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特開2024-39309スラリー供給装置、スラリー供給方法およびスラリー処理システム
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024039309
(43)【公開日】2024-03-22
(54)【発明の名称】スラリー供給装置、スラリー供給方法およびスラリー処理システム
(51)【国際特許分類】
B01J 4/00 20060101AFI20240314BHJP
B01F 33/40 20220101ALI20240314BHJP
B01F 27/112 20220101ALI20240314BHJP
B01F 27/90 20220101ALI20240314BHJP
B01F 35/213 20220101ALI20240314BHJP
B01F 35/221 20220101ALI20240314BHJP
B01F 35/75 20220101ALI20240314BHJP
B01J 2/00 20060101ALI20240314BHJP
【ＦＩ】
B01J4/00 105D
B01F33/40
B01F27/112
B01F27/90
B01F35/213
B01F35/221
B01F35/75
B01J2/00 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】30
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022143765
(22)【出願日】2022-09-09
(71)【出願人】
【識別番号】000129183
【氏名又は名称】株式会社カワタ
(74)【代理人】
【識別番号】100129643
【弁理士】
【氏名又は名称】皆川 祐一
(72)【発明者】
【氏名】張 春暁
(72)【発明者】
【氏名】大堀 進一
(72)【発明者】
【氏名】富永 圭介
(72)【発明者】
【氏名】廣川 治永
【テーマコード（参考）】
4G004
4G036
4G037
4G068
4G078
【Ｆターム（参考）】
4G004BA00
4G036AC03
4G037AA12
4G037AA18
4G037EA04
4G037EA10
4G068AA01
4G068AB17
4G068AC16
4G068AD40
4G068AE01
4G068AF01
4G068AF36
4G068AF37
4G078BA05
4G078DA01
4G078EA10
(57)【要約】
【課題】ポンプを使用せずに、スラリータンク内から処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給できる、スラリー供給装置、スラリー供給方法およびスラリー処理システムを提供する。
【解決手段】コーティング装置２におけるコーティング処理の開始前に、スラリー流通路６２を開閉する開閉弁６４が閉の状態で、スラリータンク６１内の圧力を調整する圧力調整弁７８の開度が制御されて、スラリータンク６１内の圧力がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力よりも高くされる。その後、スラリータンク６１内の圧力がスラリー導入口２５における圧力よりも高い状態で、開閉弁６４が閉から開に切り替えられる。開閉弁６４が閉から開に切り替えられると、スラリーがスラリータンク６１内からスラリー流通路６２を通してスラリー導入口２５に供給される。
【選択図】図１
【解決手段】コーティング装置２におけるコーティング処理の開始前に、スラリー流通路６２を開閉する開閉弁６４が閉の状態で、スラリータンク６１内の圧力を調整する圧力調整弁７８の開度が制御されて、スラリータンク６１内の圧力がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力よりも高くされる。その後、スラリータンク６１内の圧力がスラリー導入口２５における圧力よりも高い状態で、開閉弁６４が閉から開に切り替えられる。開閉弁６４が閉から開に切り替えられると、スラリーがスラリータンク６１内からスラリー流通路６２を通してスラリー導入口２５に供給される。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
スラリーを対象とする処理を実行する処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給するスラリー供給装置であって、
スラリーを内部に貯留するスラリータンクと、
前記スラリータンク内の圧力を調整する圧力調整機構と、
前記スラリータンク内と前記スラリー導入部との間でスラリーが流通するスラリー流通路と、
前記スラリー流通路を開閉する開閉弁と、
前記処理装置における前記処理の開始前に、前記開閉弁が閉の状態で、前記圧力調整機構を制御して、前記スラリータンク内の圧力を前記スラリー導入部における圧力よりも高くし、前記スラリータンク内の圧力が前記スラリー導入部における圧力よりも高い状態で、前記開閉弁を閉から開に切り替える制御部と、を含む、スラリー供給装置。
スラリーを内部に貯留するスラリータンクと、
前記スラリータンク内の圧力を調整する圧力調整機構と、
前記スラリータンク内と前記スラリー導入部との間でスラリーが流通するスラリー流通路と、
前記スラリー流通路を開閉する開閉弁と、
前記処理装置における前記処理の開始前に、前記開閉弁が閉の状態で、前記圧力調整機構を制御して、前記スラリータンク内の圧力を前記スラリー導入部における圧力よりも高くし、前記スラリータンク内の圧力が前記スラリー導入部における圧力よりも高い状態で、前記開閉弁を閉から開に切り替える制御部と、を含む、スラリー供給装置。
【請求項2】
前記制御部は、前記処理の終了後、前記開閉弁を開から閉に切り替える、請求項１に記載のスラリー供給装置。
【請求項3】
前記制御部は、前記処理の終了後、前記スラリー導入部における圧力が前記スラリータンク内の圧力よりも高い状態で前記開閉弁を開とする回収期間を設ける、請求項２に記載のスラリー供給装置。
【請求項4】
前記圧力調整機構は、前記スラリータンク内を減圧する減圧機構を備え、
前記制御部は、少なくとも前記回収期間、前記減圧機構を作動させる、請求項３に記載のスラリー供給装置。
前記制御部は、少なくとも前記回収期間、前記減圧機構を作動させる、請求項３に記載のスラリー供給装置。
【請求項5】
前記制御部は、前記処理が終了した後、前記処理装置の運転が終了し、前記処理装置の運転が終了した時点から前記回収期間が経過すると、前記開閉弁を開から閉に切り替える、請求項４に記載のスラリー供給装置。
【請求項6】
前記制御部は、前記処理が終了すると、前記開閉弁を開から閉に切り替え、かつ、前記減圧機構の作動を停止し、その後、前記処理装置の運転が終了すると、前記減圧機構を作動させ、かつ、前記開閉弁を閉から開に切り替えて、前記処理装置の運転が終了した時点から前記回収期間が経過すると、前記開閉弁を開から閉に切り替える、請求項４に記載のスラリー供給装置。
【請求項7】
前記処理の実行中の前記スラリー導入部における圧力は、大気圧よりも低く、
前記制御部は、前記処理の開始前に、前記減圧機構の作動を開始させ、前記減圧機構が作動した状態で前記開閉弁を閉から開に切り替える、請求項４に記載のスラリー供給装置。
前記制御部は、前記処理の開始前に、前記減圧機構の作動を開始させ、前記減圧機構が作動した状態で前記開閉弁を閉から開に切り替える、請求項４に記載のスラリー供給装置。
【請求項8】
前記制御部は、前記処理の開始前および／または前記処理の実行中に、前記スラリータンク内のスラリー中にエアを供給してスラリーを撹拌するバブリング撹拌期間を設ける、請求項１に記載のスラリー供給装置。
【請求項9】
前記圧力調整機構は、前記スラリータンク内を減圧する減圧機構、を備え、
前記制御部は、前記バブリング撹拌期間、前記減圧機構を作動させて、前記スラリータンク内の圧力を大気圧より低くした状態で、前記スラリータンク内が前記スラリー流通路外と連通するように前記開閉弁を切り替える、請求項８に記載のスラリー供給装置。
前記制御部は、前記バブリング撹拌期間、前記減圧機構を作動させて、前記スラリータンク内の圧力を大気圧より低くした状態で、前記スラリータンク内が前記スラリー流通路外と連通するように前記開閉弁を切り替える、請求項８に記載のスラリー供給装置。
【請求項10】
前記スラリータンク内のスラリー中にエアを供給するエア供給機構、をさらに含み、
前記制御部は、前記バブリング撹拌期間、前記エア供給機構を作動させる、請求項８に記載のスラリー供給装置。
前記制御部は、前記バブリング撹拌期間、前記エア供給機構を作動させる、請求項８に記載のスラリー供給装置。
【請求項11】
前記圧力調整機構は、前記スラリータンク内を減圧する減圧機構と、前記スラリータンク内と連通する圧力調整管と、前記圧力調整管に介装されて、開度を変更可能な圧力調整弁、または、前記圧力調整管に介装されて、互いに異なる開度に設定された複数の絞り弁と、を備える、請求項１に記載のスラリー供給装置。
【請求項12】
前記圧力調整機構は、前記スラリータンク内の圧力を大気圧より高くする加圧機構と、前記スラリータンク内と連通する圧力調整管と、前記圧力調整管に介装されて、開度を変更可能な圧力調整弁、または、前記圧力調整管に介装されて、互いに異なるリリーフ圧に設定された複数のリリーフ弁とを備える、請求項１に記載のスラリー供給装置。
【請求項13】
前記スラリー流通路におけるスラリーの流量を検出する流量検出部、をさらに含み、
前記制御部は、前記処理の実行中、前記流量検出部により検出される流量が目標値に一致するように、前記圧力調整機構を制御する、請求項１に記載のスラリー供給装置。
前記制御部は、前記処理の実行中、前記流量検出部により検出される流量が目標値に一致するように、前記圧力調整機構を制御する、請求項１に記載のスラリー供給装置。
【請求項14】
前記スラリー流通路は、その一部を構成する管を備え、
前記管は、管径および／または管長の異なる別の管と交換可能に設けられている、請求項１に記載のスラリー供給装置。
前記管は、管径および／または管長の異なる別の管と交換可能に設けられている、請求項１に記載のスラリー供給装置。
【請求項15】
前記スラリータンク内に設けられ、前記スラリータンク内のスラリーを撹拌する攪拌翼と、
前記撹拌翼を回転させる駆動力を発生する撹拌モータと、をさらに含む、請求項１に記載のスラリー供給装置。
前記撹拌翼を回転させる駆動力を発生する撹拌モータと、をさらに含む、請求項１に記載のスラリー供給装置。
【請求項16】
前記制御部は、前記処理の開始前および／または前記処理の実行中に、前記撹拌モータを作動させて、前記攪拌翼の回転を開始させる、請求項１５に記載のスラリー供給装置。
【請求項17】
一端が前記スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で前記スラリータンク内に開放され、他端が前記液面よりも上方の位置で前記スラリータンク内に開放されるスラリー循環路と、
前記スラリー循環路に介装され、前記スラリー循環路の前記一端から前記他端に向けてスラリーを送るスラリー循環ポンプと、をさらに含む、請求項１～１６のいずれか一項に記載のスラリー供給装置。
前記スラリー循環路に介装され、前記スラリー循環路の前記一端から前記他端に向けてスラリーを送るスラリー循環ポンプと、をさらに含む、請求項１～１６のいずれか一項に記載のスラリー供給装置。
【請求項18】
前記制御部は、前記処理の開始前であって、前記開閉弁を閉から開に切り替える前に、前記スラリー循環ポンプを作動させて、前記スラリータンク内のスラリーを前記スラリー循環路を通して循環させる、請求項１７に記載のスラリー供給装置。
【請求項19】
前記スラリータンクは、第１スラリータンクと、前記第１スラリータンクとは別に設けられる第２スラリータンクとを備え、
一端が前記第１スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で前記スラリータンク内に開放され、他端が前記第２スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で前記スラリータンク内に開放される第１スラリー移送路と、
前記第１スラリー移送路に介装され、前記第１スラリー移送路の前記一端から前記他端に向けてスラリーを送る第１スラリー移送ポンプと、
一端が前記第２スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で前記スラリータンク内に開放され、他端が前記第１スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で前記スラリータンク内に開放される第２スラリー移送路と、
前記第２スラリー移送路に介装され、前記第２スラリー移送路の前記一端から前記他端に向けてスラリーを送る第２スラリー移送ポンプと、をさらに含む、請求項１～１６のいずれか一項に記載のスラリー供給装置。
一端が前記第１スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で前記スラリータンク内に開放され、他端が前記第２スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で前記スラリータンク内に開放される第１スラリー移送路と、
前記第１スラリー移送路に介装され、前記第１スラリー移送路の前記一端から前記他端に向けてスラリーを送る第１スラリー移送ポンプと、
一端が前記第２スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で前記スラリータンク内に開放され、他端が前記第１スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で前記スラリータンク内に開放される第２スラリー移送路と、
前記第２スラリー移送路に介装され、前記第２スラリー移送路の前記一端から前記他端に向けてスラリーを送る第２スラリー移送ポンプと、をさらに含む、請求項１～１６のいずれか一項に記載のスラリー供給装置。
【請求項20】
前記制御部は、前記処理の開始前であって、前記開閉弁を閉から開に切り替える前に、前記第１スラリー移送ポンプおよび前記第２スラリー移送ポンプを作動させて、前記第１スラリータンク内のスラリーおよび前記第２スラリータンク内のスラリーを前記第１スラリータンクと前記第２スラリータンクとの間で循環させる、請求項１９に記載のスラリー供給装置。
【請求項21】
スラリーを内部に貯留するスラリータンクからスラリーを対象とする処理を実行する処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給するスラリー供給方法であって、
前記処理装置における前記処理の開始前に、前記スラリータンク内と前記スラリー導入部とを接続するスラリー流通路に介装された開閉弁が閉の状態で、前記スラリータンク内の圧力を前記スラリー導入部における圧力よりも高くし、
前記スラリータンク内の圧力が前記スラリー導入部における圧力よりも高い状態で、前記開閉弁を閉から開に切り替えて、前記スラリータンクから前記スラリー導入部に向けてスラリーを流通させる、スラリー供給方法。
前記処理装置における前記処理の開始前に、前記スラリータンク内と前記スラリー導入部とを接続するスラリー流通路に介装された開閉弁が閉の状態で、前記スラリータンク内の圧力を前記スラリー導入部における圧力よりも高くし、
前記スラリータンク内の圧力が前記スラリー導入部における圧力よりも高い状態で、前記開閉弁を閉から開に切り替えて、前記スラリータンクから前記スラリー導入部に向けてスラリーを流通させる、スラリー供給方法。
【請求項22】
前記処理の終了後、前記スラリータンク内を減圧する減圧機構の作動により前記スラリー導入部における圧力を前記スラリータンク内の圧力よりも高くし、前記スラリー導入部における圧力が前記スラリータンク内の圧力よりも高い状態で前記開閉弁を開とする回収期間を設ける、請求項２１に記載のスラリー供給方法。
【請求項23】
前記処理の実行中の前記スラリー導入部における圧力は、大気圧よりも低く、
前記処理の開始前に、前記減圧機構の作動を開始させ、前記減圧機構が作動した状態で前記開閉弁を閉から開に切り替える、請求項２２に記載のスラリー供給方法。
前記処理の開始前に、前記減圧機構の作動を開始させ、前記減圧機構が作動した状態で前記開閉弁を閉から開に切り替える、請求項２２に記載のスラリー供給方法。
【請求項24】
前記処理の開始前であって、前記開閉弁を閉から開に切り替える前に、前記スラリータンク内のスラリーを撹拌する、請求項２１～２３のいずれか一項に記載のスラリー供給方法。
【請求項25】
スラリーを対象とする処理を実行する処理装置と、
前記処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給するスラリー供給装置と、を含み、
前記スラリー供給装置は、
スラリーを内部に貯留するスラリータンクと、
前記スラリータンク内の圧力を調整する圧力調整機構と、
前記スラリータンク内と前記スラリー導入部との間でスラリーが流通するスラリー流通路と、
前記スラリー流通路を開閉する開閉弁と、
前記処理装置における前記処理の開始前に、前記開閉弁が閉の状態で、前記圧力調整機構を制御して、前記スラリータンク内の圧力を前記スラリー導入部における圧力よりも高くし、前記スラリータンク内の圧力が前記スラリー導入部における圧力よりも高い状態で、前記開閉弁を閉から開に切り替える制御部と、を備える、スラリー処理システム。
前記処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給するスラリー供給装置と、を含み、
前記スラリー供給装置は、
スラリーを内部に貯留するスラリータンクと、
前記スラリータンク内の圧力を調整する圧力調整機構と、
前記スラリータンク内と前記スラリー導入部との間でスラリーが流通するスラリー流通路と、
前記スラリー流通路を開閉する開閉弁と、
前記処理装置における前記処理の開始前に、前記開閉弁が閉の状態で、前記圧力調整機構を制御して、前記スラリータンク内の圧力を前記スラリー導入部における圧力よりも高くし、前記スラリータンク内の圧力が前記スラリー導入部における圧力よりも高い状態で、前記開閉弁を閉から開に切り替える制御部と、を備える、スラリー処理システム。
【請求項26】
前記制御部は、前記処理の終了後、前記スラリー導入部における圧力が前記スラリータンク内の圧力よりも高い状態で前記開閉弁を開とする回収期間を設ける、請求項２５に記載のスラリー処理システム。
【請求項27】
前記スラリー供給装置は、前記スラリータンク内を減圧する減圧機構、をさらに備え、
前記処理の実行中の前記スラリー導入部における圧力は、大気圧よりも低く、
前記制御部は、前記処理の開始前に、前記減圧機構の作動を開始させ、前記減圧機構が作動した状態で前記開閉弁を閉から開に切り替える、請求項２６に記載のスラリー処理システム。
前記処理の実行中の前記スラリー導入部における圧力は、大気圧よりも低く、
前記制御部は、前記処理の開始前に、前記減圧機構の作動を開始させ、前記減圧機構が作動した状態で前記開閉弁を閉から開に切り替える、請求項２６に記載のスラリー処理システム。
【請求項28】
前記スラリーは、原料粒子の粉体とコーティング溶液とを混合して作製され、
前記処理装置は、前記スラリーを前記コーティング溶液が表面に付着した前記原料粒子に分散させる分散部、を備え、
前記分散部は、
流路と、
前記流路内に高圧流体の気流を導入する気流導入口と、
前記気流導入口よりも前記気流の流通方向の下流側に設けられ、スラリーを前記流路内に導入するスラリー導入口と、を有し、
前記スラリー導入部は、前記スラリー導入口である、請求項２７に記載のスラリー処理システム。
前記処理装置は、前記スラリーを前記コーティング溶液が表面に付着した前記原料粒子に分散させる分散部、を備え、
前記分散部は、
流路と、
前記流路内に高圧流体の気流を導入する気流導入口と、
前記気流導入口よりも前記気流の流通方向の下流側に設けられ、スラリーを前記流路内に導入するスラリー導入口と、を有し、
前記スラリー導入部は、前記スラリー導入口である、請求項２７に記載のスラリー処理システム。
【請求項29】
前記流路は、前記気流導入口と前記スラリー導入口との間の途中部において、前記流通方向に流路断面が収縮した後に拡大している、請求項２８に記載のスラリー処理システム。
【請求項30】
前記スラリーには、溶媒の揮発を抑えるため、前記溶媒よりも沸点の高い高沸点溶媒が添加されている、請求項２５～２９のいずれか一項に記載のスラリー処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、スラリー供給装置、スラリー供給方法およびスラリー処理システムに関する。
【背景技術】
【0002】
粉体の表面改質・複合化の技術では、主原料となる原料粒子にコーティング粒子を結合させて、原料粒子の表面にコーティング粒子の被覆層を形成することにより、粉体に種々の機能性が付与される。その技術は、食品、医薬品、化粧品などの分野で盛んに利用されており、それ以外の分野においても、電子部品や電池に用いられる材料の製造に利用されている。
【0003】
出願人は、原料粒子の粉体とコーティング溶液とを予め混合して作製されたスラリーを処理装置に供給し、処理装置において、高圧流体の気流によりスラリーを原料粒子の表面にコーティング溶液が付着した粉体に分散させ、その粉体を気流に乗せて搬送しながらコーティング溶液を乾燥させて、コーティング溶液の乾燥により得られる粉体を捕集する技術を先に提案している。
【0004】
スラリーは、スラリータンク内に貯留されており、スラリータンク内から処理装置に供給される。スラリー供給の手法として、たとえば、スラリータンク（スラリー供給槽）と処理装置とを接続するスラリー供給管の途中部にポンプを介装し、そのポンプによりスラリーに圧力を加え、その圧力によりスラリーをスラリー供給管を通して処理装置に供給する手法が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開平７－７０５７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の目的は、ポンプを使用せずに、スラリータンク内から処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給できる、スラリー供給装置、スラリー供給方法およびスラリー処理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記の目的を達成するため、本発明の一の局面に係るスラリー供給装置は、スラリーを対象とする処理を実行する処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給するスラリー供給装置であって、スラリーを内部に貯留するスラリータンクと、スラリータンク内の圧力を調整する圧力調整機構と、スラリータンク内とスラリー導入部との間でスラリーが流通するスラリー流通路と、スラリー流通路を開閉する開閉弁と、処理装置における処理の開始前に、開閉弁が閉の状態で、圧力調整機構を制御して、スラリータンク内の圧力をスラリー導入部における圧力よりも高くし、スラリータンク内の圧力がスラリー導入部における圧力よりも高い状態で、開閉弁を閉から開に切り替える制御部とを含む。
【0008】
この構成によれば、処理装置では、スラリーを対象とする処理が実行される。スラリーは、スラリータンク内に貯留されている。スラリータンク内と処理装置のスラリー導入部との間では、スラリーがスラリー流通路を通して流通する。
【0009】
処理装置における処理の開始前に、スラリー流通路を開閉する開閉弁が閉の状態で、スラリータンク内の圧力を調整する圧力調整機構が制御されて、スラリータンク内の圧力が処理装置のスラリー導入部における圧力よりも高くされる。その後、スラリータンク内の圧力がスラリー導入部における圧力よりも高い状態で、開閉弁が閉から開に切り替えられる。開閉弁が閉から開に切り替えられると、スラリータンク内の圧力とスラリー導入部における圧力との圧力差により、スラリーがスラリータンク内からスラリー流通路を通してスラリー導入部に供給される。
【0010】
よって、ポンプを使用せずに、スラリータンク内から処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給することができる。
【0011】
制御部は、処理装置における処理の終了後、開閉弁を開から閉に切り替える。
【0012】
これにより、ポンプを使用せずに、スラリータンク内から処理装置のスラリー導入部へのスラリーの供給を停止することができる。
【0013】
制御部は、処理装置における処理の終了後、スラリー導入部における圧力がスラリータンク内の圧力よりも高い状態で開閉弁を開とする回収期間を設けることが好ましい。
【0014】
回収期間において、スラリー導入部における圧力とスラリータンク内の圧力との圧力差により、処理装置における処理の終了後にスラリー流通路に残存するスラリーをスラリータンク内に回収することができる。その結果、スラリー流通路にスラリーが残ることを防止でき、スラリー流通路にスラリーが乾燥して固着することを防止できる。
【0015】
圧力調整機構は、スラリータンク内を減圧する減圧機構を備え、制御部は、少なくとも回収期間、減圧機構を作動させてもよい。
【0016】
減圧機構の作動により、スラリータンク内を減圧して、スラリータンク内の圧力をスラリー導入部における圧力よりも低くすることができる。その結果、スラリー導入部における圧力がスラリータンク内の圧力よりも高い状態を生じさせることができる。
【0017】
制御部は、処理装置における処理が終了した後、処理装置の運転が終了し、処理装置の運転が終了した時点から回収期間が経過すると、開閉弁を開から閉に切り替えてもよい。または、処理装置における処理が終了すると、開閉弁を開から閉に切り替え、かつ、減圧機構の作動を停止し、その後、処理装置の運転が終了すると、減圧機構を作動させ、かつ、開閉弁を閉から開に切り替えて、処理装置の運転が終了した時点から回収期間が経過すると、開閉弁を開から閉に切り替えてもよい。
【0018】
前者の場合、後者の場合よりも開閉弁の開閉回数および減圧機構の作動／停止回数を削減でき、開閉弁および減圧機構の劣化を抑制することができる。
【0019】
処理装置における処理の実行中のスラリー導入部における圧力は、大気圧よりも低く、制御部は、処理装置における処理の開始前に、減圧機構の作動を開始させ、減圧機構が作動した状態で開閉弁を閉から開に切り替えてもよい。
【0020】
制御部は、処理装置における処理の開始前および／または処理の実行中に、スラリータンク内のスラリー中にエアを供給してスラリーを撹拌するバブリング撹拌期間を設けてもよい。
【0021】
バブリング撹拌期間において、スラリータンク内のスラリー中にエアが供給されることにより、スラリー中に気泡が発生する。このバブリングにより、処理装置における処理の開始前および／または処理の実行中に、スラリータンク内のスラリーを撹拌することができ、スラリーの分散性を向上させることができる。
【0022】
圧力調整機構は、スラリータンク内を減圧する減圧機構を備え、制御部は、バブリング撹拌期間、減圧機構を作動させて、スラリータンク内の圧力を大気圧より低くした状態で、スラリータンク内がスラリー流通路外と連通するように前記開閉弁を切り替えてもよい。
【0023】
バブリング撹拌期間において、減圧機構の作動により、スラリータンク内の圧力が大気圧よりも低くされる。この状態で、スラリータンク内とスラリー流通路外とが連通すると、スラリー流通路外における圧力（大気圧）とスラリータンク内の圧力との圧力差により、スラリー流通路外からスラリー流通路にエアが吸い込まれて、スラリー流通路からスラリータンク内に貯留されているスラリー中にエアが吹き出し、スラリー中に気泡を発生させることができる。
【0024】
なお、開閉弁は、スラリータンク内とスラリー導入部とを連通させる管に介装される仕切弁であってもよいし、スラリータンク内と連通する第１管が第１ポートに接続され、スラリー導入部と連通する第２管が第２ポートに接続され、先端が大気に開放される第３管が第３ポートに接続されて、第１ポートと第２ポートが連通する状態と、第１ポートと第３ポートが連通する状態とに切り替えられる三方弁であってもよい。開閉弁が三方弁である場合、開閉弁は、第１ポートと第２ポートが連通する状態と、第１ポートと第３ポートが連通する状態とのいずれの状態に切り替えられてもよい。
【0025】
スラリー供給装置は、スラリータンク内のスラリー中にエアを供給するエア供給機構をさらに含み、制御部は、バブリング撹拌期間、エア供給機構を作動させてもよい。
【0026】
この構成によっても、スラリータンク内のスラリー中に気泡を発生させることができる。
【0027】
圧力調整機構は、スラリータンク内を減圧する減圧機構と、スラリータンク内と連通する圧力調整管と、圧力調整管に介装されて、開度を変更可能な圧力調整弁、または、前記圧力調整管に介装されて、互いに異なる開度に設定された複数の絞り弁とを備える構成であってもよい。
【0028】
この構成によって、スラリータンク内の圧力を大気圧以下に調整することができる。
【0029】
また、圧力調整機構は、スラリータンク内の圧力を大気圧より高くする加圧機構と、スラリータンク内と連通する圧力調整管と、圧力調整管に介装されて、開度を変更可能な圧力調整弁、または、圧力調整管に介装されて、互いに異なるリリーフ圧に設定された複数のリリーフ弁とを備える構成であってもよい。
【0030】
この構成によって、スラリータンク内の圧力を大気圧以上に調整することができる。
【0031】
スラリー供給装置は、スラリー流通路におけるスラリーの流量を検出する流量検出部をさらに含み、制御部は、処理装置における処理の実行中、流量検出部により検出される流量が目標値に一致するように、圧力調整機構を制御してもよい。
【0032】
この構成によって、スラリーをスラリー導入部に安定した流量で供給することができる。
【0033】
スラリー流通路は、その一部を構成する管を備え、管は、管径および／または管長の異なる別の管と交換可能に設けられていてもよい。
【0034】
この構成では、スラリー流通路の一部を構成する管を管径もしくは管長または管径および管長が異なる管と付け替えることにより、スラリー導入部に供給されるスラリーの流量を調整することができる。
【0035】
スラリー供給装置は、スラリータンク内に設けられ、スラリータンク内のスラリーを撹拌する攪拌翼と、撹拌翼を回転させる駆動力を発生する撹拌モータとをさらに含む構成であってもよい。
【0036】
そして、制御部は、処理装置における処理の開始前および／または処理の実行中に、撹拌モータを作動させて、攪拌翼の回転を開始させてもよい。
【0037】
処理装置における処理の開始前および／または処理の実行中に、攪拌翼の回転により、スラリータンク内のスラリーを撹拌することができ、スラリーの分散性を向上させることができる。
【0038】
スラリー供給装置は、一端がスラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置でスラリータンク内に開放され、他端が液面よりも上方の位置でスラリータンク内に開放されるスラリー循環路と、スラリー循環路に介装され、スラリー循環路の一端から他端に向けてスラリーを送るスラリー循環ポンプとをさらに含む構成であってもよい。
【0039】
この構成では、スラリー循環ポンプの作動により、スラリータンク内からスラリー循環路にスラリーが吸い出されて、そのスラリーがスラリー循環路を一端から他端に向けて流れ、スラリー循環路の他端からスラリータンク内にスラリーが戻される。これにより、スラリータンク内のスラリーがスラリー循環路を通して循環する。スラリーの循環により、スラリーを撹拌することができ、スラリーの分散性を向上させることができる。
【0040】
制御部は、処理装置における処理の開始前であって、開閉弁を閉から開に切り替える前に、スラリー循環ポンプを作動させて、スラリータンク内のスラリーをスラリー循環路を通して循環させてもよい。
【0041】
これにより、分散性に優れたスラリーを処理装置のスラリー導入部に供給することができ、処理装置において、スラリーを対象とする処理を良好に実行することができる。
【0042】
スラリータンクは、第１スラリータンクと、第１スラリータンクとは別に設けられる第２スラリータンクとを備え、スラリー供給装置は、一端が第１スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置でスラリータンク内に開放され、他端が第２スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置でスラリータンク内に開放される第１スラリー移送路と、第１スラリー移送路に介装され、第１スラリー移送路の一端から他端に向けてスラリーを送る第１スラリー移送ポンプと、一端が第２スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置でスラリータンク内に開放され、他端が第１スラリータンク内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置でスラリータンク内に開放される第２スラリー移送路と、第２スラリー移送路に介装され、第２スラリー移送路の一端から他端に向けてスラリーを送る第２スラリー移送ポンプとをさらに含む構成であってもよい。
【0043】
この構成では、第１スラリー移送ポンプの作動により、第１スラリータンク内から第１スラリー移送路にスラリーが吸い出されて、そのスラリーが第１スラリー移送路を一端から他端に向けて流れ、第１スラリー移送路の他端から第２スラリータンク内にスラリーが流入する。また、第２スラリー移送ポンプの作動により、第２スラリータンク内から第２スラリー移送路にスラリーが吸い出されて、そのスラリーが第２スラリー移送路を一端から他端に向けて流れ、第２スラリー移送路の他端から第１スラリータンク内にスラリーが流入する。これにより、スラリーが第１スラリータンク内と第２スラリータンク内のとの間で第１スラリー移送路および第２スラリー移送路を通して循環する。スラリーの循環により、スラリーを撹拌することができ、スラリーの分散性を向上させることができる。
【0044】
制御部は、処理装置における処理の開始前であって、開閉弁を閉から開に切り替える前に、第１スラリー移送ポンプおよび第２スラリー移送ポンプを作動させて、第１スラリータンク内のスラリーおよび第２スラリータンク内のスラリーを第１スラリータンクと第２スラリータンクとの間で循環させてもよい。
【0045】
これにより、分散性に優れたスラリーを処理装置のスラリー導入部に供給することができ、処理装置において、スラリーを対象とする処理を良好に実行することができる。
【0046】
本発明の他の局面に係るスラリー供給方法は、スラリーを内部に貯留するスラリータンクからスラリーを対象とする処理を実行する処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給するスラリー供給方法であって、処理装置における処理の開始前に、スラリータンク内とスラリー導入部とを接続するスラリー流通路に介装された開閉弁が閉の状態で、スラリータンク内の圧力をスラリー導入部における圧力よりも高くし、スラリータンク内の圧力がスラリー導入部における圧力よりも高い状態で、開閉弁を閉から開に切り替えて、スラリータンクからスラリー導入部に向けてスラリーを流通させる。
【0047】
この方法によれば、処理装置におけるスラリーを対象とする処理の開始前に、スラリー流通路を開閉する開閉弁が閉の状態で、スラリータンク内の圧力が処理装置のスラリー導入部における圧力よりも高くされる。その後、スラリータンク内の圧力がスラリー導入部における圧力よりも高い状態で、開閉弁が閉から開に切り替えられる。開閉弁が閉から開に切り替えられると、スラリータンク内の圧力とスラリー導入部における圧力との圧力差により、スラリーがスラリータンク内からスラリー流通路を通してスラリー導入部に供給される。
【0048】
よって、ポンプを使用せずに、スラリータンク内から処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給することができる。
【0049】
スラリー供給方法では、処理装置における処理の終了後、スラリータンク内を減圧する減圧機構の作動によりスラリー導入部における圧力をスラリータンク内の圧力よりも高くし、スラリー導入部における圧力がスラリータンク内の圧力よりも高い状態で開閉弁を開とする回収期間を設けることが好ましい。
【0050】
回収期間において、スラリー導入部における圧力とスラリータンク内の圧力との圧力差により、処理装置における処理の終了後にスラリー流通路に残存するスラリーをスラリータンク内に回収することができる。その結果、スラリー流通路にスラリーが残ることを防止でき、スラリー流通路にスラリーが乾燥して固着することを防止できる。
【0051】
処理装置における処理の実行中のスラリー導入部における圧力は、大気圧よりも低く、処理装置における処理の開始前に、減圧機構の作動を開始させ、減圧機構が作動した状態で開閉弁を閉から開に切り替えてもよい。
【0052】
また、スラリー供給方法では、処理装置における処理の開始前であって、開閉弁を閉から開に切り替える前に、スラリータンク内のスラリーを撹拌することが好ましい。
【0053】
これにより、スラリータンク内のスラリーを撹拌することができ、スラリーの分散性を向上させることができる。そして、分散性に優れたスラリーを処理装置のスラリー導入部に供給することができ、処理装置において、スラリーを対象とする処理を良好に実行することができる。
【0054】
本発明のさらに他の局面に係るスラリー処理システムは、スラリーを対象とする処理を実行する処理装置と、処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給するスラリー供給装置とを含み、スラリー供給装置は、スラリーを内部に貯留するスラリータンクと、スラリータンク内の圧力を調整する圧力調整機構と、スラリータンク内とスラリー導入部との間でスラリーが流通するスラリー流通路と、スラリー流通路を開閉する開閉弁と、処理装置における処理の開始前に、開閉弁が閉の状態で、圧力調整機構を制御して、スラリータンク内の圧力をスラリー導入部における圧力よりも高くし、スラリータンク内の圧力がスラリー導入部における圧力よりも高い状態で、開閉弁を閉から開に切り替える制御部とを備える。
【0055】
この構成によれば、処理装置では、スラリーを対象とする処理が実行される。処理対象のスラリーは、スラリータンク内に貯留されている。スラリータンク内と処理装置のスラリー導入部との間では、スラリーがスラリー流通路を通して流通する。
【0056】
処理装置における処理の開始前に、スラリー流通路を開閉する開閉弁が閉の状態で、スラリータンク内の圧力を調整する圧力調整弁の開度が制御されて、スラリータンク内の圧力が処理装置のスラリー導入部における圧力よりも高くされる。その後、スラリータンク内の圧力がスラリー導入部における圧力よりも高い状態で、開閉弁が閉から開に切り替えられる。開閉弁が閉から開に切り替えられると、スラリータンク内の圧力とスラリー導入部における圧力との圧力差により、スラリーがスラリータンク内からスラリー流通路を通してスラリー導入部に供給される。
【0057】
よって、ポンプを使用せずに、スラリータンク内から処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給することができる。
【0058】
制御部は、処理装置における処理の終了後、スラリー導入部における圧力がスラリータンク内の圧力よりも高い状態で開閉弁を開とすることが好ましい。
【0059】
回収期間において、スラリー導入部における圧力とスラリータンク内の圧力との圧力差により、処理装置における処理の終了後にスラリー流通路に残存するスラリーをスラリータンク内に回収することができる。その結果、スラリー流通路にスラリーが残ることを防止でき、スラリー流通路にスラリーが乾燥して固着することを防止できる。
【0060】
スラリー供給装置は、スラリータンク内を減圧する減圧機構をさらに備え、処理装置における処理の実行中のスラリー導入部における圧力は、大気圧よりも低く、制御部は、処理装置における処理の開始前に、減圧機構の作動を開始させ、減圧機構が作動した状態で開閉弁を閉から開に切り替えてもよい。
【0061】
スラリーは、原料粒子の粉体とコーティング溶液とを混合して作製され、処理装置は、スラリーをコーティング溶液が表面に付着した原料粒子に分散させる分散部を備え、分散部は、流路と、流路内に高圧流体の気流を導入する気流導入口と、気流導入口よりも気流の流通方向の下流側に設けられ、スラリーを流路内に導入するスラリー導入口とを有し、スラリー導入部は、スラリー導入口であってもよい。
【0062】
流路は、気流導入口とスラリー導入口との間の途中部において、流通方向に流路断面が収縮した後に拡大していてもよい。すなわち、分散部は、ラバルノズルを備える構成であってもよい。
【0063】
この構成では、気流導入口から流路に導入される気流が狭まった途中部を通過することにより、気流を加速させることができる。
【0064】
スラリーには、溶媒の揮発を抑えるため、溶媒よりも沸点の高い高沸点溶媒が添加されていてもよい。
【0065】
溶媒の揮発を抑えることにより、スラリーの粘度が高くなることを抑制でき、スラリーをスラリー導入部に良好に供給することができる。
【発明の効果】
【0066】
本発明によれば、ポンプを使用せずに、スラリータンク内から処理装置のスラリー導入部にスラリーを供給することができ、また、その供給を停止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0067】
【図1】本発明の一実施形態に係るスラリー処理システムの構成を図解的に示す断面図である。
【図2】スラリー処理システムの電気的構成を示すブロック図である。
【図3】スラリー供給装置で実行される運転開始処理の流れを示すフローチャートである。
【図4】コーティング装置で実行される運転終了処理の流れを示すフローチャートである。
【図5】スラリー供給装置で実行される運転終了処理の流れを示すフローチャートである。
【図6】スラリー供給装置で実行される運転開始処理の他の例を示すフローチャートである。
【図7】スラリー供給装置で実行される運転終了処理の他の例を示すフローチャートである。
【図8】スラリー供給装置の他の構成（その１）を図解的に示す断面図である。
【図9】スラリー供給装置の他の構成（その２）を図解的に示す断面図である。
【図10】スラリー供給装置の他の構成（その３）を図解的に示す断面図である。
【図11】スラリー供給装置の他の構成（その４）を図解的に示す断面図である。
【図12】スラリー供給装置の他の構成（その５）を図解的に示す断面図である。
【図13】スラリー供給装置の他の構成（その６）を図解的に示す断面図である。
【図14】スラリー供給装置の他の構成（その７）を図解的に示す断面図である。
【図15】スラリー供給装置の他の構成（その８）を図解的に示す断面図である。
【図16】スラリー供給装置の他の構成（その９）を図解的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0068】
以下では、本発明の実施の形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【0069】
＜スラリー処理システム＞
図１は、本発明の一実施形態に係るスラリー処理システム１の構成を図解的に示す断面図である。
図１は、本発明の一実施形態に係るスラリー処理システム１の構成を図解的に示す断面図である。
【0070】
スラリー処理システム１は、原料粒子の粉体とコーティング溶液とを混合して作製されたスラリーをコーティング装置２に供給し、コーティング装置２において、スラリーを原料粒子の表面にコーティング溶液が付着した粉体に分散させ、コーティング溶液を乾燥させて、その乾燥により得られる粉体を捕集するシステムである。スラリーは、スラリー供給装置３により、コーティング装置２に供給される。
【0071】
＜コーティング装置＞
コーティング装置２は、分散混合部１１、搬送乾燥部１２、分級部１３、第１捕集部１４および第２捕集部１５を備えている。
コーティング装置２は、分散混合部１１、搬送乾燥部１２、分級部１３、第１捕集部１４および第２捕集部１５を備えている。
【0072】
分散混合部１１は、略直方体形状の外形を有している。分散混合部１１の内部には、分散混合部１１の長手方向に延びる流路２１が形成されている。流路２１の一端は、分散混合部１１の長手方向の一方側の側面２２において、粉体流排出口２３として開放されている。また、分散混合部１１には、流路２１の他端部に高圧流体の気流を供給する分散エア導入口２４と、分散エア導入口２４よりも気流の流通方向の下流側に設けられ、流路２１にスラリーを導入するスラリー導入口２５とが形成されている。そして、流路２１には、分散エア導入口２４とスラリー導入口２５との間の途中部に、その流路断面が気流の流通方向に収縮した後に拡大することにより、ラバルノズル２６が形成されている。
【0073】
分散エア導入口２４には、分散エア供給管２７の一端が接続されている。分散エア供給管２７には、その他端から高圧流体である圧縮ガス（窒素、二酸化炭素、アルゴン等の不活性ガスや大気を高圧ガス状態としたもの）が分散エアとして供給される。分散エア供給管２７の途中部には、ミストセパレータ２８が介装されている。また、分散エア供給管２７は、ミストセパレータ２８よりも分散エアの流通方向の下流側において、分散エアヒータ２９を経由している。分散エア供給管２７を流れる分散エアは、ミストセパレータ２８で水分が除去された後、分散エアヒータ２９により加温されて、分散エア導入口２４から流路２１に供給される。流路２１に供給された分散エアは、ラバルノズル２６を通過することにより、流速が大きく上昇し、たとえば、流速が音速の３倍まで達する。
【0074】
スラリー導入口２５は、ラバルノズル２６の出口付近、つまり流路断面が収縮から拡大に転じた直後の位置に形成されている。そのため、分散エアが流路２１を流れている状態では、スラリー導入口２５の圧力が大気圧よりも大きく低下する。スラリー導入口２５には、スラリー供給装置３から延びるスラリー流通路６２（後述する）が接続されており、スラリー流通路６２からスラリーが供給される。スラリー導入口２５に供給されるスラリーは、スラリー導入口２５から流路２１に導入される。一方、そのスラリーが導入される部分には、ラバルノズル２６の作用による高速の気流が生じている。高速の気流が流路２１に導入されるスラリーを追い越すことにより、スラリーは、気流から剪断力を受け、原料粒子の表面にコーティング溶液が付着した粉体に分散される。そして、その粉体を乗せた気流（粉体流）が粉体流排出口２３から排出される。
【0075】
搬送乾燥部１２は、円筒状の第１円筒部３１と第１円筒部３１よりも小径の第２円筒部３２との間に、第１円筒部３１から離れるにつれて窄まる縮径部３３を有している。第１円筒部３１の縮径部３３側と反対側の一端は、端面板３４で閉じられている。端面板３４には、第１円筒部３１の中心線上に、分散混合部１１の粉体流排出口２３に対応する粉体流導入口３５が形成されている。分散混合部１１の粉体流排出口２３と粉体流導入口３５とが位置合わせされて、分散混合部１１の側面２２と端面板３４の外面とが対向して配置されることにより、分散混合部１１の流路２１と搬送乾燥部１２内とが連通している。
【0076】
第１円筒部３１の周面には、アシストエア導入口３６が形成されている。アシストエア導入口３６には、アシストエア供給管３７の一端が接続されている。アシストエア供給管３７の他端は、エア供給源３８に接続されている。エア供給源３８としては、たとえば、ブロワ、ポンプ、エアコンプレッサ、圧縮ガスボンベなどを挙げることができる。アシストエア供給管３７には、エア供給源３８からエアが供給され、そのエアがアシストエア導入口３６に向けて流れる。アシストエア供給管３７の途中部には、ミストセパレータ３９が介装されている。また、アシストエア供給管３７は、ミストセパレータ３９よりもアシストエアの流通方向の下流側において、アシストエアヒータ４１を経由している。アシストエア供給管３７を流れるエアは、ミストセパレータ３９で水分が除去された後、アシストエアヒータ４１で加温されることにより、加温乾燥エアとなり、アシストエア導入口３６から搬送乾燥部１２内にアシストエアとして導入される。
【0077】
アシストエア供給管３７は、アシストエアがアシストエア導入口３６から第１円筒部３１内に第１円筒部３１の内周面の接線方向に吹き出すように、アシストエア導入口３６に接続されている。そのため、アシストエア導入口３６から搬送乾燥部１２内に導入されるアシストエアは、第１円筒部３１の内周面に沿って流れる渦状の気流となって、第２円筒部３２に向けて流れる。
【0078】
分散混合部１１の粉体流排出口２３から排出される粉体を乗せた気流は、粉体流導入口３５から搬送乾燥部１２内に導入される。そして、粉体は、アシストエアの渦状の気流に乗って、搬送乾燥部１２内を第２円筒部３２に向けて搬送される。この搬送中に、原料粒子の表面に付着したコーティング溶液が乾燥することにより、原料粒子の表面がコーティング粒子の前駆体で被覆された粉体（以下、この粉体を「ドライゲル粉体」という。）が生成される。コーティング溶液の乾燥を促進するため、搬送乾燥部１２がヒータなどで加温されてもよい。
【0079】
ドライゲル粉体を乗せた気流は、搬送乾燥部１２の第２円筒部３２を通過して、分級部１３に流入する。分級部１３は、サイクロン型分級装置からなる。分級部１３では、搬送乾燥部１２からの気流が旋回して渦流となり、その渦流が有する遠心力により渦流からドライゲル粉体が分離する。
【0080】
具体的には、分級部１３は、外筒部５１、内筒部５２および円錐部５３を有している。外筒部５１は、中心線が上下方向に延びる円筒状に形成されている。外筒部５１の上端は、上面板５４で閉じられている。内筒部５２は、外筒部５１と同心かつ外筒部５１よりも小径の円筒状に形成されて、上面板５４を貫通して設けられている。円錐部５３は、外筒部５１の下端に連続し、外筒部５１から離れるにつれて窄まる（縮径する）円錐状に形成されている。
【0081】
外筒部５１の周面には、接続口５５が形成されている。搬送乾燥部１２の第２円筒部３２は、第２円筒部３２を通過する気流が接続口５５から外筒部５１内に外筒部５１の内周面の接線方向に吹き出すように、接続口５５に接続されている。内筒部５２の上端には、内筒部５２と交差する方向に延びる吸引管５６が接続されている。内筒部５２内は、吸引管５６内と連通している。なお、吸引管５６は、内筒部５２と一体に形成されていてもよい。吸引管５６内は、ブロワ５７の吸込口と連通している。
【0082】
ブロワ５７が作動すると、外筒部５１、内筒部５２、円錐部５３および吸引管５６内が負圧となり、第２円筒部３２から接続口５５を介して外筒部５１内にドライゲル粉体を含むエアが積極的に吸い込まれて、そのドライゲル粉体を含むエアが外筒部５１および円錐部５３の内周面に沿って螺旋状に旋回しつつ下降する。ドライゲル粉体を含むエアが円錐部５３の下端部に達すると、エアの流れが円錐部５３の中心部を螺旋状に旋回しつつ上昇する方向に変わり、エアが内筒部５２内に吸い出される。エアに含まれるドライゲル粉体は、旋回しながら、遠心力が働くことにより旋回半径の方向に移動して円錐部５３の内周面に集まり、エアから分離して、円錐部５３の内周面に沿って螺旋状に下降する。
【0083】
第１捕集部１４は、略円筒形状の容器であり、分級部１３の円錐部５３の下端は、第１捕集部１４に接続されている。円錐部５３の下端は、開口しており、第１捕集部１４内と分級部１３内とは、その開口を介して連通している。分級部１３内でエアから分離したドライゲル粉体は、円錐部５３の下端の開口から第１捕集部１４内に入り、第１捕集部１４内に集まる。
【0084】
第２捕集部１５は、吸引管５６の途中部に介装されている。第２捕集部１５には、バグフィルタ５８が設けられている。搬送乾燥部１２内では、原料粉体に付着していないコーティング溶液の液滴が乾燥することによる乾燥片が生じ、分級部１３内でドライゲル粉体と分離したエアには、ドライゲル粉体よりも粒径および重量の小さい乾燥片が含まれる。その乾燥片を含むエアは、内筒部５２内に吸い出されて、内筒部５２内から吸引管５６内に流入し、吸引管５６内をブロワ５７に向けて流れる。乾燥片を含むエアが第２捕集部１５を通過する際に、乾燥片がバグフィルタ５８に捕獲され、エアがバグフィルタ５８を通過する。その結果、ドライゲル粉体および乾燥片が除去された後の清浄なエアがブロワ５７の吐出口から吐出される。
【0085】
＜スラリー供給装置＞
スラリー供給装置３は、スラリータンク６１を備えている。スラリータンク６１は、その周面の中心線が上下方向に延びるように配置される。スラリータンク６１内には、スラリーが貯留されている。
スラリー供給装置３は、スラリータンク６１を備えている。スラリータンク６１は、その周面の中心線が上下方向に延びるように配置される。スラリータンク６１内には、スラリーが貯留されている。
【0086】
スラリーは、前述したように、原料粒子の粉体とコーティング溶液とを混合することにより作製される。スラリー処理システム１が全固体電池用の正極活物質粉体の生成に用いられる場合、原料粒子は、たとえば、リチウム金属複合酸化物の粒子であり、リチウム金属複合酸化物としては、ＬｉＣｏＯ２、ＬｉＮｉＯ２、ＬｉＭｎ２Ｏ４、ＬｉＮｉ１／３Ｍｎ１／３Ｃｏ１／３Ｏ２、Ｌｉ４Ｔｉ５Ｏ１２、ＬｉＦｅＰＯ４、ＬｉＮｉ０．８Ｃｏ０．１５Ａｌ０．０５Ｏ２などを挙げることができる。コーティング溶液は、たとえば、原料粒子と結合するコーティング粒子がニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）である場合、リチウムおよびニオブのアルコキシド溶液であり、リチウム源として、エトキシリチウム（ＬｉＯＣ２Ｈ５）を用い、ニオブ源として、ペンタエトキシニオブ（Ｎｂ（ＯＣ２Ｈ５）５）を用い、溶媒として、エタノールを用いることができる。コーティング溶液がリチウムおよびニオブのアルコキシド溶液である場合、コーティング装置２の第１捕集部１４に捕集されたドライゲル粉体を２５０℃以上５００℃未満で焼成することにより、原料粒子がニオブ酸リチウム薄膜で被覆された正極活物質粉体を得ることができる。スラリーには、溶媒の揮発を抑えるため、溶媒よりも沸点の高い高沸点溶媒が添加されてもよい。
【0087】
スラリー供給装置３は、スラリータンク６１内とコーティング装置２のスラリー導入口２５との間でスラリーを流通させるスラリー流通路６２を備えている。スラリー流通路６２の一端は、スラリータンク６１の最底部に形成されたスラリー流通口６３に接続され、スラリー流通路６２の他端は、コーティング装置２のスラリー導入口２５に接続されている。スラリー流通路６２には、スラリー流通路６２を開閉する開閉弁６４が介装されている。開閉弁６４は、たとえば、仕切弁である。また、スラリー流通路６２には、開閉弁６４よりもスラリー導入口２５側の部分におけるスラリーの流量を計測するための流量検出部の一例としての流量計６５が設けられている。
【0088】
また、スラリー供給装置３は、スラリータンク６１内の圧力を調整する圧力調整機構７１を備えている。
【0089】
圧力調整機構７１には、スラリータンク６１内を減圧する減圧機構７２が含まれ、減圧機構７２には、減圧管７３および減圧ポンプ７４が含まれる。スラリータンク６１の上面は、上面板７５によって閉鎖されている。上面板７５には、減圧口７６が形成されている。減圧管７３の一端は、減圧口７６に接続されている。減圧管７３の他端は、減圧ポンプ７４に接続されている。
【0090】
圧力調整機構７１には、圧力調整管７７および圧力調整弁７８が含まれる。スラリータンク６１の上面板７５には、圧力調整口７９が形成されている。圧力調整管７７の一端は、圧力調整口７９に接続されている。これにより、圧力調整管７７は、スラリータンク６１内と連通している。圧力調整管７７の他端は、大気に開放されている。圧力調整弁７８は、開度を変更可能な弁であり、圧力調整管７７の途中部に介装されている。
【0091】
減圧ポンプ７４が作動（オン）すると、スラリータンク６１内の上部に生じている空間（スラリータンク６１内に貯留されているスラリーの液面とスラリータンク６１の上面板７５との間の空間）から減圧口７６を介して減圧管７３にエアが吸い出される。そのため、減圧ポンプ７４が作動した状態で、圧力調整弁７８の開度が変更されると、スラリータンク６１内の圧力が大気圧以下の範囲で変化する。
【0092】
そして、スラリータンク６１内の圧力がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力よりも高い状態で、開閉弁６４が開にされていると、スラリータンク６１内の圧力とスラリー導入口２５における圧力との圧力差により、スラリーがスラリータンク６１内からスラリー流通路６２を通してスラリー導入口２５に供給される。逆に、スラリー導入口２５における圧力がスラリータンク６１内の圧力よりも高い状態で、開閉弁６４が開にされていると、スラリー導入口２５における圧力とスラリータンク６１内の圧力との圧力差により、スラリー流通路６２内のスラリーがスラリータンク６１内に回収される。
【0093】
スラリータンク６１内には、スラリーを撹拌するための撹拌翼８１が設けられている。撹拌翼８１は、上下方向に延びる回転軸８２の下端に取り付けられて、スラリータンク６１内の底部に配置されている。回転軸８２は、スラリータンク６１の上面板７５の中心または中心付近を貫通して、その上端部がスラリータンク６１外に突出している。回転軸８２のスラリータンク６１外に突出した部分には、撹拌モータ８３が結合されている。
【0094】
＜スラリー処理システムの電気的構成＞
図２は、スラリー処理システム１の電気的構成を示すブロック図である。
図２は、スラリー処理システム１の電気的構成を示すブロック図である。
【0095】
コーティング装置２およびスラリー供給装置３は、それぞれ制御部９１，９２を備えている。制御部９１，９２はいずれも、マイコン（マイクロコントローラ）を含む構成であり、マイコンには、たとえば、ＣＰＵと、フラッシュメモリやＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）などのメモリとが内蔵されている。制御部９１と制御部９２とは、双方向に通信可能に接続されている。
【0096】
制御部９１は、コーティング装置２の分散エアヒータ２９、エア供給源３８、アシストエアヒータ４１およびブロワ５７の動作を制御する。
【0097】
制御部９２には、スラリー供給装置３の流量計６５の出力信号が入力されるようになっている。流量計６５は、スラリー供給装置３のスラリー流通路６２を流れるスラリーの流量に応じた信号を出力する。制御部９２は、流量計６５の出力信号などに基づいて、開閉弁６４、減圧ポンプ７４、圧力調整弁７８および撹拌モータ８３の動作を制御する。
【0098】
＜スラリー供給装置における運転開始処理＞
図３は、スラリー供給装置３で実行される運転開始処理の流れを示すフローチャートである。
図３は、スラリー供給装置３で実行される運転開始処理の流れを示すフローチャートである。
【0099】
スラリー処理システム１の始動時には、コーティング装置２の運転開始に先立ち、スラリー供給装置３の運転が開始される。スラリー供給装置３の運転開始の際には、制御部９２により、運転開始処理が実行される。
【0100】
スラリー供給装置３における運転開始処理では、撹拌モータ８３がオフからオンに切り替えられる（ステップＳ１１）。撹拌モータ８３がオンにされると、撹拌モータ８３が発生する駆動力により、撹拌翼８１および回転軸８２が一体に回転し、撹拌翼８１の回転により、スラリータンク６１内に貯留されているスラリーが撹拌される。
【0101】
一方、圧力調整弁７８の開度が初期開放値に制御されたうえで（ステップＳ１２）、減圧ポンプ７４がオフからオンに切り替えられる（ステップＳ１３）。初期開放値は、減圧ポンプ７４がオンの状態（作動した状態）でスラリータンク６１内の圧力Ｐ１が大気圧未満となる値に設定されている。これにより、スラリータンク６１内から減圧管７３にエアが吸い出されるとともに、圧力調整管７７を通してスラリータンク６１内にエア（大気）が吸い込まれて、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１が大気圧未満に低下する。
【0102】
そして、開閉弁６４が閉から開に切り替えられる（ステップＳ１４）。
【0103】
コーティング装置２の運転が停止し、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１が大気圧未満になっているので、開閉弁６４が閉から開に切り替えられると、コーティング装置２の分散混合部１１のスラリー導入口２５からスラリー流通路６２にエア（大気）が取り込まれ、そのエアがスラリー流通路６２をスラリータンク６１に向けて流れる。そして、スラリー流通路６２を流れるエアがスラリータンク６１の最底部のスラリー流通口６３からスラリータンク６１内に貯留されているスラリー中に吹き出し、スラリー中に気泡が発生する。このバブリングにより、スラリータンク６１内に貯留されているスラリーが撹拌される。
【0104】
スラリータンク６１内に貯留されているスラリーは、撹拌翼８１の回転により撹拌され、また、バブリングにより撹拌される。これにより、スラリー中で原料粒子が沈降した状態が解消され、スラリーの分散性が向上する。なお、スラリーの撹拌は、撹拌翼８１の回転による撹拌のみであってもよいし、バブリングによる撹拌のみであってもよいが、撹拌翼８１の回転およびバブリングの両方による撹拌であれば、スラリーの分散性をより向上させることができる。
【0105】
バブリングによるスラリーの撹拌が所定のバブリング撹拌期間にわたって継続されると、つまり開閉弁６４が開にされてからバブリング撹拌期間が経過すると、開閉弁６４が開から閉に切り替えられる（ステップＳ１５）。バブリング撹拌期間の経過後も、撹拌翼８１によるスラリーの撹拌は継続される。また、バブリング撹拌期間が経過すると、スラリー供給装置３の制御部９２からコーティング装置２の制御部９１に、スラリー供給装置３におけるバブリング撹拌期間の終了が通知される。
【0106】
その後、コーティング装置２の暖機運転が開始されたか否かが判断される（ステップＳ１６）。コーティング装置２では、スラリー供給装置３の制御部９２からコーティング装置２の制御部９１へのバブリング撹拌期間の終了の通知を受けて、スラリーからドライゲル粉体を生成して捕集するコーティング処理の開始に先立ち、暖機運転が開始される。暖機運転では、分散エア供給源（図示せず）による分散エアの供給およびエア供給源３８によるアシストエアの供給が開始されるとともに、ブロワ５７が作動され、分散エアヒータ２９およびアシストエアヒータ４１がオフからオンに切り替えられる。
【0107】
なお、コーティング装置２の暖機運転の開始のタイミングで、バブリング撹拌期間が終了とされてもよい。
【0108】
コーティング装置２の暖機運転の開始に際して、コーティング装置２の制御部９１からスラリー供給装置３の制御部９２に、暖機運転の開始が通知される。暖機運転の開始が通知されると、コーティング装置２の暖機運転が開始されたと判断される（ステップＳ１６のＹＥＳ）。
【0109】
暖機運転の開始が判断されると（ステップＳ１６のＹＥＳ）、開閉弁６４が閉から開に切り替えられる（ステップＳ１７）。このとき、コーティング装置２の暖機運転が既に開始されており、コーティング装置２の分散混合部１１の流路２１を分散エアが流れている。分散エアが流路２１を流れている状態では、スラリー導入口２５における圧力Ｐ２は、大気圧よりも低く、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１よりもさらに低い。そのため、開閉弁６４が開にされると、スラリー供給装置３のスラリータンク６１内からスラリー流通路６２にスラリーが吸い出されて、スラリー流通路６２を流れるスラリーがスラリー導入口２５から流路２１に導入される。
【0110】
開閉弁６４が開にされた後、スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量、つまり流量計６５により計測される流量が予め設定された目標値に一致しているか否かが判断される（ステップＳ１８）。スラリーの流量が目標値に一致していない場合（ステップＳ１８のＮＯ）、圧力調整弁７８の開度が調整される（ステップＳ１９）。
【0111】
スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量が目標値に一致する状態では、スラリータンク６１内の圧力とスラリー導入口２５における圧力との圧力差が目標値に応じた圧力差となる。言い換えれば、スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量が目標値に一致する状態では、スラリータンク６１内の圧力がスラリー導入口２５における圧力よりもスラリーの流量を目標値に一致させるのに必要な圧力差だけ高くなる。
【0112】
スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量が目標値に一致すると（ステップＳ１８のＹＥＳ）、スラリー供給装置３における運転開始処理が終了される。スラリー供給装置３における運転開始処理の終了に伴い、スラリー供給装置３の制御部９２からコーティング装置２の制御部９１に、スラリー供給装置３における運転開始処理の終了が通知される。コーティング装置２では、その通知を受けて、既に暖機運転が終了していれば直ちに、暖機運転が終了していなければ暖機運転の終了後に、スラリーからドライゲル粉体を生成して捕集するコーティング処理が開始される。
【0113】
コーティング装置２におけるコーティング処理の実行中も含めて、減圧ポンプ７４がオンであり、開閉弁６４が開である間は、流量計６５により計測される流量が目標値に一致するように、圧力調整弁７８の開度の調整が続けられる。
【0114】
＜コーティング装置における運転終了処理＞
図４は、コーティング装置２で実行される運転終了処理の流れを示すフローチャートである。
図４は、コーティング装置２で実行される運転終了処理の流れを示すフローチャートである。
【0115】
コーティング装置２におけるコーティング処理が終了されると、制御部９１により、運転終了処理が実行される。
【0116】
コーティング装置２における運転終了処理では、分散エアヒータ２９およびアシストエアヒータ４１がオンからオフに切り替えられる（ステップＳ２１）。一方、分散エア供給源（図示せず）による分散エアの供給およびエア供給源３８によるアシストエアの供給が継続されるとともに、ブロワ５７の作動が継続される。これにより、分散エアヒータ２９およびアシストエアヒータ４１が作動（発熱）していない状態で、分散混合部１１、搬送乾燥部１２、分級部１３および第２捕集部１５をエアが通過し、コーティング装置２の各部が冷却される。
【0117】
その後、コーティング装置２の各部の冷却が完了したか否かが判断される（ステップＳ２２）。たとえば、分散エアヒータ２９およびアシストエアヒータ４１のオフから所定時間が経過したことにより、コーティング装置２の各部の冷却が完了したと判断されてもよいし、分散混合部１１、搬送乾燥部１２または分級部１３内に温度センサが設けられて、その温度センサで検出されるエアの温度が所定温度以下に低下したことにより、コーティング装置２の各部の冷却が完了したと判断されてもよい。
【0118】
コーティング装置２の各部の冷却が完了したと判断されると（ステップＳ２２のＹＥＳ）、分散エア供給源による分散エアの供給およびエア供給源３８によるアシストエアの供給がオフ（停止）されるとともに、ブロワ５７がオフ（停止）されて（ステップＳ２３）、コーティング装置２における運転終了処理が終了され、コーティング装置２の運転が終了となる。コーティング装置２の運転（運転終了処理）が終了すると、コーティング装置２の制御部９１からスラリー供給装置３の制御部９２に、コーティング装置２の運転の終了が通知される。
【0119】
＜スラリー供給装置における運転終了処理＞
図５は、スラリー供給装置３で実行される運転終了処理の流れを示すフローチャートである。
図５は、スラリー供給装置３で実行される運転終了処理の流れを示すフローチャートである。
【0120】
スラリー供給装置３の運転終了時には、制御部９２により、運転終了処理が行われる。
【0121】
スラリー供給装置３における運転終了処理では、コーティング装置２の運転が終了したか否かが判断される（ステップＳ３１）。コーティング装置２の制御部９１からスラリー供給装置３の制御部９２へのコーティング装置２の運転の終了の通知を受けて、制御部９２では、コーティング装置２の運転が終了したと判断される（ステップＳ３１のＹＥＳ）。
【0122】
コーティング装置２の運転が終了したと判断されると（ステップＳ３１のＹＥＳ）、スラリー供給装置３の運転が直ちに終了されるのではなく、その判断から所定の回収期間が経過するまで、スラリー供給装置３の運転が継続される。すなわち、開閉弁６４が開に保持されるとともに、減圧ポンプ７４および撹拌モータ８３の作動が継続される。
【0123】
回収期間では、コーティング装置２の運転が停止しているので、コーティング装置２の分散混合部１１の流路２１の圧力が大気圧になっている。一方、スラリー供給装置３では、減圧ポンプ７４が作動しているので、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１が大気圧未満になっている。そのため、開閉弁６４が開にされていると、コーティング装置２の流路２１に設けられているスラリー導入口２５における圧力とスラリータンク６１内の圧力との圧力差により、スラリー流通路６２に残存するスラリーがスラリータンク６１内に吸い込まれて回収される。
【0124】
コーティング装置２の運転終了の判断から回収期間が経過すると、開閉弁６４が開から閉に切り替えられる（ステップＳ３２）。そして、撹拌モータ８３がオフ（停止）にされ、減圧ポンプ７４がオフ（停止）にされて（ステップＳ３３）、スラリー供給装置３における運転終了処理が終了されて、スラリー供給装置３の運転が終了となる。
【0125】
＜作用効果＞
以上のように、コーティング装置２では、スラリーを対象とする処理、具体的には、スラリーからドライゲル粉体を生成して捕集するコーティング処理が実行される。スラリーは、スラリー供給装置３のスラリータンク６１内に貯留されている。スラリータンク６１内とコーティング装置２のスラリー導入口２５との間では、スラリーがスラリー流通路６２を通して流通する。
以上のように、コーティング装置２では、スラリーを対象とする処理、具体的には、スラリーからドライゲル粉体を生成して捕集するコーティング処理が実行される。スラリーは、スラリー供給装置３のスラリータンク６１内に貯留されている。スラリータンク６１内とコーティング装置２のスラリー導入口２５との間では、スラリーがスラリー流通路６２を通して流通する。
【0126】
コーティング装置２におけるコーティング処理の開始前に、スラリー流通路６２を開閉する開閉弁６４が閉の状態で、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１を調整する圧力調整弁７８の開度が制御されて、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力Ｐ２よりも高くされる。その後、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１がスラリー導入口２５における圧力Ｐ２よりも高い状態（Ｐ１＞Ｐ２）で、開閉弁６４が閉から開に切り替えられる。開閉弁６４が閉から開に切り替えられると、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１とスラリー導入口２５における圧力Ｐ２との圧力差により、スラリーがスラリータンク６１内からスラリー流通路６２を通してスラリー導入口２５に供給される。また、コーティング装置２におけるコーティング処理の終了後、開閉弁６４が開から閉に切り替えられる。これにより、スラリータンク６１内からコーティング装置２のスラリー導入口２５へのスラリーの供給が停止される。
【0127】
よって、ポンプを使用せずに、スラリータンク６１内からコーティング装置２のスラリー導入口２５にスラリーを供給することができ、また、その供給を停止することができる。スラリーの供給にポンプが使用される構成では、ポンプにおけるスラリーと接触する接液部への粒子の噛み込みや、粒子による接液部の摩耗を生じるおそれがある。スラリー供給装置３では、スラリーの供給にポンプが使用されないので、スラリーの供給にポンプが使用される構成に比べて、優れた長期信頼性を発揮することができる。
【0128】
また、コーティング装置２におけるコーティング処理が終了し、さらにコーティング装置２の各部の冷却が完了して、コーティング装置２の運転が終了した後、スラリー導入口２５における圧力Ｐ２がスラリータンク６１内の圧力Ｐ１よりも高い状態（Ｐ１＜Ｐ２）で開閉弁６４を開とする回収期間が設けられる。
【0129】
回収期間において、スラリー導入口２５における圧力Ｐ２とスラリータンク６１内の圧力Ｐ１との圧力差により、コーティング装置２の運転処理の終了後にスラリー流通路６２に残存するスラリーをスラリータンク６１内に回収することができる。その結果、スラリー流通路６２にスラリーが残ることを防止でき、スラリー流通路６２にスラリーが乾燥して固着することを防止できる。
【0130】
回収期間では、減圧ポンプ７４（減圧機構７２）が作動される。減圧ポンプ７４の作動により、スラリータンク６１内が減圧されて、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１がスラリー導入口２５における圧力Ｐ２（＝大気圧）よりも低くなる。その結果、スラリー導入口２５における圧力Ｐ２がスラリータンク６１内の圧力Ｐ１よりも高い状態を生じさせることができる。
【0131】
コーティング装置２では、コーティング処理の開始に先立ち、暖機運転が行われる。スラリー供給装置３では、コーティング装置２の暖機運転の開始前に、減圧ポンプ７４を作動させて、減圧ポンプ７４が作動した状態で開閉弁６４を開とするバブリング撹拌期間が設けられる。
【0132】
バブリング撹拌期間において、スラリー導入口２５における圧力Ｐ２とスラリータンク６１内の圧力Ｐ１との圧力差により、スラリー導入口２５からスラリー流通路６２にエア（大気）が吸い込まれて、スラリー流通路６２からスラリータンク６１内に貯留されているスラリー中にエアが吹き出し、スラリー中に気泡が発生する。このバブリングにより、スラリータンク６１内のスラリーを撹拌することができ、スラリーの分散性を向上させることができる。
【0133】
また、スラリー供給装置３には、スラリータンク６１内に設けられ、スラリータンク６１内のスラリーを撹拌する撹拌翼８１と、撹拌翼８１を回転させる駆動力を発生する撹拌モータ８３とが備えられている。そして、スラリー供給装置３では、コーティング装置２の暖機運転の開始前に、撹拌モータ８３が作動されて、撹拌翼８１の回転が開始される。
【0134】
コーティング装置２の暖機運転の開始前に、撹拌翼８１の回転により、スラリータンク６１内のスラリーを撹拌することができ、スラリーの分散性を向上させることができる。
【0135】
なお、コーティング処理の開始に先立って暖機運転が行われる場合には、暖機運転の開始前にバブリング撹拌期間が設けられるが、暖機運転が行われない場合には、コーティング処理の開始前にバブリング撹拌期間が設けられるとよい。また、コーティング処理の開始に先立って暖機運転が行われる場合には、暖機運転の開始前に撹拌翼８１の回転が開始されるが、暖機運転が行われない場合には、コーティング処理の開始前に撹拌翼８１の回転が開始されるとよい。
【0136】
スラリー供給装置３には、スラリー流通路６２におけるスラリーの流量を計測する流量計６５が設けられており、コーティング装置２におけるコーティング処理の実行中、流量計６５により計測される流量が目標値に一致するように、圧力調整弁７８の開度が制御される。これによって、スラリーをコーティング装置２のスラリー導入口２５に安定した流量で供給することができる。
【0137】
＜スラリー供給装置における運転開始処理の他の例＞
図６は、スラリー供給装置３で実行される運転開始処理の他の例を示すフローチャートである。
図６は、スラリー供給装置３で実行される運転開始処理の他の例を示すフローチャートである。
【0138】
図３に示される運転開始処理では、コーティング装置２の暖機運転の開始前に、スラリー供給装置３において、撹拌モータ８３がオンにされ、減圧ポンプ７４がオンにされ、開閉弁６４が開にされて、スラリータンク６１内のスラリーが撹拌翼８１の回転およびバブリングにより撹拌される。これに限らず、コーティング装置２の暖機運転と並行して、スラリー供給装置３において、スラリータンク６１内のスラリーが撹拌翼８１の回転により撹拌されてもよい。すなわち、スラリー供給装置３では、コーティング装置２の暖機運転の開始がコーティング装置２の制御部９１からスラリー供給装置３の制御部９２に通知されると、制御部９２により、図６に示される運転開始処理が実行されてもよい。
【0139】
図６に示される運転開始処理では、撹拌モータ８３がオフからオンに切り替えられて（ステップＳ４１）、撹拌翼８１の回転により、スラリータンク６１内に貯留されているスラリーが撹拌される。
【0140】
一方、圧力調整弁７８の開度が初期開放値に制御されたうえで（ステップＳ４２）、減圧ポンプ７４がオフからオンに切り替えられる（ステップＳ４３）。初期開放値は、減圧ポンプ７４がオンの状態でスラリータンク６１内の圧力Ｐ１が暖機運転中のコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力Ｐ２よりも高くなる値に設定されている。
【0141】
そして、開閉弁６４が閉から開に切り替えられる（ステップＳ４４）。スラリータンク６１内の圧力Ｐ１が暖機運転中のコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力Ｐ２よりも高いので、開閉弁６４が開にされると、スラリー供給装置３のスラリータンク６１内からスラリー流通路６２にスラリーが吸い出されて、スラリー流通路６２を流れるスラリーがスラリー導入口２５から流路２１に導入される。
【0142】
開閉弁６４が開にされた後、スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量、つまり流量計６５により計測される流量が予め設定された目標値に一致しているか否かが判断される（ステップＳ４５）。スラリーの流量が目標値に一致していない場合（ステップＳ４５のＮＯ）、圧力調整弁７８の開度が調整される（ステップＳ４６）。
【0143】
スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量が目標値に一致すると（ステップＳ４５のＹＥＳ）、スラリー供給装置３における運転開始処理が終了となり、スラリー供給装置３の制御部９２からコーティング装置２の制御部９１に、スラリー供給装置３における運転開始処理の終了が通知される。コーティング装置２では、その通知を受けて、既に暖機運転が終了していれば直ちに、暖機運転が終了していなければ暖機運転の終了後に、スラリーからドライゲル粉体を生成して捕集するコーティング処理が開始される。
【0144】
なお、撹拌翼８１の回転によるスラリーの撹拌が行われる場合と同様に、コーティング装置２の暖機運転と並行して、スラリー供給装置３において、バブリングによるスラリーの撹拌が行われてもよい。
【0145】
また、コーティング装置２において、コーティング処理の開始に先立って暖機運転が行われる場合には、暖機運転の開始前に撹拌翼８１の回転またはバブリングによるスラリーの撹拌が行われてもよく、暖機運転が行われない場合には、コーティング処理の開始前に撹拌翼８１の回転またはバブリングによるスラリーの撹拌が行われてもよい。
【0146】
さらには、図３に示される運転開始処理および図６に示される運転開始処理では、スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量が目標値に一致すると、スラリー供給装置３における運転開始処理の終了がスラリー供給装置３の制御部９２からコーティング装置２の制御部９１に通知されるとした。しかし、コーティング装置２におけるコーティング処理の実行中も含めて、減圧ポンプ７４がオンかつ開閉弁６４が開である間は、流量計６５により計測される流量が目標値に一致するように圧力調整弁７８の開度が調整されるので、開閉弁６４が閉から開に切り替えられたことに応じて、スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量が目標値に一致せずとも、スラリー供給装置３における運転開始処理の終了が通知されてもよい。
【0147】
＜スラリー供給装置における運転終了処理の他の例＞
図７は、スラリー供給装置３で実行される運転終了処理の他の例を示すフローチャートである。
図７は、スラリー供給装置３で実行される運転終了処理の他の例を示すフローチャートである。
【0148】
コーティング装置２では、コーティング処理の終了後に、各部を冷却する期間が設けられる。図５に示される運転終了処理によれば、コーティング装置２の各部を冷却する期間中、スラリー供給装置３では、減圧ポンプ７４がオンの状態で開閉弁６４が開に保持される。これに限らず、コーティング装置２の各部を冷却する期間中、スラリー供給装置３では、開閉弁６４が閉じられて、減圧ポンプ７４がオフにされてもよい。すなわち、スラリー供給装置３では、図５に示される運転終了処理に代えて、図７に示される運転終了処理が実行されてもよい。
【0149】
図７に示される運転終了処理では、制御部９２により、コーティング装置２におけるコーティング処理が終了したか否かが判断される（ステップＳ５１）。コーティング処理が終了すると、コーティング装置２の制御部９１からスラリー供給装置３の制御部９２に、コーティング処理の終了が通知される。この通知を受けて、制御部９２では、コーティング装置２におけるコーティング処理が終了したと判断される（ステップＳ５１のＹＥＳ）。
【0150】
コーティング処理が終了したと判断されると（ステップＳ５１のＹＥＳ）、開閉弁６４が開から閉に切り替えられる（ステップＳ５２）。そして、減圧ポンプ７４がオフにされる（ステップＳ５３）。
【0151】
その後、コーティング装置２の運転が終了したか否かが判断される（ステップＳ５４）。コーティング装置２の運転の終了がコーティング装置２の制御部９１からスラリー供給装置３の制御部９２に通知されると、制御部９２では、コーティング装置２の運転が終了したと判断される（ステップＳ５４のＹＥＳ）。
【0152】
コーティング装置２の運転が終了したと判断されると（ステップＳ５４のＹＥＳ）、減圧ポンプ７４がオフからオンに切り替えられる（ステップＳ５５）。そして、開閉弁６４が閉から開に切り替えられる（ステップＳ５６）。
【0153】
コーティング装置２の運転が終了しているので、コーティング装置２の分散混合部１１の流路２１の圧力が大気圧になっている。一方、スラリー供給装置３では、減圧ポンプ７４の作動により、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１が大気圧未満になっている。そのため、開閉弁６４が開にされると、コーティング装置２の流路２１に設けられているスラリー導入口２５における圧力とスラリータンク６１内の圧力との圧力差により、スラリー流通路６２に残存するスラリーがスラリータンク６１内に吸い込まれて回収される。
【0154】
コーティング装置２の運転の終了から所定の回収期間が経過するまで、開閉弁６４が開に保持されるとともに、減圧ポンプ７４がオンに保持される。コーティング装置２の運転の終了から回収期間が経過すると、開閉弁６４が開から閉に切り替えられる（ステップＳ５７）。そして、減圧ポンプ７４がオフにされる（ステップＳ５８）。撹拌モータ８３は、コーティング装置２の各部を冷却する期間もオンにされており、コーティング装置２の運転の終了から回収期間が経過すると、オフにされる（ステップＳ５８）。以上により、スラリー供給装置３の運転が終了となる。
【0155】
なお、スラリーによっては、回収期間が設けられなくてもよく、回収期間が設けられない場合には、コーティング装置２におけるコーティング処理が終了したことに応じて、開閉弁６４が開から閉に切り替えられて、減圧ポンプ７４がオフにされるとよい。
【0156】
＜スラリー供給装置の他の構成（その１）＞
図８は、スラリー供給装置３０１の構成を図解的に示す断面図である。図８において、図１に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。また、以下では、その同一の参照符号が付された部分の説明を省略する。
図８は、スラリー供給装置３０１の構成を図解的に示す断面図である。図８において、図１に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。また、以下では、その同一の参照符号が付された部分の説明を省略する。
【0157】
スラリー供給装置３０１は、スラリータンク６１内のスラリーを循環させる循環撹拌機構１０１を備えている。循環撹拌機構１０１には、スラリー循環路１０２、スラリー循環ポンプ１０３およびスラリー循環弁１０４が含まれる。
【0158】
スラリー循環路１０２の一端は、スラリー流通路６２の途中部であって、スラリータンク６１の最底部のスラリー流通口６３と開閉弁６４との間の部分に接続されている。これにより、スラリー循環路１０２の一端は、スラリー流通路６２およびスラリー流通口６３を介して、スラリータンク６１内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で開放されている。また、スラリー循環路１０２は、スラリータンク６１の上部を貫通し、スラリー循環路１０２の他端は、スラリータンク６１内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。
【0159】
スラリー循環ポンプ１０３は、スラリー循環路１０２の途中部に介装されている。
【0160】
スラリー循環弁１０４は、スラリー循環路１０２の途中部であって、スラリー循環路１０２の一端（スラリー流通路６２）とスラリー循環ポンプ１０３との間に介装されている。
【0161】
開閉弁６４が閉の状態で、スラリー循環弁１０４が開にされて、スラリー循環ポンプ１０３がオンにされると、スラリー循環ポンプ１０３の働きにより、スラリータンク６１内からスラリー流通路６２を通してスラリー循環路１０２にスラリーが吸い出される。スラリー循環路１０２に吸い出されたスラリーは、スラリー循環路１０２を流れ、スラリー循環路１０２からスラリータンク６１内に戻される。これにより、スラリータンク６１内のスラリーがスラリー循環路１０２を通して循環することにより、スラリーが撹拌され、スラリーの分散性が向上する。
【0162】
この循環によるスラリーの撹拌は、バブリングによるスラリーの撹拌に代えて行われるとよい。ただし、スラリー供給装置３０１では、循環によるスラリーの撹拌が行われていない期間に、減圧ポンプ７４を作動させて、開閉弁６４を開にすることにより、バブリングによるスラリーの撹拌を行うこともできる。
【0163】
また、スラリー供給装置３０１では、スラリータンク６１内に、上撹拌翼１０５Ｕおよび下撹拌翼１０５Ｌが上下２段に設けられている。
【0164】
下撹拌翼１０５Ｌは、回転軸８２の下端に取り付けられて、スラリータンク６１内の底部に配置されている。下撹拌翼１０５Ｌは、スラリータンク６１の内底面１０６との距離を小さくするために、内底面１０６に沿った形状に形成されている。たとえば、スラリータンク６１の内底面の形状が略半球状である場合、下撹拌翼１０５Ｌは、その略半球状の内底面１０６に沿って湾曲した形状に形成される。
【0165】
上撹拌翼１０５Ｕは、回転軸８２に取り付けられて、下撹拌翼１０５Ｌから上方に間隔を空けた位置に配置されている。上撹拌翼１０５Ｕは、回転軸８２の軸線と直交する方向に直線状に延びている。
【0166】
撹拌モータ８３がオンにされると、撹拌モータ８３が発生する駆動力により、回転軸８２、上撹拌翼１０５Ｕおよび下撹拌翼１０５Ｌが一体に回転し、上撹拌翼１０５Ｕおよび下撹拌翼１０５Ｌの回転により、スラリータンク６１内に貯留されているスラリーが撹拌される。
【0167】
なお、スラリータンク６１の容積によっては、攪拌翼がさらに追加されて、撹拌翼が３段以上に設けられてもよい。
【0168】
また、スラリー供給装置３０１の圧力調整機構７１には、スラリータンク６１内を加圧する加圧機構１０７が設けられてもよい。加圧機構１０７には、加圧管１０８および加圧ポンプ１０９が含まれる。加圧機構１０７が備えられる構成では、スラリータンク６１の上面板７５に、加圧口１１０が形成される。そして、加圧管１０８の一端が加圧口１１０に接続され、加圧管１０８の他端が加圧ポンプ１０９に接続される。
【0169】
加圧機構１０７は、減圧機構７２と選択的に用いることができる。加圧ポンプ１０９が作動すると、加圧ポンプ１０９から加圧管１０８にエアが送り出され、そのエアが加圧口１１０を介してスラリータンク６１内に供給される。そのため、加圧ポンプ１０９が作動した状態で、圧力調整弁７８の開度が変更されると、スラリータンク６１内の圧力が大気圧以上の範囲で変化する。
【0170】
＜他の構成（その１）による作用効果＞
スラリー供給装置３０１の構成によれば、図１に示されるスラリー供給装置３の構成と同様の作用効果に加えて、スラリータンク６１内のスラリーを循環により撹拌でき、それによっても、スラリーの分散性を向上させることができる。
スラリー供給装置３０１の構成によれば、図１に示されるスラリー供給装置３の構成と同様の作用効果に加えて、スラリータンク６１内のスラリーを循環により撹拌でき、それによっても、スラリーの分散性を向上させることができる。
【0171】
また、スラリー供給装置３０１では、スラリータンク６１内に、上撹拌翼１０５Ｕおよび下撹拌翼１０５Ｌが上下２段に設けられている。これにより、スラリー供給装置３０１では、スラリー供給装置３と比較して、スラリータンク６１内のスラリーの上下方向における分散性をさらに向上させることができる（スラリータンク６１内のスラリーの分散性に上下方向でむらが生じることを抑制できる）。
【0172】
そのうえ、下撹拌翼１０５Ｌがスラリータンク６１の内底面１０６に沿った形状に形成されて、下撹拌翼１０５Ｌと内底面１０６との距離が小さいので、スラリータンク６１の底部にあるスラリーまで良好に撹拌できる。その結果、スラリータンク６１内のスラリーの分散性がより一層向上する。
【0173】
加圧機構１０７が設けられた構成では、スラリータンク６１内の圧力を大気圧よりも高くすることにより、スラリータンク６１内の圧力とコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力との圧力差を大きく確保でき、その圧力差によって、スラリーをスラリー導入口２５に良好に供給することができる。
【0174】
なお、加圧機構１０７の加圧源は、加圧ポンプ１０９に限定されず、工場内で圧縮空気を生成するコンプレッサなどであってもよいし、他の方式によるものであってもよい。
【0175】
＜スラリー供給装置の他の構成（その２）＞
図９は、スラリー供給装置３０２の構成を図解的に示す断面図である。図９において、図１に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。また、以下では、その同一の参照符号が付された部分の説明を省略する。
図９は、スラリー供給装置３０２の構成を図解的に示す断面図である。図９において、図１に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。また、以下では、その同一の参照符号が付された部分の説明を省略する。
【0176】
スラリー供給装置３０２は、第１スラリータンク１１１および第２スラリータンク１１２を備えている。
【0177】
第１スラリータンク１１１の最底部には、スラリー流通口１１３が形成されている。スラリー供給装置３０２では、スラリー流通路６２が第１分割路１１４および第２分割路１１５に分割して構成されている。スラリー流通口１１３には、第１分割路１１４の一端が接続されている。第１分割路１１４の他端は、第１三方弁１１６の第１ポートに接続されている。第２分割路１１５の一端は、第１三方弁１１６の第２ポートに接続され、第２分割路１１５の他端は、コーティング装置２のスラリー導入口２５に接続されている。開閉弁６４は、第１分割路１１４の途中部に介装され、流量計６５は、第２分割路１１５に介装されている。
【0178】
第１三方弁１１６の第３ポートには、第１スラリー移送路１１７の一端が接続されている。これにより、第１スラリー移送路１１７の一端は、第１三方弁１１６、第１分割路１１４およびスラリー流通口１１３を介して、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で開放されている。第１スラリー移送路１１７は、第２スラリータンク１１２の上部を貫通し、第１スラリー移送路１１７の他端は、第２スラリータンク１１２内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。第１スラリー移送路１１７の途中部には、第１スラリー移送ポンプ１１８が介装されている。
【0179】
スラリー流通路６２の第１分割路１１４には、スラリー流通口１１３と開閉弁６４との間において、第１スラリー循環路１２１の一端が接続されている。これにより、第１スラリー循環路１２１の一端は、第１分割路１１４およびスラリー流通口１１３を介して、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で開放されている。また、第１スラリー循環路１２１は、第１スラリータンク１１１の上部を貫通し、第１スラリー循環路１２１の他端は、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。第１スラリー循環路１２１の途中部には、第１スラリー循環弁１２２および第１スラリー循環ポンプ１２３が第１分割路１１４側からこの順に介装されている。
【0180】
第２スラリータンク１１２には、第２スラリー移送路１３１が接続されている。第２スラリー移送路１３１は、第１分割路１３２および第２分割路１３３に分割して構成されている。第２スラリータンク１１２の最底部には、スラリー流通口１３４が形成されている、スラリー流通口１３４には、第１分割路１３２の一端が接続されている。第１分割路１３２の他端は、第２三方弁１３５の第１ポートに接続されている。第２分割路１３３の一端は、第２三方弁１３５の第２ポートに接続されている。第２分割路１３３は、第１スラリータンク１１１の上部を貫通し、第２分割路１３３の他端は、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。第１分割路１３２の途中部には、第２スラリー移送弁１３６および第２スラリー移送ポンプ１３７がスラリー流通口１３４側からこの順に介装されている。
【0181】
第２三方弁１３５の第３ポートには、第２スラリー循環路１３８の一端が接続されている。第２スラリー循環路１３８は、第２スラリータンク１１２の上部を貫通し、第２スラリー循環路１３８の他端は、第２スラリータンク１１２内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。
【0182】
開閉弁６４が閉の状態で、第１スラリー循環弁１２２が開にされて、第１スラリー循環ポンプ１２３がオンにされると、第１スラリー循環ポンプ１２３の働きにより、第１スラリータンク１１１内からスラリー流通路６２の第１分割路１１４を通して第１スラリー循環路１２１にスラリーが吸い出される。第１スラリー循環路１２１に吸い出されたスラリーは、第１スラリー循環路１２１を流れ、第１スラリー循環路１２１から第１スラリータンク１１１内に戻される。これにより、第１スラリータンク１１１内のスラリーが第１スラリー循環路１２１を通して循環することにより、スラリーが撹拌され、スラリーの分散性が向上する。
【0183】
第２三方弁１３５の第１ポートと第３ポートとが連通した状態で、第２スラリー移送弁１３６が開にされて、第２スラリー移送ポンプ１３７がオンにされると、第２スラリー移送ポンプ１３７の働きにより、第２スラリータンク１１２内から第２スラリー移送路１３１の第１分割路１３２にスラリーが吸い出される。第１分割路１３２に吸い出されたスラリーは、第１分割路１３２を第２三方弁１３５に向けて流れ、第２三方弁１３５から第２スラリー循環路１３８に流れて、第２スラリー循環路１３８から第２スラリータンク１１２内に戻される。これにより、第２スラリータンク１１２内のスラリーが第２スラリー循環路１３８を通して循環することにより、スラリーが撹拌され、スラリーの分散性が向上する。
【0184】
また、第１三方弁１１６の第１ポートと第３ポートとが連通し、第２三方弁１３５の第１ポートと第２ポートとが連通し、第１スラリー循環弁１２２が閉の状態で、開閉弁６４および第２スラリー移送弁１３６が開にされて、第１スラリー移送ポンプ１１８および第２スラリー移送ポンプ１３７がオンにされると、第１スラリー移送ポンプ１１８の働きにより、第１スラリータンク１１１内からスラリー流通路６２の第１分割路１１４を通して第１スラリー移送路１１７にスラリーが吸い出される。第１スラリー移送路１１７に吸い出されたスラリーは、第１スラリー移送路１１７を流れ、第１スラリー移送路１１７から第２スラリータンク１１２内に流入する。一方、第２スラリー移送ポンプ１３７の働きにより、第２スラリータンク１１２内から第２スラリー移送路１３１の第１分割路１３２にスラリーが吸い出される。第１分割路１３２に吸い出されたスラリーは、第１分割路１３２を第２三方弁１３５に向けて流れ、第２三方弁１３５から第２分割路１３３を流れ、第２分割路１３３から第１スラリータンク１１１内に流入する。これにより、スラリーが第１スラリータンク１１１内と第２スラリータンク１１２内との間でスラリー流通路６２、第１スラリー移送路１１７および第２スラリー移送路１３１を通して循環する。スラリーの循環により、スラリーが撹拌され、スラリーの分散性が向上する。
【0185】
また、スラリー供給装置３０１は、第１スラリータンク１１１内の圧力を調整する圧力調整機構１４１を備えている。
【0186】
圧力調整機構１４１には、第１スラリータンク１１１内を減圧する減圧機構１４２が含まれ、減圧機構１４２には、減圧管１４３および減圧ポンプ１４４が含まれる。第１スラリータンク１１１の上面は、上面板１４５によって閉鎖されている。上面板１４５には、減圧口１４６が形成されている。減圧管１４３の一端は、減圧口１４６に接続されている。減圧管１４３の他端は、減圧ポンプ１４４に接続されている。
【0187】
圧力調整機構１４１には、圧力調整管１４７および圧力調整弁１４８が含まれる。第１スラリータンク１１１の上面板１４５には、圧力調整口１４９が形成されている。圧力調整管１４７の一端は、圧力調整口１４９に接続されている。圧力調整管１４７の他端は、大気に開放されている。圧力調整弁１４８は、開度を変更可能な弁であり、圧力調整管１４７の途中部に介装されている。
【0188】
減圧ポンプ１４４が作動すると、第１スラリータンク１１１内の上部に生じている空間（第１スラリータンク１１１内に貯留されているスラリーの液面と第１スラリータンク１１１の上面板１４５との間の空間）から減圧口１４６を介して減圧管１４３にエアが吸い出される。そのため、減圧ポンプ１４４が作動した状態で、圧力調整弁１４８の開度が変更されると、第１スラリータンク１１１内の圧力が大気圧以下の範囲で変化する。
【0189】
そして、第１三方弁１１６の第１ポートと第２ポートとが連通し、第１スラリー循環弁１２２が閉であり、第１スラリータンク１１１内の圧力がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力よりも高い状態で、開閉弁６４が開にされていると、第１スラリータンク１１１内の圧力とスラリー導入口２５における圧力との圧力差により、スラリーが第１スラリータンク１１１内からスラリー流通路６２を通してスラリー導入口２５に供給される。逆に、第１三方弁１１６の第１ポートと第２ポートとが連通し、第１スラリー循環弁１２２が閉であり、スラリー導入口２５における圧力が第１スラリータンク１１１内の圧力よりも高い状態で、開閉弁６４が開にされていると、スラリー導入口２５における圧力と第１スラリータンク１１１内の圧力との圧力差により、スラリー流通路６２内のスラリーが第１スラリータンク１１１内に回収される。
【0190】
また、第１三方弁１１６の第１ポートと第２ポートとが連通し、開閉弁６４が閉にされた状態で、第１スラリー移送ポンプがオンにされると、第１スラリー移送ポンプ１１８の働きにより、スラリー流通路６２内のスラリーが第１スラリー移送路１１７を通して第２スラリータンク１１２内に回収される。
【0191】
第１スラリータンク１１１内には、スラリーを撹拌するための第１撹拌翼１５１が設けられている。第１撹拌翼１５１は、上下方向に延びる第１回転軸１５２の下端に取り付けられて、第１スラリータンク１１１内の底部に配置されている。第１回転軸１５２は、第１スラリータンク１１１の上面板１４５の中心または中心付近を貫通して、その上端部が第１スラリータンク１１１外に突出している。第１回転軸１５２の第１スラリータンク１１１外に突出した部分には、第１撹拌モータ１５３が結合されている。
【0192】
第１撹拌モータ１５３がオンにされると、第１撹拌モータ１５３が発生する駆動力により、第１回転軸１５２、第１撹拌翼１５１が一体に回転し、第１撹拌翼１５１の回転により、第１スラリータンク１１１内に貯留されているスラリーが撹拌される。
【0193】
第２スラリータンク１１２内には、スラリーを撹拌するための第２撹拌翼１５４が設けられている。第２撹拌翼１５４は、上下方向に延びる第２回転軸１５５の下端に取り付けられて、第２スラリータンク１１２内の底部に配置されている。第２スラリータンク１１２の上面は、上面板１５６によって閉鎖されている。第２回転軸１５５は、上面板１５６の中心または中心付近を貫通して、その上端部が第２スラリータンク１１２外に突出している。第２回転軸１５５の第２スラリータンク１１２外に突出した部分には、第２撹拌モータ１５７が結合されている。
【0194】
第２撹拌モータ１５７がオンにされると、第２撹拌モータ１５７が発生する駆動力により、第２回転軸１５５、第２撹拌翼１５４が一体に回転し、第２撹拌翼１５４の回転により、第２スラリータンク１１２内に貯留されているスラリーが撹拌される。
【0195】
＜他の構成（その２）による作用効果＞
スラリー供給装置３０２の構成によれば、図１に示されるスラリー供給装置３の構成と同様の作用効果に加えて、第１スラリータンク１１１内のスラリーを第１スラリー循環路１２１を通して循環させることができ、その循環により第１スラリータンク１１１内のスラリーを撹拌できる。また、第２スラリータンク１１２内のスラリーを第２スラリー循環路１３８を通して循環させることができ、その循環により第２スラリータンク１１２内のスラリーを撹拌できる。
スラリー供給装置３０２の構成によれば、図１に示されるスラリー供給装置３の構成と同様の作用効果に加えて、第１スラリータンク１１１内のスラリーを第１スラリー循環路１２１を通して循環させることができ、その循環により第１スラリータンク１１１内のスラリーを撹拌できる。また、第２スラリータンク１１２内のスラリーを第２スラリー循環路１３８を通して循環させることができ、その循環により第２スラリータンク１１２内のスラリーを撹拌できる。
【0196】
さらには、第１スラリータンク１１１内と第２スラリータンク１１２内との間でスラリーを循環させることができ、その循環によっても、第１スラリータンク１１１内のスラリーおよび第２スラリータンク１１２内のスラリーを撹拌できる。
【0197】
＜スラリー供給装置の他の構成（その３）＞
図１０は、スラリー供給装置３０３の構成を図解的に示す断面図である。図１０において、図９に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。また、以下では、図１０に示されるスラリー供給装置３０３の構成について、図９に示されるスラリー供給装置３０２の構成との相違点を取り上げて説明する。
図１０は、スラリー供給装置３０３の構成を図解的に示す断面図である。図１０において、図９に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。また、以下では、図１０に示されるスラリー供給装置３０３の構成について、図９に示されるスラリー供給装置３０２の構成との相違点を取り上げて説明する。
【0198】
スラリー供給装置３０３では、スラリー供給装置３０２の構成から、第１三方弁１１６および第１スラリー移送路１１７が省略され、スラリー流通路６２が第１分割路１１４および第２分割路１１５に分割されていない。
【0199】
また、スラリー供給装置３０３は、第２スラリータンク１１２内の圧力を調整する圧力調整機構１６１を備えている。
【0200】
圧力調整機構１６１には、第２スラリータンク１１２内を減圧する減圧機構１６２が含まれ、減圧機構１６２には、減圧管１６３および減圧ポンプ１６４が含まれる。第２スラリータンク１１２の上面板１５６には、減圧口１６６が形成されており、減圧管１６３の一端は、減圧口１６６に接続されている。減圧管１６３の他端は、減圧ポンプ１６４に接続されている。
【0201】
圧力調整機構１６１には、圧力調整管１６７および圧力調整弁１６８が含まれる。第２スラリータンク１１２の上面板１５６には、圧力調整口１６９が形成されている。圧力調整管１６７の一端は、圧力調整口１６９に接続されている。圧力調整管１６７の他端は、大気に開放されている。圧力調整弁１６８は、開度を変更可能な弁であり、圧力調整管１６７の途中部に介装されている。
【0202】
減圧ポンプ１６４が作動すると、第２スラリータンク１１２内の上部に生じている空間（第２スラリータンク１１２内に貯留されているスラリーの液面と第２スラリータンク１１２の上面板１５６との間の空間）から減圧口１６６を介して減圧管１６３にエアが吸い出される。そのため、減圧ポンプ１６４が作動した状態で、圧力調整弁１６８の開度が変更されると、第２スラリータンク１１２内の圧力が大気圧以下の範囲で変化する。
【0203】
第２三方弁１３５の第１ポートと第２ポートとが連通した状態で、第２スラリー移送弁１３６が開にされて、第２スラリー移送ポンプ１３７がオンにされると、第２スラリー移送ポンプ１３７の働きにより、第２スラリータンク１１２内から第２スラリー移送路１３１の第１分割路１３２にスラリーが吸い出される。第１分割路１３２に吸い出されたスラリーは、第１分割路１３２を第２三方弁１３５に向けて流れ、第２三方弁１３５から第２分割路１３３を流れ、第２分割路１３３から第１スラリータンク１１１内に流入する。これにより、第２スラリータンク１１２内のスラリーが第１スラリータンク１１１内に供給される。
【0204】
スラリー供給装置３０３は、第１スラリータンク１１１内の圧力と第２スラリータンク１１２内の圧力との圧力差により、第２スラリータンク１１２内のスラリーが第１スラリータンク１１１内に移送される構成であってもよい。
【0205】
すなわち、第２スラリータンク１１２内のスラリーが第１スラリータンク１１１内に移送される際に、減圧ポンプ１４４，１６４が作動した状態で、圧力調整弁１４８，１６８の開度が調整されて、第２スラリータンク１１２内の圧力が第１スラリータンク１１１内の圧力よりも高くされてもよい。第２スラリータンク１１２内の圧力が第１スラリータンク１１１内の圧力よりも高い状態では、その圧力差により、第２スラリータンク１１２内のスラリーが第２スラリー移送路１３１を通して第１スラリータンク１１１内に供給される。
【0206】
かかる構成が採用される場合、第２スラリー移送ポンプ１３７が省略されてもよい。
【0207】
また、第１スラリータンク１１１内の圧力が大気圧未満にされる場合、第２スラリータンク１１２内が大気圧であれば、第１スラリータンク１１１内の圧力と第２スラリータンク１１２内の圧力との圧力差により第２スラリータンク１１２内から第１スラリータンク１１１内にスラリーが移送されるので、減圧機構１６２が省略されてもよい。
【0208】
＜他の構成（その３）による作用効果＞
スラリー供給装置３０３の構成によれば、図９に示されるスラリー供給装置３０２の構成と同様の作用効果を奏することができる。
スラリー供給装置３０３の構成によれば、図９に示されるスラリー供給装置３０２の構成と同様の作用効果を奏することができる。
【0209】
＜スラリー供給装置の他の構成（その４）＞
図１１は、スラリー供給装置３０４の構成を図解的に示す断面図である。図１１において、図９に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。また、図１１では、第２スラリータンク１１２について、図１０に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。以下では、図１１に示されるスラリー供給装置３０４の構成について、図９に示されるスラリー供給装置３０２の構成との相違点を取り上げて説明する。
図１１は、スラリー供給装置３０４の構成を図解的に示す断面図である。図１１において、図９に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。また、図１１では、第２スラリータンク１１２について、図１０に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。以下では、図１１に示されるスラリー供給装置３０４の構成について、図９に示されるスラリー供給装置３０２の構成との相違点を取り上げて説明する。
【0210】
スラリー供給装置３０４では、スラリー供給装置３０２の構成から、第１三方弁１１６、第２三方弁１３５、第１スラリー移送路１１７、第１スラリー移送ポンプ１１８、第２スラリー移送路１３１、第２スラリー移送弁１３６および第２スラリー移送ポンプ１３７が省略されている。
【0211】
スラリー供給装置３０４には、多方弁１７１が設けられている。多方弁１７１の第１ポートには、第１枝路１７２の一端が接続されている。第１枝路１７２の他端は、第１スラリータンク１１１のスラリー流通口１１３に接続されている。多方弁１７１の第２ポートには、接続路１７３の一端が接続されている。接続路１７３の他端は、コーティング装置２のスラリー導入口２５に接続されている。多方弁１７１の第３ポートには、第２枝路１７４の一端が接続されている。第２枝路１７４の他端は、第２スラリータンク１１２のスラリー流通口１３４に接続されている。
【0212】
多方弁１７１の第１ポートと第２ポートが連通する状態で、第１枝路１７２と接続路１７３とが連通する。また、多方弁１７１の第２ポートと第３ポートとが連通した状態で、接続路１７３と第２枝路１７４とが連通する。スラリー供給装置３０４では、第１枝路１７２、接続路１７３および第２枝路１７４により、コーティング装置２のスラリー導入口２５と第１スラリータンク１１１内または第２スラリータンク１１２内との間でスラリーを流通させるスラリー流通路６２が構成されている。
【0213】
また、開閉弁６４には、第１開閉弁１７５および第２開閉弁１７６が含まれる。第１開閉弁１７５は、第１枝路１７２の途中部に介装されている。第２開閉弁１７６は、第２枝路１７４の途中部に介装されている。流量計６５は、接続路１７３に介装されている。
【0214】
スラリー流通路６２の第１枝路１７２には、スラリー流通口１１３と第１開閉弁１７５との間において、第１スラリー循環路１８１の一端が接続されている。これにより、第１スラリー循環路１８１の一端は、第１枝路１７２およびスラリー流通口１１３を介して、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で開放されている。また、第１スラリー循環路１８１は、第１スラリータンク１１１の上部を貫通し、第１スラリー循環路１２１の他端は、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。第１スラリー循環路１８１の途中部には、第１スラリー循環弁１８２および第１スラリー循環ポンプ１８３が第１枝路１７２側からこの順に介装されている。
【0215】
第１開閉弁１７５が閉の状態で、第１スラリー循環弁１８２が開にされて、第１スラリー循環ポンプ１８３がオンにされると、第１スラリー循環ポンプ１８３の働きにより、第１スラリータンク１１１内からスラリー流通路６２の第１枝路１７２を通して第１スラリー循環路１８１にスラリーが吸い出される。第１スラリー循環路１８１に吸い出されたスラリーは、第１スラリー循環路１８１を流れ、第１スラリー循環路１８１から第１スラリータンク１１１内に戻される。これにより、第１スラリータンク１１１内のスラリーが第１スラリー循環路１８１を通して循環することにより、スラリーが撹拌され、スラリーの分散性が向上する。
【0216】
スラリー流通路６２の第２枝路１７４には、スラリー流通口１３４と第２開閉弁１７６との間において、第２スラリー循環路１８４の一端が接続されている。これにより、第２スラリー循環路１８４の一端は、第２枝路１７４およびスラリー流通口１３４を介して、第２スラリータンク１１２内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で開放されている。また、第２スラリー循環路１８４は、第２スラリータンク１１２の上部を貫通し、第１スラリー循環路１２１の他端は、第２スラリータンク１１２内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。第２スラリー循環路１８４の途中部には、第２スラリー循環弁１８５および第２スラリー循環ポンプ１８６が第２枝路１７４側からこの順に介装されている。
【0217】
第２開閉弁１７６が閉の状態で、第２スラリー循環弁１８５が開にされて、第２スラリー循環ポンプ１８６がオンにされると、第２スラリー循環ポンプ１８６の働きにより、第２スラリータンク１１２内からスラリー流通路６２の第２枝路１７４を通して第２スラリー循環路１８４にスラリーが吸い出される。第２スラリー循環路１８４に吸い出されたスラリーは、第２スラリー循環路１８４を流れ、第２スラリー循環路１８４から第２スラリータンク１１２内に戻される。これにより、第２スラリータンク１１２内のスラリーが第２スラリー循環路１８４を通して循環することにより、スラリーが撹拌され、スラリーの分散性が向上する。
【0218】
スラリー供給装置３０４は、第１スラリータンク１１１内および第２スラリータンク１１２内の圧力を選択的に調整する圧力調整機構１９１を備えている。
【0219】
圧力調整機構１９１には、第１スラリータンク１１１内および第２スラリータンク１１２内を選択的に減圧する減圧機構１９２が含まれ、減圧機構１９２には、第１減圧管１９３、第２減圧管１９４、三方弁１９５、減圧合流管１９６および減圧ポンプ１９７が含まれる。
【0220】
第１減圧管１９３の一端は、第１スラリータンク１１１の上面板１４５の減圧口１４６に接続されている。第１減圧管１９３の他端は、三方弁１９５の第１ポートに接続されている。第２減圧管１９４の一端は、第２スラリータンク１１２の上面板１５６に形成された減圧口１６６に接続されている。第２減圧管１９４の他端は、三方弁１９５の第２ポートに接続されている。三方弁１９５の第３ポートには、減圧合流管１９６の一端が接続されている。減圧合流管１９６の他端は、減圧ポンプ１９７に接続されている。
【0221】
また、圧力調整機構１９１には、圧力調整管１４７，１６７および圧力調整弁１４８，１６８が含まれる。
【0222】
三方弁１９５の第１ポートと第３ポートとが連通した状態で、減圧ポンプ１９７が作動すると、第１スラリータンク１１１内の上部に生じている空間から減圧口１４６を介して第１減圧管１９３にエアが吸い出され、エアが第１減圧管１９３、三方弁１９５および減圧合流管１９６をこの順に流通する。そのため、減圧ポンプ１９７が作動した状態で、圧力調整弁１４８の開度が変更されると、第１スラリータンク１１１内の圧力が大気圧以下の範囲で変化する。
【0223】
そして、多方弁１７１の第１ポートと第２ポートとが連通し、第１スラリー循環弁１８２が閉であり、第１スラリータンク１１１内の圧力がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力よりも高い状態で、第１開閉弁１７５が開にされていると、第１スラリータンク１１１内の圧力とスラリー導入口２５における圧力との圧力差により、スラリーが第１スラリータンク１１１内からスラリー流通路６２（第１枝路１７２および接続路１７３）を通してスラリー導入口２５に供給される。逆に、第１スラリー循環弁１８２が閉であり、スラリー導入口２５における圧力が第１スラリータンク１１１内の圧力よりも高い状態で、第１開閉弁１７５が開にされていると、スラリー導入口２５における圧力と第１スラリータンク１１１内の圧力との圧力差により、スラリー流通路６２（第１枝路１７２および接続路１７３）内のスラリーが第１スラリータンク１１１内に回収される。
【0224】
また、三方弁１９５の第２ポートと第３ポートとが連通した状態で、減圧ポンプ１９７が作動すると、第２スラリータンク１１２内の上部に生じている空間から減圧口１６６を介して第２減圧管１９４にエアが吸い出される。そのため、減圧ポンプ１９７が作動した状態で、圧力調整弁１６８の開度が変更されると、第２スラリータンク１１２内の圧力が大気圧以下の範囲で変化する。
【0225】
そして、多方弁１７１の第２ポートと第３ポートとが連通し、第２スラリー循環弁１８５が閉であり、第２スラリータンク１１２内の圧力がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力よりも高い状態で、第２開閉弁１７６が開にされていると、第２スラリータンク１１２内の圧力とスラリー導入口２５における圧力との圧力差により、スラリーが第２スラリータンク１１２内からスラリー流通路６２（接続路１７３および第２枝路１７４）を通してスラリー導入口２５に供給される。逆に、第２スラリー循環弁１８５が閉であり、スラリー導入口２５における圧力が第２スラリータンク１１２内の圧力よりも高い状態で、第２開閉弁１７６が開にされていると、スラリー導入口２５における圧力と第２スラリータンク１１２内の圧力との圧力差により、スラリー流通路６２（接続路１７３および第２枝路１７４）内のスラリーが第２スラリータンク１１２内に回収される。
【0226】
＜他の構成（その４）による作用効果＞
スラリー供給装置３０４の構成によれば、図１に示されるスラリー供給装置３の構成と同様の作用効果を奏することができる。また、スラリー供給装置３０４では、第１スラリータンク１１１内に貯留されているスラリーと、第２スラリータンク１１２に貯留されているスラリーとを選択的に切り替えて、コーティング装置２のスラリー導入口２５に供給することができる。
スラリー供給装置３０４の構成によれば、図１に示されるスラリー供給装置３の構成と同様の作用効果を奏することができる。また、スラリー供給装置３０４では、第１スラリータンク１１１内に貯留されているスラリーと、第２スラリータンク１１２に貯留されているスラリーとを選択的に切り替えて、コーティング装置２のスラリー導入口２５に供給することができる。
【0227】
第１スラリータンク１１１の使用後、第１開閉弁１７５が開にされ、多方弁１７１の第１ポートと排水ポートとが連通された状態で、第１スラリータンク１１１内を洗浄液（水など）で洗浄することができ、スラリーを洗い流した洗浄液を多方弁１７１の排水ポートから排出（排水）することができる。
【0228】
第２スラリータンク１１２の使用後、第２開閉弁１７６が開にされ、多方弁１７１の第３ポートと排水ポートとが連通された状態で、第２スラリータンク１１２内を洗浄液（水など）で洗浄することができ、スラリーを洗い流した洗浄液を多方弁１７１の排水ポートから排出（排水）することができる。
【0229】
＜スラリー供給装置の他の構成（その５）＞
図１２は、スラリー供給装置３０５の構成を図解的に示す断面図である。図１２において、図１１に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。以下では、図１２に示されるスラリー供給装置３０５の構成について、図１１に示されるスラリー供給装置３０４の構成との相違点を取り上げて説明する。
図１２は、スラリー供給装置３０５の構成を図解的に示す断面図である。図１２において、図１１に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。以下では、図１２に示されるスラリー供給装置３０５の構成について、図１１に示されるスラリー供給装置３０４の構成との相違点を取り上げて説明する。
【0230】
スラリー供給装置３０５では、図１１に示されるスラリー供給装置３０４の構成に、三方弁２０１，２０２，２０３、第１スラリー排出路２０４、第２スラリー排出路２０５、スラリー共通路２０６、第１スラリー供給路２０７、第２スラリー供給路２０８およびスラリー移送ポンプ２０９が追加されている。
【0231】
三方弁２０１は、スラリー流通路６２の第１枝路１７２途中部であって、多方弁１７１と第１開閉弁１７５との間の部分に介装されている。具体的には、第１枝路１７２は、第１スラリータンク１１１のスラリー流通口１１３に接続されたタンク側部分と、多方弁１７１の第１ポートに接続された多方弁側部分とに分割されている。タンク側部分は、三方弁２０１の第１ポートに接続さている。多方弁側部分は、三方弁２０１の第２ポートに接続されている。
【0232】
三方弁２０２は、スラリー流通路６２の第２枝路１７４の途中部であって、多方弁１７１と第２開閉弁１７６との間の部分に介装されている。具体的には、第２枝路１７４は、第２スラリータンク１１２のスラリー流通口１３４に接続されたタンク側部分と、多方弁１７１の第３ポートに接続された多方弁側部分とに分割されている。タンク側部分は、三方弁２０２の第１ポートに接続さている。多方弁側部分は、三方弁２０２の第２ポートに接続されている。
【0233】
三方弁２０１の第３ポートに、第１スラリー排出路２０４の一端が接続されている。また、三方弁２０２の第３ポートに、第２スラリー排出路２０５の一端が接続されている。第１スラリー排出路２０４および第２スラリー排出路２０５の各他端は、スラリー共通路２０６の一端に合流して接続されている。
【0234】
スラリー共通路２０６の他端は、三方弁２０３の第１ポートに接続されている。三方弁２０３の第２ポートには、第１スラリー供給路２０７の一端が接続されている。第１スラリー供給路２０７は、第１スラリータンク１１１の上部を貫通し、第１スラリー供給路２０７の他端は、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。三方弁２０３の第３ポートには、第２スラリー供給路２０８の一端が接続されている。第２スラリー供給路２０８は、第２スラリータンク１１２の上部を貫通し、第２スラリー供給路２０８の他端は、第２スラリータンク１１２内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。
【0235】
スラリー移送ポンプ２０９は、スラリー共通路２０６の途中部に介装されている。
【0236】
多方弁１７１の第１ポートと第２ポートとが連通し、三方弁２０１の第１ポートと第２ポートとが連通し、第１スラリー循環弁１８２が閉であり、第１スラリータンク１１１内の圧力がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力よりも高い状態で、第１開閉弁１７５が開にされていると、第１スラリータンク１１１内の圧力とスラリー導入口２５における圧力との圧力差により、スラリーが第１スラリータンク１１１内からスラリー流通路６２（第１枝路１７２および接続路１７３）を通してスラリー導入口２５に供給される。逆に、第１スラリー循環弁１８２が閉であり、スラリー導入口２５における圧力が第１スラリータンク１１１内の圧力よりも高い状態で、第１開閉弁１７５が開にされていると、スラリー導入口２５における圧力と第１スラリータンク１１１内の圧力との圧力差により、スラリー流通路６２（第１枝路１７２および接続路１７３）内のスラリーが第１スラリータンク１１１内に回収される。
【0237】
また、多方弁１７１の第２ポートと第３ポートとが連通し、三方弁２０２の第１ポートと第２ポートが連通し、第２スラリー循環弁１８５が閉であり、第２スラリータンク１１２内の圧力がコーティング装置２のスラリー導入口２５における圧力よりも高い状態で、第２開閉弁１７６が開にされていると、第２スラリータンク１１２内の圧力とスラリー導入口２５における圧力との圧力差により、スラリーが第２スラリータンク１１２内からスラリー流通路６２（接続路１７３および第２枝路１７４）を通してスラリー導入口２５に供給される。逆に、第２スラリー循環弁１８５が閉であり、スラリー導入口２５における圧力が第２スラリータンク１１２内の圧力よりも高い状態で、第２開閉弁１７６が開にされていると、スラリー導入口２５における圧力と第２スラリータンク１１２内の圧力との圧力差により、スラリー流通路６２（接続路１７３および第２枝路１７４）内のスラリーが第２スラリータンク１１２内に回収される。
【0238】
＜他の構成（その５）による作用効果＞
スラリー供給装置３０５の構成によれば、図１１に示されるスラリー供給装置３０４の構成と同様の作用効果を奏することができる。
スラリー供給装置３０５の構成によれば、図１１に示されるスラリー供給装置３０４の構成と同様の作用効果を奏することができる。
【0239】
三方弁２０１の第１ポートと第３ポートとが連通し、三方弁２０３の第１ポートと第２ポートとが連通し、第２開閉弁１７６が閉にされた状態で、第１開閉弁１７５が開にされて、スラリー移送ポンプ２０９がオンにされると、スラリー移送ポンプ２０９の働きにより、第１スラリータンク１１１内からスラリー流通路６２の第１枝路１７２にスラリーが吸い出される。第１枝路１７２に吸い出されたスラリーは、三方弁２０１から第１スラリー排出路２０４、スラリー共通路２０６、三方弁２０３および第１スラリー供給路２０７をこの順に流通し、第１スラリー供給路２０７から第１スラリータンク１１１内に戻される。これにより、第１スラリー循環路１８１を通さなくても、第１スラリータンク１１１内のスラリーを第１スラリー排出路２０４などを通して循環させることができる。
【0240】
三方弁２０２の第１ポートと第３ポートとが連通し、三方弁２０３の第１ポートと第３ポートとが連通し、第１開閉弁１７５が閉にされた状態で、第２開閉弁１７６が開にされて、スラリー移送ポンプ２０９がオンにされると、スラリー移送ポンプ２０９の働きにより、第２スラリータンク１１２内からスラリー流通路６２の第２枝路１７４にスラリーが吸い出される。第２枝路１７４に吸い出されたスラリーは、三方弁２０１から第２スラリー排出路２０５、スラリー共通路２０６、三方弁２０３および第２スラリー供給路２０８をこの順に流通し、第２スラリー供給路２０８から第２スラリータンク１１２内に戻される。これにより、第２スラリー循環路１８４を通さなくても、第２スラリータンク１１２内のスラリーを第２スラリー排出路２０５などを通して循環させることができる。
【0241】
三方弁２０１の第１ポートと第３ポートとが連通し、三方弁２０３の第１ポートと第３ポートとが連通し、第２開閉弁１７６が閉にされた状態で、第１開閉弁１７５が開にされて、スラリー移送ポンプ２０９がオンにされると、スラリー移送ポンプ２０９の働きにより、第１スラリータンク１１１内からスラリー流通路６２の第１枝路１７２にスラリーが吸い出される。第１枝路１７２に吸い出されたスラリーは、三方弁２０１から第１スラリー排出路２０４、スラリー共通路２０６、三方弁２０３および第２スラリー供給路２０８をこの順に流通し、第２スラリー供給路２０８から第２スラリータンク１１２内に供給される。これにより、第１スラリータンク１１１内のスラリーを第２スラリータンク１１２内に移送することができる。
【0242】
したがって、スラリー供給装置３０５では、第１スラリー排出路２０４、スラリー共通路２０６および第２スラリー供給路２０８によって、第１スラリー移送路が構成される。第１スラリー移送路の一端は、三方弁２０１、第１枝路１７２およびスラリー流通口１１３を介して、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で開放されている。一方、第１スラリー移送路の他端は、第２スラリータンク１１２内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。
【0243】
三方弁２０２の第１ポートと第３ポートとが連通し、三方弁２０３の第１ポートと第２ポートとが連通し、第１開閉弁１７５が閉にされた状態で、第２開閉弁１７６が開にされて、スラリー移送ポンプ２０９がオンにされると、スラリー移送ポンプ２０９の働きにより、第２スラリータンク１１２内からスラリー流通路６２の第２枝路１７４にスラリーが吸い出される。第２枝路１７４に吸い出されたスラリーは、三方弁２０１から第２スラリー排出路２０５、スラリー共通路２０６、三方弁２０３および第１スラリー供給路２０７をこの順に流通し、第１スラリー供給路２０７から第１スラリータンク１１１内に供給される。これにより、第２スラリータンク１１２内のスラリーを第１スラリータンク１１１内に移送することができる。
【0244】
したがって、スラリー供給装置３０５では、第２スラリー排出路２０５、スラリー共通路２０６および第１スラリー供給路２０７によって、第２スラリー移送路が構成される。第２スラリー移送路の一端は、三方弁２０２、第２枝路１７４およびスラリー流通口１３４を介して、第２スラリータンク１１２内に貯留されるスラリーの液面よりも下方の位置で開放されている。一方、第２スラリー移送路の他端は、第１スラリータンク１１１内に貯留されるスラリーの液面よりも上方の位置で開放されている。
【0245】
なお、スラリー供給装置３０５では、スラリー移送ポンプ２０９が第１スラリー移送ポンプおよび第２スラリー移送ポンプとして共用されている。
【0246】
たとえば、第１スラリータンク１１１の使用後、第１スラリータンク１１１内に残ったスラリーを第２スラリータンク１１２内に移送することにより、第１スラリータンク１１１内を空にすることができる。そして、第１スラリータンク１１１内が空にされた後、三方弁２０１の第１ポートと第２ポートとが連通され、多方弁１７１の第１ポートと排水ポートとが連通され、第１開閉弁１７５が開にされた状態で、第１スラリータンク１１１内を洗浄液で洗浄することができ、スラリーを洗い流した洗浄液を多方弁１７１の排水ポートから排出（排水）することができる。
【0247】
また、第２スラリータンク１１２の使用後、第２スラリータンク１１２内に残ったスラリーを第１スラリータンク１１１内に移送することにより、第２スラリータンク１１２内を空にすることができる。そして、第２スラリータンク１１２内が空にされた後、三方弁２０１の第１ポートと第２ポートとが連通され、第２開閉弁１７６が開にされ、多方弁１７１の第３ポートと排水ポートとが連通された状態で、第２スラリータンク１１２内を洗浄液で洗浄することができ、スラリーを洗い流した洗浄液を多方弁１７１の排水ポートから排出（排水）することができる。
【0248】
＜スラリー供給装置の他の構成（その６）＞
図１３は、スラリー供給装置３０６の構成を図解的に示す断面図である。図１３において、図８に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。以下では、図１３に示されるスラリー供給装置３０６の構成について、図８に示されるスラリー供給装置３０１の構成との相違点を取り上げて説明する。
図１３は、スラリー供給装置３０６の構成を図解的に示す断面図である。図１３において、図８に示される各部に相当する部分には、それらの各部と同一の参照符号が付されている。以下では、図１３に示されるスラリー供給装置３０６の構成について、図８に示されるスラリー供給装置３０１の構成との相違点を取り上げて説明する。
【0249】
スラリー供給装置３０６では、スラリー流通路６２が第１部分２１１、第２部分２１２、第３部分２１３に分割して構成されている。第３部分２１３は、接続部２１４，２１５において、それぞれ第１部分２１１の一端および第２部分２１２の一端に対して接続／分離可能な管に形成されている。第１部分２１１の他端は、スラリータンク６１のスラリー流通口６３に接続されている。第２部分２１２の他端は、コーティング装置２のスラリー導入口２５に接続されている。
【0250】
スラリー供給装置３０６では、流量計６５が第３部分２１３の途中部に設けられて、接続部２１４が開閉弁６４と流量計６５との間に設定され、接続部２１５が流量計６５とコーティング装置２のスラリー導入口２５との間に設定されている。これに限らず、流量計６５が第１部分２１１の途中部に介装されて、接続部２１４，２１５が流量計６５とコーティング装置２のスラリー導入口２５との間に設定されてもよい。また、流量計６５が第２部分２１２の途中部に介装されて、接続部２１４，２１５が開閉弁６４と流量計６５との間に設定されてもよい。
【0251】
＜他の構成（その６）による作用効果＞
スラリー供給装置３０６の構成によれば、図８に示されるスラリー供給装置３０１の構成と同様の作用効果を奏することができる。
スラリー供給装置３０６の構成によれば、図８に示されるスラリー供給装置３０１の構成と同様の作用効果を奏することができる。
【0252】
そのうえ、スラリー流通路６２の第３部分２１３を第１部分２１１および第２部分２１２から分離させて、第３部分２１３を第３部分２１３と管径および／または管長の異なる別の管と交換することができる。第３部分２１３を交換することにより、スラリー流通路６２を流通するスラリーの流量を容易に調節することができる。
【0253】
＜変形例＞
以上、本発明のいくつかの実施形態について説明したが、本発明は、さらに他の形態で実施することもできる。
以上、本発明のいくつかの実施形態について説明したが、本発明は、さらに他の形態で実施することもできる。
【0254】
たとえば、図８を参照した説明では、圧力調整機構７１に、減圧機構７２に加えて、加圧機構１０７が設けられてもよいとしたが、加圧機構１０７が設けられる構成では、減圧機構７２が省略されてもよい。
【0255】
圧力調整機構７１に加圧機構１０７が設けられた構成では、開度を変更可能な圧力調整弁７８に代えて、互いに異なるリリーフ圧に設定された複数（２個以上）のリリーフ弁が採用されてもよい。
【0256】
図１４には、２個のリリーフ弁２２１，２２２を採用した構成が示されている。この構成では、圧力調整管７７が途中で第１枝管２２３および第２枝管２２４に分岐している。第１枝管２２３には、仕切弁２２５およびリリーフ弁２２１がスラリータンク６１側からその順に介装されている。第２枝管２２４には、仕切弁２２６およびリリーフ弁２２２がスラリータンク６１側からその順に介装されている。リリーフ弁２２１，２２２は、互いに異なるリリーフ圧に設定されている。
【0257】
そして、スラリー供給装置３の制御部９２（図２参照）は、リリーフ弁２２１，２２２の各リリーフ圧の値に基づいて、流量計６５により計測される流量が予め設定された目標値により近い値となるように、仕切弁２２５，２２６の一方を開とし、その他方を閉とする。これにより、スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量を目標値または目標値に近い値に安定させることができる。
【0258】
また、圧力調整機構７１に減圧機構７２が設けられた構成では、開度を変更可能な圧力調整弁７８に代えて、互いに異なる開度に設定された複数（２個以上）の絞り弁が採用されてもよい。
【0259】
図１５には、２個の絞り弁２３１，２３２を採用した構成が示されている。この構成では、圧力調整管７７が途中で第１枝管２３３および第２枝管２３４に分岐している。第１枝管２３３には、仕切弁２３５および絞り弁２３１がスラリータンク６１側からその順に介装されている。第２枝管２３４には、仕切弁２３６および絞り弁２３２がスラリータンク６１側からその順に介装されている。絞り弁２３１，２３２は、互いに異なる開度に設定されている。
【0260】
そして、スラリー供給装置３の制御部９２（図２参照）は、絞り弁２３１，２３２の各開度に基づいて、流量計６５により計測される流量が予め設定された目標値により近い値となるように、仕切弁２３５，２３６の一方を開とし、その他方を閉とする。これにより、スラリー流通路６２を流れるスラリーの流量を目標値または目標値に近い値に安定させることができる。
【0261】
なお、圧力調整機構１４１，１６１，１９１においても、圧力調整機構７１と同様の変更を施すことが可能である。
【0262】
また、前述の実施形態では、コーティング装置２の運転の開始前に、減圧ポンプ７４がオフからオンに切り替えられて、スラリータンク６１内の圧力Ｐ１が大気圧未満に低下した状態で、開閉弁６４が閉から開に切り替えられることにより、コーティング装置２の分散混合部１１のスラリー導入口２５からスラリー流通路６２にエアが取り込まれて、そのエアがスラリー流通路６２からスラリー流通口６３を介してスラリータンク６１内に貯留されているスラリー中に吹き出すことにより、スラリーがバブリングにより撹拌されるとした。これに限らず、図１６に示される構成が採用されて、スラリーをバブリングによって撹拌するために、エア供給機構２４１により、スラリータンク６１内に貯留されているスラリー中に供給されてもよい。
【0263】
エア供給機構２４１には、エア供給路２４２およびエア供給ポンプ２４３が含まれる。エア供給路２４２の一端は，スラリー流通路６２の途中部であって、スラリータンク６１の最底部のスラリー流通口６３と開閉弁６４との間の部分に接続されている。エア供給路２４２の他端は、エア供給ポンプ２４３に接続されている。
【0264】
たとえば、コーティング装置２の運転の開始前に、開閉弁６４が閉の状態で、エア供給ポンプ２４３がオンにされる。エア供給ポンプ２４３がオンにされると、エア供給ポンプ２４３の働きにより、エア供給路２４２をエア供給ポンプ２４３側からスラリー流通路６２に向けてエアが流れ、そのエアがスラリー流通路６２からスラリー流通口６３を介してスラリータンク６１内に貯留されているスラリー中に吹き出し、スラリー中に気泡が発生する。このバブリングにより、スラリータンク６１内のスラリーを撹拌することができ、スラリーの分散性を向上させることができる。
【0265】
図１６に示される構成では、コーティング装置２の運転の開始前に限らず、コーティング装置２におけるコーティング処理の実行中にも、開閉弁６４を一時的に閉にして、エア供給ポンプ２４３をオンにすることにより、スラリータンク６１内のスラリーをバブリングにより撹拌することができる。
【0266】
流量検出部の一例として、流量計６５を取り上げたが、スラリー流通路６２におけるスラリーの流量は、流量計６５を用いる方式以外の方式によって検出されてもよい。たとえば、スラリーおよびスラリータンク６１を含む機器の重量を時間的に連続で検出できるロードセルなどの重量検出機器を用いて、スラリーおよびスラリータンク６１を含む機器の重量の時間変化から、スラリータンク６１内のスラリーが流出する速度（流量）を求めてもよい。
【0267】
また、前述の実施形態では、開閉弁６４は、仕切弁であるとしたが、第１ポートと第２ポートが連通する状態と、第１ポートと第３ポートが連通する状態とに切り替えられる三方弁であってもよい。その場合、たとえば、図１に示される構成において、スラリータンク６１内と連通する第１管が三方弁である開閉弁６４の第１ポートに接続され、コーティング装置２のスラリー導入口２５と連通する第２管が開閉弁６４の第２ポートに接続され、先端が大気に開放される第３管が開閉弁６４の第３ポートに接続される。バブリング撹拌期間では、開閉弁６４は、第１ポートと第２ポートが連通する状態と、第１ポートと第３ポートが連通する状態とのいずれの状態に切り替えられてもよい。
【0268】
その他、前述の各構成には、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【0269】
１：スラリー処理システム
２：コーティング装置（処理装置）
３，３０１，３０２，３０２，３０４，２０５，３０６：スラリー供給装置
１１：分散混合部（分散部）
２１：流路
２４：分散エア導入口（気流導入口）
２５：スラリー導入口（スラリー導入部）
２６：ラバルノズル
６１：スラリータンク
６２：スラリー流通路
６４：開閉弁
６５：流量計
７１，１４１，１６１，１９１：圧力調整機構
７２，１４２，１６２，１９２：減圧機構
７７，１４７，１６７：圧力調整管
７８，１４８，１６８：圧力調整弁
８１：撹拌翼
８３：撹拌モータ
９２：制御部
１０２：スラリー循環路
１０３：スラリー循環ポンプ
１０５Ｌ：下撹拌翼（撹拌翼）
１０５Ｕ：上撹拌翼（撹拌翼）
１１１：第１スラリータンク
１１２：第２スラリータンク
１１７：第１スラリー移送路
１１８：第１スラリー移送ポンプ
１２１：第１スラリー循環路
１２３：第１スラリー循環ポンプ
１３１：第２スラリー移送路
１３７：第２スラリー移送ポンプ
１３８：第２スラリー循環路
１５１：第１撹拌翼（撹拌翼）
１５３：第１撹拌モータ（撹拌モータ）
１５４：第２撹拌翼（撹拌翼）
１５７：第２撹拌モータ（撹拌モータ）
１８１：第１スラリー循環路
１８３：第１スラリー循環ポンプ
１８４：第２スラリー循環路
１８６：第２スラリー循環ポンプ
２０４：第１スラリー排出路（第１スラリー移送路）
２０５：第２スラリー排出路（第２スラリー移送路）
２０６：スラリー共通路（第１スラリー移送路、第２スラリー移送路）
２０７：第１スラリー供給路（第２スラリー移送路）
２０８：第２スラリー供給路（第１スラリー移送路）
２０９：スラリー移送ポンプ（第１スラリー移送ポンプ、第２スラリー移送ポンプ）
２１３：第３部分（管）
２２１，２２２：リリーフ弁
２３１，２３２：絞り弁
２４１：エア供給機構
２：コーティング装置（処理装置）
３，３０１，３０２，３０２，３０４，２０５，３０６：スラリー供給装置
１１：分散混合部（分散部）
２１：流路
２４：分散エア導入口（気流導入口）
２５：スラリー導入口（スラリー導入部）
２６：ラバルノズル
６１：スラリータンク
６２：スラリー流通路
６４：開閉弁
６５：流量計
７１，１４１，１６１，１９１：圧力調整機構
７２，１４２，１６２，１９２：減圧機構
７７，１４７，１６７：圧力調整管
７８，１４８，１６８：圧力調整弁
８１：撹拌翼
８３：撹拌モータ
９２：制御部
１０２：スラリー循環路
１０３：スラリー循環ポンプ
１０５Ｌ：下撹拌翼（撹拌翼）
１０５Ｕ：上撹拌翼（撹拌翼）
１１１：第１スラリータンク
１１２：第２スラリータンク
１１７：第１スラリー移送路
１１８：第１スラリー移送ポンプ
１２１：第１スラリー循環路
１２３：第１スラリー循環ポンプ
１３１：第２スラリー移送路
１３７：第２スラリー移送ポンプ
１３８：第２スラリー循環路
１５１：第１撹拌翼（撹拌翼）
１５３：第１撹拌モータ（撹拌モータ）
１５４：第２撹拌翼（撹拌翼）
１５７：第２撹拌モータ（撹拌モータ）
１８１：第１スラリー循環路
１８３：第１スラリー循環ポンプ
１８４：第２スラリー循環路
１８６：第２スラリー循環ポンプ
２０４：第１スラリー排出路（第１スラリー移送路）
２０５：第２スラリー排出路（第２スラリー移送路）
２０６：スラリー共通路（第１スラリー移送路、第２スラリー移送路）
２０７：第１スラリー供給路（第２スラリー移送路）
２０８：第２スラリー供給路（第１スラリー移送路）
２０９：スラリー移送ポンプ（第１スラリー移送ポンプ、第２スラリー移送ポンプ）
２１３：第３部分（管）
２２１，２２２：リリーフ弁
２３１，２３２：絞り弁
２４１：エア供給機構
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】