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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024043756
(43)【公開日】2024-04-02
(54)【発明の名称】レーザ加工装置およびレーザ加工方法
(51)【国際特許分類】
B23K 26/16 20060101AFI20240326BHJP
B23K 26/142 20140101ALI20240326BHJP
【ＦＩ】
B23K26/16
B23K26/142
【審査請求】有
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022148923
(22)【出願日】2022-09-20
(71)【出願人】
【識別番号】000006208
【氏名又は名称】三菱重工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100100077
【弁理士】
【氏名又は名称】大場 充
(74)【代理人】
【識別番号】100136010
【弁理士】
【氏名又は名称】堀川 美夕紀
(74)【代理人】
【識別番号】100130030
【弁理士】
【氏名又は名称】大竹 夕香子
(74)【代理人】
【識別番号】100203046
【弁理士】
【氏名又は名称】山下 聖子
(72)【発明者】
【氏名】塩谷 成敏
(72)【発明者】
【氏名】米田 次郎
(72)【発明者】
【氏名】成田 竜一
(72)【発明者】
【氏名】呉屋 真之
(72)【発明者】
【氏名】浅野 伸
(72)【発明者】
【氏名】杉浦 篤
【テーマコード（参考）】
4E168
【Ｆターム（参考）】
4E168CB03
4E168DA43
4E168FB03
4E168FB05
4E168FC01
4E168FC04
(57)【要約】
【課題】レーザヘッドを往復移動させたとしても、効率よく生成物を回収できるレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】レーザ加工装置は、ワークにレーザ光を照射するレーザヘッドと、レーザ光の照射による生成物を回収する回収機構と、を備える。回収機構は、掃気用ガスを供給する第１給気ノズルと、第１給気ノズルに対向して設けられる第１吸引ダクトと、を有する第１回収部と、掃気用ガスを供給する第２給気ノズルと、第２給気ノズルに対向して設けられる第２吸引ダクトと、を有する第２回収部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】レーザ加工装置は、ワークにレーザ光を照射するレーザヘッドと、レーザ光の照射による生成物を回収する回収機構と、を備える。回収機構は、掃気用ガスを供給する第１給気ノズルと、第１給気ノズルに対向して設けられる第１吸引ダクトと、を有する第１回収部と、掃気用ガスを供給する第２給気ノズルと、第２給気ノズルに対向して設けられる第２吸引ダクトと、を有する第２回収部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
加工対象物にレーザ光を照射するレーザヘッドと、
前記レーザ光の照射による生成物を回収する回収機構と、を備え、
前記回収機構は、
掃気用ガスを供給する第１給気ノズルと、前記第１給気ノズルに対向して設けられる第１吸引ダクトと、を有する第１回収部と、
前記掃気用ガスを供給する第２給気ノズルと、前記第２給気ノズルに対向して設けられる第２吸引ダクトと、を有する第２回収部と、
を備えるレーザ加工装置。
前記レーザ光の照射による生成物を回収する回収機構と、を備え、
前記回収機構は、
掃気用ガスを供給する第１給気ノズルと、前記第１給気ノズルに対向して設けられる第１吸引ダクトと、を有する第１回収部と、
前記掃気用ガスを供給する第２給気ノズルと、前記第２給気ノズルに対向して設けられる第２吸引ダクトと、を有する第２回収部と、
を備えるレーザ加工装置。
【請求項2】
前記第１給気ノズルと前記第２吸引ダクトとが、前記レーザヘッドの軸線を中心とする円の径方向に並んで設けられ、
前記第２給気ノズルと前記第１吸引ダクトとが、前記径方向に並んで設けられる、
請求項１に記載のレーザ加工装置。
前記第２給気ノズルと前記第１吸引ダクトとが、前記径方向に並んで設けられる、
請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項3】
前記第１給気ノズルが前記第２吸引ダクトよりも前記径方向の内側に設けられ、
前記第２給気ノズルが前記第１吸引ダクトよりも前記径方向の内側に設けられる、請求項２に記載のレーザ加工装置。
前記第２給気ノズルが前記第１吸引ダクトよりも前記径方向の内側に設けられる、請求項２に記載のレーザ加工装置。
【請求項4】
前記第１給気ノズルと前記第１吸引ダクトとを結ぶ第１線分と、
前記第２給気ノズルと前記第２吸引ダクトとを結ぶ第２線分と、が交差する請求項１に記載のレーザ加工装置。
前記第２給気ノズルと前記第２吸引ダクトとを結ぶ第２線分と、が交差する請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項5】
前記回収機構は、
前記掃気用ガスを供給する第３給気ノズルを備える、
請求項２または請求項４に記載のレーザ加工装置。
前記掃気用ガスを供給する第３給気ノズルを備える、
請求項２または請求項４に記載のレーザ加工装置。
【請求項6】
前記レーザヘッドが、往路と復路とを往復移動しながら前記加工対象物を加工し、
前記往路において、前記第１回収部により前記生成物を回収し、
前記復路において、前記第２回収部により前記生成物を回収する、
請求項１に記載のレーザ加工装置。
前記往路において、前記第１回収部により前記生成物を回収し、
前記復路において、前記第２回収部により前記生成物を回収する、
請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項7】
前記回収機構は、
前記第１回収部と前記第２回収部とが前記掃気用ガスを選択的に供給するとともに、前記生成物を含む前記掃気用ガスを吸引する掃気部を備え、
前記掃気部は、
前記掃気用ガスとしての圧縮エアを生成する圧縮機と、
前記圧縮エアを前記第１給気ノズルまたは前記第２給気ノズルに供給する給気管と、
前記圧縮エアが供給されることにより減圧雰囲気を生成するエジェクタと、
前記エジェクタと前記第１吸引ダクトまたは前記第２吸引ダクトとを接続する吸引管と、を備える、
請求項１に記載のレーザ加工装置。
前記第１回収部と前記第２回収部とが前記掃気用ガスを選択的に供給するとともに、前記生成物を含む前記掃気用ガスを吸引する掃気部を備え、
前記掃気部は、
前記掃気用ガスとしての圧縮エアを生成する圧縮機と、
前記圧縮エアを前記第１給気ノズルまたは前記第２給気ノズルに供給する給気管と、
前記圧縮エアが供給されることにより減圧雰囲気を生成するエジェクタと、
前記エジェクタと前記第１吸引ダクトまたは前記第２吸引ダクトとを接続する吸引管と、を備える、
請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項8】
前記圧縮機から前記圧縮エアが供給され、それぞれ独立して開閉がなされる第１電磁弁と第２電磁弁を備え、
前記第１電磁弁が開、前記第２電磁弁が閉とされると、
前記給気管を通って前記圧縮エアが前記第１給気ノズルに供給され、かつ、前記吸引管を通じて前記第１吸引ダクトに減圧雰囲気が作用し、
前記第１電磁弁が閉、前記第２電磁弁が開とされると、
前記給気管を通って前記圧縮エアが前記第２給気ノズルに供給され、
かつ、前記吸引管を通じて前記第２吸引ダクトに減圧雰囲気が作用する、
請求項７に記載のレーザ加工装置。
前記第１電磁弁が開、前記第２電磁弁が閉とされると、
前記給気管を通って前記圧縮エアが前記第１給気ノズルに供給され、かつ、前記吸引管を通じて前記第１吸引ダクトに減圧雰囲気が作用し、
前記第１電磁弁が閉、前記第２電磁弁が開とされると、
前記給気管を通って前記圧縮エアが前記第２給気ノズルに供給され、
かつ、前記吸引管を通じて前記第２吸引ダクトに減圧雰囲気が作用する、
請求項７に記載のレーザ加工装置。
【請求項9】
前記レーザヘッド、前記第１回収部および前記第２回収部を昇降させ、かつ、前記レーザヘッドの軸線の周りに回転させる駆動機構を備える、
請求項１に記載のレーザ加工装置。
請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項10】
レーザヘッドから加工対象物にレーザ光を照射するレーザ加工方法であって、
第１給気ノズルから掃気用ガスを供給するとともに、前記レーザ光の照射による生成物を含む前記掃気用ガスを第１吸引ダクトで吸引する第１回収ステップと、
第２給気ノズルから前記掃気用ガスを供給するとともに、前記生成物を含む前記掃気用ガスを第２吸引ダクトで吸引する第２回収ステップと、が選択的に行われる、レーザ加工方法。
第１給気ノズルから掃気用ガスを供給するとともに、前記レーザ光の照射による生成物を含む前記掃気用ガスを第１吸引ダクトで吸引する第１回収ステップと、
第２給気ノズルから前記掃気用ガスを供給するとともに、前記生成物を含む前記掃気用ガスを第２吸引ダクトで吸引する第２回収ステップと、が選択的に行われる、レーザ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、レーザ光（Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation）の照射により不可避的に生ずるヒューム、スパッタなどの生成物を回収する機能を備えるレーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【0002】
レーザ光を照射することによりワークを加工すると、ヒューム（fume）、スパッタ（spatter）と称される粉塵、煙霧が不可避的に生成される。このヒュームなどの生成物はレーザ加工の障害となるために、ヒュームなどの生成物を回収することが行われている。ヒュームなどの生成物を回収するには、特許文献１および特許文献２などに開示されるように、エア、その他のガスを加工部位に供給するとともに、当該部位を減圧、吸引することが行われている。
【0003】
レーザ光を照射して例えば加工対象物を切断する場合、レーザ光を出射するレーザヘッドを必要とされる軌跡に沿って移動させる。加工対象物の厚さ方向の寸法が大きい場合には、レーザ光を軌跡に沿って一度だけ照射したのでは切断しきれないために、複数回にわたって
当該軌跡にレーザ光を照射するべく、レーザヘッドを往復移動させることがある。
当該軌跡にレーザ光を照射するべく、レーザヘッドを往復移動させることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００７－０２１５７４号公報
【特許文献2】特開平１０－２２５７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本開示は、レーザヘッドを往復移動させたとしても、効率よく生成物を回収できるレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示に係るレーザ加工装置は、加工対象物にレーザ光を照射するレーザヘッドと、レーザ光の照射による生成物を回収する回収機構と、を備える。この回収機構は、第１回収部と第２回収部を備える。第１回収部は、掃気用ガスを供給する第１給気ノズルと、第１給気ノズルに対向して設けられる第１吸引ダクトと、を有する。第２回収部は、掃気用ガスを供給する第２給気ノズルと、第２給気ノズルに対向して設けられる第２吸引ダクトと、を有する。
【0007】
本開示のレーザヘッドから加工対象物にレーザ光を照射するレーザ加工方法は、第１回収ステップと第２回収ステップとが選択的に行われる。
第１回収ステップは、第１給気ノズルから掃気用ガスを供給するとともに、レーザ光の照射による生成物を含む掃気用ガスを第１吸引ダクトで吸引する。
第２回収ステップは、第２給気ノズルから掃気用ガスを供給するとともに、生成物を含む掃気用ガスを第２吸引ダクトで吸引する。
第１回収ステップは、第１給気ノズルから掃気用ガスを供給するとともに、レーザ光の照射による生成物を含む掃気用ガスを第１吸引ダクトで吸引する。
第２回収ステップは、第２給気ノズルから掃気用ガスを供給するとともに、生成物を含む掃気用ガスを第２吸引ダクトで吸引する。
【発明の効果】
【0008】
本開示は、第１給気ノズルと第１吸引ダクトとを有する第１回収部と、第２給気ノズルと第２吸引ダクトとを有する第２回収部を備える。本開示によれば、例えば、第１回収部を往路における生成物の回収に用い、第２回収部を復路における生成物の回収に用いる、というように、往路および復路のそれぞれにおいて機能する回収部を備えるので、効率よく生成物を回収できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】実施形態に係るレーザ加工装置の要部を示す図である。
【図2】実施形態に係るレーザ加工装置の回収機構を示す図である。
【図3】レーザ加工ヘッドが往復移動する様子を示す図である。
【図4】実施形態に係るレーザ加工装置の回収動作を示す図である。
【図5】第１変形例に係るレーザ加工装置の要部を示す図である。
【図6】第２変形例に係るレーザ加工装置の要部を示す図である。
【図7】第２変形例に係るレーザ加工装置の動作を示す図である。
【図8】第３変形例に係るレーザ加工装置の要部を示す図である。
【図9】第３変形例に係るレーザ加工装置の動作を示す図である。
【図10】本開示に含まれる第１回収部、第２回収部の配置例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、添付図面を参照しながら、本開示に係るレーザ加工装置１の実施形態について説明する。
レーザ加工装置１は、レーザ光を出射するレーザヘッド１０と、ヒュームなどの生成物を回収する回収機構３０と、を備える。回収機構３０は、第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３の組および第２給気ノズル３６と第２吸引ダクト３７の組を備えている。レーザヘッド１０が往路と復路を往復移動して加工対象物Ｗを加工する場合、例えば、往路を移動するときには一方の第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３の組が機能し、復路を移動するときには他方の第２給気ノズル３６と第２吸引ダクト３７の組が機能する。以下、構成、動作および効果の順で、レーザ加工装置１を説明する。
レーザ加工装置１は、レーザ光を出射するレーザヘッド１０と、ヒュームなどの生成物を回収する回収機構３０と、を備える。回収機構３０は、第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３の組および第２給気ノズル３６と第２吸引ダクト３７の組を備えている。レーザヘッド１０が往路と復路を往復移動して加工対象物Ｗを加工する場合、例えば、往路を移動するときには一方の第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３の組が機能し、復路を移動するときには他方の第２給気ノズル３６と第２吸引ダクト３７の組が機能する。以下、構成、動作および効果の順で、レーザ加工装置１を説明する。
【0011】
【0012】
［レーザヘッド１０：図１参照］
レーザヘッド１０は、図示が省略されるレーザ発振器で生成されたレーザ光ＬＢを加工対象物Ｗの表面で焦点を結ぶように出射する。レーザ発振器として、例えば、光ファイバを媒質としてレーザを出力するファイバレーザ出力装置、または、短パルスのレーザを出力する短パルスレーザ出力装置などが用いられる。また、レーザ発信器とレーザヘッド１０との間には、レンズ、プリズムを含む光学系、その他の機器が適用される。
レーザヘッド１０は、図示が省略されるレーザ発振器で生成されたレーザ光ＬＢを加工対象物Ｗの表面で焦点を結ぶように出射する。レーザ発振器として、例えば、光ファイバを媒質としてレーザを出力するファイバレーザ出力装置、または、短パルスのレーザを出力する短パルスレーザ出力装置などが用いられる。また、レーザ発信器とレーザヘッド１０との間には、レンズ、プリズムを含む光学系、その他の機器が適用される。
【0013】
［回収機構３０：図１，図２参照］
回収機構３０は、例えば往路における加工の際に機能する第１回収部３１と、例えば復路における加工の際に機能する第２回収部３５と、を備える。第１回収部３１と第２回収部３５は、構成要素は同じであるが、構成要素の配置が１８０度だけ異なる。回収機構３０は、第１回収部３１と第２回収部３５に掃気用ガスを供給するとともに供給された掃気用ガスをヒュームなどの生成物と一緒に加工部位から排出する掃気部４０を備える。
回収機構３０は、例えば往路における加工の際に機能する第１回収部３１と、例えば復路における加工の際に機能する第２回収部３５と、を備える。第１回収部３１と第２回収部３５は、構成要素は同じであるが、構成要素の配置が１８０度だけ異なる。回収機構３０は、第１回収部３１と第２回収部３５に掃気用ガスを供給するとともに供給された掃気用ガスをヒュームなどの生成物と一緒に加工部位から排出する掃気部４０を備える。
【0014】
第１回収部３１は、不活性ガスなどの掃気用ガスを加工部位に供給する第１給気ノズル３２と、生成物を含む掃気用ガスを加工部位から排出する第１吸引ダクト３３と、を備える。第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３とは、レーザヘッド１０を間に挟み、かつ、軸線Ｃを基準とする対称の位置、つまり１８０度だけ位相がずれた位置に配置される。この配置が最も好ましい対向配置の例であるが、掃気ができる例えば位相が１５０度程度ずれている場合でも、本開示の対向配置に含まれる。
【0015】
第１給気ノズル３２はその先端に給気口３２Ａを備え、第１吸引ダクト３３はその先端に吸引口３３Ａを備える。また、第１給気ノズル３２には先端の近くに屈曲部３２Ｂが形成され、第１吸引ダクト３３は先端の近くに屈曲部３３Ｂが形成される。第１給気ノズル３２の給気口３２Ａと第１吸引ダクト３３の吸引口３３Ａとが互いに対向するように、屈曲部３２Ｂと屈曲部３３Ｂが軸線Ｃに向けて曲がる。
【0016】
第２回収部３５は、不活性ガスなどの掃気用ガスを加工部位に供給する第２給気ノズル３６と、生成物を含む掃気用ガスを加工部位から排出する第２吸引ダクト３７と、を備える。第２給気ノズル３６と第２吸引ダクト３７とは、レーザヘッド１０を間に挟み、かつ、軸線Ｃを基準とする対称の位置、つまり１８０度だけ位相がずれた位置に配置される。
【0017】
第２給気ノズル３６はその先端に給気口３６Ａを備え、第２吸引ダクト３７はその先端に吸引口３７Ａを備える。また、第２給気ノズル３６には先端の近くに屈曲部３６Ｂが形成され、第２吸引ダクト３７には先端の近くに屈曲部３７Ｂが形成される。第２給気ノズル３６の給気口３６Ａと第２吸引ダクト３７の吸引口３７Ａとが互いに対向するように、屈曲部３６Ｂと屈曲部３７Ｂが軸線Ｃに向けて曲がる。
【0018】
第１給気ノズル３２と第２吸引ダクト３７は、第１給気ノズル３２が径方向の内側に、かつ、第２吸引ダクト３７が径方向の外側に並んで配置される。第２給気ノズル３６と第１吸引ダクト３３は、第２給気ノズル３６が径方向の内側に、かつ、第１吸引ダクト３３が径方向の外側に並んで配置される。ここでいう径方向とは、軸線Ｃを中心とする仮想的な円についてのものである。
【0019】
第１回収部３１および第２回収部３５は、レーザヘッド１０に固定される支持筒３８に支持される。支持筒３８の中央を占める空隙からなるレーザ通路３９にレーザヘッド１０が配置されており、その先端から出射されるレーザ光ＬＢがレーザ通路３９を通って加工対象物Ｗ（図示省略）に照射される。第１回収部３１（第１給気ノズル３２，第１吸引ダクト３３）および第２回収部３５（第２給気ノズル３６，第２吸引ダクト３７）は、一例として、支持筒３８の下端部から吊り下げられている。第１給気ノズル３２、第１吸引ダクト３３、第２給気ノズル３６および第２吸引ダクト３７には、支持筒３８を介して、掃気部４０を構成する第１給気管４６Ａ、第１吸引管４６Ｃ、第２給気管４７Ａおよび第２吸引管４７Ｃが接続される。
【0020】
［掃気部４０：図２，図１参照］
掃気部４０は、回収機構３０を用いてヒュームなどの生成物を含むエア、その他のガスを掃気する。ここで、掃気とは、ガスを供給する給気と当該ガスの吸引の両方を行うことをいう。以下では掃気用ガスとして圧縮エアを用いる例を説明するが、他のガス、例えば不活性ガスを掃気用ガスとして用いることもできる。
掃気部４０は、圧縮機４１と、圧縮機４１から供給される圧縮エアの供給および停止を行う第１電磁弁４３および第２電磁弁４５と、を備える。圧縮機４１と第１電磁弁４３および第２電磁弁４５との間は、途中から分岐管４２Ａと分岐管４２Ｂに分岐する基礎配管４２により接続されており、圧縮機４１からの圧縮エアは基礎配管４２を通って第１電磁弁４３および第２電磁弁４５に至る。
掃気部４０は、回収機構３０を用いてヒュームなどの生成物を含むエア、その他のガスを掃気する。ここで、掃気とは、ガスを供給する給気と当該ガスの吸引の両方を行うことをいう。以下では掃気用ガスとして圧縮エアを用いる例を説明するが、他のガス、例えば不活性ガスを掃気用ガスとして用いることもできる。
掃気部４０は、圧縮機４１と、圧縮機４１から供給される圧縮エアの供給および停止を行う第１電磁弁４３および第２電磁弁４５と、を備える。圧縮機４１と第１電磁弁４３および第２電磁弁４５との間は、途中から分岐管４２Ａと分岐管４２Ｂに分岐する基礎配管４２により接続されており、圧縮機４１からの圧縮エアは基礎配管４２を通って第１電磁弁４３および第２電磁弁４５に至る。
【0021】
第１電磁弁４３には第１掃気管４６の一端が接続され、第２電磁弁４５には第２掃気管４７の一端が接続される。第１掃気管４６はその他端が第１回収部３１に接続され第２掃気管４７はその他端が第２回収部３５に接続される。
【0022】
第１掃気管４６は、第１給気管４６Ａと第１圧縮エア供給管４６Ｂに分岐される。第１給気管４６Ａは第１給気ノズル３２に接続され、第１圧縮エア供給管４６Ｂは第１エジェクタ４８に接続される。エジェクタとは、内部に圧縮エアを流すことにより減圧（真空）空間を形成する機械的な要素をいう。
圧縮機４１からの圧縮エアが第１電磁弁４３を介して第１給気管４６Ａに供給されると、圧縮エアは第１給気ノズル３２の給気口３２Ａから加工部位に向けて吐出される。
第１エジェクタ４８には第１吸引管４６Ｃの一端が接続され、第１吸引管４６Ｃの他端は第１吸引ダクト３３に接続される。第１エジェクタ４８に圧縮機４１からの圧縮エアが供給されると、減圧された第１エジェクタ４８に接続される第１吸引管４６Ｃの内部が減圧雰囲気とされることで、第１吸引ダクト３３は吸引口３３Ａからヒュームなどの生成物を含む周囲のエアを吸引する。吸引された生成物を含むエアは第１エジェクタ４８を介して図示が省略されるタンクなどの容器に回収される。
圧縮機４１からの圧縮エアが第１電磁弁４３を介して第１給気管４６Ａに供給されると、圧縮エアは第１給気ノズル３２の給気口３２Ａから加工部位に向けて吐出される。
第１エジェクタ４８には第１吸引管４６Ｃの一端が接続され、第１吸引管４６Ｃの他端は第１吸引ダクト３３に接続される。第１エジェクタ４８に圧縮機４１からの圧縮エアが供給されると、減圧された第１エジェクタ４８に接続される第１吸引管４６Ｃの内部が減圧雰囲気とされることで、第１吸引ダクト３３は吸引口３３Ａからヒュームなどの生成物を含む周囲のエアを吸引する。吸引された生成物を含むエアは第１エジェクタ４８を介して図示が省略されるタンクなどの容器に回収される。
【0023】
第２掃気管４７は、第２給気管４７Ａと第２圧縮エア供給管４７Ｂに分岐される。第２給気管４７Ａは第２給気ノズル３６に接続され、第２圧縮エア供給管４７Ｂは第２エジェクタ４９に接続される。
圧縮機４１からの圧縮エアが第２電磁弁４５を介して第２給気管４７Ａに供給されると、圧縮エアは第２給気ノズル３６の給気口３６Ａから吐出される。
第２エジェクタ４９には第２吸引管４７Ｃの一端が接続され、第２吸引管４７Ｃの他端は第２吸引ダクト３７に接続される。第２エジェクタ４９に圧縮機４１からの圧縮エアが供給されると、減圧された第２エジェクタ４９に接続される第２吸引管４７Ｃの内部が減圧雰囲気とされることで、第２吸引ダクト３７は吸引口３７Ａからヒュームなどの生成物を含む周囲のエアを吸引する。吸引された生成物を含むエアは第２エジェクタ４９を介して図示が省略されるタンクなどの容器に回収される。
圧縮機４１からの圧縮エアが第２電磁弁４５を介して第２給気管４７Ａに供給されると、圧縮エアは第２給気ノズル３６の給気口３６Ａから吐出される。
第２エジェクタ４９には第２吸引管４７Ｃの一端が接続され、第２吸引管４７Ｃの他端は第２吸引ダクト３７に接続される。第２エジェクタ４９に圧縮機４１からの圧縮エアが供給されると、減圧された第２エジェクタ４９に接続される第２吸引管４７Ｃの内部が減圧雰囲気とされることで、第２吸引ダクト３７は吸引口３７Ａからヒュームなどの生成物を含む周囲のエアを吸引する。吸引された生成物を含むエアは第２エジェクタ４９を介して図示が省略されるタンクなどの容器に回収される。
【0024】
掃気部４０において、第１電磁弁４３と第２電磁弁４５とは、レーザヘッド１０による加工対象物Ｗの加工が往路と復路のいずれに対するものであるかに対応して開閉が選択的に行われる。つまり、往路を加工するときには、例えば、第１電磁弁４３が開（ＯＮ）、第２電磁弁４５が閉（ＯＦＦ）とされる。そうすると、第１給気管４６Ａを介して第１給気ノズル３２に圧縮エアが供給されるとともに、第１圧縮エア供給管４６Ｂを介して第１エジェクタ４８に圧縮エアが供給され、掃気がなされる。また、復路を加工するときには、第２電磁弁４５が開（ＯＮ）、第１電磁弁４３が閉（ＯＦＦ）とされる。そうすると、第２給気管４７Ａを介して第２給気ノズル３６に圧縮エアが供給されるとともに、第１圧縮エア供給管４６Ｂを介して第２エジェクタ４９に圧縮エアが供給され、掃気がなされる。
【0025】
［往復移動：図３，図４参照］
レーザヘッド１０が往復移動しながら加工対象物Ｗを加工することについて、図３および図４を参照して説明する。
図３において、太い実線が平面視した加工対象物Ｗにおける加工軌跡ＭＴである。レーザ光ＬＢを出射するレーザヘッド１０を加工軌跡ＭＴに倣って移動させながら加工がなされる。レーザ光ＬＢを一度だけ加工軌跡ＭＴに倣ったとしても、加工対象物Ｗの加工を完了できないことがある。例えば、加工対象物Ｗを加工軌跡ＭＴに沿って切断する場合である。この場合は、レーザヘッド１０を加工軌跡ＭＴの始点ＳＰから終点ＥＰまでを移動させたなら（図３ 1st）、逆向きにレーザヘッド１０を終点ＥＰから始点ＳＰまで移動させる（図３2nd）。この動作が往復移動である。さらにレーザ光ＬＢの照射が必要であれば、レーザヘッド１０を加工軌跡ＭＴの始点ＳＰから終点ＥＰまでを移動させたなら（図３ 3rd）、逆向きにレーザヘッド１０を終点ＥＰから始点ＳＰまで移動させる（図３ 4th）。なお、図３において、レーザ光ＬＢをも示す破線矢印で示される往復移動の軌跡は加工軌跡ＭＴからそれぞれをずらして描いているが、これは往復移動を認識できるようにするためである。
レーザヘッド１０が往復移動しながら加工対象物Ｗを加工することについて、図３および図４を参照して説明する。
図３において、太い実線が平面視した加工対象物Ｗにおける加工軌跡ＭＴである。レーザ光ＬＢを出射するレーザヘッド１０を加工軌跡ＭＴに倣って移動させながら加工がなされる。レーザ光ＬＢを一度だけ加工軌跡ＭＴに倣ったとしても、加工対象物Ｗの加工を完了できないことがある。例えば、加工対象物Ｗを加工軌跡ＭＴに沿って切断する場合である。この場合は、レーザヘッド１０を加工軌跡ＭＴの始点ＳＰから終点ＥＰまでを移動させたなら（図３ 1st）、逆向きにレーザヘッド１０を終点ＥＰから始点ＳＰまで移動させる（図３2nd）。この動作が往復移動である。さらにレーザ光ＬＢの照射が必要であれば、レーザヘッド１０を加工軌跡ＭＴの始点ＳＰから終点ＥＰまでを移動させたなら（図３ 3rd）、逆向きにレーザヘッド１０を終点ＥＰから始点ＳＰまで移動させる（図３ 4th）。なお、図３において、レーザ光ＬＢをも示す破線矢印で示される往復移動の軌跡は加工軌跡ＭＴからそれぞれをずらして描いているが、これは往復移動を認識できるようにするためである。
【0026】
図４は、往路（Ｏ-Ｂ）における掃気部４０の動作および復路（Ｉ-Ｂ）における掃気部４０の動作を示している。なお、開いている第１電磁弁４３または第２電磁弁４５は白抜きで表され、閉じている第１電磁弁４３または第２電磁弁４５は黒く塗りつぶされている。さらにエアが流れている配管類は太く描かれている。
【0027】
往路（Ｏ-Ｂ）においては、第１電磁弁４３が開いているのに対して、第２電磁弁４５が閉じている。圧縮機４１からの圧縮エアは、第１給気管４６Ａ、第１給気ノズル３２を通って給気口３２Ａから吐出される。また、圧縮機４１からの圧縮エアは、第１圧縮エア供給管４６Ｂ、第１エジェクタ４８を通ることで第１吸引管４６Ｃおよび第１吸引ダクト３３の内部を減圧し、吸引口３３Ａから周囲のエアを吸引する。こうして、往路における掃気によるヒュームなどの生成物が回収される。
【0028】
復路（Ｉ-Ｂ）においては、第１電磁弁４３が閉じているのに対して、第２電磁弁４５が開いている。圧縮機４１からの圧縮エアは、第２給気管４７Ａ、第２給気ノズル３６を通って給気口３６Ａから吐出される。また、圧縮機４１からの圧縮エアは、第２圧縮エア供給管４７Ｂ、第２エジェクタ４９を通ることで第２吸引管４７Ｃおよび第２吸引ダクト３７の内部を減圧雰囲気とし、吸引口３７Ａから周囲の生成物を含むエアを吸引する。こうして、往路における掃気によるヒュームなどの生成物が回収される。
【0029】
［効 果］
回収機構３０によれば、いずれも掃気によるヒュームなどの生成物の回収が可能な第１回収部３１と第２回収部３５を備え、かつ、第１回収部３１と第２回収部３５を互いに対向して配置する。したがって、レーザヘッド１０を往復移動しながら加工対象物Ｗを加工するのに、第１回収部３１と第２回収部３５の配置を変えることなく、ヒュームなどの生成物の回収ができる。
回収機構３０によれば、いずれも掃気によるヒュームなどの生成物の回収が可能な第１回収部３１と第２回収部３５を備え、かつ、第１回収部３１と第２回収部３５を互いに対向して配置する。したがって、レーザヘッド１０を往復移動しながら加工対象物Ｗを加工するのに、第１回収部３１と第２回収部３５の配置を変えることなく、ヒュームなどの生成物の回収ができる。
【0030】
掃気部４０は、第１給気管４６Ａを第１給気ノズル３２に接続するとともに、第１圧縮エア供給管４６Ｂの途中に第１エジェクタ４８を介在させ、かつ、第１エジェクタ４８と第１吸引ダクト３３を第１吸引管４６Ｃで接続する。また、掃気部４０は、第２給気管４７Ａを第２給気ノズル３６に接続するとともに、第２圧縮エア供給管４７Ｂの途中に第２エジェクタ４９を介在させ、かつ、第２エジェクタ４９と第２吸引ダクト３７を第２吸引管４７Ｃで接続する。したがって、掃気部４０によれば、一台の圧縮機４１を設けるだけで、第１回収部３１によるヒュームなどの生成物の回収と、第２回収部３５によるヒュームなどの生成物の回収を選択的に行うことができる。
【0031】
好ましい実施形態を説明したが、上記以外にも、上記実施形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更したりすることが可能である。
【0032】
［第１変形例：図５参照］
例えば、図５に示すように、第１給気ノズル３２および第１吸引ダクト３３を備える第１回収部３１と、第２給気ノズル３６および第２吸引ダクト３７を備える第２回収部３５と、を位相をずらして配置できる。この第１回収部３１と第２回収部３５の配置であっても、加工軌跡ＭＴに沿って往復移動させれば、生成物の回収を行うことができる。しかも、第１給気ノズル３２と第２吸引ダクト３７とが互いに径方向において離れて配置され、かつ、第１吸引ダクト３３と第２給気ノズル３６とが互いに離れて配置される。したがって、第１吸引ダクト３３の吸引口３３Ａおよび第２吸引ダクト３７の吸引口３７Ａの開口寸法を大きくしても、それぞれ、第１給気ノズル３２と第２給気ノズル３６との干渉を避けることができるので、ヒュームなどの生成物の回収の効率を向上できる。なお、図５においては吸引口３３Ａと吸引口３７Ａの開口径は従前のままとしている。
例えば、図５に示すように、第１給気ノズル３２および第１吸引ダクト３３を備える第１回収部３１と、第２給気ノズル３６および第２吸引ダクト３７を備える第２回収部３５と、を位相をずらして配置できる。この第１回収部３１と第２回収部３５の配置であっても、加工軌跡ＭＴに沿って往復移動させれば、生成物の回収を行うことができる。しかも、第１給気ノズル３２と第２吸引ダクト３７とが互いに径方向において離れて配置され、かつ、第１吸引ダクト３３と第２給気ノズル３６とが互いに離れて配置される。したがって、第１吸引ダクト３３の吸引口３３Ａおよび第２吸引ダクト３７の吸引口３７Ａの開口寸法を大きくしても、それぞれ、第１給気ノズル３２と第２給気ノズル３６との干渉を避けることができるので、ヒュームなどの生成物の回収の効率を向上できる。なお、図５においては吸引口３３Ａと吸引口３７Ａの開口径は従前のままとしている。
【0033】
［第２変形例：図６，図７参照］
また、図６に示すように、レーザヘッド１０の駆動機構５０を設けることができる。駆動機構５０は、レーザヘッド１０を昇降させる例えば流体圧シリンダ５１と、流体圧シリンダ５１を回転可能に支持する電動モータ５３と、を備える。
また、図６に示すように、レーザヘッド１０の駆動機構５０を設けることができる。駆動機構５０は、レーザヘッド１０を昇降させる例えば流体圧シリンダ５１と、流体圧シリンダ５１を回転可能に支持する電動モータ５３と、を備える。
【0034】
例えば、加工対象物Ｗの表面ＷＳに起伏があり、かつ、この起伏に関する情報を取得しておく。そうすれば、図７に示すように、この起伏情報に基づいて、レーザヘッド１０と加工対象物Ｗの表面ＷＳとの距離Ｌが一定となるように、流体圧シリンダ５１を昇降させる。そうすれば、第１回収部３１および第２回収部３５と加工対象物Ｗの干渉を防止しつつ、安定した加工対象物Ｗの加工が実現される。
【0035】
ここでは図示を省略するが、加工対象物Ｗの表面ＷＳにおける加工軌跡ＭＴに、直線だけでなく曲線の部分や折れ曲がった部分が存在する平面方向に変動することがある。この場合には、流体圧シリンダ５１だけでなく、電動モータ５３を回転駆動することにより、加工軌跡ＭＴに対応してレーザヘッド１０を移動せることができる。この場合も、平面方向に変動する加工軌跡ＭＴに関する情報を取得しておけば、レーザヘッド１０を加工軌跡ＭＴに沿って移動させることができる。流体圧シリンダ５１の昇降をも含めれば、３次元形状の加工軌跡ＭＴに対応できる。
【0036】
［第３変形例：図８、図９参照］
次に、図８に示すように、第１給気ノズル３２および第１吸引ダクト３３を備える第１回収部３１と、第２給気ノズル３６および第２吸引ダクト３７を備える第２回収部３５と、に加えて、第３給気ノズル３４を設けることができる。第３給気ノズル３４は、第１吸引ダクト３３と第２吸引ダクト３７の間に設けられる。第１回収部３１および第２回収部３５により水平方向Ｈに沿う表面ＷＳを加工することを想定しているのに対して、鉛直方向Ｖの加工用として第１給気ノズル３２よび第２給気ノズル３６とは圧縮エアの吐出角度の異なる第３給気ノズル３４を設ける。この吐出角度の相違は、第３給気ノズル３４からの圧縮エアをレーザ光ＬＢの照射位置に届けるためである。これにより鉛直方向Ｖに沿う表面ＷＳを円滑に加工することもできる。
次に、図８に示すように、第１給気ノズル３２および第１吸引ダクト３３を備える第１回収部３１と、第２給気ノズル３６および第２吸引ダクト３７を備える第２回収部３５と、に加えて、第３給気ノズル３４を設けることができる。第３給気ノズル３４は、第１吸引ダクト３３と第２吸引ダクト３７の間に設けられる。第１回収部３１および第２回収部３５により水平方向Ｈに沿う表面ＷＳを加工することを想定しているのに対して、鉛直方向Ｖの加工用として第１給気ノズル３２よび第２給気ノズル３６とは圧縮エアの吐出角度の異なる第３給気ノズル３４を設ける。この吐出角度の相違は、第３給気ノズル３４からの圧縮エアをレーザ光ＬＢの照射位置に届けるためである。これにより鉛直方向Ｖに沿う表面ＷＳを円滑に加工することもできる。
【0037】
鉛直方向Ｖにレーザ加工する場合において、図９のＳＴＥＰ１に示すように、加工軌跡ＭＴに第３給気ノズル３４が沿うように、電動モータ５３で位相を合わせる。このとき、レーザヘッド１０は一例として水平方向Ｈに対して４５°だけ傾いている。
【0038】
以上の姿勢を保ったまま、レーザヘッド１０および回収機構３０を、表面ＷＳの水平方向Ｈと鉛直方向Ｖとの交差部分であるコーナ隅部に向けて前進させてから、図９のＳＴＥＰ２に示すようにコーナ隅部から鉛直方向Ｖの上向きに移動させながら加工する。この第３変形例による加工の過程において、第１給気ノズル３２および第２給気ノズル３６からの圧縮エアの供給は行わないが、第１吸引ダクト３３および第２吸引ダクト３７からのヒュームなどの生成物の吸引は行う。ヒュームなどの回収は、コーナ隅部の近傍に外部の集塵機によって行うこともできる。また、図９のＳＴＥＰ２は上向きの加工だけを示しているが、第３変形例においても、レーザヘッド１０および回収機構３０を図９のＳＴＥＰ２の逆に下向きにように移動させる昇降を繰り返してレーザ加工を行うことができる。
【0039】
［本開示に含まれる第１回収部、第２回収部の配置例：図１０］
第１回収部３１を構成する第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３および第２回収部３５を構成する第２給気ノズル３６と第１吸引ダクト３３について、実施形態および変形例において３つの配置例を示した。３つの配置例を図１０に示す。図１０において、上段が実施形態の配置例に対応し、中段が第１変形例の配置例に対応し、下段が第３変形例の配置例に対応する。
第１回収部３１を構成する第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３および第２回収部３５を構成する第２給気ノズル３６と第１吸引ダクト３３について、実施形態および変形例において３つの配置例を示した。３つの配置例を図１０に示す。図１０において、上段が実施形態の配置例に対応し、中段が第１変形例の配置例に対応し、下段が第３変形例の配置例に対応する。
【0040】
実施形態の配置例は、第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３とを結ぶ第１線分Ｌ１と、第２給気ノズル３６と第２吸引ダクト３７とを結ぶ第２線分Ｌ２と、が重複する。つまり、第１給気ノズル３２、第１吸引ダクト３３、第２給気ノズル３６および第２吸引ダクト３７が一直線上に配列される。
第１変形例の配置例は、第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３とを結ぶ第１線分Ｌ１と、第２給気ノズル３６と第２吸引ダクト３７とを結ぶ第２線分Ｌ２と、が交差する。
実施形態の配置例において、第１線分Ｌ１と第２線分Ｌ２を加工軌跡ＭＴに沿う方向に電動モータ５３で都度向きを合わせて往復移動させれば、生成物を最も効率よく回収できる。これに対して、第３変形例の配置例は、第３給気ノズル３４に対応する吸引ダクトが設けられてないため、実施形態の配置例に比べると生成物の回収の効率は劣るおそれがあるものの、加工対象物Ｗの鉛直方向Ｖの表面ＷＳの周辺に設置する外部集塵機と組み合わせてヒュームなどを吸引することにより、生成物を十分に回収できる。
第１変形例の配置例は、第１給気ノズル３２と第１吸引ダクト３３とを結ぶ第１線分Ｌ１と、第２給気ノズル３６と第２吸引ダクト３７とを結ぶ第２線分Ｌ２と、が交差する。
実施形態の配置例において、第１線分Ｌ１と第２線分Ｌ２を加工軌跡ＭＴに沿う方向に電動モータ５３で都度向きを合わせて往復移動させれば、生成物を最も効率よく回収できる。これに対して、第３変形例の配置例は、第３給気ノズル３４に対応する吸引ダクトが設けられてないため、実施形態の配置例に比べると生成物の回収の効率は劣るおそれがあるものの、加工対象物Ｗの鉛直方向Ｖの表面ＷＳの周辺に設置する外部集塵機と組み合わせてヒュームなどを吸引することにより、生成物を十分に回収できる。
【0041】
以上の通りであり、第１線分Ｌ１と第２線分Ｌ２が重複する場合に限らず、第１線分Ｌ１と第２線分Ｌ２が交差する場合であっても、本開示の第１回収部３１と第２回収部３５の配置例に含まれる。
［付記］
＜付記１＞
レーザ加工装置（１）は、加工対象物（Ｗ）にレーザ光（ＬＢ）を照射するレーザヘッド（１０）と、レーザ光（ＬＢ）の照射による生成物を回収する回収機構（３０）と、を備える。
回収機構（３０）は、掃気用ガスを供給する第１給気ノズル（３２）と、第１給気ノズル（３２）に対向して設けられる第１吸引ダクト（３３）と、を有する第１回収部（３１）と、掃気用ガスを供給する第２給気ノズル（３６）と、第２給気ノズル（３６）に対向して設けられる第２吸引ダクト（３７）と、を有する第２回収部（３５）と、を備える。
［付記］
＜付記１＞
レーザ加工装置（１）は、加工対象物（Ｗ）にレーザ光（ＬＢ）を照射するレーザヘッド（１０）と、レーザ光（ＬＢ）の照射による生成物を回収する回収機構（３０）と、を備える。
回収機構（３０）は、掃気用ガスを供給する第１給気ノズル（３２）と、第１給気ノズル（３２）に対向して設けられる第１吸引ダクト（３３）と、を有する第１回収部（３１）と、掃気用ガスを供給する第２給気ノズル（３６）と、第２給気ノズル（３６）に対向して設けられる第２吸引ダクト（３７）と、を有する第２回収部（３５）と、を備える。
【0042】
＜付記２＞
付記１において、好ましくは、第１給気ノズル（３２）と第２吸引ダクト（３７）とが、レーザヘッド（１０）の軸線（Ｃ）を中心とする円の径方向に並んで設けられ、第２給気ノズル（３６）と第１吸引ダクト（３３）とが、径方向に並んで設けられる。
この配列によれば、第１給気ノズル（３２）、第２吸引ダクト（３７）、第２給気ノズル（３６）および第１吸引ダクト（３３）が一直線上に並ぶ。この直線に沿って往復移動させれば、生成物を効率よく回収できる。
付記１において、好ましくは、第１給気ノズル（３２）と第２吸引ダクト（３７）とが、レーザヘッド（１０）の軸線（Ｃ）を中心とする円の径方向に並んで設けられ、第２給気ノズル（３６）と第１吸引ダクト（３３）とが、径方向に並んで設けられる。
この配列によれば、第１給気ノズル（３２）、第２吸引ダクト（３７）、第２給気ノズル（３６）および第１吸引ダクト（３３）が一直線上に並ぶ。この直線に沿って往復移動させれば、生成物を効率よく回収できる。
【0043】
＜付記３＞
付記１または付記２において、好ましくは、第１給気ノズル（３２）が第２吸引ダクト（３７）よりも径方向の内側に設けられ、第２給気ノズル（３６）が第１吸引ダクト（３３）よりも径方向の内側に設けられる。
この配列によれば、第１給気ノズル（３２）から吐出される掃気用ガスが第２吸引ダクト（３７）に邪魔されずに加工部位に向けて供給される。また、第２給気ノズル（３６）から吐出される掃気用ガスが第１吸引ダクト（３３）に邪魔されずに加工部位に向けて供給される。
付記１または付記２において、好ましくは、第１給気ノズル（３２）が第２吸引ダクト（３７）よりも径方向の内側に設けられ、第２給気ノズル（３６）が第１吸引ダクト（３３）よりも径方向の内側に設けられる。
この配列によれば、第１給気ノズル（３２）から吐出される掃気用ガスが第２吸引ダクト（３７）に邪魔されずに加工部位に向けて供給される。また、第２給気ノズル（３６）から吐出される掃気用ガスが第１吸引ダクト（３３）に邪魔されずに加工部位に向けて供給される。
【0044】
＜付記４＞
付記１～付記３において、好ましくは、第１給気ノズル（３２）と第１吸引ダクト（３３）とを結ぶ第１線分（Ｌ１）と、第２給気ノズル（３６）と第２吸引ダクト（３７）とを結ぶ第２線分（Ｌ２）と、が交差する。
このように、第１線分（Ｌ１）と第２線分（Ｌ２）とが交差する配列であっても、加工軌跡（ＭＴ）を選択することにより、生成物を十分に回収できる。
付記１～付記３において、好ましくは、第１給気ノズル（３２）と第１吸引ダクト（３３）とを結ぶ第１線分（Ｌ１）と、第２給気ノズル（３６）と第２吸引ダクト（３７）とを結ぶ第２線分（Ｌ２）と、が交差する。
このように、第１線分（Ｌ１）と第２線分（Ｌ２）とが交差する配列であっても、加工軌跡（ＭＴ）を選択することにより、生成物を十分に回収できる。
【0045】
＜付記５＞
付記１～付記４において、好ましくは、回収機構（３０）は、掃気用ガスを供給する第３給気ノズル（３４）を備える。
第３給気ノズル（３４）を備えることにより、平面方向のみならず鉛直方向の加工もできる。
付記１～付記４において、好ましくは、回収機構（３０）は、掃気用ガスを供給する第３給気ノズル（３４）を備える。
第３給気ノズル（３４）を備えることにより、平面方向のみならず鉛直方向の加工もできる。
【0046】
＜付記６＞
付記１～付記５において、好ましくは、レーザヘッド（１０）が、往路と復路とを往復移動しながら加工対象物（Ｗ）を加工し、往路において、第１回収部（３１）により生成物を回収し、復路において、第２回収部（３５）により生成物を回収する。
第１回収部（３１）と第２回収部（３５）を備えることにより、往復移動を伴う加工であっても、レーザヘッド（１０）を含む機器類を回転させることなく、生成物を回収できる。
付記１～付記５において、好ましくは、レーザヘッド（１０）が、往路と復路とを往復移動しながら加工対象物（Ｗ）を加工し、往路において、第１回収部（３１）により生成物を回収し、復路において、第２回収部（３５）により生成物を回収する。
第１回収部（３１）と第２回収部（３５）を備えることにより、往復移動を伴う加工であっても、レーザヘッド（１０）を含む機器類を回転させることなく、生成物を回収できる。
【0047】
＜付記７＞
付記１～付記６において、好ましくは、回収機構（３０）は、第１回収部（３１）と第２回収部（３５）に掃気用ガスを選択的に供給するとともに、生成物を含む掃気用ガスを吸引する掃気部（４０）を備える。
掃気部（４０）は、掃気用ガスとしての圧縮エアを生成する圧縮機（４１）と、圧縮エアを第１給気ノズル（３２）または第２給気ノズル（３６）に供給する給気管（４６Ａ，４７Ａ）と、圧縮エアが供給されることにより減圧雰囲気を生成するエジェクタ（４８，４９）と第１吸引ダクト（３３）または第２吸引ダクト（３７）とを接続する吸引管（４６Ｃ，４７Ｃ）と、を備える。
この掃気部（４０）によれば、一台の圧縮機（４１）を設けるだけで、第１回収部（３１）による生成物の回収と、第２回収部（３５）による生成物の回収を選択的に行うことができる。
付記１～付記６において、好ましくは、回収機構（３０）は、第１回収部（３１）と第２回収部（３５）に掃気用ガスを選択的に供給するとともに、生成物を含む掃気用ガスを吸引する掃気部（４０）を備える。
掃気部（４０）は、掃気用ガスとしての圧縮エアを生成する圧縮機（４１）と、圧縮エアを第１給気ノズル（３２）または第２給気ノズル（３６）に供給する給気管（４６Ａ，４７Ａ）と、圧縮エアが供給されることにより減圧雰囲気を生成するエジェクタ（４８，４９）と第１吸引ダクト（３３）または第２吸引ダクト（３７）とを接続する吸引管（４６Ｃ，４７Ｃ）と、を備える。
この掃気部（４０）によれば、一台の圧縮機（４１）を設けるだけで、第１回収部（３１）による生成物の回収と、第２回収部（３５）による生成物の回収を選択的に行うことができる。
【0048】
＜付記８＞
付記７において、好ましくは、圧縮機（４１）から圧縮エアが供給され、それぞれ独立して開閉がなされる第１電磁弁（４３）と第２電磁弁（４５）を備え、第１電磁弁（４３）が開、第２電磁弁（４５）が閉とされると、給気管（４６Ａ）を通って圧縮エアが第１給気ノズル（３２）に供給され、かつ、吸引管（４６Ｃ）を通じて第１吸引ダクト（３３）に減圧雰囲気が作用し、第１電磁弁（４３）が閉、第２電磁弁（４５）が開とされると、給気管（４７Ａ）を通って圧縮エアが第２給気ノズル（３６）に供給され、かつ、吸引管（４７Ｃ）を通じて第２吸引ダクト（３７）に減圧雰囲気が作用する。
第１電磁弁（４３）と第２電磁弁（４５）の開閉を制御することにより、第１回収部（３１）による生成物の回収と、第２回収部（３５）による生成物の回収を、選択的に行うことができる。
付記７において、好ましくは、圧縮機（４１）から圧縮エアが供給され、それぞれ独立して開閉がなされる第１電磁弁（４３）と第２電磁弁（４５）を備え、第１電磁弁（４３）が開、第２電磁弁（４５）が閉とされると、給気管（４６Ａ）を通って圧縮エアが第１給気ノズル（３２）に供給され、かつ、吸引管（４６Ｃ）を通じて第１吸引ダクト（３３）に減圧雰囲気が作用し、第１電磁弁（４３）が閉、第２電磁弁（４５）が開とされると、給気管（４７Ａ）を通って圧縮エアが第２給気ノズル（３６）に供給され、かつ、吸引管（４７Ｃ）を通じて第２吸引ダクト（３７）に減圧雰囲気が作用する。
第１電磁弁（４３）と第２電磁弁（４５）の開閉を制御することにより、第１回収部（３１）による生成物の回収と、第２回収部（３５）による生成物の回収を、選択的に行うことができる。
【0049】
＜付記９＞
付記１～付記８において、好ましくは、レーザヘッド（１０）および第１回収部（３１）、第２回収部（３５）を昇降させ、かつ、レーザヘッド（１０）の軸線（Ｃ）の周りに回転させる駆動機構（５０）を備える。
この駆動機構（５０）を設けることにより、表面（ＷＳ）が三次元的に変化する加工対象物（Ｗ）の加工に対応できる。
付記１～付記８において、好ましくは、レーザヘッド（１０）および第１回収部（３１）、第２回収部（３５）を昇降させ、かつ、レーザヘッド（１０）の軸線（Ｃ）の周りに回転させる駆動機構（５０）を備える。
この駆動機構（５０）を設けることにより、表面（ＷＳ）が三次元的に変化する加工対象物（Ｗ）の加工に対応できる。
【0050】
＜付記１０＞
レーザヘッド（１０）から加工対象物（Ｗ）にレーザ光（ＬＢ）を照射するレーザ加工方法であって、第１給気ノズル（３２）から掃気用ガスを供給するとともに、レーザ光（ＬＢ）の照射による生成物を含む掃気用ガスを第１吸引ダクト（３３）で吸引する第１回収ステップ（３１）と、第２給気ノズル（３６）から掃気用ガスを供給するとともに、生成物を含む掃気用ガスを第２吸引ダクト（３７）で吸引する第２回収ステップ（３５）と、が選択的に行われる。
レーザヘッド（１０）から加工対象物（Ｗ）にレーザ光（ＬＢ）を照射するレーザ加工方法であって、第１給気ノズル（３２）から掃気用ガスを供給するとともに、レーザ光（ＬＢ）の照射による生成物を含む掃気用ガスを第１吸引ダクト（３３）で吸引する第１回収ステップ（３１）と、第２給気ノズル（３６）から掃気用ガスを供給するとともに、生成物を含む掃気用ガスを第２吸引ダクト（３７）で吸引する第２回収ステップ（３５）と、が選択的に行われる。
【符号の説明】
【0051】
１ レーザ加工装置
１０ レーザヘッド
３０ 回収機構
３１ 第１回収部
３２ 第１給気ノズル
３２Ａ 給気口
３２Ｂ 屈曲部
３３ 第１吸引ダクト
３３Ａ 吸引口
３３Ｂ 屈曲部
３４ 第３給気ノズル
３５ 第２回収部
３６ 第２給気ノズル
３６Ａ 給気口
３６Ｂ 屈曲部
３７ 第２吸引ダクト
３７Ａ 吸引口
３７Ｂ 屈曲部
３８ 支持筒
３９ レーザ通路
４０ 掃気部
４１ 圧縮機
４２ 基礎配管
４２Ａ 分岐管
４２Ｂ 分岐管
４３ 第１電磁弁
４５ 第２電磁弁
４６ 第１掃気管
４６Ａ 第１給気管
４６Ｂ 第１圧縮エア供給管
４６Ｃ 第１吸引管
４７ 第２掃気管
４７Ａ 第２給気管
４７Ｂ 第２圧縮エア供給管
４７Ｃ 第２吸引管
４８ 第１エジェクタ
４９ 第２エジェクタ
５０ 駆動機構
５１ 流体圧シリンダ
５３ 電動モータ
ＬＢ レーザ光
ＭＴ 加工軌跡
ＳＰ 始点
ＥＰ 終点
Ｃ 軸線
Ｈ 水平方向
Ｖ 鉛直方向
Ｗ 加工対象物
ＷＳ 表面
１０ レーザヘッド
３０ 回収機構
３１ 第１回収部
３２ 第１給気ノズル
３２Ａ 給気口
３２Ｂ 屈曲部
３３ 第１吸引ダクト
３３Ａ 吸引口
３３Ｂ 屈曲部
３４ 第３給気ノズル
３５ 第２回収部
３６ 第２給気ノズル
３６Ａ 給気口
３６Ｂ 屈曲部
３７ 第２吸引ダクト
３７Ａ 吸引口
３７Ｂ 屈曲部
３８ 支持筒
３９ レーザ通路
４０ 掃気部
４１ 圧縮機
４２ 基礎配管
４２Ａ 分岐管
４２Ｂ 分岐管
４３ 第１電磁弁
４５ 第２電磁弁
４６ 第１掃気管
４６Ａ 第１給気管
４６Ｂ 第１圧縮エア供給管
４６Ｃ 第１吸引管
４７ 第２掃気管
４７Ａ 第２給気管
４７Ｂ 第２圧縮エア供給管
４７Ｃ 第２吸引管
４８ 第１エジェクタ
４９ 第２エジェクタ
５０ 駆動機構
５１ 流体圧シリンダ
５３ 電動モータ
ＬＢ レーザ光
ＭＴ 加工軌跡
ＳＰ 始点
ＥＰ 終点
Ｃ 軸線
Ｈ 水平方向
Ｖ 鉛直方向
Ｗ 加工対象物
ＷＳ 表面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】