特開 2024-42856 表面検査支援装置及び表面検査支援方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024042856

(43)【公開日】2024-03-29

(54)【発明の名称】表面検査支援装置及び表面検査支援方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/88 20060101AFI20240322BHJP

【ＦＩ】

G01N21/88 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022147766

(22)【出願日】2022-09-16

(71)【出願人】

【識別番号】515086908

【氏名又は名称】株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング

(74)【代理人】

【識別番号】100114306

【弁理士】

【氏名又は名称】中辻 史郎

(74)【代理人】

【識別番号】100148655

【弁理士】

【氏名又は名称】諏訪 淳一

(72)【発明者】

【氏名】藤崎 琴音

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA07

2G051AB02

2G051BA08

2G051CA04

2G051CB01

2G051CC07

2G051CC09

2G051CD02

2G051ED21

(57)【要約】      （修正有）

【課題】部品の表面や塗装面の光学異方性を効率よく検査する。
【解決手段】部品表面に光を照射する光源と、部品表面で反射された正反射光及び拡散反射光が入射する第１凸レンズと、第１凸レンズから出射した正反射光を透遮光するための正反射用領域、及び拡散反射光を透遮光するための複数の拡散反射用領域が形成されたフィルタ面を有し、複数の拡散反射用領域がそれぞれフィルタ面の面内で角度を変えて帯状に形成されているフィルタと、フィルタの正反射用領域及び複数の拡散反射用領域を透光状態又は遮光状態に切り換える切換制御を実行して、正反射用領域に対応する正反射光と複数の拡散反射用領域それぞれに対応する拡散反射光とを順にフィルタを透過させ、フィルタを透過した正反射光及び拡散反射光を受光し、正反射光、及び複数の拡散反射光に基づいて得られる、部品表面の光拡散ベクトル方向に係る情報を、所定の表示部に表示する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品表面の光学異方性の検査を支援する表面検査支援装置であって、
前記部品表面に光を照射する光源と、
前記光源からの光を受けて前記部品表面が反射した正反射光及び拡散反射光が入射する第１凸レンズと、
前記第１凸レンズから出射した正反射光を透遮光するための正反射用領域、及び前記第１凸レンズから出射した拡散反射光を透遮光するための複数の拡散反射用領域が形成されたフィルタ面を有し、前記複数の拡散反射用領域がそれぞれ前記フィルタ面の面内で角度を変えて帯状に形成されているフィルタと、
前記フィルタの正反射用領域及び複数の拡散反射用領域を透光状態又は遮光状態に切り換える切換制御を実行して、前記正反射用領域に対応する正反射光と前記複数の拡散反射用領域それぞれに対応する拡散反射光とを順に前記フィルタを透過させるフィルタ制御部と、
前記フィルタを透過した正反射光及び拡散反射光が入射する第２凸レンズと、
前記第２凸レンズから出射した正反射光及び拡散反射光を受光する撮像センサと、
前記フィルタの正反射用領域を経て前記撮像センサに到達した正反射光、及び前記フィルタの各拡散反射用領域を経て前記撮像センサに到達した複数の拡散反射光に基づいて得られる、前記部品表面の光拡散ベクトル方向に係る情報を、所定の表示部に表示する表示制御を実行する表示制御部と
を備えることを特徴とする表面検査支援装置。

【請求項2】

前記第１凸レンズ及び前記第２凸レンズによりテレセントリック光学系が構成されていることを特徴とする請求項１に記載の表面検査支援装置。

【請求項3】

前記フィルタは、電気制御によって透光状態と遮光状態とを切換可能な液晶型の調光フィルタであることを特徴とする請求項１に記載の表面検査支援装置。

【請求項4】

前記複数の拡散反射用領域は、前記第１凸レンズ、前記第２凸レンズ及び前記撮像センサの光軸に垂直な前記フィルタ面の面内において、前記正反射用領域を中心に所定角度毎に放射状に形成された帯状領域であることを特徴とする請求項１に記載の表面検査支援装置。

【請求項5】

前記フィルタ面の面内において前記正反射用領域の中心を通る直線を０度として、０度、４５度、９０度、１３５度の各方向に前記拡散反射用領域が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の表面検査支援装置。

【請求項6】

前記フィルタ制御部は、隣接する２つの拡散反射用領域の一部が前記正反射用領域近傍で重複する領域をオーバーラップ領域として、前記隣接する２つの拡散反射用領域それぞれを透光状態に切り換える際に前記オーバーラップ領域を透光状態に切り換えることを特徴とする請求項４に記載の表面検査支援装置。

【請求項7】

前記フィルタの複数の拡散反射用領域それぞれを透過した拡散反射光を受けて前記撮像センサが生成する複数の画像に基づいて、前記拡散反射光の光拡散ベクトル方向を算出する光拡散ベクトル方向算出部と、
前記光拡散ベクトル方向算出部が算出した光拡散ベクトル方向を示す画像を生成する画像生成部と
をさらに備え、
前記表示制御部は、前記画像生成部が生成した画像の表示制御を実行する
ことを特徴とする請求項１に記載の表面検査支援装置。

【請求項8】

前記光拡散ベクトル方向算出部は、複数の拡散反射用領域から得られた各画像の対応する画素位置の画素値に基づいて、前記画素位置における拡散反射光の光拡散ベクトル方向を算出することを特徴とする請求項７に記載の表面検査支援装置。

【請求項9】

前記画像生成部は、光拡散ベクトルを線分で結ぶことによって、光拡散ベクトル方向を示す画像を生成することを特徴とする請求項７に記載の表面検査支援装置。

【請求項10】

前記光拡散ベクトル方向算出部は、前記フィルタの正反射用領域を透過した正反射光の強度が所定の閾値以上である画素位置で光拡散ベクトル方向を算出することを特徴とする請求項７に記載の表面検査支援装置。

【請求項11】

前記光源からの光の照射方向を変更するために前記光源の位置及び／又は角度を変更する制御を実行する光源制御部と、
前記光源から照射された光を受ける方向を変更するために前記部品の位置及び／又は角度を変更する制御を実行する部品制御部と
の少なくともいずれか一方をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の表面検査支援装置。

【請求項12】

部品表面の光学異方性の検査を支援する表面検査支援方法であって、
光源から前記部品表面に光を照射する工程と、
前記光源からの光を受けて前記部品表面で反射された正反射光及び拡散反射光を第１凸レンズに受ける工程と、
前記第１凸レンズから出射した正反射光を透遮光するための正反射用領域、及び前記第１凸レンズから出射した拡散反射光を透遮光するための複数の拡散反射用領域が形成されたフィルタ面を有し、前記複数の拡散反射用領域がそれぞれ前記フィルタ面の面内で角度を変えて帯状に形成されているフィルタにおいて、前記正反射用領域及び前記複数の拡散反射用領域を透光状態又は遮光状態に切り換える切換制御を実行して、前記正反射用領域に対応する正反射光と前記複数の拡散反射用領域それぞれに対応する拡散反射光とを順に前記フィルタを透過させる工程と、
前記フィルタを透過した正反射光及び拡散反射光を第２凸レンズに受ける工程と、
前記第２凸レンズから出射した正反射光及び拡散反射光を撮像センサに受ける工程と、
前記フィルタの正反射用領域を経て前記撮像センサに到達した正反射光、及び前記フィルタの各拡散反射用領域を経て前記撮像センサに到達した複数の拡散反射光に基づいて得られる、前記部品表面の光拡散ベクトル方向に係る情報を、所定の表示部に表示する工程と
を含むことを特徴とする表面検査支援方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、部品の表面の検査を支援するための表面検査支援装置及び表面検査支援方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、様々な分野で、部品の表面を検査する表面検査が行われている。例えば、射出成形部品の製造時に、部品の表面やその塗装面の品質に問題がないかを調べる部品検査が行われる。金型を利用して射出成形部品を製造する際、金型内の溶融樹脂の合流部分が線状の跡となって部品表面に残ることがある。この跡はウェルドラインと呼ばれ、成形不良とみなされる場合がある。ウェルドラインがあると部品表面に光学異方性が生じ、見る角度によって色合いが異なって見えるため、外観不良とみなされる場合もある。ウェルドラインによって部品表面に光学異方性が生ずることから、部品表面の光学異方性に基づいてウェルドラインの有無、すなわち成形不良や外観不良の有無を調べる部品検査を行うこができる。

【0003】

例えば、特許文献１には、レンズ及びカラーフィルタを含むテレセントリック光学系を利用して、物体表面における光の散乱角を調べる技術が開示されている。カラーフィルタは、透過可能な光の波長域が異なる同心円状の複数の領域から構成されており、物体表面に白色光を照射して撮像すると、光の散乱角に応じて撮像画像に表れる光線の色が変化する。撮像画像に表れる光の色に基づいて散乱角を特定することにより、物体表面における光学異方性の有無を調べることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－２０３７９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記特許文献１の技術は、同心円状に形成されたフィルタ領域を利用して光の散乱角を調べるもので、光のベクトル方向を調べるものではない。部品表面で反射された拡散反射光のベクトル方向を光拡散ベクトル方向として特定することができれば、ウェルドラインの位置や形状に係る有用な情報として検査に利用することができる。このため、光拡散ベクトル方向を特定可能な、効率のよい光学異方性の検査を実現することが望まれていた。

【0006】

本開示は、上記従来の課題に鑑みてなされたものであって、部品の表面や塗装面の光学異方性を効率よく検査することができる表面検査支援装置及び表面検査支援方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示に係る表面検査支援装置は、部品表面の光学異方性の検査を支援する表面検査支援装置であって、前記部品表面に光を照射する光源と、前記光源からの光を受けて前記部品表面で反射された正反射光及び拡散反射光が入射する第１凸レンズと、前記第１凸レンズから出射した正反射光を透遮光するための正反射用領域、及び前記第１凸レンズから出射した拡散反射光を透遮光するための複数の拡散反射用領域が形成されたフィルタ面を有し、前記複数の拡散反射用領域がそれぞれ前記フィルタ面の面内で角度を変えて帯状に形成されているフィルタと、前記フィルタの正反射用領域及び複数の拡散反射用領域を透光状態又は遮光状態に切り換える切換制御を実行して、前記正反射用領域に対応する正反射光と前記複数の拡散反射用領域それぞれに対応する拡散反射光とを順に前記フィルタを透過させるフィルタ制御部と、前記フィルタを透過した正反射光及び拡散反射光が入射する第２凸レンズと、前記第２凸レンズから出射した正反射光及び拡散反射光を受光する撮像センサと、前記フィルタの正反射用領域を経て前記撮像センサに到達した正反射光、及び前記フィルタの各拡散反射用領域を経て前記撮像センサに到達した複数の拡散反射光に基づいて得られる、前記部品表面の光拡散ベクトル方向に係る情報を、所定の表示部に表示する表示制御を実行する表示制御部とを備える。

【0008】

上記構成において、前記第１凸レンズ及び前記第２凸レンズによりテレセントリック光学系が構成されていてもよい。

【0009】

上記構成において、前記フィルタは、電気制御によって透光状態と遮光状態とを切換可能な液晶型の調光フィルタであってもよい。

【0010】

上記構成において、前記複数の拡散反射用領域は、前記第１凸レンズ、前記第２凸レンズ及び前記撮像センサの光軸に垂直な前記フィルタ面の面内において、前記正反射用領域を中心に所定角度毎に放射状に形成された帯状領域であってもよい。

【0011】

上記構成において、前記フィルタ面の面内において前記正反射用領域の中心を通る直線を０度として、０度、４５度、９０度、１３５度の各方向に前記拡散反射用領域が形成されていてもよい。

【0012】

上記構成において、前記フィルタ制御部は、隣接する２つの拡散反射用領域の一部が前記正反射用領域近傍で重複する領域をオーバーラップ領域として、前記隣接する２つの拡散反射用領域それぞれを透光状態に切り換える際に前記オーバーラップ領域を透光状態に切り換えてもよい。

【0013】

上記構成において、前記フィルタの複数の拡散反射用領域それぞれを透過した拡散反射光を受けて前記撮像センサが生成する複数の画像に基づいて、前記拡散反射光の光拡散ベクトル方向を算出する光拡散ベクトル方向算出部と、前記光拡散ベクトル方向算出部が算出した光拡散ベクトル方向を示す画像を生成する画像生成部とをさらに備え、前記表示制御部は、前記画像生成部が生成した画像の表示制御を実行してもよい。

【0014】

上記構成において、前記光拡散ベクトル方向算出部は、複数の拡散反射用領域から得られた各画像の対応する画素位置の画素値に基づいて、前記画素位置における前記拡散反射光の光拡散ベクトル方向を算出してもよい。

【0015】

上記構成において、前記画像生成部は、光拡散ベクトルを線分で結ぶことによって、光拡散ベクトル方向を示す画像を生成してもよい。

【0016】

上記構成において、前記光拡散ベクトル方向算出部は、前記フィルタの正反射用領域を透過した正反射光の強度が所定の閾値以上である画素位置で光拡散ベクトル方向を算出してもよい。

【0017】

上記構成において、前記光源からの光の照射方向を変更するために前記光源の位置及び／又は角度を変更する制御を実行する光源制御部と、前記光源から照射された光を受ける方向を変更するために前記部品の位置及び／又は角度を変更する制御を実行する部品制御部との少なくともいずれか一方をさらに備えていてもよい。

【0018】

本開示に係る表面検査支援方法は、部品表面の光学異方性の検査を支援する表面検査支援方法であって、光源から前記部品表面に光を照射する工程と、前記光源からの光を受けて前記部品表面で反射された正反射光及び拡散反射光を第１凸レンズに受ける工程と、前記第１凸レンズから出射した正反射光を透遮光するための正反射用領域、及び前記第１凸レンズから出射した拡散反射光を透遮光するための複数の拡散反射用領域が形成されたフィルタ面を有し、前記複数の拡散反射用領域がそれぞれ前記フィルタ面の面内で角度を変えて帯状に形成されているフィルタにおいて、前記正反射用領域及び前記複数の拡散反射用領域を透光状態又は遮光状態に切り換える切換制御を実行して、前記正反射用領域に対応する正反射光と前記複数の拡散反射用領域それぞれに対応する拡散反射光とを順に前記フィルタを透過させる工程と、前記フィルタを透過した正反射光及び拡散反射光を第２凸レンズに受ける工程と、前記第２凸レンズから出射した正反射光及び拡散反射光を撮像センサに受ける工程と、前記フィルタの正反射用領域を経て前記撮像センサに到達した正反射光、及び前記フィルタの各拡散反射用領域を経て前記撮像センサに到達した複数の拡散反射光に基づいて得られる、前記部品表面の光拡散ベクトル方向に係る情報を、所定の表示部に表示する工程とを含む。

【発明の効果】

【0019】

本開示に係る表面検査支援装置及び表面検査支援方法を利用すれば、部品の表面や塗装面の光学異方性を調べて光拡散ベクトル方向に係る情報を表示部に表示させることができるので、効率よく部品を検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】図１は、表面検査支援装置の構成例を説明するための図である。

【図2】図２は、フィルタの構成を説明するための図である。

【図3】図３は、フィルタの制御方法を説明するための図である。

【図4】図４は、フィルタの他の構成例を示す図である。

【図5】図５は、撮像カメラによる正反射光の撮像方法を説明するための図である。

【図6】図６は、撮像カメラによる拡散反射光の撮像方法を説明するための図である。

【図7】図７は、検査対象物表面の検査画像を取得する方法を説明するための図である。

【図8】図８は、表面検査支援装置が生成する光拡散ベクトル方向画像の例を説明するための図である

【図9】図９は、表面検査支援装置で行われる処理の流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、添付図面を参照しながら、本開示に係る表面検査支援装置及び表面検査支援方法の実施の形態について説明する。図１は、本実施形態に係る表面検査支援装置１０の構成を説明するための図である。表面検査支援装置１０は、光源１５から検査対象物１００に光を照射して、表面Ｓで反射された正反射光及び拡散反射光を、物体側テレセントリック性を有する撮像カメラ１６に受光する。表面検査支援装置１０は、撮像カメラ１６に受光した正反射光及び拡散反射光に基づいて、表面Ｓにおける拡散反射光のベクトル方向を示す光拡散ベクトル方向を算出し、算出した光拡散ベクトル方向に関する情報を表示部１２に表示することができる。検査対象物１００の種類及び検査目的は特に限定されないが、例えば、樹脂成形部品を検査対象物１００として、表面Ｓに生じたウェルドラインを調べるために検査が行われる。

【0022】

図１に示すように、表面検査支援装置１０は、光源１５及び撮像カメラ１６を有する。光源１５は、検査対象物１００の表面Ｓに平行光を照射する白色光源である。光源１５、検査対象物１００の表面Ｓ、及び撮像カメラ１６は、光源１５から照射されて検査対象物１００の表面Ｓで反射された正反射光が、撮像カメラ１６の光軸に対して平行になる位置関係で配置されている。

【0023】

撮像カメラ１６は、大口径の凸レンズ２０と、凸レンズ２０の像側焦点位置に配置されたフィルタ３０と、フィルタ３０を透過した光を受けて撮像する撮像センサ４０とを含む。撮像カメラ１６は、凸レンズ２０を第１の凸レンズとして、さらに、フィルタ３０を透過した光を撮像センサ４０に結像する第２の凸レンズである絞り凸レンズ５０を含むが（図５参照）、これについては後述する。表面検査支援装置１０は、撮像カメラ１６の光学系が、物体側テレセントリック光学系を構成し、検査対象物１００の表面Ｓを広範囲かつ詳細に検査できる点に１つの特徴を有している。

【0024】

凸レンズ２０の大きさは検査対象物１００の大きさ、形状、検査目的等に応じて決定されるが、例えば、直径数十センチ程度の大口径レンズが使用される。フィルタ３０のサイズは、凸レンズ２０に応じて決定されるが、例えば、直径数十センチの凸レンズ２０に対して直径５～６ｃｍ程度のフィルタ３０が使用される。なお、凸レンズ２０及びフィルタ３０の形状は円形に限定されず、矩形等の他の形状であってもよい。

【0025】

図１に示すように、表面検査支援装置１０は、入力部１１、表示部１２、記憶部１３及び制御部１４を含む。入力部１１は、マウス、キーボード等の入力装置で、指示操作等の各種情報の入力を受け付ける。表示部１２は、液晶ディスプレイ等の表示装置で、検査結果等の各種情報を表示する。記憶部１３は、ハードディスク装置、不揮発性メモリ等の記憶装置で、表面検査支援装置１０の動作に必要な各種情報を記憶する。制御部１４は、光源１５、撮像カメラ１６及び表面検査支援装置１０を制御する。制御部１４による制御により、本実施形態に記載する表面検査支援装置１０の機能及び動作が実現されている。

【0026】

制御部１４は、画像取得処理部１４ａ、光拡散ベクトル方向算出部１４ｂ、画像生成部１４ｃ、表示制御部１４ｄ及びフィルタ制御部１４ｅを含む。例えば、記憶部１３が記憶するプログラムをＣＰＵにロードして実行することによって、画像取得処理部１４ａ、光拡散ベクトル方向算出部１４ｂ、画像生成部１４ｃ、表示制御部１４ｄ及びフィルタ制御部１４ｅが実現される。

【0027】

画像取得処理部１４ａは、光源１５及び撮像カメラ１６を制御して、検査対象物１００の表面Ｓを撮像した検査画像を取得する。画像取得処理部１４ａは、光源１５から、検査対象物１００に白色の平行光を照射させる。画像取得処理部１４ａは、検査対象物１００の表面Ｓで反射された正反射光及び拡散反射光を撮像カメラ１６に受けて、表面Ｓの検査画像を取得する。

【0028】

光拡散ベクトル方向算出部１４ｂは、撮像カメラ１６が撮像した検査画像に基づいて、検査対象物１００の表面Ｓにおける光拡散ベクトル方向を算出する。光拡散ベクトル方向算出部１４ｂは、正反射光の光量が所定の閾値以上である場合に、フィルタ３０に形成された複数のフィルタ領域それぞれを透過した拡散反射光の光量に基づいて光拡散ベクトル方向を算出するが、詳細は後述する。

【0029】

画像生成部１４ｃは、検査対象物１００の表面Ｓにおける光拡散ベクトル方向に関する画像を生成する。例えば、画像生成部１４ｃは、光拡散ベクトル方向算出部１４ｂが検査画像に基づいて算出した複数の光拡散ベクトルを線分で結ぶことにより、検査対象物１００の表面Ｓにおける光拡散ベクトル方向を示す画像を生成する。

【0030】

表示制御部１４ｄは、検査対象物１００の表面Ｓにおける光拡散ベクトル方向に関する情報を表示部１２に表示する表示制御を実行する。例えば、光拡散ベクトル方向算出部１４ｂが算出した光拡散ベクトル方向に関する情報が表示部１２に表示される。また、例えば、画像生成部１４ｃが生成した光拡散ベクトル方向を示す画像が表示部１２に表示される。

【0031】

フィルタ制御部１４ｅは、フィルタ３０のフィルタ面に形成された複数のフィルタ領域それぞれにおいて、凸レンズ２０から入射する光の透遮光を切り換える制御を実行する。各フィルタ領域は、光を透過させない遮光状態又は光を透過させる透光状態に個別に切り換えられるように形成されている。表面検査支援装置１０は、フィルタ３０を固定したまま、各フィルタ領域の透遮光をフィルタ制御部１４ｅによって制御することにより、検査対象物１００の表面Ｓで反射された反射光のうちフィルタ３０を透過させる反射光を選択できる点に１つの特徴を有している。

【0032】

フィルタ３０の制御は、フィルタ全面を通常は透光状態にして、所望の反射光が透過するフィルタ領域を除いて他の領域を遮光状態に切り換えることによって行ってもよいし、通常はフィルタ全面を遮光状態にして、所望の反射光が透過するフィルタ領域を透光状態に切り換えることによって行ってもよい。本実施形態では、通常は全面が遮光状態にあるフィルタ３０で、各フィルタ領域を個別に透光状態に切り換えることにより、所望の反射光だけを選択的にフィルタ３０を透過させる場合を例に説明を続ける。

【0033】

次に、フィルタ３０について説明する。図２は、フィルタ３０の構成を説明するための図である。図２に示すように、光軸（Ｚ軸）に直交するフィルタ３０のフィルタ面に、複数のフィルタ領域１３０、１４０（１４０ａ～１４０ｄ）、１５０（１５０ａ～１５０ｈ）が形成されている。図２では、３種類のフィルタ領域１３０、１４０、１５０それぞれの形状が分かるように、フィルタ領域１３０、１４０ｂ、１５０ｂに異なる斜線を付してフィルタ形状を示している。なお、図２～図７には、各図に示す構成の位置関係が分かるように、撮像カメラ１６の光軸方向をＺ軸方向として、直交するＸＹＺ座標軸を示している。

【0034】

フィルタ３０は、透明電極が設けられた透明板の間に液晶材料が封入された薄板形状を有する。フィルタ３０は、透明電極への印加電圧を制御して、液晶材料の配列状態を変更することによって、透光状態と遮光状態とを切り換えることができる電気制御式の調光フィルタである。図２に示す例では、外形が円形のフィルタ３０を示しているが、本実施形態で説明するようにフィルタ３０を制御することができれば、フィルタ３０の形状、材質及び構成は特に限定されない。

【0035】

フィルタ３０には、各フィルタ領域１３０、１４０、１５０に対応する透明電極が設けられている。フィルタ制御部１４ｅは、各透明電極に印加する電圧を制御することによって、各フィルタ領域１３０、１４０、１５０の透光状態と遮光状態とを切り換える。フィルタ面におけるフィルタ領域１３０、１４０、１５０以外の領域は常に遮光状態になっている。

【0036】

フィルタ３０に形成されたフィルタ領域１３０、１４０、１５０には、正反射用領域１３０と、拡散反射用領域１４０と、オーバーラップ領域１５０とが含まれる。フィルタ３０のフィルタ面における中心部分に、検査対象物１００の表面Ｓで反射された正反射光を透遮光するための正反射用領域１３０が形成されている。

【0037】

検査対象物１００の表面Ｓで反射された拡散反射光を透遮光するための帯形状の拡散反射用領域１４０は、フィルタ面内において角度を変えて複数形成されている。具体的には、正反射用領域１３０を中心として、その周囲に、複数の拡散反射用領域１４０（１４０ａ～１４０ｄ）が放射状に所定の角度間隔で形成されている。

【0038】

拡散反射用領域１４０を正反射用領域１３０に接する位置までの帯形状とした場合、正反射用領域１３０の近傍で、隣接する２つの拡散反射用領域１４０の一部が重なる領域が発生する。オーバーラップ領域１５０は、この重なる領域に基づいて、全てのオーバーラップ領域１５０が同一面積となるように形成されている。オーバーラップ領域１５０は、拡散反射用領域１４０とは別に、その透遮光を制御できるようになっている。

【0039】

拡散反射用領域１４０は、フィルタ面内において正反射用領域１３０を通る直線を０度として、４５度の等角度間隔で、０度、４５度、９０度、１３５度の各方向に形成されている。具体的には、正反射用領域１３０の中心をフィルタ面（ＸＹ平面）の原点、Ｘ軸正方向を０度、Ｙ軸正方向を９０度とした場合、原点を通る０度、４５度、９０度、１３５度の各方向に拡散反射用領域１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃ、１４０ｄが形成されている。各拡散反射用領域１４０ａ～１４０ｄは、正反射用領域１３０を挟んでその両側に配置された五角形形状の２つの領域から成る。以下、拡散反射用領域１４０ａ～１４０ｄを、それぞれ０度、４５度、９０度、１３５度の拡散反射用領域と記載し、各拡散反射用領域１４０ａ～１４０ｄを透過する拡散反射光それぞれを０度、４５度、９０度、１３５度の拡散反射光と記載する場合がある。

【0040】

フィルタ制御部１４ｅは、フィルタ３０の全面で光を遮光する遮光状態から、正反射用領域１３０、０度の拡散反射用領域１４０ａ、４５度の拡散反射用領域１４０ｂ、９０度の拡散反射用領域１４０ｃ、１３５度の拡散反射用領域１４０ｄをそれぞれ順に透光状態に切り換える。これにより、表面検査支援装置１０は、撮像センサ４０によって、正反射光、０度の拡散反射光、４５度の拡散反射光、９０度の拡散反射光、１３５度の拡散反射光を個別に撮像することができる。

【0041】

撮像センサ４０が撮像する拡散反射光の光量は、光拡散ベクトル方向算出部１４ｂによる光拡散ベクトル方向の算出に利用される。このため、各角度の拡散反射光を透過させるフィルタ領域の面積を同一にすることが好ましい。図２に示す各拡散反射用領域１４０ａ～１４０ｄは、同一形状かつ同一面積を有し、正反射用領域１３０周りに回転させたときに重なり合う位置関係で形成されている。フィルタ面内で、正反射用領域１３０を中心として、拡散反射用領域１４０ａを、Ｚ軸周りの反時計方向に、４５度回転してできる領域が拡散反射用領域１４０ｂ、９０度回転してできる領域が拡散反射用領域１４０ｃ、１３５度回転してできる領域が拡散反射用領域１４０ｄである。

【0042】

図２に示す各オーバーラップ領域１５０ａ～１５０ｈも同一形状かつ同一面積を有し、正反射用領域１３０を中心としてＺ軸周りに回転させたときに重なり合う位置関係となっている。フィルタ制御部１４ｅは、各拡散反射用領域１４０ａ～１４０ｄを透光状態に切り換える際に、オーバーラップ領域１５０ａ～１５０ｈの透遮光も制御することができる。

【0043】

図３は、フィルタ３０の制御方法を説明するための図である。図３では、遮光状態にある他のフィルタ領域と区別するため、透光状態のフィルタ領域を斜線で示している。撮像センサ４０によって正反射光を撮像する場合、フィルタ制御部１４ｅは、図３（ａ）に示すように、他のフィルタ領域は遮光状態のまま、正反射用領域１３０を透光状態にする。

【0044】

撮像センサ４０によって０度の拡散反射光を撮像する場合、フィルタ制御部１４ｅは、図３（ｂ）に示すように、他のフィルタ領域は遮光状態のまま、拡散反射用領域１４０ａと、オーバーラップ領域１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｅ、１５０ｆとを透光状態にする。

【0045】

撮像センサ４０によって４５度の拡散反射光を撮像する場合、フィルタ制御部１４ｅは、図３（ｃ）に示すように、他の領域は遮光状態のまま、拡散反射用領域１４０ｂと、オーバーラップ領域１５０ｂ、１５０ｃ、１５０ｆ、１５０ｇとを透光状態にする。

【0046】

同様に、９０度の拡散反射光を撮像する場合は、拡散反射用領域１４０ｃと、オーバーラップ領域１５０ｃ、１５０ｄ、１５０ｇ、１５０ｈとが透光状態になり、１３５度の拡散反射光を撮像する場合は、拡散反射用領域１４０ｄと、オーバーラップ領域１５０ｄ、１５０ｅ、１５０ｈ、１５０ａとが透光状態になる。

【0047】

このように、拡散反射用領域１４０を透光状態にする際、フィルタ制御部１４ｅは、正反射用領域１３０と、透光状態にする拡散反射用領域１４０との間にあるオーバーラップ領域１５０も透光状態にする。これにより、表面検査支援装置１０では、拡散反射用領域１４０のみを透光状態にする場合に比べて、オーバーラップ領域１５０を含むより広い領域を透光状態にして、拡散反射光を透過させることが可能となっている。

【0048】

ただし、オーバーラップ領域１５０を常に遮光状態とする態様であってもよい。フィルタ３０における正反射用領域１３０及び拡散反射用領域１４０の大きさは、凸レンズ２０のサイズ、光学特性等に応じて決定される。各拡散反射用領域１４０を透過する拡散反射光によって光拡散ベクトル方向を特定できる場合は、オーバーラップ領域１５０を常に遮光状態にしてもよい。

【0049】

また、図２に示したフィルタ３０の構成は一例であって、フィルタ３０が図２と異なる構成を有していてもよい。例えば、拡散反射用領域１４０が、４５度毎ではなく、３０度毎等の異なる角度間隔で形成される態様であってもよい。また、例えば、正反射用領域１３０、拡散反射用領域１４０及びオーバーラップ領域１５０が、図２と異なる形状を有していてもよい。

【0050】

図４は、フィルタ３０の他の構成例を示す図である。図４では、３種類のフィルタ領域１３０、１４０、１５０それぞれの形状が分かるように、フィルタ領域１３０、１４０ｂ、１５０ｂに異なる斜線を付してフィルタ形状を示している。

【0051】

正反射用領域１３０の形状は、図２及び図３に示す正八角形に限定されず、例えば図４（ａ）に示すように円形状であってもよい。オーバーラップ領域１５０の形状も、図２に示す凹六角形状に限定されず、例えば図４（ａ）に示すように、正反射用領域１３０の円弧から放射状に形成された略三角形状であってもよい。

【0052】

図４（ｂ）に示すように、フィルタ３０が、オーバーラップ領域１５０を含まず、正反射用領域１３０と拡散反射用領域１４０のみを含む態様であってもよい。図４（ｃ）に示すように、各拡散反射用領域１４０の一辺が、正反射用領域１３０の各一辺を形成する態様であってもよい。

【0053】

次に、撮像カメラ１６による正反射光及び拡散反射光の撮像について説明する。図５は、撮像カメラ１６による正反射光Ｌの撮像方法を説明するための図である。図６は、撮像カメラ１６による拡散反射光Ｌ１、Ｌ２の撮像方法を説明するための図である。

【0054】

図５及び図６に示すように、撮像カメラ１６は、フィルタ３０を透過した光を撮像センサ４０に結像させる絞り用の絞り凸レンズ５０を含む。表面検査支援装置１０は、検査対象物１００の表面Ｓで反射された正反射光及び拡散反射光を、凸レンズ２０に受けて、フィルタ３０によって選択した反射光のみを、絞り凸レンズ５０によって撮像センサ４０に結像させる。これらの構成によって、物体側テレセントリック光学系が実現されている。

【0055】

撮像カメラ１６は、光軸Ｃが、検査対象物１００の表面Ｓで反射された正反射光Ｌと平行になるように配置されている。撮像カメラ１６は、大口径の凸レンズ２０を利用することにより、検査対象物１００の表面Ｓで反射された正反射光Ｌを、広い範囲で受光することができる。光軸Ｃ方向の凸レンズ２０の厚みが大きくなりすぎる場合は、例えばフレネルレンズを凸レンズ２０として利用すればよい。

【0056】

フィルタ３０は、凸レンズ２０の像側焦点となる位置に、複数のフィルタ領域１３０、１４０、１５０が形成されたフィルタ面が撮像カメラ１６の光軸Ｃと垂直になるように、配置されている。検査対象物１００の表面Ｓで反射された正反射光は、図５に示すように正反射用領域１３０を透過する。例えば、フィルタ面内（ＸＹ平面）における正反射用領域１３０の中心を通る光軸方向の直線上で、フィルタ３０の厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央となる位置を、全ての正反射光が通過する。

【0057】

図５に示すように、光源１５から照射されて、検査対象物１００の表面Ｓで正反射された正反射光Ｌは、光軸Ｃに平行な光となって凸レンズ２０に入射する。正反射光Ｌの撮像時には、フィルタ制御部１４ｅが、遮光状態にあるフィルタ３０において、正反射用領域１３０を透光状態に切り換える。このため、正反射光Ｌの撮像時には、拡散反射光はフィルタ３０を透過することはできず、正反射光Ｌのみがフィルタ３０を透過して、絞り凸レンズ５０に入射する。正反射光Ｌは、絞り凸レンズ５０で光軸Ｃに平行な光とされた後、撮像センサ４０で撮像される。

【0058】

絞り凸レンズ５０から出射した光を受光した撮像センサ４０が、光量に応じて出力する信号の信号強度、すなわち撮像センサ４０による撮像画像の輝度値が、光拡散ベクトル方向を算出する処理に利用される。このため、輝度値を取得可能なグレースケールのモノクロ画像を生成するセンサが、撮像センサ４０として利用される。ただし、センサの種類は特に限定されず、カラー画像を生成するセンサを撮像センサ４０として利用する態様であってもよい。この場合、カラー画像をグレースケールに換算して得られた輝度値を利用すればよい。

【0059】

フィルタ３０を透過させる反射光の選択は、フィルタ制御部１４ｅが、フィルタ３０に形成された各フィルタ領域１３０、１４０、１５０の透光状態と遮光状態とを切り換えることによって行われる。撮像センサ４０が、正反射光、０度の拡散反射光、４５度の拡散反射光、９０度の拡散反射光、１３５度の拡散反射光のそれぞれを撮像できるように、フィルタ制御部１４ｅが、図３で説明したようにフィルタ３０を制御する。

【0060】

具体的には、正反射光の画像は、正反射用領域１３０を透光状態、他のフィルタ領域を遮光状態にして撮像される。０度の拡散反射光の画像は、０度の拡散反射用領域１４０ａ及びオーバーラップ領域１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｅ、１５０ｆを透光状態、他のフィルタ領域を遮光状態にして撮像される。４５度の拡散反射光の画像は、４５度の拡散反射用領域１４０ｂ及びオーバーラップ領域１５０ｂ、１５０ｃ、１５０ｆ、１５０ｇを透光状態、他のフィルタ領域を遮光状態にして撮像される。９０度の拡散反射光の画像は、９０度の拡散反射用領域１４０ｃ及びオーバーラップ領域１５０ｃ、１５０ｄ、１５０ｇ、１５０ｈを透光状態、他のフィルタ領域を遮光状態にして撮像される。１３５度の拡散反射光の画像は、１３５度の拡散反射用領域１４０ｄ及びオーバーラップ領域１５０ｄ、１５０ｅ、１５０ｈ、１５０ａを透光状態、他のフィルタ領域を遮光状態にして撮像される。

【0061】

０度、４５度、９０度、１３５度の拡散反射光の撮像は同様に行われるため、０度の拡散反射光を例に、拡散反射光の撮像方法を説明する。図６に示すように、光源１５から照射されて検査対象物１００の表面Ｓの位置Ｐ１で反射された光が、Ｘ軸方向、すなわち０度方向に拡散した場合に、この光が実線矢印で拡散反射光Ｌ１、Ｌ２として図示したように、撮像センサ４０で撮像される。

【0062】

具体的には、検査対象物１００の表面Ｓで拡散反射された拡散反射光Ｌ１、Ｌ２は、凸レンズ２０に入射する。０度の拡散反射光の撮像時、フィルタ制御部１４ｅは、遮光状態にあるフィルタ３０において、図６右側のフィルタ３０の図に斜線で示したように、０度の拡散反射用領域１４０ａ及び対応するオーバーラップ領域１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｅ、１５０ｆを透光状態に切り換える。このため、０度の拡散反射光Ｌ１、Ｌ２の撮像時には、図６に破線矢印で示した正反射光と、０度以外の拡散反射光は、フィルタ３０を透過することはできない。フィルタ３０を透過した拡散反射光Ｌ１、Ｌ２は、絞り凸レンズ５０に入射し、図６に示すように撮像センサ４０の位置Ｐ２に結像されて撮像される。なお、図６に破線矢印で示した位置Ｐ１における正反射光は、図５で説明したように、フィルタ３０の正反射用領域１３０が透光状態となる正反射光の撮像時に、撮像センサ４０の位置Ｐ２に結像されて撮像されることになる。

【0063】

４５度、９０度、１３５度の各拡散反射光の画像も、０度の拡散反射光Ｌ１、Ｌ２と同様に、フィルタ３０上で、各角度に対応する拡散反射用領域１４０及びオーバーラップ領域１５０を透光状態に切り換えることにより撮像される。

【0064】

次に、光拡散ベクトル方向の算出方法について説明する。光拡散ベクトル方向は、正反射光を撮像した画像と、複数の拡散反射光それぞれを撮像した画像とを、検査画像として、各検査画像の画素値に基づいて算出される。

【0065】

図７は、検査対象物１００の表面Ｓの検査画像を取得する方法を説明するための図である。図７には、図５で説明した正反射光Ｌと、図６で説明した０度の拡散反射光Ｌ１、Ｌ２とを示しているが、表面検査支援装置１０は、上述したように、正反射光、０度の拡散反射光、４５度の拡散反射光、９０度の拡散反射光、１３５度の拡散反射光それぞれを個別に撮像する。これにより、図７に示すように、正反射光の検査画像Ｄ１、０度の拡散反射光の検査画像Ｅ１、４５度の拡散反射光の検査画像Ｅ２、９０度の拡散反射光の検査画像Ｅ３、１３５度の拡散反射光の検査画像Ｅ４の５つの検査画像が得られる。

【0066】

表面検査支援装置１０は、グレースケール画像である正反射光Ｌの検査画像Ｄ１の各画素位置で、画素値（輝度値）が、所定の閾値以上であるか否かを判定する。判定用の閾値は、検査対象物１００の光学特性、表面検査支援装置１０の光学性能等に基づいて予め設定される。

【0067】

正反射光の検査画像Ｄ１における画素値が所定の閾値以上の値を示した場合、表面検査支援装置１０は、この画素位置における拡散反射光の光拡散ベクトル方向を、０度、４５度、９０度、１３５度の各拡散反射光の検査画像Ｅ１～Ｅ４を利用して算出する。光拡散ベクトル方向の算出は、例えば、予め準備した算出式に、検査画像Ｄ１の画素に対応する各検査画像Ｅ１～Ｅ４の画素の画素値を入力することによって行われる。

【0068】

例えば、０度の拡散反射光の検査画像Ｅ１で画素値が大きく、他の拡散反射光の検査画像Ｅ２～Ｅ４で画素値が小さい場合、拡散反射光の光拡散ベクトル方向は０度と算出される。拡散反射光の検査画像Ｅ１～Ｅ４における画素値の大小の判定については、検査対象物１００の光学特性、表面検査支援装置１０の光学性能等に基づいて予め設定した閾値に基づいて行われる。こうして、検査画像Ｅ１～Ｅ４から、光拡散ベクトル方向が０度、４５度、９０度、１３５度である各画素が特定される。

【0069】

検査画像Ｅ１～Ｅ４における画素値が、光拡散ベクトル方向を０度、４５度、９０度、１３５度と判定する閾値より小さい場合、各検査画像Ｅ１～Ｅ４の画素値を比較することにより、光拡散ベクトル方向が、０度と４５度の間、４５度と９０度の間、９０度と１３５度の間、１３５度と１８０度の間のいずれにあるかが判定される。例えば、０度の検査画像Ｅ１と４５度の検査画像Ｅ２における画素値が、他の検査画像Ｅ３、Ｅ４の画素値より大きい場合に、光拡散ベクトル方向が０度と４５度の間にあると判定される。

【0070】

光拡散ベクトル方向が０度と４５度との間にある場合、検査画像Ｅ１とＥ２の画素値の比率に基づいて拡散反射光の光拡散ベクトル方向が算出される。光拡散ベクトル方向が、４５度と９０度の間、９０度と１３５度の間、１３５度と１８０度の間にある場合も、同様に、光拡散ベクトル方向が算出される。

【0071】

次に、光拡散ベクトル方向画像について説明する。図８は、表面検査支援装置１０が生成する光拡散ベクトル方向画像の例を説明するための図である。検査画像Ｄ１、Ｅ１～Ｅ４を利用して、正反射光の光量、すなわち正反射光の検査画像における画素値が閾値以上となった各画素位置で、光拡散ベクトル方向を算出した表面検査支援装置１０は、各光拡散ベクトルを線分で結ぶことによって光拡散ベクトル方向を示す光拡散ベクトル方向画像を生成する。

【0072】

光拡散ベクトル方向画像は、例えば図８（ａ）に示すような画像となる。画像に表れる線形状が光拡散ベクトル方向を示している。検査対象物１００の表面Ｓにウェルドラインがある場合は、例えば図８（ｂ）に示すように、光拡散ベクトル方向画像に、ウェルドラインに沿った線形状の模様Ｗが現れる。

【0073】

表面検査支援装置１０は、生成した光拡散ベクトル方向画像を表示部１２に表示する。表面検査支援装置１０の利用者は、表示部１２に表示された光拡散ベクトル方向画像に基づいて、検査対象物１００の表面Ｓにおける光学異方性の有無を確認することができる。

【0074】

例えば、図８（ａ）に示すように滑らかな曲線模様の画像が得られるはずが、図８（ｂ）に示すように、曲線を切断する模様Ｗのある画像が得られた場合、利用者は、検査対象物１００の表面Ｓにウェルドラインがあることを認識することができる。また、利用者は、画像に表れた模様Ｗに基づいて、検査対象物１００の表面Ｓにおけるウェルドラインの位置及び形状を特定し、金型修正等の対応をとることができる。

【0075】

次に、表面検査支援装置１０が実行する処理の流れについて説明する。図９は、表面検査支援装置１０で行われる処理の流れを示すフローチャートである。図９に示すように、表面検査支援装置１０は、光源１５から検査対象物１００に平行光を照射して（ステップＳ１０１）、撮像カメラ１６で検査画像を取得する（ステップＳ１０２）。上述したように、正反射光の検査画像と、０度、４５度、９０度、１３５度の各方向における拡散反射光の検査画像とが取得される。

【0076】

表面検査支援装置１０は、正反射光の検査画像の画素値（輝度値）が、所定の閾値以上であるか否かを判定する（ステップＳ１０３）。画素値が所定の閾値より小さい場合（ステップＳ１０３；Ｎｏ）、ステップＳ１０５に移行する。一方、画素値が所定の閾値以上である場合（ステップＳ１０３；Ｙｅｓ）、表面検査支援装置１０は、０度、４５度、９０度、１３５度の各方向における拡散反射光の検査画像を利用して、上述したように光拡散ベクトル方向を算出する（ステップＳ１０４）。

【0077】

ステップＳ１０３及びＳ１０４の処理は、検査画像を構成する全ての画素を対象として画素単位で実行される。表面検査支援装置１０は、全画素の処理を完了したか否かを判定する（ステップＳ１０５）。全画素の処理が完了していない場合（ステップＳ１０５；Ｎｏ）、ステップＳ１０３に移行する。一方、全画素の処理を完了すると（ステップＳ１０５；Ｙｅｓ）、表面検査支援装置１０は、ステップＳ１０４で得られた各画素位置の光拡散ベクトル方向に基づいて、上述したように光拡散ベクトル方向画像を生成する（ステップＳ１０６）。表面検査支援装置１０は、光拡散ベクトル方向画像を表示部１２に表示して（ステップＳ１０７）、処理を終了する。

【0078】

本実施形態では、表面検査支援装置１０が光拡散ベクトル方向画像を表示部１２に表示する例を説明したが、光拡散ベクトル方向画像以外の情報が表示部１２に表示される態様であってもよい。例えば、光拡散ベクトル方向を示す数値に関連する情報が表示部１２に表示される態様であってもよいし、光拡散ベクトル方向に基づいて表面検査支援装置１０が光学異方性の有無を自動判定した判定結果が表示部１２に表示される態様であってもよい。

【0079】

例えば、光拡散ベクトル方向が一定方向を示すはずの検査対象物１００の検査であれば、表面検査支援装置１０が、光拡散ベクトル方向を示す数値の統計情報を表示部１２に表示することにより、利用者は、光学異方性の有無を認識することができる。表面検査支援装置１０が、光拡散ベクトル方向を示す数値に基づいて光学異方性の有無を判定する自動判定を行って、判定結果を表示部１２に表示してもよい。表面Ｓに光学異方性がある場合に図８（ｂ）に示すような特徴的な画像が得られる検査対象物１００であれば、表面検査支援装置１０が、画像に基づく自動判定を実行して、判定結果を表示部１２に表示してもよい。光拡散ベクトル方向に関する数値情報又は判定結果が表示部１２に表示される場合、利用者は、必要に応じて、表面検査支援装置１０の入力部１１を操作して、表面検査支援装置１０が生成した光拡散ベクトル方向画像を表示部１２に呼び出して確認すればよい。

【0080】

本実施形態に示した表面検査支援装置１０の構成は一例であって、表面検査支援装置１０が、上述した構成の一部を含まない態様であってもよい。例えば、表面検査支援装置１０が光源１５を含まない態様であってもよい。この場合、表面検査支援装置１０から独立した光源を利用して検査を行えばよい。

【0081】

表面検査支援装置１０が、上述した構成以外の構成を含む態様であってもよい。例えば、表面検査支援装置１０が、光源１５に対する検査対象物１００の角度及び位置を変更可能な検査台を有し、検査台を制御して検査対象物１００を移動させる態様であってもよい。表面検査支援装置１０が、検査対象物１００に対する光源１５の角度及び位置を変更してもよい。この場合、表面検査支援装置１０が、光源１５の角度及び位置を物理的に変更する装置を制御して光源１５を移動させてもよいし、異なる位置に配置された複数の光源で検査対象物１００に光を照射する光源を変更することによって光源１５を移動させてもよい。表面検査支援装置１０が、光源１５と検査台の両方の移動を制御する態様であってもよい。表面検査支援装置１０が、光源１５の移動と検査台の移動との少なくともいずれか一方を制御することにより、検査対象物１００を構成する複数の表面それぞれに光源１５から光を照射して、各表面の検査を上述したように行うことが可能となる。

【0082】

本実施形態では、主に正反射光及び拡散反射光を撮像カメラ１６に受けて検査画像を撮像し、検査画像の画素値を利用した処理を実行する例を示したが、各処理が、撮像カメラ１６、すなわち撮像センサ４０で受光した光の強度を利用して行われる態様であってもよい。例えば、表面検査支援装置１０が、撮像センサ４０に光を受けて出力した信号から検査画像を生成することなく、信号強度を直接利用して各処理を実行する態様であってもよい。

【0083】

上述してきたように、本実施形態に係る表面検査支援装置は、検査対象物の表面で反射された光を受ける際に、フィルタを制御することにより、正反射光と、複数の拡散反射光とを選択的に受光することができる。フィルタ面には、角度を変えて複数のフィルタ領域が形成されており、表面検査支援装置は、各フィルタ領域を透過した拡散反射光を調べることにより、検査対象物の表面における光拡散ベクトル方向を特定することができる。また、表面検査支援装置は、光拡散ベクトル方向を示す光拡散ベクトル方向画像等、光拡散ベクトル方向に関する情報を表示部に表示することができる。表面検査支援装置の利用者は、表示部に表示された情報に基づいて、部品の表面や塗装面の面的な光学異方性を効率よく検査することができる。

【産業上の利用可能性】

【0084】

本開示に係る表面検査支援装置及び表面検査支援方法は、部品の表面や塗装面の面的な光学異方性を効率よく検査する場合に適している。

【符号の説明】

【0085】

１０ 表面検査支援装置
１１ 入力部
１２ 表示部
１３ 記憶部
１４ 制御部
１５ 光源
１６ 撮像カメラ
２０ 凸レンズ
３０ フィルタ
４０ 撮像センサ
５０ 絞り凸レンズ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】