特開 2024-42057 延伸装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024042057

(43)【公開日】2024-03-27

(54)【発明の名称】延伸装置

(51)【国際特許分類】

   B29C 55/16 20060101AFI20240319BHJP

   B65H 23/32 20060101ALI20240319BHJP

【ＦＩ】

B29C55/16

B65H23/32

【審査請求】有

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024013177

(22)【出願日】2024-01-31

(62)【分割の表示】P 2019182349の分割

【原出願日】2019-10-02

(71)【出願人】

【識別番号】000004215

【氏名又は名称】株式会社日本製鋼所

(74)【代理人】

【識別番号】110002066

【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】高橋 正樹

(72)【発明者】

【氏名】中嶋 一郎

(72)【発明者】

【氏名】吉松 尚暁

(57)【要約】

【課題】油を含む膜を安定的に延伸させる。
【解決手段】延伸装置５は、油分を含む膜８を延伸するための延伸処理部と、膜８に張力を付与しつつ、延伸処理部に膜８を供給する張力付与機構部４０Ａと、を含む。張力付与機構部４０Ａは、膜８を搬送し延伸処理部に供給するためのガイドローラ４２Ｄ，駆動ローラ４１、およびガイドローラ４２Ｃを有する。膜８は、ガイドローラ４２Ｄから駆動ローラ４１に向かう方向、および駆動ローラ４１からガイドローラ４２Ｃに向かう方向に搬送される。ガイドローラ４２Ｄから駆動ローラ４１への搬送方向と、駆動ローラ４１からガイドローラ４２Ｃへの搬送方向とは異なる方向である。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

以下を含む、延伸装置：
油分を含む樹脂膜を第１の方向および前記第１の方向に交差する第２の方向に同時に延伸するための延伸処理部；
前記樹脂膜に張力を付与しつつ、前記延伸処理部に前記樹脂膜を供給する張力付与機構部；
ここで、
前記張力付与機構部は、
前記樹脂膜を搬送し前記延伸処理部に供給するための第１のローラ、第２のローラおよび第３のローラを有し、
前記樹脂膜は、前記第１のローラから前記第２のローラに向かう第３の方向および前記第２のローラから前記第３のローラに向かう第４の方向に搬送され、
前記第３の方向と前記第４の方向は異なる方向である。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、膜を縦方向および横方向に引き延ばす延伸装置に好適に利用できるものである。

【背景技術】

【0002】

延伸装置においては、縦延伸と横延伸を行うことができ、これらを順番に行うことを逐次二軸延伸法といい、一度に行うことを同時二軸延伸法という。同時二軸延伸法は、逐次延伸法に比べ、スクラッチが発生しにくい、原料の適応範囲が広く、結晶化速度が速くても延伸可能である、物性の縦横均一性が高いなどのメリットがある。

【0003】

例えば、特許文献１（特開２００４－１５５１３８号公報）には、折尺状に形成された複数個の等長リンク装置よりシート状物の両側端に配置された無端リンク装置を、シート状物の入口側および出口側のスプロケットにより駆動し、進行方向に末広がり状に配置されたガイドで形成されるガイドローラによって案内し、シート状物を横方向に延伸させるシート状物の延伸機が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００４－１５５１３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

同時二軸延伸法の場合、膜の進行方向、および進行方向と交差する方向に同時に膜が引き伸ばされる。進行方向と交差する方向に膜が引き伸ばされる時、進行方向には、膜の収縮力が生じ、この収縮力に起因して膜が進行方向の下流側に向かって引っ張られる。膜が下流側に引っ張られることを抑制するため、上記膜に対して上記収縮力の反対方向に作用する外力を付与することが好ましい。しかし、油分を含む膜を延伸する場合、膜の表面に油分が滲むことにより、膜に上記外力が伝達され難い。

【0006】

その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本願において開示される延伸装置は、以下を含む：
油分を含む樹脂膜を延伸するための延伸処理部；
前記樹脂膜に張力を付与しつつ、前記延伸処理部に前記樹脂膜を供給する張力付与機構部；
前記張力付与機構部は、
前記樹脂膜を搬送し前記延伸処理部に供給するための第１のローラ、第２のローラおよび第３のローラを有し、
前記樹脂膜は、前記第１のローラから前記第２のローラに向かう第１の方向および前記第２のローラから前記第３のローラに向かう第２の方向に搬送され、
前記第1の方向と前記第２の方向は異なる方向である。

【発明の効果】

【0008】

本願において開示される延伸装置によれば、油を含む膜を安定的に延伸させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】一実施の形態である薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。

【図2】図１に示す延伸装置の構造例を示す平面図である。

【図3】図２に示す複数のリンクのうちの一つを拡大して示す拡大平面図である。

【図4】図３に示すリンクのＡ－Ａ線に沿った断面図である。

【図5】図３に示すリンクのＡ－Ｂ線に沿った断面図である。

【図6】図２に示す入口部周辺の拡大平面図である。

【図7】図６に示す入口部周辺の側面図である。

【図8】図７に対する検討例を示す側面図である。

【図9】図７に対する変形例を示す側面図である。

【図10】図９に対する変形例を示す側面図である。

【図11】図７に対する他の変形例を示す側面図である。

【図12】図７に対する他の変形例を示す側面図である。

【図13】図１２に対する変形例を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、実施の形態を実施例や図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。

【0011】

＜全体構造＞
図１は、本実施の形態の薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。図１に示す本実施の形態の薄膜製造システム１は、混練押し出し装置（二軸混練押し出し装置）２、Ｔダイ３、原反冷却装置４、延伸装置（同時二軸延伸装置）５、引き取り装置６、および巻き取り装置７を有する。図１に示す例では、まず、混練押し出し装置２の原料供給部２Ａに樹脂材料（ペレット）および添加剤などを供給する。二軸混練押し出し装置２は、供給された樹脂材料などを、混合しながら輸送（搬送）する。Ｔダイ３は、二軸混練押し出し装置２により混練された混練物（溶融樹脂）をスリットから押し出す。Ｔダイ３から押し出された混練物は、原反冷却装置４において冷却され、膜（シート、樹脂膜）８になる。Ｔダイ３により成形される膜は、延伸装置５に連続的に供給される。延伸装置５にとっては、膜８は延伸に供される原料に相当する。本明細書では、延伸装置５を中心に説明するので、延伸装置５に供されるシート状の材料、および延伸処理が施されている前の膜８のことを原反と呼ぶ場合がある。一方、延伸処理が完了し、延伸装置５から排出された状態の膜８を薄膜と呼ぶ場合がある。

【0012】

原反冷却装置４で冷却されて形成された膜８は、延伸装置５によりＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸され、薄膜になる。延伸された膜８は、引き取り装置６を介して巻き取り装置７に巻き取られる。

【0013】

図１に一例として示す薄膜製造システム１の場合、上記のように、薄膜を製造する。なお、図１に示す薄膜製造システム１は、形成する薄膜の特性に応じて、種々の変形が可能である。例えば、図１に示す構成に加え、図１に示す引き取り装置６の近傍に図示しない抽出槽が設けられ、膜８中の可塑剤（例えば、パラフィンなど）が抽出槽で除去される場合がある。

【0014】

本実施の形態の延伸装置５は、膜８をＭＤ方向に搬送しながら、薄膜をＭＤ方向およびＴＤ方向に引き延ばす。ＭＤ（Machine Direction）方向は、薄膜の搬送方向に沿った方向であり、縦方向とも言う。また、ＴＤ（Transverse Direction）方向は、上記薄膜の搬送方向と交差する方向（図１に示す例では直交する方向）であり、横方向とも言う。互いに交差する二方向に同時に延伸させることが可能な延伸装置５は、同時二軸延伸装置と呼ばれる。

【0015】

以下、延伸装置５の構造、および延伸装置５が、ＭＤ方向およびＴＤ方向に膜８を引き延ばす原理について説明する。図２は、図１に示す延伸装置の構造例を示す平面図である。図２に示すオーブン内には、レール１３Ａ、１３Ｂ上に配置された複数のリンク２０が配置されるが、図２では、レール１３Ａおよび１３Ｂ、および膜８の輪郭のみを、点線で示している。図３は、図２に示す複数のリンクのうちの一つを拡大して示す拡大平面図である。図４は、図３に示すリンクのＡ－Ａ線に沿った断面図である。図５は、図３に示すリンクのＡ－Ｂ線に沿った断面図である。図４および図５では、クリップ２１の支持構造を見やすくするため、図３に示すＡ－Ａ線およびＡ－Ｂ線に沿った断面とは異なる位置にある部材を、白抜きで示している。

【0016】

図２に示すように、延伸装置５は、平面視において、互いに離間して配置される一対のリンク装置１０Ａおよび１０Ｂを有する。膜８は、リンク装置１０Ａとリンク装置１０Ｂとの間に配置され、ＭＤ方向に搬送される。言い換えれば、一対のリンク装置１０Ａおよび１０Ｂは、膜８の両隣に配置される。リンク装置１０Ａとリンク装置１０Ｂとの間の部分は、膜８を搬送するための搬送部として機能する。延伸装置５は、油分を含む樹脂膜である膜８を延伸するための延伸処理部１１を含む。延伸処理部１１は、膜８の両端を把持した状態で、膜８の搬送方向に沿ったＭＤ方向、およびＭＤ方向と交差するＴＤ方向に、膜８を同時に延伸させることができる。また、延伸装置５は、延伸処理部１１を覆い、膜８に熱処理を行うための熱処理部１２を有する。図２に示す例では、熱処理の方法として、オーブンを用いた熱処理の例を示している。リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれの一部分（延伸処理部１１）は、熱処理部１２の庫内に配置される。以下、本明細書では、熱処理部１２であるオーブンを貫通するように配置されるリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれのうち、熱処理部１２内に配置された部分を延伸処理部１１として説明する。膜８は、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂに保持された状態で、熱処理部１２を通過する。

【0017】

リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれは、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク２０を有する。複数のリンク２０のそれぞれには、膜８を把持する治具であるクリップ２１（図３参照）が取り付けられている。膜８は、クリップ２１を介して複数のリンク２０に把持される。

【0018】

互いに連結された複数のリンク２０は、レール１３Ａおよび１３Ｂに沿って走行可能な状態で、レール１３Ａおよび１３Ｂ上に載せられる。リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれは、一対のレール１３Ａおよび１３Ｂを有する。一対のレール１３Ａおよび１３Ｂのうち、レール１３Ａは内周側に、レール１３Ｂは外周側に、それぞれ配置される。なお、レール１３Ａを内側レールと呼び、レール１３Ｂを外側レールと呼ぶ場合がある。

【0019】

図２に示すようにリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれが備える一対のレール１３Ａおよび１３Ｂは、延伸処理前の膜８を供給する入口側に配置される入口部（入口側）１４、熱処理部１２、および出口部（出口側）１５に亘って環状に形成される。

【0020】

複数のリンク２０により構成される無端チェーンは、熱処理部１２の外側に配置されるリンク駆動機構により駆動される。図２に示す例では、延伸装置５は、膜８の入口部１４および出口部１５のそれぞれにリンク駆動機構を有する。膜８の入口部１４には、リンク駆動機構であるスプロケット３１が配置される。膜８の出口部１５には、リンク駆動機構であるスプロケット３２が配置される。スプロケット３１および３２は、それぞれ複数のリンク２０に係合され、複数のリンク２０をＭＤ方向に送り出すように回転する。複数のリンク２０のそれぞれは、スプロケット３１および３２の回転動作の駆動力により、レール１３Ａおよびレール１３Ｂ上を移動する。

【0021】

複数のリンク２０のうち、互いに隣り合うリンク２０間のピッチ（リンクピッチと呼ぶ場合もある）は、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離に応じて変更可能である。言い換えれば、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離を調整することにより、互いに隣り合うリンク２０のピッチを調整することができる。詳しくは、レール１３Ａと１３Ｂとの離間距離が大きい領域では、レール１３Ａと１３Ｂとの離間距離が小さい領域と比較して、隣り合うリンク２０のピッチが小さい。

【0022】

複数のリンク２０は、隣り合うリンク２０のピッチが変更可能な状態でレール上に配置される。また、クリップ２１（図３参照）は、隣り合うクリップ２１のピッチ（中心間距離）が変更可能な状態で複数のリンクのそれぞれの一方の端部に取り付けられる。膜８は、熱処理部１２において、リンク装置１０Ａのレール１３Ｂとリンク装置１０Ｂのレール１３Ｂとの離間距離が徐々に大きくなる領域で、ＴＤ方向に延伸される。延伸処理部１１は、リンク装置１０Ａのレール１３Ａとリンク装置１０Ｂのレール１３Ａとの離間距離が徐々に大きくなる領域を含んでいる。膜８を介して互いに対向する２本のレール１３Ａの離間距離が大きくなる領域では、クリップ２１に保持された膜８は、ＴＤ方向に延伸される。

【0023】

延伸装置５は、熱処理部１２において、リンク装置１０Ａが備える複数のリンク２０のリンクピッチ、およびリンク装置１０Ｂが備える複数のリンク２０のリンクピッチが大きくなる領域（ＭＤ方向延伸領域）を備える。膜８は、このリンクピッチが大きくなる領域において、ＭＤ方向に延伸される。リンクピッチが大きくなる領域では、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれにおいて、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が小さくなる。リンク装置１０Ａのレール１３Ｂとリンク装置１０Ｂのレール１３Ｂとの離間距離が徐々に大きくなる領域とリンクピッチが大きくなる領域とは同じ領域なので、この領域では、膜８は、ＴＤ方向およびＭＤ方向に同時に延伸される。

【0024】

また、延伸装置５は、熱処理部１２において、リンクピッチを大きくするので、熱処理部１２への入口部１４において、リンクピッチを小さくしておく必要がある。このため、延伸装置５は、熱処理部１２の外部であって、膜８の入口部１４に配置されたスプロケット３３を備える。スプロケット３３は、スプロケット３１の回転速度より遅い回転速度で回転する。スプロケット３３は、複数のリンク２０に係合する。スプロケット３１の回転速度より遅く回転するスプロケット３３が膜８の入口部１４に配置されることにより、複数のリンク２０のリンクピッチは、スプロケット３３に係合される領域において小さくなる。スプロケット３３は、複数のリンク２０のリンクピッチを小さくするためのリンク調整機構部として機能する。

【0025】

膜８は、熱処理部１２への入口部１４において、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれが備えるリンク２０に取り付けられたクリップ２１により把持される。クリップ２１は、図３～５に記載されるバネ２１Ａなどの力により把持部２１Ｂ（図４および５参照）が上下に動作することで、開閉するように構成される。クリップ２１は膜８の端部を把持した状態でリンク２０と一緒にＭＤ方向に搬送される。膜８は、熱処理部１２内で加熱され、かつ、クリップ２１の移動に伴ってＭＤ方向およびＴＤ方向に引き伸ばされる。引き伸ばされた後の膜８は、クリップ２１に把持された状態で、熱処理部１２の出口部１５に向かって搬送される。熱処理部１２の外部であり、かつ膜８の出口部１５において、膜８はクリップ２１から外される。膜８の出口側の先には、図１に示す引き取り装置６および巻き取り装置７が配置され、引き伸ばされた膜８は、巻き取り装置７に巻き取られ、回収される。

【0026】

また、延伸装置５は、膜８に張力を付与しつつ、延伸処理部１１に膜８を供給する張力付与機構部４０Ａを有する。張力付与機構部４０Ａは、膜８の搬送方向において、入口部１４よりも上流側に配置され、膜８に張力を付与する機構を備える。張力付与機構部４０Ａの詳細な構造および動作は、後述する。

【0027】

次に、リンク２０の構造について説明する。図３に示すように、リンク２０は、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３と、レールホルダ２４および２５と、を備える。上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３のそれぞれは、平面視において直線的に延びる板状の部材である。上段側リンクプレート２２の一方の端部には、シャフト２６が挿入される。図４および図５に示すように、シャフト２６は、下段側リンクプレート２３にも挿入され、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３とは、シャフト２６の中心を回転軸として、回転自在な状態でシャフト２６を介して連結される。下段側リンクプレート２３の一方の端部には、クリップ２１が取り付けられる。図４に示すように、下段側リンクプレート２３において、シャフト２６は、クリップ２１が取り付けられる一方の端部と他方の端部との間に挿入される。図３では、シャフト２６を中心に上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３とが回転する状態を、二点鎖線を用いて模式的に示している。シャフト２６を回転軸として上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３とが回転すると、上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３との成す角θ１の角度が変化する。

【0028】

なお、本明細書では、図３に示す角θ１の角度が大きくなることを「リンクが開く」、角θ１の角度が小さくなることを「リンクが閉じる」と呼ぶ場合がある。また、角θ１の角度が大きくなったり小さくなったりする動作を、「リンクの開閉動作」と呼ぶ場合がある。

【0029】

また、図４および図５に二点鎖線で示すように、上段側リンクプレート２２には、シャフト２７が挿入される。シャフト２７は、互いに隣り合うリンク２０を連結する連結部材である。シャフト２７は、互いに隣り合うリンク２０のうち、一方のリンク２０の上段側リンクプレート２２と、他方のリンク２０の下段側リンクプレート２３とに挿入される。一方のリンク２０の上段側リンクプレート２２および他方のリンク２０の下段側リンクプレート２３のそれぞれは、シャフト２７の中心を回転軸として回転自在な状態で、シャフト２７を介して連結される。図５に示すように、上段側リンクプレート２２の他方の端部には、図２に示すスプロケット３１、３２、および３３に係合される係合部２９が取り付けられる。上段側リンクプレート２２において、シャフト２７は、係合部２９とシャフト２６との間に挿入される。シャフト２７を回転軸として上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３とが回転すると、一方のリンク２０の上段側リンクプレート２２と他方のリンク２０の下段側リンクプレート２３との成す角（図示は省略）の角度が変化する。

【0030】

図４および図５に示すように、シャフト２６の下端には、レールホルダ２５が取り付けられる。レールホルダ２５は、シャフト２６の中心を回転軸として、回転可能な状態で取り付けられる。図４に示すように、シャフト２７の下端には、レールホルダ２４が取り付けられる。レールホルダ２４は、シャフト２７の中心を回転軸として、回転可能な状態で取り付けられる。レールホルダ２４はレール１３Ａを覆うように配置され、レールホルダ２５はレール１３Ｂを覆うように配置される。なお、レールホルダ２４および２５のそれぞれは、レール１３Ａまたは１３Ｂを挟むように配置されるつば付きローラと、つば付きローラを保持するホルダと、を備える部材である。

【0031】

リンク２０は、上記の構造を備えるので、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が変化すると、その変化に追従して上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３が回転する。この結果、隣り合うリンク２０のピッチは、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離に対応して変化する。なお、隣り合うリンク２０のピッチは、回転可能に構成された部分の頂点、言い換えれば、シャフト２６の中心を基準として規定することができる。

【0032】

＜張力付与機構部＞
次に、図１および図２に示す張力付与機構部の詳細について説明する。図２に示すように、延伸装置５は、膜８の搬送方向において、入口部１４よりも上流側に配置され、膜８に張力を付与する機構を備えた、張力付与機構部４０Ａを有する。膜８がＴＤ方向に延伸される領域では、ＴＤ方向に膜８が引き伸ばされることに伴って、ＭＤ方向に収縮力８Ｆが生じる。図２では、収縮力８Ｆを矢印で模式的に示している。収縮力８Ｆは、膜８がＴＤ方向に延伸される領域にある中立点に向かって発生する。入口部１４の周辺で収縮力８Ｆが発生すると、膜８は、進行方向であるＭＤ方向の下流側（図２に示す出口部１５側）に向かって引っ張られる。

【0033】

上記したように、入口部１４では、膜８は、リンク２０のクリップ２１（図３参照）により把持される。このため、仮に収縮力８Ｆにより膜８の位置がずれた場合、クリップ２１により把持する位置がずれてしまう場合がある。リンク装置１０Ａのリンク２０に把持される位置とリンク装置１０Ｂのリンク２０に把持される位置とがずれた場合、膜８は把持位置がずれた状態のまま搬送されるので、ＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸される際に、斜めに延伸されてしまい、延伸後の薄膜の品質にばらつきが生じる。

【0034】

したがって、入口部１４において、膜８が収縮力８Ｆにより引っ張られることを抑制するため、収縮力８Ｆの反対方向に作用する外力としての張力８Ｔを付与することが好ましい。張力８Ｔを付与することにより、収縮力８Ｆに起因する膜８の位置ずれを防止することができる。張力８Ｔは、張力付与機構部４０Ａにより付与される。膜８は、スプロケット３１および３２の駆動力により、膜８を保持するリンク２０が入口部１４から出口部１５に向かって移動することにより搬送される。張力付与機構部４０Ａは、膜８を搬送する力に対して、抵抗力を印加することにより、膜８に張力８Ｔを付与する。

【0035】

図６は、図２に示す入口部周辺の拡大平面図である。図６に示すリンク装置１０Ａおよび１０Ｂは、カバー１６に覆われているが、図６では、カバー１６内に配置されたリンク装置１０Ａおよび１０Ｂを実線で示している。図７は、図６に示す入口部周辺の側面図である。図８は、図７に対する検討例を示す側面図である。まず、図８を用いて本実施の形態に対する検討例である張力付与機構部４０Ｚを用いて説明する。図６～図８に示す複数のローラ（駆動ローラ４１およびガイドローラ４２等）のそれぞれは、筐体４７に覆われているが、図６～図８では、筐体４７内に配置される複数のローラを実線で示している。

【0036】

図８に示す張力付与機構部４０Ｚは、膜８と接触し、かつ、膜８を送り出すための駆動ローラ４１と、膜８と接触し、かつ、膜８の移動に応じて回転するガイドローラ４２と、を有する。図８に示す例では、張力付与機構部４０Ｚは、駆動ローラ４１の後に膜８と接触するガイドローラ４２Ａと、駆動ローラ４１より先に膜８と接触するガイドローラ４２Ｂと、を有する。また、張力付与機構部４０Ｚは、膜８と接触し、かつ、膜８を駆動ローラ４１に向かって押し付けるためのニップローラ４３を有する。張力付与機構部４０Ｚは、ニップローラ４３により膜８を駆動ローラ４１に押し付けることで、膜８を搬送する力（駆動ローラ４１の駆動力や、図２に示すスプロケット３１および３２の駆動力）に対して抵抗する抵抗力を印加する。膜８は、この抵抗力により入口部１４よりも上流側に向かって引っ張られるので、膜８に、図２に示す張力８Ｔが生じる。この張力８Ｔは、図２に示す収縮力８Ｆを打ち消すように作用するので、入口部１４において生じる収縮力８Ｆの影響を低減させることができる。

【0037】

ところが、本願発明者の検討によれば、膜８が油分（油成分）を含む場合、張力付与機構部４０Ｚでは、十分に張力を付与できないことが判った。油分を含む膜８の一例として、リチウムイオン２次電池に内蔵されるセパレータを取り上げて説明する。

【0038】

リチウムイオン２次電池において、セパレータは、正極板と負極板との間に挟まれるように配置される、絶縁膜である。セパレータに用いられる絶縁膜には、電極間の絶縁機能の他、電解液やリチウムイオン等を通過させる機能が要求される。このため、セパレータには多数の孔が形成されている。多数の孔を備えた樹脂絶縁膜を形成する方法として、例えば以下の方法がある。すなわち、セパレータの原料となる樹脂材料（以下、原料樹脂と記載する）に混合される溶剤に可塑剤を添加する。この可塑剤は、原料樹脂の融点以上の温度において均一の溶液を形成可能な不揮発性溶媒であって、かつ、薄膜化後に抽出して除去することが可能な材料から成る。このような可塑剤として、例えば、流動パラフィンやパラフィンワックスなどの油分を用いることができる。原料樹脂は、上記可塑剤を含む溶剤と混練された後、例えば図１に示すＴダイ３によりシート化され、延伸装置５により薄膜化される。その後、洗浄処理により薄膜に含まれる可塑剤が抽出除去された後、乾燥処理、および安定化処理を施すことにより、多孔質の樹脂製の薄膜が形成される。

【0039】

上記のプロセスにより、セパレータを形成する場合、延伸装置５に供される膜８は、油分である可塑剤を含んだ状態である。油分を含む膜８が、図８に示す張力付与機構部４０Ｚに供されると、膜８の表面に油分が滲みでるため、膜８とニップローラ４３との摩擦抵抗が小さくなる。ニップローラ４３の表面は、例えばシリコーンなどの高分子樹脂に覆われており、この高分子樹脂が膜８と接触するが、膜８の表面に油分が滲んだ状態では、膜８とニップローラ４３との摩擦抵抗が小さく、ニップローラ４３により十分な抵抗力を印加することができないことが判った。

【0040】

図６および図７に示す張力付与機構部４０Ａの場合、油分を含む膜８を延伸させる場合であっても、図２に示す張力８Ｔを付与することができる。詳しくは、図７に示すように、張力付与機構部４０Ａは、膜８と接触し、かつ、膜８を送り出すための駆動ローラ（ローラ）４１と、膜８と接触し、かつ、膜８の移動に応じて回転するガイドローラ（ローラ）４２と、を有する。図７に示す例では、張力付与機構部４０Ａは、膜８を延伸処理部１１（図２参照）に供給するための複数のローラ（駆動ローラ４１および複数のガイドローラ４２）を有する。膜８は、ガイドローラ（ローラ）４２Ｄから駆動ローラ４１に向かう方向（図７では順方向Ｘ１）、および駆動ローラ４１からガイドローラ（ローラ）４２Ｃに向かう方向（図７では逆方向Ｘ２）に搬送される。ガイドローラ４２Ｄから駆動ローラ４１への搬送方向と、駆動ローラ４１からガイドローラ４２Ｃへの搬送方向とは異なる方向である。図７に示す例では、逆の方向である。図７に示す例を以下のように表現することもできる。張力付与機構部４０Ａは、駆動ローラ４１の後に膜８と接触するガイドローラ４２Ｃ、および４２Ａと、駆動ローラ４１より先に膜８と接触するガイドローラ４２Ｂおよび４２Ｄと、を有する。膜８は、駆動ローラ４１、ガイドローラ４２Ｃ、およびガイドローラ４２Ａに順に接触した後、入口部１４に供給される。ガイドローラ４２Ｃは、延伸装置５の設置面ＦＬを基準面として駆動ローラ４１の高さとは異なる高さに位置し、かつ、駆動ローラ４１より入口部１４から遠い位置に配置される。言い換えれば、ガイドローラ４２Ｃは、駆動ローラ４１の高さとは異なる高さに位置し、かつ、駆動ローラ４１より図２に示す延伸処理部１１から遠い位置に配置される。図７に示す例では、ガイドローラ４２Ｃは、延伸装置５の設置面ＦＬを基準面として駆動ローラ４１の高さより低い位置に配置される。

【0041】

以下の説明において、駆動ローラ４１、ガイドローラ４２、などの各種ローラ、あるいは膜８の面の高さについて説明する場合、延伸装置５の設置面ＦＬを基準面とした場合の高さについて説明する。また、単にローラの高さを比較した場合には、基準面に対するローラの回転軸（回転中心）の高さを比較して説明する。例えば、「ガイドローラ４２Ｃは、駆動ローラ４１とは異なる高さに位置する」と説明した場合には、ガイドローラ４２Ｃの回転軸（回転中心）の高さと、駆動ローラ４１の回転軸の高さとが互いに異なっていることを意味する。ただし、ローラの上端、あるいは下端などローラの特定部分の高さに言及した場合には、当該部分の高さを意味する。同様に、以下の説明において、駆動ローラ４１、ガイドローラ４２、などの各種ローラの入口部１４からの距離が遠い、あるいは近いと表現する場合がある。この場合、例えば図７に示す入口部１４に設けられたカバー１６の側面１６ｓのうち、張力付与機構部４０Ａに最も近い面を基準面とする。例えば、「駆動ローラ４１より入口部１４から遠い位置に配置されるガイドローラ４２Ｃ」と表現した場合には、ガイドローラ４２Ｃの回転軸（回転中心）からカバー１６の側面１６ｓまでの最短距離の方が、駆動ローラ４１の回転軸（回転中心）からカバー１６の側面１６ｓまでの最短距離より長いことを意味する。同様に、駆動ローラ４１、ガイドローラ４２、などの各種ローラの延伸処理部１１からの距離が遠い、あるいは近いと表現する場合がある。この場合、図２に示す熱処理部１２と入口部１４との境界を基準位置としてこの基準位置からの距離を意味する。

【0042】

張力付与機構部４０Ａの場合、駆動ローラ４１より低い位置で、かつ、駆動ローラ４１より入口部１４から（言い換えれば図２の延伸処理部１１から）遠い位置に配置されるガイドローラ４２Ｃが設けられ、かつ、膜８が駆動ローラ４１と接触した後、ガイドローラ４２Ｃと接触するように構成されることにより、膜８の搬送経路が、図８に示す張力付与機構部４０Ｚと比較して複雑になる。図７に示す例では、ガイドローラ４２Ｃの上端が少なくとも駆動ローラ４１の回転軸より低い位置にある。

【0043】

図７および図８に示すように張力付与機構部４０Ａ（または４０Ｚ）から入口部１４に向かう方向を順方向Ｘ１、順方向Ｘ１の反対方向を逆方向Ｘ２とする。図８に示す張力付与機構部４０Ｚの場合、膜８は順方向Ｘ１にのみ搬送される。一方、図７に示す張力付与機構部４０Ａの場合、膜８の搬送経路は、駆動ローラ４１とガイドローラ４２Ｃとの間に、逆方向Ｘ２に沿って膜８が搬送される経路（リターンパス）を含む。膜８の搬送経路がリターンパスを含む場合、リターンパスの終端に位置するガイドローラ４２Ｃは、ガイドローラ４２Ｃと膜８との接触界面と、入口部１４との間に配置される。図７に示す例において、膜８に強い収縮力８Ｆ（図２参照）が発生した場合、張力付与機構部４０Ａ内の膜８は、収縮力８Ｆにより入口部１４に向かって引っ張られる。この時、ガイドローラ４２Ｃと膜８との接触界面と入口部１４との間には、ガイドローラ４２Ｃが配置されているので、膜８を引っ張る力が大きくなる程、膜８はガイドローラ４２Ｃに対して強く押しつけられる。この結果、仮に、膜８の表面に油分が滲みだしたとしても、ガイドローラ４２Ｃは、膜８を順方向Ｘ１に引っ張る力に対する抵抗力を膜８に付与する。言い換えれば、膜８は、ガイドローラ４２Ｃにより、張力８Ｔ（図２参照）を付与される。

【0044】

また、図７の構成の場合、ガイドローラ４２Ｃに加え、駆動ローラ４１も膜８に対して張力を付与する。すなわち、リターンパスの始端となる駆動ローラ４１では、リターンパスにおいて、膜８が逆方向Ｘ２に引っ張られる力が大きくなる程、膜８は、駆動ローラ４１に対して強く押しつけられる。この結果、駆動ローラ４１は、膜８が逆方向Ｘ２に引っ張られる力に対する抵抗力を膜８に付与する。

【0045】

上記のように、図７に示す張力付与機構部４０Ａの場合、膜８に含まれる油分が表面に滲み出て、ガイドローラ４２Ｃとの接触界面が滑り易くなったとしても、膜８に対して張力８Ｔ（図２参照）を付与することができる。この張力８Ｔは、図２に示すように膜８に生じる収縮力８Ｆに起因して入口部１４の近傍の膜８を出口部方向に引っ張る力と相殺することができる。この結果、入口部１４において、リンク装置１０Ａのリンク２０およびリンク装置１０Ｂのリンク２０のそれぞれが、膜８を把持する位置にずれが生じることを抑制できる。

【0046】

また、本実施の形態のように、張力付与機構部４０Ａ内の膜８の搬送経路に、リターンパスを設けることにより、膜８に張力を付与する方法の場合、張力付与機構部４０Ａの専有面積の増大を抑制することができる。

【0047】

また、図７に示す実施態様は、以下のように表現することができる。図７に示すように、膜８は、前面８ｆおよび前面８ｆの反対側の背面８ｂを備える。前面８ｆは、入口部１４において、上方を向く面であり、背面８ｂは、入口部１４において、延伸装置５の設置面ＦＬと対向する面である。張力付与機構部４０Ａの場合、駆動ローラ４１は、膜８の背面８ｂと接触し、ガイドローラ４２Ｃは、膜８の前面８ｆと接触する。なお、ガイドローラ４２Ａおよび４２Ｄのそれぞれは、膜８の背面８ｂと接触し、ガイドローラ４２Ｂは、膜８の前面８ｆと接触する。張力付与機構部４０Ａ内の膜８の搬送経路において、リターンパスの始端である駆動ローラ４１が膜８の一方の面（背面８ｂ）に接触し、および終端であるガイドローラ４２Ｃが膜８の他方の面（前面８ｆ）に接触する場合、上記した抵抗力を膜８に付与することができる。

【0048】

次に、図７に示す複数のガイドローラ４２のうち、ガイドローラ４２Ｃ以外のガイドローラ４２Ａ、４２Ｂおよび４２Ｄについて説明する。ガイドローラ４２Ｃを含め、複数のガイドローラ４２のそれぞれは、金属製の円筒部材（または円柱部材）である。複数のガイドローラ４２のそれぞれの表面は、耐摩耗性、耐食性に優れた金属膜（例えばクロムメッキ膜）に覆われている。駆動ローラ４１は、その回転軸にモータ４４（図６参照）が接続されている点を除き、複数のガイドローラ４２と同様の構造を有している。例えば、複数のガイドローラ４２のそれぞれ、および駆動ローラ４１は、同じ直径を備えている。

【0049】

ガイドローラ４２Ａは、入口部１４に供給される膜８の高さを調整するために設けられている。ガイドローラ４２Ａは、延伸装置５の設置面ＦＬを基準面として、ガイドローラ４２Ａの上端の高さが入口部１４における膜８の背面８ｂの高さと一致するように配置されている。ガイドローラ４２Ａと膜８の背面８ｂとが接触することにより、膜８の高さを制御できるように、設置面ＦＬを基準面として、ガイドローラ４２Ｃの下端は、ガイドローラ４２Ａの上端より低い位置に配置されている。また、駆動ローラ４１は、ガイドローラ４２Ａより高い位置に配置されている。詳しくは、駆動ローラ４１の下端は、ガイドローラ４２Ａの上端よりも高い位置に配置される。

【0050】

ガイドローラ４２Ｂは、図１に示す原反冷却装置４で冷却された膜８に皺や弛みが生じることを抑制するために設けられている。図１に示すように、原反冷却装置４と膜８との接触面積を大きくするため、原反冷却装置４と張力付与機構部４０Ａとの間には、ガイドローラ４Ａが設けられ、かつガイドローラ４Ａは、原反冷却装置４のより高い位置に設けられている。図７に示すガイドローラ４２Ｂは、膜８に皺や弛みが生じることを抑制するため、ガイドローラ４Ａ（図１参照）より低い位置に設けられている。また、ガイドローラ４２Ｂとガイドローラ４Ａとの高低差は大きい方が好ましい。図７に示す例では、設置面ＦＬを基準面として、ガイドローラ４２Ｂは、ガイドローラ４２Ａおよび４２Ｃ、および駆動ローラ４１より低い位置（設置面ＦＬに近い位置）に設けられている。

【0051】

ガイドローラ４２Ｄは、ガイドローラ４２Ｂと駆動ローラ４１との間を搬送される膜８と、ガイドローラ４２Ｃとの干渉を防止するために設けられている。ガイドローラ４２Ｄは、ガイドローラ４２Ｃより高い位置に配置される。ガイドローラ４２Ｄを設けない場合、図７に示すガイドローラ４２Ｂから駆動ローラ４１に向かって膜８が直線的に搬送されるので、ガイドローラ４２Ｃと膜８とが干渉する可能性がある。この干渉を避けるため、ガイドローラ４２Ｃの位置は、制約される。図７に示すように、駆動ローラ４１とガイドローラ４２Ｂとの間にガイドローラ４２Ｄが設けられ、ガイドローラ４２Ｂ、４２Ｄ、および駆動ローラ４１の順で、膜８に接触するように膜８の搬送経路が構成されている場合、ガイドローラ４２Ｄにより、膜８とガイドローラ４２Ｃとの干渉を防止できる。この場合、ガイドローラ４２Ｃの位置を決定する設計上の自由度が上がるので、上記した抵抗力の付与特性や、ガイドローラ４２Ｃの耐久性等を考慮して、最適な位置にガイドローラ４２Ｃを配置することができる。

【0052】

＜変形例＞
図９は、図７に対する変形例を示す側面図である。図９に示す張力付与機構部４０Ｂは、ガイドローラ４２Ｂの高さ、および図７に示すガイドローラ４２Ｄが設けられていない点で、図７に示す張力付与機構部４０Ａと相違する。張力付与機構部４０Ｂの場合、ガイドローラ４２Ｂが、駆動ローラ４１よりも高い位置に配置される。詳しくは、ガイドローラ４２Ｂの下端が駆動ローラ４１の上端と同じ高さにある。なお、上記した同じ高さには、厳密に同一の高さである場合の他、張力付与機構部４０Ｂに配置される膜８の厚さの範囲程度の誤差がある場合も含む。この程度の誤差であれば、実質的に同じ高さと見做せる。張力付与機構部４０Ｂの場合、図７に示すガイドローラ４２Ｄが設けられていない場合でも、ガイドローラ４２Ｃと膜８とが干渉しない。また、ガイドローラ４２Ｃの位置に係る設計上の自由度も特に制約されない。ただし、ガイドローラ４２Ｂとガイドローラ４Ａ（図１参照）との高低差は図７に示す例と比較すると小さい。

【0053】

また、図示は省略するが、図７に示す実施態様に対する変形例として、ガイドローラ４２Ａが配置されない場合がある。この場合、設置面ＦＬを基準面として、ガイドローラ４２Ｃの下端の高さが入口部１４における膜８の前面８ｆの高さと一致するように配置される必要がある。なお、入口部１４に供給される膜８の背面８ｂの高さを制御し易くする観点からは、膜８の背面８ｂに接触するようにガイドローラ４２Ａが配置されることが特に好ましい。

【0054】

図１０は、図９に対する変形例を示す側面図である。図１０に示す張力付与機構部４０Ｃは、ガイドローラ４２Ｃが駆動ローラ４１より高い位置に配置されている点で、図７に示す張力付与機構部４０Ａおよび図９に示す張力付与機構部４０Ｂと相違する。張力付与機構部４０Ｃの構造は、図９に示す張力付与機構部４０Ｂに対して、駆動ローラ４１およびガイドローラ４２Ｂの位置を上下反転させた構造になっている。

【0055】

また、張力付与機構部４０Ｃの場合、駆動ローラ４１には膜８の前面８ｆが接触し、ガイドローラ４２Ｃには、膜８の背面８ｂが接触する点で、図７に示す張力付与機構部４０Ａおよび図９に示す張力付与機構部４０Ｂと相違する。張力付与機構部４０Ｃの場合も、張力付与機構部４０Ｃ内の膜８の搬送経路において、リターンパスの始端である駆動ローラ４１が膜８の一方の面（前面８ｆ）に接触し、および終端であるガイドローラ４２Ｃが膜８の他方の面（背面８ｂ）に接触する点は、図７に示す張力付与機構部４０Ａの場合と同様である。したがって、張力付与機構部４０Ｃの場合も、上記した抵抗力を、油分を含む膜８に付与することができる。

【0056】

また、張力付与機構部４０Ｃの場合、ガイドローラ４２Ｂが、ガイドローラ４２Ａよりも高い位置に配置されている点で、図９に示す張力付与機構部４０Ｂと相違する。この場合、ガイドローラ４２Ｂとガイドローラ４Ａ（図１参照）との高低差を図９に示す例と比較して大きくすることができる。

【0057】

図１１は、図７に対する他の変形例を示す側面図である。図１１に示す張力付与機構部４０Ｄは、ニップローラ４３を更に有している点で、図７に示す張力付与機構部４０Ａと相違する。ニップローラ４３は、膜８を駆動ローラ４１との間に挟んで駆動ローラ４１に向かって押し付けるように動作する。図１１に示すように、駆動ローラ４１には、膜８の背面８ｂが接触し、ガイドローラ４２Ｃおよびニップローラ４３のそれぞれには、膜８の前面８ｆが接触する。

【0058】

ニップローラ４３は、図８を用いて説明したニップローラ４３と同様の構造を有している。ニップローラ４３は、駆動ローラ４１と対向する位置に配置される。例えば、ニップローラ４３の表面は、例えばシリコーンなどの高分子樹脂膜に覆われており、この高分子樹脂膜が膜８と接触する。ただし、本変形例の場合、ニップローラ４３を使用する目的が図８に示す検討例とは異なる。すなわち、ニップローラ４３が膜８に接触する時、膜８の表面には、油分が滲んでいる。このため、膜８とニップローラ４３との摩擦抵抗は小さい。したがって、ニップローラ４３を膜８に押し付けることにより、膜８に抵抗力を付与するという観点からは、ニップローラ４３の果たす役割は小さい。

【0059】

しかし、本願発明者は、ニップローラ４３を膜８に押し付けることにより、膜８の表面に滲み出た油分を除去または低減できる効果が期待できることを見出した。図１１に示すように、駆動ローラ４１の上方に配置されたニップローラ４３と膜８の前面８ｆとが接触すると、前面８ｆの表面に滲み出た油分の少なくとも一部がニップローラ４３により除去される。このため、膜８の前面８ｆ側は、ニップローラ４３と接触する前と比較して滑り難い状態になる。この状態で膜８の前面８ｆは、ガイドローラ４２Ｃに接触するため、ガイドローラ４２Ｃと膜８との接触界面では、図７に示す例と比較して摩擦抵抗が増大する。この結果、ガイドローラ４２Ｃは、図７に示す例と比較して効率的に上記した抵抗力を膜８に付与することができる。

【0060】

このように、本変形例によれば、膜８とガイドローラ４２Ｃとが接触する直前に、膜８とガイドローラ４２Ｃとの接触界面である前面８ｆの油分を切ることにより、ガイドローラ４２Ｃと膜８との摩擦抵抗を増加させることができる。

【0061】

なお、図１１では、代表的に図７に対する変形例として示したが、図９に示す張力付与機構部４０Ｂ、あるいは図１０に示す張力付与機構部４０Ｃの変形例として、図１１に示すニップローラ４３を追加する場合がある。例えば、図１０に示す張力付与機構部４０Ｃにニップローラ４３（図１１参照）を追加する場合、図１０に駆動ローラ４１の下方にニップローラ４３が追加される。この場合、駆動ローラ４１には、膜８の前面８ｆが接触し、ガイドローラ４２Ｃおよびニップローラ４３のそれぞれには、膜８の背面８ｂが接触する。

【0062】

図１２は、図７に対する他の変形例を示す側面図である。図１３は、図１２に対する変形例を示す側面図である。図１２に示す張力付与機構部４０Ｅは、膜８に印加される張力を計測する張力計測部４５と、張力計測部４５による計測結果に基づいて膜８を搬送する駆動力を制御する制御部４６と、を更に有している点で図７に示す張力付与機構部４０Ａと相違する。

【0063】

張力付与機構部４０Ｅのように、張力計測部４５および制御部４６を備えている場合、膜８に印加される張力８Ｔ（図２参照）の程度に応じて、膜８を搬送する駆動力を自動的に調整することができる。このため、適切な張力８Ｔを継続的に維持することができる。一方、図７に示す張力付与機構部４０Ａ～図１１に示す張力付与機構部４０Ｄのそれぞれの場合、入口部１４において膜８が順方向Ｘ１に向かって引っ張られた時に、予め設定された張力８Ｔで膜８を引っ張る力に抵抗する力を付与する構造になっている。このため、予め設定された張力８Ｔに釣り合うように順方向Ｘ１に膜８を引っ張る力を手動で調整する必要がある。

【0064】

図１２に示す張力計測部４５および制御部４６を用いた膜８を搬送する駆動力の調整機能は、駆動力が不足して膜８に弛みが生じることを防止する時、あるいは駆動系統の誤作動により、順方向Ｘ１に引っ張る力が過剰に大きくなった時に有効な機能である。

【0065】

膜８の張力を計測する方法および計測結果に基づいて膜８を搬送する駆動力を制御する方法には、種々の変形例があるが、以下では、代表的な実施態様および、好ましい態様について例示的に説明する。

【0066】

図１２に示す例では、張力計測部４５は、ダンサローラ４５Ａ、支持板４５Ｂ、支点４５Ｃ、およびセンサ４５Ｄを有する。膜８は、ガイドローラ４２Ｃからダンサローラ４５Ａに向かう方向、およびダンサローラ４５Ａからガイドローラ４２Ａに向かう方向に搬送される。ガイドローラ４２Ｃからダンサローラ４５Ａへの搬送方向と、ダンサローラ４５Ａからガイドローラ４２Ａへの搬送方向とは異なる方向である。また、ガイドローラ４２Ｃからダンサローラ４５Ａへの搬送方向、およびダンサローラ４５Ａからガイドローラ４２Ａへの搬送方向は、ガイドローラ４２Ｄから駆動ローラ４１への搬送方向、および駆動ローラ４１からガイドローラ４２Ｃへの搬送方向のそれぞれとは異なる方向である。張力計測部４５は、ガイドローラ４２Ｃとダンサローラ４５Ａの間、およびガイドローラ４２Ａとダンサローラ４５Ａの間の膜８の張力を計測する。

【0067】

ダンサローラ４５Ａは、膜８と接触し、かつ、膜８の張力に応じて張力付与機構部４０Ｅの高さ方向（図１２に示すＺ方向）に動作可能に支持される。支持板４５Ｂは、筐体４７に固定された支点４５Ｃを回転中心として回転自在に支点４５Ｃ取り付けられ、支点４５Ｃとの接続部の反対側にある端部において、ダンサローラ４５Ａを支持する構造になっている。このため、ダンサローラ４５Ａは、支点４５Ｃを中心とする円弧軌道に沿って動作する。また、センサ４５Ｄは、筐体４７に固定され、ダンサローラ４５Ａの動作方向および移動量の程度を検出する。センサ４５Ｄは、例えば赤外線センサであって、支持板４５Ｂの回転角度、あるいはダンサローラ４５Ａの位置を検出することにより、ダンサローラ４５Ａの動作方向および移動量の程度を検出する。図１２に実線で模式的に示すように、センサ４５Ｄは制御部４６と電気的に接続されている。

【0068】

センサ４５Ｄで検出された計測結果は、電気信号として制御部４６に伝送される。制御部は、センサ４５Ｄから伝送されたデータを処理する処理回路、および処理結果に基づいて延伸装置５の駆動装置を駆動する駆動信号を生成する演算処理回路を有する。延伸装置５の駆動装置には、例えば図２に示すスプロケット３１、３２、および３３、および図１２に示す駆動ローラ４１が含まれる。これらの駆動装置は、制御部４６から伝送される駆動信号に基づいて駆動される。

【0069】

例えば、膜８を搬送する駆動力が強くなり、入口部１４において膜８を順方向Ｘ１に引っ張る強さが大きくなれば、ダンサローラ４５Ａは、上記円弧軌道に沿って上昇する。この場合、センサ４５Ｄがダンサローラ４５Ａの上昇の程度を検出し、制御部４６にデータ信号が伝送される。制御部４６の延在処理回路は、データ処理回路により処理された後の計測結果が、予め設定された閾値と比較される。例えば、計測結果が上限の閾値より大きい場合、図２に示すスプロケット３１、３２、および３３に対して回転速度を下げるための駆動信号が生成される。また、計測結果が上限の閾値より極端に大きい場合、スプロケット３１、３２、および３３に対して回転を停止させる駆動信号が生成される。これにより、膜８を順方向Ｘ１に引っ張る強さは適切に調整され、ダンサローラ４５Ａは所定の位置に下降する。

【0070】

また例えば、入口部１４において膜８を順方向Ｘ１に引っ張る強さが小さい場合には、ダンサローラ４５Ａは、ダンサローラ４５Ａの自重により、上記円弧軌道に沿って下降する。この場合、センサ４５Ｄがダンサローラ４５Ａの下降の程度を検出し、制御部４６にデータ信号が伝送される。制御部４６の延在処理回路は、データ処理回路により処理された後の計測結果が、予め設定された閾値と比較される。例えば、計測結果が下限の閾値より小さい場合、図２に示すスプロケット３１、３２、および３３に対して回転速度を上げるための駆動信号が生成される。これにより、膜８を順方向Ｘ１に引っ張る強さは適切に調整され、ダンサローラ４５Ａは所定の位置に上昇する。

【0071】

張力計測部４５は、入口部１４において膜８を順方向Ｘ１に引っ張る力と、膜８に付与される張力とのバランスを計測できれば良いので、ダンサローラ４５Ａの位置は、図１２に示す張力付与機構部４０Ｅの他、種々の変形例がある。ただし、図１２に示すように、ダンサローラ４５Ａは、ガイドローラ４２Ａより入口部１４から（言い換えれば図２の延伸処理部１１から）遠い位置に配置されていることが好ましい。これにより、張力付与機構部４０Ｅの専有面積を低減することができる。

【0072】

また、図１２に示すように、支点４５Ｃが筐体４７の側壁に固定されている場合、ダンサローラ４５Ａと筐体４７の側壁との距離を大きくすることにより、支持板４５Ｂの回転半径が大きくなるので、Ｚ方向におけるダンサローラ４５Ａの移動可能距離を大きくすることができる。一方、ガイドローラ４２Ａは、筐体４７の側壁からの距離を小さくすることにより、筐体４７のサイズを小さくすることができる。したがって、図１２に示すように、ダンサローラ４５Ａは、ガイドローラ４２Ａより入口部１４から（言い換えれば図２の延伸処理部１１から）遠い位置に配置されていることが好ましい。

【0073】

また、延伸装置５の設置面ＦＬを基準面として、駆動ローラ４１は、ガイドローラ４２Ａより高い位置に配置される。また、ガイドローラ４２Ｃは、駆動ローラ４１およびガイドローラ４２Ａのそれぞれより低い位置に配置される。また、ダンサローラ４５Ａは、ガイドローラ４２Ｃより低い位置に配置される。上記したように、ダンサローラ４５Ａは、ダンサローラ４５Ａの自重を利用して張力を計測する。図１３に変形例として示す張力付与機構部４０Ｆのように、ガイドローラ４２Ｅおよび４２Ｆを追加することにより、ダンサローラ４５Ａがガイドローラ４２Ｃより高い位置に配置されている構造も実現可能である。ただし、図１２と図１３を比較して判るように、ダンサローラ４５Ａは、ガイドローラ４２Ｃより低い位置に配置されている場合、張力付与機構部４０Ｅの構造を単純化することができる。

【0074】

また、図１２に示すように、ガイドローラ４２Ｃは、ダンサローラ４５Ａより入口部１４から（言い換えれば図２の延伸処理部１１から）遠い位置に配置される。図示は省略するが、張力付与機構部４０Ｅに対する変形例として、ダンサローラ４５Ａが、ガイドローラ４２Ｃより入口部１４から（言い換えれば図２の延伸処理部１１から）遠い位置に配置される場合もある。ただし、この場合、膜８とガイドローラ４２Ｃとの接触面積が図１２に示す例と比較して小さくなる。したがって、膜８に抵抗力を付与するガイドローラ４２Ｃと膜８との接触面積を大きくする観点から、図１２に示すように、ガイドローラ４２Ｃは、ダンサローラ４５Ａより入口部１４から（言い換えれば図２の延伸処理部１１から）遠い位置に配置されることが好ましい。

【0075】

なお、図１２では、代表的に図７に対する変形例として示した。ただし、図９に示す張力付与機構部４０Ｂ、あるいは、図１１に示す張力付与機構部４０Ｄの変形例として、図１２に示す張力計測部４５および制御部４６を追加する場合もある。図１３に示す張力付与機構部４０Ｆは、図１０に示す張力付与機構部４０Ｃに対する変形例である。

【0076】

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態および実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態または実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【0077】

例えば、上記した延伸装置５は、例えば、電池のセパレータなど、油分を含む膜を延伸する用途に利用して特に有効であるが、油分を含まない膜の延伸に利用することもできる。

【符号の説明】

【0078】

１ 薄膜製造システム
２ 混練押し出し装置（二軸混練押し出し装置）
２Ａ 原料供給部
３ Ｔダイ
４ 原反冷却装置
４Ａ ガイドローラ（ローラ）
５ 延伸装置（同時二軸延伸装置）
６ 引き取り装置
７ 巻き取り装置
８ 膜
８ｂ 背面
８ｆ 前面
８Ｆ 収縮力
８Ｔ 張力
１０Ａ，１０Ｂ リンク装置
１１ 延伸処理部
１２ 熱処理部
１３Ａ，１３Ｂ レール
１４ 入口部（入口側）
１５ 出口部（出口側）
１６ カバー
１６ｓ 側面
２０ リンク
２１ クリップ
２１Ａ バネ
２１Ｂ 把持部
２２ 上段側リンクプレート
２３ 下段側リンクプレート
２４，２５ レールホルダ
２６，２７ シャフト
２８ ピン
２９ 係合部
３１，３２，３３ スプロケット
４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ，４０Ｆ，４０Ｚ 張力付与機構部
４１ 駆動ローラ（ローラ）
４２，４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄ，４２Ｅ，４２Ｆ ガイドローラ（ローラ）
４３ ニップローラ（ローラ）
４４ モータ
４５ 張力計測部
４５Ａ ダンサローラ（ローラ）
４５Ｂ 支持板
４５Ｃ 支点
４５Ｄ センサ
４６ 制御部
４７ 筐体
ＦＬ 設置面
Ｘ１ 順方向
Ｘ２ 逆方向
θ１ 角

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】