特開 2024-48630 振動素子、及び水晶ウエハ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024048630

(43)【公開日】2024-04-09

(54)【発明の名称】振動素子、及び水晶ウエハ

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/19 20060101AFI20240402BHJP

【ＦＩ】

H03H9/19 F

H03H9/19 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022154649

(22)【出願日】2022-09-28

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】松尾 敦司

(72)【発明者】

【氏名】牧 克彦

【テーマコード（参考）】

5J108

【Ｆターム（参考）】

5J108BB02

5J108CC04

5J108DD02

5J108FF07

5J108KK02

(57)【要約】

【課題】良好な振動特性を維持することが可能な振動素子、及び水晶ウエハを提供する。
【解決手段】水晶結晶のＸ軸及びＺ’軸に沿っており、表裏関係にある第１面１１と第２面１２、及び、第１面１１と第２面１２とを繋いでいる側面を備えたＡＴカット水晶基板と、第１面１１に配置された第１励振電極２１と、第１面１１に配置され、第１励振電極２１に接続された第１引出電極２３と、第２面１２に配置された第２励振電極と、第２面１２に配置され、第２励振電極に接続された第２引出電極２４と、を備え、側面は、Ｘ軸の方向における一方側に位置する第１側面１３と、第１側面１３に対して交差する第２側面１４及び第３側面１５と、を含み、第１引出電極２３及び第２引出電極２４の少なくとも一方は、第１側面１３に延在して配置されており、第２側面１４及び第３側面１５の少なくとも一方が、破断面を有する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

水晶結晶のＸ軸及びＺ’軸に沿っており、表裏関係にある第１面と第２面、及び、前記第１面と前記第２面とを繋いでいる側面を備えたＡＴカット水晶基板と、
前記第１面に配置された第１励振電極と、
前記第１面に配置され、前記第１励振電極に接続された第１引出電極と、
前記第２面に配置された第２励振電極と、
前記第２面に配置され、前記第２励振電極に接続された第２引出電極と、
を備え、
前記側面は、前記Ｘ軸の方向における一方側に位置する第１側面と、前記第１側面に対して交差する第２側面及び第３側面と、を含み、
前記第１引出電極及び前記第２引出電極の少なくとも一方は、前記第１側面に延在して配置されており、
前記第２側面及び前記第３側面の少なくとも一方が、破断面を有する、振動素子。

【請求項2】

請求項１に記載の振動素子であって、
前記第２側面及び前記第３側面が、前記破断面を有する、振動素子。

【請求項3】

請求項１に記載の振動素子であって、
前記第１引出電極及び前記第２引出電極は、前記第１側面に延在しており、
前記第２側面及び前記第３側面は、前記破断面を有する、振動素子。

【請求項4】

水晶結晶のＸ軸及びＺ’軸に沿っており、表裏関係にある第１面と第２面、及び、前記第１面と前記第２面とを繋いでいる側面を備えたＡＴカット水晶基板と、前記第１面に配置された第１励振電極と、前記第１面に配置され、前記第１励振電極に接続された第１引出電極と、前記第２面に配置された第２励振電極と、前記第２面に配置され、前記第２励振電極に接続された第２引出電極と、を備えた、複数の振動素子と、
支持フレームと、
前記振動素子と前記支持フレームとを接続する複数の保持部と、
を備え、
前記振動素子の前記側面は、前記Ｘ軸の方向における一方側に位置する第１側面と、前記第１側面に対して交差する第２側面及び第３側面と、を含み、
前記第１引出電極及び前記第２引出電極の少なくとも一方は、前記第１側面に延在して配置されており、
前記保持部は、前記第２側面及び前記第３側面の少なくとも一方の側に配置されている水晶ウエハ。

【請求項5】

請求項４に記載の水晶ウエハであって、
前記保持部は、前記振動素子における、前記第２側面側及び前記第３側面側に配置されている、水晶ウエハ。

【請求項6】

請求項４に記載の水晶ウエハであって、
前記第１引出電極及び前記第２引出電極は、前記第１側面に延在しており、
前記保持部は、前記第２側面側及び前記第３側面側に配置されている、水晶ウエハ。

【請求項7】

請求項４乃至請求項６のいずれか一項に記載の水晶ウエハであって、
前記保持部の前記第１側面に対して交差する方向に沿った幅は、前記振動素子と接続した部分が最も細い、水晶ウエハ。

【請求項8】

請求項４乃至請求項６のいずれか一項に記載の水晶ウエハであって、
前記保持部の前記第１面及び前記第２面に対して交差する部分の厚みは、前記振動素子と接続された部分が最も薄い、水晶ウエハ。

【請求項9】

請求項４乃至請求項６のいずれか一項に記載の水晶ウエハであって、
前記保持部の前記振動素子と接続された部分は、凹溝又は貫通孔を有する、水晶ウエハ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動素子、及び水晶ウエハに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、折り取り部を介して複数の振動片が支持フレームに接続されたウエハにおいて、折り取り部を切断することによって、複数の振動片を個片化することが開示されている。ウエハは、励振電極と、励振電極と接続された引出電極と、を備える。引出電極は、折り取り部が形成された側面を介して、引き回されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－１５２４７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、引出電極と折り取り部とが同じ側面にあるため、振動片を個片化した際、引出電極の引き回された部分が剥離する恐れがある。更に、振動片の滑り振動する方向に折り取り部がある場合、切断によってバリなどが形成されると、振動特性に影響を及ぼすという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

振動素子は、水晶結晶のＸ軸及びＺ’軸に沿っており、表裏関係にある第１面と第２面、及び、前記第１面と前記第２面とを繋いでいる側面を備えたＡＴカット水晶基板と、前記第１面に配置された第１励振電極と、前記第１面に配置され、前記第１励振電極に接続された第１引出電極と、前記第２面に配置された第２励振電極と、前記第２面に配置され、前記第２励振電極に接続された第２引出電極と、を備え、前記側面は、前記Ｘ軸の方向における一方側に位置する第１側面と、前記第１側面に対して交差する第２側面及び第３側面と、を含み、前記第１引出電極及び前記第２引出電極の少なくとも一方は、前記第１側面に延在して配置されており、前記第２側面及び前記第３側面の少なくとも一方が、破断面を有する。

【0006】

水晶ウエハは、水晶結晶のＸ軸及びＺ’軸に沿っており、表裏関係にある第１面と第２面、及び、前記第１面と前記第２面とを繋いでいる側面を備えたＡＴカット水晶基板と、前記第１面に配置された第１励振電極と、前記第１面に配置され、前記第１励振電極に接続された第１引出電極と、前記第２面に配置された第２励振電極と、前記第２面に配置され、前記第２励振電極に接続された第２引出電極と、を備えた、複数の振動素子と、支持フレームと、前記振動素子と前記支持フレームとを接続する複数の保持部と、を備え、前記振動素子の前記側面は、前記Ｘ軸の方向における一方側に位置する第１側面と、前記第１側面に対して交差する第２側面及び第３側面と、を含み、前記第１引出電極及び前記第２引出電極の少なくとも一方は、前記第１側面に延在して配置されており、前記保持部は、前記第２側面及び前記第３側面の少なくとも一方の側に配置されている。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】振動素子を有する水晶ウエハの構成を示す平面図。

【図2】図１に示す水晶ウエハのＡ部を拡大して示す平面図。

【図3】振動素子の構成を示す平面図。

【図4】振動素子の構成を示す斜視図。

【図5】振動素子の製造方法の一部を示す平面図。

【図6】振動素子の製造方法の一部を示す斜視図。

【図7】振動素子の製造方法の一部を示す斜視図。

【図8】変形例の水晶ウエハの構成を示す平面図。

【図9】図８に示す変形例の水晶ウエハのＢ部を拡大して示す平面図。

【図10】変形例の振動素子の構成を示す斜視図。

【図11】変形例の振動素子の構成を示す斜視図。

【図12】変形例の振動素子の構成を示す斜視図。

【図13】変形例の振動素子の構成を示す斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下の各図においては、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸として説明する。Ｘ軸に沿う方向を「Ｘ方向」、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ方向」、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ方向」とし、矢印の方向が＋方向であり、＋方向と反対の方向を－方向とする。なお、＋Ｙ方向を「上」又は「上方」、－Ｙ方向を「下」又は「下方」ということもあり、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向から見ることを平面視あるいは平面的ともいう。また、Ｙ方向＋側の面を上面、これと反対側となるＹ方向－側の面を下面として説明する。

【0009】

まず、図１及び図２を参照しながら、複数の振動素子１００を有する水晶ウエハ１０００の構成を説明する。

【0010】

図１及び図２に示すように、水晶ウエハ１０００は、複数の振動素子１００が水晶基板に接続された状態、言い換えれば、振動素子１００が個片化される前の状態を示している。図２に示すように、水晶ウエハ１０００は、Ｘ方向に沿って並んだ支持部４０及び振動部５０を有する振動素子１００と、支持部４０におけるＺ方向の端部１４ａ，１５ａと接続された保持部６０と、を備えている。

【0011】

水晶ウエハ１０００は、Ｘ方向に沿って並んだ複数の振動素子１００と、Ｚ方向に沿って並んだ複数の振動素子１００と、を有する。振動素子１００のそれぞれには、端部１４ａ，１５ａに保持部６０が接続されている。Ｚ方向において隣り合う保持部６０と保持部６０とは、連結部６１によって接続されている。Ｘ方向において隣り合う保持部６０と保持部６０とは、支持フレーム６２に接続されている。

【0012】

連結部６１の上面には、第１引出電極２３の一部、及び第２引出電極２４の一部、が配置されている。これにより、例えば、電気的な検査を行う際、直接、引出電極２３，２４に端子を当てることなく、検査を行うことができ、引出電極２３，２４に損傷を与えることを抑えることができる。また、保持部６０の強度を向上させることが可能となり、安定して水晶ウエハ１０００を取り扱うことができる。また、個片化工程に進むまで安定して水晶ウエハ１０００を製造することができる。

【0013】

次に、図３及び図４を参照しながら、振動素子１００の構成を説明する。

【0014】

図３及び図４に示すように、振動素子１００は、振動片１０を備えている。振動片１０は、例えば、ＡＴカット水晶基板である。振動片１０は、表裏関係にある第１面１１と第２面１２、及び、第１面１１と第２面１２とを繋いでいる側面１３，１４，１５を有する。第１面１１には、第１励振電極２１が配置されている。第２面１２には、第１励振電極２１と平面視で重なるように、第２励振電極２２が配置されている。

【0015】

また、第１面１１には、第１励振電極２１と電気的に接続された第１引出電極２３が配置されている。第２面１２には、第２励振電極２２と電気的に接続された第２引出電極２４が配置されている。振動素子１００と支持フレーム６２とは、上記したように、複数の保持部６０を介して接続されている。

【0016】

振動素子１００の側面１３，１４，１５は、Ｘ軸の方向における一方側に位置する第１側面１３、言い換えれば、Ｚ軸方向に沿う側面のうち一方の第１側面１３と、第１側面１３に対して交差する第２側面１４及び第３側面１５と、を含む。本実施形態は、第１引出電極２３及び第２引出電極２４の両方が、第１側面１３に延在して配置されている。また、保持部６０は、第２側面１４及び第３側面１５の両方に配置されている（図１、図２参照）。

【0017】

振動片１０は、水晶片をはじめとする種々の圧電材料からなる。振動片１０は、ＡＴカット水晶片である。本実施形態では、振動片１０は、平面形状が四角形状、具体的には長方形状のＡＴカット水晶片としてある。そのため、図中のＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の＋方向は、それぞれ水晶の結晶軸のＸ軸、Ｙ’軸、及びＺ’軸の＋方向に一致する。つまり、振動片１０の第１面１１及び第２面１２は、水晶結晶のＸ軸及びＺ’軸沿って形成されている。なお、必ずしもこれに限られず、少なくともいずれかの軸が－方向と一致していても良い。

【0018】

振動片１０は、振動部５０と、振動部５０から離間して配置された支持部４０と、振動部５０と支持部４０とを接続する接続配線２１ａ，２２ａと、を有する。

【0019】

第１励振電極２１は、接続配線２１ａを介して、第１引出電極２３と電気的に接続されている。第２励振電極２２は、接続配線２２ａを介して、第２引出電極２４と電気的に接続されている。具体的には、第１引出電極２３は、支持部４０に設けられており、第１励振電極２１と電気的に接続されている。第２引出電極２４は、支持部４０に設けられており、第２励振電極２２と電気的に接続されている。

【0020】

図３及び図４に示すように、振動素子１００の第２側面１４の端部１４ａには、例えば、水晶ウエハ１０００から振動素子１００を個片化した際に形成された、破断部６０ａが設けられている。つまり、端部１４ａが、個片化した際の破断面となる。また、振動素子１００の第３側面１５の端部１５ａには、例えば、水晶ウエハ１０００から振動素子１００を個片化した際に形成された、破断部６０ｂが設けられている。つまり、端部１５ａが、個片化した際の破断面となる。

【0021】

このように、第１引出電極２３や第２引出電極２４が第１側面１３に延在し、第１側面１３と交差する第２側面１４や第３側面１５に破断面があることにより、引出電極２３，２４の延在した部分と破断面とが異なる面にあるため、例えば、水晶ウエハ１０００から振動素子１００を破断した際に、第１引出電極２３や第２引出電極２４が破断の影響（バリ、剥がれなど）を受けることを抑えることができる。よって、良好な振動特性を維持することができる。

【0022】

次に、図５～図７を参照しながら、振動素子１００の製造方法を説明する。

【0023】

まず、図５及び図６に示す工程では、複数の振動素子１００を有する水晶ウエハ１０００を準備する。水晶ウエハ１０００は、上記したように、Ｘ方向に沿って並んだ支持部４０及び振動部５０を有する振動素子１００と、支持部４０におけるＺ方向の端部１４ａ，１５ａとに接続された保持部６０と、を備える。水晶ウエハ１０００は、Ｘ方向及びＺ方向に、複数の振動素子１００が並べられて配置されている。

【0024】

水晶ウエハ１０００は、図５に示すように、例えば、フォトリソグラフィ技術、及び、エッチング技術によって、振動素子１００の形状に外形がくり抜かれた状態になっている。また、水晶ウエハ１０００には、Ｚ方向において、複数の保持部６０を繋ぐ連結部６１が設けられている。

【0025】

次に、図５に示すように、水晶ウエハ１０００のうち、少なくとも支持部４０及び保持部６０を、接着剤２０１を介してフィルム２０２に固定する。具体的には、第２面１２における、支持部４０と重なる領域には、接着剤２０１を介してフィルム２０２が固定されている。接着剤２０１としては、例えば、ゴム系、アクリル系、ウレタン系、シリコーン系などが挙げられる。フィルム２０２としては、例えば、プラスチックフィルムなどが挙げられる。

【0026】

次に、図５及び図７に示す工程では、水晶ウエハ１０００から複数の振動素子１００を同時に個片化する。具体的には、水晶ウエハ１０００、具体的には、フィルム２０２を、Ｚ方向に沿って伸張させる。これにより、図７に示すように、接続されていた振動素子１００と保持部６０との接続部分が引っ張られて破断する。よって、接続部分が分離し、複数の振動素子１００が同時に個片化される（これを、エキスパンド法と称する）。また、図５に示すように、支持フレーム６２をＸ方向に沿った部分のみで構成することにより、フィルム２０２の伸張が容易となり効率的に個片化できる。

【0027】

なお、図２に示すように、保持部６０の第１側面１３に対して交差する方向に沿った幅は、振動素子１００と接続した部分の幅Ｗ１が最も細いことが好ましい。具体的には、保持部６０は、フィルム２０２をＺ方向に引っ張った際に、端部１４ａ，１５ａと保持部６０との接続部分に亀裂が生じやすいように、保持部６０における接続部分の幅Ｗ１が、その他の幅Ｗ２と比較して細い。よって、接続部分が破断しやすくなり、振動素子１００の個片化を容易にすることができる。

【0028】

また、支持部４０及び保持部６０と接着されている接着剤２０１は、支持部４０及び保持部６０と接触する部分のみに付着されていてもよいし、フィルム２０２の全面に付着されていてもよい。

【0029】

以上述べたように、本実施形態の振動素子１００は、水晶結晶のＸ軸及びＺ’軸に沿っており、表裏関係にある第１面１１と第２面１２、及び、第１面１１と第２面１２とを繋いでいる側面を備えたＡＴカット水晶基板と、第１面１１に配置された第１励振電極２１と、第１面１１に配置され、第１励振電極２１に接続された第１引出電極２３と、第２面１２に配置された第２励振電極２２と、第２面１２に配置され、第２励振電極２２に接続された第２引出電極２４と、を備え、側面は、水晶結晶のＸ軸の方向における一方側に位置する第１側面１３と、第１側面１３に対して交差する第２側面１４及び第３側面１５と、を含み、第１引出電極２３及び第２引出電極２４の少なくとも一方は、第１側面１３に延在して配置されており、第２側面１４及び第３側面１５の少なくとも一方が、破断面を有する。

【0030】

この構成によれば、第１引出電極２３や第２引出電極２４が第１側面１３に延在し、第１側面１３と交差する第２側面１４や第３側面１５に破断面があることにより、引出電極２３，２４の延在した部分と破断面とが異なる面にあるため、例えば、振動素子１００を破断した際に、第１引出電極２３や第２引出電極２４が破断の影響（バリ、剥がれなど）を受けることを抑えることができる。よって、良好な振動特性を維持することができる。

【0031】

また、本実施形態の振動素子１００において、第２側面１４及び第３側面１５が、破断面を有することが好ましい。この構成によれば、第２側面１４と第３側面１５との両方に破断面があり、第１側面１３とは異なる面に破断面があるので、例えば、振動素子１００を破断した際に、第１引出電極２３や第２引出電極２４が破断の影響を受けることを抑えることができる。

【0032】

また、本実施形態の振動素子１００において、第１引出電極２３及び第２引出電極２４は、第１側面１３に延在しており、第２側面１４及び第３側面１５は、破断面を有することが好ましい。この構成によれば、第１引出電極２３や第２引出電極２４の両方が第１側面１３に延在し、第２側面１４と第３側面１５との両方に破断面がある場合でも、引出電極２３，２４の延在した部分と破断面とは異なる側面にあるため、第１引出電極２３や第２引出電極２４が破断の影響を受けることを抑えることができる。

【0033】

また、本実施形態の水晶ウエハ１０００は、水晶結晶のＸ軸及びＺ’軸に沿っており、表裏関係にある第１面１１と第２面１２、及び、第１面１１と第２面１２とを繋いでいる側面を備えたＡＴカット水晶基板と、第１面１１に配置された第１励振電極２１と、第１面１１に配置され、第１励振電極２１に接続された第１引出電極２３と、第２面１２に配置された第２励振電極２２と、第２面１２に配置され、第２励振電極２２に接続された第２引出電極２４と、を備えた、複数の振動素子１００と、支持フレーム６２と、振動素子１００と支持フレーム６２とを接続する複数の保持部６０と、を備え、振動素子１００の側面は、水晶結晶のＸ軸の方向における一方側に位置する第１側面１３と、第１側面１３に対して交差する第２側面１４及び第３側面１５と、を含み、第１引出電極２３及び第２引出電極２４の少なくとも一方は、第１側面１３に延在して配置されており、保持部６０は、第２側面１４及び第３側面１５の少なくとも一方の側に配置されている。

【0034】

この構成によれば、第１引出電極２３や第２引出電極２４が第１側面１３に延在し、第１側面１３と交差する第２側面１４や第３側面１５に保持部６０が配置された場合でも、引出電極２３，２４の延在した部分と保持部６０とは異なる側面にあるため、例えば、水晶ウエハ１０００から振動素子１００を切断して個片化するべく、保持部６０を破断したときに、第１引出電極２３や第２引出電極２４が破断の影響（バリ、剥がれなど）を受けることを抑えることができる。よって、良好な振動特性を維持することができる。

【0035】

また、本実施形態の水晶ウエハ１０００において、保持部６０は、振動素子１００における、第２側面１４側及び第３側面１５側に配置されていることが好ましい。この構成によれば、第２側面１４及び第３側面１５の両方に保持部６０が配置されている、言い換えれば、一つの保持部６０の両側に振動素子１００が配置することにより、水晶結晶のＸ軸方向に対して交差する方向に沿って振動素子１００を複数配置することが可能となる。その結果、Ｘ軸方向に対して交差する方向に水晶ウエハ１０００を延伸させることにより、複数の振動素子１００を容易に個片化できるため、エキスパンド法による個片化が可能となる。

【0036】

また、本実施形態の水晶ウエハ１０００において、第１引出電極２３及び第２引出電極２４は、第１側面１３に延在しており、保持部６０は、第２側面１４側及び第３側面１５側に配置されていることが好ましい。この構成によれば、第２側面１４及び第３側面１５の両方に保持部６０が配置されている、言い換えれば、一つの保持部６０の両側に振動素子１００が配置することにより、水晶結晶のＸ軸方向に対して交差する方向に沿って振動素子１００を複数配置することが可能となる。その結果、Ｘ軸方向に対して交差する方向に水晶ウエハ１０００を延伸させることにより、複数の振動素子１００を容易に個片化できるため、エキスパンド法による個片化が可能となる。

【0037】

また、本実施形態の水晶ウエハ１０００において、保持部６０の第１側面１３に対して交差する方向に沿った幅は、振動素子１００と接続した部分（図２では、幅Ｗ１）が最も細いことが好ましい。この構成によれば、振動素子１００と接続された保持部６０の部分が最も細くなっているので、接続した部分が破断しやすくなり、振動素子１００の個片化を容易にすることができる。

【0038】

以下、上記した実施形態の変形例を説明する。

【0039】

上記したように、破断面が、第２側面１４及び第３側面１５の両方に有することに限定されず、図８～図１０に示すように、どちらか一方に有するようにしてもよい。

【0040】

具体的には、図８及び図９に示すように、変形例の水晶ウエハ１０００Ａは、振動素子１００Ａの第２側面１４に、２つの保持部６０が接続されている。所謂、片持ちの状態で、振動素子１００Ａが支持フレーム６２に接続されている。第２側面１４側の支持フレーム６２には、第１引出電極２３と第２引出電極２４とが延在して配置されている。

【0041】

このような水晶ウエハ１０００Ａから振動素子１００Ａを個片化すると、第２側面１４の端部１４ａに、破断面を有する。なお、図９及び図１０に示すように、振動素子１００Ａの端部１４ａに破断部６０ｃ，６０ｄが発生することもある。また、第２側面１４のみに破断面を有することに限定されず、第３側面１５のみに破断面を有するようにしてもよい。

【0042】

また、上記したように、振動素子１００Ａの第１側面１３が、Ｙ軸と平行、言い換えれば、第１面１１に対して垂直に形成されていることに限定されず、図１１に示す振動素子１００Ｂのように、三角形状に形成されていてもよい。

【0043】

具体的には、振動素子１００Ｂの第１側面１３は、第１面１１に繋がる第１傾斜面１３ａと、第２面１２に繋がる第２傾斜面１３ｂと、を有する。第１傾斜面１３ａ及び第２傾斜面１３ｂには、第１引出電極２３及び第２引出電極２４が延在して配置されている。破断面は、上記実施形態と同様に、第２側面１４及び第３側面１５である。

【0044】

このような形態においても、引出電極２３，２４の延在した部分と破断面とが異なる面にあるため、振動素子１００Ｂを破断した際に、第１引出電極２３や第２引出電極２４が破断の影響（バリ、剥がれなど）を受けることを抑えることができる。よって、良好な振動特性を維持することができる。

【0045】

また、上記したように、第１引出電極２３及び第２引出電極２４の両方が、第１側面１３に延在していることに限定されず、図１２に示すように、どちらか一方が第１側面１３に延在していてもよい。図１２に示す振動素子１００Ｃは、第２引出電極２４のみが第１側面１３に延在している。なお、図１２に示す第１側面１３は、変形例の振動素子１００Ｂと同様に傾斜面１３ａ，１３ｂを有しているが、上記した実施形態のように、Ｙ軸と平行な第１側面の場合も同様である。

【0046】

また、図１３に示すように、片持ちタイプの変形例の振動素子１００Ｄにおいても、第１側面１３が、三角形状の第１傾斜面１３ａ及び第２傾斜面１３ｂを有していてもよい。

【0047】

また、保持部６０における、Ｙ軸方向の厚みは、支持部４０と接続された部分が、言い換えれば、振動素子１００の端部１４ａ，１５ａと接続された部分が、最も薄く形成されていることが好ましい。この方法によれば、支持部４０と接続された保持部６０の部分が薄く形成されているので、フィルム２０２を伸張した際に、薄く形成された部分から容易に振動素子１００を分離させることができる。

【0048】

このように、変形例の水晶ウエハ１０００において、保持部６０の第１面１１及び第２面１２に対して交差する部分の厚みは、振動素子１００と接続された部分が最も薄いことが好ましい。この構成によれば、振動素子１００と接続された保持部６０の部分が薄いので、薄い部分から容易に振動素子１００を個片化することができる。

【0049】

また、保持部６０における、支持部４０と接続された部分には、凹溝又は貫通孔が形成されていることが好ましい。この方法によれば、支持部４０と接続された保持部６０の部分に凹溝や貫通孔が形成されているので、強度を弱くすることが可能となり、フィルム２０２を伸張した際に、強度の弱い部分から破断しやすくなり、容易に振動素子１００を個片化することができる。

【0050】

このように、変形例の水晶ウエハ１０００において、保持部６０の振動素子１００と接続された部分は、凹溝又は貫通孔を有することが好ましい。この構成によれば、振動素子１００と接続された保持部６０の部分に凹溝や貫通孔を有するので、強度を弱くすることが可能となり、容易に振動素子１００を個片化することができる。

【符号の説明】

【0051】

１０…振動片、１１…第１面、１２…第２面、１３…第１側面、１３ａ…第１傾斜面、１３ｂ…第２傾斜面、１４…第２側面、１４ａ…端部、１５…第３側面、１５ａ…端部、２１…第１励振電極、２１ａ…接続配線、２２…第２励振電極、２２ａ…接続配線、２３…第１引出電極、２４…第２引出電極、４０…支持部、５０…振動部、６０…保持部、６０ａ，６０ｂ，６０ｃ…破断部、６１…連結部、６２…支持フレーム、１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ…振動素子、２０１…接着剤、２０２…フィルム、１０００…水晶ウエハ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】