特開 2024-43211 補正装置及び補正方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024043211

(43)【公開日】2024-03-29

(54)【発明の名称】補正装置及び補正方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20240322BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022148269

(22)【出願日】2022-09-16

(71)【出願人】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】池田 達哉

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼宮 英泰

(72)【発明者】

【氏名】杉浦 聡

【テーマコード（参考）】

5E353

【Ｆターム（参考）】

5E353CC04

5E353EE51

5E353EE53

5E353EE88

5E353EE89

5E353GG01

5E353GG05

5E353GG21

5E353HH30

5E353HH51

5E353JJ02

5E353JJ25

5E353JJ48

5E353KK02

5E353KK03

5E353KK11

5E353QQ07

5E353QQ12

(57)【要約】

【課題】変形した被補正部材の曲線形状を推定する際に必要な点を仮想的に決定することができる補正装置及び補正方法を提供すること。
【解決手段】補正装置は、基準部材及び被補正部材の一方部材にそれぞれ付された第一マーク及び第二マークの位置を、基準部材及び被補正部材の他方部材に設けられた測定装置により測定して取得する取得部と、測定された第一マーク及び第二マークの位置を用いて、一方部材に仮想的に決定可能な第三マークの位置を算出し、第一マーク、第二マーク、及び第三マークの位置に基づいて、基準部材に対して変形した被補正部材の形状を推定する推定部と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基準部材及び被補正部材の一方部材にそれぞれ付された第一マーク及び第二マークの位置を、前記基準部材及び前記被補正部材の他方部材に設けられた測定装置により測定して取得する取得部と、
測定された前記第一マーク及び前記第二マークの位置を用いて、前記一方部材に仮想的に決定可能な第三マークの位置を算出し、前記第一マーク、前記第二マーク、及び前記第三マークの位置に基づいて、前記基準部材に対して変形した前記被補正部材の形状を推定する推定部と、
を備えた、補正装置。

【請求項2】

前記被補正部材は、一面側における熱膨張率と変形した第一方向にて前記一面側に対する背面側における熱膨張率とが異なり、
前記被補正部材の前記形状は、熱膨張率の差に起因して前記第一方向に沿って凸となる曲線形状である、請求項１に記載の補正装置。

【請求項3】

前記取得部は、前記被補正部材が熱変形する前と、前記被補正部材が熱変形した後との各々において、前記測定装置によって前記第一マーク及び前記第二マークを測定して取得する、請求項１又は２に記載の補正装置。

【請求項4】

前記被補正部材は、両端位置が支持されており、
前記推定部は、前記被補正部材の前記両端位置の間において設定可能な対称軸について、前記第一マーク又は前記第二マークと線対称となる前記第三マークを算出する、請求項１又は２に記載の補正装置。

【請求項5】

前記被補正部材の変形に伴って移動した前記被補正部材の任意点を、前記任意点が移動する前に位置していた起点に一致するように補正するための補正量を算出する補正量算出部を備えた、請求項１又は２に記載の補正装置。

【請求項6】

前記補正量は、前記第一マークに対応する第一点、前記第二マークに対応する第二点及び前記第三マークに対応する第三点のそれぞれの前記起点から前記第一点、前記第二点及び前記第三点への各々の変化量を用いた二次曲線近似によって算出される、請求項５に記載の補正装置。

【請求項7】

前記補正量は、前記第一点、前記第二点及び前記第三点に対応する各々の前記変化量を用いて前記二次曲線近似を表す二次関数における３つの係数を決定し、決定した３つの前記係数を用いた前記二次関数に従って算出される、請求項６に記載の補正装置。

【請求項8】

前記補正量算出部は、所定条件が成立するごとに、前記補正量を算出する、請求項５に記載の補正装置。

【請求項9】

前記所定条件は、
前回前記補正量を算出してから所定時間が経過した場合、基板に部品を装着する部品装着機において生産した前記基板の枚数が所定枚数に達した場合、及び、前記部品装着機の内部温度が所定温度に達した場合のうちの少なくとも一つである、請求項８に記載の補正装置。

【請求項10】

前記取得部は、
基板に部品を装着する部品装着機に設けられて前記基板を撮像する基板カメラを前記測定装置として用い、
前記基板カメラによって前記基準部材を撮像した画像に基づいて、前記基準部材に付された前記第一マーク及び前記第二マークを測定して取得する、請求項１又は２に記載の補正装置。

【請求項11】

前記基準部材及び前記被補正部材は、
前記被補正部材が変形した第一方向に直交する第二方向に延伸すると共に、前記第一方向及び前記第二方向に直交する第三方向に互いに離間して配置される、請求項１又は２に記載の補正装置。

【請求項12】

前記被補正部材は、
基板に部品を装着する部品装着機に設けられており、前記第二方向に相当する前記基板の搬送方向に沿って延設されて前記部品装着機の装着ヘッドを支持するＹスライドである、請求項１１に記載の補正装置。

【請求項13】

基準部材及び被補正部材の一方部材にそれぞれ付された第一マーク及び第二マークの位置を、前記基準部材及び前記被補正部材の他方部材に設けられた測定装置により測定して取得する取得工程と、
測定された前記第一マーク及び前記第二マークの位置を用いて、前記一方部材に仮想的に決定可能な第三マークの位置を算出し、前記第一マーク、前記第二マーク、及び前記第三マークの位置に基づいて、前記基準部材に対して変形した前記被補正部材の形状を推定する推定工程と、
前記被補正部材の変形に伴って移動した前記被補正部材の任意点を、前記任意点が移動する前に位置していた起点に一致するように補正するための補正量を算出する補正量算出工程と、
を備えた、補正方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、補正装置及び補正方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来から、例えば、特許文献１に開示された部品搭載装置が知られている。従来の部品搭載装置は、基準固定レール上に設定された３つの基準マークを、装着ヘッドと一体に軸状の被補正部材上を移動するＣＣＤカメラによって撮像するようになっている。そして、従来の部品搭載装置においては、３つの基準マークを、製造組立時と、設置時との２回撮像し、それぞれの基準マークの位置変化の差分を被補正部材の反り量として算出し、座標補正を行うようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７－１６５５６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、上述した従来の部品搭載装置では、基準固定レール上に予め設定された３つの基準マークを撮像し、撮像した３つの基準マークの各々の座標を用いて、反りが発生した被補正部材の反り量の算出を行う。この場合、ＣＣＤカメラを移動させることにより、反り量の算出に必要な、換言すれば、変形した被補正部材の曲線形状の把握に必要な３つの基準マークを撮像できる場合には、変形した被補正部材の曲線形状を把握することができて、反り量を算出することができる。しかしながら、ＣＣＤカメラを移動させても、設定されている３つの基準マークのうちの１つでも基準マークの撮像が困難である場合には、変形した被補正部材の曲線形状を把握すること、即ち、反り量を算出することが困難になる。

【0005】

本明細書は、変形した被補正部材の曲線形状を推定する際に必要な点を仮想的に決定することができる補正装置及び補正方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書は、基準部材及び被補正部材の一方部材にそれぞれ付された第一マーク及び第二マークの位置を、基準部材及び被補正部材の他方部材に設けられた測定装置により測定して取得する取得部と、測定された第一マーク及び第二マークの位置を用いて、一方部材に仮想的に決定可能な第三マークの位置を算出し、第一マーク、第二マーク、及び第三マークの位置に基づいて、基準部材に対して変形した被補正部材の形状を推定する推定部と、を備えた、補正装置を開示する。

【0007】

又、本明細書は、基準部材及び被補正部材の一方部材にそれぞれ付された第一マーク及び第二マークの位置を、基準部材及び被補正部材の他方部材に設けられた測定装置により測定して取得する取得工程と、測定された第一マーク及び第二マークの位置を用いて、一方部材に仮想的に決定可能な第三マークの位置を算出し、第一マーク、第二マーク、及び第三マークの位置に基づいて、基準部材に対して変形した被補正部材の形状を推定する推定工程と、被補正部材の変形に伴って移動した被補正部材の任意点を、任意点が移動する前に位置していた起点に一致するように補正するための補正量を算出する補正量算出工程と、を備えた、補正方法を開示する。

【0008】

本明細書では、出願当初の請求項４において、「請求項１又は２記載の補正装置」を「請求項１－３の何れか一項に記載の補正装置」に変更した技術的思想も開示されている。又、本明細書では、出願当初の請求項５において、「請求項１又は２記載の補正装置」を「請求項１－４の何れか一項に記載の補正装置」に変更した技術的思想も開示されている。又、本明細書では、出願当初の請求項１０において、「請求項１又は２記載の補正装置」を「請求項１－９の何れか一項に記載の補正装置」に変更した技術的思想も開示されている。更に、本明細書では、出願当初の請求項１１において、「請求項１又は２記載の補正装置」を「請求項１－１０の何れか一項に記載の補正装置」に変更した技術的思想も開示されている。

【発明の効果】

【0009】

これらによれば、補正装置は、取得した第一マーク及び第二マークを用いて、変形した被補正部材の形状を推定する際に必要な点に対応する第三マークを仮想的に決定することができる。そして、補正装置は、推定された被補正部材の形状に基づいて、変形した被補正部材を変形する前の形状に補正することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】部品装着機の構成例を示す平面図である。

【図2】被補正部材の一例を示す斜視図である。

【図3】被補正部材の変形（熱変形）を説明するための模式図である。

【図4】補正装置の制御ブロックの一例を示すブロック図である。

【図5】変形前（熱変形前）の第一マーク及び第二マークを説明するための模式図である。

【図6】変形後（熱変形後）の第一マーク及び第二マークを説明するための模式図である。

【図7】被補正部材の変形（熱変形）の線対称を説明するための模式図である。

【図8】第三マークの仮想的な決定を説明するための模式図である。

【図9】被補正部材の形状の推定を説明するための模式図である。

【図10】変形例を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、補正装置及び補正方法について、図面を参照しながら説明する。本実施形態においては、補正装置及び補正方法が、部品（例えば、電子部品等）を基板に装着する装着作業を実施する部品装着機に設けられている基板カメラを用いる場合を例示する。ここで、本実施形態の補正装置及び補正方法においては、基板Ｋを搬送するＸ軸方向とし、Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向として説明する。そして、以下の説明において、「第一方向」はＹ軸方向に相当し、「第二方向」はＸ軸方向に相当し、「第三方向」はＺ軸方向に相当するものとして説明する。

【0012】

１．部品装着機１０の構成
部品装着機１０の構成について、図１を参照して説明する。部品装着機１０は、基板Ｋに複数の部品Ｂを装着する。このため、部品装着機１０は、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、測定装置としての基板カメラ１５及び制御装置１６を備えている。

【0013】

基板搬送装置１１は、第一ガイドレール１１１及び第二ガイドレール１１２を備えている。第一ガイドレール１１１及び第二ガイドレール１１２は、Ｘ軸方向（第二方向）に延在し、且つ、Ｙ軸方向（第一方向）にて互いに平行となるように図示を省略する基台に組み付けられている。ここで、第一ガイドレール１１１は、基台に対して固定されており、特に、Ｙ軸方向（第一方向）への変形（熱変形を含む）が生じにくくなっている。一方、第二ガイドレール１１２は、例えば、搬送する基板Ｋの大きさ（幅の大きさ）に応じて、第一ガイドレール１１１に対してＹ軸方向（第一方向）に沿って接近可能又は離間可能になっている。

【0014】

従って、本実施形態においては、第一ガイドレール１１１を「基準部材」として説明する。そして、本実施形態においては、図１に示すように、「基準部材及び被補正部材の一方部材」としての基準部材である第一ガイドレール１１１に第一マークＭ１及び第二マークＭ２が付されている。

【0015】

又、基板搬送装置１１は、第一ガイドレール１１１及び第二ガイドレール１１２に沿って、互いに離間して平行に配置された一対のコンベアベルトが設けられる。一対のコンベアベルトは、コンベア搬送面に基板Ｋを載置した状態で輪転して、基板ＫをＸ軸方向（第二方向）に沿って搬送する。ここで、基板Ｋは、回路基板であり、例えば、電子回路、電気回路、磁気回路等が形成される。基板搬送装置１１は、部品装着機１０の機内に基板Ｋを搬入し、機内の所定位置に基板Ｋを位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１０による複数の部品Ｂの装着処理が終了した後に、基板Ｋを部品装着機１０の機外に搬出する。

【0016】

部品供給装置１２は、基板Ｋに装着される複数の部品Ｂを供給する。部品供給装置１２は、基板Ｋの搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられる複数のフィーダ１２１を備えている。複数のフィーダ１２１の各々には、リールが装備されている。リールには、複数の部品Ｂが収納されているキャリアテープが巻回されている。フィーダ１２１は、キャリアテープをピッチ送りさせて、フィーダ１２１の先端側に位置する供給位置において部品Ｂを採取可能に供給する。尚、部品供給装置１２は、チップ部品等に比べて比較的大型のリード部品をトレイ上に配置した状態で供給することもできる。

【0017】

部品移載装置１３は、一対のＹ軸レール１３１、Ｙスライド１３２及びＸスライド１３３を主として備えている。一対のＹ軸レール１３１は、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って延在して設けられている。被補正部材としての軸状のＹスライド１３２は、Ｘ軸方向（第二方向）に相当する基板Ｋの搬送方向に沿って延設されて一対のＹ軸レール１３１に懸架されている。そして、Ｙスライド１３２は、一対のＹ軸レール１３１よって両端位置が支持されている。Ｙスライド１３２は、図示を省略する直動機構によって、Ｙ軸方向（第一方向）に移動する。Ｘスライド１３３は、Ｙスライド１３２に懸架されている。Ｘスライド１３３は、図示を省略する直動機構によって、Ｘ軸方向（第二方向）に移動する。

【0018】

ここで、Ｙスライド１３２は、図２に示すように、断面形状が矩形であり、軽量化等を目的として、異なる材料から形成された第一スライド部材１３２Ａ及び第二スライド部材１３２Ｂが互いに接着されて形成されている。第一スライド部材１３２Ａは、例えば、金属材料（鉄材料、アルミニウム、アルミニウム合金等）から形成されている。第二スライド部材１３２Ｂは、例えば、カーボン材料、炭素繊維強化樹脂やアラミド樹脂強化繊維等を含む繊維強化樹脂等から形成されている。このため、第一スライド部材１３２Ａと第二スライド部材１３２Ｂとでは、熱膨張率が異なる。例えば、カーボン材料等から形成される第二スライド部材１３２Ｂの熱膨張率は、鉄材料等から形成される第一スライド部材１３２Ａの熱膨張率よりも小さい。

【0019】

そして、Ｙスライド１３２は、図１及び図２に示すように、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って一面側に第一スライド部材１３２Ａが配置され且つ背面側に第二スライド部材１３２Ｂが配置される。このため、後述するように、Ｙスライド１３２は、部品装着機１０の機内の温度変化、具体的には、温度上昇に応じて、第一スライド部材１３２Ａの熱膨張に伴う熱変形の変形量が第二スライド部材１３２Ｂの熱膨張に伴う熱変形の変形量よりも大きくなる。その結果、Ｙスライド１３２は、生じた熱変形の変形量の差に起因して変形した形状、例えば、弓なりに湾曲して変形したＹ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状になる傾向を有する（図３を参照）。尚、第一スライド部材１３２Ａ及び第二スライド部材１３２Ｂは、それぞれ、一対のＹ軸レール１３１によって拘束された状態で、Ｘ軸方向（第二方向）にも膨張するように熱変形する。

【0020】

又、Ｙスライド１３２に懸架されたＸスライド１３３には、クランプ部材によって装着ヘッド２０が着脱可能（交換可能）に設けられている。即ち、Ｙスライド１３２は、Ｘスライド１３３を介して、装着ヘッド２０を支持する。装着ヘッド２０は、少なくとも一つの保持部材２１を用いて、部品供給装置１２によって供給された部品Ｂを採取して保持し、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板Ｋに部品Ｂを装着する。保持部材２１は、例えば、吸着ノズルや、チャック等を用いることができる。尚、吸着ノズルは、鉛直方向即ちＺ軸方向（第三方向）に沿って昇降可能とされており、負圧の供給によってフィーダ１２１の供給位置から部品Ｂを吸着して採取する吸着動作、及び、正圧の供給によって部品Ｂを基板Ｋに装着する装着動作を行う。

【0021】

部品カメラ１４は、光軸がＺ軸方向（第三方向）即ち鉛直方向において上向きになるように、例えば、部品装着機１０の基台に固定された第一ガイドレール１１１に支持されている。このため、部品カメラ１４は、吸着ノズル等の保持部材２１に保持されている部品Ｂ等を鉛直方向にて下方から撮像することができる。

【0022】

測定装置としての基板カメラ１５は、光軸がＺ軸方向（第三方向）即ち鉛直方向において下向きになるように、「基準部材及び被補正部材の他方部材」としての被補正部材である部品移載装置１３のＹスライド１３２、より詳しくは、Ｙスライド１３２に懸架されたＸスライド１３３に設けられている。このため、基板カメラ１５は、Ｙスライド１３２及びＸスライド１３３と共にＹ軸方向（第一方向）及びＸ軸方向（第二方向）に移動して、基板Ｋ及び基板Ｋに装着された部品Ｂ、並びに、第一ガイドレール１１１に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２を鉛直方向にて上方から撮像する。

【0023】

部品カメラ１４及び基板カメラ１５は、制御装置１６から送出される制御信号に基づいて、撮像を行う。そして、部品カメラ１４によって撮像された画像及び基板カメラ１５によって撮像された後述する第一マークＭ１及び第二マークＭ２の画像を含む画像データＧは、制御装置１６に送信される。尚、部品カメラ１４及び基板カメラ１５は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を有する公知のデジタル式の撮像機器を用いることができるため、その詳細な構造についての説明を省略する。

【0024】

制御装置１６は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、各種インターフェース等を有するコンピュータ装置及び各種情報を記憶する記憶装置等を備えている。制御装置１６は、部品装着機１０に設けられている各種センサから出力される検出値や情報、或いは、部品カメラ１４及び基板カメラ１５から各種画像の画像データＧが入力される。制御装置１６は、制御プログラムを実行し、例えば、所定の装着条件として予め設定されている部品Ｂの指定装着位置及び指定装着角度等に応じて、或いは、入力した画像データＧに基づいて、各装置に制御信号を送出する。

【0025】

例えば、制御装置１６は、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板Ｋを基板カメラ１５に撮像させる。そして、制御装置１６は、基板カメラ１５によって撮像された画像の画像データＧを画像処理し、基板Ｋの位置決め状態を認識する。又、制御装置１６は、部品供給装置１２によって供給された部品Ｂを保持部材２１に採取させて保持させ、保持されている部品Ｂを部品カメラ１４に撮像させる。そして、制御装置１６は、部品カメラ１４によって撮像された画像の画像データＧを画像処理し、部品Ｂの姿勢を認識する。

【0026】

制御装置１６は、制御プログラムを実行し、基板Ｋに部品Ｂを装着する指定装着位置の上方に向かって保持部材２１を移動させるために、部品移載装置１３のＹスライド１３２及びＸスライド１３３を駆動させる。又、制御装置１６は、基板Ｋの位置決め状態や部品Ｂの姿勢等に基づいて指定装着位置や指定装着角度を補正し、実際に部品Ｂを装着する装着位置及び装着角度を設定する。

【0027】

制御装置１６は、装着位置及び装着角度に合わせて、保持部材２１の目標位置（Ｘ軸座標及びＹ軸座標）と回転角度とを補正する。そして、制御装置１６は、補正された目標位置において補正された回転角度で保持部材２１を降下させ、基板Ｋに部品Ｂを装着する。制御装置１６は、上述したようにピックアンドプレースサイクルを繰り返すことにより、基板Ｋに複数の部品Ｂを装着する装着処理を実行する。

【0028】

２．補正装置３０の構成
部品装着機１０の機内に配置されて部品Ｂのピックアンドプレースサイクルを繰り返す部品移載装置１３のＹスライド１３２は、機内の温度変化の影響を受け、温度上昇と共に膨張するように熱変形する場合がある。そして、熱膨張による熱変形が生じた場合には、Ｙスライド１３２に支持された吸着ノズル等の保持部材２１の位置が、例えば、制御装置１６による指令値に対して熱変形分だけ位置ずれが生じ得る。

【0029】

ところで、上述したように、本実施形態の部品装着機１０における部品移載装置１３のＹスライド１３２は、例えば、軽量化を達成するために、金属材料等を主とする第一スライド部材１３２Ａと、カーボン材料等を主とする第二スライド部材１３２Ｂとを用いて形成されている。即ち、Ｙスライド１３２は、熱膨張率の異なる材料から形成された第一スライド部材１３２Ａと第二スライド部材１３２ＢとがＹ軸方向（第一方向）にて隣接して接着されて形成される。

【0030】

従って、本実施形態において例示するＹスライド１３２においては、図３に示すように、部品装着機１０の機内の温度変化に伴ってＹスライド１３２の長手方向への熱変形に加え、熱膨張の差に起因したＹスライド１３２の熱変形、具体的には、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って凸の曲線形状となる熱変形が生じる。尚、図３においては、理解を容易とするために、Ｙスライド１３２の熱変形（変形）を誇張して示している。

【0031】

この場合、図３に示すように、Ｙスライド１３２に懸架されたＸスライド１３３を介して保持された保持部材２１にもＹ軸方向（第一方向）に生じた弓なりの熱変形が影響しており、この状態において仮に周知の線形補正を行っても、正確な線形補正、換言すれば、保持部材２１の装着位置を正確に補正できない虞がある。従って、従来から行われている周知の線形補正の精度を高めて、保持部材２１の装着位置を正確に補正するためには、熱膨張に伴って弓なりに熱変形した後のＹスライド１３２を熱変形する前の形状（例えば、直線状）に補正する必要がある。

【0032】

ここで、弓なりに熱変形したＹスライド１３２を熱変形する前の直線状のＹスライド１３２とみなせるように補正するためには、Ｙスライド１３２の曲線形状を推定する必要がある。この場合、一般には、二次曲線近似方法を用いることが有効である。

【0033】

しかしながら、曲線形状を推定するためには、上述した従来の部品搭載装置のように三点の測定（撮像）が必要になるものの、二点しか測定できない（撮像できない）場合には、二次曲線近似方法を用いて曲線形状を近似することができない。又、仮に三点の測定（撮像）ができる場合においては、例えば、三点の測定（撮像）に時間を要した場合には、線形補正によって保持部材の装着位置への位置ずれを速やかに補正することが難しい。

【0034】

そこで、本実施形態においては、補正装置３０が、図４に示すように、取得部３１と、推定部３２とを備える。更に、本実施形態においては、補正装置３０は、補正量算出部３３を備える。これらにより、補正装置３０は、基板カメラ１５によって撮像された画像データＧに基づいて測定された第一マークＭ１及び第二マークＭ２の二点を用いて、第三マークＭ３を仮想的に決定することができる。又、補正装置３０は、測定された第一マークＭ１及び第二マークＭ２と、仮想的に決定した第三マークＭ３とを用いて、熱膨張の差に起因して熱変形したＹスライド１３２の形状、より詳しくは、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状を推定することができる。

【0035】

そして、補正装置３０は、推定したＹスライド１３２の曲線形状に基づいて、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って熱変形した後のＹスライド１３２を熱変形する前のＹスライド１３２とみなすための補正量Ａを算出することができる。従って、補正装置３０によれば、線形補正による補正の精度を高めることができ、その結果、保持部材２１の装着位置を正確に補正することが可能となる。

【0036】

尚、取得部３１、推定部３２及び補正量算出部３３は、種々の制御装置、管理装置、演算装置、画像処理装置等に設けることができる。例えば、取得部３１、推定部３２及び補正量算出部３３の少なくとも一つは、部品装着機１０の制御装置１６に設けることができる。又、取得部３１、推定部３２及び補正量算出部３３の少なくとも一つは、制御装置１６と通信可能に接続される管理装置に設けることもできる。更に、取得部３１、推定部３２及び補正量算出部３３の少なくとも一つは、クラウド上に形成することもできる。

【0037】

本実施形態においては、図１及び図４に示すように、取得部３１、推定部３２及び補正量算出部３３が部品装着機１０の制御装置１６に設けられている。即ち、補正装置３０は、部品装着機１０に設けられている。

【0038】

２－１．取得部３１
取得部３１は、部品移載装置１３の他方部材であるＹスライド１３２、より詳しくは、Ｙスライド１３２に懸架されＸスライド１３３に支持された基板カメラ１５によって撮像された、一方部材である基板搬送装置１１の第一ガイドレール１１１に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々の画像データＧを取得する。即ち、取得部３１（制御装置１６）は、部品移載装置１３のＹスライド１３２をＹ軸方向（第一方向）に移動させると共に、Ｘスライド１３３をＸ軸方向（第二方向）に移動させることによって基板カメラ１５をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。

【0039】

そして、取得部３１は、移動した基板カメラ１５に基板搬送装置１１の第一ガイドレール１１１に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を撮像させ、撮像した画像Ｇｓ（図５及び図６を参照）を表す画像データＧを取得する。尚、画像データＧには、Ｙスライド１３２及びＸスライド１３３の位置情報（より詳しくは、基板カメラ１５の位置情報）が紐付けられている。

【0040】

ここで、取得部３１は、Ｙスライド１３２に熱膨張に伴う熱変形が生じる前、例えば、部品装着機１０の稼働前に、基板カメラ１５に第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を撮像させて各々の画像データＧを取得する。この場合、取得部３１は、熱変形前のＹスライド１３２に支持された基板カメラ１５から、図５に示すように、画像データＧによって表される画像Ｇｓの中心位置、即ち、基板カメラ１５の基準位置に第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々が一致するように撮像された画像データＧを取得する。

【0041】

そして、取得部３１は、Ｙスライド１３２に熱変形が生じ得る状況、例えば、後述する所定条件が成立する状況に応じて、基板カメラ１５に第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を撮像させて各々の画像データＧを取得する。この場合、取得部３１は、熱変形前に第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を撮像した撮像位置にＹスライド１３２（及びＸスライド１３３）を移動させて、基板カメラ１５に第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を撮像させる。

【0042】

この場合、Ｙスライド１３２は、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状に熱変形している（図３を参照）。従って、Ｙスライド１３２に支持された基板カメラ１５が熱変形前と同一の撮像位置にて第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を撮像しても、基板カメラ１５の基準位置がＹスライド１３２と共に熱変形前の位置から移動している。このため、画像Ｇｓにおいては、図６に示すように、画像Ｇｓの中心位置から第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々がずれて撮像される。そして、画像Ｇｓ上の第一マークＭ１及び第二マークＭ２の中心位置からの各々の位置ずれ、即ち、熱変形前から熱変形後に移動した移動量が、Ｙスライド１３２の熱変形に伴う変化量（絶対値）に対応する。

【0043】

具体的に、図３に示すように、Ｙスライド１３２がＹ軸方向（第一方向）に沿って図３の紙面下方に向けて凸となる曲線形状に熱変形した場合、基板カメラ１５は、第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々に対して、相対的に接近する方向（図３において紙面下方）に移動することになる。即ち、図６に示すように、一点鎖線の交点に対応する画像Ｇｓの中心位置（即ち、基板カメラ１５の基準位置）は、Ｙスライド１３２の熱変形と共に図６にて下方向に移動することになる。この場合、画像Ｇｓにおいては、図６において黒丸で示すように、第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々の位置は、画像Ｇｓの中心位置よりも上に位置するようになる。

【0044】

他方、図示を省略するが、Ｙスライド１３２がＹ軸方向（第一方向）にて図３の紙面上方に向けて凸となる曲線形状に熱変形した場合、基板カメラ１５は、第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々に対して、相対的に離間する方向（図３において紙面上方）に移動することになる。この場合、画像Ｇｓにおいては、図６に示すように、画像Ｇｓの中心位置がＹスライド１３２の熱変形と共に上方向に移動するため、二点鎖線の白丸によって示す第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々の位置は、画像Ｇｓの中心位置よりも下に位置するようになる。

【0045】

即ち、Ｙスライド１３２に支持された基板カメラ１５が第一ガイドレール１１１に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を撮像する場合においては、画像Ｇｓ上における第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々の移動方向は、Ｙスライド１３２がＹ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状に熱変形する方向と逆になる。

【0046】

ここで、取得部３１は、基板カメラ１５から画像データＧを取得した場合、例えば、画像Ｇｓの中心位置（基板カメラ１５の基準位置に一致）に対して画像Ｇｓ上の第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を点対称（画像Ｇｓの中心位置回りに１８０度回転処理）となる画像処理を行うことができる。これにより、第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々が熱変形前から熱変形後に移動した移動方向と、Ｙスライド１３２のＹ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状に熱変形する方向とを一致させることができる。

【0047】

尚、本実施形態の以下の説明においては、取得部３１は、上記画像処理等を行うことなく、即ち、第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々の移動方向と、Ｙスライド１３２の熱変形する方向とが逆になった画像データＧを取得する。これにより、画像処理に要する時間を省略することができる。

【0048】

取得部３１は、図５に示す熱変形前の画像Ｇｓ及び撮像した際の位置情報に基づいて、共に、画像Ｇｓの中心位置に一致するように撮像された第一マークＭ１に対応する第一起点Ｐ１ｂの座標（Ｘｒｔ，Ｙｒｔ）、及び、第二マークＭ２に対応する第二起点Ｐ２ｂの座標（Ｘｃｔ，Ｙｃｔ）を測定する（図９を参照）。そして、取得部３１は、図６に示す熱変形後に取得した画像Ｇｓ及び撮像した際の位置情報に基づいて、Ｙスライド１３２の熱変形に伴って第一起点Ｐ１ｂから移動した変化量Δｒ（Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）を算出し、第一マークＭ１に対応する第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）を測定（算出）する（図９を参照）。

【0049】

又、取得部３１は、Ｙスライド１３２の熱変形に伴って第二起点Ｐ２ｂから移動した変化量Δｃ（Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）を算出し、第二マークＭ２に対応する第二点Ｐ２ｍの座標（Ｘｃｔ＋Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）を測定（算出）する（図９を参照）。そして、取得部３１は、図４に示すように、測定して取得した第一マークＭ１に対応する第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）、及び、第二マークＭ２に対応する第二点Ｐ２ｍの座標（Ｘｃｔ＋４Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）を推定部３２及び補正量算出部３３に出力する。

【0050】

２－２．推定部３２
推定部３２は、取得部３１によって測定された第一マークＭ１の第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）と、第二マークＭ２の第二点Ｐ２ｍの座標（Ｘｃｔ＋Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）とを取得する。そして、推定部３２は、第一マークＭ１の第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）及び第二マークＭ２の第二点Ｐ２ｍの座標（Ｘｃｔ＋Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）を用いて、第一ガイドレール１１１に仮想的に決定可能な第三マークＭ３の第三点Ｐ３ｍの座標を算出する。

【0051】

ここで、補正装置３０を完成させるにあたり種々の実験を行った。その結果、部品装着機１０における部品移載装置１３のＹスライド１３２、より詳しくは、一対のＹ軸レール１３１によって両端位置が支持されて第一スライド部材１３２Ａ及び第二スライド部材１３２Ｂから形成されるＹスライド１３２については、図７に示すように、Ｙスライド１３２のＸ軸方向（第二方向）、即ち、Ｙスライド１３２の延伸方向における中心において、対称に熱変形することが分かった。つまり、図７に示すように、Ｙスライド１３２の延伸方向における中心（Ｙスライド１３２の各々の端部からの距離がＬとなる位置）を通る対称軸としての対称軸線Ｏを設定可能であることが分かった。尚、対称軸線Ｏの設定については、Ｙスライド１３２の中心を必ずしも通る必要はなく、Ｙスライド１３２の両端位置の間において設定可能である。

【0052】

従って、推定部３２は、図８に示すように、第一マークＭ１の線対称として、破線の丸印によって示す第三マークＭ３を仮想的に決定する。具体的に、推定部３２は、第一マークＭ１の第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）を用いて、対称軸線Ｏに対する線対称として、第三マークＭ３の第三点Ｐ３ｍの座標を座標（－Ｘｒｔ－Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）と算出する。

【0053】

ここで、第三マークＭ３の第三点Ｐ３ｍは、第一マークＭ１の第一点Ｐ１ｍの線対称によって仮想的に決定される。従って、第三マークＭ３の第三起点Ｐ３ｂ（図９を参照）についても、第一マークＭ１の第一起点Ｐ１ｂの線対称によって仮想的に決定することができる。即ち、第三マークＭ３の起点Ｐ３ｂの座標は、座標（－Ｘｒｔ，Ｙｒｔ）と仮想的に決定することができる。又、第三マークＭ３の変化量Δｌ（図９を参照）についても、第一マークＭ１の線対称に対応するため、変化量Δｒに基づいて変化量Δｌ（－Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）と仮想的に決定することができる。これらにより、第三マークＭ３の第三点Ｐ３ｍは、第三起点Ｐ３ｂと変化量Δｌとに基づいて決定されるとも言える。

【0054】

尚、本実施形態においては、第二マークＭ２は、被補正部材であるＹスライド１３２のＸ軸方向（第二方向）における中心に対応するように付されており、図８においては対称軸線Ｏ上に存在するように示す。しかし、上述したように、対称軸線ＯがＹスライド１３２の中心からずれるように設定された場合には、第二マークＭ２の線対称として、第三マークＭ３を仮想的に決定することも可能である。

【0055】

そして、推定部３２は、第一マークＭ１の第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）と、第二マークＭ２の第二点Ｐ２ｍの座標（Ｘｃｔ＋Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）と、仮想的に算出して決定した第三マークＭ３の第三点Ｐ３ｍの座標（－Ｘｒｔ－Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）と、を用いた周知の二次曲線近似方法を用いて二次曲線近似を行う。そして、推定部３２は、二次曲線近似により、Ｙスライド１３２の形状、具体的には、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状を推定する。尚、熱変形前と熱変形後の変化量を用いて二次曲線近似を行うため、特に、第一起点Ｐ１ｂ、第二起点Ｐ２ｂ及び第三起点Ｐ３ｂについては、Ｙ軸方向（第一方向）に厳密に全く同じ位置に配置されていなくても良い。

【0056】

具体的に、推定部３２は、図９に示すように、第一起点Ｐ１ｂ、第二起点Ｐ２ｂ及び第三起点Ｐ３ｂと、算出した変化量Δｒ、Δｃ及びΔｌとを用いて算出された第一点Ｐ１ｍ、第二点Ｐ２ｍ及び第三点Ｐ３ｍが存在する近似曲線を算出する。尚、二次曲線近似方法については、周知であるため、以下に式を示しながら簡単に説明しておく。

【0057】

本実施形態の二次曲線近似方法においては、近似曲線、具体的には、下記式１に示す二次関数を用いて、二次曲線近似を行う。

【数1】

ここで、前記式１の二次関数における係数ａ、係数ｂ及び係数ｃは、一般化した三点の座標（ｘ１、ｙ１）、（ｘ２、ｙ２）及び（ｘ３、ｙ３）を用いた下記式２－４に従って求めることができる。

【数2】

【数3】

【数4】

【0058】

このため、推定部３２は、前記式１における係数ａ，ｂ，ｃを決定するために、例えば、前記式１における（ｘ１、ｙ１）を第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）に対応させ、前記式１における（ｘ２、ｙ２）を第二点Ｐ２ｍの座標（Ｘｃｔ＋Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）に対応させ、前記式１における（ｘ３、ｙ３）を仮想的に決定した第三点Ｐ３ｍの座標（－Ｘｒｔ－Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）に対応させる。

【0059】

これにより、第一点Ｐ１ｍ、第二点Ｐ２ｍ及び第三点Ｐ３ｍを通る近似曲線の係数ａは下記式５によって求めることができ、係数ｂは下記式６によって求めることができ、係数ｃは下記式７に従って求めることができる。

【数5】

【数6】

【数7】

【0060】

このように、前記式１における係数ａ、係数ｂ及び係数ｃを求めることにより、推定部３２は、前記式１によってＹスライド１３２のＹ軸方向（第一方向）に凸となる曲線形状を近似して推定することができる。尚、図示を省略するが、推定部３２が推定した曲線形状については、例えば、表示装置等を介して、外部に出力することが可能である。

【0061】

ここで、上述したように、本実施形態においては、第一マークＭ１、第二マークＭ２及び推定された第三マークＭ３の各々の移動方向と、Ｙスライド１３２の熱変形する方向とが逆になっている。このため、本実施形態の推定部３２は、Ｙスライド１３２の形状（即ち、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状）を推定するに当たり、例えば、前記式１の両辺にマイナスを乗じて係数ａ，ｂ，ｃを求める。尚、上述したように、取得部３１が画像処理を行い、第一マークＭ１、第二マークＭ２及び推定された第三マークＭ３の各々の移動方向と、Ｙスライド１３２の熱変形する方向とを一致させた場合には、推定部３２は、前記式１に従って係数ａ，ｂ，ｃを求めることができる。

【0062】

２－３．補正量算出部３３
補正量算出部３３は、図３に示すように、Ｙスライド１３２の熱変形に伴って移動したＹスライド１３２上に設定した任意点Ｐａ（Ｘａ，Ｙａ）を、任意点Ｐａ（Ｘａ，Ｙａ）が移動する前に位置していた起点Ｐａｂ（Ｘａｂ，Ｙａｂ）に一致するように補正するための補正量Ａを算出する。ここで、補正量算出部３３は、上述したように、推定部３２が第一点Ｐ１ｍ、第二点Ｐ２ｍ及び第三点Ｐ３ｍ、即ち、それぞれの第一起点Ｐ１ｂ、第二起点Ｐ２ｂ及び第三起点Ｐ３ｂから第一点Ｐ１ｍ、第二点Ｐ２ｍ及び第三点Ｐ３ｍへの各々の変化量Δｒ、変化量Δｃ及び変化量Δｌを用いて算出した近似曲線である二次関数によって表される二次曲線近似により、補正量Ａを算出する。つまり、補正量算出部３３は、求められた係数ａ、係数ｂ及び係数ｃを反映した前記式１、本実施形態においては二次関数に基づいて補正量Ａを算出する。

【0063】

具体的に、補正量算出部３３は、Ｙスライド１３２上に設定された任意点Ｐａ（Ｘａ，Ｙａ）について、下記式８に従って補正量Ａを算出する。

【数8】

そして、補正量算出部３３は、算出した補正量Ａを用いて、任意点Ｐａ（Ｘａ，Ｙｂ）を補正する。即ち、補正量算出部３３は、補正後の任意点Ｐａとして、補正後の任意点Ｐａｄ（Ｘａ，Ｙａ－Ａ）に補正する。

【0064】

つまり、任意点Ｐａは、熱変形後のＹスライド１３２上に設定されている。このため、任意点Ｐａにおいては、熱変形前の起点Ｐａｂ（Ｘａｂ，Ｙａｂ）に対して、Ｙスライド１３２がＹ軸方向（第一方向）に沿って熱変形することにより、補正量ＡだけＹ軸方向（第一方向）に沿ってずれている。

【0065】

従って、補正量算出部３３は、算出した補正量Ａを用いて、Ｙ座標値を（Ｙａ－Ａ）として算出することにより、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って熱変形した後のＹスライド１３２を熱変形する前の直線状のＹスライド１３２とみなすことができる。これにより、Ｙスライド１３２にＹ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状の熱変形が生じた場合であっても、線形補正による補正の精度を高めることができ、その結果、保持部材２１の装着位置を正確に補正することが可能となる。

【0066】

ここで、補正量算出部３３は、所定条件が成立するごとに、補正量Ａを算出することができる。所定条件としては、例えば、前回、補正量Ａを算出してから所定時間が経過した場合、部品装着機１０において生産した基板Ｋの枚数が所定枚数に達した場合、及び、部品装着機１０の内部温度が所定温度に達した場合のうちの少なくとも一つとすることができる。これにより、補正量算出部３３は、Ｙスライド１３２に熱変形が生じる可能性の高いタイミングで補正量Ａを算出することができる。従って、適正なタイミングで算出される補正量Ａを用いて補正することにより、線形補正による補正の精度を効果的に高めることができる。

【0067】

尚、上述したように、本実施形態においては、第一マークＭ１、第二マークＭ２及び推定された第三マークＭ３の各々の移動方向と、Ｙスライド１３２の熱変形する方向とが逆になっている。このため、推定部３２が、例えば、前記式１の両辺にマイナスを乗じることなく係数ａ，ｂ，ｃを求めた場合には、補正量算出部３３は、例えば、前記式８に従って算出した補正量Ａについて、符号を変更（正を負、負を正）する。これにより、補正量算出部３３は、Ｙスライド１３２の熱変形する方向に応じた補正量Ａを算出することができる。

【0068】

３．補正装置３０による補正方法
補正装置３０について上述したことは、補正装置３０による補正方法についても同様である。具体的に、補正方法は、取得工程と、推定工程と、補正量算出工程とを備える。取得部３１が行う処理は、取得工程に相当する。推定部３２が行う処理は、推定工程に相当する。補正量算出部３３が行う処理は、補正量算出工程に相当する。

【0069】

以上の説明からも理解できるように、本実施形態の補正装置３０は、基準部材としての第一ガイドレール１１１及び被補正部材としてのＹスライド１３２の一方部材である第一ガイドレール１１１にそれぞれ付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２の位置を、第一ガイドレール１１１及びＹスライド１３２の他方部材であるＹスライド１３２に設けられた測定装置としての基板カメラ１５により測定して取得する取得部３１を備える。又、本実施形態の補正装置３０は、測定された第一マークＭ１の位置及び第二マークＭ２の位置を用いて、第一ガイドレール１１１に仮想的に決定可能な第三マークＭ３の位置を算出し、第一マークＭ１、第二マークＭ２、及び第三マークＭ３の位置に基づいて、第一ガイドレール１１１に対して変形したＹスライド１３２の形状を推定する推定部３２を備える。更に、本実施形態の補正装置３０は、Ｙスライド１３２の変形に伴って移動したＹスライド１３２の任意点Ｐａを、任意点Ｐａが移動する前に位置していた起点Ｐａｂに一致するように補正するための補正量Ａを算出する補正量算出部３３を備える。

【0070】

これによれば、補正装置３０は、取得した第一マークＭ１及び第二マークＭ２を用いて、変形、具体的には、熱膨張率の差に起因して熱変形したＹスライド１３２の曲線形状を推定する際に必要な点、即ち、第三点Ｐ３ｍに対応する第三マークＭ３を仮想的に決定することができる。そして、補正装置３０は、推定されたＹスライド１３２の曲線形状に基づいて、曲線形状に熱変形したＹスライド１３２を熱変形する前の形状（直線状）に補正することができる。

【0071】

４．実施形態の変形例
上述した実施形態においては、取得部３１が、測定装置として、被補正部材であり且つ他方部材であるＹスライド１３２に支持された基板カメラ１５を用い、基準部材であり且つ一方部材である第一ガイドレール１１１に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２を撮像して測定するようにした。これに代えて、取得部３１が、測定装置として基準部材であり且つ他方部材である第一ガイドレール１１１に支持された部品カメラ１４を用い、被補正部材であり且つ一方部材であるＹスライド１３２に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２を撮像して測定するようにしても良い。

【0072】

この場合、取得部３１は、部品カメラ１４によって撮像された熱変形前及び熱変形後のＹスライド１３２に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を撮像した画像Ｇｓを用いる。取得部３１は、上述した実施形態と同様に、第一マークＭ１に対応する第一起点Ｐ１ｂの座標（Ｘｒｔ，Ｙｒｔ）及び第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）と、第二マークＭ２に対応する第二起点Ｐ２ｂの座標（Ｘｃｔ，Ｙｃｔ）及び第二点Ｐ２ｍの座標（Ｘｃｔ＋Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）と、を測定する。そして、取得部３１は、第一点Ｐ１ｍの座標（Ｘｒｔ＋Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）及び第二点Ｐ２ｍの座標（Ｘｃｔ＋Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）を推定部３２及び補正量算出部３３に出力する。

【0073】

これにより、変形例においても、推定部３２は、上述した実施形態と同様に、線対称の関係に基づいて第三マークＭ３を仮想的に決定することができると共に、Ｙスライド１３２の形状（具体的には、Ｙ軸方向（第一方向）に沿って凸となる曲線形状）を推定することができる。又、補正量算出部３３は、推定部３２によって推定されたＹスライド１３２の形状（具体的には、上述した前記式８）に従って、補正量Ａを算出することができる。従って、この変形例においても、上述した実施形態と同様の効果が得られる。

【0074】

尚、部品カメラ１４によってＹスライド１３２に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２を撮像した画像Ｇｓにおいては、Ｙスライド１３２の熱変形（変形）方向と、第一マークＭ１及び第二マークＭ２の移動方向とは一致する。従って、この変形例においては、取得部３１は、上述した実施形態にて説明したような前記式１及び前記式８における符号の変更や、画像処理（例えば、画像Ｇｓの中心位置に対する点対称移動や画像Ｇｓの回転処理等）を行う必要はない。

【0075】

５．実施形態のその他の変形例
上述した実施形態においては、推定部３２が前記式１の両辺にマイナスを乗じて係数ａ，ｂ，ｃを求めたり、或いは、補正量算出部３３が前記式８に従って算出される補正量Ａの符号を変更したりするようにした。これは、Ｙスライド１３２に支持された基板カメラ１５が第一ガイドレール１１１に付された第一マークＭ１及び第二マークＭ２を撮像する場合には、画像Ｇｓ上における第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々の移動方向が、Ｙスライド１３２がＹ軸方向（第一方向）に凸となる曲線形状に熱変形する方向と逆になるからである。

【0076】

ところで、画像Ｇｓ上における第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々の移動方向とＹスライド１３２の熱変形する方向とを合わせる場合、例えば、算出した変化量Δｒ（Ｘｒｄ，Ｙｒｄ）、及び、変化量Δｃ（Ｘｃｄ，Ｙｃｄ）にマイナスを乗じても良い。このように、変化量Δｒ，Δｃの符号を変更（正を負、負を正）することにより、第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々の移動方向とＹスライド１３２の熱変形する方向とを合わせることができる。

【0077】

或いは、上述した実施形態においては、熱変形前の画像Ｇｓの中心位置と熱変形後の画像Ｇｓの中心位置とを一致させるようにした。これに対し、図１０に示すように、画像Ｇｓ上の第一マークＭ１（第二マークＭ２）を熱変形前の画像Ｇｓ（例えば、図５の黒丸）と熱変形後の画像Ｇｓ（例えば、図６の黒丸）とを重ねた場合には、それぞれの画像Ｇｓの中心位置の移動方向（図１０にて矢印により示す）をＹスライド１３２の熱変形する方向に合わせることができる。そして、この場合、熱変形後の画像Ｇｓの第一マークＭ１（第二マークＭ２）を熱変形前の画像Ｇｓの第一マークＭ１（第二マークＭ２）に一致させるための移動量を変化量とすることができる。

【0078】

又、上述した実施形態の部品装着機１０においては、基板搬送装置１１が、１つのコンベアベルト等によって形成された１つの搬送路に沿って１つの基板Ｋを搬送するようにした。これに代えて、部品装着機が、例えば、２つのコンベアベルト等の各々によって形成された２つの搬送路に沿って２つの基板Ｋをそれぞれ独立して搬送可能な基板搬送装置を備えた部品装着機であっても良い。

【0079】

又、上述した実施形態の部品装着機１０においては、部品移載装置１３のＹ軸レール１３１及びＹスライド１３２を１組だけ備え、Ｙスライド１３２に装着ヘッド２０を１つ備えるようにした。これに代えて、部品移載装置が、互いに対向するように配置された２組のＹ軸レール及びＹスライドを備え、各々のＹスライドに装着ヘッドを備えるようにした、所謂、対向（ダブル）型の部品装着機であっても良い。

【0080】

又、上述した実施形態においては、被補正部材が軸状のＹスライド１３２である場合を例示した。しかし、被補正部材としては、Ｙスライド１３２のように軸状である必要はなく、他の形状として、例えば、熱膨張率の差に起因して変形可能なブロック状や球状の部材であっても良い。

【0081】

又、上述した実施形態においては、測定装置として部品装着機１０に設けられた基板カメラ１５を用いる場合を例示して説明した。又、上述した変形例においては、測定装置として部品装着機１０に設けられた部品カメラ１４を用いる場合を例示して説明した。しかしながら、測定装置としては、基板カメラ１５を用いることに限られず、別途設けられた撮像装置（カメラ等）を用いても良い。

【0082】

又、上述した実施形態及び上述した変形例においては、取得部３１は、第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を熱変形前と熱変形後とで撮像して画像データＧを取得し、画像データＧによって表される画像Ｇｓを用いて、第一起点Ｐ１ｂ，第二起点Ｐ２ｂ、第一点Ｐ１ｍ、第二点Ｐ２ｍを測定するようにした。これに代えて、又は、加えて、取得部３１は、測定装置として、例えば、電磁的又は光学的に第一マークＭ１及び第二マークＭ２の各々を測定することができるセンサ装置を用いて、直接的に、第一起点Ｐ１ｂ，第二起点Ｐ２ｂ、第一点Ｐ１ｍ、第二点Ｐ２ｍを測定して取得することも可能である。この場合においても、上述した実施形態及び上記変形例と同様の効果が得られる。

【0083】

更に、上述した実施形態及び上記変形例においては、被補正部材であるＹスライド１３２が熱膨張率の差に起因して熱変形する場合を例示した。しかしながら、被補正部材の変形については、熱膨張率の差に起因した熱変形に限られない。例えば、両端位置が支持された被補正部材に対して両端から軸線に沿って中心に向かって外力が付与されることによって、被補正部材が弾性変形する場合であっても良い。この場合、被補正部材であるＹスライド１３２の変形形状については、例えば、Ｙスライド１３２の中心に位置する対称軸に対して対称となる曲線形状に限らず、例えば、弾性領域において線対称となる突条形状や弾性座屈（オイラー座屈やＳ字状座屈等）によって線対称となる形状であっても良い。

【符号の説明】

【0084】

１０…部品装着機、１１１…第一ガイドレール（基準部材）、１３２…Ｙスライド（被補正部材）、１５…基板カメラ（測定装置）、３０…補正装置、３１…取得部、３２…推定部、３３…補正量算出部、Ｇ…画像データ、Ｇｓ…画像、Ｋ…基板、Ｂ…部品、Ｍ１…第一マーク、Ｍ２…第二マーク、Ｍ３…第三マーク、Ｐ１ｂ…第一起点（起点）、Ｐ２ｂ…第二起点（起点）、Ｐ３ｂ…第三起点（起点）、Ｐ１ｍ…第一点、Ｐ２ｍ…第二点、Ｐ３ｍ…第三点、Ｐａ…任意点、Ｐａｂ…起点、Ａ…補正量、Ｏ…対称軸線（対称軸）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】