特開 2024-47180 シート体の搬送装置、並びに、シート体の検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024047180

(43)【公開日】2024-04-05

(54)【発明の名称】シート体の搬送装置、並びに、シート体の検査装置

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/02 20060101AFI20240329BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20240329BHJP

   G01N 21/892 20060101ALI20240329BHJP

【ＦＩ】

B25J9/02 A

G01N21/84 C

G01N21/892 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022152656

(22)【出願日】2022-09-26

(71)【出願人】

【識別番号】000209751

【氏名又は名称】池上通信機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001243

【氏名又は名称】弁理士法人谷・阿部特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 伎

(72)【発明者】

【氏名】込谷 太一

【テーマコード（参考）】

2G051

3C707

【Ｆターム（参考）】

2G051AA32

2G051AB02

2G051CA04

2G051CA07

2G051CB01

2G051CB02

2G051DA06

3C707AS01

3C707AS14

3C707BS03

3C707DS01

3C707FS01

3C707FT11

3C707FU01

3C707HS27

3C707KS01

3C707KT02

3C707KT06

3C707KV11

3C707MT05

3C707NS10

(57)【要約】

【課題】可撓性シート体の平面形状を維持する安定姿勢での搬送を実現して、シート体の両面側を解放する状態での搬送処理を実現する装置を提供すること。
【解決手段】可撓性を有するシート体Ｓを所望の高さに保持しつつ搬送する搬送装置であって、シート体の平面形状の平坦部を間に挟む当該シート体の少なくとも２つ以上の離隔領域で外部空気Ａｉを吸気して吸着保持する複数の保持部材２１Ａ、２１Ｂと、シート体の平面形状を維持するように保持部材を離隔位置に維持しつつ搬送方向に案内可能する保持機構２３と、保持機構に案内可能に維持される保持部材を搬送方向に移動させる移動機構２５と、保持されて案内移動されるシート体の下方に位置して当該シート体に対面する搬送ステージ１５と、を備えて、搬送ステージには、上方のシート体に向けて圧縮空気Ａｓを噴出する噴出・吸気口が形成されている。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

可撓性を有するシート体を所望の高さに保持しつつ搬送する搬送装置であって、
前記シート体の平面形状の平坦部を間に挟む当該シート体の少なくとも２つ以上の離隔領域を保持する複数の保持部と、
前記シート体の平面形状を維持するように前記保持部を離隔位置に維持しつつ搬送方向に案内可能にする案内部と、
前記案内部に案内可能に維持される前記保持部を搬送方向に移動させる移動部と、
保持されて案内移動される前記シート体の下方に位置して当該シート体に対面する対面部と、を備えて、
前記対面部には、上方に位置する前記シート体に向けて所定量の気体を噴出する噴出口が形成されていることを特徴とするシート体の搬送装置。

【請求項2】

前記保持部は、前記シート体の上面側に吸着するように当該シート体に対面する対面箇所に空気を吸気する複数の吸気口が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート体の搬送装置。

【請求項3】

前記対面部は、前記シート体の全面または一部に対面して当該シート体を載置する載置面と、前記保持部に保持されて搬送される前記シート体との離間間隔が規定される規定面と、を備えて、前記載置面および前記規定面に前記噴出口が配設されているとともに、少なくとも当該規定面には、前記保持部に保持されて搬送される前記シート体との間の所定量の空気を吸気する吸気口が形成され、
前記移動部は、前記載置面に載置されている前記シート体の離隔領域を吸気して該シート体を保持する前記保持部を搬送方向に移動させつつ当該シート体を前記対面部の前記規定面の上方を通過させるように構成されていることを特徴とする請求項２に記載のシート体の搬送装置。

【請求項4】

前記保持部は、少なくとも１つ以上が互いの間の離隔間隔を調整可能に当該離隔方向にスライド可能に前記移動部に連結されていることを特徴とする請求項１に記載のシート体の搬送装置。

【請求項5】

前記保持部は、前記シート体の離隔領域を保持する保持領域が当該シート体の最大サイズを保持可能に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート体の搬送装置。

【請求項6】

上記請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のシート体の搬送装置を備えて、
前記対面部の上方を通過する前記シート体に向けて検査光を照射して当該シート体の品質を検査する検査部を有することを特徴とするシート体の検査装置。

【請求項7】

前記検査部は、前記シート体を透過する前記検査光を、あるいは、前記シート体に反射される前記検査光を受光して、当該シート体の検査処理を実行することを特徴とする請求項６に記載のシート体の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可撓性を有するシート体を安定した姿勢で搬送する搬送装置、および当該搬送装置を備える検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

可撓性を有するシート体の検査をする場合には、検査対象のシート体を検査位置に搬送して撮影等することによって品質などの検査処理を行うことが多用されており、そのシート体は片持ち形態などで形状を維持しつつ搬送することができないことから、搬送ステージ上に載置して平面形状を維持する形態で検査位置に搬送して検査処理を行うようになる（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－２８６００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、このようなシート体の搬送にあっては、搬送ステージ上に載置するなどして検査位置に移送することから、片面側表面のみの撮影による検査になって、表裏を反転させて検査をするには往復移動などさせる必要があり、また、その両面側の検査をするにしても片面毎の検査になってしまう。

【0005】

そして、シート体の両面側を解放するために４隅を把持などするにしても搬送中に下方のフレームなどに擦ってしまい損傷させてしまうことを避ける必要がある。

【0006】

そこで、本発明は、可撓性を有するシート体の平面形状を維持する安定姿勢での搬送を実現することにより、シート体の両面側を解放する状態での搬送処理や各種処理を実現可能な装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するシート体の搬送装置の発明の一態様は、可撓性を有するシート体を所望の高さに保持しつつ搬送する搬送装置であって、前記シート体の平面形状の平坦部を間に挟む当該シート体の少なくとも２つ以上の離隔領域を保持する複数の保持部と、前記シート体の平面形状を維持するように前記保持部を離隔位置に維持しつつ搬送方向に案内可能にする案内部と、前記案内部に案内可能に維持される前記保持部を搬送方向に移動させる移動部と、保持されて案内移動される前記シート体の下方に位置して当該シート体に対面する対面部と、を備えて、前記対面部には、上方に位置する前記シート体に向けて所定量の気体を噴出する噴出口が形成されていることを特徴とするものである。

【0008】

上記課題を解決するシート体の検査装置の発明の一態様は、上記のシート体の搬送装置を備えて、前記対面部の前記規定面の上方を通過する前記シート体に向けて検査光を照射して当該シート体の品質を検査する検査部を有することを特徴とするものである。

【発明の効果】

【0009】

このように本発明の一態様によれば、可撓性を有するシート体の平面形状を維持するように、その平坦部を間に挟む離隔領域を保持しつつ搬送方向に案内することができ、そのシート体に対面する下方からは、所定量の気体が噴出されて、搬送するシート体が下方の部材に接触することを回避することができる。

【0010】

したがって、シート体が下方の部材に擦れて損傷してしまうことを回避しつつ、例えば、規定の検査位置に高品質に搬送することができ、解放されている上方および下方の一方あるいは双方から検査光を照射して検査することができる。

【0011】

その結果、可撓性を有するシート体の平面形状を維持する安定姿勢でのシート体の搬送を実現するとともに、両面側の解放されているシート体を安定姿勢で搬送して高品質な検査等の各種処理を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係るシート体の搬送装置を搭載するシート体の検査装置を示す図であり、その概略外観を示す斜視図である。

【図2】図２は、その正面から見た立面概念図である。

【図3】図３は、その検査部を示す図であり、（ａ）はそのシート体の搬送方向から見た一部レイアウト図、（ｂ）はそのシート体の搬送方向の直交方向から見た一部レイアウト図である。

【図4】図４は、その搬送装置のシート体を保持する保持部を示す図であり、（ａ）はそのシート体の保持状態を示す平面図、（ｂ）はその保持部の要部を示す拡大下面図である。

【図5】図５は、その搬送装置の保持部を案内する案内部を示す斜視図である。

【図6】図６は、その搬送装置の案内部における一部の保持部の構造を示す立面図である。

【図7】図７は、その搬送装置の保持部によるシート体の保持を説明する図であり、（ａ）～（ｃ）はシート体を保持するまでの状況を説明する立面図である。

【図8】図８は、その搬送装置の保持部によるシート体の保持開始から搬送時を説明する図であり、（ａ）～（ｃ）はシート体を保持してから搬送開始するまでの状況を説明する立面概念図である。

【図9】図９は、その搬送装置によるシート体の搬送および検査装置によるシート体の検査の状況を説明する概念図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。図１～図９は本発明に係るシート体の搬送装置を搭載するシート体の検査装置の一実施形態を示す図である。

【0014】

図１および図２において、シート体の検査装置１００は、可撓性を有するシート状のシート体Ｓを検査対象として、例えば、光学的検査を行う検査部１１０の検査位置Ｃｐに搬送する搬送装置１０を備えている。検査装置１００は、他の外部装置、例えば、シート体Ｓの前工程や後工程の処理装置に連携可能に連結などされて、シート体Ｓの一連の製造ラインに組み込まれており、備えるタッチパネル１０２からの入力指示や製造ラインの制御装置から受け取る制御信号に基づいて検査対象のシート体Ｓに関する所望の品質検査などを実行するようなっている。ここで、本実施形態の検査装置１００としては、後述するフレーム１０７に検査部１１０および搬送装置１０などと共にコントローラ（制御装置）を組み込んだ単独装置の形態で構築してもよいことは言うまでもない。なお、図１中の１０９は、検査装置１００の稼働状況を報知する監視表示灯であり、この監視表示灯１０９は、待機中、運転中および異常発生中のいずれの状況であるかを適宜に点灯表示して作業員が認識可能に状況を報知する。

【0015】

検査部１１０は、通過するシート体Ｓの上面または下面に検査光を適宜に切り替えて照射することができるように、そのシート体Ｓの搬送経路Ｒの上下にＬＥＤ照明１１１、１１３が配置されており、ＬＥＤ照明１１１、１１３からの出射光Ｌｉがシート体Ｓで反射される反射光Ｌｒ、またはそのシート体Ｓを透過する透過光Ｌｔを受光してシート体Ｓ表面を撮像する２組のカメラ１１７、１１９（図２中には１つのカメラのみ図示）が配置されている。ここで、シート体Ｓの下方に設置されるＬＥＤ照明１１３は、アクチューエータ１１５を備えて、シート体Ｓ下面からの離隔距離や搬送方向の設置位置などを変更可能に設置されており、そのシート体Ｓに照射する出射光Ｌｉの光強度や広がり幅や照射角度など品質検査に応じて調整することができるようになっている。なお、図２中には、反射光Ｌｒおよび透過光Ｌｔの光路を重ねて図示しているが、透過光ＬｔはＬＥＤ照明１１１からシート体Ｓを透過する直線状の光路を通ってカメラ１１７、１１９に入光されるが、反射光Ｌｒはシート体Ｓ表面で反射されて屈曲する光路を通ってカメラ１１７、１１９に入光されることになる（図３（ｂ）を参照）。この反射光Ｌｒおよび透過光Ｌｔの双方を利用してシート体Ｓの品質検査をする場合には、シート体Ｓを往復移動させて反射光Ｌｒおよび透過光Ｌｔを順次に受光するようにすればよい。また、本実施形態では、２組のカメラ１１７、１１９を設置する場合を一例に説明するが、これに限るものではなく、少なくとも１組（台）のカメラを設置するのでもよいことは言うまでもない。

【0016】

この検査部１１０は、図３（ｂ）に示すように、搬送経路Ｒを通過するシート体Ｓの搬送方向Ｃｄに直交する幅方向の全幅を照明するようにＬＥＤ照明１１１およびＬＥＤ照明１１３がそれぞれ上下に配置されており、そのＬＥＤ照明１１１、１１３のそれぞれがその幅方向に延長される形態に作製されている。これに対して、図３（ａ）に示すように、一対１組のカメラ１１７、１１９は、搬送経路Ｒを通過するシート体Ｓの幅方向の全幅からの反射光Ｌｒや透過光Ｌｔを受光可能にその幅方向に離隔して撮影幅Ｉｗが重なるように配置されている。

【0017】

ここで、検査部１１０は、図３（ｂ）に示すように、搬送経路Ｒの上方に位置するＬＥＤ照明１１１から斜め方向へ照射される出射光Ｌｉがシート体Ｓで斜め方向に反射されて、その反射光Ｌｒがカメラ１１７、１１９に入光されて受光撮影されるように配置されている。また、検査部１１０は、搬送経路Ｒの下方に位置するＬＥＤ照明１１３から鉛直上方へ照射される出射光Ｌｉが通過するシート体Ｓをそのまま鉛直方向に透過して、その透過光Ｌｔがカメラ１１７、１１９に入光されて受光撮影されるように配置されている。

【0018】

搬送装置１０は、検査装置１００の検査対象としてセットされるシート体Ｓを保持しつつ移動される搬送テーブル１１と、その搬送テーブル１１を検査前のシート体Ｓのセット位置Ｓｐから検査位置Ｃｐを経由して検査後のシート体Ｓの回収位置Ｒｐまで移動させた後にその回収位置Ｒｐからセット位置Ｓｐに戻す往復移動(案内)を可能にするように搬送方向Ｃｄに延長されている一対の搬送レール１３と、その往復移動する搬送テーブル１１の下方に位置して検査対象のシート体Ｓの搬送品質を向上させる搬送ステージ１５と、を備えて構築されている。搬送装置１０の搬送テーブル１１や搬送レール１３や搬送ステージ１５は、検査部１１０と共に、フレーム１０７に操作しやすい高さに設置されている。

【0019】

そして、本実施形態の搬送テーブル１１は、図４（ａ）に示すように、シート体Ｓの搬送方向Ｃｄに延在し、そのシート体Ｓの大きさ以上（最大サイズ以上）の長尺に形成された一対の保持部材２１を備えており、その保持部材２１は、図４（ｂ）に示すように、検査対象のシート体Ｓの上面側に対面する平面部２１ｕに複数個の吸気口２１ｉが分散位置に開口されている。この保持部材２１は、検査装置１００に内蔵あるいは外部接続されている不図示の吸気ポンプなどの吸気装置により吸気口２１ｉから吸気されることによりシート体Ｓを吸引吸着して保持するようになっている。ここで、保持部材２１の吸気口２１ｉは、少なくともシート体Ｓの設置面側に気体を通過する部材、例えば、内部に連通する空孔の存在するスポンジのような硬質のポーラス材を設置して複数個所で開口するように分散配置されており、この吸気口２１ｉは、ポーラス材のような通気部材に限らず、ドット状に開口する複数の連通孔、あるいは表面側のスリットで繋がる連通孔を形成して機能させるようにしてもよい。

【0020】

一対の保持部材２１は、水平方向の平行姿勢で離隔する位置、例えば、検査対象のシート体Ｓの平面形状をほぼ維持して間に高品質検査の可能な平坦部Ｓｆを形成する離隔位置に位置するように、それぞれ保持部材２１Ａ、２１Ｂとして別個に機能するように配置されている。これら保持部材２１Ａ、２１Ｂは、搬送レール１３上を不図示のモータの動力で移動する図５に示す移動機構２５に搭載されている保持機構２３毎に取り付けられており、その移動機構２５にシート体Ｓの搬送方向Ｃｄの直交方向Ｃｒに移動（スライド）可能に搭載されている。

【0021】

これにより、これら保持機構２３毎の保持部材２１Ａ、２１Ｂは、それぞれ移動機構２５に搭載されて、検査対象のシート体Ｓの両側辺Ｓｓ側を吸着保持しつつ検査位置Ｃｐおよび回収位置Ｒｐの間に安定して往復移動（案内）される。すなわち、本実施形態の搬送装置１０は、一対の保持部材２１が検査対象のシート体Ｓの両側辺Ｓｓを吸着保持して、その間に位置するシート体Ｓの平坦部Ｓｆを空中に浮いた状態で検査位置Ｃｐを通過するように搬送する搬送テーブル１１を備えている。ここで、保持機構２３毎の保持部材２１Ａ、２１Ｂは、一方のみをシート体Ｓの搬送方向Ｃｄの直交方向Ｃｒにスライド自在に移動機構２５に搭載されて、他方を移動不能に移動機構２５に固定してもよい。

【0022】

すなわち、一対の保持部材２１（２１Ａ、２１Ｂ）がシート体Ｓの平面形状の平坦部Ｓｆを間に挟む離隔領域の両側辺Ｓｓ側を吸着保持する保持部を構成し、保持機構２３がシート体Ｓの平面形状を維持するように一対の保持部材２１を移動機構２５の離隔位置に維持するとともに搬送方向に案内する案内部を構成し、移動機構２５がその保持機構２３により案内可能に維持される一対の保持部材２１を搬送方向に移動させる移動部を構成している。なお、本実施形態の搬送テーブル１１では、一対の保持部材２１（２１Ａ、２１Ｂ）を備えて搬送方向Ｃｄに延長されている２カ所のシート体Ｓの両側辺Ｓｓ側（離隔箇所）を吸着保持する場合を一例にして説明するが、これに限るものではなく、例えば、１つの保持部材２１と共に搬送方向Ｃｄの両端部などの狭い離隔箇所の３カ所以上（狭い箇所の４箇所以上でもよい）を吸着保持するように作製してもよい。また、この一対の保持部材２１の吸気口２１ｉは、下面側の平面部２１ｕにドット状に複数個所に開口形成する場合を一例にして説明するが、これに限るものではなく、例えば、その長手方向に連続あるいは断続的に開口するスリット状に形成して、シート体Ｓを吸着保持するようにしてもよい。

【0023】

保持機構２３は、図５および図６に示すように、一対の保持部材２１（２１Ａ、２１Ｂ）のそれぞれをベース３１にパッド３３を介して上下で平行になる姿勢で移動機構２５の枠部材４１に取り付けて支持される共通の構造（機構）に作製されている。保持機構２３は、ベース３１のシート体Ｓの搬送方向Ｃｄの両端部が移動機構２５の枠部材４１のシート体Ｓの搬送方向Ｃｄの直交方向Ｃｒに延在する一対の直交レール４１ｒにスライド可能に設置されている。

【0024】

これにより、保持機構２３は、例えば、一方の保持部材２１Ａを移動機構２５の枠部材４１に隣接する基準位置に位置決めしてシート体Ｓの一方の側辺Ｓｓを吸着保持するとともに、他方の保持部材２１Ｂをその保持部材２１Ａから離隔する直交方向Ｃｒにスライドさせてシート体Ｓの他方の側辺Ｓｓを吸着保持可能に位置決めすることができる。

【0025】

この保持機構２３は、移動機構２５の枠部材４１の直交レール４１ｒに両端部をスライド可能に支持されているベース３１に、パッド３３および保持部材２１を上下に位置する平行姿勢に支持させる構造に作製されており、パッド３３はベース３１に、また、保持部材２１はパッド３３に、その平行姿勢を維持したまま互いに近接離隔可能な吊り下げ状態になるようにガイド３５により連結されている。そして、保持部材２１は、下面側の平面部２１ｕの背面側上面に立設されているエアチューブ接続部品３６に不図示のエアチューブが接続されてチューブ逃げ溝３３ｈ内に収容されることにより、吸気口２１ｉからシート体Ｓ側との間の空気を吸引して吸着することを実現している。また、ベース３１は、パッド３３の上面に回転自在に先端部を連結されているインジケータ３７ｉ付きのノブ３７が回転可能に設置されており、そのノブ３７がインジケータ３７ｉを目安にして回転されることにより吊り下げ状態の保持部材２１下面の平面部２１ｕの位置を上下方向に調整することができるようになっている。

【0026】

さらに、図１および図２に戻って、本実施形態の搬送ステージ１５は、搬送テーブル１１が移動するシート体Ｓの検査位置Ｃｐの中央付近を除く、セット位置Ｓｐおよび回収位置Ｒｐの間において、その搬送テーブル１１の下方に位置してシート体Ｓに対面するように敷設されている。搬送ステージ１５は、シート体Ｓに対面してスリット１５ｓが介在するように並列されている複数枚の平板部材により作製されており、その平板部材をスライドさせてスリット１５ｓの間隔を調整することによりサイズの多種多様なシート体Ｓの全面あるいは一部を支持して載置可能なセット位置Ｓｐとして機能するようになっている。また、この搬送ステージ１５は、保持部材２１と同様に、ポーラス材を使用して作製されており、不図示の位置に接続されているチューブを介して上方に圧縮空気（他の不活性ガスなどの気体でもよい）を噴出あるいは上部外気を吸気可能な噴出・吸気口１５ａ（図８、図９を参照）を備えるように作製されている。ここで、搬送ステージ１５の噴出・吸気口１５ａは、例えば、シート体Ｓの搬送方向Ｃｄに断続的に噴出箇所と吸気箇所とが連続する形態で機能するように作製されており、予め接続される空気の圧送チューブが接続されて噴出箇所として機能するとともに、空気の吸気チューブが接続されて吸気箇所として機能するようになっている。すなわち、搬送ステージ１５が対面部を構成し、噴出・吸気口１５ａが噴出口および吸気口として機能するようになっている。

【0027】

これにより、搬送装置１０の搬送テーブル１１は、例えば、図７（ａ）に示すように、保持機構２３のノブ３７を一方向に回転させてパッド３３を上面がベース３１下面に接するまで上昇させることにより、図８（ａ）に示すように、一対の保持部材２１（２１Ａ、２１Ａ）の下方の搬送ステージ１５の上面（載置面）に検査対象のシート体Ｓを吸着保持可能に載置することを可能にする。この後に、保持機構２３の一対の保持部材２１が検査対象のシート体Ｓの両側辺Ｓｓ付近に位置するように、ベース３１を移動機構２５の枠部材４１の直交レール４１ｒ上をスライドさせて位置決めした後に、図７（ｂ）に示すように、保持機構２３のノブ３７を逆方向に回転させてパッド３３を降下させて、図８（ｂ）に示すように、保持部材２１下面の平面部２１ｕに吸気口２１ｉの外部空気Ａｉの吸気によりシート体Ｓを密着させて吸着保持させることができる。この後に、保持機構２３は、図７（ｃ）および図８（ｃ）に示すように、搬送ステージ１５の噴出・吸気口１５ａから圧縮空気Ａｓを保持部材２１が吸着保持する検査対象のシート体Ｓ下面に吹き付けることにより、そのシート体Ｓと共に保持部材２１をパッド３３に接触させる方向に上昇させることができ、そのシート体Ｓを搬送ステージ１５から離隔する方向に付勢して下方の部材に接触して損傷してしまうことを回避することができる。

【0028】

さらに、搬送装置１０は、図９に示すように、搬送ステージ１５におけるシート体Ｓのセット位置Ｓｐおよび回収位置Ｒｐでは、保持部材２１の平面部２１ｕに吸着保持されているシート体Ｓに噴出・吸気口１５ａから圧縮空気Ａｓを吹き付けて付勢力Ｆｓを付与することによって検査対象のシート体Ｓを損傷させることなく検査位置Ｃｐに搬送することができる（図７（ｃ）および図８（ｃ）も参照）。これに加えて、搬送装置１０は、搬送ステージ１５におけるシート体Ｓの検査位置Ｃｐにおけるセット位置Ｓｐおよび回収位置Ｒｐの近傍の隣接位置では、保持部材２１の平面部２１ｕに吸着保持されているシート体Ｓと搬送ステージ１５との間の空気を噴出・吸気口１５ａで吸気して吸引力Ｆｉを付与することによって付勢力Ｆｓとバランスを取ることを実現し、検査対象のシート体Ｓを搬送ステージ１５の上面（規定面）からの離隔間隔である規定の高さを高品質に維持して検査位置Ｃｐに安定姿勢で通過（搬送）するようになっている。

【0029】

このため、検査装置１００は、検査部１１０において、検査対象のシート体Ｓを搬送装置１０の保持部材２１の平面部２１ｕに信頼性高く吸着保持させつつセット位置Ｓｐおよび回収位置Ｒｐの間を搬送することができる。このとき、検査装置１００は、セット位置Ｓｐおよび回収位置Ｒｐに隣接する検査位置Ｃｐでは、その検査対象のシート体Ｓを搬送ステージ１５の噴出・吸気口１５ａによる圧縮空気の付勢力Ｆｓおよび外気吸気の吸引力Ｆｉを作用させて安定した高さに維持しつつ搬送することができ、そのシート体Ｓの反射光Ｌｒや透過光Ｌｔの撮影画像による品質検査を高精度に実行することができる。

【0030】

このように、本実施形態の搬送装置１０を搭載する検査装置１００においては、可撓性を有するシート体Ｓであっても平坦部Ｓｆの平面形状を維持するように両側辺Ｓｓ側を保持しつつ搬送方向Ｃｄに搬送してセット位置Ｓｐから検査位置Ｃｐを経由して回収位置Ｒｐに案内することができる。このとき、シート体Ｓは、対面する下方から圧縮空気Ａｓが吹き付けられて付勢力Ｆｓを付与されることによって、下方の搬送ステージ１５に接触することを回避することができる。また、そのシート体Ｓは、検査位置Ｃｐ付近では搬送ステージ１５との間の空気Ａｉが下方から吸気されて吸引力Ｆｉを付与されることによって、上方への付勢力Ｆｓと下方への吸引力Ｆｉとでバランスを取ることができ、検査対象のシート体Ｓの高さが高精度に維持されつつ検査位置Ｃｐに搬送されて通過させることができる。

【0031】

したがって、下方の搬送ステージ１５に擦れて損傷してしまうことを回避しつつ、シート体Ｓを規定高さの検査位置に高品質に搬送することができ、解放されている上下から検査光を照射して検査することができる。

【0032】

本発明の範囲は、図示され記載された例示的な実施形態に限定されるものではなく、本発明が目的とするものと均等な効果をもたらすすべての実施形態をも含む。さらに、本発明の範囲は、各請求項により特定される発明の特徴の組み合わせに限定されるものではなく、すべての開示されたそれぞれの特定の特徴のあらゆる所望する組み合わせによって画され得る。

【符号の説明】

【0033】

１０……搬送装置
１１……搬送テーブル
１３……搬送レール
１５……搬送ステージ
１５ａ……噴出・吸気口
２１、２１Ａ、２１Ｂ……保持部材
２１ｉ……吸気口
２１ｕ……平面部
２３……保持機構
２５……移動機構
４１ｒ……直交レール
１００……検査装置
１１０……検査部
１１１、１１３……ＬＥＤ照明
１１７、１１９……カメラ
Ａｉ……外部空気
Ａｓ……圧縮空気
Ｃｄ……搬送方向
Ｃｐ……検査位置
Ｆｉ……吸引力
Ｆｓ……付勢力
Ｌｉ……出射光
Ｌｒ……反射光
Ｌｔ……透過光
Ｒ……搬送経路
Ｓ……シート体
Ｓｆ……平坦部
Ｓｓ……側辺

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】