特開 2024-43122 端材回収装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024043122

(43)【公開日】2024-03-29

(54)【発明の名称】端材回収装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 11/00 20060101AFI20240322BHJP

   B24B 55/06 20060101ALI20240322BHJP

   B01D 29/96 20060101ALI20240322BHJP

   B01D 24/38 20060101ALI20240322BHJP

   B01D 29/00 20060101ALI20240322BHJP

【ＦＩ】

B23Q11/00 U

B24B55/06

B01D29/02 Z

B01D23/20

B01D23/02 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022148127

(22)【出願日】2022-09-16

(71)【出願人】

【識別番号】318010018

【氏名又は名称】キオクシア株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100119035

【弁理士】

【氏名又は名称】池上 徹真

(74)【代理人】

【識別番号】100141036

【弁理士】

【氏名又は名称】須藤 章

(74)【代理人】

【識別番号】100178984

【弁理士】

【氏名又は名称】高下 雅弘

(72)【発明者】

【氏名】米澤 隆文

【テーマコード（参考）】

3C011

3C047

4D116

【Ｆターム（参考）】

3C011BB36

3C047HH11

4D116BB02

4D116BC28

4D116DD01

4D116EE02

4D116EE12

4D116FF12B

4D116FF17B

4D116GG02

4D116KK01

4D116QA05B

4D116QA05E

4D116QA18C

4D116QA18F

4D116QC19C

4D116QC25A

4D116RR01

4D116RR27

4D116VV07

4D116VV30

(57)【要約】

【目的】Ｓｉ端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のＳｉ端材を回収可能な装置を提供する。
【構成】 実施形態の端材回収装置１００は、複数のかご１０，１２と、回転駆動機構１２２，１２４と、複数の回収容器４０，４２と、を備える。複数のかごは、上部が開口され、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成された少なくとも１つの面を有し、端材が液体に混入した混入液を前記上部から受け、前記混入液のうち前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を前記少なくとも１つの面から排出する。回転駆動機構は、前記上部が下を向く方向に前記複数のかごを個別に回転させる。複数の回収容器は、前記複数のかごが個別に前記上部が下を向く方向に回転することによって落下する前記端材を回収する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上部が開口され、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成された少なくとも１つの面を有し、端材が液体に混入した混入液を前記上部から受け、前記混入液のうち前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を前記少なくとも１つの面から排出する、複数のかごと、
前記上部が下を向く方向に前記複数のかごを個別に回転させる回転駆動機構と、
前記複数のかごが個別に前記上部が下を向く方向に回転することによって落下する前記端材を回収する複数の回収容器と、
を備えたことを特徴とする端材回収装置。

【請求項2】

前記複数のかごは、断面がＶ字形状と、Ｕ字形状と、底辺と底辺の両端の一方に接続された１辺と他方に接続された１辺とで形成される形状と、のうちの１つの形状を有することを特徴とする請求項１記載の端材回収装置。

【請求項3】

前記複数のかごは、
外周の一辺同士が水平ではない角度で連結された第１と第２の面と、
前記第１と第２の面の連結された辺に連続する各側面側の辺同士の間の面を塞ぐ第３と第４の面と、
を有し、
前記第１と第２の面のうち、一方の面は前記メッシュ状面と前記多孔面との少なくとも一方で形成され、前記液体を排出し、他方の面は前記液体を通さないことを特徴とする請求項１記載の端材回収装置。

【請求項4】

前記複数のかごのそれぞれに溜まった前記端材を検出する複数のセンサをさらに備えたことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の端材回収装置。

【請求項5】

前記混入液を前記複数のかごのうちのいずれか１つに選択的に流すように流路を切り替える切り替え機構をさらに備えたことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の端材回収装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、端材回収装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造において、例えばバックグラインド加工時にシリコン（Ｓｉ）の端材が処理水に混入してしまう。そのため、かかるプロセスの処理装置内に処理水を溜め、定期的に装置を停止し、Ｓｉ端材を処理水から分離した後、作業員が手作業でＳｉ端材を装置から取り除く必要があった。

【0003】

バックグラインド加工ではないが、例えば、ダイシング装置内部に配置された端材回収装置によりパンチングメタル上に廃液を流し、パンチングメタルで固液分離し端材を捕集する。そして、パンチングメタルが自重で垂れ下がる位置までパンチングメタルを押し出し、パンチングメタルが自重で垂れ下がることでパンチングメタル上の端材を落下させる。そして、ダイシング装置の停止中に作業者が落下した端材を装置内から取り除くといった技術が開示されている。

【0004】

Ｓｉ端材は鋭利な形状をしている場合があり、手作業では作業員が怪我をする恐れがあった。また、かかる作業に時間がかかり、その間、装置を停止しなければならず、生産ロスが大きいといった問題があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００９－０９６０８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の実施形態は、Ｓｉ端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のＳｉ端材を回収可能な装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

実施形態の端材回収装置は、複数のかごと、回転駆動機構と、複数の回収容器と、を備える。複数のかごは、上部が開口され、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成された少なくとも１つの面を有し、端材が液体に混入した混入液を前記上部から受け、前記混入液のうち前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を前記少なくとも１つの面から排出する。回転駆動機構は、前記上部が下を向く方向に前記複数のかごを個別に回転させる。複数の回収容器は、前記複数のかごが個別に前記上部が下を向く方向に回転することによって落下する前記端材を回収する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１の実施形態における端材回収装置の構成の一例を示す図である。

【図2】第１の実施形態におけるかごの一例を示す斜視図である。

【図3】第１の実施形態におけるかごの他の一例を示す断面図である。

【図4】第１の実施形態におけるかごの他の一例を示す断面図である。

【図5】第１の実施形態における端材の分離から回収までの動作を説明するための図である。

【図6】第１の実施形態におけるかごに溜まる端材の量を測定する手法を説明するための図である。

【図7】第１の実施形態におけるかごの構成の他の一例を示す図である。

【図8】第１の実施形態におけるかごの回転動作の一例を示す図である。

【図9】第１の実施形態におけるかごの回転動作の他の一例を示す図である。

【図10】第１の実施形態におけるかごの構成の他の一例を示す図である。

【図11】第１の実施形態における複数のかごの間に空間をあけずに配置する場合を示す図である。

【図12】第１の実施形態における複数のかごの間に空間をあけて配置する場合を示す図である。

【図13】第１の実施形態における破片受けの構成の一例を示す図である。

【図14】第１の実施形態における破片受けとかごと排水受けとを配置した状態の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態における端材回収装置の構成の一例を示す図である。図１において、端材回収装置１００は、複数のかご１０，１２と、排水受け２０と、複数の破片受け３０，３２と、複数の回収容器４０，４２と、流路切替機構５０と、複数のセンサ６０，６２と、少なくとも１つの回転駆動機構１２２，１２４と、制御回路１２０と、を備える。

【0010】

端材回収装置１００は、制御回路１２０により制御される。制御回路１２０には、一部図示を省略したバスを介して回転駆動機構１２２，１２４、流路切替機構５０、及び複数のセンサ６０，６２が接続される。また、制御回路１２０には、重量センサ４４，４５が例えば無線或いは有線で通信可能に接続される。

【0011】

少なくとも１つの回転駆動機構１２２，１２４は、複数のかご１０，１２を個別に回転駆動する。図１の例では、複数の回転駆動機構１２２，１２４が、複数のかご１０，１２を個別に回転駆動する場合を示している。図１の例では、かご１０，１２の数と同じ数の２つの回転駆動機構１２２，１２４を配置する場合を示すが、１つの回転駆動機構で複数のかご１０，１２を個別に回転駆動させても構わない。

【0012】

端材回収装置１００は、例えば、シリコン（Ｓｉ）の端材が混入する混入液を排水する、図示しないプロセス装置（処理装置）の下流側に配置される。プロセス装置として、例えば、バックグラインド加工装置、研磨装置、或いはダイシング装置等が挙げられる。

【0013】

流路切替機構５０の給水側には供給口５２が配置される。流路切替機構５０の排水側には、２つの排水口５４，５６が配置される。流路切替機構５０として、例えば、三方弁を用いることができる。排水口５４は、かご１０の上方に配置される。排水口５６は、かご１２の上方に配置される。流路切替機構５０は、混入液を複数のかご１０，１２のうちのいずれか１つに選択的に流すように流路を切り替える。具体的には、流路切替機構５０は、供給口５２から供給された混入液の流路を２つの排水口５４，５６の１つに選択的に切り替える。これにより、排水口５４が流路になる場合には混入液を複数のかご１０，１２のうちのかご１０に流すことになる。排水口５６が流路になる場合には混入液を複数のかご１０，１２のうちのかご１２に流すことになる。

【0014】

複数のかご１０，１２の下には、排水受け２０が配置される。また、複数のかご１０，１２が回転した際の開放面の下には複数の破片受け３０，３２が配置される。図１の例では、かご１０の下に破片受け３０が配置される。かご１２の下に破片受け３２が配置される。なお、図１では、複数のかご１０，１２より下方に位置する破片受け３０，３２の部分の構成を主に示したが、破片受け３０，３２のその他の部分の構成については後述する。
複数の破片受け３０，３２の下には複数の回収容器４０，４２が配置される。図１の例では、破片受け３０の下に回収容器４０が配置される。破片受け３２の下に回収容器４２が配置される。回収容器４０は、台車４１上に配置される。回収容器４２は、台車４３上に配置される。台車４１上には重量センサ４４が配置され、回収容器４０の重量を測定する。台車４３上には重量センサ４５が配置され、回収容器４２の重量を測定する。

【0015】

複数のかご１０，１２は、上部が開口され、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成された少なくとも１つの面を有する。複数のかご１０，１２は、端材が液体に混入した混入液を上部から受け入れ、混入液のうち端材の少なくとも一部を捕集すると共に液体を少なくとも１つの面から排出する。かご１０，１２は、例えば、ステンレス鋼等の材料により形成されると好適である。

【0016】

図２は、第１の実施形態におけるかごの一例を示す斜視図である。図２の例では、かご１０（１２）は、断面がＶ字形状に形成される場合を示している。かご１０（１２）では、面１１（第１の面）と面１４（第２の面）とが外周の一辺同士が水平ではない角度で連結される。図２の例では、底辺同士が例えば鋭角に連結される場合を示している。そして、逆三角形に形成された面１６（第３の面）と面１８（第４の面）が、面１１と面１４の連結された辺（底辺）に連続する各側面側の辺同士の間の面を塞ぐ。

【0017】

面１１と面１４の一方の面１１は、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成される。メッシュ状面は、例えば、ステンレス鋼等の複数の鋼線を鋼線同士間に隙間が形成されるように例えば螺旋状或いは格子状に編むことによって形成される。多くの孔が形成される多孔面は、例えば、板材に対して所定のピッチでパンチングメタル加工を施すことにより形成される。これにより面１１には、多数の隙間（孔、開口部）が２次元状にそれぞれ所定のピッチで配列される。隙間のサイズは、捕集する物のサイズに応じて適宜設定できる。例えば、隙間サイズが１～３ｍｍ程度に設定されると好適である。よって、面１１は、混入液から端材の少なくとも一部を捕集（分離）して留め、その隙間から液体を排出する。

【0018】

面１１と面１４の他方の面１４は、隙間が形成されていない板状の面で形成される。よって、面１４は、液体を通さない。

【0019】

側面側の面１６，１８の少なくとも一方には、帯状の透明な面１７，１９が配置される。透明な面１７，１９は、かご１０，１２の底部から上方の開口面に向かって延びる。これにより、かご１０，１２の側面外部から、かご１０，１２の内部に溜まる端材の量を検知することができる。透明な面１７，１９には、例えば、ガラスやポリ塩化ビニル樹脂等を用いると好適である。

【0020】

図３は、第１の実施形態におけるかごの他の一例を示す断面図である。図３の例では、かご１０（１２）は、断面がＵ字形状に形成される場合を示している。かご１０（１２）では、Ｕ字の右半分の面１１（第１の面）と左半分の面１４（第２の面）とが底部で連結される。そして、図示しない面１６（第３の面）と面１８（第４の面）が、Ｕ字形状の断面が形成されるように連結された面１１と面１４の各側面側のＵ字状の輪郭の間の面を塞ぐ。面１１は、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成される。よって、面１１は、混入液から端材の少なくとも一部を捕集（分離）して留め、その隙間から液体を排出する。面１４は、隙間（孔）が形成されていない板状の面で形成される。よって、面１４は、液体を通さない。

【0021】

図４は、第１の実施形態におけるかごの他の一例を示す断面図である。図４の例では、かご１０（１２）は、断面形状が底辺と底辺の両端の一方に接続された１辺と他方に接続された１辺とで形成される場合を示している。図４の例では、平行な２面１１，１４と面１１，１４を繋ぐ平面の底面１３と図示しない矩形の側面１６，１８により形成される。面１１は、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成される。よって、面１１は、混入液から端材の少なくとも一部を捕集（分離）して留め、その隙間から液体を排出する。面１４及び面１３は、隙間が形成されていない板状の面で形成される。よって、面１４及び面１３は、液体を通さない。

【0022】

回転駆動機構１２２，１２４は、上部が下を向く方向に複数のかご１０，１２を個別に回転させる。具体的には、回転駆動機構１２２は、かご１０を上下方向が逆さになる方向に回転駆動する。回転駆動機構１２４は、かご１２を上下方向が逆さになる方向に回転駆動する。図１の例では、かご１０，１２毎に、１つずつの回転駆動機構１２２，１２４が配置される場合を示しているが、これに限るものではない。上述したように、１つの回転駆動機構により複数のかご１０，１２を個別に回転させても良い。

【0023】

回転駆動機構１２２，１２４は、例えば、図示しないモータ、モータの回転によって回転する回転軸、及び回転軸を支持する軸受等を有する。例えば、回転軸がかご１０（１２）の側面である面１６或いは面１８に接続され、回転軸が回転することにより、接続箇所を軸にかご１０（１２）を回転させる。回転駆動機構１２２，１２４は、その他の部品により構成されても構わない。

【0024】

図５は、第１の実施形態における端材の分離から回収までの動作を説明するための図である。図５（ａ）において、流路切替機構５０の排水口５４（或いは排水口５６）から排出された混入液は、かご１０（或いはかご１２）に上方から供給される。かご１０（或いはかご１２）は、メッシュ面（多孔面）となる面１１で混入液から端材８を分離し、残りの液体を排水受け２０側に排出する。これにより、混入液の固液分離ができる。面１１を通過した液体は、排水受け２０の排水口２２から端材回収装置１００の外部に排水される。また、面１１に対向するメッシュ面ではない面１４及び側面の面１６，１８により液体が破片受け３０（或いは破片受け３２）側に入り込むのを防ぐことができる。

【0025】

図６は、第１の実施形態におけるかごに溜まる端材の量を測定する手法を説明するための図である。複数のセンサ６０，６２は、複数のかご１０，１２のそれぞれに溜まった端材８を検出する。図６の例では、かご１２に溜まる端材８を検出する場合を示している。かご１２の側面１８に設けられた縦長の透明な面１９を通してセンサ６２によってかご１２に溜まった規定量の端材８を検出する。かご１０の場合には、かご１０の側面１６に設けられた縦長の透明な面１７を通してセンサ６０によってかご１０に溜まった端材８を検出する。センサ６０，６２として、例えば、レーザを照射して反射光を受光する距離センサを用いることができる。端材８が堆積している場合には、堆積していない場合よりもレーザが当たる対象物までの距離が近くなるので、端材８の堆積を検出できる。

【0026】

センサ６０，６２の配置高さ位置は、規定量の端材８がかご１０，１２に溜まった状態で、複数の端材８全体の上部の高さ位置にレーザが照射されるように設定すると好適である。これにより、その高さまで端材８が溜まった時点でセンサ６０，６２が端材８を検出できる。

【0027】

なお、検出光のかご１０，１２の側面１６，１８からの透過では検出が難しい場合は、センサ６０（６２）の代わりにセンサ６３をかご１０，１２の上部に設置して検出しても良い。

【0028】

ここで、センサ６０，６２で検出する高さ位置は、規定量の端材８がかご１０，１２に溜まるまでの時間が、溜まった端材８が乾燥するまでの時間よりも長くなることを想定したうえで、端材８が規定量溜められた段階での端材８の上部の高さと対応した位置に設定する。例えば、かご１０内の１／２高さまで溜まった端材８が１日で乾燥でき、かご１２内の１／２まで端材８が溜まるまでは１週間かかる場合には、かご１２側での端材８の捕集の間にかご１０内に溜まった端材８の乾燥を間に合わせることができるので、規定量をかご１０の１／２の高さに設定する。

【0029】

かご１０（或いはかご１２）に規定量の端材８が溜まった段階で、流路切替機構５０は、混入液を受け入れるかご１０（或いはかご１２）を切り替える。例えば、混入液の流路を排水口５４から排水口５６に切り替えることにより、混入液の受け入れ側がかご１０からかご１２に切り替えられる。そして、今度はかご１２が、メッシュ面となる面１１で混入液から端材８を分離し、残りの液体を排水受け２０側に排出する。これにより、混入液の固液分離ができる。面１１を通過した液体は、排水受け２０の排水口２２から端材回収装置１００の外部に排水される。

【0030】

その後、かご１２に規定量の端材８が溜まった段階で、流路切替機構５０は、混入液の流路を排水口５６から排水口５４に切り替えることにより、混入液の受け入れ側がかご１２からかご１０に切り替えられる。以降、同様に、かご１０，１２の切り替えを繰り返す。

【0031】

かかる切り替え動作により、端材回収装置１００は、上流側のプロセス装置を停止せずに継続して、混入液を受け続けると共に、混入液から端材８を分離し、回収できる。

【0032】

制御回路１２０は、センサ６０，６２からの規定量到達を示す信号を受け、混入液を受け入れるかご１０，１２を切り替えた時点で、かご１０，１２を回転させて溜まった端材８の回収を行うまでの所定の期間の測定を開始する。かご１０，１２を切り替えてからかご１０，１２の回転を開始するまでの所定の期間として、切り替えた例えば新たなかご１２にセンサ６２で検出する規定量の端材８が溜まるまでの期間よりも短い期間であって、例えば、かご１０に溜まった端材８が乾燥するまでの時間を用いると好適である。端材８が乾燥する前では、溜まった端材８がかご１０の面１１等に貼り付いたまま剥がれない場合がある。乾燥させることで端材８がかご１０の面１１等から剥がれやすくできる。端材８の乾燥のため、回転を待機している上述した所定の期間、かご１０内の端材８に向けて温風を噴射する、図示しない温風噴射装置を配置しても好適である。

【0033】

かご１０，１２を切り替えた時点から所定の期間が経過した段階で、図５（ｂ）に示すように、かご１０（或いはかご１２）を回転させる。図５（ｂ）では、例えば、６０°程度回転した状態を示す。かかる状態では、メッシュ面の面１１は垂直位置を超えているがメッシュ面ではない面１４が水平位置より回転方向に対して手前であるため、捕集された端材８は落下しない。

【0034】

図５（ｃ）に示すように、かご１０（或いはかご１２）をさらに回転させる。図５（ｃ）では、例えば、１２０°程度回転した状態を示す。かかる状態では、メッシュ面の面１１は水平位置近くになり、メッシュ面ではない面１４が水平位置を超えて下に向いているため、捕集された端材８は排水受け２０とは反対側に配置された破片受け３０（或いは破片受け３２）に向かって、メッシュ面の面１１から剥がれ落ちる、或いはメッシュ面ではない面１４から滑り落ちる。また、図５（ｃ）に示すように、回転角度はメッシュ面ではない面１４の開放側端部が下向きの状態で排水受け２０内部には入らない位置までにすると良い。これにより端材８が排水受け２０に落下するのを防ぐことができる。

【0035】

剥がれ落ちた、或いは滑り落ちた端材８は、さらに破片受け３０（或いは破片受け３２）の通路を通って破片受け３０（或いは破片受け３２）から落下する。破片受け３０（或いは破片受け３２）の下には回収容器４０（或いは回収容器４２）が配置される。

【0036】

複数の回収容器４０，４２は、複数のかご１０，１２が個別に上部が下を向く方向に回転することによって落下する端材８を回収する。図５（ｃ）の例では、破片受け３０から落下した端材８を回収容器４０が回収する。また、破片受け３２から落下した端材８を回収容器４２が回収する。

【0037】

端材８が回収容器４０内に溜まることにより、重量センサ４４により測定された重量が規定量に達した段階で、回収容器４２が端材８を回収している間に、作業者は、回収容器４０を移動し、別の回収容器と交換する。例えば、制御回路１２０は、重量が規定量に達したことを示す信号を重量センサ４４から受信した場合にランプを点灯させる。作業者はランプの点灯を受けて回収容器４０の移動を行う。回収容器４０の内部に溜まった端材８は、移動後に廃棄される。或いは、回収容器４２が端材８を回収している間に、作業者は、回収容器４０を移動させ、内部の端材８を廃棄後に、また元の位置に回収容器４０を移動させる。これにより、新たな回収容器４０内は空となる。作業者は台車４１を用いることで容易に回収容器４０を移動させることができると共に移動した回収容器４０を交換できる。よって、作業性を向上できる。

【0038】

その後、今度は端材８が回収容器４２内に溜まることにより、重量センサ４５により測定された重量が規定量に達した段階で、回収容器４０が端材８を回収している間に、作業者は、回収容器４２を移動し、別の回収容器と交換する。例えば、制御回路１２０は、重量が規定量に達したことを示す信号を重量センサ４５から受信した場合にランプを点灯させる。作業者はランプの点灯を受けて回収容器４２の移動を行う。回収容器４２の内部に溜まった端材８は、移動後に廃棄される。或いは、回収容器４０が端材８を回収している間に、作業者は、回収容器４２を移動させ、内部の端材８を廃棄後に、また元の位置に回収容器４２を移動させる。これにより、新たな回収容器４２内は空となる。作業者は台車４３を用いることで容易に回収容器４２を移動させることができると共に移動した回収容器４２を交換できる。よって、作業性を向上できる。

【0039】

かかる動作を繰り返すことにより、端材８の回収を連続して行うことができる。よって、上流側のプロセス装置を停止させる必要が無く生産性を向上できる。さらに、端材８の分離と回収は端材回収装置１００内で、自動で行われるため作業者が端材８に直接触れないようにできる。よって、従来に比べて安全性を向上させることができる。

【0040】

図７は、第１の実施形態におけるかごの構成の他の一例を示す図である。図７の例では、メッシュ面（多孔面）となる面１１が平面ではなく、例えばつづら折りに形成される。その他の点は、図２と同様である。かかる場合、端材８を捕集する面部分の面積を平面の場合よりも増やすことができる。メッシュ面（多孔面）となる部分の面積を増やすことで液体を流しやすくできる。これにより、かご１０（１２）に流入する混入液の単位時間あたりの処理量を増やすことができる。

【0041】

図８は、第１の実施形態におけるかごの回転動作の一例を示す図である。図８の例では、かご１０（１２）の側面の中心位置或いは重心位置に回転軸Ｏを設定する場合を示す。但し、これに限るものではない。

【0042】

図９は、第１の実施形態におけるかごの回転動作の他の一例を示す図である。図９に示すように、かご１０（１２）の底辺位置を回転軸Ｏに設定しても好適である。

【0043】

図１０は、第１の実施形態におけるかごの構成の他の一例を示す図である。図１０の例では、かご１０（１２）を構成する４つの面をメッシュ（多孔）構造とする場合を示している。かご１０（１２）に流入する混入液の量が１つのメッシュ面（多孔面）の排水許容量を超えるおそれがある場合は、４つの面をメッシュ（多孔）構造とすることで、混入液が排水受け２０へと通過することが可能な面積を増やすことができる。なお、４つの面をメッシュ（多孔）構造とする場合、面１１だけでなく面１４、１６，１８をも混入液が通過するので、かご１０，１２から排水受け２０へ液体が広範囲に排出されることになる。かかる場合、排水受け２０の受け口２４を破片受け３０（３２）側に延ばして広げ、逆に、破片受け３０（３２）の位置をずらすように構成すると良い。また、４つの面をメッシュ（多孔）構造として受け口２４を延ばした場合、かご１０，１２側面の中心を回転軸とすると、端材８の落下位置にまで受け口２４が広がってしまうおそれがある。そのため、かかる場合には、かご１０，１２側面の中心を回転軸とする構成よりもかご１０，１２の底辺位置を回転軸とする構成の方が、望ましい。

【0044】

図１１は、第１の実施形態における複数のかごの間に空間を空けずに配置する場合を示す図である。
図１２は、第１の実施形態における複数のかごの間に空間を空けて配置する場合を示す図である。
図１１に示すように、複数のかご１０，１２の間に余分な空間を実質的に空けずに複数のかご１０，１２を配置しても良いし、図１２に示すように、複数のかご１０，１２の間に大きな空間を空けて配置しても良い。図１１に示す構成では、複数のかご１０，１２の間に仕切り板２１を挟んで配置する。図１２に示す構成では、かご１０と空間の間に仕切り板２３を挟んで配置し、空間とかご１２の間に仕切り板２５を挟んで配置する。かかる仕切り板２１，２３，２５により、かご１０，１２の一方で受け入れている混入液の液体が、例えば端材８を乾燥中のかご１０，１２の他方に入り込まないように、複数のかご１０，１２の間を仕切ることができる。

【0045】

図１３は、第１の実施形態における破片受けの構成の一例を示す図である。
図１４は、第１の実施形態における破片受けとかごと排水受けとを配置した状態の一例を示す図である。図１３及び図１４では、破片受け３０（３２）の内部の形状が透けて見えるように図示している。破片受け３０（３２）には、端材８が、移動範囲が制限された状態で回収容器４０（４２）上に集まるように通路３４が形成される。そして、破片受け３０（３２）は、図１３及び図１４に示すように、かご１０（１２）が回転した際に、端材８が外部に漏れ出ないように通路３４上がカバー３６で覆われる。これにより、かご１０（１２）から乾燥させた端材８を下部に設置した回収容器４０（４２）へ落とし込む際に、端材８を周りに飛散させないようにすることができる。破片受け３０と排水受け２０は、図１４に示すように、回転するかご１０，１２を中心に排水と端材８が外部に漏れ出ない位置関係でこれらが配置されると好適である。

【0046】

以上のように第１の実施形態によれば、Ｓｉ端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のＳｉ端材を回収できる。

【0047】

以上、具体例を参照しつつ実施形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。

【0048】

その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての端材回収措置は、本発明の範囲に包含される。

【符号の説明】

【0049】

１０，１２ かご、２０ 排水受け、３０，３２ 破片受け、４０，４２ 回収容器、５０ 流路切替機構、６０，６２ センサ、１００ 端材回収装置、１２２，１２４ 回転駆動機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】