特開 2024-42799 複合フィルタ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024042799

(43)【公開日】2024-03-29

(54)【発明の名称】複合フィルタ装置

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/25 20060101AFI20240322BHJP

   H03H 9/145 20060101ALI20240322BHJP

【ＦＩ】

H03H9/25 A

H03H9/145 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022147652

(22)【出願日】2022-09-16

(71)【出願人】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001232

【氏名又は名称】弁理士法人大阪フロント特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】清水 康宏

(72)【発明者】

【氏名】山崎 直

(72)【発明者】

【氏名】前田 健太

【テーマコード（参考）】

5J097

【Ｆターム（参考）】

5J097AA18

5J097BB02

5J097BB15

5J097DD05

5J097DD07

5J097DD19

5J097DD27

5J097EE08

5J097FF04

5J097FF05

5J097HA04

5J097JJ06

5J097JJ09

5J097KK03

5J097KK10

(57)【要約】      （修正有）

【課題】共振子の配置の自由度を損ねることなくフィルタ特性の急峻性を高められる、複合フィルタ装置を提供する。
【解決手段】ラダー型である第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂを備える複合フィルタ装置１０であって、第１のフィルタ１Ａに含まれる第１の弾性波共振子と、支持体５と、第２のフィルタ１Ｂに含まれる第２の弾性波共振子３Ｂと、を備える。圧電性基板２Ａの第１の主面２ａ、圧電性基板２Ｂの第３の主面２ｃ及び支持体５により囲まれた空間内に第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子３Ｂが位置している。第２の弾性波共振子３Ｂが、第２のフィルタ１Ｂにおける全ての並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子及び第２のフィルタ１Ｂにおける全ての直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子のうち一方であり、平面視において、第２の弾性波共振子３Ｂと配線電極４とが重なっている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも１つの直列腕共振子及び少なくとも１つの並列腕共振子をそれぞれ含む、第１のフィルタ及び第２のフィルタを備える複合フィルタ装置であって、
互いに対向している第１の主面及び第２の主面を有する第１の圧電性基板と、
前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に設けられている機能電極を含み、前記第１のフィルタに含まれる第１の弾性波共振子と、
前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に設けられており、信号電位に接続されない、配線電極と、
前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に、前記第１の弾性波共振子を囲むように設けられている支持体と、
前記支持体上に設けられており、前記支持体側に位置している第３の主面、及び前記第３の主面と対向している第４の主面を有する第２の圧電性基板と、
前記第２の圧電性基板の前記第３の主面に設けられている機能電極を含み、前記第２のフィルタに含まれる第２の弾性波共振子と、
を備え、
前記第１の圧電性基板の前記第１の主面、前記第２の圧電性基板の前記第３の主面及び前記支持体により囲まれた空間が構成されており、該空間内に前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が位置しており、
前記第２の弾性波共振子が、前記第２のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子、及び前記第２のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子のうち一方であり、平面視において、前記第２の弾性波共振子と前記配線電極とが重なっている、複合フィルタ装置。

【請求項2】

前記第２の弾性波共振子が、前記第２のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子である、請求項１に記載の複合フィルタ装置。

【請求項3】

前記第２の弾性波共振子が、前記第２のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子である、請求項１に記載の複合フィルタ装置。

【請求項4】

前記配線電極が、基準電位に接続される、請求項２または３に記載の複合フィルタ装置。

【請求項5】

前記配線電極が、基準電位及び信号電位に接続されない、請求項２または３に記載の複合フィルタ装置。

【請求項6】

前記第２の弾性波共振子の前記機能電極が、１対のバスバー及び複数の電極指を含むＩＤＴ電極であり、
平面視において、前記配線電極が、前記１対のバスバーの双方と重なっている、請求項２または３に記載の複合フィルタ装置。

【請求項7】

前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に設けられている絶縁膜をさらに備え、
前記配線電極の少なくとも一部が、前記絶縁膜上に設けられており、
平面視において、前記配線電極における前記絶縁膜上に設けられている部分と、前記第２の弾性波共振子とが重なっている、請求項２または３に記載の複合フィルタ装置。

【請求項8】

前記配線電極が第１の配線電極であり、
前記第２の圧電性基板の前記第３の主面に設けられており、信号電位に接続されない、第２の配線電極をさらに備え、
前記第１の弾性波共振子が、前記第１のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子、及び前記第１のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子のうち一方であり、平面視において、前記第１の弾性波共振子と前記第２の配線電極とが重なっている、請求項２または３に記載の複合フィルタ装置。

【請求項9】

前記第１の弾性波共振子が、前記第１のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子である、請求項８に記載の複合フィルタ装置。

【請求項10】

前記第１の弾性波共振子が、前記第１のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子である、請求項８に記載の複合フィルタ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、弾性波共振子を有する複合フィルタ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、弾性波共振子を有する複合フィルタ装置は、携帯電話機のフィルタなどとして広く用いられている。下記の特許文献１には、複合フィルタ装置としての、電子部品の例が開示されている。特許文献１に記載された複合フィルタ装置の一例は、具体的には、デュプレクサである。このデュプレクサにおいては、１対の圧電基板が、接着層により貼り合わされている。１対の圧電基板の間には、空隙が形成されている。空隙内に位置するように、それぞれの圧電基板の主面にＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５－０９１６０５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

複合フィルタ装置におけるフィルタには、通過帯域の高域側または低域側の端部付近において、良好な急峻性が求められる。急峻性が良好であれば、通過帯域付近の周波数帯域においても、不要な信号の通過がより確実に抑制される。急峻性を改善するために、例えば、フィルタにおける共振子に並列に、容量素子などが接続される。

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載のような複合フィルタ装置において、共振子に並列に容量素子を接続する場合、圧電基板には、容量素子を配置するための領域が必要となる。そのため、圧電基板における共振子の配置の自由度が損なわれるおそれがある。

【0006】

本発明の目的は、共振子の配置の自由度を損ねることなく、フィルタ特性における急峻性を高めることができる、複合フィルタ装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る複合フィルタ装置は、少なくとも１つの直列腕共振子及び少なくとも１つの並列腕共振子をそれぞれ含む、第１のフィルタ及び第２のフィルタを備える複合フィルタ装置であって、互いに対向している第１の主面及び第２の主面を有する第１の圧電性基板と、前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に設けられている機能電極を含み、前記第１のフィルタに含まれる第１の弾性波共振子と、前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に設けられており、信号電位に接続されない、配線電極と、前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に、前記第１の弾性波共振子を囲むように設けられている支持体と、前記支持体上に設けられており、前記支持体側に位置している第３の主面、及び前記第３の主面と対向している第４の主面を有する第２の圧電性基板と、前記第２の圧電性基板の前記第３の主面に設けられている機能電極を含み、前記第２のフィルタに含まれる第２の弾性波共振子とを備え、前記第１の圧電性基板の前記第１の主面、前記第２の圧電性基板の前記第３の主面及び前記支持体により囲まれた空間が構成されており、該空間内に前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が位置しており、前記第２の弾性波共振子が、前記第２のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子、及び前記第２のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子のうち一方であり、平面視において、前記第２の弾性波共振子と前記配線電極とが重なっている。

【発明の効果】

【0008】

本発明に係る複合フィルタ装置によれば、共振子の配置の自由度を損ねることなく、フィルタ特性における急峻性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る複合フィルタ装置の略図的正面断面図である

【図2】本発明の第１の実施形態における第１の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的透視平面図である。

【図3】本発明の第１の実施形態における第２の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的平面図である。

【図4】本発明の第１の実施形態における第１の圧電性基板上、及び第２の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的透視平面図である。

【図5】本発明の第１の実施形態における、第２の弾性波共振子を含む等価回路を示す模式的回路図である。

【図6】本発明の第１の実施形態及び比較例における、第２の弾性波共振子のインピーダンス周波数特性を示す図である。

【図7】本発明の第２の弾性波共振子の電極構成を示す透視平面図である。

【図8】図２中のＩＩ－ＩＩ線に沿う略図的断面図である。

【図9】本発明の第１の実施形態の変形例に係る複合フィルタ装置の略図的正面断面図である。

【図10】本発明の第３の実施形態に係る複合フィルタ装置の略図的正面断面図である。

【図11】本発明の第４の実施形態に係る複合フィルタ装置の略図的正面断面図である。

【図12】本発明の第４の実施形態における第２の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的平面図である。

【図13】図１２中のＩ－Ｉ線に沿う略図的断面図である。

【図14】本発明の第４の実施形態における第１の圧電性基板上、及び第２の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的透視平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

【0011】

なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

【0012】

図１は、本発明の第１の実施形態に係る複合フィルタ装置の略図的正面断面図である。図１においては、各共振子を、矩形に２本の対角線を加えた略図により示す。他の略図的断面図や略図的平面図においても同様である。

【0013】

複合フィルタ装置１０は第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂを有する。第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂはそれぞれ、ラダー型フィルタである。よって、第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂはそれぞれ、少なくとも１つの直列腕共振子及び少なくとも１つの並列腕共振子を有する。本実施形態においては、第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂの直列腕共振子及び並列腕共振子は、いずれも弾性波共振子である。第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂはそれぞれ、送信フィルタであってもよく、受信フィルタであってもよい。以下において、複合フィルタ装置１０の具体的な構成を説明する。

【0014】

複合フィルタ装置１０は第１の圧電性基板２Ａを有する。第１の圧電性基板２Ａは、圧電材料のみからなる基板である。第１の圧電性基板２Ａは第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂを有する。第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂは互いに対向している。なお、第１の圧電性基板２Ａは、圧電体層を含む積層基板であってもよい。

【0015】

図２は、第１の実施形態における第１の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的透視平面図である。図２においては、後述する配線電極以外の配線を省略している。図２以外の略図的平面図においても同様である。

【0016】

第１の圧電性基板２Ａにおいて、複数の弾性波共振子が構成されている。具体的には、第１の圧電性基板２Ａの第１の主面２ａに、複数の機能電極が設けられている。複数の弾性波共振子はそれぞれ、機能電極を含む。本実施形態では、第１の圧電性基板２Ａに設けられた各機能電極は、ＩＤＴ電極である。第１の圧電性基板２Ａにおいて構成された複数の弾性波共振子は、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子を含む。該複数の弾性波共振子により、第１のフィルタ１Ａが構成されている。第１のフィルタ１Ａの複数の弾性波共振子は、第１の弾性波共振子３Ａを含む。第１の弾性波共振子３Ａは、直列腕共振子であってもよく、並列腕共振子であってもよい。

【0017】

第１の圧電性基板２Ａの第１の主面２ａには、配線電極４が設けられている。配線電極４は、基準電位に接続される。本実施形態では、配線電極４は並列腕共振子に接続されている。なお、配線電極４は、並列腕共振子に接続されていなくともよい。

【0018】

第１の圧電性基板２Ａの第１の主面２ａに、支持体５が設けられている。支持体５は、第１の圧電性基板２Ａにおいて構成された複数の弾性波共振子を囲むように設けられている。より具体的には、支持体５は、第１の主面２ａに設けられた複数の機能電極を囲んでいる。本実施形態では、支持体５は枠状の形状を有する。もっとも、第１の主面２ａには、柱状の複数の支持体が、上記複数の弾性波共振子を囲むように設けられていてもよい。

【0019】

図１に戻り、支持体５上に第２の圧電性基板２Ｂが設けられている。第２の圧電性基板２Ｂは、圧電材料のみからなる基板である。第２の圧電性基板２Ｂは第３の主面２ｃ及び第４の主面２ｄを有する。第３の主面２ｃ及び第４の主面２ｄは互いに対向している。なお、第２の圧電性基板２Ｂは、圧電体層を含む積層基板であってもよい。

【0020】

図３は、第１の実施形態における第２の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的平面図である。図４は、第１の実施形態における第１の圧電性基板上、及び第２の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的透視平面図である。なお、上記図１は、図２、図３及び図４中のＩ－Ｉ線に沿う略図的断面図である。

【0021】

図３に示すように、第２の圧電性基板２Ｂにおいて、複数の弾性波共振子が構成されている。具体的には、第２の圧電性基板２Ｂの第３の主面２ｃに、複数の機能電極が設けられている。複数の弾性波共振子はそれぞれ、機能電極を含む。本実施形態では、第２の圧電性基板２Ｂに設けられた各機能電極は、ＩＤＴ電極である。第２の圧電性基板２Ｂにおいて構成された複数の弾性波共振子は、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子を含む。該複数の弾性波共振子により、第２のフィルタ１Ｂが構成されている。第２のフィルタ１Ｂの複数の弾性波共振子は、第２の弾性波共振子３Ｂを含む。

【0022】

本実施形態の特徴は、第２の弾性波共振子３Ｂが、第２のフィルタ１Ｂにおける全ての並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子であり、図４に示すように、平面視において、第２の弾性波共振子３Ｂと配線電極４とが重なっていることにある。もっとも、第２の弾性波共振子３Ｂは、第２のフィルタ１Ｂにおける全ての直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子であってもよい。複合フィルタ装置１０が上記の構成を有することによって、共振子の配置の自由度を損ねることなく、フィルタ特性における急峻性を高めることができる。これを以下において説明する。

【0023】

なお、本明細書において平面視とは、図１における上方に相当する方向から複合フィルタ装置１０を見ることをいう。図１においては、例えば、第１の圧電性基板２Ａ側及び第２の圧電性基板２Ｂ側のうち、第１の圧電性基板２Ａ側が上方である。本明細書において急峻性が高いとは、通過帯域の端部付近において、ある一定の減衰量の変化量に対して、周波数の変化量が小さいことをいう。

【0024】

第２のフィルタ１Ｂのようなラダー型フィルタにおいては、通過帯域を構成している並列腕共振子の反共振周波数が通過帯域内に位置している。一方で、該並列腕共振子の共振周波数は、通過帯域よりも低域側に位置している。なお、並列腕共振子における共振周波数が高いほど、該共振周波数は、ラダー型フィルタの通過帯域に近い。そのため、ラダー型フィルタの並列腕共振子のうち、共振周波数が最も高い並列腕共振子は、フィルタ特性における急峻性に対する影響が大きい。この並列腕共振子における共振周波数及び反共振周波数の差が小さい場合、通過帯域の低域側の端部付近において、急峻性が高くなる。

【0025】

そして、並列腕共振子などの弾性波共振子に、並列に容量部が接続されている構成においては、該弾性波共振子に該容量部の静電容量が付与されている。それによって、該弾性波共振子における共振周波数及び反共振周波数の差が小さくなる。ここで、本実施形態では、平面視において、第２の弾性波共振子３Ｂと配線電極４とが重なっている。よって、図１に示すように、第２の弾性波共振子３Ｂ及び配線電極４は互いに対向している。これにより、第２のフィルタ１Ｂの回路構成が、第２の弾性波共振子３Ｂに並列に容量部が接続された回路構成と等価な構成とされている。

【0026】

図５は、第１の実施形態における、第２の弾性波共振子を含む等価回路を示す模式的回路図である。

【0027】

上記のように、第２の弾性波共振子３Ｂ及び配線電極４は互いに対向している。それによって、第２の弾性波共振子３Ｂ及び配線電極４の間に、破線Ａにより示す容量結合が生じている。より具体的には、第２の弾性波共振子３Ｂにおける高い電位側、及び低い電位側の双方において容量結合が生じている。これにより、第２のフィルタ１Ｂの回路構成は、第２の弾性波共振子３Ｂに、容量部が並列に接続された回路構成と等価となる。そのため、第２の弾性波共振子３Ｂに静電容量が付与されている。それによって、第２の弾性波共振子３Ｂにおける共振周波数及び反共振周波数の差を小さくすることができる。これを、第２の弾性波共振子３Ｂ及び配線電極４が互いに対向している場合と、対向していない場合とにおいて、インピーダンス周波数特性を比較することにより示す。なお、第２の弾性波共振子３Ｂ及び配線電極４が対向していない場合を比較例とする。

【0028】

図６は、第１の実施形態及び比較例における、第２の弾性波共振子のインピーダンス周波数特性を示す図である。

【0029】

図６に示すように、第１の実施形態においては、比較例よりも第２の弾性波共振子３Ｂの共振周波数及び反共振周波数の差が小さくなっていることがわかる。そして、第２の弾性波共振子３Ｂは、第２のフィルタ１Ｂの並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い共振子である。よって、第１の実施形態では、第２のフィルタ１Ｂにおける通過帯域の低域側の端部付近において、急峻性を高めることができる。

【0030】

なお、図２に示すように、配線電極４は、第１のフィルタ１Ａにおける並列腕共振子を基準電位に接続するために用いることができる。このように、第１の実施形態では、容量部のみのための配線を設けずして、第２のフィルタ１Ｂの回路構成を、該容量部が第２の弾性波共振子３Ｂに並列に接続された構成と等価な回路構成とすることができる。従って、共振子の配置の自由度を損ねることなく、フィルタ特性における急峻性を高めることができる。

【0031】

以下において、本実施形態の構成をより詳細に説明する。

【0032】

図７は、第２の弾性波共振子の電極構成を示す透視平面図である。

【0033】

並列腕共振子である第２の弾性波共振子３Ｂは、ＩＤＴ電極１５と、１対の反射器１３及び反射器１４を有する。第２の圧電性基板２Ｂの第３の主面２ｃに、ＩＤＴ電極１５と、反射器１３及び反射器１４とが設けられている。

【0034】

ＩＤＴ電極１５は、１対のバスバーと、複数の電極指とを有する。１対のバスバーは、具体的には、第１のバスバー１６及び第２のバスバー１７である。第１のバスバー１６及び第２のバスバー１７は互いに対向している。複数の電極指は、具体的には、複数の第１の電極指１８及び複数の第２の電極指１９である。第１のバスバー１６に、複数の第１の電極指１８の一端がそれぞれ接続されている。第２のバスバー１７に、複数の第２の電極指１９の一端がそれぞれ接続されている。複数の第１の電極指１８及び複数の第２の電極指１９は互いに間挿し合っている。第１の電極指１８及び第２の電極指１９は、互いに異なる電位に接続される。

【0035】

以下においては、第１の電極指１８及び第２の電極指１９を、単に電極指と記載することがある。ＩＤＴ電極１５の複数の電極指が延びる方向を電極指延伸方向とする。１対の反射器は、電極指延伸方向と直交する方向において、ＩＤＴ電極１５を挟み互いに対向している。ＩＤＴ電極１５に交流電圧を印加することにより、弾性波が励振される。なお、本実施形態では、弾性波伝搬方向は、電極指延伸方向と直交する。

【0036】

第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂにおける、第２の弾性波共振子３Ｂ以外の各並列腕共振子及び各直列腕共振子も、第２の弾性波共振子３Ｂと同様に、ＩＤＴ電極及び１対の反射器を有する。第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂにおける各並列腕共振子及び各直列腕共振子は、弾性表面波共振子である。第２のフィルタ１Ｂの並列腕共振子及び直列腕共振子は、第２の圧電性基板２Ｂを共有している。他方、第１のフィルタ１Ａの並列腕共振子及び直列腕共振子は、第１の圧電性基板２Ａを共有している。

【0037】

本実施形態においては、図４に示す配線電極４は、平面視において、第２の弾性波共振子３Ｂにおける１対のバスバーの双方と重なっている。これにより、第２の弾性波共振子３Ｂに付与される静電容量を、より確実に大きくすることができる。よって、フィルタ特性における急峻性をより確実に、効果的に高くすることができる。なお、配線電極４は、平面視において、第２の弾性波共振子３Ｂの少なくとも一部と重なっていればよい。

【0038】

図１に示すように、第２の圧電性基板２Ｂを貫通するように、複数の貫通電極７Ａが設けられている。各貫通電極７Ａの一方端は支持体５に接続されている。支持体５は複数の金属層の積層体である。よって、支持体５は、貫通電極７Ａと電気的に接続されている。各貫通電極７Ａの他方端にはバンプ９が接合されている。

【0039】

図示しないが、支持体５には、第１のフィルタ１Ａの弾性波共振子または第２のフィルタ１Ｂの弾性波共振子が接続されている。よって、第１のフィルタ１Ａまたは第２のフィルタ１Ｂの弾性波共振子のうち一部は、支持体５、貫通電極７Ａ及びバンプ９を介して外部に電気的に接続される。なお、支持体５は、弾性波共振子に、必ずしも電気的に接続されていなくともよい。

【0040】

図２に示すように、第１の圧電性基板２Ａの第１の主面２ａには、複数の第１の電極パッド６Ａが設けられている。複数の第１の電極パッド６Ａは、平面視において、支持体５により囲まれている。図示しないが、第１の電極パッド６Ａには、第１のフィルタ１Ａの弾性波共振子が電気的に接続されている。なお、複数の第１の電極パッド６Ａは、弾性波共振子に電気的に接続されていない第１の電極パッド６Ａを含んでいてもよい。

【0041】

同様に、図３に示すように、第２の圧電性基板２Ｂの第３の主面２ｃには、複数の第２の電極パッド６Ｂが設けられている。複数の第２の電極パッド６Ｂは、平面視において、支持体５により囲まれている。図示しないが、第２の電極パッド６Ｂには、第２のフィルタ１Ｂの弾性波共振子が電気的に接続されている。なお、複数の第２の電極パッド６Ｂは、弾性波共振子に電気的に接続されていない第２の電極パッド６Ｂを含んでいてもよい。

【0042】

図８は、図２中のＩＩ－ＩＩ線に沿う略図的断面図である。

【0043】

複合フィルタ装置１０は複数の柱部材８を有する。第１の圧電性基板２Ａ及び第２の圧電性基板２Ｂは、支持体５と共に、複数の柱部材８によっても支持されている。柱部材８の一方端は、第１の圧電性基板２Ａに設けられた第１の電極パッド６Ａに接続されている。柱部材８の他方端は、第２の圧電性基板２Ｂに設けられた第２の電極パッド６Ｂに接続されている。各柱部材８は複数の金属層の積層体である。よって、第１の電極パッド６Ａ及び第２の電極パッド６Ｂは、柱部材８により、電気的に接続されている。

【0044】

第２の圧電性基板２Ｂを貫通するように、複数の貫通電極７Ｂが設けられている。各貫通電極７Ｂの一方端は第２の電極パッド６Ｂに接続されている。各貫通電極７Ｂの他方端にはバンプ９が接合されている。

【0045】

上記のように、複数の第１の電極パッド６Ａは、第１のフィルタ１Ａの弾性波共振子が接続された第１の電極パッド６Ａを含む。複数の第２の電極パッド６Ｂは、第２のフィルタ１Ｂの弾性波共振子が接続された第２の電極パッド６Ｂを含む。よって、第１のフィルタ１Ａ及び第２のフィルタ１Ｂの弾性波共振子のうち一部は、柱部材８、貫通電極７Ｂ及びバンプ９を介して外部に電気的に接続される。

【0046】

複数の貫通電極７Ｂは、第２の圧電性基板２Ｂではなく、第１の圧電性基板２Ａに設けられていてもよい。同様に、図１に示す複数の貫通電極７Ａも、第２の圧電性基板２Ｂではなく、第１の圧電性基板２Ａに設けられていてもよい。この場合において、第２の圧電性基板２Ｂの第３の主面２ｃに設けられた第２の弾性波共振子３Ｂと、配線電極４とが、平面視において重なっていてもよい。

【0047】

第１の実施形態のように、配線電極４が基準電位に接続されることが好ましい。この場合には、容量結合を介して、第２の弾性波共振子３Ｂから配線電極４に不要な信号が伝搬した場合に、該信号を外部の基準電位側に伝搬させることができる。それによって、減衰特性の劣化を抑制することができる。

【0048】

なお、配線電極４は、浮き電極であってもよい。浮き電極とは、信号電位及び基準電位のいずれにも接続されない電極である。

【0049】

上記のように、第１の圧電性基板２Ａ及び第２の圧電性基板２Ｂはそれぞれ、圧電材料のみからなる基板である。上記圧電材料としては、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、水晶、またはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などを用いることができる。

【0050】

もっとも、第１の圧電性基板２Ａ及び第２の圧電性基板２Ｂはそれぞれ、圧電体層を含む積層基板であってもよい。例えば、図９に示す第１の実施形態の変形例においては、第１の圧電性基板２２Ａは、第１の支持基板２３Ａ、第１の中間層２４Ａ及び第１の圧電体層２５Ａを有する。第１の支持基板２３Ａ上に第１の中間層２４Ａが設けられている。第１の中間層２４Ａ上に第１の圧電体層２５Ａが設けられている。

【0051】

第１の圧電性基板２２Ａの第１の主面２２ａは、第１の圧電性基板２２Ａにおける、最も第２の圧電性基板２２Ｂ側に位置している主面である。本変形例では、第１の圧電体層２５Ａの主面が第１の主面２２ａである。もっとも、第１の主面２２ａは、少なくとも第１の圧電体層２５Ａの主面を含んでいればよい。例えば、第１の主面２２ａは、第１の圧電体層２５Ａの主面、並びに第１の中間層２４Ａの主面または第１の支持基板２３Ａの主面を含んでいてもよい。

【0052】

第１の圧電性基板２２Ａの第２の主面２２ｂは、第１の主面２２ａと対向しており、かつ第１の圧電性基板２２Ａの最も外側に位置している主面である。よって、本変形例においては、第２の主面２２ｂは、第１の支持基板２３Ａの、第１の圧電性基板２２Ａにおける最も外側に位置している主面である。

【0053】

同様に、第２の圧電性基板２２Ｂは、第２の支持基板２３Ｂ、第２の中間層２４Ｂ及び第２の圧電性基板２５Ｂの積層基板である。第２の圧電性基板２２Ｂの第３の主面２２ｃは、第２の圧電性基板２２Ｂにおける、最も第１の圧電性基板２２Ａ側に位置している主面である。本変形例では、第２の圧電体層２５Ｂの主面が第３の主面２２ｃである。もっとも、第３の主面２２ｃは、少なくとも第２の圧電体層２５Ｂの主面を含んでいればよい。例えば、第３の主面２２ｃは、第２の圧電体層２５Ｂの主面、並びに第２の中間層２４Ｂの主面または第２の支持基板２３Ｂの主面を含んでいてもよい。

【0054】

第２の圧電性基板２２Ｂの第４の主面２２ｄは、第３の主面２２ｃと対向しており、かつ第２の圧電性基板２２Ｂの最も外側に位置している主面である。よって、本変形例においては、第４の主面２２ｄは、第２の支持基板２３Ｂの、第２の圧電性基板２２Ｂにおける最も外側に位置している主面である。

【0055】

第１の支持基板２３Ａ及び第２の支持基板２３Ｂの材料としては、例えば、シリコンなどの半導体や、酸化アルミニウムなどのセラミックスなどを用いることができる。第１の中間層２４Ａ及び第２の中間層２４Ｂの材料としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素または酸化タンタルなどの誘電体を用いることができる。なお、第１の中間層２４Ａ及び第２の中間層２４Ｂは、複数の誘電体層の積層体であってもよい。第１の圧電体層２５Ａ及び第２の圧電体層２５Ｂの材料としては、上記において、第１の実施形態における第１の圧電性基板２Ａ及び第２の圧電性基板２Ｂに用いられる例として挙げた圧電材料を用いることができる。

【0056】

なお、第１のフィルタ及び第２のフィルタは、縦結合共振子型弾性波フィルタを有していてもよい。この場合には、例えば、縦結合共振子型弾性波フィルタに、直列腕共振子及び並列腕共振子が電気的に接続されていてもよい。本発明においては、第１のフィルタ及び第２のフィルタがそれぞれ、少なくとも１つの直列腕共振子及び少なくとも１つの並列腕共振子を有していればよい。

【0057】

図１に戻り、第１の実施形態においては、第１のフィルタ１Ａの弾性波共振子は、全て第１の圧電性基板２Ａにおいて構成されている。一方で、第２のフィルタ１Ｂの弾性波共振子は、全て第２の圧電性基板２Ｂにおいて構成されている。もっとも、本発明においては、第１のフィルタの弾性波共振子の一部が、第２の圧電性基板において構成されていてもよい。第２のフィルタの弾性波共振子の一部が、第１の圧電性基板において構成されていてもよい。

【0058】

ところで、弾性表面波共振子同士の共振周波数は、電極指ピッチ及びデューティ比を用いて比較することができる。なお、電極指ピッチとは、互いに異なる電位に接続される、隣り合う電極指同士の、弾性波伝搬方向における中心間距離である。例えば、弾性表面波共振子同士の電極指の厚みが同じである場合には、電極指ピッチ及びデューティ比の積の逆数が大きい方の弾性表面波共振子の共振周波数が、他方の弾性表面波共振子の共振周波数よりも高い。

【0059】

第２のフィルタ１Ｂにおける全ての並列腕共振子において、第２の弾性波共振子３ＢにおけるＩＤＴ電極１５の電極指ピッチ及びデューティ比の積の逆数が最も大きいことが好ましい。それによって、第２のフィルタ１Ｂにおける全ての並列腕共振子において、第２の弾性波共振子３Ｂの共振周波数を、より確実に最も高くさせることができる。

【0060】

第１の圧電性基板２Ａの第１の主面２ａには、各弾性波共振子のＩＤＴ電極を覆うように、誘電体膜が設けられていてもよい。それによって、第１のフィルタ１Ａにおける各弾性波共振子が破損し難い。同様に、第２の圧電性基板２Ｂの第３の主面２ｃには、各弾性波共振子のＩＤＴ電極を覆うように、誘電体膜が設けられていてもよい。それによって、第２のフィルタ１Ｂの各弾性波共振子が破損し難い。なお、本発明における、第１の実施形態以外の構成においても、第１の面または第３の面に、機能電極を覆うように誘電体膜が設けられた構成を採用することができる。

【0061】

誘電体膜を有する弾性表面波共振子同士の誘電体膜の厚みが同じであり、かつ電極指の厚みが同じである場合には、電極指ピッチ及びデューティ比の積の逆数が大きい方の弾性表面波共振子の共振周波数が、他方の弾性表面波共振子の共振周波数よりも高い。

【0062】

以下において、第２の実施形態について説明する。なお、第２の実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様である。そのため、第２の実施形態の説明においては、第１の実施形態の説明に用いた図面を援用することとする。

【0063】

第２の実施形態は、図３に示す第２の弾性波共振子３Ｂが、第２のフィルタ１Ｂにおける全ての直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子である点において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、第２の実施形態の複合フィルタ装置は、第１の実施形態の複合フィルタ装置１０と同様の構成を有する。

【0064】

第２のフィルタ１Ｂのようなラダー型フィルタにおいては、通過帯域を構成している直列腕共振子の共振周波数が通過帯域内に位置している。一方で、該直列腕共振子の反共振周波数は、通過帯域よりも高域側に位置している。なお、直列腕共振子における反共振周波数が低いほど、該反共振周波数は通過帯域に近い。そのため、ラダー型フィルタの直列腕共振子のうち、共振周波数が最も低く、反共振周波数が低い直列腕共振子は、フィルタ特性における急峻性に対する影響が大きい。この直列腕共振子における共振周波数及び反共振周波数の差が小さい場合、通過帯域の高域側付近において、急峻性が高くなる。

【0065】

そして、第１の実施形態と同様に、平面視において、第２の弾性波共振子３Ｂと配線電極４とが重なっている。それによって、第２の弾性波共振子３Ｂに静電容量が付与されている。これにより、第２の弾性波共振子３Ｂにおける共振周波数及び反共振周波数の差を小さくすることができる。よって、第２のフィルタ１Ｂにおける通過帯域の高域側の端部付近において、急峻性を高めることができる。さらに、容量部のみのための配線を設けずして、第２のフィルタ１Ｂの回路構成を、該容量部が第２の弾性波共振子３Ｂに並列に接続された構成と等価な回路構成とすることができる。従って、共振子の配置の自由度を損ねることなく、フィルタ特性における急峻性を高めることができる。

【0066】

第２のフィルタ１Ｂにおける全ての直列腕共振子において、第２の弾性波共振子３ＢにおけるＩＤＴ電極１５の電極指ピッチ及びデューティ比の積の逆数が最も小さいことが好ましい。それによって、第２のフィルタ１Ｂにおける全ての直列腕共振子において、第２の弾性波共振子３Ｂの共振周波数を、より確実に最も低くさせることができる。

【0067】

第２のフィルタ１Ｂにおける全ての直列腕共振子において、第２の弾性波共振子３ＢにおけるＩＤＴ電極１５の電極指ピッチが最も広いことが好ましい。それによって、第２のフィルタ１Ｂにおける全ての直列腕共振子において、第２の弾性波共振子３Ｂの反共振周波数を、より確実に最も低くさせることができる。

【0068】

本発明においては、第２の弾性波共振子３Ｂが、第２のフィルタ１Ｂにおける全ての並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子、及び第２のフィルタ１Ｂにおける全ての直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子のうち一方であればよい。この第２の弾性波共振子３Ｂと配線電極４とが、平面視において重なっていればよい。

【0069】

図１０は、第３の実施形態に係る複合フィルタ装置の略図的正面断面図である。

【0070】

本実施形態は、第１の圧電性基板２Ａ及び配線電極４の間に絶縁膜３６が設けられている点において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の複合フィルタ装置は第１の実施形態の複合フィルタ装置１０と同様の構成を有する。

【0071】

具体的には、第１の圧電性基板２Ａの第１の主面２ａに絶縁膜３６が設けられている。絶縁膜３６は、第１の圧電性基板２Ａの第１の主面２ａ、第２の圧電性基板２Ｂの第３の主面２ｃ及び支持体５により囲まれた空間内に位置している。本実施形態では、絶縁膜３６は、第１の圧電性基板２Ａにおいて構成された弾性波共振子には至らないように設けられている。そして、絶縁膜３６上に、配線電極４の一部が設けられている。平面視において、配線電極４における絶縁膜３６上に設けられている部分と、第２の弾性波共振子３Ｂとが重なっている。それによって、第２の弾性波共振子３Ｂと、配線電極４との間の距離を短くすることができる。

【0072】

ここで、第１の実施形態と同様に、第２のフィルタの回路構成は、第２の弾性波共振子３Ｂに並列に容量部が接続された構成と等価である。上記のように、第２の弾性波共振子３Ｂと、配線電極４との間の距離を短くすることができるため、上記容量部の静電容量を、効果的に大きくすることができる。よって、第２の弾性波共振子３Ｂに付与される静電容量を効果的に大きくすることができる。従って、フィルタ特性における急峻性を効果的に高くすることができる。

【0073】

なお、絶縁膜３６上に配線電極４の全ての部分が設けられていてもよい。配線電極４の少なくとも一部が、絶縁膜３６上に設けられていればよい。絶縁膜３６の配置は特に限定されない。例えば、平面視したときに、絶縁膜３６と、第１の圧電性基板２Ａにおいて構成された弾性波共振子とが重なっていても構わない。絶縁膜３６の材料としては、適宜の無機絶縁体を用いてもよく、適宜の樹脂を用いてもよい。

【0074】

以下においては、図１などに示した、第１の圧電性基板２Ａに設けられた上記配線電極４を第１の配線電極とする。

【0075】

図１１は、第４の実施形態に係る複合フィルタ装置の略図的正面断面図である。図１２は、第４の実施形態における第２の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的平面図である。図１３は、図１２中のＩ－Ｉ線に沿う略図的断面図である。図１４は、第４の実施形態における第１の圧電性基板上、及び第２の圧電性基板上の電極構成を示す、略図的透視平面図である。なお、図１１は、図１２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う略図的断面図である。

【0076】

図１１に示すように、本実施形態の複合フィルタ装置４０は、第１のフィルタ４１Ａ及び第２のフィルタ４１Ｂを有する。本実施形態は、第１の弾性波共振子３Ａが、第１のフィルタ４１Ａにおける全ての並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子である点において、第１の実施形態と異なる。図１２に示すように、本実施形態は、第２の圧電性基板２Ｂ上における配線の配置においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の複合フィルタ装置４０は第１の実施形態の複合フィルタ装置１０と同様の構成を有する。

【0077】

図１３に示すように、第１のフィルタ４１Ａにおける第１の圧電性基板２Ａの第１の主面２ａには、第１の配線電極４４Ａが設けられている。ここで、第１のフィルタ４１Ａにおける配線の配置は、図２に示した第１の実施形態の第１のフィルタ１Ａにおける配線の配置と同じである。よって、図１３に示す第１の配線電極４４Ａは、第１の実施形態の配線電極４と同様に配置されている。平面視において、第１の配線電極４４Ａは、第２の弾性波共振子３Ｂと重なっている。

【0078】

図１２に示すように、第２の圧電性基板２Ｂの第３の主面２ｃには、第２の配線電極４４Ｂが設けられている。本実施形態では、第２の配線電極４４Ｂは基準電位に接続される。なお、第２の配線電極４４Ｂは浮き電極であってもよい。

【0079】

図１４に示すように、平面視において、第２の配線電極４４Ｂは、第１の弾性波共振子３Ａと重なっている。これにより、第１のフィルタ４１Ａの回路構成は、第１の弾性波共振子３Ａに容量部が並列に接続された構成と等価な回路構成とされている。そのため、第１の弾性波共振子３Ａの共振周波数及び反共振周波数の差が小さくなっている。そして、本実施形態においては、第１の弾性波共振子３Ａは、第１のフィルタ４１Ａにおける全ての並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子である。よって、第１のフィルタ４１Ａにおける通過帯域の低域側の端部付近において、急峻性を高めることができる。

【0080】

なお、第２の配線電極４４Ｂは、第２のフィルタ４１Ｂにおける並列腕共振子及び基準電位を接続するために用いることができる。このように、本実施形態では、容量部のみのための配線を設けずして、第１のフィルタ４１Ａの回路構成を、該容量部が第１の弾性波共振子３Ａに並列に接続された構成と等価な回路構成とすることができる。従って、共振子の配置の自由度を損ねることなく、第１のフィルタ４１Ａのフィルタ特性における急峻性を高めることができる。

【0081】

加えて、平面視において、第１の配線電極４４Ａ及び第２の弾性波共振子３Ｂが重なっている。それによって、第１の実施形態と同様に、共振子の配置の自由度を損ねることなく、第２のフィルタ４１Ｂのフィルタ特性における急峻性を高めることができる。以上のように、本実施形態では、第１のフィルタ４１Ａ及び第２のフィルタ４１Ｂの双方のフィルタ特性における急峻性を高めることができる。

【0082】

ところで、第１の弾性波共振子３ＡはＩＤＴ電極を有する。該ＩＤＴ電極の１対のバスバーの双方が、平面視において第２の配線電極４４Ｂと重なっていることが好ましい。それによって、第１の弾性波共振子３Ａに付与される静電容量を、より確実に大きくすることができる。よって、フィルタ特性における急峻性をより確実に、効果的に高くすることができる。もっとも、第２の配線電極４４Ｂは、平面視において、第１の弾性波共振子３Ａの少なくとも一部と重なっていればよい。

【0083】

以下において、第５の実施形態について説明する。なお、第５の実施形態の基本的な構成は第４の実施形態と同様である。そのため、第５の実施形態の説明においては、第４の実施形態の説明に用いた図面を援用することとする。

【0084】

第５の実施形態は、図１２に示す第２の弾性波共振子３Ｂが、第２のフィルタ４１Ｂにおける全ての直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子である点において、第４の実施形態と異なる。上記の点以外においては、第５の実施形態の複合フィルタ装置は第４の実施形態の複合フィルタ装置４０と同様の構成を有する。

【0085】

第２の弾性波共振子３Ｂは、第２のフィルタ４１Ｂにおける、共振周波数が最も低い直列腕共振子であるため、反共振周波数も低い。上述したように、直列腕共振子における反共振周波数が低いほど、通過帯域の高域側の端部付近における急峻性に対する影響が大きい。そして、反共振周波数が低い直列腕共振子において、共振周波数及び反共振周波数の差が小さい場合には、上記急峻性が特に高くなる。

【0086】

図１１に示すように、平面視において、第１の弾性波共振子３Ａと第２の配線電極４４Ｂとが重なっている。それによって、第１のフィルタ４１Ａの回路構成が、第１の弾性波共振子３Ａに容量部が並列に接続された構成と等価な回路構成とされている。これにより、第１の弾性波共振子３Ａの共振周波数及び反共振周波数の差を小さくすることができる。よって、第１のフィルタ４１Ａにおける通過帯域の高域側の端部付近において、急峻性を高めることができる。さらに、容量部のみのための配線を設けずして、第１のフィルタ４１Ａの回路構成を、該容量部が第１の弾性波共振子３Ａに並列に接続された構成と等価な回路構成とすることができる。従って、共振子の配置の自由度を損ねることなく、フィルタ特性における急峻性を高めることができる。

【0087】

加えて、図１３に示すように、平面視において、第１の配線電極４４Ａ及び第２の弾性波共振子３Ｂが重なっている。それによって、第４の実施形態と同様に、共振子の配置の自由度を損ねることなく、第２のフィルタ４１Ｂのフィルタ特性における急峻性を高めることができる。

【0088】

第１の弾性波共振子３Ａが、第１のフィルタ４１Ａにおける全ての並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子、及び第１のフィルタ４１Ａにおける全ての直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子のうち一方であることが好ましい。それによって、第４の実施形態及び第５の実施形態のように、第２のフィルタ４１Ｂのフィルタ特性における急峻性に加えて、第１のフィルタ４１Ａのフィルタ特性における急峻性を高めることができる。

【0089】

以下において、本発明に係る複合フィルタ装置の形態の例をまとめて記載する。

【0090】

＜１＞少なくとも１つの直列腕共振子及び少なくとも１つの並列腕共振子をそれぞれ含む、第１のフィルタ及び第２のフィルタを備える複合フィルタ装置であって、互いに対向している第１の主面及び第２の主面を有する第１の圧電性基板と、前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に設けられている機能電極を含み、前記第１のフィルタに含まれる第１の弾性波共振子と、前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に設けられており、信号電位に接続されない、配線電極と、前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に、前記第１の弾性波共振子を囲むように設けられている支持体と、前記支持体上に設けられており、前記支持体側に位置している第３の主面、及び前記第３の主面と対向している第４の主面を有する第２の圧電性基板と、前記第２の圧電性基板の前記第３の主面に設けられている機能電極を含み、前記第２のフィルタに含まれる第２の弾性波共振子と、を備え、前記第１の圧電性基板の前記第１の主面、前記第２の圧電性基板の前記第３の主面及び前記支持体により囲まれた空間が構成されており、該空間内に前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が位置しており、前記第２の弾性波共振子が、前記第２のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子、及び前記第２のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子のうち一方であり、平面視において、前記第２の弾性波共振子と前記配線電極とが重なっている、複合フィルタ装置。

【0091】

＜２＞前記第２の弾性波共振子が、前記第２のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子である、＜１＞に記載の複合フィルタ装置。

【0092】

＜３＞前記第２の弾性波共振子が、前記第２のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子である、＜１＞に記載の複合フィルタ装置。

【0093】

＜４＞前記配線電極が、基準電位に接続される、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の複合フィルタ装置。

【0094】

＜５＞前記配線電極が、基準電位及び信号電位に接続されない、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の複合フィルタ装置。

【0095】

＜６＞前記第２の弾性波共振子の前記機能電極が、１対のバスバー及び複数の電極指を含むＩＤＴ電極であり、平面視において、前記配線電極が、前記１対のバスバーの双方と重なっている、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の複合フィルタ装置。

【0096】

＜７＞前記第１の圧電性基板の前記第１の主面に設けられている絶縁膜をさらに備え、前記配線電極の少なくとも一部が、前記絶縁膜上に設けられており、平面視において、前記配線電極における前記絶縁膜上に設けられている部分と、前記第２の弾性波共振子とが重なっている、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の複合フィルタ装置。

【0097】

＜８＞前記配線電極が第１の配線電極であり、前記第２の圧電性基板の前記第３の主面に設けられており、信号電位に接続されない、第２の配線電極をさらに備え、前記第１の弾性波共振子が、前記第１のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子、及び前記第１のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子のうち一方であり、平面視において、前記第１の弾性波共振子と前記第２の配線電極とが重なっている、＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の複合フィルタ装置。

【0098】

＜９＞前記第１の弾性波共振子が、前記第１のフィルタにおける全ての前記並列腕共振子のうち共振周波数が最も高い並列腕共振子である、＜８＞に記載の複合フィルタ装置。

【0099】

＜１０＞前記第１の弾性波共振子が、前記第１のフィルタにおける全ての前記直列腕共振子のうち共振周波数が最も低い直列腕共振子である、＜８＞に記載の複合フィルタ装置。

【符号の説明】

【0100】

１Ａ，１Ｂ…第１，第２のフィルタ
２Ａ，２Ｂ…第１，第２の圧電性基板
２ａ～２ｄ…第１～第４の主面
３Ａ，３Ｂ…第１，第２の弾性波共振子
４…配線電極
５…支持体
６Ａ，６Ｂ…第１，第２の電極パッド
７Ａ，７Ｂ…貫通電極
８…柱部材
９…バンプ
１０…複合フィルタ装置
１３，１４…反射器
１５…ＩＤＴ電極
１６，１７…第１，第２のバスバー
１８，１９…第１，第２の電極指
２２Ａ，２２Ｂ…第１，第２の圧電性基板
２２ａ～２２ｄ…第１～第４の主面
２３Ａ，２３Ｂ…第１，第２の支持基板
２４Ａ，２４Ｂ…第１，第２の中間層
２５Ａ，２５Ｂ…第１，第２の圧電体層
３６…絶縁膜
４０…複合フィルタ装置
４１Ａ，４１Ｂ…第１，第２のフィルタ
４４Ａ，４４Ｂ…第１，第２の配線電極

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】