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特開2024-46751イメージセンサ、及びそれを含むイメージ処理装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024046751
(43)【公開日】2024-04-04
(54)【発明の名称】イメージセンサ、及びそれを含むイメージ処理装置
(51)【国際特許分類】
   H04N 25/77 20230101AFI20240328BHJP
   H04N 25/771 20230101ALI20240328BHJP
   H04N 25/79 20230101ALI20240328BHJP
   H04N 25/531 20230101ALI20240328BHJP
   H04N 25/532 20230101ALI20240328BHJP
【FI】
H04N25/77
H04N25/771
H04N25/79
H04N25/531
H04N25/532
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023155539
(22)【出願日】2023-09-21
(31)【優先権主張番号】10-2022-0121123
(32)【優先日】2022-09-23
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(31)【優先権主張番号】10-2023-0005643
(32)【優先日】2023-01-13
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】390019839
【氏名又は名称】三星電子株式会社
【氏名又は名称原語表記】Samsung Electronics Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】129,Samsung-ro,Yeongtong-gu,Suwon-si,Gyeonggi-do,Republic of Korea
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(74)【代理人】
【識別番号】100135079
【弁理士】
【氏名又は名称】宮崎 修
(72)【発明者】
【氏名】沈 喜成
(72)【発明者】
【氏名】金 昇埴
(72)【発明者】
【氏名】李 宰圭
(72)【発明者】
【氏名】林 承賢
(72)【発明者】
【氏名】全 星宰
【テーマコード(参考)】
5C024
【Fターム(参考)】
5C024CX51
5C024GX03
5C024GX16
5C024GX18
5C024GY39
5C024GY41
(57)【要約】      (修正有)
【課題】グローバルシャッタ方式及びローリングシャッタ方式の駆動をサポートすることができるイメージセンサを提供する。
【解決手段】イメージセンサが備えるピクセルPXaは、フォトダイオードPDと、フォトダイオードPDで生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送する転送トランジスタTXと、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGと、第1ソースフォロワDX1と、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1と、リセット電圧をサンプリングする第1キャパシタC1と、光電荷による電圧をサンプリングする第2キャパシタC2と、第2ノードN2の電圧を増幅して出力する第2ソースフォロワDX2と、第2ソースフォロワDX2の出力端子とカラムラインCLとの間に連結される第1選択トランジスタSX1と、第1ノードN1とカラムラインCLとの間に連結される第2選択トランジスタSX2と、を含む。
【選択図】図3
【特許請求の範囲】
【請求項1】
イメージセンサにおいて、
複数のピクセルが配列されたピクセルアレイと、
前記ピクセルアレイに制御信号を提供するロウドライバと、を含み、
前記複数のピクセルそれぞれは、
第1フォトダイオードと、
前記第1フォトダイオードで生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードに転送する第1転送トランジスタと、
前記フローティングディフュージョンノードに連結され、前記光電荷が前記フローティングディフュージョンノードの電圧に変換される比率を調整するコンバージョンゲイン制御トランジスタと、
前記フローティングディフュージョンノードの電圧を増幅し、第1ノードに出力する第1ソースフォロワと、
一端が前記第1ノードに連結され、他端が第2ノードに連結されるプリチャージ選択トランジスタと、
リセットされた前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルに該当するリセット電圧をサンプリングする第1キャパシタと、
一端が前記第2ノードに連結され、他端が前記第1キャパシタに連結される第1サンプリングトランジスタと、
前記第1フォトダイオードで生成された光電荷による前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルに該当する第1イメージ電圧をサンプリングする第2キャパシタと、
一端が前記第2ノードに連結され、他端が前記第2キャパシタに連結される第2サンプリングトランジスタと、
前記第2ノードの電圧を増幅して出力する第2ソースフォロワと、
前記第2ソースフォロワの出力端子とカラムラインとの間に連結される第1選択トランジスタと、
前記第1ノードと前記カラムラインとの間に連結される第2選択トランジスタと、を含む、イメージセンサ。
【請求項2】
前記ピクセルアレイが第1シャッタモードで動作するとき、前記第1選択トランジスタが前記第2ソースフォロワの出力電圧をピクセル信号として前記カラムラインに出力し、
前記ピクセルアレイが第2シャッタモードで動作するとき、前記第2選択トランジスタが前記第1ノードの電圧を前記ピクセル信号として前記カラムラインに出力することを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサ。
【請求項3】
前記ピクセルアレイが前記第1シャッタモードで動作するとき、前記第2選択トランジスタは、ターンオフされ、
前記ピクセルアレイが前記第2シャッタモードで動作するとき、前記プリチャージ選択トランジスタ、前記第1サンプリングトランジスタ、前記第2サンプリングトランジスタ、前記第1選択トランジスタは、ターンオフされることを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項4】
前記ピクセルアレイが前記第1シャッタモードで動作するとき、前記複数のピクセルにおいて、第1期間において、前記第1キャパシタに前記リセット電圧がサンプリングされ、前記第2キャパシタに前記第1イメージ電圧がサンプリングされることを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項5】
前記第1期間に後続する第2期間において、前記複数のピクセルがロウ単位で、前記第1キャパシタにサンプリングされた前記リセット電圧、及び前記第2キャパシタにサンプリングされた前記第1イメージ電圧を、前記ピクセル信号として順次に前記カラムラインに出力することを特徴とする請求項4に記載のイメージセンサ。
【請求項6】
前記第2期間において、前記プリチャージ選択トランジスタがターンオンされ、前記リセット電圧を基に、前記第2ノードがプリチャージされ、
前記第2ノードがプリチャージされた後、前記第1サンプリングトランジスタがターンオンされ、前記第1キャパシタにサンプリングされた前記リセット電圧が、前記ピクセル信号として前記カラムラインに出力され、
前記リセット電圧が、前記ピクセル信号として前記カラムラインに出力された後、前記プリチャージ選択トランジスタがターンオンされ、前記リセット電圧を基に、前記第2ノードがさらにプリチャージされ、
前記第2ノードがさらにプリチャージされた後、前記第2サンプリングトランジスタがターンオンされ、前記第2キャパシタにサンプリングされた前記第1イメージ電圧が、前記ピクセル信号として前記カラムラインに出力されることを特徴とする請求項5に記載のイメージセンサ。
【請求項7】
前記ピクセルアレイが前記第2シャッタモードで動作するとき、前記複数のピクセルがロウ単位で順次に前記ピクセル信号を前記カラムラインに出力し、
前記複数のピクセルそれぞれは、前記第1ソースフォロワから出力される前記リセット電圧を、前記ピクセル信号として前記カラムラインに出力した後、前記第1ソースフォロワから出力される前記第1イメージ電圧を、前記ピクセル信号として前記カラムラインに出力することを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項8】
前記複数のピクセルそれぞれは、
第2フォトダイオードと、
前記第2フォトダイオードで生成された光電荷を、前記フローティングディフュージョンノードに転送する第2転送トランジスタと、
前記第1フォトダイオード及び前記第2フォトダイオードで生成される光電荷に対応する前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルに該当する第2イメージ電圧をサンプリングする第3キャパシタと、
一端が前記第2ノードに連結され、他端が前記第3キャパシタに連結される第3サンプリングトランジスタをさらに含む、請求項2に記載のイメージセンサ。
【請求項9】
前記ピクセルアレイが前記第1シャッタモードで動作するとき、第1期間において、前記複数のピクセルにおいて、前記第1キャパシタに前記リセット電圧がサンプリングされ、前記第2キャパシタに前記第1イメージ電圧がサンプリングされ、前記第3キャパシタに前記第2イメージ電圧がサンプリングされることを特徴とする請求項8に記載のイメージセンサ。
【請求項10】
前記第1期間に後続する第2期間において、前記複数のピクセルがロウ単位で、前記第1キャパシタにサンプリングされた前記リセット電圧、及び前記第2キャパシタにサンプリングされた前記第1イメージ電圧、及び前記第3キャパシタにサンプリングされた前記第2イメージ電圧を、前記ピクセル信号として順次に前記カラムラインに出力することを特徴とする請求項9に記載のイメージセンサ。
【請求項11】
イメージセンサにおいて、
複数のピクセルが配列されたピクセルアレイと、
前記ピクセルアレイに制御信号を提供するロウドライバと、を含み、
前記複数のピクセルそれぞれは、
それぞれが第1フォトダイオード及び第2フォトダイオードを含む複数のサブピクセルと、
前記複数のサブピクセルのうち少なくとも1つのサブピクセルから伝送される光電荷が蓄積されるフローティングディフュージョンノードに連結され、前記光電荷が前記フローティングディフュージョンノードの電圧に変換される比率を調整するコンバージョンゲイン制御トランジスタと、
前記フローティングディフュージョンノードの電圧を増幅し、第1ノードに出力する第1ソースフォロワと、
一端が前記第1ノードに連結され、他端が第2ノードに連結されるプリチャージ選択トランジスタと、
一端が前記第2ノードに連結される第1サンプリングトランジスタと、
一端が前記第1サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に電源電圧が印加される第1キャパシタと、
一端が前記第2ノードに連結される第2サンプリングトランジスタと、
一端が前記第2サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に前記電源電圧が印加される第2キャパシタと、
一端が前記第2ノードに連結される第3サンプリングトランジスタと、
一端が前記第3サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に前記電源電圧が印加される第3キャパシタと、
前記第2ノードの電圧を増幅して出力する第2ソースフォロワと、
前記第2ソースフォロワの出力端子とカラムラインとの間に連結される第1選択トランジスタと、
前記第1ノードと前記カラムラインとの間に連結される第2選択トランジスタと、を含む、イメージセンサ。
【請求項12】
前記ピクセルアレイがグローバルシャッタモードで動作するとき、前記第1選択トランジスタがターンオンされ、前記第2ソースフォロワの出力電圧を、ピクセル信号として前記カラムラインに出力し、
前記ピクセルアレイがローリングシャッタモードで動作するとき、前記第2選択トランジスタがターンオンされ、前記第1ノードの電圧を、前記ピクセル信号として前記カラムラインに出力することを特徴とする請求項11に記載のイメージセンサ。
【請求項13】
前記ピクセルアレイが前記グローバルシャッタモードで動作するとき、
グローバルダンピング期間のうち第1期間において、前記第1キャパシタが、リセットされた前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルに該当するリセット電圧をサンプリングし、
前記第1期間に後続する第2期間において、前記第2キャパシタが、前記複数のサブピクセルの複数の第1フォトダイオードで生成された第1光電荷による前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルに該当する第1イメージ電圧をサンプリングし、
前記第2期間に後続する第3期間において、前記第3キャパシタが、前記複数のサブピクセルの複数の第1フォトダイオード、及び複数の第2フォトダイオードで生成された第2光電荷による前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルに該当する第2イメージ電圧をサンプリングすることを特徴とする請求項12に記載のイメージセンサ。
【請求項14】
前記ピクセルアレイが前記ローリングシャッタモードで動作するとき、
前記複数のピクセルの1つのロウのリードアウト期間において、前記複数のサブピクセルが順次に読み取られることを特徴とする請求項12に記載のイメージセンサ。
【請求項15】
前記複数のサブピクセルのうち第1サブピクセルが読み取られる第1サブピクセル読み取り期間のうち第1期間において、リセットされた前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルを示すリセット電圧が、前記第2選択トランジスタを介して前記カラムラインに出力され、
前記第1期間に後続する第2期間において、前記第1サブピクセルの前記第1フォトダイオードで生成された第1光電荷による前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルを示す第1イメージ電圧が、前記第2選択トランジスタを介して前記カラムラインに出力され、
前記第2期間に後続する第3期間において、前記第1サブピクセルの前記第1フォトダイオード及び前記第2フォトダイオードで生成された第2光電荷による前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルを示す第2イメージ電圧が、前記第2選択トランジスタを介して前記カラムラインに出力されることを特徴とする請求項14に記載のイメージセンサ。
【請求項16】
前記ピクセルアレイは、第1半導体基板及び第2半導体基板に形成され、
前記複数のサブピクセル、前記第1ソースフォロワ及び前記コンバージョンゲイン制御トランジスタは、前記第1半導体基板に形成され、
前記プリチャージ選択トランジスタ、前記第1キャパシタ、前記第1サンプリングトランジスタ、前記第2キャパシタ、前記第2サンプリングトランジスタ、前記第3キャパシタ、前記第3サンプリングトランジスタ、前記第1選択トランジスタ及び前記第2選択トランジスタは、前記第2半導体基板に形成されることを特徴とする請求項11に記載のイメージセンサ。
【請求項17】
イメージ処理装置において、
複数のピクセルが行列に配列されたピクセルアレイを含み、前記ピクセルアレイに受信される光信号を基に、イメージデータを生成するイメージセンサと、
前記イメージセンサから前記イメージデータを受信して処理し、前記イメージセンサに、第1シャッタモードまたは第2シャッタモードを設定するモード設定信号を提供するアプリケーションプロセッサと、を含み、
前記複数のピクセルそれぞれは、
それぞれが、第1フォトダイオード及び第2フォトダイオードを含む複数のサブピクセルと、
前記複数のサブピクセルのうち少なくとも1つのサブピクセルから伝送される光電荷が蓄積されるフローティングディフュージョンノードに連結され、前記光電荷が前記フローティングディフュージョンノードの電圧に変換される比率を調整するコンバージョンゲイン制御トランジスタと、
前記フローティングディフュージョンノードの電圧を増幅し、第1ノードに出力する第1ソースフォロワと、
一端が前記第1ノードに連結され、他端が第2ノードに連結されるプリチャージ選択トランジスタと、
一端が前記第2ノードに連結される第1サンプリングトランジスタと、
一端が前記第1サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に電源電圧が印加される第1キャパシタと、
一端が前記第2ノードに連結される第2サンプリングトランジスタと、
一端が前記第2サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に前記電源電圧が印加される第2キャパシタと、
一端が前記第2ノードに連結される第3サンプリングトランジスタと、
一端が前記第3サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に前記電源電圧が印加される第3キャパシタと、
前記第2ノードの電圧を増幅して出力する第2ソースフォロワと、
前記第2ソースフォロワの出力端子とカラムラインとの間に連結される第1選択トランジスタと、
前記第1ノードと前記カラムラインとの間に連結される第2選択トランジスタと、を含む、イメージ処理装置。
【請求項18】
前記イメージセンサの前記ピクセルアレイは、前記アプリケーションプロセッサから受信される前記モード設定信号に基づき、選択的に、グローバルシャッタモードまたはローリングシャッタモードで動作することを特徴とする請求項17に記載のイメージ処理装置。
【請求項19】
前記ピクセルアレイが前記グローバルシャッタモードで動作するとき、前記第1選択トランジスタがターンオンされ、前記第2ソースフォロワの出力を、ピクセル信号として前記カラムラインに出力し、前記第2選択トランジスタは、ターンオフされることを特徴とする請求項18に記載のイメージ処理装置。
【請求項20】
前記ピクセルアレイが前記ローリングシャッタモードで動作するとき、前記第2選択トランジスタがターンオンされ、前記第1ノードの電圧を、ピクセル信号として前記カラムラインに出力し、前記第1選択トランジスタ、前記プリチャージ選択トランジスタ、前記第1サンプリングトランジスタ、前記第2サンプリングトランジスタ及び前記第3サンプリングトランジスタは、ターンオフされることを特徴とする請求項18に記載のイメージ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、イメージセンサに係り、さらに詳細には、グローバルシャッタ(global shutter)方式及びローリングシャッタ(rolling shutter)方式の駆動をサポートすることができるイメージセンサに関する。
【背景技術】
【0002】
画像を撮影し、電気信号に変換するイメージセンサは、デジタルカメラ、携帯電話用カメラ及び携帯用カムコーダのような一般消費者用電子機器だけではなく、自動車、保安装置及びロボットに装着されるカメラにも使用される。
【0003】
イメージセンサは、露出時間(exposure time)を調節し、電気信号の基になる光電荷(photo charge)の量を決定することができる。イメージセンサは、グローバルシャッタ(global shutter)方式及びローリングシャッタ(rolling shutter)方式を利用し、露出時間を調節することができる。該グローバルシャッタ方式によれば、ピクセルアレイの複数のピクセルの露出開始時点及び露出期間が同一であり、該露出期間後、該ピクセルアレイの複数の行(ロウ(row))が順次に読み取られるが、ローリングシャッタ方式によれば、ピクセルアレイの複数のロウが順次に露出を始め、順次に読み取られる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本開示の技術的思想は、グローバルシャッタ方式及びローリングシャッタ方式の駆動をサポートすることができるイメージセンサ、及びそれを含むイメージ処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示の例示的実施形態によるイメージセンサは、複数のピクセルが配列されたピクセルアレイ、及び前記ピクセルアレイに制御信号を提供するロウドライバを含み、前記複数のピクセルそれぞれは、第1フォトダイオード;前記第1フォトダイオードで生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードに転送する第1転送トランジスタ;前記フローティングディフュージョンノードに連結され、前記光電荷が前記フローティングディフュージョンノードの電圧に変換されるゲインを調整するコンバージョンゲイン制御トランジスタ;前記フローティングディフュージョンノードの電圧を増幅し、第1ノードに出力する第1ソースフォロワ;一端が前記第1ノードに連結され、他端が第2ノードに連結される第1プリチャージ選択トランジスタ;リセットされた前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルに該当するリセット電圧をサンプリングする第1キャパシタ;一端が前記第2ノードに連結され、他端が前記第1キャパシタに連結される第1サンプリングトランジスタ;前記第1フォトダイオードで生成された光電荷による前記フローティングディフュージョンノードの電圧レベルに該当する第1イメージ電圧をサンプリングする第2キャパシタ;一端が前記第2ノードに連結され、他端が前記第2キャパシタに連結される第2サンプリングトランジスタ;前記第2ノードの電圧を増幅して出力する第2ソースフォロワ;前記第2ソースフォロワの出力端子とカラムラインとの間に連結される第1選択トランジスタ;及び前記第1ノードと前記カラムラインとの間に連結される第2選択トランジスタ;を含みうる。
【0006】
本開示の例示的実施形態によるイメージセンサにおいては、複数のピクセルが配列されたピクセルアレイ、及び前記ピクセルアレイに制御信号を提供するロウドライバを含み、前記複数のピクセルそれぞれは、それぞれが第1フォトダイオード及び第2フォトダイオードを含む複数のサブピクセル;前記複数のサブピクセルのうち少なくとも1つのサブピクセルから伝送される光電荷が蓄積されるフローティングディフュージョンノードに連結され、前記光電荷が前記フローティングディフュージョンノードの電圧に変換される比率を調整するコンバージョンゲイン制御トランジスタ;前記フローティングディフュージョンノードの電圧を増幅し、第1ノードに出力する第1ソースフォロワ;一端が前記第1ノードに連結され、他端が第2ノードに連結される第1プリチャージ選択トランジスタ;一端が前記第2ノードに連結される第1サンプリングトランジスタ;一端が前記第1サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に電源電圧が印加される第1キャパシタ;一端が前記第2ノードに連結される第2サンプリングトランジスタ;一端が前記第2サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に前記電源電圧が印加される第2キャパシタ;一端が前記第2ノードに連結される第3サンプリングトランジスタ;一端が前記第3サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に前記電源電圧が印加される第3キャパシタ;前記第2ノードの電圧を増幅して出力する第2ソースフォロワ;前記第2ソースフォロワの出力端子とカラムラインとの間に連結される第1選択トランジスタ;及び前記第1ノードと前記カラムラインとの間に連結される第2選択トランジスタ;を含みうる。
【0007】
本開示の例示的実施形態によるイメージ処理装置は、複数のピクセルが行列に配列されたピクセルアレイを含み、前記ピクセルアレイに受信される光信号を基に、イメージデータを生成するイメージセンサ、及び前記イメージセンサから前記イメージデータを受信して処理し、前記イメージセンサに第1シャッタモードまたは第2シャッタモードを設定するモード設定信号を提供するアプリケーションプロセッサを含み、前記複数のピクセルそれぞれは、それぞれが第1フォトダイオード及び第2フォトダイオードを含む複数のサブピクセル;前記複数のサブピクセルのうち少なくとも1つのサブピクセルから伝送される光電荷が蓄積されるフローティングディフュージョンノードに連結され、前記光電荷が前記フローティングディフュージョンノードの電圧に変換される比率を調整するコンバージョンゲイン制御トランジスタ;前記フローティングディフュージョンノードの電圧を増幅し、第1ノードに出力する第1ソースフォロワ;一端が前記第1ノードに連結され、他端が第2ノードに連結される第1プリチャージ選択トランジスタ;一端が前記第2ノードに連結される第1サンプリングトランジスタ;一端が前記第1サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に電源電圧が印加される第1キャパシタ;一端が前記第2ノードに連結される第2サンプリングトランジスタ;一端が前記第2サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に前記電源電圧が印加される第2キャパシタ;一端が前記第2ノードに連結される第3サンプリングトランジスタ;一端が前記第3サンプリングトランジスタの他端に連結され、他端に前記電源電圧が印加される第3キャパシタ;前記第2ノードの電圧を増幅して出力する第2ソースフォロワ;前記第2ソースフォロワの出力端子とカラムラインとの間に連結される第1選択トランジスタ;及び前記第1ノードと前記カラムラインとの間に連結される第2選択トランジスタ;を含みうる。
【発明の効果】
【0008】
本発明の技術的思想によるイメージセンサによれば、該イメージセンサがローリングシャッタモード及びグローバルシャッタモードで動作しうる。それにより、該イメージセンサは、多様な撮影条件により、選択的に、該ローリングシャッタモードまたは該グローバルシャッタモードで動作しうる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
図1】本開示の例示的実施形態によるイメージセンサを示すブロック図である。
図2A】グローバルシャッタモードの動作を示すタイミング図である。
図2B】ローリングシャッタモードの動作を示すタイミング図である。
図3】本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
図4A】本開示の例示的実施形態によるピクセルのグローバルシャッタモードのリードアウト動作を示す図である。
図4B】本開示の例示的実施形態によるピクセルのローリングシャッタモードのリードアウト動作を示す図である。
図5】本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号及びランプ信号を図示したタイミング図である。
図6A】本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号及びランプ信号を図示したタイミング図である。
図6B】本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号及びランプ信号を図示したタイミング図である。
図7】本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
図8A図7のピクセルの平面図である。
図8B図7のピクセルの垂直断面図である。
図9A】本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号及びランプ信号を図示したタイミング図である。
図9B】本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号及びランプ信号を図示したタイミング図である。
図10】本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
図11】本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
図12図11のピクセルの平面図を概略的に示す図である。
図13】本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号を図示したタイミング図である。
図14】本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
図15図14のピクセルの平面図を概略的に示す図である。
図16A】本開示の例示的実施形態によるイメージセンサのスタック構造を示す図である。
図16B】本開示の例示的実施形態によるイメージセンサのスタック構造を示す図である。
図17A】本開示の例示的実施形態による電子装置を示すブロック図である。
図17B】本開示の例示的実施形態による電子装置を示すブロック図である。
図18】本開示の例示的実施形態によるイメージセンサを含む電子装置を概略的に示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、添付図面を参照し、本開示の実施形態について詳細に説明する。
【0011】
図1は、本開示の例示的実施形態によるイメージセンサを示すブロック図である。
【0012】
イメージセンサ100は、イメージまたは光のセンシング機能を有する電子機器に搭載されうる。例えば、イメージセンサ100は、カメラ、スマートフォン、ウェアラブル機器、事物インターネット(IoT:Internet of things)機器、家電機器、タブレットPC(personal computer)、PDA(personal digital assistant)、PMP(portable multimedia player)、ナビゲーション(navigation)、ドローン(drone)、先進運転支援システム(ADAS:advanced driver-assistance system)のような電子機器に搭載されうる。また、イメージセンサ100は、例えば、車両、家具、製造設備、ドア、各種計測機器などに部品として具備される電子機器に搭載されうる。
【0013】
図1を参照すれば、イメージセンサ100は、ピクセルアレイ110、ロウドライバ(row driver)120、ランプ信号生成器(ramp signal generator)130、アナログ・デジタル変換回路(以下、「ADC回路」と称する)140、データ出力回路170及びタイミングコントローラ180を含みうる。イメージセンサ100は、信号処理部190をさらに含みうる。ランプ信号生成器130、ADC回路140及びデータ出力回路170を含む構成は、リードアウト回路と称されうる。
【0014】
ピクセルアレイ110は、複数のロウラインRL、複数のカラムラインCL、並びに複数のロウラインRL及び複数のカラムラインCLと接続され、行列に配列された複数のピクセルPXを含む。複数のピクセルPXは、APS(active pixel sensor)としうる。
【0015】
複数のピクセルPXそれぞれは、少なくとも1つの光電変換素子を含むものであり、ピクセルPXは、光電変換素子を利用して光を感知し、感知された光による電気信号であるイメージ信号を出力することができる。例えば、該光電変換素子は、フォトダイオード、フォトトランジスタ、フォトゲートまたはピンドフォトダイオード(pinned photodiode)などを含むものとしうる。
【0016】
複数のピクセルPXそれぞれは、特定スペクトル領域の光を感知することができる。例えば、複数のピクセルPXは、レッド(red)スペクトル領域の光を電気信号に変換するレッドピクセル、グリーン(green)スペクトル領域の光を電気信号に変換するためのグリーンピクセル、及びブルー(blue)スペクトル領域の光を電気信号に変換するためのブルーピクセルを含みうる。一実施形態において、複数のピクセルPXは、ベイヤーパターン(Bayer pattern)の色相配列を有しうる。しかしながら、それに制限されるものではなく、該複数のピクセルは、ホワイト(white)ピクセルをさらに含むものであってもよい。他の例として、該複数のピクセルは、他色構成に組み合わされたピクセル、例えば、イエロー(yellow)ピクセル、シアン(cyan)ピクセル及びマゼンタ(magenta)ピクセルを含むものであってもよい。
【0017】
複数のピクセルPX上部には、特定スペクトル領域の光を透過させるためのカラーフィルタアレイが配され、複数のピクセルそれぞれの上部に配されたカラーフィルタにより、当該ピクセルが感知しうる色相が決定されうる。しかしながら、本開示は、それに制限されるものではない。一部実施形態において、特定光電変換素子は、光電変換素子に印加される電気信号のレベルにより、特定波長帯域の光を電気信号に変換することもできる。
【0018】
一実施形態において、複数のピクセルPXそれぞれは、グローバルシャッタ(global shutter)方式及びローリングシャッタ(rolling shutter)方式によって動作しうるピクセル構造を有し、ピクセルアレイ110は、該グローバルシャッタ方式または該ローリングシャッタ方式によって動作しうる。該グローバルシャッタ方式によれば、ピクセルアレイ110の複数のピクセルPXの露出開始時点及び露出期間が同一であり、露出期間後、ピクセルアレイの複数の行(ロウ(row))が順次に読み取られ、該ローリングシャッタ方式によれば、ピクセルアレイ110の複数のロウが順次に露出を始め、さらに順次に読み取られる。
【0019】
一実施形態において、複数のピクセルPXそれぞれは、デュアルコンバーションゲイン(dual conversion gain)を有しうる。該デュアルコンバーションゲインは、ロー(low)コンバーションゲイン及びハイ(high)コンバーションゲインを含む。ここで、該コンバーションゲインは、フローティングディフュージョンノードFD(図3)に蓄積された電荷が電圧に変換される比率を意味する。光電変換素子で生成された電荷は、フローティングディフュージョンノードFDに伝送されて蓄積され、該コンバーションゲインにより、フローティングディフュージョンノードFDに蓄積された電荷が電圧に変換されうる。このとき、フローティングディフュージョンノードFDのキャパシタンスによって該コンバーションゲインが可変され、キャパシタンスが増大すれば、コンバーションゲインは、低くなり、キャパシタンスが低減すれば、該コンバーションゲインは、増大されうる。
【0020】
一実施形態において、複数のピクセルPXそれぞれは、少なくとも2つのフォトダイオードを含み、少なくとも2つのフォトダイオードから出力される光電荷に対応するピクセル信号を基に、イメージセンサ100は、オートフォーカス機能(AF)を提供することができる。
【0021】
本開示の技術的思想による複数のピクセルPXのピクセル構造につき、図3図7図10図11及び図14を参照して詳細に説明する。
【0022】
ロウドライバ120は、ピクセルアレイ110をロウ単位で駆動する。ロウドライバ120は、タイミングコントローラ180から受信されるロウ制御信号(例えば、アドレス信号)をデコーディングし、デコーディングされたロウ制御信号に応答し、ピクセルアレイ110を構成するロウラインのうち少なくともいずれか1本のロウラインを選択することができる。例えば、ロウドライバ120は、複数のロウのうち一つを選択する選択信号を生成することができる。そして、ピクセルアレイ110は、ロウドライバ120から提供された選択信号によって選択されるロウから、ピクセル信号、例えば、ピクセル電圧を出力する。該ピクセル信号は、リセット信号とイメージ信号とを含みうる。ロウドライバ120は、ピクセル信号を出力するための制御信号を、ピクセルアレイ110に伝送することができ、ピクセルPXは、制御信号に応答して動作することにより、ピクセル信号を出力することができる。
【0023】
ランプ信号生成器130は、タイミングコントローラ180の制御により、所定の傾きでレベルが昇降するランプ信号(例えば、ランプ電圧)を生成することができる。ランプ信号RAMPは、ADC回路140に具備される複数の相関二重サンプリング(CDS:correlated double sampling)回路150にそれぞれ提供されうる。
【0024】
ADC回路140は、複数のCDS回路150、及び複数のカウンタ160を含みうる。ADC回路140は、ピクセルアレイ110から入力されるピクセル信号(例えば、ピクセル電圧)を、デジタル信号であるピクセル値に変換することができる。複数のカラムラインCLそれぞれを介して受信される各ピクセル信号は、CDS回路150及びカウンタ160により、デジタル信号であるピクセル値に変換される。
【0025】
CDS回路150は、カラムラインCLを介して受信されるピクセル信号、例えば、ピクセル電圧をランプ信号RAMPと比較し、該比較結果を比較信号として出力することができる。CDS回路150は、ランプ信号RAMPのレベルと、ピクセル信号のレベルとが同一であるとき、第1レベル(例えば、ロジックハイ)から第2レベル(例えば、ロジックロー)に遷移する比較信号を出力することができる。該比較信号のレベルが遷移される時点は、ピクセル信号のレベルによって決定されうる。以下、本開示において、説明の便宜のために、該第1レベルは、ハイレベルと表示し、該第2レベルは、ローレベルと表示する。
【0026】
CDS回路150は、相関二重サンプリング(CDS)方式により、ピクセルPXから提供されるピクセル信号をサンプリングすることができる。CDS回路150は、ピクセル信号として受信されるリセット信号をサンプリングし、該リセット信号をランプ信号RAMPと比較し、該リセット信号による比較信号を生成することができる。その後、CDS回路150は、該リセット信号に相関された(correlated)イメージ信号をサンプリングし、該イメージ信号とランプ信号RAMPとを比較し、該イメージ信号による比較信号を生成することができる。
【0027】
カウンタ160は、タイミングコントローラ180から提供されるカウンティングクロックCNT_CLKを基に、CDS回路150から出力される比較信号のレベル遷移時点をカウントし、カウント値を出力することができる。
【0028】
一部実施形態において、カウンタ160は、カウンティングクロックCNT_CLKを基にカウント値が順次に増大されるアップカウンタ及び演算回路、あるいはアップ/ダウンカウンタまたはビットワイズインバージョンカウンタ(bit-wise inversion counter)によって具現されうる。
【0029】
一部実施形態において、イメージセンサ100は、周期的に値が変わるカウンティングコード(例えば、グレイコード)を生成し、該カウンティングコードを複数のカウンタ160にそれぞれ提供するカウンティングコード生成器をさらに含むものであってもよく、カウンタ160は、ラッチ回路及び演算回路を含むものであってもよい。該ラッチ回路は、比較信号のレベルが遷移される時点において、該カウンティングコードのコード値をラッチすることができる。該ラッチ回路は、リセット信号に対応するコード値、例えば、リセット値、及びイメージ信号に対応するコード値、例えば、イメージ信号値それぞれをラッチすることができる。該演算回路は、リセット値とイメージ信号値とを演算し、ピクセルPXのリセットレベルが除去されたイメージ信号値を生成することができる。カウンタ160は、リセットレベルが除去されたイメージ信号値を、ピクセル値として出力することができる。
【0030】
データ出力回路170は、ADC回路140から出力されたピクセル値を一時的に保存した後、出力することができる。データ出力回路170は、複数のカラムメモリ171(または、バッファBFともいう)、及びカラムデコーダ172を含みうる。カラムメモリ171は、対応するカウンタ160から受信されるピクセル値を保存する。一部実施形態において、複数のカラムメモリ171それぞれは、カウンタ160に具備されてもよい。複数のカラムメモリ171に保存された複数のピクセル値は、カラムデコーダ172の制御下、イメージデータIDTAとして出力されうる。
【0031】
タイミングコントローラ180は、ロウドライバ120、ランプ信号生成器130、ADC回路140及びデータ出力回路170それぞれに制御信号を出力し、ロウドライバ120、ランプ信号生成器130、ADC回路140及びデータ出力回路170の動作またはタイミングを制御することができる。
【0032】
信号処理部190は、イメージデータIDTAに対し、ノイズ低減処理、ゲイン調整、波形整形化処理、補間処理、ホワイトバランス処理、ガンマ処理、エッジ強調処理、ビニングなどを行うことができる。一部実施形態において、信号処理部190は、イメージセンサ100の外部に位置する外部プロセッサに具備されてもよい。
【0033】
図2A及び図2Bは、グローバルシャッタモードの動作、及びローリングシャッタモードの動作を示すタイミング図である。
【0034】
図1及び図2Aを参照すれば、イメージセンサ100は、グローバルシャッタモードで動作しうる。
【0035】
1フレーム期間FPは、第1期間P1及び第2期間P2を含むことができ、第1期間P1にピクセルアレイ110の複数のピクセルPX、言い替えれば、ピクセルアレイ110の複数のロウ(例えば、第1ロウR1ないし第nロウRn)が同時にリセット動作、露出動作及びグローバル信号ダンピング(global signal dumping)動作を遂行し、第2期間P2において、ピクセルアレイ110の複数のロウが順次に読み取り動作を遂行することができる。第2期間P2は、フレームリードアウト期間と称されうる。
【0036】
第1期間P1は、リセット期間(reset period)、蓄積期間(integration period)(または、露出期間ともいう)及びグローバル信号ダンピング期間(GSDP)を含みうる。複数のピクセルPXは、リセット期間の間、フォトダイオード(及びフローティングディフュージョンノード)に蓄積された電荷を除去するリセット動作を遂行し、蓄積期間の間、フォトダイオードが、受信された光信号に対応する光電荷を生成して蓄積する蓄積動作を遂行し、グローバル信号ダンピング期間(GSDP)の間、複数のピクセルPXは、フローティングディフュージョンノードのリセットレベルによるリセット信号、及びフォトダイオードに蓄積された光電荷に対応するイメージ信号を、内部に具備される少なくとも2つのキャパシタにそれぞれ保存することができる。
【0037】
第2期間P2には、リードアウト期間(readout period)の間に遂行されるリードアウト動作が、ロウ別に順次に遂行されるローリングリードアウト動作が遂行されうる。例えば、ピクセルアレイ110の第1ロウR1に対するリードアウト動作が遂行された後、次の順序である第2ロウR2に対するリードアウト動作が遂行されうる。そして、第2ロウR2に対するリードアウト動作が遂行された後、次の順序である第3ロウR3に対するリードアウト動作が遂行されうる。従って、第1ロウR1に対する読み取り動作が遂行された後、第1期間P1と、後続されるロウ(例えば、第2ロウR2ないし第nロウRn)の読み取り期間との待機期間が漸進的に増大されうる。リードアウト動作時、グローバル信号ダンピング期間(GSDP)において、少なくとも2つのキャパシタにそれぞれ保存されたリセット信号及びイメージ信号が、ピクセル信号として、それぞれのピクセルPXから出力されうる。
【0038】
図1及び図2Bを参照すれば、イメージセンサ100は、ローリングシャッタモードで動作しうる。
【0039】
1フレーム期間FPにおいて、ピクセルアレイ110の複数のロウ(例えば、第1ロウR1ないし第nロウRn)が順次にリセット動作、露出動作及びリードアウト動作を遂行することができる。
【0040】
1つのロウのピクセルPXは、リセット期間の間、リセット動作を遂行し、蓄積期間の間、蓄積動作を遂行し、リードアウト期間の間、フローティングディフュージョンノードのリセットレベルに対応するリセット信号(例えば、リセット電圧)、及びフォトダイオードで生成される光電荷に対応するイメージ信号(例えば、イメージ電圧)をピクセル信号として出力することができる。ピクセルアレイ110の複数のロウのリードアウト期間は、オーバーラップされない。リードアウト期間後、1つのロウのピクセルPXは、待機期間後、さらにリセット動作を遂行することができる。一実施形態において、フレーム期間FP中の初期にリードアウトされる少なくとも1つのロウ(例えば、第1ロウR1、第2ロウR2など)の次フレーム期間におけるリードアウト期間と、フレーム期間FP中の末期にリードアウトされる他の少なくとも1つのロウ(例えば、第(n-1)ロウRn-1、第nロウRnなど)の現在フレーム期間におけるリードアウト期間がオーバーラップされないように待機期間が設定されうる。
【0041】
前述のように、本開示によるイメージセンサ100は、選択的に、グローバルシャッタモードまたはローリングシャッタモードで動作しうる。一実施形態において、イメージセンサ100が搭載された電子装置(例えば、イメージ処理装置)が、高速動画撮影時、グローバルシャッタモードで動作し、高画質のスチルイメージキャプチャ(still image capture)時または低速動画撮影時(言い替えれば、高画質のイメージ生成時)、ローリングシャッタモードで動作しうる。一実施形態において、イメージセンサは、高照度環境において、ローリングシャッタモードで動作し、低照度環境において、グローバルシャッタモードで動作しうる。
【0042】
図3は、本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
【0043】
図3を参照すれば、ピクセルPXaは、フォトダイオードPD及びピクセル信号生成回路PSCa(または、ピクセル回路ともいう)を含みうる。ピクセル信号生成回路PSCaは、複数のトランジスタTX,RX,DCG,DX1,PSX1,PSX2,PCX,SMP1,SMP2,DX2,SX1,SX2、第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2を含みうる。ピクセル信号生成回路PSCaには、制御信号TS,RS,CGS,PSEL1,PSEL2,PC,SPS1,SPS2,SEL1,SEL2が印加され、前記制御信号のうち少なくとも一部は、ロウドライバ120で生成されうる。
【0044】
フォトダイオードPDは、光の強度によって可変される光電荷を生成することができる。例えば、フォトダイオードPDは、入射された光量に比例し、電荷、すなわち、負の電荷である電子と、正の電荷である正孔とを生成することができる。
【0045】
転送トランジスタTXは、フォトダイオードPDとフローティングディフュージョンノードFDとの間に連結されうる。転送トランジスタTXの第1端子は、フォトダイオードPDの出力端と連結され、転送トランジスタTXの第2端子は、フローティングディフュージョンノードFDに連結されうる。転送トランジスタTXは、ロウドライバ120から受信された転送制御信号TSに応答し、ターンオンまたはターンオフされうる。転送トランジスタTXは、ターンオンされ、フォトダイオードPDで生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。
【0046】
リセットトランジスタRXは、フローティングディフュージョンノードFDに蓄積された電荷をリセットさせることができる。リセットトランジスタRXの第1端子は、ピクセル電圧VPIXが印加され、リセットトランジスタRXの第2端子は、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGの第1端子に連結されうる。リセットトランジスタRXは、ロウドライバ120から受信されたリセット制御信号RSに応答し、ターンオンまたはターンオフされ、リセットトランジスタRX及びコンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオンされると、フローティングディフュージョンノードFDに蓄積された電荷が排出され、フローティングディフュージョンノードFDがリセットされうる。
【0047】
コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGは、ピクセルPXaのコンバージョンゲインを調整することができる。ここで、該コンバージョンゲインとは、フローティングディフュージョンノードFDに蓄積された電荷が電圧に変換される比率を意味する。フローティングディフュージョンノードFDのキャパシタンスにより、該コンバージョンゲインが可変され、該キャパシタンスが増大されれば、該コンバージョンゲインは、低くなり、該キャパシタンスが低減すれば、該コンバージョンゲインは、高くなりうる。
【0048】
コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGは、ゲイン制御信号CGSに応答し、ターンオンまたはターンオフされ、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオンされると、フローティングディフュージョンノードFDのキャパシタンスが増大し、コンバージョンゲインは、低くなり、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオフされると、フローティングディフュージョンノードFDのキャパシタンスが低減し、該コンバージョンゲインは、高くなりうる。従って、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGのオン/オフにより、ピクセルPXaは、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードまたはローコンバージョンゲインLCG)モードで動作しうる。言い替えれば、ピクセルPXaは、デュアルコンバージョンゲインモードで動作し、コンバージョンゲインモードは、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGのオン/オフによって決定されうる。
【0049】
第1駆動トランジスタDX1の第1端子には、ピクセル電圧VPIXが印加され、第1駆動トランジスタDX1の第2端子は、第1ノードN1に連結されうる。第1駆動トランジスタDX1は、「第1ソースフォロワ」と称されうる。第1駆動トランジスタDX1は、バッファ増幅器(buffer amplifier)であり、フローティングディフュージョンノードFDに充電された電荷量による信号をバッファリングすることができる。フローティングディフュージョンノードFDに蓄積された電荷量により、フローティングディフュージョンノードFDの電位が変わり、第1駆動トランジスタDX1は、フローティングディフュージョンノードFDにおける電位変化を増幅し、第1ノードN1に出力することができる。第1駆動トランジスタDX1は、フローティングディフュージョンノードFDの電圧に対応する電圧を、第1ノードN1に出力することができる。
【0050】
ピクセル信号生成回路PSCaは、第1駆動トランジスタDX1を動作させ、第2ノードN2をプリチャージするための複数のトランジスタ、例えば、プリチャージトランジスタPCX、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2を含みうる。
【0051】
プリチャージトランジスタPCXの第1端子は、第1ノードN1に連結され、第2端子は、第2プリチャージ選択トランジスタPSX2の第1端子に連結されうる。第2プリチャージ選択トランジスタPSX2の第2端子は、プリチャージソースPC_SRCに連結されうる。例えば、プリチャージソースPC_SRCは、接地電圧としうる。第2プリチャージ選択トランジスタPSX2は、第2プリチャージ選択制御信号PSEL2に応答し、ターンオンまたはターンオフされうる。第2プリチャージ選択トランジスタPSX2は、ターンオンされ、プリチャージソースPC_SRCをプリチャージトランジスタPCXの第2端子に提供することができる。プリチャージトランジスタPCXは、電流ソースとして動作し、プリチャージ制御信号PCにより、ロード電流を生成することができ、該ロード電流により、第1駆動トランジスタDX1が動作しうる。
【0052】
第1プリチャージ選択トランジスタPSX1の第1端子は、第1ノードN1に連結され、第2端子は、第2ノードN2に連結されうる。第1プリチャージ選択トランジスタPSX1は、第1プリチャージ選択制御信号PSEL1に応答し、ターンオンまたはターンオフされ、ターンオンされて第2ノードN2をプリチャージすることができる。
【0053】
図3においては、ピクセルPXaが2個のプリチャージ選択トランジスタPSX1,PSX2を含むように図示されているが、本開示は、それに限られるものではない。ピクセルPXaは、第1ノードN1の電圧を基に、第2ノードN2をプリチャージするためのトランジスタであり、多様な個数のプリチャージ選択トランジスタを含みうる。
【0054】
第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2、第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2は、ピクセルPXaがグローバルシャッタモードで動作するとき、第1ノードN1を介して出力される第1電圧(例えば、リセット電圧)及び第2電圧(例えば、イメージ電圧)をサンプリングするためのサンプリング回路として動作しうる。
【0055】
第1サンプリングトランジスタSMP1の第1端子は、第2ノードN2に連結され、第1サンプリングトランジスタSMP1の第2端子は、第3ノードN3に連結されうる。第1キャパシタC1の第1端子は、第3ノードN3に連結され、第2端子には、ピクセル電圧VPIXが印加されうる。一実施形態において、第1キャパシタC1の第2端子には、接地電圧が印加されうる。第1サンプリングトランジスタSMP1は、第1サンプリング制御信号SPS1に応答し、ターンオンまたはターンオフされ、ターンオンされて第1キャパシタC1と第2ノードN2とを連結することができる。第2サンプリングトランジスタSMP2の第1端子は、第2ノードN2に連結され、第2サンプリングトランジスタSMP2の第2端子は、第4ノードN4に連結されうる。第2キャパシタC2の第1端子は、第4ノードN4に連結され、第2端子には、ピクセル電圧VPIXが印加されうる。一実施形態において、第2キャパシタC2の第2端子には、接地電圧が印加されうる。第2サンプリングトランジスタSMP2は、第2サンプリング制御信号SPS2に応答し、ターンオンまたはターンオフされ、ターンオンされて第2キャパシタC2と第2ノードN2とを連結することができる。
【0056】
第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2には、それぞれリセット動作によるリセット電圧がサンプリングされるか、あるいはフォトダイオードPDに蓄積された光電荷によるイメージ電圧がサンプリングされうる。
【0057】
グローバル信号ダンピング期間(GSDP)(図2)において、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2は、オン状態にあるとしうる。このとき、第1サンプリングトランジスタSMP1がオン状態である期間の間、第1キャパシタC1に電荷が蓄積され、第1キャパシタC1には、リセット電圧RSTがサンプリング(保存)されうる。その後、第2サンプリングトランジスタSMP1がオン状態である期間の間、第2キャパシタC2に電荷が蓄積され、第2キャパシタC2には、イメージ電圧SIGがサンプリング(保存)されうる。
【0058】
第2駆動トランジスタDX2の第1端子には、ピクセル電圧VPIXが印加され、第2駆動トランジスタDX2の第2端子は、第1選択トランジスタSX1と連結されうる。第2駆動トランジスタDX2は、「第2ソースフォロワ」と称されうる。第2駆動トランジスタDX2は、第2ノードN2における電位変化(例えば、電圧)を増幅して出力することができる。
【0059】
第1選択トランジスタSX1の第1端子は、第2駆動トランジスタDX2と連結され、第1選択トランジスタSX1の第2端子は、カラムラインCLに連結されうる。第1選択トランジスタSX1は、第1選択制御信号SEL1に応答し、ターンオンまたはターンオフされうる。
【0060】
ピクセルPXaがグローバルシャッタモードで動作するとき、ピクセルPXaのリードアウト期間において、第1選択トランジスタSX1がターンオンされ、第2駆動トランジスタDX2の出力、例えば、リセット電圧RSTまたはイメージ電圧SIGをピクセル信号PXSとしてカラムラインCLに出力することができる。
【0061】
例えば、第1選択トランジスタSX1がオン状態であり、第1サンプリングトランジスタSMP1がオン状態であり、第2サンプリングトランジスタSMP2がオフ状態である場合、第1キャパシタC1にサンプリングされたリセット電圧RSTがピクセル信号PXSとして出力され、第2選択トランジスタSX2がオン状態であり、第2サンプリングトランジスタSMP2がオン状態であり、第1サンプリングトランジスタSMP1がオフ状態である場合、第2キャパシタC2に保存されたイメージ電圧SIGがピクセル信号PXSとして出力されうる。
【0062】
第2選択トランジスタSX2の第1端子は、第1ノードN1に連結され、第2端子は、カラムラインCLに連結されうる。第2選択トランジスタSX2は、第2選択制御信号SEL2に応答し、ターンオンまたはターンオフされうる。
【0063】
ピクセルPXaがローリングシャッタモードで動作するとき、ピクセルPXaのリードアウト期間において、第2選択トランジスタSX2がターンオンされ、第1駆動トランジスタDX1の出力、例えば、リセット電圧RSTまたはイメージ電圧SIGをピクセル信号PXSとしてカラムラインCLに出力することができる。
【0064】
図4A及び図4Bは、本開示の例示的実施形態によるピクセルのグローバルシャッタモード及びローリングシャッタモードのリードアウト動作を示す。
【0065】
図4Aを参照すれば、ピクセルPXaがグローバルシャッタモードで動作するとき、第1選択トランジスタSX1は、ターンオンされ、第2選択トランジスタSX2は、ターンオフされうる。グローバル信号ダンピング期間(GSDP)において、第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2に保存されたリセット電圧RST及びイメージ電圧SIGが、ピクセル信号PXSとして第1選択トランジスタSX1を介し、カラムラインCLに出力されうる。
【0066】
図4Bを参照すれば、ピクセルPXaがローリングシャッタモードで動作するとき、第1選択トランジスタSX1は、ターンオフされ、第2選択トランジスタSX2は、ターンオンされうる。このとき、サンプリング回路として動作する第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2及び第1プリチャージ選択トランジスタPSX1がターンオフされうる。
【0067】
リセット電圧RST及びイメージ電圧SIGがピクセル信号PXSとして、第2選択トランジスタSX2を介し、カラムラインCLに出力されうる。
【0068】
図5は、本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号及びランプ信号を図示したタイミング図である。
【0069】
図5は、図3のピクセルPXaがグローバルシャッタモードで動作するとき、グローバル信号ダンピング期間(GSDP)及びローリングリードアウト期間(ROP)において、ピクセルPXaに提供される制御信号及びランプ信号を示す。図3を共に参照して説明する。
【0070】
ピクセルPXaがグローバルシャッタモードで動作するとき、第2選択信号SEL2は、ローレベルであり、第2選択トランジスタSX2は、ロジックローの第2選択信号SEL2に応答してターンオフされうる。本実施形態においてピクセルPXaは、ハイコンバージョンゲインモードで動作すると仮定する。コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGは、ローレベルのゲイン制御信号CGSに応答してターンオフされうる。ただし、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGが、リセットトランジスタRXとフローティングディフュージョンノードFDとの間に連結されているので、リセットトランジスタRXがフローティングディフュージョンノードFDをリセットするためにターンオンされるとき、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGもターンオンされうる。
【0071】
グローバル信号ダンピング期間(GSDP)において、プリチャージ信号PC、第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2は、ハイレベルを維持しうる。それにより、第1駆動トランジスタDX1が動作し、第1駆動トランジスタDX1から出力される信号が、第1ノードN1に伝達されうる。また、グローバル信号ダンピング期間(GSDP)において、第1選択信号SEL1は、ローレベルであり、第1選択トランジスタSX1は、ローレベルの第1選択信号SEL1に応答してターンオフされうる。
【0072】
グローバル信号ダンピング期間(GSDP)において、初期に第1リセット時間RT11の間、リセット制御信号RS及びゲイン制御信号CGSは、ハイレベルを維持し、リセットトランジスタRX及びコンバージョンゲイン制御トランジスタDCGは、ハイレベルのリセット信号RS及びゲイン制御信号CGSに応答してターンオンされることにより、フローティングディフュージョンノードFDをリセット(または、初期化という)することができる。例えば、フローティングディフュージョンノードFDは、ピクセル電圧VPIXにリセットされうる。その後、ゲイン制御信号CGSは、ローレベルに遷移され、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGは、ローレベルのゲイン制御信号CGSに応答してターンオフされうる。従って、ピクセルPXaは、ハイコンバージョンゲインモードで動作しうる。
【0073】
第1駆動トランジスタDX1は、リセットされたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルを示す第1電圧(例えば、リセット電圧)を第1ノードN1に出力することができる。
【0074】
第1セトリング時間ST1の間、第1サンプリングトランジスタSMP1がハイレベルの第1サンプリング信号SPS1に応答してターンオンされうる。第1セトリング時間ST1の間、第1ノードN1の第1電圧を基に、第1キャパシタC1が充電されうる。第3ノードN3に第1電圧がセトリングされるまで、第1キャパシタC1が充電されうる。それにより、第1キャパシタC1に、第1電圧(例えば、リセット電圧)がサンプリングされうる。例えば、第1キャパシタC1に、ピクセル電圧VPIXと該第1電圧との差に該当する電圧が保存されうる。一実施形態において、第1キャパシタC1の第2端子に接地電圧が印加される場合、第1キャパシタC1に、第1電圧が保存されうる。
【0075】
その後、転送期間TTにおいて、転送トランジスタTXが、ハイレベルの転送制御信号TSに応答してターンオンされ、フォトダイオードPDで生成された電荷(光電荷)をフローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。フローティングディフュージョンノードFDに電荷が蓄積されうる。第1駆動トランジスタDX1は、電荷が蓄積されたフローティングディフュージョンノードFDの電圧を示す第2電圧(例えば、イメージ電圧)を、第2ノードN2に出力することができる。
【0076】
第2セトリング時間ST2の間、第2サンプリングトランジスタSMP2がハイレベルの第2サンプリング信号SPS2に応答してターンオンされうる。第2セトリング時間ST2の間、第2電圧を基に、第2キャパシタC2が充電されうる。第4ノードN4に第2電圧がセトリングされるまで、第2キャパシタC2が充電されうる。それにより、第2キャパシタC2に、第2電圧(例えば、イメージ電圧)がサンプリングされうる。例えば、第2キャパシタC2に、ピクセル電圧VPIXと該第2電圧との差に該当する電圧が保存されうる。一実施形態において、第2キャパシタC2の第2端子に接地電圧が印加される場合、第2キャパシタC2に第2電圧が保存されうる。
【0077】
その後、ローリングリードアウト期間(ROP)において、第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2にサンプリングされた第1電圧(例えば、リセット電圧)及び第2電圧(例えば、イメージ電圧)がリードアウトされうる。ローリングリードアウト期間(ROP)において、プリチャージ信号PC及び第1選択信号は、ハイレベルを維持し、ハイレベルのプリチャージ信号PCに応答し、プリチャージトレジストPCXは、オン状態を維持しうる。
【0078】
第2リセット時間RT12の間、ハイレベルのリセット制御信号RS及びコンバージョンゲイン制御信号CGSに応答してターンオンされ、フローティングディフュージョンノードFDがリセットされうる。このとき、第2リセット時間RT12の少なくとも一部時間の間、転送トランジスタTXがハイレベルの転送制御信号RSに応答してターンオンされ、フォトダイオードに残っている光電荷を除去することができる。
【0079】
第1プリチャージ時間PT1の間、ハイレベルの第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2に応答し、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2がターンオンされうる。一実施形態において、第1プリチャージ時間PT1は、第2リセット時間RT12の少なくとも一部とオーバーラップされうる。フローティングディフュージョンノードFDのリセットレベルを示す第1電圧を基に、第2ノードN2がプリチャージされうる。本開示において、第2ノードN2がプリチャージされるというのは、第2ノードN2がリセットされるということと同じ意味を有しうる。
【0080】
その後、第1チャージシェアリング期間CS1の間、第1サンプリングトランジスタSMP1が、ハイレベルの第1サンプリング信号SPS1に応答してターンオンされうる。第2ノードN2と第3ノードN3とが連結され、第3ノードN3と第2ノードN2とがチャージシェアリングすることができる。それにより、第2ノードN2が第3ノードN3の第1電圧にセトリングされうる。第2駆動トランジスタDX2が第1電圧に対応するリセット電圧RSTを生成することができる。第1選択トランジスタSX1は、カラムラインCLにリセット電圧RSTを出力することができる。
【0081】
第1チャージシェアリング期間CS1において、第1サンプリングトランジスタSMP1がターンオンされた後、リセットリードアウト時間RRTにおいて、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。
【0082】
リセットリードアウト時間RRTの間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、リセット電圧RSTとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、リセット電圧RSTがデジタル値であるリセット値に変換されうる。
【0083】
リセットリードアウト時間RRTが経過され、第1サンプリング制御信号SPS1がハイレベルからローレベルに遷移された後、第2プリチャージ時間PT2の間、ハイレベルの第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2に応答し、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2がターンオンされうる。フローティングディフュージョンノードFDのリセットレベルを示す第1電圧を基に、第2ノードN2がプリチャージされうる。例えば、第2ノードN2がリセットされうる。
【0084】
前述のように、第1プリチャージ時間PT1及び第2プリチャージ時間PT2の間、第2ノードN2がプリチャージされることにより、第2ノードN2の電圧レベルが外部変化(例えば、第1サンプリングトランジスタSMP1のターンオフ時のチャージインジェクション(charge injection)またはクロックフィードスルー(clock feedthrough)など)によって変動されることが防止されうる。それにより、ピクセル別ダークオフセット(dark offset)が最小化されうる。
【0085】
その後、第2チャージシェアリング期間CS2の間、第2サンプリングトランジスタSMP2がハイレベルの第2サンプリング信号SPS2に応答してターンオンされうる。第2ノードN2と第4ノードN4とが連結され、第4ノードN4と第2ノードN2とがチャージシェアリングすることができる。それにより、第2ノードN2の電圧が第2電圧にセトリングされうる。第2駆動トランジスタDX2が第2電圧に対応するイメージ電圧SIGを生成することができる。第1選択トランジスタSX1は、カラムラインCLに、イメージ電圧SIGを出力することができる。
【0086】
第2チャージシェアリング期間CS2において、第2サンプリングトランジスタSMP2がターンオンされた後、イメージリードアウト時間SRTにおいて、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。
【0087】
イメージリードアウト時間SRTの間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、イメージ電圧SIGとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、イメージ電圧SIGがデジタル値であるイメージ値に変換されうる。それにより、グローバルシャッタモードで動作するピクセルアレイ110(図1)の1つのロウのピクセルPXaのリードアウト動作が完了しうる。
【0088】
図6A及び図6Bは、本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号及びランプ信号を図示したタイミング図である。
【0089】
図6Aは、図3のピクセルPXaがローリングシャッタモード及びハイコンバージョンゲインモードで動作するとき、ピクセルPXaに提供される制御信号及びランプ信号を示し、図6Bは、図3のピクセルPXaがローリングシャッタモード及びイントラデュアルコンバージョンゲインモードで動作するとき、ピクセルPXaに提供される制御信号及びランプ信号を示す。以下、図3を共に参照して説明する。
【0090】
図3図6A及び図6Bを参照すれば、リードアウト期間、例えば、1水平期間(1H)において、ピクセルアレイ110(図1)の1つのロウのピクセルPXaがリードアウトされうる。
【0091】
ピクセルPXaがローリングシャッタモードで動作するとき、第1選択信号SEL1、第1サンプリング信号SPS1、第2サンプリング信号SPS2及び第1プリチャージ選択信号PSEL1は、ローレベルであり、第1選択トランジスタSX1、第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2及び第1プリチャージ選択トランジスタPSX1は、ターンオフされうる。プリチャージ信号PC及び第2プリチャージ選択信号PSEL2は、ハイレベルであり、プリチャージトランジスタPCX及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2は、ターンオンされうる。
【0092】
図6Aを参照すれば、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGは、ローレベルのゲイン制御信号CGSに応答してターンオフされうる。ただし、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGが、リセットトランジスタRXとフローティングディフュージョンノードFDとの間に連結されているので、リセットトランジスタRXがフローティングディフュージョンノードFDをリセットするためにターンオンされるとき、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGもターンオンされうる。
【0093】
リセット時間RTの間、リセット制御信号RS及びゲイン制御信号CGSは、ハイレベルを維持し、リセットトランジスタRX及びコンバージョンゲイン制御トランジスタDCGは、ハイレベルのリセット信号RS及びゲイン制御信号CGSに応答してターンオンされることにより、フローティングディフュージョンノードFDをリセットすることができる。例えば、フローティングディフュージョンノードFDは、ピクセル電圧VPIXにリセットされうる。一実施形態において、リセット時間RTは、リードアウト期間以前(例えば、図2Bの蓄積期間)から続きうる。その後、ゲイン制御信号CGSは、ローレベルに遷移され、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGは、ローレベルのゲイン制御信号CGSに応答してターンオフされうる。従って、ピクセルPXaは、ハイコンバージョンゲインモードで動作しうる。
【0094】
第1駆動トランジスタDX1は、リセットされたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルを示す第1電圧(例えば、リセット電圧)を第1ノードN1に出力することができる。
【0095】
ピクセルPXaがローリングシャッタモードで動作するとき、リードアウト期間において、第2選択信号SEL2は、ハイレベルを維持し、第2選択トランジスタSX2は、ハイレベルの第2選択信号SEL2に応答してターンオンされうる。第2選択トランジスタSX2は、第1ノードN1から出力される第1電圧、言い替えれば、リセット電圧RSTをピクセル信号PXSとしてカラムラインCLに出力することができる。
【0096】
リセットリードアウト時間RRTにおいて、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。
【0097】
リセットリードアウト時間RRTの間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、リセット電圧RSTとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、リセット電圧RSTがデジタル値であるリセット値に変換されうる。
【0098】
その後、転送制御信号TSがローレベルからハイレベルに遷移され、転送期間TTの間、転送トランジスタTXは、ハイレベルの転送制御信号TSに応答してターンオンされうる。転送トランジスタTXは、フォトダイオードPDで生成して累積した光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。
【0099】
第1駆動トランジスタDX1は、光電荷が蓄積されたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルを示す第2電圧(例えば、イメージ電圧)を、第1ノードN1に出力することができる。第2選択トランジスタSX2は、第1ノードN1から出力される第1電圧、言い替えれば、イメージ電圧SIGを、ピクセル信号PXSとしてカラムラインCLに出力することができる。
【0100】
イメージリードアウト時間SRTにおいて、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。イメージリードアウト時間SRTの間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、イメージ電圧SIGとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、イメージ電圧SIGがデジタル値であるイメージ値に変換されうる。
【0101】
それにより、ローリングシャッタモード及びハイコンバージョンゲインモードで動作するピクセルアレイ110(図1)の1つのロウのピクセルPXaのリードアウト動作が完了しうる。
【0102】
図6Bを参照すれば、リードアウト期間において、第1サブ期間SP1及び第4サブ期間SP4において、ゲイン制御信号CGSは、ハイレベルであり、第2サブ期間SP2及び第3サブ期間SP3において、ゲイン制御信号CGSがローレベルであるとしうる。例えば、ピクセルPXaは、第1サブ期間SP1及び第4サブ期間SP4において、ローコンバージョンゲインLCG)モードで動作し、第2サブ期間SP2及び第3サブ期間SP3において、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードで動作しうる。例えば、ピクセルPXaは、1回の露出後の1リードアウト期間において、デュアルコンバージョンゲインモードで動作しうる。それにより、1フレームの間、ピクセルアレイ110(図1)がデュアルコンバージョンゲインモードで動作しうる。
【0103】
第1サブ期間SP1の間、ハイレベルのゲイン制御信号CGSに応答し、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオンされ、ピクセルPXaは、ローコンバージョンゲインLCG)モードで動作しうる。
【0104】
リセット時間RTの間、リセット制御信号RSは、ハイレベルを維持し、リセットトランジスタRXは、ハイレベルのリセット制御信号RSに応答してターンオンされることにより、フローティングディフュージョンノードFDをリセットすることができる。例えば、フローティングディフュージョンノードFDは、ピクセル電圧VPIXにリセットされうる。
【0105】
第1駆動トランジスタDX1は、ローコンバージョンゲインLCG)モードでリセットされたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルを示す第1リセット電圧RST_Lを第1ノードN1に出力することができる。第1リセット電圧RST_Lは、ローコンバージョンゲインLCG)モードにおけるリセット電圧を示す。第2選択トランジスタSX2は、第1リセット電圧RST_Lをピクセル信号PXSとしてカラムラインCLに出力することができる。
【0106】
第1リセットリードアウト時間RRT1において、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。第1リセットリードアウト時間RRT1の間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、第1リセット電圧RST_Lとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、第1リセット電圧RST_Lがデジタル値である第1リセット値に変換されうる。
【0107】
その後、ゲイン制御信号CGSは、ハイレベルからローレベルに遷移されうる。第2サブ期間SP2の間、ローレベルのゲイン制御信号CGSに応答し、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオフされ、ピクセルPXaは、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードで動作しうる。
【0108】
コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオフされることにより、リセットされたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルが変動されうる。例えば、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGのゲート端子と、フローティングディフュージョンノードFDとの寄生キャパシタのキャパシタンスが変更され、それにより、フローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルが変動されうる。
【0109】
第1駆動トランジスタDX1は、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードでリセットされたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルを示す第2リセット電圧RST_Hを、第1ノードN1に出力することができる。第2リセット電圧RST_Hは、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードにおけるリセット電圧を示す。第2選択トランジスタSX2は、第2リセット電圧RST_Hをピクセル信号PXSとしてカラムラインCLに出力することができる。
【0110】
第2リセットリードアウト時間RRT2において、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。第2リセットリードアウト時間RRT2の間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと第2リセット電圧RST_Hとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、第2リセット電圧RST_Hがデジタル値である第2リセット値に変換されうる。
【0111】
第3サブ期間SP3の間、ゲイン制御信号CGSは、続けてローレベルを維持しうる。ローレベルのゲイン制御信号CGSに応答し、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオフされ、ピクセルPXaは、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードで動作しうる。
【0112】
第1転送期間TT1において、転送制御信号TSがハイレベルにトグリングすることができる。ハイレベルの転送制御信号TSに応答し、転送トランジスタTXがターンオンされ、フォトダイオードPDで生成されて蓄積された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。フローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルは、低くなりうる。
【0113】
第1駆動トランジスタDX1は、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードで光電荷が蓄積されたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルを示す第2イメージ電圧SIG_Hを、第1ノードN1に出力することができる。第2イメージ電圧SIG_Hは、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードにおけるイメージ電圧を示す。第2選択トランジスタSX2は、第2イメージ電圧SIG_Hを、ピクセル信号PXSとしてカラムラインCLに出力することができる。
【0114】
第1イメージリードアウト時間SRT1において、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる第1イメージリードアウト時間SRT1の間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと第2イメージ電圧SIG_Hとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、第2イメージ電圧SIG_Hがデジタル値である第2イメージ値に変換されうる。
【0115】
その後、ゲイン制御信号CGSは、ローレベルからハイレベルに遷移されうる。第4サブ期間SP4の間、ハイレベルのゲイン制御信号CGSに応答し、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオンされ、ピクセルPXaは、ローコンバージョンゲインLCG)モードで動作しうる。
【0116】
コンバージョンゲイン制御トランジスタDCGがターンオンされることにより、フローティングディフュージョンノードFDに形成される寄生キャパシタのキャパシタンスが、第2サブ期間SP2におけるキャパシタンスより増大されうる。それにより、フローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルが低減しうる。
【0117】
第2転送期間TT2において、転送制御信号TSがハイレベルにトグリングすることができる。ハイレベルの転送制御信号TSに応答し、転送トランジスタTXがターンオンされ、フォトダイオードPDに残っていた光電荷、及び第1転送期間TT1以後から第2転送期間TT2以前までフォトダイオードPDで生成されて蓄積された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。
【0118】
第1駆動トランジスタDX1は、ローコンバージョンゲインLCG)モードで光電荷が蓄積されたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルを示す第1イメージ電圧SIG_Lを、第1ノードN1に出力することができる。第1イメージ電圧SIG_Lは、ローコンバージョンゲインLCG)モードにおけるイメージ電圧を示す。第2選択トランジスタSX2は、第1イメージ電圧SIG_Lを、ピクセル信号PXSとしてカラムラインCLに出力することができる。
【0119】
第2イメージリードアウト時間SRT2において、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる第2イメージリードアウト時間SRT2の間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと第1イメージ電圧SIG_Lとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、第1イメージ電圧SIG_Lがデジタル値である第1イメージ値に変換されうる。
【0120】
第1イメージ値から第1リセット値が差し引かれた値がローコンバージョンゲインLCG)モードにおけるピクセル値として生成され、第2イメージ値から第2リセット値が差し引かれた値がハイコンバージョンゲイン(HCG)モードにおけるピクセル値として生成されうる。ローコンバージョンゲインLCG)モードにおける複数のピクセル値を基に、ローコンバージョンゲインLCG)イメージデータが生成され、ハイコンバージョンゲイン(HCG)モードにおける複数のピクセル値を基に、ハイコンバージョンゲイン(HCG)イメージデータが生成されうる。ハイコンバージョンゲイン(HCG)イメージデータの輝度は、ローコンバージョンゲインLCG)イメージデータの輝度とは異なりうる。信号プロセッサ190(図1)、または外部プロセッサは、ローコンバージョンゲインLCG)イメージデータ及びハイコンバージョンゲイン(HCG)イメージデータを併合し、HDR(high dynamic range)イメージデータを生成することができる。
【0121】
図7は、本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
【0122】
図7を参照すれば、ピクセルPXbは、第1フォトダイオードPD1、第2フォトダイオードPD2及びピクセル信号生成回路PSCbを含みうる。ピクセル信号生成回路PSCbは、複数のトランジスタTX1,TX2,RX,DCG,DX1,PSX1,PSX2,PCX,SMP1,SMP2,SMP3,DX2,SX1,SX2、第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3を含みうる。ピクセル信号生成回路PSCaには、制御信号TS1,TS2,RS、CGS,PSEL1,PSEL2,PC,SPS1,SPS2,SPS3,SEL1,SEL2が印加され、前記制御信号のうち少なくとも一部は、ロウドライバ120で生成されうる。
【0123】
図3のピクセルPXaと比較すれば、ピクセルPXaは、フォトダイオードPD及び転送トランジスタTXを含み、図7のピクセルPXbは、第1フォトダイオードPD1及び第1転送トランジスタTX1、第2フォトダイオードPD2及び第2転送トランジスタTX2を含むものでもある。例えば、ピクセルPXbは、フォトダイオード、及びフォトダイオードに対応する転送トランジスタを1対さらに含みうる。
【0124】
また、図3のピクセルPXaは、第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2、並びに第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2と、第2ノードN2との間にそれぞれ連結される第1サンプリングトランジスタSMP1及び第2サンプリングトランジスタSMP2を含み、図7のピクセルPXbは、第3キャパシタC3、及び第3キャパシタC3と第2ノードN2との間に連結される第3サンプリングトランジスタSMP3をさらに含むものでもある。
【0125】
第1転送トランジスタTX1は、第1フォトダイオードPD1とフローティングディフュージョンノードFDとの間に連結されうる。第1転送トランジスタTX1は、第1転送制御信号TS1に応答してターンオンまたはターンオフされ、第1転送トランジスタTX1は、ターンオンされ、第1フォトダイオードPD1で生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。
【0126】
第2転送トランジスタTX2は、第2フォトダイオードPD2とフローティングディフュージョンノードFDとの間に連結されうる。第2転送トランジスタTX2は、第2転送制御信号TS2に応答してターンオンまたはターンオフされ、第2転送トランジスタTX2は、ターンオンされ、第2フォトダイオードPD2で生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。
【0127】
第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2、第3サンプリングトランジスタSMP3、第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3は、ピクセルPXbがグローバルシャッタモードで動作するとき、第1ノードN1を介して出力される第1電圧(例えば、リセット電圧)、第2電圧(例えば、第1イメージ電圧)及び第3電圧(例えば、第2イメージ電圧)をサンプリングするためのサンプリング回路として動作しうる。ここで、該第1イメージ電圧は、第1フォトダイオードPD1で生成される光電荷がフローティングディフュージョンノードFDに蓄積されたとき、フローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルに対応して生成されるイメージ電圧であり、該第2イメージ電圧は、第2フォトダイオードPD2、または第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2で生成される光電荷がフローティングディフュージョンノードFDに蓄積されたとき、フローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルに対応して生成されるイメージ電圧でもある。
【0128】
第1サンプリングトランジスタSMP1の第1端子は、第2ノードN2に連結され、第1サンプリングトランジスタSMP1の第2端子は、第3ノードN3に連結されうる。第1キャパシタC1の第1端子は、第3ノードN3に連結され、第2端子には、ピクセル電圧VPIXが印加されうる。一実施形態において、第1キャパシタC1の第2端子には、接地電圧が印加されうる。第1サンプリングトランジスタSMP1は、第1サンプリング制御信号SPS1に応答してターンオンまたはターンオフされ、ターンオンされて第1キャパシタC1と第2ノードN2とを連結することができる。
【0129】
第2サンプリングトランジスタSMP2の第1端子は、第2ノードN2に連結され、第2サンプリングトランジスタSMP2の第2端子は、第4ノードN4に連結されうる。第2キャパシタC2の第1端子は、第4ノードN4に連結され、第2端子には、ピクセル電圧VPIXが印加されうる。一実施形態において、第2キャパシタC2の第2端子には、接地電圧が印加されうる。第2サンプリングトランジスタSMP2は、第2サンプリング制御信号SPS2に応答してターンオンまたはターンオフされ、ターンオンされて第2キャパシタC2と第2ノードN2とを連結することができる。
【0130】
第3サンプリングトランジスタSMP3の第1端子は、第2ノードN2に連結され、第3サンプリングトランジスタSMP3の第2端子は、第5ノードN5に連結されうる。第3キャパシタC3の第1端子は、第5ノードN5に連結され、第2端子には、ピクセル電圧VPIXが印加されうる。一実施形態において、第3キャパシタC3の第2端子には、接地電圧が印加されうる。第3サンプリングトランジスタSMP3は、第3サンプリング制御信号SPS3に応答してターンオンまたはターンオフされ、ターンオンされて第3キャパシタC3と第3ノードN3とを連結することができる。
【0131】
第1キャパシタC1は、リセット動作によるリセット電圧をサンプリングし、第2キャパシタC2は、第1イメージ電圧をサンプリングし、第3キャパシタC3は、第2イメージ電圧をサンプリングすることができる。
【0132】
ピクセルPXbの他の構成、例えば、リセットトランジスタRX、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG、第1駆動トランジスタDX1、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1、第2プリチャージ選択トランジスタPSX2、プリチャージトランジスタPCX、第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2、第2駆動トランジスタDX2、第1選択トランジスタSX1及び第2選択トランジスタSX2の動作は、図3のピクセルPXaと同一であるが、重複説明は、省略する。
【0133】
図8Aは、図7のピクセルの平面図であり、図8Bは、図7のピクセルの垂直断面図である。
【0134】
図8A及び図8Bを参照すれば、ピクセルPXbは、マイクロレンズML、カラーフィルタCF、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2、フローティングディフュージョンノードFD、並びに配線層WLを含みうる。
【0135】
マイクロレンズML下にカラーフィルタCFが配され、カラーフィルタCF下に第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2が配されうる。第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2は、基板SUBに形成され、フローティングディフュージョンノードFDも基板SUBに形成されうる。図示されていないが、基板SUBに、トランジスタ、例えば、リセットトランジスタRX、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG、第1駆動トランジスタDX1、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1、第2プリチャージ選択トランジスタPSX2、プリチャージトランジスタPCX、第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2、第2駆動トランジスタDX2、第1選択トランジスタSX1及び第2選択トランジスタSX2が形成され、配線層WLには、前記トランジスタを連結する配線、及び前記トランジスタの制御信号を伝送するロウラインが形成されうる。
【0136】
本実施形態において、マイクロレンズML下に、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2が並んで配されうる。第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2は、マイクロレンズMLの光軸MLXを中心に、左右(または、上(top)下(bottom))にそれぞれ配されうる。第1フォトダイオードPD1は、光軸MLXの右側を介して収集される第1光信号L1を受信し、第2フォトダイオードPD2は、光軸MLXの左側を介して収集される第2光信号L2を受信することができる。
【0137】
イメージセンサ100(図1)は、撮像装置のオートフォーカスのためのオートフォーカスデータを生成することができ、図7のピクセルPXbは、第1光信号L1及び第2光信号L2を基に、第1ピクセル値及び第2ピクセル値を生成することができ、該第1ピクセル値及び該第2ピクセル値を基に生成される両眼視差信号がオートフォーカスデータに利用されうる。図7のピクセルPXbは、オートフォーカスデータを生成するのに利用される焦点ピクセルとしうる。
【0138】
一実施形態において、ピクセルアレイ110(図1)に具備される複数のピクセルPXが焦点ピクセルであってもよい。一実施形態において、ピクセルアレイ110(図1)に具備される複数のピクセルPXのうち一部ピクセルが焦点ピクセルであってもよい。例えば、該焦点ピクセルは、ピクセルアレイ110の複数のピクセルPX間に配されうる。
【0139】
図9A及び図9Bは、本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号及びランプ信号を図示したタイミング図である。
【0140】
図9Aは、図7のピクセルPXbがグローバルシャッタモードで動作するとき、グローバル信号ダンピング期間(GSDP)及びローリングリードアウト期間(ROP)において、ピクセルPXbに提供される制御信号及びランプ信号を示し、図9Bは、図7のピクセルPXbがローリングシャッタモードで動作するとき、リードアウト期間において、ピクセルPXbに提供される制御信号及びランプ信号を示す。図7を共に参照して説明する。
【0141】
図9A及び図9Bにおいて、ピクセルPXbは、ローコンバージョンゲインモードで動作すると仮定する。従って、ゲイン制御信号CGSは、ハイレベルであるとしうる。ピクセルPXbがハイコンバージョンゲインモードで動作するとき、ゲイン制御信号CGSは、ローレベルであるが、ただし、リセット制御信号RSがハイレベルであるとき、ゲイン制御信号CGSもハイレベルにされうる。
【0142】
図7及び図9Aを参照すれば、ピクセルPXbがグローバルシャッタモードで動作するが、第2選択信号SEL2は、ローレベルであり、ローレベルの第2選択信号SEL2に応答し、第2選択トランジスタSX2は、ターンオフされうる。
【0143】
リセット期間RSTPにおいて、少なくとも一部期間において、第1転送トランジスタTX1及び第2転送トランジスタTX2がハイレベルの第1転送制御信号TS1及び第2転送制御信号TS2に応答してターンオンされ、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2に残っている光電荷がフローティングディフュージョンノードFDに転送されうる。それにより、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2がリセットされうる。ここで、フォトダイオードのリセットは、光電荷が除去されたことを意味する。その後、リセット制御信号RSがローレベルからハイレベルに遷移され、フローティングディフュージョンノードFDがリセットされることにより、フローティングディフュージョンノードFDに転送された光電荷が除去されうる。
【0144】
蓄積期間INTPにおいて、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2は、受信された光信号を基に、光電荷を生成して蓄積することができる。
【0145】
グローバル信号ダンピング期間(GSDP)において、プリチャージ信号PC、第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2は、ハイレベルを維持しうる。それにより、第1駆動トランジスタDX1が動作し、第1駆動トランジスタDX1から出力される信号が、第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3にサンプリングされうる。
【0146】
第1セトリング時間ST1の間、第1サンプリングトランジスタSMP1がハイレベルの第1サンプリング信号SPS1に応答してターンオンされ、リセットされたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルに対応する第1電圧(例えば、リセット電圧)を基に、第3ノードN3に第1電圧がセトリングされるまで、第1キャパシタC1が充電されうる。それにより、第1キャパシタC1に第1電圧(例えば、リセット電圧)がサンプリングされうる。
【0147】
その後、第1転送制御信号TS1がローレベルからハイレベルに遷移されうる。第1転送期間TT1の間、ハイレベルの第1転送制御信号TS1に応答し、第1転送トランジスタTX1がターンオンされ、第1蓄積時間IT1の間、第1フォトダイオードPDで生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。フローティングディフュージョンノードFDに、第1フォトダイオードPD1で生成された光電荷が蓄積され、第1駆動トランジスタDX1が、蓄積されたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルに対応する第2電圧(例えば、第1イメージ電圧)を、第1ノードN1に出力することができる。
【0148】
第2セトリング時間ST2の間、第2サンプリングトランジスタSMP2が、ハイレベルの第2サンプリング信号SPS2に応答してターンオンされ、第2電圧を基に、第4ノードN4に第2電圧がセトリングされるまで、第2キャパシタC2が充電されうる。それにより、第2キャパシタC2に、第2電圧(例えば、第1イメージ電圧)がサンプリングされうる。ここで、該第1イメージ電圧は、図8Bを参照して説明されたように、ピクセルPXbの光軸MLXの右側を介して収集される第1光信号L1(図8B)に対応するピクセル信号であるとしうる。
【0149】
その後、第1転送制御信号TS1及び第2転送制御信号TS2がローレベルからハイレベルに遷移されうる。第2転送期間TT2の間、ハイレベルの第2転送制御信号TS2に応答し、第2転送トランジスタTX2がターンオンされ、第2蓄積時間IT2の間、第2フォトダイオードPD2で生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。また、ハイレベルの第1転送制御信号TS1に応答し、第1転送トランジスタTX1がターンオンされ、第1フォトダイオードPDに残っていた光電荷、及び第1転送期間TT1後に生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。フローティングディフュージョンノードFDに、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2で生成された光電荷が蓄積され、第1駆動トランジスタDX1が、蓄積されたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルに対応する第3電圧(例えば、第2イメージ電圧)を、第1ノードN1に出力することができる。
【0150】
第3セトリング時間ST3の間、第3サンプリングトランジスタSMP3が、ハイレベルの第3サンプリング信号SPS3に応答してターンオンされ、第3電圧を基に、第5ノードN5に第4電圧がセトリングされるまで、第4キャパシタC4が充電されうる。それにより、第3キャパシタC3に、第3電圧(例えば、第2イメージ電圧)がサンプリングされうる。ここで、第2イメージ電圧は、図8Bを参照し、第1光信号L1(図8B)と第2光信号(図8BのL2)との和、言い替えれば、ピクセルPXbに受信される全体光信号に対応するピクセル信号であるとしうる。
【0151】
その後、リセット時間RTの間、ハイレベルのリセット制御信号RSに応答し、フローティングディフュージョンノードFDがリセットされ、第1プリチャージ時間PT1の間、ハイレベルの第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2に応答し、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2がターンオンされ、第1駆動トランジスタDX1から出力されるフローティングディフュージョンノードFDのリセットレベルを示す第1電圧を基に、第2ノードN2がプリチャージされうる。
【0152】
その後、第1チャージシェアリング期間CS1の間、第1サンプリングトランジスタSMP1が、ハイレベルの第1サンプリング信号SPS1に応答してターンオンされうる。第2ノードN2と第3ノードN3とが連結され、第3ノードN3と第2ノードN2とがチャージシェアリングすることができる。それにより、第2ノードN2が第3ノードN3の第1電圧にセトリングされうる。第2駆動トランジスタDX2が、第1電圧に対応するリセット電圧RSTを生成することができる。第1選択トランジスタSX1は、カラムラインCLに、リセット電圧RSTを出力することができる。
【0153】
第1チャージシェアリング期間CS1において、第1サンプリングトランジスタSMP1がターンオンされた後、リセットリードアウト時間RRTにおいて、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。
【0154】
リセットリードアウト時間RRTの間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、リセット電圧RSTとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、リセット電圧RSTがデジタル値であるリセット値に変換されうる。
【0155】
リセットリードアウト時間RRTが経過され、第1サンプリング制御信号SPS1がハイレベルからローレベルに遷移された後、第2プリチャージ時間PT2の間、ハイレベルの第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2に応答し、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2がターンオンされ、フローティングディフュージョンノードFDのリセットレベルを示す第1電圧を基に、第2ノードN2がプリチャージされうる。
【0156】
第2チャージシェアリング期間CS2の間、第2サンプリングトランジスタSMP2が、ハイレベルの第2サンプリング信号SPS2に応答してターンオンされうる。第2ノードN2と第4ノードN4とが連結され、第4ノードN4と第2ノードN2とがチャージシェアリングすることができる。それにより、第2ノードN2の電圧が第2電圧にセトリングされうる。第2駆動トランジスタDX2が、第2電圧に対応する第1イメージ電圧SIGを生成することができる。第1選択トランジスタSX1は、カラムラインCLに、第1イメージ電圧SIGを出力することができる。
【0157】
第2チャージシェアリング期間CS2において、第2サンプリングトランジスタSMP2がターンオンされた後、第1イメージリードアウト時間SRT1において、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。
【0158】
第1イメージリードアウト時間SRT1の間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、第1イメージ電圧SIGとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)で第1イメージ電圧SIGがデジタル値である第1イメージ値に変換されうる。
【0159】
第2チャージシェアリング期間CS2が経過され、第2サンプリング制御信号SPS2がハイレベルからローレベルに遷移された後、第3プリチャージ時間PT3の間、ハイレベルの第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2に応答し、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2がターンオンされ、フローティングディフュージョンノードFDのリセットレベルを示す第1電圧を基に、第2ノードN2がプリチャージされうる。
【0160】
第3チャージシェアリング期間CS3の間、第3サンプリングトランジスタSMP3が、ハイレベルの第3サンプリング信号SPS3に応答してターンオンされうる。第2ノードN2と第5ノードN5とが連結され、第5ノードN5と第2ノードN2とがチャージシェアリングすることができる。それにより、第2ノードN2の電圧が第3電圧にセトリングされうる。第2駆動トランジスタDX2が、第3電圧に対応する第2イメージ電圧SIGLRを生成することができる。第1選択トランジスタSX1は、カラムラインCLに第2イメージ電圧SIGLRを出力することができる。
【0161】
第3チャージシェアリング期間CS3において、第3サンプリングトランジスタSMP3がターンオンされた後、第2イメージリードアウト時間SRT2において、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。
【0162】
第2イメージリードアウト時間SRT2の間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、第2イメージ電圧SIGLRとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、第2イメージ電圧SIGLRがデジタル値である第2イメージ値に変換されうる。
【0163】
図7及び図9Bを参照すれば、ピクセルPXbがローリングシャッタモードで動作するが、第1選択信号SEL1、第1サンプリング信号SPS1、第2サンプリング信号SPS2及び第3サンプリング信号SPS3、並びに第1プリチャージ選択信号PSEL1は、ローレベルであり、ローレベルの第1選択信号SEL1、第1サンプリング信号SPS1、第2サンプリング信号SPS2及び第3サンプリング信号SPS3、並びに第1プリチャージ選択信号PSEL1に応答し、第1選択トランジスタSX1、第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2及び第3サンプリングトランジスタSMP3、並びに第1プリチャージ選択トランジスタPSX1は、ターンオフされうる。プリチャージ信号PC及び第2プリチャージ選択信号PSEL2は、ハイレベルであり、ハイレベルのプリチャージ信号PC及び第2プリチャージ選択信号PSEL2に応答し、プリチャージトランジスタPCX及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2は、ターンオンされうる。
【0164】
リセット期間RSTP及び蓄積期間INTPのピクセルPXbの動作は、図9Aを参照して説明されたところと同一であるが、重複説明は、省略する。
【0165】
リードアウト期間において、第2選択信号SEL2は、ハイレベルであるが、ハイレベルの第2選択信号SEL2に応答し、第2選択トランジスタSX2は、ターンオンされうる。第2選択トランジスタSX2は、第1駆動トランジスタDX1から出力されるピクセル信号PXSを、カラムラインCLに出力することができる。
【0166】
リセット時間RTにおいて、ハイレベルのリセット制御信号RSに応答し、リセットトランジスタRXがターンオンされ、フローティングディフュージョンノードFDがリセットされうる。第1駆動トランジスタDX1は、リセットされたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルを示す第1電圧、例えば、リセット電圧RSTを出力することができる。第2選択トランジスタSX2は、リセット電圧RSTをカラムラインCLに出力することができる。
【0167】
リセットリードアウト時間RRTにおいて、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。リセットリードアウト時間RRTの間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力されるピクセル信号PXS、言い替えれば、リセット電圧RSTとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、リセット電圧RSTがデジタル値であるリセット値に変換されうる。
【0168】
その後、第1転送制御信号TS1がローレベルからハイレベルに遷移されうる。第1転送期間TT1の間、ハイレベルの第1転送制御信号TS1に応答し、第1転送トランジスタTX1がターンオンされ、第1蓄積時間IT1の間、第1フォトダイオードPDで生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。フローティングディフュージョンノードFDに、第1フォトダイオードPD1で生成された光電荷が蓄積され、第1駆動トランジスタDX1が、蓄積されたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルに対応する第2電圧、例えば、第1イメージ電圧SIGを、第1ノードN1に出力することができる。第2選択トランジスタSX2は、第1イメージ電圧SIGをカラムラインCLに出力することができる。
【0169】
第1イメージリードアウト時間SRT1において、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。第1イメージリードアウト時間SRT1の間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力される第1イメージ電圧SIGとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、第1イメージ電圧SIGがデジタル値である第1イメージ値に変換されうる。
【0170】
その後、第1転送制御信号TS1及び第2転送制御信号TS2がローレベルからハイレベルに遷移されうる。第2転送期間TT2の間、ハイレベルの第2転送制御信号TS2に応答し、第2転送トランジスタTX2がターンオンされ、第2蓄積時間IT2の間、第2フォトダイオードPD2で生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。また、ハイレベルの第1転送制御信号TS1に応答し、第1転送トランジスタTX1がターンオンされ、第1フォトダイオードPDに残っていた光電荷、及び第1転送期間TT1後に生成された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。フローティングディフュージョンノードFDに、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2で生成された光電荷が蓄積され、第1駆動トランジスタDX1が、蓄積されたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルに対応する第3電圧(例えば、第3イメージ電圧)を第1ノードN1に出力することができる。第2選択トランジスタSX2は、第2イメージ電圧SIGLRをカラムラインCLに出力することができる。
【0171】
第2イメージリードアウト時間SRT2において、ランプ信号RAMPが一定傾きに低減(または、増大)されうる。第2イメージリードアウト時間SRT2の間、CDS回路150(図1)は、ランプ信号RAMPと、カラムラインCLを介して出力される第2イメージ電圧SIGLRとを比較することができる。それにより、ADC回路140(図1)において、第2イメージ電圧SIGLRがデジタル値である第2イメージ値に変換されうる。
【0172】
図9A及び図9Bを参照し、ピクセルPXbがグローバルシャッタモード及びローリングシャッタモードで動作し、リセット電圧RST、第1イメージ電圧SIG及び第2イメージ電圧SIGLRを出力し、ADC回路140(図1)がそれらをADC変換し、リセット値、第1イメージ値及び第2イメージ値を生成することについて説明した。該第1イメージ値及び該第2イメージ値からリセット値が差し引かれ、ノイズが除去された第1信号値及び第2信号値が算出されうる。該第1信号値は、ピクセルPXbに受信される第1光信号L1(図8B)の光量を示し、該第2信号値は、ピクセルPXbに受信される第1光信号L1及び第2光信号L2(図8B)の光量を示すことができる。
【0173】
イメージセンサ100(図1)の信号プロセッサ190(図1)、または外部プロセッサは、第2信号値から第1信号値を差し引くことにより、第2光信号に対応する第3信号値を算出することができる。第1光信号に対応する第1信号値、及び第2光信号に対応する第3信号値がオートフォーカスデータに利用されうる。また、ピクセルアレイ110(図1)の複数のピクセルPXに対応する複数の第2信号値が、イメージデータIDTA(図1)として生成されうる。
【0174】
図10は、本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
【0175】
図10を参照すれば、ピクセルPXcは、第1フォトダイオードPD1、第2フォトダイオードPD2及びピクセル信号生成回路PSCcを含みうる。ピクセル信号生成回路PSCcは、複数のトランジスタTX1,TX2,RX,DCG,DX1,PSX1,PSX2,PCX,SMP1,SMP2,SMP3,DX2,SX1,SX2,SX3、第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3を含みうる。ピクセル信号生成回路PSCcには、制御信号TS1,TS2,RS、CGS,PSEL1,PSEL2,PC,SPS1,SPS2,SPS3,SEL1,SEL2,SEL3が印加され、前記制御信号のうち少なくとも一部は、ロウドライバ120で生成されうる。
【0176】
図10のピクセルPXcは、図7のピクセルPXbの変形例である。図7のピクセルPXbと比較すれば、ピクセルPXcは、第3選択トランジスタSX3をさらに含むものでもある。第3選択トランジスタSX3の第1端子は、第1駆動トランジスタDX1の第2端子に連結され、第2端子は、第1ノードN1に連結されうる。第3選択トランジスタSX3は、第3選択信号SEL3に応答してターンオン及びターンオフされうる。ピクセルPXcに提供される制御信号TS1,TS2,RS、CGS,PSEL1,PSEL2,PC,SPS1,SPS2,SPS3,SEL1,SEL2は、図7のピクセルPXbに提供される制御信号TS1,TS2,RS、CGS,PSEL1,PSEL2,PC,SPS1,SPS2,SPS3,SEL1,SEL2と同一としうる。従って、ピクセルPXcの動作は、図9A及び図9Bを参照して説明された図7のピクセルPXbの動作と類似している。
【0177】
第3選択信号SEL3は、ピクセルPXcがグローバルシャッタモード及びローリングシャッタモードで動作するとき、第2プリチャージ選択信号PSEL2と同一としうる。一実施形態において、第3選択信号SEL3は、ピクセルPXcがグローバルシャッタモードで動作するとき、グローバル信号ダンピング期間(GSDP)及びローリングリードアウト期間(ROP)においてハイレベルであるとしうる。それにより、第3選択トランジスタSX3は、グローバル信号ダンピング期間(GSDP)及びローリングリードアウト期間(ROP)においてターンオンされうる。
【0178】
イメージセンサ100(図1)は、積層される複数の基板に形成され、ピクセルアレイ110(図1)に具備される複数のピクセルPX(図1)は、複数の基板のうち少なくとも2枚の基板に分割配置されうる。一実施形態において、ピクセルPXcの第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2、並びにピクセル信号生成回路PSCcの一部トランジスタ、例えば、第1転送トランジスタTX1及び第2転送トランジスタTX2、リセットトランジスタRX、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG、第3選択トランジスタSX3、並びに第1駆動トランジスタDX1は、第1基板SUB1に形成され、ピクセル信号生成回路PSCcの残りトランジスタ、例えば、プリチャージトランジスタPCX、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2、第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2及び第3サンプリングトランジスタSMP3、第2駆動トランジスタDX2、第1選択トランジスタSX1及び第2選択トランジスタSX2、並びに第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3は、第2基板SUB2に形成されうる。一実施形態において、第1基板SUB1は、複数の基板のうち上部に配され、第2基板SUB2は、複数の基板のうち中間(例えば、第1基板SUB1の下)に配されうる。
【0179】
図11は、本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図である。
【0180】
図11を参照すれば、ピクセルPXdは、複数のフォトダイオード、例えば、第1フォトダイオードPD1、第2フォトダイオードPD2、第3フォトダイオードPD3、第4フォトダイオードPD4、第5フォトダイオードPD5、第6フォトダイオードPD6、第7フォトダイオードPD7及び第8フォトダイオードPD8、並びにピクセル信号生成回路PSCdを含みうる。ピクセル信号生成回路PSCdは、複数のトランジスタTX1,TX2,TX3,TX4,TX5,TX6,TX7,TX8,RX,DCG,DX1,PSX1,PSX2,PCX,SMP1,SMP2,SMP3,DX2,SX1,SX2,SX3、並びに第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3を含みうる。ピクセル信号生成回路PSCdには、制御信号TS1,TS2,RS、CGS,PSEL1,PSEL2,PC,SPS1,SPS2,SPS3,SEL1,SEL2,SEL3が印加され、前記制御信号のうち少なくとも一部は、ロウドライバ120で生成されうる。
【0181】
一実施形態において、複数のフォトダイオードPD1~PD8、複数のフォトダイオードに対応する複数の転送トランジスタTX1~TX8、リセットトランジスタRX、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG、第1駆動トランジスタDX1、第3選択トランジスタSX3は、第1基板SUB1に形成され、第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2及び第3サンプリングトランジスタSMP3、プリチャージトランジスタPCX、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2、第2駆動トランジスタDX2、第1選択トランジスタSX1及び第2選択トランジスタSX2、並びに第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3は、第2基板SUB2に形成されうる。
【0182】
第1転送トランジスタTX1は、第1転送制御信号TS1に応答してターンオン及びターンオフされうる。第2転送トランジスタTX2は、第2転送制御信号TS2に応答してターンオン及びターンオフされうる。第3転送トランジスタTX3は、第3転送制御信号TS3に応答してターンオン及びターンオフされうる。第4転送トランジスタTX4は、第4転送制御信号TS4に応答してターンオン及びターンオフされうる。第5転送トランジスタTX5は、第5転送制御信号TS5に応答してターンオン及びターンオフされうる。第6転送トランジスタTX6は、第6転送制御信号TS6に応答してターンオン及びターンオフされうる。第7転送トランジスタTX7は、第7転送制御信号TS7に応答してターンオン及びターンオフされうる。第8転送トランジスタTX8は、第8転送制御信号TS8に応答してターンオン及びターンオフされうる。
【0183】
図12は、図11のピクセルの平面図を概略的に示す。
【0184】
図11及び図12を参照すれば、1対のフォトダイオード、及び該1対のフォトダイオードに対応する1対の転送トランジスタは、1つのサブピクセルと称されうる。例えば、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2、並びに第1転送トランジスタTX1及び第2転送トランジスタTX2は、第1サブピクセルSPX1を構成し、第3フォトダイオードPD3及び第4フォトダイオードPD4、並びに第3転送トランジスタTX3及び第4転送トランジスタTX4は、第2サブピクセルSPX2を構成し、第5フォトダイオードPD5及び第6フォトダイオードPD6、並びに第5転送トランジスタTX5及び第6転送トランジスタTX6は、第3サブピクセルSPX3を構成し、第7フォトダイオードPD7及び第8フォトダイオードPD8、並びに第7転送トランジスタTX7及び第8転送トランジスタTX8は、第4サブピクセルSPX4を構成することができる。複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4は、フローティングディフュージョンノードFD及びピクセル信号生成回路PSCdを共有しうる。複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4それぞれの上部には、カラーフィルタ及びマイクロレンズが積層されうる。一実施形態において、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4は、同一色相の光信号をセンシングすることができる。例えば、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4は、同一色相のカラーフィルタ(例えば、同一色相の光信号を透過させるカラーフィルタ)を具備することができる。
【0185】
なお、図11及び図12は、ピクセルPXdが4個のサブピクセルを含むように図示されているが、それに制限されるものではなく、ピクセルPXdは、2以上のサブピクセルを含みうる。
【0186】
続けて図11を参照すれば、ピクセルアレイ110(図1)の動作モードにより、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4それぞれに対応するピクセル信号SPXがカラムラインCLを介して出力され、ピクセル値として変換されるか、あるいは複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4に共通するピクセル信号SPXがカラムラインCLを介して出力され、ピクセル値に変換されうる。
【0187】
ピクセルアレイ110(図1)がビニング(binning)モードで動作するとき、ピクセルPXdは、図9Aを参照して説明されたところと類似するように、グローバルシャッタ方式によってシャッタリングすることができる。言い替えれば、ピクセルPXdは、グローバルシャッタモードで動作しうる。ここで、第3転送制御信号TS3、第5転送制御信号TS5及び第7転送制御信号TS7は、第1転送制御信号TS1と同一であり、第4転送制御信号TS4、第6転送制御信号TS6及び第8転送制御信号TS8は、第2転送制御信号TS2と同一であるとしうる。
【0188】
第1転送期間TT1(図9A)において、第1転送トランジスタTX1、第3転送トランジスタTX3、第5転送トランジスタTX5及び第7転送トランジスタTX7がターンオンされ、第1フォトダイオードPD1、第3フォトダイオードPD3、第5フォトダイオードPD5及び第7フォトダイオードPD7で生成されて蓄積された光電荷がフローティングディフュージョンノードFDに転送されうる。第2転送期間TT2(図9A)において、第2転送トランジスタTX2、第4転送トランジスタTX4、第6転送トランジスタTX6及び第8転送トランジスタTX8がターンオンされ、第2フォトダイオードPD2、第4フォトダイオードPD4、第6フォトダイオードPD6及び第8フォトダイオードPD8で生成されて蓄積された光電荷がフローティングディフュージョンノードFDに転送されうる。また、第2転送期間TT2において、第1転送トランジスタTX1、第3転送トランジスタTX3、第5転送トランジスタTX5及び第7転送トランジスタTX7がターンオンされ、第1フォトダイオードPD1、第3フォトダイオードPD3、第5フォトダイオードPD5及び第7フォトダイオードPD7に残っていた光電荷、及び第1転送期間TT1後に生成されて蓄積された光電荷がフローティングディフュージョンノードFDに転送されうる。
【0189】
それにより、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4において、1つのフォトダイオード、例えば、第1フォトダイオードPD1、第3フォトダイオードPD3、第5フォトダイオードPD5及び第7フォトダイオードPD7で生成されて蓄積された光電荷に対応する電圧が、第1イメージ電圧SIGとして生成され、第1フォトダイオードPD1ないし第8フォトダイオードPD8で生成されて蓄積された光電荷に対応する電圧が、第2イメージ電圧SIGLRとして生成されうる。
【0190】
このように、ビニングモードにおいて、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4が同一に動作し、ピクセルPXdは、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4に共通するピクセル信号PXSを生成することができる。言い替えれば、ピクセルPXdにつき、1つのピクセル値が生成されうる。
【0191】
ピクセルアレイ110(図1)がフル(full)モードで動作するとき、ピクセルPXdは、図9Bを参照して説明されたところと類似するように、ローリングシャッタ方式によってシャッタリングすることができる。言い替えれば、ピクセルPXdは、ローリングシャッタモードで動作しうる。
【0192】
第1転送制御信号TS1、第3転送制御信号TS3、第5転送制御信号TS5及び第7転送制御信号TS7は、異なるとすることができおり、第2転送制御信号TS2、第4転送制御信号TS4、第6転送制御信号TS6及び第8転送制御信号TS8は、異なるとすることができる。それにより、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4は、ピクセルアレイ110の互いに異なるロウに位置するピクセルのように順次に動作し、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4それぞれに対応する複数のピクセル信号PXSが、カラムラインCLを介して順次に出力されうる。このように、フルモードにおいて、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4が順次に動作し、ピクセルPXdが、複数のサブピクセルSPX1,SPX2,SPX3,SPX4それぞれに対応する複数のピクセル信号PXSを生成することができる。ピクセルPXdにつき、複数のピクセル値が生成されうる。それにより、イメージセンサ100(図1)は、高解像度のイメージデータIDTAを生成することができる。
【0193】
図13は、本開示の例示的実施形態によるピクセルに提供される制御信号を図示したタイミング図である。
【0194】
図13は、図11のピクセルPXdがローリングシャッタモードで動作するとき、リセット信号RS、及びピクセルPXdに提供される第1転送制御信号TS1ないし第8転送制御信号TS8を示す。
【0195】
他の制御信号、例えば、ゲイン制御信号CGS、第1サンプリング信号SPS1、第2サンプリング信号SPS2及び第3サンプリング信号SPS3、第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2、プリチャージ信号PC、並びに第1選択信号SEL1及び第2選択信号SEL2は、図9Bのゲイン制御信号CGS、第1サンプリング信号SPS1、第2サンプリング信号SPS2及び第3サンプリング信号SPS3、第1プリチャージ選択信号PSEL1及び第2プリチャージ選択信号PSEL2、プリチャージ信号PC、並びに第1選択信号SEL1及び第2選択信号SEL2と同一でもある。第3選択信号SEL3は、第2選択信号SEL2と同一としうる。
【0196】
図11及び図13を参照すれば、リセット区間及び蓄積期間(RSTP & INTP)において、第1サブピクセルSPX1(図12)ないし第4サブピクセルSPX4(図12)それぞれに提供される転送制御信号、例えば、第1転送制御信号TS1及び第2転送制御信号TS2、第3転送制御信号TS3及び第4転送制御信号TS4、第5転送制御信号TS5及び第6転送制御信号TS6、第7転送制御信号TS7及び第8転送制御信号TS8が順次にトグリングし、第1サブピクセルSPX1ないし第4サブピクセルSPX4それぞれに具備されるフォトダイオードを順次にリセットすることができる。例えば、第1リセット期間RST1において、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2がリセットされ、所定時間後、第2リセット期間RT2において、第3フォトダイオードPD3及び第4フォトダイオードPD4がリセットされ、所定時間後、第3リセット期間RT3において、第5フォトダイオードPD5及び第6フォトダイオードPD6がリセットされ、所定時間後、第4リセット期間RT4において、第7フォトダイオードPD7及び第8フォトダイオードPD8がリセットされうる。ここで、該所定時間は、リードアウト期間のサブリードアウト期間、例えば、第1サブリードアウト期間SR1の長さを基に決定されうる。
【0197】
第1フォトダイオードPD1ないし第8フォトダイオードPD8は、リセットされた後、受信される光信号による光電荷を生成して蓄積することができる。
【0198】
リードアウト期間(例えば、1水平期間)は、複数のサブリードアウト期間SR1,SR2,SR3,SR4を含みうる。第1サブリードアウト期間SR1には、第1サブピクセルSPX1がリードアウトされ、第2サブリードアウト期間SR2には、第2サブピクセルSPX2がリードアウトされ、第3サブリードアウト期間SR3には、第3サブピクセルSPX3がリードアウトされ、第4サブリードアウト期間SR4には、第4サブピクセルSPX4がリードアウトされうる。
【0199】
第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2がリセットされた後、第1蓄積時間IT1の間、第1フォトダイオードPD1に、光電荷が生成されて蓄積され、第2蓄積時間IT2の間、第2フォトダイオードPD2に、光電荷が生成されて蓄積されうる。
【0200】
第1サブリードアウト期間SR1において、第1転送期間TT1の間、第1転送制御信号TS1がハイレベルであるが、ハイレベルの第1転送制御信号TS1に応答し、第1転送トランジスタTX1がターンオンされ、第1フォトダイオードPD1に蓄積された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。第2転送期間TT2の間、第1転送制御信号TS1及び第2転送制御信号TS2がハイレベルであるが、ハイレベルの第1転送制御信号TS1及び第2転送制御信号TS2に応答し、第1転送トランジスタTX1及び第2転送トランジスタTX2がターンオンされ、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2に蓄積された光電荷を、フローティングディフュージョンノードFDに転送することができる。
【0201】
第1転送期間TT1以前、第1駆動トランジスタDX1から出力されるリセットされたフローティングディフュージョンノードFDの電圧レベルに対応するリセット電圧が、第2選択トランジスタSX2を介してカラムラインCLに出力され、第1転送期間TT1後、第2転送期間TT2前、第1駆動トランジスタDX1から出力される第1イメージ電圧が、第2選択トランジスタSX2を介してカラムラインCLに出力されうる。第1イメージ電圧は、第1フォトダイオードPD1で生成されて蓄積された光電荷に対応しうる。第2転送期間TT2後、第1駆動トランジスタDX1から出力される第2イメージ電圧が、第2選択トランジスタSX2を介してカラムラインCLに出力されうる。第2イメージ電圧は、第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2で生成されて蓄積された光電荷に対応しうる。それにより、第1サブピクセルSPX1に対応するリセット電圧、第1イメージ電圧及び第2イメージ電圧が順次にカラムラインCLを介して出力されうる。
【0202】
第2サブリードアウト期間SR2、第3サブリードアウト期間SR3及び第4サブリードアウト期間SR4において、第3転送制御信号TS3ないし第8転送制御信号TS8は、第1サブリードアウト期間SR1の第1転送制御信号TS1及び第2転送制御信号TS2と類似してもおり、それにより、第2サブピクセルSPX2、第3サブピクセルSPX3、第4サブピクセルSPX4それぞれに対応するリセット電圧、第1イメージ電圧及び第2イメージ電圧が、順次にカラムラインCLを介して出力されうる。
【0203】
プロセッサ190(図1)(または、外部プロセッサ)は、複数のサブピクセル、例えば、第1サブピクセルSPX1ないし第4サブピクセルSPX4それぞれにつき、第1イメージ電圧及び第2イメージ電圧を基に、両眼視差信号を生成することができる。また、プロセッサ190は、ピクセルPXdの第1サブピクセルSPX1ないし第4サブピクセルSPX4それぞれの2つのフォトダイオードにつき、イメージデータIDTAを構成するピクセル値を生成することができる。それにより、高解像度のイメージデータIDTAが生成されうる。
【0204】
図14は、本開示の例示的実施形態によるピクセルを示す回路図であり、図15は、図14のピクセルの平面図を概略的に示す。
【0205】
図14を参照すれば、ピクセルPXeは、複数のフォトダイオードPD11~PD14,PD21~PD24,PD31~PD34及びPD41~PD44、並びにピクセル信号生成回路PSCeを含みうる。ピクセル信号生成回路PSCeは、複数のトランジスタTX11~TX14,TX21~TX24,TX31~TX34,TX41~TX44,RX1,DCG1,RX2,DCG2,DX11,DX12,PSX1,PSX2,PCX,SMP1,SMP2,SMP3,DX2,SX1,SX2,SX31,SX32、並びに第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3を含みうる。ピクセル信号生成回路PSCeには、制御信号TS11~TS14,TS21~TS24,TS31~TS34,TS41~TS44,RSL,RSR,CGS,PSEL1,PSEL2,PC,SPS1,SPS2,SPS3,SEL1,SEL2,SEL3,SEL3が印加され、前記制御信号は、ロウドライバ120で生成されうる。
【0206】
一実施形態において、複数のフォトダイオードPD11~PD14,PD21~PD24,PD31~PD34及びPD41~PD44、複数のフォトダイオードに対応する複数の転送トランジスタTX11~TX14,TX21~TX24,TX31~TX34及びTX41~TX44、リセットトランジスタRX1,RX2、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG1,DCG2、第1駆動トランジスタDX11,DX12、第3選択トランジスタSX31,SX32は、第1基板SUB1に形成され、第1サンプリングトランジスタSMP1、第2サンプリングトランジスタSMP2及び第3サンプリングトランジスタSMP3、プリチャージトランジスタPCX、第1プリチャージ選択トランジスタPSX1及び第2プリチャージ選択トランジスタPSX2、第2駆動トランジスタDX2、第1選択トランジスタSX1及び第2選択トランジスタSX2、並びに第1キャパシタC1、第2キャパシタC2及び第3キャパシタC3は、第2基板SUB2に形成されうる。
【0207】
図14及び図15を共に参照すれば、4つの第1フォトダイオードPD11~PD14、及びそれらにそれぞれ連結される4つの第1転送トランジスタTX11~TX14は、第1サブピクセルSPX1を構成し、4つの第2フォトダイオードPD21~PD24、及びそれらにそれぞれ連結される4つの第2転送トランジスタTX21~TX24は、第2サブピクセルSPX2を構成し、4つの第3フォトダイオードPD31~PD34、及びそれらにそれぞれ連結される4つの第3転送トランジスタTX31~TX34は、第3サブピクセルSPX3を構成し、4つの第4フォトダイオードPD41~PD44、及びそれらにそれぞれ連結される4つの第4転送トランジスタTX41~TX44は、第4サブピクセルSPX4を構成することができる。
【0208】
第1サブピクセルSPX1ないし第4サブピクセルSPX4それぞれの上部には、マイクロレンズが積層されうる。例えば、4つの第1フォトダイオードPD11~PD14が、同一マイクロレンズを介して受信される光信号を受信することができる。フォトダイオードとマイクロレンズとの間に、カラーフィルタが介在され、第1サブピクセルSPX1ないし第4サブピクセルSPX4それぞれに具備されるカラーフィルタは、同一色相の光信号を透過させることができる。
【0209】
図15において、第1転送ゲートTG11~TG14は、第1転送トランジスタTX11~TX14それぞれのゲート端子であり、第2転送ゲートTG21~TG24は、第2転送トランジスタTX21~TX24それぞれのゲート端子であり、第3転送ゲートTG31~TG34は、第3転送トランジスタTX31~TX34それぞれのゲート端子であり、第4転送ゲートTG41~TG44は、第4転送トランジスタTX41~TX44それぞれのゲート端子である。複数の転送ゲートは、対応するフォトダイオード及びフローティングディフュージョンノードに連結されうる。例えば、第1転送ゲートTG11は、第1フォトダイオードPD1及び第1フローティングディフュージョンノードに連結されうる。
【0210】
第1サブピクセルSPX1のフローティングディフュージョンノード、及び第3サブピクセルSPX3のフローティングディフュージョンノードは、電気的に連結され、第1フローティングディフュージョンノードと称されうる。第2サブピクセルSPX2のフローティングディフュージョンノード、及び第4サブピクセルSPX4のフローティングディフュージョンノードは、電気的に連結され、第2フローティングディフュージョンノードと称されうる。例えば、サブピクセルのフローティングディフュージョンノードは、ビア及びメタル配線を介して電気的に連結されうる。
【0211】
第1サブピクセルSPX1及び第3サブピクセルSPX3は、リセットトランジスタRX1、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG1、第1駆動トランジスタDX11及び第3選択トランジスタSX31を共有しうる(以下、リセットトランジスタRX1、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG1、第1駆動トランジスタDX11及び第3選択トランジスタSX31は、第1サブピクセル回路と称する)。第2サブピクセルSPX2及び第4サブピクセルSPX4は、リセットトランジスタRX2、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG2、第1駆動トランジスタDX12及び第3選択トランジスタSX32を共有しうる(以下、リセットトランジスタRX2、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG2、第1駆動トランジスタDX12及び第3選択トランジスタSX32は、第2サブピクセル回路と称する)。
【0212】
第1サブピクセル回路及び第2サブピクセル回路それぞれの動作は、図11のピクセルPXdのリセットトランジスタRX、コンバージョンゲイン制御トランジスタDCG、第1駆動トランジスタDX1及び第3選択トランジスタSX3の動作と同一であるか、あるいはそれと類似しているとしうる。ピクセル信号生成回路PSCeにおいて、第1ノードN1からカラムラインCLまでの回路の構造及び動作は、図13のピクセル生成回路PSCdにおいて、第1ノードN1からカラムラインCLまでの回路の構造及び動作と同一であるとしうる。
【0213】
複数の転送トランジスタTX11~TX14,TX21~TX24,TX31~TX34及びTX41~TX44は、複数の転送制御信号TS11~TS14,TS21~TS24,TS31~TS34,TS41~TS44において対応する転送制御信号に応答してターンオン及びターンオフされ、複数の転送トランジスタTX11~TX14,TX21~TX24,TX31~TX34及びTX41~TX44は、ターンオンされ、対応するフォトダイオードに蓄積された電荷を、フローティングディフュージョンノードに転送することができる。例えば、第1転送トランジスタTX11は、活性レベルの第1転送制御信号TS11に応答してターンオンされ、第1フォトダイオードPD11に蓄積された電荷を、第1フローティングディフュージョンノードFD1に転送することができる。
【0214】
第1駆動トランジスタDX11は、第1フローティングディフュージョンノードFD1の電圧に対応する電圧を生成することができ、第3選択トランジスタSX32がターンオン状態であるとき、生成された電圧を、第1ノードN1に出力することができる。第1駆動トランジスタDX12は、第2フローティングディフュージョンノードFD2の電圧に対応する電圧を生成することができ、第3選択トランジスタSX32がターンオン状態であるとき、生成された電圧を第1ノードN1に出力することができる。
【0215】
ピクセルアレイ110(図1)がビニングモードで動作するとき、ピクセルPXeは、図9Aを参照して説明されたところと類似するように、グローバルシャッタ方式によってシャッタリングすることができる。言い替えれば、ピクセルPXeは、グローバルシャッタモードで動作しうる。ここで、第1転送制御信号TS11~TS14及び第3転送制御信号TS31~TS34は、図9Aの第1転送制御信号TS1と同一であり、第2転送制御信号TS21~TS24及び第4転送制御信号TS41~TS44は、図9Aの第2転送制御信号TS2と同一であるとしうる。
【0216】
それにより、第1サブピクセルSPX1及び第3サブピクセルSPX3で生成されて蓄積された光電荷に対応する電圧が、第1イメージ電圧SIGとして生成され、第1サブピクセルSPX1ないし第4サブピクセルSPX4で生成されて蓄積された光電荷に対応する電圧が、第2イメージ電圧SIGLRとして生成されうる。
【0217】
ピクセルアレイ110(図1)がフルモードで動作するとき、ピクセルPXeは、図13を参照して説明されたところと類似するように、ローリングシャッタ方式によってシャッタリングすることができる。言い替えれば、ピクセルPXeは、ローリングシャッタモードで動作しうる。
【0218】
複数の転送制御信号TS11~TS14,TS21~TS24,TS31~TS34,TS41~TS44が異なりうる。複数の転送トランジスタTX11~TX14,TX21~TX24,TX31~TX34及びTX41~TX44が、リセット区間及び蓄積期間(RSTP & INTP)において順次にターンオンされ、複数のフォトダイオードPD11~PD14,PD21~PD24,PD31~PD34及びPD41~PD44が順次にリセットされうる。また、リードアウト期間は、複数のサブリードアウト期間、例えば、16個のサブリードアウト期間を有し、16個のサブリードアウト期間において、リセット電圧、及び複数のフォトダイオードPD11~PD14,PD21~PD24,PD31~PD34及びPD41~PD44それぞれで生成された光電荷に対応するイメージ電圧が、順次にカラムラインCLを介して出力されうる。それにより、複数のフォトダイオードPD11~PD14,PD21~PD24,PD31~PD34及びPD41~PD44それぞれに対応するピクセル値が生成されうる。
【0219】
一実施形態において、図13で説明されたところと類似するように、1対の転送制御信号が同一であり、リセット区間及び蓄積期間(RSTP & INTP)において、1対のフォトダイオードが同時にリセットされ、1つのサブリードアウト期間において、リセット信号、1対のフォトダイオードのうち一つで生成された光電荷に対応する第1イメージ電圧、及び1対のフォトダイオードで生成された光電荷に対応する第2イメージ電圧が、順次にカラムラインCLを介して出力されうる。
【0220】
例えば、1対の制御信号TS11及びTS12が同一であり、リセット区間及び蓄積期間(RSTP & INTP)において、1対の転送制御信号TS11及びTS12に応答し、1対の転送トランジスタTX11及びTX12が同時にターンオンされ、1対のフォトダイオードPD11及びPD12が同時にリセットされうる。第1サブリードアウト期間SR1において、リセット電圧、フォトダイオードPD11で生成された光電荷に対応する第1イメージ電圧、及びフォトダイオードPD11及びPD12で生成された光電荷に対応する第2イメージ電圧が、順次にカラムラインCLを介して出力されうる。それと類似するように、他のフォトダイオードPD13、14,PD21~24,PD31~PD34,PD41~PD44で生成された電荷に対応するイメージ電圧が、順次にカラムラインCLを介して出力されうる。
【0221】
それぞれの1対のフォトダイオードに対応して生成されたリセット電圧、第1イメージ電圧及び第2イメージ電圧を基に、両眼視差信号が生成されうる。また、それぞれの1対のフォトダイオードに対応して生成されたリセット電圧、第1イメージ電圧及び第2イメージ電圧を基に、2つのフォトダイオードそれぞれに対応するピクセル値が生成されうる。それにより、複数のフォトダイオードPD11~PD14,PD21~PD24,PD31~PD34及びPD41~PD44それぞれに対応するピクセル値が生成されうる。
【0222】
図16A及び図16Bは、本開示の例示的実施形態によるイメージセンサのスタック構造を示す。
【0223】
図16Aを参照すれば、イメージセンサ1は、上部チップ40と下部チップ60とを含みうる。上部チップ40は、複数のピクセルPXが設けられるセンシング領域SA、複数のピクセルPXを駆動するための素子が設けられる回路領域LC、及びセンシング領域SAと回路領域LCとの周辺のパッド領域PAを含みうる。パッド領域PAには、複数の上部パッドPADが配され、複数の上部パッドPADは、ビアなどを介し、下部チップ60に設けられた素子と連結されうる。
【0224】
下部チップ60は、回路領域LCを含み、回路領域LCには、ピクセルアレイ110(図1)の周辺回路、例えば、ロウドライバ120、ADC回路140、ランプ信号生成器130、タイミングコントローラ180及び信号プロセッサ190が形成されうる。一実施形態において、図示されていないが、下部チップ60は、メモリ領域とダミー領域とを含みうる。該メモリ領域には、動的ランダムアクセスメモリ(DRAM)素子、または静的ランダムアクセスメモリ(SRAM)素子のようなメモリ素子が配されうる。しかしながら、メモリ領域に配されたメモリ素子が、DRAM素子またはSRAM素子に限定されるものではない。該ダミー領域は、データを保存する機能ではなく、上部のチップ40を支持する機能を行うことができる。
【0225】
図16Bを参照すれば、イメージセンサ2は、積層された複数のチップを含みうる。例えば、上部チップ40及び中間チップ50には、ピクセルアレイ110が形成され、下部チップ60には、ピクセルアレイ110の周辺回路またはメモリが形成されうる。図10を参照して説明されたように、ピクセルPXc(図1)の第1フォトダイオードPD1及び第2フォトダイオードPD2、そして一部トランジスタは、上部チップ40に形成され、残りトランジスタ及びキャパシタC1,C2,C3は、中間チップ50に形成されうる。
【0226】
下部チップ60は、回路領域LCを含み、回路領域LCには、ピクセルアレイ(図110)の周辺回路が形成されうる。一実施形態において、図示されていないが、下部チップ60は、メモリ領域とダミー領域とを含みうる。
【0227】
一実施形態において、上部チップ40と中間チップ50は、ウェーハレベルで互いに積層され、下部チップ60は、チップレベルにおいて、中間チップ50の下部に付着することができる。
【0228】
図17A及び図17Bは、本開示の例示的実施形態によるイメージセンサを含む電子装置を概略的に示すブロック図である。
【0229】
図17A及び図17Bを参照すれば、電子装置1000a,1000bは、イメージセンサ1100及びアプリケーションプロセッサ(AP:application processor)1200を含みうる。
【0230】
アプリケーションプロセッサ1200は、イメージセンサ1100の動作を制御するための制御信号を、イメージセンサ1100に伝送することができる。該制御信号は、例えば、イメージセンサ1100の動作モード、シャッタリングモード、コンバージョンゲインモードなどを設定するための設定情報SET_IFを含みうる。制御信号の伝送は、例えば、I2C(inter-integrated circuit)に基づくインターフェースに基づいて行われうる。該制御信号は、またレンズシェーディング補正値、クロストーク係数、アナログゲイン、デジタルゲイン、フレームレート設定値のようなイメージセンサ1100の構成データをさらに含みうる。
【0231】
イメージセンサ1100は、受信された制御信号を基に、対象体を撮像し、イメージデータIDTAを生成することができる。イメージデータIDTAは、静止映像及び動画を含みうる。イメージセンサ1100は、イメージデータIDTAに対し、画質補償、ビニング、ダウンサイジングのような信号処理を行うことができ、該画質補償は、例えば、ブラックレベル補償、レンズシェーディング補償、クロストーク補償及びバッドピクセル補正のような信号処理を含みうる。
【0232】
図1ないし図16Bを参照して説明されたイメージセンサ100,1,2がイメージセンサ1100として適用されうる。イメージセンサ1100のピクセルアレイ110(図1)は、グローバルシャッタモードまたはローリングシャッタモードで動作しうる。また、ピクセルアレイ110は、ハイコンバージョンゲインモード、ローコンバージョンゲインモードまたはデュアルコンバージョンゲインモードで動作しうる。一実施形態において、ピクセルアレイ110の複数のピクセルのうち少なくとも一部ピクセルは、オートフォーカスデータを生成するための焦点ピクセルとしうる。該焦点ピクセルは、1対のフォトダイオードを含みうる。
【0233】
一実施形態において、ピクセルアレイ110の複数のピクセルそれぞれは、複数のサブピクセルを含みうる。該複数のサブピクセルそれぞれは、少なくとも1対のフォトダイオード、及び少なくとも1対のフォトダイオードそれぞれに連結される少なくとも1対の転送トランジスタを含みうる。一実施形態において、該ピクセルは、4個のサブピクセルを含み、該4個のサブピクセルそれぞれは、4個のフォトダイオード、及び4個の転送トランジスタを含みうる。2個のサブピクセルは、サブピクセル回路を共有しうる。ピクセルアレイ110は、ビニングモードまたはフルモードで動作し、該ビニングモードで動作するとき、グローバルシャッタ方式によってシャッタリングし、ピクセルアレイ110がフルモードで動作するとき、ローリングシャッタ方式によってシャッタリングすることができる。
【0234】
イメージセンサ1100は、イメージデータIDTA、または信号処理されたイメージデータIDTAをアプリケーションプロセッサ1200に伝送することができる。イメージデータIDTAの伝送は、例えば、MIPI(mobile industry processor interface)に基づくカメラ直列インターフェース(CSI:camera serial interface)を利用して行われうるが、本実施形態がそれに制限されるものではない。
【0235】
アプリケーションプロセッサ1200は、受信されたイメージデータIDTAに対し、不良ピクセル補正(bad pixel correction)、3A調整(auto-focus correction, auto-white balance, auto-exposure)、ノイズ除去(noise reduction)、シャープニング(sharpening)、ガンマ調整(gamma control)、リモザイク(remosaic)、デモザイク、解像度スケーリング(ビデオ/プレビュー)のようなイメージ処理を行うことができる。
【0236】
また、アプリケーションプロセッサ1200は、輝度が異なる複数のイメージデータIDTAをHDR(high dynamic range)処理し、高いダイナミックレンジを有するイメージを生成することができる。
【0237】
図17Bを参照すれば、電子装置1000bは、照度センサ1300をさらに含みうる。照度センサ1300は、電子装置1000bの周辺照度をセンシングし、該周辺照度に係わる情報をアプリケーションプロセッサ1200に伝送することができる。
【0238】
アプリケーションプロセッサ1200は、照度情報を基に、イメージセンサ1100の動作モード、シャッタリングモードまたはコンバージョンゲインモードなどを決定することができる。例えば、アプリケーションプロセッサ1200は、照度が基準値未満であるならば、イメージセンサ1100がグローバルシャッタモードで動作するように決定し、照度が基準値以上であるならば、イメージセンサ1100がローリングシャッタモードで動作するように決定することができる。例えば、アプリケーションプロセッサ1200は、照度が基準値未満であるならば、イメージセンサ1100がビニングモードで動作するように決定し、照度が基準値以上であるならば、イメージセンサ1100がフルモードで動作するように決定することができる。
【0239】
図18は、本開示の例示的実施形態によるイメージセンサを含む電子装置を示すブロック図である。図18の電子装置2000は、携帯用端末機としうる。
【0240】
図18を参照すれば、電子装置2000は、アプリケーションプロセッサ2100、カメラモジュール2200、ディスプレイ装置2600、ワーキングメモリ2300、ストレージ2400、ユーザインターフェース2500を含みうる。電子装置2000は、他の汎用構成、例えば、通信モジュール、センサモジュールなどをさらに含んでもよい。
【0241】
アプリケーションプロセッサ2100は、電子装置2000の全般的な動作を制御し、アプリケーションプログラム、オペレーティングシステム(OS)などを駆動するシステムオンチップ(SoC)によって具現されうる。アプリケーションプロセッサ2100は、カメラモジュール2200から提供されるイメージデータをディスプレイ装置2600に提供するか、あるいはストレージ2400に保存することができる。一実施形態において、アプリケーションプロセッサ2100は、イメージ処理回路を具備することができ、カメラモジュール2200から受信されるイメージデータにつき、画質調整、データフォーマット変更、HDR処理のようなイメージ処理を行うことができる。
【0242】
カメラモジュール2200は、複数のカメラ、例えば、第1カメラ2210及び第2カメラ2220を含みうる。第1カメラ2210及び第2カメラ2220それぞれは、イメージセンサ2211,2221を含みうる。第1イメージセンサ2211及び第2イメージセンサ2221のうち少なくとも一つは、図1ないし図16Bを参照して説明されたイメージセンサ100,1,2によって具現されうる。第1イメージセンサ2211及び第2イメージセンサ2221のうち少なくとも一つは、選択的にローリングシャッタ方式(ローリングシャッタモード)またはグローバルシャッタ方式(グローバルシャッタモード)によってシャッタリングすることができる。第1イメージセンサ2211及び第2イメージセンサ2221のうち少なくとも一つは、ビニングモードまたはフルモードで動作し、該ビニングモードで動作するとき、グローバルシャッタ方式によってシャッタリングすることができ、該フルモードで動作するとき、ローリングシャッタ方式によってシャッタリングすることができる。
【0243】
ワーキングメモリ2300は、DRAM、SRAMのような揮発性メモリ、またはFeRAM(ferroelectric random access memory)、RRAM(resistive random access memory)、PRAM(phase-change random access memory)のような不揮発性の抵抗性メモリによって具現されうる。ワーキングメモリ2300は、アプリケーションプロセッサ2100が処理したり実行したりするプログラム及び/またはデータを保存することができる。
【0244】
ストレージ2400は、NANDフラッシュ、抵抗性メモリのような不揮発性メモリ装置によって具現され、例えば、ストレージ2400は、メモリカード(MMC、eMMC、SD、micro SD)などによって提供されうる。ストレージ2400は、カメラモジュール2200から提供されるイメージデータを保存することができる。
【0245】
ユーザインターフェース2700は、キーボード、カーテンキーパネル(curtain key panel)、タッチパネル、指紋センサ、マイクのようなユーザ入力を受信することができる多様な装置によって具現されうる。ユーザインターフェース2700は、ユーザ入力を受信し、受信されたユーザ入力に対応する信号を、アプリケーションプロセッサ2100に提供することができる。
【0246】
以上のように、図面と明細書とでもって、例示的な実施形態が開示された。本明細書において、特定の用語を使用し、本実施形態について説明されたが、それらは、単に本開示の技術的思想について説明するための目的で使用されたものであり、意味を限定したり、特許請求の範囲に記載された本開示の範囲を制限したりするために使用されたものではない。従って、本技術分野の通常の知識を有する者であるならば、それらから、多様な変形、及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解するであろう。従って、本開示の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって定められるものである。
【産業上の利用可能性】
【0247】
本発明の、イメージセンサ、及びそれを含むイメージ処理装置は、例えば、イメージ処理関連の技術分野に効果的に適用可能である。
【符号の説明】
【0248】
1,2,100,1100 イメージセンサ
40 上部チップ
50 中間チップ
60 下部チップ
110 ピクセルアレイ
120 ロウドライバ
130 ランプ信号生成器
140 ADC回路
150 CDS回路
160 カウンタ
170 データ出力回路
171 カラムメモリ
172 カラムデコーダ
180 タイミングコントローラ
190 信号処理部
1000a,1000b,2000 電子装置
1200,2100 アプリケーションプロセッサ
1300 照度センサ
2200 カメラモジュール
2210 第1カメラ
2220 第2カメラ
2211 第1イメージセンサ
2221 第2イメージセンサ
2300 ワーキングメモリ
2400 ストレージ
2500 ユーザインターフェース
2600 ディスプレイ装置
図1
図2A
図2B
図3
図4A
図4B
図5
図6A
図6B
図7
図8A
図8B
図9A
図9B
図10
図11
図12
図13
図14
図15
図16A
図16B
図17A
図17B
図18