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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024044870
(43)【公開日】2024-04-02
(54)【発明の名称】製造ラインの管理方法
(51)【国際特許分類】
G05B 19/418 20060101AFI20240326BHJP
G06Q 50/04 20120101ALI20240326BHJP
【ＦＩ】
G05B19/418 Z
G06Q50/04
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022150660
(22)【出願日】2022-09-21
(71)【出願人】
【識別番号】318010018
【氏名又は名称】キオクシア株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】天王寺 輝彦
【テーマコード（参考）】
3C100
5L049
【Ｆターム（参考）】
3C100AA29
3C100AA38
3C100AA43
3C100BB02
3C100BB13
3C100BB15
3C100BB33
3C100EE06
5L049CC03
(57)【要約】
【課題】一つの実施形態は、ジョブに応じた処理を効率的に行うことができる製造ラインの管理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一つの実施形態によれば、製造ラインの管理方法が提供される。製造ラインの管理方法では、製造ラインにおける工程エリアのスループットの実績に基づき、各リソースの能力変動特性を求める。製造ラインは、複数の工程エリアが配される。複数の工程エリアのそれぞれは、複数のリソースを含む。製造ラインの管理方法では、工程エリアのリソース数と求められた能力変動特性とに基づき、工程エリアのノルマを達成するための追加リソース数を決定する。
【選択図】図１
【解決手段】一つの実施形態によれば、製造ラインの管理方法が提供される。製造ラインの管理方法では、製造ラインにおける工程エリアのスループットの実績に基づき、各リソースの能力変動特性を求める。製造ラインは、複数の工程エリアが配される。複数の工程エリアのそれぞれは、複数のリソースを含む。製造ラインの管理方法では、工程エリアのリソース数と求められた能力変動特性とに基づき、工程エリアのノルマを達成するための追加リソース数を決定する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
それぞれが複数のリソースを含む複数の工程エリアが配される製造ラインにおける前記工程エリアのスループットの実績に基づき、各リソースの能力変動特性を求めることと、
前記工程エリアのリソース数と前記求められた能力変動特性とに基づき、前記工程エリアのノルマを達成するための追加リソース数を決定することと、
を備えた製造ラインの管理方法。
前記工程エリアのリソース数と前記求められた能力変動特性とに基づき、前記工程エリアのノルマを達成するための追加リソース数を決定することと、
を備えた製造ラインの管理方法。
【請求項2】
前記追加リソース数を決定することは、
リソースが追加可能である場合、前記工程エリアのリソース数と前記求められた能力変動特性とに基づき、前記工程エリアのノルマを達成するための前記工程エリアの追加リソース数を決定することを含み、
前記管理方法は、
リソースが追加可能でない場合、前記工程エリアのリソース数に基づき、前記工程エリアのノルマを達成するための前記工程エリア又は各リソースの許容スループット変動を決定することをさらに備えた
請求項１に記載の製造ラインの管理方法。
リソースが追加可能である場合、前記工程エリアのリソース数と前記求められた能力変動特性とに基づき、前記工程エリアのノルマを達成するための前記工程エリアの追加リソース数を決定することを含み、
前記管理方法は、
リソースが追加可能でない場合、前記工程エリアのリソース数に基づき、前記工程エリアのノルマを達成するための前記工程エリア又は各リソースの許容スループット変動を決定することをさらに備えた
請求項１に記載の製造ラインの管理方法。
【請求項3】
前記工程エリアのリソース数と前記工程エリアのスループットの実績とに基づき、ジョブの種類と工程エリアとの組み合わせに対応するレシピについて、前記工程エリアで動作し得るリソース数の確率分布を求めることと、
前記求められた確率分布に基づき、前記工程エリアのノルマを達成するための前記レシピの必要リソース数を求めることと、
をさらに備えた
請求項１に記載の製造ラインの管理方法。
前記求められた確率分布に基づき、前記工程エリアのノルマを達成するための前記レシピの必要リソース数を求めることと、
をさらに備えた
請求項１に記載の製造ラインの管理方法。
【請求項4】
前記レシピの必要リソース数に応じて、前記レシピの重みを求めることと、
前記レシピの重みに応じて、前記各リソースの総処理能力を前記レシピに配分することと、
をさらに備えた
請求項３に記載の製造ラインの管理方法。
前記レシピの重みに応じて、前記各リソースの総処理能力を前記レシピに配分することと、
をさらに備えた
請求項３に記載の製造ラインの管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本実施形態は、製造ラインの管理方法に関する。
【背景技術】
【0002】
製造ラインでは、複数のリソースを含む工程エリアにジョブが投入されると、リソースが稼働して、ジョブを処理する。製造ラインでは、ジョブを効率的に処理できることが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】米国特許第１０７３４２６１号明細書
【特許文献2】米国特許出願公開第２０２１／０３６６７４９号明細書
【特許文献3】米国特許第８４２３１６８号明細書
【特許文献4】特許第４０１９４６２号公報
【特許文献5】特開２００３－１６２３１３号公報
【特許文献6】特許第３５６３２３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
一つの実施形態は、ジョブを効率的に処理できる製造ラインの管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
一つの実施形態によれば、製造ラインの管理方法が提供される。製造ラインの管理方法では、製造ラインにおける工程エリアのスループットの実績に基づき、各リソースの能力変動特性を求める。製造ラインは、複数の工程エリアが配される。複数の工程エリアのそれぞれは、複数のリソースを含む。製造ラインの管理方法では、工程エリアのリソース数と求められた能力変動特性とに基づき、工程エリアのノルマを達成するための追加リソース数を決定する。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【図1】第１の実施形態における製造ラインの構成を示す図。
【図2】第１の実施形態におけるリソースのスループット及びジョブの流れ込みの変動を示す図。
【図3】第１の実施形態における管理システムの機能構成を示す図。
【図4】第１の実施形態における工程エリアのスループットの確率分布を示す図。
【図5】第１の実施形態における管理システムのハードウェア構成を示す図。
【図6】第１の実施形態における管理システムの動作を示すフローチャート。
【図7】第１の実施形態の変形例における管理システムの機能構成を示す図。
【図8】第１の実施形態の変形例における工程エリアのスループットの確率分布を示す図。
【図9】第１の実施形態の変形例における管理システムの動作を示すフローチャート。
【図10】第２の実施形態における管理システムの機能構成を示す図。
【図11】第２の実施形態におけるレシピに対して動作し得るリソース数の確率分布を示す図。
【図12】第２の実施形態における管理システムの動作を示すフローチャート。
【図13】第３の実施形態における管理システムの機能構成を示す図。
【図14】第３の実施形態における管理システムの動作を説明するための図。
【図15】第３の実施形態における管理システムの動作を示すフローチャート。
【図16】第１の実施形態～第３の実施形態を組み合わせた管理システムの機能構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる製造ラインの管理方法を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
【0008】
（第１の実施形態）
第１の実施形態にかかる製造ラインの管理方法は、複数の工程エリアが配される製造ラインを管理する。各工程エリアは、複数のリソースを含む。製造ラインでは、工程エリアにジョブが投入されると、リソースが稼働して、ジョブを処理する。製造ラインの管理方法では、ジョブの処理が製造ラインで効率的に行われるようにするための工夫が施される。ここで、ジョブとは、リソースで処理される対象物を指す。
第１の実施形態にかかる製造ラインの管理方法は、複数の工程エリアが配される製造ラインを管理する。各工程エリアは、複数のリソースを含む。製造ラインでは、工程エリアにジョブが投入されると、リソースが稼働して、ジョブを処理する。製造ラインの管理方法では、ジョブの処理が製造ラインで効率的に行われるようにするための工夫が施される。ここで、ジョブとは、リソースで処理される対象物を指す。
【0009】
図１は、第１の実施形態における製造ラインの構成を示す図である。製造対象を製造するための製造工場には、複数の製造ラインＰ，Ｐ’が存在する。図１では、２つの製造ラインＰ，Ｐ’を例示するが、製造工場には、３以上の製造ラインが配されてもよい。
【0010】
製造ラインＰには、図１に示すように、複数の工程エリアＳ１，Ｓ２，・・・ＳＱが配される。Ｑは、２以上の整数である。複数の工程エリアＳ１，Ｓ２，・・・ＳＱは、製造対象の製造方法における複数の工程に対応する。同様に、製造ラインＰ’には、複数の工程エリアＳ１’，Ｓ２’，・・・ＳＱ’が配される。製造対象が半導体装置である場合、複数の工程は、半導体基板の塗布・露光・現像・エッチング・洗浄・不純物導入・熱処理などの工程を含む。
【0011】
以下では、１つの製造ラインＰを中心に説明するが、他の製造ラインＰ’についても同様である。
【0012】
各工程エリアＳ１～ＳＱには、リソース群Ｍから１以上のリソースＥが配される。リソース群Ｍは、複数のリソースＥｉを含む。ｉは、リソースＥの識別子であり、１以上の整数であってもよい。製造対象が半導体装置である場合、各リソースＥは、その工程の処理を行う半導体製造装置である。工程が塗布工程である場合、リソースＥは、塗布装置を含む。工程が露光工程である場合、リソースＥは、露光装置を含む。工程が現像工程である場合、リソースＥは、現像装置を含む。工程がエッチング工程であれば、リソースＥは、エッチング装置を含む。工程が洗浄工程であれば、リソースＥは、洗浄装置を含む。工程が不純物導入工程であれば、リソースＥは、イオン注入装置を含む。工程が熱処理工程であれば、リソースＥは、熱処理装置を含む。
【0013】
製造ラインＰは、達成すべきノルマｔを有する。ノルマｔは、製造ラインＰから単位時間当たりに出力すべき生産数（例えば、基板枚数）を示す。単位時間は、１日であってもよい。各工程エリアＳ１～ＳＱのノルマは、製造ラインＰのノルマｔに均等であってもよい。複数の工程エリアＳ１～ＳＱ間における処理に要する時間の違いは、各工程エリアＳ１～ＳＱのリソース数を変えることで吸収可能である。
【0014】
製造ラインＰにおいて、リソースＥの能力とリソースＥへのジョブの流れ込みとが変動するため、製造ラインＰのスループットがノルマｔを達成できないことがある。リソースＥの能力は、リソースＥによるジョブの処理率であり、リソースＥが単位時間当たりに処理可能であるジョブ数（例えば、基板枚数）を示す。ジョブは、リソースＥで処理すべき対象物（例えば、基板）である。単位時間は、１日であってもよい。ジョブの流れ込みとは、単位時間当たりにリソースＥに投入されるジョブ数を示す。製造ラインＰのスループットは、製造ラインＰが単位時間当たりアウトプットするジョブ数を示す。
【0015】
【0016】
工程エリアＳ１では、リソースＥの能力が図２（ａ）に示すように経時変動し、ジョブの流れ込みが図２（ｂ）に示すように経時変動する。次の工程エリアＳ２では、リソースＥの能力が図２（ｃ）に示すようにほとんど経時変動しないが、ジョブの流れ込みが図２（ｄ）に示すように経時変動する。この場合、工程エリアＳ１，Ｓ２を含む製造ラインＰのスループットは、図２（ｅ）に示すように、経時変動し、ノルマｔを達成できないときがある。
【0017】
図１、図２に示すような各製造ラインＰは、図３に示すような管理システム１で管理され得る。図３は、管理システム１の機能構成を示す図である。管理システム１は、製造ラインＰにおける各工程エリアＳのスループットの実績に基づき、各リソースＥの能力変動特性を求める。管理システム１は、各工程エリアＳのリソース数と各リソースＥの能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための追加リソース数を決定する。管理システム１は、機能的に、制御部６、取得部５、記憶部２、評価部３、計算部４を有する。
【0018】
記憶部２は、管理プログラムＰＧを記憶する。管理プログラムＰＧは、所定の管理を行うための複数の処理を含む。所定の管理は、各工程エリアＳにおいてノルマｔを達成できるようにするにはリソースＥを何個追加したらいいのかについての管理を含む。
【0019】
制御部６は、管理プログラムＰＧに従い、管理システム１の各部を統括的に制御する。 取得部５は、制御部６による制御のもとで、パラメータ２ａを取得する。パラメータ２ａは、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱのリソース数・スループットの履歴・達成すべきノルマ等を含む。取得部５は、ユーザからの入力に応じて、パラメータ２ａを取得してもよい。取得部５は、有線通信回線又は無線通信回線などの通信媒体を介して、パラメータ２ａを取得してもよい。
【0020】
記憶部２は、制御部６による制御のもとで、パラメータ２ａを取得部５から受けてデータベースとして記憶してもよい。データベースは、リソース情報、スループット情報、ノルマ情報などを含む。リソース情報は、リソース数と製造ラインＰの識別子と工程エリアＳの識別子とが複数の製造ラインＰ及び複数の工程エリアＳについて対応づけられた情報である。スループット情報は、時刻情報とスループットの実績と製造ラインＰの識別子と工程エリアＳの識別子とが複数の製造ラインＰ及び複数の工程エリアＳについて対応づけられた情報である。ノルマ情報は、達成すべきノルマと製造ラインＰの識別子と工程エリアＳの識別子とが複数の製造ラインＰ及び複数の工程エリアＳについて対応づけられた情報である。また、記憶部２は、計算部４の計算結果を記憶してもよい。
【0021】
評価部３は、制御部６による制御のもとで、評価を行う。評価部３は、記憶部２からスループット情報を取得する。評価部３は、スループット情報に基づき、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱについて、工程エリアＳのスループットの実績を特定できる。評価部３は、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、工程エリアＳのスループットの実績に基づき、工程エリアＳの各リソースＥの能力変動特性を求める。評価部３は、能力に応じたアウトプットとしての各リソースＥのスループットを分析し、スループットの分布を示すパラメータ（例えば、平均値、標準偏差）をリソースＥの能力変動特性を示すパラメータとして求めることができる。
【0022】
例えば、工程エリアＳ１には、ｎ台のリソースＥ１～Ｅｎが配されるとする。ｎ台のリソースＥのスループットの分布は、スループットの発生確率の分布としてとらえることができる。ｎ台のリソースＥのスループットの分布は、近似的に、図４（ａ）に示すような正規分布に従うとみなすことができる。図４は、工程エリアＳのスループットの確率分布を示す図である。図４（ａ）では、縦軸がスループットの発生確率を示し、横軸がスループットの多さを示す。図４（ａ）は、ｎ台のリソースＥ１～Ｅｎについてスループットの発生確率の分布を示すが、個々のリソースＥのスループットの発生確率も、近似的に、図４（ａ）に示すような正規分布に従うとみなすことができる。
【0023】
評価部３は、所定の期間（例えば、過去３か月）におけるリソースＥ１のスループットの実績を平均し、リソースＥ１の平均スループットμ１を求める。評価部３は、所定の期間におけるリソースＥ１のスループットの実績と平均スループットμ１との差の２乗平均を取り、リソースＥ１のスループットの標準偏差σ１を求める。
【0024】
評価部３は、所定の期間におけるリソースＥ２のスループットの実績を平均し、リソースＥ２の平均スループットμ２を求める。評価部３は、所定の期間におけるリソースＥ２のスループットの実績と平均スループットμ２との差の２乗平均を取り、リソースＥ２のスループットの標準偏差σ２を求める。
【0025】
評価部３は、所定の期間におけるリソースＥｎのスループットの実績を平均し、リソースＥｎの平均スループットμｎを求める。評価部３は、所定の期間におけるリソースＥｎのスループットの実績と平均スループットμｎとの差の２乗平均を取り、リソースＥｎのスループットの標準偏差σｎを求める。
【0026】
図３に示す評価部３は、他の工程エリアＳ２～ＳＱについても、同様に工程エリアＳの各リソースＥの能力変動特性を求めることができる。
【0027】
評価部３は、求められた能力変動特性を工程エリアＳの識別情報とともに計算部４へ供給する。
【0028】
計算部４は、制御部６による制御のもとで、計算を行う。計算部４は、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱのリソース数を記憶部２から読み出す。計算部４は、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱの各リソースＥの能力変動特性を評価部３から取得する。計算部４は、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳのリソースの能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための工程エリアＳの追加リソース数を決定する。
【0029】
例えば、計算部４は、工程エリアＳ１について、ノルマｔを達成するための追加リソース数ｍを、工程エリアＳのリソースＥのスループットの分布における全体のｐ％に相当する境界がノルマｔ以上となるような値として求めることができる。計算部４は、工程エリアＳ１について、ノルマｔを達成するための追加リソース数ｍを、次の数式１を満たすｍとして求めることができる。計算部４は、追加リソース数ｍを、次の数式１を満たす最大の整数ｍとして求めてもよい。
【数1】
【0030】
数式１において、ｉは、リソースＥの識別子を示す。ｉは、１以上ｎ＋ｍ以下の値（整数）を取り得る変数である。
【0031】
μｉ（ｉ＝１～ｎ）は、リソースＥ１～Ｅｎの平均スループットであり、評価部３から取得される。μｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）は、追加すべきリソースＥｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）の平均スループットであり、計算部４により求められる。計算部４は、リソースＥ１～Ｅｎの平均スループットμ１～μｎを平均して、追加すべき各リソースＥｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）の平均スループットμｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）としてもよい。
【0032】
σｉ（ｉ＝１～ｎ）は、リソースＥ１～Ｅｎのスループットの標準偏差であり、評価部３から取得される。σｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）は、追加すべきリソースＥｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）のスループットの標準偏差であり、計算部４により求められる。計算部４は、リソースＥ１～Ｅｎのスループットの標準偏差σ１～σｎを平均して、追加すべき各リソースＥｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）のスループットの標準偏差σｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）としてもよい。
【0033】
ｔは、工程エリアＳ１のノルマである。ノルマｔは、記憶部２から読み出されるノルマ情報から抽出され得る。
【0034】
ｎは、工程エリアＳ１のリソース数である。リソース数ｎは、記憶部２から読み出されるリソース数情報から抽出され得る。
【0035】
ｋは、工程エリアＳのリソースＥのスループットの分布におけるノルマｔ達成のためにカバーしたい範囲を示す係数である。カバーしたい範囲は、予め実験的に決められ、計算部４に設定され得る。
【0036】
例えば、工程エリアＳ１の複数のリソースＥ１～Ｅｎのスループットが図４（ａ）に示すように分布し、その分布におけるスループットが多い側から全体のｐ％をカバーしたいとする。そのｐ％に対応するスループットをμｐとすると、数式１の左辺の第２項は、分布の中心のスループットμａｖｇからスループットμｐまでの距離を表す。
【0037】
図４（ｂ）に例示するように、ｐ＝９９．９％であれば、ｋ＝３．００である。ｐ＝９７．７％であれば、ｋ＝２．００である。ｐ＝９５．０％であれば、ｋ＝１．６５である。ｐ＝９０．０％であれば、ｋ＝１．２８である。ｐ＝８４．１％であれば、ｋ＝１．００である。
【0038】
同様に、計算部４は、工程エリアＳ２～ＳＱについても、ノルマｔを達成するための追加リソース数ｍを数式１により求める。計算部４は、各工程エリアＳ１～ＳＱの追加リソース数ｍの計算結果２ｂを記憶部２へ供給する。
【0039】
これにより、記憶部２は、各工程エリアＳ１～ＳＱの追加リソース数ｍの計算結果２ｂを記憶する。制御部６は、計算結果２ｂが記憶部２に記憶されたことに応じて、又は、ユーザからの要求等に応じて、各工程エリアＳ１～ＳＱの追加リソース数ｍの計算結果２ｂを視覚的な及び／又は聴覚的な手段によりユーザに報知してもよい。
【0040】
【0041】
管理システム１は、ハードウェアの構成として、プロセッサ１７、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）１８、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１３、ヒューマンインターフェース１４、通信インターフェース１５、記憶装置１６、バス１９を有する。
【0042】
プロセッサ１７は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などを含む。プロセッサ１７は、制御部６、評価部３、計算部４に対応する。制御部６、評価部３、計算部４は、プロセッサ１７による管理プログラムＰＧの実行により、コンパイル時に一括して又は処理の進行に応じて逐次的にＲＡＭ１３上に展開され機能的に構成される。
【0043】
ＲＯＭ１８は、固定的なデータを記憶する。ＲＯＭ１８は、記憶部２に対応する。
【0044】
ＲＡＭ１３は、一時的に情報を記憶可能であり、プロセッサ１７に対してワークエリアなどを提供する。ＲＡＭ１３は、記憶部２に対応する。
【0045】
ヒューマンインターフェース１４は、人間とコンピュータとの間の仲介を行う。ヒューマンインターフェース１４は、入力装置１４ａ及び出力装置１４ｂを有する。
【0046】
入力装置１４ａは、キーボード、マウス、タッチパネルなど人間からの要求を受け付け可能な装置を含む。入力装置１４ａは、取得部５に対応する。
【0047】
出力装置１４ｂは、ディスプレイ、プリンタ、表示器、スピーカなど人間へ視覚的及び／又は聴覚的な情報を出力可能な装置である。
【0048】
通信インターフェース１５は、通信媒体を介して外部装置と接続可能である。通信媒体を介して外部装置が接続された際、通信インターフェース１５は、外部装置からの情報を受信したり、外部装置へ情報を送信したりすることができる。
【0049】
記憶装置１６は、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）又はＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）など不揮発に情報を記憶可能な装置である。記憶装置１６は、プロセッサ１７を動作させるためのプログラムや各種データを記憶する。記憶装置１６は、管理プログラムＰＧを記憶してもよい。記憶装置１６は、記憶部２に対応する。
【0050】
プロセッサ１７、ＲＯＭ１８、ＲＡＭ１３、ヒューマンインターフェース１４、通信インターフェース１５、記憶装置１６は、バス１９を介して互いに通信可能に接続される。
【0051】
【0052】
管理システム１において、取得部５は、パラメータ２ａを取得する（ＳＴ１）。例えば、取得部５は、ユーザからの入力に応じて、又は、有線通信回線又は無線通信回線などの通信媒体を介して、パラメータ２ａを取得する。パラメータ２ａは、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱのリソース数・スループットの履歴・達成すべきノルマ等を含む。記憶部２は、パラメータ２ａを取得部５から受けてデータベースとして記憶してもよい。データベースは、リソース情報、スループット情報、ノルマ情報などを含む。
【0053】
評価部３は、各工程エリアＳ１～ＳＱの各リソースＥの能力変動特性を求める（ＳＴ２）。例えば、評価部３は、スループット情報を取得する。評価部３は、スループット情報に基づき、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱについて、工程エリアＳのスループットの実績を特定できる。評価部３は、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、工程エリアＳのスループットの実績に基づき、工程エリアＳの各リソースＥの能力変動特性を求める。
【0054】
計算部４は、各工程エリアＳ１～ＳＱのリソース数とＳＴ２で求められた能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための工程エリアＳの追加リソース数ｍを決定する（ＳＴ３）。
【0055】
例えば、計算部４は、リソース数情報を記憶部２から読み出し、リソース数情報から製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱのリソース数を抽出する。計算部４は、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱの各リソースＥの能力変動特性を評価部３から取得する。計算部４は、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳのリソースＥの能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための工程エリアＳの追加リソース数ｍを決定する。計算部４は、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、ノルマｔを達成するための追加リソース数ｍを数式１により求めてもよい。計算部４は、追加リソース数ｍを、数式１を満たす最大の整数ｍとして求めてもよい。計算部４は、各工程エリアＳ１～ＳＱの追加リソース数ｍの計算結果２ｂを記憶部２へ供給する。記憶部２は、各工程エリアＳ１～ＳＱの追加リソース数ｍの計算結果２ｂを記憶する。
【0056】
制御部６は、各工程エリアＳ１～ＳＱの追加リソース数ｍの計算結果２ｂをユーザに向けて報知する（ＳＴ４）。例えば、制御部６は、計算結果２ｂが記憶部２に記憶されたことに応じて、又は、ユーザからの要求等に応じて、各工程エリアＳ１～ＳＱの追加リソース数ｍの計算結果２ｂを視覚的な及び／又は聴覚的な手段によりユーザに報知してもよい。
【0057】
以上のように、第１の実施形態では、管理システム１において、製造ラインＰの各工程エリアＳについて、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳの能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための追加リソース数ｍが決定される。これにより、工程エリアＳの追加リソース数ｍを適切なレベルで決定でき、それをユーザに向けて報知でき、適切なレベルでリソースの追加がなされるようにユーザに促すことができる。したがって、各製造ラインＰについて、ノルマｔを達成するためのリソース数が確保されるようにすることができる。
【0058】
なお、第１の実施形態の変形例にかかる管理システム１ａは、追加リソース数ｍに代えて工程エリア又は各リソースの許容スループット変動を求めてもよい。この場合、管理システム１ａは、リソースが追加可能である場合、例えば図６に示した手順に従って、工程エリアＳのリソース数と各リソースＥの能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための工程エリアＳの追加リソース数ｍを決定する。管理システム１ａは、リソースが追加可能でない場合、以下に説明するように、工程エリアＳのリソース数に基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための工程エリアＳ又は各リソースＥの許容スループット変動を決定する。
【0059】
【0060】
管理システム１ａにおいて、制御部６は、リソースが追加可能かどうか判断し、判断結果を計算部４ａへ供給する。リソースが追加可能である場合、計算部４ａは、工程エリアＳのリソース数と評価部３で求められた能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための追加リソース数ｍを決定する。リソースが追加可能でない場合、計算部４ａは、工程エリアＳのリソース数と評価部３で求められた能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための工程エリア又は各リソースの許容スループット変動を決定する。
【0061】
例えば、計算部４ａは、工程エリアＳ１について、ノルマｔを達成するための工程エリアＳ１の許容スループット変動Σσ２を、次の数式２を満たすΣσ２として求めることができる。計算部４ａは、工程エリアＳ１の許容スループット変動Σσ２を、次の数式２を満たす最大のΣσ２として求めてもよい。
【数2】
【0062】
数式２において、μｉ（ｉ＝１～ｎ）は、リソースＥ１～Ｅｎの平均スループットであり、評価部３から取得される。μｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）は、追加すべきリソースＥｉ（ｉ＝ｎ＋１～ｍ）の平均スループットであり、計算部４ａにより求められる。
【0063】
ｔは、工程エリアＳ１のノルマである。ノルマｔは、記憶部２から読み出されるノルマ情報から抽出され得る。
【0064】
ｎは、工程エリアＳ１のリソース数である。ｎは１以上の整数である。リソース数ｎは、記憶部２から読み出されるリソース数情報から抽出され得る。
【0065】
ｋは、工程エリアＳのリソースＥのスループットの分布におけるノルマｔ達成のためにカバーしたい範囲を示す係数である。カバーしたい範囲は、予め実験的に決められ、計算部４ａに設定され得る。
【0066】
例えば、工程エリアＳ１の複数のリソースＥ１～Ｅｎのスループットが図８に示すように分布し、その分布におけるスループットが多い側から全体のｐ％をカバーしたいとする。図８は、工程エリアＳのスループットの確率分布を示す図である。分布全体のｐ％に対応するスループットをμｐとすると、数式２の左辺は、分布の中心のスループットμａｖｇからスループットμｐまでの距離の２乗の１／ｋ２を表す。
【0067】
図４（ｂ）に例示するように、ｐ＝９９．９％であれば、ｋ＝３．００である。ｐ＝９７．７％であれば、ｋ＝２．００である。ｐ＝９５．０％であれば、ｋ＝１．６５である。ｐ＝９０．０％であれば、ｋ＝１．２８である。ｐ＝８４．１％であれば、ｋ＝１．００である。
【0068】
また、計算部４ａは、工程エリアＳ１の各リソースＥ１～Ｅｎについて、ノルマｔを達成するための各リソースＥ１～Ｅｎの許容スループット変動σを、次の数式３を満たすσとして求めることができる。計算部４ａは、各リソースＥ１～Ｅｎの許容スループット変動σを、次の数式３を満たす最大のσとして求めてもよい。
【数3】
【0069】
なお、計算部４ａは、工程エリアＳのリソース数と評価部３で求められた能力変動特性とに基づき、さらに、閾値スループットを決定してもよい。計算部４ａは、工程エリアＳ１について、ノルマｔを達成するための工程エリアＳ１の閾値スループットμｔを、次の数式４により求めることができる。
【数4】
【0070】
数式４に示す閾値スループットμｔは、図８に示すように、工程エリアＳ１の各リソースＥ１～Ｅｎのスループットの分布におけるスループットが多い側から全体のｐ％をカバーしたい場合の最低ラインとなるスループットに対応する。
【0071】
【0072】
管理システム１ａにおいて、図６を用いて説明したＳＴ１～ＳＴ２と同様の処理が行われた後、制御部６は、リソースが追加可能かどうか判断する（ＳＴ１１）。
【0073】
例えば、取得部５は、ユーザからの入力に応じて、又は、有線通信回線又は無線通信回線などの通信媒体を介して受信することで、リソースが追加可能であることを示す情報を取得してもよい。制御部６は、リソースが追加可能であることを示す情報を取得部５経由で受けた場合、リソースが追加可能であると判断し（ＳＴ１１でＹｅｓ）、その旨を計算部４ａへ通知する。計算部４ａは、ＳＴ３～ＳＴ４の処理を行う。
【0074】
取得部５は、ユーザからの入力に応じて、又は、有線通信回線又は無線通信回線などの通信媒体を介して受信することで、リソースが追加不可能であることを示す情報を取得してもよい。制御部６は、取得部５を介してリソースが追加不可能であることを示す情報を取得部５経由で受けた場合、リソースが追加可能でないと判断し（ＳＴ１１でＮｏ）、その旨を計算部４ａへ通知する。
【0075】
リソースが追加可能でない旨の通知に応じて、計算部４ａは、工程エリアＳのリソース数と評価部３で求められた能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための工程エリア又は各リソースＥ１～Ｅｎの許容スループット変動を決定する（ＳＴ１２）。
【0076】
例えば、計算部４ａは、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱのリソース数を記憶部２から読み出す。計算部４ａは、製造ラインＰの各工程エリアＳ１～ＳＱの各リソースＥの能力変動特性を評価部３から取得する。
【0077】
計算部４ａは、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳのリソースＥのスループット変動の特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための工程エリアＳの許容スループット変動Σσ２を決定する。計算部４ａは、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、ノルマｔを達成するための工程エリアＳの許容スループット変動Σσ２を数式２により求めてもよい。計算部４ａは、工程エリアＳ１の許容スループット変動Σσ２を、数式２を満たす最大のΣσ２として求めてもよい。
【0078】
計算部４ａは、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳのリソースＥ１～Ｅｎのスループット変動の特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための各リソースＥ１～Ｅｎの許容スループット変動σを決定する。計算部４ａは、各工程エリアＳ１～ＳＱについて、ノルマｔを達成するための各リソースＥ１～Ｅｎの許容スループット変動σを数式３により求めてもよい。計算部４ａは、各リソースＥ１～Ｅｎの許容スループット変動σを、数式３を満たす最大のσとして求めてもよい。
【0079】
計算部４ａは、各工程エリアＳの許容スループット変動Σσ２又は各リソースＥの許容スループット変動σの計算結果２ｂを記憶部２へ供給する。記憶部２は、各工程エリアＳの許容スループット変動Σσ２又は各リソースＥの許容スループット変動σの計算結果２ｂを記憶する。
【0080】
制御部６は、各工程エリアＳの許容スループット変動Σσ２又は各リソースＥの許容スループット変動σの計算結果２ｂをユーザに向けて報知する（ＳＴ１３）。例えば、制御部６は、計算結果２ｂが記憶部２に記憶されたことに応じて、又は、ユーザからの要求等に応じて、各工程エリアＳの許容スループット変動Σσ２又は各リソースＥの許容スループット変動σの計算結果２ｂを、視覚的な及び／又は聴覚的な手段によりユーザに報知してもよい。
【0081】
このように、管理システム１ａにおいて、リソースの追加が可能である場合、製造ラインＰの各工程エリアＳについて、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳの能力変動特性とに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するための追加リソース数ｍが決定される。これにより、工程エリアＳの追加リソース数ｍを適切なレベルで決定でき、それをユーザに向けて報知でき、適切なレベルでリソースの追加がなされるようにユーザに促すことができる。
【0082】
また、管理システム１ａにおいて、リソースの追加が不可能である場合、製造ラインＰの各工程エリアＳについて、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳの能力変動特性とに基づき、工程エリアＳの許容スループット変動Σσ２又は工程エリアＳの各リソースＥの許容スループット変動σが決定される。これにより、工程エリアＳの許容スループット変動Σσ２又は各リソースＥの許容スループット変動σをユーザに向けて報知でき、各リソースＥ１～Ｅｎを一定間隔で停止しメンテナンスさせるなどスループット変動を抑制するための対策をユーザに促すことができる。
【0083】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態にかかる管理システム１０１について説明する。以下では、第１の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
次に、第２の実施形態にかかる管理システム１０１について説明する。以下では、第１の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【0084】
第１の実施形態では、ノルマ達成のための工程エリアの追加リソース数が求められるが、第２の実施形態では、ノルマ達成のための各レシピの必要リソース数が求められる。レシピは、ジョブの種類及び工程エリアの組み合わせに対応する。ここでは、ジョブの種類を品名と呼ぶことにする。ジョブは、リソースＥで処理すべき対象物を指す。品名は、リソースＥで処理すべき対象物の種類を指す。
【0085】
管理システム１０１は、図１０に示すように構成され得る。図１０は、第２の実施形態における管理システム１０１の機能構成を示す図である。管理システム１０１は、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳのスループットの実績とに基づき、ジョブの種類と工程エリアとの組み合わせに対応するレシピについて、工程エリアＳで動作し得るリソース数の確率分布を求める。管理システム１０１は、工程エリアＳで動作し得るリソース数の確率分布に基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するためのレシピの必要リソース数を求める。
【0086】
管理システム１０１は、機能構成として、評価部３、計算部４（図３参照）に代えて、評価部１０３、計算部１０４を有する。
【0087】
記憶部２は、工程エリアＳのノルマ情報とレシピＲＰのノルマ情報とを記憶してもよい。工程エリアＳのノルマ情報は、第１の実施形態のノルマ情報と同じ情報である。レシピＲＰのノルマ情報は、第１の実施形態のノルマ情報がレシピＲＰごとに細分化されたノルマ情報である。レシピＲＰのノルマ情報は、達成すべきノルマと製造ラインＰの識別子と工程エリアＳの識別子とレシピＲＰの識別子とが複数の製造ラインＰ、複数の工程エリアＳ及び複数のレシピＲＰについて対応づけられた情報である。レシピＲＰのノルマｔＲＰは、工程エリアＳのノルマｔに対応して、予め決められている。工程エリアＳで複数のレシピＲＰ＿１～ＰＲ＿ｒが処理される場合、レシピＲＰ＿１のノルマｔＲＰは、複数のレシピＲＰ＿１～ＰＲ＿ｒのノルマｔＲＰの合計が工程エリアＳのノルマｔに均等になるように決められ得る。
【0088】
評価部１０３は、制御部６による制御のもとで、評価を行う。評価部１０３は、リソース数情報を取得する。評価部１０３は、リソース数情報から各工程エリアＳのリソース数を抽出する。評価部１０３は、スループット情報を取得する。評価部１０３は、スループット情報に基づき、製造ラインＰで処理される複数のレシピＲＰのそれぞれについて、工程エリアＳで動作したリソース数の実績を特定できる。レシピＲＰは、品名及び工程の組み合わせである。
【0089】
評価部１０３は、各レシピＲＰについて、工程エリアＳのリソース数と工程エリアＳで動作したリソース数の実績とに基づき、工程エリアＳで動作し得るリソース数の確率分布を求める。動作し得るリソース数を可動リソース数と呼ぶことにする。可動リソース数の確率分布について、評価部１０３は、各レシピＲＰに割り当てるリソース数を変えた複数通りの確率分布を求めてもよい。
【0090】
工程エリアＳ１で複数のレシピＲＰ＿１～ＰＲ＿ｒが処理されるとする。ｒは、２以上の整数である。評価部１０３は、レシピＲＰ＿１について、複数の確率分布ＤＳを求めることができる。
【0091】
可動リソース数の確率分布を求める試行は、取り得る結果が「動作する」「停止する」の２つであり、ベルヌーイ試行としてとらえることができる。このベルヌーイ試行では、レシピに割り当てるリソース数を試行回数とすることができる。リソースが「動作する」か「停止する」かの試行をレシピに割り当てるリソース数の回数で行った確率分布は、二項分布として求めることができる。
【0092】
例えば、評価部１０３は、工程エリアＳで動作したリソース数の実績に基づき、可動リソース数の確率分布を、次の数式５に示す確率を集めた確率分布として求めることができる。
【数5】
【0093】
数式５において、ｊは、動作するリソース数（可動リソース数）である。
【0094】
ｖは、工程エリアＳ１でレシピＲＰ＿１に割り当てるリソース数である。評価部１０３は、記憶部２からリソース数情報を読み出し、リソース数情報から工程エリアＳのリソース数ｎを抽出する。評価部１０３は、工程エリアＳのリソース数ｎのうちレシピＲＰ＿１に割り当てるリソース数ｖを決める。
【0095】
ｖ－ｊは、停止するリソース数である。
【0096】
ｖＣｊは、ｖ個からｊ個を選ぶ組み合わせの数を示す。
【0097】
ｐは、動作する確率である。ｐは、０以上１以下の値を取り得る。１－ｐは、停止する確率である。ｐｊ（１－ｐ）ｖ－ｊは、ｊ台のリソースＥが動作しｖ－ｊ台のリソースＥが停止する確率を示す。評価部１０３は、スループット情報を取得し、スループット情報に基づき、工程エリアＳで動作したリソース数の実績を特定できる。評価部１０３は、工程エリアＳで動作したリソース数の実績に基づき、確率ｐｊ（１－ｐ）ｖ－ｊを求めることができる。
【0098】
評価部１０３は、レシピＲＰ＿１に割り当てるリソース数ｖを決めた後、可動リソース数ｊを０～ｖまでの整数値で変更しながら数式５に示す確率を求め、可動リソース数ｊの値ごとにプロットし、確率分布ＤＳを求めることができる。
【0099】
評価部１０３は、レシピＲＰ＿１について、割り当てるリソース数ｖを変えながら、図１１に示すような複数の確率分布ＤＳ１～ＤＳ４を求めてもよい。図１１は、レシピＲＰ＿１に対して動作し得るリソース数（可動リソース数）の確率分布を示す図である。図１１（ａ）～図１１（ｄ）それぞれでは、縦軸が可動リソース数を示し、横軸が発生確率を示す。
【0100】
ｖ＝５（台）である場合、評価部１０３は、工程エリアＳで動作したリソース数の実績に基づき、図１１（ａ）に示すように、確率分布ＤＳ１を求めることができる。確率分布ＤＳ１は、平均値が４台であり、５台の確率が３台の確率より大きい、上下にやや非対称な分布になる。
【0101】
ｖ＝６（台）である場合、評価部１０３は、工程エリアＳで動作したリソース数の実績に基づき、図１１（ｂ）に示すように、確率分布ＤＳ２を求めることができる。確率分布ＤＳ２は、平均値が５台であり、６台の確率が４台の確率より大きい、上下にやや非対称な分布になる。
【0102】
ｖ＝８（台）である場合、評価部１０３は、工程エリアＳで動作したリソース数の実績に基づき、図１１（ｃ）に示すように、確率分布ＤＳ３を求めることができる。確率分布ＤＳ３は、平均値が７台であり、８台の確率が６台の確率より小さい、上下にやや非対称な分布になる。
【0103】
ｖ＝１１（台）である場合、評価部１０３は、工程エリアＳで動作したリソース数の実績に基づき、図１１（ｄ）に示すように、確率分布ＤＳ４を求めることができる。確率分布ＤＳ４は、平均値が９台であり、１０台の確率が８台の確率より大きい、上下にやや非対称な分布になる。
【0104】
評価部１０３は、工程エリアＳ１で処理される他のレシピＲＰ＿２～ＲＰ＿ｒについても、同様に複数の確率分布ＤＳを求めることができる。評価部１０３は、他の工程エリアＳ２～ＳＱで処理される複数のレシピＲＰのそれぞれについても、同様に複数の確率分布ＤＳを求めることができる。
【0105】
評価部１０３は、求められた複数の確率分布ＤＳを工程エリアＳの識別情報及びレシピＲＰの識別情報とともに計算部１０４へ供給する。
【0106】
計算部１０４は、制御部６による制御のもとで、計算を行う。計算部１０４は、評価部１０３で求められた確率分布ＤＳに基づき、工程エリアＳのノルマｔを達成するためのレシピＲＰの必要リソース数ｖを求める。計算部１０４は、各レシピＲＰについて、求められた複数の確率分布ＤＳを評価部１０３から取得し、レシピＲＰのノルマｔＲＰを記憶部２から読み出す。計算部１０４は、複数の確率分布ＤＳに基づき、レシピＲＰのノルマｔＲＰを達成するためのレシピＲＰの必要リソース数ｖを求める。レシピＲＰのノルマｔＲＰは、工程エリアＳのノルマｔに対応するレシピＲＰ（例えば、レシピＲＰ＿１）のノルマである。
【0107】
例えば、計算部１０４は、工程エリアＳ１で処理されるレシピＲＰ＿１について、ノルマｔＲＰを達成するための必要リソース数ｖを、ノルマｔＲＰより小さい可動リソース数となる累積確率が全体の１００ε％より小さくなるような値として求めることができる。計算部１０４は、レシピＲＰ＿１について、ノルマｔＲＰを達成するための必要リソース数ｖを、次の数式６を満たすｖとして求めることができる。計算部１０４は、必要リソース数ｖを、次の数式６を満たす最小の整数ｖとして求めてもよい。
【数6】
【0108】
数式６において、ｖＣｊｐｊ（１－ｐ）ｖ－ｊの部分は、数式５と同じである。数式６の左辺は、可動リソース数が０～ｔＲＰ－１となる累積確率を示す。
【0109】
εは、確率分布ＤＳ全体のうちカバーしない範囲の割合を示すエラー率である。確率分布ＤＳ全体のうちｑ％をカバーしたい場合、ε＝１－ｑ／１００である。ｑ＝９９（％）である場合、ε＝０．０１である。
【0110】
計算部１０４は、評価部１０３で求められたレシピＲＰ＿１の複数の確率分布ＤＳ１～ＤＳ４について数式６を満たすかどうか判断し、判断結果に応じてレシピＲＰ＿１の必要リソース数ｖを決定してもよい。
【0111】
例えば、ε＝０．０１とする。ｖ＝５（台）である場合、計算部１０４は、図１１（ａ）に点線で囲った部分ＰＰ１の累積確率を計算する。部分ＰＰ１は、確率分布ＤＳ１における可動リソース数がノルマｔＲＰより小さい部分である。計算部１０４は、部分ＰＰ１の累積確率をεと比較する。計算部１０４は、部分ＰＰ１の累積確率がεより大きいので、数式６を満たさず、ノルマｔＲＰを達成するにはリソース数がｖ＝５（台）では不足していると判断する。
【0112】
ｖ＝６（台）である場合、計算部１０４は、図１１（ｂ）に点線で囲った部分ＰＰ２の累積確率を計算する。部分ＰＰ２は、確率分布ＤＳ２における可動リソース数がノルマｔＲＰより小さい部分である。計算部１０４は、部分ＰＰ２の累積確率をεと比較する。計算部１０４は、部分ＰＰ２の累積確率がεより大きいので、数式６を満たさず、ノルマｔＲＰを達成するにはリソース数がｖ＝６（台）では不足していると判断する。
【0113】
ｖ＝８（台）である場合、計算部１０４は、図１１（ｃ）に点線で囲った部分ＰＰ３の累積確率を計算する。部分ＰＰ３は、確率分布ＤＳ３における可動リソース数がノルマｔＲＰより小さい部分である。計算部１０４は、部分ＰＰ３の累積確率をεと比較する。計算部１０４は、部分ＰＰ３の累積確率がεより小さいので、数式６を満たし、ノルマｔＲＰを達成するのにリソース数がｖ＝８（台）で十分であると判断する。
【0114】
ｖ＝１１（台）である場合、計算部１０４は、図１１（ｄ）に点線で囲った部分ＰＰ４の累積確率を計算する。部分ＰＰ４は、確率分布ＤＳ４における可動リソース数がノルマｔＲＰより小さい部分である。計算部１０４は、部分ＰＰ４の累積確率をεと比較する。計算部１０４は、部分ＰＰ４の累積確率がεより小さいので、数式６を満たす。ここで、ｖ＝８（台）ですでに数式６が満たされているので、計算部１０４は、ノルマｔＲＰを達成するのにリソース数がｖ＝１１（台）で過剰であると判断する。
【0115】
【0116】
同様に、計算部１０４は、工程エリアＳ１の他のレシピＲＰ＿２～ＲＰ＿ｒについても、ノルマｔＲＰを達成するためのレシピＲＰ＿２～ＲＰ＿ｒそれぞれの必要リソース数ｖを数式６により求める。計算部１０４は、工程エリアＳ２～ＳＱの各レシピＲＰについても、ノルマｔＲＰを達成するためのレシピＲＰ＿２～ＲＰ＿ｒの必要リソース数ｖを数式６により求める。計算部１０４は、各レシピＲＰの必要リソース数ｖの計算結果２ｃを記憶部２へ供給する。
【0117】
また、管理システム１０１の動作が、図１２に示すように、次の点で第１の実施形態と異なる。図１２は、第２の実施形態における管理システム１０１の動作を示すフローチャートである。図１２は、１つの工程エリアＳ（ここではＳ１）についての動作を例示するが、他の工程エリアＳについての動作も同様である。
【0118】
管理システム１０１において、図６を用いて説明したＳＴ１の処理が行われた後、制御部６は、工程エリアＳ１で複数のレシピＲＰ＿１～ＰＲ＿ｒのうち処理対象のレシピＲＰ（ここではレシピＲＰ＿１）を選択する（ＳＴ２１）。制御部６は、選択された処理対象のレシピＲＰを評価部１０３及び計算部１０４に通知する。
【0119】
評価部１０３は、処理対象のレシピＲＰ＿１について、工程エリアＳ１のリソース数と工程エリアＳ１で動作したリソース数の実績とに基づき、工程エリアＳ１で動作し得るリソース数の確率分布を求める（ＳＴ２２）。
【0120】
例えば、評価部１０３は、記憶部２からリソース数情報を読み出し、リソース数情報から工程エリアＳ１のリソース数ｎを抽出する。評価部１０３は、工程エリアＳ１のリソース数ｎのうちレシピＲＰ＿１に割り当てるリソース数ｖを決める。評価部１０３は、レシピＲＰ＿１に割り当てるリソース数ｖを決めた後、可動リソース数ｊを０～ｖまでの整数値で変更しながら数式５に示す確率を求め、可動リソース数ｊの値ごとにプロットし、確率分布として求めることができる。このとき、評価部１０３は、レシピＲＰ＿１について、割り当てるリソース数ｖを変えながら、図１１に示すような複数の確率分布ＤＳを求めることができる。
【0121】
計算部１０４は、ＳＴ２２で求められた確率分布ＤＳに基づき、工程エリアＳ１のノルマｔを達成するためのレシピの必要リソース数ｖを求める（ＳＴ２３）。
【0122】
例えば、計算部１０４は、処理対象のレシピＲＰについて、求められた複数の確率分布ＤＳを評価部１０３から取得する。計算部１０４は、複数の確率分布ＤＳに基づき、レシピＲＰ＿１のノルマｔＲＰを達成するためのレシピＲＰ＿１の必要リソース数ｖを求める。レシピＲＰ＿１のノルマｔＲＰは、工程エリアＳ１のノルマｔに対応するレシピＲＰ＿１のノルマである。
【0123】
計算部１０４は、レシピＲＰ＿１について、ノルマｔＲＰを達成するための必要リソース数ｖを、数式６を満たすｖとして求めることができる。計算部１０４は、必要リソース数ｖを、数式６を満たす最小の整数ｖとして求めてもよい。
【0124】
計算部１０４は、レシピＲＰ＿１の必要リソース数ｖの計算結果２ｃを記憶部２へ供給する。記憶部２は、レシピＲＰ＿１の必要リソース数ｖの計算結果２ｃを記憶する。
【0125】
制御部６は、複数のレシピＲＰ＿１～ＰＲ＿ｒのうち未選択のレシピＲＰが存在するか否かを判断する（ＳＴ２４）。制御部６は、未選択のレシピＲＰが存在すれば（ＳＴ２４でＹｅｓ）、処理をＳＴ２１に戻す。制御部６は、未選択のレシピＲＰが存在しなければ（ＳＴ２４でＮｏ）、工程エリアＳ１の各レシピＲＰの必要リソース数ｖの計算結果２ｃをユーザに向けて報知する（ＳＴ４）。
【0126】
以上のように、第２の実施形態では、製造ラインＰの各工程エリアＳで処理される複数のレシピＲＰのそれぞれについて、工程エリアＳのノルマｔを達成するための各レシピの必要リソース数ｖが求められる。各レシピＲＰについて、可動リソース数の確率分布が求められ、可動リソース数の確率分布に基づき、レシピＲＰのノルマｔＲＰを達成するためのレシピＲＰの必要リソース数ｖが求められる。これにより、工程エリアＳで処理される各レシピＲＰの必要リソース数ｖを適切なレベルで決定でき、それをユーザに向けて報知でき、適切なレベルで各レシピＲＰに必要リソース数が割り当てられるようにユーザに促すことができる。
【0127】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態にかかる管理システム２０１について説明する。以下では、第１の実施形態及び第２の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
次に、第３の実施形態にかかる管理システム２０１について説明する。以下では、第１の実施形態及び第２の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【0128】
第２の実施形態では、レシピごとにノルマ達成のための必要リソース数が求められるが、第３の実施形態では、各リソースＥの総処理能力が必要リソース数に応じて重みづけされてレシピごとに配分される。
【0129】
管理システム２０１は、図１３に示すように構成され得る。図１３は、第３の実施形態における管理システム２０１の機能構成を示す図である。管理システム２０１は、各工程エリアＳの各レシピＲＰの必要リソース数ｖに応じて、各レシピＲＰの重みを求める。管理システム２０１は、各レシピＲＰの重みに応じて、各リソースＥの総処理能力をレシピＲＰに配分する。
【0130】
管理システム２０１は、機能構成として、計算部４（図３参照）に代えて、計算部２０４１，２０４２，２０４３を有し、選択部２０７１，２０７２をさらに有する。
【0131】
記憶部２は、工程エリアＳのノルマ情報とレシピＲＰのノルマ情報とを記憶してもよい。工程エリアＳのノルマ情報は、第１の実施形態のノルマ情報と同じ情報である。レシピＲＰのノルマ情報は、第２の実施形態におけるレシピＲＰのノルマ情報と同じ情報である。また、記憶部２は、複数の工程エリアＳで処理される複数のレシピＲＰのそれぞれの必要リソース数ｖと、計算部２０４３で求められる各レシピＲＰの処理能力とを含む計算結果２ｄを記憶する。
【0132】
計算部２０４１は、制御部６による制御のもと、計算を行う。計算部２０４１は、工程エリアＳの各リソースＥのスループットの実績を記憶部２から読み出す。計算部２０４１は、各リソースＥのスループットの実績に基づき、各リソースＥの可動率を求める。リソースＥの可動率は、単位時間におけるリソースＥの可動時間の割合である。リソースＥの可動時間は、リソースＥが動作する時間である。リソースＥが単位時間における８０％の可動時間に動作する場合、可動率は０．８０である。単位時間は、第１の実施形態で言及した単位実感と同じであってもよく、１日＝１４４０（ｍｉｎ）であってもよい。計算部２０４１は、各リソースＥの可動時間を、次の数式７により求めてもよい。
【数7】
【0133】
例えば、図１４に示すように、リソースＥ１～Ｅ５について、可動率がいずれも０．８０であるとする。図１４は、第３の実施形態における管理システム２０１の動作を説明するための図である。この場合、計算部２０４１は、リソースＥ１～Ｅ５の可動時間を、いずれも、１４４０（ｍｉｎ）×０．８０＝１１５２（ｍｉｎ）と求める。
【0134】
図１３に示す計算部２０４１は、求められた各リソースＥの可動時間を計算部２０４３へ供給する。
【0135】
選択部２０７１は、制御部６による制御のもと、選択処理を行う。選択部２０７１は、レシピＲＰのノルマ情報を記憶部２から読み出す。選択部２０７１は、レシピＲＰのノルマ情報から工程エリアＳで処理される複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒのノルマｔＲＰを抽出する。選択部２０７１は、各レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒのノルマｔＲＰを計算部２０４２へ供給する。
【0136】
選択部２０７２は、制御部６による制御のもと、選択処理を行う。選択部２０７２は、工程エリアＳで処理される複数のレシピＲＰのそれぞれの必要リソース数ｖの計算結果２ｄを記憶部２から読み出す。選択部２０７２は、計算結果２ｄに応じて、各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖを求める。
【0137】
例えば、図１４に示す場合、レシピＲＰ＿１，ＲＰ＿２，ＲＰ＿３の必要リソース数が５，４，５であり、レシピＲＰ＿１，ＲＰ＿３がリソースＥ１～Ｅ５で処理され、レシピＲＰ＿２がリソースＥ１～Ｅ４で処理される。選択部２０７２は、レシピＲＰ＿１，ＲＰ＿２，ＲＰ＿３の必要リソース数の逆数１／ｖを、それぞれ０．２０，０．２５，０．２０と求める。
【0138】
図１３に示す選択部２０７２は、各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖを計算部２０４２へ供給する。
【0139】
計算部２０４２は、各工程エリアＳの各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖに応じて、各レシピＲＰの重みを求める。計算部２０４２は、各レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒのノルマｔＲＰを選択部２０７１から取得し、各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖを選択部２０７２から取得する。
【0140】
計算部２０４２は、各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖに応じて、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒ間でスループットが均等化されるように、各レシピＲＰの重みを求めてもよい。計算部２０４２は、調和平均の考え方をベースにして、重みを求めてもよい。計算部２０４２は、各工程エリアＳについて、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒの必要リソース数の逆数１／ｖの合計に対する当該レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖの割合に応じた重みを求めてもよい。
【0141】
計算部２０４２は、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒのうち注目レシピＲＰ（例えば、レシピＲＰ＿１）を選択し、注目レシピＲＰの重みを次の数式８により求めてもよい。
【数8】
【0142】
数式８において、［ｐｉｃｔｈ］は、リソースＥによるジョブの単位量（例えば、基板１枚）当たりの処理速度である。［ＭＡＸチャージ数］は、リソースＥによる並行して処理可能なジョブの量（例えば、並行処理可能な基板枚数）である。ノルマ（個数）に［ｐｉｃｔｈ］（時間／個数）をかけて［ＭＡＸチャージ数］（並行処理数）で割れば、ノルマを時間に換算できる。
【0143】
数式８の右辺の分子は、ノルマから換算された時間と必要リソース数の逆数１／ｖとの積を示し、必要リソース数ｖが少ないほど大きな値になる。数式９の右辺の分母は、ノルマから換算された時間と必要リソース数の逆数１／ｖとの積を複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒについて足し合わせた合計を示す。数式８の右辺は、必要リソース数ｖが少ないレシピＲＰほど大きくなるような重みを表す。
【0144】
例えば、図１４に示すリソースＥ１に注目する。ＭＡＸチャージ数＝１とすると、各レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３のノルマｔＲＰがいずれも６９、レシピＲＰ＿１，ＲＰ＿２，ＲＰ＿３のｐｉｃｔｈが２０，３０，２４である。レシピＲＰ＿１，ＲＰ＿２，ＲＰ＿３の必要リソース数の逆数１／ｖが０．２０，０．２５，０．２０である。計算部２０４２は、レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３の重みを、数式８により、次のように求める。
レシピＲＰ＿１の重み＝（６９×２０÷１×０．２０）／（６９×２０÷１×０．２０＋６９×３０÷１×０．２５＋６９×２４÷１×０．２０）≒０．２６
レシピＲＰ＿２の重み＝（６９×３０÷１×０．２５）／（６９×２０÷１×０．２０＋６９×３０÷１×０．２５＋６９×２４÷１×０．２０）≒０．４８
レシピＲＰ＿３の重み＝（６９×２０÷１×０．２０）／（６９×２０÷１×０．２０＋６９×３０÷１×０．２５＋６９×２４÷１×０．２０）≒０．２６
レシピＲＰ＿１の重み＝（６９×２０÷１×０．２０）／（６９×２０÷１×０．２０＋６９×３０÷１×０．２５＋６９×２４÷１×０．２０）≒０．２６
レシピＲＰ＿２の重み＝（６９×３０÷１×０．２５）／（６９×２０÷１×０．２０＋６９×３０÷１×０．２５＋６９×２４÷１×０．２０）≒０．４８
レシピＲＰ＿３の重み＝（６９×２０÷１×０．２０）／（６９×２０÷１×０．２０＋６９×３０÷１×０．２５＋６９×２４÷１×０．２０）≒０．２６
【0145】
レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３の重みを比較すると、必要リソース数の少ない（４台である）レシピＲＰ＿２の重みが必要リソース数の多い（５台である）レシピＲＰ＿１，ＲＰ＿３の重みより大きくなっている。
【0146】
計算部２０４２は、他のリソースＥ２～Ｅ５についても、レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３の重みを、数式８により求めることができる。
【0147】
同様に、図１３に示す計算部２０４２は、他のレシピＲＰの重みを数式８により求めてもよい。計算部２０４２は、工程エリアＳの各レシピＲＰの重みを計算部２０４３へ供給する。
【0148】
計算部２０４３は、制御部６による制御のもと、計算を行う。計算部２０４３は、各レシピＲＰの重みに応じて、各リソースＥの総処理能力を各レシピＲＰに配分し、各レシピＲＰの処理能力を求めてもよい。
【0149】
ここで、各リソースＥの総処理能力は、各リソースＥの可動時間に対応する。計算部２０４３は、各リソースＥの可動時間を各リソースＥで処理される複数のレシピＲＰの重みに応じた処理時間として配分し、配分された処理時間を処理能力に換算する。これにより、計算部２０４３は、各レシピＲＰの重みに応じて、各リソースＥの総処理能力を、各レシピＲＰに配分できる。
【0150】
計算部２０４３は、各リソースＥの可動時間を計算部２０４１から取得する。計算部２０４３は、各レシピＲＰの重みを計算部２０４２から取得する。計算部２０４３は、リソースＥの可動時間とレシピＲＰの重みとを用いて、レシピＲＰの処理時間を求める。
【0151】
計算部２０４３は、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒのうち注目レシピＲＰ（例えば、レシピＲＰ＿１）を選択し、注目レシピＲＰの処理時間を次の数式９により求めてもよい。
【数9】
【0152】
数式９の右辺は、リソースＥの可動時間を、レシピＲＰの重みに応じてレシピＲＰの処理時間として配分することを表す。
【0153】
例えば、図１４に示すリソースＥ１に注目する。計算部２０４３は、レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３の処理時間を、数式９により、次のように求める。
レシピＲＰ＿１の処理時間＝１１５２（ｍｉｎ）×０．２６≒２９９（ｍｉｎ）
レシピＲＰ＿２の処理時間＝１１５２（ｍｉｎ）×０．４８≒５５３（ｍｉｎ）
レシピＲＰ＿３の処理時間＝１１５２（ｍｉｎ）×０．２６≒２９９（ｍｉｎ）
レシピＲＰ＿１の処理時間＝１１５２（ｍｉｎ）×０．２６≒２９９（ｍｉｎ）
レシピＲＰ＿２の処理時間＝１１５２（ｍｉｎ）×０．４８≒５５３（ｍｉｎ）
レシピＲＰ＿３の処理時間＝１１５２（ｍｉｎ）×０．２６≒２９９（ｍｉｎ）
【0154】
計算部２０４３は、他のリソースＥ２～Ｅ５についても、レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３の処理時間を、数式９により求めることができる。
【0155】
図１３に示す計算部２０４３は、レシピＲＰの処理時間をレシピＲＰの処理能力に換算する。
【0156】
計算部２０４３は、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒのうち注目レシピＲＰ（例えば、レシピＲＰ＿１）を選択し、注目レシピＲＰの処理時間を次の数式１０によりレシピＲＰの処理能力に換算してもよい。
【数10】
【0157】
数式１０の右辺は、レシピＲＰの処理時間をリソースＥの処理速度で除算することでレシピＲＰの処理能力に換算することを表す。
【0158】
例えば、図１４に示すリソースＥ１に注目する。ＭＡＸチャージ数＝１とすると、レシピＲＰ＿１，ＲＰ＿２，ＲＰ＿３のｐｉｃｔｈが２０，３０，２４である。計算部２０４３は、レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３の処理時間を、数式１０により、次のようにレシピＲＰの処理能力に換算する。
レシピＲＰ＿１の処理能力＝２９９÷（２０÷１）≒１５．０
レシピＲＰ＿２の処理能力＝５５３÷（３０÷１）≒１８．４
レシピＲＰ＿１の処理能力＝２９９÷（２４÷１）≒１２．４
レシピＲＰ＿１の処理能力＝２９９÷（２０÷１）≒１５．０
レシピＲＰ＿２の処理能力＝５５３÷（３０÷１）≒１８．４
レシピＲＰ＿１の処理能力＝２９９÷（２４÷１）≒１２．４
【0159】
計算部２０４３は、他のリソースＥ２～Ｅ５についても、レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３の処理時間を、数式１０により、レシピＲＰの処理能力に換算することができる。
【0160】
レシピＲＰごとの処理能力を複数のリソースＥ１～Ｅ５について合計した値を処理能力計と呼ぶことにする。レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３の処理能力計は、それぞれ８８．８，７３．６，７３．６である。処理能力計÷ノルマをノルマの達成率と呼ぶことにすると、レシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３のノルマの達成率は、それぞれ１．２８，１．０６，１．０６である。いずれのレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿３もその達成率が１より大きくそのノルマを達成できていることが確認される。
【0161】
同様に、計算部２０４３は、他のレシピＲＰの処理時間を、数式１０により、レシピＲＰの処理能力に換算してもよい。計算部２０４３は、各レシピＲＰの処理能力の計算結果２ｄを記憶部２へ供給する。
【0162】
また、管理システム２０１の動作が、図１５に示すように、次の点で第１の実施形態と異なる。図１５は、第３の実施形態における管理システム２０１の動作を示すフローチャートである。図１５は、１つの工程エリアＳ（ここではＳ１）についての動作を例示するが、他の工程エリアＳについての動作も同様である。
【0163】
管理システム２０１において、図６を用いて説明したＳＴ１の処理が行われた後、制御部６は、工程エリアＳ１で複数のレシピＲＰ＿１～ＰＲ＿ｒのうち処理対象のレシピＲＰ（ここではレシピＲＰ＿１）を選択する（ＳＴ３１）。制御部６は、選択された処理対象のレシピＲＰ＿１を選択部２０７１，２０７２及び計算部２０４１，２０４２，２０４３に通知する。
【0164】
選択部２０７１，２０７２及び計算部２０４２は、処理対象のレシピＲＰ＿１の必要リソース数ｖに応じて、処理対象のレシピＲＰ＿１の重みを求める（ＳＴ３２）。
【0165】
選択部２０７１は、レシピＲＰのノルマ情報を記憶部２から読み出す。選択部２０７１は、レシピＲＰのノルマ情報から工程エリアＳ１で処理される複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒのノルマｔＲＰを抽出する。選択部２０７１は、各レシピＲＰのノルマｔＲＰを計算部２０４２へ供給する。
【0166】
選択部２０７２は、工程エリアＳ１で処理される複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒのそれぞれの必要リソース数ｖの計算結果２ｄを記憶部２から読み出す。選択部２０７２は、計算結果２ｄに応じて、各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖを求める。選択部２０７２は、各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖを計算部２０４２へ供給する。
【0167】
計算部２０４２は、各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖを選択部２０７２から取得する。
【0168】
計算部２０４２は、各レシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖに応じて、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒ間でスループットが均等化されるように、各レシピＲＰの重みを求めてもよい。計算部２０４２は、調和平均の考え方をベースにして、重みを求めてもよい。計算部２０４２は、各工程エリアＳについて、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒの必要リソース数の逆数１／ｖの合計に対する処理対象のレシピＲＰ＿１の必要リソース数の逆数１／ｖの割合に応じた重みを求めてもよい。計算部２０４２は、レシピＲＰ＿１の重みを数式８により求めてもよい。
【0169】
計算部２０４２は、工程エリアＳ１の処理対象のレシピＲＰ＿１の重みを計算部２０４３へ供給する。
【0170】
計算部２０４１，２０４３は、各レシピＲＰの重みに応じて、リソースＥの総処理能力を処理対象のレシピＲＰ＿１に配分する（ＳＴ３３）。
【0171】
計算部２０４１は、工程エリアＳ１の各リソースＥのスループットの実績を記憶部２から読み出す。計算部２０４１は、各リソースＥのスループットの実績に基づき、各リソースＥの可動率を求める。リソースＥの可動率は、単位時間（例えば、１日）におけるリソースＥの可動時間の割合である。リソースＥの可動時間は、リソースＥが動作する時間である。計算部２０４１は、各リソースＥの可動時間を、数式７により求めてもよい。
【0172】
計算部２０４１は、求められた各リソースＥの可動時間を計算部２０４３へ供給する。
【0173】
計算部２０４３は、各リソースＥの可動時間を計算部２０４１から取得する。計算部２０４３は、レシピＲＰ＿１の重みを計算部２０４２から取得する。計算部２０４３は、リソースＥの可動時間とレシピＲＰ＿１のノルマｔＲＰの比率とレシピＲＰ＿１の重みとを用いて、レシピＲＰ＿１の処理時間を求める。計算部２０４３は、レシピＲＰの処理時間を数式９により求めてもよい。
【0174】
計算部２０４３は、レシピＲＰ＿１の処理時間をレシピＲＰ＿１の処理能力に換算する。計算部２０４３は、レシピＲＰ＿１の処理時間を数式１０によりレシピＲＰ＿１の処理能力に換算してもよい。
【0175】
計算部２０４３は、レシピＲＰ＿１の処理能力の計算結果２ｄを記憶部２へ供給する。記憶部２は、レシピＲＰ＿１の処理能力の計算結果２ｄを記憶する。
【0176】
制御部６は、複数のレシピＲＰ＿１～ＰＲ＿ｒのうち未選択のレシピＲＰが存在するか否かを判断する（ＳＴ３４）。制御部６は、未選択のレシピＲＰが存在すれば（ＳＴ３４でＹｅｓ）、処理をＳＴ３１に戻す。制御部６は、未選択のレシピＲＰが存在しなければ（ＳＴ３４でＮｏ）、各レシピＲＰの処理能力の計算結果２ｄをユーザに向けて報知する（ＳＴ４）。
【0177】
以上のように、第３の実施形態では、各リソースＥの総処理能力が必要リソース数に応じて重みづけされてレシピＲＰごとに配分される。例えば、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒの必要リソース数の逆数１／ｖの合計に対する対象のレシピＲＰの必要リソース数の逆数１／ｖの割合に応じた重みが求められてもよい。これにより、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒ間でスループットを均等化でき、各リソースＥをできるだけ動作させながら各リソースＥの総処理能力を効率的に複数のレシピＲＰへ配分できる。この結果、製造ラインＰにおいて、ノルマｔを達成しながらそのロバスト性を向上できる。
【0178】
例えば、複数のリソースＥの総処理能力を複数のレシピＲＰに配分する際にトータルの処理時間ができるだけ短くなるように配分することが考えられる。この場合、レシピＲＰごとに特定のリソースＥに処理を集中させた方が短時間で処理できる傾向にある。このため、各レシピＲＰの処理が特定のリソースＥに偏り、停止するリソースＥの台数が増加したり、リソースＥの停止時間が長くなったりする。これにより、製造ラインＰのロバスト性が低下する可能性がある。すなわち、製造ラインＰの複数のリソースＥにおける一部のリソースＥがトラブル等により停止した際に製造ラインＰのスループットが大幅に低下する可能性がある。
【0179】
それに対して、第３の実施形態では、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒ間でスループットを均等化でき、各リソースＥをできるだけ動作させながら各リソースＥの総処理能力を効率的に各レシピＲＰへ配分できる。この結果、製造ラインＰにおいて、停止するリソースＥの台数を抑制でき、リソースＥの停止時間を短縮できる。したがって、製造ラインＰについて、ノルマｔを達成しながらそのロバスト性を向上できる。
【0180】
なお、図１６に示すように、第１の実施形態～第３の実施形態を組み合わせた管理システム３０１が構築されてもよい。図１６は、第１の実施形態～第３の実施形態を組み合わせた管理システム３０１の機能構成を示す図である。
【0181】
管理システム３０１は、機能構成として、制御部６、取得部５、記憶部２、評価部３、計算部４（又は計算部４ａ）、評価部１０３、計算部１０４、計算部２０４１，２０４２，２０４３を有し、選択部２０７１，２０７２を有する。
【0182】
制御部６の構成及び動作は、第１の実施形態における制御部６の構成及び動作と第２の実施形態における制御部６の構成及び動作と第３の実施形態における制御部６の構成及び動作とをマージして得られる。
【0183】
取得部５の構成及び動作は、第１の実施形態における取得部５の構成及び動作と第２の実施形態における取得部５の構成及び動作と第３の実施形態における取得部５の構成及び動作とをマージして得られる。
【0184】
記憶部２の構成及び動作は、第１の実施形態における記憶部２の構成及び動作と第２の実施形態における記憶部２の構成及び動作と第３の実施形態における記憶部２の構成及び動作とをマージして得られる。記憶部２に記憶される計算結果２ｅは、第１の実施形態の計算結果２ａと第１の実施形態の計算結果２ｂと第３の実施形態の計算結果２ｃとをマージして得られる。
【0185】
評価部３の構成及び動作は、第１の実施形態における評価部３の構成及び動作と同様である。
【0186】
計算部４の構成及び動作は、第１の実施形態における計算部４の構成及び動作と同様である。計算部４は、第１の実施形態の変形例における計算部４ａに置き換えられてもよい。計算部４ａの構成及び動作は、第１の実施形態の変形例における計算部４ａの構成及び動作と同様である。
【0187】
評価部１０３の構成及び動作は、第２の実施形態における評価部１０３の構成及び動作と同様である。
【0188】
計算部１０４の構成及び動作は、第２の実施形態における計算部１０４の構成及び動作と同様である。
【0189】
計算部２０４１の構成及び動作は、第３の実施形態における計算部２０４１の構成及び動作と同様である。
【0190】
計算部２０４２の構成及び動作は、第３の実施形態における計算部２０４２の構成及び動作と同様である。
【0191】
計算部２０４３の構成及び動作は、第３の実施形態における計算部２０４３の構成及び動作と同様である。
【0192】
選択部２０７１の構成及び動作は、第３の実施形態における選択部２０７１の構成及び動作と同様である。
【0193】
選択部２０７２の構成及び動作は、第３の実施形態における選択部２０７２の構成及び動作と同様である。
【0194】
このような管理システム３０１によっても、工程エリアＳの追加リソース数ｍを適切なレベルで決定でき、それをユーザに向けて報知でき、適切なレベルでリソースＥの追加がなされるようにユーザに促すことができる。したがって、各製造ラインＰについて、ノルマｔを達成するためのリソース数が確保されるようにすることができる。
【0195】
このような管理システム３０１によっても、工程エリアＳで処理される各レシピＲＰの必要リソース数ｖを適切なレベルで決定でき、それをユーザに向けて報知でき、適切なレベルで各レシピＲＰに必要リソース数が割り当てられるようにユーザに促すことができる。
【0196】
このような管理システム３０１によっても、複数のレシピＲＰ＿１～ＲＰ＿ｒ間でスループットを均等化でき、各リソースＥをできるだけ動作させながら各リソースＥの総処理能力を効率的に複数のレシピＲＰへ配分できる。この結果、製造ラインＰにおいて、ノルマｔを達成しながらそのロバスト性を向上できる。
【0197】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0198】
１，１ａ 管理システム、２ 記憶部、３、１０３ 評価部、４，４ａ，１０４，２０４１～２０４３ 計算部、２０７１，２０７２ 選択部、５ 取得部、６ 制御部。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】