特開 2024-40565 圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024040565

(43)【公開日】2024-03-26

(54)【発明の名称】圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニット

(51)【国際特許分類】

   F28D 7/16 20060101AFI20240318BHJP

   B01D 53/26 20060101ALI20240318BHJP

【ＦＩ】

F28D7/16 D

B01D53/26 100

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022144994

(22)【出願日】2022-09-13

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2023-02-28

(71)【出願人】

【識別番号】000103921

【氏名又は名称】オリオン機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100128794

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 庸悟

(72)【発明者】

【氏名】月原 司紗

(72)【発明者】

【氏名】木下 英一

【テーマコード（参考）】

3L103

4D052

【Ｆターム（参考）】

3L103AA32

3L103CC22

3L103DD06

3L103DD42

4D052AA01

4D052BA03

4D052BB02

4D052FA05

4D052FA06

(57)【要約】

【課題】冷却水源１０から供給される冷却水による冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０とにおいて、被冷水供給部８０に冷水を供給しない場合でも、ポンプモータ３２を熱源として圧縮空気の再熱を適切に行う。
【解決手段】圧縮空気入口２１並びに圧縮空気出口２２が設けられた装置筐体２３、及び圧縮空気冷却用の冷却水配管２５を備える圧縮空気除湿装置２０と、冷水を被冷水供給部８０へ供給するように、冷水用水槽４０、及び冷水圧送ポンプ３１を備える冷水供給装置３０とを具備し、圧縮空気出口流路２４に接続されて設けられ、ポンプモータ３２に隣接して配される再熱用流路５０ａが設けられた圧縮空気再熱器５０と、冷水を被冷水供給部８０に供給する冷水出口配管４４と、被冷水供給部８０に供給した際に冷水を冷水用水槽４０に戻す冷水戻し配管４２との間を接続する冷水バイパス配管４５とを備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧縮空気が導入される圧縮空気入口並びに除湿された圧縮空気が排出される圧縮空気出口が設けられた圧力容器としての装置筐体、及び該装置筐体の内部に冷却水源から供給される冷却水を流通させる管路であって圧縮空気を冷却して圧縮空気中の水分を結露させるように配された圧縮空気冷却用の冷却水配管を備える圧縮空気除湿装置と、
前記冷却水源から供給される冷却水によって冷水用熱交換器を介して冷却された冷水を、被冷水供給部へ供給するように、前記冷水用熱交換器で冷却された冷水が貯留される冷水用水槽、及び該冷水用水槽に貯留された冷水を圧送するように設置された冷水圧送ポンプを備える冷水供給装置と、
を具備する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットであって、
前記圧縮空気出口から延長される圧縮空気の出口流路に接続されて設けられ、前記冷水圧送ポンプのポンプモータから発生する排熱によって圧縮空気を加熱することで前記圧縮空気除湿装置によって冷却された圧縮空気を再熱するように、前記ポンプモータに隣接して配される再熱用流路が設けられた圧縮空気再熱器と、
前記冷水圧送ポンプの冷水吐出口に接続されて冷水を前記被冷水供給部に供給する冷水出口配管と、前記被冷水供給部に供給した際に冷水を前記冷水用水槽に戻すために接続された冷水戻し配管との間を接続して冷水のパイパス流路として設けられた冷水バイパス配管とを備えることを特徴とする圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニット。

【請求項2】

前記冷水バイパス配管の管路を開閉するバイパス開閉弁と、
前記冷却水源から供給される冷却水を前記冷水用熱交換器に流通させる冷水冷却用の冷却水配管の管路を開閉する冷却水開閉弁とを備えることを特徴とする請求項１記載の圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニット。

【請求項3】

前記バイパス開閉弁及び前記冷却水開閉弁が流量制御弁によって設けられ、
冷水の前記被冷水供給部への供給を停止している際には前記バイパス開閉弁を開くと共に前記冷却水開閉弁を閉じるように制御する制御装置を備えることを特徴とする請求項２記載の圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニット。

【請求項4】

前記圧縮空気再熱器は、前記再熱用流路が、前記ポンプモータの周囲を取り巻く形態に設けられると共に、複数の熱交換用分岐管によって分岐された形態に設けられている再熱器本体部を備えることを特徴とする請求項３記載の圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニット。

【請求項5】

前記再熱器本体部は、前記複数の熱交換用分岐管が、該複数の熱交換用分岐管よりも圧縮空気の流れの上流側に設けられて前記ポンプモータの回転軸と平行に配された直管状の上流配管部と、前記複数の熱交換用分岐管よりも圧縮空気の流れの下流側に設けられて前記ポンプモータの回転軸と平行に配された直管状の下流配管部との間に、Ｕ字状に形成されて並列に配されていることで設けられていることを特徴とする請求項４記載の圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニット。

【請求項6】

前記ポンプモータの回転軸が、実質的に鉛直方向に沿って上下方向に延びる状態に配され、前記複数の熱交換用分岐管が、実質的に水平面と平行に引き回された状態に配されていることを特徴とする請求項５記載の圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、冷却水源から供給される冷却水の冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置と冷水供給装置とを備えてユニット化された圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来の圧縮空気除湿装置としては、圧縮空気を導入する導入口と、導入口から導入された圧縮空気を冷却させて圧縮空気内の水分を結露させて圧縮空気を除湿する冷却部と、冷却部で除湿された圧縮空気を排気する排気口とを有する除湿装置本体と、除湿装置本体内部の冷却部に配置された蒸発器、並びに除湿装置本体の外部に配置された圧縮機、凝縮器および膨張弁を有し、蒸発器、圧縮機、凝縮器、膨張弁の順に冷媒を循環させる冷却回路とを具備する圧縮空気除湿装置において、排気口から排気された圧縮空気を、冷却回路の放熱を利用して加熱させる再熱器を備える（特許文献１参照）ものが、本出願人によって提案されている。

【0003】

また、従来から冷水供給装置としては、冷却水源（一次冷水供給装置）から供給される冷却水によって冷水用熱交換器を介して冷却された冷水を、被冷水供給部（被冷却体）へ供給するように、前記冷水用熱交換器で冷却された冷水が貯留される冷水用水槽（タンク）、及び該冷水用水槽（タンク）に貯留された冷水を圧送するように設置された冷水圧送ポンプを備える（特許文献２参照）ものが開示されている。

【0004】

従来、圧縮空気除湿装置及び冷水供給装置の両装置を、一つのケーシング内や一つのパッケージとして配置してユニット化し、圧縮空気除湿装置付きの冷水供給装置を構成したものはない。なお、例えば、近年の精密な製品を製造する生産工場では、工作機械をチラーで冷却して所定の温度に維持することや、所要の温湿度に調整された圧縮空気を工作機械に供給することで、精度の高い加工を実現させている。このため、圧縮空気除湿装置及び冷水供給装置の両装置が、同一の生産工場に設置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１１－００５３７４号公報（第１頁）

【特許文献2】特開平５－２５９６７６号公報（図１）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットに関して解決しようとする問題点は、圧縮空気除湿装置と冷水供給装置とは、冷却水源から供給される冷却水による冷却作用を共通して用いる場合であっても、従来は別々に設けられており、被冷水供給部に冷水を供給しない場合でも、ポンプモータを熱源として圧縮空気の再熱を適切に行うことが提案されていないことにある。

【0007】

そこで本発明の目的は、冷却水源から供給される冷却水による冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置と冷水供給装置とにおいて、被冷水供給部に冷水を供給しない場合でも、ポンプモータを熱源として圧縮空気の再熱を適切に行うことができる圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、上記目的を達成するために次の構成を備える。
本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの一形態によれば、圧縮空気が導入される圧縮空気入口並びに除湿された圧縮空気が排出される圧縮空気出口が設けられた圧力容器としての装置筐体、及び該装置筐体の内部に冷却水源から供給される冷却水を流通させる管路であって圧縮空気を冷却して圧縮空気中の水分を結露させるように配された圧縮空気冷却用の冷却水配管を備える圧縮空気除湿装置と、前記冷却水源から供給される冷却水によって冷水用熱交換器を介して冷却された冷水を、被冷水供給部へ供給するように、前記冷水用熱交換器で冷却された冷水が貯留される冷水用水槽、及び該冷水用水槽に貯留された冷水を圧送するように設置された冷水圧送ポンプを備える冷水供給装置と、を具備する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットであって、前記圧縮空気出口から延長される圧縮空気の出口流路に接続されて設けられ、前記冷水圧送ポンプのポンプモータから発生する排熱によって圧縮空気を加熱することで前記圧縮空気除湿装置によって冷却された圧縮空気を再熱するように、前記ポンプモータに隣接して配される再熱用流路が設けられた圧縮空気再熱器と、前記冷水圧送ポンプの冷水吐出口に接続されて冷水を前記被冷水供給部に供給する冷水出口配管と、前記被冷水供給部に供給した際に冷水を前記冷水用水槽に戻すために接続された冷水戻し配管との間を接続して冷水のパイパス流路として設けられた冷水バイパス配管とを備える。

【0009】

また、本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの一形態によれば、前記冷水バイパス配管の管路を開閉するバイパス開閉弁と、前記冷却水源から供給される冷却水を前記冷水用熱交換器に流通させる冷水冷却用の冷却水配管の管路を開閉する冷却水開閉弁とを備えることを特徴とすることができる。

【0010】

また、本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの一形態によれば、前記バイパス開閉弁及び前記冷却水開閉弁が流量制御弁によって設けられ、冷水の前記被冷水供給部への供給を停止している際には前記バイパス開閉弁を開くと共に前記冷却水開閉弁を閉じるように制御する制御装置を備えることを特徴とすることができる。

【0011】

また、本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの一形態によれば、前記圧縮空気再熱器は、前記再熱用流路が、前記ポンプモータの周囲を取り巻く形態に設けられると共に、複数の熱交換用分岐管によって分岐された形態に設けられている再熱器本体部を備えることを特徴とすることができる。

【0012】

また、本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの一形態によれば、前記再熱器本体部は、前記複数の熱交換用分岐管が、該複数の熱交換用分岐管よりも圧縮空気の流れの上流側に設けられて前記ポンプモータの回転軸と平行に配された直管状の上流配管部と、前記複数の熱交換用分岐管よりも圧縮空気の流れの下流側に設けられて前記ポンプモータの回転軸と平行に配された直管状の下流配管部との間に、Ｕ字状に形成されて並列に配されていることで設けられていることを特徴とすることができる。

【0013】

また、本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの一形態によれば、前記ポンプモータの回転軸が、実質的に鉛直方向に沿って上下方向に延びる状態に配され、前記複数の熱交換用分岐管が、実質的に水平面と平行に引き回された状態に配されていることを特徴とすることができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットによれば、冷却水源から供給される冷却水による冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置と冷水供給装置とにおいて、被冷水供給部に冷水を供給しない場合でも、ポンプモータを熱源として圧縮空気の再熱を適切に行うことができるという特別有利な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの形態例を模式的に示すシステム構成図である。

【図2】本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの構成要素である圧縮空気再熱器及び冷水供給装置の一部の形態例を模式的に説明する正面側から見た縦断面模式図である。

【図3】図２に示した圧縮空気再熱器を上面側から見た水平（横）断面模式図である。

【図4】図２の右側面側から見た縦断面模式図である。

【図5】本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットであって、ポンプモータ冷却用の冷却水配管は設置されていない形態例を示す斜視図である。

【図6】図５の右側面側から見た斜視図である。

【図7】図５の背面側及び右側面側から見た斜視図である。

【図8】図５に示した形態例の要部である圧縮空気再熱器及び冷水圧送ポンプを示す再熱器排気ファン及び点検盤が設けられた側から見た斜視図である。

【図9】図５に示した形態例の要部である圧縮空気再熱器及び冷水圧送ポンプを示す点検盤及び吸気口が設けられた側から見た斜視図である。

【図10】図５に示した形態例の要部である圧縮空気再熱器及び冷水圧送ポンプを示す分解斜視図である。

【図11】図８に示した形態例の状態から内蔵箱を除いた再熱器本体及び冷水圧送ポンプを示す斜視図である。

【図12】図９に示した形態例の状態からの内蔵箱を除いた再熱器本体及び冷水圧送ポンプを示す斜視図である。

【図13】図１１又は図１２に示した形態例の上面側から見た斜視図である。

【図14】図１に示した構成例に対応する３つの熱交換器（再熱器、１次熱交、２次熱交）によって生じる熱量分布を説明するチャート図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明に関連する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの形態例を、添付図面（図１～１４）に基づいて詳細に説明する。

【0017】

本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットとは、冷却水源１０の冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置２０とチラーとしての冷水供給装置３０とを、例えば一つのパッケージに組み込んでユニット化を図り、装置設備の設置床面積を狭くしてコンパクト化を実現できると共に、相互作用によってエネルギー消費の低減など、複合化によるメリットを得ることができるように構成されている。なお、冷却水源１０の例としては、水の気化熱を利用することなどで循環する水を冷却するクーラント方式の冷却装置（外気吸熱又は外気放熱型冷却塔）、冷凍サイクルを利用することで循環する水を冷却する冷凍サイクル冷却装置、地下水などの天然の水資源を利用するものを挙げることができる。また、冷却水源１０は、一つによって構成されることに限定されず、複数によって構成されてもよい。

【0018】

本発明に係る圧縮空気除湿装置２０は、圧縮空気が導入される圧縮空気入口２１並びに除湿された圧縮空気が排出される圧縮空気出口２２が設けられた圧力容器としての装置筐体２３、及び、その装置筐体２３の内部に冷却水源１０から供給される冷却水を流通させる管路であって圧縮空気を冷却して圧縮空気中の水分を結露させるように配された圧縮空気冷却用の冷却水配管２５を備えている。

【0019】

そして、本形態例の圧縮空気除湿装置２０では、図１に示すように、内蔵再熱器部２７と水冷式冷却部２８とが装置筐体２３に内蔵されており、圧縮空気入口２１から導入（ＡＩＲ ＩＮ）された圧縮空気を、内蔵再熱器部２７で一次的に冷却し、水冷式冷却部２８で二次的に冷却する構造になっている。また、この内蔵再熱器部２７では、水冷式冷却部２８で冷却して露点（ＤＰ）を下げた圧縮空気を再熱し、その相対湿度（ＲＨ）を下げることができる。なお、この再熱によれば、再結露防止や空気量を増大できる効果もある。

【0020】

すなわち、この内蔵再熱器部２７には、圧縮空気入口２１から導入された圧縮空気を一次的に冷却して水冷式冷却部２８へ流通させるための一次側圧縮空気流路２７ａと、その一次側圧縮空気流路２７ａと交錯して熱交換するように設けられて水冷式冷却部２８で冷却された圧縮空気を再熱して圧縮空気出口２２へ流通させるように設けられた二次側圧縮空気流路２７ｂとが設けられている。

【0021】

また、本形態例の水冷式冷却部２８では、圧縮空気冷却用の冷却水配管２５の一部分であって、熱交換部となっている圧縮空気冷却用の冷却水配管２５の折り返し先端部２５ａが内蔵されている。そして、この水冷式冷却部２８に配されている圧縮空気冷却用の冷却水配管２５には、熱交換の効率を高めるように、熱交換用フィン２５ｂが装着されている。この圧縮空気冷却用の冷却水配管２５によれば、その装置筐体２３の内部に冷却水源１０から供給される冷却水を流通させることで、導入された圧縮空気を冷却して圧縮空気中の水分を結露させて除湿し、その露点を下げることができる。

【0022】

なお、水冷式冷却部２８で結露して発生した結露水（ドレン水）は、装置筐体２３に連結されたドレン管２９及びドレン開閉弁２９ａを介してドレン排水口２９ｂから排水されるように設けられている。また、装置筐体２３の一端部側に設けられた連通部２３ａは、水冷式冷却部２８の圧縮空気水冷流路２８ａと二次側圧縮空気流路２７ｂとを連通させるための流路空間になっている。また、装置筐体２３の他端部側に設けられた出口連通部２３ｂは、二次側圧縮空気流路２７ｂと圧縮空気出口２２とを連通させるための流路空間になっている。

【0023】

本発明に係る冷水供給装置３０は、冷却水源１０から供給される冷却水によって冷水用熱交換器３４を介して冷却される冷水を、被冷水供給部８０へ供給するように、冷水用熱交換器３４で冷却された冷水が貯留される冷水用水槽４０、及び、その冷水用水槽４０の冷水を圧送する（図２に示した太い黒線の矢印を参照）ように設置された冷水圧送ポンプ３１を備えるものである。図２に示すように、冷水用水槽４０に貯留された冷水１００に、吸込口３１ａが入った状態となるように、冷水圧送ポンプ３１が設置されている。なお、本形態例では、水冷するため被冷水供給部８０へ供給された冷水が、冷水用熱交換器３４を流れて冷却されて冷水用水槽４０に戻されるように、冷水循環水路が設けられており、冷水圧送ポンプ３１を作動することで冷水を循環させることができる構成になっている。

【0024】

そして、本発明によれば、圧縮空気出口２２から延長される圧縮空気出口流路２４に接続されて設けられ、冷水圧送ポンプ３１のポンプモータ３２から発生する排熱によって圧縮空気を加熱することで圧縮空気除湿装置２０によって冷却された圧縮空気を再熱するように、ポンプモータ３２に隣接して配される再熱用流路５０ａが設けられた圧縮空気再熱器５０を具備する。なお、その圧縮空気再熱器５０で再熱された圧縮空気は、製品圧縮空気として製品圧縮空気排出口５５から排出（ＡＩＲ ＯＵＴ）される。また、圧縮空気再熱器５０では、ポンプモータ２の排熱が冷却されることでドレン水が発生する。このドレン水は、後述する内蔵箱７０の下部から流路（図示せず）を介して外部へ排出される。

【0025】

この本発明によれば、冷却水源１０から供給される冷却水の冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０とを、相互作用によってエネルギー消費を低減できるように、合理的に組み込んでユニット化することができる。すなわち、冷水圧送ポンプ３１のポンプモータ３２の排熱を、圧縮空気除湿装置２０によって除湿処理された圧縮空気を再熱する加熱エネルギーとして利用することができ、他のエネルギー源を必要としないため、エネルギー消費を低減できる。また、ポンプモータ３２にとっても、除湿処理された圧縮空気に排熱のエネルギーが奪われることで冷却されることになり、その排熱を適切に処理できる。つまり、本発明では、冷水圧送ポンプ３１のポンプモータ３２の排熱の熱量が、圧縮空気除湿装置２０から排出される圧縮空気を再熱するための熱量として適切に釣り合うことを見出し、合理的に利用されている。

【0026】

また、本形態例の圧縮空気再熱器５０は、再熱用流路５０ａが、ポンプモータ３２の周囲を取り巻く形態に設けられると共に、複数の熱交換用分岐管５２によって分岐された形態に設けられている再熱器本体部５１を備えている（図１～４、１０～１３など参照）。

【0027】

このように再熱器本体部５１が設けられていることで、圧縮空気が吸熱するための熱伝導を促進でき、効率的にポンプモータ３２の排熱を圧縮空気へ伝達し、その圧縮空気の再熱を効率よく行うことができる。また、熱交換用分岐管５２がスパイラル管によって設けられていることによって、熱交換用分岐管５２の表面積を広くでき、熱伝導効率をより高めることができる。本形態例のスパイラル管（熱交換用分岐管５２）は、振動によって擦れ合わないように、ポンプモータ３２と所要の間隔を保って相互に接触しないように配されている。なお、熱交換用分岐管５２の形態は、これに限定されるものではなく、例えば、熱交換用のフィンを装着することで熱伝導効率を高めることができるのは勿論である。

【0028】

また、本形態例の再熱器本体部５１は、複数の熱交換用分岐管５２が、その複数の熱交換用分岐管５２よりも圧縮空気の流れの上流側に設けられてポンプモータ３２の回転軸と平行に配された直管状の上流配管部５３と、複数の熱交換用分岐管５２よりも圧縮空気の流れの下流側に設けられてポンプモータ３２の回転軸と平行に配された直管状の下流配管部５４との間に、Ｕ字状に形成されて並列に配されていることで設けられている。

【0029】

このように複数の熱交換用分岐管５２が設けられていることで、外形が略円柱状に形成されて一面側（前面側）に電源ターミナル箱３２ｂが配されたポンプモータ３２に、再熱器本体部５１を合理的に配置することができる。すなわち、圧縮空気の再熱用の熱交換部として構成される再熱器本体部５１を、熱交換効率が高い形態に適切且つ合理的に形成できる。なお、複数の熱交換用分岐管５２は、図１１及び１２に示す再熱器固定脚５６によって、後述する内蔵箱７０内に固定されている。

【0030】

また、本形態例では、ポンプモータ３２の回転軸が、実質的に鉛直方向に沿って上下方向に延びる状態に配され、複数の熱交換用分岐管５２が、実質的に水平面と平行に引き回された状態に配されている。つまり、上流配管部５３と下流配管部５４とが、電源ターミナル箱３２ｂの両脇に配されて上下に延長された形態になっており、その両者の管部の間に上下に間隔を置いて複数の熱交換用分岐管５２が水平に配されている。そして、本形態例では、熱交換用分岐管５２のＵ字状の形状（図３、１１、１３など参照）の開いた部分に対応し、その下側に電源ターミナル箱３２ｂが配される位置関係に、再熱器本体部５１が設置されている。

【0031】

これによれば、複数の熱交換用分岐管５２を、熱交換効率をより高める形態に、コンパクト且つ合理的に配置することができる。そして、本形態例よれば、圧縮空気の空気流が、上流配管部５３では下降流となり、下流配管部５４では上昇流となるように、圧縮空気が、上側から上流配管部５３を介して再熱器本体５１へ導入されて、複数の熱交換用分岐管５２を通過し、下流配管部５４を介して上側へ排出されるように構成されている（図２に示した実線の矢印を参照）。これによれば、再熱される前の圧縮空気が上流配管部５３内で下降流となり、再熱された後の圧縮空気が下流配管部５４内で上昇流となるため、圧縮空気の流れを、圧力損失を抑えてスムースにすることができ、効率的な熱交換を行うことができる。

【0032】

また、本形態例では、ポンプモータ３２は、そのポンプモータ３２の回転軸の上端部に固定されて同軸に回転することで下降空気流を発生させる内蔵冷却ファン３３を備えている。これによって、図２に点線の矢印で示すように、内蔵冷却ファン３３によって発生した冷却空気の流れが、ポンプモータ３２の外表面に沿って下方へ流れて加温されることになり、その加温された冷却空気の流れ（加温空気の流れ）が、複数の熱交換用分岐管５２に当たることになる。なお、図１０～１２に示すように、ポンプモータ３２の外表面には、上下方向に延びるリブ状の冷却用フィン部３２ａが設けられており、この冷却用フィン部３２ａに沿って、内蔵冷却ファン３３によって発生した冷却空気が流れる形態になっている。

【0033】

これによれば、ポンプモータ３２の排熱による輻射熱の作用と共に、ポンプモータ３２の排熱によって加温されて内蔵冷却ファン３３によって送られた加温空気の流れが、再熱器本体５１を構成する複数の熱交換用分岐管５２に適切に接触して熱交換が効率的になされ、熱交換用分岐管５２の内部を流れる圧縮空気の再熱が効率的になされる。なお、電源ターミナル箱３２ｂが配された部分は、内蔵冷却ファン３３によって発生した冷却空気の流れを阻止することになるが、その電源ターミナル箱３２ｂの上側にはＵ字状の形状の熱交換用分岐管５２が位置していない部分となっている。このため、本形態例による熱交換用分岐管５２のＵ字状の形状（図３など参照）は、デメリットにならず、複数の熱交換用分岐管５２を配置する上で合理的な形態であり、圧縮空気を効果的に再熱することができる。また、この熱交換用分岐管５２のＵ字状の形態によれば、冷水圧送ポンプ３１やポンプモータ３２の点検若しくは交換時などのメンテナンス性に貢献できる。

【0034】

また、本形態例では、圧縮空気再熱器５０が、ポンプモータ３２とそのポンプモータ３２を取り巻くように配された再熱器本体部５１とを内蔵するように設けられた内蔵箱７０を備えている。より具体的には、図２～４、８～１０に示すように、この内蔵箱７０は、矩形のケーシング形状をしており、図１０に示すように、再熱器カバー本体７３、ファン取付板（壁板部７１）、及び点検板７４に分解できる形態になっている。これによれば、ポンプモータ３２の排熱のエネルギーを、内蔵箱７０の内部に適切に留めることができ、圧縮空気の再熱を効果的に行うことができる。

【0035】

さらに、本形態例では、内蔵箱７０を構成する壁板部７１の内蔵箱排気口７６に、その内蔵箱７０内の空気を換気する再熱器排気ファン７２が装着された形態に設けられている。この再熱器排気ファン７２は、内蔵箱７０の下部に設けられた内蔵箱吸気口７５から冷却用の空気（外気）を取入れ、内蔵箱７０の上部に設けられた内蔵箱排気口７６から暖められた冷却用の空気を排出するように作動する。これによれば、内蔵箱７０の内部空気が設定温度以上に上昇した際などに、その空気を強制的に排気して、内蔵箱７０内が過熱することを防止することができる。また、その再熱器排気ファン７２の風量を可変に調整するように、内蔵箱７０内に設けられた温度センサー７７（図２参照）の情報に基づいてインバータ制御できるように構成することで、内蔵箱７０の内部温度を適正に調整することができる。これによっても、圧縮空気再熱器５０による圧縮空気の再熱を、適宜に調整することができると共に、ポンプモータ３２の過熱を防止できる。さらに、本形態例のように内蔵箱吸気口７５と内蔵箱排気口７６とが略対角線の位置に配されていることで、電源ターミナル箱３２ｂの熱をスムースに排出（排気）させると共に、熱交換用分岐管５２の流路とは交差させて冷却用の空気を流す形態になっているため、熱交換がされ易いように内蔵箱７０内の空気を排気できる。また、再熱器排気ファン７２と内蔵冷却ファン３３との関係では、両者が稼働する場合には、冷却用の空気を掻き混ぜる撹拌効果によって、部分的な過熱を防止して均一化することができ、全体的に熱交換を効率良く行うことができる。

【0036】

次に、図１に示した構成例に対応する３つの熱交換器（再熱器、１次熱交、２次熱交）によって生じる熱量分布の例（実施例）について、図１４のチャート図に基づいて説明する。なお、図１４の再熱器とは図１に示す圧縮空気再熱器５０のことであり、１次熱交とは図１に示す圧縮空気除湿装置に内蔵されている内蔵再熱器部２７のことであり、２次熱交とは図１に示す圧縮空気除湿装置に内蔵されている水冷式冷却部２８のことである。

【0037】

この実施例では、条件が、空気量：８３ｍ^３／ｈ（１．３５ｍ^３／ｍｉｎ）、入口空気：０．７ＭＰａ・３０℃飽和、周囲環境：２５℃・７５％ＲＨ（ＤＰ２０℃）、冷却水入口温度：１３℃において、排出（排気）される製品圧縮空気の目標値が、入口空気温度が３０℃の時に出口温度（排気温度）は周囲温度以上で、出口空気圧力下で、露点が１７℃以下になることに設定されている。

【0038】

図１４に示すように、先ず、１次熱交（図１に示す内蔵再熱器部２７）において、コンプレッサ（圧縮空気発生装置１５）から供給された圧縮空気（３０℃）が、圧縮空気除湿装置２０の圧縮空気入口２１から、その内蔵再熱器部２７に導入（ＡＩＲ ＩＮ）されると、圧縮空気除湿装置２０の圧縮空気出口２２に向かう圧縮空気との間で１３０Ｗの熱交換がなされ、その圧縮空気の温度が３０℃から２７℃に冷却される。

【0039】

次に、２次熱交（図１に示す水冷式冷却部２８）において、内蔵再熱器部２７で冷却された圧縮空気（２７℃）が、その水冷式冷却部２８に導入されると、圧縮空気冷却用の冷却水配管２５を流れる冷却水（１３℃～１４℃）との間で３３５Ｗの熱交換がなされ、その圧縮空気の温度が２７℃から１７℃に冷却される。

【0040】

次に、１次熱交（図１に示す内蔵再熱器部２７）において、水冷式冷却部２８で冷却された圧縮空気（１７℃）が、その内蔵再熱器部２７に導入されると、圧縮空気除湿装置２０の圧縮空気入口２１から導入される圧縮空気との間で熱交換がなされ、その圧縮空気の温度が１７℃から２１℃に再熱され、１３０Ｗの熱交換がなされる。

【0041】

そして、内蔵再熱器部２７で再熱された圧縮空気（２１℃）が、圧縮空気除湿装置２０の圧縮空気出口２２から排出されて圧縮空気再熱器５０に導入されると、ポンプモータ３２の発熱によって生じる排熱（４５℃）との間で１３０Ｗの熱交換がなされ、その圧縮空気の温度が２１℃から２５℃に再熱され、最終的に２５℃の圧縮空気が製品圧縮空気排出口５５から排出（ＡＩＲ ＯＵＴ）される。これによって、目標値を満足した製品圧縮空気を効率的に排出できる。なお、このように製品圧縮空気が製品圧縮空気排出口５５から排出される際に、例えば本形態例では、被冷水供給部８０には２２℃に調整された冷水が冷水出口配管４４を流れて供給され、その被冷水供給部８０で２４℃に加熱された冷水が冷水戻し配管４２を流れて戻されるように設定されている。ところで、冬季の運転始動時などの場合であって、被冷水供給部８０の温度が低く冷水用貯水槽４０の冷水１００の温度が冷却水よりも低い場合には、その冷水１００が冷水用熱交換器３４によって加熱されることになる。このような場合、後述する第１の開閉弁（冷却水開閉弁）３６を閉じて冷却水による冷水用熱交換器３４での熱交換を停止し、後述する第３の開閉弁（バイパス開閉弁）４６を適宜に開き、ポンプモータ３２を作動させて冷水圧送ポンプ３１を稼働させることで、冷水１００を所要の温度に上昇させるとよい。これによれば、外部環境が低温に変化した場合でも、被冷水供給部８０に供給する冷水の温度を適切に調整することができる。

【0042】

また、本形態例の圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０とが搭載されたパッケージユニットにおける両者の位置関係は、図５～７に示すように、冷水供給装置３０の上方に圧縮空気除湿装置２０に配置されている。なお、本形態例の圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０とは、同一筐体内に内蔵されるように配置され、電源を共用するように設けられている。そして、圧縮空気除湿装置２０に導入される圧縮空気は例えば３０℃であり、圧縮空気入口２１及び圧縮空気出口２２が装置筐体２３の最上部に配され、内蔵再熱器部２７が装置筐体２３の上側の部分に配されている。また、圧縮空気除湿装置２０に導入される冷却水は例えば１３℃であり、水冷式冷却部２８が装置筐体２３の下側の部分に配されている。このため、圧縮空気除湿装置２０の上側部位の温度が高く、排熱（４５℃）が発生するポンプモータ３２に近い圧縮空気除湿装置２０の下側部位の温度が低くなっている。

【0043】

このため、前述したように、圧縮空気の空気流が再熱器本体５１へ導入される側では下降流となり、再熱された圧縮空気の空気流が再熱器本体５１から排出される側では上昇流となり、圧縮空気の流れをスムースにすることができ、効率的な熱交換を行うことができる。そして、これに加えて、ポンプモータ３２の排熱温度よりも温度の低い圧縮空気除湿装置２０が、冷水供給装置３０の上側に配されている。これによれば、温度の低い圧縮空気除湿装置２０から、温度の低い空気がパッケージ内部を下降する対流現象が生じ、効果的に冷却作用がなされ、冷水供給装置３０の過熱を防止することができる。また、圧縮空気出口流路２４及び製品圧縮空気排出口５５が設けられた下流配管部５４からの配管が、ユニットの上側にあることで、圧縮空気が再熱され易く、再熱された圧縮空気がその温度を維持し易い位置関係になっている。

【0044】

次に、本発明に関連する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの形態例を、添付図面（図１～４）に基づいて詳細に説明する。
この本発明に関連する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットは、以上に説明した構成に加えて、冷水圧送ポンプ３１のポンプモータ３２から発生する排熱を冷却するように、冷却水源１０から供給される冷却水を流通させる管路であって、ポンプモータ３２に隣接して配される部位を有するポンプモータ冷却用の冷却水配管６５を備える。

【0045】

このポンプモータ冷却用の冷却水配管６５は、本形態例では冷却水を循環させる管路になっており、冷却水をポンプモータ３２に隣接して配される部位（熱交換を行う部分）へ供給するために連続する管路（冷却水の流れの上流側の管路）と、その熱交換を行う部分から連続して冷却水源１０へ戻す管路（冷却水の流れの下流側の管路）とを含むものである。なお、図１に示した本形態例において、このポンプモータ冷却用の冷却水配管６５は、冷却水源１０から供給される冷却水を流通させる冷却水配管１１から分岐された管路（冷却水配管の分岐管路１２）から、さらに分岐した管路になっているが、冷却水配管１１に直接的に接続されていてもよい。また、本形態例のポンプモータ冷却用の冷却水配管６５は、熱交換用分岐管５２と同様に吸熱効率を高めるためにスパイラル状に形成されても良いし、図３に示すようにＵ字状に形成されることでメンテナンス性を向上できる。さらに、このポンプモータ冷却用の冷却水配管６５は、内蔵冷却ファン３３の吸込み口の上側で、内蔵箱排気口７６の上側に配置されることで、再熱器排気ファン７２による排気と干渉することが少なく、効果的にポンプモータ３２を冷却できる。

【0046】

このポンプモータ冷却用の冷却水配管６５によれば、冷却水源１０から供給される冷却水の冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０とをユニット化した場合において、排熱を発生するポンプモータ３２を稼働状況に応じて適切に冷却することができる。すなわち、例えば、圧縮空気除湿装置２０を稼働させないで冷水供給装置３０のみを稼働するか、圧縮空気除湿装置２０の稼働が低レベルの状態であって、ポンプモータ３２を十分に冷却できない場合に、そのポンプモータ３２を強制的に冷却できる。また、外部環境が高温になって、内蔵冷却ファン３３や再熱器排気ファン７２によってもポンプモータ３２を十分に冷却できない場合にも、そのポンプモータ３２を適切に冷却して過熱を防止できるのは勿論である。さらに、圧縮空気除湿装置２０が稼働している場合において、ポンプモータ冷却用の冷却水配管６５に流す冷却液の流量を適宜に調整制御することで、製品圧縮空気排出口５５から排出（ＡＩＲ ＯＵＴ）される製品圧縮空気の出口温度の調整を適宜に行うことができる。なお、このポンプモータ冷却用の冷却水配管６５でも、ポンプモータ３２の排熱が冷却されることでドレン水が発生するが、このドレン水も圧縮空気再熱器５０のドレン水と同様に、内蔵箱７０の下部から流路（図示せず）を介して外部へ排出される。

【0047】

また、本形態例では、このポンプモータ冷却用の冷却水配管６５には、そのポンプモータ冷却用の冷却水配管６５の管路を開閉する開閉弁（第２の開閉弁６６）が配されている。この第２の開閉弁６６を開くことによって冷却水を流通させてポンプモータ３２を冷却できる。そして、ポンプモータ冷却用の冷却水配管６５によるポンプモータ３２の冷却が必要ないときは、第２の開閉弁６６を閉じることになる。また、本形態例では、この第２の開閉弁６６が、流量制御弁であり、その開閉に係る電磁制御が制御装置９０によって行われるように構成されている。

【0048】

また、本形態例では、圧縮空気冷却用の冷却水配管２５と、ポンプモータ冷却用の冷却水配管６５とが、冷却水源１０から供給される冷却水を流通させる冷却水配管１１に並列に配されている。これによれば、例えば一つの冷却水源１０に、圧縮空気冷却用の冷却水配管２５とポンプモータ冷却用の冷却水配管６５とを合理的に接続して配管することができ、装置ユニットとして一つのケーシング内に、圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０とを合理的に組み込むことができるメリットがある。なお、本形態例では、冷却水配管１１から分岐された管路である冷却水配管の分岐管路１２から、圧縮空気冷却用の冷却水配管２５と、ポンプモータ冷却用の冷却水配管６５とが、分岐されており、冷却水配管の分岐管路の戻し管部１２（ａ）が冷却水配管の戻し管部１１（ａ）に接続されていることで、冷却水源１０の冷却水が循環するように構成されている。また、冷却水配管の分岐管路の戻し管部１２（ａ）には図１に示すように、調整弁付き流量計１２ｂが接続されており、流量の確認・調整を行うことができる。

【0049】

そして、本形態例では、図２などに示すように、ポンプモータ３２は、そのポンプモータ３２の回転軸の上端部に固定されて同軸に回転することで下降空気流を発生させる内蔵冷却ファン３３を備え、ポンプモータ冷却用の冷却水配管６５が、内蔵冷却ファン３３の上側に配されている。これによれば、ポンプモータ冷却用の冷却水配管６５によって冷却された冷却用空気が、内蔵冷却ファン３３によって効率よく吸引され、その内蔵冷却ファン３３によって発生する空気流（冷却用空気の流れ）によって、効率良くポンプモータ３２を冷却でき、そのポンプモータ３２が過熱することを防止できる。

【0050】

次に、本発明に係る圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの形態例を、添付図面（図１、５～７など）に基づいて詳細に説明する。
この本発明に関連する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットは、以上に説明した構成に加えて、冷水圧送ポンプ３１の冷水吐出口４３に接続されて冷水を被冷水供給部８０に供給する冷水出口配管４４と、被冷水供給部８０に供給した際に冷水を冷水用水槽４０に戻すために接続された冷水戻し配管４２との間を接続して冷水のパイパス流路として設けられた冷水バイパス配管４５を備える。

【0051】

これによれば、冷却水源から供給される冷却水の冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置と冷水供給装置とにおいて、被冷水供給部８０に冷水を供給しない場合やその冷水の供給量が小さい場合など両装置の運転状況に応じて、ポンプモータ３２を熱源として圧縮空気の再熱を適切に行うことができる。すなわち、冷水を冷水圧送ポンプ３１によって冷水バイパス配管４５を通して循環させることで、ポンプモータ３２は所要のエネルギーを消費することになり、ポンプモータ３２から発生する排熱を利用し圧縮空気の再熱をできる。この際に、被冷水供給部８０には、冷水が供給されないか、その冷水の供給量が減少されるため、冷水用熱交換器によって冷水を冷却するためのエネルギー量が低減される。このため、被冷水供給部８０に冷水を供給しない場合やその冷水の供給量が小さい場合でも、エネルギー消費を可及的に低減でき、効率良く圧縮空気の再熱ができる。

【0052】

また、本形態例によれば、冷水バイパス配管４５の管路を開閉するバイパス開閉弁４６と、冷却水源１０から供給される冷却水を冷水用熱交換器３４（冷水用熱交換器３４の一次側流路）に流通させる冷水冷却用の冷却水配管３５の管路を開閉する冷却水開閉弁３６とを備えている。なお、この冷水冷却用の冷却水配管３５は、冷却水配管１１から連続するように接続される管路を形成するもので、冷水冷却用の冷却水配管の戻し管部３５（ａ）が冷却水配管の戻し管部１１（ａ）に連続するように接続されていることで、冷却水源１０の冷却水が冷水用熱交換器３４の一次側流路を流れて循環するように構成されている。また、図１及び５に示すように、冷却水入口１１ｂ及び冷却水出口１１ｃは、冷却水源１０に接続するための接続口になっている。

【0053】

これによれば、被冷水供給部８０が冷水を必要しない場合などにおいて、冷水の被冷水供給部８０への供給量や、冷水用熱交換器３４の一次側流路に流通させる冷却水の供給量を、圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０の運転状況に応じて、適宜に調整できる。なお、バイパス開閉弁４６及び冷却水開閉弁３６などの開閉とは、全開及び全閉に限らず、可変に開度を調整することで開閉することや、間欠的に開閉することも含み、その冷水や冷却水の流量を適宜に調整することを含むものである。これによって、圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０の効率的な運転を実現できる。

【0054】

また、本形態例によれば、前記バイパス開閉弁４６と、前記冷却水開閉弁３６とが、流量制御弁によって設けられ、冷水の前記被冷水供給部８０への供給を停止している際には前記バイパス開閉弁４６を開くと共に前記冷却水開閉弁３６を閉じるように制御する制御装置９０とを備えている。これによれば、被冷水供給部８０に冷水を供給しない場合でも、ポンプモータ３２を熱源として圧縮空気の再熱を適切に行うことができるなど、使用条件に自動的に対応することができる。

【0055】

また、本形態例の冷水供給装置３０は、冷水が循環する冷水循環供給装置（チラー装置）になっており、水冷するため被冷水供給部８０へ供給された冷水が、冷水用水槽４０に戻されるように、冷水循環水路が設けられている。本形態例の冷水循環水路は、冷水圧送ポンプ３１の冷水吐出口４３に接続されて冷水用水槽４０の冷水を吐出する冷水出口配管４４、被冷水供給部８０から冷水を冷水用水槽４０の側へ戻すように被冷水供給部８０と冷水用熱交換器３４との間に配管された冷水戻し配管４２、冷水用熱交換器３４の二次側流路、及び、その冷水用熱交換器３４の二次側流路と冷水用水槽４０の冷水用水槽入口４１とを接続する冷水入口接続配管４１ａによって構成されている。なお、図１及び５に示すように、冷水入口４２ａ及び冷水出口４４ａは、被冷水供給部８０に接続するための接続口になっている。

【0056】

また、本形態例の冷水用水槽４０には、オーバーフロー４０ａ、水量調整用のフロートスイッチ４０ｂ、ドレン管４０ｃ、ドレン開閉弁４０ｄ、水温センサー４０ｅが設けられている。冷水出口配管４４には水圧計４４ｂが配されている。

【0057】

次に、本発明に関連する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットの形態例を、添付図面（図１～１３）に基づいて詳細に説明する。
この本発明に関連する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットは、以上に説明した構成に加えて、冷却水源１０から供給される冷却水を冷水用熱交換器３４に流通させる冷水冷却用の冷却水配管３５と、冷水冷却用の冷却水配管３５の管路を開閉する冷却水開閉弁である第１の開閉弁３６と、ポンプモータ冷却用の冷却水配管６５の管路を開閉する第２の開閉弁６６と、冷水バイパス配管４５の管路を開閉するバイパス開閉弁である第３の開閉弁４６と、圧縮空気冷却用の冷却水配管２５の管路を開閉する第４の開閉弁２６とを備える。

【0058】

これによれば、冷却水源から供給される冷却水の冷却作用を共通して用いる圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０とにおいて、相互作用によってエネルギー消費を低減できるように、外界の環境条件に対応して両者の運転を関連付けて合理的且つ最適に制御することができる。すなわち、各開閉弁３６、６６、４６、２６を備えることで、冷却水と冷水の流れを最適にコントロールすることができ、どちらもエネルギー消費量が大きく、その低減が要求される圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０の両者について、その運転性能を向上させることができる。

【0059】

また、本形態例では、第１の開閉弁３６、第２の開閉弁６６、第３の開閉弁４６、及び第４の開閉弁２６の各開閉弁が、流量制御弁によって設けられ、該流量制御弁を制御する制御装置９０を備えている。これによれば、各開閉弁３６、６６、４６、２６の開閉を、
制御装置９０によって自動的に、全開、全閉、間欠又は可変に制御できる。なお、冷水圧送ポンプ３１の運転出力の可変制御については、制御装置９０によって、ポンプモータ３２の稼働をインバータ制御することで行うように設けられているとよい。

【0060】

また、本形態例においては、前記制御装置９０の制御プログラムとして、季節に対応した複数の制御モードが前記制御装置の記憶装置に格納されている。これによれば、圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０の運転制御を、季節に応じて適切に行うことができる。すなわち、季節に応じて、各開閉弁３６、６６、４６、２６及び冷水圧送ポンプ３１を制御することで、冷却水と冷水の流れを最適にコントロールすることができ、圧縮空気の温湿度を安定的に最適化しつつ、チラー水温を安定的に最適化することができる。

【0061】

また、具体的な制御プログラムについては、前記制御モードであって、例えば、冷却水の温度が低下した際のモードとして、第１の開閉弁３６を低開度又は間欠に開き、第２の開閉弁６６を閉じ、第３の開閉弁４６を低開度又は開き、第４の開閉弁２６を間欠に開き、ポンプモータ３２を可変に運転する冬モードを備えると共に、冷却水の温度が上昇した際のモードとして、第１の開閉弁３６を全開とし、第２の開閉弁６６を閉じ、第３の開閉弁４６を閉じ、第４の開閉弁２６を開き、ポンプモータ３２を可変に運転する夏モードを備えていてもよい。これによれば、圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０の運転制御を、季節に応じて精密に行うことができる。

【0062】

さらに、具体的な制御プログラムについては、冬モード（例えば冷却水の温度が６～１０℃の場合）及び夏モード（例えば冷却水の温度が１６～２０℃の場合）に加えて、冷却水の温度が冬と夏の中間のモード（例えば冷却水の温度が１１～１５℃の場合）として、第１の開閉弁３６を可変に開き、第２の開閉弁６６を間欠に開き、第３の開閉弁４６を可変に開き、第４の開閉弁２６を開き、ポンプモータ３２を可変に運転する春秋モードを備えていてもよい。これによれば、圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０の運転制御を、季節に応じてより精密に行うことができる。なお、以上に説明した具体的な制御モードは、圧縮空気除湿装置２０と冷水供給装置３０とが、それぞれ規定の負荷で稼働している場合に適用されるように設定されている。

【産業上の利用可能性】

【0063】

以上の形態例では、圧縮空気及び冷水を、工作機械などの生産装置に供給する圧縮空気除湿装置を備える冷水供給装置ユニットについて説明してきた。しかし、本発明はこれに限定されず、圧縮空気とは圧縮気体を含む概念であり、冷却水とは冷却液（液状熱媒体）を含む概念であり、冷水とは冷液（液状熱媒体）を含む概念であって、用途についても工作機械などの生産装置に限定されるものではないのは勿論である。すなわち、本発明は、温湿度が調整された圧縮気体と、温度が調整された液状熱媒体（チラー冷媒）とを必要とするあらゆる分野の施設において利用できるものである。なお、圧縮気体としては例えば成分が調整された空気や不活性ガスを含む空気を挙げることができ、冷却水や冷水である液状熱媒体としては例えば不凍液を挙げることができる。
また、以上の形態例では、圧縮空気除湿装置２０の装置筐体２３として図１でシェル型の態様を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、プレート型（積層式）や２重管式の熱交換器を排除するものではない。

【0064】

以上、本発明につき好適な形態例を挙げて種々説明してきたが、本発明はこの形態例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは勿論のことである。

【符号の説明】

【0065】

１０ 冷却水源
１１ 冷却水配管
１１（ａ） 冷却水配管の戻し管部
１１ｂ 冷却水入口
１１ｃ 冷却水出口
１２ 冷却水配管の分岐管路
１２（ａ） 冷却水配管の分岐管路の戻し管部
１２ｂ 調整弁付き流量計
１５ 圧縮空気発生装置
２０ 圧縮空気除湿装置
２１ 圧縮空気入口
２２ 圧縮空気出口
２３ 装置筐体
２３ａ 連通部
２３ｂ 出口連通部
２４ 圧縮空気出口流路
２５ 圧縮空気冷却用の冷却水配管
２５ａ 折り返し先端部
２５ｂ 熱交換用フィン
２６ 第４の開閉弁
２７ 内蔵再熱器部
２７ａ 一次側圧縮空気流路
２７ｂ 二次側圧縮空気流路
２８ 水冷式冷却部
２８ａ 圧縮空気水冷流路
２９ ドレン管
２９ａ ドレン開閉弁
２９ｂ ドレン排水口
３０ 冷水供給装置
３１ 冷水圧送ポンプ
３１ａ 吸込口
３２ ポンプモータ
３２ａ リブ状の冷却用フィン部
３２ｂ 電源ターミナル箱
３３ 内蔵冷却ファン
３４ 冷水用熱交換器
３５ 冷水冷却用の冷却水配管
３５（ａ） 冷水冷却用の冷却水配管の戻し管部
３６ 第１の開閉弁（冷却水開閉弁）
４０ 冷水用水槽
４０ａ オーバーフロー
４０ｂ 水量調整用のフロートスイッチ
４０ｃ ドレン管
４０ｄ ドレン開閉弁
４０ｅ 水温センサー
４１ 冷水用水槽入口
４１ａ 冷水入口接続配管
４２ 冷水戻し配管
４２ａ 冷水入口
４３ 冷水圧送ポンプの冷水吐出口
４４ 冷水出口配管
４４ａ 冷水出口
４４ｂ 水圧計
４５ 冷水バイパス配管
４６ 第３の開閉弁（バイパス開閉弁）
５０ 圧縮空気再熱器
５０ａ 再熱用流路
５１ 再熱器本体部
５２ 熱交換用分岐管
５３ 上流配管部
５４ 下流配管部
５５ 製品圧縮空気排出口
５６ 再熱器固定脚
６５ ポンプモータ冷却用の冷却水配管
６６ 第２の開閉弁
７０ 内蔵箱
７１ 壁板部
７２ 再熱器排気ファン
７３ 再熱器カバー本体
７４ 点検板
７５ 内蔵箱吸気口
７６ 内蔵箱排気口
７７ 温度センサー
８０ 被冷水供給部
９０ 制御装置
１００ 冷水（冷液）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】