特開 2024-48454 漏液検出システムおよび漏液センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024048454

(43)【公開日】2024-04-09

(54)【発明の名称】漏液検出システムおよび漏液センサ

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/02 20060101AFI20240402BHJP

【ＦＩ】

G01N27/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022154371

(22)【出願日】2022-09-28

(71)【出願人】

【識別番号】000116024

【氏名又は名称】ローム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】赤坂 俊輔

(72)【発明者】

【氏名】内貴 崇

【テーマコード（参考）】

2G060

【Ｆターム（参考）】

2G060AA05

2G060AC01

2G060AE12

2G060AF06

2G060AG03

2G060FA01

2G060HB06

2G060HC15

2G060HD01

2G060KA05

(57)【要約】

【課題】高湿度環境における誤検知を抑制しつつ適切に漏液を検出できる漏液検出システムを提供する。
【解決手段】第１電極および第２電極の間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第１検出部を含む漏液センサと、第１電極および第２電極の間のインピーダンスを含む情報を取得する制御装置とを備える。漏液センサは、第１電極および第２電極を加熱する加熱部を含む。制御装置は、加熱部によって加熱されている状態の第１電極および第２電極の間のインピーダンスに基づいて、漏液または結露が発生しているか否かを判定し、判定結果を報知する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を検出する漏液検出システムであって、
第１電極および第２電極の間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第１検出部を含む漏液センサと、
前記第１電極および前記第２電極の間のインピーダンスを含む情報を取得する制御装置とを備え、
前記漏液センサは、前記第１電極および前記第２電極を加熱する加熱部を含み、
前記制御装置は、
前記加熱部によって加熱されている状態の前記第１電極および前記第２電極の間のインピーダンスに基づいて、漏液または結露が発生しているか否かを判定し、判定結果を報知する、漏液検出システム。

【請求項2】

前記制御装置は、
前記加熱部によって加熱されていない状態の前記第１電極および前記第２電極の間のインピーダンスを含む情報を第１結果として取得し、
前記加熱部によって加熱されている状態の前記第１電極および前記第２電極の間のインピーダンスを含む情報を第２結果として取得し、
前記第１結果と前記第２結果とに基づいて、漏液または結露が発生しているか否かを判定し、判定結果を報知する、請求項１に記載の漏液検出システム。

【請求項3】

前記漏液センサは、第３電極および第４電極の間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第２検出部をさらに備え、
前記制御装置は、
前記加熱部によって加熱されていない状態の前記第３電極および前記第４電極の間のインピーダンスを含む情報を第１結果として取得し、
前記加熱部によって加熱されている状態の前記第１電極および前記第２電極の間のインピーダンスを含む情報を第２結果として取得し、
前記第１結果と前記第２結果とに基づいて、漏液または結露が発生しているか否かを判定し、判定結果を報知する、請求項１に記載の漏液検出システム。

【請求項4】

前記制御装置は、
前記第１結果が液体の付着を示し、かつ、前記第２結果が液体の付着を示す場合、漏液が発生していると判定し、
前記第１結果が液体の付着を示し、かつ、前記第２結果が液体の付着を示さない場合、結露が発生していると判定し、判定結果を報知する、請求項２または請求項３に記載の漏液検出システム。

【請求項5】

前記制御装置は、
前記第１結果が液体の付着を示さず、かつ、前記第２結果が液体の付着を示す場合、前記漏液センサに異常が発生していると判定し、判定結果を報知する、請求項２に記載の漏液検出システム。

【請求項6】

前記漏液センサは、前記第１検出部の温度を測定する温度センサをさらに備え、
前記制御装置は、
前記加熱部の設定温度を取得し、
前記温度センサの検出値を取得し、
前記設定温度と前記温度センサの検出値との差が所定の範囲内ではない場合、前記漏液センサに異常が発生していると判定し、判定結果を報知する、請求項１に記載の漏液検出システム。

【請求項7】

前記制御装置は、前記漏液センサの周囲の環境温度を基準として前記温度センサの検出値が予め定められた範囲内に含まれるように前記加熱部の設定温度を調整する、請求項６に記載の漏液検出システム。

【請求項8】

液体を検出する漏液センサであって、
第１電極および第２電極の間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第１検出部と、
前記第１電極および前記第２電極を加熱する加熱部とを有する、漏液センサ。

【請求項9】

前記加熱部は、マイクロヒータである、請求項８に記載の漏液センサ。

【請求項10】

主面を有する基板と、
第１絶縁層第２絶縁層および第３絶縁層を含む絶縁体とをさらに備え、
前記第１絶縁層、前記第２絶縁層および前記第３絶縁層は、前記主面に前記第３絶縁層、前記第２絶縁層、前記第１絶縁層の順で積層されており、
前記第２絶縁層は、前記第１電極および前記第２電極を含み、
前記第３絶縁層は、前記加熱部を含み、
前記第１絶縁層には、前記主面の法線方向に貫通している開口部が形成され、
前記主面を平面視した場合に、前記開口部と重なる領域において前記第１電極および前記第２電極は露出する、請求項８に記載の漏液センサ。

【請求項11】

前記加熱部と外部装置とを接続するための第１接続部と、
前記第１検出部と外部装置とを接続する第２接続部とをさらに備え、
前記第１接続部および前記第２接続部は、防水樹脂によって覆われている、請求項８に記載の漏液センサ。

【請求項12】

前記第１電極および前記第２電極は、櫛歯形状を有する、請求項８に記載の漏液センサ。

【請求項13】

前記第１電極および前記第２電極の基材は、アルミニウム、銅、または白金のいずれかを含む、請求項８に記載の漏液センサ。

【請求項14】

前記加熱部の温度は、前記漏液センサの周囲の環境温度以上であって２００℃以下である、請求項８に記載の漏液センサ。

【請求項15】

第３電極および第４電極の間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第２検出部をさらに備える、請求項８～請求項１４のいずれか１項に記載の漏液センサ。

【請求項16】

前記第１検出部の温度を測定する温度センサをさらに備える、請求項８に記載の漏液センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、漏液検出システムおよび漏液センサに関する。

【背景技術】

【0002】

特開２０２０－１６９９０７号公報（特許文献１）には、櫛形電極を有する液漏れセンサが記載されている。特許文献１には、高湿度環境における結露の発生によって漏液センサが誤検知する場合があることが記載されている。特許文献１に記載の液漏れセンサは、液漏れ検出部に加えて、湿度検出部を有する。特許文献１の判断部は、液漏れ検出部および湿度検出部の両方の検出結果に基づいて液漏れが発生しているか否かを判断する。

【0003】

より具体的には、特許文献１の判断部は、液漏れ検出部が液漏れを検出し、湿度検出部の測定結果が８０％以上である場合、所定期間（たとえば、２４時間）経過するまで待機する。特許文献１では、所定期間経過後においても液漏れ検出部が液漏れを依然として検出している場合、液漏れ警報が出力される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２０－１６９９０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１では、高湿度状態にて液漏れを検出した場合、所定期間（たとえば、２４時間）待機して湿度環境が変化することを待つ。すなわち、高湿度状態にて液漏れを検出した場合２４時間待機する必要があり、最終的に液漏れを判断するまでに最初に液漏れを検出してから多くの時間を要することとなる。最初の液漏れを検出してから湿度環境が変化するまでの期間を待つことなく高湿度環境における誤検知の発生を抑制して、液漏れの検出が可能な漏液検出システムが要望されている。

【0006】

本開示は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。より具体的には、本開示は、高湿度環境においても誤検知を抑制しつつ適切に液漏れを検出できる漏液検出システムを提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の漏液検出システムは、第１電極および第２電極の間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第１検出部を含む漏液センサと、第１電極および第２電極の間のインピーダンスを含む情報を取得する制御装置とを備える。漏液センサは、第１電極および第２電極を加熱する加熱部を含む。制御装置は、加熱部によって加熱されている状態の第１電極および第２電極の間のインピーダンスに基づいて、漏液または結露が発生しているか否かを判定し、判定結果を報知する。

【0008】

本開示の漏液センサは、第１電極および第２電極の間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第１検出部と、第１電極および第２電極を加熱する加熱部とを有する。

【発明の効果】

【0009】

本開示の漏液検出システムによると、高湿度環境における誤検知の発生を抑制しつつ適切に漏液を検出できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施の形態１における漏液センサを有する漏液検出システムの全体構成を説明するためのブロック図である。

【図2】図２は、実施の形態１における漏液センサの分解斜視図である。

【図3】図３は、実施の形態１における漏液センサの平面図および断面図である。

【図4】図４は、実施の形態１における漏液または結露の発生を検出するためのフローチャートである。

【図5】図５は、漏液センサの周囲の状態を判定するための表を示す図である。

【図6】図６は、実施の形態２における漏液センサを有する漏液検出システムの全体構成を説明するためのブロック図である。

【図7】図７は、実施の形態２における漏液センサの平面図である。

【図8】図８は、実施の形態２における漏液または結露の発生を検出するためのフローチャートである。

【図9】図９は、実施の形態３における漏液センサを有する漏液検出システム１０Ｂの全体構成を説明するためのブロック図である。

【図10】図１０は、実施の形態３における漏液センサの平面図および断面図である。

【図11】図１１は、実施の形態３における加熱部の異常判定処理のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本開示の実施の形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないものとする。

【0012】

［実施の形態１］
＜実施の形態１における漏液検出システムの全体構成＞
図１は、実施の形態１における漏液センサ１００を有する漏液検出システム１０の全体構成を説明するためのブロック図である。漏液検出システム１０は、たとえば、工場、各家庭などにおいて用いられる液漏れを検出するシステムである。検出対象となる液体は、純物質および混合物を含み、工場内において例えば産業機器に用いられるオイル、およびバッテリ内の液体などを含み、家庭内において例えば空気調和機などに用いられる冷媒、生活排水など種々の液体を含む。

【0013】

漏液検出システム１０は、漏液センサ１００と制御装置２００とを備える。漏液センサ１００と制御装置２００とは、電気的に接続されている。漏液センサ１００と制御装置２００との接続方法は、有線または無線のいずれであってもよい。

【0014】

漏液センサ１００は、加熱部１１０と第１検出部１２０とを含む。実施の形態１における加熱部１１０は、微小電気機械システム（MEMS: Micro Electro Mechanical Systems）の分野におけるマイクロヒータである。なお、加熱部１１０は、マイクロヒータに限られずシーズヒータなどであってもよい。第１検出部１２０は、後述する電極間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する。加熱部１１０は、第１検出部１２０に含まれる電極を加熱する。

【0015】

制御装置２００は、ＣＰＵ２１０と、メモリ２２０と、報知部２３０とを含む。ＣＰＵ２１０は、メモリ２２０に一時的に記憶されるプログラムを実行する。制御装置２００における処理は、各ハードウェアおよびＣＰＵ２１０により実行されるソフトウェアの協働によって実現される。報知部２３０は、ＣＰＵ２１０からの命令により、漏液の発生などの情報を外部に報知する。報知部２３０は、たとえば、ランプ、ディスプレイ、およびスピーカーを含み得る。

【0016】

＜実施の形態１における漏液センサの構成＞
図２は、実施の形態１における漏液センサ１００の分解斜視図である。漏液センサ１００は、基板Ｓｂ１の主面Ｓｆ１上に絶縁体Ｌｙが配置されることにより構成される。図２に示されるように、絶縁体Ｌｙは、複数の絶縁層Ｌ１～Ｌ５が積層された構成を有している。以下では、複数の絶縁層Ｌ１～Ｌ５の積層方向を「Ｚ軸方向」と称する。Ｚ軸方向に垂直な方向であって、主面Ｓｆ１を平面視したときの基板Ｓｂ１の一辺に沿う方向を「Ｘ軸方向」と称する。Ｘ軸方向およびＺ軸方向の両方に対して垂直な方向を「Ｙ軸方向」と称する。各図におけるＺ軸の正方向を上側、負方向を下側と称する場合がある。

【0017】

図２に示されるように、漏液センサ１００のＺ軸の負方向側には、主面Ｓｆ１を有する基板Ｓｂ１が配置されている。基板Ｓｂ１のＺ軸方向の長さＤ１は、たとえば、数百μｍである。基板Ｓｂ１には、Ｚ軸方向に貫通している開口部Ｏｐ１が形成されている。換言すれば、開口部Ｏｐ１は、基板Ｓｂ１の厚さ方向に沿って基板Ｓｂ１を貫通している。すなわち、実施の形態１の基板Ｓｂ１はＺ軸の正方向側から視たときに枠形状を有する。ある局面において開口部Ｏｐ１は、基板Ｓｂ１を貫通しておらずＺ軸の負方向側で閉じていてもよい。開口部Ｏｐ１は、絶縁層Ｌ５のＺ軸の負方向側の面と空気とを接触させるための空間を形成するための領域である。基板Ｓｂ１は、たとえば、単結晶シリコンにより形成されている。

【0018】

基板Ｓｂ１は、主面Ｓｆ１上に配置された複数の絶縁層Ｌ１～Ｌ５を支持する。主面Ｓｆ１上には、Ｚ軸の負方向側から絶縁層Ｌ５，Ｌ４，Ｌ３，Ｌ２，Ｌ１の順番で絶縁層Ｌ１～Ｌ５が積層されている。絶縁層Ｌ１～Ｌ５は、たとえば、シリコン窒化物またはシリコン酸化物によって形成されている。絶縁層Ｌ５のＺ軸方向の長さＤ２は、１～１０μｍである。絶縁層Ｌ１～４のＺ軸方向の長さも、絶縁層Ｌ５と同様に１～１０μｍである。

【0019】

絶縁層Ｌ４には、加熱部１１０が配置されている。絶縁層Ｌ３には、加熱部１１０とコネクタＣｎ２，Ｃｎ３を接続するためのビアが配置されている。絶縁層Ｌ２には、加熱部１１０とコネクタＣｎ２，Ｃｎ３を接続するためのビアに加えて、第１検出部１２０が配置されている。絶縁層Ｌ１には、コネクタＣｎ１～Ｃｎ４が配置されている。なお、絶縁層Ｌ１は、本開示における「第１絶縁層」に対応し得る。絶縁層Ｌ２は、本開示における「第２絶縁層」に対応し得る。また、絶縁層Ｌ４は、本開示における「第３絶縁層」に対応し得る。

【0020】

絶縁層Ｌ１には、基板Ｓｂ１と同様に、Ｚ軸方向に貫通している開口部Ｏｐ２が形成されている。換言すれば、開口部Ｏｐ２は、絶縁層Ｌ１の厚さ方向に沿って絶縁層Ｌ１を貫通している。すなわち、絶縁層Ｌ１は、Ｚ軸の正方向側から視たときに枠形状を有する。

【0021】

実施の形態１における漏液検出システム１０では、加熱されていない状態の第１検出部１２０に含まれる電極間のインピーダンスと、加熱されている状態の第１検出部１２０に含まれる電極間のインピーダンスとを用いて漏液を検出する。漏液センサ１００が設置されている空間がたとえば空気調和機によって冷却されたとき、漏液センサ１００の表面に結露が発生する場合がある。この場合、漏液が発生していないにもかかわらず、第１検出部１２０に含まれる電極間の電気抵抗値が低下してしまい、誤検知の原因となり得る。そのため、漏液検出システム１０では、加熱部１１０を用いて第１検出部１２０に含まれる電極間のインピーダンスが低下した要因が漏液による液体の付着であるか、高湿度環境による結露の発生であるかを区別することができる。以下、図３～図５を用いて、実施の形態１における漏液センサ１００による検出方法を説明する。

【0022】

図３は、実施の形態１における漏液センサ１００の平面図および断面図である。図３（Ａ）は、Ｙ軸の負方向側から漏液センサ１００を視たときの断面図である。図３（Ｂ）は、Ｚ軸の正方向側から漏液センサ１００を視たときの平面透過図である。

【0023】

図３（Ａ）として示される断面は、図３（Ｂ）の線Ａ－Ａにおける漏液センサ１００の断面である。図３（Ｂ）には、Ｚ軸の正方向側から順に、絶縁層Ｌ１における開口部Ｏｐ２およびコネクタＣｎ１～Ｃｎ４、絶縁層Ｌ２における第１検出部１２０、絶縁層Ｌ４における加熱部１１０、基板Ｓｂ１における開口部Ｏｐ１が示されている。

【0024】

第１検出部１２０は、Ｘ軸の負方向側に配置される第１電極１２０Ｌと、Ｘ軸の正方向側に配置される第２電極１２０Ｒとを含む。第１電極１２０Ｌは、コネクタＣｎ１と接続されている。第２電極１２０Ｒは、コネクタＣｎ４と接続されている。コネクタＣｎ１，Ｃｎ４は、第１検出部１２０と外部装置とを接続するための接続部である。第１検出部１２０は、コネクタＣｎ１，Ｃｎ４との間の電圧等の測定により、第１電極１２０Ｌと第２電極１２０Ｒとの間のインピーダンスの変化を検出可能であるように構成されている。コネクタＣｎ１，Ｃｎ４は、本開示における「第２接続部」の一例である。

【0025】

図３（Ｂ）に示されるように、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒは、櫛歯形状を有する。第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒは、たとえば、アルミニウム、銅、または白金のいずれかを含む導電部材である。換言すれば、第１検出部１２０の基材は、アルミニウム、銅、または白金のいずれかを含む。

【0026】

図３（Ａ）に示されるように、絶縁層Ｌ１に開口部Ｏｐ２が形成されていることによって、絶縁層Ｌ２に含まれる第１検出部１２０の少なくとも一部が露出する。換言すれば、主面Ｓｆ１をＺ軸の正方向側から平面視した場合に、開口部Ｏｐ２と重なる領域において、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒは露出する。開口部Ｏｐ２と重なる領域とは、Ｚ軸の正方向側から絶縁層Ｌ１を平面視した場合に枠形状の絶縁層Ｌ１内によって囲まれている空間が占める領域である。これにより、開口部Ｏｐ２から露出した第１電極１２０Ｌと第２電極１２０Ｒとの間の表面に液体が付着することによって、コネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間のインピーダンスが変化する。

【0027】

インピーダンスの変化の一例は、たとえば、コネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間に導電性の液体が付着することによってコネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間の電気抵抗値が低下することである。また、インピーダンスの変化には、コネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間に非導電性の液体が付着してコネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間の誘電率が変化することによって静電容量が変化することも含まれる。以下では、開口部Ｏｐ２から露出した第１電極１２０Ｌと第２電極１２０Ｒと絶縁層Ｌ１とを含むＺ軸の正方向側の表面を、まとめて露出面と称する。

【0028】

加熱部１１０の少なくとも一部は主面Ｓｆ１をＺ軸の正方向側から平面視した場合に、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒと重なる位置に配置されている。加熱部１１０は、メアンダ形状に配置された帯状電極によって構成されている。加熱部１１０を構成する電極の基材は、たとえばＴｉ、Ｃｒ、Ｔａおよびこれらの窒化物、Ａｌ、Ｐｔ、Ａｕおよびこれらの合金などである。加熱部１１０を形成する電極の一方端はビアを介してコネクタＣｎ２と接続され、他方端はビアを介してコネクタＣｎ３と接続される。コネクタＣｎ２，Ｃｎ３は、加熱部１１０と外部装置とを接続するための接続部である。加熱部１１０は、コネクタＣｎ２，Ｃｎ３を介して通電されることにより抵抗発熱する。コネクタＣｎ２，Ｃｎ３は、本開示における「第１接続部」の一例である。

【0029】

加熱部１１０の抵抗発熱により、第１電極１２０Ｌと第２電極１２０Ｒとは加熱される。これにより、露出面に水滴が付着している場合、当該水滴は蒸発する。すなわち、実施の形態１の漏液センサ１００は、高湿度環境における結露により水滴が発生した場合において当該水滴を蒸発させることによって露出面を結露が発生していない状態と同様の状態へと遷移させることができる。

【0030】

図３（Ｂ）に示されるように、加熱部１１０は、Ｚ軸の正方向側から平面視した場合に主面Ｓｆ１の開口部Ｏｐ１と重なる位置に配置されている。空気の熱抵抗は、基板Ｓｂ１を構成する基材の熱抵抗よりも大きい。そのため、基板Ｓｂ１に開口部Ｏｐ１が形成されていることにより、開口部Ｏｐ１が形成されていない場合と比較して加熱部１１０によって発生する熱は効率的に第１検出部１２０へと伝達される。すなわち、実施の形態１における漏液センサ１００では、開口部Ｏｐ１の形成によって加熱部１１０のＺ軸の負方向側に基板Ｓｂ１が配置されていないため、基板Ｓｂ１への不要な熱伝達が抑制される。以下では、図３（Ａ）に示されているＺ軸の正方向側からみたときに絶縁層Ｌ１～Ｌ５または絶縁層Ｌ２～Ｌ５だけが重なって構成される膜形状の領域をメンブレン部Ｍｂ１と称する。

【0031】

図３（Ｂ）に示されるように、コネクタＣｎ１～Ｃｎ４のＺ軸の正方向側には防水樹脂Ｒｃ１が配置されている。換言すれば、コネクタＣｎ１～Ｃｎ４は、防水樹脂Ｒｃ１によって覆われている。これにより、実施の形態１における漏液センサ１００では、結露または漏液によるコネクタＣｎ１～Ｃｎ４の付近に水滴が発生し、コネクタＣｎ１～Ｃｎ４の間で短絡が発生すること抑制できる。

【0032】

＜実施の形態１における状態判定処理＞
図４は、実施の形態１における漏液または結露の発生を検出するためのフローチャートである。図４に示されるフローチャートは、ＣＰＵ２１０がメモリ２２０に記憶されているプログラムを読み込むことによって実現される。実施の形態１における漏液検出システム１０では、図４に示されるフローチャートが実行されることによって、漏液センサ１００が設置されている空間が冷却されたことによって結露が発生したのか、漏液が発生したのかを区別して検出することができる。

【0033】

ＣＰＵ２１０は、タイマをリセットする（ステップＳ１００）。ステップＳ１００におけるタイマは、たとえばＣＰＵ２１０に搭載されている汎用のタイマである。本実施の形態においてタイマのリセットとは、タイマのカウントを初期値（０秒）に戻し、カウントを開始することを意味する。

【0034】

ＣＰＵ２１０は、加熱部１１０に加熱を停止させる（ステップＳ１１０）。すなわち、ＣＰＵ２１０は、加熱部１１０を非通電状態にする。上述したように高湿度環境において漏液センサ１００が設置されている空間が冷却されている場合、漏液センサ１００の表面には結露が発生し得る。

【0035】

ＣＰＵ２１０は、ステップＳ１００にてリセットしたタイマを用いて所定期間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１２０）。ステップＳ１２０における所定期間は、高湿度環境において漏液センサ１００が設置されている空間が冷却されているなどの結露が発生し得る場合において、露出面に水滴が付着するために十分な期間である。ステップＳ１２０における所定期間は、たとえば１０分～１５分である。なお、実施の形態１の漏液センサ１００は、ステップＳ１６０における所定期間を短縮化するために、露出面に吸湿部材を設けてもよい。

【0036】

ステップＳ１００から所定期間が経過していない場合（ステップＳ１２０でＮＯ）、ＣＰＵ２１０はステップＳ１２０の処理を繰り返す。ステップＳ１００から所定期間が経過した場合（ステップＳ１２０でＹＥＳ）、ＣＰＵ２１０は、コネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間のインピーダンスを含む情報を第１結果として取得する（ステップＳ１３０）。

【0037】

コネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間のインピーダンスには、第１電極１２０Ｌと第２電極１２０Ｒとの間のインピーダンスが含まれる。ＣＰＵ２１０は、第１結果として示されるインピーダンスが所定の閾値以上であるか否かに応じて、液体が第１電極１２０Ｌと第２電極１２０Ｒとの間に液体が付着しているか否かを判定する。すなわち、第１結果は、加熱していない状態の露出面に液体が付着しているか否かを示す情報である。所定の閾値は、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの形状、基材、および第１絶縁層の基材などから予め定められている。

【0038】

第１結果を取得した後、ＣＰＵ２１０はタイマをリセットする（ステップＳ１４０）。続いて、ＣＰＵ２１０は加熱部１１０に加熱を開始する（ステップＳ１５０）。すなわち、ＣＰＵ２１０は、加熱部１１０に通電する。高湿度環境による結露が発生している場合、露出面に付着している水滴は、加熱部１１０の抵抗発熱によって蒸発する。ＣＰＵ２１０は、加熱部１１０の温度が漏液センサ１００の周囲の環境温度以上であって２００℃以下になるように電力を供給する。これにより、実施の形態１における漏液センサ１００では、加熱部１１０の温度の上限が２００℃となるため過昇温による漏液センサ１００の故障の発生を抑制できる。漏液センサ１００は、図示されない漏液センサ１００の周囲の温度を検出する温度センサを用いて周囲の環境温度を取得する。

【0039】

ＣＰＵ２１０は、ステップＳ１４０にてリセットしたタイマを用いて所定期間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１６０）。ステップＳ１６０における所定期間は、露出面に水滴が付着している場合において当該露出面に付着した水滴が加熱部１１０によって蒸発されるために十分な期間である。ステップＳ１６０における所定期間は、たとえば、加熱部１１０の基材、加熱部１１０に供給される電流の大きさによって予め定められる。所定期間は、たとえば１秒～１０秒である。

【0040】

所定期間が経過していない場合（ステップＳ１６０でＮＯ）、ＣＰＵ２１０はステップＳ１６０の処理を繰り返す。所定期間が経過した場合（ステップＳ１６０でＹＥＳ）、ＣＰＵ２１０は、コネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間のインピーダンスを含む情報を第２結果として取得する（ステップＳ１７０）。第２結果は、加熱されている状態において露出面に液体が付着しているか否かを示す情報である。ＣＰＵ２１０は、第１結果と第２結果とに基づいて、漏液センサ１００の周囲の状態を判定する（ステップＳ１８０）。

【0041】

図５は、漏液センサ１００の周囲の状態を判定するための表を示す図である。図５に示される表は、図示されないＲＯＭなどの記憶装置にプログラムとして記憶されている。ＣＰＵ２１０は、当該記憶装置から図５の表を示すプログラムを読み出す。図５に示されるように、ＣＰＵ２１０は、第１結果と第２結果に基づいて漏液センサ１００の周囲の状態の判定結果を導出する。

【0042】

第１結果および第２結果は露出面に液体が付着しているか否かを示す情報である。ＣＰＵ２１０は、第１結果および第２結果の両方が液体の付着を示す場合、露出面には加熱部１１０の加熱によって蒸発させることができない量の液体があるとして、漏液センサ１００の周囲は漏液が発生している状態であると判定する。すなわち、ＣＰＵ２１０は、第１結果が液体の付着を示し、かつ、第２結果も液体の付着を示す場合、漏液が発生していると判定する。

【0043】

ＣＰＵ２１０は、第１結果が液体の付着を示し、第２結果が液体の付着を示さない場合、露出面には加熱部１１０の加熱によって蒸発可能な量の液体があるとして、漏液センサ１００の周囲は結露が発生している状態であると判定する。ＣＰＵ２１０は、第１結果および第２結果の両方が液体の付着を示さない場合、露出面には液体が存在しないとして漏液センサ１００の周囲は乾燥状態であると判定する。ＣＰＵ２１０は、第１結果が液体の付着を示さず、第２結果が液体の付着を示す場合、何らかの異常が発生している状態であると判定する。

【0044】

このように、ＣＰＵ２１０は、図５に示される表に基づいて漏液センサ１００の周囲の状態を判定する。図４に戻り、ＣＰＵ２１０は、判定した結果を報知部２３０に報知させる（ステップＳ１９０）。報知部２３０がディスプレイである場合、ＣＰＵ２１０は、報知部２３０に判定結果に対応する文字を表示させる。報知部２３０がランプである場合、ＣＰＵ２１０は、判定結果に対応する色でランプを点灯させる。ユーザは、報知部２３０による報知によって、漏液または結露の発生、漏液センサ１００の異常の有無を認識することができる。

【0045】

実施の形態１においては、ＣＰＵ２１０は、図４に示されるフローチャートを予め定められた期間が経過するごとに繰り返して実行してもよい。また、ある局面においては、ＣＯＵ２１０は、ステップＳ１３０の第１結果が液体の付着を示さない場合、第２結果を取得しなくてもよい。すなわち、ＣＰＵ２１０は、第１結果が液体の付着を示した場合にだけ加熱部１１０の加熱を開始してもよい。このような漏液検出システム１０では、第１結果が液体の付着を示さなければ加熱部１１０の温度を上昇させることがないため、消費電力を抑制できる。

【0046】

実施の形態１の漏液検出システム１０では、高湿度環境において結露発生している場合においても、加熱部１１０によって結露による水滴を蒸発させることで、インピーダンスが低下した要因が漏液の発生による液体の付着であるか、高湿度環境による結露の発生であるかを区別することができる。これにより、実施の形態１の漏液検出システム１０は、高湿度環境においても誤検知を抑制して液漏れを検出できる。

【0047】

［実施の形態２］
実施の形態２の構成において実施の形態１と異なる点を説明する。上記の実施の形態１の漏液センサ１００においては、加熱部１１０への通電と非通電とを繰り返すことによって、結露による誤検知を抑制しつつ漏液を検出する例を説明した。実施の形態２では、漏液センサ１００Ａが第１検出部１２０に加えて第２検出部１２１を有することによって、加熱部１１０の通電と非通電との繰り返す制御を実行せずに漏液と結露とを区別する。実施の形態２において、実施の形態１と重複する構成については説明を繰り返さない。

【0048】

＜実施の形態２における漏液検出システムの全体構成＞
図６は、実施の形態２における漏液センサ１００Ａを有する漏液検出システム１０Ａの全体構成を説明するためのブロック図である。

【0049】

図６に示されるように、実施の形態２における漏液センサ１００Ａは、第１検出部１２０に加えて、第２検出部１２１を有する。第２検出部１２１は、第１検出部１２０と同様に、電極間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する。実施の形態２において、加熱部１１０は、第１検出部１２０に含まれる電極を加熱する一方で、第２検出部１２１に含まれる電極を加熱しない。

【0050】

図７は、実施の形態２における漏液センサ１００Ａの平面図である。図７に示されるように、第２検出部１２１は、第１検出部１２０のＸ軸の負方向側に配置されている。実施の形態２において第２検出部１２１は、第１検出部１２０と同様に絶縁層Ｌ２に配置されている。これにより、第１検出部１２０と第２検出部１２１とが同一の絶縁層Ｌ２上に形成されるため、第１検出部１２０と第２検出部１２１とが異なる層に形成される場合と比較して漏液センサ１００Ａの製造プロセスが簡易となる。

【0051】

第２検出部１２１は、Ｘ軸の負方向側に配置される第３電極１２１Ｌと、Ｘ軸の正方向側に配置される第４電極１２１Ｒとを含む。第３電極１２１Ｌは、コネクタＣｎ５と接続されている。第４電極１２１Ｒは、コネクタＣｎ６と接続されている。コネクタＣｎ５，Ｃｎ６は、第２検出部１２１と外部装置とを接続するための接続部である。第２検出部１２１は、コネクタＣｎ５，Ｃｎ６との間の電圧等の測定により、第３電極１２１Ｌと第４電極１２１Ｒとの間のインピーダンスの変化を検出可能であるように構成されている。実施の形態２において、防水樹脂Ｒｃ１は、コネクタＣｎ１～Ｃｎ４に加えてコネクタＣｎ５，Ｃｎ６を覆う。

【0052】

図７に示されるように、第３電極１２１Ｌおよび第４電極１２１Ｒは、櫛歯形状を有する。第３電極１２１Ｌおよび第４電極１２１Ｒは、たとえば、アルミニウム、銅、または白金のいずれかを含む導電部材である。換言すれば、第２検出部１２１の基材は、アルミニウム、銅、または白金のいずれかを含む。このように、第２検出部１２１は、第１検出部１２０と同様の形状を有している。

【0053】

実施の形態２において、Ｚ軸の正方向側から平面視したときに、第２検出部１２１と重なる位置には加熱部１１０は配置されていない。これによって、第２検出部１２１は、加熱部１１０から加熱されない。すなわち、実施の形態２においては結露が発生している状態において、第２検出部１２１に付着した水滴を蒸発させない。これにより、実施の形態２では、第２検出部１２１を用いて第１結果を取得し、第１検出部１２０を用いて第２結果を取得する。

【0054】

第２検出部１２１に対してマイクロヒータを設ける必要がないことから、ある局面では、第２検出部１２１は、第２検出部１２１は絶縁層Ｌ１に形成されてもよい。すなわち、第２検出部１２１のＺ軸の正方向側の絶縁層Ｌ１には、第２検出部１２１を露出させるための開口部を形成する処理を行う必要がなく、製造工程における負担が軽減される。

【0055】

＜実施の形態２における状態判定処理＞
図８は、実施の形態２における漏液または結露の発生を検出するためのフローチャートである。実施の形態２において、ＣＰＵ２１０は、加熱部１１０に加熱を開始させる（ステップＳ２００）。これにより、第１検出部１２０の露出面に結露により水滴が付着している場合、当該水滴は蒸発する。ＣＰＵ２１０は、コネクタＣｎ１とコネクタＣｎ４との間のインピーダンスを含む情報を第２結果として取得する（ステップＳ２１０）。

【0056】

実施の形態２における第２結果は、加熱されている状態の第１検出部１２０の露出面に液体が付着しているか否かを示す情報である。第２結果を取得した後、ＣＰＵ２１０は、コネクタＣｎ５とコネクタＣｎ６との間のインピーダンスを含む情報を第１結果として取得する（ステップＳ２２０）。実施の形態２における第１結果は、加熱されていない状態の第２検出部１２１の露出面に液体が付着しているか否かを示す情報である。ＣＰＵ２１０は、第１結果と第２結果とに基づいて、漏液センサ１００Ａの周囲の状態を判定する（ステップＳ２３０）。

【0057】

実施の形態２においても、ステップＳ２３０において図５に示される表を用いて漏液センサ１００Ａの周囲の状態を判定する。続いて、ＣＰＵ２１０は、判定した結果を報知部２３０に報知させる（ステップＳ２４０）。

【0058】

このように、実施の形態２の漏液検出システム１０Ａでは、タイマを用いて加熱部１１０への通電を繰り返すことなく、加熱部１１０に通電する状態を保持して、漏液センサ１００Ａの周囲の状態を判定できる。すなわち、実施の形態２では、リアルタイムで漏液の発生と結露の発生を区別して漏液センサ１００Ａの周囲の状態を判定できる。また、実施の形態２では、タイマを用いた制御を行わないため、簡易な処理手順で漏液センサ１００Ａの周囲の状態を判定できる。

【0059】

［実施の形態３］
実実施の形態３の構成において実施の形態１と異なる点を説明する。実施の形態３の漏液センサ１００Ｂは、実施の形態１における構成に対して温度センサ１３０を加えた構成を有する。実施の形態３において、実施の形態１と重複する構成については説明を繰り返さない。なお、実施の形態３に対して実施の形態２の第２検出部１２１が組み合わせられてもよい。

【0060】

＜実施の形態３における漏液検出システムの全体構成＞
図９は、実施の形態３における漏液センサ１００Ｂを有する漏液検出システム１０Ｂの全体構成を説明するためのブロック図である。

【0061】

図９に示されるように、実施の形態３における漏液センサ１００Ｂは、加熱部１１０と第１検出部１２０とに加えて、温度センサ１３０を有する。温度センサ１３０は、加熱部１１０の温度を検出する。

【0062】

図１０は、実施の形態３における漏液センサ１００Ｂの平面図および断面図である。図１０（Ａ）は、Ｙ軸の負方向側から漏液センサ１００Ｂを視たときの断面図である。図１０（Ｂ）は、Ｚ軸の正方向側から漏液センサ１００Ｂを視たときの平面透過図である。図１０（Ｂ）において、説明を簡単にするため、第１検出部１２０および加熱部１１０の図示を省略している。

【0063】

図１０（Ａ）に示されるように、実施の形態３における絶縁体Ｌｙは、絶縁層Ｌ１～Ｌ５に加えて、絶縁層Ｌ６，Ｌ７を有する。絶縁層Ｌ６，Ｌ７は、絶縁層Ｌ５と基板Ｓｂ１との間に配置されている。絶縁層Ｌ６，Ｌ７の基材は、絶縁層Ｌ１～Ｌ５の基材と同様の材質である。

【0064】

図１０（Ａ）に示されるように、絶縁層Ｌ６は、温度センサ１３０を含む。温度センサ１３０は、メンブレン部Ｍｂ１内に配置されている。温度センサ１３０は、図１０（Ｂ）に示されるように、Ｚ軸の正方向側から平面視したときに蛇行する形状を有する。温度センサ１３０は、平面視において、加熱部１１０と重なっている。温度センサ１３０は、測温抵抗体として機能する。すなわち、温度センサ１３０を構成している配線のインピーダンスの変化を測定することにより、温度センサ１３０近傍の温度が測定される。温度センサ１３０の基材は、たとえば白金である。

【0065】

図１０（Ａ）に示されるように、温度センサ１３０は、コネクタＣｎ７～Ｃｎ１０と接続される。コネクタＣｎ７～Ｃｎ１０は、外部装置と温度センサ１３０とを接続するための接続部である。温度センサ１３０は、配線における不要な抵抗値が検出されることを抑制するため、抵抗素子の両端に２本ずつの配線を接続した４線式の結線方式の測温抵抗体として構成されている。なお、温度センサ１３０は、２線式または３線式の結線方式の測温抵抗体であってもよい。実施の形態３において、制御装置２００は、温度センサ１３０の検出値を用いて加熱部１１０に異常が生じているか否かを判定する。

【0066】

＜実施の形態３における加熱部の異常判定処理＞
図１１は、実施の形態３における加熱部の異常判定処理のフローチャートである。実施の形態３において、加熱部１１０の設定温度を取得する（ステップＳ３００）。上述したように、ＣＰＵ２１０は、加熱部１１０の温度が２００℃以下になるように電力を供給する。

【0067】

このとき、目標とする加熱部１１０の温度を設定温度と称する。ＣＰＵ２１０は、設定温度に応じて加熱部１１０に印加する電流値を定める。設定温度は、たとえば、図示されない漏液センサ１００Ｂの周囲の温度を検出する温度センサの検出値に基づいてＣＰＵ２１０によって定められる。また、ＣＰＵ２１０は、温度センサ１３０の検出値を用いて、加熱部１１０の温度をフィードバック制御して調整する。すなわち、ＣＰＵ２１０は、漏液センサ１００Ｂの周囲の環境温度を基準として温度センサ１３０の検出値が予め定められた範囲内に含まれるように加熱部１１０の設定温度を調整する。設定温度は、たとえば、１５０℃として定められ得る。この場合、ＣＰＵ２１０は、設定温度として１５０℃が設定されている旨をステップ３００にて取得する。

【0068】

ＣＰＵ２１０は、温度センサ１３０の検出値を取得する（ステップＳ３１０）。続いて、ＣＰＵ２１０は、ステップＳ３００にて取得した設定温度とステップＳ３１０にて取得した検出値との差が所定の範囲内か否かを判定する（ステップＳ３２０）。すなわち、実施の形態３におけるステップＳ３２０では、設定温度どおりに加熱部１１０の温度が上昇しているか否かを判定している。所定の範囲とは、たとえば、設定温度から±１０℃である。設定温度が１５０℃である場合、ＣＰＵ２１０は、加熱部１１０の温度が１４０℃以上であって１６０℃以下の範囲内にあるか否かを判定する。

【0069】

設定温度と温度センサ１３０の検出値との差が所定の範囲内である場合（ステップＳ３２０にてＹＥＳ）、設定温度どおりに加熱部１１０の温度が上昇しているとして、ＣＰＵ２１０は異常が発生していないと判定する（ステップＳ３３０）。設定温度と温度センサ１３０の検出値との差が所定の範囲内でない場合（ステップＳ３２０にてＮＯ）、設定温度どおりに加熱部１１０の温度が上昇していないとして、ＣＰＵ２１０は漏液センサ１００Ｂに異常が発生していると判定する（ステップＳ３４０）。

【0070】

ＣＰＵ２１０は、ステップＳ３３０またはステップＳ３４０の判定結果を報知する（ステップＳ３５０）。これにより、加熱部１１０の過昇温または加熱部１１０の温度の上昇不足に関連する異常をユーザに報知することができる。

【0071】

［付記］
（第１項，図１～５） 本開示の漏液検出システム１０は、液体を検出する漏液検出システムである。第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第１検出部１２０を含む漏液センサ１００と、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの間のインピーダンスを含む情報を取得する制御装置２００とを備える。漏液センサ１００は、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒを加熱する加熱部１１０を含む。制御装置２００は、加熱部１１０によって加熱されている状態の第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの間のインピーダンスに基づいて、漏液または結露が発生しているか否かを判定し（Ｓ１８０）、判定結果を報知する（Ｓ１９０）。

【0072】

（第２項，図１，４，５） 第１項に記載の漏液検出システム１０であって、制御装置２００は、加熱部１１０によって加熱されていない状態の第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの間のインピーダンスを含む情報を第１結果として取得し（Ｓ１３０）、加熱部１１０によって加熱されている状態の第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの間のインピーダンスを含む情報を第２結果として取得し（Ｓ１７０）、第１結果と第２結果とに基づいて、漏液または結露が発生しているか否かを判定し（Ｓ１９０）、判定結果を報知する（Ｓ１９５）。

【0073】

（第３項，図７，８） 第１項に記載の漏液検出システム１０Ａであって、漏液センサ１００Ａは、第３電極１２１Ｌおよび第４電極１２１Ｒの間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第２検出部１２１をさらに備える。制御装置２００は、加熱部１１０によって加熱されていない状態の第３電極１２１Ｌおよび第４電極１２１Ｒの間のインピーダンスを含む情報を第１結果として取得し（Ｓ２２０）、加熱部１１０によって加熱されている状態の第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの間のインピーダンスを含む情報を第２結果として取得し（Ｓ２１０）、第１結果と第２結果とに基づいて、漏液または結露が発生しているか否かを判定し（Ｓ２３０）、判定結果を報知する（Ｓ２４０）。

【0074】

（第４項，図５） 第２項または第３項に記載の漏液検出システム１０であって、制御装置２００は、第１結果が液体の付着を示し、かつ、第２結果が液体の付着を示す場合、漏液が発生していると判定し、第１結果が液体の付着を示し、かつ、第２結果が液体の付着を示さない場合、結露が発生していると判定し、判定結果を報知する（Ｓ１９０）。

【0075】

（第５項，図５） 第２項～第４項のいずれか１項に記載の漏液検出システム１０であって、制御装置２００は、第１結果が液体の付着を示さず、かつ、第２結果が液体の付着を示す場合、漏液センサに異常が発生していると判定し、判定結果を報知する（Ｓ１９０）。

【0076】

（第６項，図９～１１） 第１項～第５項のいずれか１項に記載の漏液検出システム１０Ｂであって、漏液センサ１００Ｂは、第１検出部１２０の温度を測定する温度センサ１３０をさらに備える。制御装置２００は、加熱部１１０の設定温度を取得し（Ｓ３００）、温度センサ１３０の検出値を取得し（Ｓ３１０）、設定温度と温度センサ１３０の検出値との差が所定の範囲内ではない場合（Ｓ３２０でＮＯ）、漏液センサ１００に異常が発生していると判定し（Ｓ３４０）、判定結果を報知する（Ｓ３５０）。

【0077】

（第７項，図９～１１） 第６項に記載の漏液検出システム１０Ｂであって、制御装置２００は、漏液センサ１００Ｂの周囲の環境温度を基準として温度センサ１３０の検出値が予め定められた範囲内に含まれるように加熱部１１０の設定温度を調整する。

【0078】

（第８項，図１～３） 本開示の漏液センサは、液体を検出する漏液センサ１００である。漏液センサ１００は、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第１検出部１２０と、第１電極および第２電極を加熱する加熱部１１０とを有する。

【0079】

（第９項，図２，３） 第８項に記載の漏液センサ１００であって、加熱部１１０は、マイクロヒータである。

【0080】

（第１０項，図２，３） 第８項または第９項に記載の漏液センサであって、主面Ｓｆ１を有する基板Ｓｂ１と、絶縁層Ｌ１、絶縁層Ｌ２および絶縁層Ｌ４を含む絶縁体Ｌｙとをさらに備える。絶縁層Ｌ１、絶縁層Ｌ２および絶縁層Ｌ４は、主面Ｓｆ１に絶縁層Ｌ４、絶縁層Ｌ２、絶縁層Ｌ１の順で積層されている。絶縁層Ｌ２は、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒを含む。絶縁層Ｌ４は、加熱部１１０を含む。絶縁層Ｌ１には、主面Ｓｆ１の法線方向に貫通している開口部Ｏｐ２が形成される。主面Ｓｆ１を平面視した場合に、開口部Ｏｐ２と重なる領域において第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒは露出する。

【0081】

（第１１項，図３） 第８項～第１０項のいずれか１項に記載の漏液センサ１００であって、加熱部１１０と外部装置とを接続するためのコネクタＣｎ２，Ｃｎ３と、第１検出部１２０と外部装置とを接続するコネクタＣｎ１，Ｃｎ４とをさらに備える。コネクタＣｎ１～Ｃｎ４は、防水樹脂Ｒｃ１によって覆われている。

【0082】

（第１２項，図３） 第８項～第１２項のいずれか１項に記載の漏液センサ１００であって、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒは、櫛歯形状を有する。

【0083】

（第１３項，図３） 第８項～第１２項のいずれか１項に記載の漏液センサ１００であって、第１電極１２０Ｌおよび第２電極１２０Ｒの基材は、アルミニウム、銅、または白金のいずれかを含む。

【0084】

（第１４項，図４） 第８項～第１３項のいずれか１項に記載の漏液センサ１００であって、加熱部１１０の温度は、漏液センサ１００の周囲の環境温度以上であって２００℃以下である。

【0085】

（第１５項，図７，８） 第８項～第１４項のいずれか１項に記載の漏液センサ１００Ａであって、第３電極１２１Ｌおよび第４電極１２１Ｒの間のインピーダンスの変化によって液体の付着を検出する第２検出部１２１をさらに備える。

【0086】

（第１６項，図９～１１） 第８項～第１５項のいずれか１項に記載の漏液センサ１００Ｂであって、第１検出部１２０の温度を測定する温度センサ１３０をさらに備える。

【0087】

以上のように本開示の実施の形態について説明を行ったが、上述の実施の形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むことが意図される。

【符号の説明】

【0088】

Ｌ１～Ｌ７ 絶縁層、１０，１０Ａ，１０Ｂ 漏液検出システム、１００，１００Ａ，１００Ｂ 漏液センサ、１１０ 加熱部、１２０ 第１検出部、１２０Ｌ 第１電極、１２０Ｒ 第２電極、１２１ 第２検出部、１２１Ｌ 第３電極、１２１Ｒ 第４電極、１３０ 温度センサ、２００ 制御装置、２１０ ＣＰＵ、２２０ メモリ、２３０ 報知部、Ｃｎ１～Ｃｎ１０ コネクタ、Ｄ１，Ｄ２ 長さ、Ｌｙ 絶縁体、Ｍｂ１ メンブレン部、Ｏｐ１，Ｏｐ２ 開口部、Ｒｃ１ 防水樹脂、Ｓｂ１ 基板、Ｓｆ１ 主面。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】