特開 2024-40984 質量分析装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024040984

(43)【公開日】2024-03-26

(54)【発明の名称】質量分析装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 49/04 20060101AFI20240318BHJP

   H01J 49/40 20060101ALI20240318BHJP

   H01J 49/24 20060101ALI20240318BHJP

   H01J 49/16 20060101ALI20240318BHJP

   H01J 49/26 20060101ALI20240318BHJP

【ＦＩ】

H01J49/04

H01J49/40

H01J49/24

H01J49/16 400

H01J49/26

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022145665

(22)【出願日】2022-09-13

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100179969

【弁理士】

【氏名又は名称】駒井 慎二

(74)【代理人】

【識別番号】100116687

【弁理士】

【氏名又は名称】田村 爾

(74)【代理人】

【識別番号】100098383

【弁理士】

【氏名又は名称】杉村 純子

(74)【代理人】

【識別番号】100155860

【弁理士】

【氏名又は名称】藤松 正雄

(72)【発明者】

【氏名】古田 匡智

【テーマコード（参考）】

5C038

【Ｆターム（参考）】

5C038HH03

(57)【要約】

【課題】
質量分析部とロードロックとの間を仕切る仕切ドアを、弱い力で開くと共に、強い力で閉じることが可能な質量分析装置を提供すること。
【解決手段】
真空状態で質量分析を行う質量分析部と、該質量分析部に対し試料プレートを搬入又は搬出するロードロックとを備えた質量分析装置において、該質量分析部と該ロードロックとを連通し、該試料プレートを搬送するための開口部ＯＰ１を有し、該開口部を開閉する仕切ドアＤ１と、該仕切ドアに対向し該開口部を形成する壁面Ｗ１との少なくとも一方には、該仕切ドアによる該開口部の閉状態を補助するため電磁石ＭＧが設けられ、該電磁石への通電を制御する制御手段ＣＵを備えた。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空状態で質量分析を行う質量分析部と、該質量分析部に対し試料プレートを搬入又は搬出するロードロックとを備えた質量分析装置において、
該質量分析部と該ロードロックとを連通し、該試料プレートを搬送するための開口部を有し、
該開口部を開閉する仕切ドアと、該仕切ドアに対向し該開口部を形成する壁面との少なくとも一方には、該仕切ドアによる該開口部の閉状態を補助するため電磁石が設けられ、
該電磁石への通電を制御する制御手段を備えた質量分析装置。

【請求項2】

請求項１に記載の質量分析装置において、該質量分析部には、マトリクス支援レーザ脱離イオン質量分析装置が組み込まれている質量分析装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の質量分析装置において、該制御手段は、該ロードロックの内部が大気圧状態の場合は、該電磁石への通電を停止するよう制御する質量分析装置。

【請求項4】

請求項１又は２に記載の質量分析装置において、該試料プレートを載置し、該質量分析部側から該開口部を経て該ロードロック側に入出するホルダを備え、
該仕切ドアの該開口部を塞ぐ封止面には、該開口部の周囲に沿ってＯリングが配置され、
該封止面は、該ホルダに載置された試料プレートには接触せず、該ホルダの一部と接触する位置に設けられた当接部を備え、
該ホルダは、該当接部と接触する位置にガイド部を設け、該ホルダの移動に伴い、該仕切ドアの開閉状態を変化させると共に、該ホルダが該Ｏリングに接触しないよう構成している質量分析装置。

【請求項5】

請求項４に記載の質量分析装置において、該壁面を構成する部材には、該仕切ドアと該ホルダ並びに該ホルダの駆動機構とが一体的に組み込まれている質量分析装置。

【請求項6】

請求項１又は２に記載の質量分析装置において、該仕切ドアと該壁面とを連結するヒンジを有し、該ヒンジと該壁面との結合部分には、該仕切ドアが該壁面の法線方向に移動可能にするための遊びが形成されている質量分析装置。

【請求項7】

請求項１又は２に記載の質量分析装置において、
該ロードロックは、該ロードロックの内部と外部とを連通する外部用開口部と、該外部用開口部を開閉する外ドアとを備え、
該外ドアの該外部用開口部を塞ぐ封止面又は該外部用開口部を形成する壁面のいずれか一方には、該第２開口部の周囲に沿ってＯリングが配置され、
該外ドアは、該ロードロックに設けられた開閉機構にボールジョイントを介して連結されている質量分析装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、質量分析装置に関し、特に、真空状態で質量分析を行う質量分析部と、該質量分析部に対し試料プレートを搬入又は搬出するロードロックとを備えた質量分析装置に関する。

【背景技術】

【0002】

マトリクス支援レーザ脱離イオン（ＭＡＬＤＩ）質量分析装置などの質量分析装置では、試料プレートに収容された試料を真空状態で分析する。特許文献１に示すように、質量分析装置にはロードロックを備えたものが提案されている。

【0003】

図１は、ＭＡＬＤＩ質量分析装置などを組み込んだ質量分析部Ａに対し、ロードロックＢを接続した状態を示したものである。装置の外部にから試料プレートＣ０を質量分析部Ａ内に搬入するには、ロードロックＢ内を大気圧に開放し、ドアＤ２を開けてロードロック内に試料プレートを搬入する（符号Ｃ１の状態）。次に、ロードロックＢ内を真空状態にして、ドアＤ１を開けて、質量分析部Ａ内に試料プレートを搬入する（符号Ｃ２の状態）。

【0004】

また、質量分析部Ａから試料プレートＣ２を搬出するには、上述した手順を逆にして行う。このように、大気圧に開放される部分がロードロックＢの領域のみであるため、質量分析部Ａ内の真空状態を安定的に維持することが出来ると共に、質量分析部Ａ内が汚染されることも抑制される。

【0005】

図２は、質量分析部Ａの一例であるＭＡＬＤＩ質量分析装置の概略を示す図である。真空処理容器１内では、試料プレートＣ２は２方向に移動できるＸＹステージ２に載置されている。レーザ照射部３からレーザ光が出射し、反射鏡４を介して、試料プレートに配置された試料に照射される。レーザ光が照射された試料は気化すると共にイオン化する。

【0006】

イオン化した試料は、アパーチャ５やアインツェルレンズ６などのイオン輸送光学系を通過し、質量分析器７に入射し、質量電荷比（Ｍ／Ｚ）に応じて各種イオンが分離されイオン検出器８に到達する。質量分析器には、四重極型分析器、イオントラップ、飛行時間型分析器、磁場セクタ型分析器等が用いられる。

【0007】

一つの試料の分析が終了すれば、ＸＹステージ２が移動し、レーザ光の照射位置に次の試料を配置する。

【0008】

真空処理容器１を開閉するドアＤ１は、ドアの周囲の１辺にヒンジを配置し、例えば図１の矢印α方向に開閉可能に設定される。さらに、ドアＤ１を確実に閉じることを可能とするため、ドアの回転軸部分に戻りバネなどの付勢手段を配置し、ドアＤ１を真空処理容器１の開口部に押さえ付けるよう構成している。

【0009】

試料プレートＣ２の交換のため、ドアＤ１を開閉するには、ＸＹステージ２をドアＤ１の方向に移動し、ＸＹステージ２の一部でドアＤ１を押して開ける。また、図１の試料プレートＣ１と交換した後、ＸＹステージ２を真空処理容器１内に引き込むことで、ドアＤ１に取り付けられたバネ等により、ドアＤ１は自然に閉じる。このようなドアの開閉機構は、ロードロックを単純な構成にでき、部品点数の削減ができ開閉機構もシンプルなものとなるため、コスト削減や信頼性向上に寄与する。

【0010】

一方、質量分析部とロードロックとの間の仕切ドアは、真空漏れを防ぐため、開口部を取り囲むＯリングを配置し、ドアをＯリングに対して、強い力で均等に押し当てることが必要となる。

【0011】

他方、ＸＹステージが仕切ドアを開ける力には限界があり、ＸＹステージの耐久性を考慮すると、出来る限り弱い力で仕切ドアを開けることが好ましい。このため、従来のドアの開閉機構ではこれらの課題を共に解決することが難しい。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0012】

【特許文献1】特公表２００４－５３２９９６号公報

【特許文献2】実用新案登録第３２０８３３１号公報

【特許文献3】特願２０２１－１４１４４１号（出願日：２０２１年８月３１日）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0013】

本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、質量分析部とロードロックとの間を仕切る仕切ドアを、弱い力で開くと共に、強い力で閉じることが可能な質量分析装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0014】

上記課題を解決するために成された本発明に係る質量分析装置の一態様は、次のとおりである。
真空状態で質量分析を行う質量分析部と、該質量分析部に対し試料プレートを搬入又は搬出するロードロックとを備えた質量分析装置において、該質量分析部と該ロードロックとを連通し、該試料プレートを搬送するための開口部を有し、該開口部を開閉する仕切ドアと、該仕切ドアに対向し該開口部を形成する壁面との少なくとも一方には、該仕切ドアによる該開口部の閉状態を補助するため電磁石が設けられ、該電磁石への通電を制御する制御手段を備えた質量分析装置である。

【発明の効果】

【0015】

本発明に係る質量分析装置の上記態様によれば、仕切ドアによる開口部の閉状態を補助するため電磁石が設けられ、該電磁石への通電を制御する制御回路を備えているため、電磁石の吸引力により、仕切ドアをＯリングに強く押し付け、真空漏れを防止する。しかも、電磁石の電流を遮断することで、仕切ドアを弱い力で開くことも可能となり、ＸＹステージなどの試料プレートを載置したホルダに大きな力を加える必要もない。また、仕切ドアとホルダとの接触力も小さくなるため、接触面の耐久性も向上する。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】質量分析部にロードロックを接続した様子を示す概略図。

【図2】ＭＡＬＤＩ質量分析装置の概略を示す図。

【図3】本発明の質量分析装置に使用される仕切ドアの開閉機構を説明する図。

【図4】図３の仕切ドアをロードロック側から見た斜視図。

【図5】図３の仕切ドアを真空処理容器側から見た斜視図。

【図6】図３の仕切ドアの開閉機構の動きを説明する図。

【図7】図３の仕切ドアのヒンジ部分の構成を説明する図。

【図8】本発明の質量分析装置に使用される外ドアの概略を示す図。

【図9】図８の外ドアに使用されるボールジョイントの構成を説明する図。

【図10】図８の矢印Ｅ－Ｅ’における断面図の一部を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明の質量分析装置について、図３乃至図１０を用いて詳細に説明する。
本発明の質量分析装置の基本的構造は、図１と同様に、質量分析部ＡとロードロックＢとを備えたものであり、質量分析部Ａには、図２を用いて説明したように、ＭＡＬＤＩ質量分析装置が使用できることは言うまでもない。

【0018】

本発明の質量分析装置では、質量分析部とロードロックとを連通する開口部を開閉する仕切ドアに特徴がある。図３は、仕切ドアＤ１の開閉機構を説明する側面図である。仕切ドアＤ１は開口部ＯＰ１を形成する壁Ｗの壁面Ｗ１に稼働可能に取り付けられている。

【0019】

図３の壁Ｗは、図１の質量分析部Ａ又はロードロックＢを構成する容器の壁の一部であっても良いし、質量分析部ＡとロードロックＢとを結合する際に両者の間に介在するフランジ等の部材であっても良い。

【0020】

仕切ドアＤ１は、その周囲の一辺がヒンジＨＮ１を介して、壁Ｗに取り付けられる。ヒンジＨＮ１を介してドアＤ１は開閉するが、ヒンジＨＮ１を図３のようにドアの上辺に配置することで、ドアＤ１が閉まる際は自重により自然と閉じることが可能となる。なお、本発明の質量分析装置では、ドアＤ１の側辺又は下辺にヒンジを配置し、上述した戻りバネ等の付勢手段を用いてドアが閉まるよう構成することも可能である。

【0021】

図３及び図５に示すように、ドアＤ１と壁Ｗの壁面Ｗ１との間には、真空漏れを防ぐためのＯリングＯ１が配置される。ＯリングＯ１は、ドアＤ１の封止面（開口部を塞ぐ側の面）に配置されているが、これに限定されず、壁面Ｗ１側に配置することも可能である。

【0022】

本発明では、仕切ドアＤ１の開閉力を調整するため、図３乃至５に示すように、仕切ドアＤ１に電磁石ＭＧを複数配置している。図では、２個の電磁石ＭＧを配置しているがこれに限定されず、より多くの電磁石を配置することも可能である。ただし、電磁石の力を利用して仕切ドアを壁面Ｗ１に均等に押す必要があるため、ＯリングＯ１の配置の中心点に対して対称な位置に電磁石を配置することが好ましい。
また、図３乃至５では、仕切ドアＤ１に電磁石ＭＧを配置しているが、壁Ｗに電磁石ＭＧを配置することも可能である。

【0023】

電磁石ＭＧの通電の制御は、図３に示すように、制御手段ＣＵによって行っている。制御手段ＣＵでは、基本的な制御として、仕切ドアを開ける際には、電磁石ＭＧへの通電を遮断し、仕切ドアを壁面Ｗ１に強く押し付ける際には、電磁石ＭＧへの通電を行う。電磁石ＭＧへの通電により、仕切ドアは数十Ｎ、例えば５０Ｎ以上の力が加わる。

【0024】

制御手段ＣＵでは、これ以外に、ロードロック内の気圧を検知したり、ロードロックと外部とを繋ぐ外部用開口部に設けられた外ドアＤ２の開閉状態を検知することで、ロードロック内の気圧が大気圧状態に近い場合には、電磁石ＭＧの通電を遮断することも可能である。これは、ロードロック内が大気圧であり、質量分析部内が真空の場合には、仕切ドアＤ１には大気圧により約１００Ｎの力が加わっているためである。このような場合のように、電磁石の通電を遮断しても、仕切ドアＤ１が壁面Ｗ１に強い力で押されている場合には、通電を遮断し、電力消費を少なくすることができる。

【0025】

また、質量分析部内で、ＭＡＬＤＩ質量分析装置が稼働している間は、真空漏れを確実に防ぐため、電磁石ＭＧを常に通電状態にするよう制御することも可能である。ＭＡＬＤＩ質量分析装置における一連の処理フローの例を示す。
（１）質量分析部内へ試料プレートを引込み、仕切ドアを閉じる
（２）質量分析部内を高真空状態とする
（３）試料にレーザを照射してイオン化し、Ｍ／Ｚ毎の信号強度（電圧）を検出する
（４）試料プレート上の全ての試料に上記（４）を繰り返す
（５）仕切ドアを開き、質量分析部内から試料プレートを搬出する

【0026】

ＭＡＬＤＩ質量分析装置が稼働している期間となる、上述した処理フロー中の（１）の仕切ドアを閉じてから、（５）の仕切ドアを開くまでの期間は、電磁石ＭＧを通電状態にすることが可能である。また、質量分析を行っている（３）及び（４）の期間のみ電磁石ＭＧに通電することも可能である。
当然、これらの通電制御に加えて、上述したロードロック内が大気圧に変化した場合の遮断処理を組み合わせることも可能である。また、ロードロック内が大気圧に変化した場合の遮断処理中であっても、上記（３）及び（４）の質量分析を行う期間だけは電磁石に通電することも可能である。
また、ロードロック内の気圧と、質量分析部内の気圧との差をモニタし、所定の気圧差以上となった場合に電磁石への通電を遮断し、当該所定の気圧差以下となった場合には電磁石に通電する制御を、更に組み合わせることも可能である。

【0027】

質量分析装置の中で、試料プレートを質量分析部内から搬出する段階では、まず、電磁石ＭＧの通電を遮断し、その後、ＸＹステージなどのホルダＨを移動させるよう制御することも可能である。これにより、ホルダＨに強い力が加わることを防止することが可能となる。

【0028】

また、ホルダＨが移動している時や、仕切ドアを開けてホルダＨがロードロック内に突出している場合には、ホルダや試料プレートの破損等を防止するため、電磁石ＭＧに通電がされないよう制御する。

【0029】

仕切ドアＤ１の開閉には、ホルダＨの動きを利用している。図３に示すように、ホルダＨはホルダ駆動機構Ｍにより図面の左右方向に移動可能なように構成される。また、ホルダＨの一部は、試料プレートＣ２を載置することが可能なように構成されている。

【0030】

ホルダＨが図３の左方向に移動することにより、仕切ドアＤ１にホルダＨが接触することになるが、仕切ドアＤ１のホルダＨと接触する位置には、図３及び図５に示すように、ボールベアリングなどの当接部Ｒが設けられている。また、ホルダＨには、当接部Ｒと接触する部分に、ホルダＨの動きに合わせて当接部Ｒを案内するためのガイド部Ｈ１が形成されている。

【0031】

図６の（ａ）～（ｃ）は、ホルダＨの動きに合わせて、仕切ドアＤ１が開閉する様子を説明したものである。（ａ）の位置からホルダＨが左方向に移動すると、（ｂ）に示すように、ホルダＨのガイド部Ｈ１が当接部Ｒと接触し、ドアを押し上げる。さらに、ホルダＨが左方向に移動すると、（ｃ）のように、ドアがさらに上方に押し上げられ、ホルダＨがロードロック側に突出することを可能とする。

【0032】

このような一連の動きを可能にするには、当接部Ｒの配置位置や、ガイド部Ｈ１の配置位置及び形状が重要となる。当接部ＲはホルダＨが保持した試料プレートに接触せず、ガイド部Ｈ１のみ接触するよう構成することが必要である。またガイド部Ｈ１の形状も、ホルダＨが移動することで、仕切ドアＤ１の封止面（質量分析部側の面）にホルダＨの一部が接触しないよう構成することが好ましい。特に、仕切ドアＤ１側にＯリングＯ１を配置する場合には、ホルダＨがＯリングＯ１に接触し、Ｏリングを破損すると、真空漏れの原因となる。このため、このような不具合が生じないよう、ガイド部Ｈ１の形状が設定される。

【0033】

このように、仕切ドアＤ１の当接部ＲとホルダＨのガイド部Ｈ１とは、互いに精確に位置決めすることが必要である。このため、壁面Ｗ１（壁Ｗ）を構成する部材に、仕切ドアとホルダＨを含むホルダ駆動機構Ｍとを一体的に組み込むことで、質量分析装置を組み立てる際の位置調整を簡略化することも可能となる。当然、壁Ｗは、質量分析部又はロードロックを構成する壁であっても良いし、別の部材として構成し、質量分析部とロードロックとの間に挟むように配置することも可能である。また、ホルダＨは、ＭＡＬＤＩ質量分析装置のＸＹステージを兼用することも可能であるが、ＸＹステージとは別の試料プレートの搬送手段として構成することも可能である。

【0034】

また、電磁石ＭＧで仕切ドアＤ１を壁面Ｗ１に均等に押し付けるためには、仕切ドアＤ１のヒンジ部分（ヒンジＮＨ１と壁面Ｗ１との結合部分）に遊びを設けることが効果的である。図７に示すように、ヒンジＨＮ１と壁面Ｗ１とをネジＳＣ１で接続した部分に遊びを持たせ、隙間には必要に応じて板バネなどのバネ部材ＳＰを配置する。これにより、電磁石ＭＧに通電した際には、仕切ドアＤ１が壁面Ｗ１の法線方向（図７の左右方向）に若干移動でき、均等に押し付けられる。また、バネ部材ＳＰで仕切ドアｄ１が必要以上にガタつくことも無い。

【0035】

本発明の質量分析装置では、さらに図８乃至１０に示すように、ロードロックと外部とを繋ぐ外部用開口部ＯＰ２を塞ぐ外ドアＤ２についても改良を施している。ロードロックの外ドアは、試料プレートを外部から搬入したり、外部へ搬出するため、操作者のオペレーションが行い易いように、また、特許文献３に示すような自動搬入・搬出装置の作業が可能なように、大きな開口部となっている。

【0036】

また、大きな開口部を塞ぐ外ドアＤ２にもロードロック内の真空漏れを抑制するため、外ドアＤ２の外部用開口部ＯＰ２を塞ぐ封止面又は外部用開口部ＯＰ２を形成する壁面（ロードロックの容器を構成する壁面）のいずれか一方には、外部用開口部ＯＰ２の周囲に沿ってＯリングを配置する必要がある。そのため、外ドアとＯリング面の角度を一致させ、外ドアを均等に壁面側に押し付けることが必要となる。

【0037】

特許文献２では、真空漏れを抑制したドアとして、２自由度の回転が可能な構造が提案されている。確かに当該構造を採用することで、ドアの封止面をＯリング面に適正に合わせることが可能となるが、２自由度のため、ドアが回転し、ドアを開口部に位置合わせする作業が必要となる。また、特許文献３のような自動搬入・搬出装置を使用する場合は、開閉の頻度が増加するだけでなく、開閉時にドアが回転し、自動搬入・搬出装置の一部と接触するなどの不具合も発生する。

【0038】

本発明の質量分析装置では、外ドアＤ２と開閉機構１３とを連結する部分にボールジョイントを採用している。図８乃至１０は、ロードロックを構成する容器１０を示し、容器１０の上面には、外ドアＤ２を配置している。ボールジョイントは、ボールジョイントの球状（ボール）部分１１を支持する支持板１２が外ドアに固着されている。また、外ドアを開閉する開閉機構１３は、容器１０の一部にヒンジＨＮ２により連結されている。開閉機構１３には、図１０に示すように、ハンドル１９を設けることも可能である。外ドアＤ２は、矢印β方向に開閉される。

【0039】

基本的に、ボールジョイントでは、外ドアは３軸方向に自由な回転を行うことが出来る。しかしながら、外ドアが大きく回転すると上述のような不具合を生じるため、外ドアの移動を制限する機構を設けることが必要である。

【0040】

図９はボールジョイントの構成を説明する図である。球状部分１１の表面の一部に凹部１８を形成し、該凹部１８に係合するピン１７が挿入されている。ピン１７は、開閉機構１３側に固定されており、開閉機構１３に対する球状部材１１の相対的な移動範囲（動作角度）が制限される。これにより、外ドアＤ２が大きく回転することなどが抑制され、上述したような不具合を解消することが可能となる。

【0041】

また、凹部１８やピン１７のみでは、開閉機構１３が移動する際に、外ドアの自重等によりドアがバタつき、不安定な状態となる。これを抑制するため、開閉機構１３側に、球状部材１１を挟むようにボール受け１４とボール押圧手段１５を配置し、例えば、ボール押圧手段に設けられた調整ネジ１６を回して、球状部材１１を挟み込む力を調整可能にしている。球状部材１１を挟み込む力が強くなると、ボール受け１４と球状部材１１との間とボール押圧手段１５と球状部材１１との間に発生する摩擦力が大きくなる。このため、開閉機構１３の動きに伴い、外ドアＤ２のバタつき具合を調整することが可能となる。

【0042】

本発明の質量分析装置に関する上述の説明は、実施形態の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜、変形、追加、修正を行っても本発明の技術的範囲に属することは明らかである。
また、上述した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが、当業者により理解される。

【0043】

（第１項）
真空状態で質量分析を行う質量分析部と、該質量分析部に対し試料プレートを搬入又は搬出するロードロックとを備えた質量分析装置において、該質量分析部と該ロードロックとを連通し、該試料プレートを搬送するための開口部を有し、該開口部を開閉する仕切ドアと、該仕切ドアに対向し該開口部を形成する壁面との少なくとも一方には、該仕切ドアによる該開口部の閉状態を補助するため電磁石が設けられ、該電磁石への通電を制御する制御手段を備えた質量分析装置である。

【0044】

本発明のように、電磁石を用いると共に、電磁石への通電を制御することで、質量分析部とロードロックとの間を仕切る仕切ドアを、弱い力で開けたり、強い力で閉じることが可能となる。しかも試料プレートを載置したホルダに大きな力を加える必要もない。さらに、仕切ドアとホルダとの接触力も小さくなるため、接触面の耐久性も向上する。

【0045】

（第２項）
上記第１項に記載の質量分析装置において、該質量分析部には、マトリクス支援レーザ脱離イオン質量分析装置が組み込まれている。

【0046】

ＭＡＬＤＩ質量分析装置においても、上記第１項で説明した優れた効果を付与することが可能となる。

【0047】

（第３項）
上記第１項又は第２項に記載の質量分析装置において、該制御手段は、該ロードロックの内部が大気圧状態の場合は、該電磁石への通電を停止するよう制御する。

【0048】

大気圧を用いて仕切ドアを強く押圧している場合には、電磁石への通電を遮断しても問題はなく、むしろ消費電力の削減が期待できる。

【0049】

（第４項）
上記第１項乃至第３項のいずれかに記載の質量分析装置において、該試料プレートを載置し、該質量分析部側から該開口部を経て該ロードロック側に入出するホルダを備え、該仕切ドアの該開口部を塞ぐ封止面には、該開口部の周囲に沿ってＯリングが配置され、該封止面は、該ホルダに載置された試料プレートには接触せず、該ホルダの一部と接触する位置に設けられた当接部を備え、該ホルダは、該当接部と接触する位置にガイド部を設け、該ホルダの移動に伴い、該仕切ドアの開閉状態を変化させると共に、該ホルダが該Ｏリングに接触しないよう構成している。

【0050】

本発明により、ホルダの移動に合わせて仕切ドアを適正に開閉でき、特にホルダの移動により仕切ドアのＯリングが損傷したり、ホルダに載置され試料プレートが破損するなどの不具合を解消することが可能となる。

【0051】

（第５項）
上記第４項に記載の質量分析装置において、該壁面を構成する部材には、該仕切ドアと該ホルダ並びに該ホルダの駆動機構とが一体的に組み込まれている。

【0052】

仕切ドアとホルダ並びに該ホルダの駆動機構を、壁面を構成する同一の部材に一体的に組み込むことで、仕切ドアとホルダの位置決めを事前に行うことができ、質量分析装置を組み立てる際の調整を簡略化することが可能となる。

【0053】

（第６項）
上記第１項乃至第５項のいずれかに記載の質量分析装置において、該仕切ドアと該壁面とを連結するヒンジを有し、該ヒンジと該壁面との結合部分には、該仕切ドアが該壁面の法線方向に移動可能にするための遊びが形成されている。

【0054】

本発明により、仕切ドアを壁面に対して適切に配置でき、両者に挟まれたＯリングを均等に押圧することが可能となる。

【0055】

（第７項）
上記第１項乃至第６項のいずれかに記載の質量分析装置において、該ロードロックは、該ロードロックの内部と外部とを連通する外部用開口部と、該外部用開口部を開閉する外ドアとを備え、該外ドアの該外部用開口部を塞ぐ封止面又は該外部用開口部を形成する壁面のいずれか一方には、該外部用開口部の周囲に沿ってＯリングが配置され、該外ドアは、該ロードロックに設けられた開閉機構にボールジョイントを介して連結されている。

【0056】

本発明により、ロードロックの内部と外部とを繋ぐ開口部を開閉する外ドアについても、両者の間に配置されたＯリングを均等に押圧できる。しかも、外ドアの開閉時に外ドアが大きく回転するなどの不具合も抑制が可能である。

【符号の説明】

【0057】

Ａ 質量分析部（ＭＡＬＤＩ質量分析装置）
Ｂ ロードロック
Ｃ０，Ｃ１，Ｃ２ 試料プレート
Ｄ１ 仕切ドア
Ｄ２ 外ドア
ＭＧ 電磁石
ＣＵ 制御手段
Ｈ ホルダ（ＸＹステージ）
Ｈ１ ガイド部
ＯＰ１，ＯＰ２ 開口部
Ｗ 壁（部材の一部）
Ｗ１ 壁面
ＨＮ１，ＨＮ２ ヒンジ
Ｒ 当接部（ボールベアリング）
ＳＰ バネ部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】