特開 2024-48628 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024048628

(43)【公開日】2024-04-09

(54)【発明の名称】液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240402BHJP

   B41J 2/18 20060101ALI20240402BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 603

B41J2/18

B41J2/14 605

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022154647

(22)【出願日】2022-09-28

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】渡邊 英一郎

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EA04

2C056EA14

2C056EC08

2C056EC32

2C056FA04

2C056FA10

2C056FA13

2C056HA05

2C056KB16

2C056KB37

2C056KC01

2C057AF21

2C057AF72

2C057AG29

2C057AG32

2C057AG68

2C057AG72

2C057AG75

2C057AG84

2C057AK07

2C057AN01

2C057AN05

2C057AP31

2C057AP46

2C057AQ02

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】供給側共通液室及び回収側共通液室の両端に配置された２つのバイパス流路の流路抵抗の関係について十分に考慮されていなかった。
【解決手段】第１ノズル２１Ａに連通する第１個別流路６０Ａと、第１ノズル２１Ａへインクを供給するための第１供給側共通液室８１Ａと、第１ノズル２１Ａから排出されなかったインクを回収するための第１回収側共通液室８２Ａと、第１供給側共通液室８１Ａに連通した第１導入口５１Ａと、第１回収側共通液室８２Ａに連通した第１導出口５２Ａと、第１バイパス流路９１と、第２バイパス流路９２と、を備え、第１導入口５１Ａ及び第１導出口５２Ａは、第１バイパス流路９１と第２バイパス流路９２との間に配置され、第１バイパス流路９１の流路抵抗と第２バイパス流路９２の流路抵抗とは、異なる。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を噴射する複数の第１ノズルが第１方向に並ぶことで構成された第１ノズル列と、
前記複数の第１ノズルの夫々に連通する複数の第１個別流路と、
前記複数の第１個別流路に接続され、前記複数の第１個別流路を介して前記複数の第１ノズルへ液体を供給するための第１供給側共通液室と、
前記複数の第１個別流路に接続され、前記複数の第１個別流路を介して前記複数の第１ノズルから排出されなかった液体を回収するための第１回収側共通液室と、
前記第１供給側共通液室へ液体を供給するための第１導入口と、
前記第１回収側共通液室から液体を排出するための第１導出口と、
前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端部と前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端部とを接続する第１バイパス流路と、
前記第１供給側共通液室の前記第１方向とは反対方向である第２方向の端部と前記第１回収側共通液室の前記第２方向の端部とを接続する第２バイパス流路と、
を備え、
前記第１導入口は、前記第１方向に関して前記第１バイパス流路と前記第２バイパス流路との間に配置され、
前記第１導出口は、前記第１方向に関して前記第１バイパス流路と前記第２バイパス流路との間に配置され、
前記第１バイパス流路の流路抵抗と前記第２バイパス流路の流路抵抗とは、異なる、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。

【請求項2】

前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端までの流路抵抗は、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第２方向の端までの流路抵抗よりも小さく、
前記第１導出口から前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端までの流路抵抗は、前記第１導出口から前記第１回収側共通液室の前記第２方向の端までの流路抵抗よりも小さく、
前記第１バイパス流路の流路抵抗は、前記第２バイパス流路の流路抵抗よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項3】

前記第１導入口は、前記第１供給側共通液室の前記第１方向に関する中心に対して前記第１方向に配置され、
前記第１導出口は、前記第１回収側共通液室の前記第１方向に関する中心に対して前記第１方向に配置され、
前記第１バイパス流路の流路抵抗は、前記第２バイパス流路の流路抵抗よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項4】

前記第１導入口は、前記第１供給側共通液室を前記第１方向に関して３分割した領域のうち、前記第１方向側に位置する前記領域に配置され、
前記第１導出口は、前記第１回収側共通液室を前記第１方向に関して３分割した領域のうち、前記第１方向側に位置する前記領域に配置される、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項5】

前記第１導入口は、前記第１供給側共通液室を前記第１方向に関して５分割した領域のうち、前記第１方向側に位置する前記領域に配置され、
前記第１導出口は、前記第１回収側共通液室を前記第１方向に関して５分割した領域のうち、前記第１方向側に位置する前記領域に配置される、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項6】

前記第１方向に関して前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端までの距離をαとし、前記第１方向に関して前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第２方向の端までの距離をβとし、前記第１バイパス流路の流路抵抗をRbp1とし、前記第２バイパス流路の流路抵抗をRbp２としたとき、
Rbp1≒Rbp2×α/β を満たす、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項7】

前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗は、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第２方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗よりも小さく、
前記第１導出口から前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗は、前記第１導出口から前記第１回収側共通液室の前記第２方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗よりも小さく、
前記第１バイパス流路の流路抵抗は、前記第２バイパス流路の流路抵抗よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項8】

前記第１導入口は、前記第１供給側共通液室の前記第１方向に関する中央に配置され、
前記第１導出口は、前記第１回収側共通液室の前記第１方向に関する中央に配置される、
ことを特徴とする請求項７に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項9】

前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第１方向の前記端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗をγとし、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第２方向の前記端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗をδとし、前記第１バイパス流路の流路抵抗をRbp1とし、前記第２バイパス流路の流路抵抗をRbp２としたとき、
Rbp1≒Rbp2×γ/δ を満たす、
ことを特徴とする請求項７に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項10】

前記第１供給側共通液室の一部を画定し、可撓性を有する供給側可撓性部材と、
前記第１回収側共通液室の一部を画定し、可撓性を有する回収側可撓性部材と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項11】

前記第１導入口と前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端との距離と、前記第１導出口と前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端との距離とは、略同じである、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項12】

液体を噴射する複数の第２ノズルが前記第１方向に並ぶことで構成された第２ノズル列と、
前記複数の第２ノズルの夫々に連通する複数の第２個別流路と、
前記複数の第２個別流路に接続され、前記複数の第２個別流路を介して前記複数の第２ノズルへ液体を供給するための第２供給側共通液室と、
前記複数の第２個別流路に接続され、前記複数の第２個別流路を介して前記複数の第２ノズルから排出されなかった液体を回収するための第２回収側共通液室と、
前記第２供給側共通液室へ液体を供給するための第２導入口と、
前記第２回収側共通液室から液体を排出するための第２導出口と、
前記第２供給側共通液室の前記第１方向の端部と前記第２回収側共通液室の前記第１方向の端部とを接続する第３バイパス流路と、
前記第２供給側共通液室の前記第２方向の端部と前記第２回収側共通液室の前記第２方向の端部とを接続する第４バイパス流路と、
を備え、
前記第２導入口は、前記第１方向に関して前記第３バイパス流路と前記第４バイパス流路との間に配置され、
前記第２導出口は、前記第１方向に関して前記第３バイパス流路と前記第４バイパス流路との間に配置され、
前記液体噴射ヘッドに対向する媒体の搬送方向に見て、前記第１ノズル列の前記第２方向の端部と前記第２ノズル列の前記第１方向の端部とが重なる、又は、前記第１ノズル列の前記第１方向の端部と前記第２ノズル列の前記第２方向の端部とが重なり、
前記第２導入口から前記第２供給側共通液室の前記第１方向の端までの流路抵抗が前記第２導入口から前記第２供給側共通液室の前記第２方向の端までの流路抵抗よりも小さく、且つ、前記第２導出口から前記第２回収側共通液室の前記第１方向の端までの流路抵抗が前記第２導出口から前記第２回収側共通液室の前記第２方向の端までの流路抵抗よりも小さい場合、前記第３バイパス流路の流路抵抗は、前記第４バイパス流路の流路抵抗よりも小さく、
前記第２導入口から前記第２供給側共通液室の前記第１方向の前記端までの流路抵抗が前記第２導入口から前記第２供給側共通液室の前記第２方向の前記端までの流路抵抗よりも大きく、且つ、前記第２導出口から前記第２回収側共通液室の前記第１方向の前記端までの流路抵抗が前記第２導出口から前記第２回収側共通液室の前記第２方向の前記端までの流路抵抗よりも大きい場合、前記第３バイパス流路の流路抵抗は、前記第４バイパス流路の流路抵抗よりも大きい、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項13】

請求項１乃至１２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
液体を貯留する液体貯留部を含み、前記液体噴射ヘッドと前記液体貯留部との間で液体を循環させるための循環機構と、
を備えることを特徴とする液体噴射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

プリンターやプロッターなどのインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置は、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドを備える。

【0003】

例えば、特許文献１には、液体を噴射する複数のノズルが並んだノズル列、ノズルの夫々に連通する個別流路、個別流路に接続された供給側共通液室及び回収側共通液室、並びに供給側共通液室及び回収側共通液室の長手方向の端部に、供給側共通液室と回収側共通液室とを接続するバイパス流路を備えた液体噴射ヘッドが開示されている。また、供給側共通液室には長手方向の中心に液体の導入口が設けられ、回収側共通液室の長手方向の中心にインクの導出口が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－０２３５４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、従来の液体噴射ヘッドでは、供給側共通液室及び回収側共通液室の両端に配置された２つのバイパス流路の流路抵抗の関係について十分に考慮されていなかった。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するための本発明の態様は、液体を噴射する複数の第１ノズルが第１方向に並ぶことで構成された第１ノズル列と、前記複数の第１ノズルの夫々に連通する複数の第１個別流路と、前記複数の第１個別流路に接続され、前記複数の第１個別流路を介して前記複数の第１ノズルへ液体を供給するための第１供給側共通液室と、前記複数の第１個別流路に接続され、前記複数の第１個別流路を介して前記複数の第１ノズルから排出されなかった液体を回収するための第１回収側共通液室と、前記第１供給側共通液室へ液体を供給するための第１導入口と、前記第１回収側共通液室から液体を排出するための第１導出口と、前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端部と前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端部とを接続する第１バイパス流路と、前記第１供給側共通液室の前記第１方向とは反対方向である第２方向の端部と前記第１回収側共通液室の前記第２方向の端部とを接続する第２バイパス流路と、を備え、前記第１導入口は、前記第１方向に関して前記第１バイパス流路と前記第２バイパス流路との間に配置され、前記第１導出口は、前記第１方向に関して前記第１バイパス流路と前記第２バイパス流路との間に配置され、前記第１バイパス流路の流路抵抗と前記第２バイパス流路の流路抵抗とは、異なる、ことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

【0007】

上記目的を達成するための本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドと、液体を貯留する液体貯留部を含み、前記液体噴射ヘッドと前記液体貯留部との間で液体を循環させるための循環機構と、を備えることを特徴とする液体噴射装置にある。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態１に係るインクジェット式記録装置の平面図である。

【図2】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。

【図3】実施形態１に係る記録ヘッドをＺ１方向にみた平面図である。

【図4】実施形態１に係る記録ヘッドをＺ２方向にみた平面図である。

【図5】図３のＡ－Ａ線断面図である。

【図6】実施形態１に係るヘッドチップの分解斜視図であり、

【図7】実施形態１に係るヘッドチップに形成されるインクの流路の平面図である。

【図8】図７のＢ－Ｂ線断面図である。

【図9】図７のＣ－Ｃ線断面図である。

【図10】図７のＤ－Ｄ線断面図である。

【図11】実施形態１に係る記録ヘッドと、比較例の記録ヘッドとの圧力差を示す図である。

【図12】実施形態２に係るヘッドチップに形成されるインクの流路の平面図である。

【図13】図１２のＥ－Ｅ線断面図である。

【図14】実施形態２に係る記録ヘッドと、比較例の記録ヘッドとの圧力差を示す図である。

【図15】実施形態３に係るヘッドチップに形成されるインクの流路の平面図である。

【図16】図１５のＦ－Ｆ線断面図である。

【図17】実施形態４に係るヘッドチップに形成されるインクの流路の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。

【0010】

各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。正方向及び負方向を限定せず、それら３つの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向をＸ１方向、Ｙ１方向、Ｚ１方向、矢印の反対方向をＸ２方向、Ｙ２方向、Ｚ２方向とする。Ｘ１方向は「第１方向」に相当し、Ｘ２方向は第１方向と反対方向の「第２方向」に相当する。また、Ｙ方向（Ｙ１方向及びＹ２方向）は「液体噴射ヘッドに対向する媒体の搬送方向」に相当する。なお、「液体噴射ヘッドに対向する媒体の搬送方向」は、Ｙ方向と交差する方向であっても構わない。Ｚ１方向は鉛直方向の下向きであり、Ｚ２方向は鉛直方向の上向きである。なお、Ｚ方向は鉛直方向である必要はない。さらに、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は互いに直交するがこれに限定されず、例えば、８０度以上１００度以下の範囲内の角度で交差していてもよい。

【0011】

〈実施形態１〉
図１に示すインクジェット式記録装置（以下、単に「記録装置」と称する）１は、「液体噴射装置」の一例であり、「液体」の一種であるインクをインク滴として印刷用紙等の媒体Ｓに噴射・着弾させて、当該媒体Ｓに形成されるドットの配列により画像等の印刷を行う印刷装置である。なお、媒体Ｓとしては、記録用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質を用いることができる。

【0012】

記録装置１は、インクジェット式記録ヘッド１０（以下、単に「記録ヘッド１０」とも称する）と、液体容器２と、制御部３と、媒体Ｓを送り出す搬送機構４と、を具備する。インクジェット式記録ヘッド１０は、「液体噴射ヘッド」の一例である。

【0013】

記録ヘッド１０は、液体容器２から供給されるインクを複数のノズルから媒体Ｓに噴射する。記録ヘッド１０の詳細な構成は後述する。

【0014】

液体容器２は、記録ヘッド１０から噴射されるインクを貯留する。液体容器２としては、例えば、記録装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。

【0015】

本実施形態では液体容器２は２個設けられており、１個の記録ヘッド１０に対して２個の液体容器２からインクが供給される。本実施形態では、２個の液体容器２に同じ種類のインクが貯留されている。つまり、後述する記録ヘッド１０が備える２つのヘッドチップ１００Ａおよびヘッドチップ１００Ｂには同じ種類のインクが供給される。なお、複数の液体容器２の夫々には、色や成分等が異なるインクが貯留されていてもよい。１個の記録ヘッド１０に対応する２個の液体容器２をそれぞれ液体容器２Ａ、液体容器２Ｂとするが、図１では複数の液体容器２を纏めて一つに図示している。

【0016】

記録装置１は、記録ヘッド１０と副液体容器５０３との間でインクを循環させるための循環機構５００を備えている。本実施形態では、２個の循環機構５００を備えており、液体容器２Ａに接続された循環機構５００を循環機構５００Ａと称し、液体容器２Ｂに接続された循環機構５００を循環機構５００Ｂと称する。
循環機構５００は、供給ポンプ５０１と、循環ポンプ５０２と、副液体容器５０３と、回収チューブ５０４、供給チューブ５０５とを含んで構成されている。副液体容器５０３は、「液体貯留部」の一例である。本実施形態では、循環機構５００Ａの各構成要素を供給ポンプ５０１Ａ、循環ポンプ５０２Ａ、副液体容器５０３Ａと、回収チューブ５０４Ａ、供給チューブ５０５Ａと称し、循環機構５００Ｂの各構成要素を供給ポンプ５０１Ｂ、循環ポンプ５０２Ｂ、副液体容器５０３Ｂと、回収チューブ５０４Ｂ、供給チューブ５０５Ｂと称する。循環機構５００Ａ及び循環機構５００Ｂに共通する構成については循環機構５００と記載して説明する。

【0017】

供給ポンプ５０１は、液体容器２に貯留されたインクを副液体容器５０３に供給するポンプである。循環ポンプ５０２は、副液体容器５０３に貯留されたインクを記録ヘッド１０に供給するためのポンプである。

【0018】

回収チューブ５０４は、記録ヘッド１０で印刷に使用されず、副液体容器５０３に回収されるインクの流路を形成する部材である。供給チューブ５０５は、副液体容器５０３から記録ヘッド１０に供給されるインクの流路を形成する部材である。

【0019】

副液体容器５０３は、液体容器２から供給されるインクを一時的に貯留する容器である。また、副液体容器５０３は、記録ヘッド１０で印刷に使用されず、回収チューブ５０４を介して回収されたインクを一時的に貯留する。

【0020】

このような循環機構５００は、循環ポンプ５０２により、副液体容器５０３から供給チューブ５０５を介して記録ヘッド１０へインクを供給し、記録ヘッド１０で使用されなかったインクを、回収チューブ５０４を介して副液体容器５０３に回収する。また、副液体容器５０３に貯留されたインクが一定量以下となると、供給ポンプ５０１により液体容器２から副液体容器５０３へインクが供給される。

【0021】

液体容器２Ａ、液体容器２Ｂ、循環機構５００Ａ、循環機構５００Ｂが１個の記録ヘッド１０に設けられているが、このような構成に限定されない。例えば、記録装置１には複数個の記録ヘッド１０が設けられていてもよい。記録装置１に複数個の記録ヘッド１０が設けられている場合、記録ヘッド１０のそれぞれに複数の液体容器や循環機構を設けてもよい。または、複数の記録ヘッド１０に共通した液体容器をインクの種類分設け、各種のインクを各記録ヘッド１０へ分配して供給するとともに回収する循環機構を設けてもよい。

【0022】

制御部３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と、半導体メモリー等の記憶装置と、を備えている。制御部３は、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで記録装置１の各要素、すなわち、記録ヘッド１０、搬送機構４等を統括的に制御する。

【0023】

搬送機構４は、媒体ＳをＹ方向に搬送するものであり、搬送ローラー５を有する。すなわち搬送機構４は、搬送ローラー５が回転することで媒体ＳをＹ方向に搬送する。なお媒体Ｓを搬送する搬送機構４は、搬送ローラー５を備えるものに限られず、例えば、ベルトやドラムによって媒体Ｓを搬送するものであってもよい。

【0024】

このような記録装置１は、記録ヘッド１０が固定され、記録ヘッド１０に対してＹ方向に媒体Ｓが搬送される、いわゆるライン型の記録装置である。記録ヘッド１０のＸ方向の幅は、媒体ＳのＸ方向の幅よりも広くなっており、媒体ＳのＸ方向の幅全体に亘ってインク滴を噴射することが可能となっている。

【0025】

記録ヘッド１０は、制御部３による制御のもとで、液体容器２から供給されたインクを複数のノズルのそれぞれからインク滴としてＺ１方向に媒体Ｓに噴射する噴射動作を実行する。この記録ヘッド１０による噴射動作が搬送機構４による媒体Ｓの搬送と並行して行われることにより、媒体Ｓの表面にインクによる画像が形成される、いわゆる印刷が行われる。

【0026】

なお、記録装置はライン型に限らない。例えば、記録装置は、一方向に媒体Ｓを搬送させる搬送機構と、一方向に対して交差する他方向に記録ヘッド１０を往復移動させる移動機構と、を備えた、いわゆるシリアル型であってもよい。このようなシリアル型の記録装置では、記録ヘッド１０による噴射動作が搬送機構による媒体Ｓの搬送と移動機構による記録ヘッドの往復移動と並行して行われることにより、媒体Ｓの表面にインクによる画像が形成される、いわゆる印刷が行われる。

【0027】

図２から図５を用いて記録ヘッド１０を説明する。図２は記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は記録ヘッドをＺ１方向にみた平面図であり、図４は記録ヘッドをＺ２方向にみた平面図であり、図５は図３のＡ－Ａ線断面図である。図３は、記録ヘッド１０のヘッドチップ１００Ａ及びヘッドチップ１００Ｂを示し、その他の部材の図示は省略されている。

【0028】

図示するように、記録ヘッド１０は、ヘッドチップ１００と、流路部材２００と、中継基板３００と、固定板４００と、を備えている。本実施形態では、記録ヘッド１０は２個のヘッドチップ１００Ａ及びヘッドチップ１００Ｂを備えている。ヘッドチップ１００Ａ及びヘッドチップ１００Ｂに共通する構成はヘッドチップ１００と記載して説明し、ヘッドチップ１００Ａ及びヘッドチップ１００Ｂに特有の構成はヘッドチップ１００Ａ及びヘッドチップ１００Ｂと記載して説明する。なお、ヘッドチップ１００の個数は２個に限定されない。

【0029】

流路部材２００は、第１流路部材２１０と、第２流路部材２２０と、第３流路部材２３０と、シール部材２４０と、を備えている。

【0030】

第１流路部材２１０は、インクの流路を備えた部材であり、Ｚ２方向を向く面に、Ｚ２方向に向けて突出した筒状の接続部２１５を有する。また、第１流路部材２１０は、第１導入路２１１Ａ、第１導入路２１１Ｂ、第１導出路２１２Ａ、及び第１導出路２１２Ｂを備えている。本実施形態では、第１導入路２１１Ａ、第１導入路２１１Ｂ、第１導出路２１２Ａ、及び第１導出路２１２Ｂのそれぞれに対応して計４個の接続部２１５が設けられている。

【0031】

第１導入路２１１Ａ、第１導入路２１１Ｂ、第１導出路２１２Ａ、及び第１導出路２１２ＢのＺ２方向側のそれぞれの開口は、接続部２１５の先端に形成されている。供給チューブ５０５Ａは接続部２１５に接続されて第１導入路２１１Ａに連通する。同様に、供給チューブ５０５Ｂは接続部２１５に接続されて第１導入路２１１Ｂに連通し、回収チューブ５０４Ａは接続部２１５に接続されて第１導出路２１２Ａに連通し、回収チューブ５０４Ｂは接続部２１５に接続されて第１導出路２１２Ｂに連通する。

【0032】

第２流路部材２２０は、２つのヘッドチップ１００を保持し、インクの流路を備えた部材である。具体的には、第２流路部材２２０は、Ｚ１方向側にヘッドチップ１００を収容可能な収容部２２３が設けられている。収容部２２３は、Ｚ１方向側に向けて突出して、ヘッドチップ１００を囲うように形成された壁部２２８により形成されている。本実施形態では２個のヘッドチップ１００に共通して一つの収容部２２３が形成されているが、ヘッドチップ１００ごとに収容部２２３を形成してもよい。

【0033】

第２流路部材２２０は、第２導入路２２１Ａ、第２導入路２２１Ｂ、第２導出路２２２Ａ、及び第２導出路２２２Ｂを備えている。第２導入路２２１Ａ、第２導入路２２１Ｂ、第２導出路２２２Ａ、及び第２導出路２２２ＢのＺ２方向側のそれぞれの開口は、第２流路部材２２０のＺ２方向を向く面に形成された収容凹部２２５の底部に開口し、後述する第３導入路２３１Ａ、第３導入路２３１Ｂ、第３導出路２３２Ａ、及び第３導出路２３２Ｂにそれぞれ連通している。第２導入路２２１Ａ、第２導入路２２１Ｂ、第２導出路２２２Ａ、及び第２導出路２２２ＢのＺ１方向側のそれぞれの開口は、収容部２２３内に開口し、後述するヘッドチップ１００の第５導入路５３Ａ、第５導入路５３Ｂ、第５導出路５４Ａ、及び第５導出路５４Ｂにそれぞれ連通している。

【0034】

また、第１流路部材２１０のＺ１方向側には第１凹部２１４が形成されており、第２流路部材２２０のＺ２方向側には第２凹部２２４が形成されており、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０とが接合されることで、第１凹部２１４及び第２凹部２２４からなる基板収容部２０１が形成されている。基板収容部２０１は、第３流路部材２３０及び中継基板３００が収容される大きさの空間である。

【0035】

第３流路部材２３０は、インクの流路を備えた部材であり、Ｚ１方向を向く面に、Ｚ１方向に向けて突出した筒状の接続部２３３を有する。また、第３流路部材２３０は、第３導入路２３１Ａ、第３導入路２３１Ｂ、第３導出路２３２Ａ、及び第３導出路２３２Ｂを備えている。本実施形態では第３導入路２３１Ａ、第３導入路２３１Ｂ、第３導出路２３２Ａ、及び第３導出路２３２Ｂのそれぞれに対応して計４個の接続部２３３が設けられている。

【0036】

第３導入路２３１Ａ、第３導入路２３１Ｂ、第３導出路２３２Ａ、及び第３導出路２３２ＢのＺ２方向側のそれぞれの開口は、接続部２３３の先端に形成されている。また、第３導入路２３１Ａ、第３導入路２３１Ｂ、第３導出路２３２Ａ、及び第３導出路２３２ＢのＺ１方向側のそれぞれの開口は、第３流路部材２３０のＺ１方向を向く面に形成されている。

【0037】

第３流路部材２３０は、第２流路部材２２０の収容凹部２２５に嵌め込まれる形状を有している。第３流路部材２３０が収容凹部２２５に嵌め込まれて第２流路部材２２０に固定されている。そして、第３導入路２３１Ａ、第３導入路２３１Ｂ、第３導出路２３２Ａ、及び第３導出路２３２ＢのＺ１方向側のそれぞれの開口は、第２導入路２２１Ａ、第２導入路２２１Ｂ、第２導出路２２２Ａ、及び第２導出路２２２Ｂにそれぞれ連通している。第３導入路２３１Ａ、第３導入路２３１Ｂ、第３導出路２３２Ａ、及び第３導出路２３２ＢのＺ２方向側のそれぞれの開口は、後述する第４導入路２４１Ａ、第４導入路２４１Ｂ、第４導出路２４２Ａ、及び第４導出路２４２Ｂにそれぞれ連通している。

【0038】

シール部材２４０は、インクの流路を備えた部材であり、Ｚ１方向を向く面に、Ｚ１方向に向けて突出した筒状の接続部２４５を有する。また、シール部材２４０は、第４導入路２４１Ａ、第４導入路２４１Ｂ、第４導出路２４２Ａ、及び第４導出路２４２Ｂを備えている。本実施形態では、第４導入路２４１Ａ、第４導入路２４１Ｂ、第４導出路２４２Ａ、及び第４導出路２４２Ｂのそれぞれに対応して計４個の接続部２４５が設けられている。

【0039】

第４導入路２４１Ａ、第４導入路２４１Ｂ、第４導出路２４２Ａ、及び第４導出路２４２ＢのＺ１方向側のそれぞれの開口は、接続部２４５の先端に形成されている。また、第４導入路２４１Ａ、第４導入路２４１Ｂ、第４導出路２４２Ａ、及び第４導出路２４２ＢのＺ２方向側のそれぞれの開口は、シール部材２４０のＺ２方向を向く面に形成されている。

【0040】

シール部材２４０は、第１流路部材２１０と第３流路部材２３０とに挟み込まれており、第１流路部材２１０と第３流路部材２３０の流路同士を接続している。具体的には、第４導入路２４１Ａ、第４導入路２４１Ｂ、第４導出路２４２Ａ、及び第４導出路２４２ＢのＺ１方向側のそれぞれの開口は、第３導入路２３１Ａ、第３導入路２３１Ｂ、第３導出路２３２Ａ、及び第３導出路２３２Ｂにそれぞれ連通している。第４導入路２４１Ａ、第４導入路２４１Ｂ、第４導出路２４２Ａ、及び第４導出路２４２ＢのＺ２方向側のそれぞれの開口は、第１導入路２１１Ａ、第１導入路２１１Ｂ、第１導出路２１２Ａ、及び第１導出路２１２Ｂにそれぞれ連通している。

【0041】

シール部材２４０は、インク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な弾性材料で形成されている。このようなシール部材２４０を設けることで、第１導入路２１１Ａから第４導入路２４１Ａにインクが漏れずに供給される。同様に、第１導入路２１１Ｂから第４導入路２４１Ｂにインクが漏れずに供給される。また、第４導出路２４２Ａから第１導出路２１２Ａにインクが漏れずに回収される。同様に、第４導出路２４２Ｂから第１導出路２１２Ｂにインクが漏れずに回収される。

【0042】

中継基板３００は、ヘッドチップ１００Ａ、ヘッドチップ１００Ｂの配線基板１４０と、制御部３とを電気的に中継する回路や電子部品を備えた基板である。また、中継基板３００には、第３流路部材２３０の接続部２３３が挿通する貫通孔である挿通孔３０２が設けられている。本実施形態では、挿通孔３０２は、各接続部２３３に対応して計４個設けられている。

【0043】

また、中継基板３００はＺ方向に貫通した第１配線挿通孔３０１が形成されており、第２流路部材２２０はＺ方向に貫通した第２配線挿通孔２２６が形成されており、第３流路部材２３０はＺ方向に貫通した第３配線挿通孔２３４が形成されている。第１配線挿通孔３０１、第２配線挿通孔２２６、及び第３配線挿通孔２３４は、いずれもヘッドチップ１００の配線基板１４０が挿通することが可能な形状である。本実施形態では、２個のヘッドチップ１００Ａ、ヘッドチップ１００Ｂのそれぞれの配線基板１４０に対応して第１配線挿通孔３０１、第２配線挿通孔２２６、第３配線挿通孔２３４がそれぞれ２個ずつ設けられている。

【0044】

中継基板３００は、Ｚ１側に配線基板１４０が接続される端子部３１０が設けられている。本実施形態では、第１配線挿通孔３０１の開口縁部に設けられている。配線基板１４０は、第１配線挿通孔３０１にＺ２方向へ挿通され、先端部が折り曲げられて端子部３１０に電気的に接続されている。また、中継基板３００のＹ１方向側にコネクタ３２０が設けられている。コネクタ３２０は、第２流路部材２２０のＹ１側に設けられた基板収容部２０１と外部とを連通するコネクタ挿入口２２７に対向している。コネクタ３２０は、図示しない配線が接続され、当該配線を介して制御部３に電気的に接続される。すなわち、制御部３から印刷するための各種の信号や電源からの電力が当該配線及びコネクタ３２０を介して中継基板３００の回路に接続される。

【0045】

中継基板３００は、第２流路部材２２０の収容凹部２２５に固定された第３流路部材２３０の接続部２３３が第１配線挿通孔３０１を挿通した状態で第２流路部材２２０のＺ２方向側に載置されている。そして、中継基板３００のＺ２方向側にシール部材２４０が配置されており、シール部材２４０の接続部２４５と第３流路部材２３０の接続部２３３とが接続されている。第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０は、これらの中継基板３００及びシール部材２４０を挟持し、互いに接合されている。第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０は図示しないネジなどの固定手段により固定されることで、基板収容部２０１に中継基板３００を収容した流路部材２００が構成されている。

【0046】

このように各部材が接合されることにより、第１導入路２１１Ａ、第４導入路２４１Ａ、第３導入路２３１Ａ、第２導入路２２１Ａ、第５導入路５３Ａの順で連通した第１供給流路８３Ａが形成されている。同様に、第１導入路２１１Ｂ、第４導入路２４１Ｂ、第３導入路２３１Ｂ、第２導入路２２１Ｂ、第５導入路５３Ｂの順で連通した第２供給流路８３Ｂが形成されている。第１導出路２１２Ａ、第４導出路２４２Ａ、第３導出路２３２Ａ、第２導出路２２２Ａ、第５導出路５４Ａの順で連通した第１回収流路８４Ａが形成されている。第１導出路２１２Ｂ、第４導出路２４２Ｂ、第３導出路２３２Ｂ、第２導出路２２２Ｂ、第５導出路５４Ｂの順で連通した第２回収流路８４Ｂが形成されている。

【0047】

第１供給流路８３Ａは、供給チューブ５０５Ａからヘッドチップ１００Ａの第１供給側共通液室８１Ａに供給されるインクの流路である。第２供給流路８３Ｂは、供給チューブ５０５Ｂからヘッドチップ１００Ｂの第２供給側共通液室８１Ｂに供給されるインクの流路である。第１回収流路８４Ａは、ヘッドチップ１００Ａの第１回収側共通液室８２Ａから回収チューブ５０４Ａに回収されるインクの流路である。第２回収流路８４Ｂは、ヘッドチップ１００Ｂの第２回収側共通液室８２Ｂから回収チューブ５０４Ｂに回収されるインクの流路である。

【0048】

第１供給流路８３Ａ及び第２供給流路８３Ｂに共通した説明をする場合は供給流路８３と記載し、それぞれの特有の説明をする場合は第１供給流路８３Ａ及び第２供給流路８３Ｂと記載する。第１回収流路８４Ａ及び第２回収流路８４Ｂに共通した説明をする場合は回収流路８４と記載し、それぞれの特有の説明をする場合は第１回収流路８４Ａ及び第２回収流路８４Ｂと記載する。

【0049】

このように中継基板３００を収容し、供給流路８３及び回収流路８４を備えた流路部材２００は、Ｚ１方向側に固定板４００が設けられている。固定板４００は、本実施形態では、収容部２２３のＺ１方向側の開口を覆う大きさを有する。また、固定板４００には、第１ノズル２１Ａ又は第２ノズル２１Ｂを露出する露出開口４０１が設けられている。本実施形態では、２個のヘッドチップ１００のそれぞれに対応して２個の露出開口４０１が設けられている。このようにヘッドチップ１００ごとに複数の露出開口４０１を設けてもよいし、複数のヘッドチップ１００に共通した露出開口４０１を設けてもよい。

【0050】

図６はヘッドチップ１００の分解斜視図であり、図７はヘッドチップ１００に形成されるインクの流路の平面図である。図８は図７のＢ－Ｂ線断面図であり、図９は図７のＣ－Ｃ線断面図であり、図１０は図７のＤ－Ｄ線断面図である。図３、図４、図６から図１０を用いてヘッドチップ１００Ａについて説明する。図６から図１０ではヘッドチップ１００Ａを図示して説明するが、ヘッドチップ１００Ａとヘッドチップ１００Ｂとは同じ構成であり、ヘッドチップ１００Ａとヘッドチップ１００Ｂとで名称が異なる各部は次の通りである。

【0051】

ヘッドチップ１００Ａの第１ノズル２１Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２ノズル２１Ｂである。
ヘッドチップ１００Ａの第１ノズル列２２Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２ノズル列２２Ｂである。
ヘッドチップ１００Ａの第１個別流路６０Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２個別流路６０Ｂである。
ヘッドチップ１００Ａの第１供給側共通液室８１Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２供給側共通液室８１Ｂである。
ヘッドチップ１００Ａの第１回収側共通液室８２Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２回収側共通液室８２Ｂである。
ヘッドチップ１００Ａの第１導入口５１Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２導入口５１Ｂである。
ヘッドチップ１００Ａの第１導出口５２Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２導出口５２Ｂである。
ヘッドチップ１００Ａの第１バイパス流路９１は、ヘッドチップ１００Ｂでは第３バイパス流路９３である。
ヘッドチップ１００Ａの第２バイパス流路９２は、ヘッドチップ１００Ｂでは第４バイパス流路９４である。
ヘッドチップ１００Ａの第１供給流路８３Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２供給流路８３Ｂである。
ヘッドチップ１００Ａの第１回収流路８４Ａは、ヘッドチップ１００Ｂでは第２回収流路８４Ｂである。

【0052】

ヘッドチップ１００Ａは、インクが流通するインク流路が形成される流路形成基板１１０と、振動板１２０と、圧電アクチュエーター１３０とを具備する。

【0053】

流路形成基板１１０を構成するノズル基板２０には、インクを噴射する複数の第１ノズル２１Ａが形成されている。本実施形態では、ノズル基板２０には、複数の第１ノズル２１ＡがＸ１方向に並ぶことで構成された第１ノズル列２２Ａが設けられている。なおノズル基板２０は、例えば、エッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、ノズル基板２０の材料や製造方法は特に限定されず、公知の材料及び製法を任意に採用できる。

【0054】

流路形成基板１１０は、Ｚ方向に積層される複数枚の基板で構成され、内部にインクが流通するインク流路が形成されている。本実施形態では、流路形成基板１１０は、Ｚ方向に積層されるノズル基板２０、連通板３０、圧力室基板４０及び液室形成基板５０を含んで構成されている。

【0055】

ヘッドチップ１００Ａは、複数の第１個別流路６０Ａが設けられている。本実施形態では、Ｚ方向に見て第１個別流路６０ＡはＹ方向に延在しており、複数の第１個別流路６０ＡがＸ方向に間隔を空けて配置されている。各第１個別流路６０Ａは、ノズル基板２０の各第１ノズル２１Ａに連通している。

【0056】

ヘッドチップ１００Ａは、複数の第１個別流路６０Ａに接続され、複数の第１個別流路６０Ａを介して複数の第１ノズル２１Ａへインクを供給するための第１供給側共通液室８１Ａと、複数の第１個別流路６０Ａに接続され、複数の第１個別流路６０Ａを介して複数の第１ノズル２１Ａから排出されなかったインクを回収するための第１回収側共通液室８２Ａと、が設けられている。本実施形態では、第１供給側共通液室８１Ａは、Ｘ方向に延在しており、第１個別流路６０Ａに対してＹ１方向に設けられている。第１回収側共通液室８２Ａは、Ｘ方向に延在しており、第１個別流路６０Ａに対してＹ２方向に設けられている。

【0057】

ヘッドチップ１００Ａは、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向の端部と第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向の端部とを接続する第１バイパス流路９１が設けられている。流路形成基板１１０には、第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向の端部と第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向の端部とを接続する第２バイパス流路９２が設けられている。

【0058】

ここで、第１供給側共通液室８１Ａの端部とは、第１供給側共通液室８１Ａを第１供給側共通液室８１Ａの長手方向であるＸ１方向に関して三分割したときの両端の領域である。また、第１供給側共通液室８１Ａの端部は、より好ましくは第１供給側共通液室８１ＡをＸ１方向に関して五分割したときの両端であり、更に好ましくは１０分割したときの両端である。第１回収側共通液室８２Ａの端部とは、第１回収側共通液室８２Ａを第１回収側共通液室８２Ａの長手方向であるＸ１方向に関して三分割したときの両端の領域である。また、第１回収側共通液室８２Ａの端部は、より好ましくは第１回収側共通液室８２ＡをＸ１方向に関して五分割したときの両端であり、更に好ましくは１０分割したときの両端である。

【0059】

本実施形態では、第１バイパス流路９１は、第１供給側共通液室８１ＡをＸ１方向に関して三分割したときのＸ１方向側の領域Ａ１と、第１回収側共通液室８２ＡをＸ１方向に関して三分割したときのＸ１方向側の領域Ｂ１と、を接続している。第２バイパス流路９２は、第１供給側共通液室８１ＡをＸ１方向に関して三分割したときのＸ２方向側の領域Ａ３と、第１回収側共通液室８２ＡをＸ１方向に関して三分割したときのＸ２方向側の領域Ｂ３と、を接続している。なお、領域Ａ２は領域Ａ１と領域Ａ３との間の領域であり、領域Ｂ２は領域Ｂ１と領域Ｂ３との間の領域である。

【0060】

第１バイパス流路９１の一方の開口である第１バイパス導入口９１ａは、領域Ａ１のＸ１方向の端に配置されており、第１バイパス流路９１の他方の開口である第１バイパス導出口９１ｂは、領域Ｂ１のＸ１方向の端に配置されている。本実施形態では、第１バイパス導入口９１ａ及び第１バイパス導出口９１ｂは、Ｘ方向に関して、Ｘ方向に並ぶ第１ノズル列２２Ａの両端の第１ノズル２１Ａよりも外側に位置している。

【0061】

第２バイパス流路９２の一方の開口である第２バイパス導入口９２ａは、領域Ａ３のＸ２方向の端に配置されており、第２バイパス流路９２の他方の開口である第２バイパス導出口９２ｂは、領域Ｂ３のＸ２方向の端に配置されている。本実施形態では、第２バイパス導入口９２ａ及び第２バイパス導出口９２ｂは、Ｘ方向に関して、Ｘ方向に並ぶ第１ノズル列２２Ａの両端の第１ノズル２１Ａよりも外側に位置している。

【0062】

ヘッドチップ１００Ａは、第１供給側共通液室８１Ａにインクを供給するための第１導入口５１Ａが設けられている。本実施形態では、第１導入口５１Ａは、第１供給流路８３Ａの開口のうち第１供給側共通液室８１Ａ側の開口である。また、流路形成基板１１０には、第１回収側共通液室８２Ａからインクを排出するための第１導出口５２Ａが設けられている。本実施形態では、第１導出口５２Ａは、第１回収流路８４Ａの開口のうち第１回収側共通液室８２Ａ側の開口である。

【0063】

第１導入口５１Ａは、Ｘ１方向に関して第１バイパス流路９１と第２バイパス流路９２との間に配置されている。具体的には、第１導入口５１Ａは、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向に関する中心に対してＸ１方向に配置されている。本実施形態では、第１導入口５１Ａは第１供給側共通液室８１Ａの領域Ａ１に配置されている。なお、特に図示しないが、第１導入口５１Ａは、第１供給側共通液室８１ＡをＸ１方向に関して５分割した領域のうち、Ｘ１方向側に位置する領域に配置されていてもよい。

【0064】

第１導出口５２Ａは、Ｘ１方向に関して第１バイパス流路９１と第２バイパス流路９２との間に配置されている。具体的には、第１導出口５２Ａは、第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向に関する中心に対してＸ１方向に配置されている。本実施形態では、第１導出口５２Ａは第１回収側共通液室８２Ａの領域Ｂ１に配置されている。なお、特に図示しないが、第１導出口５２Ａは、第１回収側共通液室８２ＡをＸ１方向に関して５分割した領域のうち、Ｘ１方向側に位置する領域に配置されていてもよい。

【0065】

また、Ｘ方向に関して、第１供給側共通液室８１Ａに対する第１導入口５１Ａの相対位置と、第１回収側共通液室８２Ａに対する第１導出口５２Ａの相対位置とは、ほぼ同じである。具体的には、第１導入口５１Ａと第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向の端との距離であるα１と、第１導出口５２Ａと第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向の端との距離であるα２とは、略同じである。ここでいう「略同じ」とは、長手方向であるＸ方向における第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの流路長を１００％としたとき、α１とα２とが同じ場合であるか、又はα１とα２との差が流路長の１０％以内である場合をいう。

【0066】

このような流路形成基板１１０では、循環機構５００Ａの副液体容器５０３Ａから供給チューブ５０５Ａ及び第１供給流路８３Ａを経由して第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１Ａにインクが供給される。

【0067】

第１供給側共通液室８１Ａのインクは、各第１個別流路６０Ａに供給され、各第１個別流路６０Ａに供給されたインクは各第１ノズル２１Ａから噴射される。各第１個別流路６０Ａに供給されたインクのうち第１ノズル２１Ａから噴射されないものが第１回収側共通液室８２Ａに排出される。また、第１供給側共通液室８１Ａから第１バイパス流路９１及び第２バイパス流路９２を通って第１回収側共通液室８２Ａにインクが導入される。そして、第１回収側共通液室８２Ａに導入されたインクは、第１導出口５２Ａから第１回収流路８４Ａ及び回収チューブ５０４Ａを経由して循環機構５００Ａの副液体容器５０３Ａに回収される。

【0068】

以上から理解される通り、第１供給側共通液室８１Ａを流れるインクと、第１回収側共通液室８２Ａを流れるインクはＸ方向において逆向きの流れを有する。具体的には、第１供給側共通液室８１Ａでは、第１導入口５１Ａから第１バイパス流路９１へＸ１方向にインクが流れ、且つ、第１導入口５１Ａから第２バイパス流路９２へＸ２方向にインクが流れる。また、第１回収側共通液室８２Ａでは、第１バイパス流路９１から第１導出口５２ＡへＸ２方向にインクが流れ、且つ、第２バイパス流路９２から第１導出口５２ＡへＸ１方向にインクが流れる。

【0069】

このようにヘッドチップ１００Ａは、液体容器２Ａから供給されたインクが、第１供給側共通液室８１Ａ、第１個別流路６０Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａを介して循環するように構成されている。このような構成の記録ヘッド１０は、第１個別流路６０Ａのインクが第１ノズル２１Ａから噴射されない期間が存在する場合であっても、第１個別流路６０Ａ、第１バイパス流路９１、第２バイパス流路９２におけるインクの滞留を抑制できる。よって、第１ノズル２１Ａや後述する第１圧力室４１及び第２圧力室４２等におけるインクの増粘が抑えられ、インクの増粘に起因する噴射異常の発生を予防することができる。

【0070】

次に、ヘッドチップ１００の流路形成基板１１０の構成についてより具体的に説明する。圧力室基板４０には、各第１ノズル２１Ａに対応する複数の第１圧力室４１及び第２圧力室４２が設けられている。第１圧力室４１及び第２圧力室４２は、圧力室基板４０を厚さ方向であるＺ方向に貫通して設けられている。本実施形態では、一本の第１個別流路６０Ａは１個の第１圧力室４１と１個の第２圧力室４２とを含んでいる。第１個別流路６０Ａのうち第１ノズル２１Ａよりも第１供給側共通液室８１Ａ側の一部が第１圧力室４１となっている。第１個別流路６０Ａのうち第１ノズル２１Ａよりも第１回収側共通液室８２Ａ側の一部が第２圧力室４２となっている。第１圧力室４１及び第２圧力室４２は、Ｙ方向に沿って一列に並設されている。また、複数の第１圧力室４１は、Ｘ方向に沿って一列に並設されており、複数の第２圧力室４２は、Ｘ方向に沿って一列に並設されている。なお、１つの第１ノズル２１Ａに対応して設けられる圧力室の数は１つでもよく、換言すれば、１つの第１ノズル２１Ａに対して第１圧力室４１及び第２圧力室４２のうちいずれか一方が設けられている構成であってもよい。

【0071】

圧力室基板４０は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、圧力室基板４０の材料および製造方法は、特に限定されず、任意の材料や製造方法を採用できる。

【0072】

圧力室基板４０のＺ２方向側には、振動板１２０及び圧電アクチュエーター１３０が形成される。圧電アクチュエーター１３０は、振動板１２０上の第１圧力室４１及び第２圧力室４２に対応する位置に設けられている。

【0073】

圧電アクチュエーター１３０は、圧電素子とも呼ばれ、第１電極、圧電体層及び第２電極を含む部分を言う。一般的には、圧電アクチュエーター１３０の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を第１圧力室４１及び第２圧力室４２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極を圧電アクチュエーターの共通電極とし、第２電極を圧電アクチュエーターの個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお圧電アクチュエーター１３０の第２電極には、リード電極がそれぞれ接続されており、このリード電極を介して各圧電アクチュエーター１３０に選択的に電圧が印加されるようになっている。

【0074】

振動板１２０のＺ２方向側の面には、配線基板１４０が実装され、圧電アクチュエーター１３０と接続されている。この配線基板１４０には、圧電アクチュエーター１３０を駆動するための駆動ＩＣ等である駆動回路１４１が実装されている。

【0075】

連通板３０には、第１個別流路６０Ａの一部を構成する第１連通流路３３Ａ、第１連通流路３３Ｂ、第１連通流路３３Ｃ、第２連通流路３４Ａ、第２連通流路３４Ｂ、第２連通流路３４Ｃ、第２連通流路３４Ｄと、第１個別流路６０Ａの一端が接続される第１供給流路部３１と、第１回収流路部３２とが形成されている。

【0076】

第１供給流路部３１は、連通板３０のＹ１方向側の端部付近に、Ｘ方向に沿って第１個別流路６０Ａに対応する領域に亘って連続的に設けられている。第１供給流路部３１は、液室形成基板５０に設けられる第２供給流路部５７と連通して第１供給側共通液室８１Ａを構成する。

【0077】

第１回収流路部３２は、連通板３０のＹ２方向側の端部付近に、Ｘ方向に沿って第１個別流路６０Ａに対応する領域に亘って連続的に設けられている。第１回収流路部３２は、液室形成基板５０に設けられる第２回収流路部５８と連通して第１回収側共通液室８２Ａを構成する。

【0078】

連通板３０には、第１個別流路６０Ａを構成する流路として、第１連通流路３３Ａ、第１連通流路３３Ｂ、第１連通流路３３Ｃと、第２連通流路３４Ａ，第２連通流路３４Ｂ，第２連通流路３４Ｃ，第２連通流路３４Ｄとが設けられている。
第１連通流路３３Ａは、連通板３０のＺ１方向側に開口してＹ方向に延在し、その一方の端部が第１供給流路部３１に連通している。
第１連通流路３３Ｂは、連通板３０のＺ１方向側に開口してＹ方向に延在し、第１ノズル２１Ａと連通している。
第１連通流路３３Ｃは、連通板３０のＺ１方向側に開口してＹ方向に延在し、その一方の端部が第１回収流路部３２に連通している。

【0079】

第２連通流路３４Ａは、連通板３０をＺ方向に貫通し、第１連通流路３３Ａと第１圧力室４１とを連通する。
第２連通流路３４Ｂは、連通板３０をＺ方向に貫通し、第１圧力室４１と第１連通流路３３Ｂとを連通する。
第２連通流路３４Ｃは、連通板３０をＺ方向に貫通し、第１連通流路３３Ｂと第２圧力室４２とを連通する。
第２連通流路３４Ｄは、連通板３０をＺ方向に貫通し、第２圧力室４２と第１連通流路３３Ｃとを連通する。

【0080】

連通板３０には、第１バイパス流路９１を構成する流路として、第１バイパス流路部３５Ａ、第１バイパス流路部３５Ｂ、第１バイパス流路部３５Ｃが設けられ、第２バイパス流路９２を構成する流路として、第２バイパス流路部３６Ａ、第２バイパス流路部３６Ｂ、第２バイパス流路部３６Ｃが設けられている。
第１バイパス流路部３５Ａは、連通板３０のＺ１方向側に開口し、領域Ａ１からＸ１方向に延在した凹部である。
第１バイパス流路部３５Ｂは、連通板３０のＺ１方向側に開口し、第１バイパス流路部３５Ａと第１バイパス流路部３５Ｃとを接続してＹ方向へ延在した凹部である。
第１バイパス流路部３５Ｃは、連通板３０のＺ１方向側に開口し、領域Ｂ１からＸ１方向に延在した凹部である。
第２バイパス流路部３６Ａは、連通板３０のＺ１方向側に開口し、領域Ａ３からＸ２方向に延在した凹部である。
第２バイパス流路部３６Ｂは、連通板３０のＺ１方向側に開口し、第２バイパス流路部３６Ａと第２バイパス流路部３６Ｃとを接続してＹ方向へ延在した凹部である。
第２バイパス流路部３６Ｃは、連通板３０のＺ１方向側に開口し、領域Ｂ３からＸ２方向に延在した凹部である。

【0081】

連通板３０は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、連通板３０の材料および製造方法は、特に限定されず、任意の材料や製造方法を採用できる。

【0082】

連通板３０のＺ１方向側の面には、コンプライアンス基板７０が設けられている。本実施形態では、コンプライアンス基板７０は、ノズル基板２０の周囲を囲うような形状に形成され、Ｚ２方向側からＺ１方向に向かい、可撓性を有する薄膜からなる封止膜７１、金属等の硬質の材料からなる固定基板７２がこの順で接合された構成となっている。

【0083】

コンプライアンス基板７０は、第１供給流路部３１、第１回収流路部３２、第１連通流路３３Ａ、第１連通流路３３Ｃ、第２連通流路３４Ａ、第２連通流路３４Ｄ、第１バイパス流路部３５Ａ、第１バイパス流路部３５Ｂ、第１バイパス流路部３５Ｃ、第２バイパス流路部３６Ａ、第２バイパス流路部３６Ｂ、第２バイパス流路部３６Ｃの開口を閉塞している。

【0084】

第１連通流路３３Ａ、第２連通流路３４Ａ、第２連通流路３４Ｄ及び第１連通流路３３Ｃがコンプライアンス基板７０により閉塞され、第２連通流路３４Ｂ、第１連通流路３３Ｂ及び第２連通流路３４Ｃがノズル基板２０に閉塞されることで、第１個別流路６０Ａが形成されている。

【0085】

第１バイパス流路部３５Ａ、第１バイパス流路部３５Ｂ、第１バイパス流路部３５Ｃがコンプライアンス基板７０により閉塞されることで第１バイパス流路９１が形成されている。

【0086】

第２バイパス流路部３６Ａ、第２バイパス流路部３６Ｂ、第２バイパス流路部３６Ｃがコンプライアンス基板７０により閉塞されることで第２バイパス流路９２が形成されている。

【0087】

固定基板７２のうち第１供給流路部３１及び第１回収流路部３２のそれぞれに対向する領域は、厚さ方向であるＺ方向に完全に除去された開口部７５となっている。開口部７５に露出した封止膜７１の一部は、第１コンプライアンス部７３及び第２コンプライアンス部７４である。開口部７５のＺ１方向側は、固定板４００によって閉塞される。つまり、封止膜７１のＺ１方向を向く面、固定基板４００の開口部７５が形成された内周面、及び、固定板４００のＺ２方向を向く面は、コンプライアンス空間を画定する。当該コンプライアンス空間は、不図示の大気連通路を介して大気に連通している。なお、固定基板７２のうち、第１バイパス流路部３５Ａ、第１バイパス流路部３５Ｂ、第１バイパス流路部３５Ｃ、第２バイパス流路部３６Ａ、第２バイパス流路部３６Ｂ、第２バイパス流路部３６Ｃのそれぞれに対向する領域には、厚さ方向に貫通する開口部は形成されていない。

【0088】

第１コンプライアンス部７３は封止膜７１のうち第１供給流路部３１のＺ１方向側の開口を封止した部分である。第１コンプライアンス部７３は、第１供給側共通液室８１Ａの一部を画定するＺ２方向側の第１面Ｓ１と、第１面Ｓ１とは反対の面であり大気に接する第２面Ｓ２とを有し、「可撓性を有する供給側可撓性部材」に相当する。第１コンプライアンス部７３は、第１供給側共通液室８１Ａ内のインクの圧力変動を吸収する。

【0089】

第２コンプライアンス部７４は封止膜７１のうち第１回収流路部３２のＺ１方向側の開口を封止した部分である。第２コンプライアンス部７４は、第１回収側共通液室８２Ａの一部を画定するＺ２方向側の第３面Ｓ３と、第３面Ｓ３とは反対の面であり大気に接する第４面Ｓ４とを有し、「可撓性を有する回収側可撓性部材」に相当する。第２コンプライアンス部７４は、第１回収側共通液室８２Ａ内のインクの圧力変動を吸収する。

【0090】

液室形成基板５０は、連通板３０のＺ２方向側に設けられ、第２供給流路部５７及び第２回収流路部５８を備えている。液室形成基板５０、連通板３０、コンプライアンス基板７０が接合されることで、第１供給流路部３１と第２供給流路部５７とが連通し、第１コンプライアンス部７３により封止された第１供給側共通液室８１Ａが形成されている。また、第１回収流路部３２と第２回収流路部５８とが連通し、第２コンプライアンス部７４により封止された第１回収側共通液室８２Ａが形成されている。

【0091】

液室形成基板５０には、第２供給流路部５７と連通する第５導入路５３Ａと、第２回収流路部５８に連通する第５導出路５４Ａと、が設けられている。第５導入路５３Ａは、第２導入路２２１Ａと連通しており、第１供給流路８３Ａの一部を構成している。第５導入路５３Ａは、第２導入路２２１Ａと連通しており、第１供給流路８３Ａの一部を構成している。

【0092】

第１供給側共通液室８１Ａには、第１導入口５１Ａを介して液体容器２Ａ及び循環機構５００Ａからインクが供給される。第１回収側共通液室８２Ａに貯留されたインクは、第１導出口５２Ａを介して循環機構５００Ａの副液体容器５０３Ａに回収される。また、液室形成基板５０の中央部には、開口５５が設けられており、圧力室基板４０は、開口５５の内側に配置されている。

【0093】

なお液室形成基板５０は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。ただし、液室形成基板５０の材料や製造方法は、特に限定されず、任意の材料や製造方法を採用できる。

【0094】

ここで、上述した第１バイパス流路９１、第２バイパス流路９２、第１供給側共通液室８１Ａ、第１回収側共通液室８２Ａの流路抵抗について説明する。

【0095】

第１バイパス流路９１の流路抵抗をＲｂｐ１と表記し、第２バイパス流路９２の流路抵抗をＲｂｐ２と表記する。これらのＲｂｐ１とＲｂｐ２とは異なっている。本実施形態では、第１バイパス流路９１の流路長と、第２バイパス流路９２の流路長とは略同じ長さであり、第１バイパス流路９１の断面積が第２バイパス流路９２の断面積よりも大きく形成されている。したがって、流路抵抗Ｒｂｐ１は、流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さくなっている。もちろん、異なる流路抵抗とするために、第１バイパス流路９１及び第２バイパス流路９２を同一流路長かつ異なる断面積の形状にすることに限定されない。流路の長さ、流路の経路、流路の断面形状など流路抵抗に影響を与える各種要因を適宜設定することで、第１バイパス流路９１及び第２バイパス流路９２の流路抵抗を異ならせることができる。

【0096】

第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向の端までの流路抵抗をＲα１とする。第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向の端までの流路抵抗をＲβ１とする。流路抵抗Ｒα１は、流路抵抗Ｒβ１よりも小さい。

【0097】

本実施形態では、第１供給側共通液室８１Ａは、Ｘ方向に垂直な断面形状が矩形であり、Ｘ方向に亘って略同形状で連続するように形成されている。このような形状の第１供給側共通液室８１Ａに、第１導入口５１Ａが第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向に関する中心に対してＸ１方向、すなわち領域Ａ１に配置されているので、流路抵抗Ｒα１は流路抵抗Ｒβ１よりも小さくなっている。もちろん、第１供給側共通液室８１Ａの形状や第１導入口５１Ａの位置は例示したものに限定されない。第１導入口５１Ａの位置、流路の長さ、流路の経路、流路の断面形状など流路抵抗に影響を与える各種要因を適宜設定することで、流路抵抗Ｒα１を流路抵抗Ｒβ１より小さくすることができる。

【0098】

第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向の端までの流路抵抗をＲα２とする。第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向の端までの流路抵抗をＲβ２とする。流路抵抗Ｒα２は、流路抵抗Ｒβ２よりも小さい。

【0099】

本実施形態では、第１回収側共通液室８２Ａは、Ｘ方向に垂直な断面形状が矩形であり、Ｘ方向に亘って略同形状で連続するように形成されている。このような形状の第１回収側共通液室８２Ａに、第１導出口５２Ａが第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向に関する中心に対してＸ１方向、すなわち領域Ｂ１に配置されているので、流路抵抗Ｒα２は流路抵抗Ｒβ２よりも小さくなっている。もちろん、第１回収側共通液室８２Ａの形状や第１導出口５２Ａの位置は例示したものに限定されない。第１導出口５２Ａの位置、流路の長さ、流路の経路、流路の断面形状など流路抵抗に影響を与える各種要因を適宜設定することで、流路抵抗Ｒα２を流路抵抗Ｒβ２より小さくすることができる。

【0100】

また、Ｘ１方向に関して第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向の端までの距離をα１とし、Ｘ１方向に関して第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向の端までの距離をβ１とする。同様に、Ｘ１方向に関して第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向の端までの距離をα２とし、Ｘ１方向に関して第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向の端までの距離をβ２とする。流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２は次の式（１）、式（２）を満たすことが好ましい。なお、≒は、左辺の値が、右辺の値に対して±１０％以内の値であることを意味する。

【0101】

【数1】

【0102】

上述した構成の記録ヘッド１０は、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とは異なっており、流路抵抗Ｒｂｐ１は流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい。

【0103】

第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の端までの流路抵抗Ｒα１は、第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向側の端までの流路抵抗Ｒβ１よりも小さい。
第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向側の端までの流路抵抗Ｒα２は、第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向側の端までの流路抵抗Ｒβ２よりも小さい。
第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１は、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい。

【0104】

このような流路抵抗の関係を満たす記録ヘッド１０は、比較例の記録ヘッドと比べて、それぞれの記録ヘッドに同じ流量のインクを循環させている場合において、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａのそれぞれにおける圧力差を小さくすることができる。本実施形態でいう比較例の記録ヘッドとは、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とが同じであり、それ以外の構成が記録ヘッド１０と同じである記録ヘッドをいう。

【0105】

第１供給側共通液室８１Ａにおける圧力差とは、第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差と、第１供給側共通液室８１Ａ内における最大圧力と最小圧力との差と、の双方をいう。

【0106】

第１回収側共通液室８２Ａにおける圧力差とは、第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差と、第１回収側共通液室８２Ａ内における最大圧力と最小圧力との差と、の双方をいう。

【0107】

なお、一端及び他端とは、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２ＡのそれぞれのＸ方向の先端のみを指す。例えば、第１供給側共通液室８１Ａについては、一端は第１供給側共通液室８１ＡのＸ１側の先端であり、他端は第１供給側共通液室８１ＡのＸ２側の先端である。

【0108】

本実施形態の記録ヘッド１０及び比較例の記録ヘッドの双方において、第１供給側共通液室８１Ａの最大圧力とは、第１供給側共通液室８１Ａの第１導入口５１Ａが設けられた位置における圧力である。また、比較例の記録ヘッドに関して、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とが同じであるため、第１供給側共通液室８１Ａの最小圧力とは、第１供給側共通液室８１Ａの第１導入口５１Ａから最も離れた位置における圧力である。つまり、比較例の記録ヘッドにおける第１供給側共通液室８１Ａの最小圧力は、第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向側の先端の位置における圧力である。

【0109】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０に関して、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１が第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さいため、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力とＸ２方向側の先端の位置における圧力との差が小さくなる。そのため、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい場合、流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２との比に応じて、第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向側の先端の位置における圧力がＸ１方向側の先端の位置における圧力よりも小さくなることもあるし、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力がＸ２方向側の先端の位置における圧力よりも小さくなることもあるし、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力とＸ２方向側の先端の位置における圧力とが等しくなることもある。

【0110】

後述の図１１で示される通り、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向側の先端の位置における圧力がＸ１方向側の先端の位置における圧力よりも小さくなるため、第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向側の先端の位置における圧力が第１供給側共通液室８１Ａの最小圧力となる。但し、例えば、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力とＸ２方向側の先端の位置における圧力とが等しくなるように流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２との比を設定することで、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の先端及びＸ２方向側の先端の双方の位置における圧力を第１供給側共通液室８１Ａの最小圧力としてもよい。また、例えば、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力がＸ２方向側の先端の位置における圧力よりも小さくなるように流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２との比を設定することで、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力を第１供給側共通液室８１Ａの最小圧力としてもよい。

【0111】

本実施形態の記録ヘッド１０及び比較例の記録ヘッドの双方において、第１回収側共通液室８２Ａの最小圧力とは、第１回収側共通液室８２Ａの第１導出口５２Ａが設けられた位置における圧力である。また、比較例の記録ヘッドに関して、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とが同じであるため、第１回収側共通液室８２Ａの最大圧力とは、第１回収側共通液室８２Ａの第１導出口５２Ａから最も離れた位置における圧力である。つまり、比較例の記録ヘッドにおける第１回収側共通液室８２Ａの最大圧力は、第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向側の先端の位置における圧力である。

【0112】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０に関して、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１が第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さいため、第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力とＸ２方向側の先端の位置における圧力との差が小さくなる。そのため、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい場合、流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２との比に応じて、第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向側の先端の位置における圧力がＸ１方向側の先端の位置における圧力よりも大きくなることもあるし、第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力がＸ２方向側の先端の位置における圧力よりも大きくなることもあるし、第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力とＸ２方向側の先端の位置における圧力とが等しくなることもある。

【0113】

後述の図１１で示される通り、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向側の先端の位置における圧力がＸ１方向側の先端の位置における圧力よりも大きくなるため、第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向側の先端の位置における圧力が第１回収側共通液室８２Ａの最大圧力となる。但し、第１供給側共通液室８１Ａと同様の理由から、流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２との比によっては、第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向側の先端の位置における圧力が第１回収側共通液室８２Ａの最大圧力であってもよいし、第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向側の先端及びＸ２方向側の先端の双方の位置における圧力が第１回収側共通液室８２Ａの最大圧力であってもよい。

【0114】

図１１に本実施形態の記録ヘッド１０の第１供給側共通液室８１Ａ内の圧力分布と、比較例の記録ヘッドの第１供給側共通液室８１Ａ内の圧力分布を示す。図１１の縦軸は圧力を示している。第１供給側共通液室８１Ａのインクの圧力は、正圧であり横軸よりも上方に示されている。第１回収側共通液室８２Ａのインクの圧力は、負圧であり横軸よりも下方に示されている。

【0115】

図１１の横軸の「１」から「５」の数字は、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における位置である第１位置から第５位置を示している。第１位置は、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの夫々のＸ１方向の端となる位置を表わす。第５位置は、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの夫々のＸ２方向の端となる位置を表わす。第２位置は、Ｘ方向における第１導入口５１Ａ及び第１導出口５２Ａの位置を表わす。第３位置及び第４位置は、第２位置と第５位置との間を三等分した位置を表わす。

【0116】

比較例の記録ヘッドの第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力は鎖線で示され、本実施形態の記録ヘッド１０の第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力は実線で示されている。

【0117】

比較例の記録ヘッドは、第１導入口５１Ａから第１位置までの流路抵抗Ｒα１、及び第１導入口５１Ａから第５位置までの流路抵抗Ｒβ１は、本実施形態の記録ヘッド１０のものと同じである。流路抵抗Ｒα２及び流路抵抗Ｒβ２についても同様である。また、比較例の記録ヘッドは、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とは同じである。

【0118】

このような比較例の記録ヘッドにおける第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力差は次の通りである。
第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差、すなわち第１位置における圧力と第５位置における圧力の差をΔＰsup（１,５）とする。
第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における最大圧力と最小圧力との圧力差、すなわち第２位置における圧力と第５位置における圧力の差をΔＰsup（２,５）とする。
第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差、すなわち第１位置における圧力と第５位置における圧力の差をΔＰcol（１,５）とする。
第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における最大圧力と最小圧力との圧力差、すなわち第２位置における圧力と第５位置における圧力の差をΔＰcol（２,５）とする。
図１１に示す例では、第１供給側共通液室８１Ａの第１位置における圧力が８．７ｋPaであり、第１供給側共通液室８１Ａの第２位置における圧力が１０ｋPaであり、第１供給側共通液室８１Ａの第５位置における圧力が６．６ｋPaであり、第１回収側共通液室８２Ａの第１位置における圧力が－９．７ｋPaであり、第１回収側共通液室８２Ａの第２位置における圧力が－１１ｋPaであり、第１回収側共通液室８２Ａの第５位置における圧力が－７．６ｋPaであるため、ΔＰsup（１,５）は２．１ｋPaであり、ΔＰsup（２,５）は３．４ｋPaであり、ΔＰcol（１,５）は２．１ｋPaであり、ΔＰcol（２,５）は３．４ｋPaである。

【0119】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１導入口５１Ａから第１位置までの流路抵抗Ｒα１は、第１導入口５１Ａから第５位置までの流路抵抗Ｒβ１よりも小さい。第１導出口５２Ａから第１位置までの流路抵抗Ｒα２は、第１導出口５２Ａから第５位置までの流路抵抗Ｒβ２よりも小さい。また、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とは異なり、流路抵抗Ｒｂｐ１は流路抵抗Ｒｂｐ２より小さい。

【0120】

このような本実施形態の記録ヘッド１０における第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力差は次の通りである。
第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差、すなわち第１位置における圧力と第５位置における圧力の差をδＰsup（１,５）とする。
第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における最大圧力と最小圧力との圧力差、すなわち第２位置における圧力と第５位置における圧力の差をδＰsup（２,５）とする。
第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差、すなわち第１位置における圧力と第５位置における圧力の差をδＰcol（１,５）とする。
第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における最大圧力と最小圧力との圧力差、すなわち第２位置における圧力と第５位置における圧力の差をδＰcol（２,５）とする。
図１１に示す例では、第１供給側共通液室８１Ａの第１位置における圧力が８．２ｋPaであり、第１供給側共通液室８１Ａの第２位置における圧力が１０ｋPaであり、第１供給側共通液室８１Ａの第５位置における圧力が８．１ｋPaであり、第１回収側共通液室８２Ａの第１位置における圧力が－９．２ｋPaであり、第１回収側共通液室８２Ａの第２位置における圧力が－１１ｋPaであり、第１回収側共通液室８２Ａの第５位置における圧力が－９．１ｋPaであるため、δＰsup（１,５）は０．１ｋPaであり、δＰsup（２,５）は１．９ｋPaであり、δＰcol（１,５）は０．１ｋPaであり、δＰcol（２,５）は１．９ｋPaである。

【0121】

図１１に示す通り、比較例の記録ヘッドは、第１導入口５１Ａが第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向に関して中心には配置されておらず、Ｘ１方向側の領域Ａ１に設けられている。このため、第１供給側共通液室８１Ａ内では、最も圧力が高い第２位置からＸ２方向に離れるほどインクの圧力が低下している。

【0122】

一方、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さくなるようにした第１バイパス流路９１及び第２バイパス流路９２を設けることで、図１１に示す通り、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１供給側共通液室８１Ａ内においても第２位置からＸ２方向に離れるほどインクの圧力が低下しているものの、低下の度合いは比較例の記録ヘッドよりも小さい。これは、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さいため、第１導入口５１Ａから第２バイパス流路９２へ向かって流れるインクの流量が減少することで、第１導入口５１Ａから第２バイパス流路９２へ流れるインクの圧力損失が減少するため、第１供給側共通液室８１Ａの第５位置における圧力が上昇するからである。

【0123】

また、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１供給側共通液室８１Ａ内において第２位置からＸ１方向に離れるほどインクの圧力が低下しており、低下の度合いは比較例の記録ヘッドよりも大きいものの、上述した圧力差としては小さくなっている。これは、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さいため、第１導入口５１Ａから第１バイパス流路９１へ向かって流れるインクの流量が増加することで、第１導入口５１Ａから第１バイパス流路９１へ流れるインクの圧力損失が増大するため、第１供給側共通液室８１Ａの第１位置における圧力が低下するからである。

【0124】

まとめると、本実施形態の記録ヘッド１０と比較例の記録ヘッドの第１供給側共通液室８１Ａにおける圧力差は、次のような関係にある。δＰsup（１,５）はΔＰsup（１,５）よりも小さく、δＰsup（２,５）はΔＰsup（２,５）よりも小さい。

【0125】

第１回収側共通液室８２Ａの圧力差についても同様である。比較例の記録ヘッドは、第１導出口５２Ａが第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向に関して中心には配置されておらず、Ｘ１方向側の領域Ｂ１に設けられている。このため、第１回収側共通液室８２Ａ内では、最も圧力が高い第２位置からＸ２方向に離れるほどインクの圧力が上昇している。

【0126】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１回収側共通液室８２Ａ内において第２位置からＸ２方向に離れるほどインクの圧力が増加しているものの、増加の度合いは比較例の記録ヘッドよりも小さい。これは、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さいため、第２バイパス流路９２から第１導出口５２Ａへ向かって流れるインクの流量が減少することで、第２バイパス流路９２から第１導出口５２Ａへ流れるインクの圧力損失が減少するため、第１回収側共通液室８２Ａの第５位置における圧力が減少するからである。

【0127】

また、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１回収側共通液室８２Ａ内において第２位置からＸ１方向に離れるほどインクの圧力が増加しており、増加の度合いは比較例の記録ヘッドよりも大きいものの、上述した圧力差としては小さくなっている。これは、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さいため、第１バイパス流路９１から第１導出口５２Ａへ向かって流れるインクの流量が増加することで、第１バイパス流路９１から第１導出口５２Ａへ流れるインクの圧力損失が増大するため、第１回収側共通液室８２Ａの第１位置における圧力が上昇するからである。

【0128】

まとめると、本実施形態の記録ヘッド１０と比較例の記録ヘッドの第１回収側共通液室８２Ａにおける圧力差は、次のような関係にある。δＰcol（１,５）はΔＰcol（１,５）よりも小さく、δＰcol（２,５）はΔＰcol（２,５）よりも小さい。

【0129】

特許文献１に記載されたような従来の記録ヘッドでは、第１導入口５１Ａが第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向に関して中心に配置され、第１導出口５２Ａが第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向に関して中心に配置されている。

【0130】

しかしながら、第１導入口５１Ａへインクを供給するための第１供給流路８３Ａや第１導出口５２Ａからインクを回収する第１回収流路８４Ａの引き回しの都合により、第１導入口５１Ａを第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向に関する中心に対してＸ１方向に配置し、且つ、第１導出口５２Ａを第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向に関する中心に対してＸ１方向に配置する場合がある。

【0131】

そのような場合において、上述した比較例の記録ヘッドのように第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２が同じであると、図１１の鎖線で示したように、第１供給側共通液室８１Ａにおける圧力差、及び、第１回収側共通液室８２Ａにおける圧力差がそれぞれ大きくなる。

【0132】

このように圧力差が大きいと、複数の第１個別流路６０Ａの夫々へ供給されるインクの流量がバラつき、印字にムラが生じる虞がある。

【0133】

例えば、第２位置における第１供給側共通液室８１Ａの圧力が１０ｋＰａであり、第２位置における第１回収側共通液室８２Ａの圧力が－１１ｋＰａであるとする。第２位置付近の第１個別流路６０Ａにはそれらの圧力の差である２１ｋＰａに応じた流量のインクが流入する。

【0134】

一方、第５位置における第１供給側共通液室８１Ａの圧力が６．６ｋＰａであり、第５位置における第１回収側共通液室８２Ａの圧力が－７．６ｋＰａであるとする。第５位置付近の第１個別流路６０Ａにはそれらの圧力の差である１４．２ｋＰａに応じた流量のインクが流入する。

【0135】

このように、第２位置付近の第１個別流路６０Ａには圧力差２１ｋＰａ、第５位置付近の第１個別流路６０Ａには圧力差１４．２ｋＰａに応じた流量のインクが流入することから、第１個別流路６０Ａごとのインクの流量のバラつきは比較的大きい。

【0136】

つまり、第１供給側共通液室８１Ａにおける圧力差、及び、第１回収側共通液室８２Ａにおける圧力差が大きいと、Ｘ方向に離れた第２位置と第５位置付近の第１個別流路６０Ａに流入するインクの量にも大きな差が出る。したがって、上述した圧力差によって、複数の第１個別流路６０Ａへのインクの流量がバラつき、印字にムラが生じる虞がある。

【0137】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１導入口５１Ａから近いＸ１方向側の第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１が、第１導入口５１Ａから遠いＸ２方向側の第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい。

【0138】

このような構成とすることで本実施形態の記録ヘッド１０は、流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２が同じ記録ヘッドと比較して、第１供給側共通液室８１Ａにおける圧力差、及び、第１回収側共通液室８２Ａにおける圧力差のそれぞれを小さくすることができる。その結果、第１ノズル２１Ａ毎に流れる流量のバラツキを緩和することができ、また、第１ノズル２１Ａ毎に液体の粘度にバラつきが生じることを抑制することができる。

【0139】

例えば、第２位置における第１供給側共通液室８１Ａの圧力が１０ｋＰａであり、第２位置における第１回収側共通液室８２Ａの圧力が－１１ｋＰａであるとする。第２位置付近の第１個別流路６０Ａにはそれらの圧力の差である２１ｋＰａに応じた流量のインクが流入する。

【0140】

一方、本実施形態では、前述の圧力差が緩和されているため、第５位置における第１供給側共通液室８１Ａの圧力は第２位置の圧力に近い値、例えば８．１ｋＰａであり、第５位置における第１回収側共通液室８２Ａの圧力が－９．１ｋＰａであるとする。第５位置付近の第１個別流路６０Ａにはそれらの圧力の差である１７．２ｋＰａに応じた流量のインクが流入する。

【0141】

第２位置付近の第１個別流路６０Ａには圧力差２１ｋＰａ、第５位置付近の第１個別流路６０Ａには圧力差１７．２ｋＰａに応じた流量のインクが流入することから、先に述べた圧力差が緩和されていない比較例の記録ヘッドと比較して、第１個別流路６０Ａごとに供給されるインクの流量のバラつきは小さい。

【0142】

このように、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１供給側共通液室８１Ａにおける圧力差、及び、第１回収側共通液室８２Ａにおける圧力差が緩和されているので、各第１個別流路６０Ａ、すなわち各第１ノズル２１Ａに流入するインクの流量のバラつきを緩和することができる。

【0143】

なお、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２ＡのそれぞれのＺ１方向側の開口は、第１コンプライアンス部７３及び第２コンプライアンス部７４により閉塞されている。第１コンプライアンス部７３及び第２コンプライアンス部７４は可撓性を有しているので、インクの圧力変動が吸収される。本実施形態の記録ヘッド１０は、流路抵抗を上述のように規定することによって第１供給側共通液室８１Ａにおける圧力差が緩和されているので、第１コンプライアンス部７３が撓む挙動も第１供給側共通液室８１Ａの長手方向であるＸ方向に関して均一化され、上述したような印字ムラもより一層抑制される。この点、第２コンプライアンス部７４についても同様である。

【0144】

ここで、ヘッドチップ１００Ａとヘッドチップ１００Ｂとの配置について説明する。図３及び図４に示すように、記録ヘッド１０は、記録ヘッド１０に対向する媒体Ｓの搬送方向であるＹ方向に見て、第１ノズル列２２ＡのＸ２方向側の端部ＴＡと第２ノズル列２２ＢのＸ１方向側の端部ＴＢとが重なっている。又は、特に図示しないが、第１ノズル列２２ＡのＸ１方向の端部と第２ノズル列２２ＢのＸ２方向の端部とが重なっていてもよい。

【0145】

仮に、上記のヘッドチップ１００Ａ及びヘッドチップ１００Ｂにおいて、ヘッドチップ１００Ａの第１バイパス流路９１と第２バイパス流路９２の流路抵抗が同じであり、ヘッドチップ１００Ｂの第３バイパス流路９３と第４バイパス流路９４の流路抵抗が同じであるとする。すなわち図１１に示した比較例の記録ヘッドと同様の圧力差であるとする。

【0146】

ヘッドチップ１００Ａを、第１供給側共通液室８１ＡのうちＸ２方向の端が端部ＴＡ側となるように配置し、ヘッドチップ１００Ｂを、第２供給側共通液室８１ＢのうちＸ１方向の端が端部ＴＢ側となるように配置したとする。

【0147】

このような配置では、端部ＴＡにヘッドチップ１００Ａの第５位置付近が位置し、端部ＴＢにヘッドチップ１００Ｂの第１位置付近が位置することになり、Ｙ方向にみて重なる端部ＴＡ及び端部ＴＢにおいて、第１供給側共通液室８１Ａと第１回収側共通液室８２Ａとの圧力差と、第２供給側共通液室８１Ｂと第２回収側共通液室８２Ｂとの圧力差との差が大きく相違することになる。この差が大きく相違すると、第１ノズル列２２Ａと第２ノズル列２２Ｂとのつなぎ目である端部ＴＡ及び端部ＴＢ付近での印字ムラが大きくなる虞がある。

【0148】

したがって、印字ムラを抑制するためには、例えばヘッドチップ１００ＢをＺ方向周りに１８０度反転させる必要がある。端部ＴＡにヘッドチップ１００Ａの第５位置付近が位置し、端部ＴＢにヘッドチップ１００Ｂの第５位置付近が位置することによって、Ｙ方向にみて重なる端部ＴＡ及び端部ＴＢにおいて、第１供給側共通液室８１Ａと第１回収側共通液室８２Ａとの圧力差と、第２供給側共通液室８１Ｂと第２回収側共通液室８２Ｂとの圧力差との差を小さくするためである。

【0149】

これに対し、本実施形態の記録ヘッド１０では、次のように流路抵抗が規定されている。
第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向の端までの流路抵抗Ｒα１が第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向の端までの流路抵抗Ｒβ１よりも小さく、且つ、第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向の端までの流路抵抗Ｒα２が第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向の端までの流路抵抗Ｒβ２よりも小さい。そして、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１は、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい。

【0150】

第２導入口５１Ｂから第２供給側共通液室８１ＢのＸ１方向の端までの流路抵抗Ｒα１が第２導入口５１Ｂから第２供給側共通液室８１ＢのＸ２方向の端までの流路抵抗Ｒβ１よりも小さく、且つ、第２導出口５２Ｂから第２回収側共通液室８２ＢのＸ１方向の端までの流路抵抗Ｒα２が第２導出口５２Ｂから第２回収側共通液室８２ＢのＸ２方向の端までの流路抵抗Ｒβ２よりも小さい。そして、第３バイパス流路９３の流路抵抗Ｒｂｐ３は、第４バイパス流路９４の流路抵抗Ｒｂｐ４よりも小さい。

【0151】

このような流路抵抗とすることで、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１供給側共通液室８１Ａ、第１回収側共通液室８２Ａ、第２供給側共通液室８１Ｂ、第２回収側共通液室８２Ｂのそれぞれの圧力差を小さくできる。このため上述したように端部ＴＡと端部ＴＢとをＹ方向にみて重なるようにヘッドチップ１００Ａとヘッドチップ１００Ｂとを配置する際に、隣り合う第１ノズル列２２Ａ、第２ノズル列２２Ｂのつなぎ目である端部ＴＡ及び端部ＴＢにおける印字ムラを抑制するために、ヘッドチップ１００Ａ又はヘッドチップ１００Ｂの何れか一方を反転することを不要とすることができる。

【0152】

なお、第２導入口５１Ｂから第２供給側共通液室８１ＢのＸ１方向の端までの流路抵抗Ｒα１が第２導入口５１Ｂから第２供給側共通液室８１ＢのＸ２方向の端までの流路抵抗Ｒβ１よりも大きく、且つ、第２導出口５２Ｂから第２回収側共通液室８２ＢのＸ１方向の端までの流路抵抗Ｒα２が第２導出口５２Ｂから第２回収側共通液室８２ＢのＸ２方向の端までの流路抵抗Ｒβ２よりも大きい場合、第３バイパス流路９３の流路抵抗Ｒｂｐ３は、第４バイパス流路９４の流路抵抗Ｒｂｐ４よりも大きくすることが好ましい。換言すれば、第２導入口５１Ｂが第２供給側共通液室８１ＢのＸ１方向に関する中心に対してＸ２方向に配置され、且つ、第２導出口５２Ｂが第２回収側共通液室８２ＢのＸ１方向に関する中心に対してＸ２方向に配置される場合、第３バイパス流路９３の流路抵抗Ｒｂｐ３は、第４バイパス流路９４の流路抵抗Ｒｂｐ４よりも大きくすることが好ましい。このような場合であっても、端部ＴＡと端部ＴＢとをＹ方向にみて重なるようにヘッドチップ１００Ａとヘッドチップ１００Ｂとを配置する際に、隣り合う第１ノズル列２２Ａ、第２ノズル列２２Ｂのつなぎ目である端部ＴＡ及び端部ＴＢにおける印字ムラを抑制するために、ヘッドチップ１００Ａ又はヘッドチップ１００Ｂの何れか一方を反転することを不要とすることができる。

【0153】

また、本実施形態では、ヘッドチップ１００Ａの第１ノズル列２２ＡのＸ２方向側の端部ＴＡと、ヘッドチップ１００Ｂの第２ノズル列２２ＢのＸ１方向側の端部ＴＢとが、媒体Ｓの搬送方向に見て重なるようにヘッドチップ１００Ａとヘッドチップ１００Ｂとを配置したが、これには限られない。例えば、ヘッドチップ１００Ａの第１ノズル列２２ＡのＸ１方向側の端部と、ヘッドチップ１００Ｂの第２ノズル列２２ＢのＸ２方向側の端部とが、媒体Ｓの搬送方向に見て重なるようにヘッドチップ１００Ａとヘッドチップ１００Ｂとを配置してもよい。この場合、ヘッドチップ１００Ａの第１ノズル列２２ＡのＸ１方向側の端部が、つなぎ目である端部ＴＡとなり、ヘッドチップ１００Ｂの第２ノズル列２２ＢのＸ２方向側の端部が、つなぎ目である端部ＴＢとなる。

【0154】

〈実施形態２〉
図１２は、ヘッドチップ１００に形成されるインクの流路の平面図であり、図１３は図１２のＥ－Ｅ線断面図である。なお実施形態１と同一の部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また以下の説明はヘッドチップ１００Ａについての説明であるが、ヘッドチップ１００Ｂについても同様であるので重複する説明は省略する。

【0155】

第１導入口５１Ａは、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向に関する中央に配置され、第１導出口５２Ａは、第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向に関する中央に配置されている。本実施形態では、第１導入口５１Ａは、第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向に関する中心に配置され、第１導出口５２Ａは、第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向に関する中心に配置されている。

【0156】

第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向に関する中央とは、第１供給側共通液室８１Ａを長手方向であるＸ１方向に関して三分割したときの中央の領域であり、より好ましくは、第１供給側共通液室８１ＡをＸ１方向に関して五分割したときの中央の領域であり、更に好ましくは第１供給側共通液室８１ＡをＸ１方向に関して十分割したときの中央の領域である。

【0157】

第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向に関する中央とは、第１回収側共通液室８２Ａを長手方向であるＸ１方向に関して三分割したときの中央の領域であり、より好ましくは、第１回収側共通液室８２ＡをＸ１方向に関して五分割したときの中央の領域であり、更に好ましくは第１回収側共通液室８２ＡをＸ１方向に関して十分割したときの中央の領域である。

【0158】

第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗をγ１とする。第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗をδ１とする。流路抵抗γ１は、流路抵抗δ１よりも小さい。

【0159】

このような流路抵抗γ１と流路抵抗δ１の関係を満たす一例として、本実施形態の第１供給側共通液室８１Ａは、Ｘ方向に垂直な断面形状がＸ方向に亘って変化するように形成されている。すなわち、Ｘ２方向からＸ１方向に向けて断面形状が拡大するように形成されている。

【0160】

第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗をγ２とする。第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗をδ２とする。流路抵抗γ２は、流路抵抗δ２よりも小さい。

【0161】

このような流路抵抗γ２と流路抵抗δ２の関係を満たす一例として、本実施形態の第１回収側共通液室８２Ａは、Ｘ方向に垂直な断面形状がＸ方向に亘って変化するように形成されている。すなわち、Ｘ２方向からＸ１方向に向けて断面形状が拡大するように形成されている。

【0162】

もちろん、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの形状は例示したものに限定されない。流路の長さ、流路の経路、流路の断面形状など流路抵抗に影響を与える各種要因を適宜設定することで、流路抵抗γ１及び流路抵抗γ２を流路抵抗δ１及び流路抵抗δ２より小さくすることができる。

【0163】

実施形態１と同様に、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１は、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい。また、流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２は次の式（３）、式（４）を満たすことが好ましい。なお、≒は、左辺の値が、右辺の値に対して±１０％以内の値であることを意味する。

【0164】

【数2】

【0165】

第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の端までの単位長さあたりの平均の流路抵抗γ１は、第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向側の端までの単位長さあたりの平均の流路抵抗δ１よりも小さい。
第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向側の端までの単位長さあたりの平均の流路抵抗γ２は、第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向側の端までの単位長さあたりの平均の流路抵抗δ２よりも小さい。
つまり、第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ１方向側の端までの流路抵抗は、第１導入口５１Ａから第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向側の端までの流路抵抗よりも小さく、第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ１方向側の端までの流路抵抗は、第１導出口５２Ａから第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向側の端までの流路抵抗よりも小さい。
そして、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１は、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい。

【0166】

このような流路抵抗の関係を満たす記録ヘッド１０は、比較例の記録ヘッドと比べて、それぞれの記録ヘッドに同じ流量のインクを循環させている場合において、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａのそれぞれにおける圧力差を小さくすることができる。本実施形態でいう比較例の記録ヘッドとは、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とが同じであり、それ以外の構成が本実施形態の記録ヘッド１０と同じである記録ヘッドをいう。

【0167】

図１４に本実施形態の記録ヘッド１０の第１供給側共通液室８１Ａ内の圧力分布と、比較例の記録ヘッドの第１供給側共通液室８１Ａ内の圧力分布を示す。図１４の縦軸は圧力を示している。第１供給側共通液室８１Ａのインクの圧力は、正圧であり横軸よりも上方に示されている。第１回収側共通液室８２Ａのインクの圧力は、負圧であり横軸よりも下方に示されている。

【0168】

図１４の横軸の「１」から「５」の数字は、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における位置である第１位置から第５位置を示している。第１位置は、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの夫々のＸ１方向の端となる位置を表わす。第５位置は、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの夫々のＸ２方向の端となる位置を表わす。第３位置は、Ｘ方向における第１導入口５１Ａ及び第１導出口５２Ａの位置を表わす。第２位置は、第１位置と第３位置との間を二等分した位置を表わす。第４位置は、第３位置と第５位置との間を二等分した位置を表わす。

【0169】

比較例の記録ヘッドの第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力は鎖線で示され、本実施形態の記録ヘッド１０の第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力は実線で示されている。

【0170】

比較例の記録ヘッドは、第１導入口５１Ａから第１位置までの流路抵抗Ｒα１、及び第１導入口５１Ａから第５位置までの流路抵抗Ｒβ１は、本実施形態の記録ヘッド１０のものと同じである。流路抵抗Ｒα２及び流路抵抗Ｒβ２についても同様である。また、比較例の記録ヘッドは、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とは同じである。

【0171】

本実施形態の記録ヘッド１０及び比較例の記録ヘッドにおける第１供給側共通液室８１Ａの最大圧力及び最小圧力は次の通りである。本実施形態の記録ヘッド１０及び比較例の記録ヘッドにおける第１供給側共通液室８１Ａの最大圧力は、第１供給側共通液室８１Ａの第１導入口５１Ａが設けられた位置における圧力である。比較例の記録ヘッドでは、第１導入口５１Ａは第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向に関して中心に位置しているが、断面形状がＸ２方向からＸ１方向へ向けて大きくなるように変化しているため、第１供給側共通液室８１Ａの両端の位置における圧力は相違しており、第１供給側共通液室８１ＡのＸ２方向側の先端の位置である第５位置における圧力が最小圧力となっている。

【0172】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０では、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２より小さいため、第１供給側共通液室８１Ａの第１位置における圧力と第５位置における圧力との差が小さくなっている。そのため、実施形態１と同様に、流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２との比に応じて、第１供給側共通液室８１Ａの第１位置における圧力、第５位置における圧力、及び、第１位置及び第５位置における双方における圧力、の何れかが第１供給側共通液室８１Ａの最小圧力となる。本実施形態においては、第１供給側共通液室８１Ａの第５位置における圧力が第１供給側共通液室８１Ａの最小圧力となっている。

【0173】

本実施形態の記録ヘッド１００及び比較例の記録ヘッドにおける第１回収側共通液室８２Ａの最大圧力及び最小圧力は次の通りである。本実施形態の記録ヘッド１０及び比較例の記録ヘッドにおける第１回収側共通液室８２Ａの最小圧力とは、第１回収側共通液室８２Ａの第１導出口５２Ａが設けられた位置における圧力である。比較例の記録ヘッドでは、第１導出口５２Ａは第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向に関して中心に位置しているが、断面形状がＸ２方向からＸ１方向へ向けて大きくなるように変化しているため、第１回収側共通液室８２Ａの両端の位置における圧力は相違しており、第１回収側共通液室８２ＡのＸ２方向側の先端の位置である第５位置における圧力が最大圧力となっている。

【0174】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０では、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２より小さいため、第１回収側共通液室８２Ａの第１位置における圧力と第５位置における圧力との差が小さくなっている。そのため、実施形態１と同様に、流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２との比に応じて、第１回収側共通液室８２Ａの第１位置における圧力、第５位置における圧力、及び、第１位置及び第５位置における双方における圧力、の何れかが第１回収側共通液室８２Ａの最大圧力となる。本実施形態においては、第１回収側共通液室８２Ａの第５位置における圧力が、第１回収側共通液室８２Ａの最大圧力となっている。

【0175】

このような比較例の記録ヘッドにおける第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力差は次の通りである。
第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差、すなわち第１位置における圧力と第５位置における圧力の差をΔＰsup（１,５）とする。
第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における最大圧力と最小圧力との圧力差、すなわち第３位置における圧力と第５位置における圧力の差をΔＰsup（３,５）とする。
第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差、すなわち第１位置における圧力と第５位置における圧力の差をΔＰcol（１,５）とする。
第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における最大圧力と最小圧力との圧力差、すなわち第３位置における圧力と第５位置における圧力の差をΔＰcol（３,５）とする。

【0176】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１導入口５１Ａから第１位置までの流路抵抗Ｒα１は、第１導入口５１Ａから第５位置までの流路抵抗Ｒβ１よりも小さい。第１導出口５２Ａから第１位置までの流路抵抗Ｒα２は、第１導出口５２Ａから第５位置までの流路抵抗Ｒβ２よりも小さい。また、第１バイパス流路９１の流路抵抗Ｒｂｐ１と、第２バイパス流路９２の流路抵抗Ｒｂｐ２とは異なり、流路抵抗Ｒｂｐ１は流路抵抗Ｒｂｐ２より小さい。

【0177】

このような本実施形態の記録ヘッド１０における第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力差は次の通りである。
第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差、すなわち第１位置における圧力と第５位置における圧力の差をδＰsup（１,５）とする。
第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向における最大圧力と最小圧力との圧力差、すなわち第３位置における圧力と第５位置における圧力の差をδＰsup（３,５）とする。
第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における一端と他端との圧力差、すなわち第１位置における圧力と第５位置における圧力の差をδＰcol（１,５）とする。
第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向における最大圧力と最小圧力との圧力差、すなわち第３位置における圧力と第５位置における圧力の差をδＰcol（３,５）とする。

【0178】

図１４に示す通り、比較例の記録ヘッドは、第１導入口５１Ａが第１供給側共通液室８１ＡのＸ方向に関して領域Ａ２の中心に配置されている。第１供給側共通液室８１Ａ内では、最も圧力が高い第３位置からＸ２方向に離れるほどインクの圧力が低下している。

【0179】

一方、流路抵抗Ｒｂｐ１が流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さくなるようにした第１バイパス流路９１及び第２バイパス流路９２を設けることで、図１４に示す通り、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１供給側共通液室８１Ａ内においても第３位置からＸ２方向に離れるほどインクの圧力が低下しているものの、低下の度合いは比較例の記録ヘッドよりも小さい。

【0180】

また、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１供給側共通液室８１Ａ内において第３位置からＸ１方向に離れるほどインクの圧力が低下しており、低下の度合いは比較例の記録ヘッドよりも大きいものの、上述した圧力差としては小さくなっている。

【0181】

まとめると、本実施形態の記録ヘッド１０と比較例の記録ヘッドの第１供給側共通液室８１Ａにおける圧力差は、次のような関係にある。δＰsup（１,５）はΔＰsup（１,５）よりも小さく、δＰsup（３,５）はΔＰsup（３,５）よりも小さい。

【0182】

第１回収側共通液室８２Ａの圧力差についても同様である。比較例の記録ヘッドは、第１導出口５１Ａが第１回収側共通液室８２ＡのＸ方向に関して領域Ａ２の中心に配置されている。第１回収側共通液室８２Ａ内では、最も圧力が高い第３位置からＸ２方向に離れるほどインクの圧力が上昇している。

【0183】

一方、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１回収側共通液室８２Ａ内において第３位置からＸ２方向に離れるほどインクの圧力が増加しているものの、増加の度合いは比較例の記録ヘッドよりも小さい。

【0184】

また、本実施形態の記録ヘッド１０は、第１回収側共通液室８２Ａ内において第３位置からＸ１方向に離れるほどインクの圧力が増加しており、増加の度合いは比較例の記録ヘッドよりも大きいものの、上述した圧力差としては小さくなっている。

【0185】

まとめると、本実施形態の記録ヘッド１０と比較例の記録ヘッドの第１回収側共通液室８２Ａにおける圧力差は、次のような関係にある。δＰcol（１,５）はΔＰcol（１,５）よりも小さく、δＰcol（３,５）はΔＰcol（３,５）よりも小さい。

【0186】

このような本実施形態の記録ヘッド１０は、実施形態１と同様の作用効果を奏する。すなわち、本実施形態の記録ヘッド１０は、流路抵抗Ｒｂｐ１と流路抵抗Ｒｂｐ２が同じ記録ヘッドと比較して、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａのそれぞれの圧力差を小さくすることができる。そして、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａの圧力差を小さくできることから、第１ノズル２１Ａ毎に流れる流量のバラツキの大小を緩和することができ、また、第１ノズル毎に液体の粘度にバラつきが生じることを抑制することができる。

【0187】

また、実施形態１と同様に、印字ムラを抑制するために、本実施形態の記録ヘッド１０においてヘッドチップ１００Ａ又はヘッドチップ１００Ｂの何れか一方をＺ方向周りに１８０度反転させることは不要である。

【0188】

なお、第２導入口５１Ｂから第２供給側共通液室８１ＢのＸ１方向の端までの流路抵抗が第２導入口５１Ｂから第２供給側共通液室８１ＢのＸ２方向の端までの流路抵抗よりも大きく、且つ、第２導出口５２Ｂから第２回収側共通液室８２ＢのＸ１方向の端までの流路抵抗が第２導出口５２Ｂから第２回収側共通液室８２ＢのＸ２方向の端までの流路抵抗よりも大きい場合、第３バイパス流路９３の流路抵抗Ｒｂｐ３は、第４バイパス流路９４の流路抵抗Ｒｂｐ４よりも大きくすることが好ましい。換言すれば、第２導入口５１Ｂから第２供給側共通液室８１ＢのＸ１方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗が、第２導入口５１Ｂから第２供給側共通液室８１ＢのＸ２方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗よりも大きく、且つ、第２導出口５２Ｂから第２回収側共通液室８２ＢのＸ１方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗が、第２導出口５２Ｂから第２回収側共通液室８２ＢのＸ２方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗よりも大きい場合、第３バイパス流路９３の流路抵抗Ｒｂｐ３は、第４バイパス流路９４の流路抵抗Ｒｂｐ４よりも大きくすることが好ましい。このような場合であっても、端部ＴＡと端部ＴＢとをＹ方向にみて重なるようにヘッドチップ１００Ａとヘッドチップ１００Ｂとを配置する際に、隣り合う第１ノズル列２２Ａ、第２ノズル列２２Ｂのつなぎ目である端部ＴＡ及び端部ＴＢにおける印字ムラを抑制するために、ヘッドチップ１００Ａ又はヘッドチップ１００Ｂの何れか一方を反転することを不要とすることができる。

【0189】

〈実施形態３〉
図１５は、ヘッドチップ１００に形成されるインクの流路の平面図であり、図１６は図１５のＦ－Ｆ線断面図である。なお実施形態１と同一の部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また以下の説明はヘッドチップ１００Ａについての説明であるが、ヘッドチップ１００Ｂについても同様であるので重複する説明は省略する。

【0190】

実施形態１では、第１バイパス流路９１及び第２バイパス流路９２は、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａを形成する連通板３０及びコンプライアンス基板７０によって形成されていたが、このような構成に限定されない。

【0191】

本実施形態の記録ヘッド１０は、第１バイパス流路１９１及び第２バイパス流路１９２を有している。

【0192】

液室形成基板５０には、Ｚ方向に貫通し、第１供給側共通液室８１Ａに連通する第１バイパス流路部１２１が形成されている。また、液室形成基板５０には、Ｚ方向に貫通し、第１回収側共通液室８２Ａに連通する第１バイパス流路部１２５が形成されている。

【0193】

第２流路部材２２０には、Ｚ方向に貫通し、第１バイパス流路部１２１に連通する第１バイパス流路部１２２が形成されている。また、第２流路部材２２０には、Ｚ方向に貫通し、第１バイパス流路部１２５に連通する第１バイパス流路部１２４が形成されている。

【0194】

第２流路部材２２０と、第３流路部材２３０との接合面には、第１バイパス流路部１２３が形成されている。第１バイパス流路部１２３は、第２配線挿通孔２２６及び第３配線挿通孔２３４をＸ１方向へ迂回するようにして第１バイパス流路部１２２及び第１バイパス流路部１２４に接続している。

【0195】

このような第１バイパス流路部１２１、第１バイパス流路部１２２、第１バイパス流路部１２３、第１バイパス流路部１２４、第１バイパス流路部１２５がこの順で連通して第１バイパス流路１９１が形成されている。

【0196】

液室形成基板５０には、Ｚ方向に貫通し、第１供給側共通液室８１Ａに連通する第２バイパス流路部１５１が形成されている。また、液室形成基板５０には、Ｚ方向に貫通し、第１回収側共通液室８２Ａに連通する第２バイパス流路部１５５が形成されている。

【0197】

第２流路部材２２０には、Ｚ方向に貫通し、第２バイパス流路部１５１に連通する第２バイパス流路部１５２が形成されている。また、第２流路部材２２０には、Ｚ方向に貫通し、第２バイパス流路部１５５に連通する第２バイパス流路部１５４が形成されている。

【0198】

第２流路部材２２０と、第３流路部材２３０との接合面には、第２バイパス流路部１５３が形成されている。第２バイパス流路部１５３は、第２配線挿通孔２２６及び第３配線挿通孔２３４をＸ２方向へ迂回するようにして第２バイパス流路部１５２及び第２バイパス流路部１５４に接続している。

【0199】

このような第２バイパス流路部１５１、第２バイパス流路部１５２、第２バイパス流路部１５３、第２バイパス流路部１５４、第２バイパス流路部１５５がこの順で連通して第２バイパス流路１９２が形成されている。

【0200】

このように本実施形態の記録ヘッド１０では、第１バイパス流路１９１及び第２バイパス流路１９２が第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａを構成する連通板３０及びノズル基板２０とは異なる第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０に形成されている。つまり、ヘッドチップ１００Ａには、第１バイパス流路１９１の一部及び第２バイパス流路１９２の一部を備える構成であってもよい。ヘッドチップ１００Ｂについても同様である。

【0201】

また、本実施形態の記録ヘッド１０では、第１バイパス流路１９１の両端の開口は、Ｚ１方向にみてＸ方向に並ぶ第１ノズル列２２Ａの両端の第１ノズル２１Ａよりも内側に位置している。同様に、第２バイパス流路１９２の両端の開口は、Ｚ１方向にみてＸ方向に並ぶ第１ノズル列２２Ａの両端の第１ノズル２１Ａよりも内側に位置している。もちろんこのような構成に限定されず、実施形態１と同様に、第１バイパス流路１９１の両端の開口、及び第２バイパス流路１９２の両端の開口は、Ｚ１方向にみてＸ方向に並ぶ第１ノズル列２２Ａの両端の第１ノズル２１Ａよりも外側に位置していてもよい。

【0202】

第１バイパス流路１９１の流路抵抗Ｒｂｐ１は、第２バイパス流路１９２の流路抵抗Ｒｂｐ２よりも小さい。

【0203】

このような本実施形態の記録ヘッド１０は、実施形態１と同様の作用効果を奏する。また、実施形態１と同様に、印字ムラを抑制するために、本実施形態の記録ヘッド１０においてヘッドチップ１００Ａ又はヘッドチップ１００Ｂの何れか一方をＺ方向周りに１８０度反転させることは不要である。

【0204】

なお、本実施形態のような第１バイパス流路１９１及び第２バイパス流路１９２は、実施形態１や実施形態２、実施形態４の記録ヘッド１０にも適用することができる。

【0205】

〈実施形態４〉
図１７は、ヘッドチップ１００に形成されるインクの流路の平面図である。実施形態１と同一の部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また以下の説明はヘッドチップ１００Ａについての説明であるが、ヘッドチップ１００Ｂについても同様であるので重複する説明は省略する。

【0206】

ヘッドチップ１００Ａは、Ｍ個の第１ノズル２１Ａと１対１に対応するＭ個のノズル流路１３３と、Ｍ個の第１ノズル２１Ａと１対２に対応する２×Ｍ個の第２連通流路３４Ｂと、Ｍ個の第１ノズル２１Ａと１対２に対応する２×Ｍ個の第２連通流路３４Ｃと、Ｍ個の第１ノズル２１Ａと１対２に対応する２×Ｍ個の第２連通流路３４Ａと、Ｍ個の第１ノズル２１Ａと１対２に対応する２×Ｍ個の第２連通流路３４Ｄと、Ｍ個の第１ノズル２１Ａと１対２に対応する２×Ｍ個の第１連通流路３３Ａと、Ｍ個の第１ノズル２１Ａと１対２に対応する２×Ｍ個の第１連通流路３３Ｃと、を備えている。

【0207】

ノズル流路１３３は、Ｘ方向に隣り合う２個の第１圧力室４１のそれぞれに連通する第２連通流路３４Ｂに連通し、それらの２個の第２連通流路３４Ｂを介してＸ方向に隣り合う２個の第１圧力室４１に連通している。

【0208】

ノズル流路１３３は、Ｘ方向に隣り合う２個の第２圧力室４２のそれぞれに連通する第２連通流路３４Ｃに連通し、それらの２個の第２連通流路３４Ｃを介してＸ方向に隣り合う２個の第２圧力室４２に連通している。

【0209】

ノズル流路１３３は、各ノズル流路１３３に対応する第１ノズル２１Ａに連通する。

【0210】

ヘッドチップ１００Ａでは、第１供給側共通液室８１Ａ及び第１回収側共通液室８２Ａは、Ｍ個の第１ノズル２１Ａと１対１に対応するＭ個の第１個別流路６０Ａにより連通している。

【0211】

各第１個別流路６０Ａは、第１供給側共通液室８１Ａに連通し、Ｘ方向に隣り合う２個の第１連通流路３３Ａと、２個の第１連通流路３３Ａにそれぞれに連通したＸ方向に隣り合う２個の第１圧力室４１と、Ｘ方向に隣り合う２個の第１圧力室４１のそれぞれに連通したＸ方向に隣り合う第２連通流路３４Ｂと、Ｘ方向に隣り合う２個の第２連通流路３４Ｂに連通するノズル流路１３３と、ノズル流路１３３に連通し、Ｘ方向に隣り合う２個の第２連通流路３４Ｃと、Ｘ方向に隣り合う２個の第２連通流路３４Ｃのそれぞれに連通したＸ方向に隣り合う２個の第２圧力室４２と、Ｘ方向に隣り合う２個の第２圧力室４２にそれぞれ連通したＸ方向に隣り合う２個の第２連通流路３４Ｄと、Ｘ方向に隣り合う２個の第２連通流路３４Ｄにそれぞれ連通したＸ方向に隣り合う２個の第１連通流路３３Ｃと、を含む。

【0212】

このように、本実施形態の記録ヘッド１０では、１個の第１個別流路６０Ａは１個の第１ノズル２１Ａに連通し、その第１ノズル２１Ａに連通する複数の第１圧力室４１及び第２圧力室４２を備えている。

【0213】

このような本実施形態の記録ヘッド１０は、実施形態１と同様の作用効果を奏する。また、実施形態１と同様に、印字ムラを抑制するために、本実施形態の記録ヘッド１０においてヘッドチップ１００Ａ又はヘッドチップ１００Ｂの何れか一方をＺ方向周りに１８０度反転させることは不要である。

【0214】

なお、本実施形態のような第１個別流路６０Ａは、実施形態１から実施形態３の記録ヘッド１０にも適用することができる。

【0215】

〈他の実施形態〉
上記実施形態においては、液体吐出ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体吐出ヘッドを対象としたものであり、インク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッドにも適用することができる。その他の液体吐出ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

【0216】

上記実施形態において、圧力室に圧力変化を生じさせる駆動素子として圧電アクチュエーターを用いて説明したが、特にこれに限定されない。例えば、駆動素子として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルからインク滴を吐出させるものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

【0217】

（付記）
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。

【0218】

好適な態様である態様１は、液体を噴射する複数の第１ノズルが第１方向に並ぶことで構成された第１ノズル列と、前記複数の第１ノズルの夫々に連通する複数の第１個別流路と、前記複数の第１個別流路に接続され、前記複数の第１個別流路を介して前記複数の第１ノズルへ液体を供給するための第１供給側共通液室と、前記複数の第１個別流路に接続され、前記複数の第１個別流路を介して前記複数の第１ノズルから排出されなかった液体を回収するための第１回収側共通液室と、前記第１供給側共通液室へ液体を供給するための第１導入口と、前記第１回収側共通液室から液体を排出するための第１導出口と、前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端部と前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端部とを接続する第１バイパス流路と、前記第１供給側共通液室の前記第１方向とは反対方向である第２方向の端部と前記第１回収側共通液室の前記第２方向の端部とを接続する第２バイパス流路と、を備え、前記第１導入口は、前記第１方向に関して前記第１バイパス流路と前記第２バイパス流路との間に配置され、前記第１導出口は、前記第１方向に関して前記第１バイパス流路と前記第２バイパス流路との間に配置され、前記第１バイパス流路の流路抵抗と前記第２バイパス流路の流路抵抗とは、異なる、ことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

【0219】

このような構成によれば、第１供給側共通液室及び第１回収側共通液室の両端に配置された第１バイパス流路と第２バイパス流路の流路抵抗を相違させることで、第１供給側共通液室及び第１回収側共通液室の夫々における圧力差の小さくすることができる。また、第１ノズル毎に流れる液体の流量のバラツキの大小を緩和することができる。このように液体の流量のバラツキの大小が緩和されるので、第１ノズル毎に液体の粘度にバラつきが生じることを抑制することができる。

【0220】

態様１の具体例である態様２は、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端までの流路抵抗は、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第２方向の端までの流路抵抗よりも小さく、前記第１導出口から前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端までの流路抵抗は、前記第１導出口から前記第１回収側共通液室の前記第２方向の端までの流路抵抗よりも小さく、前記第１バイパス流路の流路抵抗は、前記第２バイパス流路の流路抵抗よりも小さいことが好ましい。このような構成とすることで、第１バイパス流路と第２バイパス流路の流路抵抗を同じにした構成と比較して、第１供給側共通液室及び第１回収側共通液室の夫々における圧力差を小さくすることができる。また、第１ノズル毎に流れる液体の流量のバラツキの大小を緩和することができる。このように液体の流量のバラツキの大小が緩和されるので、第１ノズル毎に液体の粘度にバラつきが生じることを抑制することができる。

【0221】

態様１の具体例である態様３は、前記第１導入口は、前記第１供給側共通液室の前記第１方向に関する中心に対して前記第１方向に配置され、前記第１導出口は、前記第１回収側共通液室の前記第１方向に関する中心に対して前記第１方向に配置され、前記第１バイパス流路の流路抵抗は、前記第２バイパス流路の流路抵抗よりも小さいことが好ましい。このような構成とすることで、第１バイパス流路と第２バイパス流路の流路抵抗を同じにした構成と比較して、同じ流量で液体を循環させている場合において、より一層、第１供給側共通液室及び第１回収側共通液室の夫々における圧力差を低減することができる。

【0222】

態様３の具体例である態様４は、前記第１導入口は、前記第１供給側共通液室を前記第１方向に関して３分割した領域のうち、前記第１方向側に位置する前記領域に配置され、前記第１導出口は、前記第１回収側共通液室を前記第１方向に関して３分割した領域のうち、前記第１方向側に位置する前記領域に配置されることが好ましい。このような構成では、第１導入口は、第１供給側共通液室の第１方向側の端部に偏って配置され、第１導出口は、第１回収側共通液室の第１方向側の端部に偏って配置される。このような第１導入口及び第１導出口の配置では、第１供給側共通液室のＸ方向の両端の圧力差がより大きくなるので、第１バイパス流路の流路抵抗を第２バイパス流路の流路抵抗よりも小さくすることによる圧力差を低減させる効果が顕著となる。

【0223】

態様３の具体例である態様５は、前記第１導入口は、前記第１供給側共通液室を前記第１方向に関して５分割した領域のうち、前記第１方向側に位置する前記領域に配置され、前記第１導出口は、前記第１回収側共通液室を前記第１方向に関して５分割した領域のうち、前記第１方向側に位置する前記領域に配置されることが好ましい。このような構成では、第１導入口は、第１供給側共通液室の第１方向側の端部に偏って配置され、第１導出口は、第１回収側共通液室の第１方向側の端部に偏って配置される。このような第１導入口及び第１導出口の配置では、第１供給側共通液室のＸ方向の両端の圧力差がより大きくなるので、第１バイパス流路の流路抵抗を第２バイパス流路の流路抵抗よりも小さくすることによる圧力差を低減させる効果がより一層顕著となる。

【0224】

態様３の具体例である態様６は、前記第１方向に関して前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端までの距離をαとし、前記第１方向に関して前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第２方向の端までの距離をβとし、前記第１バイパス流路の流路抵抗をRbp1とし、前記第２バイパス流路の流路抵抗をRbp2としたとき、Rbp1≒Rbp2×α/βを満たすことが好ましい。

【0225】

態様１の具体例である態様７は、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗は、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第２方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗よりも小さく、前記第１導出口から前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗は、前記第１導出口から前記第１回収側共通液室の前記第２方向の端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗よりも小さく、前記第１バイパス流路の流路抵抗は、前記第２バイパス流路の流路抵抗よりも小さい。第１バイパス流路と第２バイパス流路の流路抵抗を同じにした構成と比較して、第１供給側共通液室及び第１回収側共通液室の夫々における圧力差を緩和することができる。また、第１ノズル毎に流れる液体の流量のバラツキの大小を緩和することができる。このように液体の流量のバラツキの大小が緩和されるので、第１ノズル毎に液体の粘度にバラつきが生じることを抑制することができる。

【0226】

態様７の具体例である態様８は、前記第１導入口は、前記第１供給側共通液室の前記第１方向に関する中央に配置され、前記第１導出口は、前記第１回収側共通液室の前記第１方向に関する中央に配置されることが好ましい。

【0227】

態様７又は態様８の具体例である態様９は、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第１方向の前記端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗をγとし、前記第１導入口から前記第１供給側共通液室の前記第２方向の前記端までの単位長さ当たりの平均の流路抵抗をδとし、前記第１バイパス流路の流路抵抗をRbp1とし、前記第２バイパス流路の流路抵抗をRbp2としたとき、Rbp1≒Rbp2×γ/δを満たすことが好ましい。

【0228】

態様１～９の何れかの具体例である態様１０は、前記第１供給側共通液室の一部を画定し、可撓性を有する供給側可撓性部材と、前記第１回収側共通液室の一部を画定し、可撓性を有する回収側可撓性部材とを備えることが好ましい。このような構成では、供給側可撓性部材及び回収側可撓性部材の夫々が撓む挙動が均一化されるため各第１ノズルへの圧力変動の影響も均一に低減され、印字ムラもより一層抑制される。

【0229】

態様１～１０の何れかの具体例である態様１１は、前記第１導入口と前記第１供給側共通液室の前記第１方向の端との距離と、前記第１導出口と前記第１回収側共通液室の前記第１方向の端との距離とは、略同じであることが好ましい。

【0230】

態様１～１１の何れかの具体例である態様１２は、液体を噴射する複数の第２ノズルが前記第１方向に並ぶことで構成された第２ノズル列と、前記複数の第２ノズルの夫々に連通する複数の第２個別流路と、前記複数の第２個別流路に接続され、前記複数の第２個別流路を介して前記複数の第２ノズルへ液体を供給するための第２供給側共通液室と、前記複数の第２個別流路に接続され、前記複数の第２個別流路を介して前記複数の第２ノズルから排出されなかった液体を回収するための第２回収側共通液室と、前記第２供給側共通液室へ液体を供給するための第２導入口と、前記第２回収側共通液室から液体を排出するための第２導出口と、前記第２供給側共通液室の前記第１方向の端部と前記第２回収側共通液室の前記第１方向の端部とを接続する第３バイパス流路と、前記第２供給側共通液室の前記第２方向の端部と前記第２回収側共通液室の前記第２方向の端部とを接続する第４バイパス流路と、を備え、前記第２導入口は、前記第１方向に関して前記第３バイパス流路と前記第４バイパス流路との間に配置され、前記第２導出口は、前記第１方向に関して前記第３バイパス流路と前記第４バイパス流路との間に配置され、前記液体噴射ヘッドに対向する媒体の搬送方向に見て、前記第１ノズル列の前記第２方向の端部と前記第２ノズル列の前記第１方向の端部とが重なる、又は、前記第１ノズル列の前記第１方向の端部と前記第２ノズル列の前記第２方向の端部とが重なり、前記第２導入口から前記第２供給側共通液室の前記第１方向の端までの流路抵抗が前記第２導入口から前記第２供給側共通液室の前記第２方向の端までの流路抵抗よりも小さく、且つ、前記第２導出口から前記第２回収側共通液室の前記第１方向の端までの流路抵抗が前記第２導出口から前記第２回収側共通液室の前記第２方向の端までの流路抵抗よりも小さい場合、前記第３バイパス流路の流路抵抗は、前記第４バイパス流路の流路抵抗よりも小さく、前記第２導入口から前記第２供給側共通液室の前記第１方向の前記端までの流路抵抗が前記第２導入口から前記第２供給側共通液室の前記第２方向の前記端までの流路抵抗よりも大きく、且つ、前記第２導出口から前記第２回収側共通液室の前記第１方向の前記端までの流路抵抗が前記第２導出口から前記第２回収側共通液室の前記第２方向の前記端までの流路抵抗よりも大きい場合、前記第３バイパス流路の流路抵抗は、前記第４バイパス流路の流路抵抗よりも大きいことが好ましい。

【0231】

このような構成では、隣り合う第１ノズル列、第２ノズル列のつなぎ目における印字ムラを抑制するために、液体を吐出する構造体を反転して配置することが不要となる。

【0232】

なお、構造体とは、上記に示した実施形態のヘッドチップ１００Ａ及びヘッドチップ１００Ｂに相当し、少なくとも、第１ノズル列と、第１個別流路と、第１供給側共通液室と、第１回収側共通液室と、第１導入口と、第１導出口と、第１バイパス流路の少なくとも一部と、第２バイパス流路の少なくとも一部と、を備えた装置、又は第２ノズル列と、第２個別流路と、第２供給側共通液室と、第２回収側共通液室と、第２導入口と、第２導出口と、第３バイパス流路の少なくとも一部と、第４バイパス流路の少なくとも一部と、を備えた装置である。

【0233】

態様１から態様１２の何れかの具体例である態様１３は、上述の液体噴射ヘッドと、液体を貯留する液体貯留部を含み、前記液体噴射ヘッドと前記液体貯留部との間で液体を循環させるための循環機構と、を備えることを特徴とする液体噴射装置にある。

【符号の説明】

【0234】

１…記録装置（液体噴射装置）、２…液体容器、１０…記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２１Ａ…第１ノズル、２１Ｂ…第２ノズル、２２Ａ…第１ノズル列、２２Ｂ…第２ノズル列、５１Ａ…第１導入口、５１Ｂ…第２導入口、５２Ａ…第１導出口、５２Ｂ…第２導出口、６０Ａ…第１個別流路、６０Ｂ…第２個別流路、７０…コンプライアンス基板、７３…第１コンプライアンス部（供給側可撓性部材）、７４…第２コンプライアンス部（回収側可撓性部材）、８１Ａ…第１供給側共通液室、８１Ｂ…第２供給側共通液室、８２Ａ…第１回収側共通液室、８２Ｂ…第２回収側共通液室、９１、１９１…第１バイパス流路、９２、１９２…第２バイパス流路、９３…第３バイパス流路、９４…第４バイパス流路、１００…ヘッドチップ、５００…循環機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】