特開 2024-43397 蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024043397

(43)【公開日】2024-03-29

(54)【発明の名称】蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20240322BHJP

   H10K 50/10 20230101ALI20240322BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20240322BHJP

【ＦＩ】

C23C14/04 A

H05B33/14 A

H05B33/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022148567

(22)【出願日】2022-09-16

(71)【出願人】

【識別番号】000003193

【氏名又は名称】ＴＯＰＰＡＮホールディングス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】松隈 かおり

(72)【発明者】

【氏名】相川 建一郎

【テーマコード（参考）】

3K107

4K029

【Ｆターム（参考）】

3K107AA01

3K107CC33

3K107FF15

3K107GG04

3K107GG33

4K029HA02

4K029HA03

(57)【要約】

【課題】蒸着マスクの製造時において、自重による帯状部の撓みを抑えることを可能とした蒸着マスク中間体、および、蒸着マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着マスク中間体１０は、第１縁部１１Ｅ１を枠状部１２から分離する分離部１０Ｓを備える。蒸着マスク中間体１０は、帯状部１１のうち、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２との間の隙間１１Ｇを枠状部１２に接続し、分離部１０Ｓを分断する一対の第１架橋部１３を備える。一対の第１架橋部１３は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて帯状部１１を挟む。枠状部１２と帯状部１１の第２縁部１１Ｅ２との間に位置し、第２縁部１１Ｅ２を枠状部１２に接続する第２架橋部１４と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状部と、前記帯状部を囲む枠状部と、を備えた蒸着マスク中間体であって、
前記枠状部は、第１板厚を有し、
前記帯状部は、前記帯状部の長手方向に沿って隙間を空けて並ぶ偶数個のマスク部と、前記マスク部を囲み、前記第１板厚を有する周辺部と、前記周辺部の外縁である外縁部と、を備え、前記マスク部は、複数のマスク孔を含み、
前記外縁部は、第１縁部と第２縁部とを含み、前記第１縁部は、前記長手方向に沿って延び、かつ、前記長手方向に直交する幅方向において、前記偶数個のマスク部と対向することが可能な長さを有し、
前記偶数個のマスク部は、第１マスク部と第２マスク部とを含み、前記第１マスク部と前記第２マスク部とは、前記偶数個のマスク部の個数を２等分する仮想線を挟み、
前記第１縁部を前記枠状部から分離する第１分離部と、
前記帯状部のうち、前記第１マスク部と前記第２マスク部との間の前記隙間を前記枠状部に接続し、前記第１分離部を分断する一対の第１架橋部であって、前記一対の第１架橋部は前記帯状部の前記幅方向において前記帯状部を挟む前記一対の第１架橋部と、
前記枠状部と前記帯状部の前記第２縁部との間に位置し、前記第２縁部を前記枠状部に接続する第２架橋部と、を備える
蒸着マスク中間体。

【請求項2】

前記枠状部は、
外縁部と、
前記帯状部の前記幅方向において、各第１架橋部と前記枠状部の前記外縁部との間の領域であって、前記帯状部を含まない前記領域に位置し、前記帯状部の前記長手方向に沿って延びる貫通部と、を備え、
前記第１架橋部と前記貫通部との間の距離が、前記第１架橋部と前記枠状部の前記外縁部との間の距離よりも短い
請求項１に記載の蒸着マスク中間体。

【請求項3】

前記第１架橋部と前記貫通部との間の距離が、前記帯状部の前記幅方向における前記第１架橋部の長さよりも短い
請求項２に記載の蒸着マスク中間体。

【請求項4】

前記枠状部は、内縁部を備え、
前記内縁部は、前記帯状部の前記幅方向において前記帯状部から離れる方向に窪む第１窪みを有し、
前記第１架橋部は、前記帯状部に接続された基端と、前記枠状部に接続された先端とを有し、前記先端は、前記第１窪みに接続されている
請求項２または３に記載の蒸着マスク中間体。

【請求項5】

前記枠状部は、内縁部を備え、
前記内縁部は、前記帯状部の前記長手方向において前記第１架橋部を挟む一対の第２窪みを備え、各第２窪みは、前記帯状部の前記幅方向において前記第１架橋部から離れる方向に窪み、
前記帯状部の前記幅方向において、前記貫通部と前記第２窪みとが並んでいる
請求項２または３に記載の蒸着マスク中間体。

【請求項6】

前記第２架橋部は、前記第１板厚よりも薄い第２板厚を有し、前記第２縁部に沿って延びる形状を有したハーフエッチング部である
請求項１から３のいずれか一項に記載の蒸着マスク中間体。

【請求項7】

前記第２架橋部は、前記第１板厚を有し、前記第２縁部の一部を前記枠状部に接続し、
前記枠状部と前記帯状部の前記第２縁部との間において、前記第２架橋部を除く部分に位置し、前記第２縁部を前記枠状部から分離する第２分離部をさらに備える
請求項１から３のいずれか一項に記載の蒸着マスク中間体。

【請求項8】

長手方向に沿って延びる帯状を有した蒸着マスクであって、
複数のマスク孔を有した偶数個のマスク部と、
前記マスク部を囲む周辺部と、
前記周辺部の外縁である外縁部と、を備え、
前記偶数個のマスク部は、第１マスク部と第２マスク部とを含み、前記第１マスク部と前記第２マスク部とは、前記偶数個のマスク部の個数を２等分する仮想線を挟み、
前記周辺部は、前記第１マスク部と前記第２マスク部との間の隙間を含み、
前記外縁部は、前記長手方向に直交する幅方向において、前記隙間を挟む一対の切断痕を有する
蒸着マスク。

【請求項9】

金属シートに帯状部と枠状部とを形成すること、および、
前記枠状部から前記帯状部を切断して、前記帯状部から蒸着マスクを形成すること、を含み、
前記帯状部と前記枠状部とを形成することは、
前記枠状部が、第１板厚を有し、
前記帯状部が、前記帯状部の長手方向に沿って隙間を空けて並ぶ偶数個のマスク部と、前記マスク部を囲み、前記第１板厚を有する周辺部と、前記周辺部の外縁である外縁部と、を備え、前記マスク部は、複数のマスク孔を含み、
前記外縁部が、第１縁部と第２縁部とを含み、前記第１縁部は、前記長手方向に沿って延び、前記長手方向に直交する幅方向において、前記偶数個のマスク部と対向することが可能な長さを有し、
前記偶数個のマスク部が、第１マスク部と第２マスク部とを含み、前記第１マスク部と前記第２マスク部とが、前記偶数個のマスク部の個数を２等分する仮想線を挟み、
前記第１縁部を前記枠状部から分離する第１分離部と、
前記帯状部のうち、前記第１マスク部と前記第２マスク部との間の前記隙間を前記枠状部に接続し、前記第１分離部を分断する一対の第１架橋部であって、前記一対の第１架橋部は前記帯状部の前記幅方向において前記帯状部を挟む前記一対の第１架橋部と、
前記枠状部と前記帯状部の前記第２縁部との間に位置し、前記第２縁部を前記枠状部に接続する第２架橋部と、を備えるように、前記帯状部と前記枠状部とを形成する
蒸着マスクの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ロールツーロール方式を用いた蒸着マスクの製造では、巻出しロールから巻取りロールに向けて金属シートが搬送されている間に、金属シートに対してエッチングなどの各種の処理が行われる。蒸着マスクの製造過程において形成される蒸着マスク中間体は、例えば、蒸着マスクを形成するための帯状部と、帯状部を囲む枠状部とを備えている。帯状部の縁のうちで、搬送方向に沿って延びる長辺は、枠状部から切断されている一方で、幅方向に沿って延びる短辺は、枠状部に対してミシン目によって接続されている。ミシン目の切断により帯状部が枠状部から切断されることによって、帯状部から蒸着マスクが形成される（例えば、特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５－５５００７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、蒸着マスク中間体には、帯状部を枠状部から切断する工程において、帯状部と枠状部との境界に、帯状部から枠状部を切り離すための外力が付与される。帯状部の変形、特に帯状部が備えるマスク孔の変形を抑える観点では、帯状部と枠状部との境界に付与される外力は、マスク孔から離れた位置にのみ付与されることが好ましい。

【0005】

一方で、近年では、蒸着マスクを用いた蒸着処理の効率を高める観点から、蒸着対象および蒸着マスクの大型化が求められている。これに伴い、蒸着マスクを形成するための帯状部も大型化する。そのため、帯状部と枠状部との接続箇所が限定された場合には、帯状部のうちで枠状部に支持される部分も限定されるから、ロールツーロール方式を用いた蒸着マスクの製造時において、帯状部が自重によって撓みやすくなる。そのため、金属シートの搬送時における帯状部の撓みを抑えることが求められている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するための蒸着マスク中間体は、帯状部と、前記帯状部を囲む枠状部と、を備える。前記枠状部は、第１板厚を有し、前記帯状部は、前記帯状部の長手方向に沿って隙間を空けて並ぶ偶数個のマスク部と、前記マスク部を囲み、前記第１板厚を有する周辺部と、前記周辺部の外縁である外縁部と、を備え、前記マスク部は、複数のマスク孔を含み、前記外縁部は、第１縁部と第２縁部とを含み、前記第１縁部は、前記長手方向に沿って延び、かつ、前記長手方向に直交する幅方向において、前記偶数個のマスク部と対向することが可能な長さを有し、前記偶数個のマスク部は、第１マスク部と第２マスク部とを含み、前記第１マスク部と前記第２マスク部とは、前記偶数個のマスク部の個数を２等分する仮想線を挟む。蒸着マスク中間体は、前記第１縁部を前記枠状部から分離する第１分離部と、前記帯状部のうち、前記第１マスク部と前記第２マスク部との間の前記隙間を前記枠状部に接続し、前記第１分離部を分断する一対の第１架橋部であって、前記一対の第１架橋部は前記帯状部の前記幅方向において前記帯状部を挟む前記一対の第１架橋部と、前記枠状部と前記帯状部の前記第２縁部との間に位置し、前記第２縁部を前記枠状部に接続する第２架橋部と、を備える。

【0007】

上記課題を解決するための蒸着マスクは、長手方向に沿って延びる帯状を有する。蒸着マスクは、複数のマスク孔を有した偶数個のマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部と、前記周辺部の外縁である外縁部と、を備える。前記偶数個のマスク部は、第１マスク部と第２マスク部とを含み、前記第１マスク部と前記第２マスク部とは、前記偶数個のマスク部の個数を２等分する仮想線を挟む。前記周辺部は、前記第１マスク部と前記第２マスク部との間の隙間を含む。前記外縁部は、前記長手方向に直交する幅方向において、前記隙間を挟む一対の切断痕を有し、かつ、前記外縁部のなかで、前記幅方向において前記偶数個のマスク部と対向する部分に、前記一対の切断痕以外の切断痕を有しない。

【0008】

上記課題を解決するための金属シートに帯状部と枠状部とを形成すること、および、前記枠状部から前記帯状部を切断して、前記帯状部から蒸着マスクを形成すること、を含む。前記帯状部と前記枠状部とを形成することは、前記枠状部が、第１板厚を有し、前記帯状部が、前記帯状部の長手方向に沿って隙間を空けて並ぶ偶数個のマスク部と、前記マスク部を囲み、前記第１板厚を有する周辺部と、前記周辺部の外縁である外縁部と、を備え、前記マスク部は、複数のマスク孔を含み、前記外縁部が、第１縁部と第２縁部とを含み、前記第１縁部は、前記長手方向に沿って延び、前記長手方向に直交する幅方向において、前記偶数個のマスク部と対向することが可能な長さを有し、前記偶数個のマスク部が、第１マスク部と第２マスク部とを含み、前記第１マスク部と前記第２マスク部とが、前記偶数個のマスク部の個数を２等分する仮想線を挟み、前記第１縁部を前記枠状部から分離する分離部と、前記帯状部のうち、前記第１マスク部と前記第２マスク部との間の前記隙間を前記枠状部に接続し、前記第１分離部を分断する一対の第１架橋部であって、前記一対の第１架橋部は前記帯状部の前記幅方向において前記帯状部を挟む前記一対の第１架橋部と、前記枠状部と前記帯状部の前記第２縁部との間に位置し、前記第２縁部を前記枠状部に接続する第２架橋部と、を備えるように、前記帯状部と前記枠状部とを形成する。

【0009】

上記蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法によれば、第１マスク部と第２マスク部との間の隙間を枠状部に接続する一対の第１架橋部を有するから、蒸着マスクの製造時において、自重による帯状部の撓みを抑えることが可能である。

【0010】

上記蒸着マスク中間体において、前記枠状部は、外縁部と、前記帯状部の前記幅方向において、各第１架橋部と前記枠状部の前記外縁部との間の領域であって、前記帯状部を含まない前記領域に位置し、前記帯状部の前記長手方向に沿って延びる貫通部と、を備え、前記第１架橋部と前記貫通部との間の距離が、前記第１架橋部と前記枠状部の前記外縁部との間の距離よりも短くてもよい。この蒸着マスク中間体によれば、枠状部の内縁部から貫通部までにわたって枠状部を切断することによって、第１架橋部を枠状部から切り離すことが可能である。

【0011】

上記蒸着マスク中間体において、前記第１架橋部と前記貫通部との間の距離が、前記帯状部の前記幅方向における前記第１架橋部の長さよりも短くてもよい。この蒸着マスク中間体によれば、枠状部の内縁部から貫通部までの距離が短いから、第１架橋部を枠状部から切り離すことがさらに容易である。

【0012】

上記蒸着マスク中間体において、前記枠状部は、内縁部を備え、前記内縁部は、前記帯状部の前記幅方向において前記帯状部から離れる方向に窪む第１窪みを有し、前記第１架橋部は、前記帯状部に接続された基端と、前記枠状部に接続された先端とを有し、前記先端は、前記第１窪みに接続されていてもよい。この蒸着マスク中間体によれば、内縁部が第１窪みを有する分だけ内縁部と貫通部との間の距離が短くなるから、第１架橋部を枠状部から切り離すことがさらに容易である。

【0013】

上記蒸着マスク中間体において、前記枠状部は、内縁部を備え、前記内縁部は、前記帯状部の前記長手方向において前記第１架橋部を挟む一対の第２窪みを備え、各第２窪みは、前記帯状部の前記幅方向において前記第１架橋部から離れる方向に窪み、前記帯状部の前記幅方向において、前記貫通部と前記第２窪みとが並んでいてもよい。この蒸着マスク中間体によれば、内縁部が第２窪みを有する分だけ内縁部と貫通部との間の距離が短くなるから、第１架橋部を枠状部から切り離すことがさらに容易である。

【0014】

上記蒸着マスク中間体において、前記第２架橋部は、前記第１板厚よりも薄い第２板厚を有し、前記第２縁部に沿って延びる形状を有したハーフエッチング部であってもよい。この蒸着マスク中間体によれば、第２縁部と枠状部との間に沿って延びるハーフエッチング部によって第２縁部が枠状部に接続されるから、蒸着マスク中間体の搬送時において、第２縁部が枠状部から外れにくくなる。

【0015】

上記蒸着マスク中間体において、前記第２架橋部は、前記第１板厚を有し、前記第２縁部の一部を前記枠状部に接続し、前記枠状部と前記帯状部の前記第２縁部との間において、前記第２架橋部を除く部分に位置し、前記第２縁部を前記枠状部から分離する第２分離部を備えてもよい。この蒸着マスク中間体によれば、第２架橋部を切り離すことによって第２縁部を枠状部から取り外すことが可能である。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、蒸着マスクの製造時において、自重による帯状部の撓みを抑えることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、一実施形態における蒸着マスク中間体の構造を示す平面図である。

【図2】図２は、図１が示す蒸着マスク中間体が含む架橋部を拡大して示す平面図である。

【図3】図３は、図１が示す蒸着マスク中間体が含む架橋部を拡大して示す平面図である。

【図4】図４は、図１が示す蒸着マスク中間体が含む架橋部を拡大して示す平面図である。

【図5】図５は、図１が示す蒸着マスク中間体から形成された蒸着マスクを示す平面図である。

【図6】図６は、蒸着マスク中間体の変更例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

図１から図５を参照して、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法を説明する。
［蒸着マスク中間体］
図１から図４を参照して、蒸着マスク中間体を説明する。

【0019】

図１が示す蒸着マスク中間体１０は、金属シートから形成されている。金属シートは、例えばニッケル、鉄ニッケル系合金、または、鉄ニッケルコバルト系合金から形成されている。金属シートは、鉄ニッケル系合金から形成されることが好ましく、３６質量％のニッケルを含む鉄ニッケル系合金から形成されることがさらに好ましい。また、金属シートは、鉄ニッケルコバルト系合金から形成されることが好ましく、３２質量％のニッケル、４質量％以上５質量％以下のコバルトを含む鉄ニッケルコバルト系合金から形成されることがさらに好ましい。金属シートの厚さは、例えば５μｍ以上５０μｍ以下であってよい。金属シートの幅は、例えば２５０ｍｍ以上５５０ｍｍ以下であってよい。

【0020】

蒸着マスク中間体１０は、帯状部１１と枠状部１２とを備えている。枠状部１２は、帯状部１１を囲んでいる。枠状部１２は、第１板厚を有している。蒸着マスク中間体１０は、金属シートのウェットエッチングによって形成される。枠状部１２は、金属シートのうちでウェットエッチングされていない部分であるから、第１板厚は、蒸着マスク中間体１０の形成に用いられた金属シートの厚さである。

【0021】

帯状部１１の長手方向ＤＬは、金属シートの長手方向と一致し、かつ、帯状部１１の幅方向ＤＷは、金属シートの幅方向と一致している。幅方向ＤＷは、長手方向ＤＬに直交する方向である。幅方向ＤＷに沿う帯状部１１の長さは、例えば、帯状部１１から形成される蒸着マスクが１０インチ以上のタブレット型端末用の蒸着マスクである場合には、２００ｍｍ以上である。図１が示すように、例えば、金属シートの幅が３５０ｍｍであり、かつ、１０インチのタブレット型端末用の蒸着マスクが帯状部１１から形成される場合には、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、金属シートには帯状部１１が１つのみ位置している。これに対して、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて、金属シートには複数の帯状部１１が位置している。

【0022】

なお、例えば、金属シートの幅が５５０ｍｍであり、かつ、帯状部１１から形成される蒸着マスクが１０インチのタブレット型端末用の蒸着マスクである場合には、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、金属シートには２つの帯状部１１が位置することが可能である。

【0023】

帯状部１１は、偶数個のマスク部１１Ｍ、周辺部１１Ｐ、および、外縁部１１Ｅを備えている。図１が示す例では、帯状部１１は２つのマスク部１１Ｍを備えている。偶数個のマスク部１１Ｍは、帯状部１１の長手方向ＤＬに沿って隙間１１Ｇを空けて並んでいる。周辺部１１Ｐは、マスク部１１Ｍを囲み、第１板厚を有している。周辺部１１Ｐは、マスク部１１Ｍ間の隙間１１Ｇを含んでいる。外縁部１１Ｅは、周辺部１１Ｐの外縁である。マスク部１１Ｍは、複数のマスク孔１１Ｈを含んでいる。マスク孔１１Ｈは、蒸着マスクが蒸着に用いられた場合に、所定の蒸着パターンを形成するための蒸着材料の通路である。周辺部１１Ｐは、マスク孔１１Ｈを有していないが、蒸着材料の通路ではないパターンを有してもよい。

【0024】

パターンは、帯状部１１から形成された蒸着マスクの架張時における変形を緩和したり、マスク孔１１Ｈが形成されたマスク部１１Ｍを平坦に保ったりする目的で周辺部１１Ｐに形成される。パターンは、金属シートの厚さ方向において、周辺部１１Ｐを貫通していなくてもよいし、周辺部１１Ｐを貫通していてもよい。一般に、パターンは周辺部１１Ｐを貫通していないことが多い。なお、パターンが周辺部１１Ｐを貫通する場合には、蒸着によって形成された蒸着パターンの特性に影響が生じないように、パターンの数、大きさ、および、形状が設定される。

【0025】

外縁部１１Ｅは、第１縁部１１Ｅ１と第２縁部１１Ｅ２とを含んでいる。第１縁部１１Ｅ１は、長手方向ＤＬに沿って延び、かつ、幅方向ＤＷにおいて、偶数個のマスク部１１Ｍと対向することが可能な長さを有している。偶数個のマスク部１１Ｍは、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２とを含んでいる。第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２とは、偶数個のマスク部１１Ｍの個数を２等分する仮想線Ｌを挟んでいる。

【0026】

図１が示す例では、帯状部１１が２つのマスク部１１Ｍを備えるから、２つのマスク部１１Ｍは、仮想線Ｌによって１つずつに分離されている。帯状部１１が偶数個のマスク部１１Ｍを備えるから、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２の間の隙間１１Ｇは、長手方向ＤＬにおける帯状部１１の中央を含みやすい。また、仮に隙間１１Ｇが長手方向ＤＬにおける帯状部１１の中央を含まない場合であっても、隙間１１Ｇは、長手方向ＤＬにおいて、帯状部１１における中央の近傍に位置しやすい。図１が示す例では、隙間１１Ｇは、長手方向ＤＬにおける帯状部１１の中央を含んでいる。

【0027】

外縁部１１Ｅは、一対の長辺１１ＥＬと一対の短辺１１ＥＳとも定義することが可能である。各長辺１１ＥＬは長手方向ＤＬに沿って延び、かつ、一対の長辺１１ＥＬは互いに平行である。各短辺１１ＥＳは幅方向ＤＷに沿って延びている。第１縁部１１Ｅ１は、長辺１１ＥＬの一部である。第２縁部１１Ｅ２は、短辺１１ＥＳの全体と、長辺１１ＥＬのうちで第１縁部１１Ｅ１に含まれない部分を含んでいる。なお、長辺１１ＥＬのうちで第１縁部１１Ｅ１に含まれない部分は、短辺１１ＥＳに連なっている。すなわち、第２縁部１１Ｅ２は、短辺１１ＥＳと長辺１１ＥＬとによって形成される角部を含んでいる。

【0028】

各短辺１１ＥＳは、他方の短辺１１ＥＳに向けて窪む切り欠き１１ＥＳＮを含んでいる。そのため、帯状部１１の第２縁部１１Ｅ２は、切り欠き１１ＥＳＮを含んでいる。蒸着マスクの製造時において、長手方向ＤＬにおける帯状部１１の端部が自重によって撓むことを抑える観点では、切り欠き１１ＥＳＮの大きさが小さいことが好ましい。上述したように、本開示の帯状部１１は、幅方向ＤＷにおいて２００ｍｍ以上の長さを有するから、長手方向ＤＬの端部も撓みやすい。この点、図１が示す例では、各短辺１１ＥＳが幅方向ＤＷに沿って間隔を空けて並ぶ３つの切り欠き１１ＥＳＮを備えている。これにより、帯状部１１が切り欠き１１ＥＳＮを１つのみ備える場合に比べて、切り欠き１１ＥＳＮごとの大きさを小さくすることが可能であるから、帯状部１１における長手方向ＤＬの端部が自重によって撓むことが抑えられる。

【0029】

蒸着マスク中間体１０は、一対の第１架橋部１３、分離部１０Ｓ、および、第２架橋部１４を備えている。第１架橋部１３は、帯状部１１のうち、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２との間の隙間１１Ｇを枠状部１２に接続している。一対の第１架橋部１３は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて帯状部１１を挟んでいる。蒸着マスク中間体１０は、第１縁部１１Ｅ１を枠状部１２に接続する架橋部として、一対の第１架橋部１３のみを有している。そのため、第１縁部１１Ｅ１のなかで、第１縁部１１Ｅ１によって枠状部１２に接続された部分以外の部分は、枠状部１２には接続されていない。

【0030】

分離部１０Ｓは、枠状部１２と帯状部１１の第１縁部１１Ｅ１との間において、各第１架橋部１３の両側に位置し、第１縁部１１Ｅ１を枠状部１２から分離している。すなわち、帯状部１１の外縁部１１Ｅのなかで、長手方向ＤＬに沿って延び、分離部１０Ｓによって枠状部１２から分離され、かつ、第１架橋部１３のみによって枠状部１２に接続された部分が、第１縁部１１Ｅ１である。分離部１０Ｓは、長手方向ＤＬに沿って延びる形状を有し、かつ、第１架橋部１３によって分断されている。

【0031】

第２架橋部１４は、枠状部１２と帯状部１１の第２縁部１１Ｅ２との間に位置し、第２縁部１１Ｅ２を枠状部１２に接続している。第２架橋部１４は、第１板厚よりも薄い第２板厚を有し、第２縁部１１Ｅ２に沿って延びる形状を有したハーフエッチング部である。第２架橋部１４は、第２縁部１１Ｅ２の全体にわたる長さを有し、これによって、第２縁部１１Ｅ２のうちで、切り欠き１１ＥＳＮ以外の部分を枠状部１２に接続している。第２架橋部１４は、ハーフエッチング部上に位置し、かつ、ハーフエッチング部に沿って間隔を空けて並ぶ貫通部を備えてもよい。各貫通部は、蒸着マスク中間体１０の厚さ方向に沿って蒸着マスク中間体１０を貫通している。

【0032】

本開示の蒸着マスク中間体１０によれば、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２との間の隙間１１Ｇを枠状部１２に接続する一対の第１架橋部１３を有するから、蒸着マスクの製造時において、自重による帯状部１１の撓みを抑えることが可能である。第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２との間の隙間１１Ｇは、長手方向ＤＬにおける帯状部１１の中央を含む、あるいは、長手方向ＤＬにおいて、帯状部１１における中央の近傍に位置するから、帯状部１１において、長手方向ＤＬに沿う長さは第１架橋部１３によってほぼ二等分される。そのため、第１架橋部１３が、帯状部１１における長手方向ＤＬの長さを偏りを有するように二分する場合に比べて、自重による帯状部１１の撓みが抑えられる。

【0033】

また、蒸着マスク中間体１０は、帯状部１１の第１縁部１１Ｅ１を枠状部１２に接続する架橋部として、隙間１１Ｇを枠状部１２に接続する第１架橋部１３のみを有する。そのため、第１架橋部１３を枠状部１２から取り外す際に帯状部１１に作用する外力が、マスク部１１Ｍに伝わりにくい。そのため、マスク部１１Ｍが有するマスク孔１１Ｈが変形しにくい。さらには、蒸着マスク中間体１０は、帯状部１１の第１縁部１１Ｅ１を枠状部１２に接続する第１架橋部１３を一対のみ有するから、第１架橋部１３を枠状部１２から取り外す際に帯状部１１に外力を作用させる回数を最小限に抑えることが可能である。このように、本開示の蒸着マスク中間体１０によれば、蒸着マスクの製造時における帯状部１１の撓みを抑えることと、枠状部１２から帯状部１１を切り離す際に生じる帯状部１１の変形を抑えることとを両立することができる。

【0034】

一方、第２縁部１１Ｅ２と枠状部１２との間に沿って延びるハーフエッチング部によって第２縁部１１Ｅ２が枠状部１２に接続されるから、蒸着マスク中間体１０の搬送時において、第２縁部１１Ｅ２が枠状部１２から外れにくくなる。

【0035】

図２から図４は、それぞれ図１が示す領域Ａを拡大した構造を示している。ただし、図２は蒸着マスクの第１例における一部構造を示し、図３は蒸着マスクの第２例における一部構造を示し、かつ、図４は蒸着マスクの第３例における一部構造を示している。

【0036】

図２が示すように、枠状部１２は、外縁部１２Ｅ１（図１参照）、内縁部１２Ｅ２、および、貫通部１２Ｈを備えている。貫通部１２Ｈは、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、各第１架橋部１３と枠状部１２の外縁部１２Ｅ１との間の領域であって、帯状部１１を含まない領域に位置している。言い換えれば、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、枠状部１２のうち、各第１架橋部１３に対して帯状部１１とは反対側に位置する領域に、貫通部１２Ｈが位置している。すなわち、貫通部１２Ｈは、幅方向ＤＷにおいて、第１架橋部１３と、外縁部１２Ｅ１のうち、当該第１架橋部１３からの直線距離が最も短い部分との間に位置している。

【0037】

貫通部１２Ｈは、帯状部１１の長手方向ＤＬに沿って延びている。そのため、貫通部１２Ｈは、分離部１０Ｓと平行である。長手方向ＤＬにおいて、貫通部１２Ｈの長さは、第１架橋部１３の長さよりも長い。幅方向ＤＷにおいて、第１架橋部１３は、貫通部１２Ｈの長手方向ＤＬにおける両端とは並んでいない。すなわち、長手方向ＤＬにおいて、第１架橋部１３は、貫通部１２Ｈの両端に挟まれる領域内に位置している。

【0038】

帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、第１架橋部１３と貫通部１２Ｈとの間の距離が、第１架橋部１３と枠状部１２の外縁部１２Ｅ１との間の距離よりも短い。枠状部１２が貫通部１２Ｈを有するから、枠状部１２の内縁部１２Ｅ２から貫通部１２Ｈまでにわたって枠状部１２を切断することによって、第１架橋部１３を枠状部１２から切り離すことが可能である。例えば、枠状部１２は、図２において一点鎖線で示される切断線ＣＬに沿って切断される。切断線ＣＬは、帯状部１１の幅方向ＤＷに沿って延びる。

【0039】

そのため、枠状部１２の内縁部１２Ｅ２から外縁部１２Ｅ１までにわたって枠状部１２を切断する場合に比べて、枠状部１２を切断する長さが短くて済む。これにより、第１架橋部１３の切り離し後において、第１架橋部１３に接続された枠状部１２の一部の面積が小さくなる。それゆえに、第１架橋部１３の切り離し後において、第１架橋部１３に作用する荷重を小さくすることができるから、帯状部１１の変形が生じにくくなる。

【0040】

図２が示すように、第１架橋部１３と貫通部１２Ｈとの間の距離が、帯状部１１の幅方向ＤＷにおける第１架橋部１３の長さよりも短くてもよい。これにより、枠状部１２の内縁部１２Ｅ２から貫通部１２Ｈまでの距離が短いから、第１架橋部１３を枠状部１２から切り離すことがさらに容易である。さらに、第１架橋部１３の切り離し後において、第１架橋部１３に作用する荷重を小さくすることが可能であるから、帯状部１１の変形も生じにくくなる。

【0041】

第１架橋部１３は、帯状部１１に接続された基端１３Ｂと、枠状部１２に接続された先端１３Ｔとを有している。帯状部１１の第１縁部１１Ｅ１は、枠状部１２から離れる方向に向けて窪む窪み１１Ｅ１１を有している。第１架橋部１３の基端１３Ｂは、第１縁部１１Ｅ１の窪み１１Ｅ１１に接続されている。

【0042】

第１架橋部１３は、基端１３Ｂに位置し、かつ、長手方向ＤＬに沿って延びる脆弱部１３Ａを備えている。脆弱部１３Ａは、例えば、ハーフエッチング部でもよいし、ハーフエッチング部と、ハーフエッチング部上に位置し、かつ、ハーフエッチング部に沿って間隔を空けて並ぶ貫通部とを備えてもよい。第１架橋部１３の基端１３Ｂに脆弱部１３Ａが位置するから、第１架橋部１３の基端１３Ｂにおいて第１架橋部１３を帯状部１１から切断することが容易である。また、第１架橋部１３の基端１３Ｂは、窪み１１Ｅ１１に接続されているから、第１架橋部１３が基端１３Ｂにおいて切断され、これによって形成された切断痕が、帯状部１１の外縁部１１Ｅから飛び出すことが抑えられる。

【0043】

図３が示すように、内縁部１２Ｅ２は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて帯状部１１から離れる方向に窪む第１窪み１２Ｅ２１を有してもよい。この場合には、内縁部１２Ｅ２が第１窪み１２Ｅ２１を有する分だけ内縁部１２Ｅ２と貫通部１２Ｈとの間の距離が短くなるから、第１架橋部１３を枠状部１２から切り離すことがさらに容易である。例えば、枠状部１２は、図３において一点鎖線で示される切断線ＣＬに沿って切断される。切断線ＣＬは、帯状部１１の幅方向ＤＷに沿って延びる。

【0044】

図４が示すように、内縁部１２Ｅ２は、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて第１架橋部１３を挟む一対の第２窪み１２Ｅ２２を備えてもよい。各第２窪み１２Ｅ２２は、長手方向ＤＬにおいて、第１架橋部１３から離れている。この場合、各第２窪み１２Ｅ２２は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、第１架橋部１３から離れる方向に窪んでいる。帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、貫通部１２Ｈと第２窪み１２Ｅ２２とが並んでいる。この場合には、内縁部１２Ｅ２が第２窪み１２Ｅ２２を有する分だけ内縁部１２Ｅ２と貫通部１２Ｈとの間の距離が短くなるから、第１架橋部１３を枠状部１２から切り離すことがさらに容易である。例えば、枠状部１２は、図４において一点鎖線で示される切断線ＣＬに沿って切断される。切断線ＣＬは、帯状部１１の幅方向ＤＷに沿って延びる。

【0045】

第１架橋部１３の基端１３Ｂは、帯状部１１の第１縁部１１Ｅ１における窪み１１Ｅ１１に接続されている。第１架橋部１３の先端１３Ｔは、枠状部１２の内縁部１２Ｅ２のうちで、一対の第２窪み１２Ｅ２２に挟まれた部分に接続されている。そのため、図３が示す構造に比べて、帯状部１１に接続された枠状部１２の一部における面積が大きくなる傾向を有する。それゆえに、第１架橋部１３を帯状部１１から切り離す時に、枠状部１２を手、もしくは、切断治具でより押さえ易いから、脆弱部１３Ａを安定して切断することができる。これにより、脆弱部１３Ａの切断が、帯状部１１の形状に影響を及ぼしにくい。

【0046】

［蒸着マスク］
図５が示す蒸着マスク２０は、蒸着マスク中間体１０において、枠状部１２から帯状部１１が切り離され、かつ、第１架橋部１３が帯状部１１から切り離されることによって形成される。なお、蒸着マスク２０は、第１架橋部１３が帯状部１１から切り離されることのみによって形成されてもよい。

【0047】

図５が示すように、本開示の蒸着マスク２０は、長手方向ＤＬに沿って延びる帯状を有している。蒸着マスク２０は、複数のマスク孔２０Ｈを有した偶数個のマスク部２０Ｍと、マスク部２０Ｍを囲む周辺部２０Ｐと、周辺部２０Ｐの外縁である外縁部２０Ｅと、を備える。図５が示す例では、蒸着マスク２０は、２つのマスク部２０Ｍを備えている。偶数個のマスク部２０Ｍは、第１マスク部２０Ｍ１と第２マスク部２０Ｍ２とを含んでいる。第１マスク部２０Ｍ１と第２マスク部２０Ｍ２とは、偶数個のマスク部２０Ｍの個数を２等分する仮想線Ｌを挟んでいる。周辺部２０Ｐは、第１マスク部２０Ｍ１と第２マスク部２０Ｍ２との間の隙間２０Ｇを含んでいる。

【0048】

外縁部２０Ｅは、長手方向ＤＬにおける各端部に、複数の切り欠き２０Ｎを有している。図５が示す例では、長手方向ＤＬにおける各端部には、３つの切り欠き２０Ｎが位置し、かつ、３つの切り欠き２０Ｎは、長手方向ＤＬに直交する幅方向ＤＷにおいて間隔を空けて並んでいる。

【0049】

外縁部２０Ｅは、長手方向ＤＬに直交する幅方向ＤＷにおいて、隙間２０Ｇを挟む一対の第１切断痕２０Ｃ１を有し、かつ、幅方向ＤＷにおいて、外縁部２０Ｅのなかで、偶数個のマスク部２０Ｍと対向する部分に、一対の第１切断痕２０Ｃ１以外の切断痕を有しない。各第１切断痕２０Ｃ１は、蒸着マスク中間体１０における第１架橋部１３の切断によって形成された切断の痕跡である。

【0050】

外縁部２０Ｅは、第２切断痕２０Ｃ２をさらに備えている。各第２切断痕２０Ｃ２は、外縁部１２Ｅ１における長手方向ＤＬでの各端部のうち、切り欠き２０Ｎを除く部分に位置している。さらに、第２切断痕２０Ｃ２は、外縁部２０Ｅにおいて長手方向ＤＬに沿って延びる部分のうち、長手方向ＤＬにおける端部に連なる部分にまで延びている。長手方向ＤＬにおいて、第２切断痕２０Ｃ２の端部は、蒸着マスク２０における長手方向ＤＬの端部と、当該端部からの距離が最も近いマスク部２０Ｍとの間に位置している。第２切断痕２０Ｃ２は、蒸着マスク中間体１０における第２架橋部１４の切断によって形成された切断の痕跡である。

【0051】

なお、蒸着マスク２０のうち、各マスク部２０Ｍが蒸着マスク中間体１０のマスク部１１Ｍに対応し、周辺部２０Ｐが蒸着マスク中間体１０の周辺部１１Ｐに対応し、かつ、隙間２０Ｇが蒸着マスク中間体１０の隙間１１Ｇに対応し、また、蒸着マスク２０のうち、外縁部２０Ｅは蒸着マスク中間体１０の外縁部１１Ｅに対応し、切り欠き２０Ｎが蒸着マスク中間体１０の切り欠き１１ＥＳＮに対応している。

【0052】

［蒸着マスクの製造方法］
本開示の蒸着マスク２０の製造方法は、以下を含む。
製造方法は、金属シートに帯状部１１と枠状部１２とを形成すること、および、枠状部１２から帯状部１１を切断して、帯状部１１から蒸着マスク２０を形成すること、を含んでいる。

【0053】

帯状部１１と枠状部１２とを形成することは、以下のように帯状部１１および枠状部１２を形成する。すなわち、枠状部１２は第１板厚を有している。帯状部１１は、帯状部１１の長手方向ＤＬに沿って隙間１１Ｇを空けて並ぶ偶数個のマスク部１１Ｍと、マスク部１１Ｍを囲み、第１板厚を有する周辺部１１Ｐと、周辺部１１Ｐの外縁である外縁部１１Ｅと、を備えている。マスク部１１Ｍは、複数のマスク孔１１Ｈを含んでいる。

【0054】

外縁部１１Ｅは、第１縁部１１Ｅ１と第２縁部１１Ｅ２とを含んでいる。第１縁部１１Ｅ１は、長手方向ＤＬに沿って延び、長手方向ＤＬに直交する幅方向ＤＷにおいて、偶数個のマスク部１１Ｍと対向することが可能な長さを有している。

【0055】

偶数個のマスク部１１Ｍは、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２とを含み、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２とが、偶数個のマスク部１１Ｍの個数を２等分する仮想線Ｌを挟んでいる。

【0056】

蒸着マスク中間体１０は、一対の第１架橋部１３、分離部１０Ｓ、および、第２架橋部１４を備えている。一対の第１架橋部１３は、帯状部１１のうち、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２との間の隙間１１Ｇを枠状部１２に接続し、かつ、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて帯状部１１を挟む。分離部１０Ｓは、枠状部１２と帯状部１１の第１縁部１１Ｅ１との間において、第１架橋部１３の両側に位置し、第１縁部１１Ｅ１を枠状部１２から分離する。第２架橋部１４は、枠状部１２と帯状部１１の第２縁部１１Ｅ２との間に位置し、第２縁部１１Ｅ２を枠状部１２に接続する。

【0057】

詳細には、蒸着マスク２０を製造する際には、まず金属シートを準備する。金属シートは、例えば、ニッケル、鉄ニッケル系合金、または、鉄ニッケルコバルト系合金から形成されている。金属シートは、例えば５μｍ以上５０μｍ以下の厚さを有し、かつ、２５０ｍｍ以上の幅を有している。なお、金属シートの厚さは、１５μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。次いで、フォトリソグラフィ法を用いて、金属シートの両面にレジストマスクを形成する。

【0058】

その後、レジストマスクを用いて金属シートをウェットエッチングすることによって、蒸着マスク中間体１０を得ることができる。この際に、まず金属シートを第１面のみからウェットエッチングし、次いで金属シートを第２面のみからウェットエッチングする。このように、金属シートを第１面と第２面との両方からエッチングすることによって、金属シートの厚さ方向に沿って金属シートを貫通する孔が形成される。なお、第２架橋部１４が備えるハーフエッチング部は、金属シートを第１面からウェットエッチングすることによって形成されてもよいし、第２面からウェットエッチングすることによって形成されてもよい。

【0059】

金属シートの厚さが十分に薄い場合には、金属シートの片面のみにレジストマスクを形成し、かつ、金属シートをレジストマスクが形成された面のみからウェットエッチングすることによって蒸着マスク中間体１０を得てもよい。

【0060】

蒸着マスク中間体１０が形成されるまでに金属シートに対して施される上述した各種処理は、ロールツーロール方式を用いて行われる。本開示の蒸着マスク中間体１０の製造方法では、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２との間の隙間１１Ｇを枠状部１２に接続するための第１架橋部１３を一対形成するから、蒸着マスク２０の製造時において、帯状部１１が自重により撓むことが抑えられる。

【0061】

次いで、切断器具を用いて枠状部１２を切断することによって、帯状部１１を枠状部１２から切り離す。この際に、例えば図２から図４を用いて先に説明した切断線ＣＬに沿って、すなわち幅方向ＤＷに沿って、枠状部１２の内縁部１２Ｅ２から貫通部１２Ｈまでにわたって、枠状部１２を切断する。そのため、枠状部１２から切り離された帯状部１１には、第１架橋部１３と、第１架橋部１３に連なる枠状部１２の一部とが接続されている。また、第２架橋部１４を切断し、これによって、帯状部１１の第２縁部１１Ｅ２を枠状部１２から切り離す。第２架橋部１４の切断には切断器具を用いてもよいし、切断器具を用いなくてもよい。

【0062】

続いて、帯状部１１から第１架橋部１３を切り離す。この際に、第１架橋部１３の基端１３Ｂに位置する脆弱部１３Ａにおいて帯状部１１に対して第１架橋部１３を折り曲げることによって、第１架橋部１３を帯状部１１から切り離す。これにより、蒸着マスク２０を得ることができる。第１架橋部１３を帯状部１１から切り離す際には、枠状部１２の一部を押さえたり、第１架橋部１３を折り曲げたりするための切断治具を用いてもよい。

【0063】

以上説明したように、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２との間の隙間１１Ｇを枠状部１２に接続する一対の第１架橋部１３を有するから、蒸着マスクの製造時において、自重による帯状部１１の撓みを抑えることが可能である。

【0064】

（２）第２縁部１１Ｅ２と枠状部１２との間に沿って延びるハーフエッチング部によって第２縁部１１Ｅ２が枠状部１２に接続されるから、蒸着マスク中間体１０の搬送時において、第２縁部１１Ｅ２が枠状部１２から外れにくくなる。

【0065】

（３）枠状部１２が貫通部１２Ｈを有するから、枠状部１２の内縁部１２Ｅ２から貫通部１２Ｈまでにわたって枠状部１２を切断することによって、第１架橋部１３を枠状部１２から切り離すことが可能である。

【0066】

（４）枠状部１２の内縁部１２Ｅ２から貫通部１２Ｈまでの距離が短いから、第１架橋部１３を枠状部１２から切り離すことがさらに容易である。
（５）内縁部１２Ｅ２が第１窪み１２Ｅ２１を有する分だけ内縁部１２Ｅ２と貫通部１２Ｈとの間の距離が短くなるから、第１架橋部１３を枠状部１２から切り離すことがさらに容易である。

【0067】

（６）内縁部１２Ｅ２が第２窪み１２Ｅ２２を有する分だけ内縁部１２Ｅ２と貫通部１２Ｈとの間の距離が短くなるから、第１架橋部１３を枠状部１２から切り離すことがさらに容易である。

【0068】

なお、上述した実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
［第２架橋部］
・図６が示すように、蒸着マスク中間体３０は、第２架橋部３４を備えている。第２架橋部３４は、第１板厚を有し、かつ、第２縁部１１Ｅ２の一部を枠状部１２に接続している。分離部３０Ｓは、枠状部１２と帯状部１１の第２縁部１１Ｅ２との間において、第２架橋部３４を除く部分に位置し、かつ、第２縁部１１Ｅ２を枠状部１２から分離している。

【0069】

図６が示す例では、蒸着マスク中間体３０は、複数の第２架橋部３４を備えている。第２架橋部３４の一部は、帯状部１１の長辺１１ＥＬのうちで第１縁部１１Ｅ１に含まれない部分、すなわち、長辺１１ＥＬのうちで、マスク部１１Ｍと短辺１１ＥＳとの間に位置する部分を枠状部１２に接続している。また、第２架橋部３４の一部は、短辺１１ＥＳのうちで、切り欠き１１ＥＳＮを除く部分において、帯状部１１を枠状部１２に接続している。

【0070】

分離部３０Ｓは、第１縁部１１Ｅ１と枠状部１２との間に加えて、第２縁部１１Ｅ２と枠状部１２との間にも位置している。第２縁部１１Ｅ２と枠状部１２との間において、分離部３０Ｓは、第２架橋部３４によって分断され、かつ、切り欠き１１ＥＳＮによって分断されている。すなわち、分離部３０Ｓは、帯状部１１の周方向における全体にわたって枠状部１２との間に位置し、かつ、第１架橋部１３、第２架橋部３４、および、切り欠き１１ＥＳＮによって分断されている。なお、分離部３０Ｓは、第１縁部１１Ｅ１に沿う部分である第１分離部と、第２縁部１１Ｅ２に沿う第２分離部とを含む。

【0071】

この変更例によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（７）第２架橋部３４を切り離すことによって第２縁部１１Ｅ２を枠状部１２から取り外すことが可能である。
なお、図６が示す例では、枠状部１２の内縁部１２Ｅ２が、切り欠き１１ＥＳＮに沿う形状を有した突状縁を有する場合には、切り欠き１１ＥＳＮのうち、長手方向ＤＬに沿って延びる直線部の一部が、第２架橋部３４によって枠状部１２に接続されてもよい。

【0072】

［枠状部］
・枠状部１２は、図２を参照して先に説明した構造と、図３を参照して先に説明した構造とを組み合わせた構造を有してもよい。すなわち、幅方向ＤＷにおいて、内縁部１２Ｅ２と貫通部１２Ｈとの間の距離が第１架橋部１３の長さよりも短く、かつ、内縁部１２Ｅ２が第１窪み１２Ｅ２１を有してもよい。この場合には、幅方向ＤＷにおける内縁部１２Ｅ２と貫通部１２Ｈとの間の距離がさらに短くなるから、枠状部１２から帯状部１１を切り離すことがさらに容易である。

【0073】

・枠状部１２は、図２を参照して先に説明した構造と、図４を参照して先に説明した構造とを組み合わせた構造を有してもよい。すなわち、幅方向ＤＷにおいて、内縁部１２Ｅ２と貫通部１２Ｈとの間の距離が第１架橋部１３の長さよりも短く、かつ、内縁部１２Ｅ２が一対の第２窪み１２Ｅ２２を有してもよい。この場合にも、幅方向ＤＷにおける内縁部１２Ｅ２と貫通部１２Ｈとの間の距離が短くなるから、枠状部１２から帯状部１１を切り離すことがさらに容易である。

【0074】

［第１架橋部］
・蒸着マスク中間体１０は、マスク部１１Ｍ間に位置する隙間であって、第１マスク部１１Ｍ１と第２マスク部１１Ｍ２との間に位置する隙間１１Ｇ以外の部分を枠状部１２に接続する第１架橋部１３を備えてもよい。上述した仮想線Ｌは、複数のマスク部１１Ｍを第１のマスク部群と、第２のマスク部群とに分割する。例えば、各マスク部群が偶数個のマスク部１１Ｍを含む場合には、第１マスク部群に含まれるマスク部１１Ｍ間の隙間のうち、各マスク部群に含まれる複数のマスク部１１Ｍの個数を長手方向ＤＬにおいて２等分するような隙間が、第１架橋部１３によって枠状部１２に接続されてよい。なお、長手方向ＤＬにおける各マスク部群の長さが７００ｍｍ以上である場合に、蒸着マスク中間体１０がこうした第１架橋部１３を備えることが好ましい。これにより、長尺の帯状部１１であっても、帯状部１１に撓みが生じることが抑えられる。

【符号の説明】

【0075】

１０…蒸着マスク中間体
１０Ｓ…分離部
１１…帯状部
１１Ｅ…外縁部
１１Ｅ１…第１縁部
１１Ｅ２…第２縁部
１１Ｇ…隙間
１１Ｈ…マスク孔
１１Ｍ…マスク部
１１Ｍ１…第１マスク部
１１Ｍ２…第２マスク部
１１Ｐ…周辺部
１２…枠状部
１２Ｅ１…外縁部
１２Ｅ２…内縁部
１２Ｅ２１…第１窪み
１２Ｅ２２…第２窪み
１２Ｈ…貫通部
１３…第１架橋部
１３Ｂ…基端
１３Ｔ…先端
１４…第２架橋部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】