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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024043452
(43)【公開日】2024-03-29
(54)【発明の名称】基板加熱装置及びそれを用いた基板処理装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/306 20060101AFI20240322BHJP
【ＦＩ】
H01L21/306 R
【審査請求】有
【請求項の数】16
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022189008
(22)【出願日】2022-11-28
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2024-01-26
(31)【優先権主張番号】10-2022-0116952
(32)【優先日】2022-09-16
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】520236767
【氏名又は名称】サムス カンパニー リミテッド
(74)【代理人】
【識別番号】110001519
【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】ソン、ソ ハン
(72)【発明者】
【氏名】チェ、チョン ポン
(72)【発明者】
【氏名】ヨン、カン ソプ
(72)【発明者】
【氏名】リ、ヨン イル
(72)【発明者】
【氏名】カン、ミン オク
【テーマコード（参考）】
5F043
【Ｆターム（参考）】
5F043AA31
5F043AA35
5F043BB22
5F043BB23
5F043DD07
5F043DD13
5F043EE07
5F043EE08
5F043EE40
(57)【要約】
【課題】基板加熱装置及びそれを用いた基板処理装置に係り、さらに詳しくは、端子台を効率よく冷却することができるように構造が改善された基板加熱装置、及びそれを用いた基板処理装置に関する。
【解決手段】本発明は、基板を加熱するための基板加熱装置であって、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備えることを特徴とする、基板加熱装置を提供する。
【選択図】図２
【解決手段】本発明は、基板を加熱するための基板加熱装置であって、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備えることを特徴とする、基板加熱装置を提供する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を加熱するための基板加熱装置であって、
前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、
前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備えることを特徴とする、基板加熱装置。
前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、
前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備えることを特徴とする、基板加熱装置。
【請求項2】
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、前記加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板をさらに備える、請求項１に記載の基板加熱装置。
【請求項3】
前記反射板には、隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接する、請求項２に記載の基板加熱装置。
【請求項4】
前記隙間は、前記端子台の断面形状に対応するように構成される、請求項３に記載の基板加熱装置。
【請求項5】
前記冷却プレートには、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、請求項１に記載の基板加熱装置。
【請求項6】
前記冷却プレートのうち、前記隙間の下部には、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、請求項２に記載の基板加熱装置。
【請求項7】
前記溝の幅が前記隙間の幅に比べて狭い、請求項６に記載の基板加熱装置。
【請求項8】
前記加熱部は同心形状の複数個のＩＲランプヒーターを含み、それぞれのＩＲランプヒーターは同じ平面に配置される、請求項１に記載の基板加熱装置。
【請求項9】
前記冷却プレートの内部には冷却水の流れる流路が配置される、請求項１に記載の基板加熱装置。
【請求項10】
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられ、基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板に薬液を供給するための薬液供給ユニットと、
前記基板を加熱するための基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備える、基板処理装置。
前記チャンバの処理領域に設けられ、基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板に薬液を供給するための薬液供給ユニットと、
前記基板を加熱するための基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備える、基板処理装置。
【請求項11】
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板をさらに備える、請求項１０に記載の基板処理装置。
【請求項12】
前記反射板には隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接する、請求項１１に記載の基板処理装置。
【請求項13】
前記隙間は、前記端子台の断面形状に対応するように構成される、請求項１２に記載の基板処理装置。
【請求項14】
前記冷却プレートには、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、請求項１０に記載の基板処理装置。
【請求項15】
前記冷却プレートのうち、前記隙間の下部には、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、請求項１１に記載の基板処理装置。
【請求項16】
前記溝の幅が前記隙間の幅に比べて狭い、請求項１５に記載の基板処理装置。
【請求項17】
前記加熱部は同心形状の複数個のＩＲランプヒーターを含み、それぞれのＩＲランプヒーターは同じ平面に配置される、請求項１６に記載の基板処理装置。
【請求項18】
前記冷却プレートの内部には冷却水の流れる流路が配置される、請求項１０に記載の基板処理装置。
【請求項19】
前記基板支持ユニットは、スピンチャックと、前記スピンチャックの下方に配置され、前記スピンチャックを回転させるための回転駆動部と、を含む、請求項１０に記載の基板処理装置。
【請求項20】
基板の表面をエッチングするための基板エッチング装置であって、
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられて基板を支持し、スピンチャック、及び前記スピンチャックを回転させるための回転駆動部を含む基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板にエッチング液を供給するためのもので、前記基板にエッチング液を噴射するノズル、前記ノズルを移動させるためのノズル駆動部、及び前記エッチング液を加熱するためのエッチング液加熱部を含むエッチング液供給ユニットと、
前記エッチング液供給ユニットによって基板の表面へ噴射されたエッチング液が基板の表面と反応しながら生じる反応副産物や、基板から飛散したエッチング液を回収するために前記基板支持ユニットを包む形で設けられる回収ユニットと、
前記基板を加熱するために前記スピンチャックの下部に配置される基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、
前記支持ユニットの下部に配置される熱源であって、複数個が同じ平面に同心円状に配置されたＩＲランプヒーターである加熱部と、
前記加熱部の下部に配置されて冷気を提供し、内部に冷却水の流れる流路が形成された冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、を備え、
前記反射板には、前記端子台の断面形状に対応する形状の隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接し、
前記冷却プレートのうちの前記隙間の下部には、下方に前記隙間の幅に比べて狭い幅を持つように凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、基板エッチング装置。
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられて基板を支持し、スピンチャック、及び前記スピンチャックを回転させるための回転駆動部を含む基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板にエッチング液を供給するためのもので、前記基板にエッチング液を噴射するノズル、前記ノズルを移動させるためのノズル駆動部、及び前記エッチング液を加熱するためのエッチング液加熱部を含むエッチング液供給ユニットと、
前記エッチング液供給ユニットによって基板の表面へ噴射されたエッチング液が基板の表面と反応しながら生じる反応副産物や、基板から飛散したエッチング液を回収するために前記基板支持ユニットを包む形で設けられる回収ユニットと、
前記基板を加熱するために前記スピンチャックの下部に配置される基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、
前記支持ユニットの下部に配置される熱源であって、複数個が同じ平面に同心円状に配置されたＩＲランプヒーターである加熱部と、
前記加熱部の下部に配置されて冷気を提供し、内部に冷却水の流れる流路が形成された冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、を備え、
前記反射板には、前記端子台の断面形状に対応する形状の隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接し、
前記冷却プレートのうちの前記隙間の下部には、下方に前記隙間の幅に比べて狭い幅を持つように凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、基板エッチング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板加熱装置及びそれを用いた基板処理装置に係り、さらに詳しくは、端子台を効率よく冷却することができるように構造が改善された基板加熱装置、及びそれを用いた基板処理装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体素子は、シリコン基板上に所定のパターンを形成するように薄膜を順次積層する過程を繰り返し行うことにより製造されるが、薄膜の形成及び積層のためには、蒸着工程、フォト工程及びエッチング工程などの多数の単位工程を繰り返し行う。これらの単位工程を行う半導体素子の製造設備は、所定の単位個数の基板を一括処理するバッチ（ｂａｔｃｈ）式設備と、基板を１枚ずつ順次処理する枚葉式設備に大別される。枚葉式設備には、基板をスピンチャックに支持された状態で回転させながら基板の上面に処理液を供給して処理される設備がある。このような枚葉式設備は、駆動源から発生した回転力が、スピンチャックの下部に連結された回転軸によってスピンチャックへ伝達され、これにより、スピンチャック上に取り付けられた基板が回転し、回転する基板の上部から感光液、現像液又は洗浄液などの薬液を噴射して基板を処理する構成を持つ。
【0003】
一方、基板に薬液を供給して処理する設備において、処理効率の向上のために基板を加熱しながら処理する場合がある。
【0004】
基板を加熱するための基板加熱装置は、図１に示されているように、熱源であるランプヒーター１、反射板３及び冷却プレート４を含むことができ、ランプヒーター１は、端子台２から電力の供給を受ける。工程が完了した以後には、基板を冷却する必要があるので、冷却プレート４によって基板を冷却する。
【0005】
ところが、前記端子台２は、高温環境である反射板３の上部に配置されるので、過熱されて寿命が短縮されるおそれがあるため、適切な冷却が必要であるが、冷却プレート４の上部には加熱された反射板があるため、端子台２の冷却が容易ではないという問題点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、背景技術の問題点を解決するためになされたもので、その解決しようとする課題は、高温環境に晒された端子台を効率よく冷却することができるように構造が改善された基板加熱装置、及びそれを用いた基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前述した課題の解決手段として、本発明は、基板を加熱するための基板加熱装置であって、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備えることを特徴とする、基板加熱装置を提供する。
【0008】
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板をさらに備えることが好ましい。
【0009】
前記反射板には隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接することが好ましい。
【0010】
前記隙間は、前記端子台の断面形状に対応するように構成されることが好ましい。
【0011】
前記冷却プレートには、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却されることが好ましい。
【0012】
前記溝の幅は、前記隙間の幅に比べて狭いことが好ましい。
【0013】
前記加熱部は、同心形状の複数個のＩＲランプヒーターを含み、それぞれのＩＲランプヒーターは、同じ平面に配置されることが好ましい。
【0014】
前記冷却プレートの内部には、冷却水の流れる流路が配置されることが好ましい。
【0015】
また、本発明は、処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられ、基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板に薬液を供給するための薬液供給ユニットと、
前記基板を加熱するための基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備える、基板処理装置を提供する。
前記チャンバの処理領域に設けられ、基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板に薬液を供給するための薬液供給ユニットと、
前記基板を加熱するための基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備える、基板処理装置を提供する。
【0016】
また、本発明は、
基板の表面をエッチングするための基板エッチング装置であって、
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられて基板を支持し、スピンチャック、及び前記スピンチャックを回転させるための回転駆動部を含む基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板にエッチング液を供給するためのもので、前記基板にエッチング液を噴射するノズル、前記ノズルを移動させるためのノズル駆動部、及び前記エッチング液を加熱するためのエッチング液加熱部を含むエッチング液供給ユニットと、
前記エッチング液供給ユニットによって基板の表面へ噴射されたエッチング液が基板の表面と反応しながら生じる反応副産物や、基板から飛散したエッチング液を回収するために前記基板支持ユニットを包む形で設けられる回収ユニットと、
前記基板を加熱するために前記スピンチャックの下部に配置される基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、
前記支持ユニットの下部に配置される熱源であって、複数個が同じ平面に同心円状に配置されたＩＲランプヒーターである加熱部と、
前記加熱部の下部に配置されて冷気を提供し、内部に冷却水の流れる流路が形成された冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、を備え、
前記反射板には、前記端子台の断面形状に対応する形状の隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接し、
前記冷却プレートのうちの前記隙間の下部には、下方に前記隙間の幅に比べて狭い幅を持つように凹んだ溝が設けられ、前記端子台と連結される電源ケーブルは前記溝に収容されて冷却プレート上によって冷却される、基板エッチング装置を提供する。
基板の表面をエッチングするための基板エッチング装置であって、
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられて基板を支持し、スピンチャック、及び前記スピンチャックを回転させるための回転駆動部を含む基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板にエッチング液を供給するためのもので、前記基板にエッチング液を噴射するノズル、前記ノズルを移動させるためのノズル駆動部、及び前記エッチング液を加熱するためのエッチング液加熱部を含むエッチング液供給ユニットと、
前記エッチング液供給ユニットによって基板の表面へ噴射されたエッチング液が基板の表面と反応しながら生じる反応副産物や、基板から飛散したエッチング液を回収するために前記基板支持ユニットを包む形で設けられる回収ユニットと、
前記基板を加熱するために前記スピンチャックの下部に配置される基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、
前記支持ユニットの下部に配置される熱源であって、複数個が同じ平面に同心円状に配置されたＩＲランプヒーターである加熱部と、
前記加熱部の下部に配置されて冷気を提供し、内部に冷却水の流れる流路が形成された冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、を備え、
前記反射板には、前記端子台の断面形状に対応する形状の隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接し、
前記冷却プレートのうちの前記隙間の下部には、下方に前記隙間の幅に比べて狭い幅を持つように凹んだ溝が設けられ、前記端子台と連結される電源ケーブルは前記溝に収容されて冷却プレート上によって冷却される、基板エッチング装置を提供する。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、高温環境に晒された端子台を効率よく冷却することができるように構造が改善された基板加熱装置、及びそれを用いた基板処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】従来の基板加熱装置を説明するための断面図である。
【図2】本発明の一つの実施形態による基板加熱装置の分離斜視図である。
【図4】本発明の一つ実施形態による基板処理装置を説明するための図である。
【図5】本発明の一つ実施形態による基板エッチング装置を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明することにより、本発明を実施するための具体的な内容を提供する。
【0020】
まず、本発明の第１形態である基板加熱装置について説明する。
【0021】
【0022】
本実施形態による基板加熱装置１００は、エッチングや洗浄など処理のための基板処理装置に設置され、基板Ｗを加熱する装置であって、加熱部１０、端子台２０、反射板３０及び冷却プレート４０を含んで構成される。
【0023】
前記加熱部１０は、基板Ｗを加熱するために、前記基板Ｗの下部に配置される熱源である。前記基板Ｗは、スピンチャック５０によって支持されるが、スピンチャック５０には、基板Ｗと接しながら支持する複数のチャックピン５１が設置される。
【0024】
前記加熱部１０は、図２に示されているように、複数個が同心円状に配置されるＩＲランプヒーターで構成できる。それぞれのＩＲランプヒーターは、中空のケーシングと、ケーシングの内部に設置されるフィラメント（図示せず）と、を備え、ケーシングの両端部は、発熱のための電力供給を受けるために端子台２０に連結される。
【0025】
前記複数個のＩＲランプヒーターは、同じ平面に配置されるが、ＩＲランプヒーターが同じ平面に配置されるという意味は、それぞれのＩＲランプヒーターが設置された高さが全て同じであるため、それぞれのＩＲランプヒーターと基板Ｗとの距離が同一であるという意味である。基板を処理する過程で基板Ｗを均一に加熱しなければ、基板の処理均一度に劣るおそれがあるが、ＩＲランプヒーターを同じ平面に配置すると、それぞれのＩＲランプヒーターと基板Ｗとの距離が同一になって基板Ｗを均一に加熱することができる。前記加熱部１０であるＩＲランプヒーターには、重力によって下方に弛むことを防止して同じ平面に配置されることが維持できるようにＩＲランプヒーターを支持する支持手段１１が設けられる。
【0026】
前記端子台２０は、電源から電力の供給を受けて前記加熱部１０に供給する構成であって、電力供給のための電源ケーブル２１に連結される。前記端子台２０は、セラミック材質で製作できる。
【0027】
前記反射板３０は、前記基板Ｗを効率よく加熱するために前記加熱部１０の下方に配置され、加熱部１０であるＩＲランプヒーターから発散した熱を基板Ｗ側へ反射させる。また、反射板３０は、基板Ｗを均一に加熱することができるようにする。
【0028】
前記反射板３０は、前記発熱手段１０から発散した輻射熱が透過しないように不透明材質で製作できる。
【0029】
前記反射板３０には、図２に示されているように、前記端子台２０の断面形状に対応する形状の隙間３１（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成される。前記端子台２０の断面形状に対応する形状とは、前記端子台２０が前記隙間３１を貫通するように配置されるとき、隙間３１のうち、端子台２０が貫通して残った空間が製作公差程度と小さい形状を意味する。隙間３１の形状を端子台２０の断面形状と対応する形状に構成することにより、反射板３０の面積を最大化して、加熱部１０から発散した熱を最大限に反射させることができるように構成する。
【0030】
前記冷却プレート４０は、前記反射板３０の下部に配置され、冷気を提供する構成であって、内部には冷却水の流れる流路（図示せず）が配置され、冷却水が流路に沿って流れるように構成される。冷却プレート４０に配置された流路に沿って冷却水が流れながら、熱を吸収して外部へ排出される。
【0031】
前記冷却プレート４０は、基板Ｗ、端子台２０及び下部チャック６０を冷却させることができるように下部チャック６０の上部に配置され、下部チャック６０によって支持される。
【0032】
前記端子台２０の下端部は、前記隙間３１を貫通して前記冷却プレート４０と直接接触するように構成される。端子台２０が冷却プレート４０と直接接触することにより端子台２０の冷却効率を高めて、加熱部１０によって基板Ｗを加熱する過程で端子台２０が一緒に過熱して損傷するのを防止する。
【0033】
図３に示されているように、前記冷却プレート４０のうち、前記隙間３１の下部には、下方に凹んだ溝４１が形成され、中央部には貫通孔４２が形成されている。前記端子台２０に連結される電源ケーブル２１が前記溝４１に収容された状態で冷却プレート４０によって冷却され、前記貫通孔４２を貫通するように構成されているので、電源ケーブル２１の冷却効率を高めることができるようにする。
【0034】
前記端子台２０と同様に、端子台２０に連結された電源ケーブル２１も加熱部１０によって加熱されて寿命が短くなったり効率が低下したりする可能性があるが、溝４１に収容された状態で冷却できるようにすることにより、電源ケーブル２１が加熱されることにより発生しうる問題を解決する。
【0035】
電源ケーブル２１は、溝４１内で冷却プレート４０に直接接触することにより、冷却プレート４０によって冷却できる。
【0036】
一方、前記溝４１の幅ｄ１は、前記隙間３１の幅ｄ２に比べて小さく形成され、前記端子台３０が冷却プレート４０に支持できるように構成することができる。
【0037】
前記反射板３０と下部チャック６０にも、前記冷却プレート４０と同様に、それぞれ貫通孔３２、６１が形成されているが、これは、スピンチャック５０を回転させるための回転駆動部（図示せず）の回転軸であるスピンドル（図示せず）を設置するための空間が必要だからである。
【0038】
以下、本発明の第２形態である基板処理装置の一実施形態について説明する。
【0039】
図４は、本発明の一つの実施形態による基板処理装置を説明するための図である。
【0040】
本実施形態による基板処理装置は、チャンバ１０００、基板支持ユニット２００、薬液供給ユニット３００、及び基板加熱ユニット１００を含んで構成される。本実施形態の基板処理装置は、例えば、基板を洗浄するための洗浄装置やエッチング装置など、基板を加熱しながら工程を行う様々な種類の装置であり得る。
【0041】
前記チャンバ１０００は、基板を処理するための処理領域を提供する。
【0042】
前記基板支持ユニット２００は、前記チャンバ１０００が提供する処理領域に設置され、基板Ｗを支持する構成であって、スピンチャック５０、下部チャック６０、スピンドル７０及び回転駆動部８０を含んで構成できる。前記スピンチャック５０には、複数のチャックピン５１が設置される。
【0043】
前記基板支持ユニット２００の周辺には、基板Ｗの表面に噴射されて基板Ｗを処理した後に生じる処理副産物や、基板Ｗから飛散した薬液を回収するための回収ユニット５００が設けられることができる。
【0044】
前記薬液供給ユニット３００は、前記基板Ｗを処理するための薬液を供給するための構成であって、配管やバルブ、ポンプなどを含んで構成できるが、これは、公知の構成を適用することができるので、詳細説明は省略する。図面の破線は薬液の移動を表示したものである。前記薬液は、基板Ｗを洗浄するための洗浄液や、基板Ｗをエッチングするためのエッチング液などであり得る。
【0045】
前記薬液供給ユニット３００は、噴射ユニット４００を含むことができるが、前記噴射ユニット４００は、薬液供給ユニット３００に連結され、薬液供給ユニット３００によって供給された薬液を基板Ｗに噴射する構成である。前記噴射ユニット４００は、ノズルヘッド４０１とノズル４０２を含んで構成でき、ノズル４０２を介して基板Ｗへ薬液を噴射する。
【0046】
前記基板加熱ユニット１００は、前記基板Ｗを加熱する構成であって、加熱部１０、端子台２０、反射板３０及び冷却プレート４０を含んで構成されるが（図２及び図３参照）、前述した基板加熱装置と実質的に同じ構成として見なすことができ、前述したので、追加説明は省略する。
【0047】
以下、図面を参照して、本発明の第３形態である基板エッチング装置の一実施形態について説明する。
【0048】
図５は、本発明の一つの実施形態による基板エッチング装置を説明するための図である。
【0049】
本実施形態による基板エッチング装置は、基板Ｗの表面をエッチングするための装置であって、チャンバ１０００、基板支持ユニット２００、エッチング液供給ユニット３００、回収ユニット５００及び基板加熱ユニット１００を含んで構成される。
【0050】
前記チャンバ１０００は、エッチング処理のための処理領域を提供する。
【0051】
前記基板支持ユニット２００は、前記チャンバ１０００が提供する領域に設置され、基板Ｗを支持する構成であって、スピンチャック５０、下部チャック６０、スピンドル７０、及び回転駆動部８０を含んで構成できる。前記スピンチャック５０には、複数のチャックピン５１が設置される。
【0052】
前記エッチング液供給ユニット３００は、前記基板支持ユニット２００によって支持された基板Ｗにエッチング液を供給するための構成であって、ノズル３０１、ノズル駆動部３０２及びエッチング液加熱部３０３を含んで構成できる。前記エッチング液としては、リン酸（Ｈ３ＰＯ４）が使用でき、リン酸によって基板Ｗの表面のシリコン酸化膜やシリコン窒化膜などをエッチングすることができる。
【0053】
前記ノズル３０１は、エッチング液を基板Ｗに直接噴射する構成である。
【0054】
前記ノズル駆動部３０２は、前記ノズル３０１を移動させる構成であって、ノズル３０１が基板Ｗにエッチング液を噴射するときには、ノズル３０１が基板Ｗの中心上部に位置することができるように駆動し、エッチング液噴射が完了した後には、ノズル３０１が基板から離間するように駆動する。
【0055】
前記エッチング液加熱部３０３は、エッチング液を加熱する。エッチング液によるエッチングは化学反応によって行われるが、エッチング液の温度が上がると、化学反応の速度が増加する可能性があるので、エッチング液を加熱するのである。エッチング液加熱部３０３は、エッチング液を沸点以下の温度、例えば１５０℃で加熱することができる。
【0056】
一方、エッチング反応のために、エッチング液と共に、基板Ｗに純水（Ｄｅｉｏｎｉｚｅｄ ｗａｔｅｒ；ＤＩＷ）を供給する純水供給ユニット４００が含まれてもよい。純水供給ユニット４００は、純水ノズル４０１、純水ノズル駆動部（図示せず）、及び純水加熱部４０２を含むことができる。
【0057】
前記純水ノズル４０１は、基板Ｗに純水を噴射する構成であり、純水ノズル駆動部は、前記純水ノズル４０１を駆動する構成であり、純水加熱部４０２は、エッチング反応の速度を上げるために純水を加熱する構成である。前記純水ノズル駆動部の駆動メカニズムは、前記ノズル駆動部３０２の駆動メカニズムと実質的に同一に構成できる。
【0058】
前記回収ユニット５００は、前記エッチング液供給ユニット３００によって基板Ｗの表面に噴射されたエッチング液又は純水が基板の表面と反応しながら生じる反応副産物や、基板Ｗから飛散したエッチング液又は純水を回収する構成であって、図５に示されているように、基板支持ユニット２００と基板Ｗを包む形で配置される。
【0059】
前記基板加熱ユニット１００は、前記基板Ｗを加熱するために前記スピンチャック５０の下部に配置される構成であって、加熱部１０、端子台２０、反射板３０及び冷却プレート４０を含んで構成されるが（図２又は図３参照）、前述した基板加熱装置と実質的に同じ構成なので、追加説明は省略する。
【0060】
以上から本発明の好適な実施形態について説明することにより、本発明を実施するための具体的な内容を提供したが、本発明の技術的思想が説明された実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱することなく多様な形態で具体化できる。
【符号の説明】
【0061】
１０ 加熱部
２０ 端子台
３０ 反射板
４０ 冷却プレート
２０ 端子台
３０ 反射板
４０ 冷却プレート
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【手続補正書】
【提出日】2023-11-06
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を加熱するための基板加熱装置であって、
前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、
前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、前記加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備え、
前記反射板には、隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接することを特徴とする、基板加熱装置。
前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、
前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、前記加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備え、
前記反射板には、隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接することを特徴とする、基板加熱装置。
【請求項2】
前記隙間は、前記端子台の断面形状に対応するように構成される、請求項１に記載の基板加熱装置。
【請求項3】
基板を加熱するための基板加熱装置であって、
前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、
前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備え、
前記冷却プレートには、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、基板加熱装置。
前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、
前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備え、
前記冷却プレートには、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、基板加熱装置。
【請求項4】
前記冷却プレートのうち、前記隙間の下部には、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、請求項１に記載の基板加熱装置。
【請求項5】
前記溝の幅が前記隙間の幅に比べて狭い、請求項４に記載の基板加熱装置。
【請求項6】
前記加熱部は同心形状の複数個のＩＲランプヒーターを含み、それぞれのＩＲランプヒーターは同じ平面に配置される、請求項１に記載の基板加熱装置。
【請求項7】
前記冷却プレートの内部には冷却水の流れる流路が配置される、請求項１に記載の基板加熱装置。
【請求項8】
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられ、基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板に薬液を供給するための薬液供給ユニットと、
前記基板を加熱するための基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備え、
前記反射板には隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接する、基板処理装置。
前記チャンバの処理領域に設けられ、基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板に薬液を供給するための薬液供給ユニットと、
前記基板を加熱するための基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備え、
前記反射板には隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接する、基板処理装置。
【請求項9】
前記隙間は、前記端子台の断面形状に対応するように構成される、請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項10】
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられ、基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板に薬液を供給するための薬液供給ユニットと、
前記基板を加熱するための基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備え、
前記冷却プレートには、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、基板処理装置。
前記チャンバの処理領域に設けられ、基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板に薬液を供給するための薬液供給ユニットと、
前記基板を加熱するための基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、前記基板の下部に配置される熱源である加熱部と、前記加熱部の下方に配置され、冷気を提供する冷却プレートと、前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、を備え、
前記冷却プレートには、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、基板処理装置。
【請求項11】
前記冷却プレートのうち、前記隙間の下部には、下方に凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項12】
前記溝の幅が前記隙間の幅に比べて狭い、請求項１１に記載の基板処理装置。
【請求項13】
前記加熱部は同心形状の複数個のＩＲランプヒーターを含み、それぞれのＩＲランプヒーターは同じ平面に配置される、請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項14】
前記冷却プレートの内部には冷却水の流れる流路が配置される、請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項15】
前記基板支持ユニットは、スピンチャックと、前記スピンチャックの下方に配置され、前記スピンチャックを回転させるための回転駆動部と、を含む、請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項16】
基板の表面をエッチングするための基板エッチング装置であって、
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられて基板を支持し、スピンチャック、及び前記スピンチャックを回転させるための回転駆動部を含む基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板にエッチング液を供給するためのもので、前記基板にエッチング液を噴射するノズル、前記ノズルを移動させるためのノズル駆動部、及び前記エッチング液を加熱するためのエッチング液加熱部を含むエッチング液供給ユニットと、
前記エッチング液供給ユニットによって基板の表面へ噴射されたエッチング液が基板の表面と反応しながら生じる反応副産物や、基板から飛散したエッチング液を回収するために前記基板支持ユニットを包む形で設けられる回収ユニットと、
前記基板を加熱するために前記スピンチャックの下部に配置される基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、
前記基板支持ユニットの下部に配置される熱源であって、複数個が同じ平面に同心円状に配置されたＩＲランプヒーターである加熱部と、
前記加熱部の下部に配置されて冷気を提供し、内部に冷却水の流れる流路が形成された冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、を備え、
前記反射板には、前記端子台の断面形状に対応する形状の隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接し、
前記冷却プレートのうちの前記隙間の下部には、下方に前記隙間の幅に比べて狭い幅を持つように凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、基板エッチング装置。
処理領域を提供するチャンバと、
前記チャンバの処理領域に設けられて基板を支持し、スピンチャック、及び前記スピンチャックを回転させるための回転駆動部を含む基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットによって支持された基板にエッチング液を供給するためのもので、前記基板にエッチング液を噴射するノズル、前記ノズルを移動させるためのノズル駆動部、及び前記エッチング液を加熱するためのエッチング液加熱部を含むエッチング液供給ユニットと、
前記エッチング液供給ユニットによって基板の表面へ噴射されたエッチング液が基板の表面と反応しながら生じる反応副産物や、基板から飛散したエッチング液を回収するために前記基板支持ユニットを包む形で設けられる回収ユニットと、
前記基板を加熱するために前記スピンチャックの下部に配置される基板加熱ユニットと、を備え、
前記基板加熱ユニットは、
前記基板支持ユニットの下部に配置される熱源であって、複数個が同じ平面に同心円状に配置されたＩＲランプヒーターである加熱部と、
前記加熱部の下部に配置されて冷気を提供し、内部に冷却水の流れる流路が形成された冷却プレートと、
前記加熱部に電力を供給し、下端部が前記冷却プレートと接する端子台と、
前記加熱部と前記冷却プレートとの間に配置され、加熱部から発散した熱を基板側へ反射させる反射板と、を備え、
前記反射板には、前記端子台の断面形状に対応する形状の隙間（ｏｐｅｎｉｎｇ）が形成されており、前記端子台の下端部は、前記隙間を貫通した状態で前記冷却プレートと接し、
前記冷却プレートのうちの前記隙間の下部には、下方に前記隙間の幅に比べて狭い幅を持つように凹んだ溝が設けられ、前記端子台に連結される電源ケーブルは、前記溝に収容されて冷却プレートによって冷却される、基板エッチング装置。