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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024042386
(43)【公開日】2024-03-28
(54)【発明の名称】搬送装置およびその制御方法
(51)【国際特許分類】
H02K 41/03 20060101AFI20240321BHJP
【ＦＩ】
H02K41/03 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022147066
(22)【出願日】2022-09-15
(71)【出願人】
【識別番号】000003458
【氏名又は名称】芝浦機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100120031
【弁理士】
【氏名又は名称】宮嶋 学
(74)【代理人】
【識別番号】100118843
【弁理士】
【氏名又は名称】赤岡 明
(74)【代理人】
【識別番号】100141830
【弁理士】
【氏名又は名称】村田 卓久
(72)【発明者】
【氏名】高杉 雄一郎
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 智博
【テーマコード（参考）】
5H641
【Ｆターム（参考）】
5H641BB06
5H641GG02
5H641GG26
5H641GG28
5H641HH03
(57)【要約】
【課題】可動子を精度よく位置決めすることができる搬送装置およびその制御方法を提案する。
【解決手段】実施形態に係る搬送装置は、固定子と、固定子に対向して配設され、固定子に対して移動可能に設けられている複数の可動子と、固定子と通信可能に接続された制御部とを備える。複数の可動子は、それぞれ目盛りを有するスケール部と、互いに逆極性の第１磁極部および第２磁極部を含む複数の磁極対とを備える。固定子は、複数の可動子を移動させる磁力を発生させるコイル部と、複数の磁極対の極性を検知する磁極検知部と、スケール部の目盛りを読み取るスケール検出部とを備える。
【選択図】図１
【解決手段】実施形態に係る搬送装置は、固定子と、固定子に対向して配設され、固定子に対して移動可能に設けられている複数の可動子と、固定子と通信可能に接続された制御部とを備える。複数の可動子は、それぞれ目盛りを有するスケール部と、互いに逆極性の第１磁極部および第２磁極部を含む複数の磁極対とを備える。固定子は、複数の可動子を移動させる磁力を発生させるコイル部と、複数の磁極対の極性を検知する磁極検知部と、スケール部の目盛りを読み取るスケール検出部とを備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
固定子と、
前記固定子に対向して配設され、前記固定子に対して移動可能に設けられている複数の可動子と、
前記固定子と通信可能に接続された制御部とを備える搬送装置であって、
前記複数の可動子は、
それぞれ目盛りを有するスケール部と、
互いに逆極性の第１磁極部および第２磁極部を含む複数の磁極対と、を備え、
前記固定子は、
前記複数の可動子を移動させる磁力を発生させるコイル部と、
前記複数の磁極対の極性を検知する磁極検知部と、
前記スケール部の前記目盛りを読み取るスケール検出部とを備える、
搬送装置。
前記固定子に対向して配設され、前記固定子に対して移動可能に設けられている複数の可動子と、
前記固定子と通信可能に接続された制御部とを備える搬送装置であって、
前記複数の可動子は、
それぞれ目盛りを有するスケール部と、
互いに逆極性の第１磁極部および第２磁極部を含む複数の磁極対と、を備え、
前記固定子は、
前記複数の可動子を移動させる磁力を発生させるコイル部と、
前記複数の磁極対の極性を検知する磁極検知部と、
前記スケール部の前記目盛りを読み取るスケール検出部とを備える、
搬送装置。
【請求項2】
前記スケール部および前記複数の磁極対は、それぞれ前記複数の可動子の移動方向に対して略平行に、該可動子に設けられており、
１つの前記可動子に設けられた前記スケール部の前記移動方向における長さは、該可動子に設けられた前記複数の磁極対の前記移動方向における配列の長さと同じかそれよりも長い、
請求項１に記載の搬送装置。
１つの前記可動子に設けられた前記スケール部の前記移動方向における長さは、該可動子に設けられた前記複数の磁極対の前記移動方向における配列の長さと同じかそれよりも長い、
請求項１に記載の搬送装置。
【請求項3】
前記複数の可動子のそれぞれにおいて、前記複数の磁極対の配列の一端には前記第１磁極部が配置され、該配列の他端には前記第２磁極部が配置されている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項4】
前記磁極検知部は、前記第１磁極部または前記第２磁極部の磁極をそれぞれ検知する第１～３磁極センサを備え、
前記第１～３磁極センサは、前記複数の可動子の移動方向に第１、第２および第３磁極センサの順番あるいはこれとは逆の順番に配列されており、前記可動子の移動によって三相信号を出力する、
請求項１に記載の搬送装置。
前記第１～３磁極センサは、前記複数の可動子の移動方向に第１、第２および第３磁極センサの順番あるいはこれとは逆の順番に配列されており、前記可動子の移動によって三相信号を出力する、
請求項１に記載の搬送装置。
【請求項5】
前記第１磁極センサと前記第２磁極センサとの間の距離と、前記第２磁極センサと前記第３磁極センサとの間の距離とがほぼ等しい、
請求項４に記載の搬送装置。
請求項４に記載の搬送装置。
【請求項6】
前記第１～３磁極センサは、前記第１磁極部を検知した場合第１論理信号を出力し、前記第２磁極部を検知した場合第２論理信号を出力する、
請求項１に記載の搬送装置。
請求項１に記載の搬送装置。
【請求項7】
前記制御部は、
前記第１～３磁極センサのいずもが前記第１論理信号を出力している状態において、前記第１磁極センサの出力が最初に前記第２論理信号に変化した場合、
前記可動子が前記第１磁極センサから前記第３磁極センサへ向かう第１方向に移動していることを示す第１移動情報を生成し、かつ、前記可動子を検出したことを示す第１フラグを活性化する、
請求項６に記載の搬送装置。
前記第１～３磁極センサのいずもが前記第１論理信号を出力している状態において、前記第１磁極センサの出力が最初に前記第２論理信号に変化した場合、
前記可動子が前記第１磁極センサから前記第３磁極センサへ向かう第１方向に移動していることを示す第１移動情報を生成し、かつ、前記可動子を検出したことを示す第１フラグを活性化する、
請求項６に記載の搬送装置。
【請求項8】
前記制御部は、
前記第１～３磁極センサのいずもが前記第２論理信号を出力している状態において、前記第３磁極センサの出力が最初に前記第１論理信号に変化した場合、
前記可動子が前記第１方向の反対方向である第２方向に移動していることを示す第２移動情報を生成し、かつ、前記可動子を検出したことを示す第１フラグを活性化する、
請求項７に記載の搬送装置。
前記第１～３磁極センサのいずもが前記第２論理信号を出力している状態において、前記第３磁極センサの出力が最初に前記第１論理信号に変化した場合、
前記可動子が前記第１方向の反対方向である第２方向に移動していることを示す第２移動情報を生成し、かつ、前記可動子を検出したことを示す第１フラグを活性化する、
請求項７に記載の搬送装置。
【請求項9】
前記制御部は、
前記第１移動情報または前記第２移動情報を生成した場合、前記スケール検出部により検出されている前記スケール部の位置情報を有効にする、
請求項７に記載の搬送装置。
前記第１移動情報または前記第２移動情報を生成した場合、前記スケール検出部により検出されている前記スケール部の位置情報を有効にする、
請求項７に記載の搬送装置。
【請求項10】
前記コイル部は、前記第１磁極センサの前記第２方向側に隣接して配置されており、
前記制御部は、
前記第１移動情報を生成し、前記第１フラグを活性化した後、前記第３磁極センサが前記第２論理信号を出力したときに、前記コイル部に磁力を発生させる第１制御指令を活性化する、請求項８に記載の搬送装置。
前記制御部は、
前記第１移動情報を生成し、前記第１フラグを活性化した後、前記第３磁極センサが前記第２論理信号を出力したときに、前記コイル部に磁力を発生させる第１制御指令を活性化する、請求項８に記載の搬送装置。
【請求項11】
前記制御部は、前記第１制御指令の活性化後、前記第１～３磁極センサのいずれもが（Ｍ－ｇ－１）回（Ｍは前記可動子に配設された前記磁極対の数、ｇは前記可動子の移動方向における前記コイル部の長さに対応する前記磁極対の数）の前記第２論理信号を出力し、または、予め設定された回数の前記第２論理信号を出力したときに、前記第１制御指令を不活性化する、
請求項１０に記載の搬送装置。
請求項１０に記載の搬送装置。
【請求項12】
前記コイル部は、前記第１磁極センサの前記第２方向側に隣接して配置されており、
前記制御部は、
前記第２移動情報を生成し、前記第１フラグを活性化した後、前記第３磁極センサが前記第１論理信号を出力したときに、前記コイル部に磁力を発生させる第２制御指令を活性化する、請求項８乃至１１のいずれか一項に記載の搬送装置。
前記制御部は、
前記第２移動情報を生成し、前記第１フラグを活性化した後、前記第３磁極センサが前記第１論理信号を出力したときに、前記コイル部に磁力を発生させる第２制御指令を活性化する、請求項８乃至１１のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項13】
前記制御部は、前記第２制御指令の活性化後、前記第１～３磁極センサのいずれもが（Ｍ－１）回（Ｍは前記可動子に配設された前記磁極対の数）の前記第１論理信号を出力し、または、予め設定された回数の前記第１論理信号を出力したときに、
前記第２制御指令を不活性化する、
請求項１２に記載の搬送装置。
前記第２制御指令を不活性化する、
請求項１２に記載の搬送装置。
【請求項14】
固定子と、前記固定子に対向して配設され、前記固定子に対して移動可能に設けられている複数の可動子と、前記固定子と通信可能に接続された制御部とを備える搬送装置の制御方法であって、
前記複数の可動子は、それぞれ目盛りを有するスケール部と、互いに逆極性の第１磁極部および第２磁極部を含む複数の磁極対と、を備え、前記固定子は、前記複数の可動子を移動させる磁力を発生させるコイル部と、前記複数の磁極対の極性を検知する磁極検知部と、前記スケール部の前記目盛りを読み取るスケール検出部とを備えており、
前記第１～３磁極センサのいずもが前記第１論理信号を出力することと、
前記第１磁極センサの出力を最初に前記第２論理信号に変化させることと、
前記可動子が前記第１磁極センサから前記第３磁極センサへ向かう第１方向に移動していることを示す第１移動情報を生成し、前記可動子を検出したことを示す第１フラグを活性化することとを備える、
搬送装置の制御方法。
前記複数の可動子は、それぞれ目盛りを有するスケール部と、互いに逆極性の第１磁極部および第２磁極部を含む複数の磁極対と、を備え、前記固定子は、前記複数の可動子を移動させる磁力を発生させるコイル部と、前記複数の磁極対の極性を検知する磁極検知部と、前記スケール部の前記目盛りを読み取るスケール検出部とを備えており、
前記第１～３磁極センサのいずもが前記第１論理信号を出力することと、
前記第１磁極センサの出力を最初に前記第２論理信号に変化させることと、
前記可動子が前記第１磁極センサから前記第３磁極センサへ向かう第１方向に移動していることを示す第１移動情報を生成し、前記可動子を検出したことを示す第１フラグを活性化することとを備える、
搬送装置の制御方法。
【請求項15】
前記第１～３磁極センサのいずもが前記第２論理信号を出力することと、
前記第３磁極センサの出力を最初に前記第１論理信号に変化させることと、
前記可動子が前記第１方向の反対方向である第２方向に移動していることを示す第２移動情報を生成し、前記可動子を検出したことを示す第１フラグを活性化することとを備える、請求項１４に記載の搬送装置の制御方法。
前記第３磁極センサの出力を最初に前記第１論理信号に変化させることと、
前記可動子が前記第１方向の反対方向である第２方向に移動していることを示す第２移動情報を生成し、前記可動子を検出したことを示す第１フラグを活性化することとを備える、請求項１４に記載の搬送装置の制御方法。
【請求項16】
前記第１移動情報または前記第２移動情報を生成することと、
前記スケール検出部により検出されている前記スケール部の位置情報を有効にすることとを備える、請求項１４に記載の搬送装置の制御方法。
前記スケール検出部により検出されている前記スケール部の位置情報を有効にすることとを備える、請求項１４に記載の搬送装置の制御方法。
【請求項17】
前記コイル部は、前記第１磁極センサの前記第２方向側に隣接して配置されており、
前記第１移動情報を生成し、前記第１フラグを活性化することと、
前記第３磁極センサが前記第２論理信号を出力したときに、前記コイル部に磁力を発生させる第１制御指令を活性化することとを備える、請求項１４に記載の搬送装置の制御方法。
前記第１移動情報を生成し、前記第１フラグを活性化することと、
前記第３磁極センサが前記第２論理信号を出力したときに、前記コイル部に磁力を発生させる第１制御指令を活性化することとを備える、請求項１４に記載の搬送装置の制御方法。
【請求項18】
前記第１制御指令の活性化後、前記第１～３磁極センサのいずれもが（Ｍ－ｇ－１）回（Ｍは前記可動子に配設された前記磁極対の数、ｇは前記可動子の移動方向における前記コイル部の長さに対応する前記磁極対の数）の前記第２論理信号を出力し、または、予め設定された回数の前記第２論理信号を出力したときに、前記第１制御指令を不活性化すること、
を備える請求項１７に記載の搬送装置の制御方法。
を備える請求項１７に記載の搬送装置の制御方法。
【請求項19】
前記コイル部は、前記第１磁極センサの前記第２方向側に隣接して配置されており、
前記第２移動情報を生成し、前記第１フラグを活性化したすることと、
前記第３磁極センサが前記第１論理信号を出力したときに、前記コイル部に磁力を発生させる第２制御指令を活性化することとを備える、請求項１４に記載の搬送装置の制御方法。
前記第２移動情報を生成し、前記第１フラグを活性化したすることと、
前記第３磁極センサが前記第１論理信号を出力したときに、前記コイル部に磁力を発生させる第２制御指令を活性化することとを備える、請求項１４に記載の搬送装置の制御方法。
【請求項20】
前記第２制御指令の活性化後、前記第１～３磁極センサのいずれもが（Ｍ－１）回（Ｍは前記可動子に配設された前記磁極対の数）の前記第１論理信号を出力し、または、予め設定された回数の前記第１論理信号を出力したときに、
前記第２制御指令を不活性化すること、
を備える請求項１９に記載の搬送装置の制御方法。
前記第２制御指令を不活性化すること、
を備える請求項１９に記載の搬送装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
実施形態は、搬送装置およびその制御方法に関する。
【背景技術】
【0002】
リニアモータを動力とする搬送装置が知られており、このような搬送装置においては、磁極センサを用いて、可動子の停止位置を位置決めする手法が知られている。しかしながら、磁極センサで位置決めする手法では、可動子を精度よく位置決めすることができなかった。また、リニアスケールにより位置決めする手法もある。しかし、リニアスケールにより位置決めする手法では、マルチスライダーのように複数の可動子を正確に制御することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開第２０１０－１４２０３３号公報
【特許文献2】特開第２００５－３４１６３２号公報
【特許文献3】特開第２０１６－８２６５３号公報
【特許文献4】特開第２０１０－１３０７４０号公報
【特許文献5】特開第２０１０－２６３６８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
そこで、可動子を精度よく位置決めすることができる搬送装置およびその制御方法を提案する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
実施形態に係る搬送装置は、固定子と、固定子に対向して配設され、固定子に対して移動可能に設けられている複数の可動子と、固定子と通信可能に接続された制御部とを備える。複数の可動子は、それぞれ目盛りを有するスケール部と、互いに逆極性の第１磁極部および第２磁極部を含む複数の磁極対とを備える。固定子は、複数の可動子を移動させる磁力を発生させるコイル部と、複数の磁極対の極性を検知する磁極検知部と、スケール部の目盛りを読み取るスケール検出部とを備える。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【図1】第１実施形態に係る搬送装置の構成を示すブロック図である。
【図2A】第１実施形態に係る固定子の構成を示すブロック図である。
【図2B】第１実施形態に係る第１～３磁極センサの構成を示すブロック図である。
【図3】第１実施形態に係る可動子の構成を示すブロック図である。
【図4】第１実施形態に係る可動子と固定子との構成を示すブロック図である。
【図5】第１実施形態に係る第１～３磁極センサが出力する第１および第２論理信号の波形を示す図である。
【図6】第１実施形態に係る第１～３磁極センサが出力する第１および第２論理信号の波形を示す図である。
【図7】第１実施形態に係るスケール検出部が出力するスケール検出値の積算値、および、制御部によるセンサ有効フラグを示す図である。
【図8】第１実施形態に係る制御部による磁極センサ有効の判断、および、可動子移動方向の判断の処理を示すフローチャートである。
【図9】第１実施形態に係る制御部によるスケール情報有効の判断、および、制御座標更新の判断の処理を示すフローチャートである。
【図10】第１実施形態に係る制御部による可動子制御の開始の判断、および、可動子制御の終了の判断の処理を示すフローチャートである。
【図11】第１実施形態の具体例に係る第１～３磁極センサが出力する第１および第２論理信号の波形、および、制御部による磁極センサ有効の判断、可動子移動方向の判断ならびに可動子制御の開始と終了との判断を示す図である。
【図12】第１実施形態の具体例に係る第１～３磁極センサが出力する第１および第２論理信号の波形、および、制御部による磁極センサ有効の判断、可動子移動方向の判断ならびに可動子制御の開始と終了との判断を示す図である。
【図13】第１実施形態の具体例に係る第１～３磁極センサの構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
【0008】
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。明細書と図面において、既出の図面に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0009】
（第１実施形態）
（搬送装置１００の構成）
図１は、第１実施形態に係る搬送装置１００の構成の一例を示す図である。搬送装置１００は、複数の固定子１０Ａ～１０Ｄ、複数の可動子２０Ａ、２０Ｂ、移動路３０、複数のサーボアンプ４０Ａ～４０Ｄ、コントローラ５０、動力線６１、センサ線６２～６４、および、通信線７１～７２を備える。
（搬送装置１００の構成）
図１は、第１実施形態に係る搬送装置１００の構成の一例を示す図である。搬送装置１００は、複数の固定子１０Ａ～１０Ｄ、複数の可動子２０Ａ、２０Ｂ、移動路３０、複数のサーボアンプ４０Ａ～４０Ｄ、コントローラ５０、動力線６１、センサ線６２～６４、および、通信線７１～７２を備える。
【0010】
複数の固定子１０Ａ～１０Ｄは、それぞれ同一の構成を有してもよい。尚、固定子１０Ａ～１０Ｄには、スケール検出部１３が設けられていない場合もある。複数の可動子２０Ａ～２０Ｂは、それぞれ同一の構成を有する。複数のサーボアンプ４０Ａ～４０Ｄは、それぞれ同一の構成を有する。したがって以下では、固定子１０Ａ、可動子２０Ａ、および、サーボアンプ４０Ａを説明する。
【0011】
固定子１０Ａは、コイル部１１、磁極検知部１２、スケール検出部１３、および、筐体１４を備える。コイル部１１は、サーボアンプ４０Ａから動力線６１を介して交流電流が供給され、複数の可動子２０を移動させる推力を発生させる。コイル部１１は、例えば、三相の交流電流を受けるためにそれぞれ１２０度ずつ位相がずれた３つの電磁コイルから構成されてもよい。磁極検知部１２は、可動子２０に設けられた複数の磁極対の極性を検知する。スケール検出部１３は、可動子２０Ａに設けられた目盛りを有するスケール部を読み取る。磁極検知部１２およびスケール検出部１３の構成は、後に図２Ａおよび図２Ｂを参照して詳述する。筐体１４は、コイル部１１、磁極検知部１２、および、スケール検出部１３を筐体上面に載置または筐体内部に収容する。
【0012】
可動子２０Ａは、固定子１０Ａに対向して配設され、固定子１０Ａに対して移動可能に設けられている。可動子２０Ａは、スケール部、および、複数の磁極対を備える。図１では、２つの可動子２０Ａおよび可動子２０Ｂが図示されているが、本実施形態はこれに限られず、任意の数の可動子２０を備えていてもよい。可動子２０Ａの構成は、後に図３を参照して詳述する。
【0013】
移動路３０は、可動子２０Ａが移動する経路である。移動路３０は、図１に示すように直線状に形成されてもよく、カーブするように曲線状に形成されてもよい。移動路３０が３次元的な立体経路である場合、移動路３０の両端または途中に可動子２０Ａを上下に移動させるエレベータ（図示せず）を備えてもよい。なお、図１に示す様に、移動路３０は可動子２０Ａの上方に設けられ、移動路３０に可動子２０Ａが吊下げられて移動してもよい。また、移動路３０は可動子２０Ａの下方に設けられ、移動路３０に可動子２０Ａが載置されて移動してもよい。さらに、移動路３０は可動子２０Ａの側面に設けられ、移動路３０に可動子２０Ａが側面から保持されて移動してもよい。
【0014】
サーボアンプ４０Ａは、動力線６１を介してコイル部１１に交流電流を供給する。また、サーボアンプ４０Ａは、センサ線６２～６４を介して磁極検知部１２およびスケール検出部１３と通信可能に接続されている。なお、サーボアンプ４０Ａ～４０Ｄは、通信線７１～７２を介して、コントローラ５０から制御を受ける。サーボアンプ４０Ａ～４０Ｄは、通信線７１～７２を介して、相互に信号の送受信を行ってもよい。
【0015】
コントローラ５０は、通信線７１～７２を介して、サーボアンプ４０Ａ～４０Ｄと各種信号の送受信を行う。サーボアンプ４０Ａ～４０Ｄおよびコントローラ５０は、制御部の例である。サーボアンプ４０Ａ～４０Ｄおよびコントローラ５０は、後述するように、コイル部１１、磁極検知部１２、および、スケール検出部１３を制御し、可動子２０Ａおよび可動子２０Ｂの移動を含めた搬送装置１００の全体を制御する。なお、サーボアンプ４０Ａ～４０Ｄ、および、コントローラ５０は、図１に示すように、それぞれ別の構成として設けられるほか、例えば、コントローラ５０およびサーボアンプ４０Ａ～４０Ｄを統合して一体の構成として設けられてもよい。
【0016】
動力線６１はコイル部１１に接続され、該コイル部１１への交流電流を送る。センサ線６２は磁極検知部１２に接続され、該磁極検知部１２とサーボアンプ４０Ａとの間の各種信号を伝送する。センサ線６３はスケール検出部１３に接続され、該スケール検出部１３とサーボアンプ４０Ａとの間の各種信号を伝送する。通信線７１～７２は、サーボアンプ４０Ａ～４０Ｄおよびコントローラ５０を接続し、各種信号の伝送を行う。センサ線６２～６４および通信線７１～７２は、図１に示すような有線ケーブルなどのほか、無線通信に置き換えてもよい。
【0017】
図２Ａは、固定子１０Ａを詳細に示している。図２Ａに示すように、磁極検知部１２は、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃを備える。第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、それぞれ可動子２０の複数の磁極対についての磁極を検知する。例えば、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、磁極に応じたデジタル値を出力する。より詳細には、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃは、Ｎ極を検知した場合にオフ論理信号（ロウレベル電圧）を出力し、Ｓ極を検知した場合にオン論理信号（ハイレベル電圧）を出力してもよく、あるいは、その逆でもよい。また、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、可動子２０の移動方向（移動路３０が配置された方向）に、１２１Ａ、１２１Ｂ、１２１Ｃの順番で配列されている。一方、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、この逆の順番（１２１Ｃ、１２１Ｂ、１２１Ａ）で配列されてもよい。第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、可動子２０の移動によって約１２０度ずつ位相がずれた三相信号を出力するように配置されている。例えば、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、ホール素子でそれぞれ構成されてもよい。この場合、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、最後に検出した磁極に従った論理信号を保持し出力し続ける。
【0018】
図２Ｂは、磁極検知部１２を詳細に示している。図２Ｂに示すように、第１磁極センサ１２１Ａと第２磁極センサ１２１Ｂとの距離はＬ２であり、第２磁極センサ１２１Ｂと第３磁極センサ１２１Ｃとの距離はＬ３である。距離Ｌ２、Ｌ３は、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃが可動子２０の移動によって約１２０度ずつ位相がずれた三相信号を出力するように設定されている。距離Ｌ２と距離Ｌ３とはほぼ等しく、例えば約１０ｍｍでよい。なお、以下で第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃをまとめて磁極センサ１２１ともよぶ。
【0019】
磁極検知部１２およびスケール検出部１３は、固定子１０Ａの略同一箇所に設けられる。図２Ａに示すように、筐体１４上部に磁極検知部１２が設けられ、筐体１４中部にスケール検出部１３が設けられる。これにより、磁極検知部１２による複数の磁極対の検知と、スケール検出部１３によるスケール部の読み取りとが略同一箇所から行われる。言い換えると、磁極検知部１２による複数の磁極対を検知と、スケール検出部１３によるスケール部の読み取りについての空間的／時間的な差異が低減される。したがって、サーボアンプ４０Ａは、精度よく可動子２０Ａの位置を認識することができる。また、可動子２０の移動方向Ｙ１、Ｙ２におけるコイル部１１の長さはＬ１であり、磁極対の数（ｇ）に対応するの長さに設定されている。例えば、Ｌ１が１つの磁極対に対応する長さ（ｇ＝１）であり、後述するように、１の磁極対の長さが約３０ｍｍである場合、Ｌ１は約３０ｍｍである。
【0020】
図３は、可動子２０Ａを詳細に示している。可動子２０Ａは、目盛りを有するスケール部２１と、複数の磁極対２２とを備える。スケール部２１の目盛りは、スケール検出部１３により読み取られ、可動子２０Ａの位置情報としてスケール検出部１３からサーボアンプ４０Ａへ出力される。スケール部２１の目盛りを読み取る場合、スケール検出部１３は赤外線やレーザーなどを用いてよい。複数の磁極対２２は、それぞれ同一構成を有する磁極対２２１～２２７から構成されている。以下では磁極対２２１を用いて説明する。磁極対２２１は、互いに逆極性のＮ磁極部２２１ＮおよびＳ磁極部２２１Ｓを含む。Ｎ磁極部２２１Ｎは第１磁極部の例であり、Ｓ磁極部２２１Ｓは第２磁極部の例である。１対の磁極対の長さＬ６は、約３０ｍｍでよい。なお、図３では磁極対の数が７（Ｍ＝７）であるが、本実施形態はこれに限られず磁極対の数（Ｍ）は任意である。
【0021】
可動子２０Ａにおいては、図３に示すように、複数の磁極対２２が配列されており、Ｎ磁極部とＳ磁極部とが交互に配列されている。複数の磁極対２２の配列の一端にはＮ磁極部２２１Ｎが配置され、他端にはＳ磁極部２２７Ｓが配置されている。
【0022】
スケール部２１および複数の磁極対２２は、それぞれ可動子２０Ａの移動方向（移動路３０が配置された方向）に略平行に可動子２０Ａに設けられている。スケール部２１の長さＬ４は、複数の磁極対２２の配列の長さＬ５と同じかそれよりも長くてもよい。これにより、磁極検知部１２が複数の磁極対２２を検知した時点で、スケール検出部１３がスケール部２１の読み取りを行える状態であるため、精度よく可動子２０Ａの位置を認識することができる。
【0023】
図４は、固定子１０Ａ、可動子２０Ａ、および、移動路３０を示している。磁極センサ１２１は、それぞれの対応する箇所にある磁極対の極性を検知する。そして、Ｎ極性を検知した場合はオフ論理信号（ロウレベル電圧）を出力し、Ｓ極性を検知した場合はオン論理信号（ハイレベル電圧）を出力する。オフ論理信号は第１論理信号の例であり、オン論理信号は第２論理信号の例である。図４では、第１磁極センサ２２１ＡはＳ磁極部２２１Ｓを検知しオン論理信号を出力し、第２磁極センサ２２１ＢはＮ磁極部２２１Ｎを検知しオフ論理信号を出力する。
【0024】
上述したように、１対の磁極対の長さＬ６は約３０ｍｍであるため、１対の磁極対の位相の１周期（３６０度）が約３０ｍｍとなる。一方、第１磁極センサ１２１Ａと第２磁極センサ１２１Ｂとの間の距離Ｌ２は約１０ｍｍであり、第２磁極センサ１２１Ｂと第３磁極センサ１２１Ｃとの間の距離Ｌ３は約１０ｍｍであり、それぞれの磁極センサの間の距離は、１対の磁極対の長さＬ６の３分の１の長さである。このため、磁極センサ間の磁極の位相差は、３６０度÷３＝１２０度となる。これにより磁極センサ１２１は、オン論理信号およびオフ論理信号を、約１２０度ずつ位相のずれた三相信号として出力する。
【0025】
可動子２０Ａは、移動路３０を矢印Ｙ１方向または矢印Ｙ２方向へ移動する。矢印Ｙ１方向は第１方向の例であり、矢印Ｙ２方向は第２方向の例である。可動子２０Ａは、コイル部１１が発生させた磁力を動力として移動するため、コイル部１１と複数の磁極対２２との間の距離Ｄ１は、磁極対２２１～２２７を通じて一定であることが好ましい。距離Ｄ１は、例えば、約１ｍｍである。コイル部１１は第１磁極センサ１２１Ａの矢印Ｙ２方向側に隣接して配置されている。
【0026】
可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動する場合は、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、第３磁極センサ１２１Ｃの順で、それぞれ複数の磁極対２２を検知する。可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動する場合は、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、第３磁極センサ１２１Ｃ、第２磁極センサ１２１Ｂ、第１磁極センサ１２１Ａの順で、それぞれ複数の磁極対２２を検知する。
【0027】
次にサーボアンプ４０Ａの動作について詳細に説明する。
【0028】
【0029】
（可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動）
図５は、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動するときの、それぞれの磁極センサが出力するオン論理信号／オフ論理信号の連続した波形を示すタイミング図である。図６は、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動するときの、それぞれの磁極センサが出力するオン論理信号／オフ論理信号の連続した波形を示すタイミング図である。図５および図６に示す、Ａ相は第１磁極センサ１２１Ａが出力する信号を示し、Ｂ相は第２磁極センサ１２１Ｂが出力する信号を示し、Ｃ相は第３磁極センサ１２１Ｃが出力する信号を示す。
図５は、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動するときの、それぞれの磁極センサが出力するオン論理信号／オフ論理信号の連続した波形を示すタイミング図である。図６は、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動するときの、それぞれの磁極センサが出力するオン論理信号／オフ論理信号の連続した波形を示すタイミング図である。図５および図６に示す、Ａ相は第１磁極センサ１２１Ａが出力する信号を示し、Ｂ相は第２磁極センサ１２１Ｂが出力する信号を示し、Ｃ相は第３磁極センサ１２１Ｃが出力する信号を示す。
【0030】
図５（ａ）は、搬送装置１００の起動後に、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動し、磁極センサ１２１に検知される場合を示す。なお、搬送装置１００の起動直後（図５（ａ）における左端）は、初期状態としてＡ相～Ｃ相のいずれもがオフ論理信号を示すものとする。
【0031】
可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向に移動し、固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、Ｎ磁極部２２１Ｎが最初に第１磁極センサ１２１Ａに検知される。従って、第１磁極センサ１２１Ａは、図５（ａ）に示すように、オフ論理信号（オフ信号Ｓ１）を出力する。次に、Ｎ磁極部２２１Ｎが第２磁極センサ１２１Ｂに検知され、第２磁極センサ１２１Ｂはオフ論理信号（オフ信号Ｓ２）を出力する。次に、Ｎ磁極部２２１Ｎが第３磁極センサ１２１Ｃに検知され、第３磁極センサ１２１Ｃはオフ論理信号（オフ信号Ｓ３）を出力する。このとき、Ａ相～Ｃ相の初期状態がオフ論理信号であるので、サーボアンプ４０Ａは、Ｎ磁極部２２１Ｎの通過を認識することができない。
【0032】
さらに、可動子２０Ａが、矢印Ｙ１方向へ移動すると、Ｓ磁極部２２１Ｓが第１磁極センサ１２１Ａに検知される。従って、第１磁極センサ１２１Ａはオン論理信号（オン信号Ｈ１）を出力する（ｔ１）。このとき、Ａ相は、初期状態のオフ論理信号からオン論理信号へ立ち上がるのでので、サーボアンプ４０Ａは、Ｓ磁極部２２１Ｓが第１磁極センサ１２１Ａ上を最初に通過していることを認識することができる。次に、Ｓ磁極部２２１Ｓが第２磁極センサ１２１Ｂに検知され、第２磁極センサ１２１Ｂはオン論理信号（オン信号Ｈ２）を出力する。次に、Ｓ磁極部２２１Ｓが第３磁極センサ１２１Ｃに検知され、第３磁極センサ１２１Ｃはオン論理信号（オン信号Ｈ３）を出力する。このように、Ｓ磁極部２２１Ｓが第１磁極センサ１２１Ａ上を最初に通過することで、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動していることを認識することができる。
【0033】
さらに、可動子２０Ａが、矢印Ｙ１方向へ移動すると、磁極対２２２～２２７のＮ磁極部とＳ磁極部とが、磁極センサ１２１により交互に検知される。よって、図５（ａ）に示すように、オフ論理信号およびオン論理信号が交互に出力される。可動子２０Ａが、固定子１０Ａを矢印Ｙ１方向へ通過した場合、Ｓ磁極部２２７Ｓが最後に検知される。従って、可動子２０Ａの通過後、Ａ相～Ｃ相は、オン論理信号のままで終了している。
【0034】
サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃがオフ論理信号（オフ信号Ｓ１～Ｓ３）を出力している初期状態において、第１磁極センサ１２１Ａの出力が最初にオン論理信号（オン信号Ｈ１）に変化したとき（ｔ１）に、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動していると判断し、第１移動情報を生成する。例えば、初期状態からＡ相が最初にオン論理信号に立ち上がった場合、サーボアンプ４０Ａは、Ｓ磁極部２２１Ｓが矢印Ｙ１方向へ移動して、第１磁極センサ１２１Ａ上を最初に通過していると判断できる。従って、このとき、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動していることを示す第１移動情報を生成する。
【0035】
サーボアンプ４０Ａは、ｔ１において第１移動情報の生成をすると同時に、第１磁極センサ１２１Ａが可動子２０Ａを検出したことを受けて、センサ有効フラグを活性化する。センサ有効フラグは、第１フラグの例である。
【0036】
上述のように、サーボアンプ４０Ａは、最初のＮ磁極部２２１Ｎの通過を認識することができない。従って、サーボアンプ４０Ａは、最初の磁極部（Ｎ磁極部２２１Ｎ）によるオフ論理信号を受信したときでなく、２番目の磁極部（Ｓ磁極部２２１Ｓ）によるオン論理信号を受信したときに、可動子２０Ａの移動方向の判断（第１移動情報の生成）を行っている。
【0037】
図５（ａ）の動作は、搬送装置１００の起動時だけでなく、可動子２０Ａが、矢印Ｙ１方向に固定子１０Ａを通過した後、一旦、元の位置に戻って、再度、矢印Ｙ１方向から固定子１０Ａへ進入する場合にも同様である。例えば、可動子２０Ａが、一旦、元の位置に戻る場合、Ｎ磁極部２２１Ｎが最後に固定子１０Ａを矢印Ｙ２方向へ通過する。このとき、Ａ相～Ｃ相は、初期状態と同様に、全てオフ論理信号になる。従って、その後、可動子２０Ａが、矢印Ｙ１方向から固定子１０Ａへ再度進入するときには、図５（ａ）の動作と同じ動作が実行される。
【0038】
図５（ｂ）は、可動子２０Ａが固定子１０Ａの上方を矢印Ｙ１方向へ通過したのちに、別の可動子２０（例えば、可動子２０Ｂ）が矢印Ｙ１方向へ移動し磁極センサ１２１に検知される場合を示す図である。
【0039】
可動子２０Ａが固定子１０Ａの上方を矢印Ｙ１方向へ通過する際、Ｓ磁極部２２７Ｓが最後に検知される。従って、図５（ｂ）に示すように、Ｓ磁極部２２７Ｓが第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃに順番に検知され、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、全てオン論理信号（オン信号Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６）を出力する。
【0040】
その後、次の可動子２０Ｂが矢印Ｙ１方向へ移動し、固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、可動子２０ＢのＮ磁極部２２１Ｎが最初に第１磁極センサ１２１Ａに検知される。従って、第１磁極センサ１２１Ａは、図５（ｂ）に示すように、オフ論理信号（オフ信号Ｓ４）を出力する。次に、Ｎ磁極部２２１Ｎが第２磁極センサ１２１Ｂに検知され、第２磁極センサ１２１Ｂはオフ論理信号（オフ信号Ｓ５）を出力する。次に、Ｎ磁極部２２１Ｎが第３磁極センサ１２１Ｃに検知され、第３磁極センサ１２１Ｃはオフ論理信号（オフ信号Ｓ６）を出力する。
【0041】
さらに可動子２０Ｂが、矢印Ｙ１方向へ移動した場合、Ｓ磁極部２２１Ｓが第１磁極センサ１２１Ａに検知される。従って、第１磁極センサ１２１Ａはオン論理信号（オン信号Ｈ７）を出力する。次に、Ｓ磁極部２２１Ｓが第２磁極センサ１２１Ｂに検知され、第２磁極センサ１２１Ｂはオン論理信号（オン信号Ｈ８）を出力する。次に、Ｓ磁極部２２１Ｓが第３磁極センサ１２１Ｃに検知され、第３磁極センサ１２１Ｃはオン論理信号（オン信号Ｈ９）を出力する。
【0042】
さらに、可動子２０Ｂが、矢印Ｙ１方向へ移動すると、磁極対２２２～２２７のＮ磁極部とＳ磁極部とが、磁極センサ１２１により交互に検知される。よって、図５（ｂ）に示すように、オフ論理信号およびオン論理信号が交互に出力される。可動子２０Ｂが、固定子１０Ａを矢印Ｙ１方向へ通過した場合、可動子２０ＢのＳ磁極部２２７Ｓが最後に検知される。従って、可動子２０Ｂの通過後、Ａ相～Ｃ相は、オン論理信号のままで終了している。
【0043】
したがって、図５（ｂ）の場合においても、サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃがオフ論理信号（オフ信号Ｓ４～Ｓ６）を出力している状態において、第１磁極センサ１２１Ａの出力が最初にオン論理信号（オン信号Ｈ７）に変化したとき（ｔ３）に、可動子２０Ｂが矢印Ｙ１方向へ移動していると判断し、第１移動情報を生成する。
【0044】
サーボアンプ４０Ａは、第１移動情報の生成にあわせて、第１磁極センサ１２１Ａが可動子２０Ｂを検出したことを示すセンサ有効フラグを活性化する（ｔ３）。
【0045】
（可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動）
図６（ａ）は、搬送装置１００を起動した後に、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動し磁極センサ１２１に検知される場合を示す。あるいは、図６（ａ）は、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向に通過したのちに、他の可動子２０Ｂが矢印Ｙ２方向に移動し磁極センサ１２１に検知される場合を示す。
図６（ａ）は、搬送装置１００を起動した後に、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動し磁極センサ１２１に検知される場合を示す。あるいは、図６（ａ）は、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向に通過したのちに、他の可動子２０Ｂが矢印Ｙ２方向に移動し磁極センサ１２１に検知される場合を示す。
【0046】
なお、搬送装置１００の起動直後（図６（ａ）における左端）は、初期状態としてＡ相～Ｃ相のいずれもがオフ論理信号を示すものとする。また、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ通過した場合、Ｎ磁極部２２１Ｎが磁極センサ１２１に最後に検知される。従って、Ａ相～Ｃ相は全てオフ論理信号（オフ信号Ｓ７～Ｓ９）を示す。
【0047】
可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向に移動し、固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、Ｓ磁極部２２７Ｓが最初に第３磁極センサ１２１Ｃに検知される。従って、第３磁極センサ１２１Ｃは、図６（ａ）に示すように、オン論理信号（オン信号Ｈ１０）を出力する。次に、Ｓ磁極部２２７Ｓが第２磁極センサ１２１Ｂに検知され、第２磁極センサ１２１Ｂはオン論理信号（オン信号Ｈ１１）を出力する。次に、Ｓ磁極部２２７Ｓが第１磁極センサ１２１Ａに検知され、第１磁極センサ１２１Ａはオン論理信号（オン信号Ｈ１２）を出力する。
【0048】
さらに、可動子２０Ａが、矢印Ｙ２方向へ移動すると、Ｎ磁極部２２７Ｎが第３磁極センサ１２１Ｃに検知される。そして、第３磁極センサ１２１Ｃはオフ論理信号（オフ信号Ｓ１０）を出力する。次に、Ｎ磁極部２２７Ｎが第２磁極センサ１２１Ｂに検知され、第２磁極センサ１２１Ｂはオフ論理信号（オフ信号Ｓ１１）を出力する。次に、Ｎ磁極部２２７Ｎが第１磁極センサ１２１Ａに検知され、第１磁極センサ１２１Ａはオフ論理信号（オフ信号Ｓ１２）を出力する。
【0049】
その後、可動子２０Ａが、矢印Ｙ２方向へ移動すると、磁極対２２６～２２１のＮ磁極部とＳ磁極部とが、磁極センサ１２１により交互に検知される。よって、図６（ａ）に示すように、オフ論理信号およびオン論理信号が交互に出力される。可動子２０Ａが、固定子１０Ａを矢印Ｙ２方向へ通過した場合、Ｎ磁極部２２１Ｎが最後に検知される。従って、可動子２０Ａの通過後、Ａ相～Ｃ相は、オフ論理信号のままで終了している。これは、起動後の初期状態と同じである。従って、次の可動子２０Ｂが矢印Ｙ２方向へ移動して、固定子１０Ａに進入してきた場合にも、サーボアンプ４０Ａは、図６（ａ）の動作と同じ動作が実行される。
【0050】
サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃがオン論理信号（オン信号Ｈ１０～Ｈ１２）を出力している状態において、第３磁極センサ１２１Ｃの出力が最初にオフ論理信号（オフ信号Ｓ１０）に変化したとき（ｔ５）に、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動していると判断し、第２移動情報を生成する。
【0051】
サーボアンプ４０Ａは、第２移動情報の生成にあわせて、第３磁極センサ１２１Ｃが可動子２０Ａを検出したことを示すセンサ有効フラグを活性化する（ｔ５）。
【0052】
図６（ｂ）は、可動子２０Ａが固定子１０Ａの上方を矢印Ｙ１方向へ通過したのちに、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動して磁極センサ１２１に、再度検知される場合を示す。例えば、可動子２０Ａが、矢印Ｙ２方向に固定子１０Ａを通過した後、一旦、元の位置に戻って、再度、矢印Ｙ２方向から固定子１０Ａへ進入する場合がある。このとき、可動子２０Ａが、一旦、元の位置に戻る場合、Ｓ磁極部２２７Ｓが最後に固定子１０Ａを矢印Ｙ１方向へ通過する。このとき、Ａ相～Ｃ相は、全てオン論理信号になる。従って、その後、可動子２０Ａが、矢印Ｙ２方向から固定子１０Ａへ再度進入するときには、図６（ｂ）の動作が実行される。
【0053】
可動子２０Ａが固定子１０Ａの上方を矢印Ｙ１方向へ通過する際、Ｓ磁極部２２７Ｓが最後に検知される。従って、図６（ｂ）に示すように、Ｓ磁極部２２７Ｓが第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃに順番に検知され、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、全てオン論理信号（オン信号Ｈ１３～Ｈ１５）を出力する。
【0054】
その後、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動すると、Ｎ磁極部２２７Ｎが第３磁極センサ１２１Ｃに検知される。従って、第３磁極センサ１２１Ｃは、図６（ｂ）に示すように、オフ論理信号（オフ信号Ｓ１４）を出力する（ｔ７）。このとき、Ｃ相は、初期状態のオン論理信号からオフ論理信号へ立ち下がるので、サーボアンプ４０Ａは、Ｎ磁極部２２７Ｎが第３磁極センサ１２１Ｃ上を最初に通過していることを認識することができる。次に、Ｎ磁極部２２７Ｎが第２磁極センサ１２１Ｂに検知され、第２磁極センサ１２１Ｂはオフ論理信号（オフ信号Ｓ１５）を出力する。次に、Ｎ磁極部２２７Ｎが第１磁極センサ１２１Ａに検知され、第１磁極センサ１２１Ａはオフ論理信号（オフ信号Ｓ１６）を出力する。このように、Ｎ磁極部２２１Ｎが第３磁極センサ１２１Ｃ上を最初に通過することで、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動していることを認識することができる。
【0055】
さらに、可動子２０Ａが、矢印Ｙ２方向へ移動すると、磁極対２２６～２２１のＮ磁極部とＳ磁極部とが、磁極センサ１２１により交互に検知される。よって、図６（ｂ）に示すように、オフ論理信号およびオン論理信号が交互に出力される。可動子２０Ａが、固定子１０Ａを矢印Ｙ２方向へ通過した場合、Ｎ磁極部２２１Ｎが最後に検知される。従って、可動子２０Ａの通過後、Ａ相～Ｃ相は、オフ論理信号で終了している。
【0056】
サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃがオン論理信号（オン信号Ｈ１３～Ｈ１５）を出力している状態において、第３磁極センサ１２１Ｃの出力が最初にオフ論理信号（オフ信号Ｓ１４）に変化したとき（ｔ７）に、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動していると判断し、第２移動情報を生成する。例えば、Ａ相～Ｃ相がオン論理信号の状態からＣ相が最初にオフ論理信号に立ち下がった場合、サーボアンプ４０Ａは、Ｎ磁極部２２７Ｎが矢印Ｙ２方向へ移動して、第３磁極センサ１２１Ｃ上を最初に通過していると判断できる。従って、このとき、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動していることを示す第２移動情報を生成する。
【0057】
サーボアンプ４０Ａは、第２移動情報の生成にあわせて、第３磁極センサ１２１Ｃが可動子２０Ａを検出したことを示すセンサ有効フラグを活性化する（ｔ７）。
【0058】
次に図７を参照して、サーボアンプ４０Ａによる、スケール部２１の検出の有効判断、および、可動子２０Ａの制御開始／制御終了の判断について説明する。
【0059】
（スケール部２１の有効判断）
図７において、グラフＩが、スケール検出部１３により出力されるスケール検出値の積算値を示し、グラフＩＩが、サーボアンプ４０Ａにより生成されるセンサ有効フラグを示している。
図７において、グラフＩが、スケール検出部１３により出力されるスケール検出値の積算値を示し、グラフＩＩが、サーボアンプ４０Ａにより生成されるセンサ有効フラグを示している。
【0060】
図７のグラフIの時刻ＶＡ１は、図４のスケール検出部１３が、スケール部２１を検出した最初の時刻である。例えば、図４の可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向に移動し、固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、スケール部２１の一端Ｅ２が、図７の時刻ＶＡ１において、スケール検出部１３により最初に検出される。また、図４の可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向に移動し、固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、スケール部２１の一端Ｅ１が時刻ＶＡ１において、スケール検出部１３により最初に検出される。
【0061】
図７のグラフIの時刻ＶＡ２は、図４のスケール検出部１３が、スケール部２１を検出した最後の時刻である。例えば、図４の可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向に移動し、固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、スケール部２１の一端Ｅ１が時刻ＶＡ２において、スケール検出部１３により最後に検出される。また、図４の可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向に移動し、固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、スケール部２１の一端のＥ２が時刻ＶＡ２において、スケール検出部１３により最後に検出される。
【0062】
このため、グラフIにおいて時刻ＶＡ１～時刻ＶＡ２の間の時間ＶＡにおいて、スケール部２１がスケール検出部１３により検出されている。サーボアンプ４０Ａは、図７に示すように、時間ＶＡにおけるスケール検出値を積算する。
【0063】
次に、グラフIIの時刻ＶＢ１は、サーボアンプ４０Ａが、スケール部２１の位置情報を有効にした時刻である。すなわち、図５において、サーボアンプ４０Ａが第１移動情報を生成しセンサ有効フラグを活性化した時刻ｔ１、ｔ３である。また図６において、サーボアンプ４０Ａが第２移動情報を生成しセンサ有効フラグを活性化した時刻ｔ５、ｔ７である。
【0064】
グラフIIの時刻ＶＢ２は、サーボアンプ４０Ａが、スケール部２１の位置情報を無効にした時刻である。例えば、図５において、第３磁極センサ１２１ＣがＳ磁極部２２７Ｓを検知した時刻である。また図６において、第１磁極センサ１２１ＡがＮ磁極部２２１Ｎを検知した時刻である。この時刻ＶＢ２において、サーボアンプ４０Ａはセンサ有効フラグを不活性化する。
【0065】
このため、グラフIIにおいて時刻ＶＢ１～時刻ＶＢ２の間の時間ＶＢにおいて、センサ有効フラグが活性化されている。サーボアンプ４０Ａは、センサ有効フラグが活性化されている時間ＶＢにおいて、スケール検出部１３による検出されているスケール部２１の位置情報を有効とする。言い換えると、サーボアンプ４０Ａは、スケール部２１がスケール検出部１３により読み取られており、かつ、複数の磁極対２２が第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃにより検知されている期間において、スケール部２１の位置情報を有効とする。このように、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃで可動子２０Ａを検知している期間において、スケール検出部１３からの位置情報を有効とすることで、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａの位置情報を精度よく認識することができる。
【0066】
（可動子２０Ａの制御開始／制御終了の判断）
次に、サーボアンプ４０Ａによる、可動子２０Ａの制御開始／制御終了の判断について説明する。
次に、サーボアンプ４０Ａによる、可動子２０Ａの制御開始／制御終了の判断について説明する。
【0067】
可動子２０Ａが、図４および図５で示すように、矢印Ｙ１方向に移動して固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、サーボアンプ４０Ａは、第１移動情報を生成し、センサ有効フラグを活性化する（ｔ１）。次に、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃのいずれもがオン論理信号を出力したとき（ｔ２）、モータ電気角が決定される。すなわちｔ２においては、可動子２０Ａの移動方向が決定しており（第１移動情報）、スケール検出部１３によるスケール部２１が読み取られており、かつ、コイル部１１のモータ電気角が決定している。このとき、コイル部１１に供給する交流電流により発生する推力により、可動子２０Ａの正確な制御が可能となる。これにより、サーボアンプ４０Ａによる可動子２０Ａの制御が可能となり、第１制御指令を活性化する。即ち、磁極検知部１２のセンサ有効フラグが活性化され、かつ、モータ電気角が決定したときに（ｔ２）、サーボアンプ４０Ａによる可動子２０Ａの制御が可能となり、サーボアンプ４０Ａは第１制御指令を活性化する。
【0068】
第１制御指令の活性化後、コイル部１１に供給する交流電流により発生する推力により、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動する。その後、可動子２０Ａがサーボアンプ４０Ａの制御を受けて磁極検知部１２上を通過していき、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１ＣのいずれもがＳ磁極部２２６Ｓを検知してオン論理信号を出力したときに、サーボアンプ４０Ａは第１制御指令を不活性化する。
【0069】
可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動する場合、可動子２０Ａは、コイル部１１上を通過した後に、磁極検知部１２によって検知される。従って、最後の磁極対２２７が、磁極検知部１２上を通過するときには、コイル部１１上をすでに通過済みであり、サーボアンプ４０Ａは可動子２０Ａを制御することができない。このような場合、矢印Ｙ１方向におけるコイル部１１の長さＬ１に対応する磁極対２２の数ｇを考慮して、磁極検知部１２が最後の磁極対２２７の検出からｇ個だけ手前の磁極対２２を検出したときに、サーボアンプ４０Ａは第１制御指令を不活性化すればよい。
【0070】
また、磁極検知部１２のセンサ有効フラグが活性化され、かつ、モータ電気角が決定されるまでに、１つの磁極対２２（２２１）が磁極検知部１２上を通過する必要がある。従って、可動子２０Ａの制御可能な期間（第１制御指令を活性化してから不活性にするまでの期間）は、（Ｍ－ｇ－１）個の磁極対２２が磁極検知部１２上を通過する期間となる。言い換えると、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃが、（Ｍ－ｇ－１）回（Ｍは可動子２０Ａに配設された磁極対２２の数、ｇは可動子２０Ａの矢印Ｙ１方向におけるコイル部１１の長さに対応する磁極対２２の数）のオン論理信号を出力したときに、サーボアンプ４０Ａは第１制御指令を不活性化する。
【0071】
例えば、図１および図２Ａに示すように、Ｍ＝７、ｇ＝１である場合、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃが、第１移動情報を生成後、５回目のオン論理信号を出力するＳ磁極部２２６Ｓを検知したときに、サーボアンプ４０Ａは第１制御指令を不活性化する。即ち、磁極検知部１２が、５つの磁極対２２２～２２６を検知したときに、サーボアンプ４０Ａは第１制御指令を不活性化する。これにより、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａの制御を適時に開始し、適時に終了させることができる。その結果、可動子２０Ａの高精度な制御および消費電力の低減につながる。
【0072】
可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動する場合、磁極対２２７を第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃが検知しているときには、可動子２０Ａの磁極対は、すでにコイル部１１の上方を通過しており、コイル部１１の上方には存在しない。このため、コイル部１１からの推力では可動子２０Ａの制御が困難となる。したがって、１つの磁極対２２１が磁極検知部１２を通過して可動子２０Ａの制御が開始された後、全ての磁極対の数（Ｍ）からコイル部１１の長さに対応する磁極対２２の数（ｇ）を差し引いた数（Ｍ－ｇ－１）の磁極対がコイル部１１上を通過したときに、可動子２０Ａの制御を終了する。これにより、コイル部１１の上方にいずれかの磁極対が存在するときに、コイル部１１は、可動子２０Ａの移動を有効的かつ効率的に制御することができる。この場合、コイル部１１の消費電力も抑制され得る。
【0073】
なお、上記のほか、予め設定された回数のオン論理信号を、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃが出力したときに、第１制御指令を不活性化することでサーボアンプ４０Ａによる、可動子２０Ａの制御を終了してもよい。
【0074】
一方、可動子２０Ａが、図６で示すように、矢印Ｙ２方向に移動して固定子１０Ａの上方へ進入してきた場合、サーボアンプ４０Ａは、第２移動情報を生成し、センサ有効フラグを活性化する（ｔ５）。次に、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃのいずれもがオフ論理信号を出力したとき（ｔ６）、モータ電気角が決定される。すなわちｔ６においては、可動子２０Ａの移動方向が決定しており（第２移動情報）、スケール検出部１３によるスケール部２１が読み取られており、かつ、コイル部１１のモータ電気角が決定している。これにより、サーボアンプ４０Ａによる可動子２０Ａの制御が可能となり、第２制御指令を活性化する。即ち、磁極検知部１２のセンサ有効フラグが活性化され、かつ、モータ電気角が決定したときに（ｔ６）、サーボアンプ４０Ａによる可動子２０Ａの制御が可能となり、サーボアンプ４０Ａは第２制御指令を活性化する。
【0075】
第２制御指令の活性化後、コイル部１１からの推力により、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動する。その後、可動子２０Ａが磁極検知部１２上を通過していき、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１ＣのいずれもがＮ磁極部２２１Ｎを検知してオフ論理信号を出力したときに、サーボアンプ４０Ａは第２制御指令を不活性化する。
【0076】
可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動する場合、可動子２０Ａは、磁極検知部１２によって検知された後に、コイル部１１上を通過する。従って、磁極対２２１が、磁極検知部１２上を通過した後でも、コイル部１１上を通過するまでは、コイル部１１は、可動子２０Ａを制御することができる。よって、第２制御指令の不活性化のタイミングには、コイル部１１の長さに対応する磁極対２２の数ｇを考慮する必要はない。即ち、可動子２０Ａの制御可能な期間（第２制御指令を活性化してから不活性にするまでの期間）は、（Ｍ－１）個の磁極対２２が磁極検知部１２上を通過する期間となる。
【0077】
また、磁極検知部１２のセンサ有効フラグが活性化され、かつ、モータ電気角が決定されるまでに、１つの磁極対２２（２２７）が磁極検知部１２上を通過する必要がある。従って、可動子２０Ａの制御可能な期間（第２制御指令を活性化してから不活性にするまでの期間）は、（Ｍ－１）個の磁極対２２が磁極検知部１２上を通過する期間となる。言い換えると、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃが、（Ｍ－１）回のオフ論理信号を出力したときに、サーボアンプ４０Ａは第２制御指令を不活性化する。 例えば、図１に示すように、Ｍ＝７である場合、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃが、第２移動情報生成後、６回目のオフ論理信号を出力するＮ磁極部２２１Ｎを検知したときに、サーボアンプ４０Ａは第２制御指令を不活性化する。即ち、磁極検知部１２が、６つの磁極対２２６～２２１を検知したときに、サーボアンプ４０Ａは第２制御指令を不活性化する。これにより、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａの制御を適時に開始し、適時に終了させることができる。その結果、可動子２０Ａの高精度な制御および消費電力の低減につながる。
【0078】
尚、上述のとおり、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動する場合、磁極対２２１を第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃが検知しているときは、コイル部１１の上方には磁極対２２が存在する。このため、可動子２０Ａの制御が可能である。したがって、最後の磁極対（磁極対２２１）を検知しているときまで、可動子２０Ａの移動を制御することができる。
【0079】
なお、上記のほか、予め設定された回数のオフ論理信号を、第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃが出力したときに、第２制御指令を不活性化することでサーボアンプ４０Ａによる、可動子２０Ａの制御を終了してもよい。
【0080】
以上のように、第１実施形態に係る搬送装置１００によれば、複数の可動子２０に磁極対２２およびリニアスケールを設け、固定子１０に磁極検知部１２およびスケール検出部１３を設ける。磁極検知部１２が可動子２０を検知して所定の信号を出力したときに、コントローラ５０は、可動子２０の移動方向を判断し、磁極検知部１２の有効性を判断する。さらに、磁極検知部１２の全ての（例えば、３つの）磁極センサが磁極対を検出したときに、電気角が決定される。これにより、サーボアンプ４０Ａによる可動子２０の制御が可能となり、制御指令を活性化する。
【0081】
可動子２０の制御が可能になると、リニアスケールおよびスケール検出部１３により精度の高い位置決めが可能となる。これにより、複数の可動子２０を正確に制御することができる。また、それぞれの可動子２０にスケール部２１が設けられているため、移動路３０の全体に渡ってスケール部２１を設ける必要が無くなる。このため、搬送装置１００の設置コストを低減することができる。
【0082】
（搬送装置１００の制御方法）
次に、搬送装置１００の制御方法を図８～１０を参照して説明する。
次に、搬送装置１００の制御方法を図８～１０を参照して説明する。
【0083】
図８は、サーボアンプ４０Ａによる、磁極センサ１２１の有効に係る判断、および、可動子２０Ａの移動方向に係る判断を説明するフローチャートである。尚、図８～図１０のフローは、コントローラ５０およびサーボアンプ４０Ａによって周期的に繰り返されているものとする。
【0084】
まず、サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃの全てがオン論理信号、または、オフ論理信号を出力しているかを確認する（ステップＳ１０）。第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃの全てがオン論理信号、または、オフ論理信号を出力している場合（ステップＳ１０：Ｙｅｓ）、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃ上に、可動子２０Ａが存在していないと判断する（磁極センサ断線）。これは、起動時の初期状態または可動子２０の通過後の状態を示している。
【0085】
一方、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃのいずれかが異なる論理信号を出力している場合（ステップＳ１０：Ｎｏ）、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃのいずれかの上に、可動子２０Ａが存在すると判断する。
【0086】
次に、サーボアンプ４０Ａは、磁極センサ１２１の有効か否か（センサ有効フラグが活性状態か否か）について判断する（ステップＳ１２）。例えば、図５に示すようにサーボアンプ４０Ａが第１移動情報をすでに生成している（ｔ１またはｔ３以降の状態）ならば、可動子２０Ａの移動方向（矢印Ｙ１方向）はすでに決定されており、センサ有効フラグはすでに活性状態になっている。従って、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａの移動方向を判断せずに、磁極センサ１２１は有効と判断する（ステップＳ１２：Ｙｅｓ）。また、図６に示すようにサーボアンプ４０Ａが第２移動情報をすでに生成している（ｔ５またはｔ７以降の状態）ならば、可動子２０Ａの移動方向（矢印Ｙ２方向）はすでに決定されており、センサ有効フラグはすでに活性状態になっている。従って、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａの移動方向を判断せずに、磁極センサ１２１は有効と判断する（ステップＳ１２：Ｙｅｓ）。
【0087】
一方、サーボアンプ４０Ａが第１移動情報または第２移動情報を生成していないならば、その時点において、センサ有効フラグは不活性状態であり、まだ活性状態になっていない。これは、磁極センサ１２１はまだ有効でないことを意味する（ステップＳ１２：Ｎｏ）。
【0088】
次に、サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃのうち第１磁極センサ１２１Ａのみがオン論理信号を出力しているかを判断する（ステップＳ１４）。第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃのうち第１磁極センサ１２１Ａのみがオン論理信号を出力している場合（ステップＳ１４：Ｙｅｓ）、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動していると判断し（ステップＳ１５）、第１移動情報を生成する。さらに、サーボアンプ４０Ａは、磁極センサ１２１が有効と判断しセンサ有効フラグを活性化する。
【0089】
第１磁極センサ１２１Ａがオン論理信号を出力していない場合（ステップＳ１４：Ｎｏ）、サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃのうち第３磁極センサ１２１Ｃのみがオフ論理信号を出力しているかを判断する（ステップＳ１６）。第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃのうち第３磁極センサ１２１Ｃのみがオフ論理信号を出力している場合（ステップＳ１６：Ｙｅｓ）、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動していると判断し（ステップＳ１７）、第２移動情報を生成する。さらに、サーボアンプ４０Ａは、磁極センサ１２１が有効と判断しセンサ有効フラグを活性化する。
【0090】
第３磁極センサ１２１Ｃがオフ論理信号を出力していない場合（ステップＳ１６：Ｎｏ）、サーボアンプ４０Ａは第１磁極センサ１２１Ａ、第２磁極センサ１２１Ｂ、および、第３磁極センサ１２１Ｃ上に、可動子２０Ａが存在していないと判断する（磁極センサ断線）。
【0091】
このように、サーボアンプ４０Ａは、磁極センサ１２１の有効性に係る判断、および、可動子２０Ａの移動方向に係る判断をすることができる。第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃがオフ論理信号を出力している状態において、第１磁極センサ１２１Ａが最初にオン論理信号を出力した場合、サーボアンプ４０Ａは、矢印Ｙ１方向の第１移動情報を生成し、センサ有効フラグを活性化する。
また、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃがオン論理信号を出力している状態において、第３磁極センサＣが最初にオフ論理信号を出力した場合、サーボアンプ４０Ａは、矢印Ｙ２方向の第２移動情報を生成し、センサ有効フラグを活性化する。
また、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃがオン論理信号を出力している状態において、第３磁極センサＣが最初にオフ論理信号を出力した場合、サーボアンプ４０Ａは、矢印Ｙ２方向の第２移動情報を生成し、センサ有効フラグを活性化する。
【0092】
次に、図９は、サーボアンプ４０Ａによる、スケール部２１の読取情報に係る判断、および、制御座標の更新に係る判断を説明するフローチャートである。制御座標とは、サーボアンプ４０Ａが可動子２０Ａを制御するために用いる座標である。
【0093】
まず、サーボアンプ４０Ａは、スケール部２１が断線しているか否かを判断する（ステップＳ２０）。スケール部２１の断線とは、スケール検出部１３によりスケール部２１が読み取りできるか否かを意味している。従って、可動子２０が固定子１０上にない場合、スケール検出部１３は、スケール部２１を読み取れないので、断線状態である。スケール部２１が断線している場合（ステップＳ２０：Ｙｅｓ）、サーボアンプ４０Ａは、スケール部２１の読取情報を無効とし、制御座標をクリアする。
【0094】
スケール部２１が断線していない場合（ステップＳ２０：Ｎｏ）、サーボアンプ４０Ａは、スケール部２１の読取情報の有効性を判断するために、磁極センサ１２１が有効か否か（センサ有効フラグ）について判断する（ステップＳ２２）。例えば、磁極センサ１２１がすでに有効（センサ有効フラグが活性状態）ならば（ステップＳ２２：Ｙｅｓ）、スケール部２１の読取情報（スケール情報）を有効のまま維持し、制御座標を更新する。この制御座標は、可動子２０Ａの位置情報として用いられ、可動子２０Ａの高精度な制御に利用され得る。スケール情報とは、スケール部２１の目盛りの読み取り情報である。制御座標とは、スケール情報を処理して、可動子２０Ａの制御に用いるために変換した座標である。
【0095】
一方、磁極センサ１２１が無効（センサ有効フラグが不活性状態）ならば（ステップＳ２２：Ｎｏ）スケール部２１の読取情報を有効としつつも、制御座標をクリアする。読取情報（スケール情報）は有効として積算されるが、可動子２０の制御座標としては用いられない。
【0096】
このように、サーボアンプ４０Ａは、スケール部２１の読取情報の有効性に係る判断、および、制御座標の更新に係る判断をすることができる。サーボアンプ４０Ａが第１移動情報または第２移動情報を生成しセンサ有効フラグを活性化している期間において、スケール検出部１３により検出されているスケール部２１の位置情報（スケール情報）とし、かつ、可動子２０の制御座標を有効に更新する。
【0097】
次に、図１０は、サーボアンプ４０Ａによる、可動子２０Ａの制御開始／制御終了に係る判断を説明するフローチャートである。
【0098】
まず、サーボアンプ４０Ａは、その時点で可動子２０Ａを制御しているか否かを判断する（ステップＳ３０）。サーボアンプ４０Ａが可動子２０Ａの制御中である場合（ステップＳ３０：Ｙｅｓ）、サーボアンプ４０Ａは、磁極センサ１２１の有効か否か（センサ有効フラグの活性状態）について判断する（ステップＳ３２）。例えば、可動子２０が固定子１０を通過して直後、センサ有効フラグが不活性状態になった場合（ステップＳ３２：Ｎｏ）、磁極センサ１２１は無効となり、制御が終了する。
【0099】
センサ有効フラグが活性状態であり、磁極センサ１２１が有効と判断した場合（ステップＳ３２：Ｙｅｓ）、サーボアンプ４０Ａは、制御座標が最大座標より大きいか否かを判断する（ステップＳ３４）。例えば、サーボアンプ４０Ａは、スケール検出部１３からの読取情報（スケール情報）から可動子２０の制御座標を演算し、この制御座標を予め設定された最大座標と比較する（Ｓ３４）。最大座標は、矢印Ｙ１またはＹ２方向の可動子２０の長さによって決まっており、図３のスケールの長さＬ４にほぼ等しくてよい。
【0100】
制御座標が最大座標以上の場合（ステップＳ３４：Ｙｅｓ）、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０が固定子１０を通過してすでに制御できない位置にあると判断し、可動子２０Ａの制御を終了する。
【0101】
一方、制御座標が最大座標より小さい場合（ステップＳ３４：Ｎｏ）、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０が依然として固定子１０の上に存在していると判断し、可動子２０Ａの制御を継続する。
【0102】
ステップＳ３０において、サーボアンプ４０Ａが可動子２０Ａを制御していない場合（ステップＳ３０：Ｎｏ）、サーボアンプ４０Ａは、磁極センサ１２１の有効か否か（センサ有効フラグの活性状態）について判断する（ステップＳ３６）。例えば、可動子２０が固定子１０に進入した直後、制御がまだ開始されていない状態において、センサ有効フラグが活性状態になった場合（ステップＳ３６：Ｙｅｓ）、サーボアンプ４０Ａは、モータ電気角が決定済みか否かを判断する（ステップＳ３８）。モータ電気角がすでに決定されている場合（ステップＳ３８：Ｙｅｓ）、可動子２０Ａは制御可能状態にあるので、サーボアンプ４０Ａは可動子２０Ａの制御を開始する。これにより、次の周期において、サーボアンプ４０Ａは、制御中となり、ステップＳ３０のＹｅｓへと処理を進める。
【0103】
一方、ステップＳ３６において、可動子２０がまだ固定子１０に進入しておらず、センサ有効フラグが不活性状態である場合（ステップＳ３６：Ｎｏ）、サーボアンプ４０Ａは、制御開始を待機する。
【0104】
また、ステップＳ３８において、センサ有効フラグが活性状態であるが、まだモータ電気角が決定されていない場合（ステップＳ３６：Ｎｏ）、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０が固定子１０に進入した直後であり、可動子２０Ａの制御はまだ可能でないと判断し、制御開始を待機する。
【0105】
このように、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａの制御開始／制御終了を判断することができる。
【0106】
サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａが矢印Ｙ１またはＹ２方向へ移動することを示す移動情報を生成し、磁極検知部１２が磁極対を検出したことを示すセンサ有効フラグを活性化し、さらに、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃがオン論理信号（またはオフ論理信号）を出力してモータ電気角が判明したときに、可動子２０Ａの制御が可能になったと判断する。このとき、サーボアンプ４０Ａは、コイル部１１に磁力を発生させる制御指令を活性化する。制御指令の活性化により、サーボアンプ４０Ａは、スケール検出部１３によるスケール情報に基づいて可動子２０Ａの制御座標を特定し、かつ、コイル部１１による可動子２０Ａの制御を有効にする。これにより、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａの位置を正確に認識し、高精度に制御することができる。
【0107】
サーボアンプ４０Ａは、制御指令の活性化後、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃが予め設定された回数のオン論理信号（またはオフ論理信号）を出力したときに、第１制御指令を不活性化する。予め設定された回数は、可動子２０Ａが図４の矢印Ｙ１方向に移動している場合には、（Ｍ－ｇ－１）回であり、矢印Ｙ２方向に移動している場合には、（Ｍ－１）回である。
【0108】
これにより、複数の可動子２０が固定子１０上を往来する場合であっても、サーボアンプ４０Ａは、複数の可動子２０を正確に制御することができる。複数の可動子２０のそれぞれにスケール部２１が設けられているので、移動路３０の全体に渡ってスケール部２１を設けられている搬送装置と同等の精度にて、複数の可動子２０の位置決めをすることができる。
【0109】
（具体例）
次に、第１実施形態の具体例を図１１～１３を参照して説明する。
次に、第１実施形態の具体例を図１１～１３を参照して説明する。
【0110】
図１１は、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向に移動した場合の実測値を示す図である。図１２の上方から、第２磁極センサ１２１Ｂ、第１磁極センサ１２１Ａ、および、第３磁極センサ１２１Ｃのオン論理信号／オフ論理信号の波形を示している。グラフIはスケール検出部１３により出力されるスケール検出値の積算値を示し、グラフIIは制御中フラグの活性化／不活性化を示し、グラフIIIは矢印Ｙ２方向への移動フラグを示し、および、グラフIVはセンサ有効フラグを示している。
【0111】
可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向に移動し、固定子１０Ａの上方に進入してきた場合、図１１に示すように、Ｎ磁極部２２１Ｎを第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃが検知し、第１磁極センサ１２１Ａがオフ論理信号（オフ信号Ｓ１７）、第２磁極センサ１２１Ｂがオフ論理信号（オフ信号Ｓ１８）、第３磁極センサ１２１Ｃがオフ論理信号（オフ信号Ｓ１９）をそれぞれ出力する。このとき、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃの出力の論理信号は、搬送装置１００の起動後の初期状態と同じであるので、サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１ＣがＮ磁極部２２１Ｎを検知していることを認識できない。
【0112】
次に、第１磁極センサ１２１Ａの出力が最初にオン論理信号（オン信号Ｈ１６）に変化した場合（ｔ９）に、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動していると判断し、第１移動情報を生成する。すなわち、図１２のグラフIV（センサ有効フラグ）が活性化され、グラフIII（矢印Ｙ２方向への移動フラグ）は不活性状態を維持する。
【0113】
次に、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃの全てがオン論理信号（オン信号Ｈ１６～Ｈ１８）を１度出力したときに（ｔ１０）、モータ電気角が決定される。すなわちｔ１０においては、可動子２０Ａの移動方向が決定しており（第１移動情報）、スケール検出部１３によるスケール部２１が読み取られており、かつ、コイル部１１のモータ電気角が決定している。これにより、サーボアンプ４０Ａによる可動子２０Ａの制御が可能となり、第１制御指令を活性化されるため、グラフIIの制御中フラグが活性化される。そして、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動し、所定の距離を移動したとき（ｔ１１）、第１制御指令を不活性化されるため、グラフIIの制御中フラグが不活性化される。
【0114】
図１２は、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向に移動した場合の実測値を示す図である。図１２と同様に、図１３の上方から、第２磁極センサ１２１Ｂ、第１磁極センサ１２１Ａ、および、第３磁極センサ１２１Ｃのオン論理信号／オフ論理信号の波形を示している。グラフIはスケール検出部１３により出力されるスケール検出値の積算値を示し、グラフIIは制御中フラグの活性化／不活性化を示し、グラフIIIは矢印Ｙ２方向への移動フラグを示し、および、グラフIVはセンサ有効フラグを示している。
【0115】
可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向に移動し、固定子１０Ａの上方に進入してきた場合、図１３に示すように、Ｓ磁極部２２７Ｓを第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃが検知し、第３磁極センサ１２１Ｃがオン論理信号（オン信号Ｈ１９）、第２磁極センサ１２１Ｂがオン論理信号（オン信号Ｈ２０）、第１磁極センサ１２１Ａがオン論理信号（オン信号Ｈ２１）をそれぞれ出力する。このとき、サーボアンプ４０Ａは、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１ＣがＳ磁極部２２７Ｓを検知していることを認識できるものの、図１２の場合と合わせてここでは、第２移動情報を生成しない。
【0116】
次に、第３磁極センサ１２１Ｃの出力が最初にオフ論理信号（オフ信号Ｓ２０）に変化した場合（ｔ１２）に、可動子２０Ａが矢印Ｙ２方向へ移動していると判断し、第２移動情報を生成する。すなわち、図１３のグラフIV（センサ有効フラグ）が活性化され、グラフIII（矢印Ｙ２方向への移動フラグ）も活性化される。
【0117】
次に、矢印Ｙ２方向へ移動する場合、サーボアンプ４０Ａは、可動子２０Ａが所定の座標に移動、または、（Ｍ－２）番目の磁極対から第２制御指令を活性化させるため、グラフIIの制御中フラグが活性化される（ｔ１３）。ここで図４に示すようにＭ＝７であるため、５番目の磁極対（磁極対２２５）からグラフIIの制御中フラグが活性化されている。そして、可動子２０Ａが矢印Ｙ１方向へ移動し、スケール部２１の検出されなくなったとき（ｔ１４）、第２制御指令を不活性化されるため、グラフIIの制御中フラグが不活性化される。
【0118】
図１３は、磁極検知部１２の一例を詳細に示している。図１３に示すように、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃは、第２磁極センサ１２１Ｂ、第１磁極センサ１２１Ａ、第３磁極センサ１２１Ｃの順で配列されている。このように、第１～第３磁極センサ１２１Ａ～１２１Ｃの配列順は任意でよい。
【0119】
第２磁極センサ１２１Ｂと第１磁極センサ１２１Ａとの距離はＬ７であり、第１磁極センサ１２１Ａと第３磁極センサ１２１Ｃとの距離はＬ８である。距離Ｌ７と距離Ｌ８とはほぼ等しく、例えば約５ｍｍでよい。すなわち、図２Ｂの距離Ｌ２および距離Ｌ３の約半分の距離でよい。
【0120】
上記を言い換えると、実測例の第１磁極センサ１２１Ａは、図２Ｂの第１磁極センサ１２１Ａと比べ、第２磁極センサ１２１Ｂ側へ約１５ｍｍ移動している。これにより、磁極センサ１２１のぞれぞれは、第２磁極センサ１２１Ｂ、第１磁極センサ１２１Ａ、第３磁極センサ１２１Ｃの順で配列されることになる。また、第１磁極センサ１２１Ａが約１５ｍｍ移動することにより、１対の磁極対２２の距離Ｌ１（約３０ｍｍ）の半分の距離を移動したことになる。したがって、第１磁極センサ１２１Ａが検知する位相が３６０度÷２＝１８０度ずれることになる。このため図１３の磁極検知部１２は、図２Ｂの磁極検知部１２と同様の効果が得られるとともに、図２Ｂの磁極検知部１２の半分の大きさとなるため省スペースを図ることができる。
【0121】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【0122】
１００…搬送装置、１０（１０Ａ～１０Ｄ）…固定子、１１…コイル部、１２…磁極検知部、１２１（１２１Ａ～１２１Ｃ）…磁極センサ、１３…スケール検出部、１４…筐体、２０（２０Ａ～２０Ｂ）…可動子、２１…スケール部、２２…複数の磁極対、２２２～２２７…磁極対、２２１Ｎ～２２７Ｎ…Ｎ磁極部、２２１Ｓ～２２７Ｓ…Ｓ磁極部、３０…移動路、４０（４０Ａ～４０Ｄ）…サーボアンプ（制御部）、５０…コントローラ（制御部）、６１…動力線、６２～６４…センサ線、７１～７２…通信線、Ｈ１～Ｈ２１…オン信号、Ｓ１～Ｓ２０…オフ信号
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】