特開 2024-4657 吸着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024004657

(43)【公開日】2024-01-17

(54)【発明の名称】吸着装置

(51)【国際特許分類】

   B01D 53/04 20060101AFI20240110BHJP

   B01D 53/62 20060101ALI20240110BHJP

   B01D 53/82 20060101ALI20240110BHJP

【ＦＩ】

B01D53/04 ZAB

B01D53/62

B01D53/82

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022104375

(22)【出願日】2022-06-29

(71)【出願人】

【識別番号】000116574

【氏名又は名称】愛三工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000394

【氏名又は名称】弁理士法人岡田国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】小笠原 啓夫

【テーマコード（参考）】

4D002

4D012

【Ｆターム（参考）】

4D002AA09

4D002AC10

4D002BA04

4D002CA07

4D002DA41

4D002DA45

4D002DA46

4D002GA02

4D002GA04

4D002GB01

4D002GB11

4D002GB20

4D012CA08

4D012CA12

4D012CB12

4D012CE01

4D012CE02

4D012CF01

4D012CF02

4D012CF08

4D012CF10

(57)【要約】

【課題】吸着層の吸着量分布のばらつきを抑制し、吸着効率を向上する。
【解決手段】吸着装置１０は、混合ガスＧ１を処理する吸着容器１２を備える。吸着容器１２は、容器本体１３と、容器本体１３内に収容された吸着材１５からなる吸着層１４と、混合ガスＧ１を導入する導入通路１６と、混合ガスＧ１から特定ガスが除去されたガスを導出する導出通路１７と、を備える。導入通路１６から分岐された複数の分岐通路２１，２２が設けられる。各分岐通路２１，２２の混合ガスＧ１の各吐出口２１ａ，２２ａは、吸着層１４における混合ガスＧ１の流れ方向と直交する方向に互いに間隔を空けて配置される。各分岐通路２１，２２の開口面積を調整する弁装置２０が設けられる。吸着層１４に吸着される特定ガスの吸着量を算出する吸着量算出手段３１と、吸着量算出手段３１の算出値に基づいて弁装置２０を制御する流量制御手段３２と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

特定ガスを吸着する吸着材を用いて混合ガスを処理する吸着容器を備える吸着装置であって、
前記吸着容器は、容器本体と、該容器本体内に層状に収容された前記吸着材からなる吸着層と、該吸着層に前記混合ガスを導入する導入通路と、前記混合ガスから前記特定ガスが除去されたガスを前記吸着層から導出する導出通路と、を備えており、
前記導入通路から分岐された複数の分岐通路が設けられており、
前記各分岐通路の前記混合ガスの各吐出口は、前記吸着層における前記混合ガスの流れ方向と直交する方向に互いに間隔を空けて配置されており、
前記各分岐通路の開口面積を調整する弁装置が設けられており、
前記吸着層に吸着される前記特定ガスの吸着量を算出する吸着量算出手段と、
前記吸着量算出手段の算出値に基づいて前記弁装置を制御する流量制御手段と、を備えた、吸着装置。

【請求項2】

請求項１に記載の吸着装置であって、
前記各分岐通路の開口時間を検出する開口時間検出手段を備えており、
前記吸着量算出手段は、前記開口時間検出手段の検出値に基づいて前記吸着量を算出する、吸着装置。

【請求項3】

請求項２に記載の吸着装置であって、
前記各分岐通路の流量を検出する吐出流量検出手段と、
前記吐出流量検出手段の検出値と前記開口時間検出手段の検出値とに基づいて前記各分岐通路を流れた累積流量を算出する累積流量算出手段と、
を備えており、
前記吸着量算出手段は、前記累積流量算出手段の算出値に基づいて前記吸着量を算出する、吸着装置。

【請求項4】

請求項１に記載の吸着装置であって、
前記各吐出口の周辺部の前記吸着材の温度を検出する複数の温度検出手段を備えており、
前記吸着量算出手段は、前記各温度検出手段の検出値に基づいて前記吸着量を算出する、吸着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書に開示の技術は吸着装置に関する。詳しくは、特定ガスを吸着する吸着材を用いて混合ガスを処理する吸着容器を備える吸着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、例えば特許文献１に記載された蒸発燃料排出防止用キャニスタは、蒸発燃料を吸着する吸着材を用いて蒸発燃料含有ガスを処理する。キャニスタは、キャニスタケースと、キャニスタケース内に層状に収容された吸着材からなる吸着層と、吸着層に蒸発燃料含有ガスを導入する導入通路と、蒸発燃料含有ガスから蒸発燃料が除去されたガスを吸着層から導出する導出通路と、を備える。吸着層に、蒸発燃料含有ガスを導入する蒸発燃料導入室が形成されている。導入通路は、吸着容器に同心状に設けられている。導入通路の下流端には、複数の分岐通路を放射状に有する拡散部材が接続されている。蒸発燃料含有ガスは、拡散部材の各分岐通路から蒸発燃料導入室内に放射状に流出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平８－１２８３６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のキャニスタによると、蒸発燃料含有ガスが拡散部材の各分岐通路から放射状に流出されるものの、拡散部材により吸着層の中央部に対する蒸発燃料含有ガスの流れが妨げられる。このため、吸着層の中央部に淀みが生じることにより、吸着層の特定ガスの吸着量（以下、「吸着層の吸着量」ともいう）にばらつきが生じやすく、吸着効率が低下するおそれがある。また、各分岐通路の流量を調整する機能を備えていないため、吸着層の吸着量分布に偏りが生じやすく、吸着効率が低下するおそれがある。

【0005】

本明細書に開示の技術が解決しようとする課題は、吸着層の吸着量分布のばらつきを抑制し、吸着効率を向上することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するため、本明細書が開示する技術は次の手段をとる。

【0007】

第１の手段は、特定ガスを吸着する吸着材を用いて混合ガスを処理する吸着容器を備える吸着装置であって、前記吸着容器は、容器本体と、該容器本体内に層状に収容された前記吸着材からなる吸着層と、該吸着層に前記混合ガスを導入する導入通路と、前記混合ガスから前記特定ガスが除去されたガスを前記吸着層から導出する導出通路と、を備えており、前記導入通路から分岐された複数の分岐通路が設けられており、前記各分岐通路の前記混合ガスの各吐出口は、前記吸着層における前記混合ガスの流れ方向と直交する方向に互いに間隔を空けて配置されており、前記各分岐通路の開口面積を調整する弁装置が設けられており、前記吸着層に吸着される前記特定ガスの吸着量を算出する吸着量算出手段と、前記吸着量算出手段の算出値に基づいて前記弁装置を制御する流量制御手段と、を備えた、吸着装置である。

【0008】

第１の手段によると、吸着層に吸着される特定ガスの吸着量を算出する吸着量算出手段の算出値に基づいて、流量制御手段が弁装置を制御する。したがって、吸着層の吸着量分布に応じて各分岐通路の流量を調整することにより、吸着層の吸着量分布のばらつきを抑制し、吸着効率を向上することができる。

【0009】

第２の手段は、第１の手段の吸着装置であって、前記各分岐通路の開口時間を検出する開口時間検出手段を備えており、前記吸着量算出手段は、前記開口時間検出手段の検出値に基づいて前記吸着量を算出する、吸着装置である。

【0010】

第２の手段によると、各分岐通路の開口時間を検出する開口時間検出手段の検出値に基づいて、吸着量算出手段が吸着層の吸着量を算出することができる。

【0011】

第３の手段は、第２の手段の吸着装置であって、前記各分岐通路の流量を検出する吐出流量検出手段と、前記吐出流量検出手段の検出値と前記開口時間検出手段の検出値とに基づいて前記各分岐通路を流れた累積流量を算出する累積流量算出手段と、を備えており、前記吸着量算出手段は、前記累積流量算出手段の算出値に基づいて前記吸着量を算出する、吸着装置である。

【0012】

第３の手段によると、開口時間検出手段の検出値と吐出流量検出手段の検出値とに基づいて、累積流量算出手段が各分岐通路を流れた累積流量を算出する。累積流量算出手段の算出値に基づいて、吸着量算出手段が吸着層の吸着量を算出することができる。これにより、吸着層の吸着量分布のばらつきの抑制効果を向上することができる。

【0013】

第４の手段は、第１の手段の吸着装置であって、前記各吐出口の周辺部の前記吸着材の温度を検出する複数の温度検出手段を備えており、前記吸着量算出手段は、前記各温度検出手段の検出値に基づいて前記吸着量を算出する、吸着装置である。

【0014】

第４の手段によると、各吐出口の周辺部の吸着材の温度を検出する各温度検出手段の検出値に基づいて、吸着量算出手段が吸着層の吸着量を算出することができる。

【発明の効果】

【0015】

本明細書に開示の技術によると、吸着層の吸着量分布のばらつきを抑制し、吸着効率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】実施形態１にかかる吸着装置を模式的に示す断面図である。

【図2】実施形態２にかかる吸着装置を模式的に示す断面図である。

【図3】実施形態３にかかる吸着装置を模式的に示す断面図である。

【図4】実施形態４にかかる吸着装置を模式的に示す断面図である。

【図5】実施形態５にかかる吸着容器を模式的に示す断面図である。

【図6】実施形態６にかかる吸着容器を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本明細書に開示の技術を実施するための実施形態について図面を用いて説明する。

【0018】

［実施形態１］
図１は吸着装置を模式的に示す断面図である。図１に示すように、吸着装置１０は、二酸化炭素（ＣＯ₂）等の特定ガスを吸着する吸着材１５を用いて混合ガスＧ１を処理する吸着容器１２を備える。混合ガスＧ１は、例えば燃焼機関の排ガス等であり、二酸化炭素が含まれている。

【0019】

吸着材１５は、特定ガス（二酸化炭素）を吸着及び脱離可能である。吸着材１５は、例えば、ゼオライト、シリカゲル、活性炭等からなる。吸着材１５の形状は、例えば、粒状、ペレット状、粉末状、ハニカム状等である。

【0020】

（吸着容器１２）
吸着容器１２は、容器本体１３と吸着層１４と導入通路１６と導出通路１７とを備えている。説明の都合上、図１を基に吸着容器１２の上下左右の方位を定めるが、吸着容器１２の配置方向を特定するものではない。

【0021】

容器本体１３は、縦型中空円筒状の筒壁部１３ａと、筒壁部１３ａの上面開口部を閉鎖する上板部１３ｂと、筒壁部１３ａの下面開口部を閉鎖する下板部１３ｃと、を有する。

【0022】

吸着層１４は、容器本体１３内に充填されて層状に収容された吸着材１５からなる。吸着層１４の下面は、容器本体１３の下板部１３ｃに接触している。容器本体１３の上板部１３ｂと吸着層１４との対向面間には上部空間層１８が形成されている。吸着層１４の上面には、フィルタ、多孔板等の通気性を有する上部仕切部材１９が設けられている。

【0023】

導入通路１６は、混合ガス供給源から供給される混合ガスＧ１を吸着層１４の一端側（下端部）に導入する配管である。導入通路１６は、上板部１３ｂの左端部付近を鉛直方向に貫通している。導入通路１６の下流端には、弁装置２０を介して、複数（本実施形態では２つ）の分岐通路すなわち第１分岐通路２１及び第２分岐通路２２が分岐されている。第１分岐通路２１は、弁装置２０から下方に延びている。第１分岐通路２１の混合ガスの吐出口２１ａは、吸着層１４の下端部において下向きに開口されている。第２分岐通路２２は、弁装置２０から右方に延びた後、吸着層１４の右端部付近において下方に向けて折り曲げられている。第２分岐通路２２の混合ガスの吐出口２２ａは、吸着層１４の下端部において下向きに開口されている。各分岐通路２１，２２は、導入通路１６の一部とみなすことができる。

【0024】

導出通路１７は、混合ガスＧ１から特定ガスが除去されたガス（以下、「精製ガス」という）Ｇ２を吸着層１４の他端側（上端側）から導出する配管である。導出通路１７は、上板部１３ｂの右端部付近から上方へ延びている。導出通路１７は、上部空間層１８と連通されている。

【0025】

本実施形態において、混合ガスＧ１は、吸着層１４を容器本体１３の筒壁部１３ａの軸方向（上下方向）の一端側（下端側）から他端側（上端側）へ向けて流れる。第１分岐通路２１の吐出口２１ａ及び第２分岐通路２２の吐出口２２ａは、吸着層１４における混合ガスＧ１の流れ方向と直交する方向すなわち水平方向（本実施形態では左右方向）に互いに間隔を空けて配置されている。また、各吐出口２１ａ，２２ａは、フィルタ、多孔板等の通気性を有する端板部材２３（同一符号を付す）により閉鎖されている。

【0026】

（弁装置２０）
弁装置２０は、導入通路１６の分岐部に設けられている。弁装置２０の上側に導入通路１６が接続され、その下側に第１分岐通路２１が接続され、その右側に第２分岐通路２２が接続されている。弁装置２０は、各分岐通路２１，２２の開口面積を調整可能である。弁装置２０には、導入通路１６からの混合ガスＧ１を第１分岐通路２１に流す状態と、導入通路１６からの混合ガスＧ１を第２分岐通路２２に流す状態と、に切替え可能な三方弁が用いられている。また、弁装置２０には、各分岐通路２１，２２の開口面積すなわち各分岐通路２１，２２を流れる流量を調整可能な三方弁を用いてもよい。

【0027】

導入通路１６の入口には導入流量検出手段２４が設けられている。導入流量検出手段２４は、導入通路１６の流量を検出し、その検出信号を制御装置３０に入力する。

【0028】

（制御装置）
制御装置３０は電子制御装置いわゆるＥＣＵからなる。制御装置３０は、吸着量算出手段３１及び流量制御手段３２を備えている。吸着量算出手段３１は、導入流量検出手段２４の検出値に基づいて吸着層１４に吸着された特定ガスの吸着量を算出する。具体的には、吸着量算出手段３１は、混合ガスの流量と混合ガス中の特定ガスの濃度との関係式やマップ等を用いて、吸着層１４の吸着量を算出する。また、流量制御手段３２は、吸着量算出手段３１の算出値に基づいて弁装置２０を制御する。

【0029】

（吸着装置１０の作用）
混合ガスＧ１が導入通路１６及び各分岐通路２１，２２を介して吸着層１４に導入（供給）される。混合ガスＧ１が吸着層１４を鉛直方向下方から上方へ向かって流れることで、特定ガスが吸着材１５に吸着される。その後、特定ガスが除去された精製ガスＧ２は、上部空間層１８から導出通路１７を介して供給先へ供給される。

【0030】

吸着層１４への混合ガスＧ１の導入に際し、まず、弁装置２０が、第２分岐通路２２を閉じる一方、第１分岐通路２１を開く。この状態では、混合ガスＧ１が第１分岐通路２１の吐出口２１ａから吸着層１４の左側半部に供給される。これにより、混合ガスＧ１が吸着層１４の主に左側半部を通ることで、吸着層１４の左側半部の吸着材１５に特定ガスが吸着される。

【0031】

制御装置３０の吸着量算出手段３１が算出した特定ガスの吸着量が、吸着層１４の左側半部の吸着量相当分に達したときには、流量制御手段３２が弁装置２０を制御する。すなわち、弁装置２０が、第１分岐通路２１を閉じる一方、第２分岐通路２２を開く。この状態では、混合ガスＧ１が第２分岐通路２２の吐出口２２ａから吸着層１４の右側半部に供給される。これにより、いままで混合ガスＧ１が供給されていなかった吸着層１４の右側半部を混合ガスＧ１が通ることで、吸着層１４の右側半部の吸着材１５に特定ガスが吸着される。これにより、混合ガスＧ１が吸着層１４全体に満遍なく導入（供給）される。

【0032】

（実施形態１の作用・効果）
本実施形態によると、吸着層１４に吸着される特定ガスの吸着量を算出する吸着量算出手段３１の算出値に基づいて、流量制御手段３２が弁装置２０を制御する。したがって、吸着層１４の吸着量分布に応じて各分岐通路２１，２２の流量を調整することにより、吸着層１４の吸着量分布のばらつきを抑制し、吸着効率を向上することができる。

【0033】

［実施形態２］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、実施形態１と同一部位については同一符号を付して重複する説明を省略する。図２は吸着装置を模式的に示す断面図である。

【0034】

図２に示すように、本実施形態では、弁装置２０に開口時間検出手段２５が設けられている。開口時間検出手段２５は、各分岐通路２１，２２の開口時間を検出し、その検出信号を制御装置３０に入力する。吸着量算出手段３１は、開口時間検出手段２５の検出値に基づいて吸着量を算出する。なお、本実施形態では、実施形態１（図１参照）における導入流量検出手段２４は省略されている。

【0035】

本実施形態によると、各分岐通路２１，２２の開口時間を検出する開口時間検出手段２５の検出値に基づいて、吸着量算出手段３１が吸着層１４の吸着量を算出することができる。

【0036】

［実施形態３］
本実施形態は、実施形態２（図２参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、実施形態１と同一部位については同一符号を付して重複する説明を省略する。図３は吸着装置を模式的に示す断面図である。

【0037】

図３に示すように、本実施形態は、実施形態２（図２参照）の吸着装置１０の第１分岐通路２１に第１吐出流量検出手段２６が設けられている。第１吐出流量検出手段２６は、第１分岐通路２１を流れる混合ガスＧ１の流量すなわち吐出口２１ａから吐出する流量を検出し、その検出信号を制御装置３０に入力する。

【0038】

第２分岐通路２２に第２吐出流量検出手段２７が設けられている。第２吐出流量検出手段２７は、第２分岐通路２２を流れる混合ガスＧ１の流量すなわち吐出口２２ａから吐出する流量を検出し、その検出信号を制御装置３０に入力する。

【0039】

制御装置３０には累積流量算出手段３３が設けられている。累積流量算出手段３３は、開口時間検出手段２５の検出値と各吐出流量検出手段２６，２７の検出値とに基づいて、第１分岐通路２１及び第２分岐通路２２を流れた累積流量を算出する。

【0040】

本実施形態によると、開口時間検出手段２５の検出値と各吐出流量検出手段２６，２７の検出値とに基づいて、累積流量算出手段３３が各分岐通路２１，２２を流れた累積流量を算出する。累積流量算出手段３３の算出値に基づいて、吸着量算出手段３１が吸着層１４の吸着量を算出することができる。これにより、吸着層１４の吸着量分布のばらつきの抑制効果を向上することができる。

【0041】

［実施形態４］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、実施形態１と同一部位については同一符号を付して重複する説明を省略する。図４は吸着装置を模式的に示す断面図である。

【0042】

図４に示すように、本実施形態では、容器本体１３内に複数（本実施形態では２個）の検出手段すなわち第１温度検出手段２８及び第２温度検出手段２９が設けられている。第１温度検出手段２８は、容器本体１３の左側内壁面の中央下部に取り付けられている。第１温度検出手段２８は、第１分岐通路２１の吐出口２１ａの周辺部の吸着材１５の温度を検出し、その検出信号を制御装置３０に入力する。

【0043】

第２温度検出手段２９は、容器本体１３の右側内壁面の中央下部に取り付けられている。第２温度検出手段２９は、第２分岐通路２２の吐出口２２ａの周辺部の吸着材１５の温度を検出し、その検出信号を制御装置３０に入力する。なお、本実施形態では、実施形態１（図１参照）における導入流量検出手段２４は省略されている。

【0044】

本実施形態によると、各吐出口２１ａ，２２ａの周辺部の吸着材１５の温度を検出する各温度検出手段２８，２９の検出値に基づいて、吸着量算出手段３１が吸着層１４の吸着量を算出することができる。

【0045】

［実施形態５］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）の吸着容器１２に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、実施形態１と同一部位については同一符号を付して重複する説明を省略する。図５は吸着容器を模式的に示す断面図である。

【0046】

図５に示すように、本実施形態では、容器本体１３の下板部１３ｃと吸着層１４との対向面間には下部空間層３５が形成されている。下部空間層３５に、各分岐通路２１，２２及び弁装置２０等が配置されている。吸着層１４の下面には、フィルタ、多孔板等の通気性を有する下部仕切部材３６が設けられている。

【0047】

本実施形態によると、混合ガスＧ１が第１分岐通路２１の吐出口２１ａ及び第２分岐通路２２の吐出口２２ａから下部空間層３５に吐出されることにより、吸着層１４に流れる混合ガスＧ１の偏りを抑制することができる。また、本実施形態の吸着容器１２は、実施形態１～４の吸着装置１０に適用してもよい。

【0048】

［実施形態６］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）の吸着容器１２に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、実施形態１と同一部位については同一符号を付して重複する説明を省略する。図６は吸着容器を模式的に示す断面図である。

【0049】

図６に示すように、本実施形態では、実施形態１（図１参照）の弁装置２０を弁装置４０に変更したものである。弁装置４０は四方弁である。実施形態体１と同様、弁装置４０の上側に導入通路１６が接続され、その下側に第１分岐通路２１が接続され、その右側に第２分岐通路２２が接続されている。

【0050】

弁装置４０の左側に第３分岐通路４１が接続されている。第３分岐通路４１は、第２分岐通路２２に対して弁装置４０を間にして左右対称状に配置されている。これにより、各分岐通路２１，２２，４１の混合ガスの各吐出口２１ａ，２２ａ，４１ａは、水平方向（本実施形態では左右方向）に互いに間隔を空けて配置されている。

【0051】

弁装置４０は、各分岐通路２１，２２，４１の開口面積を調整可能である。弁装置４０には、導入通路１６からの混合ガスＧ１を第１分岐通路２１に流す状態と、導入通路１６からの混合ガスＧ１を第２分岐通路２２に流す状態と、導入通路１６からの混合ガスＧ１を第３分岐通路４１に流す状態と、に切替え可能な四方弁が用いられる。また、弁装置４０には、各分岐通路２１，２２，４１の開口面積すなわち各分岐通路２１，２２，４１を流れる流量を調整可能な四方弁を用いてもよい。また、本実施形態の吸着容器１２は、実施形態１～５の吸着装置１０に適用してもよい。

【0052】

［他の実施形態］
本明細書に開示の技術は、前記した実施形態に限定されるものではなく、その他各種の形態で実施可能である。例えば、実施形態では、混合ガスＧ１を排ガスとし、特定ガスを二酸化炭素としたが、混合ガスＧ１を蒸発燃料含有ガスとし、特定ガスを蒸発燃料としてもよく、混合ガスＧ１及び特定ガスは限定されない。

【0053】

また、実施形態では、複数の吐出口を下向きに配置したが、複数の吐出口を上向きに配置してもよい。また、複数の吐出口は、同一方向に向けた状態で、混合ガスの流れ方向と直交する方向に互いに間隔を空けて配置するとともに、互いに混合ガスの流れ方向にずらして配置してもよい。また、実施形態において、混合ガスの流れ方向と直交する方向には、左右方向に限らず、前後方向が含まれる。このため、複数の吐出口は、左右方向及び／又は前後方向に互いに間隔を空けて配置してもよい。

【0054】

また、弁装置は、複数の分岐通路にそれぞれ設けた制御弁に変更してもよい。制御弁は、デューティ制御されるものでもよいし、比例制御されるものでもよい。また、分岐通路の数は４以上でもよい。

【符号の説明】

【0055】

１０ 吸着装置
１２ 吸着容器
１３ 容器本体
１４ 吸着層
１５ 吸着材
１６ 導入通路
１７ 導出通路
２０ 弁装置
２１ 第１分岐通路
２１ａ 吐出口
２２ 第２分岐通路
２２ａ 吐出口
２５ 開口時間検出手段
２６ 第１吐出流量検出手段
２７ 第２吐出流量検出手段
２８ 第１温度検出手段
２９ 第２温度検出手段
３０ 制御装置
３１ 吸着量算出手段
３２ 流量制御手段
３３ 累積流量算出手段
４０ 弁装置
Ｇ１ 混合ガス
Ｇ２ 精製ガス

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】