の値を除電器２００から取得する（ステップＳ３）。さらに、判定部３５３は、除電しきい値を除電器２００から取得する（ステップＳ４）。ステップＳ１，Ｓ２と、ステップＳ３と、ステップＳ４とは、いずれが先に実行されてもよいし、同時に実行されてもよい。

【0096】

ステップＳ１～Ｓ４が実行された後、レポート出力部３５７は、現時点が定期レポート情報の記録タイミングであるか否かを判定する（ステップＳ５）。現時点が定期レポート情報の記録タイミングである場合、測定値取得部３５１は、発生イオンの測定値を除電器２００から取得する（ステップＳ６）。算出部３５２は、ステップＳ６で取得された測定値をステップＳ３で取得された基準状態における発生イオン量の値で除算することにより、除電情報を算出する（ステップＳ７）。判定部３５３は、ステップＳ４で取得された除電しきい値とステップＳ７で算出された除電情報とを比較することにより、除電性能の良否を判定する（ステップＳ８）。

【0097】

また、付帯情報取得部３５４は、付帯情報を除電器２００から取得する（ステップＳ９）。ステップＳ９で取得される付帯情報は、図４の除電器２００の除電器記憶部２７０に記憶されている付帯情報である。ステップＳ６～Ｓ８と、ステップＳ９とは、いずれが先に実行されてもよいし、同時に実行されてもよい。

【0098】

ステップＳ６～Ｓ９が実行された後、レポート出力部３５７は、ステップＳ２，Ｓ６～Ｓ９で取得された情報を、時刻と関連付けて定期レポート情報として記録する（ステップＳ１０）。また、レポート出力部３５７は、ステップＳ１０で記録された定期レポート情報に基づいて定期レポートを出力する（ステップＳ１１）。具体的には、定期レポートは、ステップＳ６で取得された測定値と、ステップＳ７で算出された除電情報と、ステップＳ８で判定された除電性能の良否結果と、ステップＳ２，Ｓ９で取得された付帯情報とがレポートフォーマットの所定の箇所に転記されることにより出力される。

【0099】

次に、レポート出力部３５７は、クリーンレポート情報を記録中であるか否かを判定する（ステップＳ１２）。後述するステップＳ１５で清掃信号が取得された場合、すなわちステップＳ１５で「Ｙｅｓ」と判定された場合、クリーンレポート情報を記録中であると判定される。クリーンレポート情報を記録中でない場合、処理はステップＳ５に戻される。

【0100】

クリーンレポート情報を記録中である場合、レポート出力部３５７は、清掃後のクリーンレポート情報を取得済みであるか否かを判定する（ステップＳ１３）。クリーンレポート情報を記録中にステップＳ１０が１回以上実行されることにより、清掃後の定期レポート情報から清掃後のクリーンレポート情報が取得される。清掃後のクリーンレポート情報を取得済みでない場合、処理はステップＳ５に戻される。なお、清掃前のクリーンレポート情報は、清掃前の定期レポート情報から既に取得済みである。

【0101】

清掃後のクリーンレポート情報を取得済みである場合、レポート出力部３５７は、後述するステップＳ２０で記録されたクリーンレポート情報および清掃が行われる前後のクリーンレポート情報に基づいてクリーンレポートを出力する（ステップＳ１４）。具体的には、クリーンレポートは、清掃が行われたときの除電情報（後述するステップＳ１７で算出された除電情報）と、清掃が行われる前後にステップＳ７で算出された除電情報が比較可能にレポートフォーマットの所定の箇所に転記されることにより出力される。また、クリーンレポートの所定箇所には、ステップＳ１６で取得された測定値、ステップＳ１８（後述）で判定された除電性能の良否結果およびステップＳ２，Ｓ１９（後述）で取得された付帯情報等も転記される。同様に、清掃が行われる前後に取得された各種情報がクリーンレポートの所定箇所に転記される。その後、処理はステップＳ５に戻される。

【0102】

ステップＳ５で、現時点が定期レポート情報の記録タイミングでない場合、清掃信号取得部３５６は、清掃信号が取得されたか否かを判定する（ステップＳ１５）。清掃信号が取得されない場合、処理はステップＳ５に戻される。清掃信号が取得された場合、測定値取得部３５１は、発生イオンの測定値を除電器２００から取得する（ステップＳ１６）。算出部３５２は、ステップＳ１６で取得された測定値をステップＳ３で取得された基準状態における発生イオン量の値で除算することにより、除電情報を算出する（ステップＳ１７）。判定部３５３は、ステップＳ４で取得された除電しきい値とステップＳ１７で算出された除電情報とを比較することにより、除電性能の良否を判定する（ステップＳ１８）。

【0103】

また、付帯情報取得部３５４は、付帯情報を除電器２００から取得する（ステップＳ１９）。ステップＳ１９で取得される付帯情報は、図４の除電器２００の除電器記憶部２７０に記憶されている付帯情報である。ステップＳ１６～Ｓ１８と、ステップＳ１９とは、いずれが先に実行されてもよいし、同時に実行されてもよい。ステップＳ１６～Ｓ１９が実行された後、レポート出力部３５７は、ステップＳ２，Ｓ１６～Ｓ１９で取得された情報を、時刻と関連付けてクリーンレポート情報として記録する（ステップＳ２０）。その後、処理はステップＳ５に戻される。

【0104】

上記のレポート出力処理においては、定期レポート情報が記録されるごとに定期レポートが出力されるが、実施の形態はこれに限定されない。定期レポート情報が所定の時間間隔で記録されればよく、定期レポートは定期レポート情報が記録されるごとに出力されなくてもよい。すなわち、定期レポートは所定の時間間隔で出力されなくてもよい。定期レポートは、任意の時点で出力されてもよく、使用者の指示に応答して出力されてもよい。また、定期レポート情報が記録された全期間の定期レポートが出力されなくてもよく、使用者により指定された期間の定期レポートのみが出力されてもよい。

【0105】

同様に、上記のレポート出力処理においては、清掃が実行されるごとにクリーンレポートが出力されるが、実施の形態はこれに限定されない。清掃が実行されるごとにクリーンレポート情報が記録されればよく、クリーンレポートは清掃が実行されるごとに出力されなくてもよい。クリーンレポートは、任意の時点で出力されてもよく、使用者の指示に応答して出力されてもよい。また、実行された全部の清掃についてのクリーンレポートが出力されなくてもよく、使用者により指定された時点の清掃についてのクリーンレポートのみが出力されてもよい。

【0106】

７．効果
本実施の形態に係る除電システム１においては、イオンが正イオン発生部２１１および負イオン発生部２２１により発生される。正イオン発生部２１１および負イオン発生部２２１による発生イオン量がイオン情報生成部２４０により測定される。イオン情報生成部２４０による測定値が測定値取得部３５１により取得される。測定値を除電性能として、基準状態における発生イオン量の値と対比した除電情報を表示するレポートがレポート出力部３５７により出力される。

【0107】

この構成によれば、発生イオン量は対象物９の除電を継続しつつ測定可能であるので、発生イオン量を測定するために対象物９の製造ラインの稼働を停止させる必要がない。また、使用者は、測定結果をレポートに転記する等の作業を行う必要がないので、頻繁に除電性能を記録する場合でも、使用者の負担が増加しない。また、除電情報が自動的にレポートに表示されるので、記録の改ざんを行う余地がない。これらの結果、除電器２００の除電性能を容易にかつ高い信頼性で記録することができる。

【0108】

また、本実施の形態では、基準状態における発生イオン量の値に対する測定値の比が除電情報として算出部３５２により算出される。この場合、使用者は、除電器２００の除電性能をより容易に認識することができる。ここで、基準状態における発生イオン量の値は、除電器２００の除電器記憶部２７０に予め記憶されている。この場合、基準状態における発生イオン量の値に対する測定値が容易に取得される。そのため、除電情報を容易に算出することができる。

【0109】

８．他の実施の形態
（１）上記実施の形態において、除電時間は測定されないが、実施の形態はこれに限定されない。除電器２００の据え付け時に、例えばチャージプレートモニタを用いて除電時間が測定されてもよい。また、除電器２００の据え付け時に測定された除電時間が付帯情報としてレポートに表示されてもよい。あるいは、除電器２００の据え付け時に測定された除電時間と、除電情報とにより推定される現時点の除電時間が付帯情報としてレポートに表示されてもよい。これらの場合、使用者は、レポートを確認することにより、除電性能をより直感的に認識することができる。

【0110】

（２）上記実施の形態において、基準状態における発生イオン量の値に対する発生イオン量の測定値の比が除電情報としてレポートに表示されるが、実施の形態はこれに限定されない。レポートには、発生イオン量の測定値が、基準状態における発生イオン量の値と対比可能に表示されていればよい。したがって、レポートには、発生イオン量の測定値と、基準状態における発生イオン量の値とが併記されていてもよい。この場合、主制御部３５０は算出部３５２を含まなくてもよい。

【0111】

（３）上記実施の形態において、除電しきい値および基準状態における発生イオン量の値が除電器２００の除電器記憶部２７０に記憶されているが、実施の形態はこれに限定されない。除電しきい値または基準状態における発生イオン量の値、制御装置３００の主記憶部３４０に記憶されていてもよい。

【0112】

また、上記実施の形態において、除電性能の判定結果がレポートに表示されるが、実施の形態はこれに限定されない。除電性能の判定結果は、レポートに表示されなくてもよい。この場合、除電しきい値は除電器記憶部２７０または主記憶部３４０に記憶されなくてもよい。

【0113】

（４）上記実施の形態において、発生イオン量の測定値が取得された時間帯がレポートに表示されるが、実施の形態はこれに限定されない。発生イオン量の測定値が取得された時間帯は、レポートに表示されなくてもよい。

【0114】

（５）上記実施の形態において、測定値取得部３５１および付帯情報取得部３５４は除電器２００の除電器記憶部２７０に記憶された測定値および付帯情報をそれぞれ取得するが、実施の形態はこれに限定されない。一時記憶部２７１には、除電器記憶部２７０よりも短い時間間隔で測定値および一部の付帯情報が一時的に記憶されている。そこで、測定値取得部３５１および付帯情報取得部３５４は、一時記憶部２７１に記憶された測定値および付帯情報をそれぞれ取得してもよい。

【0115】

（６）上記実施の形態において、主制御部３５０は付帯情報受付部３５５を含むが、実施の形態はこれに限定されない。除電器記憶部２７０に記憶されている付帯情報のみがレポートに表示される場合には、主制御部３５０は付帯情報受付部３５５を含まなくてもよい。

【0116】

また、上記実施の形態において、付帯情報がレポートに表示されるが、実施の形態はこれに限定されない。付帯情報は、レポートに表示されなくてもよい。この場合、主制御部３５０は、付帯情報取得部３５４を含まなくてもよい。

【0117】

（７）上記実施の形態において、クリーンレポートには、除電器２００の清掃が行われたときの除電情報が、除電器２００の清掃が行われる前後の除電情報と比較可能に表示されるが、実施の形態はこれに限定されない。クリーンレポートには、除電器２００の清掃が行われたときの除電情報が表示されればよく、除電器２００の清掃が行われたときの除電情報が除電器２００の清掃が行われる前後の除電情報と比較可能に表示されなくてもよい。この場合、レポート出力処理のステップＳ１４は、ステップＳ２０の後に実行される。また、ステップＳ１２，Ｓ１３は実行されない。

【0118】

（８）上記実施の形態において、定期レポートおよびクリーンレポートの両方が出力されるが、実施の形態はこれに限定されない。定期レポートおよびクリーンレポートの一方が出力されなくてもよい。クリーンレポートが出力されない場合には、主制御部３５０は清掃信号取得部３５６を含まなくてもよい。また、レポート出力部３５７が使用者の要求に応答してレポートを出力する場合には、定期レポートおよびクリーンレポートの両方が出力されなくてもよい。

【0119】

（９）上記実施の形態において、イオンバランスセンサ１００により検出された対象空間３のイオン電流が対象空間３への発生イオンの到達有無を示す付帯情報として用いられるが、実施の形態はこれに限定されない。除電器２００からの除電気体が対象空間３に向けられているか否かを示す情報が対象空間３への発生イオンの到達有無を示す付帯情報として用いられてもよい。したがって、除電器２００に自身の姿勢を検出するジャイロセンサ等の姿勢検出センサが設けられている場合には、姿勢検出センサによる検出結果を示す情報が対象空間３への発生イオンの到達有無を示す付帯情報として用いられてもよい。

【0120】

（１０）上記実施の形態において、電極針ｅｎ１，ｅｎ２による発生イオン量の測定値が除電器２００の除電性能を示す値として扱われるが、実施の形態はこれに限定されない。イオンバランスセンサ１００が単位時間に対象空間３に到達したイオンの量を測定可能である場合には、イオンバランスセンサ１００による単位時間当たりの到達イオン量の測定値が除電器２００の除電性能を示す値として扱われてもよい。

【0121】

この構成においては、レポートは、イオンバランスセンサ１００による測定値を除電性能として、基準状態における到達イオン量の値と対比した除電情報を表示する。基準状態における到達イオン量は、例えば除電器記憶部２７０に予め記憶されている。到達イオン量の測定値が除電器２００の除電性能を示す値として扱われる場合には、電極針ｅｎ１，ｅｎ２による発生イオン量は測定されなくてもよい。また、付帯情報は、除電器２００から送り出される除電気体量、および対象空間３への発生イオンの到達有無を評価するための情報を含まなくてもよい。

【0122】

（１１）上記実施の形態において、主制御部３５０の機能部が制御装置３００に設けられるが、実施の形態はこれに限定されない。主制御部３５０の機能部の一部または全部は、除電器２００に設けられてもよい。この場合、除電器２００の除電器制御部２３０により主制御部３５０の機能部の一部または全部が実現されてもよい。

【0123】

例えば、測定値取得部３５１、算出部３５２および判定部３５３と、レポート出力部３５７の一部とが除電器２００に設けられてもよい。この場合、付帯情報取得部３５４および付帯情報受付部３５５と、レポート出力部３５７の他の一部とが制御装置３００に設けられる。また、清掃信号取得部３５６は除電器２００および制御装置３００のいずれにも設けられない。

【0124】

図１１および図１２は、他の実施において除電器２００により実行されるレポート出力処理のアルゴリズムの一例を示すフローチャートである。図１１および図１２のレポート出力処理においては、図１０のステップＳ１５に代えて、ステップＳ１５ａ，Ｓ１５ｂが実行される。

【0125】

具体的には、ステップＳ３～Ｓ５が順次実行される。ここで、ステップＳ５において、現時点が定期レポート情報の記録タイミングである場合、ステップＳ６～Ｓ８，Ｓ１０が順次実行される。その後、処理はステップＳ５に戻される。

【0126】

一方、ステップＳ５において、現時点が定期レポート情報の記録タイミングでない場合、除電器制御部２３０は清掃が要求されたか否かを判定する（ステップＳ１５ａ）。清掃が要求されていない場合、処理はステップＳ５に戻される。清掃が要求された場合、除電器制御部２３０は、オートクリーン機能を実行することにより清掃を行う（ステップＳ１５ｂ）。その後、ステップＳ１６～Ｓ１８，Ｓ２０が順次実行される。ステップＳ２０が実行された後、処理はステップＳ５に戻される。

【0127】

図１１および図１２のレポート出力処理におけるステップＳ１，Ｓ２，Ｓ９，Ｓ１１～Ｓ１４，Ｓ１９は、図９および図１０のレポート出力処理と同様に、制御装置３００において行われる。この構成においては、制御装置３００は、ステップＳ１０で記録された定期レポート情報を除電器２００から取得することにより、定期レポートを出力することができる。また、制御装置３００は、ステップＳ２０で記録されたクリーンレポート情報を除電器２００から取得することにより、クリーンレポートを出力することができる。

【0128】

９．請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることができる。

【0129】

上記実施の形態においては、対象物９が対象物の例であり、除電器２００が除電器の例であり、制御装置３００が制御装置またはコンピュータの例であり、除電システム１が除電システムの例である。正イオン発生部２１１および負イオン発生部２２１がイオン発生部の例であり、イオン情報生成部２４０が測定部の例であり、測定値取得部３５１が測定値取得部の例であり、レポート出力部３５７がレポート出力部の例である。算出部３５２が算出部の例であり、除電器記憶部２７０が記憶部の例であり、判定部３５３が判定部の例であり、付帯情報取得部３５４が付帯情報取得部の例であり、付帯情報受付部３５５が付帯情報受付部の例であり、イオンバランスセンサ１００がセンサの例である。

【0130】

なお、本発明は、上記の実施の形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、また、上記の実施の形態の一部の構成を組み合わせて実施することが可能である。

【符号の説明】

【0131】

１…除電システム，２…ベルトコンベア，３…対象空間，９…対象物，１１…除電器筐体，１２…送風口，１３…カバー，１００…イオンバランスセンサ，１１０Ａ…検出プレート，１１０Ｂ…イオン検出回路，１２０…温度検出素子，１３０…湿度検出素子，１４０…センサ表示灯，１５０…センサ通信部，１６０…センサ電源部，１９０…センサ制御部，１９１…バランス情報生成部，１９２…イオン量情報生成部，１９３…温度情報生成部，１９４…湿度情報生成部，１９５…表示灯制御部，２００…除電器，２０１…ファン，２０１ａ…回転軸，２０２…ファン駆動部，２０３…検知電極，２１１…正イオン発生部，２１１ａ，２２１ａ…円環状部材，２１２…正極側高圧回路，２２１…負イオン発生部，２２２…負極側高圧回路，２３０…除電器制御部，２４０…イオン情報生成部，２４１…内部イオン電流検出回路，２４２…外部イオン電流検出回路，２５０…表示部，２６０…操作部，２７０…除電器記憶部，２７１…一時記憶部，２８０…除電器通信部，２９０…除電器電源部，３００…制御装置，３１０…本体表示部，３２０…本体操作部，３３０…主通信部，３４０…主記憶部，３４１…記憶媒体，３５０…主制御部，３５１…測定値取得部，３５２…算出部，３５３…判定部，３５４…付帯情報取得部，３５５…付帯情報受付部，３５６…清掃信号取得部，３５７…レポート出力部，４００…帯電検出システム，４１０，４２０…帯電検出装置，４１１，４２１…検出ヘッド，４３０…通信装置，ＣＡ１～ＣＡ３…中継ケーブル，ｅｎ１，ｅｎ２…電極針

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】