特開 2024-41019 透明導電性フィルム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024041019

(43)【公開日】2024-03-26

(54)【発明の名称】透明導電性フィルム

(51)【国際特許分類】

   H01B 5/14 20060101AFI20240318BHJP

【ＦＩ】

H01B5/14 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022197940

(22)【出願日】2022-12-12

(31)【優先権主張番号】202211107511.4

(32)【優先日】2022-09-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(71)【出願人】

【識別番号】520384910

【氏名又は名称】カンブリオス フィルム ソリューションズ（シアメン） コーポレーション

【氏名又は名称原語表記】Ｃａｍｂｒｉｏｓ Ｆｉｌｍ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ （Ｘｉａｍｅｎ） Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ

(74)【代理人】

【識別番号】100103894

【弁理士】

【氏名又は名称】家入 健

(72)【発明者】

【氏名】リエン シウチェン

(72)【発明者】

【氏名】ツァイ ジアヤン

(72)【発明者】

【氏名】シャオ チーファン

【テーマコード（参考）】

5G307

【Ｆターム（参考）】

5G307FA02

5G307FB02

5G307FC04

5G307FC10

(57)【要約】

【課題】曲げ抵抗や視認性が悪いという問題を克服し、曲げやすさと高い遮水性能により、タッチセンサに適切に適用することができる透明導電性フィルムを提供すること。
【解決手段】本開示に係る透明導電性フィルムは、基板と、基板上に配置された金属ナノワイヤ層と、吸水性粒子を有し、金属ナノワイヤ層上に配置された遮水保護層とを備え、透明導電性フィルムは、ＦＴＩＲにより２７５０ｃｍ^－１～３０００ｃｍ^－１の波数領域に第一吸収ピークと、３０００ｃｍ^－１～３７５０ｃｍ^－１の波数領域に第二吸収ピークを有し、第一吸収ピークの最大ピーク強度に対する第二吸収ピークの最大ピーク強度の比は０．１８～０．５０であり、透明導電性フィルムのヘイズ値は１．７％以下であるものである。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板と、
前記基板上に配置された金属ナノワイヤ層と、
吸水性粒子を有し、前記金属ナノワイヤ層の上に配置された遮水保護層と、を備える透明導電性フィルムであって、
フーリエ変換赤外分光法（ＦＴＩＲ）により、２７５０ｃｍ^－１～３０００ｃｍ^－１の波数領域に第一吸収ピーク、３０００ｃｍ^－１～３７５０ｃｍ^－１の波数領域に第二吸収ピークを有し、
前記第一吸収ピークの最大ピーク強度に対する前記第二吸収ピークの最大ピーク強度の比が０．１８～０．５０であり、
ヘイズ値が１．７％以下である
透明導電性フィルム。

【請求項2】

前記第一吸収ピークのスペクトル積分面積に対する前記第二吸収ピークのスペクトル積分面積の比が０．６１８～１．４１０の範囲である
請求項１に記載の透明導電性フィルム。

【請求項3】

金属ナノワイヤによって形成された複数の電極を含む
請求項１に記載の透明導電性フィルム。

【請求項4】

前記複数の電極間のギャップ距離が３０μｍ～２００μｍである
請求項３に記載の透明導電性フィルム。

【請求項5】

直流、電圧５Ｖ、８５℃／８５％である高温高湿度環境の試験条件において、前記ギャップ距離がｘμｍ、電源を入れた時間がｙ時間のとき、前記透明導電性フィルムのワイヤ抵抗変化率が１０％未満であり、ｘとｙがｙ＝０．５３１７９ｘ＋３６４．４７９７７の関係に従う
請求項４に記載の透明導電性フィルム。

【請求項6】

直流、電圧５Ｖ、８５℃／８５％である高温高湿度環境の試験条件において、４００時間電源を入れたとき、前記透明導電性フィルムのワイヤ抵抗変化率が１０％未満である
請求項１～３のいずれか一つに記載の透明導電性フィルム。

【請求項7】

前記透明導電性フィルムの可視光透過率が９２％～９７％の範囲である
請求項１～３のいずれか一つに記載の透明導電性フィルム。

【請求項8】

前記透明導電性フィルムの黄色度が０．５未満である
請求項１～３のいずれか一つに記載の透明導電性フィルム。

【請求項9】

前記遮水保護層の厚さが１μｍ～１５μｍである
請求項１～３のいずれか一つに記載の透明導電性フィルム。

【請求項10】

前記遮水保護層内の前記吸水性粒子の体積比率が１％～５％である
請求項１～３のいずれか一つに記載の透明導電性フィルム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、透明導電性フィルム、特に、屈曲性と高い遮水性能を有する銀ナノワイヤを含む透明導電性フィルムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、タッチセンサのタッチセンシング電極には、ナノ銀線層を含む透明導電膜が用いられてきた。

【0003】

例えば、特許文献１には、導電性物質として金属材料を用いた導電層と、導電層と接触する接着層を少なくとも含む透明導電性シートが開示されている。さらに、接着層は、コモノマー成分として親水性アクリルモノマーを含むアクリル共重合体と、吸湿剤と金属イオン捕捉剤からなる群から選択される少なくとも１つの移動抑制剤とを含む。

【0004】

これにより、特許文献１の透明導電性シートは、導電層を構成する金属材料の移動による断線や短絡の発生を抑制することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】台湾特許第Ｉ６７５８９５号明細書

【特許文献2】米国特許第８４５４７２１号明細書

【特許文献3】米国特許第９６７２９５０号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、タッチセンシング電極の位置がタッチパネルの可視領域に存在するため、特許文献１などの従来技術では、通常、接着層の親水性モノマー濃度が１５％以上と高く、電極の可視性（可視光透過率、ヘイズを含む）に影響を与える。また、粘着層に含まれる吸湿剤や金属イオン捕捉剤なども電極の視認性に影響を与え、タッチパネル全体の視認性に悪影響を及ぼす。

【0007】

接着層の厚さは、タッチ電極全体の視認性にも関係する。このことから、耐屈曲性の機能を持ちながら、導電膜の電気的性質と優れた視認性をいかに維持するかが、喫緊の課題となっている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の問題を解決するために、本開示では、透明導電性フィルムの一側面として、基板と、基板上に配置された金属ナノワイヤ層と、吸水性粒子を有し、金属ナノワイヤ層上に配置された遮水保護層とを含み、フーリエ変換赤外分光法（ＦＴＩＲ）により、２７５０ｃｍ^－１～３０００ｃｍ^－１の波数領域に第一吸収ピークと、３０００ｃｍ^－１～３７５０ｃｍ^－１の波数領域に第二吸収ピークを有し、第一吸収ピークの最大ピーク強度（第二吸収ピーク／第一吸収ピーク）に対する第二吸収ピークの最大ピーク強度の比は０．１８～０．５０であり、透明導電性フィルムのヘイズ値が１．７％以下である。

【0009】

一実施形態では、第一吸収ピークのスペクトル積分面積に対する第二吸収ピークのスペクトル積分面積の比は０．６１８～１．４１０の範囲である。

【0010】

一実施形態では、金属ナノワイヤによって形成された複数の電極を含む。

【0011】

一実施形態では、複数の電極間のギャップ距離が３０μｍ～２００μｍである。

【0012】

一実施形態では、直流、電圧５Ｖ、８５℃／８５％である高温高湿度環境の試験条件において、ギャップ距離がｘμｍ、電源を入れた時間がｙ時間のとき、透明導電性フィルムのワイヤ抵抗変化率は１０％未満であり、ｘとｙがｙ＝０．５３１７９ｘ＋３６４．４７９７７の関係に従う。

【0013】

一実施形態では、直流、電圧５Ｖ、８５℃／８５％である高温高湿度環境の試験条件において、４００時間電源を入れたとき、透明導電性フィルムのワイヤ抵抗変化率は１０％未満である。

【0014】

一実施形態では、透明導電性フィルムの可視光透過率は９２％～９７％の範囲である。

【0015】

一実施形態では、透明導電性フィルムの黄色度（ｂ^＊）は０．５未満である。

【0016】

一実施形態では、遮水保護層の厚さは１μｍ～１５μｍの範囲である。

【0017】

一実施形態では、遮水保護層内の吸水性粒子の体積比率は１％～５％の範囲である。

【発明の効果】

【0018】

本開示の透明導電性フィルムは、従来の透明導電性フィルムの耐曲げ性の悪さや視認性の悪さという問題を克服することができ、また、本開示の透明導電性フィルムは、曲げ性の向上と高い遮水性能という利点を有するため、タッチセンサに適切に適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本開示の一実施形態による透明導電性フィルムの概略図である。

【図2】参照例および例１、４、７の透明導電性フィルムのＦＴＩＲスペクトルである。

【図3】参照例と例１の銀移動試験図である。

【図4】銀移動試験サンプルの製造のフローチャートである。

【図5】銀移動試験試料のギャップ距離と寿命の関係を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下に、特定の実施形態による本開示の実施について説明し、当業者は、本明細書に開示された内容から本開示の他の利点および効果を理解することができる。本開示は、他の異なる実施形態によっても実装または適用することができ、本仕様の様々な詳細も、本開示の精神を逸脱することなく、異なる視点および用途に基づいて修正および変更することができる。

【0021】

本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用されている単数形は、文脈上特に指定されていない限り、複数の意味を含む。

【0022】

文脈上特に明記されていない限り、明細書及び添付の特許請求の範囲において使用されている「又は」という用語は、「及び／又は」の意味を含む。

【0023】

本明細書及び添付の特許請求の範囲において使用されている「Ａ～Ｂ」という用語は、文脈において特に明記されていない限り、「Ａ以上Ｂ以下」の意味を含む。例えば、「３０～１５０μｍ」は、「３０μｍ以上１５０μｍ以下」という意味が含まれる。

【0024】

＜透明導電性フィルム＞
まず、図１を参照して、本開示の一実施形態による透明導電性フィルム１０について説明する。透明導電性フィルム１０は、図１に示すように、基板１、金属ナノワイヤ層２、遮水保護層３を含む。金属ナノワイヤ層２は基板１上に配置され、遮水保護層３は金属ナノワイヤ層２上に配置される。

【0025】

基板１の材質は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、環状オレフィン共重合体（ＣＯＰ）、無色ポリイミド（ＣＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）のいずれかから選択できる。また、基板１の厚さは、１５μｍ～１２５μｍ、好ましくは２５μｍ～１００μｍ、より好ましくは３０μｍ～５０μｍである。ここで、基板１の厚さが１５μｍ未満の場合、工程内での操作が容易でなく、張力の制御がうまくできず、膜切れを起こしやすく、工程の難易度が高くなる。一方、基板１の厚さが１２５μｍを超えると、全体の光学系や柔軟性に影響を与える。

【0026】

次に、金属ナノワイヤ層２に関する限り、金属ナノワイヤ層２はキャッピング層で覆われた金属ナノワイヤを含む。銀、金、銅、ニッケル、金メッキ銀など、あらゆる金属ナノワイヤを使用できるが、これに限定されない。その中でも、コストや導電性の観点から銀ナノワイヤが好まれており、銀ナノワイヤの製造方法が特許文献２、３に記載されており、いずれも参考として組み込まれている。キャッピング層は、例えば、金属ナノワイヤ層２を形成するために金属ナノワイヤを固定するエポキシアクリル、ウレタンアクリル、ポリエステルアクリル、ポリエーテルアクリル樹脂などのアクリル酸樹脂を接着剤としたポリマー材料とすることができる。また、金属ナノワイヤ層２の厚さは、２０～１２０ｎｍが好ましく、より好ましくは３０～１００ｎｍ、最も好ましくは４０～９０ｎｍであり、金属ナノワイヤ層２の金属ナノワイヤ試料をスライスした後、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）による断面分析を行うことによって厚さを測定することができる。この厚さ範囲の金属ナノワイヤ層２と、後述する遮水保護層３により、より良い導電効果が得られる。

【0027】

また、遮水保護層３の材質に限って言えば、遮水保護層３は、アクリル系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリオレフィン系接着剤、ポリウレタン系接着剤、ゴム、エポキシ系接着剤など、特定の透水範囲を有する高分子材料が主体であり、さらに、遮水保護層３は、吸水性粒子４を含み、吸水性粒子４の遮水保護層３内の体積比率は、１％～５％が好ましい。吸水効果と視認性の両方の要件が得られれば、吸水性粒子４の相対体積を制限する必要はない。吸水性粒子４に関する限り、吸水性粒子４は、ポリイミドブロック共重合体等によって修飾されたポリエチレンを含むが、これに限定されないポリオレフィンアミドポリマーを含むことができる。ポリイミドブロック共重合体で修飾された前述のポリエチレンの主コロイド構造は、ポリオレフィンセグメントを９５～９９％含み、吸水性官能基は水と結合できるアミン基に由来する。驚くべきことに、本開示で使用される吸水性粒子４は、金属（銀など）イオンの移動によって生じる開回路と短絡を回避する吸水性と全体的に優れた視認性を同時に達成するためには、遮水保護層３の体積比で１％～５％である必要があるだけである。

【0028】

従来技術と比較して、本開示の一実施形態では、吸水性粒子４の比率を遮水保護層３の体積比で５％未満に制御することにより、全体的な光学特性の低下、特に過度に高いヘイズ値の問題を効果的に回避することができる。吸水性粒子４の割合が遮水保護層３の体積比で５％を超えると、遮水保護層３と金属ナノワイヤ層２との密着性が低下し、透明導電性フィルム１０を曲げると透明導電性フィルム１０の全体構造が剥がれて開回路となることがある。また、吸水性粒子４の割合が遮水保護層３の体積比で１％未満の場合は、望ましい吸水効果が得られない。

【0029】

また、遮水保護層３の厚さも透明導電性フィルム１０の全体的な性質に関係する。遮水保護層３の厚みが増すと、層間の密着性が向上し、剥離を避けることができる。ただし、遮水保護層３の厚さが厚すぎると、透明導電性フィルム１０の全体的な光学特性に影響を与える場合がある。したがって、遮水保護層３の厚さは、１～１５μｍが好ましく、５～１５μｍがより好ましく、５～１０μｍが特に好ましい。ここで、遮水保護層３の厚さが１μｍ未満であると、金属ナノワイヤ層２の金属が酸化され、導電性に影響を与える。一方、遮水保護層３の厚さが１５μｍを超えると接触インピーダンスが高くなり、電気信号の伝送に支障をきたす。

【0030】

また、遮水保護層３の厚さを考慮しつつも、透明導電性フィルム１０の視認性（例えばヘイズ）に影響を与えないように吸水性粒子４の充填率を考慮する必要がある。具体的には、遮水保護層３の厚さが１μｍ未満の場合、遮水保護効果が十分に発揮されないことがある。一方、遮水保護層３の厚さが１５μｍを超えると、透明導電性フィルム１０の全体的な光学特性に影響を与える場合がある。

【実施例0031】

以下、具体的に例示と比較例を参照して本開示を説明する。

【0032】

基板の材料にはＰＥＴ（東レ製Ｕ４８３）を用い、基板の厚さは５０μｍとした。次に基板上に銀ナノワイヤ層を塗布し、銀ナノワイヤ層の厚さを４０ｎｍとした。参照例では、遮水保護層をコーティングせずに、参照例の透明導電性フィルムを形成した。

【0033】

（光学的性質の決定）
透明導電性フィルムの可視光透過率（Ｔ％）、ヘイズ（％）、黄色度（ＣＥＩＬＡＢ色空間のｂ^＊）は、従来の測定方法で測定することができる。例えば、透明導電性フィルムの光透過率とヘイズは卓上透過型ヘイズ計（ＢＹＫガードナー製ヘイズガードプラス）を用いた透過法で測定し、透過スペクトルは１５０ｍｍ積分球を用いた紫外可視光分光計（ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ社製、ラムダ６５０）で測定し、黄色度（ｂ＊）はＣＩＥ標準観測者関数の式で算出した。本開示では、透明導電性フィルムのヘイズは１．７％以下、可視光透過率（Ｔ％）は９２～９７％、黄色度（ｂ^＊）は０．５以下であることが望ましい。

【0034】

次に、次の表１の吸水性粒子の含有量と遮水保護層の厚さに応じて、さらに参照例の銀ナノワイヤ層に遮水保護層を塗布して、例１～７及び比較例１～２の透明導電性フィルムを作製した。各実施例及び比較例の遮水保護層はアクリル系接着剤であり、吸水性粒子として特定の含有量のポリイミドブロック共重合体で改質したポリエチレンを含有している。その後、参照例１～７、比較例１～２の透明導電性フィルムについて光学的性質の測定を行い、その結果を表１にまとめた。

【0035】

【表1】

【0036】

まず、表１から、遮水保護層を塗布していない場合、参照例の透明導電性フィルムが最もヘイズ（０．４６％）が低いことがわかる。しかし、ナノ銀自体に固有の電解問題があるため、特に電気と水分の条件下では銀移動現象が起こりやすく、ナノ銀の信頼性はさらに低下する。そのため、参照例の透明導電性フィルムは寿命が短く（後述の銀移動試験を参照）、光学的性質に影響を与えることなく、さらに遮水保護層をコーティングする必要がある。

【0037】

次に、表１に示すように、遮水保護層を塗布した後は、遮水保護層は可視光透過率（例えば、波長が４００ｎｍ～７００ｎｍの光の透過率）にはほとんど影響しないが、ヘイズや黄色度には大きな影響を与える。吸水性粒子の含有量が小さい（体積比で約１±０．５％）または中程度（体積比で約２．５±０．５％）の条件下では、遮水保護層の厚さを５μｍ～１５μｍとすることができ、いずれも許容条件下（ヘイズ値が１．７％未満、黄色度が０．５未満）では銀イオンの移動を抑制できることが例１～６から分かる。

【0038】

また、表１からわかるように、吸水性粒子の含有量が多い（体積比で５±０．５％程度）場合、遮水保護層の厚さが１０μｍまたは１５μｍ（比較例１～２を参照）となると、ヘイズ値が急激に上昇（１．７％以上）することがわかり、比較例２では黄色度が０．５を超える現象も見られるため、比較例１～２は良くない。この現象は吸水性粒子中の－ＣＨ基と－ＮＨ基の極性の不一致によるものである。比較例１と比較例２の吸水性粒子の含有量が多すぎ、遮水保護層が厚すぎるため、分子間水素結合が増加して分子配列が乱れ、さらにヘイズや黄色度が急激に増加する。このことから、吸水性粒子の含有量が体積比で１±０．５～２．５±０．５％の条件下では、遮水保護層の厚さが１５μｍであっても、本開示で求められるヘイズ値（１．７％以下）を満たすことが分かる。ただし、吸水性粒子の含有量が体積比で５±０．５％の条件下で、遮水保護層の厚さが１０μｍまたは１５μｍの場合には、本開示の所望のヘイズ値（１．７％以下）を満たすことができない。

【0039】

次に、図２、表２、表３を参照して、上記の現象についてさらに議論を進める。図２は、参照例および例１、４、７の透明導電性フィルムのフーリエ変換赤外分光法（ＦＴＩＲ）スペクトルである。また、吸収スペクトル強度を正規化した後、図２からそれぞれのピーク強度値を、図２から吸収スペクトルを積分する方法でそれぞれのスペクトル積分面積を計算することができる。その結果を以下の表２および表３にまとめる。

【0040】

【表2】

【0041】

図２に示すように、参照例には遮水保護層が塗布されていないため、吸水性粒子からの－ＣＨ基と－ＮＨ基の特徴的なピークは観測されない。また、図２に示すように、例１、４、７では、約２９４５ｃｍ^－１の位置に－ＣＨ基の特性ピークが、約３４５０ｃｍ^－１の位置に－ＮＨ基の特性ピークが観測されている。また、例１、４、７の－ＣＨ基特性ピークの最大強度は０．９２２～０．９９９の範囲であり、実施例間の差異はほとんどないのに対し、－ＮＨ基特性ピークの最大強度は０．１７３～０．３７８の範囲であり、実施例間で大きな差があった。

【0042】

また、図２では、－ＣＨ基特性ピーク（２７５０ｃｍ^－１～３０００ｃｍ^－１波数領域の第一吸収ピーク）と－ＮＨ基特性ピーク（３０００ｃｍ^－１～３７５０ｃｍ^－１波数領域の第二吸収ピーク）の最大ピーク強度比（第二吸収ピーク／第一吸収ピーク）が吸水性を表している。最大ピーク強度比（強度比とも呼ばれる）が大きいほど、吸水能力が高くなる。本開示では、第一吸収ピークの最大ピーク強度と第二吸収ピークの最大ピーク強度の比は０．１８～０．５０の範囲である。強度比が０．１８未満の場合、Ｎ－Ｈ結合の数が少なすぎるため、十分な吸水・遮水効果が得られない。比較すると、強度比が０．５０を超えると光学的性質が低下することがあり、遮水保護層の厚さが薄い（例：５μｍ）場合でも、ヘイズが２％を超えることがあり、透明導電性フィルムのさらなる適用には不利である。

【0043】

具体的には、本開示で使用される吸水性粒子の主成分は、イミン環（－ＣＯ－ＮＨ－ＣＯ－）を含む有機高分子材料であるポリイミドを含むため、ポリイミドの分子鎖は多数の芳香族基（例えばベンゼン環、イミド結合などである。）を含む。そのため、熱安定性や機械的・電気的・化学的特性に優れているだけでなく、吸水性も高い。

【0044】

また、図２と次の表３に示すように、第一吸収ピークのスペクトル積分面積（第二吸収ピークのスペクトル積分面積／第一吸収ピークのスペクトル積分面積）に対する第二吸収ピークのスペクトル積分面積の比（０．６１８～１．４１０）においても、吸水性と光学的性質の適切なバランスをとることができる。

【0045】

【表3】

【0046】

次に、以下のサンプル製造方法により、本開示が銀移動機構の発生を抑制できることが証明される。

【0047】

（サンプルの製造方法）
まず、図４のフローチャートに従って、参照例と例１を基に銀移動試験用のサンプルを作成した。具体的には、サンプルの作製には、ナノ銀および銅パッドパターニングプロセス（Ｓ１～Ｓ６）および銅ウィンドウニングプロセス（Ｓ７～Ｓ１０）が含まれる。
Ｓ１：参照例の透明導電性フィルムの金属ナノワイヤ層２となる銀ナノワイヤ層上に厚さ約２００ｎｍの金属銅層５をスパッタした。また、実施例１の透明導電性フィルムの遮水保護層（不図示）の上に厚さ約２００ｎｍの金属銅層５をスパッタした。
Ｓ２：Ｓ１に続いて、各金属銅層５上にフォトレジスト６の層を塗布した。
Ｓ３：Ｓ２に続いて、銀ナノワイヤ層と銅パッド（層）の線と電極パターンを規定する第一マスクを使用して露光と現像処理を行った。
Ｓ４：Ｓ３に続いて、銅エッチング液を用いて銅エッチングを行い、銅回路と電極の作製を完了した。
Ｓ５：Ｓ４に続いて、銀エッチング液を用いてナノ銀エッチングを行い、銀ナノワイヤ電極の作製を完了した。
Ｓ６：Ｓ５に続いて、剥離液を用いてフォトレジスト６を剥離除去し、銀ナノワイヤ層と銅パッド（層）のパターニング工程が完了した。
Ｓ７：Ｓ６に続いて、銀ナノワイヤ層と銅パッドをパターン化した後、透明導電性フィルム上にフォトレジスト６’の層をコーティングした。
Ｓ８：Ｓ７に続いて、第二のマスクを使用して露光・現像処理を行い、銅窓パターンを定義した。
Ｓ９：Ｓ８に続いて銅エッチング液を用いて銅エッチングを行った。
Ｓ１０：最終的にＳ９の後、剥離液を用いてフォトレジスト６’を剥離除去し、銅のウィンドウプロセスを完了して銀移動試験用のサンプルを得た。

【0048】

銀移動試験のサンプルを８５℃／８５％である高温高湿度環境に置き、直流（ＤＣ）と５Ｖの電圧を印加して、これらの試験条件において銀ナノワイヤ層内の銀ナノワイヤの抵抗の時間に対する分散を追跡した。銀ナノワイヤ電極の幅は１００μｍ、銀ナノワイヤ電極間の間隔（ギャップ距離）は５０μｍである。銀移動試験の結果は図３、図５を参照されたい。さらに、銀ナノワイヤ電極間のギャップ距離を３０μｍ～２００μｍの間で調整することができる。

【0049】

図３は参照例と例１の銀移動試験のグラフである。図３に示すように、約４５時間の電源投入後、参照例の透明導電性フィルムのワイヤ抵抗変化率が１０％を超えている。これに対して、実施例１の透明導電性フィルムのワイヤ抵抗変化率は、約４５０時間の電源投入後でも１０％を超える程度である。このことから、参照例の透明導電性フィルムと比較して、実施例１の透明導電性フィルムは、過酷な銀移動試験条件（直流、電圧５Ｖ、８５℃／８５％）において、４５時間～４５０時間と約１０倍の寿命（ワイヤ抵抗変化率が１０％以上になるまでの時間）を持つことが分かる。また、実施例１の透明導電性フィルムのワイヤ抵抗変化率は、約４００時間電源を入れても約８％しか変化しない。

【0050】

また、図５に示すように、一般的に電極の線幅は銀イオンの移動に影響を与えないため、固定線幅が１００μｍ、ギャップ距離がそれぞれ３０μｍ、５０μｍ、１００μｍ、２００μｍの条件で試験を行い、３８０時間、３９０時間、４２０時間、４７０時間の抵抗変化率は試験に合格した時点で１０％未満である。したがって、ギャップ距離は寿命と線形の関係にあり、その関係はｙ＝０．５３１７９ｘ＋３６４．４７９７７（ｘ＝ギャップ距離、ｙ＝寿命）と表すことができることがわかる。

【0051】

上記の結果から、本開示の透明導電性フィルムの信頼性は、電子製品性能における銀ナノワイヤ層の安定性をさらに向上させることができる、遮水保護層を使用することによって大幅に向上することがわかる。

【0052】

本開示の透明導電性フィルムは、タッチセンサのタッチセンシング電極に適用することができる。さらに、フラット／フレキシブルタッチディスプレイ、有機太陽光発電（ＯＰＶ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）照明、スマートウィンドウ、および透明導電性フィルムを含む可能性のあるその他の製品にも適用できる。

【0053】

要約すると、本開示の透明導電性フィルムおよびその応用は、少なくとも以下の優れた技術的効果を有する。
１．本開示の透明導電性フィルムは、屈曲可能な効果を有し、導電層の導電性を損なうことなく層間接着を維持することができる。
２．本開示の透明導電性フィルムは、過酷な環境における銀イオンの移動を抑制することができ、導電性を犠牲にすることなく、特にヘイズ特性において顕著な優れた可視性効果を有することができる。

【0054】

本開示は、上記の実施例に限定されるものではなく、請求項に示された範囲内で様々な修正を加えることができ、異なる実施例で開示された技術的手段を適切に組み合わせて得られた実施例も本開示の技術的範囲に含まれる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】