特開 2024-41222 光散乱測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024041222

(43)【公開日】2024-03-27

(54)【発明の名称】光散乱測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/51 20060101AFI20240319BHJP

   G01N 21/21 20060101ALI20240319BHJP

【ＦＩ】

G01N21/51

G01N21/21 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022145900

(22)【出願日】2022-09-14

(71)【出願人】

【識別番号】000206967

【氏名又は名称】大塚電子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000154

【氏名又は名称】弁理士法人はるか国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】濱尾 保

(72)【発明者】

【氏名】森澤 且廣

(72)【発明者】

【氏名】泉谷 悠介

(72)【発明者】

【氏名】中串 茂幸

(72)【発明者】

【氏名】若山 育央

(72)【発明者】

【氏名】友松 克之

【テーマコード（参考）】

2G059

【Ｆターム（参考）】

2G059AA02

2G059BB04

2G059DD13

2G059EE05

2G059FF11

2G059JJ03

2G059JJ19

2G059JJ25

2G059KK01

2G059LL10

(57)【要約】      （修正有）

【課題】光散乱測定装置の小型化に資する光学素子ホルダを備えた光散乱測定装置を提供する。
【解決手段】光源と、試料を収容し、光源からの光が入射する試料セルと、試料セルから出射する出射光を検出する検出部と、試料セルから検出部に向かう出射光の経路ＬＰにより定まる平面と直交する回転軸ＡＲを有するとともに、それぞれ回転軸の周囲において回転軸に向くように設けられた第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０２－２を含む複数の光学素子を保持する光学素子ホルダ４と、回転軸周りに回転可能となるように光学素子ホルダを支持する光学素子ホルダ支持部と、を備え、光学素子ホルダは、少なくとも、第１の光学素子が経路上に位置する第１の姿勢と、第２の光学素子が経路上に位置する第２の姿勢と、の間を回転可能である。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光源と、
試料を収容し、前記光源からの光が入射する試料セルと、
前記試料セルから出射する出射光を検出する検出部と、
前記試料セルから前記検出部に向かう前記出射光の経路により定まる平面と直交する回転軸を有するとともに、それぞれ前記回転軸の周囲において前記回転軸に向くように設けられた第１の光学素子及び第２の光学素子を含む複数の光学素子を保持する光学素子ホルダと、
前記回転軸周りに回転可能となるように前記光学素子ホルダを支持する光学素子ホルダ支持部と、
を備え、
前記光学素子ホルダは、少なくとも、前記第１の光学素子が前記経路上に位置する第１の姿勢と、前記第２の光学素子が前記経路上に位置する第２の姿勢と、の間を回転可能である、
光散乱測定装置。

【請求項2】

前記光学素子ホルダは、本体を有し、前記本体の側面に前記複数の光学素子を保持するものであり、
前記本体の側面には、前記第１の光学素子の反対側に開けられた第１の開口と、前記第２の光学素子の反対側に開けられた第２の開口と、を含む複数の開口が設けられている、
請求項１に記載の光散乱測定装置。

【請求項3】

前記回転軸は、前記経路上に位置し、前記第１の光学素子と前記第１の開口とに挟まれるとともに、前記第２の光学素子と前記第２の開口とに挟まれている、
請求項２に記載の光散乱測定装置。

【請求項4】

前記複数の光学素子及び前記複数の開口は、前記回転軸周りの全周に等角度間隔で配置されている、
請求項３に記載の光散乱測定装置。

【請求項5】

前記光学素子ホルダは、多角形状の部分を断面に含む、
請求項４に記載の光散乱測定装置。

【請求項6】

前記複数の開口は、互いに向かい合う第３の開口及び第４の開口を含む、
請求項２に記載の光散乱測定装置。

【請求項7】

第１の光学素子及び第２の光学素子はそれぞれ偏光素子である、
請求項１に記載の光散乱測定装置。

【請求項8】

前記第１の光学素子の偏光軸の方向と、前記第２の光学素子の偏光軸の方向と、は互いに異なる、
請求項７に記載の光散乱測定装置。

【請求項9】

第１の検出部及び前記第１の検出部に隣り合う第２の検出部を含む複数の前記検出部と、
前記第１の検出部に対応する第１の光学素子ホルダ及び前記第２の検出部に対応する第２の光学素子ホルダを含む複数の前記光学素子ホルダと、を備える、
請求項１に記載の光散乱測定装置。

【請求項10】

第１の歯車と、
前記第１の歯車と噛み合い、前記第１の歯車の回転に伴って回転するとともに、前記第１の光学素子ホルダと一体的に回転可能である第２の歯車と、
前記第１の歯車と噛み合い、前記第１の歯車の回転に伴って回転するとともに、前記第２の光学素子ホルダと一体的に回転可能である第３の歯車と、を備える、
請求項９に記載の光散乱測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光散乱測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

光散乱測定装置では、試料セルと検出部との間に、偏光方向等の光学特性を変化させる光学素子を保持した光学素子ホルダが設けられることがある。例えば、光散乱測定装置を用いて測定試料の異方性を測定する場合には、試料セルと検出部との間に偏光素子ホルダが設けられる。

【0003】

光学素子ホルダに２種類以上の光学素子が保持されている場合、これらの光学素子を相互に切り換えることが必要となる。例えば、測定試料からの散乱光から、縦方向の直線偏光成分と横方向の直線偏光成分とをそれぞれ抽出して測定したい場合には、偏光軸が縦方向の偏光素子と偏光軸が横方向の偏光素子とを切り換えることが必要となる。

【0004】

従来、複数の光学素子間相互の切換を可能とする光学素子ホルダが種々検討されている。例えば、可変偏光ウェハ検査に関する分野では、複数の偏光素子が配置された板状のホルダを横方向にスライドすることにより偏光方向を切り換える技術（下記特許文献１の図３参照）が知られている。また、複屈折ファイバの外観測定に関する分野では、光の経路に平行な回転軸を有する円盤状のホルダ上に複数の偏光素子を配置し、このホルダを回転軸周りに回転させることにより偏光方向を切り換える技術（下記特許文献２の図３Ａ参照）が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特表２０１５－５１６５７４

【特許文献2】特開２０１１－０６９８０５

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

一方、上記特許文献に記載されたような従来型の光学素子ホルダは、その設置に広いスペースを要する。これは、従来型の光学素子ホルダでは、複数の光学素子が同一平面上に設けられているためである。具体的に説明すると、従来型の光学素子ホルダでは、板状又は円盤状の基板上に複数の光学素子が配置されている。そして、これらの光学素子は全て同じ方向を、すなわち光学素子ホルダに向かって入射してくる光の経路と同一方向を向いている。ここで、光学素子ホルダにおいて、測定に関与する、すなわち光の経路上に置かれる光学素子は複数の光学素子のうち一つだけである。複数の光学素子のうち、この一の光学素子以外の光学素子は、測定に関与しないにもかかわらず、光学素子ホルダにおける上記基板の幅方向において一定の空間を占める。結果として、その一定の空間の分だけデッドスペースが生じてしまう。

【0007】

したがって、上記従来型の光学素子ホルダを用いると、光散乱測定装置自体が大型化するという問題を招来する。特に、光散乱測定装置が２以上の検出部を有する場合、すなわち多角度光散乱法による測定を行う場合には、光学素子ホルダも２以上必要となる。この場合に従来型の光学素子ホルダを用いると、上記デッドスペースが増大するため測定装置の大型化がより顕著となる。

【0008】

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、光散乱測定装置の小型化に資する光学素子ホルダを備えた光散乱測定装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

（１）本発明に係る光散乱測定装置は、光源と、試料を収容し、前記光源からの光が入射する試料セルと、前記試料セルから出射する出射光を検出する検出部と、前記試料セルから前記検出部に向かう前記出射光の経路により定まる平面と直交する回転軸を有するとともに、それぞれ前記回転軸の周囲において前記回転軸に向くように設けられた第１の光学素子及び第２の光学素子を含む複数の光学素子を保持する光学素子ホルダと、前記回転軸周りに回転可能となるように前記光学素子ホルダを支持する光学素子ホルダ支持部と、を備え、前記光学素子ホルダは、少なくとも、前記第１の光学素子が前記経路上に位置する第１の姿勢と、前記第２の光学素子が前記経路上に位置する第２の姿勢と、の間を回転可能である。

【0010】

（２）（１）の光散乱測定装置において、前記光学素子ホルダは、本体を有し、前記本体の側面に前記複数の光学素子を保持するものであり、前記本体の側面には、前記第１の光学素子の反対側に開けられた第１の開口と、前記第２の光学素子の反対側に開けられた第２の開口と、を含む複数の開口が設けられていてもよい。

【0011】

（３）（２）の光散乱測定装置において、前記回転軸は、前記経路上に位置し、前記第１の光学素子と前記第１の開口とに挟まれるとともに、前記第２の光学素子と前記第２の開口とに挟まれていてもよい。

【0012】

（４）（３）の光散乱測定装置において、前記複数の光学素子及び前記複数の開口は、前記回転軸周りの全周に等角度間隔で配置されていてもよい。

【0013】

（５）（１）から（４）のいずれかの光散乱測定装置において、前記光学素子ホルダは、多角形状の部分を断面に含んでいてもよい。

【0014】

（６）（２）から（５）のいずれかの光散乱測定装置において、前記複数の開口は、互いに向かい合う第３の開口及び第４の開口を含んでいてもよい。

【0015】

（７）（１）から（６）のいずれかの光散乱測定装置において、第１の光学素子及び第２の光学素子はそれぞれ偏光素子であってもよい。

【0016】

（８）（１）から（７）のいずれかの光散乱測定装置において、前記第１の光学素子の偏光軸の方向と、前記第２の光学素子の偏光軸の方向と、は互いに異なっていてもよい。

【0017】

（９）（１）から（８）のいずれかの光散乱測定装置は、第１の検出部及び前記第１の検出部に隣り合う第２の検出部を含む複数の前記検出部と、前記第１の検出部に対応する第１の光学素子ホルダ及び前記第２の検出部に対応する第２の光学素子ホルダを含む複数の前記光学素子ホルダと、を備えていてもよい。

【0018】

（１０）（１）から（９）のいずれかの光散乱測定装置は、第１の歯車と、前記第１の歯車と噛み合い、前記第１の歯車の回転に伴って回転するとともに、前記第１の光学素子ホルダと一体的に回転可能である第２の歯車と、前記第１の歯車と噛み合い、前記第１の歯車の回転に伴って回転するとともに、前記第２の光学素子ホルダと一体的に回転可能である第３の歯車と、を備えていてもよい。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の実施形態に係る光散乱測定装置を示す斜視図である。

【図2】本発明の実施形態に係る光散乱測定装置の平面的な配置を模式的に示す図である。

【図3】本発明の実施形態に係る光学素子ホルダを示す斜視図である。

【図4】本発明の実施形態に係る光学素子ホルダを示す側面図である。

【図5】回転軸ＡＲを含む面により切断した図４の縦断面図である。

【図6】ＶＩ－ＶＩ線切断面による図４の断面図である。

【図7】変形例に係る光散乱測定装置を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の実施形態について図面に基づき詳細に説明する。

【0021】

はじめに、図１及び図２を用いて、本発明の実施形態に係る光散乱測定装置の概要について説明する。図１は、本発明の実施形態に係る光散乱測定装置を示す斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る光散乱測定装置の平面的な配置を模式的に示す図である。

【0022】

図１及び図２に示すように、光散乱検出装置１００は、光源１と、試料セル２と、複数の検出部３と、複数の光学素子ホルダ４と、光学素子ホルダ支持部５と、を備える。本実施形態の光散乱検出装置１００は、多角度光散乱測定装置である。

【0023】

光源１は、試料に照射される光Ｌを発生させる。試料セル２は、試料を収容する透明の容器である。試料セル２（試料セル２内の試料）には、光源１からの光Ｌが入射する。試料セル２（試料セル２内の試料）からは、試料セル２まわりに角度θずつ異なる複数の方向に散乱光ＳＬが出射する。

【0024】

複数の検出部３のそれぞれは、上記複数方向に出射する散乱光ＳＬのうち、その検出部３に対応する散乱光ＳＬを検出する。そのため、複数の検出部３のそれぞれは、試料セル２を囲む円周Ｃ１上において、試料セル２を中心として互いに角度θ離間して隣り合うように設けられている（図２）。複数の検出部３のそれぞれの出力は制御装置（不図示）に伝達される。そして、制御装置は、複数の検出部３のそれぞれにて検出された散乱光ＳＬの強度の角度依存性に基づいて、試料中の物質の粒子径や分子量を算出する。本実施形態では、試料は液体試料であるものとするが、試料は固体試料であってもよい。

【0025】

複数の光学素子ホルダ４のそれぞれは、後述するように、第１の光学素子４０１－１と第２の光学素子４０１－２とを保持する（図３～６参照）。複数の光学素子ホルダ４のそれぞれは、試料セル２とその光学素子ホルダ４に対応する検出部３との間に設けられている。すなわち、複数の光学ホルダ４のそれぞれは、試料セル２を囲むとともに円周Ｃ１の内側に位置する同心の円周Ｃ２上において、互いに角度θ離間して隣り合うように設けられている（図２）。そして、複数の光学素子ホルダ４のそれぞれは、試料セル２からその光学素子ホルダ４に対応する検出部３に向かう散乱光ＳＬの経路ＬＰ上に第１の光学素子４０１－１が位置する第１の姿勢と、経路ＬＰ上に第２の光学素子４０１－２が位置する第２の姿勢と、の間を回転可能となっている（図３～６参照）。

【0026】

このように、複数の光学素子ホルダ４のそれぞれが第１の姿勢と第２の姿勢との間を回転可能となっていることにより、光散乱測定装置１００において、第１の光学素子４０１－１を用いた測定と第２の光学素子４０１－２を用いた測定との切換が可能となる。なお、図１及び図２では、検出部３及び光学素子ホルダ４の数がそれぞれ１１個である場合が示されているが、検出部３及び光学素子ホルダ４の数はこれより少なくても、又は多くてもよい。

【0027】

光学素子ホルダ支持部５は、上記したように、複数の光学素子ホルダ４を回転可能となるように支持している。すなわち、光学素子ホルダ支持部５は、円周Ｃ２に沿った円環形状の板材により形成されており、その円環形状の中心の穴部分に試料セル２が配置されている。なお、光学素子ホルダ支持部５の形状は円環形状に限られず、他の形状であってもよい。

【0028】

以下では、光学素子ホルダ４の詳細について説明する。まず、図３から図５を用いて、光学素子ホルダ４の全体について説明する。図３は、本発明の実施形態に係る光学素子ホルダを示す斜視図である。図４は、本発明の実施形態に係る光学素子ホルダを示す側面図である。図５は、回転軸ＡＲを含む面により切断した図４の縦断面図である。なお、図３から図５では、経路ＬＰ、及び光学素子ホルダ支持部５の一部分のみを示す。

【0029】

図３から図５に示すように、光学素子ホルダ４は、本体４０とつまみ４１とを有する。本体４０は、下部４０ａと上部４０ｂとを含む。

【0030】

下部４０ａの形状は六角柱状であり、上部４０ｂの形状は円柱状である（図３）。下部４０ａの中心軸と上部４０ｂの中心軸とは同一直線上に並んでおり（図５）、その直線が光学素子ホルダ４の回転軸ＡＲとなる。なお、下部４０ａの形状は、六角柱状に限られず、円柱状や半球状等、他の形状であってもよい。

【0031】

上部４０ｂの下端部は、スペーサ５１，５１を介して光学素子ホルダ支持部５により回転可能に支持されている（図５）。スペーサ５１，５１の形状は、それぞれ円環板状であり、その内周に円筒壁が立ち上がった形状である。光学素子ホルダ支持部５上には円周Ｃ２に沿って複数の孔が開けられており、各孔の上側からスペーサ５１，５１の一方がはめ込まれ、各孔の下側からスペーサ５１，５１の他の一方がはめ込まれている。また、上部４０ａの上端部には、円筒状のつまみ４１が回転不能にはめ込まれている（図３、５）。これにより、ユーザは、つまみ４１をつまんで、光学素子ホルダ４を回転軸ＡＲ周りに回転させることができる。つまみ４１の形状は円筒状以外のものであってもよい。

【0032】

以下、図６を更に参照しながら、光学素子ホルダ４の詳細について説明する。図６は、ＶＩ－ＶＩ線切断面による図４の断面図である。

【0033】

下部４０ａには、対向する側面を貫通する第１の貫通孔ＴＨ１及び第２の貫通孔ＴＨ２が設けられている（図６）。第１の貫通孔ＴＨ１の一端には第１の光学素子４０１－１が設けられ、第１の貫通孔ＴＨ１の他端は第１の開口４０２－１となっている。第２の貫通孔ＴＨ２の一端には第２の光学素子４０１－２が設けられ、第２の貫通孔ＴＨ２の他端は第２の開口４０２－２となっている。また、第１の光学素子４０１－１と第１の開口４０２－１とは互いに向かい合っている。同様に、第２の光学素子４０１－２と第２の開口４０２－２とは互いに向かい合っている。

【0034】

これにより、第１の光学素子４０１－１に入射した散乱光ＳＬが、第１の貫通孔ＴＨ１を通り、第１の開口４０２－１から出射されるため、第１の光学素子４０１－１を通過した散乱光ＳＬを検出部３が検出することができる。同様に、第２の光学素子４０１－２に入射した散乱光ＳＬが、第２の貫通孔ＴＨ２を通り、第２の開口４０２－２から出射されるため、第２の光学素子４０１－２を通過した散乱光ＳＬを検出部３が検出することができる。なお、第１の開口４０２－１に入射した散乱光ＳＬが、第１の貫通孔ＴＨ１を通った後、第１の光学素子４０１－１を通過するようにしてもよい。また、第２の開口４０２－２に入射した散乱光ＳＬが、第２の貫通孔ＴＨ２を通った後、第２の光学素子４０１－２を通過するようにしてもよい。

【0035】

更に下部４０ａには、対向する側面を貫通する第３の貫通孔ＴＨ３が設けられている（図６）。第３の貫通孔ＴＨ３の一端は第３の開口４０２－３となっており、第３の貫通孔ＴＨ３の他端は第４の開口４０２－４となっている。第３の開口４０２－３と第４の開口４０２－４とは互いに向かい合っている。また、光学素子ホルダ４を回転させることにより、第３の開口４０２－３及び第４の開口４０２－４を経路ＬＰ上に位置させることができる。このように、光学素子が設けられない貫通孔を設けておくことにより、光散乱測定装置１００が光学素子ホルダ４を備える場合においても、第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２を関与させない通常の測定を実施することができる。

【0036】

なお、光学素子ホルダ４は、４つ以上の複数の貫通孔を有するものであってもよい。すなわち、光学素子ホルダ４は、３つ以上の複数の光学素子を保持するものであってもよい。また、光学素子ホルダ４は、５つ以上の複数の開口を有するものであってもよい。また、第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２の配置態様は図６に示したものに限られず、例えば第１の光学素子４０１－１と第２の光学素子４０１－２とが隣り合う位置にあってもよい。

【0037】

また、第１の開口４０２－１等の開口は円形状の穴であったが（図３等）、光を通過させるという機能を発揮する範囲内において、穴以外の形状に変更してもよい。例えば、開口は、下部４０ａの上端又は下端に設けられた切り欠きであってもよい。

【0038】

第１の貫通孔ＴＨ１の中心線ＣＬ１は、回転軸ＡＲに直交するとともに、回転軸ＡＲと経路ＬＰとの交点である回転中心ＣＲを通る（図６）。同様に、第２の貫通孔ＴＨ２の中心線ＣＬ２は、回転軸ＡＲに直交するとともに、回転軸ＡＲと経路ＬＰとの交点である回転中心ＣＲを通る（図６）。さらに、第３の貫通孔ＴＨ３の中心線ＣＬ３は、回転軸ＡＲに直交するとともに、回転軸ＡＲと経路ＬＰとの交点である回転中心ＣＲを通る（図６）。また、回転軸ＡＲは、経路ＬＰ上に位置し、経路ＬＰと直交している（図３～５）。

【0039】

これにより、光学素子ホルダ４を回転させたときに、散乱光ＳＬが、第１の貫通孔ＴＨ１、第２の貫通孔ＴＨ２及び第３の貫通孔ＴＨ３を通過することができる。なお、この作用を奏する限りにおいて、回転軸ＡＲと経路ＬＰとは、直交以外の態様で交差していてもよい。また、この作用を奏する限りにおいて、回転軸ＡＲと、第１の貫通孔ＴＨ１の中心線ＣＬ１、第２の貫通孔ＴＨ２の中心線ＣＬ２又は第３の貫通孔ＴＨ３の中心線ＣＬ３と、は直交以外の態様で交差していてもよい。さらに、回転軸ＡＲは、経路ＬＰ上に位置していなくてもよく、上記作用を奏する限りにおいて経路ＬＰと直交以外の態様で交差していてもよい。

【0040】

第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２の形状はそれぞれ、２つの主面を有する板状である。ここで、第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２のそれぞれの主面の法線方向（すなわち、第１の貫通孔ＴＨ１の中心線ＣＬ１の方向及び第２の貫通孔ＴＨ２の中心線ＣＬ２の方向）は、回転軸ＡＲと直交している（図５～６）。換言すれば、第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２は、それぞれ回転軸ＡＲの周囲において回転軸ＡＲに向くように設けられている。すなわち、複数の光学素子４０１が同一平面上に設けられておらず、測定に関与しない光学素子に起因するデッドスペースを小さくすることができるため、光学素子ホルダ４を小型にすることができる。なお、第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２の主面は、平面であってもよいし、曲面であってもよい。

【0041】

第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２は、ここでは一例として、それぞれ偏光素子（偏光板）である。第１の光学素子４０１－１の偏光軸の方向は回転軸ＡＲと平行な方向、すなわち縦方向であり、第２の光学素子４０１－２の偏光軸の方向は回転軸ＡＲに垂直な方向、すなわち横方向である。なお、第１の光学素子４１ａの偏光軸の方向及び第２の光学素子４１ｂの偏光軸の方向は、測定の目的に応じて任意に設定してよい。また、第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２としては、偏光素子のほか、光量調整のためのＮＤフィルタや、波長調整のための色ガラスフィルタ等、種々の光学素子を選択することができる。例えば、第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２のうち一方を偏光素子とし、第１の光学素子４０１－１及び第２の光学素子４０１－２のうち他方をＮＤフィルタとするなど、異なる種類の光学素子を適宜組み合わせて用いてもよい。

【0042】

ところで、本実施形態の光学素子ホルダ４では、回転軸ＡＲが経路ＬＰ上に位置し、且つ、第１の光学素子４０１－１と第１の開口４０２－１とが回転軸ＡＲを挟むように配置されるとともに、第２の光学素子４０１－２と第２の開口４０２－２とが回転軸ＡＲを挟むように配置されている（図５～６）。このような構成とすることで、光学素子ホルダ４の下部４０ａの側面をより有効活用することができるため、光学素子ホルダ４をより小型にすることができる。

【0043】

さらに、第１の貫通孔ＴＨ１の中心線ＣＬ１の方向と、第２の貫通孔ＴＨ２の中心線ＣＬ２の方向と、第３の貫通孔ＴＨ２の中心線ＣＬ３の方向と、は回転中心ＣＲまわりに６０度ずつ異なっている（図６）。すなわち、第１の光学素子４０１－１と、第３の開口４０２－３と、第２の光学素子４０１－２と、第１の開口４０２－１と、第４の開口４０２－４と、第２の開口４０２－２と、は回転軸ＡＲ周りの全周に等角度間隔で配置されている。このような構成としたことにより、光学素子ホルダ４の下部４０ａの側面を最大限有効活用することができるので、光学素子ホルダ４を更により小型にすることができる。

【0044】

なお、本発明は上記実施形態に限定されず、種々の変形実施が可能である。以下、図７を用いて本発明の変形例の一つについて説明する。図７は、変形例に係る光散乱測定装置を示す斜視図である。

【0045】

本変形例では、光散乱測定装置１００は、大歯車６と、複数の小歯車７と、を更に備える。大歯車６は、光学素子ホルダ支持部５上に設けられ、その複数の歯が試料セル２を囲んでいる。また、大歯車６の回転軸は、複数の光学素子ホルダ４のそれぞれの回転軸ＡＲと平行となっている。

【0046】

複数の小歯車７のそれぞれは、先に説明した実施形態におけるつまみ４１の代わりに、光学素子ホルダの上部４０ｂの上端部に回転不能にはめ込まれており、光学素子ホルダと一体的に回転可能となっている。複数の小歯車７のそれぞれは、大歯車６と噛み合い、大歯車６の回転に伴って回転する。先に説明した実施形態では、つまみ４１を手動で回すことにより複数の光学素子ホルダ４のそれぞれを回転させていたが、本変形例では、大歯車６をモータ等の動力により回転させることで、複数の光学素子ホルダ４の全てを一挙に回転させることができる。

【符号の説明】

【0047】

１００ 光学測定装置、１ 光源、２ 試料セル、３ 検出部、４ 光学素子ホルダ、５ 光学素子ホルダ支持部、６ 大歯車、７ 小歯車、４０ 本体、４１ つまみ、４０１ 光学素子、４０２ 開口、５１ スペーサ、Ｌ 光、ＳＬ 散乱光、ＬＰ 経路、ＡＲ 回転軸、ＴＨ 貫通孔、ＣＲ 回転中心。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】