特開 2024-49577 紫外線照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024049577

(43)【公開日】2024-04-10

(54)【発明の名称】紫外線照射装置

(51)【国際特許分類】

   B01J 19/12 20060101AFI20240403BHJP

   A61L 2/10 20060101ALI20240403BHJP

【ＦＩ】

B01J19/12 C

A61L2/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022155873

(22)【出願日】2022-09-29

(71)【出願人】

【識別番号】000003757

【氏名又は名称】東芝ライテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100146592

【弁理士】

【氏名又は名称】市川 浩

(74)【代理人】

【氏名又は名称】白井 達哲

(74)【代理人】

【識別番号】100176751

【弁理士】

【氏名又は名称】星野 耕平

(72)【発明者】

【氏名】櫻井 公人

(72)【発明者】

【氏名】日野 弘喜

(72)【発明者】

【氏名】前田 晶子

【テーマコード（参考）】

4C058

4G075

【Ｆターム（参考）】

4C058AA23

4C058BB06

4C058KK02

4C058KK23

4C058KK26

4G075AA22

4G075AA30

4G075AA61

4G075BA04

4G075BB10

4G075CA33

4G075DA02

4G075EB33

4G075EC09

4G075ED13

4G075FA03

4G075FB02

4G075FC04

(57)【要約】

【課題】発光素子の数を少なくしても、紫外線の照射領域を実質的に大きくすることができる紫外線照射装置を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る紫外線照射装置は、箱状を呈する筐体と；前記筐体の内部に設けられ、処理対象物を載置可能な載置部と；前記筐体の内部に設けられ、第１の方向において、前記載置部と対向し、前記載置部側に紫外線を照射可能な発光素子を有する照射部と；前記筐体の内部に設けられ、前記第１の方向と直交する第２の方向において、前記照射部の位置を移動させる移動部と；を具備している。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

箱状を呈する筐体と；
前記筐体の内部に設けられ、処理対象物を載置可能な載置部と；
前記筐体の内部に設けられ、第１の方向において、前記載置部と対向し、前記載置部側に紫外線を照射可能な発光素子を有する照射部と；
前記筐体の内部に設けられ、前記第１の方向と直交する第２の方向において、前記照射部の位置を移動させる移動部と；
を具備した紫外線照射装置。

【請求項2】

前記筐体の内部に設けられ、前記載置部を支持する一対の支持部をさらに具備し、
前記第１の方向において、前記一対の支持部は、所定の間隔をあけて複数組設けられている請求項１記載の紫外線照射装置。

【請求項3】

前記載置部は、金網状を呈している請求項１または２に記載の紫外線照射装置。

【請求項4】

前記筐体の内部に設けられ、板状を呈し、前記載置部が設けられる空間と、前記照射部が設けられる空間と、を仕切り、前記紫外線を透過可能な仕切り部をさらに具備した請求項１または２に記載の紫外線照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、紫外線照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

紫外線を照射する発光ダイオードなどの発光素子を備えた紫外線照射装置がある。従来においては、この様な紫外線照射装置は、例えば、紫外線硬化型のインク、塗料、接着剤などの硬化、材料の表面改質、液晶の光配向などに用いられていた。また、紫外線には殺菌作用がある。そのため、紫外線照射装置は、部材の表面に付着した細菌の殺菌やウイルスの不活性化などにも用いられるようになってきている。

【0003】

ここで、紫外線照射の目的によっては、ピーク波長の短い紫外線を照射する発光素子を用いるのが好ましい場合がある。例えば、紫外線硬化型のインクや接着剤などの成分によっては、ピーク波長が３００ｎｍ以下の紫外線を照射した方が好ましい場合がある。また、細菌やウイルスのＤＮＡやＲＮＡは、波長が２６０ｎｍ程度の紫外線を吸収し易い。そのため、細菌の殺菌やウイルスの不活性化を行う場合には、ピーク波長が２６０ｎｍ程度の紫外線を照射することが好ましい。

【0004】

そのため、紫外線照射装置の用途などによっては、ピーク波長が３００ｎｍ以下の紫外線を照射する発光素子を用いる場合がある。しかしながら、ピーク波長が３００ｎｍ以下の紫外線を照射する発光素子は、価格が高いという問題がある。

【0005】

また、ピーク波長にかかわらず、発光素子の光の出射面の面積は小さい。そのため、１つの発光素子による紫外線の照射領域は小さくなる。そのため。例えば、表面積の大きな処理対象物や、多数の処理対象物を処理する際には、多数の発光素子が必要となる。紫外線照射装置に多数の発光素子を設けると、紫外線照射装置の大型化、重量化、高価格化を招くことになる。また、前述した様に、ピーク波長が３００ｎｍ以下の紫外線を照射する発光素子は価格が高いので、紫外線照射装置に多数の発光素子を設けると、紫外線照射装置のさらなる高価格化を招くことになる。

【0006】

そこで、発光素子の数を少なくしても、紫外線の照射領域を実質的に大きくすることができる紫外線照射装置の開発が望まれていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２０１４－１９４３３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明が解決しようとする課題は、発光素子の数を少なくしても、紫外線の照射領域を実質的に大きくすることができる紫外線照射装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

実施形態に係る紫外線照射装置は、箱状を呈する筐体と；前記筐体の内部に設けられ、処理対象物を載置可能な載置部と；前記筐体の内部に設けられ、第１の方向において、前記載置部と対向し、前記載置部側に紫外線を照射可能な発光素子を有する照射部と；前記筐体の内部に設けられ、前記第１の方向と直交する第２の方向において、前記照射部の位置を移動させる移動部と；を具備している。

【発明の効果】

【0010】

本発明の実施形態によれば、発光素子の数を少なくしても、紫外線の照射領域を実質的に大きくすることができる紫外線照射装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施の形態に係る処理装置を例示するための模式断面図である。

【図2】本実施の形態に係る処理装置を例示するための模式断面図である。

【図3】照射部を例示するための模式断面図である。

【図4】図３における照射部をＣ－Ｃ線方向から見た模式平面図である。

【図5】発光素子から照射された紫外線の分光分布曲線の一例を例示するためのグラフである。

【図6】他の実施形態に係る処理装置を例示するための模式断面図である。

【図7】他の実施形態に係る処理装置を例示するための模式断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。また、各図中の矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する三方向を表している。例えば、Ｘ方向（第２の方向の一例に相当する）と、Ｙ方向（第２の方向の一例に相当する）は水平方向とし、Ｚ方向（第１の方向の一例に相当する）は鉛直方向としている。

【0013】

本実施の形態に係る紫外線照射装置（以下、処理装置１と称する）は、処理対象物１００に、紫外線を照射する。
処理対象物１００は、紫外線による処理を行うものであれば特に限定はない。例えば、処理対象物１００は、紫外線硬化型のインク、塗料、接着剤などが付着したもの、表面改質を行うもの、光配向を行う液晶、細菌の殺菌やウイルスの不活性化を行うものなどとすることができる。

【0014】

ここで、例えば、細菌の殺菌やウイルスの不活性化を行う場合には、ピーク波長が３００ｎｍ以下の紫外線を照射する発光素子を用いることが好ましい。しかしながら、この様な波長を有する発光素子は、価格が高くなる。そのため、この様な波長を有する発光素子の数を少なくしても、紫外線の照射領域を実質的に大きくすることができれば、さらに大きな利益を得ることができる。

【0015】

図１、および図２は、本実施の形態に係る処理装置１を例示するための模式断面図である。
図１は、図２における処理装置１のＢ－Ｂ線方向の模式断面図である。
図２は、図１における処理装置１のＡ－Ａ線方向の模式断面図である。
図１、および図２に示すように、処理装置１は、例えば、筐体１０、仕切り部２０、照射部３０、載置部４０、移動部５０、およびコントローラ６０を有する。

【0016】

筐体１０は、箱状を呈し、内部に、処理対象物１００、仕切り部２０、照射部３０、載置部４０、および移動部５０を収納する空間を有する。筐体１０には、孔１０ａ１を設けることができる。孔１０ａ１は、例えば、筐体１０の天井の近傍に設けることができる。孔１０ａ１は、筐体１０の外部の雰囲気と、筐体１０の内部空間を繋いでいる。また、孔１０ａ１を覆うフィルタを設けることもできる。筐体１０の外形形状には特に限定はない。筐体１０の外形形状は、例えば、直方体とすることができる。

【0017】

筐体１０は、照射部３０から照射された紫外線を透過しない材料から形成される。例えば、筐体１０は、金属や紫外線を透過しない樹脂から形成される。筐体１０が、照射部３０から照射された紫外線を透過しない材料から形成されていれば、照射部３０から照射された紫外線が筐体１０の外部に漏れるのを抑制することができる。

【0018】

なお、筐体１０は一体に形成することもできるし、骨組み構造体の外面に、紫外線を透過しない材料を用いた板材を、接合したり、取り付けたりしてもよい。

【0019】

また、後述する筐体１０の処理室１０ｂとなる部分の内壁と、後述する開閉扉１０ｄの内壁には、反射部１０ｅを設けることができる。例えば、反射部１０ｅは、板状を呈し、照射部３０（発光素子３１ｂ）から照射された紫外線に対する反射率が高い材料から形成される。反射部１０ｅは、例えば、アルミニウムやアルミニウム合金から形成される。

【0020】

なお、筐体１０の内壁が、反射部１０ｅで覆われる場合には、筐体１０の材料は、ある程度の剛性を有するものであれば特に限定はない。また、筐体１０が、アルミニウム合金などの紫外線に対する反射率が高い材料から形成される場合には、反射部１０ｅを省くこともできる。この場合、少なくとも、筐体１０の、処理室１０ｂとなる部分の内壁にバフ研磨などを施すことが好ましい。

【0021】

図１、および図２に示すように、照射部３０から照射され、処理対象物１００に入射しなかった紫外線の一部は、載置部４０を介して、反射部１０ｅや、反射率の高い材料から形成された処理室１０ｂの内壁に入射する。反射部１０ｅなどに入射した紫外線は反射されて、載置部４０を介して、処理対象物１００の裏側に入射する。そのため、反射部１０ｅが設けられていたり、処理室１０ｂの内壁における反射率が高かったりすれば、処理対象物１００の裏側の処理を行うことができる。また、照射部３０から照射された紫外線の利用効率を向上させることができる。

【0022】

また、処理対象物１００を載置部４０の載置面に載置する際には、処理対象物１００が筐体１０（処理室１０ｂ）の内部に搬入される。そのため、図２に示すように、筐体１０の側面の処理室１０ｂの位置には開閉扉１０ｄを設けることができる。また、筐体１０には、開閉扉１０ｄの開閉状態を検出するセンサを設けることができる。

【0023】

仕切り部２０は、板状を呈し、筐体１０の内部に着脱可能に設けられている。例えば、仕切り部２０の面は、Ｘ方向、およびＹ方向に平行となっている。Ｚ方向において、仕切り部２０は、筐体１０の内部空間を仕切っている。仕切り部２０は、載置部４０が設けられる空間（処理室１０ｂ）と、照射部３０および移動部５０が設けられる空間（照射室１０ａ）と、を仕切っている。仕切り部２０の周縁は、例えば、筐体１０の内壁に取り付けることができる。仕切り部２０は、照射部３０から照射された紫外線を透過する材料から形成されている。仕切り部２０は、例えば、ガラスや、アクリル樹脂などから形成することができる。

【0024】

ここで、載置部４０に載置された処理対象物１００から揮発成分が放出される場合がある。また、載置部４０に載置された処理対象物１００に紫外線が照射されると、揮発成分が放出される場合がある。放出された揮発成分が筐体１０の内部空間を漂って、照射部３０の紫外線が出射する部分に付着すると、紫外線の照射量が減少するおそれがある。仕切り部２０により、筐体１０の内部空間が、照射室１０ａと処理室１０ｂとに仕切られていれば、処理対象物１００から放出された揮発成分が照射部３０に到達するのを抑制することができる。また、仕切り部２０が筐体１０の内部に着脱可能に設けられていれば、揮発成分が付着した仕切り部２０を、筐体１０の外部に取り出して洗浄したり、揮発成分が付着した仕切り部２０に代えて他の仕切り部２０を筐体１０の内部に取り付けたりするのが容易となる。すなわち、メンテナンス性の向上を図ることができる。

【0025】

照射部３０は、筐体１０（照射室１０ａ）の内部に設けられている。照射部３０の紫外線の出射側は、仕切り部２０を介して、載置部４０（処理対象物１００）と対向している。照射部３０は、載置部４０に載置された処理対象物１００に、仕切り部２０を介して紫外線を照射する。
すなわち、Ｚ方向において、照射部３０は、載置部４０と対向し、載置部４０側に紫外線を照射可能な発光素子３１ｂを有する。

【0026】

図３は、照射部３０を例示するための模式断面図である。
図４は、図３における照射部３０をＣ－Ｃ線方向から見た模式平面図である。
図３に示すように、照射部３０は、例えば、発光モジュール３１、冷却部３２、ケース３３、およびハンガー３４を有する。

【0027】

図３、および図４に示すように、発光モジュール３１は、ケース３３の内部に設けられている。発光モジュール３１は、少なくとも１つ設けることができる。複数の発光モジュール３１を設ける場合には、図４に示すように、複数の発光モジュール３１を、後述する照射部３０の移動方向（例えば、Ｘ方向）と直交する方向（例えば、Ｙ方向）に並べて設けることができる。

【0028】

発光モジュール３１の数は、例えば、Ｙ方向における、処理対象物１００の寸法などに応じて適宜変更することができる。例えば、並べて設けられた複数の発光モジュール３１の、Ｙ方向における合計寸法は、Ｙ方向における処理対象物１００の寸法、または、Ｙ方向における複数の処理対象物１００が載置された領域の寸法と、同じとするか、若干長くするか、若干短くすることが好ましい。すなわち、発光モジュール３１から照射された紫外線が、処理対象物１００のＹ方向における全領域に入射するようにすることが好ましい。

【0029】

発光モジュール３１は、例えば、基板３１ａ、および複数の発光素子３１ｂを有する。 基板３１ａは、板状を呈している。基板３１ａの平面形状は、例えば、四角形である。基板３１ａの材料は、例えば、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどの無機材料、紙フェノールやガラスエポキシなどの有機材料、金属板の表面を絶縁材料で被覆したメタルコア基板などとすることができる。この場合、発光素子３１ｂにおいて発生した熱の放熱を考慮すると、基板３１ａは、熱伝導率の高い材料から形成することが好ましい。例えば、基板３１ａは、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどのセラミックス、高熱伝導性樹脂、メタルコア基板などから形成することができる。なお、高熱伝導性樹脂は、例えば、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate）やナイロンなどの樹脂に、酸化アルミニウムなどを含むフィラーを混合させたものである。

【0030】

図４に示すように、基板３１ａは、例えば、ネジなどの締結部材を用いて、放熱部３２ａに取り付けられる。この場合、基板３１ａと放熱部３２ａとの間に、弾性を有する伝熱シートを設けたり、シリコーングリスからなる層などを設けたりすることができる。この様にすれば、発光素子３１ｂにおいて発生した熱が放熱部３２ａに伝わり易くなるので、発光素子３１ｂの温度が最大ジャンクション温度を超えるのを抑制することができる。

【0031】

また、基板３１ａは、例えば、熱伝導率の高い接着剤を用いて、放熱部３２ａに接着することもできる。熱伝導率の高い接着剤を用いて、基板３１ａが放熱部３２ａに接着されていれば、基板３１ａと放熱部３２ａとの間に隙間が生じるのを抑制することができるので、発光素子３１ｂにおいて発生した熱が放熱部３２ａに伝わり易くなる。また、発光モジュール３１の構成が簡易なものとなる。

【0032】

複数の発光素子３１ｂは、基板３１ａの、放熱部３２ａ側とは反対側の面に設けられている。複数の発光素子３１ｂの光の出射面は、ケース３３に設けられた窓３３ａに向けられている。複数の発光素子３１ｂから照射された紫外線は、窓３３ａを介して照射部３０の外部に照射される。

【0033】

複数の発光素子３１ｂは、並べて設けられている。例えば、図４に示すように、複数の発光素子３１ｂは、マトリクス状に並べて設けられる。複数の発光素子３１ｂの配設形態や数は、図４に例示をしたものに限定されるわけではなく、処理対象物１００の大きさなどに応じて適宜変更することができる。

【0034】

発光素子３１ｂは、紫外線を照射可能なものであれば特に限定はない。例えば、発光素子３１ｂは、紫外線を照射可能な発光ダイオードや、レーザダイオードなどである。複数の発光素子３１ｂは、チップ状の発光素子であってもよいし、表面実装型の発光素子であってもよいし、砲弾型などのリード線を有する発光素子であってもよい。

【0035】

また、紫外線による処理の目的などに応じて、適切なピーク波長の紫外線を照射する発光素子３１ｂを選択することができる。例えば、細菌やウイルスのＤＮＡやＲＮＡは、波長が２６０ｎｍ程度の紫外線を吸収し易い。そのため、細菌の殺菌やウイルスの不活性化を行う場合には、ピーク波長が２６０ｎｍ程度の紫外線を照射可能な発光素子３１ｂを選択すればよい。例えば、ピーク波長が、２００ｎｍ以上、３００ｎｍ以下の紫外線を照射可能な発光素子３１ｂとすればよい。

【0036】

図５は、発光素子３１ｂから照射された紫外線の分光分布曲線の一例を例示するためのグラフである。
分光分布のデータは、例えば、浜松ホトニクス株式会社製の分光測定器（型番：Ｃ７４７３－３６）を用い、周囲温度が２５℃の雰囲気で測定した。

【0037】

図５から分かるように、紫外線を照射する発光素子３１ｂとすれば、紫外線領域（例えば、ピーク波長が３００ｎｍ以下、波長帯域が２００ｎｍ以上、４００ｎｍ以下）における分光特性がナローになる。そのため、例えば、処理対象物１００の表面に付着した細菌の殺菌や、ウイルスの不活性化を効率よく行うことができる。

【0038】

図３に示すように、冷却部３２は、ケース３３の内部に設けられている。冷却部３２は、発光モジュール３１の、発光素子３１ｂが設けられる側とは反対側に設けられている。
冷却部３２は、例えば、放熱部３２ａ、および送風部３２ｂを有する。
放熱部３２ａは、発光モジュール３１と送風部３２ｂとの間に設けられている。放熱部３２ａは、例えば、発光モジュール３１が取り付けられるブロック状のベースと、ベースの、発光モジュール３１側とは反対側に設けられた複数のフィンと、を有する。放熱部３２ａは、例えば、アルミニウム合金などの熱伝導率の高い材料から形成される。

【0039】

送風部３２ｂは、例えば、Ｚ方向におけるケース３３の開口３３ｂと、放熱部３２ａとの間に設けられている。送風部３２ｂは、ケース３３の開口３３ｂを介して吸引した気体Ｇを、放熱部３２ａに設けられた複数のフィンに供給する。気体Ｇは、例えば、筐体１０の照射室１０ａの雰囲気に含まれている空気である。送風部３２ｂは、例えば、軸流ファンとすることができる。

【0040】

ケース３３は、箱状を呈し、Ｚ方向における一方の端部には窓３３ａが設けられている。窓３３ａは、板状を呈し、発光モジュール３１（発光素子３１ｂ）から照射された紫外線を透過する。窓３３ａは、例えば、紫外線透過ガラス（ultraviolet transmitting glass）、アクリル樹脂などから形成される。
尚、窓３３ａを設けた構成を例示したが、窓３３ａを設けない構成とすることもできる。

【0041】

Ｘ方向におけるケース３３の側面には、複数の排気口３３ｃが設けられている。送風部３２ｂにより、ケース３３の開口３３ｂを介して吸引された気体Ｇは、放熱部３２ａに設けられた複数のフィンの間を流れて、排気口３３ｃからケース３３の外部に排出される。ケース３３の外部に排出された気体Ｇは、照射室１０ａの内部空間を流れて、筐体１０の天井の近傍に設けられた孔１０ａ１を介して筐体１０の外部に排出される。また、筐体１０の外部にある気体が孔１０ａ１を介して筐体１０の内部空間に導入される。この様な気体Ｇの流れが形成されれば、発光モジュール３１（発光素子３１ｂ）の冷却効率を向上させることができる。

【0042】

図２に示すように、ハンガー３４は、一対設けることができる。一対のハンガー３４は、板状を呈し、Ｚ方向に延びている。一対のハンガー３４の一方の端部側は、後述する移動部５０のスライダーに取り付けられている。一対のハンガー３４の他方の端部側は、照射部３０のケース３３の側面に取り付けられている。また、一対のハンガー３４のそれぞれには、Ｚ方向に延びる孔が設けられている。照射部３０のケース３３は、Ｚ方向に延びる孔に挿入されたネジなどの締結部材により、一対のハンガー３４に取り付けられている。そのため、Ｚ方向において、ケース３３（発光素子３１ｂ）と、載置部４０に載置された処理対象物１００との間の距離Ｌを調整可能となっている。例えば、距離Ｌを小さくすれば、処理対象物１００の表面における紫外線の照度を高くすることができる。距離Ｌを大きくすれば、紫外線が照射される範囲を大きくすることができる。

【0043】

また、一対のハンガー３４の間を延びる補強バー３４ａを設けることができる。補強バー３４ａの端部は、Ｚ方向に延びるハンガー３４の孔に挿入されたネジなどの締結部材により、ハンガー３４に取り付けられる。補強バー３４ａが設けられていれば、一対のハンガー３４の剛性を大きくすることができ、ひいては、照射部３０の姿勢や位置を安定させることができる。

【0044】

載置部４０は、板状を呈し、筐体１０（処理室１０ｂ）の内部に設けられている。例えば、載置部４０は、Ｘ方向、およびＹ方向に平行となっている。載置部４０には、処理対象物１００が載置される。載置部４０の周縁は、例えば、筐体１０の内壁に取り付けることができる。

【0045】

前述したように、照射部３０から照射された紫外線が載置部４０を透過することができれば、処理室１０ｂの内部において紫外線を反射させて処理対象物１００の裏面側に入射させることができる。
そのため、載置部４０は、紫外線を透過する材料から形成したり、複数の孔を有する部材から形成したりすることができる。この場合、複数の孔を有する部材から載置部４０を形成すれば、紫外線が孔の内部を透過することになる。そのため、紫外線が載置部４０を透過する際に減衰するのを抑制することができるので、処理対象物１００の裏面側の処理効果を高めることができる。

【0046】

この場合、載置部４０が金網状（金網を用いて形成された載置部４０）であれば、紫外線の減衰をさらに抑制することができるので、処理対象物１００の裏面側の処理効果をさらに高めることができる。

【0047】

また、例えば、処理対象物１００が農産物などの場合には、処理対象物１００にゴミなどが付着している場合がある。処理対象物１００に付着していたゴミなどが、載置部４０の載置面に溜まると、処理対象物１００への紫外線の入射が妨げられることになる。載置部４０が金網状であれば、理対象物１００に付着していたゴミなどを載置部４０の下方に排出することができる。そのため、ゴミなどにより、処理対象物１００への紫外線の入射が妨げられるのを抑制することができる。

【0048】

図１、および図２に示すように、移動部５０は、筐体１０（照射室１０ａ）の内部に設けられている。移動部５０は、照射部３０の、載置部４０（処理対象物１００）側とは反対側に設けられている。例えば、移動部５０は、照射部３０と、筐体１０の天井との間に設けられている。移動部５０は、例えば、Ｘ方向において、照射部３０（発光素子３１ｂ）の位置を移動させる。移動部５０は、例えば、筐体１０の内部をＸ方向に延びる梁１０ｃなどに取り付けることができる。

【0049】

移動部５０は、例えば、ガイド、スライダー、および駆動部を有する。ガイドは、例えば、梁１０ｃに取り付けられる。ガイドは、例えば、Ｘ方向に延びている。スライダーは、ガイドに沿って、Ｘ方向に移動可能となっている。駆動部は、スライダーの位置を移動させる。駆動部は、例えば、エアシリンダとすることができる。

【0050】

前述した様に、照射部３０のケース３３は、一対のハンガー３４を介して、移動部５０のスライダーに接続されている。そのため、駆動部によりスライダーの位置を移動させれば、紫外線を照射している状態の照射部３０（発光素子３１ｂ）の位置を移動させることができる。そのため、照射部３０（発光素子３１ｂ）による紫外線の照射領域を移動させることができるので、紫外線の照射領域を実質的に大きくすることができる。

【0051】

また、照射部３０（発光素子３１ｂ）の位置を移動させて、載置部４０に載置された処理対象物１００の全域に紫外線を照射する様にしている。そのため、処理対象物１００の全域に対向する位置に発光素子３１ｂを設ける必要がない。すなわち、発光素子３１ｂの数を少なくすることができる。前述した様に、紫外線を照射可能な発光素子３１ｂの価格は高いので、発光素子３１ｂの数が少なくなれば、処理装置１（照射部３０）の低価格化を図ることができる。また、処理装置１（照射部３０）の小型化や軽量化を図ることもできる。

【0052】

また、以上においては、エアシリンダを備えた移動部５０を例示したが、移動部５０は、例えば、ガイド、スライダー、ボールネジなどの伝導部、およびサーボモータなどの制御モータを有するものであってもよい。例えば、移動部５０は、一軸ロボットなどとすることもできる。移動部５０が制御モータを有するものであれば、照射部３０（発光素子３１ｂ）の移動位置や移動速度を変更するのが容易となる。そのため、処理対象物１００の大きさや数などに応じて、紫外線の照射領域の大きさや位置を変えたり、後述する積算光量を変えたりするのが容易となる。

【0053】

また、照射部３０（発光素子３１ｂ）を、一方向（例えば、Ｘ方向）に移動させる移動部５０を例示したが、照射部３０（発光素子３１ｂ）を、二方向（例えば、Ｘ方向、およびＹ方向）に移動させる移動部としてもよい。例えば、前述した一方向に移動させる移動部５０を、Ｚ方向に重ねるなどして、照射部３０（発光素子３１ｂ）を、二方向に移動させる移動部とすることもできる。例えば、移動部は、二軸ロボットなどとしてもよい。照射部３０（発光素子３１ｂ）を、二方向に移動させる移動部とすれば、発光素子３１ｂの数をさらに少なくすることができる。

【0054】

以上に説明した様に、本実施の形態に係る処理装置１とすれば、発光素子３１ｂの数を少なくしても、紫外線の照射領域を実質的に大きくすることができる。

【0055】

コントローラ６０は、処理装置１に設けられた各要素の動作を制御する。コントローラ６０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算部と、半導体メモリなどの記憶部を有する。コントローラ６０は、例えば、コンピュータである。記憶部には、例えば、処理装置１に設けられた各要素の動作を制御する制御プログラムを格納することができる。

【0056】

例えば、コントローラ６０は、作業者が操作スイッチなどを操作することで、載置部４０に処理対象物１００が載置されたと判断した場合には、照射部３０を制御して照射部３０に紫外線を照射させる。この場合、コントローラ６０は、開閉扉１０ｄの開閉状態を検出するセンサからの信号に基づいて、開閉扉１０ｄが閉まっていると判断した場合には、照射部３０に紫外線を照射させ、開閉扉１０ｄが閉まっていないと判断した場合には、照射部３０に紫外線を照射させないようにする。この様にすれば、筐体１０の外部に紫外線が漏れるのを抑制することができる。

【0057】

また、コントローラ６０は、移動部５０を制御して、照射部３０（発光素子３１ｂ）による紫外線の照射領域を移動させる。この場合、処理対象物１００に照射される紫外線の積算光量が少なすぎると所望の処理効果が得られなくなるおそれがある。積算光量が多すぎると処理対象物１００が劣化するおそれがある。

【0058】

そのため、コントローラ６０は、発光素子３１ｂに印加する電圧、および移動部５０による照射部３０（発光素子３１ｂ）の移動速度の少なくともいずれかを制御して、処理対象物１００に照射される紫外線の積算光量を制御することができる。積算光量の適正値は、処理の目的、処理対象物１００の種類、大きさ、数などにより異なるものとなる場合がある。そのため、予め実験やシミュレーションを行うことで、積算光量の適正値を求め、求められた積算光量の適正値をコントローラ６０の記憶部に格納することができる。コントローラ６０は、記憶部に格納されている積算光量の適正値に基づいて、発光素子３１ｂに印加する電圧、および移動部５０による照射部３０（発光素子３１ｂ）の移動速度の少なくともいずれかを制御することができる。

【0059】

図６、および図７は、他の実施形態に係る処理装置１ａを例示するための模式断面図である。
図６は、図７における処理装置１ａのＥ－Ｅ線方向の模式断面図である。
図７は、図６における処理装置１ａのＤ－Ｄ線方向の模式断面図である。
図６、および図７に示すように、処理装置１ａは、例えば、筐体１１、仕切り部２０、照射部３０、載置部４０、移動部５０、およびコントローラ６０を有する。

【0060】

筐体１１は、例えば、前述した筐体１０に、複数の支持部１１ａをさらに加えたものとすることができる。
複数の支持部１１ａは、筐体１１の処理室１０ｂとなる部分の内壁に設けられている。複数の支持部１１ａは、例えば、Ｘ方向における筐体１１の２つの内壁のそれぞれに設けられている。２つの内壁のそれぞれにおいて、複数の支持部１１ａは、所定の間隔を空けてＺ方向に並べて設けられている。また、Ｚ方向において、一方の内壁に設けられた支持部１１ａと、他方の内壁に設けられた支持部１１ａは、同じ位置に設けられている。Ｚ方向において、同じ位置に設けられた支持部１１ａと、支持部１１ａとの上には、載置部４０が着脱可能に支持される。
すなわち、筐体１１の内部には、載置部４０を支持する一対の支持部１１ａを設けることができる。Ｚ方向において、一対の支持部１１ａは、所定の間隔をあけて複数組設けることができる。

【0061】

開閉扉１０ｄを開くと、Ｚ方向に並ぶ複数の支持部１１ａが露出する。そのため、作業者は、一対の支持部１１ａの上に載置部４０を載置することができる。なお、処理対象物１００が載置された載置部４０を、一対の支持部１１ａの上に載置してもよいし、一対の支持部１１ａの上に載置部４０を載置し、その後、載置部４０の上に処理対象物１００を載置してもよい。

【0062】

ここで、一対の支持部１１ａは、Ｚ方向において、所定の間隔を空けて並べて設けられている。そのため、載置部４０を載置する一対の支持部１１ａを選択することで、照射部３０（発光素子３１ｂ）と、載置部４０に載置された処理対象物１００との間の距離Ｌ１を変化させることができる。例えば、距離Ｌ１を小さくすれば、処理対象物１００の表面における紫外線の照度を高くすることができる。距離Ｌ１を大きくすれば、紫外線が照射される範囲を大きくすることができる。

【0063】

そのため、作業者は、処理の目的、処理対象物１００の種類、大きさ、数などに応じて、載置部４０を載置する一対の支持部１１ａを選択することができる。

【0064】

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

【0065】

以下、前述した実施形態に関する付記を示す。

【0066】

（付記１）
箱状を呈する筐体と；
前記筐体の内部に設けられ、処理対象物を載置可能な載置部と；
前記筐体の内部に設けられ、第１の方向において、前記載置部と対向し、前記載置部側に紫外線を照射可能な発光素子を有する照射部と；
前記筐体の内部に設けられ、前記第１の方向と直交する第２の方向において、前記照射部の位置を移動させる移動部と；
を具備した紫外線照射装置。

【0067】

（付記２）
前記筐体の内部に設けられ、前記載置部を支持する一対の支持部をさらに具備し、
前記第１の方向において、前記一対の支持部は、所定の間隔をあけて複数組設けられている付記１記載の紫外線照射装置。

【0068】

（付記３）
前記載置部は、金網状を呈している付記１または２に記載の紫外線照射装置。

【0069】

（付記４）
前記筐体の内部に設けられ、板状を呈し、前記載置部が設けられる空間と、前記照射部が設けられる空間と、を仕切り、前記紫外線を透過可能な仕切り部をさらに具備した付記１～３のいずれか１つに記載の紫外線照射装置。

【符号の説明】

【0070】

１ 処理装置、１ａ 処理装置、１０ 筐体、１０ａ 照射室、１０ｂ 処理室、１１ 筐体、１１ａ 支持部、２０ 仕切り部、３０ 照射部、４０ 載置部、５０ 移動部、６０ コントローラ、１００ 処理対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】