特開 2024-46400 梱包容器および梱包方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024046400

(43)【公開日】2024-04-03

(54)【発明の名称】梱包容器および梱包方法

(51)【国際特許分類】

   B65D 85/68 20060101AFI20240327BHJP

   B65D 81/05 20060101ALI20240327BHJP

【ＦＩ】

B65D85/68 Z

B65D81/05 100

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022151771

(22)【出願日】2022-09-22

(71)【出願人】

【識別番号】503237806

【氏名又は名称】株式会社ＮＨＶコーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】山下 将卓

【テーマコード（参考）】

3E037

3E066

【Ｆターム（参考）】

3E037AA20

3E037BA01

3E037BB03

3E037BB06

3E037BC10

3E066AA66

3E066CA11

3E066CA12

3E066HA01

3E066JA01

3E066MA09

3E066NA21

3E066NA60

(57)【要約】      （修正有）

【課題】搬送対象の装置への振動および衝撃の低減および真空チャンバの真空度の悪化を低減する梱包容器及び梱包方法を提供する。
【解決手段】梱包容器１は、内部の圧力を大気圧未満に維持でき、真空チャンバ３１を備える装置３を収容し得る第１容器２と、装置を第１容器の内部かつ内壁から離れた位置に固定する固定構造４と、を備える。第１容器は、内部の圧力を１００Ｐａ以下に維持できる、梱包容器。固定構造は、装置を支持する第１固定部材４１と、第１固定部材と第１容器との間に設けられる第２固定部材４２と、を備えている、梱包容器。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部の圧力を大気圧未満に維持でき、真空チャンバを備える装置を収容し得る第１容器と、
前記装置を、前記第１容器の内部かつ内壁から離れた位置に固定する固定構造と、を備えた梱包容器。

【請求項2】

前記第１容器は、内部の圧力を１００Ｐａ以下に維持できる、請求項１に記載の梱包容器。

【請求項3】

前記固定構造は、
前記装置を支持する第１固定部材と、
前記第１固定部材と前記第１容器との間に設けられる第２固定部材と、を備えている、請求項１または２に記載の梱包容器。

【請求項4】

前記第２固定部材は、弾性を有している、請求項３に記載の梱包容器。

【請求項5】

前記第１容器内の圧力を大気圧未満に維持するための減圧ポンプをさらに備えている、請求項１または２に記載の梱包容器。

【請求項6】

前記減圧ポンプは、前記第１容器の外側に位置しており、
前記減圧ポンプと前記第１容器との間に防振材を備えている、請求項５に記載の梱包容器。

【請求項7】

前記第１容器および前記減圧ポンプを収容する第２容器をさらに備えている、請求項５に記載の梱包容器。

【請求項8】

前記第２容器は、前記第１容器との間に防振材を備えている、請求項７に記載の梱包容器。

【請求項9】

前記装置は、電子線照射装置の少なくとも一部である、請求項１に記載の梱包容器。

【請求項10】

真空チャンバを備える装置の梱包方法であって、
前記装置を第１容器に収容するステップと、
前記装置を前記第１容器の内壁から離れた状態で前記第１容器の内部に固定するステップと、
前記第１容器内の圧力を大気圧未満に減圧するステップと、を含む、梱包方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は梱包容器および梱包方法に関し、特に、真空チャンバを有する装置の梱包容器および梱包方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電子線照射装置のように、装置の構成要素として、内部が真空に維持されている真空チャンバを含む装置を輸送する場合がある。

【0003】

従来、真空チャンバを含む装置であっても、緩衝材または防振材を入れた梱包容器を用いて輸送を行っていた。また、特許文献１には、金属管の梱包構造が開示されている。特許文献１の金属管の梱包構造は、金属管の表面の変色または表面への埃の付着などを防止するために、複数の棒状の金造管を束ねて密閉するとともに、内部が減圧、または真空引きされた密閉袋を備えている。当該密閉袋は、緩衝材を介在させ、木箱に収容されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００２－２９３３８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、従来用いていた梱包容器の内部は大気圧状態であるため、輸送中に真空チャンバの真空度が悪化してしまう。特許文献１においても、密閉袋を収容する木箱は大気圧状態であるため、輸送中に密閉袋の真空度が悪化してしまう。

【0006】

本開示の一態様は、前記課題に鑑みてなされたものであって、輸送時における搬送対象の装置に対する振動および衝撃を低減しつつ、輸送中の真空チャンバの真空度の悪化を低減することが可能な、梱包容器および梱包方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る梱包容器は、内部の圧力を大気圧未満に維持でき、真空チャンバを備える装置を収容し得る第１容器と、前記装置を、前記第１容器の内部かつ内壁から離れた位置に固定する固定構造と、を備える。

【0008】

また、前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る梱包方法は、真空チャンバを備える装置の梱包方法であって、前記装置を第１容器に収容するステップと、前記装置を前記第１容器の内壁から離れた状態で前記第１容器の内部に固定するステップと、前記第１容器内の圧力を大気圧未満に減圧するステップと、を含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明の一態様によれば、輸送時における搬送対象の装置に対する振動および衝撃を低減しつつ、輸送中の真空チャンバの真空度の悪化を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態１に係る梱包容器を、ＸＺ平面に平行な面で切断した時の断面図である。

【図2】本発明の実施形態１に係る梱包容器を、ＹＺ平面に平行な面で切断した時の断面図である。

【図3】本発明の実施形態２に係る梱包容器を、ＸＺ平面に平行な面で切断した時の断面図である。

【図4】本発明の実施形態２に係る梱包容器を、ＹＺ平面に平行な面で切断したときの断面図である。

【図5】実施形態２に係る梱包容器の変形例を、ＸＺ平面に平行な面で切断した時の断面図である。

【図6】実施形態２に係る梱包容器の変形例を、ＹＺ平面に平行な面で切断したときの断面図である。

【図7】本発明に係る例示的な梱包方法大まかな流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

まず、本願の梱包容器の説明に先立ち、本願の梱包容器内に梱包される装置について説明する。梱包容器に梱包される対象としての装置は、当該装置の一部として、真空チャンバを備える装置である。本実施形態では、当該装置が、電子線照射装置の主要構成部分である例について説明する。以下では、簡単のために梱包容器１に梱包される電子線照射装置の主要構成部分を、装置と称する。すなわち、本願の装置は、電子線照射装置の少なくとも一部であってよい。

【0012】

電子線照射装置とは、電子線を被照射物に照射するための装置である。電子線照射装置は、例えば、基材上の塗膜中の成分の架橋もしくは重合によるシート材の製造、または、物品の殺菌もしくは滅菌に好適に用いられる装置である。

【0013】

電子線照射装置は、例えば、電子線を発生させる電極部、電極部を支持する碍子、および碍子に支持された状態の電極部を収容する真空チャンバを備える。電子線照射装置は、さらに、真空チャンバ内を減圧するための真空ポンプ、真空チャンバおよび被照射物を収容する遮蔽体、ならびに直流電源などを備えていてもよい。

【0014】

本実施形態では、電極部を収容した状態の真空チャンバ３１を、梱包容器１に梱包される装置３とする。装置３は、電子線照射装置が有する他の構成要素を備えていてもよい。

【0015】

以下の例示的な実施形態における装置３は、図１および図２に示すように、真空チャンバ３１を備えている。真空チャンバ３１は、電子線を外部に取り出すための取出し口３２を備えている。

【0016】

真空チャンバ３１は、周壁が導体で形成された、略円筒形状の中空の容器であってよい。導体の例としては、ステンレスが挙げられる。真空チャンバ３１は、不図示の減圧のための排気口を有してよい。当該排気口を、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプなどに接続し、真空ポンプを動作させることにより、真空チャンバ３１の内部を減圧することが可能である。電子線照射装置の運転時には、真空チャンバ３１の内部は所定の真空度（例えば１×１０^－６Ｐａ～１×１０^－５Ｐａ）に維持される。

【0017】

装置３は、輸送時に真空チャンバ３１の内部を大気圧にした状態で輸送することも可能である。しかしながら装置の特性上、真空（減圧）状態を維持したままの輸送の方が好ましい。また、内部を大気圧にして輸送する場合、搬送後に再度真空ポンプにより減圧する作業が必要となるため、作業効率の点からも、内部を真空にして搬送することが好ましい。しかしながら、内部を真空にして搬送する場合には、通常、真空ポンプを取り外し、真空封じ切りの状態で搬送する。そのため、輸送中に真空度が少しずつ悪化してしまう。

【0018】

また、真空チャンバ３１の周壁の一部に設けられた取出し口３２は、約１ｍｍ以下の金属箔により形成されている。金属箔の例として、チタンまたはアルミニウムの箔が挙げられる。当該金属箔は、非常に薄いため、破損しやすい。

【0019】

本願発明は、装置３の真空チャンバ３１内の真空度が悪化する可能性を低減することができる梱包容器および梱包方法を提供する。また、本願発明は、装置３が有する破損しやすい部位が、輸送中に破損する可能性を低減することのできる梱包容器および梱包方法を提供する。

【0020】

以下、本発明の一実施形態に係る梱包容器および梱包方法について、図面を用いて説明する。但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、実施形態を説明する上で必要な構成要素のみを簡略化して示したものである。従って、実施形態に係る梱包容器および当該梱包容器に収容される装置は、参照する各図に示されていない任意の構成要素を備え得る。また、各図中の構成要素の寸法は、実際の構成要素の寸法および各部材の寸法比率等と異なる場合がある。以下の説明は本発明に係る梱包容器の一例であり、本発明の技術範囲は図示例に限定されるものではない。

【0021】

本明細書において、図面に記載のＺ軸正方向を上方向とする。Ｚ軸負方向は、下方向、換言すると重力方向である。Ｙ方向は、装置３の長手方向であり、Ｘ軸は、Ｙ軸およびＺ軸と垂直に交わる軸である。

【0022】

〔実施形態１〕
＜梱包容器１の構成＞
実施形態１に係る梱包容器１の概略構成について、図１および図２を用いて説明する。図１は、実施形態１に係る梱包容器１をＸＺ平面に平行な面で切断した時の断面図である。具体的には、梱包容器１を、図２に示すＩ－Ｉ線の位置で切断したときの矢視断面図である。図２は、実施形態１に係る梱包容器１をＹＺ平面に平行な面で切断したときの断面図である。具体的には、図１に示すＩＩ－ＩＩ線の位置で切断したときの矢視断面図である。

【0023】

梱包容器１は、図１および図２に示すように、装置３を収容する第１容器２と、装置３を、第１容器２の内部かつ内壁から離れた位置に固定する固定構造４と、を備えている。梱包容器１はさらに、梱包完了後の第１容器２内の圧力を大気圧未満に維持するための減圧ポンプ５と、第１容器２および減圧ポンプ５を収容する第２容器６を備えている。梱包容器１はまた、第１容器２と第２容器６と間に、防振材７を有している。

【0024】

（第１容器２）
第１容器２は、内部の圧力を大気圧未満に維持でき、装置３を内部に収容し得る容器である。第１容器２は、装置３を収容した後、密閉される。その後、第１容器２の内部の圧力は、減圧ポンプ５によって大気圧未満に減圧される。つまり、梱包完了後の第１容器内の圧力は、大気圧未満である。梱包完了とは、具体的には、第１容器２が閉じられ、減圧ポンプ５によって内部の圧力が減圧され、梱包容器１が輸送可能な状態となったことを意味する。あるいは、梱包完了とは、第１容器２および減圧ポンプ５を第２容器６に収容し、第２容器６が閉じられ、梱包容器１が輸送可能な状態となったことを意味する。また、梱包容器１の輸送中、第１容器２内の減圧状態は、減圧ポンプ５によって維持され得る。

【0025】

第１容器２は、装置３を収容可能であり、密閉後の減圧に耐え得るものであれば特に限定されない。図１および図２に示すように、第１容器２の形状は、立方体または直方体形状であってよい。立方体形状または直方体形状の容器は、製造が容易であるため、梱包容器の製造コストを低減することができる。また、第１容器２が立方体形状または直方体形状であることにより、装置３の梱包開梱作業が容易となる。これにより、作業性を向上させることができる。さらに、立方体形状または直方体形状の容器は安定性に優れるため、容器自体を積み重ねて保管することが可能であり、高い収納性を実現できる。第１容器２の材質は、例えば、ステンレスまたはジュラルミンであってよい。第１容器２の材質がジュラルミンである場合、軽量化を実現できる。また、第１容器２を構成する各壁の厚さは、例えば３ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってよい。各壁を６ｍｍ以上とすることにより、例えば、内部圧力が１００Ｐａ以下となる減圧状態に耐えることができる。第１容器２は、減圧に対する強度を補強するための補強構造を有していてもよい。

【0026】

（固定構造４：同上）
固定構造４は、装置３を、第１容器２の内部かつ内壁から離れた位置に固定するための構造である。固定構造４は、減圧下または真空中で用いることができ、装置３を第１容器２の内壁から離れた位置に固定できれば特に限定されず、例えば、金属製のスプリングやウレタンなどの従来用いられていたような梱包材であってもよい。当該梱包材は、アウトガスを抑えるため金属材料または無機材料であることが好ましい。
あるいは、固定構造４は、図１および図２に示すように、装置３を支持する第１固定部材４１と、第１固定部材４１と第１容器２との間に設けられる第２固定部材４２と、を備えていてもよい。第２固定部材４２は、第１固定部材４１および第１容器２の内壁に固定されていてもよい。固定構造４を用いることにより、装置３を第１容器２内の壁面から離れた位置に固定することが可能になり、輸送中の装置３への振動および衝撃を和らげ、装置３が破損する可能性を低減することができる。

【0027】

第１固定部材４１は、装置３の形状に合わせて形成されており、装置３に当接することにより、装置３を直接支持する部材である。例えば、第１固定部材４１は、図１および図２に示すように、真空チャンバ３１の側面に沿って設けられていてもよい。

【0028】

第２固定部材４２は第１固定部材４１と第１容器２の内壁との間に設けられている。梱包容器１において、第２固定部材４２は、図１および図２の例に示すように、弾性を有する金属製のバネを含む固定部材である。また、第２固定部材４２は、第１固定部材４１と第１容器２の底面との間、および第１固定部材４１と第１容器２の４つの側面との間に設けられていてもよい。なお、第２固定部材４２の少なくとも一部は、図２に示す第２固定部材４２Ａのように、装置３と第１容器２との間に設けられていてもよい。

【0029】

第２固定部材４２の個数および配置位置は、図面に示される例に限定されず、装置３および第１容器２の大きさ、第２固定部材４２の耐荷重などにより、適宜選択され得る。第２固定部材４２が弾性を有する部材であることにより、搬送時における搬送対象である装置３への振動および衝撃をさらに和らげることができる。

【0030】

第２固定部材４２は、弾性を有する部材であれば、特に限定されず、金属バネ、ゴムまたはジェルなどの弾性体を含む固定部材であってよい。第１容器２の内部は減圧状態に保たれるため、第２固定部材４２は、アウトガスが少ない材料から構成されることがより好ましい。弾性を有し、かつアウトガスが少ない物体としては、例えば金属バネを含む固定部材が挙げられる。第２固定部材４２は、異なる弾性体を含む固定部材を併用してもよい。ただし、併用する場合には、前後、左右、上下のように対向する固定部材同士は、同じ材質の弾性体が用いられていることが好ましい。

【0031】

（減圧ポンプ５：同上）
減圧ポンプ５は、第１容器２内の圧力を減圧するためのポンプである。本願の梱包容器における第１容器２内の圧力は、減圧ポンプ５によって減圧されることにより、大気圧未満に減圧される。本願の梱包容器では、第１容器２内の圧力を減圧後、減圧ポンプ５を取り外し、第１容器２を真空封じ切りの状態としてもよい。梱包完了後、または輸送時の第１容器２内の圧力が大気圧未満に減圧されていることにより、装置３の真空チャンバ３１からのリークの速度、つまり真空チャンバ３１の真空悪化の速度を低減することができる。

【0032】

あるいは、実施形態１に係る梱包容器１のように、減圧ポンプ５を第１容器２の上面に固定し、輸送中、減圧ポンプ５を作動させながら第１容器２内の圧力を大気圧未満に維持してもよい。換言すると、梱包容器１は、梱包完了後の第１容器２内の圧力を大気圧未満に維持するための減圧ポンプ５を、さらに備えていてもよい。減圧ポンプ５は、図２に示すようにポンプ本体５１と、ポンプ本体５１に電力を供給するバッテリ５２と、ポンプ本体５１と第１容器２の内部とを接続するパイプ５３を含む。減圧ポンプ５は、真空ポンプであってもよい。梱包容器１が減圧ポンプを備えていることにより、装置３の真空チャンバ３１の真空悪化の速度をさらに低減することができる。梱包完了後、または輸送時の第１容器２内の真空度が高いほど、真空チャンバ３１の真空悪化の速度を低減することができる。そのため、梱包完了後、または輸送時の第１容器２内の圧力は、例えば１００Ｐａ以下であってよい。第１容器２内の圧力が１００Ｐａ以下であることにより、真空チャンバ３１の真空悪化の速度を、真空チャンバ３１の周囲が大気圧である場合に比べて１０００分の１以下にまで緩和することができる。

【0033】

減圧ポンプ５を設置する場所は、第１容器２の上面に限定されず、第１容器２の外側に位置していればよい。例えば、第２容器６の内面（例えば、底面または内側面）に減圧ポンプ５が取り付けられてもよい。減圧ポンプ５を第１容器２の外面に固定する場合、減圧ポンプ５と第１容器２との間に、ゴム板などの防振材を備えていてもよい。減圧ポンプ５を第２容器６の内面に固定する場合、減圧ポンプ５と第２容器６との間に、ゴム板などの防振材を備えていてもよい。当該防振材を備えることにより、稼働しているポンプの振動が抑制され、ポンプが故障する可能性が低減する。また、ポンプの振動が第１容器２に伝わる程度が低減され、第１容器２内の装置３が破損する可能性をより低減することができる。

【0034】

（第２容器６）
第２容器６は、第１容器２および減圧ポンプ５を収容する容器である。

【0035】

第２容器６は、例えば、図１および図２に示すように直方体形状の容器であってよい。第２容器６は、第１容器２および第１容器２の外側に設置される減圧ポンプ５を収容できる大きさであればよい。

【0036】

第２容器６を備えることにより、減圧ポンプ５の稼働音が外部へ漏れることを抑制できる。また、第２容器６によって第１容器２を保護することができるため、第１容器２が損傷し、第１容器２内の減圧状態が悪化する可能性を低減することができる。

【0037】

（防振材７）
梱包容器１は、第２容器６と、第１容器２との間に防振材７を備えている。第２容器６に衝撃が加わった場合においても、防振材７による緩衝作用によって第１容器の外側に設置されている稼働中の減圧ポンプ５に衝撃が伝わる程度が低減され、減圧ポンプ５の故障の可能性が低減される。また、第１容器２および装置３への振動および衝撃を和らげることができるため、装置３の損傷する可能性を低減できる。さらに第２容器６および防振材７が第１容器２を振動および衝撃から保護するので、第１容器２に求められる強度を抑えることができ、第１容器２を簡略化することができる。

【0038】

図１および図２の例において、防振材７は、第１容器２の底面と第２容器の底面との間、および第１容器２の外側面と第２容器６の内側面との間に設けられている。防振材７の個数および配置位置は、図面に示される例に限定されず、第１容器２および第２容器６の大きさ、防振材７の大きさおよび耐荷重などにより、適宜選択され得る。

【0039】

防振材７は、例えば金属バネ、ゴムおよび／またはジェルなどであってもよく、またはそれらが混在する形で用いられてもよい。ただし、混在する形で用いる場合でも、前後、左右、上下のように対向する部材同士は、同じ材質のものが用いられていることが好ましい。

【0040】

〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。実施形態２では、梱包容器１Ａについて、図３および図４を用いて説明する。

【0041】

図３は、梱包容器１Ａを、ＸＺ平面に平行な面で切断した時の断面図である。具体的には、図３は、梱包容器１Ａを、図４に示すＩＩＩ－ＩＩＩ線の位置で切断したときの矢視断面図である。図４は、梱包容器１ＡをＹＺ平面に平行な面で切断したときの断面図である。具体的には、図４は、梱包容器１Ａを、図３に示すＩＶ－ＩＶ線の位置で切断したときの矢視断面図である。

【0042】

梱包容器１Ａでは、梱包容器１Ａが円筒形の第１容器２Ａを有している点が実施形態１と異なっている。また、第１容器２Ａが円筒形であるため、減圧ポンプ５は、台座５４の上に設置されている。それ以外の点については、実施形態１と同様である。

【0043】

台座５４は、下部が第１容器２の曲面に沿う形状であり、かつ上部が平面になっているため、円筒形状の第１容器２Ａの曲面上に減圧ポンプ５を設置することができる。

【0044】

第１容器２Ａは、減圧への耐性に優れた円筒形を有しているため、第１容器２が減圧により変形する可能性を低減することができる。また、実施形態１に係る第１容器２と比較して、第１容器２Ａの壁面の厚さを低減できるため、梱包容器を軽量化することができる。

【0045】

＜変形例＞
以下では、実施形態２の変形例としての梱包容器１Ｂについて、図５および図６を用いて説明する。

【0046】

図５は、梱包容器１ＢをＸＺ平面に平行な面で切断した時の断面図である。具体的には、図５は、梱包容器１Ｂを、図６に示すＶ－Ｖ線の位置で切断したときの矢視断面図である。図６は、梱包容器１ＢをＹＺ平面に平行な面で切断したときの断面図である。具体的には、図６は、梱包容器１Ｂを、図５に示すＶＩ－ＶＩ線の位置で切断したときの矢視断面図である。

【0047】

梱包容器１Ｂは、減圧ポンプ５が、第１容器２Ａが有する平面、換言すると第１容器２Ａの端面に配置されている点が実施形態２の梱包容器１Ａと異なっている。梱包容器１Ｂのように、第１容器２Ａが円筒形状である場合、減圧ポンプ５を第１容器２Ａが有する平面に固定することにより、減圧ポンプ５を第１容器２Ａに容易に固定することができる。

【0048】

＜梱包方法＞
以下では、本願の梱包容器を用いた梱包方法の一例として、実施形態１に係る梱包容器１を用いて装置３を梱包する梱包方法を、図７を用いて説明する。図７は、例示的な梱包方法の大まかな流れを示すフローチャートである。

【0049】

実施形態１に係る梱包容器１を用いた梱包方法は、例えば図７に示すフローチャートに従って実行される。なお、図７に示すフローチャートは一例であり、これに限定されない。

【0050】

図７に示すように、本願発明の例示的な梱包方法は、装置収容ステップＳ１と、固定ステップＳ２と、減圧ステップＳ３と、防振材設置ステップＳ４と、第１容器収容ステップＳ５と、を含む。以下に当該梱包方法における各工程について、詳細に説明する。

【0051】

（装置収容ステップＳ１）
装置収容ステップＳ１は、装置３を第１容器２の内部に収容するステップである。

【0052】

（固定ステップＳ２）
固定ステップＳ２は、装置収容ステップＳ１で収容された装置３を、固定構造４を用いて、第１容器２の内壁から離れた状態で第１容器２の内部に固定するステップである。第１容器２内に装置３を支持および固定する固定構造４は、装置３の収容前に第１容器２に予め設置および固定されていてもよい。この場合、固定ステップＳ２において、装置３を固定構造４に固定することにより、装置３が第１容器２の内壁から離れた状態で第１容器２の内部に固定される。

【0053】

あるいは、予め第１容器２の外部で、装置３に対して予め固定構造４を固定した状態とし、その後、装置３および固定構造４を第１容器２に収容し、固定構造４を第１容器２に対して固定してもよい。固定ステップＳ２において上述したように装置３が第１容器２内に固定されることにより、輸送時における装置３に対する振動および衝撃を低減することができる。

【0054】

（減圧ステップＳ３）
減圧ステップＳ３は、第１容器２内の圧力を大気圧未満に減圧するステップである。装置３を第１容器２の内部に固定し、第１容器２を密閉した後、減圧ポンプ５を作動させ、第１容器２の内部の圧力を減圧する。

【0055】

輸送時に減圧ポンプ５を取り外して輸送する場合、第１容器２内を大気圧未満の圧力、好ましくは１００Ｐａ以下に減圧した後、減圧ポンプ５を取り外し、第１容器２を密封封じ切りの状態とする。第１容器２内の圧力が減圧されることにより、輸送中の真空チャンバの真空度の悪化を低減することができる。

【0056】

実施形態１の梱包容器１のように、輸送時においても減圧ポンプ５を備える梱包容器の場合、減圧ポンプ５は、梱包容器１を用いた装置３の輸送が完了するまで稼働し続けてもよい。これにより、第１容器２内の減圧状態の悪化がより低減される。

【0057】

（防振材設置ステップＳ４）
防振材設置ステップＳ４は、防振材７を、第１容器２をさらに収容する容器である第２容器６の内部に設置するステップである。防振材設置ステップＳ４は、以下の第１容器収容ステップＳ５と同時に行われてもよい。

【0058】

（第１容器収容ステップＳ５）
第１容器収容ステップＳ５は、第１容器２を第２容器６の内部に収容するステップである。上述した防振材設置ステップＳ４において、内部に防振材７が設置された第２容器６内に、第１容器２を収容する。防振材７の少なくとも一部は、第２容器６内に第１容器２を収容した後に、第１容器２と第２容器６との間に配置されてもよい。第２容器６内に第１容器２を収容した後、第２容器６を閉じる。

【0059】

上述した梱包方法により、搬送対象の装置３の真空チャンバ３１からのリークを防ぎつつ、搬送対象の装置３を搬送時の振動および衝撃から守ることが可能な梱包方法を提供することができる。

【0060】

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0061】

１、１Ａ、１Ｂ：梱包容器
２：第１容器
３：装置
４：固定構造
５：減圧ポンプ
６：第２容器
７：防振材
３１：真空チャンバ
３２：取出し口
４１：第１固定部材
４２：第２固定部材
５１：ポンプ本体
５２：バッテリ
５３：パイプ
５４：台座

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】