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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024039917
(43)【公開日】2024-03-25
(54)【発明の名称】ボンベ付きガス供給装置
(51)【国際特許分類】
F17C 13/02 20060101AFI20240315BHJP
F17C 7/02 20060101ALI20240315BHJP
【ＦＩ】
F17C13/02 301A
F17C7/02
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022144653
(22)【出願日】2022-09-12
(71)【出願人】
【識別番号】000002130
【氏名又は名称】住友電気工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001416
【氏名又は名称】弁理士法人信栄事務所
(72)【発明者】
【氏名】高城 充
(72)【発明者】
【氏名】幅崎 利已
【テーマコード（参考）】
3E172
【Ｆターム（参考）】
3E172AA02
3E172AA05
3E172AA06
3E172AB16
3E172AB20
3E172BA01
3E172BB04
3E172BB13
3E172BD05
3E172DA90
3E172EB02
3E172EB18
3E172JA09
3E172KA03
3E172KA19
3E172KA28
(57)【要約】
【課題】ボンベ内のガス使用量を最大化することができるボンベ付きガス供給装置を提供する。
【解決手段】ボンベ付きガス供給装置１は、液化ガスが充填された第一ボンベ１１と、液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベ１２と、第一ボンベ１１の重量を測定する第一重量計２１と、第二ボンベ１２の重量を測定する第二重量計２２と、第一ボンベ１１と第二ボンベ１２のうち少なくとも一つを調温する調温装置１００と、第一ボンベ１１から蒸発したガスを取り出す第一配管３１と、第二ボンベ１２から蒸発したガスを取り出す第二配管３２と、第一配管３１のガスと第二配管３２のガスとを合流させてガスを供給する供給配管５０と、第一重量計２１の測定値と第二重量計２２の測定値を基に、調温装置１００を制御する制御装置６０と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】ボンベ付きガス供給装置１は、液化ガスが充填された第一ボンベ１１と、液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベ１２と、第一ボンベ１１の重量を測定する第一重量計２１と、第二ボンベ１２の重量を測定する第二重量計２２と、第一ボンベ１１と第二ボンベ１２のうち少なくとも一つを調温する調温装置１００と、第一ボンベ１１から蒸発したガスを取り出す第一配管３１と、第二ボンベ１２から蒸発したガスを取り出す第二配管３２と、第一配管３１のガスと第二配管３２のガスとを合流させてガスを供給する供給配管５０と、第一重量計２１の測定値と第二重量計２２の測定値を基に、調温装置１００を制御する制御装置６０と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
液化ガスが充填された第一ボンベと、
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、
を備える、ボンベ付きガス供給装置。
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、
を備える、ボンベ付きガス供給装置。
【請求項2】
前記調温装置はファンを有する、請求項１に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項3】
前記調温装置が、ボンベの外周に水を循環させて調温する調温ジャケットを有する、請求項１に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項4】
前記調温装置は前記第一ボンベと前記第二ボンベを格納する、ボンベ庫を有し、
前記ボンベ庫は、前記第一ボンベに隣接する第一換気口と前記第二ボンベに隣接する第二換気口を有し、
前記第一換気口は通過する空気の量を調節する第一ダンパーを有し、
前記第二換気口は通過する空気の量を調節する第二ダンパーを有し、
前記制御装置は前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記第一換気口の前記第一ダンパーと前記第二換気口の前記第二ダンパーを制御する、請求項１に記載のボンベ付きガス供給装置。
前記ボンベ庫は、前記第一ボンベに隣接する第一換気口と前記第二ボンベに隣接する第二換気口を有し、
前記第一換気口は通過する空気の量を調節する第一ダンパーを有し、
前記第二換気口は通過する空気の量を調節する第二ダンパーを有し、
前記制御装置は前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記第一換気口の前記第一ダンパーと前記第二換気口の前記第二ダンパーを制御する、請求項１に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項5】
前記第一ボンベと前記第二ボンベにそれぞれ前記調温装置を備える、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項6】
前記液化ガスが塩素ガスまたは四フッ化ケイ素ガスである請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項7】
前記第一配管と前記第二配管はそれぞれ開閉弁を備え、前記制御装置により前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に前記開閉弁の開閉を行う、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項8】
前記第一ボンベと前記第二ボンベを含むボンベの数がＮ個（Ｎは３以上の自然数）であり、
前記第一重量計と前記第二重量計を含む、前記ボンベそれぞれの重量を測定する重量計の数が前記Ｎ個であり、
前記調温装置は前記Ｎ－１個のボンベまたは前記Ｎ個のボンベを調温し、
前記第一配管と前記第二配管を含む、前記Ｎ個のボンベそれぞれから蒸発したガスを取り出す配管の数がＮ本であり、
前記供給配管は前記Ｎ個の配管のガスを合流させてガスを供給し
前記制御装置は前記Ｎ個の重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。
前記第一重量計と前記第二重量計を含む、前記ボンベそれぞれの重量を測定する重量計の数が前記Ｎ個であり、
前記調温装置は前記Ｎ－１個のボンベまたは前記Ｎ個のボンベを調温し、
前記第一配管と前記第二配管を含む、前記Ｎ個のボンベそれぞれから蒸発したガスを取り出す配管の数がＮ本であり、
前記供給配管は前記Ｎ個の配管のガスを合流させてガスを供給し
前記制御装置は前記Ｎ個の重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、ボンベ付きガス供給装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１に記載のボンベ付きガス供給装置においては、複数のボンベを用いてガスを供給する例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平４－３４３００号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、特許文献１に記載のボンベ付きガス供給装置では、一方のボンベ内のガスが消耗したときに、これを検知して自動的にガス供給ラインを切り替えて他方のボンベを使用し、その間に消耗したボンベを新しいボンベに交換する。このような構成において例えば一方のボンベを２本のボンベとして、ガスを並列供給する場合、２本のうちの一方のボンベに多くガスが残った状態でボンベを交換することがあり、ボンベ内のガスを使いきれないという問題があった。
【0005】
本開示は、ガスを複数のボンベによって並列供給する際でも、ボンベ内のガス使用量を最大化することができるボンベ付きガス供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様に係るボンベ付きガス供給装置は、
液化ガスが充填された第一ボンベと、
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、を備える。
液化ガスが充填された第一ボンベと、
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、を備える。
【発明の効果】
【0007】
上記によれば、ガスを複数のボンベによって並列供給する際でも、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施形態を列記して説明する。
本開示の一態様に係るボンベ付きガス供給装置は、
（１）液化ガスが充填された第一ボンベと、
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、を備える。
この構成によれば、第一ボンベと第二ボンベのガス残量に差ができてしまった場合においても、少なくとも一つのボンベを調温することによってガスの気化量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
最初に本開示の実施形態を列記して説明する。
本開示の一態様に係るボンベ付きガス供給装置は、
（１）液化ガスが充填された第一ボンベと、
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、を備える。
この構成によれば、第一ボンベと第二ボンベのガス残量に差ができてしまった場合においても、少なくとも一つのボンベを調温することによってガスの気化量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0010】
（２）上記（１）において、前記調温装置はファンを有していてもよい。
この構成によれば、ファンによってボンベの調温を行うので、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
この構成によれば、ファンによってボンベの調温を行うので、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0011】
（３）上記（１）において、前記調温装置が、ボンベの外周に水を循環させて調温する調温ジャケットを有していてもよい。
この構成によれば、調温ジャケットによってボンベの調温を行うので、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
この構成によれば、調温ジャケットによってボンベの調温を行うので、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0012】
（４）上記（１）において、前記調温装置は前記第一ボンベと前記第二ボンベを格納する、ボンベ庫を有し、
前記ボンベ庫は、前記第一ボンベに隣接する第一換気口と前記第二ボンベに隣接する第二換気口を有し、
前記第一換気口は通過する空気の量を調節する第一ダンパーを有し、
前記第二換気口は通過する空気の量を調節する第二ダンパーを有し、
前記制御装置は前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記第一換気口の前記第一ダンパーと前記第二換気口の前記第二ダンパーを制御してもよい。
この構成によれば、第一ボンベと第二ボンベはボンベ庫に格納されており、第一ボンベと第二ボンベのガス残量に差ができてしまった場合においても、換気口を通過する空気の量を制御することによってボンベを調温し、ガスの流量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
前記ボンベ庫は、前記第一ボンベに隣接する第一換気口と前記第二ボンベに隣接する第二換気口を有し、
前記第一換気口は通過する空気の量を調節する第一ダンパーを有し、
前記第二換気口は通過する空気の量を調節する第二ダンパーを有し、
前記制御装置は前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記第一換気口の前記第一ダンパーと前記第二換気口の前記第二ダンパーを制御してもよい。
この構成によれば、第一ボンベと第二ボンベはボンベ庫に格納されており、第一ボンベと第二ボンベのガス残量に差ができてしまった場合においても、換気口を通過する空気の量を制御することによってボンベを調温し、ガスの流量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0013】
（５）上記（１）から（３）のいずれかにおいて、前記第一ボンベと前記第二ボンベにそれぞれ前記調温装置を備えていてもよい。
この構成によれば、第一ボンベ、第二ボンベのそれぞれに調温装置を設けているため、二つのボンベを調温することによって、ガスの気化量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
この構成によれば、第一ボンベ、第二ボンベのそれぞれに調温装置を設けているため、二つのボンベを調温することによって、ガスの気化量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0014】
（６）上記（１）から（５）のいずれかにおいて、前記液化ガスが塩素ガスまたは四フッ化ケイ素ガスであってもよい。
この構成によれば、上記種類の液化ガスを用いる際に特にボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
この構成によれば、上記種類の液化ガスを用いる際に特にボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0015】
（７）上記（１）から（６）のいずれかにおいて、前記第一配管と前記第二配管はそれぞれ開閉弁を備え、前記制御装置により前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に前記開閉弁の開閉を行ってもよい。
この構成によれば、第一ボンベと第二ボンベのガス残量に差ができてしまった場合においても、少なくとも一つのボンベにつながれている配管の開閉弁を調整することによってガスの流量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
この構成によれば、第一ボンベと第二ボンベのガス残量に差ができてしまった場合においても、少なくとも一つのボンベにつながれている配管の開閉弁を調整することによってガスの流量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0016】
（８）上記（１）から（７）のいずれかにおいて、前記第一ボンベと前記第二ボンベを含むボンベの数がＮ個（Ｎは３以上の自然数）であり、
前記第一重量計と前記第二重量計を含む、前記ボンベそれぞれの重量を測定する重量計の数が前記Ｎ個であり、
前記調温装置は前記Ｎ－１個のボンベまたは前記Ｎ個のボンベを調温し、
前記第一配管と前記第二配管を含む、前記Ｎ個のボンベそれぞれから蒸発したガスを取り出す配管の数がＮ本であり、
前記供給配管は前記Ｎ個の配管のガスを合流させてガスを供給し
前記制御装置は前記Ｎ個の重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御してもよい。
この構成によれば、ボンベが３つ以上であってもそれぞれのボンベのガス残量を重量計により測定し、測定結果を基にそれぞれのボンベを調温装置によって調温し、ガスの気化量を調節することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
前記第一重量計と前記第二重量計を含む、前記ボンベそれぞれの重量を測定する重量計の数が前記Ｎ個であり、
前記調温装置は前記Ｎ－１個のボンベまたは前記Ｎ個のボンベを調温し、
前記第一配管と前記第二配管を含む、前記Ｎ個のボンベそれぞれから蒸発したガスを取り出す配管の数がＮ本であり、
前記供給配管は前記Ｎ個の配管のガスを合流させてガスを供給し
前記制御装置は前記Ｎ個の重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御してもよい。
この構成によれば、ボンベが３つ以上であってもそれぞれのボンベのガス残量を重量計により測定し、測定結果を基にそれぞれのボンベを調温装置によって調温し、ガスの気化量を調節することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0017】
［本開示の実施形態の詳細］
（第一実施形態）
本開示の実施形態に係るボンベ付きガス供給装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
（第一実施形態）
本開示の実施形態に係るボンベ付きガス供給装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0018】
図１は、本開示の実施形態に係るボンベ付きガス供給装置１の一例を示す概略図である。本実施形態に係るボンベ付きガス供給装置１は、例えば、光ファイバ用ガラス母材の製造装置に塩素ガスまたは四フッ化ケイ素ガスを供給するのに用いることができる。ボンベ付きガス供給装置１は、図１に示したように、第一ボンベ１１、第二ボンベ１２、第一重量計２１、第二重量計２２、第一配管３１、第二配管３２、供給配管５０、圧力計５１、制御装置６０、調温装置１００を有している。
【0019】
本開示において、第一ボンベ１１は第一配管３１と接続され、第二ボンベ１２は第二配管３２と接続されている。第一ボンベ１１と第一配管３１の接続部分にはガス供給量を調節する第一開閉弁４１が設けられ、第二ボンベ１２と第二配管３２の接続部分にはガス供給量を調節する第二開閉弁４２が設けられている。
第一配管３１と第二配管３２は共に供給配管５０に接続されている。供給配管５０は第一配管３１と第二配管３２を通じて供給されたガスを、例えば、光ファイバ用ガラス母材の製造装置に供給する。供給配管には、ガス圧の異常を検知するための圧力計５１が設けられている。
第一配管３１と第二配管３２は共に供給配管５０に接続されている。供給配管５０は第一配管３１と第二配管３２を通じて供給されたガスを、例えば、光ファイバ用ガラス母材の製造装置に供給する。供給配管には、ガス圧の異常を検知するための圧力計５１が設けられている。
【0020】
第一ボンベ１１と第二ボンベ１２には調温装置１００がそれぞれ設けられている。第一ボンベ１１には第一調温装置１００ａが設けられ、第二ボンベ１２には第二調温装置１００ｂが設けられている。本実施形態において、調温装置１００はファン１０１であり、第一ボンベ１１に第一ファン１０１ａが設けられ、第二ボンベ１２に第二ファン１０１ｂが設けられている。ファン１０１は、送風によって第一ボンベ１１および第二ボンベ１２を加温する装置である。第一ボンベ１１および第二ボンベ１２は内部のガスの揮発により、室温以下となっているため、本実施形態におけるファン１０１は、室温の空気を第一ボンベ１１および第二ボンベ１２に当てることによって第一ボンベ１１および第二ボンベ１２を加温する構成である。本実施形態の調温装置１００は、ファン１０１に付属したヒータ（図示せず）によって室温以上となった空気を、ファン１０１を通じて第一ボンベ１１および第二ボンベ１２に当てることによって、第一ボンベ１１および第二ボンベ１２を加温する構成であってもよい。
【0021】
第一ボンベ１１は第一重量計２１に載置され、第二ボンベ１２は第二重量計２２に載置されている。第一重量計２１と第二重量計２２は共に制御装置６０と電気的に接続されている。第一重量計２１は第一ボンベ１１の残ガスの重量を常時測定し、第二重量計２２は第二ボンベ１２の残ガスの重量を常時測定する。第一重量計２１と第二重量計２２は、それぞれ測定した残ガスの重量データを制御装置６０に送信する。制御装置６０は第一調温装置１００ａおよび第二調温装置１００ｂと電気的に接続されている。制御装置６０は、第一重量計２１より受信した重量データを基に第一調温装置１００ａを制御し、第二重量計より受信した重量データを基に第二調温装置１００ｂを制御する。本実施形態において制御装置６０は、第一重量計２１から受信した重量データを基に第一ファン１０１ａの風量を調節し、第二重量計２２から受信した重量データを基に第二ファン１０１ｂの風量を調節する。
【0022】
次に図２のフローチャートを用いて本実施形態におけるボンベ付きガス供給装置１の動作形態について説明する。
【0023】
本実施形態におけるボンベ付きガス供給装置１は、第一ボンベ１１、第二ボンベ１２内に貯蔵されている液化ガスを揮発させ、第一ボンベ１１は第一配管３１を通じて供給配管５０にガスを供給し、第二ボンベ１２は第二配管３２を通じて供給配管５０にガスを供給する。
【0024】
第一ボンベ１１、第二ボンベ１２より継続してガスを供給すると、第一ボンベ１１、第二ボンベ１２中の液化ガスが揮発し、ボンベ内の残ガスの重量が徐々に少なくなる。このとき、第一ボンベ１１と第二ボンベ１２間の外気温や接続される配管の長さ等の違いにより、第一ボンベ１１と第二ボンベ１２の残ガスの重量に差が出てくる。以下に詳述する構成によれば、ガス使用時において第一ボンベ１１と第二ボンベ１２の残ガスの重量の差を最小限とすることができる。
【0025】
第一重量計２１は第一ボンベ１１内の残ガスの重量を常時測定し、第二重量計２２は第二ボンベ１２内の残ガスの重量を常時測定する。第一重量計２１と第二重量計２２はそれぞれ測定した重量データを制御装置６０に送信する。制御装置６０は第一重量計２１と第二重量計２２から送られる残ガスの重量データを基に第一ボンベ１１と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等であるかどうかを判断する（ＳＴＥＰ１）。
制御装置６０が第一ボンベ１１と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等でないと判断した場合（ＳＴＥＰ１においてＮＯ）、制御装置６０は第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスのどちらが重いかを判断する（ＳＴＥＰ２）。第一ボンベ１１の残ガスの重量が第二ボンベ１２の残ガスの重量より大きいと判断した場合（ＳＴＥＰ２においてＹＥＳ）、制御装置６０は第一ボンベ１１に設けられた第一調温装置１００ａを運転させ（ＳＴＥＰ３）、第二ボンベ１２に設けられた第二調温装置１００ｂが運転中であれば停止させる（ＳＴＥＰ４）。一方、制御装置６０が、第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量よりも大きいと判断した場合（ＳＴＥＰ２においてＮＯ）、制御装置６０は第二調温装置１００ｂを運転させ（ＳＴＥＰ５）、第一調温装置１００ａが運転中であれば停止させる（ＳＴＥＰ６）。
なお、残ガスの重量は、ボンベ容器と残ガスの重量の合計から、ボンベ容器の重量（ボンベに刻印されている）を差し引く、またはボンベ使用開始時に充填されていた液化ガスの重量から、ガス供給により減少した重量を差し引くなどの方法で求めることができる。
制御装置６０が第一ボンベ１１と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等でないと判断した場合（ＳＴＥＰ１においてＮＯ）、制御装置６０は第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスのどちらが重いかを判断する（ＳＴＥＰ２）。第一ボンベ１１の残ガスの重量が第二ボンベ１２の残ガスの重量より大きいと判断した場合（ＳＴＥＰ２においてＹＥＳ）、制御装置６０は第一ボンベ１１に設けられた第一調温装置１００ａを運転させ（ＳＴＥＰ３）、第二ボンベ１２に設けられた第二調温装置１００ｂが運転中であれば停止させる（ＳＴＥＰ４）。一方、制御装置６０が、第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量よりも大きいと判断した場合（ＳＴＥＰ２においてＮＯ）、制御装置６０は第二調温装置１００ｂを運転させ（ＳＴＥＰ５）、第一調温装置１００ａが運転中であれば停止させる（ＳＴＥＰ６）。
なお、残ガスの重量は、ボンベ容器と残ガスの重量の合計から、ボンベ容器の重量（ボンベに刻印されている）を差し引く、またはボンベ使用開始時に充填されていた液化ガスの重量から、ガス供給により減少した重量を差し引くなどの方法で求めることができる。
【0026】
ＳＴＥＰ４、ＳＴＥＰ６の処理が終了した後、制御装置６０は第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等であるかを再度判断する（ＳＴＥＰ１）。第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等である場合（ＳＴＥＰ１においてＹＥＳ）、第一ボンベ１１および第二ボンベ１２に設けられたすべての調温装置１００の運転を停止させる（ＳＴＥＰ７）。
【0027】
制御装置６０はＳＴＥＰ７の後、第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量が所定の数値以下か否かを判断する（ＳＴＥＰ８）。ＳＴＥＰ８における所定の数値とは、第一ボンベ１１および第二ボンベ１２の交換が推奨される残ガスの重量であり、５ｋｇ以下が好ましく、２ｋｇ以下がより好ましい。制御装置６０が第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量が所定の数値以下であると判断した場合（ＳＴＥＰ８においてＹＥＳ）、ボンベ付きガス供給装置１のガス供給は終了する。また、制御装置６０が第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量が所定の数値以下ではないと判断した場合（ＳＴＥＰ８においてＮＯ）、ＳＴＥＰ１に戻り制御装置６０は再度、第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等であるかを判断する。
【0028】
通常、複数本のボンベを並列に接続し、ガスを供給する際、接続されているボンベのうち一つでも残ガスの重量が既定の重量以下となった場合（交換が必要な重量となった場合）、接続されているすべてのボンベを交換する必要がある。このため、複数本のボンベ同士のガス残量に差がある場合、交換が必要な重量に達していないボンベに関しては、利用可能なガスがボンベ内に残っているにも関わらず、交換を余儀なくされるという問題があった。
しかし、本開示の構成によれば、第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスの重量に差が発生したとしても、より残ガスの重量が大きいボンベを調温装置１００によって加熱することで、ボンベ内の液化ガスの揮発を促すことができる。これにより、第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスの重量の差を小さくし、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
しかし、本開示の構成によれば、第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスの重量に差が発生したとしても、より残ガスの重量が大きいボンベを調温装置１００によって加熱することで、ボンベ内の液化ガスの揮発を促すことができる。これにより、第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスの重量の差を小さくし、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0029】
【0030】
（第二実施形態）
図３は本開示の第二実施形態を示す図である。図３に示したように、第二実施形態においてボンベ付きガス供給装置１は第一ボンベ１１、第二ボンベ１２、第一重量計２１、第二重量計２２、第一配管３１、第二配管３２、供給配管５０、圧力計５１、制御装置６０、調温装置１００を有する。調温装置１００以外の構成は第一実施形態と同様のため、説明は省略する。
図３は本開示の第二実施形態を示す図である。図３に示したように、第二実施形態においてボンベ付きガス供給装置１は第一ボンベ１１、第二ボンベ１２、第一重量計２１、第二重量計２２、第一配管３１、第二配管３２、供給配管５０、圧力計５１、制御装置６０、調温装置１００を有する。調温装置１００以外の構成は第一実施形態と同様のため、説明は省略する。
【0031】
第二実施形態において、調温装置１００は水を循環させることによってボンベを調温する調温ジャケット２００である。第一ボンベ１１に第一調温ジャケット２００ａが設けられ、第二ボンベ１２に第二調温ジャケット２００ｂが設けられる。調温ジャケット２００はそれぞれのボンベの外周に接触して設けられる。それぞれの調温ジャケット２００には水の温度を管理し循環させる循環槽２０１（第一調温ジャケットに接続される第一循環槽２０１ａ、第二調温ジャケットに接続される第二循環槽２０１ｂ）が接続される。制御装置６０はそれぞれの循環槽２０１に接続され、循環槽２０１の動作を制御する。循環槽２０１はヒーターおよびクーラー（図示せず）を用いて調温ジャケット２００を循環する水を加温し、ポンプ（図示せず）を用いて調温ジャケット２００内に水を供給する。
【0032】
制御装置６０が調温ジャケット２００および循環槽２０１を制御する具体的態様を以下に説明する。
制御装置６０は第一重量計２１から受信した重量データを基に第一循環槽２０１ａを制御することによって、第一調温ジャケット２００ａ内の水温を制御し、第二循環槽２０１ｂを制御することによって、第二調温ジャケット２００ｂ内の水温を制御する。より具体的には、図２のＳＴＥＰ２において、第一ボンベ１１の残ガスの重量が第二ボンベ１２の残ガスの重量より大きい場合、制御装置６０は第一循環槽２０１ａに温度調節信号を送信し、第一循環槽２０１ａは搭載されるヒーターによって第一調温ジャケット２００ａ内の水を加温する（図２においてＳＴＥＰ３）。また、同時に第二循環槽２０１ｂが第二調温ジャケット２０１ｂ内の水を加温しているのであれば、制御装置６０は第二循環槽２０１ｂに温度調節信号を送信し、第二循環槽２０１ｂのヒーターを停止させる（図２においてＳＴＥＰ４）。
図２のＳＴＥＰ２において第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量より大きい場合、第一ボンベ１１に関する上記動作態様と第二ボンベ１２に関する上記動作態様は逆となる（図２においてＳＴＥＰ５、ＳＴＥＰ６）。
また、上記説明では制御装置６０は水温を制御する構成を説明したが、本実施形態はこれに限られない。例えば制御装置６０は調温ジャケット２００の水の循環量や循環の有無を制御する構成であってもよい。
制御装置６０は第一重量計２１から受信した重量データを基に第一循環槽２０１ａを制御することによって、第一調温ジャケット２００ａ内の水温を制御し、第二循環槽２０１ｂを制御することによって、第二調温ジャケット２００ｂ内の水温を制御する。より具体的には、図２のＳＴＥＰ２において、第一ボンベ１１の残ガスの重量が第二ボンベ１２の残ガスの重量より大きい場合、制御装置６０は第一循環槽２０１ａに温度調節信号を送信し、第一循環槽２０１ａは搭載されるヒーターによって第一調温ジャケット２００ａ内の水を加温する（図２においてＳＴＥＰ３）。また、同時に第二循環槽２０１ｂが第二調温ジャケット２０１ｂ内の水を加温しているのであれば、制御装置６０は第二循環槽２０１ｂに温度調節信号を送信し、第二循環槽２０１ｂのヒーターを停止させる（図２においてＳＴＥＰ４）。
図２のＳＴＥＰ２において第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量より大きい場合、第一ボンベ１１に関する上記動作態様と第二ボンベ１２に関する上記動作態様は逆となる（図２においてＳＴＥＰ５、ＳＴＥＰ６）。
また、上記説明では制御装置６０は水温を制御する構成を説明したが、本実施形態はこれに限られない。例えば制御装置６０は調温ジャケット２００の水の循環量や循環の有無を制御する構成であってもよい。
【0033】
第二実施形態におけるボンベ付きガス供給装置１の動作形態は図２のフローチャートと同様である。第二実施形態において、第一調温装置１００ａは第一調温ジャケット２００ａおよび第一循環槽２０１ａを指し、第二調温装置１００ｂは第二調温ジャケット２００ｂおよび第二循環槽２０１ｂを指す。
【0034】
（第三実施形態）
図４は本開示の第三実施形態を示す図である。図４に示したように、第三実施形態においてボンベ付きガス供給装置１は第一ボンベ１１、第二ボンベ１２、第一重量計２１、第二重量計２２、第一配管３１、第二配管３２、供給配管５０、圧力計５１、制御装置６０、調温装置１００を有する。第三実施形態における第一ボンベ１１、第二ボンベ１２、第一重量計２１、第二重量計２２、第一配管３１、第二配管３２、供給配管５０、圧力計５１の構成は第一実施形態と同様のため、説明は省略する。
図４は本開示の第三実施形態を示す図である。図４に示したように、第三実施形態においてボンベ付きガス供給装置１は第一ボンベ１１、第二ボンベ１２、第一重量計２１、第二重量計２２、第一配管３１、第二配管３２、供給配管５０、圧力計５１、制御装置６０、調温装置１００を有する。第三実施形態における第一ボンベ１１、第二ボンベ１２、第一重量計２１、第二重量計２２、第一配管３１、第二配管３２、供給配管５０、圧力計５１の構成は第一実施形態と同様のため、説明は省略する。
【0035】
第三実施形態において、調温装置１００はボンベ庫３００である。ボンベ庫３００は換気口３０１と排気口３０３を有する。換気口３０１は、第一換気口３０１ａと第二換気口３０１ｂを含む。第一ボンベ１１付近に第一換気口３０１ａが設けられ、第二ボンベ１２付近に第二換気口３０１ｂが設けられている。換気口３０１は換気口３０１を通る空気の量を調整することができるダンパー３０２を有し、第一換気口３０１ａは第一ダンパー３０２ａを有し、第二換気口３０１ｂは第二ダンパー３０２ｂを有している。ダンパー３０２は制御装置６０に電気的に接続されている。制御装置６０は第一重量計２１から受信した重量データを基に第一ダンパー３０２ａの開閉を制御し、第二重量計２２から受信した重量データを基に第二ダンパー３０２ｂの開閉を制御する。より具体的には、図２のＳＴＥＰ２において、第一ボンベ１１の残ガスの重量が第二ボンベ１２の残ガスの重量より大きい場合、制御装置６０は第一ダンパー３０２ａを開き、第一ボンベ１１へボンベ庫３００外から流入する空気を当て、第一ボンベ１１内の液化ガスの揮発を促す（図２においてＳＴＥＰ３）。また、同時に第二ダンパー３０２ｂが開いているのであれば閉じ（または開口を狭くし）、第二ボンベ１２へボンベ庫３００の外からの空気が当たる量を減少させ、第二ボンベ１２の液化ガスの揮発を抑制する（図２においてＳＴＥＰ４）。
図２のＳＴＥＰ２において第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量より大きい場合、第一ボンベ１１に関する上記動作態様と第二ボンベ１２に関する上記動作態様は逆となる（図２においてＳＴＥＰ５、ＳＴＥＰ６）。
図２のＳＴＥＰ２において第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量より大きい場合、第一ボンベ１１に関する上記動作態様と第二ボンベ１２に関する上記動作態様は逆となる（図２においてＳＴＥＰ５、ＳＴＥＰ６）。
【0036】
換気口３０１およびダンパー３０２はボンベ庫３００に流入する空気の量を調節することによって、第一ボンベ１１と第二ボンベ１２を加温することができる。第一ボンベ１１および第二ボンベ１２は内部の液化ガスの揮発により室温以下となっているため、換気口３０１はボンベ庫３００外の室温の空気を第一ボンベ１１および第二ボンベ１２に当てることによって第一ボンベ１１および第二ボンベ１２を加温する構成である。また本実施形態は、換気口３０１に付属したヒータ（図示せず）によって室温以上となった空気を第一ボンベ１１および第二ボンベ１２に当てることによって第一ボンベ１１および第二ボンベ１２を加温する構成であってもよい。
【0037】
第三実施形態におけるボンベ付きガス供給装置１の動作形態は第一実施形態と同様である。第三実施形態において、第一調温装置１００ａは第一換気口３０１ａおよび第一ダンパー３０２ａを指し、第二調温装置１００ｂは第二換気口３０１ｂおよび第二ダンパー３０２ｂを指す。
【0038】
第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態はそれぞれ、ボンベを調温する方法が異なるものの、ボンベを調温することで複数のボンベ間の残ガスの重量の差を小さくするという技術的思想は共通している。
【0039】
図５に示すように、第一実施形態～第三実施形態において、制御装置６０は開閉弁４０に接続され、制御装置６０により第一重量計２１の測定値と第二重量計２２の測定値を基に開閉弁４０の開閉を行う構成であってもよい。この構成によれば、制御装置６０は第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスの重量の差に応じて開閉弁４０の開閉を制御することができる。より具体的には、図２のＳＴＥＰ２において、第一ボンベ１１の残ガスの重量が第二ボンベ１２の残ガスの重量より大きい場合、制御装置６０は第一ダンパー３０２ａを開き、第一ボンベ１１から供給配管５０へのガス供給量を増やす（図２においてＳＴＥＰ３）。また、同時に第二開閉弁４２が開いているのであれば閉じ、第二ボンベ１２から供給配管５０へのガス供給量を減らす（図２においてＳＴＥＰ４）。また、図２のＳＴＥＰ２において第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量より大きい場合、第一ボンベ１１に対する上記動作態様と第二ボンベ１２への上記動作態様が逆となる（図２においてＳＴＥＰ５、ＳＴＥＰ６）。
また、ＳＴＥＰ３～ＳＴＥＰ６において、制御装置６０は第一開閉弁４１および第二開閉弁４２の制御を行うとともに、第一ボンベ１１に設けられている第一調温装置１００ａの制御と、第二ボンベ１２に設けられている第二調温装置１００ｂの制御を同時に行ってもよい。
以上の構成によれば第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスの重量の差を小さくすることができるので、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
また、ＳＴＥＰ３～ＳＴＥＰ６において、制御装置６０は第一開閉弁４１および第二開閉弁４２の制御を行うとともに、第一ボンベ１１に設けられている第一調温装置１００ａの制御と、第二ボンベ１２に設けられている第二調温装置１００ｂの制御を同時に行ってもよい。
以上の構成によれば第一ボンベ１１の残ガスと第二ボンベ１２の残ガスの重量の差を小さくすることができるので、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0040】
また、図６に示すように、第一実施形態～第三実施形態において、第一ボンベ１１と第二ボンベ１２を含むボンベの数がＮ個（Ｎは３以上の自然数）であってもよい。この場合、各Ｎ個のボンベ１１、１２、・・・１０ｎには第一重量計２１と第二重量計２２を含む、Ｎ個の重量計２１、２２、・・・２０ｎが一つずつ設けられている。Ｎ個の調温装置１００ａ、１００ｂ、・・・１００ｎはＮ個のボンベを一つずつ調温する。Ｎ個のボンベそれぞれにはＮ本の配管３１、３２、・・・３０ｎが一本ずつ接続されており、供給配管５０はＮ本の配管から供給されるガスを合流させて製造装置にガスを供給する。Ｎ本の配管３１、３２、・・・３０ｎにはＮ個の開閉弁４１、４２、・・・４０ｎが一つずつ設けられている。このような構成により、制御装置６０はＮ個の重量計の測定値を基に、調温装置を制御し、Ｎ個のボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0041】
また、図７に示すように、ボンベ付きガス供給装置１は、Ｎ個のボンベを並列に接続した一体のボンベ付きガス供給装置１ａ、１ｂ・・・同士を、さらに並列に接続する構成であってもよい。ボンベ付きガス供給装置が複数体設けられていても、それぞれのボンベ付きガス供給装置１ａ、１ｂ・・・内における動作形態は上述した実施形態と同様である。つまり、ボンベ付きガス供給装置１ａ、１ｂ・・・同士において、ガス供給量の調整は行われず、ボンベ付きガス供給装置１ａ、１ｂ・・・はそれぞれ単独で図２に示したフローチャートに沿った動作を行う構成となっている。この構成においても、それぞれのボンベ付きガス供給装置において各ボンベのガス使用量を最大化することができる。
【0042】
図７に示す構成によれば、例えば、ボンベ付きガス供給装置１ａからのガス供給が終了したタイミングでボンベ付きガス供給装置１ｂからのガス供給に切り替え、ボンベ付きガス供給装置１ｂからガス供給している間にボンベ付きガス供給装置１ａのボンベを満充填されたボンベに交換することができる。これにより、ボンベ付きガス供給装置１ａおよびボンベ付きガス供給装置１ｂのうち一方のボンベを交換する際にも、ガス供給を止めることなく連続してガス供給を行うことができる。
【0043】
また、第一実施形態～第三実施形態においては、調温装置１００はボンベを加温する構成であったが、本開示に係るボンベ付きガス供給装置１はこれに限られない。例えば、調温装置１００はボンベを加熱および冷却する構成であってもよい。これにより、調温装置１００が付属するボンベ（例えば第一ボンベ１１）において、第一ボンベ１１に付属の調温装置１００のみを制御することによって第一ボンベ１１のガス供給量を増やすことも減らすこともできる。この構成によれば、例えば第一実施形態において調温装置１００は少なくとも一つのボンベに設けられていればよい。また、ボンベの数がＮ個である場合には、調温装置１００はＮ－１個のボンベに設けられていればよい。
【0044】
図８は本開示の実施形態において、調温装置１００がボンベを加熱および冷却することが可能であり、第一ボンベ１１にのみ第一調温装置１００ａが設けられている場合のボンベ付きガス供給装置１の動作形態を表すフローチャートである。
【0045】
図８を用いて上記構成の調温装置１００が第一ボンベ１１にのみ設けられている場合のボンベ付きガス供給装置１の動作形態を説明する。
第一重量計２１は第一ボンベ１１の残ガスの重量を常時測定し、第二重量計２２は第二ボンベ１２の残ガスの重量を常時測定している。制御装置６０は第一重量計２１と第二重量計２２から送られる重量データを基に第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等であるかどうかを判断する（ＳＴＥＰ１１）。
制御装置６０が第一ボンベ１１と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等でないと判断した場合（ＳＴＥＰ１１においてＮＯ）、制御装置６０は第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量のどちらが大きいかを判断する（ＳＴＥＰ１２）。第一ボンベ１１の残ガスの重量が第二ボンベ１２の残ガスの重量より大きいと判断した場合（ＳＴＥＰ１２においてＹＥＳ）、制御装置６０は第一ボンベ１１に設けられた第一調温装置１００ａを加熱運転させる（ＳＴＥＰ１３）。一方、制御装置６０が、第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量よりも大きいと判断した場合（ＳＴＥＰ１２においてＮＯ）、制御装置６０は第一調温装置１００ａを冷却運転させる（ＳＴＥＰ１４）。
第一重量計２１は第一ボンベ１１の残ガスの重量を常時測定し、第二重量計２２は第二ボンベ１２の残ガスの重量を常時測定している。制御装置６０は第一重量計２１と第二重量計２２から送られる重量データを基に第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等であるかどうかを判断する（ＳＴＥＰ１１）。
制御装置６０が第一ボンベ１１と第二ボンベ１２の残ガスの重量が同等でないと判断した場合（ＳＴＥＰ１１においてＮＯ）、制御装置６０は第一ボンベ１１の残ガスの重量と第二ボンベ１２の残ガスの重量のどちらが大きいかを判断する（ＳＴＥＰ１２）。第一ボンベ１１の残ガスの重量が第二ボンベ１２の残ガスの重量より大きいと判断した場合（ＳＴＥＰ１２においてＹＥＳ）、制御装置６０は第一ボンベ１１に設けられた第一調温装置１００ａを加熱運転させる（ＳＴＥＰ１３）。一方、制御装置６０が、第二ボンベ１２の残ガスの重量が第一ボンベ１１の残ガスの重量よりも大きいと判断した場合（ＳＴＥＰ１２においてＮＯ）、制御装置６０は第一調温装置１００ａを冷却運転させる（ＳＴＥＰ１４）。
【0046】
ＳＴＥＰ１３、ＳＴＥＰ１４の処理が終了した後の処理（再度のＳＴＥＰ１１、ＳＴＥＰ１５、ＳＴＥＰ１６）は図２の処理（再度のＳＴＥＰ１、ＳＴＥＰ７、ＳＴＥＰ８）と同様の処理であるため、説明は省略する。
【0047】
上記構成によれば二本のボンベに対して調温装置１００が一つのみ設けられた構成であっても、ボンベを調温することで複数のボンベ間の残ガスの重量の差を小さくし、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【0048】
以上、本開示の実施形態について説明をしたが、本開示の技術的範囲が本実施形態の説明によって限定的に解釈されるべきではないのは言うまでもない。本実施形態は単なる一例であって、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内において、様々な実施形態の変更が可能であることが当業者によって理解されるところである。本開示の技術的範囲は特許請求の範囲に記載された発明の範囲及びその均等の範囲に基づいて定められるべきである。
【符号の説明】
【0049】
１、１ａ、１ｂ：ボンベ付きガス供給装置
１１：第一ボンベ
１２：第二ボンベ
２１：第一重量計
２２：第二重量計
３１：第一配管
３２：第二配管
４０：開閉弁
４１：第一開閉弁
４２：第二開閉弁
５０：供給配管
５１：圧力計
６０：制御装置
１００：調温装置
１００ａ：第一調温装置
１００ｂ：第二調温装置
１０１：ファン
１０１ａ：第一ファン
１０１ｂ：第二ファン
２００：調温ジャケット
２００ａ：第一調温ジャケット
２００ｂ：第二調温ジャケット
２０１：循環槽
２０１ａ：第一循環槽
２０１ｂ：第二循環槽
３００：ボンベ庫
３０１：換気口
３０１ａ：第一換気口
３０１ｂ：第二換気口
３０２：ダンパー
３０２ａ：第一ダンパー
３０２ｂ：第二ダンパー
３０３：排気口
１０ｎ：第Ｎボンベ
２０ｎ：第Ｎ重量計
３０ｎ：第Ｎ配管
１００ｎ：第Ｎ調温装置
１１：第一ボンベ
１２：第二ボンベ
２１：第一重量計
２２：第二重量計
３１：第一配管
３２：第二配管
４０：開閉弁
４１：第一開閉弁
４２：第二開閉弁
５０：供給配管
５１：圧力計
６０：制御装置
１００：調温装置
１００ａ：第一調温装置
１００ｂ：第二調温装置
１０１：ファン
１０１ａ：第一ファン
１０１ｂ：第二ファン
２００：調温ジャケット
２００ａ：第一調温ジャケット
２００ｂ：第二調温ジャケット
２０１：循環槽
２０１ａ：第一循環槽
２０１ｂ：第二循環槽
３００：ボンベ庫
３０１：換気口
３０１ａ：第一換気口
３０１ｂ：第二換気口
３０２：ダンパー
３０２ａ：第一ダンパー
３０２ｂ：第二ダンパー
３０３：排気口
１０ｎ：第Ｎボンベ
２０ｎ：第Ｎ重量計
３０ｎ：第Ｎ配管
１００ｎ：第Ｎ調温装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】