特開 2024-41056 プローブジョイント及びバネ式プローブ構造

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024041056

(43)【公開日】2024-03-26

(54)【発明の名称】プローブジョイント及びバネ式プローブ構造

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20240318BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R1/067 B

【審査請求】有

【請求項の数】18

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023146582

(22)【出願日】2023-09-09

(31)【優先権主張番号】111134566

(32)【優先日】2022-09-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】523281076

【氏名又は名称】晝思有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＡＺＯＴＨ ＳＴＵＤＩＯ ＬＴＤ． ＣＯ．

(74)【代理人】

【識別番号】100228304

【弁理士】

【氏名又は名称】呂 勁毅

(72)【発明者】

【氏名】林卓儀

【テーマコード（参考）】

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G011AA09

2G011AB01

2G011AB03

2G011AB04

2G011AB05

2G011AC21

2G011AC31

2G011AE03

2G011AF05

(57)【要約】

【課題】高硬度、長い測定寿命を有するのみならず、コストが低く、納期が短く、製造が容易なメリットを有し、測定時に高電流伝達効果及び低抵抗値の安定性を有するＭＥＭＳプローブヘッドを提供する。
【解決手段】プローブヘッド及び導電部材を含むプローブジョイントであって、プローブヘッドは、互いに接続されている接触部及びドッキング部を含み、プローブヘッドは、ＭＥＭＳプロセスによって作成され、接触部は、ドッキング部の一端に位置し、サイズがドッキング部から離れるにつれて小さくなり、接触部は、測定対象と接触するように用いられ、ドッキング部は、径方向に延長する変形可能部を有し、導電部材は、接続セクションを有し、接続セクションの一端は、凸部及びノッチを有し、凸部は、キャリア空間を形成し、ノッチは、キャリア空間に連通し、組み合わせる際に、ドッキング部がキャリア空間に設置される。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プローブヘッド及び導電部材を含むプローブジョイントであって、
前記プローブヘッドは、互いに接続されている接触部及びドッキング部を含み、
前記プローブヘッドは、ＭＥＭＳプロセスによって作成され、
前記接触部は、前記ドッキング部の一端に位置し、サイズが前記ドッキング部から離れるにつれて小さくなり、
前記接触部は、測定対象と接触するように用いられ、
前記ドッキング部は、径方向に延長する変形可能部を有し、
前記導電部材は、接続セクションを有し、
前記接続セクションの一端は、凸部及びノッチを有し、
前記凸部は、キャリア空間を形成し、
前記ノッチは、前記キャリア空間に連通し、組み合わせる際に、前記ドッキング部が前記キャリア空間に設置され、
前記変形可能部は、前記ノッチを通じて前記接続セクションの外部に延長し、
前記変形可能部は、外力を受けて変形される場合、前記凸部に変形部を形成し、
前記変形部は、前記プローブヘッドと前記導電部材が分離できないように、前記凸部の外周面の少なくとも一部を部分的に囲むことを特徴とするプローブジョイント。

【請求項2】

前記ドッキング部は、ビッカース硬度（Ｈｖ）が５００以下であることを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項3】

前記ドッキング部及び前記変形可能部の硬度は、前記接触部の硬度以下であることを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項4】

前記接触部の高さは、５２５μｍよりも低く、
前記ドッキング部の高さは、１０００μｍよりも低いことを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項5】

前記ドッキング部及び前記変形可能部は、国際的に採択された焼鈍標準軟銅の３０％以上の材料であることを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項6】

前記ドッキング部及び前記変形可能部の材料は、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、カーボン（Ｃ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、タングステン（Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）、錫（Ｓｎ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、インジウム（Ｉｎ）及びルテニウム（Ｒｕ）から選択される少なくとも１種類の元素を含むことを特徴とする請求項５に記載のプローブジョイント。

【請求項7】

前記変形可能部は、少なくとも一部が前記接触部の外周及び前記ノッチの範囲を超えることを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項8】

前記ドッキング部及び前記変形可能部で形成された径方向サイズは、前記キャリア空間及び前記ノッチで形成された径方向サイズよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項9】

前記変形可能部の幅は、前記ノッチの幅以下であることを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項10】

前記変形部の数は、複数であり、
複数の前記変形部の少なくとも１つの面積は、他の前記変形部の面積とは異なることを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項11】

前記変形可能部の外周面には、フランジを有し、
前記フランジは、前記凸部の外周面を部分的に囲むことを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項12】

前記導電部材の材料は、銅及び銅合金であり、
前記銅合金は、銅（Ｃｕ）、並びに銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、カーボン（Ｃ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、タングステン（Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）、錫（Ｓｎ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、インジウム（Ｉｎ）ホウ素（Ｂ）、リン（Ｐ）、亜鉛（Ｚｎ）、クロム（Ｃｒ）及びルテニウム（Ｒｕ）から選択される少なくとも１種類の合金元素を含むことを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項13】

前記凸部の数は、複数であり、
複数の前記凸部の少なくとも１つの形状は、他の前記凸部の形状とは異なることを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項14】

前記ノッチの数は、複数であり、
複数の前記ノッチの少なくとも１つの幅は、他の前記ノッチの幅とは異なることを特徴とする請求項１に記載のプローブジョイント。

【請求項15】

プローブジョイントと、パイプと、プランジャーと、弾性部材とを備えるバネ式プローブ構造であって、
前記プローブジョイントは、プローブヘッド及び導電部材を含み、
前記プローブヘッドは、互いに接続されている接触部及びドッキング部を含み、
前記プローブヘッドは、ＭＥＭＳプロセスによって作成され、
前記接触部は、前記ドッキング部の一端に位置し、サイズが前記ドッキング部から離れるにつれて小さくなり、
前記接触部は、測定対象と接触するように用いられ、
前記ドッキング部は、径方向に延長する変形可能部を有し、
前記導電部材は、接続セクションを有し、
前記接続セクションの一端は、凸部及びノッチを有し、
前記凸部は、キャリア空間を形成し、前記ノッチは、前記キャリア空間に連通し、組み合わせる際に、前記ドッキング部が前記キャリア空間に設置され、
前記変形可能部は、前記ノッチを通じて前記接続セクションの外部に延長し、
前記変形可能部は、外力を受けて変形される場合、前記凸部に変形部を形成し、
前記変形部は、前記プローブヘッドと前記導電部材が分離できないように、前記凸部の外周面の少なくとも一部を部分的に覆い、
前記接続セクションは、前記キャリア空間から離れた他のセクションにおいて、さらに第１ネックセクション、第２ネックセクション及び第３ネックセクションを含み、
前記第２ネックセクションは、前記第１ネックセクションと前記第３ネックセクションとの間に位置するとともに、径方向サイズが前記第１ネックセクション及び前記第３ネックセクションのそれぞれの径方向サイズよりも小さく、
前記パイプは、放置空間を有し、
前記導電部材は、前記第３ネックセクションで前記放置空間内に挿入した後、前記パイプの外壁が外力を受けて前記パイプ内に突出するキャッチ部が形成され、
前記キャッチ部は、前記パイプと前記導電部材との分離を防止するように、前記第２ネックセクションに固定されており、
前記プランジャーは、移動可能に前記パイプの前記放置空間内に設置され、
前記プランジャーは、サイズの小さいピン部が前記パイプの外部に延長することができ、
前記プランジャーは、離脱しないように、前記パイプ内に移動でき、
前記弾性部材は、圧縮可能なバネであり、
前記弾性部材は、前記放置空間内に設置され、両端が前記プランジャー及び前記プローブヘッドにそれぞれ接触されることを特徴とするバネ式プローブ構造。

【請求項16】

前記接続セクションの外径は、前記パイプの内径以上であることを特徴とする請求項１５に記載のバネ式プローブ構造。

【請求項17】

前記第３ネックセクションの外径は、前記パイプの内径以下であることを特徴とする請求項１５に記載のバネ式プローブ構造。

【請求項18】

前記キャッチ部は、前記第２ネックセクションの一部の外周面の少なくとも一部に部分的に固定されていることを特徴とする請求項１５に記載のバネ式プローブ構造。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電気的測定に用いられるプローブに係る技術分野に属し、特にコストが低く、納期が短く、製造が容易なＭＥＭＳジョイントであって、組み合わせた安定性が優れ、高電流伝達特性を有するプローブジョイント及びバネ式プローブ構造に関する。

【背景技術】

【0002】

ウェハは、半導体製造工程によって製造された後、多数のダイの品質をチェックするために、電気的接触を介して信号伝達が正常に動作し、又は演算することができるかを測定する必要がある。一般には、ダイ回線の電気的接続が確実であるか、又は信号伝達に問題があるかを測定するために、プローブを測定装置と測定対象であるチップとの間における測定媒介として、信号伝達及び電気信号分析により、測定対象であるダイの測定結果を取得する。

【0003】

プローブ装置は、測定時に、場合によって、例えば、接触パッドのような平面の構造を測定するのではなく、三次元の接触構造、例えば、導体材料からなるボール形状を測定することもある。このような三次元の接触構造について、ボールである場合はバンプと呼ばれ、金属柱（特に銅である）である場合はボスと呼ばれる。当該ボールやボスは、測定対象の表面から突出した。上記測定作業に適用されるものは、バネ式プローブが好ましい。

【0004】

図１は、従来のバネ式プローブを示す模式図である。当該バネ式プローブは、長筒状のケース９０の両端にプローブヘッド９１とプランジャー９２がそれぞれ設置される。前記プローブヘッド９１は、前記ケース９０の上部に固定されるとともに、前記プランジャー９２が前記ケース９０から離脱しないように短距離で線的に移動することができる。前記ケース９０には、バネ９３がさらに設けられる。前記バネ９３の両端は、接触時にクッションのある弾性を確保するために、前記プローブヘッド９１と前記プランジャー９２にそれぞれ接触される。測定時に、前記プランジャー９２がプローブ測定装置の回路に接触し、前記プローブヘッド９１が測定対象に接触する。前記測定対象は、例えば、ウェハに散在されるダイである。

【0005】

図１に係る実施例では、前記プローブヘッド９１は、ＭＥＭＳプロセスによって製造された。プローブヘッド９１は、先端が突出している接触部９１１、第１本体部９１２、第２本体部９１３、及び第３本体部９１４を有する。しかし、このようなＭＥＭＳプロセスによって製造されたプローブヘッド９１は、複数の平面が積層されてなる構造であって、半導体プロセスを用いて垂直方向に順に積層されたものである。金属ケース９０、バネ９３、及びプランジャー９２等の構造と組み合わせてバネ式プローブを構成する難易度を軽減するために、一定の高さまで積層されなければならない。詳しく言えば、プローブヘッド９１における各部品は、パターン転写工程、パターン現像工程、金属蒸着工程、研削・平坦化工程、エッチング工程等の複数の工程により製造される必要がある。また、各部品の厚さや高さが異なるから、複数の平面構造を積層して部品を製造するために、上記複数の工程を繰り返して行う必要がある。よって、全てＭＥＭＳプロセスによってプローブヘッドを製造する場合、コストが高く、製造期間が長くなるため、市場価格及び納期の要求を満たすことが困難となる。なお、製造コスト及び製造期間を減少するために、ＭＥＭＳプロセスによるプローブヘッド９１の平面構造の数を減少させることができるが、バネ式プローブを構成するために、微小なプローブヘッド９１をさらに金属ケース９０、バネ９３、プランジャー９２等の構造と組み合わせる必要がある。プローブヘッド９１のサイズが微小化になるほど、加工や組合いの困難性が高くなる。その原因として、プローブは、ＭＥＭＳプロセスによって製造された高硬度の接触端を備えるのみならず、電気的接触及び電気的分離を繰り返して測定を行う作業中では、部品間の剛性を維持しなければならないためである。よって、本発明は、測定寿命が長く、製造コストが低く、納期が短く、製造が容易なＭＥＭＳプローブヘッドを備えるバネ式プローブを製造することを課題としている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】台湾出願第１０９１４３３３３号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、プローブジョイント及びバネ式プローブを提供することを目的としている。前記プローブジョイントは、ＭＥＭＳプローブヘッド及び導電部材で構成される。両者は、それぞれ最適な製造手法で同時に製造された後、部品をリベットで固定することで、組み合わせた後の剛性を確保することができる。ＭＥＭＳプローブヘッドの高硬度を有するのみならず、全体として製造コストが低く、納期が短く、製造が容易なメリットも有する。続いて、バネ式プローブを完成した後、プローブが長時間の測定に用いられる場合、部品が分離することもないため、高い測定寿命、優れた剛性、高電流伝達効果、及び低抵抗値の安定性の要求を満たす。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記目的を実現するために、本発明は、下記手段を採用する。

【0009】

本発明は、プローブヘッド及び導電部材を含むプローブジョイントであって、前記プローブヘッドは、互いに接続されている接触部及びドッキング部を含み、前記プローブヘッドは、ＭＥＭＳプロセスによって作成され、前記接触部は、前記ドッキング部の一端に位置し、サイズが前記ドッキング部から離れるにつれて小さくなり、前記接触部は、測定対象と接触するように用いられ、前記ドッキング部は、径方向に延長する変形可能部を有し、前記導電部材は、接続セクションを有し、前記接続セクションの一端は、凸部及びノッチを有し、前記凸部は、キャリア空間を形成し、前記ノッチは、前記キャリア空間に連通し、組み合わせる際に、前記ドッキング部が前記キャリア空間に設置され、前記変形可能部は、前記ノッチを通じて前記接続セクションの外部に延長し、前記変形可能部は、外力を受けて変形される場合、前記凸部に変形部を形成し、前記変形部は、前記プローブヘッドと前記導電部材が分離できないように、前記凸部の外周面の少なくとも一部を部分的に囲むことを特徴とするプローブジョイントを提供する。

【0010】

好ましい実施形態として、前記ドッキング部は、ビッカース硬度（Ｈｖ）が５００以下である。

【0011】

好ましい実施形態として、前記ドッキング部及び前記変形可能部の硬度は、前記接触部の硬度以下である。

【0012】

好ましい実施形態として、前記接触部の高さは、５２５μｍよりも低く、前記ドッキング部の高さは、１０００μｍよりも低い。

【0013】

好ましい実施形態として、前記ドッキング部及び前記変形可能部は、国際的に採択された焼鈍標準軟銅の３０％以上の材料である。

【0014】

好ましい実施形態として、前記ドッキング部及び前記変形可能部は、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、カーボン（Ｃ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、タングステン（Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）、錫（Ｓｎ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、インジウム（Ｉｎ）及びルテニウム（Ｒｕ）から選択される少なくとも１種類の元素を含む。

【0015】

好ましい実施形態として、前記変形可能部は、少なくとも一部が前記接触部の外周及び前記ノッチの範囲を超える。

【0016】

好ましい実施形態として、前記ドッキング部及び前記変形可能部で形成された径方向サイズは、前記キャリア空間及び前記ノッチで形成された径方向サイズよりも大きい。

【0017】

好ましい実施形態として、前記変形可能部の幅は、前記ノッチの幅以下である。

【0018】

好ましい実施形態として、前記変形部の数は、複数であり、複数の前記変形部の少なくとも１つの面積は、他の前記変形部の面積とは異なる。

【0019】

好ましい実施形態として、前記変形可能部の外周面には、フランジを有し、前記フランジは、前記凸部の外周面を部分的に囲む。

【0020】

好ましい実施形態として、前記導電部材の材料は、銅及び銅合金であり、前記銅合金は、銅（Ｃｕ）、並びに銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、カーボン（Ｃ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、タングステン（Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）、錫（Ｓｎ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、インジウム（Ｉｎ）ホウ素（Ｂ）、リン（Ｐ）、亜鉛（Ｚｎ）、クロム（Ｃｒ）及びルテニウム（Ｒｕ）から選択される少なくとも１種類の合金元素を含む。

【0021】

好ましい実施形態として、前記ノッチの数は、複数であり、複数の前記ノッチの少なくとも１つの幅は、他の前記ノッチの幅とは異なる。

【0022】

好ましい実施形態として、前記凸部の数は、複数であり、複数の前記凸部の少なくとも１つの形状は、他の前記凸部の形状とは異なる。

【0023】

本発明は、プローブジョイントと、パイプと、プランジャーと、弾性部材とを備えるバネ式プローブ構造であって、前記プローブジョイントは、プローブヘッド及び導電部材を含み、前記プローブヘッドは、互いに接続されている接触部及びドッキング部を含み、前記プローブヘッドは、ＭＥＭＳプロセスによって作成され、前記接触部は、前記ドッキング部の一端に位置し、サイズが前記ドッキング部から離れるにつれて小さくなり、前記接触部は、測定対象と接触するように用いられ、前記ドッキング部は、径方向に延長する変形可能部を有し、前記導電部材は、接続セクションを有し、前記接続セクションの一端は、凸部及びノッチを有し、前記凸部は、キャリア空間を形成し、前記ノッチは、前記キャリア空間に連通し、組み合わせる際に、前記ドッキング部が前記キャリア空間に設置され、前記変形可能部は、前記ノッチを通じて前記接続セクションの外部に延長し、前記変形可能部は、外力を受けて変形される場合、前記凸部に変形部を形成し、前記変形部は、前記プローブヘッドと前記導電部材が分離できないように、前記凸部の外周面の少なくとも一部を部分的に覆い、前記接続セクションは、前記キャリア空間から離れた他のセクションにおいて、さらに第１ネックセクション、第２ネックセクション及び第３ネックセクションを含み、前記第２ネックセクションは、前記第１ネックセクションと前記第３ネックセクションとの間に位置するとともに、径方向サイズが前記第１ネックセクション及び前記第３ネックセクションのそれぞれの径方向サイズよりも小さく、前記パイプは、放置空間を有し、前記導電部材は、前記第３ネックセクションで前記放置空間内に挿入した後、前記パイプの外壁が外力を受けて前記パイプ内に突出するキャッチ部が形成され、前記キャッチ部は、前記パイプと前記導電部材との分離を防止するように、前記第２ネックセクションに固定されており、前記プランジャーは、移動可能に前記パイプの前記放置空間内に設置され、前記プランジャーは、サイズの小さいピン部が前記パイプの外部に延長することができ、前記プランジャーは、離脱しないように、前記パイプ内に移動でき、前記弾性部材は、圧縮可能なバネであり、前記弾性部材は、前記放置空間内に設置され、両端が前記プランジャー及び前記プローブヘッドにそれぞれ接触されることを特徴とするバネ式プローブ構造を提供する。

【0024】

好ましい実施形態として、前記接続セクションの外径は、前記パイプの内径以上である。

【0025】

好ましい実施形態として、前記第３ネックセクションの外径は、前記パイプの内径以下である。

【0026】

好ましい実施形態として、前記キャッチ部は、前記第２ネックセクションの一部の外周面の少なくとも一部に部分的に固定されている。

【0027】

従来技術と比べて、本発明は、ＭＥＭＥＳプロセス及び機械加工によりＭＥＭＳプローブジョイントが製造される。前記プローブジョイントは、高硬度の接触部及び高導電率の接続セクション等を有するのみならず、大量製造の場合、全てＭＥＭＥＳプロセスにより製造されたプローブヘッドと比べて、本発明は、ＭＥＭＳプロセスにより製造されたプローブヘッドの部品の数を減少することができる。例えば、公知の４層のＭＥＭＳプローブヘッドと比べて、２層に減縮されたＭＥＭＳプローブヘッドである本発明は、全てＭＥＭＳプロセスにより製造されたプローブヘッドの工程数及び製造コストを減少することができる。また、前記導電部材は、機械加工により製造された中実の円柱であるため、ドッキング部を有するＭＥＭＳプローブヘッドが前記導電部材の一端と組み合わせて剛性のあるプローブジョイントを容易かつ迅速に形成できる。これにより、ＭＥＭＥＳプロセスにより製造された接合部の数を減少し、プローブヘッドとパイプを組み合わせる歩留まりを向上させることができる。さらに、前記導電部材の他端と前記パイプがリベットされることにより、ＭＥＭＳプローブジョイントを有するバネ式プローブを形成することができる。本発明に係るＭＥＭＳプローブジョイントは、前記導電部材に係る製造コストが増加するが、全てＭＥＭＳプローブヘッドを採用する製造コスト及び製造期間を大幅に減少することができる。当該導電部材に係るコストは、ＭＥＭＳプロセスを採用する製造コスト及び時間コストよりもはるかに低くなるのみならず、少構造層数のＭＥＭＳプローブヘッドを組み合わせるときに歩留まりが悪くなる課題も改善することができる。さらにまた、前記ＭＥＭＳプローブヘッドと前記導電部材は、それぞれ前期工程で同時に製造されることができるため、製造期間を減縮させることができる。その後、接合してリベットすることにより、整合コストが低く、納期が短く、容易に製造なＭＥＭＳプローブヘッドを形成することで、プローブヘッドの製造コストを節約することができる。最後、パイプと組み合わせてＭＥＭＳプローブジョイントを備えるバネ式プローブを形成することで、測定時に、高硬度、長い測定寿命、高電流伝達効果及び低抵抗値の安定性を有するため、現在プローブの微小化という要求を満たすことができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】図１は、従来のバネ式プローブの分解模式図である。

【図2】図２は、本発明に係る第１実施例の分解模式図である。

【図3】図３は、本発明に係る第１実施例の組み合わせた後の立体図である。

【図4A】図４Ａは、本発明に係る他の実施例の接触部の図である。

【図4B】図４Ｂは、本発明に係るさらに他の実施例の接触部の図である。

【図5】図５は、本発明に係る第１実施例の断面拡大図である。

【図6A】図６Ａは、本発明に係る第２実施例の分解図である。

【図6B】図６Ｂは、本発明に係る第２実施例の断面模式図である。

【図7】図７は、本発明に係る第３実施例の分解図である。

【図8】図８は、本発明に係る第４実施例の分解図である。

【図9】図９は、本発明に係る第５実施例の分解図である。

【図10】図１０は、本発明に係る第６実施例の分解図である。

【図11】図１１は、本発明に係る第７実施例の分解図である。

【図12】図１２は、本発明に係る第８実施例の分解図である。

【図13】図１３は、本発明を備えるバネ式プローブの立体図である。

【図14】図１４は、本発明を備えるバネ式プローブの断面模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、具体的な実施例及び図面を参照しながら、本発明に係る技術を詳細に説明する。また、特に説明するものとして、一方の要素が他方の要素に「取り付けされ、又は固定される」と記載する場合は、一方の要素が他の要素に直接に設置され、又はさらなる要素を介して設置されることを意味する。さらに、一方の要素が他方の要素に「接続する」と記載する場合は、一方の要素が他の要素に直接に接続され、又はさらなる要素を介して接続されることを意味する。「軸方向」とは、要素の中心軸の方向を意味する。「径方向」とは、要素の中心軸に垂直である方向を意味する。実施例では、上、下、左、右、前、後等の方向は相対的であって、本願における異なる要素の構造及び動きが相対的であることを意味する。図面に示される位置に要素が設置される場合は、このような表現が正しい。しかし、要素の位置に関する説明が変わる場合、このような表現がそれに応じて変わる。

【0030】

特別な定義がない限り、本明細書に記載されている技術的用語及び科学的用語は、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が一般に理解できる意味と同一の意味を持つ。本明細書に記載されている技術的用語は、具体的な実施例を説明するために用いられるものであるから、本発明を制限するものではない。本明細書に記載されている「及び／又は」は、１つ又は複数の関連要素を任意に組み合わせ、又はその全部を組み合わせることを意味する。

【0031】

図２及び図３には、本発明に係る第１実施例の分解図及び組み合わせた後の立体図を示す。本発明に係るプローブジョイントは、プローブヘッド１０及び導電部材２０を含む。前記プローブヘッド１０は、互いに接続されている接触部１１及びドッキング部１２を含む。前記プローブヘッド１０は、ＭＥＭＳプロセスによって作成された多層の平面構造が垂直方向に積層されて作成された。前記接触部１１は、前記ドッキング部の一端に位置し、サイズが前記ドッキング部１２から離れるにつれて小さくなる。前記接触部１１は、測定対象と接触するように用いられる。前記ドッキング部１２は、周辺に変形可能部１２を有する。前記変形可能部１２は、径方向から外部へと延長する。前記導電部材２０は、導電性を有する金属柱状であり、接続セクションを有する。前記接続セクション２１の一端は、凸部２１１及びノッチ２１２を有する。前記凸部２１１は、キャリア空間２１３を形成する。前記ノッチ２１２は、前記キャリア空間２１３に連通し、組み合わせる際に、前記ドッキング部１２が前記キャリア空間２１３に設置される。前記変形可能部１２１は、前記ノッチ２１２を通じて前記接続セクションの外部に延長する。前記変形可能部１２１は、外力を受けて変形される場合、前記凸部２１１の外周面に変形部１２２を形成する。前記変形部１２２は、前記プローブヘッド１０と前記導電部材２０が分離しないように、前記凸部２１１の外周面の少なくとも一部を部分的に覆う。このように構成されたプローブジョイントは、ＭＥＭＳプロセスによって製造された高硬度の接触部、及び機械加工された導電部材を有する。詳しく言えば、このように構成されたプローブジョイントは、ＭＥＭＳプロセスによる平面構造の数を減少し、ＭＥＭＳプローブヘッドの製造期間を減縮することができるとともに、機械加工された導電部材で補強されることができる。同様な製造工程により製造された場合、本発明は、全てＭＥＭＳプロセスによって製造されたプローブヘッドと比べると、製造された各部品をより迅速に組み合わせてプローブジョイントを製造することができるため、生産性を向上し、納期を短縮し、製造コストを低減することができる。さらに、部品がリベット留めされた後、依然として、ＭＥＭＳプローブヘッドの機能を保有し、その後に、組み合わせることにより、バネ式プローブの構造を容易に完成することができる。

【0032】

続いて、各部品の構造を詳しく説明する。

【0033】

本発明に係るプローブヘッド１０は、順に積層された接触部１１とドッキング部１２を有する。本発明に係るプローブヘッド１０は、ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）プロセスによって製造される。まず、前記接触部１１を形成し、前記接触部１１に前記ドッキング部１２と変形可能部１２１を一体として形成した後、形成する時間を調整することにより、前記ドッキング部１２と前記変形可能部１２１の軸方向のサイズを調整する。この製造方法は、半導体製造工程において、まず基板に一定のパターンをエッチングし、対応の導電材料を順に積層した後、残る材料を除去することで、本発明に係るプローブヘッド１０を形成することができる。

【0034】

前記接触部１１及び前記ドッキング部１２は、優れた導電性を有する材料で構成されるが、構成材料が完全に同一である必要がない。前記接触部１１は、電気的測定を行う際に検出対象に繰り返して接触するために用いられるため、優れた摩耗性及び高硬度の材料、例えば、ニッケル及びニッケル合金で構成される。そこで、前記ニッケル合金は、ニッケル及び鉄（Ｆｅ）、タングステン（Ｗ）、銅（Ｃｕ）、ホウ素（Ｂ）、炭素（Ｃ）、コバルト（Ｃｏ）、銀（Ａｇ）、マンガン（Ｍｎ）、パラジウム（Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）から選択される少なくとも１種類の合金元素を含む。前記接触部１１の形状は、サイズが前記ドッキング部１２から離れるにつれて小さくなる。その形状は、円錐形、四角錐形、又は多角形の立体斜円錐形であってもよい。また、接触部１１は、中摩耗性、低抵抗値の材料、例えば、パラジウム、又はパラジウム合金を使用することができる。当該パラジウム合金は、パラジウム（Ｐｄ）、並びにニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、コバルト（Ｃｏ）、モリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、インジウム（Ｉｎ）、マンガン（Ｍｎ）、及びカーボン（Ｃ）から選択される少なくとも１種類の合金元素を含んでもよい。本実施例では、前記接触部１１は、前記ドッキング部１２の所在する箇所に接続する。前記ドッキング部１２が前記キャリア空間２１３内に位置するとき、前記変形可能部１２１は、前記ノッチ２１２に対応し、一部が前記ノッチ２１２を超える。前記変形可能部１２１と前記ノッチ２１２は、互いに対応する。本実施例において、前記接触部１１の数が１つである例を示すが、これに限定されない。図４Ａ及び図４Ｂを参照し、図４Ａは、前記接触部１１が複数の円錐形状を有するものを示し、図４Ｂは、前記接触部１１が四角錐の形状を有するものを示す。前記接触部１１の数が１つ又は複数である場合、高さが５２５μｍよりも小さく、尖端の最大径方向のサイズが２５μｍよりも小さい。また、前記接触部１１の数が複数である場合、接触部１１同士の距離は少なくとも１０μｍである。

【0035】

前記ドッキング部１２は、国際的に採択された焼鈍標準軟銅（ＩＡＣＳ）の３０％以上の導電率を有する材料で構成される。前記材料は、下記銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、カーボン（Ｃ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、タングステン（Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）、錫（Ｓｎ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、インジウム（Ｉｎ）及びルテニウム（Ｒｕ）から選択される少なくとも１種類の元素を含む。前記ドッキング部１２及び前記変形可能部１２１の硬度は、前記接触部１１の硬度以下である。本実施例において、前記ドッキング部１２及び前記変形可能部１２１は、ビッカース硬度（Ｈｖ）が５００以下である。前記ドッキング部１２は、前記キャリア空間２１３内に取り付けられるように用いられるため、径方向サイズが７００μｍよりも小さく、高さが１０００μｍよりも小さい。前記ドッキング部１２は、円柱状又は多角柱状であり、径方向に延長して前記変形可能部１２１を形成する。前記変形可能部１２１は、前記ドッキング部１２から突出するため、自動光学検査（ＡＯＩ）により図形識別の画像認識を容易に行い、設備により物体を自動的にピック及び放置することが容易に行うことができる。これにより、ピッキング、放置、位置合わせを正確かつ迅速に行われることができるため、本発明に係る自動生産の需要を満たす。

【0036】

前記導電部材２０は、機械加工により製造され、例えば、機械的切断により希望の形状になるように製造された。この製造技術は、周知の技術であるため、製造時間及びコストを大幅に減縮することができる。前記導電部材２０の材料は、銅及び銅合金であってもよく、前記銅合金は、銅（Ｃｕ）、並びに銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、カーボン（Ｃ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、タングステン（Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）、錫（Ｓｎ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、インジウム（Ｉｎ）ホウ素（Ｂ）、リン（Ｐ）、亜鉛（Ｚｎ）、クロム（Ｃｒ）及びルテニウム（Ｒｕ）から選択される少なくとも１種類の合金元素を含む。前記導電部材２０は、中実の円柱であり、前記プローブヘッド１０に対応する一端には、前記凸部２１１及びこれに連通する前記ノッチ２１２を有する。前記凸部２１１は、前記キャリア空間２１３を形成する。前記キャリア空間２１３内の空間は、前記ドッキング部１２が前記キャリア空間２１３に設置されるように、前記ドッキング部１２の形状に対応する。前記ノッチ２１２の幅Ｌ１が前記変形可能部１２１の幅Ｌ２以上であり、径方向の長さが前記変形可能部１２１の径方向の長さよりも小さいため、前記変形可能部が前記ノッチ２１２に取り付けされる場合、突出した径方向の長さが前記接続セクション２１径の方向サイズの５０％以下となる。

【0037】

本発明は、機械加工により製造された前記導電部材２０とＭＥＭＳプロセスにより製造されたプローブヘッド１０を組み合わせてプローブジョイントを形成することを設計ポイントとする。したがって、前記プローブヘッド１０のサイズを薄くすることで、ＭＥＭＥＳプロセスにかかる必要な製造期間及びコストを節約することができる。容易かつ迅速に加工し、低いコストの前記導電部材２０に配合することにより、前記プローブヘッド１０と前記導電部材２０をリベットしてＭＥＭＳプローブヘッドを備えるプローブジョイントを形成することができる。このようなＭＥＭＳプローブジョイントは、生産性のコストが低く、納期が短く、容易にバネ式プローブを製造できるメリットを有するため、測定時に、高硬度、長い測定寿命、高電流伝達効果、及び低抵抗値の安定性を有するとともに、現在のプローブを微小化にする需要を満たすことができる。図５に示すように、接合する際に、前記ドッキング部１２は、前記キャリア空間２１３内に設置される。そして、前記変形可能部１２１は、前記ノッチ２１２を通じて外部へと延長する。機械的な補助手段（例えば、機械的なクランプでクランプする）によって外力を与えることで、前記変形可能部１２１は、外力を受けて前記凸部２１１の外部に変形部１２１を形成する。前記変形部１２２は、前記変形可能部１２１の一部の材料が延長して前記凸部２１１の外周面の少なくとも一部を覆うことにより、両者の間で良好なリベット止め効果を得ることができる。また、前記変形部１２２の数が複数である場合、複数の前記変形部１２２のうちの少なくとも１つの面積は、他の前記変形部１２２の面積と異なる。

【0038】

上記実施例において、本発明に係るプローブジョイントについては、前記プローブヘッド１０を用いて前記変形可能部１２１と前記導電部材２０における前記ノッチ２１２に配合するものであるが、これに限定されない。以下、様々な実施例を挙げて説明する。

【0039】

図６Ａは、本発明の第２実施例の分解図を示す。本実施例において、プローブジョイントは、プローブヘッド１０Ａ及び前記導電部材２０Ａで構成されるが、前記プローブヘッド１０Ａは、前記接触部１１、前記ドッキング部１２、及びその径方向に延長する２つの変形可能部１２１で構成される。前記導電部材２０Ａの前記接続セクション２１は、前記キャリア空間２１３及びこれに連通する２つの前記ノッチ２１２を有する。そこで、２つの前記変形可能部１２１と２つの前記ノッチ２１２は、それぞれ１８０度の間隔で対応して設置される。図６Ｂに示すように、前記プローブヘッド１０Ａが前記導電部材２０Ａに設置された後、２つの前記変形可能部１２１は、異なる箇所に位置する前記ノッチ２１２を通じて外部へと延長する。機械的外力を受けて複数の前記変形部１２２を形成することで、前記変形部１２２で前記凸部２１１を覆う面積が増加し、異なる箇所で前記凸部２１１の外周面の一部を覆うため、より強い剛性を得ることができる。

【0040】

図７は、本発明に係る第３実施例の分解図である。上記第２実施例において、前記キャリア空間２１３の内壁から前記接続セクション２１の外壁までの距離は同一であるが、これに限定されない。本実施例では、径方向における前記キャリア空間２１３の内壁から前記接続セクション２１の外壁までの距離は一部の箇所で異なり、例えば、２つの前記ノッチ２１２を境界として、両側の壁の厚さが異なる。これは、前記プローブヘッド１０Ｂと前記導電部材２０Ｂとの接合に影響しないが、前記導電部材２０Ｂの形状が対称ではないため、光学的画像によって角度及び位置を識別するとともに、機械アームによって自動的にピック、放置、位置合わせをすることができる。これにより、組み合わせ及び製造を正確かつ迅速に行うことができる。

【0041】

図８は、本発明に係る第４実施例の分解図である。本実施例において、プローブジョイントは、プローブヘッド１０Ｃ及び前記導電部材２０Ｃで構成されるが、ドッキング部１２は、径方向に延長する２つの前記変形可能部１２１の幅が同一であるため、全体として細長い帯状となる。これに応じて、前記接続セクション２１の前記キャリア空間２１３及びこれに連通する２つの前記ノッチ２１２の幅も同一になる。前記ドッキング部１２と前記変形可能部１２１は、その幅が前記キャリア空間２１３及び前記ノッチ２１２の幅以下であり、前記キャリア空間２１３内に設置されることができる。前記ドッキング部１２と前記変形可能部１２１の両方の径方向の長さは、前記キャリア空間２１３と前記ノッチ２１２の両方の径方向の長さよりも長い。これにより、前記導電部材２０Ｃの構造が簡易になるため、便利かつ迅速に製造、加工することができるとともに、コストも低くなる。

【0042】

図９は、本発明に係る第５実施例の分解図である。第５実施例に係る構造は、第４実施例に係る構造に類似するが、前記プローブヘッド１０Ｄの形状が異なる。本実施例において、前記変形可能部１２１は、前記ドッキング部１２から離れた一端の側壁に、フランジ１２３を有する。組み合わせた後、前記フランジ１２３は、前記凸部２１１の外周面を部分的に覆い、外力を受けることにより容易に前記変形部１２２を形成する。前記プローブヘッド１０Ｄは、軸方向に前記導電部材２０Ｄに設置された後、１８０度で対向する位置にそれぞれ前記フランジ１２３を有するため、両者が回転するときの移動幅が小さくなる。その後、外力を与えると、前記フランジ１２３により、前記変形部１２２が容易に前記凸部２１１の外周面の少なくとも一部を部分的に覆うことで、より優れた剛性を得ることができる。また、本実施例に係る前記フランジ１２３の構造は、各実施例に広く適用されることができる。

【0043】

図１０は、本発明に係る第６実施例の分解図である。本実施例において、プローブジョイントは、同様にプローブヘッド１０Ｅ及び前記導電部材２０Ｅで構成される。前記プローブヘッド１０Ｅは、前記接触部１１、前記ドッキング部１２、及び径方向に延長する４つの前記変形可能部１２１を含む。前記導電部材２０Ｅの前記接続セクション２１は、前記キャリア空間２１３及びこれに連通する４つの前記ノッチ２１２で構成される。そこで、前記変形可能部１２１及び前記ノッチ２１２と、それぞれに隣接する前記変形可能部１２１及び前記ノッチ２１２とは、９０度の間隔で設置される。さらに、機械的にリベットすると、前記変形部１２２が前記凸部２１１の外周面の少なくとも一部を部分的に覆う部分が多くなることで、前記プローブヘッド１０Ｅと前記導電部材２０Ｅとの剛性を強化することができる。

【0044】

図１１は、本発明に係る第７実施例の分解図である。第７実施例の構造は、第６実施例の構造に類似する。前記変形可能部１２１は、前記ドッキング部１２から離れた一端の側壁にフランジ１２３を有する点で異なる。組み合わせるとき、前記フランジ１２３は、前記凸部２１１の外周面を部分的に覆い、外力を受けて容易に前記変形部１２２を形成する。複数の前記フランジ１２３は、外力を受けて複数の前記変形部１２２を形成する場合、前記プローブヘッド１０Ｆと前記導電部材２０Ｆの剛性を強化するのみならず、リベット工程の歩留まりも向上させることができる。

【0045】

図１２は、本発明に係る第８実施例の分解図である。本実施例において、プローブジョイントは、依然として、プローブヘッド１０Ｇ及び前記導電部材２０Ｇで構成されるが、前記ドッキング部１２の軸方向の長さは、前記変形可能部１２１の軸方向の長さよりも長く、隣接する２つの変形可能部１２１の間に径方向のサイズが小さいドッキング領域１２４が形成される。前記導電部材２０Ｇは、複数の凸部２１１で囲まれる前記キャリア空間２１３が深く、前記ドッキング部１２に対応する。前記ノッチ２１２は、前記キャリア空間２１３に連通する。組み合わせた後、前記変形可能部１２１が前記ノッチ２１２の外部へと延長することもできる。前記変形可能部１２１は、外力を受けると、前記変形部１２２が前記凸部２１１の外周面の少なくとも一部を覆うように変形する。

【0046】

上記実施例において、前記ノッチ２１２及び前記凸部２１１の数が複数である場合、形状がほぼ同一であるが、これに限定されない。例えば、前記ノッチ２１２の数が複数である場合、複数の前記変形部２１２のうちの少なくとも１つの幅は、他の前記ノッチ２１２の幅と異なる。同様に、前記凸部２１１の数が複数である場合、複数の前記凸部２１１のうちの少なくとも１つの形状は、他の前記凸部２１１の形状と異なる。

【0047】

図１３は、本発明に係るプローブジョイントを備えるバネ式プローブ構造の分解図である。前記バネ式プローブは、前記プローブヘッド１０、前記導電部材２０、パイプ３０、弾性部材４０、及び移動可能なプランジャー５０を含む。前記プローブヘッド１０と前記導電部材２０の接合手段については、上記実施例に説明されたため、ここで説明を省略し、他の要素の間の構造を説明する。前記導電部材２０の前記接続セクション２１は、前記キャリア空間２１３から離れた他のセクションに、第１ネックセクション２２、第２ネックセクション２３、及び第３ネックセクション２４をさらに含む。前記第２ネックセクション２３は、前記第１ネックセクション２２と前記第３ネックセクション２４との間に位置し、径方向のサイズが前記第１ネックセクション２２及び前記第３ネックセクション２４のそれぞれの径方向のサイズよりも小さい。前記パイプ３０は、放置空間３１を有する中空のパイプでる。前記放置空間３１は、前記プランジャー５０を放置し、前記プランジャー５０におけるサイズの小さいピン部５１が前記パイプ３０の外部へと延長できるように用いられる。しかし、前記プランジャー５０は、前記パイプ３０内に移動することができるが、下方で前記放置空間３１から離脱することができない。前記弾性部材４０は、圧縮可能なバネである。前記放置空間３１内に設置される場合、前記弾性部材４０は、両端が前記プランジャー５０及び前記導電部材２０にそれぞれ接触する。

【0048】

図１４を併せて参照し、組み合わせる際に、前記プランジャー５０は、上から下へと前記パイプ３０の前記放置空間３１内に放置される。その後、前記弾性部材４０は、上から下へと前記放置空間３１内に放置される。前記プローブヘッド１０は、予め前記導電部材２０とリベットして接合しておく。その後、前記第３ネックセクション２４は、前記放置空間３１内に放置されてから、前記パイプ３０の外壁に外力を与えることにより、パイプ内に突出するキャッチ部３２を形成する。前記キャッチ部３２は、前記第２ネックセクション２３の位置に固定されることにより、前記パイプ３０と前記導電部材２０が分離できなくなる。それに加え、全ての要素が互いに固定することで、前記バネ式プローブを形成することができる。測定するとき、複数の前記バネ式プローブは、測定座（図示しない）に取り付けられ、両端で前記プローブヘッド１０が測定対象にそれぞれ接触し、前記プランジャー５０が回路基板における対応の回線に電気的に接続することにより、必要な測定を行う。なお、上記各実施例は、このような構成に応用されるから、説明を省略する。

【0049】

さらに、上記実施例において、前記接続セクション２１の外径が前記パイプ３０の内径以上であり、前記第３ネックセクション２４の外径が前記パイプ３０の内径以下である。したがって、前記パイプ３０と導電部材２０が接合して固定した後、外径が同一又は類似となるプローブアセンブリを形成することで、プローブ測定装置として取り付ける場合、各プローブの間の距離を同一にし、又は精密に調整することができる。

【0050】

以上により、本発明は、ＭＥＭＥＳプロセス及び機械加工により製造されたＭＥＭＳプローブジョイントを提供する。前記プローブジョイントは、高硬度の接触部及び高導電率の接続セクション等を有するのみならず、大量製造の場合、ＭＥＭＥＳプロセスにより製造されたプローブヘッドと比べて、本発明は、ＭＥＭＳプロセスにより製造されるプローブヘッドの部分の数を減少する。例えば、公知の４層のＭＥＭＳプローブヘッドと比べて、本発明は、２層に減縮するＭＥＭＳプローブヘッドを提供するから、全てＭＥＭＳプロセスにより製造されたプローブヘッドの工程数及び製造コストを減少することができる。また、前記導電部材は、機械加工により製造された中実の円柱であるため、前記ドッキング部の構造形状を有するように設計されたＭＥＭＳプローブヘッドは、前記導電部材の一端と容易かつ迅速に剛性のある前記プローブジョイントを形成できる結果、ＭＥＭＥＳプロセスにより製造された接合部の数を減少し、プローブヘッドとパイプを組み合わせる歩留まりを向上させることができる。さらに、前記導電部材の他端と前記パイプをさらにリベットすることにより、ＭＥＭＳプローブジョイントを有するバネ式プローブを形成することができる。本発明に係るＭＥＭＳプローブジョイントは、前記導電部材にかかる製造コストが増加するが、全てＭＥＭＳプローブヘッドを採用する製造コスト及び製造期間を大幅に減少することができる。当該導電部材にかかる製造コストは、ＭＥＭＳプロセスを採用する製造コスト及び時間コストよりもはるかに低くなるのみならず、少ない構造層数のＭＥＭＳプローブヘッドを組み合わせるときの歩留まりが悪い課題を改善することができる。さらにまた、前記ＭＥＭＳプローブヘッド及び前記導電部材は、それぞれ前段工程で同時に製造されることができるため、製造期間を減縮することができる。その後の接合してリベットすることにより、製造コストが低く、納期が短く、製造が容易なＭＥＭＳプローブヘッドを形成することで、プローブヘッドの製造コストを節約することができる。最後、パイプと組み合わせてＭＥＭＳプローブジョイントを備えるバネ式プローブを形成することで、測定時に、高硬度、長い測定寿命、高電流伝達効果及び低抵抗値の安定性を有するため、現在プローブの微小化の要求を満たす。

【0051】

上記は、あくまでも本発明の好ましい実施例を説明するもので、本発明に係る実施例の範囲を限定するものではない。本発明の特許請求の範囲と均等に変更、修正されるものは、本発明の範囲内に含まれる。

【符号の説明】

【0052】

１０：プローブヘッド
１１：接触部
１２：ドッキング部
１２１：変形可能部
１２２：変形部
１２３：フランジ
１２４：ドッキング領域
２０：導電部材
２１：接続セクション
２１１：凸部
２１２：ノッチ
２１３：キャリア空間
２２：第１ネックセクション
２３：第２ネックセクション
２４：第３ネックセクション
Ｌ１：幅
Ｌ２：幅
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ、１０Ｇ：プローブヘッド
２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ、２０Ｆ、２０Ｇ：導電部材
３０：パイプ
３１：放置空間
３２：キャッチ部
４０：弾性部材
５０：プランジャー
５１：ピン部
９０：ケース
９１：プローブヘッド
９１１：接触部
９１２：第１本体部
９１３：第２本体部
９１４：第３本体部
９２：プランジャー
９３：バネ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【外国語明細書】