特開 2024-4081 時刻同期方法および製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024004081

(43)【公開日】2024-01-16

(54)【発明の名称】時刻同期方法および製造装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/306 20060101AFI20240109BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240109BHJP

【ＦＩ】

H01L21/306 J

H01L21/304 648Z

H01L21/304 643A

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022103548

(22)【出願日】2022-06-28

(71)【出願人】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100135013

【弁理士】

【氏名又は名称】西田 隆美

(72)【発明者】

【氏名】澤田 千奈

【テーマコード（参考）】

5F043

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F043DD13

5F043DD23

5F043DD30

5F043EE07

5F043EE08

5F043EE09

5F157AB02

5F157AB14

5F157AB33

5F157AB90

5F157CD02

5F157CF42

5F157CF82

(57)【要約】

【課題】外部ネットワークとの通信を行うことなく、複数の撮像データ間における時刻を同期させることができる技術を提供する。
【解決手段】複数の撮像データに付された時刻を同期させる時刻同期方法であって、ａ）複数のカメラにより撮像対象を撮像することにより、カメラ毎に撮像データを取得する工程と、ｂ）撮像データから、所定のイベントが撮像されたイベント画像ＥＩ１～ＥＩ３を、撮像データ毎に検出する工程と、ｃ）それぞれのイベント画像ＥＩ１～ＥＩ３に付された時刻に基づいて、複数の撮像データに付された時刻を同期させる工程と、を有する。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の撮像データに付された時刻を同期させる時刻同期方法であって、
ａ）複数のカメラにより撮像対象を撮像することにより、前記カメラ毎に前記撮像データを取得する工程と、
ｂ）前記撮像データから、所定のイベントが撮像されたイベント画像を、前記撮像データ毎に検出する工程と、
ｃ）それぞれの前記イベント画像に付された時刻に基づいて、複数の前記撮像データに付された時刻を同期させる工程と、
を有する、時刻同期方法。

【請求項2】

請求項１に記載の時刻同期方法であって、
前記イベントは、前記撮像対象に含まれる所定の部分が、複数の前記カメラの撮像領域における所定の箇所を通過することである、時刻同期方法。

【請求項3】

請求項２に記載の時刻同期方法であって、
前記工程ｂ）では、検出の基準となる基準画像に基づいて、前記イベント画像を検出する、時刻同期方法。

【請求項4】

請求項１に記載の時刻同期方法であって、
前記イベントは、前記撮像データにおける所定の領域の輝度が、所定の閾値に到達することである、時刻同期方法。

【請求項5】

請求項４に記載の時刻同期方法であって、
前記工程ａ）は、前記複数のカメラにより前記撮像対象を撮像する間の所定のタイミングにおいて、前記複数のカメラの撮像領域へ光を発する工程を含む、時刻同期方法。

【請求項6】

請求項４または請求項５に記載の時刻同期方法であって、
前記工程ｂ）は、
１つの前記撮像データにおいて、１つの撮像画像に前記イベントが撮像されている場合、前記１つの撮像画像を前記イベント画像として検出し、
１つの前記撮像データにおいて、複数の撮像画像に前記イベントが撮像されている場合、前記複数の撮像画像の前記輝度に基づいて、前記複数の撮像画像から１つの前記撮像画像を前記イベント画像として検出する工程である、
時刻同期方法。

【請求項7】

請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の時刻同期方法であって、
前記工程ｂ）は、
１つの前記撮像データにおいて、１つの撮像画像に前記イベントが撮像されている場合、前記１つの撮像画像を前記イベント画像として検出し、
１つの前記撮像データにおいて、複数の撮像画像に前記イベントが撮像されている場合、前記複数の撮像画像にそれぞれ付された時刻に基づいて、前記複数の撮像画像から１つの前記撮像画像を前記イベント画像として検出する工程である、
時刻同期方法。

【請求項8】

請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の時刻同期方法であって、
前記撮像データは、動画であり、
前記イベント画像は、前記動画に含まれるフレームである、
時刻同期方法。

【請求項9】

請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の時刻同期方法であって、
前記工程ａ）、前記工程ｂ）、および前記工程ｃ）を、所定の時間間隔で繰り返し実行する、時刻同期方法。

【請求項10】

複数の撮像データに基づいて処理を行う製造装置であって、
撮像対象を撮像する複数のカメラと、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
ａ）複数の前記カメラに、前記撮像対象を撮像させることにより、前記カメラ毎に前記撮像データを取得する工程と、
ｂ）前記撮像データに含まれる複数の撮像画像から、所定のイベントが撮像されたイベント画像を、前記撮像データ毎に検出する工程と、
ｃ）それぞれの前記イベント画像に付された時刻に基づいて、複数の前記撮像データに付された時刻を同期させる工程と、
を実行する、製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の撮像データに付された時刻を同期させる時刻同期方法および製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

複数の撮像装置により制御対象の装置を撮像し、その撮像データに基づいて、制御対象装置の動作を制御する場合がある。この場合、各撮像装置が撮像した撮像データ間における時刻を同期させることが必要である。

【0003】

例えば、特許文献１では、画像記録部は、前記カメラ拡張ユニット処理部で取得された画像データを、該画像データが取得された時刻に関する情報と関連付けて時系列に記録すると共に、前記ＣＰＵユニットからの指示に応じて、前記画像データ及び前記時刻に関する情報を前記ＣＰＵユニットに送信するよう構成できる。上記構成により、カメラ部で撮像した画像データに関するデバイス記録と高精度に時刻を同期させることが可能となる。

【0004】

さらに、各撮像データ間における時刻を同期させる方法として、例えば、非特許文献１のような方法が知られている。非特許文献１では、外部のネットワークに接続された機器間で時刻を同期させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－１３４９８５号公報

【非特許文献】

【0006】

【非特許文献1】”ＩＥＥＥ Ｓｔａｎｄａｒｄ ｆｏｒ ａ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｃｌｏｃｋ Ｓｙｎｃｈｒｏｎｉｚａｔｉｏｎ Ｐｒｏｔｏｃｏｌ ｆｏｒ Ｎｅｔｗｏｒｋｅｄ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ａｎｄ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ” ＩＥＥＥ Ｓｔｄ １５８８－２００８

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、セキュリティ対策として外部ネットワークから切り離された状態で運用する必要がある装置に対しては、外部ネットワークとの通信により複数の撮像データ間における時刻同期を行うことが困難であった。また、装置にタイムサーバ機能を備えることとする場合、装置内の空きスペースによっては設置可能な箇所が限られること、および設置コストが追加で必要となることが問題であった。

【0008】

本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、外部ネットワークとの通信を行うことなく、複数の撮像データ間における時刻を同期させることができる技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するため、本願の第１発明は、複数の撮像データに付された時刻を同期させる時刻同期方法であって、ａ）複数のカメラにより撮像対象を撮像することにより、前記カメラ毎に前記撮像データを取得する工程と、ｂ）前記撮像データから、所定のイベントが撮像されたイベント画像を、前記撮像データ毎に検出する工程と、ｃ）それぞれの前記イベント画像に付された時刻に基づいて、複数の前記撮像データに付された時刻を同期させる工程と、を有する。

【0010】

本願の第２発明は、第１発明の時刻同期方法であって、前記イベントは、前記撮像対象に含まれる所定の部分が、複数の前記カメラの撮像領域における所定の箇所を通過することである。

【0011】

本願の第３発明は、第２発明の時刻同期方法であって、前記工程ｂ）では、検出の基準となる基準画像に基づいて、前記イベント画像を検出する。

【0012】

本願の第４発明は、第１発明の時刻同期方法であって、前記イベントは、前記撮像データにおける所定の領域の輝度が、所定の閾値に到達することである。

【0013】

本願の第５発明は、第４発明の時刻同期方法であって、前記工程ａ）は、前記複数のカメラにより前記撮像対象を撮像する間の所定のタイミングにおいて、前記複数のカメラの撮像領域へ光を発する工程を含む。

【0014】

本願の第６発明は、第４発明または第５発明の時刻同期方法であって、前記工程ｂ）は、１つの前記撮像データにおいて、１つの撮像画像に前記イベントが撮像されている場合、前記１つの撮像画像を前記イベント画像として検出し、１つの前記撮像データにおいて、複数の撮像画像に前記イベントが撮像されている場合、前記複数の撮像画像の前記輝度に基づいて、前記複数の撮像画像から１つの前記撮像画像を前記イベント画像として検出する工程である。

【0015】

本願の第７発明は、第１発明から第５発明までのいずれか１発明の時刻同期方法であって、前記工程ｂ）は、１つの前記撮像データにおいて、１つの撮像画像に前記イベントが撮像されている場合、前記１つの撮像画像を前記イベント画像として検出し、１つの前記撮像データにおいて、複数の撮像画像に前記イベントが撮像されている場合、前記複数の撮像画像にそれぞれ付された時刻に基づいて、前記複数の撮像画像から１つの前記撮像画像を前記イベント画像として検出する工程である。

【0016】

本願の第８発明は、第１発明から第５発明までのいずれか１発明の時刻同期方法であって、前記撮像データは、動画であり、前記イベント画像は、前記動画に含まれるフレームである。

【0017】

本願の第９発明は、第１発明から第５発明までのいずれか１発明の時刻同期方法であって、前記工程ａ）、前記工程ｂ）、および前記工程ｃ）を、所定の時間間隔で繰り返し実行する。

【0018】

本願の第１０発明は、複数の撮像データに基づいて処理を行う製造装置であって、撮像対象を撮像する複数のカメラと、制御部と、を備え、前記制御部は、ａ）複数の前記カメラに、前記撮像対象を撮像させることにより、前記カメラ毎に前記撮像データを取得する工程と、ｂ）前記撮像データに含まれる複数の撮像画像から、所定のイベントが撮像されたイベント画像を、前記撮像データ毎に検出する工程と、ｃ）それぞれの前記イベント画像に付された時刻に基づいて、複数の前記撮像データに付された時刻を同期させる工程と、を実行する。

【発明の効果】

【0019】

本願の第１発明～第１０発明によれば、外部ネットワークとの通信を行うことなく、複数の撮像データ間における時刻を同期させることができる。

【0020】

特に、本願の第２発明によれば、撮像対象の所定の動作に基づいて、複数の撮像データ間における時刻を同期させることができる。

【0021】

特に、本願の第４発明によれば、撮像データにおける所定の領域の輝度の変化に基づいて、複数の撮像データ間における時刻を同期させることができる。

【0022】

特に、本願の第６発明によれば、複数の撮像データ間における時刻を、より精度よく同期させることができる。

【0023】

特に、本願の第７発明によれば、複数の撮像データ間における時刻を、より精度よく同期させることができる。

【0024】

特に、本願の第９発明によれば、継続的に、複数の撮像データ間における時刻を同期させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】基板処理装置の平面図である。

【図2】処理ユニットの縦断面図である。

【図3】カメラによる撮像の様子を、概念的に示した図である。

【図4】カメラによる撮像の様子を、概念的に示した図である。

【図5】コンピュータと処理ユニット内の各部との接続を示したブロック図である。

【図6】基板の処理手順を示すフローチャートである。

【図7】時刻同期処理の流れを示すフローチャートである。

【図8】時刻同期処理の流れを示すフローチャートである。

【図9】動画の構成を概念的に示した図である。

【図10】時刻の同期が行われた後の動画の構成を概念的に示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について詳細に説明する。

【0027】

＜１．基板処理装置の全体構成＞
図１は、本発明に係る製造装置の一例となる基板処理装置１００の平面図である。この基板処理装置１００は、半導体ウェハの製造工程において、円板状の基板Ｗ（シリコンウェハ）の表面に処理液を供給して、基板Ｗの表面を処理する装置である。図１に示すように、基板処理装置１００は、インデクサ１０１と、複数の処理ユニット１０２と、主搬送ロボット１０３とを備えている。

【0028】

インデクサ１０１は、処理前の基板Ｗを外部から搬入するとともに、処理後の基板Ｗを外部へ搬出するための部位である。インデクサ１０１には、複数の基板Ｗを収容するキャリアが、複数配置される。また、インデクサ１０１は、図示を省略した移送ロボットを有する。移送ロボットは、インデクサ１０１内のキャリアと、処理ユニット１０２または主搬送ロボット１０３との間で、基板Ｗを移送する。

【0029】

処理ユニット１０２は、基板Ｗを１枚ずつ処理する、いわゆる枚葉式の処理部である。複数の処理ユニット１０２は、主搬送ロボット１０３の周囲に配置されている。本実施形態では、主搬送ロボット１０３の周囲に配置された４つの処理ユニット１０２が、高さ方向に３段に積層されている。すなわち、本実施形態の基板処理装置１００は、全部で１２台の処理ユニット１０２を有する。複数の基板Ｗは、各処理ユニット１０２において、並列に処理される。ただし、基板処理装置１００が備える処理ユニット１０２の数は、１２台に限定されるものではなく、例えば、１台、４台、８台、２４台などであってもよい。

【0030】

主搬送ロボット１０３は、インデクサ１０１と複数の処理ユニット１０２との間で、基板Ｗを搬送するための機構である。主搬送ロボット１０３は、例えば、基板Ｗを保持するハンドと、ハンドを移動させるアームとを有する。主搬送ロボット１０３は、インデクサ１０１から処理前の基板Ｗを取り出して、処理ユニット１０２へ搬送する。また、処理ユニット１０２における基板Ｗの処理が完了すると、主搬送ロボット１０３は、当該処理ユニット１０２から処理後の基板Ｗを取り出して、インデクサ１０１へ搬送する。

【0031】

＜２．処理ユニットの構成＞
続いて、処理ユニット１０２の詳細な構成について説明する。以下では、基板処理装置１００が有する複数の処理ユニット１０２のうちの１つについて説明するが、他の処理ユニット１０２も同等の構成を有する。

【0032】

図２は、処理ユニット１０２の縦断面図である。図２に示すように、処理ユニット１０２は、チャンバ１０、基板保持部２０、回転機構３０、処理液供給部４０、処理液捕集部５０、遮断板６０、第１カメラ７１、第２カメラ７２、第３カメラ７３、およびコンピュータ８０を備えている。

【0033】

チャンバ１０は、基板Ｗを処理するための処理空間１１を内包する筐体である。チャンバ１０は、処理空間１１の側部を取り囲む側壁１２と、処理空間１１の上部を覆う天板部１３と、処理空間１１の下部を覆う底板部１４と、を有する。基板保持部２０、回転機構３０、処理液供給部４０、処理液捕集部５０、遮断板６０、および第１カメラ７１～第３カメラ７３は、チャンバ１０の内部に収容される。側壁１２の一部には、チャンバ１０内への基板Ｗの搬入およびチャンバ１０から基板Ｗの搬出を行うための搬入出口と、搬入出口を開閉するシャッタとが、設けられている。

【0034】

基板保持部２０は、チャンバ１０の内部において、基板Ｗを水平に（法線が鉛直方向を向く姿勢で）保持する機構である。図２に示すように、基板保持部２０は、円板状のスピンベース２１と、複数のチャックピン２２とを有する。複数のチャックピン２２は、スピンベース２１の上面の外周部に沿って、等角度間隔で設けられている。基板Ｗは、パターンが形成される被処理面を上側に向けた状態で、複数のチャックピン２２に保持される。各チャックピン２２は、基板Ｗの周縁部の下面および外周端面に接触し、スピンベース２１の上面から僅かな空隙を介して上方の位置に、基板Ｗを支持する。

【0035】

スピンベース２１の内部には、複数のチャックピン２２の位置を切り替えるためのチャックピン切替機構２３が設けられている。チャックピン切替機構２３は、複数のチャックピン２２を、基板Ｗを保持する保持位置と、基板Ｗの保持を解除する解除位置と、の間で切り替える。

【0036】

回転機構３０は、基板保持部２０を回転させるための機構である。回転機構３０は、スピンベース２１の下方に設けられたモータカバー３１の内部に収容されている。図２中に破線で示したように、回転機構３０は、スピンモータ３２と支持軸３３とを有する。支持軸３３は、鉛直方向に延び、その下端部がスピンモータ３２に接続されるとともに、上端部がスピンベース２１の下面の中央に固定される。スピンモータ３２を駆動させると、支持軸３３がその軸芯３３０を中心として回転する。そして、支持軸３３とともに、基板保持部２０および基板保持部２０に保持された基板Ｗも、軸芯３３０を中心として回転する。

【0037】

処理液供給部４０は、基板保持部２０に保持された基板Ｗの上面に、処理液を供給する機構である。処理液供給部４０は、上面ノズル４１および下面ノズル４２を有する。図１および図２に示すように、上面ノズル４１は、ノズルアーム４１１と、ノズルアーム４１１の先端に設けられたノズルヘッド４１２と、ノズルモータ４１３とを有する。ノズルアーム４１１は、ノズルモータ４１３の駆動により、ノズルアーム４１１の基端部を中心として、水平方向に回動する。これにより、ノズルヘッド４１２を、基板保持部２０に保持された基板Ｗの上方の処理位置（図１中の二点鎖線の位置））と、処理液捕集部５０よりも外側の退避位置（図１中の実線の位置）との間で、移動させることができる。

【0038】

ノズルヘッド４１２は、処理液を供給するための給液部（図示省略）と接続されている。処理液には、例えば、ＳＰＭ洗浄液（硫酸と過酸化水素水との混合液）、ＳＣ－１洗浄液（アンモニア水、過酸化水素水、純水の混合液）、ＳＣ－２洗浄液（塩酸、過酸化水素水、純水の混合液）、ＤＨＦ洗浄液（希フッ酸）、純水（脱イオン水）などが使用される。ノズルヘッド４１２を処理位置に配置した状態で、給液部のバルブを開放すると、給液部から供給される処理液が、ノズルヘッド４１２から、基板保持部２０に保持された基板Ｗの上面に向けて吐出される。

【0039】

なお、ノズルヘッド４１２は、処理液と加圧した気体とを混合して液滴を生成し、その液滴と気体との混合流体を基板Ｗに噴射する、いわゆる二流体ノズルであってもよい。また、１つの処理ユニット１０２に、複数本の上面ノズル４１が設けられていてもよい。

【0040】

下面ノズル４２は、スピンベース２１の中央に設けられた貫通孔の内側に配置されている。下面ノズル４２の吐出口は、基板保持部２０に保持された基板Ｗの下面に対向する。下面ノズル４２も、処理液を供給するための給液部に接続されている。給液部から下面ノズル４２に処理液が供給されると、当該処理液が、下面ノズル４２から基板Ｗの下面に向けて吐出される。

【0041】

処理液捕集部５０は、使用後の処理液を捕集する部位である。図２に示すように、処理液捕集部５０は、内カップ５１、中カップ５２、および外カップ５３を有する。内カップ５１、中カップ５２、および外カップ５３は、図示を省略した昇降機構により、互いに独立して昇降移動することが可能である。

【0042】

内カップ５１は、基板保持部２０の周囲を包囲する円環状の第１案内板５１０を有する。中カップ５２は、第１案内板５１０の外側かつ上側に位置する円環状の第２案内板５２０を有する。外カップ５３は、第２案内板５２０の外側かつ上側に位置する円環状の第３案内板５３０を有する。また、内カップ５１の底部は、中カップ５２および外カップ５３の下方まで広がっている。そして、当該底部の上面には、内側から順に、第１排液溝５１１、第２排液溝５１２、および第３排液溝５１３が設けられている。

【0043】

処理液供給部４０の上面ノズル４１および下面ノズル４２から吐出された処理液は、基板Ｗに供給された後、基板Ｗの回転による遠心力で、外側へ飛散する。そして、基板Ｗから飛散した処理液は、第１案内板５１０、第２案内板５２０、および第３案内板５３０のいずれかに捕集される。第１案内板５１０に捕集された処理液は、第１排液溝５１１を通って、処理ユニット１０２の外部へ排出される。第２案内板５２０に捕集された処理液は、第２排液溝５１２を通って、処理ユニット１０２の外部へ排出される。第３案内板５３０に捕集された処理液は、第３排液溝５１３を通って、処理ユニット１０２の外部へ排出される。

【0044】

このように、この処理ユニット１０２は、処理液の排出経路を複数有する。このため、基板Ｗに供給された処理液を、種類毎に分別して回収できる。したがって、回収された処理液の廃棄や再生処理も、各処理液の性質に応じて別々に行うことができる。

【0045】

遮断板６０は、乾燥処理などの一部の処理を行うときに、基板Ｗの表面付近における気体の拡散を抑制するための部材である。遮断板６０は、円板状の外形を有し、基板保持部２０の上方に、水平に配置される。図２に示すように、遮断板６０は、昇降機構６１に接続されている。昇降機構６１を動作させると、遮断板６０は、基板保持部２０に保持される基板Ｗの上面から上方へ離れた上位置と、上位置よりも基板Ｗの上面に接近した下位置との間で、昇降移動する。昇降機構６１には、例えば、モータの回転運動をボールねじにより直進運動に変換する機構が用いられる。

【0046】

また、遮断板６０の下面の中央には、乾燥用の気体（以下「乾燥気体」と称する）を吹き出す吹出口６２が設けられている。吹出口６２は、乾燥気体を供給する給気部（図示省略）と接続されている。乾燥気体には、例えば、加熱された窒素ガスが用いられる。

【0047】

上面ノズル４１から基板Ｗに対して処理液を供給するときには、遮断板６０は、上位置に退避する。処理液の供給後、基板Ｗの乾燥処理を行うときには、昇降機構６１により、遮断板６０が下位置に降下する。そして、吹出口６２から基板Ｗの上面に向けて、乾燥気体が吹き付けられる。このとき、遮断板６０により、気体の拡散が防止される。その結果、基板Ｗの上面に乾燥気体が効率よく供給される。

【0048】

第１カメラ７１～第３カメラ７３は、チャンバ１０内における所定の領域を撮像する機構である。第１カメラ７１～第３カメラ７３は、撮像領域Ａにおいて発生する所定のイベントを含む動画を撮像する。なお、処理ユニット１０２が備えるカメラの数は、２つであってもよく、４つ以上であってもよい。

【0049】

第１カメラ７１～第３カメラ７３は、例えば、チャンバ１０の側壁１２の内面に近接した位置に設置される。図２に示すように、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、それぞれカバー７４～７６に覆われている。これにより、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、処理液および処理液の揮発により発生する気体から保護される。

【0050】

図３は、後述する第１実施形態における、第１カメラ７１～第３カメラ７３による撮像の様子を、概念的に示した図である。第１実施形態では、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、ノズルヘッド４１２を含む所定の撮像領域Ａにおいて、ノズルヘッド４１２が移動する様子を撮像する。

【0051】

図４は、後述する第２実施形態における、第１カメラ７１～第３カメラ７３による撮像の様子を、概念的に示した図である。第２実施形態では、処理ユニット１０２は、発光部９０を備える。発光部９０は、第１カメラ７１～第３カメラ７３に対して瞬間的に光を発する機構である。第２実施形態では、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、発光部９０が発する光を撮像する。

【0052】

なお、第１カメラ７１～第３カメラ７３により撮像された動画において、撮像領域Ａにおける輝度の変化が記録されていれば、撮像領域Ａに発光部９０が含まれていても、含まれていなくてもよい。

【0053】

これにより、第１実施形態および第２実施形態ともに、第１カメラ７１、第２カメラ７２、および第３カメラ７３は、それぞれ、第１動画Ｍ１、第２動画Ｍ２、および第３動画Ｍ３を取得する。そして、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、得られた第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３を、コンピュータ８０へ送信する。なお、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３は、本発明の「撮像データ」に相当する。

【0054】

コンピュータ８０は、処理ユニット１０２内の各部を動作制御する。図５は、コンピュータ８０と、処理ユニット１０２内の各部との電気的接続を示したブロック図である。図５中に概念的に示したように、コンピュータ８０は、ＣＰＵ等のプロセッサ８１、ＲＡＭ等のメモリ８２、ハードディスクドライブ等の記憶部８３、および制御部８４を有する。

【0055】

図５に示すように、コンピュータ８０は、上述したチャックピン切替機構２３、スピンモータ３２、ノズルモータ４１３、処理液供給部４０のバルブ、処理液捕集部５０の昇降機構、遮断板６０の昇降機構６１、および第１カメラ７１～第３カメラ７３と、それぞれ有線または無線により通信可能に接続されている。

【0056】

記憶部８３には、処理ユニット１０２の各部を動作制御するためのコンピュータプログラムであるプログラムＰが記憶されている。

【0057】

また、記憶部８３には、第１基準画像ＲＩ１、第２基準画像ＲＩ２、および第３基準画像ＲＩ３が記憶されている。第１基準画像ＲＩ１～第３基準画像ＲＩ３は、後述する時間同期処理において、後述する第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３を検出するための基準として用いられる。第１基準画像ＲＩ１～第３基準画像ＲＩ３の詳細については、後述する。

【0058】

制御部８４は、プロセッサ８１が記憶部８３に記憶されたプログラムＰを読み出してメモリ８２に展開し、プログラムＰに従って処理を実行することにより実現される。制御部８４は、基板処理制御部８４１および時刻同期部８４２を有する。

【0059】

基板処理制御部８４１は、処理ユニット１０２において基板Ｗの処理を実行する。処理ユニット１０２における基板Ｗの処理の詳細は、後述する。

【0060】

時刻同期部８４２は、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３にそれぞれ付された時刻を同期させる時刻同期処理を実行する。時刻同期処理の詳細は、後述する。

【0061】

時刻同期部８４２による時刻同期処理が行われた後、制御部８４は、時刻同期処理によって時刻が同期された第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３に基づいて、処理ユニット１０２における各部の動作を制御する。

【0062】

＜３．基板処理装置の動作＞
次に、基板処理制御部８４１により実行される、処理ユニット１０２における基板Ｗの処理について、説明する。図６は、基板Ｗの処理手順を示すフローチャートである。

【0063】

処理ユニット１０２において基板Ｗを処理するときには、まず、主搬送ロボット１０３が、処理対象となる基板Ｗを、チャンバ１０内に搬入する（ステップＳ１０１）。チャンバ１０内に搬入された基板Ｗは、基板保持部２０の複数のチャックピン２２により、水平に保持される。その後、回転機構３０のスピンモータ３２を駆動させることにより、基板Ｗの回転を開始させる（ステップＳ１０２）。具体的には、支持軸３３、スピンベース２１、複数のチャックピン２２、およびチャックピン２２に保持された基板Ｗが、支持軸３３の軸芯３３０を中心として回転する。

【0064】

続いて、処理液供給部４０からの処理液の供給を行う（ステップＳ１０３）。ステップＳ１０３では、ノズルモータ４１３の駆動により、ノズルヘッド４１２が、基板Ｗの上面に対向する処理位置へ移動する。そして、処理位置に配置されたノズルヘッド４１２から、処理液が吐出される。記憶部８３には、処理液の吐出速度や吐出時間等のパラメータが、予め設定されている。基板処理制御部８４１は、当該設定に従って、上面ノズル４１からの処理液の吐出動作を実行する。

【0065】

なお、ステップＳ１０３では、上面ノズル４１から処理液を吐出しつつ、上面ノズル４１を、処理位置において水平方向に揺動させてもよい。また、必要に応じて、下面ノズル４２からの処理液の吐出を行ってもよい。

【0066】

ステップＳ１０３の処理液供給工程の間、遮断板６０は、上面ノズル４１よりも上方の上位置に配置されている。基板Ｗへの処理液の供給が完了し、上面ノズル４１が退避位置に配置されると、コンピュータ８０は、昇降機構６１を動作させて、遮断板６０を上位置から下位置へ移動させる。そして、スピンモータ３２の回転数を上げて基板Ｗの回転を高速化するとともに、遮断板６０の下面に設けられた吹出口６２から基板Ｗへ向けて、乾燥用の気体を吹き付ける。これにより、基板Ｗの表面を乾燥させる（ステップＳ１０４）。

【0067】

基板Ｗの乾燥処理が終了すると、スピンモータ３２を停止させて、基板Ｗの回転を止める。そして、複数のチャックピン２２による基板Ｗの保持を解除する。その後、主搬送ロボット１０３が、処理後の基板Ｗを、基板保持部２０から取り出して、チャンバ１０の外部へ搬出する（ステップＳ１０５）。

【0068】

各処理ユニット１０２は、順次に搬送される複数の基板Ｗに対して、上述のステップＳ１０１～Ｓ１０５の処理を、繰り返し実行する。

【0069】

＜４．時刻同期処理＞
続いて、時刻同期部８４２が実行する時刻同期処理について説明する。時刻同期処理は、第１カメラ７１～第３カメラ７３が撮像した第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３にそれぞれ付されている時刻を同期させるための処理である。以下では、第１実施形態および第２実施形態における時刻同期処理の流れについて説明する。

【0070】

＜４－１．第１実施形態＞
図７は、第１実施形態における時刻同期処理の流れを示すフローチャートである。第１実施形態では、ノズルヘッド４１２が、撮像領域Ａにおける所定の箇所を通過することを、「イベント」と定義する。第１実施形態では、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、ステップＳ１０３におけるノズルヘッド４１２の移動動作を撮像し、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３を取得する（ステップＳ２０１）。なお、ステップＳ２０１において撮像されるノズルヘッド４１２の移動動作は、ステップＳ１０３において行われるものでなくてもよい。例えば、ノズルヘッド４１２の移動動作は、ステップＳ１０１～Ｓ１０５が実行される前に、予め行われるものであってもよい。

【0071】

第１カメラ７１～第３カメラ７３は、ステップＳ２０１においてそれぞれ取得した第１動画Ｍ１、第２動画Ｍ２、および第３動画Ｍ３を、コンピュータ８０に送信する。コンピュータ８０に送信された第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３は、記憶部８３に記憶される。

【0072】

次に、時刻同期部８４２は、記憶部８３に記憶された第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３から、それぞれ、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３を検出する（ステップＳ２０２）。図９は、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３の構成を概念的に示した図である。図９に示すように、第１動画Ｍ１は、微小な時間間隔で撮像された複数のフレーム画像Ｆ１（Ｆ１１，Ｆ１２，…）により構成されている。第２動画Ｍ２および第３動画Ｍ３も同様に、複数のフレーム画像Ｆ２（Ｆ２１，Ｆ２２，…）および複数のフレーム画像Ｆ３（Ｆ３１，Ｆ３２，…）により構成されている。なお、フレーム画像Ｆ１～フレーム画像Ｆ３は、本発明の「撮像画像」に相当する。

【0073】

ステップＳ２０２では、記憶部８３に記憶されている第１基準画像ＲＩ１～第３基準画像ＲＩ３に基づいて、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３から、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３を検出する。

【0074】

第１基準画像ＲＩ１～第３基準画像ＲＩ３には、第１実施形態において「イベント」と定義した、ノズルヘッド４１２が撮像領域Ａにおいて所定の箇所を通過する瞬間が記録されている。なお、第１基準画像ＲＩ１は、第１動画Ｍ１と同じ撮像範囲および同じ撮像角度で撮像されている。また、第２基準画像ＲＩ２は、第２動画Ｍ２と同じ撮像範囲および同じ撮像角度で撮像されている。また、第３基準画像ＲＩ３は、第３動画Ｍ３と同じ撮像範囲および同じ撮像角度で撮像されている。

【0075】

時刻同期部８４２は、複数のフレーム画像Ｆ１のそれぞれと、第１基準画像ＲＩ１とを、各画像の所定の領域について比較する。そして、時刻同期部８４２は、第１基準画像ＲＩ１と最も類似するフレーム画像を、第１イベント画像ＥＩ１として検出する。図９に示す例では、フレーム画像Ｆ１２が、第１イベント画像ＥＩ１として検出されている。

【0076】

第１動画Ｍ１と同様にして、第２動画Ｍ２および第３動画Ｍ３からも、第２イベント画像ＥＩ２および第３イベント画像ＥＩ３がそれぞれ検出される。図９に示す例では、フレーム画像Ｆ２３およびフレーム画像Ｆ３５が、それぞれ第２イベント画像ＥＩ２および第３イベント画像ＥＩ３として検出されている。

【0077】

なお、ステップＳ２０２では、時刻同期部８４２は、例えば物体検出アルゴリズムといった所定の画像処理技術を用いて、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３を検出してもよい。

【0078】

図１０は、時刻情報の補正が行われた後の動画の構成を概念的に示した図である。ステップＳ２０２の後、時刻同期部８４２は、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３に付された時刻に基づいて、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３に付された時刻を同期させる（ステップＳ２０３）。なお、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３に付された時刻とは、例えば、第１カメラ７１～第３カメラ７３のそれぞれの内部時計に基づく時刻情報である。

【0079】

具体的には、まず、時刻同期部８４２は、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３のうち、最も遅い時刻が付された画像を、時刻同期の基準として選択する。例えば、図９に示す例では、時刻同期部８４２は、第３イベント画像ＥＩ３を基準として選択する。

【0080】

そして、時刻同期部８４２は、第１イベント画像ＥＩ１および第２イベント画像ＥＩ２に付された時刻が、第３イベント画像ＥＩ３に付された時刻と一致するように、第１動画Ｍ１に付された時刻および第２動画Ｍ２に付された時刻を補正する。これにより、図１０に示すように、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３に付された時刻が同期される。

【0081】

なお、各処理ユニット１０２が、順次に搬送される複数の基板Ｗに対してステップＳ１０２を繰り返し実行するたびに、ステップＳ２０１～ステップＳ２０３を繰り返し実行してもよい。または、所定のタイミングでノズルヘッド４１２を動作させた後でステップＳ２０１～ステップＳ２０３を実行する処理を、所定の時間間隔で繰り返し実行してもよい。これにより、所定の時間間隔において、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３に付された時刻を同期させることができる。したがって、継続的に、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３間における時刻を同期させることができる。

【0082】

＜４－２．第２実施形態＞
図８は、第２実施形態における時刻同期処理の流れを示すフローチャートである。第２実施形態では、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３における所定の領域の輝度が所定の閾値に到達することを、「イベント」と定義する。第２実施形態では、まず、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、撮像領域Ａにおける動画を撮像する（ステップＳ３０１）。

【0083】

発光部９０は、ステップＳ３０１が実行されている間の任意のタイミングで、瞬間的に発光する。これにより、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３には、発光部９０から発せられる光が記録される。第１カメラ７１～第３カメラ７３は、それぞれ取得した第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３を、コンピュータ８０に送信する。コンピュータ８０に送信された第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３は、記憶部８３に記憶される。

【0084】

次に、時刻同期部８４２は、記憶部８３に記憶された第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３から、それぞれ、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３を検出する（ステップＳ３０２～ステップＳ３０４）。

【0085】

ステップＳ３０２～ステップＳ３０４の具体的な手順を、第１動画Ｍ１を例に挙げて説明する。まず、時刻同期部８４２は、第１動画Ｍ１を構成する複数のフレーム画像Ｆ１のうち、所定の領域における画素の輝度が所定の閾値以上である画像を抽出する（ステップＳ３０２）。以下では、ステップＳ３０２において抽出された画像を、「抽出画像」とする。

【0086】

抽出画像が１つのみである場合（ステップＳ３０３：Ｎｏ）、時刻同期部８４２は、当該抽出画像を、イベント画像ＥＩとして検出する。

【0087】

このとき、発光部９０による発光時間、または閾値の値によっては、連続した複数のフレーム画像Ｆ１が抽出される場合がある。すなわち、この場合、第１動画Ｍ１において、複数の抽出画像にイベントが記録されている。抽出画像が複数存在する場合（ステップＳ３０３：Ｙｅｓ）、時刻同期部８４２は、複数の抽出画像の中から、１つの抽出画像を選択し、第１イベント画像ＥＩ１として検出する（ステップＳ３０４）。

【0088】

例えば、時刻同期部８４２は、複数の抽出画像における所定の領域の輝度に基づいて、第１イベント画像ＥＩ１を選択してもよい。具体的には、時刻同期部８４２は、複数の抽出画像において所定の領域を構成する、複数の画素の輝度の平均値が最も高い１つの抽出画像を、第１イベント画像ＥＩ１として選択してもよい。

【0089】

または、時刻同期部８４２は、複数の抽出画像にそれぞれ付された時刻に基づいて、第１イベント画像ＥＩ１を選択してもよい。具体的には、時刻同期部８４２は、複数の抽出画像にそれぞれ付された時刻の平均値に最も近い時刻が付された１つの抽出画像を、第１イベント画像ＥＩ１として選択してもよい。

【0090】

時刻同期部８４２は、第２動画Ｍ２および第３動画Ｍ３に対しても、第１動画Ｍ１と同様に、ステップＳ３０２～ステップＳ３０４を実行することにより、第２イベント画像ＥＩ２および第３イベント画像ＥＩ３をそれぞれ検出する。

【0091】

次に、時刻同期部８４２は、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３に付された時刻に基づいて、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３に付された時刻を同期させる（ステップＳ３０５）。ステップＳ３０５の内容は、第１実施形態のステップＳ２０３と同様であるため、説明を省略する。

【0092】

なお、発光部９０は、所定の時間間隔において周期的に発光してもよい。この場合、時刻同期部８４２は、ステップＳ３０２～ステップＳ３０５を、周期的に実行する。これにより、所定の時間間隔において、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３に付された時刻を同期させることができる。したがって、継続的に、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３間における時刻を同期させることができる。

【0093】

以上のように、この基板処理装置１００では、複数の動画Ｍそれぞれから、所定のイベントが撮像されたフレーム画像Ｆを、イベント画像ＥＩとして検出する。そして、動画Ｍごとのイベント画像ＥＩに付された時刻に基づいて、複数の動画Ｍ間における時刻を同期させる。これにより、基板処理装置１００と外部ネットワークとの通信を行うことなく、複数の動画Ｍ間における時刻同期を行うことができる。

【0094】

なお、第１実施形態のステップＳ２０２において、１つの動画Ｍに対してイベント画像ＥＩに該当する画像が複数検出された場合、当該複数の画像を抽出画像として、第２実施形態のステップＳ３０４と同様の手順で、１つのイベント画像ＥＩを検出してもよい。具体的には、時刻同期部８４２は、ステップＳ２０２で抽出された複数の抽出画像にそれぞれ付された時刻の平均値に最も近い時刻が付された１つの抽出画像を、イベント画像ＥＩとして選択してもよい。

【0095】

なお、第２実施形態では、第１実施形態におけるステップＳ２０２と同様の手順により、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３を検出してもよい。この場合、時刻同期部８４２は、発光部９０が発光した瞬間がそれぞれ記録された第１基準画像ＲＩ１～第３基準画像ＲＩ３に基づいて、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３を検出してもよい。

【0096】

＜５．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。

【0097】

上記の実施形態では、基板処理装置１００を撮像した複数の動画Ｍにおける時刻を同期させていた。しかしながら、本開示における時刻同期方法は、種々の装置に対して適用することができる。例えば、印刷装置に対して、本開示の時刻同期方法を適用してもよい。この場合、例えば、記録媒体に印刷された所定のレジストマークが所定の箇所を通過することを、「イベント」として定義してもよい。

【0098】

上記の第１実施形態では、ノズルアーム４１１が、撮像領域Ａにおける所定の箇所を通過することが、「イベント」と定義されていた。また、上記の第２実施形態では、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３における所定の領域の輝度が所定の閾値に到達することが、「イベント」と定義されていた。しかしながら、イベントの内容は上記の実施形態において定義されたものに限られない。例えば、イベントは、ノズルヘッド４１２が処理液を吐出する動作など、基板処理装置１００による所定の動作であってもよい。または、イベントは、発光部９０が発する光の光量の変化または色彩の変化により、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３における所定の領域の画素値が変化したことでもよい。

【0099】

上記の実施形態では、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３を、処理ユニット１０２に備えられたコンピュータ８０に送信していた。そして、コンピュータ８０の時刻同期部８４２により、時刻同期処理が実行されていた。しかしながら、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、それぞれ、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３を処理するためのコンピュータを備えていてもよい。第１カメラ７１～第３カメラ７３に備えられた各コンピュータは、第１実施形態におけるステップＳ２０１～Ｓ２０２または第２実施形態におけるステップＳ３０１～Ｓ３０４を、各動画Ｍ１～Ｍ３に対して実行した後に、コンピュータ８０へ第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３および各動画Ｍ１～Ｍ３を、それぞれ送信してもよい。その後、ステップＳ２０３またはＳ３０５が、時刻同期部８４２により実行されてもよい。

【0100】

上記の実施形態では、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、それぞれ、第１動画Ｍ１～第３動画Ｍ３を撮像していた。しかしながら、第１カメラ７１～第３カメラ７３は、所定の時間間隔で複数の画像を断続的に撮像してもよい。この場合、時刻同期処理において、時刻同期部８４２は、第１カメラ７１～第３カメラ７３がそれぞれ撮像した複数の画像の群から、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３をそれぞれ検出してもよい。そして、時刻同期部８４２は、第１イベント画像ＥＩ１～第３イベント画像ＥＩ３に付された時刻に基づいて、複数の画像の群に付された時刻を同期させてもよい。

【0101】

上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。

【符号の説明】

【0102】

４０ ：処理液供給部
４１ ：上面ノズル
７１ ：第１カメラ
７２ ：第２カメラ
７３ ：第３カメラ
９０ ：発光部
１００ ：基板処理装置
４１１ ：ノズルアーム
４１２ ：ノズルヘッド
４１３ ：ノズルモータ
８４１ ：基板処理制御部
８４２ ：時刻同期部
Ａ ：撮像領域
ＥＩ１ ：第１イベント画像
ＥＩ２ ：第２イベント画像
ＥＩ３ ：第３イベント画像
Ｆ１ ：フレーム画像
Ｆ２ ：フレーム画像
Ｆ３ ：フレーム画像
Ｍ１ ：第１動画
Ｍ２ ：第２動画
Ｍ３ ：第３動画
ＲＩ１ ：第１基準画像
ＲＩ２ ：第２基準画像
ＲＩ３ ：第３基準画像
Ｗ ：基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】