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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024004247
(43)【公開日】2024-01-16
(54)【発明の名称】載置装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20240109BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022103826
(22)【出願日】2022-06-28
(71)【出願人】
【識別番号】500171707
【氏名又は名称】株式会社ブイ・テクノロジー
(74)【代理人】
【識別番号】100170070
【弁理士】
【氏名又は名称】坂田 ゆかり
(72)【発明者】
【氏名】米澤 良
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA03
5F131AA10
5F131BA11
5F131BA39
5F131CA42
5F131CA46
5F131CA49
5F131CA52
5F131DA09
5F131DA22
5F131DB15
5F131DB51
(57)【要約】
【課題】板状の対象物を載置する際に対象物等が傷つき難い。
【解決手段】孔が設けられた保持部材の載置平面に、板状の対象物を水平に載置する載置装置であり、保持部の鉛直方向下側に、上下方向に移動可能に設けられた基台と、基台を上下方向に移動させる第１移動部と、基台に設けられた複数の柱状部と、を備える。柱状部は基台から鉛直方向上向きに突出しており、柱状部の先端には対象物を載置する第１載置部が設けられている。基台が下端に位置するときには第１載置部が前記保持部よりも下側に位置し、基台が前記下端から上方に移動されると、状部が孔に挿入され、基台が上端に位置するときには第１載置部が載置平面よりも上側に位置する。
【選択図】 図５
【解決手段】孔が設けられた保持部材の載置平面に、板状の対象物を水平に載置する載置装置であり、保持部の鉛直方向下側に、上下方向に移動可能に設けられた基台と、基台を上下方向に移動させる第１移動部と、基台に設けられた複数の柱状部と、を備える。柱状部は基台から鉛直方向上向きに突出しており、柱状部の先端には対象物を載置する第１載置部が設けられている。基台が下端に位置するときには第１載置部が前記保持部よりも下側に位置し、基台が前記下端から上方に移動されると、状部が孔に挿入され、基台が上端に位置するときには第１載置部が載置平面よりも上側に位置する。
【選択図】 図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
孔が設けられた保持部材の載置平面に、板状の対象物を水平に載置する載置装置であって、
前記保持部材の鉛直方向下側に、上下方向に移動可能に設けられた基台と、
前記基台を上下方向に移動させる第１移動部と、
前記基台に設けられた複数の柱状部と、
を備え、
前記柱状部は、前記基台から鉛直方向上向きに突出しており、
前記柱状部の先端には、前記対象物を載置する第１載置部が設けられており、
前記基台が下端に位置するときには、前記第１載置部が前記保持部材よりも下側に位置し、
前記基台が前記下端から上方に移動されると、前記柱状部が前記孔に挿入され、
前記基台が上端に位置するときには、前記第１載置部が前記載置平面よりも上側に位置する
ことを特徴とする載置装置。
前記保持部材の鉛直方向下側に、上下方向に移動可能に設けられた基台と、
前記基台を上下方向に移動させる第１移動部と、
前記基台に設けられた複数の柱状部と、
を備え、
前記柱状部は、前記基台から鉛直方向上向きに突出しており、
前記柱状部の先端には、前記対象物を載置する第１載置部が設けられており、
前記基台が下端に位置するときには、前記第１載置部が前記保持部材よりも下側に位置し、
前記基台が前記下端から上方に移動されると、前記柱状部が前記孔に挿入され、
前記基台が上端に位置するときには、前記第１載置部が前記載置平面よりも上側に位置する
ことを特徴とする載置装置。
【請求項2】
前記基台に設けられた第１レールと、前記第１レールに沿って移動可能に設けられた移動部材と、を有する第２移動部を複数備え、
前記第２移動部にそれぞれ前記柱状部が設けられることで、前記柱状部が前記第２移動部を介して前記基台に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の載置装置。
前記第２移動部にそれぞれ前記柱状部が設けられることで、前記柱状部が前記第２移動部を介して前記基台に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の載置装置。
【請求項3】
複数の前記移動部材を駆動する駆動部を備え、
前記第２移動部は、前記移動部材に設けられたベルトを有し、
前記駆動部は、複数の前記ベルトを同時に同じ量だけ駆動する
ことを特徴とする請求項２に記載の載置装置。
前記第２移動部は、前記移動部材に設けられたベルトを有し、
前記駆動部は、複数の前記ベルトを同時に同じ量だけ駆動する
ことを特徴とする請求項２に記載の載置装置。
【請求項4】
前記第１載置部は、高さが異なる２つの面である前記柱状部の先端面である第１面と、前記第１面から下方に段落ちした第２面を有し、
前記第１面は、前記第２面の外側に設けられており、
前記第２面は、前記対象物が載置される面であり、内側に向けて高さが低くなるように水平方向に対して１°～５°傾いている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の載置装置。
前記第１面は、前記第２面の外側に設けられており、
前記第２面は、前記対象物が載置される面であり、内側に向けて高さが低くなるように水平方向に対して１°～５°傾いている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の載置装置。
【請求項5】
前記第１面と前記第２面を連結する面は、高くなるにつれて外側に傾斜するように鉛直方向に対して１°～５°傾いている
ことを特徴とする請求項４に記載の載置装置。
ことを特徴とする請求項４に記載の載置装置。
【請求項6】
前記第１面は、内側の両端に切り欠きが設けられており、
前記切り欠きは、鉛直方向上側から見たときに、複数の前記柱状部の外側の角を連結する円の中心点を中心とする任意の半径の曲面と重なる
ことを特徴とする請求項４に記載の載置装置。
前記切り欠きは、鉛直方向上側から見たときに、複数の前記柱状部の外側の角を連結する円の中心点を中心とする任意の半径の曲面と重なる
ことを特徴とする請求項４に記載の載置装置。
【請求項7】
前記基台に設けられた近接センサを備え、
前記保持部材の裏面には、マーキングが設けられており、
前記近接センサは、前記保持部材を検出すると共に、前記マーキングを読み取る
ことを特徴とする請求項１に記載の載置装置。
前記保持部材の裏面には、マーキングが設けられており、
前記近接センサは、前記保持部材を検出すると共に、前記マーキングを読み取る
ことを特徴とする請求項１に記載の載置装置。
【請求項8】
鉛直方向上側から見たときに、前記基台に隣接して設けられた第２載置部と、
前記対象物を下から保持可能なアームと、前記アームが設けられた第２レールとを有し、前記アームが前記第２レールに沿って移動可能なマスク搬送部と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の載置装置。
前記対象物を下から保持可能なアームと、前記アームが設けられた第２レールとを有し、前記アームが前記第２レールに沿って移動可能なマスク搬送部と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の載置装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、載置装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、伸縮可能な固定枠に回動自在に可動枠を連結し、固定枠並びに可動枠の端部に基板支持部材を設け、可動枠の固定枠との連結部近傍にハンドルを設けたフォトマスク基板等の搬送具が開示されている。この搬送具を２本使用し、固定枠同士を連結することで大型の基板素材が搬送可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００１－１６８１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載の搬送具は、ケース等に収容されフォトマスク基板を洗浄ホルダ等の装置に搬送するのに用いられる。この搬送具により搬送されたフォトマスク基板は、装置内の載置面に水平に載置される。
【0005】
しかしながら、手作業でフォトマスク基板を載置面に載置する際に、フォトマスク基板の姿勢を水平に維持するのは困難であり、フォトマスク基板を載置面にぶつける等によりフォトマスク基板が欠けたり載置面の一部が変形したりしてしまうおそれがある。
【0006】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、板状の対象物を載置する際に対象物等が傷つき難い載置装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本発明に係る載置装置は、例えば、孔が設けられた保持部材の載置平面に、板状の対象物を水平に載置する載置装置であって、前記保持部材の鉛直方向下側に、上下方向に移動可能に設けられた基台と、前記基台を上下方向に移動させる第１移動部と、前記基台に設けられた複数の柱状部と、を備え、前記柱状部は、前記基台から鉛直方向上向きに突出しており、前記柱状部の先端には、前記対象物を載置する第１載置部が設けられており、前記基台が下端に位置するときには、前記第１載置部が前記保持部材よりも下側に位置し、前記基台が前記下端から上方に移動されると、前記柱状部が前記孔に挿入され、前記基台が上端に位置するときには、前記第１載置部が前記載置平面よりも上側に位置することを特徴とする。
【0008】
本発明に係る載置装置によれば、対象物を載置する第１載置部が先端に設けられた柱状部が基台から鉛直方向上向きに突出しており、基台が上端に位置するときには第１載置部が載置平面よりも上側に位置する。そのため、作業者は、対象物を第１載置部に載置すればよく、直接載置平面に載置する必要はない。したがって、板状の対象物を載置する際に対象物や載置平面が傷つき難い。
【0009】
前記基台に設けられた第１レールと、前記第１レールに沿って移動可能に設けられた移動部材と、を有する第２移動部を複数備え、前記第２移動部にそれぞれ前記柱状部が設けられることで、前記柱状部が前記第２移動部を介して前記基台に設けられていてもよい。これにより、１つの載置装置で様々な大きさの対象物に対応することができる。
【0010】
複数の前記移動部材を駆動する駆動部を備え、前記第２移動部は、前記移動部材に設けられたベルトを有し、前記駆動部は、複数の前記ベルトを同時に同じ量だけ駆動してもよい。これにより、柱状部を同時に同じ量だけ移動させることができる。
【0011】
前記第１載置部は、高さが異なる２つの面である前記柱状部の先端面である第１面と、前記第１面から下方に段落ちした第２面を有し、前記第１面は、前記第２面の外側に設けられており、前記第２面は、前記対象物が載置される面であり、内側に向けて高さが低くなるように水平方向に対して１°～５°傾いていてもよい。これにより、第２面に載置された対象物と第２面との接触面積が最小限になり、対象物の機能面である対象物膜面が汚染され難くなる。
【0012】
前記第１面と前記第２面を連結する面は、高くなるにつれて外側に傾斜するように鉛直方向に対して１°～５°傾いていてもよい。これにより、第１面と第２面を連結する面と対象物との接触面積が最小限になり、対象物が汚染され難くなる。
【0013】
前記第１面は、内側の両端に切り欠きが設けられており、前記切り欠きは、鉛直方向上側から見たときに、複数の前記柱状部の外側の角を連結する円の中心点を中心とする任意の半径の曲面と重なってもよい。これにより、矩形形状の対象物のみならず、円形状の対象物をも第２載置部に載置することができる。
【0014】
前記基台に設けられた近接センサを備え、前記保持部材の裏面には、マーキングが設けられており、前記近接センサは、前記保持部材を検出すると共に、前記マーキングを読み取ってもよい。これにより、基台の中心と載置平面の中心とを一致させたり、載置される対象物の大きさに合わせた位置に柱状部を配置したりすることができる。
【0015】
鉛直方向上側から見たときに、前記基台に隣接して設けられた第２載置部と、前記対象物を下から保持可能なアームと、前記アームが設けられた第２レールとを有し、前記アームが前記第２レールに沿って移動可能なマスク搬送部と、を備えてもよい。これにより、作業者を介さず、第１載置部に対象物を載置したり、第１載置部から対象物を取り外したりすることができる。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、板状の対象物を載置する際に対象物等が傷つき難い。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】検査装置１の概略を示す斜視図である。
【図2】検査装置１の概略を示す平面図である。
【図3】除振台６１の概略を示す図であり、（Ａ）浮上時の様子を模式的に示し、（Ｂ）は着座時の様子を模式的に示す。
【図4】検査装置１を正面から見たときの部分拡大図である。
【図5】検査装置１を斜め手前から見たときの部分斜視図である。
【図6】載置装置２の柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ及び保持部材４の平面図である。
【図7】載置装置２の柱状部２２ｃ及び柱状部２２ｃの先端に設けられた載置部２５ｃの概略を示す図であり、（Ａ）は斜視図であり、（Ｂ）は平面図であり、（Ｃ）は（Ｂ）のＤ－Ｄ断面図である。
【図8】検査装置１の概略を示す平面図であり、要部を拡大表示した図である。
【図10】保持部材４の本体部４１の側面４１ｃが検査部５０の保持部５２のレール５２ａに当接する様子を模式的に示す図である。
【図11】搬送装置３のピニオン３１を駆動する駆動部３５を模式的に示す図である。
【図12】保持部材４の本体部４１の先端面４１ｂが検査部５０の保持部５２の当接面５２ｃの近傍に位置した状態を模式的に示す図である。
【図13】空気吸引部５８のコネクタ５８ａの概略を示す図である。
【図14】検査装置１の電気的な構成を示すブロック図である。
【図15】変形例にかかる保持部材の本体部４１Ａの概略を示す断面図である。
【図16】検査装置１Ａの概略を示す平面図である。
【図17】検査装置１Ｂの概略を示す図であり、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は正面図である。
【図18】検査装置１Ｂの電気的な構成を示すブロック図である。
【図19】検査装置１Ｃの概略を示す平面図である。
【図20】第１ステージ５１Ａがローディング位置に移動されるときのピニオン３１、３１Ａ及びギア３４の様子を模式的に示す図であり、（Ａ）はローディング位置直前の様子を示し、（Ｂ）はローディング位置の様子を示す。
【図21】搬送装置３Ｃの概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、重複する部分については説明を省略する。
【0019】
本発明における載置装置とは、板状の対象物を、載置平面を有する保持部に水平に載置する装置である。以下、対象物としてマスクを例に説明する。マスクは、感光性基板（例えば、ガラス基板の片面にクロムの薄膜を形成し、その上からレジストを塗布したもの）上にレーザ等の光を照射して生成される。感光性基板には、一般的には、熱膨張率が非常に小さい（例えば、約５．５×１０－７／Ｋ程度）石英ガラスが用いられる。
【0020】
載置装置で用いられるマスクＭは、さまざまな大きさのものがある。矩形形状のマスクとしては、５×５インチ、６×６インチ、７×７インチ、９×９インチ等が用いられ、円形状のマスクとしては、直径７．２５インチのものが用いられる。本発明は、１つの装置で様々な大きさや複数の形状のマスクＭに対応することができる。
【0021】
＜第１の実施の形態＞
図１は、検査装置１の概略を示す斜視図である。図２は、検査装置１の概略を示す平面図（＋ｚ方向から見た図）である。なお、図１においては、一部の構成について図示を省略している。また、図２では、要部を透視している。
図１は、検査装置１の概略を示す斜視図である。図２は、検査装置１の概略を示す平面図（＋ｚ方向から見た図）である。なお、図１においては、一部の構成について図示を省略している。また、図２では、要部を透視している。
【0022】
以下、鉛直方向に沿った方向をｚ方向とし、鉛直上向きを＋ｚとする。また、水平方向に沿った直交２方向をｘ方向及びｙ方向とする。
【0023】
検査装置１は、主として、載置装置２と、搬送装置３と、保持部材４と、枠１０と、検査部５０と、除振台６１と、定盤６２とを有する。保持部材４には、板状の対象物であるマスクＭが載置される。載置装置２は、保持部材４にマスクＭを載置する装置である。搬送装置３は、マスクＭが載置された保持部材４を検査部５０に搬入したり、検査部５０から搬出したりする装置である。
【0024】
枠１０は、検査部５０、除振台６１及び定盤６２を覆う。また、検査装置１（枠１０の内部）は、図示しない温度調整部により一定温度に保たれている。
【0025】
枠１０は、開閉扉１２が設けられた正面部１１を有する。正面部１１には開口部１１ａが設けられており、開閉扉１２が閉じた状態では開閉扉１２が開口部１１ａを覆う。図１は、開閉扉１２が閉じた状態を図示している。開閉扉１２は、上下方向（ｚ方向）に移動可能であり、開口部１１ａを覆う位置と覆わない位置との間で移動可能である。正面部１１にはレール１３が設けられており、開閉扉１２に設けられた移動部材（図示省略）がアクチュエータ１４（図１４参照）によりレール１３に沿って移動することで、開閉扉１２がｚ方向に移動する。
【0026】
定盤６２は、略直方体形状（厚板状）の部材であり、石（例えば、花崗岩）や低膨張率の鋳物（例えば、ニッケル系の合金）で形成される。定盤６２は、設置面（例えば、床）上に載置されている。
【0027】
定盤６２には、複数（ここでは、３個）の除振台６１が載置されている。図３は、除振台６１の概略を示す図であり、（Ａ）浮上時の様子を模式的に示し、（Ｂ）は着座時の様子を模式的に示す。除振台６１は、主として、ベース６１１と、枠６１２と、移動部材６１３とを有する。
【0028】
枠６１２は、ベース６１１に設けられており、孔６１２ａを有する。孔６１２ａには、移動部材６１３が上下方向に移動可能に設けられている。移動部材６１３は、主として、棒状部材６１３ａと、位置決め部材６１３ｂ、６１３ｅと、板状部６１３ｄとを有する。位置決め部材６１３ｂ、６１３ｅは、例えばナットであり、棒状部材６１３ａに設けられている。位置決め部材６１３ｂは、下側に円錐部６１３ｃを有する。板状部６１３ｄは、位置決め部材６１３ｅの上側に設けられている。
【0029】
除振台６１、ここでは移動部材６１３の上側には、検査部５０が設けられている。これにより、検査部５０が除振台６１を介して定盤６２に載置される。移動部材６１３が上下方向に移動することで、除振台６１が検査部５０を鉛直方向に移動させることができる。
【0030】
検査部５０に保持部材４を挿入及び排出する場合には、図３（Ｂ）に示すように、円錐部６１３ｃが枠６１２に当接（着座）しており、除振台６１により検査部５０が下げられている。円錐部６１３ｃが枠６１２に着座することで、高さ方向（ｚ方向）及び水平方向（ｘｙ方向）の位置決めの再現性が高くなり、搬送装置３によるマスクＭの搬入、搬出を不具合なく行うことができる。
【0031】
それに対し、検査部５０においてマスクＭを検査する間は、図３（Ａ）に示すように、円錐部６１３ｃが枠６１２から浮上させる。これにより、検査部５０を定盤６２から浮かせて検査部５０が振動しないようにする。板状部６１３ｄは枠６１２の内側に設けられており、板状部６１３ｄが枠６１２に当接することで移動部材６１３が孔６１２ａから抜けないようにしている。
【0032】
なお、除振台６１の形態はこれに限られない。例えば、除振台６１をアクティブ除振台としてもよい。
【0033】
検査部５０は、主として、第１ステージ５１と、保持部５２と、第２ステージ５３と、ベルト５４、５６と、レール５５、５７とを有する。
【0034】
第２ステージ５３は、アクチュエータ５９ａ（図１４参照）がベルト５６を駆動することにより、レール５７に沿ってｘ方向に移動可能に設けられている。第１ステージ５１は、第２ステージ５３に設けられており、アクチュエータ５９ｂ（図１４参照）がベルト５４を駆動することにより、レール５５に沿ってｙ方向に移動可能に設けられている。したがって、第１ステージ５１は、ｘ方向及びｙ方向に移動可能である。
【0035】
保持部５２は、第１ステージ５１の上側（＋ｚ側）に設けられている。保持部５２は、第１ステージ５１に固定されており、保持部材４を検査部５０の内部に保持する。保持部５２については、後に詳述する。
【0036】
次に、載置装置２について説明する。図４は、検査装置１を正面から見たときの部分拡大図である。載置装置２は、正面部１１よりも手前（－ｙ側）に設けられている。保持部材４は、搬送装置３のローラ３２に載置される。
【0037】
載置装置２は、図示しない駆動部によりｚ方向に移動可能である。載置装置２は、主として、基台２１と、複数の柱状部２２と、第１移動部２３と、第２移動部２４とを有する。図４では、載置装置２が下端に位置する状態を実線で示し、上端に位置する状態を二点鎖線で示している。
【0038】
基台２１は、板状であり、保持部材４の鉛直方向下側に設けられている。基台２１は、第１移動部２３により、上下方向に移動可能に設けられている。第１移動部２３は、レール２３ａと、移動部材２３ｂと、アクチュエータ２３ｃ（図１４参照）とを有する。移動部材２３ｂは、基台２１に設けられているとともに、レール２３ａに沿って移動可能である。したがって、アクチュエータ２３ｃが移動部材２３ｂをレール２３ａに沿ってｚ方向に移動させることで、第１移動部２３が基台２１をｚ方向に移動させる。
【0039】
柱状部２２は、柱状の部材であり、第２移動部２４を介して基台２１に設けられている。第２移動部２４は、基台２１に設けられている。柱状部２２は、基台２１から鉛直方向上向きに突出している。柱状部２２の先端には、マスクＭを載置する載置部２５（後に詳述）が設けられている。
【0040】
基台２１がｚ方向に移動することで、柱状部２２及び第２移動部２４もｚ方向に移動する。基台２１、柱状部２２及び第２移動部２４が下端に位置するときには、載置部２５が保持部材４よりも下側に位置する（図４の実線参照）。また、基台２１、柱状部２２及び第２移動部２４が上端に位置するときには、載置部２５が保持部材４よりも上側に位置する（図４の二点鎖線参照）。
【0041】
図５は、検査装置１を斜め手前から見たときの部分斜視図である。図５では、載置装置２が下端に位置する状態を実線で示し、上端に位置する状態を二点鎖線で示している。柱状部２２は、４本の柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを有する。基台２１、柱状部２２及び第２移動部２４が下端から上方に移動すると、柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄが本体部４１の孔４３に挿入される。
【0042】
第２移動部２４は、４つの第２移動部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄを有する。第２移動部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄには、それぞれ、柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄが設けられている。すなわち、柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、第２移動部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄを介して基台２１に設けられている。
【0043】
第２移動部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄは、それぞれ、レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄと、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄと、ベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄと、プーリ２４４ａ、２４４ｂ、２４４ｃ、２４４ｄとを有する。
【0044】
レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄは、基台２１に設けられている。基台２１は矩形形状であり、レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１はそれぞれ基台２１の対角線に沿って設けられている。
【0045】
移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄは、それぞれ、レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄに設けられており、レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄに沿って移動可能である。
【0046】
柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、それぞれ、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄに設けられている。したがって、柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄに沿って移動可能である。
【0047】
移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄには、それぞれ、ベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄが設けられている。ベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄは、それぞれ、プーリ２４４ａ、２４４ｂ、２４４ｃ、２４４ｄに巻きかけられており、基台２１に設けられた孔２１ａを通って基台２１の下方に延びている。すなわち、ベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄは、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄを、レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄに沿って基台２１の対角線内側に向けて引っ張る。
【0048】
基台２１の下側には、駆動部が設けられている。駆動部は、図示しないベルト巻回部と、アクチュエータ２４ｅ（図１４参照）とを有する。アクチュエータ２４ｅには、ベルト巻回部を介してベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄが連結されている。アクチュエータ２４ｅは、ベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄを同時に同じ量だけ駆動させる。
【0049】
移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄには、それぞれ、図示しない弾性部材が設けられている。この弾性部材は、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄを、レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄに沿って基台２１の対角線外側に向けて引っ張る。
【0050】
これにより、ベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄ及び弾性部材を介して移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄがレール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄに沿って移動する。具体的には、弾性部材の付勢力に抗してベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄが移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄを引っ張ることで、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄ及び柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄが内側に移動する。また、駆動部によりベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄが緩められると、弾性部材の付勢力により移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄ及び柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄが外側に移動する。
【0051】
このとき、駆動部がベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄを同時に同じ量だけ駆動するため、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄ及び柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは同時に同じ量だけ移動する。
【0052】
図６は、載置装置２の柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ及び保持部材４の平面図である。保持部材４は、アルミニウムで形成されており、表面に酸化被膜が形成されている。保持部材４は、本体部４１と、本体部に設けられた把持部４２とを有する。本体部４１の＋ｚ側の面は載置平面４１ａである。本体部４１は、ｚ方向に貫通する孔４３を有する。孔４３は、矩形形状の孔４３ｅと、孔４３ｅの４隅にそれぞれ設けられた孔４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄとを有する。孔４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ及び孔４３ｅが一体化して、孔４３が形成される。
【0053】
載置装置２を上下動させるときには、＋ｚ方向から見たときに基台２１の対角線と本体部４１の対角線とが略一致するように基台２１及び本体部４１が配置される。柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、それぞれ孔４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄに挿入される。また、柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、それぞれ孔４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄの内部で、基台２１及び本体部４１の対角線に沿って移動する（図６の矢印参照）。
【0054】
本体部４１の裏面には、１又は複数の凹部４１ｉからなるマーキング４１ｊが設けられている。本実施の形態では、マーキング４１ｊは、２つの凹部４１ｉを含む。基台２１には近接センサ２６（図１４参照）が設けられており、近接センサ２６が保持部材４を検出すると共に、本体部４１に設けられたマーキング４１ｊを読み取る。本実施の形態では、３つの近接センサ２６が設けられており、近接センサ２６がそれぞれ凹部４２ｉの有無を検出する。図６に示す形態では、３つの近接センサ２６のうちの両側の２つの近接センサ２６が凹部４２ｉを検出し、中央の近接センサ２６が凹部４２ｉが無いことを検出する。
【0055】
マーキング４１ｊは、マスクＭの種類（形状及び大きさ）によって異なる。例えば、図６に示すように、両側に凹部４２ｉが設けられており、これらの間に凹部４２ｉが設けられていない形態では、６×６インチのマスクであることを示す。また、例えば、凹部４２ｉが３つ設けられている形態では、９×９インチのマスクであることを示す。なお、マーキング４１ｊの形態はこれに限られず、近接センサ２６の数もこれに限られない。近接センサ２６は少なくとも１つ設けられていればよい。
【0056】
柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの先端には、それぞれ、マスクＭが載置される載置部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられている。柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを移動させることで、様々な大きさのマスクＭを載置部２５に載置することができる。
【0057】
図７は、載置装置２の柱状部２２ｃ及び柱状部２２ｃの先端に設けられた載置部２５ｃの概略を示す図であり、（Ａ）は斜視図であり、（Ｂ）は平面図であり、（Ｃ）は（Ｂ）のＤ－Ｄ断面図である。なお、柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ及び載置部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄの構造は同一であるため、柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｄ及び載置部２５ａ、２５ｂ、２５ｄの説明は省略する。
【0058】
柱状部２２ｃは、柱状（棒状）であり、鉛直方向上側（＋ｚ方向）から見たときに（平面視において）、対角線ｄを軸として線対称であり、隣接する２つの面２２１、２２２のなす角度が直角である。ただし、柱状部２２ｃの形状はこれに限られない。
【0059】
柱状部２２ｃは、変形しにくい材料、例えば鉄で形成されている。載置部２５ｃは、マスクＭが載置され、又位置決めの時にマスクＭを滑らすため、マスクＭを傷つけ難い材料、すなわちピーク材等の樹脂材で形成されている。
【0060】
載置部２５ｃは、高さが異なる２つの面２５１、２５２を有する。面２５１は、柱状部２２ｃの先端面であり、本実施の形態では平面である。面２５２は、面２５１から下方（－ｚ方向）に段落ちした面である。マスクＭが載置されるのは面２５２である。
【0061】
面２５１、２５２は対角線ｄを軸として線対称であり、隣接する２つの辺２５１ａ、２５１ｂのなす角度及び隣接する２つの辺２５２ａ、２５２ｂのなす角度が直角である。面２５１は、面２５２の外側に設けられている。ここで、外側とは、基台２１の周縁に近い側である。すなわち、面２５１は基台２１の周縁側に、面２５２は基台２１の中心側に設けられている。これにより、矩形形状のマスクＭを面２５２に載置することができる。ただし、＋ｚ方向から見たときの面２５１、２５２の形状はこれに限られない。
【0062】
面２５２は、内側に向けて（面２５１から遠ざかるにつれて）高さが低くなるように、水平方向に対して角度θ１だけ傾いている。つまり、面２５２は、中央（対角線ｄ上）で２つの面が合わさった複合面である。角度θ１は、１°～５°が好ましく、本実施の形態では３°である。したがって、面２５２に載置されたマスクＭと、面２５２との接触面積が最小限になり、マスクＭの機能面である膜面が汚染され難くなる。
【0063】
また、面２５１と面２５２を連結する面２５３、２５４は、高くなるにつれて外側に傾斜するように、鉛直方向に対して角度θ２だけ傾いている。角度θ２は、１°～５°が好ましく、本実施の形態では３°である。したがって、面２５２に載置されたマスクＭが面２５３、２５４に当接したときのマスクＭと面２５３、２５４との接触面積が最小限になり、マスクＭが汚染され難くなる。
【0064】
面２５１には、内側の角に円弧形状の凹部２５５が設けられている。また、面２５１には、内側の両端に円弧形状の切り欠き２５６、２５７が設けられている。切り欠き２５６、２５７は、＋ｚ方向から見たときに、複数の柱状部２２（載置部２５ｃ）の外側の角２５８を連結する円の中心点Ｏ（図６参照）を中心とする任意の半径Ｒａの曲線と重なる。例えば、半径Ｒａは、７．２５インチ（１８．４１５ｃｍ）の半分以上であり、例えば９．２５ｃｍである。これにより、直径７．２５インチの円形状のマスクＭを面２５２に載置することができる。
【0065】
次に、図８を用いて搬送装置３について説明する。図８は、検査装置１の概略を示す平面図であり、要部を拡大表示した図である。搬送装置３は、主として、保持部材４と、ピニオン３１と、ローラ３２と、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄを有する。
【0066】
搬送装置３は、マスクＭが載置された保持部材４を、枠１０の開口部１１ａを介して、枠１０の外部の第１位置Ｉ（点線参照）から枠１０の内部の第２位置ＩＩ（実線参照）へと搬送し、かつ、第２位置ＩＩから第１位置Ｉへと搬送する。第１位置Ｉは、搬送装置３の手前側の端（－ｙ方向の端）近傍の任意の位置である。また、第２位置ＩＩは、保持部５２が設けられた位置であり、保持部材４が第２位置ＩＩに位置するときには、保持部材４の先端面４１ｂ（図６参照）が保持部５２の当接面５２ｃに当接する。
【0067】
レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄは、水平方向に沿って設けられている。レール３３ａ、３３ｃは直線Ｌ１上に設けられており、レール３３ｂ、３３ｄは直線Ｌ２上に設けられている。直線Ｌ１、Ｌ２は保持部材４の搬送方向（ｙ方向）に沿っており、直線Ｌ１と直線Ｌ２とは平行かつ高さ（ｚ方向の位置）が等しい。レール３３ａ、３３ｂは枠１０の外部に設けられており、レール３３ｃ、３３ｄは枠１０の内部に設けられている。
【0068】
ピニオン３１は、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄのそれぞれに設けられている。なお、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄに設けられるピニオン３１の数は図示した形態に限られない。本実施の形態では、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄのそれぞれにピニオン３１が複数設けられているが、レール３３ｃ、３３ｄについてはピニオン３１が少なくとも１つ設けられていればよい。レール３３ａ、３３ｂについては複数のピニオン３１が設けられていればよい。
【0069】
ピニオン３１は、主として、ｚ方向に沿って設けられた回転軸３１ａと、回転軸３１ａを中心に回転可能なピニオン本体３１ｂとを有する。ピニオン本体３１ｂは、例えば、モジュールが１のピニオンギアである。
【0070】
ローラ３２は、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄのそれぞれに複数設けられている。ローラ３２は、主として、直線Ｌ１、Ｌ２と略直交する回転軸３２ａと、回転軸３２ａを中心に回転可能な筒状のローラ本体３２ｂとを有する。回転軸３２ａとローラ本体３２ｂとの間には、ベアリングが設けられている。保持部材４は、複数のローラ３２に載置されている。なお、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄに設けられるローラ３２の数は図示した形態に限られない。
【0071】
図６の説明に戻る。保持部材４の本体部４１は、載置平面４１ａに隣接する２つの側面４１ｃ、４１ｄを有する。側面４１ｃ、４１ｄは、搬送方向と略平行である。
【0072】
把持部４２は、保持部材４が第１位置Ｉに位置するときに、本体部４１を挟んで枠１０と反対側（－ｙ側）、すなわち本体部４１の先端面４１ｂとは反対側の端に設けられている。把持部４２は、ｘ方向に沿って設けられた棒状の把持棒４２ｃと、把持棒４２ｃの両端と本体部４１とをそれぞれ連結する板状の連結部４２ａ、４２ｂと、を有する。把持棒４２ｃは、例えば角棒である。連結部４２ａ、４２ｂは、保持部材４の搬送方向（ｙ方向）と略平行な２つの側面４２ｄ、４２ｅを有する。
【0073】
図９は、保持部材４の概略を示す図であり、（Ａ）は図６のＡ－Ａ断面図であり、（Ｂ）は図６のＢ矢視であり、（Ｃ）は図６のＣ矢視である。側面４１ｃ、４１ｄは、それぞれ、垂直面４１ｅ、４１ｇと、傾斜面４１ｆ、４１ｈとを有する。垂直面４１ｅ、４１ｇは、載置平面４１ａに対して垂直な面である。傾斜面４１ｆ、４１ｈは、載置平面４１ａに向かうにつれて保持部材４の幅が狭くなるように鉛直方向に対して傾いている。側面４２ｄは垂直面４１ｅと同一面上に位置し、側面４２ｅは垂直面４１ｇと同一面上に位置する。側面４２ｄ、４２ｅの高さは、垂直面４１ｅ、４１ｇの高さの２～３倍程度である。
【0074】
ラック４４は、保持部材４の搬送方向（ｙ方向）と略平行な２つの側面（側面４１ｃ、４１ｄ及び側面４２ｄ、４２ｅ）に設けられている。ラック４４は、側面４１ｃ、４１ｄ（ここでは垂直面４１ｅ、４１ｇ）に設けられたラック４４ｃ、４４ｄと、側面４２ｄ、４２ｅに設けられたラック４４ａ、４４ｂとを有する。ラック４４ａ、４４ｃは同一面上に位置し、ラック４４ｂ、４４ｄは同一面上に位置する。ラック４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄは、モジュールが１であり、ピニオン３１に噛み合い可能である。ラック４４ａ、４４ｂは側面４２ｄ、４２ｅ全体に形成されており、ラック４４ｃ、４４ｄは垂直面４１ｅ、４１ｇ全体に設けられている。側面４２ｄ、４２ｅ（連結部４２ａ、４２ｂ）の高さは垂直面４１ｅ、４１ｇの高さより高いため、ラック４４ａ、４４ｂの高さはラック４４ｃ、４４ｄの高さより高い。
【0075】
図８の説明に戻る。保持部材４が第１位置Ｉに位置するときには、レール３３ａ、３３ｂに設けられたピニオン３１がそれぞれラック４４ｃ、４４ｄに噛み合っている。保持部材４が第１位置Ｉから第２位置ＩＩに向けて＋ｙ方向に移動して先端面４１ｂが開口部１１ａに差し掛かると、ラック４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄにピニオン３１が噛み合う。さらに保持部材４が＋ｙ方向に移動すると、レール３３ｃ、３３ｄに設けられたピニオン３１と、レール３３ａ、３３ｂに設けられたピニオン３１がラック４４ｃ、４４ｄに噛み合い、レール３３ａ、３３ｂに設けられたピニオン３１がラック４４ａ、４４ｂに噛み合う。このように、ラック４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄにピニオン３１が噛み合うことで、保持部材４のｘ方向の位置決めがされたまま、保持部材４がｙ方向に搬送される。
【0076】
その後、さらに保持部材４が＋ｙ方向に移動して、保持部材４の先端（先端面４１ｂ近傍）が保持部５２に挿入されると、保持部材４の本体部４１の側面４１ｃが検査部５０の保持部５２のレール５２ａに挿入され、保持部材４の本体部４１の側面４１ｄが保持部５２のレール５２ｂに挿入される。
【0077】
図１０は、側面４１ｃがレール５２ａに挿入される様子を模式的に示す図である。レール５２ａは傾斜面５２ｄを有し、傾斜面５２ｄと傾斜面４１ｆが当接することで、傾斜面４１ｆ、すなわち本体部４１がｘ方向及びｚ方向に位置決めされる。
【0078】
図８の説明に戻る。保持部材４の先端面４１ｂ近傍が保持部５２に挿入された状態では、レール３３ａ、３３ｂに設けられたピニオン３１がラック４４ａ、４４ｂに噛み合い、レール３３ｃ、３３ｄに設けられたピニオン３１がラック４４ｃ、４４ｄに噛み合う。この状態までは、ピニオン３１がラック４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄに噛み合っているため、ピニオン３１からラック４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄへの力の伝達が容易である。また、ラック４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄにピニオン３１が噛み合うこと及び本体部の周縁（側面４１ｃ、４１ｄ）が保持部５２（レール５２ａ、５２ｂ）に挿入されることで保持部材４がｘ方向に位置決めされるため、搬送時に保持部材４がｘ方向に移動したり、ｘｙ平面に沿って回転したりしない。
【0079】
その後、保持部材４の先端面４１ｂが当接面５２ｃの近傍（第２位置ＩＩの近傍）に位置するまで保持部材４が＋ｙ方向に移動すると、側面４１ｃ、４１ｄの大部分がレール５２ａ、５２ｂに挿入され、ラック４４ａ、４４ｂにレール３３ｃ、３３ｄに設けられたピニオン３１のうちの１つが噛み合っており、搬送時と同様に保持部材４がｘ方向に位置決めされている。ラック４４ｃ、４４ｄの歯幅はピニオン３１の歯幅より小さいが、ラック４４ａ、４４ｂの歯幅はピニオン３１の歯幅より大きいため、ピニオン３１からラック４４ａ、４４ｂへ力が伝わりやすく、保持部材４をｙ方向に移動させることができる。
【0080】
次に、搬送装置３のピニオン３１の駆動について説明する。図１１は、ピニオン３１を駆動する駆動部３５を模式的に示す図である。図１１は、レール３３ａ、３３ｃに設けられた駆動部３５を図示しているが、レール３３ｂ、３３ｄにも、レール３３ａ、３３ｃと同様に駆動部３５が設けられている（説明を省略）。
【0081】
駆動部３５は、プーリ３５ａと、ベルト３５ｂと、アクチュエータ３５ｃとを有する。プーリ３５ａは、回転軸３１ａ及びアクチュエータ３５ｃの回転軸に設けられている。プーリ３５ａには、ベルト３５ｂが巻きかけられている。アクチュエータ３５ｃを駆動させると、ベルト３５ｂを介して、プーリ３５ａ、すなわち回転軸３１ａ及びピニオン本体３１ｂが回転する。
【0082】
レール３３ａ、３３ｃに設けられたピニオン３１に１つの駆動部３５を設けることで、レール３３ａ、３３ｃに設けられたすべてのピニオン本体３１ｂを同時に同じ量だけ回転させることができる。また、レール３３ｂ、３３ｄに設けられたピニオン３１に１つの駆動部３５を設けることで、レール３３ｂ、３３ｄに設けられたすべてのピニオン本体３１ｂを同時に同じ量だけ回転させることができる。
【0083】
また、アクチュエータ３５ｃは正逆回転可能であるため、ピニオン本体３１ｂを正逆回転させることができ、これにより保持部材４を＋ｙ方向及び－ｙ方向に移動させることができる。
【0084】
図１２は、保持部材４の本体部４１の先端面４１ｂが検査部５０の保持部５２の当接面５２ｃの近傍に位置した状態を模式的に示す図である。検査部５０は、空気吸引部５８を有する。空気吸引部５８は、当接面５２ｃに設けられたコネクタ５８ａと、コネクタ５８ａに接合された吸引ホース５８ｂとを有する。吸引ホース５８ｂは、図示しない吸引ポンプに接続されている。
【0085】
本体部４１には、空気孔４５が設けられている。空気孔４５は、一端が先端面４１ｂに開口し、他端が載置平面４１ａに開口する。空気孔４５の載置平面４１ａに開口する開口部４５ａは、鉛直方向上側（＋ｚ方向）から見たときにマスクＭと重なる。
【0086】
図１３は、コネクタ５８ａの概略を示す図である。コネクタ５８ａは、主として、接合部５８ｃと、筒状部５８ｄ、５８ｅと、弾性部材５８ｆとを有する。筒状部５８ｅの外周面にねじ部５８ｇが形成されており、ねじ部５８ｇが保持部５２に設けられた図示しないねじ孔に螺合することで、コネクタ５８ａが当接面５２ｃに設けられる。また、筒状部５８ｅにはねじ穴５８ｈが設けられており、ねじ穴５８ｈを介して筒状部５８ｅに吸引ホース５８ｂが設けられる。
【0087】
接合部５８ｃは、筒状部５８ｄに設けられており、開口部４５ｂ（図１２参照）に接合可能である。筒状部５８ｄと筒状部５８ｅとの間には弾性部材５８ｆが設けられている。そのため、筒状部５８ｄ及び接合部５８ｃが、中心軸ａｘに沿って移動可能である。
【0088】
図１２の説明に戻る。コネクタ５８ａは、中心軸ａｘがｙ方向に沿うように当接面５２ｃに設けられている。したがって、先端面４１ｂが当接面５２ｃの数ｍｍ手前（－ｙ側）に位置するとき、すなわち、先端面４１ｂが当接面５２ｃに当接していない状態において、開口部４５ｂに接合部５８ｃ（図１３参照）が接合する。その結果、空気吸引部５８及び空気孔４５を介して、マスクＭが載置平面４１ａに向けて吸引される。
【0089】
その後、先端面４１ｂが当接面５２ｃに当接するまでピニオン３１を介して保持部材４が搬送される。接合部５８ｃがｙ方向（搬送方向）に沿って移動可能であるため、空気孔４５の先端面４１ｂに開口する開口部に接合部５８ｃが接合したまま保持部材４が＋ｙ方向に搬送される。先端面４１ｂが当接面５２ｃに当接するときには、マスクＭが載置平面４１ａに向けて吸引されているため、先端面４１ｂが当接面５２ｃに当接するときの衝撃でマスクＭがずれないように、マスクＭが載置平面４１ａに保持されている。
【0090】
図１４は、検査装置１の電気的な構成を示すブロック図である。検査装置１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１５１と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１５２と、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）１５３と、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）１５４と、通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）１５５と、メディアインターフェース（Ｉ／Ｆ）１５６と、を有し、これらはアクチュエータ１４、２３ｃ、２４ｅ、３５ｃ、５９ａ、５９ｂ、近接センサ２６等と互いに接続されている。
【0091】
ＣＰＵ１５１は、ＲＡＭ１５２、ＲＯＭ１５３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＣＰＵ１５１には、近接センサ２６等から信号が入力される。ＣＰＵ１５１から出力された信号は、アクチュエータ１４、２３ｃ、２４ｅ、３５ｃ、５９ａ、５９ｂ等に出力される。
【0092】
ＲＡＭ１５２は、揮発性メモリである。ＲＯＭ１５３は、各種制御プログラム等が記憶されている不揮発性メモリである。ＣＰＵ１５１は、ＲＡＭ１５２、ＲＯＭ１５３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。また、ＲＯＭ１５３は、検査装置１の起動時にＣＰＵ１５１が行うブートプログラムや、検査装置１のハードウェアに依存するプログラムなどを格納する。また、ＲＡＭ１５２は、ＣＰＵ１５１が実行するプログラム及びＣＰＵ１５１が使用するデータなどを格納する。
【0093】
ＣＰＵ１５１は、入出力インターフェース１５４を介して、タッチパネル、キーボード、マウス等の入出力装置１４１を制御する。通信インターフェース１５５は、ネットワーク１４２を介して他の機器からデータを受信してＣＰＵ１５１に送信すると共に、ＣＰＵ１５１が生成したデータを、ネットワーク１４２を介して他の機器に送信する。
【0094】
メディアインターフェース１５６は、記憶媒体１４３に格納されたプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１５２に格納する。なお、記憶媒体１４３は、例えば、ＩＣカード、ＳＤカード等である。
【0095】
なお、各機能を実現するプログラムは、例えば、記憶媒体１４３から読み出されて、ＲＡＭ１５２を介して検査装置１にインストールされ、ＣＰＵ１５１によって実行される。
【0096】
ＣＰＵ１５１は、入力信号に基づいて検査装置１の各部を制御する制御部１５１ａの機能を有する。制御部１５１ａは、ＣＰＵ１５１が読み込んだ所定のプログラムを実行することにより構築される。制御部１５１ａが行う処理については、後に詳述する。
【0097】
図１４に示す検査装置１の構成は、本実施形態の特徴を説明するにあたって主要構成を説明したのであって、例えば一般的な情報処理装置が備える構成を排除するものではない。検査装置１の構成要素は、処理内容に応じてさらに多くの構成要素に分類されてもよいし、１つの構成要素が複数の構成要素の処理を実行してもよい。
【0098】
このように構成された検査装置１の作用について説明する。以下の処理は、主として制御部１５１ａによって行われる。まず、作業者が保持部材４の把持部４２の把持棒４２ｃを把持して保持部材４を持ち上げ、搬送装置３のローラ３２に保持部材４を載置する。３つの近接センサ２６がマーキング４１ｊを読み取り、その結果に基づいて制御部１５１ａが搬送装置３のアクチュエータ３５ｃ、載置装置２のアクチュエータ２４ｅを制御する。具体的には、制御部１５１ａが搬送装置３のアクチュエータ３５ｃを制御して保持部材４をｙ方向に移動させ、基台２１の中心と本体部４１の中心とを一致させる。また、制御部１５１ａが載置装置２のアクチュエータ２４ｅを制御して載置装置２の柱状部２２を移動させて、保持部材４に載置されるマスクＭの大きさに合わせた位置に柱状部２２を配置する。
【0099】
次に、制御部１５１ａは、載置装置２のアクチュエータ２３ｃを制御して載置装置２の基台２１を＋ｚ方向に移動させて、載置装置２の柱状部２２の先端に設けられた載置部２５を保持部材４の本体部４１の載置平面４１ａから＋ｚ方向に突出させる。これにより、載置部２５にマスクＭが載置可能となる。
【0100】
作業者は、図示しないマスク把持装置を用いて、マスクＭを載置部２５に載置する。入出力装置１４１を介して指示が入力されたら、制御部１５１ａは、載置装置２のアクチュエータ２４ｅを制御して載置装置２の柱状部２２を内側に１ｍｍ程度移動させて、載置装置２の載置部２５でマスクＭを挟持する。載置部２５の面２５２が水平方向に対して角度θ１だけ傾いているため、柱状部２２を内側に移動させるときにマスクＭの角のみが載置部２５と擦れ、マスクＭの汚染が最低限に留まる。ただし、当該処理は必須ではない。
【0101】
次に、制御部１５１ａは、載置装置２のアクチュエータ２３ｃを制御して載置装置２の基台２１を－ｚ方向に移動させて、載置装置２の載置部２５に載置されたマスクＭを載置平面４１ａに載置する。載置部２５によりマスクＭが挟持されているため、基台２１の移動によりマスクＭが移動しない。基台２１の位置が所定の位置、すなわちマスクＭが載置平面４１ａに載置される位置にきたら、制御部１５１ａが載置装置２のアクチュエータ２４ｅを制御して載置装置２の柱状部２２を外側に移動させて、載置部２５によるマスクＭの挟持を解除する。これにより、載置装置２により保持部材４にマスクＭが載置される。
【0102】
基台２１が－ｚ端に移動されたら、制御部１５１ａは、搬送装置３のアクチュエータ３５ｃを制御して搬送装置３のピニオン３１を駆動し、保持部材４を＋ｙ方向に搬送する。このとき、保持部材４の載置平面４１ａに載置されたマスクＭが載置平面４１ａ上でずれないように、加速度が０．１ｇ以下になるようにアクチュエータ３５ｃを制御する。
【0103】
アクチュエータ３５ｃの運転電流値が最大電流値に達した（過負荷）、すなわち、保持部材４の本体部４１の先端面４１ｂが保持部５２の当接面５２ｃに当接したら、制御部１５１ａはアクチュエータ３５ｃを停止させる。これにより、搬送装置３により保持部材４が検査装置１の内部に搬送される。
【0104】
本実施の形態によれば、上下方向に移動可能に設けられた基台２１に鉛直方向上向きに突出するように柱状部２２が設けられており、柱状部２２の先端に載置部２５が設けられており、基台２１が下端から上方に移動されると、柱状部２２が保持部材４の孔４３に挿入され、基台２１が上端に位置するときには、載置部２５が保持部材４の載置平面４１ａよりも上側に位置するため、作業者はマスクＭを載置部２５に載置すればよく、マスクＭを直接載置平面４１ａに載置する必要はない。したがって、板状のマスクＭを載置する際にマスクＭや載置平面４１ａが傷つき難い。
【0105】
例えば、マスクＭを手作業で載置平面４１ａに載置する場合には、マスクＭの姿勢を水平に維持するのは困難であり、マスクＭを載置平面４１ａにぶつける等によりマスクＭの一部が欠けたり載置平面４１ａの一部が変形したりして、塵埃が発生するおそれがある。それに対し、本実施の形態によれば、マスクＭを直接載置平面４１ａに載置せず、載置装置２が載置部２５に水平方向に沿って載置されたマスクＭを、姿勢を保ったまま載置平面４１ａに載置するため、板状のマスクＭを載置する際にマスクＭや載置平面４１ａを傷つけたり、塵埃を発生させたりしないようにすることができる。
【0106】
また、本実施の形態によれば、柱状部２２ａ～２２ｄを第２移動部２４ａ～２４ｄを介して基台２１に設け、基台２１に設けられたレール２４１ａ～２４１ｄに沿って柱状部２２ａ～２２ｄを移動可能にしたため、１つの載置装置２で様々な大きさのマスクＭに対応することができる。
【0107】
また、本実施の形態によれば、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄに設けられたベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄを同時に同じ量だけ駆動させるため、柱状部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを同時に同じ量だけ移動させることができる。
【0108】
また、本実施の形態によれば、マスクＭが載置される面２５２が内側に向けて高さが低くなるように水平方向に対して角度θ１（１°～５°）傾いているため、面２５２に載置されたマスクＭと面２５２の接触面積が最小限になり、マスクＭの膜面が汚染され難い。さらに、面２５１と面２５２を連結する面２５３、２５４が、高くなるにつれて外側に傾斜するように、鉛直方向に対して角度θ２（１°～５°）傾いているため、面２５２に載置されたマスクＭが面２５３、２５４に当接したときのマスクＭと面２５３、２５４との接触面積が最小限になり、マスクＭが汚染され難い。
【0109】
また、本実施の形態によれば、面２５１に設けられた切り欠き２５６、２５７は、＋ｚ方向から見たときに、複数の柱状部２２（載置部２５ｃ）の外側の角２５８を連結する円の中心点Ｏを中心とする任意の半径Ｒａの曲線と重なるため、矩形形状のマスクＭのみならず、直径がＲａ×２の円形状のマスクＭをも載置部２５に載置することができる。
【0110】
また、本実施の形態によれば、基台２１に近接センサ２６が設けられており、近接センサ２６が保持部材４を検出すると共に、保持部材４の裏面に設けられたマーキング４１ｊを読み取るため、アクチュエータ３５ｃを制御して保持部材４をｙ方向に移動させ、基台２１の中心と本体部４１の中心とを一致させることができ、また、アクチュエータ２４ｅを制御して柱状部２２を移動させて、保持部材４に載置されるマスクＭの大きさに合わせた位置に柱状部２２を配置することができる。
【0111】
また、本実施の形態によれば、搬送方向（ｙ方向）に沿った直線Ｌ１、Ｌ２上に設けられたレール３３ａ、３３ｃ及びレール３３ｂ、３３ｄのそれぞれにピニオン３１及びローラ３２を設け、ローラ３２に保持部材４が載置され、ラック４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄにピニオン３１が噛み合うため、保持部材４をｘ方向に位置決めした状態で、直線Ｌ１、Ｌ２に沿って保持部材４を搬送することができる。また、保持部材４の搬送時に、保持部材４がｘ方向に移動したり、ｘｙ平面に沿って保持部材４が回転したりしないため、保持部材４が検査装置１内で保持部５２等にぶつからず、その結果、塵埃の発生を防止することができる。
【0112】
また、本実施の形態によれば、保持部材４が枠１０の内部の第２位置ＩＩ及びその近傍に位置するときに、レール３３ｃ、３３ｄに設けられたピニオン３１のうちの少なくとも１つがラック４４ａ、４４ｂに噛み合うため、ピニオン３１から保持部材４へ力を伝達することができる。したがって、保持部材４を確実に第２位置ＩＩに移動させることができる。
【0113】
また、本実施の形態によれば、側面４１ｃ、４１ｄがそれぞれ垂直面４１ｅ、４１ｇと、傾斜面４１ｆ、４１ｈとを有し、傾斜面４１ｆ、４１ｈは保持部５２の傾斜面５２ｄと当接し、垂直面４１ｅ、４１ｇにラック４４ｃ、４４ｄが設けられるため、本体部４１をｘ方向及びｚ方向に位置決めしつつ、保持部材４をy方向に搬送することができる。
【0114】
また、本実施の形態によれば、把持部４２が垂直面４１ｅ、４１ｇと同一面上に位置する側面４２ｄ、４２ｅを有し、側面４２ｄ、４２ｅ全体にラック４４ａ、４４ｂが形成されるため、保持部材４を＋ｙ方向に向けて第２位置ＩＩに押し込むときにピニオン３１からラック４４ａ、４４ｂへ力が伝わりやすい。
【0115】
また、本実施の形態によれば、保持部材４の先端面４１ｂが当接する当接面５２ｃには、空気吸引部５８のコネクタ５８ａが設けられており、コネクタ５８ａはｙ方向に移動可能な接合部５８ｃを有するため、先端面４１ｂが当接面５２ｃに当接していない状態で、開口部４５ｂに接合部５８ｃが接合し、マスクＭが載置平面４１ａに向けて吸引される。これにより、先端面４１ｂが当接面５２ｃに当接するときの衝撃でマスクＭがずれないようにすることができる。
【0116】
また、本実施の形態によれば、ピニオン３１の回転軸３１ａにプーリ３５ａが設けられており、レール３３ａ、３３ｃに設けられたプーリ３５ａに１本のベルト３５ｂを巻きかけ、レール３３ｂ、３３ｄに設けられたプーリ３５ａに１本のベルト３５ｂを巻きかけることで、レール３３ａ、３３ｃに設けられたすべてのピニオン本体３１ｂを同時に同じ量だけ回転させることができ、かつ、レール３３ｂ、３３ｄに設けられたすべてのピニオン本体３１ｂを同時に同じ量だけ回転させることができる。
【0117】
なお、本実施の形態では、アクチュエータ２４ｆを用いて基台２１を移動させ、アクチュエータ２４ｅを用いて柱状部２２を移動させたが、アクチュエータ２４ｅ、２４ｆは必須ではなく、作業者が手動で基台２１や柱状部２２を移動させてもよい。ただし、手動で柱状部２２を移動させる場合であっても、４本の柱状部２２が同時に移動できるような機構を有することが望ましい。
【0118】
また、本実施の形態では、弾性部材の付勢力に抗してベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄが移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄを引っ張ることで、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄを移動させたが、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄを移動させる機構はこれに限られない。例えば、レール２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄの両端近傍にプーリを設け、この２つのプーリにベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄを巻きかけてもよい。その結果、ベルト２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄを２方向に移動させることで、移動部材２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄを内側及び外側の２方向に移動させることができる。
【0119】
また、本実施の形態では、アクチュエータ３５ｃを用いて保持部材４を搬送したが、アクチュエータ３５ｃは必須ではなく、作業者が手動で保持部材４を移動させてもよい。この場合には、ピニオン３１は自由に回転できるようにしておき、保持部材４の移動に応じてピニオン３１を回転させることで、保持部材４のｘ方向の位置決めを行い、移動中に保持部材４が回転しないようにすることができる。
【0120】
また、本実施の形態では、保持部材４をアルミニウムで形成し、表面に酸化被膜が形成したが、保持部材４の構成はこれに限られない。図１５は、変形例にかかる保持部材の本体部４１Ａの概略を示す断面図である。本体部４１Ａは、アルミニウムで形成された中央部４１ｍと、ステンレス又はセラミックスで形成された外側部４１ｎとを有する。中央部４１ｍは、載置平面４１ａを含み、表面に酸化被膜が形成されている。外側部４１ｎは、側面４１ｃ、４１ｄを含む。
【0121】
マスクＭを載置する載置平面４１ａは、酸化被膜が形成されたアルミニウムで形成する必要があるが、酸化被膜は衝撃により剥がれやすいという問題がある。したがって、ラック４４が形成される外側部４１ｎを、衝撃により破損し難いステンレス又はセラミックスを用いて形成することで、ラック４４とピニオン３１がぶつかることによる塵埃の発生を大幅に削減することができる。
【0122】
＜第２の実施の形態＞
本発明の第２の実施の形態は、レール３３ａがｘ方向に移動可能な形態である。第１の実施の形態の検査装置１と第２の実施の形態の検査装置１Ａとの差異は搬送装置のみであるため、以下、第２の実施の形態の検査装置のうち、搬送装置についてのみ説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
本発明の第２の実施の形態は、レール３３ａがｘ方向に移動可能な形態である。第１の実施の形態の検査装置１と第２の実施の形態の検査装置１Ａとの差異は搬送装置のみであるため、以下、第２の実施の形態の検査装置のうち、搬送装置についてのみ説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【0123】
図１６は、検査装置１Ａの概略を示す平面図である。なお、図１６では要部のみを図示している。搬送装置３Ａは、主として、保持部材４と、ピニオン３１と、ローラ３２、３２Ａと、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄと、レール３６を有する。なお、図１６ではレール３３ｃ、３３ｄ及びレール３３ｃ、３３ｄに設けられたピニオン３１及びローラ３２の図示を省略する。
【0124】
レール３３ａは、レール３６に沿ってｘ方向に移動可能である。レール３３ａには、ローラ３２Ａが設けられている。ローラ３２とローラ３２Ａとの差異はｘ方向の幅であり、ローラ３２Ａの幅はローラ３２の幅より広い。
【0125】
作業者は、搬送装置３Ａに保持部材４を載置する前に、レール３６に沿ってレール３３ａを－ｘ方向に移動させる。ローラ３２Ａの幅がローラ３２より広いため、レール３３ａが－ｘ方向に移動されていたとしても、ローラ３２、３２Ａの上に保持部材４を載置することができる。
【0126】
作業者は、ローラ３２、３２Ａに保持部材４を載置したら、レール３３ａを＋ｘ方向に移動させて、ピニオン３１とラック４４を噛み合わせる。その後の処理は検査装置１と同様である。
【0127】
本実施の形態によれば、搬送装置３Ａに保持部材４を載置するときにピニオン３１とラック４４が噛み合わなくてもよいため、ピニオン３１とラック４４とがぶつかって破損等することを防ぐことができる。特に、ピニオン３１及びラック４４のモジュールが１と小さいため、レール３３ａを移動しない場合には、保持部材４を載置する際にピニオン３１の歯とラック４４の歯が噛み合わずに歯の一部が欠け、検査装置内部に塵埃が持ち込まれるおそれがあるが、レール３３ａを移動させることでこのような問題を防止することができる。
【0128】
なお、本実施の形態では、作業者がレール３６に沿ってレール３３ａをｘ方向に移動させたが、搬送装置３Ａがレール３６に沿ってレール３３ａを移動させてもよい。この場合には、入出力装置１４１からの指示等に応じて、制御部１５１ａが図示しないアクチュエータを介してレール３３ａを移動させればよい。
【0129】
＜第３の実施の形態＞
本発明の第３の実施の形態は、自動で載置部２５にマスクＭを載置する形態である。第１の実施の形態の検査装置１と第３の実施の形態の検査装置１Ｂとの差異は載置装置のみであるため、以下載置装置についてのみ説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
本発明の第３の実施の形態は、自動で載置部２５にマスクＭを載置する形態である。第１の実施の形態の検査装置１と第３の実施の形態の検査装置１Ｂとの差異は載置装置のみであるため、以下載置装置についてのみ説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【0130】
【0131】
検査装置１Ｂが備える載置装置２Ａは、主として、基台２１と、複数の柱状部２２と、第１移動部２３（図１７では図示省略）と、第２移動部２４（図１７では図示省略）と、レチクルスミフポッド６３と、保管ラック７０と、マスク搬送部８０とを有する。レチクルスミフポッド６３及び保管ラック７０は、鉛直方向上側から見たときに、正面部１１の手前側（－ｙ側）に、基台２１に隣接して設けられている。本実施の形態では、レチクルスミフポッド６３は、第１位置Ｉに載置された保持部材４の－ｘ側に、保管ラック７０は、第１位置Ｉに載置された保持部材４の＋ｘ側に、基台２１を挟むように設けられている。
【0132】
レチクルスミフポッド６３は、主として、ベース６３ａと、載置部６３ｂと、蓋６３ｃとを有する。載置部６３ｂは、ベース６３ａに設けられており、先端にマスクＭが載置される。載置部６３ｂの形状は、載置部２５と同様である。蓋６３ｃは、載置部６３ｂ及びマスクＭを覆うように、開閉可能にベース６３ａに設けられている。マスクＭを載置部６３ｂに載置して蓋６３ｃを閉じることで、マスクＭの汚染が防止可能である。また、図示しない窒素充填部により蓋６３ｃの内部を窒素で満たすことができる。
【0133】
保管ラック７０は、主として、枠体７１と、複数のマスク保管部７２とを有する。マスク保管部７２は、アクチュエータ７３（図１８参照）を含む移動機構によりｚ方向に移動可能である。なお、本実施の形態では、保管ラック７０が５つのマスク保管部７２を有するが、保管ラック７０が有するマスク保管部７２の数はこれに限られない。
【0134】
マスク保管部７２は、ベース７２ａと、ベース７２ａに設けられた載置部７２ｂとを有する。ベース７２ａは、アクチュエータ７２ｃ（図１８参照）を有する移動機構（図示省略）によりｘ方向に移動可能に設けられている。載置部７２ｂにはマスクＭが載置され、ベース７２ａとともにマスクＭがｘ方向に移動する。載置部７２ｂの形状は、載置部２５と同様である。
【0135】
マスク搬送部８０は、レチクルスミフポッド６３、基台２１及び保管ラック７０よりも手前側（－ｙ側）に設けられている。マスク搬送部８０は、主として、アーム８１、８２と、レール８３とを有する。アーム８１、８２は、同一の形状であり、マスクＭを下から保持する。アーム８１、８２は略Ｕ字形状の部分を有し、当該部分は水平方向に沿っている。したがって、略Ｕ字形状の部分がマスクＭの裏面に当接させてアーム８１、８２がマスクＭを持ち上げることで、マスクＭの姿勢が水平方向に維持される。
【0136】
アーム８１、８２は、レール８３に設けられている。アクチュエータ８４（図１８参照）により、アーム８１、８２がレール８３に沿ってｘ方向に移動可能である。
【0137】
また、アクチュエータ８５（図１８参照）を含む移動機構（図示省略）により、アーム８１、８２がｙ方向に移動可能であり、アクチュエータ８６（図１８参照）を含む移動機構（図示省略）により、アーム８１、８２がｚ方向に移動可能である。なお、移動機構は、図示しないレールを含んでもよい。
【0138】
図１８は、検査装置１Ｂの電気的な構成を示すブロック図である。検査装置１Ｂは、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１５１と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１５２と、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）１５３と、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）１５４と、通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）１５５と、メディアインターフェース（Ｉ／Ｆ）１５６と、を有し、これらはアクチュエータ１４、２４ｅ、２４ｆ、３５ｃ、５９ａ、５９ｂ、７２ｃ、７３、８４、８５、８６、近接センサ２６等と互いに接続されている。
【0139】
このように構成された検査装置１Ｂの作用について説明する。以下の処理は、主として制御部１５１ａによって行われる。本実施の形態では、保管ラック７０のマスク保管部７２に載置されたマスクＭを保持部材４に載置して検査を行い、検査後のマスクＭをレチクルスミフポッド６３に載置する。なお、レチクルスミフポッド６３は、蓋６３ｃが開いており、載置部６３ｂが露出している。
【0140】
まず、作業者が保持部材４の把持部４２の把持棒４２ｃを把持して保持部材４を持ち上げ、搬送装置３のローラ３２に保持部材４を載置する。３つの近接センサ２６がマーキングを読み取り、制御部１５１ａが搬送装置３のアクチュエータ３５ｃを制御して保持部材４をｙ方向に移動させ、基台２１の中心と本体部４１の中心とを一致させる。また、制御部１５１ａが載置装置２Ａのアクチュエータ２４ｅを制御して載置装置２Ａの柱状部２２を移動させて、保持部材４に載置されるマスクＭの大きさに合わせた位置に柱状部２２を配置する。
【0141】
次に、制御部１５１ａは、保管ラック７０のアクチュエータ７３を制御して、検査対象のマスクＭが載置されたマスク保管部７２の高さ（ｚ方向の位置）を載置装置２Ａの柱状部２２の先端に設けられた載置部２５の高さと略一致させる。図１６（Ｂ）では、上から２段目のマスク保管部７２の高さが載置部２５の高さと略一致している。
【0142】
次に、制御部１５１ａは、保管ラック７０のアクチュエータ７３を制御して、検査対象のマスクＭが載置されたマスク保管部７２を－ｘ方向に移動させて、保管ラック７０の枠体７１の外側にマスクＭを露出させる。
【0143】
次に、制御部１５１ａは、マスク搬送部８０のアクチュエータ８４を制御して、マスク搬送部８０のレール８３に沿ってマスク搬送部８０のアーム８１、８２をｘ方向に移動させて、アーム８１と枠体７１の外側に配置されたマスクＭのｘ方向の位置を一致させ、アーム８２と保持部材４（載置装置２）のｘ方向の位置を一致させる。
【0144】
次に、制御部１５１ａは、マスク搬送部８０のアクチュエータ８６を制御してアーム８１、８２をｚ方向に移動させ、アーム８１、８２の高さがマスクＭの高さより低くなるようにする。また、制御部１５１ａは、マスク搬送部８０のアクチュエータ８５を制御してアーム８１、８２を＋ｙ方向に移動させ、保管ラック７０のマスク保管部７２及び保持部材４（載置装置２）とアーム８１、８２とのｙ方向の位置を一致させる（図１６（Ａ）の点線参照）。
【0145】
マスク保管部７２とアーム８１のｙ方向の位置及び保持部材４（載置装置２）とアーム８２のｙ方向の位置が一致したら、制御部１５１ａは、アクチュエータ８６を制御してアーム８１、８２を＋ｚ方向に移動させて、マスク保管部７２の載置部７２ｂ及び載置部２５からマスクＭを持ち上げる（図１６（Ｂ）の二点鎖線参照）。
【0146】
次に、制御部１５１ａは、マスク搬送部８０のアクチュエータ８４を制御してレール８３に沿ってアーム８１、８２を－ｘ方向に移動させて、アーム８１と保持部材４（載置装置２）のｘ方向の位置を一致させ、アーム８２とレチクルスミフポッド６３のｘ方向の位置を一致させる。
【0147】
アーム８１と保持部材４（載置装置２Ａ）のｘ方向の位置及びアーム８２とレチクルスミフポッド６３のｘ方向の位置が一致したら、制御部１５１ａは、マスク搬送部８０のアクチュエータ８６を制御してアーム８１、８２を－ｚ方向に移動させて、載置部２５及びレチクルスミフポッド６３の載置部６３ｂにマスクＭを載置する。
【0148】
これにより、検査前のマスクＭが載置装置２Ａの載置部２５に載置される。その後の検査装置１Ｂの処理は検査装置１と同様であるため、説明を省略する。
【0149】
載置部２５に載置されたマスクＭは検査装置１により検査が行われた後のマスクＭである。したがって、載置部６３ｂには検査後のマスクＭが載置される。その後、作業者がレチクルスミフポッド６３の蓋６３ｃを閉じ、検査後のマスクＭをレチクルスミフポッド６３の内部に格納し、マスクＭが載置されたレチクルスミフポッド６３と空のレチクルスミフポッド６３を交換する。
【0150】
本実施の形態によれば、載置部６３ｂ及び載置部７２ｂを基台２１に隣接して設け、アーム８１、８２でマスクＭを下から保持してレール８３に沿ってアーム８１、８２を移動させることで、作業者を介さず、載置部２５にマスクＭを載置したり、載置部２５からマスクＭを取り外したりすることができる。
【0151】
なお、本実施の形態では、載置装置２Ａがレチクルスミフポッド６３、保管ラック７０及びマスク搬送部８０を有したが、レチクルスミフポッド６３及び保管ラック７０のいずれか一方を有していればよい。例えば、マスク搬送部８０がマスク保管部７２の載置部７２ｂから検査前のマスクＭを載置部２５に搬送し、検査後のマスクＭを載置部２５からマスク保管部７２（載置部７２ｂ）に搬送してもよい。また、例えば、検査後のマスクＭを載置部２５からレチクルスミフポッド６３（載置部６３ｂ）に搬送してもよい。これらの場合には、マスク搬送部８０は１本のアーム８１を有していればよい。
【0152】
＜第４の実施の形態＞
本発明の第４の実施の形態は、搬送装置のピニオン３１の一部を検査部５０に設ける形態である。第１の実施の形態の検査装置１と第４の実施の形態の検査装置１Ｃとの差異は搬送装置のみであるため、以下、第４の実施の形態の検査装置のうち、搬送装置についてのみ説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
本発明の第４の実施の形態は、搬送装置のピニオン３１の一部を検査部５０に設ける形態である。第１の実施の形態の検査装置１と第４の実施の形態の検査装置１Ｃとの差異は搬送装置のみであるため、以下、第４の実施の形態の検査装置のうち、搬送装置についてのみ説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【0153】
図１９は、検査装置１Ｃの概略を示す平面図である。なお、図１９では要部のみを図示している。検査装置１Ｃが有する搬送装置３Ｂは、主として、保持部材４と、ピニオン３１、３１Ａと、ローラ３２、３２Ｂと、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄと、ギア３４と、切替機構３７とを有する。なお、図１９ではレール３３ａ、３３ｂ及びレール３３ａ、３３ｂに設けられたピニオン３１及びローラ３２の図示を省略する。
【0154】
ピニオン３１Ａ及びローラ３２Ｂは、第１ステージ５１Ａに設けられている。ピニオン３１Ａは、第１ステージ５１Ａに設けられた回転軸にピニオン本体が回転可能に設けられて構成されている。ローラ３２Ｂは、第１ステージ５１Ａに設けられた回転軸にローラ本体が回転可能に設けられて構成されている。
【0155】
第１ステージ５１Ａは、第１ステージ５１に対して－ｙ側の形状のみ異なり、その他は同様である。ピニオン３１Ａ及びローラ３２Ｂは、第１ステージ５１Ａと共にｘ方向及びｙ方向に移動する。図１９では、第１ステージ５１Ａがローディング位置（搬送装置３ＢによりマスクＭが搬入される位置）にある状態を図示している。
【0156】
レール３３ｃ、３３ｄの＋ｙ側の端近傍に設けられたピニオン３１には、切替機構３７が設けられている。切替機構３７は、主として、板状部材３７１と、弾性部材３７２と、ストッパピン３７３とを有する。
【0157】
板状部材３７１は、ピニオン３１の回転軸に回転可能に設けられている。板状部材３７１には、ギア３４が設けられている。板状部材３７１がピニオン３１の回転軸を中心に回転すると、板状部材３７１の回転に伴ってギア３４の位置が変わる。ギア３４は、板状部材３７１に設けられた回転軸３４ａに、ギア本体３４ｂが回転可能に設けられて構成されている。
【0158】
弾性部材３７２は、例えば引っ張りばねであり、ギア３４がレール３３ｃ、３３ｄに近づく方向（図１９の矢印参照）の力を板状部材３７１に付勢する。
【0159】
第１ステージ５１Ａがローディング位置にないときには、弾性部材３７２の付勢力により板状部材３７１が回転し（図１９の黒矢印参照）、板状部材３７１がストッパピン３７３に当接する。第１ステージ５１Ａがローディング位置に移動（－ｙ方向に移動）すると、図１９の白抜き矢印で示すように、第１ステージ５１Ａと共にピニオン３１Ａも－ｙ方向に移動し、ピニオン３１Ａがギア３４すなわち板状部材３７１を弾性部材３７２の付勢力に抗して押圧する。これにより、ギア３４とピニオン３１Ａとが噛み合う。
【0160】
図２０は、第１ステージ５１Ａがローディング位置に移動されるときのピニオン３１、３１Ａ及びギア３４の様子を模式的に示す図であり、（Ａ）はローディング位置直前の様子を示し、（Ｂ）はローディング位置の様子を示す。
【0161】
ローディングポジションに到着する直前では、図２０（Ａ）に示すように、ギア３４とピニオン３１Ａとが噛み合い位置より遠い位置にある。その後、ローディングポジションに向けて図２０（Ａ）の白抜き矢印の方向にピニオン３１Ａが移動する。その結果、図２０（Ｂ）に示すようにピニオン３１Ａがローディングポジションに移動し、ギア３４とピニオン３１Ａが正しく噛み合う。
【0162】
このとき、弾性部材３７２がピニオン３１Ａを介して第１ステージ５１Ａに力を加えるが、弾性部材３７２の付勢力に抗して板状部材３７１が回転可能であるため、第１ステージ５１Ａに過剰な力が加わることはない。
【0163】
なお、ローディングポジションに到着する直前で、ギア３４の位相とピニオン３１Ａの位相が合わない場合（図２０（Ａ）の二点鎖線参照）があるが、ピニオン３１Ａは自由に回転可能であるため、弾性部材３７２の付勢力によりギア３４の位相に合うようにピニオン３１Ａが回転する。
【0164】
このように構成された検査装置１Ｃの作用について説明する。以下の処理は、主として制御部１５１ａによって行われる。なお、検査装置１Ｃの電気的な構成は、検査装置１と同様であるため、説明を省略する。
【0165】
まず、制御部１５１ａは、アクチュエータ５９ａ、５９ｂを制御して、図１９に示すように、第１ステージ５１Ａをローディング位置に移動させ、ギア３４とピニオン３１Ａを噛み合わせる。
【0166】
その後、検査装置１の場合と同様に、搬送装置３Ｂのローラ３２に保持部材４が載置され、保持部材４にマスクＭが載置されたら、制御部１５１ａは、搬送装置３Ｂのアクチュエータ３５ｃを制御して搬送装置３Ｂのピニオン３１を駆動し、保持部材４を＋ｙ方向に搬送する。ピニオン３１、３１Ａの位相があっている（図２０参照）ため、ラック４４がピニオン３１、３１Ａに正しく噛み合い、保持部材４がスムーズに保持部５２へと搬送される。
【0167】
なお、第１ステージ５１Ａ、すなわちピニオン３１Ａがローディングポジションに移動されたときに、ギア３４の歯とピニオン３１Ａの歯が当接し、ギア３４の位相に合わせてピニオン３１Ａが回転できないおそれもありうる。この場合には、ピニオン３１及びギア３４が駆動を開始するまでピニオン３１Ａの歯がギア３４の歯を押圧し、弾性部材３７２の付勢力によりピニオン３１Ａの歯とギア３４の歯とが当接した状態が維持される。ピニオン３１及びギア３４が駆動（回転）を開始すると、ピニオン３１Ａの歯とギア３４の歯との当接が外れ、ギア３４の歯と歯の間にピニオン３１Ａの歯が入り込む。それに伴い、弾性部材３７２の付勢力により、ギア３４がピニオン３１Ａに近づく方向に移動し、ギア３４とピニオン３１Ａとが噛み合い、ピニオン３１とピニオン３１Ａの位相が合う。
【0168】
その後、検査装置１の場合と同様に、保持部材４の本体部４１の先端面４１ｂが保持部５２の当接面５２ｃに当接したら、制御部１５１ａは搬送装置３Ｂのアクチュエータ３５ｃを停止させる。これにより、搬送装置３Ｂにより保持部材４が検査装置１Ｃの内部に搬送される。
【0169】
本実施の形態によれば、ピニオン３１Ａを第１ステージ５１Ａに設けることで、ピニオン３１Ａを保持部５２に近づけることができる。これにより、把持部４２の大きさにかかわらず、ピニオン３１Ａにより保持部材４を最後まで押し込むことができる。
【0170】
なお、本実施の形態では、ギア３４が１つであったが、ギア３４の数は１つに限られない。例えば、レール３３ｃ、３３ｄと保持部５２との距離が遠い場合には、複数のギアによりピニオン３１とピニオン３１Ａとを連結してもよい。
【0171】
図２１は、変形例に係る搬送装置３Ｃの概略を示す図である。図２１では、第１ステージ５１Ａ（図２１では図示省略）、すなわちピニオン３１Ａがローディング位置にある状態を図示している。搬送装置３Ｃは、主として、保持部材４と、ピニオン３１、３１Ａと、ローラ３２、３２Ｂと、レール３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄと、ギア３４Ａと、切替機構３７Ａとを有する。図２１ではレール３３ａ、３３ｂ、レール３３ａ、３３ｂに設けられたピニオン３１とローラ３２、及びローラ３２Ｂの図示を省略する。
【0172】
レール３３ｃ、３３ｄの＋ｙ側の端近傍に設けられたピニオン３１には、切替機構３７Ａが設けられている。切替機構３７Ａは、主として、板状部材３７１Ａと、弾性部材３７２（図２１では図示省略）と、ストッパピン３７３とを有する。板状部材３７１Ａは、板状部材３７１と大きさが異なる。
【0173】
板状部材３７１Ａは、ピニオン３１の回転軸に回転可能に設けられている。板状部材３７１Ａには、ギア３４Ａが設けられている。ギア３４Ａは、３つのギア３４１、３４２、３４３を有する。ギア３４１、３４２、３４３は、それぞれ、板状部材３７１Ａに設けられた回転軸３４ａに、ギア本体３４ｂが回転可能に設けられて構成されている。板状部材３７１Ａがピニオン３１の回転軸を中心に回転すると、板状部材３７１Ａの回転に伴ってギア３４Ａの位置が変わる。
【0174】
第１ステージ５１Ａがローディング位置にない場合には、弾性部材３７２の付勢力により、板状部材３７１Ａがストッパピン３７３に当接する。第１ステージ５１Ａがローディング位置に移動すると、ピニオン３１Ａが弾性部材３７２の付勢力に抗してギア３４３を押し、ギア３４３がピニオン３１Ａと噛み合う。
【0175】
本変形例のように、複数のギア３４１、３４２、３４３の数を用いることで、レール３３ｃ、３３ｄと保持部５２との距離を遠くしたり、ピニオン３１Ａを保持部５２に近づけたりすることができる。
【0176】
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。当業者であれば、実施形態の各要素を、適宜、変更、追加、変換等することが可能である。
【0177】
また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略水平とは、厳密に水平の場合には限られず、例えば数度程度の誤差を含む概念である。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、基準となる位置の近くのある範囲（任意に定めることができる）の領域を含むことを意味する。例えば、Ａの近傍という場合に、Ａの近くのある範囲の領域であって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
【符号の説明】
【0178】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ：検査装置
２、２Ａ ：載置装置
３、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ：搬送装置
４ ：保持部材
１０ ：枠
１１ ：正面部
１１ａ ：開口部
１２ ：開閉扉
１３ ：レール
１４ ：アクチュエータ
２１ ：基台
２１ａ ：孔
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ：柱状部
２３ ：第１移動部
２３ａ ：レール
２３ｂ ：移動部材
２３ｃ ：アクチュエータ
２４、２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ：第２移動部
２４ｅ、２４ｆ：アクチュエータ
２５、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ：載置部
２６ ：近接センサ
３１、３１Ａ：ピニオン
３１ａ ：回転軸
３１ｂ ：ピニオン本体
３２、３２Ａ、３２Ｂ：ローラ
３２ａ ：回転軸
３２ｂ ：ローラ本体
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ：レール
３４,３４Ａ：ギア
３４ａ ：回転軸
３４ｂ ：ギア本体
３５ ：駆動部
３５ａ ：プーリ
３５ｂ ：ベルト
３５ｃ ：アクチュエータ
３６ ：レール
３７,３７Ａ：切替機構
４１、４１Ａ：本体部
４１ａ ：載置平面
４１ｂ ：先端面
４１ｃ、４１ｄ：側面
４１ｅ、４１ｇ：垂直面
４１ｆ、４１ｈ：傾斜面
４１ｉ ：凹部
４１ｊ ：マーキング
４１ｍ ：中央部
４１ｎ ：外側部
４２ ：把持部
４２ａ、４２ｂ：連結部
４２ｃ ：把持棒
４２ｄ、４２ｅ：側面
４２ｉ ：凹部
４３、４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅ：孔
４４、４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄ：ラック
４５ ：空気孔
４５ａ、４５ｂ：開口部
５０ ：検査部
５１、５１Ａ ：第１ステージ
５２ ：保持部
５２ａ、５２ｂ：レール
５２ｃ ：当接面
５２ｄ ：傾斜面
５３ ：第２ステージ
５４、５６：ベルト
５５、５７：レール
５８ ：空気吸引部
５８ａ ：コネクタ
５８ｂ ：吸引ホース
５８ｃ ：接合部
５８ｄ、５８ｅ：筒状部
５８ｆ ：弾性部材
５８ｇ ：ねじ部
５８ｈ ：ねじ穴
５９、５９ａ、５９ｂ：アクチュエータ
６１ ：除振台
６２ ：定盤
６２ｂ ：載置部
６３ ：レチクルスミフポッド
６３ａ ：ベース
６３ｂ ：載置部
６３ｃ ：蓋
７０ ：保管ラック
７１ ：枠体
７２ ：マスク保管部
７２ａ ：ベース
７２ｂ ：載置部
７２ｃ、７３：アクチュエータ
８０ ：マスク搬送部
８１、８２：アーム
８３ ：レール
８４、８５、８６：アクチュエータ
１４１ ：入出力装置
１４２ ：ネットワーク
１４３ ：記憶媒体
１５１ ：ＣＰＵ
１５１ａ ：制御部
１５２ ：ＲＡＭ
１５３ ：ＲＯＭ
１５４ ：入出力インターフェース
１５５ ：通信インターフェース
１５６ ：メディアインターフェース
２４１、２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄ：レール
２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄ：移動部材
２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄ：ベルト
２４４ａ、２４４ｂ、２４４ｃ、２４４ｄ：プーリ
２５１、２５２：面
２５３、２５４：面
２５５ ：凹部
２５６、２５７：切り欠き
２５８ ：角
３４１、３４２、３４３：ギア
３７１３７１Ａ：板状部材
３７２ ：弾性部材
３７３ ：ストッパピン
６１１ ：ベース
６１２ ：枠
６１２ａ ：孔
６１３ ：移動部材
６１３ａ ：棒状部材
６１３ｂ、６１３ｅ：位置決め部材
６１３ｃ ：円錐部
６１３ｄ ：板状部
２、２Ａ ：載置装置
３、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ：搬送装置
４ ：保持部材
１０ ：枠
１１ ：正面部
１１ａ ：開口部
１２ ：開閉扉
１３ ：レール
１４ ：アクチュエータ
２１ ：基台
２１ａ ：孔
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ：柱状部
２３ ：第１移動部
２３ａ ：レール
２３ｂ ：移動部材
２３ｃ ：アクチュエータ
２４、２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ：第２移動部
２４ｅ、２４ｆ：アクチュエータ
２５、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ：載置部
２６ ：近接センサ
３１、３１Ａ：ピニオン
３１ａ ：回転軸
３１ｂ ：ピニオン本体
３２、３２Ａ、３２Ｂ：ローラ
３２ａ ：回転軸
３２ｂ ：ローラ本体
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ：レール
３４,３４Ａ：ギア
３４ａ ：回転軸
３４ｂ ：ギア本体
３５ ：駆動部
３５ａ ：プーリ
３５ｂ ：ベルト
３５ｃ ：アクチュエータ
３６ ：レール
３７,３７Ａ：切替機構
４１、４１Ａ：本体部
４１ａ ：載置平面
４１ｂ ：先端面
４１ｃ、４１ｄ：側面
４１ｅ、４１ｇ：垂直面
４１ｆ、４１ｈ：傾斜面
４１ｉ ：凹部
４１ｊ ：マーキング
４１ｍ ：中央部
４１ｎ ：外側部
４２ ：把持部
４２ａ、４２ｂ：連結部
４２ｃ ：把持棒
４２ｄ、４２ｅ：側面
４２ｉ ：凹部
４３、４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅ：孔
４４、４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄ：ラック
４５ ：空気孔
４５ａ、４５ｂ：開口部
５０ ：検査部
５１、５１Ａ ：第１ステージ
５２ ：保持部
５２ａ、５２ｂ：レール
５２ｃ ：当接面
５２ｄ ：傾斜面
５３ ：第２ステージ
５４、５６：ベルト
５５、５７：レール
５８ ：空気吸引部
５８ａ ：コネクタ
５８ｂ ：吸引ホース
５８ｃ ：接合部
５８ｄ、５８ｅ：筒状部
５８ｆ ：弾性部材
５８ｇ ：ねじ部
５８ｈ ：ねじ穴
５９、５９ａ、５９ｂ：アクチュエータ
６１ ：除振台
６２ ：定盤
６２ｂ ：載置部
６３ ：レチクルスミフポッド
６３ａ ：ベース
６３ｂ ：載置部
６３ｃ ：蓋
７０ ：保管ラック
７１ ：枠体
７２ ：マスク保管部
７２ａ ：ベース
７２ｂ ：載置部
７２ｃ、７３：アクチュエータ
８０ ：マスク搬送部
８１、８２：アーム
８３ ：レール
８４、８５、８６：アクチュエータ
１４１ ：入出力装置
１４２ ：ネットワーク
１４３ ：記憶媒体
１５１ ：ＣＰＵ
１５１ａ ：制御部
１５２ ：ＲＡＭ
１５３ ：ＲＯＭ
１５４ ：入出力インターフェース
１５５ ：通信インターフェース
１５６ ：メディアインターフェース
２４１、２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄ：レール
２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄ：移動部材
２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄ：ベルト
２４４ａ、２４４ｂ、２４４ｃ、２４４ｄ：プーリ
２５１、２５２：面
２５３、２５４：面
２５５ ：凹部
２５６、２５７：切り欠き
２５８ ：角
３４１、３４２、３４３：ギア
３７１３７１Ａ：板状部材
３７２ ：弾性部材
３７３ ：ストッパピン
６１１ ：ベース
６１２ ：枠
６１２ａ ：孔
６１３ ：移動部材
６１３ａ ：棒状部材
６１３ｂ、６１３ｅ：位置決め部材
６１３ｃ ：円錐部
６１３ｄ ：板状部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】