特開 2024-47622 被着体加工方法および被着体加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024047622

(43)【公開日】2024-04-08

(54)【発明の名称】被着体加工方法および被着体加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240401BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240401BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240401BHJP

   B24B 7/00 20060101ALI20240401BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/304 631

H01L21/304 621C

B24B41/06 L

B24B7/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022153215

(22)【出願日】2022-09-27

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

3C034

3C043

5F057

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C034AA08

3C034BB73

3C034BB75

3C034DD08

3C034DD10

3C043BA03

3C043BA07

3C043BA09

3C043BA16

3C043CC04

3C043DD02

3C043DD04

5F057AA04

5F057BA11

5F057CA15

5F057DA01

5F057DA11

5F057DA17

5F057DA22

5F057EB15

5F057EC15

5F057EC18

5F057FA13

5F131AA02

5F131AA12

5F131AA13

5F131AA21

5F131AA22

5F131AA23

5F131BA32

5F131BA53

5F131CA09

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB52

5F131DC23

5F131EA05

5F131EA07

5F131EA14

5F131EA22

5F131EA24

5F131EB01

5F131EB11

5F131EB31

5F131EB42

5F131EB46

5F131EB81

5F131EC32

5F131EC33

5F131EC34

5F131EC35

5F131EC37

5F131EC55

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC66

5F131EC68

5F131EC72

5F131EC77

5F131HA44

(57)【要約】

【課題】補強部の大きさを変更することなく、研削後の被着体の強度を大きくすることができる被着体加工方法および被着体加工装置を提供すること。
【解決手段】被着体ＷＫの中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体ＷＫの外縁部に補強部ＷＫＳを形成する研削手段６０を備えた被着体加工装置ＥＡにおいて、被着体ＷＫの中央部を避けて当該被着体ＷＫの外縁部に接着シートＡＳを貼付する接着シート貼付手段４０をさらに備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体の中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体の外縁部に補強部を形成する研削工程を実施する被着体加工方法において、
前記被着体の中央部を避けて当該被着体の外縁部に接着シートを貼付する接着シート貼付工程をさらに実施することを特徴とする被着体加工方法。

【請求項2】

前記接着シート貼付工程では、前記被着体の外周面から接着シートがはみ出したはみ出し領域が形成されるように、当該接着シートを前記外周面に貼付する第１貼付工程と、前記はみ出し領域を折り曲げ、折り曲げた前記はみ出し領域を前記被着体の一方の面および他方の面の少なくとも一方に貼付する第２貼付工程とを実施することを特徴とする請求項１に記載の被着体加工方法。

【請求項3】

前記接着シートは、硬化エネルギーによって硬化可能に設けられ、
前記被着体に貼付された前記接着シートに前記硬化エネルギーを付与し、当該接着シートを硬化させる硬化エネルギー付与工程を実施することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の被着体加工方法。

【請求項4】

被着体の中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体の外縁部に補強部を形成する研削手段を備えた被着体加工装置において、
前記被着体の中央部を避けて当該被着体の外縁部に接着シートを貼付する接着シート貼付手段をさらに備えていることを特徴とする被着体加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被着体加工方法および被着体加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体を加工する被着体加工方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７－１０３５８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたウエーハの加工方法（被着体加工方法）では、研削後の半導体ウエーハ１０（被着体）の強度を補うために、当該被着体の余剰領域１０５を研削しないことで補強部を形成する研削方法が採用されているため、研削後の被着体の強度が足りない場合、補強部を大きくするように研削方法を変更しなければならないという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、補強部の大きさを変更することなく、研削後の被着体の強度を大きくすることができる被着体加工方法および被着体加工装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、被着体の外縁部に接着シートを貼付するので、補強部の大きさを変更することなく、研削後の被着体の強度を大きくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｈ）は、本発明の一実施形態に係る被着体加工装置の説明図。（Ｉ）～（Ｍ）は、本発明の被着体加工装置に係る変形例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｄ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図。図１（Ｅ）は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。

【0010】

本発明の被着体加工方法を実施する被着体加工装置ＥＡは、保護シートＰＳ（図１（Ｂ）参照）を供給する保護シート供給工程を実施する保護シート供給手段１０と、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に保護シートＰＳを貼付する保護シート貼付工程を実施する保護シート貼付手段２０と、接着シートＡＳを供給する接着シート供給工程を実施する接着シート供給手段３０と、被着体ＷＫの中央部を避けて当該被着体ＷＫの外縁部に接着シートＡＳを貼付する接着シート貼付工程を実施する接着シート貼付手段４０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに硬化エネルギーとしての紫外線ＵＶを付与し、当該接着シートＡＳを硬化させる硬化エネルギー付与工程を実施する硬化エネルギー付与手段５０と、被着体ＷＫの中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体ＷＫの外縁部に補強部ＷＫＳ（図１（Ｈ）参照）を形成する研削工程を実施する研削手段６０とを備え、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送工程を実施する被着体搬送手段７０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

保護シート供給手段１０は、図１（Ｂ）に示すように、当該保護シート供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、保護シートＰＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから保護シートＰＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、被着体加工装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される保護シートＰＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。

【0012】

保護シート貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ２１を備えている。

【0013】

接着シート供給手段３０は、保護シート供給手段１０と同等の構成であり、当該保護シート供給手段１０の構成説明における付番の十の位の１を３に置き換え、さらに、保護シートＰＳを接着シートＡＳに、剥離シートＲＬを第２剥離シートＲＬ２に、原反ＲＳを第２原反ＲＳ２に読み替えればよいので、詳細な説明は省略する。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、変形エネルギーとしての熱によって変形可能、且つ、硬化エネルギーとしての紫外線ＵＶによって硬化可能なものが採用されている。具体的には、接着シートＡＳは、熱によって変形する基材ＢＳ（図１（Ａ）中ＣＣを付した図参照）と、紫外線ＵＶによって硬化する接着剤層ＡＬとを備えている。

【0014】

接着シート貼付手段４０は、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳがはみ出したはみ出し領域ＡＳＨ（図１（Ｃ）参照）が形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段４１と、はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２の両方に貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段４２とを備えている。
第１貼付手段４１は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１押圧ローラ４１Ａを備え、ストレート形状の接着シートＡＳを、接着面（接着剤層ＡＬの表出面）が内側となって相互に対向する筒環状にしつつ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外縁部に貼付するようになっている。
第２貼付手段４２は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した変形エネルギーとしての熱である熱風ＨＡをはみ出し領域ＡＳＨに吹き付け、当該はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げる変形エネルギー付与工程を実施する変形エネルギー付与手段としての熱風送風機４２Ａと、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第２押圧ローラ４２Ｂ、第３押圧ローラ４２Ｃとを備えている。
なお、第１押圧ローラ４１Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、接着シート供給手段３０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。
また、熱風送風機４２Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付されている接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに、熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている。
さらに、第２、第３押圧ローラ４２Ｂ、４２Ｃは、図１（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第２、第３押圧ローラ４２Ｂ、４２Ｃは、ＸＹ平面に対し、それぞれ４５度（１３５度）、１８０度（０度）の角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

【0015】

硬化エネルギー付与手段５０は、発光ダイオードや紫外線発光ランプ等の図示しない紫外線発光機器で発光した紫外線を照射する紫外線照射機５１を備えている。
なお、紫外線照射機５１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに紫外線ＵＶを照射可能な位置に配置されている。

【0016】

研削手段６０は、複数の駆動機器によって構成され、その作業範囲内において、作業部であるスライダ６１Ａで支持したものをＸＹ平面内の任意の位置に移動可能な駆動機器としての所謂ＸＹテーブル６１と、スライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面６２Ａを有する研削テーブル６２と、駆動機器としてのリニアモータ６３と、そのスライダ６３Ａにアーム６４を介して支持された駆動機器としての回動モータ６５と、その出力軸６５Ａに支持され、被着体ＷＫを研削可能な砥石やブレード等の研削部材６６とを備えている。

【0017】

被着体搬送手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１と、そのスライダ７１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ７２と、その出力軸７２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面７３Ａを有する支持テーブル７３と、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム７４Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット７４と、先端アーム７４Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で吸着保持が可能な保持面７５Ａを有する保持手段としての搬送アーム７５とを備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル７３は、回動モータ７２によってテーブル中心７３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0018】

以上の被着体加工装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）、（Ｂ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された被着体加工装置ＥＡに対し、当該被着体加工装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳおよび第２原反ＲＳ２をセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、保護シート供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ｂ）に示すように、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で、先頭の保護シートＰＳの供給方向先端部が当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。また、接着シート供給手段３０が回動モータ３５Ａ、３７Ａを駆動し、第２原反ＲＳ２を繰り出し、図１（Ａ）に示すように、剥離板３４の剥離縁３４Ａによって折り返された第２剥離シートＲＬ２の折返し部で、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部が当該第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離されると、回動モータ３５Ａ、３７Ａの駆動を停止する。

【0019】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心７３Ｃと重なるように、一方の面ＷＫ１を支持面７３Ａ側にして被着体ＷＫを当該支持面７３Ａ上に載置すると、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面７３Ａでの吸着保持を開始する。その後、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、支持テーブル７３を左方へ移動させ、被着体ＷＫが保護シート供給手段１０に対する所定の位置に到達すると、当該保護シート供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、被着体ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、保護シートＰＳは、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２１によって被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に押圧されて貼付される。次に、先頭の保護シートＰＳ全体が被着体ＷＫに貼付され、当該先頭の保護シートＰＳに続く次の保護シートＰＳの供給方向先端部が、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、保護シート供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。そして、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心７３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致すると、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１の駆動を停止する。

【0020】

次いで、接着シート供給手段３０および被着体搬送手段７０が回動モータ３５Ａ、３７Ａ、７２を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳは、第２剥離シートＲＬ２の折返し部で当該第２剥離シートＲＬ２から剥離され、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｃ）に示すように、第１押圧ローラ４１Ａによって被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧され、当該外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で被着体ＷＫに貼付される。その後、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部が熱風送風機４２Ａの熱風吹付領域手前に差し掛かると、接着シート貼付手段４０が熱風送風機４２Ａを駆動し、被着体ＷＫに向けて熱風ＨＡを吹き付ける。次に、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが熱風送風機４２Ａの熱風吹付領域を通過すると、はみ出し領域ＡＳＨの基材ＢＳが熱風ＨＡによって変形し、図１（Ｄ）に示すように、当該はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。

【0021】

その後も回動モータ３５Ａ、３７Ａ、７２の駆動が続行されると、接着シートＡＳは、図１（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、第２、第３押圧ローラ４２Ｂ、４２Ｃによってはみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、折り曲げられたはみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付された一体物ＵＰが形成されていく。そして、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部が紫外線照射機５１の紫外線照射領域手前に差し掛かると、硬化エネルギー付与手段５０が紫外線照射機５１を駆動し、被着体ＷＫに向けて紫外線ＵＶを照射する。次いで、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが紫外線照射機５１の紫外線照射領域を通過すると、はみ出し領域ＡＳＨの接着剤層ＡＬが紫外線ＵＶによって硬化していく。その後、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部が、第２剥離シートＲＬ２の折返し部で当該第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離されると、接着シート供給手段３０が回動モータ３５Ａ、３７Ａの駆動を停止し、接着シートＡＳの供給を停止する。

【0022】

次に、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部が熱風吹付領域を通過すると、接着シート貼付手段４０が熱風送風機４２Ａの駆動を停止し、同供給方向後端部が紫外線照射領域を通過すると、硬化エネルギー付与手段５０が紫外線照射機５１の駆動を停止するとともに、被着体搬送手段７０が回動モータ７２の駆動を停止する。そして、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、支持テーブル７３を右方に移動させて初期位置に復帰させると、被着体搬送手段７０が多関節ロボット７４を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、保持面７５Ａを一体物ＵＰの下面に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該保持面７５Ａでの吸着保持を開始する。次いで、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面７３Ａでの吸着保持を解除した後、多関節ロボット７４を駆動し、図１（Ｇ）に示すように、他方の面ＷＫ２を支持面６２Ａ側にして一体物ＵＰを当該支持面６２Ａ上に載置する。その後、研削手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面６２Ａでの吸着保持を開始すると、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面７５Ａでの吸着保持を解除した後、多関節ロボット７４を駆動し、搬送アーム７５を初期位置に復帰させる。

【0023】

次に、研削手段６０がＸＹテーブル６１、リニアモータ６３および回動モータ６５を駆動し、研削部材６６を回転させるとともに、回転する研削部材６６に対して一体物ＵＰを移動させ、図１（Ｈ）に示すように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の中央部を研削し、当該被着体ＷＫの外縁部に補強部ＷＫＳを形成する。そして、被着体ＷＫの中央部が所定の厚みになり、所定の大きさの補強部ＷＫＳが形成されると、研削手段６０が回動モータ６５の駆動を停止した後、ＸＹテーブル６１およびリニアモータ６３を駆動し、研削テーブル６２および研削部材６６を初期位置に復帰させる。次いで、研削手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面６２Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が、一方の面ＷＫ１の外縁部に補強部ＷＫＳが形成された一体物ＵＰを支持面６２Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0024】

以上のような実施形態によれば、被着体ＷＫの外縁部に接着シートＡＳを貼付するので、補強部ＷＫＳの大きさを変更することなく、研削後の被着体ＷＫの強度を大きくすることができる。

【0025】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、研削手段は、被着体の中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体の外縁部に補強部を形成可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0026】

保護シート供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の保護シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が保護シートＰＳとされた原反ＲＳから当該保護シートＰＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の保護シート基材が仮着された帯状保護シート原反を採用し、当該帯状保護シート原反を繰り出す途中で、保護シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が保護シートＰＳとされた原反ＲＳから当該保護シートＰＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の保護シートＰＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の保護シートＰＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから保護シートＰＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない保護シートＰＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付した保護シートＰＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、接着シート供給手段３０と同等の構成であってもよいし、異なる構成であってもよいし、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていない場合、例えば、他の装置や使用者が保護シートＰＳを供給してもよい。

【0027】

保護シート貼付手段２０は、押圧ローラ２１に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダや多関節ロボット等の駆動機器等を採用し、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に保護シートＰＳを貼付してもよいし、被着体搬送手段７０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に保護シートＰＳを貼付してもよいし、押圧ローラ２１の代わりに、例えば、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、当該保持部材で保持した保護シートＰＳを被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に押圧して貼付してもよいし、図１（Ｋ）に示すように、接着面が１つの平面内に位置する平環状の保護シートＰＳまたは、ストレート形状から平環状にした（ストレート形状から平環状にしつつ）保護シートＰＳを他方の面ＷＫ２に貼付してもよいし、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
保護シート貼付手段２０が張力付与手段１７を備えていてもよい。このような場合、駆動ローラ１７Ｃを介して保護シートＰＳから加わるトルクを検知し、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら回動モータ１７Ａを駆動して、保護シートＰＳに所定の張力を付与しながら供給したり、保護シートＰＳに張力が付与されないようにしながら供給したりしてもよいし、このような張力付与手段１７としては、原反ＲＳや保護シートＰＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される保護シートＰＳに張力を付与したり、保護シートＰＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して保護シートＰＳに付与する張力を使用者が任意に決定したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａを採用し、常に一定のトルクが保護シートＰＳに加わるようにしたりしてもよい。

【0028】

接着シート供給手段３０は、保護シート供給手段１０と同等であり、当該保護シート供給手段１０の他の例における保護シートＰＳを接着シートＡＳに、剥離シートＲＬを第２剥離シートＲＬ２に、原反ＲＳを第２原反ＲＳ２に読み替えた態様とすることができるし、接着シート供給手段１０と同等の構成であってもよいし、異なる構成であってもよいし、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていない場合、例えば、他の装置や使用者が接着シートＡＳを供給してもよい。

【0029】

接着シート貼付手段４０は、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳが一方の面ＷＫ１方向のみにはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段４１と、はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段４２とを備えていてもよいし、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳが他方の面ＷＫ２方向のみにはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段４１と、はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段４２とを備えていてもよいし、他方の面ＷＫ２に保護シートＰＳを貼付する前に、被着体ＷＫの中央部を避けて当該被着体ＷＫの外縁部に接着シートＡＳを貼付し、図１（Ｉ）に示すような一体物ＵＰを形成してもよいし、第１貼付手段４１および第２貼付手段４２のうち少なくとも１つに代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダや多関節ロボット等を採用し、被着体ＷＫの中央部を避けて当該被着体ＷＫの外縁部に接着シートＡＳを貼付するようにしてもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル７３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、被着体搬送手段７０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、被着体ＷＫの中央部を避けて当該被着体ＷＫの外縁部に接着シートＡＳを貼付してもよいし、予め筒環状に形成された接着シートＡＳを着体ＷＫの外縁部に貼付してもよいし、第１貼付手段４１および第２貼付手段４２の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、平環状の接着シートＡＳまたは、ストレート形状から平環状にした（ストレート形状から平環状にしつつ）接着シートＡＳを保持部材で保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫの中央部を避けて当該被着体ＷＫの外縁部に押圧して貼付してもよいし、平環状の接着シートＡＳまたは、ストレート形状から平環状にした（ストレート形状から平環状にしつつ）接着シートＡＳを被着体ＷＫの外縁部に貼付して、図１（Ｊ）、（Ｋ）に示すような一体物ＵＰを形成してもよいし、ストレート形状から筒環状または平環状にした（ストレート形状から筒環状または平環状にしつつ）接着シートＡＳを被着体ＷＫの外縁部に貼付する場合、ストレートの延出方向端部同士が重なり合っていたり、ストレートの延出方向端縁同士が接触していたり、ストレートの延出方向端縁間に隙間が形成されていたりしてもよい。
接着シート貼付手段４０が張力付与手段３７を備えていてもよい。このような場合、接着シートＡＳとして弾性変形が可能なものを採用し、駆動ローラ３７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知し、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら回動モータ３７Ａを駆動して接着シートＡＳを供給する。これにより、内在する弾性復元力によってはみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢となり、当該はみ出し領域ＡＳＨが押圧部材および変形エネルギー付与手段のうち少なくとも一方を介して、一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げられ、折り曲げられたはみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付するようにしたり、押圧部材および変形エネルギー付与手段の両方を介さずに、折り曲げられたはみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付するようにしたりすることができる。このような張力付与手段３７としては、第２原反ＲＳ２や接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する張力を使用者が任意に決定したり、トルク制御ができない回動モータ３７Ａを採用し、常に一定のトルクが接着シートＡＳに加わるようにしたりしてもよい。
第１貼付手段４１は、予め筒環状とされた接着シートＡＳを、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から当該接着シートＡＳがはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
第２貼付手段４２は、第２、第３押圧ローラ４２Ｂ、４２Ｃが上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみ、または、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第２、第３押圧ローラ４２Ｂ、４２ＣがＸＹ平面に対し、それぞれ３０度（１５０度）、１７９度（１度）といった角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、前記実施形態では、第２、第３押圧ローラ４２Ｂ、４２Ｃの２体の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを２段階で一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付したが、３体以上の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを３段階以上で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付したり、１体の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを１段階で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付したりしてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ、折り曲げたはみだし領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付してもよいし、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
変形エネルギー付与手段は、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートＡＳを変形させることができるものであればどのような変形エネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、外周面ＷＫ３に貼付された保護シートＰＳのはみ出し領域ＡＳＨに変形エネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに一括で変形エネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げてもよいし、第２、第３押圧ローラ４２Ｂ、４２Ｃや他の押圧部材等を介さずに、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付してもよいし、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0030】

硬化エネルギー付与手段５０は、硬化エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートＡＳを硬化させることができるものであればどのような硬化エネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、例えば、シート貼付手段４０で接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付する前に、当該接着シートＡＳに硬化エネルギーを付与してもよく、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに硬化エネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに一括で硬化エネルギーを付与し、当該接着シートＡＳを一括で硬化させてもよいし、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0031】

研削手段６０は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与したり、研磨剤で研磨したり、カッター刃等の切断手段で切断したりして、被着体ＷＫの中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体ＷＫの外縁部に補強部ＷＫＳを形成してもよいし、回転する研削部材６６を移動させずに研削テーブル６２を移動させたり、研削テーブル６２を移動させずに回転する研削部材６６を移動させたり、回転する研削部材６６と研削テーブル６２との両方を移動させたりして、被着体ＷＫの中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体ＷＫの外縁部に補強部ＷＫＳを形成してもよいし、支持面６２Ａでの吸着保持ができない研削テーブル６２が採用されてもよいし、ＸＹテーブル６１や研削テーブル６２に代えて、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを保持したり移動させたりしてもよいし、被着体搬送手段７０の支持テーブル７３上で被着体ＷＫを支持した状態で、当該被着体ＷＫの中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体ＷＫの外縁部に補強部ＷＫＳを形成してもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２のうち少なくとも一方を研削し、当該被着体ＷＫの中央部の厚みを外縁部の厚みよりも小さくすることで、当該被着体の外縁部に補強部ＷＫＳを形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁部を全く研削せずに補強部ＷＫＳを形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁部を所定の厚みになるまで研削して補強部ＷＫＳを形成してもよい。

【0032】

被着体搬送手段７０は、支持面７３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル７３が採用されてもよいし、リニアモータ７１、回動モータ７２および支持テーブル７３に代えて多関節ロボット７４および搬送アーム７５によって、保護シート貼付手段２０や接着シート貼付手段４０に対して被着体ＷＫを移動させ、保護シートＰＳや接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、リニアモータ７１、回動モータ７２、支持テーブル７３、多関節ロボット７４および搬送アーム７５に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを搬送してもよいし、本発明の被着体加工装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0033】

被着体加工装置ＥＡは、保護シート貼付工程、接着シート貼付工程、研削工程の順番で被着体ＷＫを加工するように各手段を作動させてもよいし、保護シート貼付工程、研削工程、接着シート貼付工程の順番で被着体ＷＫを加工するように各手段を作動させてもよいし、接着シート貼付工程、保護シート貼付工程、研削工程の順番で被着体ＷＫを加工するように各手段を作動させてもよいし、接着シート貼付工程、研削工程、保護シート貼付工程の順番で被着体ＷＫを加工するように各手段を作動させてもよいし、研削工程、保護シート貼付工程、接着シート貼付工程の順番で被着体ＷＫを加工するように各手段を作動させてもよいし、研削工程、接着シート貼付工程、保護シート貼付工程の順番で被着体ＷＫを加工するように各手段を作動させてもよいし、保護シート貼付工程を実施することなく、接着シート貼付工程と研削工程とを実施するように各手段を作動させ、図１（Ｌ）、（Ｍ）に示すような保護シートＰＳが貼付されていない一体物ＵＰを形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁部を研削手段６０で所定の厚みになるまで研削した補強部ＷＫＳを形成した後、接着シート貼付手段４０で被着体ＷＫの中央部を避けて当該被着体ＷＫの外縁部に接着シートＡＳを貼付してもよいし、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の保護シートＰＳや１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の保護シートＰＳや複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の保護シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、保護シートＰＳや接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよい。
次工程は、めっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

【0034】

接着シートＡＳは、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が変形エネルギーによって変形するものであってもよいし、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬの両方が変形エネルギーによって変形しないものでもよいし、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が変形エネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
接着シートＡＳは、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が硬化エネルギーによって硬化するものであってもよいし、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬの両方が硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬのうち少なくとも一方が硬化エネルギーによって硬化するものである場合、収縮を伴って硬化したり、膨張を伴って硬化したり、収縮も膨張も伴うことなく硬化したりするものでもよい。
接着シートＡＳは、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等によって変形するものでもよく、どのような変形エネルギーによって変形するものでもよいし、硬化エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等によって硬化するものでもよく、どのような硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形しないものでもよいし、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、変形エネルギーによって変形し、且つ、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、変形エネルギーによって変形せず、且つ、硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形せず、且つ、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよい。
接着剤層ＡＬは、単体の層で構成されていたり、複数の層で形成されていたり、基材ＢＳ以外の全ての層で構成されていたり、基材ＢＳ以外の一部の層で構成されていたりしてもよい。
基材ＢＳは、単体の層で構成されていたり、複数の層で形成されていたり、接着剤層ＡＬ以外の全ての層で構成されていたり、接着剤層ＡＬ以外の一部の層で構成されていたりしてもよい。
保護シートＰＳは、特性、特質、性質、材質、組成および構成等が接着シートＡＳと全く同じものでもよいし、全く異なるものでもよいし、一部が同じでその他が異なるものでもよい。
被着体ＷＫは、他方の面ＷＫ２側に、金属、硝子、樹脂、他の保護シート等の支持部材が取り付けられていてもよい。

【0035】

本発明における保護シートＰＳ、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、保護シートＰＳ、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、保護シートＰＳおよび接着シートＡＳ、は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の保護シートＰＳや接着シートＡＳが採用された場合は、当該保護シートＰＳや接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような保護シートＰＳや接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、保護シートＰＳ、接着シートＡＳまたは他の接着シートは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0036】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0037】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、被着体、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0038】

ＥＡ…被着体加工装置
４０…接着シート貼付手段
４１…第１貼付手段
４２…第２貼付手段
５０…硬化エネルギー付与手段
６０…研削手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＵＶ…紫外線（硬化エネルギー）
ＷＫ…被着体
ＷＫＳ…補強部
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面
ＷＫ３…外周面

【図1】