特開 2024-43152 ガスフィルタ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024043152

(43)【公開日】2024-03-29

(54)【発明の名称】ガスフィルタ装置

(51)【国際特許分類】

   F16J 15/10 20060101AFI20240322BHJP

   B01D 46/24 20060101ALI20240322BHJP

   B01D 39/20 20060101ALI20240322BHJP

【ＦＩ】

F16J15/10 A

F16J15/10 G

B01D46/24 B

B01D39/20 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022148175

(22)【出願日】2022-09-16

(71)【出願人】

【識別番号】000231556

【氏名又は名称】日本精線株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104134

【弁理士】

【氏名又は名称】住友 慎太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100156225

【弁理士】

【氏名又は名称】浦 重剛

(74)【代理人】

【識別番号】100168549

【弁理士】

【氏名又は名称】苗村 潤

(74)【代理人】

【識別番号】100200403

【弁理士】

【氏名又は名称】石原 幸信

(72)【発明者】

【氏名】小財 友樹

【テーマコード（参考）】

3J040

4D019

4D058

【Ｆターム（参考）】

3J040BA03

3J040EA03

3J040EA16

3J040FA07

3J040HA03

3J040HA15

4D019AA01

4D019BA05

4D019BB07

4D019BD01

4D019CA03

4D019CB01

4D019CB04

4D019CB06

4D058JA02

4D058JB06

4D058KC35

4D058KC63

4D058KC64

4D058KC81

4D058SA20

(57)【要約】

【課題】 量産誤差を有するセラミックフィルタ及びシール部材であっても、軸方向の端部を確実にシールし得るガスフィルタ装置を提供する。
【解決手段】 セラミックフィルタ２と、樹脂製のシール部材３とを含むガスフィルタ装置１である。シール部材３は、セラミックフィルタ２の端部２ｃが挿入される凹部４を有している。凹部４は、セラミックフィルタ２の外面２ａに対向して周方向に延びる第１面４ａと、セラミックフィルタ２の内面２ｂに対向して周方向に延びる第２面４ｂと、第１面４ａと第２面４ｂとを接続する底面４ｃとを含んでいる。第１面４ａには、セラミックフィルタ２の外面２ａに接触する第１シール部５ａが設けられている。第２面４ｂには、セラミックフィルタ２の内面２ｂに接触する第２シール部５ｂが設けられている。第２シール部５ｂは、第１シール部５ａよりも底面４ｃ側に設けられている。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

気体をろ過するためのガスフィルタ装置であって、
セラミックフィルタと、樹脂製のシール部材とを含み、
前記セラミックフィルタは、軸方向、径方向、周方向、径方向の外面、径方向の内面及び軸方向の一対の端部を規定する円筒形状をなし、
前記シール部材は、前記セラミックフィルタの軸方向の少なくとも一方の前記端部をシールするものであり、かつ、前記セラミックフィルタの前記端部が挿入される凹部を有し、
前記凹部は、前記セラミックフィルタの前記外面に対向して周方向に延びる第１面と、前記セラミックフィルタの前記内面に対向して周方向に延びる第２面と、前記第１面と前記第２面とを接続する底面とを含み、
前記第１面には、前記セラミックフィルタの前記外面に接触する第１シール部が設けられ、
前記第２面には、前記セラミックフィルタの前記内面に接触する第２シール部が設けられ、
前記第２シール部は、前記第１シール部よりも前記底面側に設けられている、
ガスフィルタ装置。

【請求項2】

前記第１シール部は、前記第１面の一部が前記セラミックフィルタの前記外面側に突出する少なくとも１つの突起構造を含む、請求項１に記載のガスフィルタ装置。

【請求項3】

前記突起構造は、周方向に連続して延びるリング形状をなす、請求項２に記載のガスフィルタ装置。

【請求項4】

前記第１シール部は、前記セラミックフィルタの軸方向において、複数の前記突起構造を含む、請求項２又は３に記載のガスフィルタ装置。

【請求項5】

前記複数の突起構造は、断面形状が互いに異なる、請求項４に記載のガスフィルタ装置。

【請求項6】

前記第２シール部は、前記第２面の内径が前記底面側に向けて連続的に減少するテーパー構造を含む、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガスフィルタ装置。

【請求項7】

前記第１面の軸方向の長さは、前記第２面の軸方向の長さよりも大きい、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガスフィルタ装置。

【請求項8】

前記シール部材は、フッ素樹脂から形成される、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガスフィルタ装置。

【請求項9】

前記フッ素樹脂は、ポリテトラフルオロエチレンである、請求項８に記載のガスフィルタ装置。

【請求項10】

前記シール部材は、前記セラミックフィルタの軸方向の両方の前記端部をシールするための一対の前記シール部材を含む、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガスフィルタ装置。

【請求項11】

前記セラミックフィルタの前記内面の径方向の内側に配された円筒状の支持体と、前記支持体及び前記セラミックフィルタの軸方向の外側に配された一対の保護部材とを含む、請求項１０に記載のガスフィルタ装置。

【請求項12】

前記一対の保護部材のそれぞれは、前記一対のシール部材のそれぞれの径方向外側に位置する筒部を有し、
前記一対のシール部材のそれぞれは、前記筒部に対向する外周面を含み、
前記外周面は、前記筒部に接触する第３シール部を有する、請求項１１に記載のガスフィルタ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、気体をろ過するためのガスフィルタ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造装置等に用いられるセラミックフィルタを含むガスフィルタ装置が知られている。例えば、下記特許文献１は、円筒形状をなすセラミックフィルターと、その端部をシールするシール部材と、シール部材を付勢する弾性部材とから構成されたガスフィルターを提案している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実願昭６３－０８９３５３号（実開平０２－０１２４２１号）のマイクロフィルム

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１のガスフィルタ装置は、セラミックフィルタ及びシール部材の製造時のバラつき、いわゆる量産誤差により、軸方向の端部から気体が漏れることがあり、セラミックフィルタの端部での気密性について、改善の要望が強かった。

【0005】

本発明は、以上のような実状に鑑み案出されたもので、量産誤差を有するセラミックフィルタ及びシール部材であっても、軸方向の端部を確実にシールし得るガスフィルタ装置を提供することを主たる目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、気体をろ過するためのガスフィルタ装置であって、セラミックフィルタと、樹脂製のシール部材とを含み、前記セラミックフィルタは、軸方向、径方向、周方向、径方向の外面、径方向の内面及び軸方向の一対の端部を規定する円筒形状をなし、前記シール部材は、前記セラミックフィルタの軸方向の少なくとも一方の前記端部をシールするものであり、かつ、前記セラミックフィルタの前記端部が挿入される凹部を有し、前記凹部は、前記セラミックフィルタの前記外面に対向して周方向に延びる第１面と、前記セラミックフィルタの前記内面に対向して周方向に延びる第２面と、前記第１面と前記第２面とを接続する底面とを含み、前記第１面には、前記セラミックフィルタの前記外面に接触する第１シール部が設けられ、前記第２面には、前記セラミックフィルタの前記内面に接触する第２シール部が設けられ、前記第２シール部は、前記第１シール部よりも前記底面側に設けられている、ガスフィルタ装置である。

【発明の効果】

【0007】

本発明のガスフィルタ装置は、上述の構成を備えることにより、セラミックフィルタやシール部材が量産誤差を有していたとしても、セラミックフィルタの軸方向の端部を確実にシールすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明のガスフィルタ装置の一実施形態を示す断面図である。

【図2】シール部材の断面図である。

【図3】図２のＡ部拡大図である。

【図4】シール部材の正面図である。

【図5】他の実施形態のシール部材の拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施の一形態が図面に基づき詳細に説明される。
図１は、本実施形態のガスフィルタ装置１を示す断面図である。図１に示されるように、本実施形態のガスフィルタ装置１は、半導体製造装置（図示省略）等に用いられる気体Ｇをろ過するためのものである。ガスフィルタ装置１は、例えば、インラインフィルタとして好適に用いられる。

【0010】

本実施形態のガスフィルタ装置１は、セラミックフィルタ２と、樹脂製のシール部材３とを含んでいる。ガスフィルタ装置１は、例えば、外装体を構成するステンレス等の金属製のハウジング（図示省略）内に配されている。なお、ガスフィルタ装置１は、例えば、真空チャンバーに搭載されるディフューザとして用いられる場合には、ハウジングが無くてもよい。

【0011】

本実施形態のセラミックフィルタ２は、軸方向、径方向、周方向、径方向の外面２ａ、径方向の内面２ｂ及び軸方向の一対の端部２ｃを規定する円筒形状をなしている。セラミックフィルタ２は、例えば、一方の端部２ｃ側から円筒形状の内部に気体Ｇが流入され、径方向の外側に流出する。

【0012】

図２は、シール部材３の断面図である。図２に示されるように、シール部材３は、セラミックフィルタ２の軸方向の少なくとも一方、本実施形態では両方の端部２ｃをシールするものである。シール部材３は、セラミックフィルタ２の端部２ｃが挿入される凹部４を有するのが望ましい。このようなシール部材３は、簡易な構成でセラミックフィルタ２の端部２ｃからの気体Ｇの漏れを抑制することができ、製造コストの低減にも役立つ。

【0013】

図３は、図２のＡ部拡大図である。図２及び図３に示されるように、本実施形態の凹部４は、セラミックフィルタ２の外面２ａに対向して周方向に延びる第１面４ａと、セラミックフィルタ２の内面２ｂに対向して周方向に延びる第２面４ｂとを含んでいる。凹部４は、第１面４ａと第２面４ｂとを接続する底面４ｃを含むのが望ましい。

【0014】

本実施形態の第１面４ａには、セラミックフィルタ２の外面２ａに接触する第１シール部５ａが設けられている。本実施形態の第２面４ｂには、セラミックフィルタ２の内面２ｂに接触する第２シール部５ｂが設けられている。このような第１シール部５ａ及び第２シール部５ｂは、セラミックフィルタ２を外面２ａ及び内面２ｂの両側から挟持することができ、セラミックフィルタ２の端部２ｃでの気密性を向上させることができる。

【0015】

本実施形態の第２シール部５ｂは、第１シール部５ａよりも底面４ｃ側に設けられている。これにより、第１シール部５ａ及び第２シール部５ｂは、凹部４にセラミックフィルタ２を挿入するときに、セラミックフィルタ２に対し、第１シール部５ａ、第２シール部５ｂの順で接触する。このようなシール部材３は、セラミックフィルタ２及びシール部材３の寸法誤差に対する許容度が大きい。

【0016】

このため、本実施形態のガスフィルタ装置１は、セラミックフィルタ２やシール部材３が量産誤差を有していたとしても、セラミックフィルタ２の軸方向の端部２ｃを確実にシールすることができる。これにより、本実施形態のガスフィルタ装置１は、製造時のバラつきにより量産誤差を有するセラミックフィルタ２及びシール部材３であっても、製品として使用可能であり、結果として、歩留まりの低下を抑制し、製造コストを低減させることができる。

【0017】

より好ましい態様として、セラミックフィルタ２は、１～１０μｍの孔径を有する多孔質フィルタである。セラミックフィルタ２は、例えば、ジルコニア、アルミナ等から形成されている。このようなセラミックフィルタ２は、塩素ガス等の腐食性を有する気体Ｇに対する耐食性に優れており、ガスフィルタ装置１の耐久性を向上させることに役立つ。

【0018】

図１に示されるように、本実施形態のシール部材３は、セラミックフィルタ２の軸方向の両方の端部２ｃをシールするための一対のシール部材３を含んでいる。このようなシール部材３は、セラミックフィルタ２の軸方向の両方の端部２ｃからの気体Ｇの漏れを抑制することができる。

【0019】

本実施形態のガスフィルタ装置１は、セラミックフィルタ２の内面２ｂの径方向の内側に配された支持体６と、支持体６及びセラミックフィルタ２の軸方向の外側に配された一対の保護部材７と、気体Ｇを流入するための継手８とを含んでいる。

【0020】

支持体６は、例えば、複数の貫通孔６ａが設けられたステンレス等の金属製のパンチングメタルから形成されている。複数の貫通孔６ａのそれぞれの直径ｄは、好ましくは、１．０～２．０mmである。本実施形態の支持体６は、円筒状に形成されている。このような支持体６は、気体Ｇを径方向に均等に排出するのに適している。

【0021】

なお、支持体６は、このような態様に限定されるものではなく、例えば、楕円筒状であってもよく、多角筒状であってもよい。同様に、貫通孔６ａの形状も、このような態様に限定されるものではなく、気体Ｇを均等に排出でき、支持体６の強度を保持可能であれば、例えば、楕円形、多角形、スリット状等であってもよく、その大きさや数も適宜調整可能である。

【0022】

保護部材７は、例えば、ステンレス等の金属から形成されている。支持体６と保護部材７とは、互いに溶接により固着されるのが望ましい。このような支持体６及び保護部材７は、セラミックフィルタ２及びシール部材３を保持することができ、ガスフィルタ装置１のシール性と耐久性とを向上させることができる。

【0023】

一対の保護部材７のそれぞれは、一対のシール部材３のそれぞれの径方向外側に位置する筒部７ａと、一対のシール部材３のそれぞれの軸方向外側に位置する底部７ｂとを有するのが望ましい。筒部７ａは、例えば、その内径が底部７ｂ側に向けて連続的に減少するテーパー構造を含んでいる。

【0024】

このような保護部材７は、セラミックフィルタ２、シール部材３及び保護部材７が量産誤差を有している場合にも、容易に組みつけることができ、結果として歩留まりの低下を抑制し、ガスフィルタ装置１の製造コストを低減させることに役立つ。

【0025】

保護部材７は、例えば、セラミックフィルタ２の軸方向の一方側に配された第１保護部材７Ａと、セラミックフィルタ２の軸方向の他方側に配された第２保護部材７Ｂとを含んでいる。第１保護部材７Ａの筒部７ａと第２保護部材７Ｂの筒部７ａとは、同一形状であるのが望ましい。このような保護部材７は、シール部材３を安定して保持することができる。

【0026】

継手８は、例えば、ステンレス等の金属から形成されている。本実施形態の継手８は、第１保護部材７Ａの底部７ｂに接続されている。継手８は、気体Ｇを流入可能な流入口８ａを有するのが望ましい。継手８は、例えば、ガスフィルタ装置１の上流側の流路、容器等に接続されている。このような継手８は、気体Ｇをガスフィルタ装置１内にスムーズに流入させることができ、また、耐久性にも優れている。

【0027】

図１ないし図３に示されるように、本実施形態の一対のシール部材３のそれぞれは、保護部材７の筒部７ａに対向する外周面３ａを含んでいる。外周面３ａは、筒部７ａに接触する第３シール部５ｃを有するのが望ましい。このような第３シール部５ｃは、テーパー構造の筒部７ａと協働して、シール部材３と保護部材７との間から気体Ｇが漏れるのを抑制することができる。

【0028】

第３シール部５ｃは、第１シール部５ａよりも底面４ｃ側に設けられている。このようなシール部材３は、シール時の弾性変形による応力集中を抑制し、耐久性を向上させることに役立つ。

【0029】

シール部材３の第１シール部５ａは、第１面４ａの一部がセラミックフィルタ２の外面２ａ側に突出する少なくとも１つの、本実施形態では１つの突起構造を含んでいる。シール部材３の第３シール部５ｃは、同様に、外周面３ａの一部が径方向の外側に突出する少なくとも１つの突起構造を含むのが望ましい。このようなシール部材３は、シールする位置を突起構造の位置で設定することができ、セラミックフィルタ２の端部２ｃを確実にシールすることができる。

【0030】

突起構造の突出高さｈ１、ｈ２は、好ましくは、第１面４ａから外周面３ａまでの径方向の厚さｔの５％～４０％である。突起構造の突出高さｈ１、ｈ２が厚さｔの５％以上であることで、弾性変形によるシール性を確実に発揮することができる。このような観点から、突起構造の突出高さｈ１、ｈ２は、より好ましくは、厚さｔの１０％以上である。突起構造の突出高さｈ１、ｈ２が厚さｔの４０％以下であることで、セラミックフィルタ２やシール部材３、保護部材７が量産誤差を有している場合にも、容易に組みつけることができる。このような観点から、突起構造の突出高さｈ１、ｈ２は、より好ましくは、厚さｔの３０％以下である。

【0031】

本実施形態では、第１シール部５ａの突出高さｈ１と第３シール部５ｃの突出高さｈ２とが等しい。このようなシール部材３は、第１面４ａ側及び外周面３ａ側で均等にシール性を向上させることができる。なお、第１シール部５ａの突出高さｈ１と第３シール部５ｃの突出高さｈ２とは、互いに異なるものであってもよい。

【0032】

突起構造は、例えば、断面形状が略半円形である。本実施形態の突起構造の断面における曲率半径は、突起構造の突出高さｈ１、ｈ２に等しい。このような突起構造は、組みつけ作業の容易性と弾性変形によるシール性とを両立させることができる。なお、突起構造は、このような態様に限定されるものではなく、例えば、曲率半径が突出高さｈ１、ｈ２よりも大きいものであってもよく、また、断面形状が半楕円形や台形、三角形等の多角形であってもよい。

【0033】

図４は、シール部材３を凹部４側から見た正面図である。図１ないし４に示されるように、第１シール部５ａ及び第３シール部５ｃの突起構造は、周方向に連続して延びるリング形状をなすのが望ましい。このようなシール部材３は、周方向の全域においてシールすることができ、シール性をより向上させることができる。

【0034】

第２シール部５ｂは、凹部４の第２面４ｂの内径が底面４ｃ側に向けて連続的に減少するテーパー構造を含むのが望ましい。このような第２シール部５ｂは、セラミックフィルタ２やシール部材３が量産誤差を有している場合にも、容易に組みつけることができ、優れたシール性を発揮することができる。

【0035】

本実施形態の第１面４ａの軸方向の長さＬ１は、第２面４ｂの軸方向の長さＬ２よりも大きい。このような凹部４は、セラミックフィルタ２が挿入されるときの位置合わせが容易であり、セラミックフィルタ２やシール部材３が量産誤差を有している場合にも、容易に組みつけることができる。

【0036】

シール部材３は、フッ素樹脂から形成されるのが望ましい。このようなシール部材３は、優れた弾性を備えており、第１シール部５ａ、第２シール部５ｂ及び第３シール部５ｃが弾性変形してシールすることを許容し、シール性を向上させることに役立つ。また、このシール部材３は、塩素ガス等の腐食性を有する気体Ｇに対する耐食性に優れており、ガスフィルタ装置１の耐久性を向上させることに役立つ。

【0037】

フッ素樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）等が挙げられる。本実施形態のフッ素樹脂は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）である。このようなシール部材３は、耐熱性及び耐薬品性に優れており、高温環境下で腐食性を有する気体Ｇをろ過する場合にも、高いシール性を長期間維持することができる。

【0038】

次に、本実施形態のガスフィルタ装置１の組立方法が説明される。
ガスフィルタ装置１の組立方法は、まず、支持体６と第２保護部材７Ｂとを溶接等により固着して第１部材を形成する第１工程Ｓ１が行われるのが望ましい。

【0039】

ガスフィルタ装置１の組立方法は、例えば、第１工程Ｓ１の次に、セラミックフィルタ２の両方の端部２ｃにシール部材３を挿入して第２部材を形成する第２工程Ｓ２が行われる。第２工程Ｓ２は、例えば、プレス機を用いてセラミックフィルタ２の端部２ｃにシール部材３が挿入される。なお、第２工程Ｓ２は、第１工程Ｓ１とは別に独立して行われるため、第１工程Ｓ１の前に行われてもよく、第１工程Ｓ１と第２工程Ｓ２とが、同時に行われてもよい。

【0040】

本実施形態のガスフィルタ装置１の組立方法は、第１工程Ｓ１及び第２工程Ｓ２の次に、第１部材と第２部材とを組みつけて第３部材を形成する第３工程Ｓ３が行われる。ガスフィルタ装置１の組立方法は、第３工程Ｓ３の次に、第３部材に第１保護部材７Ａを組みつけて第４部材を形成する第４工程Ｓ４が行われるのが望ましい。第４工程Ｓ４は、例えば、プレス機を用いて第１保護部材７Ａ及び第２保護部材７Ｂにシール部材３を圧入することで、第４部材を形成している。

【0041】

ガスフィルタ装置１の組立方法は、第４工程Ｓ４の次に、支持体６と第１保護部材７Ａとを溶接等により固着して第４部材を一体化する第５工程Ｓ５が行われるのが望ましい。本実施形態のガスフィルタ装置１の組立方法は、第５工程Ｓ５の次に、第４部材に継手８を溶接等により固着してガスフィルタ装置１を得る第６工程Ｓ６が行われる。

【0042】

図５は、他の実施形態のシール部材１０の拡大断面図である。この実施形態のシール部材１０は、上述のシール部材３と同様、セラミックフィルタ２の端部２ｃ（図１に示す）をシールするものである。図５に示されるように、この実施形態のシール部材１０は、上述のシール部材３と同様、保護部材７の筒部７ａ（図１に示す）に対向する外周面１０ａと、セラミックフィルタ２の端部２ｃが挿入される凹部１１とを有している。

【0043】

凹部１１は、上述の凹部４と同様、セラミックフィルタ２の外面２ａに対向して周方向に延びる第１面１１ａと、セラミックフィルタ２の内面２ｂに対向して周方向に延びる第２面１１ｂと、第１面１１ａと第２面１１ｂとを接続する底面１１ｃを含むのが望ましい。

【0044】

この実施形態の第１面１１ａには、上述の第１面４ａと同様、セラミックフィルタ２の外面２ａに接触する第１シール部１２ａが設けられている。この実施形態の第２面１１ｂには、上述の第２面４ｂと同様、セラミックフィルタ２の内面２ｂに接触する第２シール部１２ｂが設けられている。この実施形態の外周面１０ａには、上述の外周面３ａと同様、保護部材７の筒部７ａに接触する第３シール部１２ｃが設けられている。

【0045】

第１シール部１２ａは、セラミックフィルタ２の軸方向において、複数の突起構造を含むのが望ましい。この実施形態の第１シール部１２ａは、第１突起１２ｄ、第２突起１２ｅ及び第３突起１２ｆを含んでいる。このような第１シール部１２ａは、３重のシール構造により、セラミックフィルタ２やシール部材１０が量産誤差を有していたとしても、セラミックフィルタ２の軸方向の端部２ｃをより確実にシールすることができる。なお、第１シール部１２ａは、３重のシール構造に限定されるものではなく、２重のシール構造であってもよく、更に４重以上のシール構造であってもよい。

【0046】

複数の突起構造は、断面形状が互いに異なるのが望ましい。この実施形態の複数の突起構造は、第１突起１２ｄ、第２突起１２ｅ及び第３突起１２ｆの突出高さｈ３、ｈ４、ｈ５が互いに異なっている。この実施形態の第２突起１２ｅの突出高さｈ４は、第１突起１２ｄの突出高さｈ３よりも大きく、第３突起１２ｆの突出高さｈ５よりも小さい。

【0047】

このような第１シール部１２ａは、セラミックフィルタ２やシール部材１０が量産誤差を有していたとしても、スムーズに組みつけることができ、組みつけ作業の容易性とシール性とを両立させることができる。なお、複数の突起構造は、このような態様に限定されるものではなく、例えば、第１突起１２ｄの突出高さｈ３が第３突起１２ｆの突出高さｈ５よりも大きくてもよい。また、複数の突起構造は、例えば、第１突起１２ｄ、第２突起１２ｅ及び第３突起１２ｆの断面形状が、それぞれ、三角形、半円形及び台形のように互いに異なるものであってもよい。なお、複数の突起構造は、断面形状が互いに同一の場合でも、複数のシール構造による効果を同様に奏することができる。

【0048】

第３シール部１２ｃの突起構造は、例えば、第１突起１２ｄ、第２突起１２ｅ及び第３突起１２ｆのいずれとも異なるものであってよい。この実施形態の第３シール部１２ｃの突出高さｈ６は、第３突起１２ｆの突出高さｈ５よりも大きい。このようなシール部材１０は、第１面１１ａ側で複数のシール構造によりシール性を向上させ、外周面１０ａ側で大きい突起構造によりシール性を向上させることができる。なお、第３シール部１２ｃの断面形状は、第１突起１２ｄ、第２突起１２ｅ又は第３突起１２ｆのいずれかの断面形状に等しくてもよい。

【0049】

以上、本発明の特に好ましい実施形態について詳述したが、本発明は、上述の実施形態に限定されることなく、種々の態様に変形して実施され得る。

【0050】

［付記］
本発明は、次のとおりである。

【0051】

［本発明１］
気体をろ過するためのガスフィルタ装置であって、
セラミックフィルタと、樹脂製のシール部材とを含み、
前記セラミックフィルタは、軸方向、径方向、周方向、径方向の外面、径方向の内面及び軸方向の一対の端部を規定する円筒形状をなし、
前記シール部材は、前記セラミックフィルタの軸方向の少なくとも一方の前記端部をシールするものであり、かつ、前記セラミックフィルタの前記端部が挿入される凹部を有し、
前記凹部は、前記セラミックフィルタの前記外面に対向して周方向に延びる第１面と、前記セラミックフィルタの前記内面に対向して周方向に延びる第２面と、前記第１面と前記第２面とを接続する底面とを含み、
前記第１面には、前記セラミックフィルタの前記外面に接触する第１シール部が設けられ、
前記第２面には、前記セラミックフィルタの前記内面に接触する第２シール部が設けられ、
前記第２シール部は、前記第１シール部よりも前記底面側に設けられている、
ガスフィルタ装置。

【0052】

［本発明２］
前記第１シール部は、前記第１面の一部が前記セラミックフィルタの前記外面側に突出する少なくとも１つの突起構造を含む、本発明１に記載のガスフィルタ装置。

【0053】

［本発明３］
前記突起構造は、周方向に連続して延びるリング形状をなす、本発明２に記載のガスフィルタ装置。

【0054】

［本発明４］
前記第１シール部は、前記セラミックフィルタの軸方向において、複数の前記突起構造を含む、本発明２又は３に記載のガスフィルタ装置。

【0055】

［本発明５］
前記複数の突起構造は、断面形状が互いに異なる、本発明４に記載のガスフィルタ装置。

【0056】

［本発明６］
前記第２シール部は、前記第２面の内径が前記底面側に向けて連続的に減少するテーパー構造を含む、本発明１ないし５のいずれかに記載のガスフィルタ装置。

【0057】

［本発明７］
前記第１面の軸方向の長さは、前記第２面の軸方向の長さよりも大きい、本発明１ないし６のいずれかに記載のガスフィルタ装置。

【0058】

［本発明８］
前記シール部材は、フッ素樹脂から形成される、本発明１ないし７のいずれかに記載のガスフィルタ装置。

【0059】

［本発明９］
前記フッ素樹脂は、ポリテトラフルオロエチレンである、本発明８に記載のガスフィルタ装置。

【0060】

［本発明１０］
前記シール部材は、前記セラミックフィルタの軸方向の両方の前記端部をシールするための一対の前記シール部材を含む、本発明１ないし９のいずれかに記載のガスフィルタ装置。

【0061】

［本発明１１］
前記セラミックフィルタの前記内面の径方向の内側に配された円筒状の支持体と、前記支持体及び前記セラミックフィルタの軸方向の外側に配された一対の保護部材とを含む、本発明１０に記載のガスフィルタ装置。

【0062】

［本発明１２］
前記一対の保護部材のそれぞれは、前記一対のシール部材のそれぞれの径方向外側に位置する筒部を有し、
前記一対のシール部材のそれぞれは、前記筒部に対向する外周面を含み、
前記外周面は、前記筒部に接触する第３シール部を有する、本発明１１に記載の

【符号の説明】

【0063】

１ ガスフィルタ装置
２ セラミックフィルタ
２ａ 外面
２ｂ 内面
２ｃ 端部
３ シール部材
４ 凹部
４ａ 第１面
４ｂ 第２面
４ｃ 底面
５ａ 第１シール部
５ｂ 第２シール部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】