(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024049156
(43)【公開日】2024-04-09
(54)【発明の名称】産業用ロボット
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20240402BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022155449
(22)【出願日】2022-09-28
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002505
【氏名又は名称】弁理士法人航栄事務所
(72)【発明者】
【氏名】細川 正己
(72)【発明者】
【氏名】小林 敏之
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131BA37
5F131CA09
5F131DA22
5F131DA32
5F131DA42
5F131DB02
5F131DB54
5F131DB57
5F131DB62
5F131DB72
(57)【要約】
【課題】輸送中の破損を防ぐことのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１００は、搬送部４０の左右方向への移動をガイドするガイドレール５０と、ガイドレール５０を支持するフレームＦＬと、を備え、ガイドレール５０は、左右方向に並ぶ左レール部材５０Ｌと右レール部材５０Ｒと中央レール部材５０Ｃを含み、フレームＦＬは、左右方向に並ぶ左フレーム部材１０と右フレーム部材２０を含み、左フレーム部材１０は、左レール部材５０Ｌを支持し、右フレーム部材２０は、右レール部材５０Ｒを支持し、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅは、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０の境界よりも左側に位置し、右レール部材５０Rの左端縁５０Rｅは、上記境界よりも右側に位置し、中央レール部材５０Ｃは、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０によって支持される。
【選択図】図２
【解決手段】産業用ロボット１００は、搬送部４０の左右方向への移動をガイドするガイドレール５０と、ガイドレール５０を支持するフレームＦＬと、を備え、ガイドレール５０は、左右方向に並ぶ左レール部材５０Ｌと右レール部材５０Ｒと中央レール部材５０Ｃを含み、フレームＦＬは、左右方向に並ぶ左フレーム部材１０と右フレーム部材２０を含み、左フレーム部材１０は、左レール部材５０Ｌを支持し、右フレーム部材２０は、右レール部材５０Ｒを支持し、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅは、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０の境界よりも左側に位置し、右レール部材５０Rの左端縁５０Rｅは、上記境界よりも右側に位置し、中央レール部材５０Ｃは、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０によって支持される。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
搬送対象物を搬送する搬送部の第１方向への移動をガイドするガイドレールと、
前記ガイドレールを支持するフレームと、を備え、
前記ガイドレールは、前記第１方向に並ぶ複数のレール部材を含み、
前記フレームは、前記第１方向に並ぶ複数のフレーム部材を含み、
隣り合う２つの前記フレーム部材のうちの一方を第１フレーム部材とし、他方を第２フレーム部材とし、
前記第１フレーム部材は、前記複数のレール部材のいずれか１つである第１レール部材を支持し、
前記第２フレーム部材は、前記複数のレール部材のうちの前記第１レール部材とは異なる第２レール部材を支持し、
前記第１レール部材の前記第２フレーム部材側の第１端縁は、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材の境界よりも、前記第１フレーム部材側に位置し、
前記第２レール部材の前記第１フレーム部材側の第２端縁は、前記境界よりも、前記第２フレーム部材側に位置し、
前記複数のレール部材のうち、前記第１レール部材と前記第２レール部材の間の第３レール部材は、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材によって支持される、産業用ロボット。
前記ガイドレールを支持するフレームと、を備え、
前記ガイドレールは、前記第１方向に並ぶ複数のレール部材を含み、
前記フレームは、前記第１方向に並ぶ複数のフレーム部材を含み、
隣り合う２つの前記フレーム部材のうちの一方を第１フレーム部材とし、他方を第２フレーム部材とし、
前記第１フレーム部材は、前記複数のレール部材のいずれか１つである第１レール部材を支持し、
前記第２フレーム部材は、前記複数のレール部材のうちの前記第１レール部材とは異なる第２レール部材を支持し、
前記第１レール部材の前記第２フレーム部材側の第１端縁は、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材の境界よりも、前記第１フレーム部材側に位置し、
前記第２レール部材の前記第１フレーム部材側の第２端縁は、前記境界よりも、前記第２フレーム部材側に位置し、
前記複数のレール部材のうち、前記第１レール部材と前記第２レール部材の間の第３レール部材は、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材によって支持される、産業用ロボット。
【請求項2】
請求項１に記載の産業用ロボットであって、
前記第１フレーム部材は、前記第３レール部材の取り付け位置の位置決めを行うための第１位置決め部材を更に支持する、産業用ロボット。
前記第１フレーム部材は、前記第３レール部材の取り付け位置の位置決めを行うための第１位置決め部材を更に支持する、産業用ロボット。
【請求項3】
請求項２に記載の産業用ロボットであって、
前記搬送部から前記フレームに向かう方向と前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、
前記第１位置決め部材は、前記第１レール部材の前記第２方向の一方の端縁に当接する第１当接面を有し、且つ、前記第１当接面が前記第１端縁よりも前記境界側に突出して形成された第１部材を含む、産業用ロボット。
前記搬送部から前記フレームに向かう方向と前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、
前記第１位置決め部材は、前記第１レール部材の前記第２方向の一方の端縁に当接する第１当接面を有し、且つ、前記第１当接面が前記第１端縁よりも前記境界側に突出して形成された第１部材を含む、産業用ロボット。
【請求項4】
請求項３に記載の産業用ロボットであって、
前記第１位置決め部材は、前記第１レール部材の前記第２方向の他方の端縁に当接可能な第２当接面を有し、且つ、前記第２当接面が前記第１端縁よりも前記境界側に突出して形成された第２部材と、前記第２部材を挟んで前記第１レール部材と対向配置された第３部材と、を含み、
前記第３部材と前記第１レール部材との距離は変更可能に構成されている、産業用ロボット。
前記第１位置決め部材は、前記第１レール部材の前記第２方向の他方の端縁に当接可能な第２当接面を有し、且つ、前記第２当接面が前記第１端縁よりも前記境界側に突出して形成された第２部材と、前記第２部材を挟んで前記第１レール部材と対向配置された第３部材と、を含み、
前記第３部材と前記第１レール部材との距離は変更可能に構成されている、産業用ロボット。
【請求項5】
請求項２に記載の産業用ロボットであって、
前記第２フレーム部材は、前記第３レール部材の取り付けの位置決めを行うための第２位置決め部材を更に支持する、産業用ロボット。
前記第２フレーム部材は、前記第３レール部材の取り付けの位置決めを行うための第２位置決め部材を更に支持する、産業用ロボット。
【請求項6】
請求項５に記載の産業用ロボットであって、
前記搬送部から前記フレームに向かう方向と前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、
前記第２位置決め部材は、前記第２レール部材の前記第２方向の一方の端縁に当接する第３当接面を有し、且つ、前記第３当接面が前記第２端縁よりも前記境界側に突出して形成された第４部材を含む、産業用ロボット。
前記搬送部から前記フレームに向かう方向と前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、
前記第２位置決め部材は、前記第２レール部材の前記第２方向の一方の端縁に当接する第３当接面を有し、且つ、前記第３当接面が前記第２端縁よりも前記境界側に突出して形成された第４部材を含む、産業用ロボット。
【請求項7】
請求項６に記載の産業用ロボットであって、
前記第２位置決め部材は、前記第２レール部材の前記第２方向の他方の端縁に当接可能な第４当接面を有し、且つ、前記第４当接面が前記第２端縁よりも前記境界側に突出して形成された第５部材と、前記第５部材を挟んで前記第２レール部材と対向配置された第６部材と、を含み、
前記第６部材と前記第２レール部材との距離は変更可能に構成されている、産業用ロボット。
前記第２位置決め部材は、前記第２レール部材の前記第２方向の他方の端縁に当接可能な第４当接面を有し、且つ、前記第４当接面が前記第２端縁よりも前記境界側に突出して形成された第５部材と、前記第５部材を挟んで前記第２レール部材と対向配置された第６部材と、を含み、
前記第６部材と前記第２レール部材との距離は変更可能に構成されている、産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、処理ユニットとして基板の表面洗浄処理を行う表面洗浄ユニット及び基板の裏面洗浄処理を行う裏面洗浄ユニットを備えている処理ブロックを備えた基板処理装置において、複数枚の基板を収容するキャリアが載置されるキャリア載置部を備え、前記キャリア載置部の前記キャリアとの間で基板を搬送するインデクサロボットを備えたインデクサブロックと、前記インデクサブロックと前記処理ブロックとの間に配置され、基板を載置する複数段の棚を備えているとともに、基板の表裏を反転させる反転機能を備えている反転パスブロックと、前記各処理ユニットと前記反転パスブロックとの間で基板を搬送するセンターロボットを備えた搬送ブロックと、を備える基板処理装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－０３４６８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
搬送対象物を搬送する搬送部を有する産業用ロボットには、搬送部の移動をガイドするガイドレールが設けられる。ガイドレールを複数連結させる構成の産業用ロボットでは、複数のガイドレールを分割した状態で、輸送が行われることがある。この輸送時において、ガイドレールの破損を防ぐことが求められる。
【0005】
本発明は、輸送中の破損を防ぐことのできる産業用ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一態様の産業用ロボットは、搬送対象物を搬送する搬送部の第１方向への移動をガイドするガイドレールと、前記ガイドレールを支持するフレームと、を備え、前記ガイドレールは、前記第１方向に並ぶ複数のレール部材を含み、前記フレームは、前記第１方向に並ぶ複数のフレーム部材を含み、隣り合う２つの前記フレーム部材のうちの一方を第１フレーム部材とし、他方を第２フレーム部材とし、前記第１フレーム部材は、前記複数のレール部材のいずれか１つである第１レール部材を支持し、前記第２フレーム部材は、前記複数のレール部材のうちの前記第１レール部材とは異なる第２レール部材を支持し、前記第１レール部材の前記第２フレーム部材側の第１端縁は、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材の境界よりも、前記第１フレーム部材側に位置し、前記第２レール部材の前記第１フレーム部材側の第２端縁は、前記境界よりも、前記第２フレーム部材側に位置し、前記複数のレール部材のうち、前記第１レール部材と前記第２レール部材の間の第３レール部材は、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材によって支持される、ものである。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、輸送中の破損を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の一実施形態である産業用ロボット１００について説明する。以下では、産業用ロボット１００における方向として、互いに直交する３方向を、上下方向、左右方向、前後方向と記載する。産業用ロボット１００は、例えば、上下方向が鉛直方向と一致する状態で工場等に設置される。
【0010】
（ロボットの全体構成）
図１は、産業用ロボット１００の概略構成を示す斜視図である。産業用ロボット１００は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する搬送部４０と、搬送部４０の左右方向への移動をガイドするガイドレール５０、５１、５２と、ガイドレール５０、５１、５２を支持するフレームＦＬと、搬送部４０を上下方向に移動可能に支持する支持部３０と、を備える。搬送部４０は、本体部４３と、本体部４３に支持されたアーム４２と、アーム４２に支持され且つ搬送対象物を保持可能なハンド４１と、を備える。
図１は、産業用ロボット１００の概略構成を示す斜視図である。産業用ロボット１００は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する搬送部４０と、搬送部４０の左右方向への移動をガイドするガイドレール５０、５１、５２と、ガイドレール５０、５１、５２を支持するフレームＦＬと、搬送部４０を上下方向に移動可能に支持する支持部３０と、を備える。搬送部４０は、本体部４３と、本体部４３に支持されたアーム４２と、アーム４２に支持され且つ搬送対象物を保持可能なハンド４１と、を備える。
【0011】
フレームＦＬは、左右方向に並べて配置された２つのフレーム部材を連結して構成されている。この２つのフレーム部材は、左側に配置された左フレーム部材１０と、右側に配置された右フレーム部材２０と、を備える。
【0012】
左フレーム部材１０は、矩形枠状となっており、上下方向に延びる柱状の右枠部１０Ｒと、右枠部１０Ｒの左側に対向配置された上下方向に延びる柱状の左枠部１０Ｌと、右枠部１０Ｒの上端と左枠部１０Ｌの上端を繋ぐ、左右方向に延びた平板状の上枠部１０Ｕと、右枠部１０Ｒの下端と左枠部１０Ｌの下端を繋ぐ、左右方向に延びた平板状の下枠部１０Ｄと、から構成されている。下枠部１０Ｄは、上下方向に離間し且つ平行に配置された第１下枠部１０Ｄａと第２下枠部１０Ｄｂと、を含む。
【0013】
右フレーム部材２０は、矩形枠状となっており、上下方向に延びる柱状の右枠部２０Ｒと、右枠部２０Ｒの左側に対向配置された上下方向に延びる柱状の左枠部２０Ｌと、右枠部２０Ｒの上端と左枠部２０Ｌの上端を繋ぐ、左右方向に延びた平板状の上枠部２０Ｕと、右枠部２０Ｒの下端と左枠部２０Ｌの下端を繋ぐ、左右方向に延びた平板状の下枠部２０Ｄと、から構成されている。下枠部２０Ｄは、上下方向に離間し且つ平行に配置された第１下枠部２０Ｄａと第２下枠部２０Ｄｂと、を含む。
【0014】
左フレーム部材１０と右フレーム部材２０は、上枠部１０Ｕの右端部と上枠部２０Ｕの左端部とが図示しない連結板等を介して固定され、下枠部１０Ｄの右端部と下枠部２０Ｄの左端部とが図示しない連結板等を介して固定されることで、連結されている。
【0015】
上枠部１０Ｕと上枠部２０Ｕの前面には、上枠部１０Ｕと上枠部２０Ｕに跨って左右方向に延びて形成された柱状のガイドレール５０が、ボルト等によって固着されている。第１下枠部１０Ｄａと第１下枠部２０Ｄａの前面には、第１下枠部１０Ｄａと第１下枠部２０Ｄａに跨って左右方向に延びて形成された柱状のガイドレール５１が、ボルト等によって固着されている。第２下枠部１０Ｄｂと第２下枠部２０Ｄｂの前面には、第２下枠部１０Ｄｂと第２下枠部２０Ｄｂに跨って左右方向に延びて形成された柱状のガイドレール５２が、ボルト等によって固着されている。
【0016】
支持部３０は、上下方向に延びる柱状を成しており、左枠部１０Ｌの前面に対面して配置されている。支持部３０は、その右側面において、搬送部４０の本体部４３を、上下方向に移動可能に支持している。支持部３０の上端部には、ガイドレール５０に摺動可能に係合する係合部３１が設けられている。支持部３０の下端部には、ガイドレール５１に摺動可能に係合する係合部３２と、ガイドレール５２に摺動可能に係合する係合部３３とが設けられている。産業用ロボット１００では、支持部３０が、係合部３１、３２、３３を介して、ガイドレール５０、５１、５２に沿って左右方向に移動することで、支持部３０によって支持される搬送部４０により、搬送対象物を左右方向に移動させることが可能になっている。
【0017】
（ガイドレールの構成）
図２は、図１に示す範囲Ｈ１の拡大図である。図３は、図１に示す範囲Ｈ１を前側から見た図である。図４は、図３のＡ－Ａ矢視の断面模式図である。図５は、図３のＢ－Ｂ矢視の断面模式図である。図６は、図３のＣ－Ｃ矢視の断面模式図である。図７は、図３のＤ－Ｄ矢視の断面模式図である。図８は、図１に示す範囲Ｈ２を異なる方向から見た拡大斜視図である。
図２は、図１に示す範囲Ｈ１の拡大図である。図３は、図１に示す範囲Ｈ１を前側から見た図である。図４は、図３のＡ－Ａ矢視の断面模式図である。図５は、図３のＢ－Ｂ矢視の断面模式図である。図６は、図３のＣ－Ｃ矢視の断面模式図である。図７は、図３のＤ－Ｄ矢視の断面模式図である。図８は、図１に示す範囲Ｈ２を異なる方向から見た拡大斜視図である。
【0018】
図２及び図３に示すように、ガイドレール５０は、左右方向に並ぶ複数のレール部材（左レール部材５０Ｌ、中央レール部材５０Ｃ、及び右レール部材５０Ｒの３つ）を繋げて構成されている。ガイドレール５０は、上枠部１０Ｕの前面に支持された左レール部材５０Ｌと、上枠部２０Ｕの前面に支持された右レール部材５０Ｒと、上枠部１０Ｕ及び上枠部２０Ｕの前面に支持された中央レール部材５０Ｃと、を備える。
【0019】
左レール部材５０Ｌの右フレーム部材２０側の端縁である右端縁５０Ｌｅの左右方向の位置は、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０の境界線ＰＬの左右方向の位置よりも、左側（左フレーム部材１０側）に位置している。また、右レール部材５０Ｒの左フレーム部材１０側の端縁である左端縁５０Ｒｅの左右方向の位置は、境界線ＰＬの左右方向の位置よりも、右側（右フレーム部材２０側）に位置している。中央レール部材５０Ｃの左端縁が左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅに当接し、中央レール部材５０Ｃの右端縁が右レール部材５０Ｒの左端縁５０Ｒｅに当接しており、中央レール部材５０Ｃは、境界線ＰＬを跨いだ状態で、上枠部１０Ｕ及び上枠部２０Ｕに固着されている。
【0020】
産業用ロボット１００では、左フレーム部材１０及び右フレーム部材２０から中央レール部材５０Ｃが取り外され、更に、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０の連結が解除された状態で、輸送が行われる。輸送先において、作業者は、到着した産業用ロボット１００を組み立てる。具体的には、作業者は、まず、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０を連結し、その後、中央レール部材５０Ｃを左フレーム部材１０及び右フレーム部材２０に取り付ける。産業用ロボット１００では、この組み立て時において、中央レール部材５０ＣのフレームＦＬへの取り付けを精度よく行えるような工夫がなされている。
【0021】
具体的には、左フレーム部材１０は、上枠部１０Ｕの前面において、中央レール部材５０Ｃの取り付け位置の位置決めを行うための左側位置決め部材６０Ｌを支持している。左側位置決め部材６０Ｌは、図３から図５に示すように、左レール部材５０Ｌ及び中央レール部材５０Ｃの下側に隣接して設けられた左右方向に延びる平板状の第１部材６１Ｌと、左レール部材５０Ｌ及び中央レール部材５０Ｃの上側に隣接して左右方向に延びて設けられ且つ左右方向に垂直な断面が略Ｌ字状の第２部材６２Ｌと、第２部材６２Ｌを挟んで左レール部材５０Ｌ及び中央レール部材５０Ｃと対向配置され、左右方向に延びて設けられた第３部材６３Ｌと、を備える。
【0022】
図４及び図５に示すように、第１部材６１Ｌは、左レール部材５０Ｌの下端縁５０Ｌｄｅにおける上下方向に垂直な面と、中央レール部材５０Ｃの下端縁５０Ｃｄｅにおける上下方向に垂直な面とに当接する平坦な第１当接面６１Ｌａを有している。第１当接面６１Ｌａは、左右方向において、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅよりも境界線ＰＬ側に突出している。つまり、第１部材６１Ｌの右端縁は、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅよりも右側に位置している。
【0023】
図４及び図５に示すように、第２部材６２Ｌは、前後方向の厚みが大きな肉厚部Ｄ１と、肉厚部Ｄ１から下方向に延びた肉厚部Ｄ１よりも厚みが小さな薄肉部Ｄ２と、を備える。薄肉部Ｄ２は、左レール部材５０Ｌの上端縁５０Ｌｕｅにおける上下方向に垂直な面と、中央レール部材５０Ｃの上端縁５０Ｃｕｅにおける上下方向に垂直な面とに当接する平坦な第２当接面６２Ｌａを有している。第２当接面６２Ｌａは、左右方向において、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅよりも境界線ＰＬ側に突出している。つまり、第２部材６２Ｌの右端縁は、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅよりも右側に位置している。
【0024】
図２、図４、及び図５に示すように、第３部材６３Ｌは、肉厚部Ｄ１に隣接して左右方向に延びる柱状の本体部６３Ｌｂと、本体部６３Ｌｂを上下方向に貫通する複数の貫通孔６３Ｌｈのそれぞれに圧入された押圧部材６３Ｌａと、を備える。第３部材６３Ｌでは、押し込みネジＳを貫通孔６３Ｌｈに押し込み、その押し込み量を調整することで、貫通孔６３Ｌｈからの押圧部材６３Ｌａの下側への突出量を調整することができるようになっている。本体部６３Ｌｂの下端面と、左レール部材５０Ｌにおける第２当接面６２Ｌａとの接触面との間の上下方向の距離Ｌ１は、第２部材６２Ｌの上下方向の幅よりも僅かに大きく構成されている。産業用ロボット１００が組み立てられた状態においては、図４及び図５に示すように、肉厚部Ｄ１が押圧部材６３Ｌａによって押圧されて、押圧部材６３Ｌａによって第２部材６２Ｌが左レール部材５０Ｌ及び中央レール部材５０Ｃに向けて押し付けられた状態となっている。
【0025】
右フレーム部材２０は、上枠部２０Ｕの前面において、中央レール部材５０Ｃの取り付け位置の位置決めを行うための右側位置決め部材６０Ｒを支持している。右側位置決め部材６０Ｒは、図３、図６、及び図７に示すように、右レール部材５０Ｒ及び中央レール部材５０Ｃの下側に隣接して設けられた左右方向に延びる平板状の第４部材６４Ｒと、右レール部材５０Ｒ及び中央レール部材５０Ｃの上側に隣接して左右方向に延びて設けられ且つ左右方向に垂直な断面が略Ｌ字状の第５部材６５Ｒと、第５部材６５Ｒを挟んで右レール部材５０Ｒ及び中央レール部材５０Ｃと対向配置され、左右方向に延びて設けられた第６部材６６Ｒと、を備える。
【0026】
図６及び図７に示すように、第４部材６４Ｒは、右レール部材５０Ｒの下端縁５０Ｒｄｅにおける上下方向に垂直な面と、中央レール部材５０Ｃの下端縁５０Ｃｄｅにおける上下方向に垂直な面とに当接する平坦な第３当接面６４Ｒａを有している。第３当接面６４Ｒａは、左右方向において、右レール部材５０Ｒの左端縁５０Ｒｅよりも境界線ＰＬ側に突出している。つまり、第４部材６４Ｒの左端縁は、右レール部材５０Ｒの左端縁５０Ｒｅよりも左側に位置している。
【0027】
図６及び図７に示すように、第５部材６５Ｒは、前後方向の厚みが大きな肉厚部Ｄ３と、肉厚部Ｄ３から下方向に延びた肉厚部Ｄ３よりも厚みが小さな薄肉部Ｄ４と、を備える。薄肉部Ｄ４は、右レール部材５０Ｒの上端縁５０Ｒｕｅにおける上下方向に垂直な面と、中央レール部材５０Ｃの上端縁５０Ｃｕｅにおける上下方向に垂直な面とに当接する平坦な第４当接面６５Ｒａを有している。第４当接面６５Ｒａは、左右方向において、右レール部材５０Ｒの左端縁５０Ｒｅよりも境界線ＰＬ側に突出している。つまり、第５部材６５Ｒの左端縁は、右レール部材５０Ｒの左端縁５０Ｒｅよりも右側に位置している。
【0028】
図２、図６、及び図７に示すように、第６部材６６Ｒは、肉厚部Ｄ３に隣接して左右方向に延びる柱状の本体部６６Ｒｂと、本体部６６Ｒｂを上下方向に貫通する複数の貫通孔６６Ｒｈのそれぞれに圧入された押圧部材６６Ｒａと、を備える。第６部材６６Ｒでは、押し込みネジＳを貫通孔６６Ｒｈに押し込み、その押し込み量を調整することで、貫通孔６６Ｒｈからの押圧部材６６Ｒａの下側への突出量を調整することができるようになっている。本体部６６Ｒｂの下端面と、右レール部材５０Ｒにおける第４当接面６５Ｒａとの接触面との間の上下方向の距離は、前述した距離Ｌ１と同じになっており、第５部材６５Ｒの上下方向の幅よりも僅かに大きく構成されている。産業用ロボット１００が組み立てられた状態においては、図６及び図７に示すように、肉厚部Ｄ３が押圧部材６６Ｒａによって押圧されて、第５部材６５Ｒが右レール部材５０Ｒ及び中央レール部材５０Ｃに向けて押し付けられた状態となっている。
【0029】
ここまでは、ガイドレール５０と、ガイドレール５０の一部である中央レール部材５０Ｃの位置決めを行うための左側位置決め部材６０Ｌ及び右側位置決め部材６０Ｒについて、その詳細を説明した。産業用ロボット１００においては、ガイドレール５１とガイドレール５２のそれぞれについても、ガイドレール５０と同様の構造となっており、更に、ガイドレール５１の一部である中央レール部材の位置決めを行うための左側位置決め部材及び右側位置決め部材と、ガイドレール５２の一部である中央レール部材の位置決めを行うための左側位置決め部材及び右側位置決め部材と、が設けられている。
【0030】
例えば、図８に示すように、ガイドレール５１は、左レール部材５１Ｌと、中央レール部材５１Ｃと、右レール部材５１Ｒとを繋げて構成されている。第１下枠部１０Ｄａには、中央レール部材５１Ｃの取り付け位置の位置決めを行うための左側位置決め部材７０Ｌが設けられ、第１下枠部２０Ｄａには、中央レール部材５１Ｃの取り付け位置の位置決めを行うための右側位置決め部材７０Ｒが設けられている。左側位置決め部材７０Ｌは、第１部材７１Ｌと、第２部材７２Ｌと、第３部材７３Ｌと、を備える。右側位置決め部材７０Ｒは、第４部材７４Ｒと、第５部材７５Ｒと、第６部材７６Ｒと、を備える。左側位置決め部材７０Ｌ及び右側位置決め部材７０Ｒとガイドレール５１との関係は、左側位置決め部材６０Ｌ及び右側位置決め部材６０Ｒとガイドレール５０との関係と同じである。
【0031】
図８に示したように、左枠部２０Ｌの下端部の前面には、固定ブロック８２が固着されている。右枠部１０Ｒの下端部の前面には、固定ブロック８１が固着されている。固定ブロック８１には、貫通孔が設けられており、この貫通孔にはボルト８３が挿通されている。ボルト８３の下端は、この貫通孔から下側に突出して固定ブロック８２に当接している。産業用ロボット１００では、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０を連結した後、ボルト８３の下端の突出量を調整することで、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０の上下方向の位置を調整可能となっている。
【0032】
（ロボットの組み立て方法）
以上のように構成された産業用ロボット１００は、例えば、第２部材６２Ｌ、第５部材６５Ｒ、及び中央レール部材５０ＣがフレームＦＬから取外され、且つ、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０との連結が解除された状態で、工場等に納品される。なお、以下では説明を省略するが、ガイドレール５１とガイドレール５２のそれぞれについても、それぞれに対応して設けられた位置決め部材のうちの第２部材及び第５部材と、それぞれの中央レール部材とが、フレームＦＬから取外された状態で工場等に納品される。
以上のように構成された産業用ロボット１００は、例えば、第２部材６２Ｌ、第５部材６５Ｒ、及び中央レール部材５０ＣがフレームＦＬから取外され、且つ、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０との連結が解除された状態で、工場等に納品される。なお、以下では説明を省略するが、ガイドレール５１とガイドレール５２のそれぞれについても、それぞれに対応して設けられた位置決め部材のうちの第２部材及び第５部材と、それぞれの中央レール部材とが、フレームＦＬから取外された状態で工場等に納品される。
【0033】
納品先の作業者は、まず、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０を連結する。その後、作業者は、左フレーム部材１０における左レール部材５０Ｌと第３部材６３Ｌの間に第２部材６２Ｌを仮止めし、右フレーム部材２０における右レール部材５０Ｒと第６部材６６Ｒの間に第５部材６５Ｒを仮止めする。
【0034】
次に、作業者は、第１部材６１Ｌと第２部材６２Ｌの間に中央レール部材５０Ｃの左端部を配置し、第４部材６４Ｒと第５部材６５Ｒの間に中央レール部材５０Ｃの右端部を配置する。この作業により、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅと中央レール部材５０Ｃの左端縁とが当接し、右レール部材５０Ｒの左端縁５０Ｒｅと中央レール部材５０Ｃの右端縁とが当接して、左レール部材５０Ｌと中央レール部材５０Ｃと右レール部材５０Ｒとが左右方向に隙間なく繋がった状態が得られる。
【0035】
次に、作業者は、第３部材６３Ｌの貫通孔６３Ｌｈに押し込みネジＳを挿入し、押し込みネジＳを奥まで挿入することで、貫通孔６３Ｌｈに圧入されている押圧部材６３Ｌａを第２部材６２Ｌの肉厚部Ｄ１に押し付ける。この押し付け作業によって、第３部材６３Ｌと左レール部材５０Ｌとの距離は小さくなる方向に変化し、左レール部材５０Ｌの上端縁５０Ｌｕｅにおける平坦面と、中央レール部材５０Ｃの上端縁５０Ｃｕｅにおける平坦面とに、第２部材６２Ｌの第２当接面６２Ｌａが当接して、押し込みネジＳは、それ以上は挿入できなくなる。押し込みネジＳが挿入できなくなる状態になると、中央レール部材５０Ｃの下端縁５０Ｃｄｅにおける平坦面と、第１部材６１Ｌの第１当接面６１Ｌａとが当接した状態となる。この結果、左レール部材５０Ｌと中央レール部材５０Ｃの上下方向の位置は一致する。次に、作業者は、ボルトを緩く締めることで仮止めしていた第２部材６２Ｌを、そのボルトをきつく締めることで、左フレーム部材１０に強固に固定する。
【0036】
更に、作業者は、第６部材６６Ｒの貫通孔６６Ｒｈに押し込みネジＳを挿入し、押し込みネジＳを奥まで挿入することで、貫通孔６６Ｒｈに圧入されている押圧部材６６Ｒａを第５部材６５Ｒの肉厚部Ｄ３に押し付ける。この押し付けによって、第６部材６６Ｒと右レール部材５０Ｒとの距離は小さくなる方向に変化し、右レール部材５０Ｒの上端縁５０Ｒｕｅにおける平坦面と、中央レール部材５０Ｃの上端縁５０Ｃｕｅにおける平坦面とに、第５部材６５Ｒの第４当接面６５Ｒａが当接して、押し込みネジＳは、それ以上は挿入できなくなる。押し込みネジＳが挿入できなくなる状態になると、中央レール部材５０Ｃの下端縁５０Ｃｄｅにおける平坦面と、第４部材６４Ｒの第３当接面６４Ｒａとが当接した状態となる。この結果、右レール部材５０Ｒと中央レール部材５０Ｃの上下方向の位置は一致する。次に、作業者は、ボルトを緩く締めることで仮止めしていた第５部材６５Ｒを、そのボルトをきつく締めることで、右フレーム部材２０に強固に固定する。
【0037】
ガイドレール５１とガイドレール５２のそれぞれについても、それぞれに対応して設けられた位置決め部材のうちの第２部材及び第５部材と、それぞれの中央レール部材とを同様にしてフレームＦＬに取り付けることで、産業用ロボット１００の組み立ては完了する。
【0038】
（産業用ロボットの効果）
産業用ロボット１００によれば、中央レール部材５０Ｃを左フレーム部材１０と右フレーム部材２０から取外した場合でも、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅが左フレーム部材１０の外側に突き出ることはなく、また、右レール部材５０Ｒの左端縁５０Ｒｅが右フレーム部材２０の外側に突き出ることはない。このため、輸送中に左レール部材５０Ｌと右レール部材５０Ｒが破損するのを防ぐことができる。
産業用ロボット１００によれば、中央レール部材５０Ｃを左フレーム部材１０と右フレーム部材２０から取外した場合でも、左レール部材５０Ｌの右端縁５０Ｌｅが左フレーム部材１０の外側に突き出ることはなく、また、右レール部材５０Ｒの左端縁５０Ｒｅが右フレーム部材２０の外側に突き出ることはない。このため、輸送中に左レール部材５０Ｌと右レール部材５０Ｒが破損するのを防ぐことができる。
【0039】
また、産業用ロボット１００によれば、左側位置決め部材６０Ｌと右側位置決め部材６０Ｒを備えているため、特別な計測装置や治具等を用いることなく、左フレーム部材１０と右フレーム部材２０のそれぞれの適切な位置に中央レール部材５０Ｃを取り付けることができる。したがって、中央レール部材５０Ｃを取り外して産業用ロボット１００を輸送する場合でも、その輸送先にて、中央レール部材５０Ｃを適切に取り付けて、産業用ロボット１００を正確に組み立てることができる。
【0040】
以上説明してきたように、本明細書には以下の事項が開示されている。なお、括弧内には、上記した実施形態において対応する構成要素等を示しているが、これに限定されるものではない。
【0041】
（１）
搬送対象物を搬送する搬送部（搬送部４０）の第１方向（左右方向）への移動をガイドするガイドレール（ガイドレール５０）と、
上記ガイドレールを支持するフレーム（フレームＦＬ）と、を備え、
上記ガイドレールは、上記第１方向に並ぶ複数のレール部材（左レール部材５０Ｌ、右レール部材５０Ｒ、中央レール部材５０Ｃ）を含み、
上記フレームは、上記第１方向に並ぶ複数のフレーム部材（左フレーム部材１０、右フレーム部材２０）を含み、
隣り合う２つの上記フレーム部材のうちの一方を第１フレーム部材（左フレーム部材１０）とし、他方を第２フレーム部材（右フレーム部材２０）とし、
上記第１フレーム部材は、上記複数のレール部材のいずれか１つである第１レール部材（左レール部材５０Ｌ）を支持し、
上記第２フレーム部材は、上記複数のレール部材のうちの上記第１レール部材とは異なる第２レール部材（右レール部材５０Ｒ）を支持し、
上記第１レール部材の上記第２フレーム部材側の第１端縁（右端縁５０Ｌｅ）は、上記第１フレーム部材と上記第２フレーム部材の境界（境界線ＰＬ）よりも、上記第１フレーム部材側に位置し、
上記第２レール部材の上記第１フレーム部材側の第２端縁（左端縁５０Ｒｅ）は、上記境界よりも、上記第２フレーム部材側に位置し、
上記複数のレール部材のうち、上記第１レール部材と上記第２レール部材の間の第３レール部材（中央レール部材５０Ｃ）は、上記第１フレーム部材と上記第２フレーム部材によって支持される、産業用ロボット。
搬送対象物を搬送する搬送部（搬送部４０）の第１方向（左右方向）への移動をガイドするガイドレール（ガイドレール５０）と、
上記ガイドレールを支持するフレーム（フレームＦＬ）と、を備え、
上記ガイドレールは、上記第１方向に並ぶ複数のレール部材（左レール部材５０Ｌ、右レール部材５０Ｒ、中央レール部材５０Ｃ）を含み、
上記フレームは、上記第１方向に並ぶ複数のフレーム部材（左フレーム部材１０、右フレーム部材２０）を含み、
隣り合う２つの上記フレーム部材のうちの一方を第１フレーム部材（左フレーム部材１０）とし、他方を第２フレーム部材（右フレーム部材２０）とし、
上記第１フレーム部材は、上記複数のレール部材のいずれか１つである第１レール部材（左レール部材５０Ｌ）を支持し、
上記第２フレーム部材は、上記複数のレール部材のうちの上記第１レール部材とは異なる第２レール部材（右レール部材５０Ｒ）を支持し、
上記第１レール部材の上記第２フレーム部材側の第１端縁（右端縁５０Ｌｅ）は、上記第１フレーム部材と上記第２フレーム部材の境界（境界線ＰＬ）よりも、上記第１フレーム部材側に位置し、
上記第２レール部材の上記第１フレーム部材側の第２端縁（左端縁５０Ｒｅ）は、上記境界よりも、上記第２フレーム部材側に位置し、
上記複数のレール部材のうち、上記第１レール部材と上記第２レール部材の間の第３レール部材（中央レール部材５０Ｃ）は、上記第１フレーム部材と上記第２フレーム部材によって支持される、産業用ロボット。
【0042】
（１）によれば、産業用ロボットを輸送する際には、第３レール部材を第１フレーム部材と第２フレーム部材から取外すことで、第１端縁と第２端縁がフレーム部材よりも外側に突き出るのを防ぐことができる。これにより、輸送中にレール部材が破損するのを防ぐことができる。
【0043】
（２）
（１）に記載の産業用ロボットであって、
上記第１フレーム部材は、上記第３レール部材の取り付け位置の位置決めを行うための第１位置決め部材（左側位置決め部材６０Ｌ）を更に支持する、産業用ロボット。
（１）に記載の産業用ロボットであって、
上記第１フレーム部材は、上記第３レール部材の取り付け位置の位置決めを行うための第１位置決め部材（左側位置決め部材６０Ｌ）を更に支持する、産業用ロボット。
【0044】
（２）によれば、特別な計測装置や治具等を用いることなく、第１フレーム部材の適切な位置に第３レール部材を取り付けることができる。したがって、第３レール部材を取り外して産業用ロボットを輸送した場合でも、その輸送先にて、第３レール部材を適切に取り付けて、産業用ロボットを正確に組み立てることができる。
【0045】
（３）
（２）に記載の産業用ロボットであって、
上記搬送部から上記フレームに向かう方向（前後方向）と上記第１方向に直交する方向を第２方向（上下方向）とし、
上記第１位置決め部材は、上記第１レール部材の上記第２方向の一方の端縁（下端縁５０Ｌｄｅ）に当接する第１当接面（第１当接面６１Ｌａ）を有し、且つ、上記第１当接面が上記第１端縁よりも上記境界側に突出して形成された第１部材（第１部材６１Ｌ）を含む、産業用ロボット。
（２）に記載の産業用ロボットであって、
上記搬送部から上記フレームに向かう方向（前後方向）と上記第１方向に直交する方向を第２方向（上下方向）とし、
上記第１位置決め部材は、上記第１レール部材の上記第２方向の一方の端縁（下端縁５０Ｌｄｅ）に当接する第１当接面（第１当接面６１Ｌａ）を有し、且つ、上記第１当接面が上記第１端縁よりも上記境界側に突出して形成された第１部材（第１部材６１Ｌ）を含む、産業用ロボット。
【0046】
（３）によれば、第３レール部材の第２方向の一方の端縁を第１当接面に突き当てることで、第１レール部材と第３レール部材の第２方向の一方側の端縁の位置を一致させることができる。これにより、産業用ロボットを正確に組み立てることができる。
【0047】
（４）
（３）に記載の産業用ロボットであって、
上記第１位置決め部材は、上記第１レール部材の上記第２方向の他方の端縁（上端縁５０Ｌｕｅ）に当接可能な第２当接面（第２当接面６２Ｌａ）を有し、且つ、上記第２当接面が上記第１端縁よりも上記境界側に突出して形成された第２部材（第２部材６２Ｌ）と、上記第２部材を挟んで上記第１レール部材と対向配置された第３部材（第３部材６３Ｌ）と、を含み、
上記第３部材と上記第１レール部材との距離は変更可能に構成されている、産業用ロボット。
（３）に記載の産業用ロボットであって、
上記第１位置決め部材は、上記第１レール部材の上記第２方向の他方の端縁（上端縁５０Ｌｕｅ）に当接可能な第２当接面（第２当接面６２Ｌａ）を有し、且つ、上記第２当接面が上記第１端縁よりも上記境界側に突出して形成された第２部材（第２部材６２Ｌ）と、上記第２部材を挟んで上記第１レール部材と対向配置された第３部材（第３部材６３Ｌ）と、を含み、
上記第３部材と上記第１レール部材との距離は変更可能に構成されている、産業用ロボット。
【0048】
（４）によれば、第３レール部材の第２方向の一方の端縁を第１当接面に突き当てた状態で、第１レール部材及び第３レール部材と第３部材の間に第２部材を配置し、その状態で、第３部材と第１レール部材との距離を縮めることで、第１レール部材と第３レール部材の第２方向の他方側の端縁の位置を一致させることができる。これにより、産業用ロボットを正確に組み立てることができる。
【0049】
（５）
（２）に記載の産業用ロボットであって、
上記第２フレーム部材は、上記第３レール部材の取り付けの位置決めを行うための第２位置決め部材（右側位置決め部材６０Ｒ）を更に支持する、産業用ロボット。
（２）に記載の産業用ロボットであって、
上記第２フレーム部材は、上記第３レール部材の取り付けの位置決めを行うための第２位置決め部材（右側位置決め部材６０Ｒ）を更に支持する、産業用ロボット。
【0050】
（５）によれば、特別な計測装置や治具等を用いることなく、第２フレーム部材の適切な位置に第３レール部材を取り付けることができる。したがって、第３レール部材を取り外して産業用ロボットを輸送した場合でも、その輸送先にて、第３レール部材を適切に取り付けて、産業用ロボットを正確に組み立てることができる。
【0051】
（６）
（５）に記載の産業用ロボットであって、
上記搬送部から上記フレームに向かう方向（前後方向）と上記第１方向に直交する方向を第２方向（上下方向）とし、
上記第２位置決め部材は、上記第２レール部材の上記第２方向の一方の端縁（下端縁５０Ｒｄｅ）に当接する第３当接面（第３当接面６４Ｒａ）を有し、且つ、上記第３当接面が上記第２端縁よりも上記境界側に突出して形成された第４部材（第４部材６４Ｒ）を含む、産業用ロボット。
（５）に記載の産業用ロボットであって、
上記搬送部から上記フレームに向かう方向（前後方向）と上記第１方向に直交する方向を第２方向（上下方向）とし、
上記第２位置決め部材は、上記第２レール部材の上記第２方向の一方の端縁（下端縁５０Ｒｄｅ）に当接する第３当接面（第３当接面６４Ｒａ）を有し、且つ、上記第３当接面が上記第２端縁よりも上記境界側に突出して形成された第４部材（第４部材６４Ｒ）を含む、産業用ロボット。
【0052】
（６）によれば、第３レール部材の第２方向の一方の端縁を第３当接面に突き当てることで、第２レール部材と第３レール部材の第２方向の一方側の端縁の位置を一致させることができる。これにより、産業用ロボットを正確に組み立てることができる。
【0053】
（７）
（６）に記載の産業用ロボットであって、
上記第２位置決め部材は、上記第２レール部材の上記第２方向の他方の端縁（上端縁５０Ｒｕｅ）に当接可能な第４当接面（第４当接面６５Ｒａ）を有し、且つ、上記第４当接面が上記第２端縁よりも上記境界側に突出して形成された第５部材（第５部材６５Ｒ）と、上記第５部材を挟んで上記第２レール部材と対向配置された第６部材（第６部材６６Ｒ）と、を含み、
上記第６部材と上記第２レール部材との距離は変更可能に構成されている、産業用ロボット。
（６）に記載の産業用ロボットであって、
上記第２位置決め部材は、上記第２レール部材の上記第２方向の他方の端縁（上端縁５０Ｒｕｅ）に当接可能な第４当接面（第４当接面６５Ｒａ）を有し、且つ、上記第４当接面が上記第２端縁よりも上記境界側に突出して形成された第５部材（第５部材６５Ｒ）と、上記第５部材を挟んで上記第２レール部材と対向配置された第６部材（第６部材６６Ｒ）と、を含み、
上記第６部材と上記第２レール部材との距離は変更可能に構成されている、産業用ロボット。
【0054】
（７）によれば、第３レール部材の第２方向の一方の端縁を第３当接面に突き当てた状態で、第２レール部材及び第３レール部材と第６部材の間に第５部材を配置し、その状態で、第６部材と第２レール部材との距離を縮めることで、第２レール部材と第３レール部材の第２方向の他方側の端縁の位置を一致させることができる。これにより、産業用ロボットを正確に組み立てることができる。
【符号の説明】
【0055】
Ｈ１，Ｈ２ 範囲
Ｄ１，Ｄ３ 肉厚部
Ｌ１ 距離
Ｄ２，Ｄ４ 薄肉部
１０Ｄ，２０Ｄ 下枠部
１０Ｌ，２０Ｌ 左枠部
１０Ｒ，２０Ｒ 右枠部
１０Ｕ，２０Ｕ 上枠部
１０Ｄａ，２０Ｄａ 第１下枠部
１０Ｄｂ，２０Ｄｂ 第２下枠部
１０ 左フレーム部材
２０ 右フレーム部材
３０ 支持部
３１，３２，３３ 係合部
４０ 搬送部
４１ ハンド
４２ アーム
４３，６３Ｌｂ，６６Ｒｂ 本体部
５０Ｃ，５１Ｃ 中央レール部材
５０Ｌ，５１Ｌ 左レール部材
５０Ｒ，５１Ｒ 右レール部材
５０Ｌｅ 右端縁
５０Ｒｅ 左端縁
５０Ｌｄｅ，５０Ｃｄｅ，５０Ｒｄｅ 下端縁
５０Ｌｕｅ，５０Ｃｕｅ，５０Ｒｕｅ 上端縁
５０，５１，５２ ガイドレール
６０Ｌ，７０Ｌ 左側位置決め部材
６０Ｒ，７０Ｒ 右側位置決め部材
６１Ｌ，７１Ｌ 第１部材
６１Ｌａ 第１当接面
６２Ｌ，７２Ｌ 第２部材
６５Ｒ，７５Ｒ 第５部材
６２Ｌａ 第２当接面
６５Ｒａ 第４当接面
６３Ｌ，７３Ｌ 第３部材
６３Ｌａ，６６Ｒａ 押圧部材
６３Ｌｈ，６６Ｒｈ 貫通孔
６４Ｒ，７４Ｒ 第４部材
６４Ｒａ 第３当接面
６６Ｒ，７６Ｒ 第６部材
８１，８２ 固定ブロック
８３ ボルト
１００ 産業用ロボット
Ｄ１，Ｄ３ 肉厚部
Ｌ１ 距離
Ｄ２，Ｄ４ 薄肉部
１０Ｄ，２０Ｄ 下枠部
１０Ｌ，２０Ｌ 左枠部
１０Ｒ，２０Ｒ 右枠部
１０Ｕ，２０Ｕ 上枠部
１０Ｄａ，２０Ｄａ 第１下枠部
１０Ｄｂ，２０Ｄｂ 第２下枠部
１０ 左フレーム部材
２０ 右フレーム部材
３０ 支持部
３１，３２，３３ 係合部
４０ 搬送部
４１ ハンド
４２ アーム
４３，６３Ｌｂ，６６Ｒｂ 本体部
５０Ｃ，５１Ｃ 中央レール部材
５０Ｌ，５１Ｌ 左レール部材
５０Ｒ，５１Ｒ 右レール部材
５０Ｌｅ 右端縁
５０Ｒｅ 左端縁
５０Ｌｄｅ，５０Ｃｄｅ，５０Ｒｄｅ 下端縁
５０Ｌｕｅ，５０Ｃｕｅ，５０Ｒｕｅ 上端縁
５０，５１，５２ ガイドレール
６０Ｌ，７０Ｌ 左側位置決め部材
６０Ｒ，７０Ｒ 右側位置決め部材
６１Ｌ，７１Ｌ 第１部材
６１Ｌａ 第１当接面
６２Ｌ，７２Ｌ 第２部材
６５Ｒ，７５Ｒ 第５部材
６２Ｌａ 第２当接面
６５Ｒａ 第４当接面
６３Ｌ，７３Ｌ 第３部材
６３Ｌａ，６６Ｒａ 押圧部材
６３Ｌｈ，６６Ｒｈ 貫通孔
６４Ｒ，７４Ｒ 第４部材
６４Ｒａ 第３当接面
６６Ｒ，７６Ｒ 第６部材
８１，８２ 固定ブロック
８３ ボルト
１００ 産業用ロボット
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】