特開 2024-40529 パージ装置及び搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024040529

(43)【公開日】2024-03-26

(54)【発明の名称】パージ装置及び搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240318BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240318BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20240318BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

H01L21/68 A

B65G49/07 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021007880

(22)【出願日】2021-01-21

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 靖久

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA37

5F131CA12

5F131DA43

5F131DC23

5F131FA02

5F131GA12

5F131GA33

5F131GA42

5F131GA92

5F131JA04

(57)【要約】

【課題】良好なパージ処理を実行することができるパージ装置及び搬送システムを提供する。
【解決手段】第二棚モジュール４０は、パージノズル５１に容器Ｆの注入口Ｆａが位置合わせされることによって、容器Ｆの内部にパージガスを供給する。第二棚モジュール４０は、容器Ｆが載置され、パージノズル５１が設けられている第二棚板４３と、第二棚板４３に配置される部材であって、第二棚板４３に容器Ｆが載置されるときにパージノズル５１に先行して容器Ｆに接触し、注入口Ｆａがパージノズル５１に対する所定範囲に位置するように容器Ｆを案内するピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃと、第二棚板４３に載置された容器Ｆに振動を加える加振装置８７と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

パージノズルに格納容器の注入口が位置合わせされることによって、前記格納容器の内部にパージガスを供給するパージ装置であって、
前記格納容器が載置され、前記パージノズルが設けられている載置部と、
前記載置部に配置される部材であって、前記載置部に前記格納容器が載置されるときに前記パージノズルに先行して前記格納容器に接触し、前記注入口が前記パージノズルに対する所定範囲に位置するように前記格納容器を案内するガイド部と、
前記載置部に載置された前記格納容器に振動を加える加振装置と、を備える、パージ装置。

【請求項2】

前記加振装置は、前記載置部における前記格納容器の載置面とは反対側の面に設けられている、請求項１記載のパージ装置。

【請求項3】

前記パージノズルと前記注入口との接続状態の良否を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に応じて前記加振装置を作動させるパージ制御部と、を更に備える、請求項１又は２記載のパージ装置。

【請求項4】

前記載置部に配置されており、前記格納容器を吸着する吸着部を更に備え、
前記検出部は、前記吸着部における前記格納容器の吸着状態に基づいて前記接続状態を検出する、請求項３記載のパージ装置。

【請求項5】

前記パージ制御部は、前記検出部によって前記接続状態が不良であることが検出された場合、エラー信号を出力する、請求項３又は４記載のパージ装置。

【請求項6】

請求項５記載のパージ装置と、
前記載置部との間で前記格納容器を移載可能な搬送装置と、
前記搬送装置を制御する搬送制御部と、を備え、
前記搬送制御部は、前記エラー信号を取得した場合、前記エラーが検出された前記パージノズルが設けられた前記載置部への前記格納容器の移載を禁止する、搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の一側面は、パージ装置及び搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特許文献１に記載されているような、半導体ウェハ又はガラス基板等の被格納物が格納される格納容器の内部に、清浄度を保つためにパージガスを導入（いわゆるパージ処理）するパージ装置が知られている。特許文献１のパージ装置では、パージガスを供給する工程の中で、良好なパージ処理を行うことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】再公表２０１５／１１８７８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

パージノズルに格納容器の注入口が位置合わせされた状態で、格納容器の内部にパージガスを供給するパージ装置では、注入口がパージノズルに対する所定範囲に位置するように格納容器を案内するガイド部が設けられているが、格納容器が意図しない要因によって案内途中で留まり、注入口が上記所定範囲にまで案内されない場合がある。注入口が上記所定範囲に案内されないと、パージノズルと格納容器の注入口とが接続されなかったり、接続状態が不良となったりして、良好なパージ処理が実行できない場合がある。

【0005】

そこで、本発明の一側面の目的は、良好なパージ処理を実行することができるパージ装置及び搬送システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面に係るパージ装置は、パージノズルに格納容器の注入口が位置合わせされることによって、格納容器の内部にパージガスを供給するパージ装置であって、格納容器が載置され、パージノズルが設けられている載置部と、載置部に配置される部材であって、載置部に格納容器が載置されるときにパージノズルに先行して格納容器に接触し、注入口がパージノズルに対する所定範囲に位置するように格納容器を案内するガイド部と、格納容器に振動を加える加振装置と、を備える。

【0007】

この構成のパージ装置では、載置部に載置される格納容器に振動を加えることができるので、意図しない要因によってガイド部の案内途中で停止した格納容器を再始動させることができる。これにより、格納容器の注入口がパージノズルに対する所定範囲に位置するようにより確実に案内される。この結果、良好なパージ処理を実行することができる。

【0008】

本発明の一側面に係るパージ装置では、加振装置は、載置部における格納容器の載置面とは反対側の面に設けられていてもよい。この構成では、ガイド部の案内途中で停止した格納容器を効果的に再始動させることができる。

【0009】

本発明の一側面に係るパージ装置は、パージノズルと注入口との接続状態の良否を検出する検出部と、検出部の検出結果に応じて加振装置を作動させるパージ制御部と、を更に備えてもよい。この構成では、パージノズルと注入口との接続状態が不良である場合に、加振装置を作動させることができるので、格納容器の注入口がパージノズルに対する所定範囲に位置しないことを起因とするパージ処理の不具合の発生を低減することができる。

【0010】

本発明の一側面に係るパージ装置は、載置部に配置されており、格納容器を吸着する吸着部を更に備え、検出部は、吸着部における格納容器の吸着状態に基づいて接続状態を検出してもよい。この構成では、パージノズルと注入口との接続状態の良否を簡易に判定することができる。

【0011】

本発明の一側面に係るパージ装置では、パージ制御部は、検出部によって接続状態が不良であることが検出された場合、エラー信号を出力してもよい。この構成では、当該エラー信号に基づいて、接続状態が不良であることを作業者に報知したり、当該エラー信号に基づいて各種処理を実行することができる。

【0012】

本発明の一側面に係る搬送システムでは、上記のパージ装置と、載置部との間で格納容器を移載可能な搬送装置と、搬送装置を制御する搬送制御部と、を備え、搬送制御部は、エラー信号を取得した場合、エラーが検出されたパージノズルが設けられた載置部への格納容器の移載を禁止してもよい。この構成では、不具合のあるパージノズルが設けられた載置部へ格納容器が載置されることを防止できる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の一側面によれば、良好なパージ処理を実行することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】一実施形態に係る搬送システム及び保管棚を示す斜視図である。

【図2】第二棚モジュールを上方から見た斜視図である。

【図3】第二棚モジュールを下方から見た斜視図である。

【図4】搬送システム及び保管棚の機能構成を示すブロック図である。

【図5】搬送車によって第二棚モジュールの第二棚板にまで搬送されてきた容器に対してパージ処理が開始されるまでの流れを示すフローチャートである。

【図6】第二棚モジュールの第二棚板においてパージ処理中の容器が搬送車によって搬出されるまでの流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「Ｘ方向」、「Ｙ方向」及び「Ｚ方向」の語は、図示する方向に基づいており便宜的なものである。なお、図２においては第二主配管６０Ｂの記載を省略し、図３においては、第二主配管６０Ｂ、電磁バルブ８２、圧力計８３及び配管８４の記載を省略している。

【0016】

図１に示す保管棚（パージ装置）１は、例えば、半導体製造工場等における搬送システム１００を構成する搬送車（搬送装置）３の軌道５に沿って配置される。搬送システム１００は、保管棚１と、搬送車３と、軌道５と、搬送コントローラ（搬送制御部）９と、を主に含んで構成される。保管棚１は、ＦＯＵＰ又はレチクルポッド等の容器（格納容器）Ｆを一時的に保管する。保管棚１は、吊りフレーム１０と、第一棚モジュール３０と、第二棚モジュール４０と、を備えている。図１に示されるように、吊りフレーム１０は、第一棚モジュール３０を天井から吊り下げる部材である。吊りフレーム１０は、軌道５の延在方向（Ｘ方向）に沿って、等間隔で配列されている。

【0017】

吊りフレーム１０は、棚支持部１３と、一対の吊部１１，１１と、接続部１４と、を有する。棚支持部１３は、第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０の短手方向（Ｙ方向）に沿って延在し、下方から第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０を支持する。一対の吊部１１，１１は、棚支持部１３の両端のそれぞれから天井に固定される固定部１２にまで吊り下げ方向（Ｚ方向）に延在する。接続部１４は、その両端が一対の吊部１１，１１に接続され、棚支持部１３に平行（Ｙ方向）に延在する。

【0018】

吊りフレーム１０には、追加ユニット２０が固定されている。追加ユニット２０は、吊りフレーム１０の吊部１１に固定されるユニットである。追加ユニット２０は、追加棚支持部２３と、追加吊部２１と、追加接続部２４と、落下防止柵２９と、を有する。追加棚支持部２３は、第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０の短手方向（Ｙ方向）に沿って延在し、下方から第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０を支持する。追加吊部２１は、追加棚支持部２３の一端から天井に固定される固定部２２にまで吊り下げ方向（Ｚ方向）に延在する。追加接続部２４は、一端が追加吊部２１に接続され、他端が吊部１１に接続されており、追加棚支持部２３に平行（Ｙ方向）に延在する。落下防止柵２９は、隣り合う吊部１１同士、又は隣り合う追加吊部２１同士に掛け渡される平板状の部材である。

【0019】

第一棚モジュール３０及び第二棚モジュール４０は、容器Ｆが載置される部材である。第一棚モジュール３０及び第二棚モジュール４０は、隣り合う棚支持部１３同士、又は隣り合う追加棚支持部２３同士に掛け渡されている。

【0020】

第一棚モジュール３０は、パージ機能を有さないユニット、すなわち、載置される容器Ｆにガスを供給する機能を有さないユニットである。当該ガスの例には、窒素ガス、乾燥空気等が含まれる。第二棚モジュール４０は、パージ機能を有するユニット、すなわち、載置される容器Ｆにガスを供給する機能（パージ設備）を有するユニットである。他方の追加ユニット２０の隣り合う追加棚支持部２３同士には、上述の第一棚モジュール３０が掛け渡されている。

【0021】

第一棚モジュール３０は、第一棚フレーム３１と、第一棚板３３と、を有している。第一棚フレーム３１は、Ｘ方向において隣り合う棚支持部１３又は追加棚支持部２３に掛け渡される。第一棚フレーム３１は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材である。第一棚フレーム３１は、棚支持部１３又は追加棚支持部２３に下方から挿通されるネジ等によって棚支持部１３又は追加棚支持部２３に固定されている。

【0022】

第一棚板３３は、第一棚フレーム３１の上面に、弾性体（図示せず）を介して支持されている。第一棚板３３は、方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材である。弾性体の材料の例には、ゴム材、シリコーンゲル材、ウレタンゲル及び金属バネが含まれる。なお、弾性体を介することなく、第一棚板３３を第一棚フレーム３１の上面に直接取り付けるようにしてもよい。第一棚板３３は、容器Ｆが載置される載置面３３ａを有し、載置面３３ａには、ピン３５が設けられている。ピン３５は、第一棚板３３の載置面３３ａから上方に突出している。ピン３５は、容器Ｆの底部に設けられた位置決め穴（図示せず）に対応する位置に配置されている。

【0023】

次に、図２及び図３に示される第二棚モジュール４０について説明する。第二棚モジュール４０は、第二棚フレーム４１と、第二棚板（載置部）４３と、パージ設備５０と、を有している。第二棚フレーム４１は、Ｘ方向において隣り合う追加棚支持部２３に掛け渡される。第二棚フレーム４１は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材である。

【0024】

第二棚板４３は、第二棚フレーム４１の上面に、弾性体４７を介して支持されている。第二棚板４３は、方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材である。弾性体４７の材料の例には、ゴム材、シリコーンゲル材、ウレタンゲル及び金属バネが含まれる。なお、弾性体を介することなく、第二棚板４３を第二棚フレーム４１の上面に直接取り付けるようにしてもよい。第二棚板４３は、容器Ｆが載置される載置面４３ａを有し、載置面４３ａには、ピン（ガイド部）４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃが設けられている。

【0025】

ピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃは、第二棚板４３に容器Ｆが載置されるときにパージノズル５１に先行して容器Ｆに接触し、注入口Ｆａがパージノズル５１に対する所定範囲に位置するように容器Ｆを案内する。ピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃは、第二棚板４３の載置面４３ａから上方に突出している。ピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃは、容器Ｆの底部に設けられた位置決め穴（図示せず）に対応する位置に配置されている。

【0026】

パージ設備５０は、パージノズル５１と、第一配管５２と、フィルタ部５３と、第二配管５４と、ＭＦＣ（Mass Flow Controller）５５と、第三配管５６と、在荷センサ５９と、到着センサ８９と、吸着部８０と、加振装置８７と、パージコントローラ（検出部・パージ制御部）９０と、を有している。パージノズル５１は、容器Ｆの内部にガスを供給するノズルである。パージノズル５１は、第二棚板４３の載置面４３ａから上方に突出しており、容器Ｆがパージノズル５１に載置されることによって容器Ｆの底面に設けられた注入口Ｆａに接続される。

【0027】

第一配管５２は、パージノズル５１とフィルタ部５３とを接続する管部材である。フィルタ部５３は、フィルタ部５３を通過するガスに含まれる異物を取り除くフィルタが収容された部材であって、ガスの供給源から第一主配管６０Ａを介して供給されるガスに含まれる異物を取り除く。フィルタ部５３は、第二棚フレーム４１に適宜の部材によって固定されている。第二配管５４は、フィルタ部５３とＭＦＣ５５との間を接続する管部材である。

【0028】

ＭＦＣ５５は、第一主配管６０Ａから供給されるガスの流量を計測すると共に流量の制御を行う機器である。ＭＦＣ５５は、パージコントローラ９０によって制御される。ＭＦＣ５５は、複数の第二棚板４３のそれぞれに設けられている、ＭＦＣ５５は、配線７１を介してパージコントローラ９０に接続される第一主配線７０Ａに接続されている。ＭＦＣ５５は、第二棚フレーム４１の下面に適宜の方法にて固定されている。第三配管５６は、ＭＦＣ５５と第一主配管６０Ａとの間を接続する管部材である。

【0029】

在荷センサ５９は、第二棚板４３に容器Ｆが載置されたか否かを検出する。在荷センサ５９は、第二棚板４３の載置面４３ａに設けられている。在荷センサ５９は、配線７１を介してパージコントローラ９０に接続される第一主配線７０Ａに接続されている。在荷センサ５９の検知結果は、パージコントローラ９０によって取得される。

【0030】

到着センサ８９（図１参照）は、第二棚板４３に容器Ｆが搬送されてきたことを検知する。より詳細には、到着センサ８９は、複数のパージノズル５１のそれぞれに対応して複数設けられている。到着センサ８９は、例えば、軌道５に固定されている。なお、図１では、複数の到着センサ８９のうち、一つの到着センサ８９しか記載されていない。到着センサ８９は、対応するパージノズル５１が設けられた第二棚板４３に容器Ｆの載置が開始されることを検知する。到着センサ８９による容器Ｆの検知結果は、パージコントローラ９０によって取得される。

【0031】

図１及び図４に示されるように、吸着部８０は、吸引口８１と、電磁バルブ８２と、圧力計８３と、配管８４と、を有している。吸引口８１は、パージノズル５１の周囲に設けられ。容器Ｆの底面を吸着して、容器Ｆの第二棚板４３に対する載置の安定化を図ると共に、パージノズル５１と容器Ｆとの接続をより確実にする部位である。吸引口８１は、ゴム部材等の弾性を有する部材に形成された複数の孔によって構成されている。

【0032】

吸引口８１は、電磁バルブ８２、圧力計８３及び配管８４を介して、負圧源７に接続される第二主配管６０Ｂに接続されている。電磁バルブ８２は、吸引口８１における負圧（吸引）の発生の有無を切り替える。電磁バルブ８２は、パージコントローラ９０によって制御される。電磁バルブ８２は、配線７１を介してパージコントローラ９０に接続される第一主配線７０Ａに接続されている。電磁バルブ８２は、第二棚板４３の載置面４３ａとは反対側の裏面４３ｂに取り付けられている。

【0033】

圧力計８３は、吸引口８１に生じる圧力を計測する。吸引口８１に生じる圧力は、第二棚板４３に対する容器Ｆの載置のされ方、すなわち、吸引口８１に対する容器Ｆの接触度合によって変化する。すなわち、吸引口８１によって容器Ｆがしっかりと吸着されているとき（パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が良好なとき）、圧力計８３によって計測される値は相対的に高くなり、吸引口８１によって容器Ｆがしっかりと吸着されていないとき（パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が不良のとき）、圧力計８３によって計測される値は相対的に低くなる。圧力計８３は、配線７１を介してパージコントローラ９０に接続される第一主配線７０Ａに接続されている。圧力計８３によって計測された圧力値は、パージコントローラ９０によって取得される。圧力計８３は、第二棚板４３の裏面４３ｂに取り付けられている。

【0034】

加振装置８７は、第二棚板４３に載置された容器Ｆに振動を加える。加振装置８７の例は、バイブレータ等の振動モータである。加振装置８７は、第二棚板４３における裏面４３ｂに設けられており、第二棚板４３を介して容器Ｆに振動を加える。加振装置８７は、配線７１を介してパージコントローラ９０に接続される第一主配線７０Ａに接続されている。加振装置８７は、パージコントローラ９０によって制御される。すなわち、加振装置８７における加振動作は、パージコントローラ９０によって制御される。

【0035】

上述した第一主配管６０Ａは、パージ設備５０に供給するパージガスのガス源に接続されている。第一主配管６０Ａは、複数のＭＦＣ５５のそれぞれに第三配管５６を介して接続されている。第二主配管６０Ｂは、複数の吸引口８１のそれぞれに負圧を発生させる負圧源７に接続されている。第二主配管６０Ｂは、複数の吸引口８１のそれぞれに配管８４を介して接続されている。第一主配線７０Ａは、パージコントローラ９０と複数のパージ設備５０とを接続する。第一主配線７０Ａは、複数のパージ設備５０のそれぞれに配線７１を介して接続されている。

【0036】

パージコントローラ９０は、パージ設備５０における各種制御を実行する。パージコントローラ９０は、例えば、何れかの保管棚１の一部に固定されていてもよいし、中継装置等を介して保管棚１から離れた場所に設けられてもよい。パージコントローラ９０は、電磁バルブ８２、複数のＭＦＣ５５及び加振装置８７を制御する。パージコントローラ９０は、在荷センサ５９、圧力計８３における圧力値、在荷センサ５９における検知結果及び到着センサ８９における検知結果を取得する。パージコントローラ９０は、在荷センサ５９及び到着センサ８９の検知結果に基づいてＭＦＣ５５を制御する。

【0037】

また、パージコントローラ９０は、圧力計８３における圧力値に基づいてパージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態の良否を検出し、当該良否の検出結果に基づいて加振装置８７を制御する。本実施形態では、パージコントローラ９０は、上記接続状態が良と判定されたときは、ＭＦＣ５５を制御して容器Ｆにガスを供給し、上記接続状態が不良と判定されたときは、エラー信号を出力する。なお、パージコントローラ９０の制御の詳細については、後段にて詳述する。

【0038】

搬送コントローラ９は、軌道５を走行する搬送車３に搬送指令を送信する。搬送指令には、移動先の処理装置に対応する載置部、バッファに対応する第一棚モジュール３０の第一棚板３３又は第二棚モジュール４０の第二棚板４３が含まれる。パージコントローラ９０と搬送コントローラ９とは、第二主配線７０Ｂによって接続されている。本実施形態の搬送コントローラ９は、パージコントローラ９０からエラー信号を取得すると、当該エラー信号を出力する原因となった第二棚板４３を目的地とする搬送指令を出力することを禁止する。

【0039】

次に、搬送車３によって第二棚モジュール４０の第二棚板４３にまで搬送されてきた容器Ｆに対してパージ処理が開始されるまでの流れを、主に図５を参照しながら説明する。

【0040】

パージコントローラ９０は、到着センサ８９によって搬送車３の到着を検知する（ステップＳ１）。搬送車３は、搬送指令によって指定された第二棚板４３に到着すると、容器Ｆの下降を開始させ（ステップＳ２）、第二棚板４３に着座させる（ステップＳ３）。本実施形態の第二棚板４３においては、容器Ｆが下降されていくと、第二棚板４３に着座する前に容器Ｆがピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃに接触し、容器Ｆはピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃに案内されながら第二棚板４３に着座（容器Ｆの注入口Ｆａとパージノズル５１とが接続）する。

【0041】

パージコントローラ９０は、在荷センサ５９における検知結果に基づいて電磁バルブ８２を制御し、容器Ｆの吸引を開始する（ステップＳ４）。なお、パージコントローラ９０は、到着センサ８９によって搬送車３の到着が検知されてから容器Ｆが第二棚板４３に着座されるまでの間に、電磁バルブ８２を制御し、容器Ｆの吸引を開始してもよい。次に、パージコントローラ９０は、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態の良否を検出する（ステップＳ５）。より詳細には、パージコントローラ９０は、吸着部８０の吸引口８１における容器Ｆの吸着状態に基づいて接続状態を検出する。本実施形態のパージコントローラ９０は、取得した圧力計８３の圧力値が第一閾値よりも大きければ、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が良好であると判定する。パージコントローラ９０は、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が良好であると判定すると（Ｓ５：ＹＥＳ）、ＭＦＣ５５を制御して容器Ｆにガスを供給する（ステップＳ６）。すなわち、パージコントローラ９０は、パージ処理を開始する。

【0042】

パージコントローラ９０は、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が良好でないと判定すると（Ｓ５：ＮＯ）、加振装置８７を制御して加振装置８７を作動させる（ステップＳ１１）。その後、パージコントローラ９０は、吸着部８０の吸引口８１における容器Ｆの吸着状態に基づいて接続状態を検出する（ステップＳ１２）。ここで、パージコントローラ９０は、取得した圧力計８３の圧力値が第一閾値以上であれば、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が良好であると判定する。パージコントローラ９０は、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が良好であると判定すると（Ｓ１２：ＹＥＳ）、加振装置８７を制御して加振装置８７の作動を停止させる（ステップＳ１３）。次に、パージコントローラ９０は、ＭＦＣ５５を制御して容器Ｆにガスを供給する（ステップＳ６）。

【0043】

一方、パージコントローラ９０は、ステップＳ１２においてパージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が不良であると判定すると（Ｓ１２：ＮＯ）、加振装置８７によって振動を加える状態を継続させる（ステップＳ１４：ＮＯ）。パージコントローラ９０は、加振装置８７による振動状態を所定時間以上続けても、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が不良であると判定（タイムアウト）され続けると（ステップＳ１４：ＹＥＳ）、加振装置８７を制御して加振装置８７の作動を停止させる（ステップＳ１５）。次に、パージコントローラ９０は、エラー信号を出力する（ステップＳ１６）。エラー信号を取得した搬送コントローラ９は、作業者にエラーを報知したり、当該エラー信号を出力する原因となった第二棚板４３を目的地とする搬送指令を出力することを禁止したりする。

【0044】

次に、第二棚モジュール４０の第二棚板４３においてパージ処理中の容器が搬送車３によって搬出されるまでの流れを、主に図６を参照しながら説明する。

【0045】

パージコントローラ９０は、到着センサ８９によって搬送車３の到着が検知された場合（ステップＳ３１）、ＭＦＣ５５を制御して、容器Ｆに対するパージ処理を停止する。なお、到着センサ８９によって搬送車３の到着が検知されるまでの間に、当該パージ処理は停止されていてもよい。パージコントローラ９０は、電磁バルブ８２を制御し、容器Ｆの吸引を停止する（ステップＳ３２）。次に、パージコントローラ９０は、取得した圧力計８３の圧力値が第二閾値以下であるか否かを検出する（ステップＳ３３）。

【0046】

パージコントローラ９０は、取得した圧力計８３の圧力値が第二閾値以下であると判定すると（Ｓ３３：ＹＥＳ）、その旨を搬送コントローラ９に送信し、搬送車３に容器Ｆを把持させて（ステップＳ３４）、容器Ｆを上昇させる（ステップＳ３５）。これにより、容器Ｆが吸引口８１に吸着された状態で、搬送車３によって容器Ｆが持ち上げられることがなくなるので、容器Ｆの破損を防止できる。容器Ｆの上昇が完了した搬送車３は、搬送コントローラ９の搬送指令の目的地に向かって出発する（ステップＳ３６）。

【0047】

一方、パージコントローラ９０は、取得した圧力計８３の圧力値が第二閾値より大きいと判定すると（Ｓ３３：ＮＯ）、圧力計８３の圧力値の監視を継続する（ステップＳ４１：ＮＯ）。パージコントローラ９０は、圧力計８３の圧力値が所定時間の経過後も、第二閾値以下にならないと判定（タイムアウト）すると（Ｓ４１：ＹＥＳ）、エラー信号を出力する（ステップＳ４２）。エラー信号を取得した搬送コントローラ９は、作業者にエラーを報知したり、当該エラー信号を出力する原因となった第二棚板４３を出発地とする搬送指令を出力することを禁止したりする。

【0048】

上記実施形態の搬送システム１００又は第二棚モジュール４０における作用効果について説明する。上記実施形態の第二棚モジュール４０では、第二棚板４３に載置される容器Ｆに振動を加えることができるので、意図しない要因によってピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃの案内途中で停止した容器Ｆを再始動させることができる。これにより、容器Ｆの注入口Ｆａがパージノズル５１に対する所定範囲に位置するようにより確実に案内される。この結果、良好なパージ処理を実行することができる。また、この構成では、搬送車３等の移載部によって容器Ｆの載置動作をやり直すことによってパージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態を良好にする方法と比べて時間を短縮することができるので、処理能力の低減を抑制できる。

【0049】

上記実施形態の第二棚モジュール４０では、加振装置８７は、第二棚板４３における容器Ｆの載置面４３ａとは反対側の裏面４３ｂに設けられているので、ピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃの案内途中で停止した容器Ｆを効果的に再始動させることができる。

【0050】

上記実施形態の第二棚モジュール４０では、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が不良である場合に、加振装置８７を作動させることができるので、容器Ｆの注入口Ｆａがパージノズル５１に対する所定範囲に位置しないことを起因とするパージ処理の不具合の発生を低減することができる。

【0051】

上記実施形態の第二棚モジュール４０では、吸引口８１における容器Ｆの吸着状態に基づいてパージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が検出されるので、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態の良否を簡易に判定することができる。

【0052】

上記実施形態の第二棚モジュール４０では、パージコントローラ９０によってパージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が不良であることが検出された場合、エラー信号を出力するので、上記接続状態が不良であることを作業者に報知したり、当該エラー信号に基づいて各種処理を実行することができる。

【0053】

上記実施形態の搬送システム１００では、搬送コントローラ９がパージコントローラ９０からエラー信号を取得した場合、エラーが検出されたパージノズル５１が設けられた第二棚板４３への容器Ｆの移載を禁止するので、不具合のあるパージノズル５１が設けられた第二棚板４３へ容器Ｆが載置されることを防止できる。

【0054】

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0055】

上記実施形態では、第二棚板４３に二つのパージノズル５１が設けられる例（すなわち、二つの載置部が設けられる例）を挙げて説明したが、一つの載置部が設けられてもよいし、三つ以上の載置部が設けられてもよい。

【0056】

上記実施形態及び変形例では、パージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態が吸引口８１に生じる圧力値によって判定される例を挙げて説明したが、第二棚板４３に配置された複数のセンサの検知結果又はカメラ等の画像に基づいて判定してもよい。また、第二棚板４３に容器Ｆからガスを排出する排出ポートと排出ポートにおける流速の検知部とが設けられる構成では、パージコントローラ９０は、当該検知部によって取得される流速値に基づいてパージノズル５１と注入口Ｆａとの接続状態の良否を判定してもよい。この場合、吸引口８１が周囲に配置されたパージノズル５１に代えて、周囲にベローズが配置されたノズル又は載置部が金属で形成されたノズルが設けられてもよい。

【0057】

上記実施形態及び変形例では、加振装置８７が第二棚板４３の裏面４３ｂに固定される例を挙げて説明したが、例えば、容器Ｆを載置する際に邪魔とならないような第二棚板４３の載置面４３ａに設けられてもよいし、吊りフレーム１０の一部に設けられてもよい。

【0058】

上記実施形態及び変形例では、天井から吊り下げられる構成の保管棚１に本発明の一側面を適用する例を挙げて説明したが、例えば、パージストッカ等に装備される、地面に設置される保管棚（パージストッカ）等に本発明の一側面を適用してもよい。

【0059】

上記実施形態及び変形例では、搬送装置の一例として天井に設けられた軌道５を走行する搬送車３を例に挙げて説明したが、地上を走行するスタッカクレーンのような搬送車であってもよい。

【符号の説明】

【0060】

１…保管棚（パージ装置）、３…搬送車、５…軌道、７…負圧源、９…搬送コントローラ（搬送制御部）、４３…第二棚板（載置部）、４３ａ…載置面、４３ｂ…裏面、４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃ…ピン（ガイド部）、５０…パージ設備、５１…パージノズル、５９…在荷センサ、８０…吸着部、８１…吸引口、８２…電磁バルブ、８３…圧力計、８７…加振装置、８９…到着センサ、９０…パージコントローラ（検出部・パージ制御部）、１００…搬送システム。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】