特開 2024-46044 ウェーハ収納容器洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024046044

(43)【公開日】2024-04-03

(54)【発明の名称】ウェーハ収納容器洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240327BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240327BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 648E

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022151190

(22)【出願日】2022-09-22

(71)【出願人】

【識別番号】000002428

【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001771

【氏名又は名称】弁理士法人虎ノ門知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】石原 淳司

(72)【発明者】

【氏名】宮迫 久顕

(72)【発明者】

【氏名】西部 幸伸

【テーマコード（参考）】

5F131

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA37

5F131CA12

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA06

5F131GA14

5F131GA15

5F131GA73

5F131GA83

5F131GA84

5F131GA88

5F131HA28

5F157CC21

5F157DC90

(57)【要約】

【課題】ドアの内部空間に洗浄液が入り込むことを抑制すること。
【解決手段】実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置は、一方面に、ラッチキーが挿入された状態で回転されることによりウェーハ収納容器本体とのロック／アンロックを切り替え可能なキー穴を有し、側面に前記ロック時にラッチが突出可能な突出用穴が形成されるウェーハ収納容器のドアを洗浄するウェーハ収納容器洗浄装置であって、前記ドアを保持するドア保持部と、前記ドアの他方面に対し、洗浄液を供給する洗浄液ノズルと、少なくとも前記洗浄液ノズルから前記洗浄液を前記ドアに供給しているときに、前記突出用穴からの前記洗浄液の侵入を阻害する気体の流れを生じさせる気体ノズルとを備える。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方面に、ラッチキーが挿入された状態で回転されることによりウェーハ収納容器本体とのロック／アンロックを切り替え可能なキー穴を有し、側面に前記ロック時にラッチが突出可能な突出用穴が形成されるウェーハ収納容器のドアを洗浄するウェーハ収納容器洗浄装置であって、
前記ドアを保持するドア保持部と、
前記ドアの他方面に対し、洗浄液を供給する洗浄液ノズルと、
少なくとも前記洗浄液ノズルから前記洗浄液を前記ドアに供給しているときに、前記突出用穴からの前記洗浄液の侵入を阻害する気体の流れを生じさせる気体ノズルと、
を備えることを特徴とするウェーハ収納容器洗浄装置。

【請求項2】

洗浄槽開口部、及び、前記洗浄槽開口部に連通し、前記ウェーハ収納容器本体が載置される処理空間を有する洗浄槽本体と、
前記洗浄槽開口部に対して開閉可能に設けられ、前記ドア保持部を備える開閉蓋と、
をさらに有し、
前記気体ノズルは、前記ドア保持部により前記ドアが保持された状態で、前記ドアの前記一方面側から、前記側面を含む前記開閉蓋と前記ドアとの間に形成される気体供給空間に前記気体を供給することを特徴とする請求項１に記載のウェーハ収納容器洗浄装置。

【請求項3】

前記ドア保持部に設けられ、前記ドアを覆うカバーを備え、
前記気体ノズルは、前記側面と、前記カバーの内壁面のうちの前記側面に対向する対向面との間の隙間に連通する前記気体供給空間に気体を供給する、請求項２に記載のウェーハ収納容器洗浄装置。

【請求項4】

前記気体ノズルは、前記キー穴に対して前記気体を供給する、請求項１乃至３のいずれかに記載のウェーハ収納容器洗浄装置。

【請求項5】

前記ラッチキーおよび前記キー穴は貫通孔を有し、
前記ラッチキーを前記ドアに挿入した状態で、前記気体ノズルから前記貫通孔に対して前記気体を供給する、請求項１乃至３のいずれかに記載のウェーハ収納容器洗浄装置。

【請求項6】

前記気体ノズルは、更に、前記ウェーハ収納容器の洗浄処理後に前記開閉蓋を開くときに前記気体を供給する、請求項２または３に記載のウェーハ収納容器洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、ウェーハ収納容器洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウェーハを収納（収容）するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）やＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）等のウェーハ収納容器を洗浄するウェーハ収納容器洗浄装置がある。ウェーハ収納容器は、半導体ウェーハを収納するウェーハ収納容器本体と、ウェーハ収納容器本体に対して開閉可能に設けられたドアとを備える。ドアの側面には、ウェーハ収納容器本体と連結するためのラッチが突出可能な穴が形成されている。また、ドアの内部には、ラッチが摺動可能な状態で設けられていることから、上述した穴と連通している内部空間が形成されている。ドアから突出されたラッチがウェーハ収納容器本体と係合することにより、ドアとウェーハ収納容器本体とが連結する。また、ラッチとウェーハ収納容器本体との係合が解除されることにより、ドアとウェーハ収納容器とが分離（分解）される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５－１０９５２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ウェーハ収納容器洗浄装置においては、ウェーハ収納容器本体とドアとが分離された状態でウェーハ収納容器本体及びドアに洗浄液が吐出されることにより、ウェーハ収納容器本体及びドアが洗浄される。このため、ドアの側面に形成された穴から洗浄液が内部空間に入り込んでしまい、液残りが発生してしまうことがある。

【0005】

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、ドアの内部空間に液体が入り込むことを抑制することができるウェーハ収納容器洗浄装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明の一態様に係るウェーハ収納容器洗浄装置は、一方面に、ラッチキーが挿入された状態で回転されることによりウェーハ収納容器本体とのロック／アンロックを切り替え可能なキー穴を有し、側面に前記ロック時にラッチが突出可能な突出用穴が形成されるウェーハ収納容器のドアを洗浄するウェーハ収納容器洗浄装置であって、前記ドアを保持するドア保持部と、前記ドアの他方面に対し、洗浄液を供給する洗浄液ノズルと、少なくとも前記洗浄液ノズルから前記洗浄液を前記ドアに供給しているときに、前記突出用穴からの前記洗浄液の侵入を阻害する気体の流れを生じさせる気体ノズルと、を備える。

【発明の効果】

【0007】

本発明の一態様によれば、ドアの内部空間に液体が入り込むことを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置の概略構成の一例を示す平面図である。

【図2】図２は、第１の実施形態に係るドアの模式図であり、ドアの構成の一例を示す図である。

【図3A】図３Ａは、図２のＡ－Ａ断面図（ロック時）である。

【図3B】図３Ｂは、図２のＡ－Ａ断面図（アンロック時）である。

【図4】図４は、第１の実施形態に係る洗浄槽内の構成を概略的に示す側面透視図である。

【図5】図５は、第１の実施形態に係る制御部の構成の一例を示す図である。

【図6】図６は、第１の実施形態に係る開閉蓋の構成の一例を示す図である。

【図7】図７は、第１の実施形態に係る開閉蓋の構成の一例を示す図である。

【図8】図８は、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１のＦＯＵＰの洗浄中の動作の一例について説明するための図である。

【図9】図９は、第２の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置のドア保持部がドアを保持している状態を示す図である。

【図10】図１０は、第２の実施形態において、ドア保持部から２つの蓋が外され、ドア保持部に露出した２つの穴のそれぞれに気体ノズルが挿入された状態における図９のＢ－Ｂ断面図である。

【図11】図１１は、第２の実施形態の変形例において、ドア保持部から２つの蓋が外され、ドア保持部に露出した２つの穴のそれぞれに気体ノズルが挿入された状態における図９のＢ－Ｂ断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照して、本願の開示するウェーハ収納容器洗浄装置の実施形態を詳細に説明する。なお、本願の開示するウェーハ収納容器洗浄装置は、以下の実施形態により限定されるものではない。また、各実施形態及び各変形例は、矛盾が生じない範囲で適宜組み合わせることができる。なお、以下の実施形態では、洗浄対象のウェーハ収納容器が、ＦＯＵＰである場合を挙げて説明するが、洗浄対象のウェーハ収納容器はこれに限られない。例えば、洗浄対象のウェーハ収納容器は、ＦＯＳＢであってもよい。

【0010】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１の概略構成の一例を示す平面図である。ウェーハ収納容器洗浄装置１は、例えば、半導体ウェーハを製造する工場内に設けられ、ウェーハ収納容器を洗浄する。図１に示すように、ウェーハ収納容器洗浄装置１は、ロードポート２、ロボット３、分解／連結ステージ４、洗浄槽５、真空槽６、アンロードポート７及び制御部８を備える。

【0011】

ロボット３、分解／連結ステージ４、洗浄槽５、真空槽６及び制御部８は、ウェーハ収納容器洗浄装置１のケーシング１ａの内部に設けられている。一方、ロードポート２及びアンロードポート７は、ウェーハ収納容器洗浄装置１のケーシング１ａの内部及び外部に跨って設けられている。

【0012】

ロードポート２は、ロードポート２のケーシング１ａの外部の部分に載置された、洗浄対象となるＦＯＵＰ２０をケーシング１ａの内部に搬入する。ＦＯＵＰ２０は、ＦＯＵＰ本体（シェル）２０ａとドア（蓋）２０ｂとを備える。ＦＯＵＰ本体２０ａは、開口部（ＦＯＵＰ本体開口部）と、半導体ウェーハを収納する収納空間とを有する。収納空間は、ＦＯＵＰ本体開口部よりも内側に存在し、ＦＯＵＰ本体開口部に連通する。ＦＯＵＰ本体２０ａは、ウェーハ収納容器本体の一例であり、ＦＯＵＰ本体開口部は、容器開口部の一例である。ドア２０ｂは、ＦＯＵＰ本体２０ａと分解／連結が可能であり、ＦＯＵＰ本体２０ａと連結した際にはＦＯＵＰ本体開口部に対して開閉可能な状態で装着される。また、ＦＯＵＰ本体２０ａにはフランジ２０ｃが設けられている。フランジ２０ｃは、ＦＯＵＰ２０がＯＨＴ（Overhead Hoist Transport ）やロボット３等により搬送される際に把持（保持）される部分である。

【0013】

例えば、ロードポート２のケーシング１ａの外部の部分には、ＯＨＴによりフランジ２０ｃが把持された状態で搬送されたＦＯＵＰ２０が載置される。例えば、図１に示すように、ＦＯＵＰ２０のドア２０ｂが、ケーシング１ａに対向するように、ＦＯＵＰ２０が載置される。このようにしてロードポート２にＦＯＵＰ２０が載置されると、ケーシング１ａの開口部１ｂに設けられたシャッター２ａが上昇する。これにより、開口部１ｂからＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの内部に搬入可能な状態となる。すなわち、ＦＯＵＰ２０がウェーハ収納容器洗浄装置１の内部に搬入可能な状態となる。そして、ロードポート２のスライド装置によりＦＯＵＰ２０が、矢印２ｂの方向にスライドされる。これにより、ＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの内部に搬入される。スライド装置によるスライドについて説明する。例えば、スライド装置に備えられたピンが、ＦＯＵＰ２０の底部（載置面）に設けられた孔部に挿入されることによりＦＯＵＰ２０の載置面がスライド装置に固定される。この状態で、スライド装置が矢印２ｂの方向へスライドされることによりＦＯＵＰ２０も伴ってスライドされる。これにより、ＦＯＵＰ２０は、ロードポート２のケーシング１ａの内部の所定の部分上に載置された状態となる。このようにしてＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの内部に搬入されると、シャッター２ａが下降して、ケーシング１ａの開口部１ｂが閉じられる。スライド装置はピンとともにシャッター２ａの下端（ＦＯＵＰ２０の載置面）よりも低い位置まで降下し、ケーシング１ａの外部の元の位置へ戻る。

【0014】

ロボット３は、ＦＯＵＰ２０のフランジ２０ｃを把持した状態でＦＯＵＰ２０を各部へ搬送する。ロボット３は、ロボットアーム３ａ及びロボットハンド３ｂを備えている。ロボット３は、ロボットハンド３ｂにフランジ２０ｃを把持させた状態で、ロボットアーム３ａを伸縮させたり回転移動させたりすることで、ＦＯＵＰ２０を各部へ搬送する。

【0015】

分解／連結ステージ４は、ＦＯＵＰ２０をＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとに分解したり、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを連結したりする。分解／連結ステージ４上にはラッチキー４ａが設けられている。このラッチキー４ａがＦＯＵＰ２０のドア２０ｂに形成されたキー穴に挿入された状態で回転することで、ＦＯＵＰ２０がＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとに分解（分離）されたり、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとが連結されたりする。例えば、分解／連結ステージ４には、ケーシング１ａの内部に搬入されたＦＯＵＰ２０がロボット３により搬送される。この場合、分解／連結ステージ４は、ＦＯＵＰ２０をＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとに分解する。なお、分解は、アンロックと言い換えることができ、連結は、ロックと言い換えることができる。

【0016】

図２は、第１の実施形態に係るドア２０ｂの模式図であり、ドア２０ｂの構成の一例を示す図である。図３Ａ及び図３Ｂは、図２のＡ－Ａ断面図である。図３Ａはロック時、図３Ｂはアンロック時を表す。図２、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、ドア２０ｂの外面２０ｄには、キー穴２０ｅが所定間隔で２つ形成されている。すなわち、外面２０ｄには、ラッチキー４ａが挿入された状態で回転されることによりＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂのロック／アンロックを切り替え可能なキー穴２０ｅが形成されている。また、ドア２０ｂの側面２０ｆには、後述するラッチ２０ｉが突出可能な穴（突出用穴）２０ｇが形成されている。ドア２０ｂの外面２０ｄとは反対側の面（内面）２０ｍには、穴が形成されていない。したがって、内面２０ｍには、ドア２０ｂの内部空間に連通するための開口が存在しない。なお、２つのキー穴２０ｅの形成される位置は、規格により定められている。

【0017】

また、ドア２０ｂの内部には、キーシリンダ２０ｈ、ラッチ２０ｉ及び連結部２０ｔを備えるラッチ機構２０ｊが設けられる空間（ラッチ摺動空間）２０ｋが形成されている。ラッチ摺動空間２０ｋは、ドア２０ｂの内部空間である。ラッチ摺動空間２０ｋは、キー穴２０ｅ及び突出用穴２０ｇに連通している。キーシリンダ２０ｈは、キー穴２０ｅに対応する位置に設けられる。具体的には、キー穴２０ｅを介してラッチキー４ａがキーシリンダ２０ｈに挿入可能なように、ドア２０ｂのラッチ摺動空間２０ｋ内に、キーシリンダ２０ｈが設けられている。

【0018】

キーシリンダ２０ｈに挿入されたラッチキー４ａが所定の方向に回転することで、キーシリンダ２０ｈが回転し、キーシリンダ２０ｈに連結された連結部２０ｔがラッチ２０ｉを押し出し、ラッチ機構２０ｊの突出用穴２０ｇから矢印２０ｌの方向にラッチ２０ｉが突出する（図３Ａ参照）。このようにして、突出されたラッチ２０ｉがＦＯＵＰ本体２０ａと係合することで、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとが連結され、ロックされる。ＦＯＵＰ本体２０ａの開口部端部には、凹部が設けられており、図３Ａに示す突出用穴２０ｇから突出したラッチ２０ｉは当該凹部に挿入される。このように、ラッチ２０ｉは、ＦＯＵＰ本体２０ａと連結するための部材である。また、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとが連結された状態で、キーシリンダ２０ｈに挿入されたラッチキー４ａがロック時と逆の方向に回転して元の位置に戻ることで、ラッチ２０ｉを押し出していた連結部２０ｔも元の位置に戻り、凹部に挿入されていたラッチ２０ｉがドア２０ｂのラッチ摺動空間２０ｋ内に引っ込む（図３Ｂ参照）。これにより、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとが分解され、アンロックされる。すなわち、ドア２０ｂの内部には、キー穴２０ｅを介してラッチキー４ａが挿入された状態で回転されることにより、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂのロック／アンロックを切り替え可能なラッチ機構２０ｊが設けられている。

【0019】

洗浄槽５は、ＦＯＵＰ２０を洗浄する槽である。図４は、第１の実施形態に係る洗浄槽５内の構成を概略的に示す側面透視図である。例えば、洗浄槽５は、図４に示すように、洗浄槽本体５０と、開閉蓋（蓋部）５ａとを備える。洗浄槽本体５０は、上方に開口部（洗浄槽開口部）を有するとともに、ＦＯＵＰ本体２０ａを載置する処理空間とを有する。この処理空間は、洗浄槽開口部よりも内側に存在し、洗浄槽開口部に連通する。この洗浄槽開口部からＦＯＵＰ本体２０ａが洗浄槽本体５０の処理空間に搬入される。そして、洗浄槽本体５０の処理空間には、搬入されたＦＯＵＰ本体２０ａを保持するＦＯＵＰ本体保持部が設けられている。このように、ＦＯＵＰ本体保持部がＦＯＵＰ本体２０ａを保持することにより、洗浄槽本体５０の処理空間にＦＯＵＰ本体２０ａが収納される。また、開閉蓋５ａは、洗浄槽本体５０の上方に設けられている。具体的には、洗浄槽本体５０の洗浄槽開口部に対して開閉可能に設けられている。開閉蓋５ａは、エアシリンダが動作することにより洗浄槽本体５０の洗浄槽開口部に対して開閉する。開閉蓋５ａの内側にはドア２０ｂを保持することが可能なドア保持部５ｅが設けられている。開閉蓋５ａの構成については後述する。

【0020】

また、洗浄槽本体５０の内部には、ＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂを洗浄処理する際に用いられる洗浄液（液体）が供給される洗浄液ノズル５２が設けられる。また、洗浄槽本体５０の内部には、ＦＯＵＰ本体保持部により保持されたＦＯＵＰ本体２０ａを回転させる回転部５３が設けられる。さらに、洗浄槽本体５０の開閉蓋５ａにはドア保持部５ｅにより保持されたドア２０ｂを回転させる回転部５ｒ（図７参照）が設けられている。回転部５３、回転部５ｒにより回転されるＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂに、洗浄液ノズル５２から洗浄液が噴射されることによって、ＦＯＵＰ２０に対して洗浄処理が行われる。具体的には、ドア保持部５ｅによりドア２０ｂが保持されるとともに、洗浄槽本体５０の洗浄槽開口部に対して開閉蓋が閉じられた状態で、洗浄液ノズル５２は、ＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂの内側の面（内面）（図２、図３Ａ及び図３Ｂ参照）２０ｍに対して洗浄液を吐出する。吐出される洗浄液の温度は、例えば、６０度～９０度程度に設定され、比較的高温である。

【0021】

また、洗浄槽本体５０の内部には、気体を噴射するエアブローノズル（不図示）が設けられており、液体による洗浄処理の後、エアブローノズルからの気体がＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂに噴射されることにより、ＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂが乾燥される。なお、エアブローノズルからの気体による乾燥処理時においても、ＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂは回転部５３、回転部５ｒにより回転される。また、エアブローノズルから気体を噴射することなく、回転部５３、５ｒによる回転によってＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂに付着した液体の乾燥を行うようにしても良い。エアブローノズルから噴射される気体の温度は、例えば９０度～１２０度程度に設定される。

【0022】

本実施形態では、洗浄槽５においてＦＯＵＰ２０の洗浄が行われる際、ロボット３は、分解／連結ステージ４上のＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを別々に洗浄槽５に搬送する。例えば、ロボット３は、ＦＯＵＰ本体２０ａの開口部が下方に向けられた状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａを洗浄槽本体５０の洗浄槽開口部から洗浄槽本体５０の内部に搬送する。そして、ＦＯＵＰ本体保持部は、ＦＯＵＰ本体２０ａの開口部が下方に向けられた状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａを保持する。また、ロボット３は、ドア２０ｂの外面２０ｄが開閉蓋のドア保持部５ｅにより保持されるように、ドア２０ｂをドア保持部５ｅに搬送する。開閉蓋が閉じられると、ドア２０ｂの内側の面（内面）（図２及び図３Ａ及び図３Ｂ参照）２０ｍが下方を向くようになる。そして、洗浄液ノズル５２は、ドア２０ｂの内面２０ｍに液体を吐出する。

【0023】

なお、洗浄槽５においてＦＯＵＰ２０の洗浄が完了した場合、ロボット３は、洗浄槽５内のＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを別々に真空槽６に搬送する。

【0024】

真空槽６は、ＦＯＵＰ２０を真空乾燥する槽である。真空槽６の内部には、真空槽６の内部に搬送されたＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂを保持する保持部、ハロゲンランプ、及び、真空槽６の内部を真空引きすることができるターボポンプを備える。真空槽６は、保持部によりＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂが保持された状態で、真空槽６の内部をターボポンプにより真空引きしながらハロゲンランプで加温することで、ＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂを真空乾燥する。

【0025】

なお、真空槽６においてＦＯＵＰ２０の真空乾燥が完了すると、ロボット３は、真空槽６内のＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを別々に分解／連結ステージ４上に搬送する。そして、分解／連結ステージ４は、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを連結する。

【0026】

アンロードポート７は、アンロードポート７のケーシング１ａの内部の部分にロボット３により載置された洗浄済みであり真空乾燥済みであるＦＯＵＰ２０をケーシング１ａの外部に搬出する。

【0027】

例えば、アンロードポート７のケーシング１ａの内部の部分には、真空乾燥後に、分解／連結ステージ４おいてＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとが連結されたＦＯＵＰ２０がロボット３により搬送されて載置される。このようにしてアンロードポート７にＦＯＵＰ２０が載置されると、ケーシング１ａの開口部１ｃに設けられたシャッター７ａが上昇する。これにより、開口部１ｃからＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの外部に搬出可能な状態となる。すなわち、ＦＯＵＰ２０がウェーハ収納容器洗浄装置１の外部に搬出可能な状態となる。そして、アンロードポート７のスライド装置（ロードポート２のスライド装置と同様の機構を有する）によりＦＯＵＰ２０が、矢印７ｂの方向にスライドされることにより、ＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの外部に搬出される。このようにしてＦＯＵＰ２０がケーシング１ａの外部に搬出されると、シャッター７ａが下降して、ケーシング１ａの開口部１ｃが閉じられる。

【0028】

制御部８は、ウェーハ収納容器洗浄装置１全体の動作を制御する。例えば、制御部８は、ロードポート２、ロボット３、分解／連結ステージ４、洗浄槽５、真空槽６及びアンロードポート７を制御することにより、上述したように、ロードポート２、ロボット３、分解／連結ステージ４、洗浄槽５、真空槽６及びアンロードポート７を動作させる。

【0029】

図５は、第１の実施形態に係る制御部８の構成の一例を示す図である。図５に示すように、制御部８は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）８ａと、ＲＯＭ（Read Only Memory）８ｂと、ＲＡＭ（Random Access Memory）８ｃと、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）８ｄと、通信インタフェース８ｅと、を備える。これらは、内部バスを介して接続されている。

【0030】

ＣＰＵ８ａは、ＲＡＭ８ｃの記憶領域を各種の処理に用いられるデータの一時的な保存領域として用いながら、各種の処理を実行する。ＣＰＵ８ａにより実行される処理については後述する。ＲＯＭ８ｂ及びＨＤＤ８ｄには各種の処理を実行するためのプログラムや、各種の処理を実行する際に用いられる各種のデータベースや各種のテーブル等が記憶されている。

【0031】

通信インタフェース８ｅは、ウェーハ収納容器洗浄装置１の上述した各部と通信を行うとともに、ウェーハ収納容器洗浄装置１とネットワークを介して接続された外部の装置と通信を行うためのインタフェースである。例えば、通信インタフェース８ｅは、ネットワークインタフェースカードである。

【0032】

次に、洗浄槽５の開閉蓋の構成について説明する。図６及び図７は、第１の実施形態に係る開閉蓋５ａの構成の一例を示す図である。図６には、開閉蓋５ａが備えるドア保持部５ｅによりドア２０ｂが保持された状態が示されている。図６に示すように、ドア保持部５ｅには、ドア２０ｂの外側を覆うカバー５ｂが取り付けられている。カバー５ｂは、回転部５ｒによってドア保持部５ｅとともに回転可能に設けられている。回転時に、カバー５ｂの外側に位置する開閉蓋５ａや洗浄槽本体５０の壁面と干渉することがないよう、これらとカバー５ｂとの間には隙間が形成されている。カバー５ｂは、中空の円筒形状の部材である。カバー５ｂには、図６における紙面手前側の底面を一部切り欠くように開口部５ｃが形成され、この開口部５ｃにドア２０ｂの被洗浄面である内面２０ｍが露出した状態で保持される。そのため開口部５ｃはドア２０ｂの形状に合うように形成され、ロボット３によりドア２０ｂが把持される際に必要なスペースを確保するための切り欠き５ｄが形成されている。なお、カバー５ｂの下端（開閉蓋５ａが閉まっているときの洗浄槽本体５０側の端部）は、開閉蓋５ａの下端（開閉蓋５ａが閉まっているときの洗浄槽本体５０側の端部）よりも下方に突出している。これにより、開閉蓋５ａを開いたときに開閉蓋５ａに付着している洗浄液が重力にしたがって流れてドア２０ｂに付着することを防止できる。

【0033】

図７には、開閉蓋５ａ側から見たカバー５ｂおよびドア保持部５ｅを示した図であり、開閉蓋５ａを省略して示されたものである。なお、図７では、ドア保持部５ｅによりドア２０ｂが保持されていない状態が示されている。ドア保持部５ｅは、開閉蓋５ａの内面５ｆ（図６参照）に設けられている。図７に示すように、ドア保持部５ｅは、ドア２０ｂを真空吸着するための２つの吸着パッド５ｇを備える。これらの吸着パッド５ｇにより、ドア２０ｂの外面２０ｄが真空吸着されることにより、ドア保持部５ｅによりドア２０ｂが保持される。

【0034】

また、ドア保持部５ｅは、４つのパッド５ｈ，５ｉ，５ｊ，５ｋを備える。これらのうち、２つのパッド５ｉ，５ｊには、位置決め用のピンが形成されている。位置決め用のピンが、ドア２０ｂの外面２０ｄに形成された位置決め用の穴に係合することで、ドア保持部５ｅに対してドア２０ｂが位置決めされる。前述の吸着パッド５ｇも、これらの４つのパッド５ｈ，５ｉ，５ｊ，５ｋと同じものであり、図示しない吸引源によって吸着力が付与される吸着孔を有する点のみ異なる。

【0035】

また、図７に示すように、カバー５ｂには、複数の穴（パージ穴）５ｌが円周状に形成されている。複数の穴５ｌを介して、気体（例えば、Ｎ_２等）が気体ノズル５ｎ（図８参照）より供給される。

【0036】

また、開閉蓋５ａのドア保持部５ｅに対向する位置に分散板５ｍが設けられている。分散板５ｍは、例えば、Ｌ字状に折り曲げられた板状の部材である。分散板５ｍに気体ノズル５ｎから供給された気体が当たることで、気体の流れる方向が分散板５ｍにより分散される。

【0037】

次に、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１のＦＯＵＰ２０の洗浄中の動作について説明する。図８は、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１のＦＯＵＰ２０の洗浄中（洗浄処理中）の動作の一例について説明するための図である。なお、図８は、開閉蓋５ａ、ドア保持部５ｅ、カバー５ｂ、気体ノズル５ｎ、ドア２０ｂ等の模式図である。

【0038】

図８に示すように、開閉蓋５ａに気体ノズル５ｎが設けられ、気体ノズル５ｎと開閉蓋５ａとの間がパッキン等で密閉されている。そして、洗浄槽５が、開閉蓋５ａを閉じた状態で、ＦＯＵＰ本体２０ａ及びドア２０ｂのそれぞれを洗浄している間、気体ノズル５ｎは、穴５ｌに気体を供給する。この結果、気体ノズル５ｎにより供給された気体は破線の矢印５ｐの方向に流れる。

【0039】

すなわち、気体ノズル５ｎは、ドア保持部５ｅとドア２０ｂの外面２０ｄとの間に形成されるわずかな空間２０ｎに気体を供給する。気体ノズル５ｎからの気体は、空間２０ｎに連通する隙間２０ｐにも供給される。この隙間２０ｐは、ドア２０ｂの側面２０ｆと、カバー５ｂの内壁面の側面２０ｆに対向する面（対向面）５ｘとの間の隙間である。また、隙間２０ｐは、洗浄槽本体５０の処理空間とも連通している。空間２０ｎと、隙間２０ｐは、それぞれ気体供給空間の一例である。

【0040】

これにより、空間２０ｎ及び隙間２０ｐは、気体ノズル５ｎにより供給された気体によって陽圧に保たれる。また、ドア２０ｂの突出用穴２０ｇの周辺の隙間２０ｐには、洗浄槽本体５０に向かう方向のガス流が形成される。したがって、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１によれば、洗浄液がドア２０ｂの側面２０ｆ及び外面２０ｄに付着することを抑制することができるとともに、ドア２０ｂのラッチ摺動空間２０ｋ内に入り込むことを抑制することができる。つまり、気体ノズル５ｎからの気体の流れにより、洗浄液ノズル５２からの洗浄液が突出用穴２０ｇから侵入することを阻害することができる。また、カバー５ｂを有することにより、気体供給空間である空間２０ｎ、隙間２０ｐを作りだすことができ（気体を供給すべき空間をできる限り狭くすることができ）、これによって効率的に、洗浄液の突出用穴２０ｇからの侵入を阻害することができる。カバー５ｂの下端（開閉蓋５ａが閉まっているときの洗浄槽本体５０側の端部）は、図８に示すように洗浄槽５の内側に向かって延びる延伸部分を有していることが望ましい。これにより、気体ノズル５ｎからの気体が隙間２０ｐから排出される箇所を狭くすることができるため、気体の流速を速めることができ、カバー５ｂの下端より上方において、より好適に陽圧状態を保つことができる。

【0041】

なお、前述したとおりドア２０ｂは回転部５ｒによって回転されながら洗浄処理を行うため、特定の箇所のみに気体ノズル５ｎからの気体が供給されて洗浄処理にムラが生じることもない。また、ドア２０ｂの回転によって、空間２０ｎ、隙間２０ｐの全体に気体ノズル５ｎからの気体が供給されることにより、ドア２０ｂの側面２０ｆや外面２０ｄにまで洗浄液が付着することを防止できる。

【0042】

また、第１の実施形態では、洗浄槽５がＦＯＵＰ２０を洗浄した後に、真空槽６がＦＯＵＰ２０に対して真空乾燥を行う。ここで、仮に、洗浄槽５の洗浄後に、ドア２０ｂの側面２０ｆ及び外面２０ｄに洗浄液が付着していたり、ラッチ摺動空間２０ｋ内に洗浄液が入り込んでいたりする場合には、これらの洗浄液の存在により、真空槽６において目標圧力まで低下させるために要する時間が長くなってしまう。しかしながら、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１によれば、洗浄液がドア２０ｂの側面２０ｆ及び外面２０ｄに付着することを抑制したり、ドア２０ｂのラッチ摺動空間２０ｋ内に入り込むことを抑制したりするので、真空槽６において目標圧力まで低下させるために要する時間が長くなることを抑制することができる。

【0043】

また、開閉蓋５ａに分散板５ｍを設けることにより、気体が空間２０ｎ及び隙間２０ｐの空間全体にいきわたりやすくなり、より好適に陽圧状態を保つことができる。

【0044】

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１について説明する。第２の実施形態では、気体ノズル５ｎがドア２０ｂの内部に気体を供給する点が、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１と異なる。

【0045】

図９は、第２の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１のドア保持部５ｅがドア２０ｂを保持している状態を示す図であり、カバー５ｂや開閉蓋５ａ等を省略して示したものである。

【0046】

第１の実施形態では、図７に示すドア保持部５ｅが備える２つのパッド５ｈ，５ｋのそれぞれに対向するドア２０ｂの外面２０ｄの位置にキー穴２０ｅが形成されている。第２の実施形態では、ドア保持部５ｅから２つのパッド５ｈ，５ｋが外され、これにより、図９に示すように、ドア保持部５ｅに露出した２つの穴のそれぞれに気体ノズル５ｎが挿入される。気体ノズル５ｎは、開閉蓋５ａの外部に設けられる気体供給源からの気体を供給する気体供給管に接続されている。この気体供給管の一端は気体ノズル５ｎに接続され、他端はロータリージョイントを介して外部の気体供給源に接続されている。

【0047】

図１０は、第２の実施形態において、ドア保持部５ｅから２つのパッド５ｈ，５ｋが外され、ドア保持部５ｅに露出した２つの穴のそれぞれに気体ノズル５ｎが挿入された状態における図９のＢ－Ｂ断面図である。図１０は、ドア保持部５ｅ、気体ノズル５ｎ、ドア２０ｂ等の模式図である。

【0048】

図１０に示すように、気体ノズル５ｎは、キー穴２０ｅに対向する位置に設けられ、キー穴２０ｅに気体を供給する。これにより、気体ノズル５ｎにより供給された気体は破線の矢印５ｓの方向に流れる。

【0049】

すなわち、キー穴２０ｅに供給された気体は、ラッチ摺動空間２０ｋを経由して、突出用穴２０ｇから隙間２０ｐ（図８参照）に供給される。この結果、第２の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１は、第１の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１と同様の効果を得ることできる。さらに、ラッチ摺動空間２０ｋに直接気体が供給されることから、第１の実施形態よりもさらにラッチ摺動空間２０ｋに洗浄液が入り込むことを抑制することができる。また、ＦＯＵＰ２０の洗浄中は、ドア２０ｂは回転しているため、キー穴２０ｅに供給された気体が突出用穴２０ｇからカバー５ｂとドア２０ｂとの間の空間に供給されることになる。これによって、気体ノズル５ｎにより供給された気体が旋回流を形成し、ドア２０ｂの内面２０ｍよりも上の領域に対して洗浄液が入り込みにくくなる。

【0050】

なお、本実施形態においては、キー穴２０ｅに対して気体ノズル５ｎからの気体を供給することを例示したが、同様に、第１の実施形態においてキー穴２０ｅに対しても気体ノズル５ｎをさらに設け、ドア２０ｂの突出用穴２０ｇおよびドア２０ｂの外面２０ｄ側への洗浄液の入り込みをより確実に防止するようにしても良い。

【0051】

（第２の実施形態の変形例）
次に、第２の実施形態の変形例に係るウェーハ収納容器洗浄装置１について説明する。第２の実施形態の変形例では、気体ノズル５ｎがラッチキー５ｎ１に形成された貫通孔５ｎ２に気体を供給することによりドア２０ｂの内部に気体を供給する点が、第２の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１と異なる。ラッチキー５ｎ１は、分解／連結ステージ４に設けられるラッチキー４ａと同様の構造を有するラッチキーであり、本変形例においては当該ラッチキー５ｎ１がドア２０ｂのキーシリンダ２０ｈに挿入された状態でドア保持部５ｅに保持される。ラッチキー５ｎ１は、予めドア保持部５ｅに取り付けられていても良いし、洗浄槽５に搬送される際に取り付けられても良い。予めドア保持部５ｅに取り付けられている場合には、吸着パッド５ｇに代えてラッチキー５ｎ１によりドア２０ｂをドア保持部５ｅに保持するようにしても良い。

【0052】

図１１は、第２の実施形態の変形例において、ドア保持部５ｅから２つのパッド５ｈ，５ｋが外され、ドア保持部５ｅに露出した２つの穴のそれぞれに気体ノズル５ｎが挿入された状態における図９のＢ－Ｂ断面図である。ただし、図１１は、図１０と同様に、ドア保持部５ｅ、気体ノズル５ｎ、ドア２０ｂ等の模式図である。

【0053】

図１１に示すように、第２の実施形態の変形例では、キーシリンダ２０ｈにラッチキー５ｎ１が挿入された状態で、ドア２０ｂが洗浄される。そして、ラッチキー５ｎ１には、貫通孔５ｎ２が形成されている。また、キーシリンダ２０ｈにも、貫通孔２０ｓ（ラッチ機構穴）が形成されている。貫通孔２０ｓは、ラッチ摺動空間２０ｋに連通する。また、キーシリンダ２０ｈにラッチキー５ｎ１が挿入された状態では、図１１に示すように、貫通孔２０ｓは、貫通孔５ｎ２に連通する。気体ノズル５ｎは、ラッチキー５ｎ１の貫通孔５ｎ２に対向する位置に設けられ、貫通孔５ｎ２に気体を供給する。これにより、気体ノズル５ｎにより供給された気体は破線の矢印５ｔの方向に流れる。

【0054】

すなわち、ラッチキー５ｎ１に形成された貫通孔５ｎ２に供給された気体は、キーシリンダ２０ｈの貫通孔２０ｓ及びラッチ摺動空間２０ｋを経由して、突出用穴２０ｇから隙間２０ｐ（図８参照）に供給される。また、ＦＯＵＰ２０の洗浄中は、ドア２０ｂは回転しているため、第２の実施形態と同様に、キー穴２０ｅに供給された気体が旋回流のようになる。この結果、第２の実施形態の変形例に係るウェーハ収納容器洗浄装置１は、第２の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１と同様の効果を得ることできる。さらに、ラッチ摺動空間２０ｋに直接気体が供給されることから、第１の実施形態よりもさらにラッチ摺動空間２０ｋに洗浄液が入り込むことを抑制することができる。

【0055】

（その他の変形例）
上述した各種の実施形態又は変形例では、ＦＯＵＰ２０の洗浄中に気体ノズル５ｎが気体を供給する場合について説明した。しかしながら、上述した各種の実施形態又は変形例において、洗浄中のみならず、洗浄が完了し、洗浄槽５のドア保持部５ｅからドア２０ｂを取り外す作業を行っている最中も、気体ノズル５ｎは気体を供給してもよい。

【0056】

洗浄槽５内は、比較的高温の洗浄液を用いていたことにより高温となっているところに、洗浄槽５の開閉蓋５ａが開けられると、洗浄槽５内の温度が下がる。これにより、ミスト状の洗浄液が液化し、ドア２０ｂの側面２０ｆに形成された突出用穴２０ｇやドア２０ｂの外面２０ｄへ、液化された洗浄液が流れ込みやすくなる。

【0057】

ドア２０ｂを取り外す作業を行っている際（少なくとも開閉蓋５ａを開けるとき）に、気体ノズル５ｎが気体を供給することで、突出用穴２０ｇやドア２０ｂの外面２０ｄへ、液化された洗浄液が流れ込むことを抑制することができる。また、突出用穴２０ｇからミスト状の洗浄液が入り込むこと自体を防止することができる。さらに気体ノズル５ｎから気体を供給することで、カバー５ｂにも気体が吹きかけられるため、洗浄処理後のカバー５ｂに洗浄液が付着している場合にも突出用穴２０ｇやドア２０ｂの外面２０ｄに洗浄液が付着するのを防止することができる。

【0058】

また、ＦＯＵＰ２０の洗浄中から、開閉蓋５ａを開けてドア２０ｂを取り外す作業を行うまでの間、継続して、気体ノズル５ｎは気体を供給してもよい。

【0059】

なお、上述した各種の実施形態又は変形例では、ＦＯＵＰ本体２０ａとドア２０ｂとを同じ洗浄槽で洗浄、乾燥処理することを例示したが、これに限らず、それぞれ別のタイミングで洗浄するようにしても良い。ドア２０ｂ専用の洗浄槽を設けるようにしても良い。

【0060】

なお、上述した各種の実施形態又は変形例では、洗浄液ノズル５２とエアブローノズルをそれぞれ有する洗浄槽５を例示したが、これに限らず、同じノズルの供給元を切り替えて洗浄液と気体とを供給するようにしても良い。

【0061】

なお、上述した各種の実施形態又は変形例では、カバー５ｂに複数の穴５ｌが備えられることを例示したが、これに限らず、ドア保持部５ｅとカバー５ｂとが連結され、かつ、気体ノズル５ｎからの気体がカバー５ｂの上側から下側に通過し、この気体が空間２０ｎおよび隙間２０ｐに及ぶような構造になっていれば良い。例えば、カバー５ｂの、ドア保持部５ｅとの連結部分が、ドア保持部５ｅの外周面全域に亘って設けられる面である必要はなく、ドア保持部５ｅの四隅にのみカバー５ｂの一部分が連結しているような形でも良い。この場合、カバー５ｂの開閉蓋５ａ側の面は、４本の梁が設けられるような形になる。連結している部分は４箇所である必要はなく、ドア保持部５ｅとカバー５ｂとが連結していれば良く、２箇所でも３箇所であっても良い。

【符号の説明】

【0062】

１ ウェーハ収納容器洗浄装置
５ 洗浄槽
５ａ 開閉蓋
５ｎ 気体ノズル

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【手続補正書】

【提出日】2023-07-13

【手続補正1】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0019】

洗浄槽５は、ＦＯＵＰ２０を洗浄する槽である。図４は、第１の実施形態に係る洗浄槽５内の構成を概略的に示す側面透視図である。例えば、洗浄槽５は、図４に示すように、洗浄槽本体５０と、開閉蓋（蓋部）５ａとを備える。洗浄槽本体５０は、上方に開口部（洗浄槽開口部）を有するとともに、ＦＯＵＰ本体２０ａを載置する処理空間とを有する。この処理空間は、洗浄槽開口部よりも内側に存在し、洗浄槽開口部に連通する。この洗浄槽開口部からＦＯＵＰ本体２０ａが洗浄槽本体５０の処理空間に搬入される。そして、洗浄槽本体５０の処理空間には、搬入されたＦＯＵＰ本体２０ａを保持するＦＯＵＰ本体保持部が設けられている。このように、ＦＯＵＰ本体保持部がＦＯＵＰ本体２０ａを保持することにより、洗浄槽本体５０の処理空間にＦＯＵＰ本体２０ａが収納される。また、開閉蓋５ａは、洗浄槽本体５０の上方に設けられている。具体的には、洗浄槽本体５０の洗浄槽開口部に対して開閉可能に設けられている。開閉蓋５ａは、エアシリンダが動作することにより洗浄槽本体５０の洗浄槽開口部に対して開閉する。開閉蓋５ａの内側にはドア２０ｂを保持することが可能なドア保持部５ｅ（図７参照）が設けられている。開閉蓋５ａの構成については後述する。

【手続補正2】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0039】

すなわち、気体ノズル５ｎは、ドア保持部５ｅとドア２０ｂの外面２０ｄとの間に形成されるわずかな空間２０ｎに気体を供給する。気体ノズル５ｎからの気体は、空間２０ｎに連通する隙間２０ｐにも供給される。この隙間２０ｐは、ドア２０ｂの側面２０ｆと、カバー５ｂの内壁面の、側面２０ｆに対向する面（対向面）５ｘとの間の隙間である。また、隙間２０ｐは、洗浄槽本体５０の処理空間とも連通している。空間２０ｎと、隙間２０ｐは、それぞれ気体供給空間の一例である。

【手続補正3】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0051】

（第２の実施形態の変形例）
次に、第２の実施形態の変形例に係るウェーハ収納容器洗浄装置１について図１１を用いて説明する。第２の実施形態の変形例では、気体ノズル５ｎがラッチキー５ｎ１に形成された貫通孔５ｎ２に気体を供給することによりドア２０ｂの内部に気体を供給する点が、第２の実施形態に係るウェーハ収納容器洗浄装置１と異なる。ラッチキー５ｎ１は、分解／連結ステージ４に設けられるラッチキー４ａと同様の構造を有するラッチキーであり、本変形例においては当該ラッチキー５ｎ１がドア２０ｂのキーシリンダ２０ｈに挿入された状態でドア保持部５ｅに保持される。ラッチキー５ｎ１は、予めドア保持部５ｅに取り付けられていても良いし、洗浄槽５に搬送される際に取り付けられても良い。予めドア保持部５ｅに取り付けられている場合には、吸着パッド５ｇに代えてラッチキー５ｎ１によりドア２０ｂをドア保持部５ｅに保持するようにしても良い。