(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024047926
(43)【公開日】2024-04-08
(54)【発明の名称】バーンイン試験装置
(51)【国際特許分類】
G01N 17/00 20060101AFI20240401BHJP
【ＦＩ】
G01N17/00
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022153702
(22)【出願日】2022-09-27
(71)【出願人】
【識別番号】000108797
【氏名又は名称】エスペック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100100480
【弁理士】
【氏名又は名称】藤田 隆
(72)【発明者】
【氏名】北村 信二
(72)【発明者】
【氏名】渡邊 肇
【テーマコード（参考）】
2G050
【Ｆターム（参考）】
2G050AA07
2G050BA20
2G050CA10
2G050EA01
(57)【要約】
【課題】占有面積が比較的小さいバーンイン試験装置を提供する。
【解決手段】試験室３ａ、３ｂと、通電装置配置室２１ａ、２１ｂと、試験室内の温度を調節する冷却装置が一組となった組合せセット１０、１１を二組有し、前記各組合せセットは、前記試験室の背面に通電装置配置室２１ａ、２１ｂが配された本体領域１３ａ、１３ｂと、少なくとも冷却装置の圧縮機が配された冷却装置領域１５ａ、１５ｂがあり、一方の組合せセット１０に属する本体領域１３ａと、他方の組合せセット１１に属する本体領域１３ｂが間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域１３ａ、１３ｂの間に一方の組合せセットに属する冷却装置領域１５ａと、他方の組合せセットに属する冷却装置領域１５ｂが前後方向に入れ違い状に配置されている。
【選択図】図１
【解決手段】試験室３ａ、３ｂと、通電装置配置室２１ａ、２１ｂと、試験室内の温度を調節する冷却装置が一組となった組合せセット１０、１１を二組有し、前記各組合せセットは、前記試験室の背面に通電装置配置室２１ａ、２１ｂが配された本体領域１３ａ、１３ｂと、少なくとも冷却装置の圧縮機が配された冷却装置領域１５ａ、１５ｂがあり、一方の組合せセット１０に属する本体領域１３ａと、他方の組合せセット１１に属する本体領域１３ｂが間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域１３ａ、１３ｂの間に一方の組合せセットに属する冷却装置領域１５ａと、他方の組合せセットに属する冷却装置領域１５ｂが前後方向に入れ違い状に配置されている。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
供試体を配置するための試験室と、前記試験室内の温度を調節する冷却装置と、を有するバーンイン試験装置において、
前記試験室と、当該試験室内の供試体に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室と、当該試験室内の温度を調節する前記冷却装置が一組となった組合せセットを二組有し、
前記各組合せセットの前記冷却装置は、いずれも圧縮機と凝縮器と膨張手段と蒸発器を有し、
前記各組合せセットは、前記試験室の背面に前記通電装置配置室が配された本体領域と、少なくとも前記圧縮機が配された冷却装置領域があり、
一方の組合せセットに属する本体領域と他方の組合せセットに属する本体領域が間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と他方の組合せセットに属する冷却装置領域が、前後方向に入れ違い状に配置されていることを特徴とするバーンイン試験装置。
前記試験室と、当該試験室内の供試体に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室と、当該試験室内の温度を調節する前記冷却装置が一組となった組合せセットを二組有し、
前記各組合せセットの前記冷却装置は、いずれも圧縮機と凝縮器と膨張手段と蒸発器を有し、
前記各組合せセットは、前記試験室の背面に前記通電装置配置室が配された本体領域と、少なくとも前記圧縮機が配された冷却装置領域があり、
一方の組合せセットに属する本体領域と他方の組合せセットに属する本体領域が間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と他方の組合せセットに属する冷却装置領域が、前後方向に入れ違い状に配置されていることを特徴とするバーンイン試験装置。
【請求項2】
前記各組合せセットは、ユニット化されていて、前記組合せセットごとに分離可能であることを特徴とする請求項１に記載のバーンイン試験装置。
【請求項3】
前記各組合せセットに属する前記試験室は、独立して温度調節可能であることを特徴とする請求項１に記載のバーンイン試験装置。
【請求項4】
前記各冷却装置領域は、少なくとも上下二段の領域に分かれており、下側の領域に前記圧縮機が設けられ、上側の領域に制御装置が設けられることを特徴とする請求項１に記載のバーンイン試験装置。
【請求項5】
前記冷却装置領域には、少なくとも一面に開放可能な開放部があり、一方の前記組合せセットは正面側に前記開放部があり、他方の組合せセットは裏面側に前記開放部があることを特徴とする請求項１に記載のバーンイン試験装置。
【請求項6】
前記冷却装置は水冷式の凝縮器を有し、一方の組合せセットに冷却水導入部があり、前記一方の組合せセットで配管が分岐されて、当該組合せセットの凝縮器と他方の組合せセットの凝縮器に冷却水が供給されることを特徴とする請求項１に記載のバーンイン試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電子機器等を所定の環境に置き、この状態で電子機器等に通電する試験を行うバーンイン試験装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
ＩＣやＬＳＩ等の電子機器に対して、バーンイン試験と称される試験が行われることがある。バーンイン試験とは、電子機器を高温等の所定の環境に置き、電子機器に電源電圧や所定の信号を入力して行われる試験である。
【0003】
バーンイン試験では電子機器を所定の環境等に置く必要から、所定の環境を維持することができる試験室を備えている。
そしてバーンイン試験では、試験室内に供試体たる電子機器を配置し、ヒータや冷却装置によって試験室内を所定の環境に維持する。即ち電子機器等の供試体を試験室内に置いて所定の環境にさらし、この状態で外部から電源電力や信号を電子機器に入力して電子機器の機能を試験する。
具体的なバーンイン試験装置は、例えば特許文献１に開示されている。
そしてバーンイン試験では、試験室内に供試体たる電子機器を配置し、ヒータや冷却装置によって試験室内を所定の環境に維持する。即ち電子機器等の供試体を試験室内に置いて所定の環境にさらし、この状態で外部から電源電力や信号を電子機器に入力して電子機器の機能を試験する。
具体的なバーンイン試験装置は、例えば特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平２－１８４７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
バーンイン試験装置は、供試体たる電子機器が配置され内部を所定の環境に維持することができる試験室と、供試体に電力や信号を供給する通電装置と、ヒータや冷却装置等の空調機器の三者が組み合わされたものである。
ところで、電子機器の製造量が多く、バーンイン試験装置が複数台必要なユーザがある。従来、この様なユーザは、多くの場合同じ構造のバーンイン試験装置を例えば２台購入し、２台のバーンイン試験装置を並べて設置していた。
ところで、電子機器の製造量が多く、バーンイン試験装置が複数台必要なユーザがある。従来、この様なユーザは、多くの場合同じ構造のバーンイン試験装置を例えば２台購入し、２台のバーンイン試験装置を並べて設置していた。
【0006】
このように、バーンイン試験装置を複数台並べて設置していたため、広い設置場所を確保する必要があった。
本発明は、占有面積が比較的小さいバーンイン試験装置を提供するものである。
本発明は、占有面積が比較的小さいバーンイン試験装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記した課題を解決するための態様は、供試体を配置するための試験室と、前記試験室内の温度を調節する冷却装置と、を有するバーンイン試験装置において、前記試験室と、当該試験室内の供試体に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室と、当該試験室内の温度を調節する前記冷却装置が一組となった組合せセットを二組有し、前記各組合せセットの前記冷却装置は、いずれも圧縮機と凝縮器と膨張手段と蒸発器を有し、前記各組合せセットは、前記試験室の背面に前記通電装置配置室が配された本体領域と、少なくとも前記圧縮機が配された冷却装置領域があり、一方の組合せセットに属する本体領域と他方の組合せセットに属する本体領域が間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と他方の組合せセットに属する冷却装置領域が、前後方向に入れ違い状に配置されていることを特徴とするバーンイン試験装置である。
【0008】
本態様のバーンイン試験装置は、試験室と、当該試験室内の供試体に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室と、当該試験室内の温度を調節する冷却装置が一組となった組合せセットを二組有している。そのため本態様のバーンイン試験装置は、実質的にバーンイン試験装置２台分の構成を備えている。
本態様のバーンイン試験装置は、各機器の配置レイアウトに特徴がある。
本態様のバーンイン試験装置では、一方の組合せセットに属する本体領域と、他方の組合せセットに属する本体領域が間隔を空けた状態で配されている。そして両者の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と、他方の組合せセットに属する冷却装置領域が、前後方向に入れ違い状に配置されている。そのため、本態様のバーンイン試験装置を設置するのに必要な幅は、二つの本体領域の幅と、冷却装置領域一個分の幅で足る。そのため、本態様のバーンイン試験装置は、従来のバーンイン試験装置を２台、並列的に配置するレイアウトに比べて、占有面積が小さい。
本態様のバーンイン試験装置は、各機器の配置レイアウトに特徴がある。
本態様のバーンイン試験装置では、一方の組合せセットに属する本体領域と、他方の組合せセットに属する本体領域が間隔を空けた状態で配されている。そして両者の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と、他方の組合せセットに属する冷却装置領域が、前後方向に入れ違い状に配置されている。そのため、本態様のバーンイン試験装置を設置するのに必要な幅は、二つの本体領域の幅と、冷却装置領域一個分の幅で足る。そのため、本態様のバーンイン試験装置は、従来のバーンイン試験装置を２台、並列的に配置するレイアウトに比べて、占有面積が小さい。
【0009】
上記した態様において、前記各組合せセットは、組合せセットごとにユニット化されていて分離可能であることが望ましい。
【0010】
本態様のバーンイン試験装置は、組合せセットがユニット化されていて分離可能であるから、製造工場からユーザに向けての出荷が容易である。
【0011】
上記した態様において、前記各組合せセットに属する前記試験室は、独立して温度調節可能であることが望ましい。
【0012】
本態様のバーンイン試験装置は、二つの試験室に異なる環境を創出することができる。そのため本態様のバーンイン試験装置は、使い勝手がよく、用途が広い。
【0013】
上記した態様において、前記各冷却装置領域は、少なくとも上下二段の領域に分かれており、下側の領域に前記圧縮機が設けられ、上側の領域に制御装置が設けられることが望ましい。
【0014】
本態様のバーンイン試験装置は、空間を立体的に利用しており、占有面積が小さい。
【0015】
上記した態様において、前記冷却装置領域には、少なくとも一面に開放可能な開放部があり、一方の前記組合せセットは正面側に前記開放部があり、他方の組合せセットは裏面側に前記開放部があることが望ましい。
【0016】
本態様のバーンイン試験装置は、装置の表裏面に開放部があり、冷却装置等のメンテナンスが容易である。
前記した様に、本態様のバーンイン試験装置では、二つの本体領域の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と、他方の組合せセットに属する冷却装置領域が前後方向に入れ違い状に配置されている。
このレイアウトによると、冷却装置を構成する機器は、正面から見て前後に配置されることとなる。そのため仮に正面側だけに開放部があると、奥側の機器に手が届きにくく、メンテナンスしにくい。
本態様のバーンイン試験装置は、この問題を解消するものであり、一方の組合せセットは正面側に開放部があり、他方の組合せセットは裏面側に開放部がある。そのため、一方の組合せセットに属する冷却装置は正面側からメンテナンスすることができ、他方の組合せセットに属する冷却装置は裏面側からメンテナンスすることができる。
前記した様に、本態様のバーンイン試験装置では、二つの本体領域の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と、他方の組合せセットに属する冷却装置領域が前後方向に入れ違い状に配置されている。
このレイアウトによると、冷却装置を構成する機器は、正面から見て前後に配置されることとなる。そのため仮に正面側だけに開放部があると、奥側の機器に手が届きにくく、メンテナンスしにくい。
本態様のバーンイン試験装置は、この問題を解消するものであり、一方の組合せセットは正面側に開放部があり、他方の組合せセットは裏面側に開放部がある。そのため、一方の組合せセットに属する冷却装置は正面側からメンテナンスすることができ、他方の組合せセットに属する冷却装置は裏面側からメンテナンスすることができる。
【0017】
上記した態様において、前記冷却装置は水冷式の凝縮器を有し、一方の組合せセットに冷却水導入部があり、前記一方の組合せセットで配管が分岐されて、当該組合せセットの凝縮器と他方の組合せセットの凝縮器に冷却水が供給されることが望ましい。
【0018】
本態様のバーンイン試験装置では、一方の組合せセットに冷却水導入部があり、内部で配管が分岐されて二つの凝縮器に冷却水が供給されるので、冷却水の外部配管接続が容易である。
【発明の効果】
【0019】
本発明のバーンイン試験装置は、占有面積が小さい。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】本発明の実施形態のバーンイン試験装置を正面側から見た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、本発明の実施形態について説明する。以下の説明において、正面側及び裏面側は、図１、図２の「正面側」及び「裏面側」の表示に従う。また正面側を前、裏面側を後と言うこともある。左右の関係は、いずれも正面側から観察したものである。
本実施形態のバーンイン試験装置１は、図１、図２、図６（ａ）の様に、見かけ上一つの筐体２を有し、当該筐体２内に、第１試験室３ａ及び第２試験室３ｂと、第１通電装置配置室２１ａ及び第２通電装置配置室２１ｂと、第１空調装置６ａ及び第２空調装置６ｂが設けられている。
後記する様に、第１通電装置配置室２１ａには、第１試験室３ａ内の供試体１００に電力等を供給する第１通電装置５ａが多数配置される。同様に、第２通電装置配置室２１ｂには、第２試験室３ｂ内の供試体１００に電力等を供給する第２通電装置５ｂが多数配置される。
本実施形態のバーンイン試験装置１は、図１、図２、図６（ａ）の様に、見かけ上一つの筐体２を有し、当該筐体２内に、第１試験室３ａ及び第２試験室３ｂと、第１通電装置配置室２１ａ及び第２通電装置配置室２１ｂと、第１空調装置６ａ及び第２空調装置６ｂが設けられている。
後記する様に、第１通電装置配置室２１ａには、第１試験室３ａ内の供試体１００に電力等を供給する第１通電装置５ａが多数配置される。同様に、第２通電装置配置室２１ｂには、第２試験室３ｂ内の供試体１００に電力等を供給する第２通電装置５ｂが多数配置される。
【0022】
また図１の様に、第１試験室３ａの温度等を設定する第１環境設定装置７ａと、第２試験室３ｂの温度等を設定する第２環境設定装置７ｂがある。さらに図５の様に、第１試験室３ａ内の供試体１００に対するバーンイン試験における供試体１００への通電を制御する第１通電制御装置８ａと、第２試験室３ｂ内の供試体１００に対するバーンイン試験における供試体１００への通電を制御する第２通電御装置８ｂを備えている。
【0023】
バーンイン試験装置１の大まかなレイアウトは、図１、図２、図４、図６の通りである。バーンイン試験装置１は、図１、図２の様に、正面から見て、右エリア２００、中間エリア２０１、左エリア２０２に分かれている。
右エリア２００の右端には、第１環境設定装置７ａがあり、右エリア２００の中央側に第１試験室３ａがある。また図４、図６に示す様に、第１試験室３ａの奥に第１通電装置配置室２１ａがある。第１通電装置配置室２１ａには第１通電装置５ａが配置されている。
右エリア２００の右端には、第１環境設定装置７ａがあり、右エリア２００の中央側に第１試験室３ａがある。また図４、図６に示す様に、第１試験室３ａの奥に第１通電装置配置室２１ａがある。第１通電装置配置室２１ａには第１通電装置５ａが配置されている。
【0024】
左エリア２０２の左端には、第２環境設定装置７ｂがあり、左エリアの中央側に第２試験室３ｂがある。また図６に示す様に、第２試験室３ｂの奥に第２通電装置配置室２１ｂがある。第２通電装置配置室２１ｂには第２通電装置５ｂが配置されている。
【0025】
中間エリア２０１は、図５の様に前後に分かれており、正面側に第１空調装置６ａの大部分と第１通電制御装置８ａがあり、裏面側に第２空調装置６ｂの大部分と第２通電制御装置８ｂがある。
【0026】
本実施形態のバーンイン試験装置１は、構成上、図３、図６（ｂ）の様に、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１に分かれており、二組の組合せセット１０、１１が見かけ上一体となっている。
また第１組合せセット１０と第２組合せセット１１は、それぞれユニット化されており、両者を分離することができる。
また第１組合せセット１０と第２組合せセット１１は、それぞれユニット化されており、両者を分離することができる。
【0027】
第１組合せセット１０は、第１試験室３ａと、第１通電装置配置室２１ａと、第１空調装置６ａと、が少なくとも組み合わされたものである。第１組合せセット１０は、さらに第１環境設定装置７ａ及び第１制御装置配置室３３ａ（図５参照）が組み合わされている。第１通電装置配置室２１ａは、第１通電装置５ａが配置される部位であり、第１制御装置配置室３３ａは、第１通電制御装置８ａが配置される部位である。
第２組合せセット１１は、第２試験室３ｂと、第２通電装置配置室２１ｂと、第２空調装置６ｂと、が少なくとも組み合わされたものである。第２組み合わせセット１１は、さらに第２環境設定装置７ｂ及び第１制御装置配置室３３ｂが組み合わされている。第２通電装置配置室２１ｂは、第２通電装置５ａｂが配置される部位であり、第２制御装置配置室３３ｂは、第２通電制御装置８ｂが配置される部位である。
第２組合せセット１１は、第２試験室３ｂと、第２通電装置配置室２１ｂと、第２空調装置６ｂと、が少なくとも組み合わされたものである。第２組み合わせセット１１は、さらに第２環境設定装置７ｂ及び第１制御装置配置室３３ｂが組み合わされている。第２通電装置配置室２１ｂは、第２通電装置５ａｂが配置される部位であり、第２制御装置配置室３３ｂは、第２通電制御装置８ｂが配置される部位である。
【0028】
本実施形態では、第１組合せセット１０は、外観上、第１本体領域１３ａと、第１冷却装置領域１５ａに区分される。
第１本体領域１３ａは、第１試験室３ａと第１通電装置配置室２１ａ及び第１環境設定装置７ａ等が配された部分である。第１冷却装置領域１５ａは、第１空調装置６ａの少なくとも一部と第１制御装置配置室３３ｂが配された部分である。
第１本体領域１３ａは、第１試験室３ａと第１通電装置配置室２１ａ及び第１環境設定装置７ａ等が配された部分である。第１冷却装置領域１５ａは、第１空調装置６ａの少なくとも一部と第１制御装置配置室３３ｂが配された部分である。
【0029】
第１試験室３ａは、図４の様に、電子機器等の供試体１００が配置される断熱性を有する収容空間である。第１試験室３ａは、正面側に開閉扉１８ａが設けられている。また図４の様に、第１試験室３ａの奥壁１２には、供試体１００の端子を接続するスロット２０が多数設けられている。第１試験室３ａには、供試体１００を保持する棚（図示せず）が設けられている。
第１試験室３ａの天面３７には、送風機２７が設けられている。
第１試験室３ａは、開閉扉１８ａを含めて断熱壁で構成されている。
第１試験室３ａの天面３７には、送風機２７が設けられている。
第１試験室３ａは、開閉扉１８ａを含めて断熱壁で構成されている。
【0030】
第１本体領域１３ａであって、第１試験室３ａの奥側は、第１通電装置配置室２１ａとなっている。第１通電装置配置室２１ａには、第１試験室３ａ内の供試体１００に電力等を供給する第１通電装置５ａが多数配置されている。第１通電装置５ａは、供試体１００に電流や信号を入力することができるマザーボードであり、その一部に前記したスロット２０がある。
【0031】
第１本体領域１３ａの上部領域は、第１制御機器配置室２３ａとなっている。第１制御機器配置室２３ａには、第１試験室３ａの環境を調節するための電子機器が配置されている。第１制御機器配置室２３ａ内の電子機器は公知のものであるから説明を省略する。
第１本体領域１３ａの右端には、第１環境設定装置７ａが設けられている。第１環境設定装置７ａは、第１試験室３ａに創出する環境（温度、湿度等）の設定を行うものである。
第１本体領域１３ａの右端には、第１環境設定装置７ａが設けられている。第１環境設定装置７ａは、第１試験室３ａに創出する環境（温度、湿度等）の設定を行うものである。
【0032】
第１冷却装置領域１５ａは、第１試験室３ａ内の温度を調節する第１空調装置６ａの少なくとも一部を収容する領域である。
第１空調装置６ａは、図示しないヒータと、第１冷却装置３０ａを有している。第１冷却装置３０ａは、第１圧縮機２５ａと、第１凝縮器１６ａと、膨張手段（図示せず）及び蒸発器（図示せず）を有し、これらが環状に配管接続されて内部に相変化する冷媒が封入されたものである。
本実施形態で採用する第１圧縮機２５ａは、密閉型圧縮機であり、第１凝縮器１６ａは水冷式の凝縮器である。
第１冷却装置３０ａには、圧力計４０等の計器類が取り付けられている。
第１空調装置６ａは、図示しないヒータと、第１冷却装置３０ａを有している。第１冷却装置３０ａは、第１圧縮機２５ａと、第１凝縮器１６ａと、膨張手段（図示せず）及び蒸発器（図示せず）を有し、これらが環状に配管接続されて内部に相変化する冷媒が封入されたものである。
本実施形態で採用する第１圧縮機２５ａは、密閉型圧縮機であり、第１凝縮器１６ａは水冷式の凝縮器である。
第１冷却装置３０ａには、圧力計４０等の計器類が取り付けられている。
【0033】
第１冷却装置領域１５ａは、高さ方向に上下２段に区切られている。そして下段の領域が第１圧縮機配置室１７ａとなっており、前記した第１圧縮機２５ａと第１凝縮器１６ａが配置されている。
第１圧縮機配置室１７ａの正面側には、第１開放部３１ａがあり、第１蓋（正面側蓋）５０ａが設けられている。第１蓋５０ａは、所定の操作によって取り外すことができる。従って第１開放部３１ａは、第１蓋５０ａを取り外すことによって開放可能である。
第１蓋５０ａには小型の送風機３２が複数個取付けられており、送風機３２を駆動することによって第１圧縮機配置室１７ａを換気し、第１圧縮機配置室１７ａ内が過度に昇温して上段の電子機器に影響を与えないようになっている。
本実施形態では、図５、図６の様に第１圧縮機２５ａは第１冷却装置領域１５ａの奥に配置され、第１凝縮器１６ａは手前に配置されている。圧力計４０等の計器類は、第１開放部３１ａ側に向けて設置されている。
第１圧縮機配置室１７ａの正面側には、第１開放部３１ａがあり、第１蓋（正面側蓋）５０ａが設けられている。第１蓋５０ａは、所定の操作によって取り外すことができる。従って第１開放部３１ａは、第１蓋５０ａを取り外すことによって開放可能である。
第１蓋５０ａには小型の送風機３２が複数個取付けられており、送風機３２を駆動することによって第１圧縮機配置室１７ａを換気し、第１圧縮機配置室１７ａ内が過度に昇温して上段の電子機器に影響を与えないようになっている。
本実施形態では、図５、図６の様に第１圧縮機２５ａは第１冷却装置領域１５ａの奥に配置され、第１凝縮器１６ａは手前に配置されている。圧力計４０等の計器類は、第１開放部３１ａ側に向けて設置されている。
【0034】
図５の様に、第１冷却装置領域１５ａの上段は、第１制御装置配置室３３ａとなっており、バーンイン試験を制御する第１通電制御装置８ａが収容される。第１通電制御装置８ａは、供試体１００に供給する電流や信号を制御するものである。
第１制御装置配置室３３ａには開口３５ａがあり、第１通電制御装置８ａのモニター画面３６がはめ込まれている。
第１冷却装置領域１５ａの正面には、キーボード等を載せる棚３８ａがある。
第１制御装置配置室３３ａには開口３５ａがあり、第１通電制御装置８ａのモニター画面３６がはめ込まれている。
第１冷却装置領域１５ａの正面には、キーボード等を載せる棚３８ａがある。
【0035】
第１試験室３ａには図示しない空調流路が接続されており、空調流路に第１空調装置６ａの蒸発器（図示せず）及びヒータ（図示せず）が内蔵されている。本実施形態では、空調流路と第１試験室３ａの間で空気が循環し、第１試験室３ａ内が所望の温度環境に維持される。
【0036】
第１組合せセット１０における、第１本体領域１３ａと第１冷却装置領域１５ａの平面的なレイアウトは、図６（ｂ）の様であり、第１本体領域１３ａの左横であって、正面に近い側に寄った位置に第１冷却装置領域１５ａがある。第１試験室３ａと第１通電装置配置室２１ａとの関係で説明すると、第１試験室３ａの横に第１冷却装置領域１５ａがある。第１冷却装置領域１５ａの奥行方向の長さは、第１本体領域１３ａの約半分であるから、第１本体領域１３ａの左横であって、正面に近い側の奥行方向の半分の領域に第１冷却装置領域１５ａがある。
前記した様に、第１冷却装置領域１５ａは、正面に近い位置にあり、第１冷却装置領域１５ａの上部の開口３５ａ及び下部の第１開放部３１ａは、いずれも第１組合せセット１０の正面側にある。
前記した様に、第１冷却装置領域１５ａは、正面に近い位置にあり、第１冷却装置領域１５ａの上部の開口３５ａ及び下部の第１開放部３１ａは、いずれも第１組合せセット１０の正面側にある。
【0037】
第１組合せセット１０を概観すると、大きな直方体の第１本体領域１３ａに、小さな直方体の第１冷却装置領域１５ａが結合した形をしており、小さな直方体の第１冷却装置領域１５ａは、正面側に寄った位置にある。
第１組合せセット１０は、正面側と、裏面側と、天面側及び右側面に外壁があり、左側面には外壁はない。
第１組合せセット１０は、正面側と、裏面側と、天面側及び右側面に外壁があり、左側面には外壁はない。
【0038】
次に第２組合せセット１１について説明する。第２組合せセット１１は、外観上、第２試験室３ｂと第２通電装置配置室２１ｂ及び第２環境設定装置７ｂ等が配された第２本体領域１３ｂと、第２空調装置６ｂの少なくとも一部と第２通電制御装置８ｂが配された第２冷却装置領域１５ｂに区分される。
第２組合せセット１１の構成部材の個々の形状や機能は、第１組合せセット１０と同じであるから、同一の部材に同一の番号を付し且つ番号に付されたアルファベットを「ｂ」に書き換えることによって詳細な説明を省略し、両者の異なる点のみを説明する。
第２組合せセット１１の構成部材の個々の形状や機能は、第１組合せセット１０と同じであるから、同一の部材に同一の番号を付し且つ番号に付されたアルファベットを「ｂ」に書き換えることによって詳細な説明を省略し、両者の異なる点のみを説明する。
【0039】
第２組合せセット１１の個々の構成部材は、前記した第１組合せセット１０と同じであり、各構成部材の配置のみが相違する。
第２組合せセット１１における第２本体領域１３ｂと第２冷却装置領域１５ｂの平面的なレイアウトは、図６（ｂ）の様であり、第２本体領域１３ｂの右横であって、裏面に近い側に寄った位置に第２冷却装置領域１５ｂがある。第２試験室３ｂと第２通電装置配置室２１ｂとの関係で説明すると、第２通電装置配置室２１ｂの横に第２冷却装置領域１５ｂがある。第２冷却装置領域１５ｂの奥行方向の長さは、第２本体領域１３ｂの約半分であるから、第２本体領域１３ｂの右横であって、裏面に近い側の奥行方向の半分の領域に第２冷却装置領域１５ｂがある。
第２冷却装置領域１５ｂの上部の開口３５ｂ及び下部の第２開放部３１ｂは、いずれも第２組合せセット１１の裏面側にある。
第２組合せセット１１における第２本体領域１３ｂと第２冷却装置領域１５ｂの平面的なレイアウトは、図６（ｂ）の様であり、第２本体領域１３ｂの右横であって、裏面に近い側に寄った位置に第２冷却装置領域１５ｂがある。第２試験室３ｂと第２通電装置配置室２１ｂとの関係で説明すると、第２通電装置配置室２１ｂの横に第２冷却装置領域１５ｂがある。第２冷却装置領域１５ｂの奥行方向の長さは、第２本体領域１３ｂの約半分であるから、第２本体領域１３ｂの右横であって、裏面に近い側の奥行方向の半分の領域に第２冷却装置領域１５ｂがある。
第２冷却装置領域１５ｂの上部の開口３５ｂ及び下部の第２開放部３１ｂは、いずれも第２組合せセット１１の裏面側にある。
【0040】
第２組合せセット１１を概観すると、大きな直方体の第２本体領域１３ｂに、小さな直方体の第２冷却装置領域１５ｂが結合した形をしており、小さな直方体の第２冷却装置領域１５ｂは、裏面側に寄った位置にある。
第２組合せセット１１は、正面側と、裏面側と、天面側及び左側面に外壁がある。第２組合せセット１１では、右側面の少なくとも一部に外壁５３がある。
第２組合せセット１１は、正面側と、裏面側と、天面側及び左側面に外壁がある。第２組合せセット１１では、右側面の少なくとも一部に外壁５３がある。
【0041】
本実施形態のバーンイン試験装置１は、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１が組み合わされたものである。
前記した様に第１組合せセット１０は、大きな直方体の第１本体領域１３ａに、小さな直方体の第１冷却装置領域１５ａが結合した形をしており、小さな直方体の第１冷却装置領域１５ａは、正面側に寄った位置にある。他方の第２組合せセット１１は、第２本体領域１３ｂに、第２冷却装置領域１５ｂが結合した形をしており、第２冷却装置領域１５ｂは、裏面側に寄った位置にある。
本実施形態のバーンイン試験装置１は、第１組合せセット１０の左側面と、第２組合せセット１１の右側面を合わせて一体化したものであり、中間エリア２０１では、第１冷却装置領域１５ａと第２冷却装置領域１５ｂとが、前後方向に入れ違い状に配置されている。
そして第１組合せセット１０と第２組合せセット１１が複数の締結具４９によって接続されている。本実施形態では、第１組合せセット１０の台座部５１ａと第２組合せセット１１の台座部５１ｂが締結具４９によって接続されている。また第１組合せセット１０の天面５２ａと第２組合せセット１１の天面５２ｂが締結具４９によって接続されている。
前記した様に第１組合せセット１０は、大きな直方体の第１本体領域１３ａに、小さな直方体の第１冷却装置領域１５ａが結合した形をしており、小さな直方体の第１冷却装置領域１５ａは、正面側に寄った位置にある。他方の第２組合せセット１１は、第２本体領域１３ｂに、第２冷却装置領域１５ｂが結合した形をしており、第２冷却装置領域１５ｂは、裏面側に寄った位置にある。
本実施形態のバーンイン試験装置１は、第１組合せセット１０の左側面と、第２組合せセット１１の右側面を合わせて一体化したものであり、中間エリア２０１では、第１冷却装置領域１５ａと第２冷却装置領域１５ｂとが、前後方向に入れ違い状に配置されている。
そして第１組合せセット１０と第２組合せセット１１が複数の締結具４９によって接続されている。本実施形態では、第１組合せセット１０の台座部５１ａと第２組合せセット１１の台座部５１ｂが締結具４９によって接続されている。また第１組合せセット１０の天面５２ａと第２組合せセット１１の天面５２ｂが締結具４９によって接続されている。
【0042】
第１圧縮機２５ａと第２圧縮機２５ｂは、いずれも第１冷却装置領域１５ａと第２冷却装置領域１５ｂの前後方向の中ほどの位置に配置されていて、二つの圧縮機２５は、図５、図６の様に背中合わせの位置関係となる。言い換えると、二つの圧縮機２５は、第１冷却装置領域１５ａと第２冷却装置領域１５ｂの合わせ面を境に、それぞれ対称に配置されている。
また、圧力計４０等の計器類も同様に、第１冷却装置領域１５ａと第２冷却装置領域１５ｂの合わせ面を境に、対称に配置される。すなわち、圧力計４０等の計器類が第１開放部３１ａ又は第２開放部３１ｂ側に向けて設置されることとなり、図８の様に第１開放部３１ａ又は第２開放部３１ｂを開くことによって圧力計４０等の計器類を容易に視認することができる。
また、圧力計４０等の計器類も同様に、第１冷却装置領域１５ａと第２冷却装置領域１５ｂの合わせ面を境に、対称に配置される。すなわち、圧力計４０等の計器類が第１開放部３１ａ又は第２開放部３１ｂ側に向けて設置されることとなり、図８の様に第１開放部３１ａ又は第２開放部３１ｂを開くことによって圧力計４０等の計器類を容易に視認することができる。
【0043】
第１組合せセット１０と第２組合せセット１１が組み合わされた状態では、全体の全周面が外壁で覆われる。
【0044】
組み合わされた状態のバーンイン試験装置１は、試験室３と、当該試験室３内の供試体１００に電力を供給する通電装置５を設置するための通電装置配置室２１と、当該試験室３内の温度を調節する冷却装置３０が一組となった組合せセット１０、１１を二組有し、各組合せセット１０、１１の冷却装置３０は、いずれも圧縮機２５と凝縮器１６と膨張手段と蒸発器を有している。
各組合せセット１０、１１は、いずれも試験室３の背面に通電装置配置室２１が配された本体領域１３と、少なくとも圧縮機２５が配された圧縮機配置室１７がある。
一方の組合せセット１０に属する第１本体領域１３ａと、他方の組合せセット１１に属する第２本体領域１３ｂとが間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域１３ａ、１３ｂの間に一方の組合せセット１０、１１に属する冷却装置領域１５と、他方の組合せセット１０、１１に属する冷却装置領域１５が前後方向に入れ違い状に配置されている。
各組合せセット１０、１１は、いずれも試験室３の背面に通電装置配置室２１が配された本体領域１３と、少なくとも圧縮機２５が配された圧縮機配置室１７がある。
一方の組合せセット１０に属する第１本体領域１３ａと、他方の組合せセット１１に属する第２本体領域１３ｂとが間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域１３ａ、１３ｂの間に一方の組合せセット１０、１１に属する冷却装置領域１５と、他方の組合せセット１０、１１に属する冷却装置領域１５が前後方向に入れ違い状に配置されている。
【0045】
本実施形態のバーンイン試験装置１では、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１はいずれも独立し、個々がユニット化されたバーンイン試験装置であり、それぞれの試験室３の環境を個別に設定することができる。
具体的には、第１試験室３ａ内の温度等を第１環境設定装置７ａで設定することができる。また第２試験室３ｂ内の温度等を第２環境設定装置７ｂで設定することができる。
本実施形態のバーンイン試験装置１では、正面側に第１冷却装置領域１５ａの第１開放部３１ａがあり、第１蓋（正面側蓋）５０ａを外すことによって第１冷却装置領域１５ａの第１開放部３１ａを開放することができる。その結果、第１空調装置６ａの主要部に触れることができ、圧力計４０等の計器類を正面側から目視することができる。
一方、本実施形態のバーンイン試験装置１では、裏面側に第２冷却装置領域１５ｂの第２開放部３１ｂがあり、第２蓋（正面側蓋）５０ｂを外すことによって第２冷却装置領域１５ｂの第２開放部３１ｂを開放することができる。その結果、第２空調装置６ｂの主要部に触れることができ、圧力計４０等の計器類を裏面側から目視することができる。
この様に、本実施形態のバーンイン試験装置１は、メンテナンスが容易である。
具体的には、第１試験室３ａ内の温度等を第１環境設定装置７ａで設定することができる。また第２試験室３ｂ内の温度等を第２環境設定装置７ｂで設定することができる。
本実施形態のバーンイン試験装置１では、正面側に第１冷却装置領域１５ａの第１開放部３１ａがあり、第１蓋（正面側蓋）５０ａを外すことによって第１冷却装置領域１５ａの第１開放部３１ａを開放することができる。その結果、第１空調装置６ａの主要部に触れることができ、圧力計４０等の計器類を正面側から目視することができる。
一方、本実施形態のバーンイン試験装置１では、裏面側に第２冷却装置領域１５ｂの第２開放部３１ｂがあり、第２蓋（正面側蓋）５０ｂを外すことによって第２冷却装置領域１５ｂの第２開放部３１ｂを開放することができる。その結果、第２空調装置６ｂの主要部に触れることができ、圧力計４０等の計器類を裏面側から目視することができる。
この様に、本実施形態のバーンイン試験装置１は、メンテナンスが容易である。
【0046】
本実施形態のバーンイン試験装置１は、工場で全体を組み立てて動作試験を行う。そして第１組合せセット１０と第２組合せセット１１に分離し、搬送先に運ぶ。
ここで、本実施形態のバーンイン試験装置１では、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１はいずれも独立した形でユニット化されている。
そのため第１ユニットたる第１組合せセット１０と、第２ユニットたる第２組合せセット１１に分離することが容易である。分離された各ユニットは、分離する前に比べて小型であるため、搬送が容易である。
特に本実施形態では、冷媒配管を含めてユニット化されているため、工場から出荷する際に、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１を分離することが容易である。
ここで、本実施形態のバーンイン試験装置１では、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１はいずれも独立した形でユニット化されている。
そのため第１ユニットたる第１組合せセット１０と、第２ユニットたる第２組合せセット１１に分離することが容易である。分離された各ユニットは、分離する前に比べて小型であるため、搬送が容易である。
特に本実施形態では、冷媒配管を含めてユニット化されているため、工場から出荷する際に、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１を分離することが容易である。
【0047】
また搬送先においても設置工事が容易である。即ち本実施形態では、各ユニットが独立した冷却装置３０ａ、３０ｂを有し、それぞれの冷媒配管がそれぞれのユニット内に組み込まれている。具体的には、各ユニット内で圧縮機２５と、凝縮器１６と、膨張手段（図示せず）及び蒸発器（図示せず）の間が配管済みである。そのため、搬送先で冷媒配管を接続する必要がなく、設置工事が容易である。
また搬送先で第１ユニットたる第１組合せセット１０と第２ユニットたる第２組合せセット１１を組み合わせてバーンイン試験装置１を組み立てることができる。そのため本実施形態のバーンイン試験装置１は、搬送及び施工が容易である。
また搬送先で第１ユニットたる第１組合せセット１０と第２ユニットたる第２組合せセット１１を組み合わせてバーンイン試験装置１を組み立てることができる。そのため本実施形態のバーンイン試験装置１は、搬送及び施工が容易である。
【0048】
本実施形態のバーンイン試験装置１では、冷却装置の第１凝縮器１６ａ及び第２凝縮器１６ｂはいずれも水冷式の凝縮器である。そのため、クーリングタワー等の冷却装置と第１凝縮器１６ａ及び第２凝縮器１６ｂとを配管接続する必要がある。
ここで本実施形態のバーンイン試験装置１では、図７に示すように、一方の組合せセットに冷却水導入部４１と冷却水排出部４２があり、一方の組合せセット内で配管が分岐されて、当該組合せセットの凝縮器１６ｂと他方の組合せセットの凝縮器１６ａに冷却水が供給される構造となっている。
ここで本実施形態のバーンイン試験装置１では、図７に示すように、一方の組合せセットに冷却水導入部４１と冷却水排出部４２があり、一方の組合せセット内で配管が分岐されて、当該組合せセットの凝縮器１６ｂと他方の組合せセットの凝縮器１６ａに冷却水が供給される構造となっている。
【0049】
本実施形態では、第２組合せセット１１の裏面側に冷却水導入部４１と冷却水排出部４２がある。具体的には、バーンイン試験装置１の裏面側であって、第２冷却装置領域１５ｂに、冷却水導入部４１と冷却水排出部４２がある。
冷却水導入部４１に接続された給水配管４５は、第１凝縮器１６ａの給水口に接続されている。給水配管４５から給水支管４６が分岐され、給水支管４６は第２凝縮器１６ｂの給水口に接続されている。
また第１凝縮器１６ａの排水口に排水配管４７が接続され、排水配管４７は冷却水排出部４２に接続されている。第２凝縮器１６ｂの排水口に排水支管４８が接続され、排水支管４８は、第１凝縮器１６ａの排水口と冷却水排出部４２の間の排水配管４７に接続されている。
従って第１凝縮器１６ａには給水配管４５によって冷却水が供給され、排水配管４７によって排水される。第２凝縮器１６ｂには給水配管４５から分岐された給水支管４６によって冷却水が供給され、排水支管４８と合流する排水配管４７を経由して排水される。
この点においても、本実施形態のバーンイン試験装置１は、搬送及び施工が容易である。
冷却水導入部４１に接続された給水配管４５は、第１凝縮器１６ａの給水口に接続されている。給水配管４５から給水支管４６が分岐され、給水支管４６は第２凝縮器１６ｂの給水口に接続されている。
また第１凝縮器１６ａの排水口に排水配管４７が接続され、排水配管４７は冷却水排出部４２に接続されている。第２凝縮器１６ｂの排水口に排水支管４８が接続され、排水支管４８は、第１凝縮器１６ａの排水口と冷却水排出部４２の間の排水配管４７に接続されている。
従って第１凝縮器１６ａには給水配管４５によって冷却水が供給され、排水配管４７によって排水される。第２凝縮器１６ｂには給水配管４５から分岐された給水支管４６によって冷却水が供給され、排水支管４８と合流する排水配管４７を経由して排水される。
この点においても、本実施形態のバーンイン試験装置１は、搬送及び施工が容易である。
【0050】
本実施形態のバーンイン試験装置１を使用してバーンイン試験を実施する場合は、供試体１００を第１試験室３ａ又は第２試験室３ｂに配置し、スロット２０に供試体１００の端子を係合させて、供試体１００を第１通電装置５ａ又は第２通電装置５ｂに電気的に接続する。そして第１空調装置６ａ又は第２空調装置６ｂを起動して第１試験室３ａ又は第２試験室３ｂ内を所望の環境に維持すると共に、第１通電装置５ａ又は第２通電装置５ｂから供試体１００に電流及び信号を入力して供試体１００の変化を観察する。
【0051】
以上説明したバーンイン試験装置１は、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１がユニット化されていて容易に分割することができる。しかしこの構成は必須ではなく、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１が分離できないものであってもよい。
以上説明したバーンイン試験装置１は、第１試験室３ａの環境と第２試験室３ｂの環境を個別に設定することができるが、同一の環境に設定することしかできないものであってもよい。
以上説明したバーンイン試験装置１は、第１試験室３ａの環境と第２試験室３ｂの環境を個別に設定することができるが、同一の環境に設定することしかできないものであってもよい。
【0052】
以上説明したバーンイン試験装置１の第１組合せセット１０と第２組合せセット１１の接合面に注目すると、第２組合せセット１１側に外壁５３があり、第１組合せセット１０には外壁はない。バーンイン試験装置１では、第２組合せセット１１の右側面の外壁５３が第１組合せセット１０と第２組合せセット１１の仕切壁となっている。
接合面の仕切壁の有無は任意であり、仕切壁は無くてもよい。またバーンイン試験装置１では、第２組合せセット１１の右側面の外壁５３が仕切壁となっているが、第１組合せセット１０に外壁を設け、これを仕切壁としてもよい。第１組合せセット１０と第２組合せセット１１の双方に外壁が有ってもよい。
接合面の仕切壁の有無は任意であり、仕切壁は無くてもよい。またバーンイン試験装置１では、第２組合せセット１１の右側面の外壁５３が仕切壁となっているが、第１組合せセット１０に外壁を設け、これを仕切壁としてもよい。第１組合せセット１０と第２組合せセット１１の双方に外壁が有ってもよい。
【0053】
以上説明した実施形態では、第１組合せセット１０と第２組合せセット１１は、レイアウト等を除いて同じものである。即ち、いずれも通電制御装置８ａ、８ｂを有し、個々の試験室３ａ、３ｂ内の供試体１００に供給する電流や信号を個別に制御することができる。バーンイン試験装置１によると、第１試験室３ａの供試体１００と第２試験室３ｂの供試体１００に対して異なる電流や異なる信号を入力することができるので多様なバーンイン試験に対応することができる。
しかしながら、現実には、第１試験室３ａの供試体１００と第２試験室３ｂの供試体１００に対して、同じ電流や信号を入力する場合も多い。
しかしながら、現実には、第１試験室３ａの供試体１００と第２試験室３ｂの供試体１００に対して、同じ電流や信号を入力する場合も多い。
【0054】
そこで変形例の一つとして、一方の組合せセットだけに通電制御装置８があり、他方には無い構造のものも推奨される。
例えば第１組合せセット１０にのみ通電制御装置８ａがあり、当該通電制御装置８ａによって、第１試験室３ａの供試体１００と第２試験室３ｂの供試体１００に供給する電流等を制御する。
この構造を採用する場合には、第２組合せセット１１の第２冷却装置領域１５ｂの上段は、第１組合せセット１０の第１冷却装置領域１５ａの上段に比べて部材の多くが省略される。
具体的には、第１組合せセット１０では上段が第１制御装置配置室３３ａとなっており、バーンイン試験を制御する第１通電制御装置８ａが収容されているが、第２冷却装置領域１５ｂの上段には通電制御装置はない。また制御装置配置室３３自体がなく、第１組合せセット１０の開口３５ａに相当する開口や、裏面側のモニター画面３６や棚３８ａに相当する部材も無い。
例えば第１組合せセット１０にのみ通電制御装置８ａがあり、当該通電制御装置８ａによって、第１試験室３ａの供試体１００と第２試験室３ｂの供試体１００に供給する電流等を制御する。
この構造を採用する場合には、第２組合せセット１１の第２冷却装置領域１５ｂの上段は、第１組合せセット１０の第１冷却装置領域１５ａの上段に比べて部材の多くが省略される。
具体的には、第１組合せセット１０では上段が第１制御装置配置室３３ａとなっており、バーンイン試験を制御する第１通電制御装置８ａが収容されているが、第２冷却装置領域１５ｂの上段には通電制御装置はない。また制御装置配置室３３自体がなく、第１組合せセット１０の開口３５ａに相当する開口や、裏面側のモニター画面３６や棚３８ａに相当する部材も無い。
【0055】
前記した様に、バーンイン試験は、電子機器を高温等の所定の環境に置き、電子機器に電源電圧や所定の信号を入力して行われる試験であり、上記したバーンイン試験装置１では、環境設定装置７ａ、７ｂで試験室３ａ、３ｂ内の温度等を設定し、通電制御装置８ａ、８ｂで供試体１００に供給する電流や信号を制御する。この様に、バーンイン試験装置１では、環境設定と供給電流等の入力設定が別の装置で行われるが、一つの装置で行われる構成であってもよい。例えば通電制御装置８ａ、８ｂに環境を設定する機能及び／又は制御機能を付加し、通電制御装置８ａ、８ｂで試験室３ａ、３ｂ内の温度等を制御してもよい。
【0056】
上記したバーンイン試験装置１は、第１試験室３ａ及び第２試験室３ｂと、第１通電装置５ａ及び第２通電装置５ｂと、第１空調装置６ａ及び第２空調装置６ｂを有している。また上記したバーンイン試験装置１は、第１環境設定装置７ａ及び第２環境設定装置７ｂと、第１通電制御装置８ａ及び第２通電制御装置８ｂを備えている。
ここで、第１通電装置５ａ及び第２通電装置５ｂや、第１通電制御装置８ａ及び第２通電制御装置８ｂは、搬送先においてユーザの手によって装備される場合もある。そのため、工場から出荷する段階のバーンイン試験装置１は、第１通電装置５ａ及び第２通電装置５ｂや、第１通電制御装置８ａ及び第２通電制御装置８ｂ等が無い状態であることもある。
従って前記の場合において工場から出荷されるバーンイン試験装置１は、供試体１００を配置するための試験室３ａ、３ｂと、試験室３ａ、３ｂ内の温度を調節する冷却装置と、を有するバーンイン試験装置１であって、試験室３ａ、３ｂと、試験室３ａ、３ｂ内の供試体１００に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室２１ａ、２１ｂと、試験室３ａ、３ｂ内の温度を調節する冷却装置が一組となった組合せセット１０、１１を二組有し、各組合せセット１０、１１の冷却装置は、いずれも圧縮機２５ａ、２５ｂと凝縮器１６ａ、１６ｂと膨張手段と蒸発器を有し、各組合せセット１０、１１は、試験室３ａ、３ｂの背面に通電装置配置室２１ａ、２１ｂが配された本体領域１３ａ、１３ｂと、少なくとも前記圧縮機２５ａ、２５ｂが配された冷却装置領域１５ａ、１５ｂがあり、一方の組合せセット１０に属する本体領域１３ａと他方の組合せセット１１に属する本体領域１３ｂが間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域１３ａ、１３ｂの間に、一方の組合せセット１０に属する冷却装置領域１５ａと他方の組合せセット１１に属する冷却装置領域１５ｂが、前後方向に入れ違い状に配置された構成となっている。
ここで、第１通電装置５ａ及び第２通電装置５ｂや、第１通電制御装置８ａ及び第２通電制御装置８ｂは、搬送先においてユーザの手によって装備される場合もある。そのため、工場から出荷する段階のバーンイン試験装置１は、第１通電装置５ａ及び第２通電装置５ｂや、第１通電制御装置８ａ及び第２通電制御装置８ｂ等が無い状態であることもある。
従って前記の場合において工場から出荷されるバーンイン試験装置１は、供試体１００を配置するための試験室３ａ、３ｂと、試験室３ａ、３ｂ内の温度を調節する冷却装置と、を有するバーンイン試験装置１であって、試験室３ａ、３ｂと、試験室３ａ、３ｂ内の供試体１００に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室２１ａ、２１ｂと、試験室３ａ、３ｂ内の温度を調節する冷却装置が一組となった組合せセット１０、１１を二組有し、各組合せセット１０、１１の冷却装置は、いずれも圧縮機２５ａ、２５ｂと凝縮器１６ａ、１６ｂと膨張手段と蒸発器を有し、各組合せセット１０、１１は、試験室３ａ、３ｂの背面に通電装置配置室２１ａ、２１ｂが配された本体領域１３ａ、１３ｂと、少なくとも前記圧縮機２５ａ、２５ｂが配された冷却装置領域１５ａ、１５ｂがあり、一方の組合せセット１０に属する本体領域１３ａと他方の組合せセット１１に属する本体領域１３ｂが間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域１３ａ、１３ｂの間に、一方の組合せセット１０に属する冷却装置領域１５ａと他方の組合せセット１１に属する冷却装置領域１５ｂが、前後方向に入れ違い状に配置された構成となっている。
【符号の説明】
【0057】
１ バーンイン試験装置
２ 筐体
３ａ 第１試験室
３ｂ 第２試験室
５ａ 第１通電装置
５ｂ 第２通電装置
６ａ 第１空調装置
６ｂ 第２空調装置
８ａ 第１通電制御装置
８ｂ 第２通電制御装置
１０ 第１組合せセット
１１ 第２組合せセット
１３ａ 第１本体領域
１３ｂ 第２本体領域
１５ａ 第１冷却装置領域
１５ｂ 第２冷却装置領域
１６ａ 凝縮器
１６ｂ 凝縮器
２５ａ 第１圧縮機
２５ｂ 第２圧縮機
３０ 冷却装置
３１ａ 第１開放部
３１ｂ 第２開放部
４１ 冷却水導入部
１００ 供試体
２ 筐体
３ａ 第１試験室
３ｂ 第２試験室
５ａ 第１通電装置
５ｂ 第２通電装置
６ａ 第１空調装置
６ｂ 第２空調装置
８ａ 第１通電制御装置
８ｂ 第２通電制御装置
１０ 第１組合せセット
１１ 第２組合せセット
１３ａ 第１本体領域
１３ｂ 第２本体領域
１５ａ 第１冷却装置領域
１５ｂ 第２冷却装置領域
１６ａ 凝縮器
１６ｂ 凝縮器
２５ａ 第１圧縮機
２５ｂ 第２圧縮機
３０ 冷却装置
３１ａ 第１開放部
３１ｂ 第２開放部
４１ 冷却水導入部
１００ 供試体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】