特開 2024-50123 検査装置、検査方法及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024050123

(43)【公開日】2024-04-10

(54)【発明の名称】検査装置、検査方法及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/954 20060101AFI20240403BHJP

   G01B 11/30 20060101ALI20240403BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20240403BHJP

【ＦＩ】

G01N21/954 A

G01B11/30 A

G01N21/84 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022156774

(22)【出願日】2022-09-29

(71)【出願人】

【識別番号】517224850

【氏名又は名称】株式会社ＲＵＴＩＬＥＡ

(74)【代理人】

【識別番号】110002871

【氏名又は名称】弁理士法人坂本国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】八鳥 孝志

(72)【発明者】

【氏名】矢野 貴文

(72)【発明者】

【氏名】柴田 恭佑

【テーマコード（参考）】

2F065

2G051

【Ｆターム（参考）】

2F065AA49

2F065BB05

2F065DD06

2F065FF04

2F065FF41

2F065JJ03

2F065JJ26

2F065MM06

2F065PP02

2F065QQ31

2F065SS02

2F065SS04

2F065SS13

2G051AA82

2G051AB02

2G051AC17

2G051CA04

2G051CA07

2G051CC01

2G051EA12

(57)【要約】

【課題】３次元形状データの生成処理を高速化し、検査の所要時間を短縮する。
【解決手段】穴１０１の内部に挿入可能な内視鏡４５と、内視鏡４５を介して穴１０１の内部を照らす照明４６と、内視鏡４５を介して穴１０１の内部を撮像するカメラ４３と、内視鏡４５及びカメラ４３を移動させるアクチュエータ４２と、アクチュエータ４２及びカメラ４３を制御する制御部６とを備える検査装置１であって、制御部６は、内視鏡４５及びカメラ４３を移動させながら、カメラ４３に穴１０１の内部を撮像させ、カメラ４３が撮像した複数の撮像データに基づいて、穴１０１の内部の３次元形状データを生成するにあたり、３次元形状データの生成に使用する撮像位置座標をアクチュエータ４２による内視鏡４５及びカメラ４３の移動軌跡上に制限する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

穴内部に挿入可能な内視鏡と、
前記内視鏡を介して前記穴内部を照らす照明と、
前記内視鏡を介して前記穴内部を撮像するカメラと、
少なくとも前記内視鏡及び前記カメラを移動させるアクチュエータと、
少なくとも前記アクチュエータ及び前記カメラを制御する制御部と、を備える検査装置であって、
前記制御部は、
前記内視鏡及び前記カメラを移動させながら、前記カメラに前記穴内部を撮像させる穴内部撮像処理手段と、
前記カメラが撮像した複数の撮像データに基づいて、前記穴内部の３次元形状データを生成する３次元形状データ生成処理手段と、を備え、
前記３次元形状データ生成処理手段は、前記３次元形状データの生成に使用する撮像位置座標を前記アクチュエータによる前記内視鏡及び前記カメラの移動軌跡上に制限する、検査装置。

【請求項2】

前記内視鏡及び前記カメラの位置を検出する位置センサをさらに備え、
前記３次元形状データ生成処理手段は、複数の前記撮像データ及び前記位置センサに基づく撮像時の検出位置情報に基づいて、前記穴内部の３次元形状データを生成する、請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記３次元形状データ生成処理手段は、並列処理が可能な複数のデータ処理装置によって構成される、請求項１に記載の検査装置。

【請求項4】

前記制御部は、前記３次元形状データに基づいて、前記穴内部の異常を判定する異常判定処理手段をさらに備える、請求項１に記載の検査装置。

【請求項5】

工業製品の穴内部に挿入可能な内視鏡と、
前記内視鏡を介して前記穴内部を照らす照明と、
前記内視鏡を介して前記穴内部を撮像するカメラと、
少なくとも前記内視鏡及び前記カメラを移動させるアクチュエータと、
前記内視鏡及び前記カメラの位置を検出する位置センサと、
少なくとも前記アクチュエータ及び前記カメラを制御する制御部と、を備える検査装置であって、
前記制御部は、前記カメラによる複数の前記撮像データに基づいて、前記穴内部の３次元形状データをＳＦＭ（Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆｒｏｍ Ｍｏｔｉｏｎ）により生成する３次元形状データ生成処理手段を備える、検査装置。

【請求項6】

前記制御部は、前記位置センサからのセンサ情報に基づいて、前記内視鏡及び前記カメラの位置を前記アクチュエータを介して制御する位置制御手段を更に備え、
前記３次元形状データ生成処理手段は、前記位置センサからのセンサ情報、又は、前記位置制御手段による位置制御情報に基づいて、前記穴内部の３次元形状データをＳＦＭにより生成する際に用いる前記カメラの位置を算出する、請求項５に記載の検査装置。

【請求項7】

穴内部に挿入可能な内視鏡と、
前記内視鏡を介して前記穴内部を照らす照明と、
前記内視鏡を介して前記穴内部を撮像するカメラと、
少なくとも前記内視鏡及び前記カメラを移動させるアクチュエータと、を用いる検査方法であって、
前記内視鏡及び前記カメラを移動させながら、前記カメラに前記穴内部を撮像させる穴内部撮像処理ステップと、
前記カメラが撮像した複数の撮像データに基づいて、前記穴内部の３次元形状データを生成する３次元形状データ生成処理ステップと、を備え、
前記３次元形状データ生成処理ステップは、前記３次元形状データの生成に使用する撮像位置座標を前記アクチュエータによる前記内視鏡及び前記カメラの移動軌跡上に制限する、検査方法。

【請求項8】

穴内部に挿入可能な内視鏡と、
前記内視鏡を介して前記穴内部を照らす照明と、
前記内視鏡を介して前記穴内部を撮像するカメラと、
少なくとも前記内視鏡及び前記カメラを移動させるアクチュエータと、
少なくとも前記アクチュエータ及び前記カメラを制御する制御部と、を備える検査装置用のプログラムであって、
コンピュータを、
前記内視鏡及び前記カメラを移動させながら、前記カメラに前記穴内部を撮像させる穴内部撮像処理手段と、
前記カメラが撮像した複数の撮像データに基づいて、前記穴内部の３次元形状データを生成する３次元形状データ生成処理手段として機能させ、
前記３次元形状データ生成処理手段は、前記３次元形状データの生成に使用する撮像位置座標を前記アクチュエータによる前記内視鏡及び前記カメラの移動軌跡上に制限する、プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、検査装置、検査方法及びプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

穴内部を内視鏡を介してカメラで撮像し、カメラが撮像した複数の撮像データに基づいて、穴内部の３次元形状データを生成する検査装置が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－３８２０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、従来の検査装置では、３次元形状データの生成処理に時間がかかるため、検査の所要時間を短縮することが難しい。

【0005】

そこで、本開示は、３次元形状データの生成処理を高速化し、検査の所要時間を短縮できる検査装置、検査方法及びプログラムの提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

１つの側面では、以下のような解決手段を提供する。

【0007】

（１）穴内部に挿入可能な内視鏡と、前記内視鏡を介して前記穴内部を照らす照明と、前記内視鏡を介して前記穴内部を撮像するカメラと、少なくとも前記内視鏡及び前記カメラを移動させるアクチュエータと、少なくとも前記アクチュエータ及び前記カメラを制御する制御部と、を備える検査装置であって、前記制御部は、前記内視鏡及び前記カメラを移動させながら、前記カメラに前記穴内部を撮像させる穴内部撮像処理手段と、前記カメラが撮像した複数の撮像データに基づいて、前記穴内部の３次元形状データを生成する３次元形状データ生成処理手段と、を備え、前記３次元形状データ生成処理手段は、前記３次元形状データの生成に使用する撮像位置座標を前記アクチュエータによる前記内視鏡及び前記カメラの移動軌跡上に制限することを特徴とする。

【0008】

（２）上記（１）の構成において、前記内視鏡及び前記カメラの位置を検出する位置センサをさらに備え、前記３次元形状データ生成処理手段は、複数の前記撮像データ及び撮像時の検出位置情報に基づいて、前記穴内部の３次元形状データを生成することを特徴とする。

【0009】

（３）上記（１）の構成において、前記３次元形状データ生成処理手段は、並列処理が可能な複数のデータ処理装置によって構成されることを特徴とする。

【0010】

（４）上記（１）の構成において、前記制御部は、前記３次元形状データに基づいて、前記穴内部の異常を判定する異常判定処理手段をさらに備えることを特徴とする。

【0011】

（５）工業製品の穴内部に挿入可能な内視鏡と、前記内視鏡を介して前記穴内部を照らす照明と、前記内視鏡を介して前記穴内部を撮像するカメラと、少なくとも前記内視鏡及び前記カメラを移動させるアクチュエータと、前記内視鏡及び前記カメラの位置を検出する位置センサと、少なくとも前記アクチュエータ及び前記カメラを制御する制御部と、を備える検査装置であって、前記制御部は、前記カメラによる複数の前記撮像データに基づいて、前記穴内部の３次元形状データをＳＦＭ（Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆｒｏｍ Ｍｏｔｉｏｎ）により生成する３次元形状データ生成処理手段を備えることを特徴とする。

【0012】

（６）前記制御部は、前記位置センサからのセンサ情報に基づいて、前記内視鏡及び前記カメラの位置を前記アクチュエータを介して制御する位置制御手段を更に備え、
前記３次元形状データ生成処理手段は、前記位置センサからのセンサ情報、又は、前記位置制御手段による位置制御情報に基づいて、前記穴内部の３次元形状データをＳＦＭにより生成する際に用いる前記カメラの位置を算出することを特徴とする。

【0013】

（７）穴内部に挿入可能な内視鏡と、前記内視鏡を介して前記穴内部を照らす照明と、前記内視鏡を介して前記穴内部を撮像するカメラと、少なくとも前記内視鏡及び前記カメラを移動させるアクチュエータと、を用いる検査方法であって、前記内視鏡及び前記カメラを移動させながら、前記カメラに前記穴内部を撮像させる穴内部撮像処理ステップと、前記カメラが撮像した複数の撮像データに基づいて、前記穴内部の３次元形状データを生成する３次元形状データ生成処理ステップと、を備え、前記３次元形状データ生成処理ステップは、前記３次元形状データの生成に使用する撮像位置座標を前記アクチュエータによる前記内視鏡及び前記カメラの移動軌跡上に制限することを特徴とする。

【0014】

（８）穴内部に挿入可能な内視鏡と、前記内視鏡を介して前記穴内部を照らす照明と、前記内視鏡を介して前記穴内部を撮像するカメラと、少なくとも前記内視鏡及び前記カメラを移動させるアクチュエータと、少なくとも前記アクチュエータ及び前記カメラを制御する制御部と、を備える検査装置用のプログラムであって、コンピュータを、前記内視鏡及び前記カメラを移動させながら、前記カメラに前記穴内部を撮像させる穴内部撮像処理手段と、前記カメラが撮像した複数の撮像データに基づいて、前記穴内部の３次元形状データを生成する３次元形状データ生成処理手段として機能させ、前記３次元形状データ生成処理手段は、前記３次元形状データの生成に使用する撮像位置座標を前記アクチュエータによる前記内視鏡及び前記カメラの移動軌跡上に制限することを特徴とする。

【発明の効果】

【0015】

本開示によれば、３次元形状データの生成処理を高速化し、検査の所要時間を短縮することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本開示による検査装置の構成を示す斜視図である。

【図2】穴の内部に内視鏡を挿入した状態の検査装置を示す斜視図である。

【図3】（ａ）は直視タイプの内視鏡を示す模式図、（ｂ）は側視タイプの内視鏡を示す模式図である。

【図4】（ａ）十字交差穴の検査領域を示す図、（ｂ）Ｙ字交差穴の検査領域を示す図、（ｃ）Ｌ字交差穴の検査領域を示す図、（ｄ）Ｔ字交差穴の検査領域を示す図、（ｅ）複雑な穴の検査領域を示す図である。

【図5】本開示による検査装置の制御構成を示す図である。

【図6】検査の流れを示す図である。

【図7】制御部の処理手順を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、添付図面を参照しながら各実施例について詳細に説明する。

【0018】

図１及び図２に示す検査装置１は、検査対象物１００（ワーク）に形成された穴１０１の内部を検査するためのものである。

【0019】

本実施例では、一例として、検査装置１は、油圧バルブの製造工程において、油圧バルブのドリル穴交差部に生じるバリの有無を検査するために使用される。また、検査装置１は、バリ以外（例えば、設計上の意図した微細形状など）も検査対象とすることができる。なお、検査装置１の検査対象となる検査対象物１００は、任意であり、典型的には、工業製品であるが、非工業製品であってもよい。また、工業製品についても、検査対象物１００は、油圧バルブに限定されず、穴１０１を有するものであれば、エンジン部品、各種シリンダ、各種配管などであってよい。また、検査対象物１００は、金属製に限定されず、樹脂製、木製などであってよい。また、穴１０１は、機械加工穴であってもよいし、鋳造等により形成された穴であってもよいし、穴の形態等も任意である。

【0020】

図１及び図２に示すように、検査装置１は、土台２と、土台２から立設されるスタンド３と、スタンド３に昇降可能に支持される昇降ユニット４と、を備える。また、昇降ユニット４は、ユニット本体４１と、アクチュエータ４２と、カメラ４３と、アダプタレンズ４４と、内視鏡４５と、照明４６（図５参照）と、を備えて構成される。

【0021】

ユニット本体４１は、スタンド３に沿って昇降可能に構成される。アクチュエータ４２は、ユニット本体４１の内部に設けられており、その駆動に応じて昇降ユニット４をスタンド３に沿って昇降させる。つまり、昇降ユニット４は、直動機構などで変位可能（昇降可能）とされ、モータ、シリンダなどのアクチュエータ４２により位置制御される。このとき、検査装置１の制御部６（図５参照）は、アクチュエータ４２の位置制御情報（例えば、センサ情報）からカメラ４３による穴１０１の内部の撮像位置（例えば、後述の位置情報Ｂ_１～Ｂ_Ｍ）を精度良く算出できる。カメラ４３は、アダプタレンズ４４を介して内視鏡４５に接続されており、内視鏡４５を介して穴１０１の内部を撮像する。照明４６は、撮像時に内視鏡４５を介して穴１０１の内部を照らす。

【0022】

図３に示すように、本実施例の内視鏡４５には、工業用内視鏡であるボアスコープが使用される。ボアスコープは、硬質の遮光性管部材の中にロッド状のレンズを内装して構成されており、基端側から入射した光を先端側から照明光４５ａとして出射させつつ、先端側から入射される撮像視野４５ｂを基端側のカメラ４３に対して出射させる。なお、検査装置１を構成するカメラ４３、アダプタレンズ４４及び内視鏡４５（ボアスコープ）は、汎用品であってよい。

【0023】

図３に示すように、内視鏡４５には、先端部から長さ方向に沿う方向を向いて撮像可能な直視タイプと、先端部から長さ方向と交差する方向を向いて撮像可能な側視タイプとがある。直視タイプは、視野範囲が広いため、３次元形状データを生成するのに必要な撮像データの枚数を少なくできる。また、直視タイプは、内視鏡４５を回転させる必要がないため、機械的な構成を簡略化できる。一方、側視タイプは、直視タイプに比べて、３次元形状データを生成するのに必要な撮像データの枚数が多くなるだけでなく、機械的な構成が複雑化するというデメリットを有するが、横穴の奥まで撮像が可能になるというメリットがある。例えば、図４の（ａ）～（ｄ）に示すように、十字交差穴、Ｙ字交差穴、Ｌ字交差穴、Ｔ字交差穴の場合は、直視タイプ及び側視タイプのいずれの内視鏡４５でも、バリの発生しやすい部分を検査領域Ｋとして撮像できる。しかしながら、図４の（ｅ）に示すように、複雑な形状の穴であり、横穴の奥側にバリが発生しやすい検査領域Ｋがある場合は、側視タイプの内視鏡４５を使用する必要がある。なお、本実施例では、直視タイプの内視鏡４５を使用する。

【0024】

図５に示すように、検査装置１は、コンピュータ（ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、記憶装置（ＨＤＤ、又はＳＳＤ）、通信モジュールなどを含む。）を用いて構成される制御部６を備える。制御部６には、前述したアクチュエータ４２、カメラ４３及び照明４６に加え、内視鏡４５（昇降ユニット４）の昇降位置を検出する位置センサ４７が接続される。また、本実施例では、並列処理可能な複数のデータ処理装置７をＬＡＮなどのネットワーク８を介して制御部６に接続し、複数のデータ処理装置７で３次元形状データの生成処理を行うが、３次元形状データの生成処理は、制御部６で行ってもよい。

【0025】

制御部６は、ハードウェア（コンピュータ）とソフトウェア（プログラム）との協働により実現される機能構成として、穴内部撮像処理手段と、３次元形状データ生成処理手段と、異常判定処理手段と、を備える。

【0026】

穴内部撮像処理手段は、内視鏡４５及びカメラ４３を含む昇降ユニット４を移動させながら、カメラ４３に穴１０１の内部を撮像させる。また、穴内部撮像処理手段は、カメラ４３が穴１０１の内部を撮像するごとに、位置センサ４７から内視鏡４５の位置情報を取得し、図６の左側に示すように、複数の撮像データＡ_１～Ａ_Ｍに位置情報Ｂ_１～Ｂ_Ｍを紐付けて記憶させる。

【0027】

３次元形状データ生成処理手段は、カメラ４３が撮像した複数の撮像データＡ_１～Ａ_Ｍに基づいて、穴１０１の内部の３次元形状データＣ（図６の中央部参照）を生成する。３次元形状データ生成処理手段は、３次元形状データＣを生成するアルゴリズムとして、ＳＦＭ（Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆｒｏｍ Ｍｏｔｉｏｎ）を使用する。ＳＭＦは、対象物を多視点から撮像し、撮像データ中の特徴量を手がかりにカメラ座標及びカメラ撮像方向を推定し、対象物の３次元モデルの生成を行うアルゴリズムである。ＳＦＭにより生成した３次元形状データＣによれば、顕微鏡写真に現れる微小なバリの形状も３次元形状データとして復元することができる。

【0028】

３次元形状データ生成処理手段は、ＳＦＭを使用して３次元形状データＣを生成するにあたり、３次元形状データＣの生成に使用する撮像位置座標をアクチュエータ４２による内視鏡４５及びカメラ４３の移動軌跡上に制限する。例えば、複数の撮像データＡ_１～Ａ_Ｍと撮像時の位置情報Ｂ_１～Ｂ_Ｍに基づいて、３次元形状データＣを生成する。このようにすると、ＳＦＭにおけるカメラ座標及びカメラ撮像方向の推定処理を簡略化し、３次元形状データＣの生成時間を短縮することができる。なお、直視タイプの内視鏡４５を使用する場合は、カメラ撮像方向は一定であり、カメラ撮像方向の推定処理は不要である。側視タイプの内視鏡４５を使用する場合は、内視鏡４５を回転させながら撮像を行うため、カメラ撮像方向が変化するが、内視鏡４５の回転角度を検出する角度センサを設け、撮像時の検出角度を撮像データに紐付ければ、カメラ撮像方向の推定処理を省略できる。

【0029】

３次元形状データ生成処理手段は、並列処理が可能な複数のデータ処理装置７によって構成されることが望ましい。このようにすると、３次元形状データＣの生成時間をさらに短縮することができる。なお、並列処理時のデータの流れは後述する。

【0030】

異常判定処理手段は、生成した３次元形状データＣに基づいて、穴１０１の内部の異常を判定する。例えば、生成した３次元形状データＣと、バリのない基準３次元形状データとを比較し、両データの差異部分の大きさが閾値以上である場合に、バリの発生箇所を示す判定結果データＤ（図６の右側）を出力する。例えば、図６に示す例では、一点鎖線の円形Ｒ６内のバリ発生箇所Ｐ６を示しているが、表示方法は任意であり、バリ発生箇所を赤色、その他を緑色で表示してもよい。なお、異常判定処理には、ＡＩ（人工知能）を利用してもよい。例えば、検査用閾値（例えば、検出対象の有害なバリを判定するための閾値）の適合や、検査重視箇所（有害なバリが発生しやすい箇所）の適合にＡＩを用いることで、検査精度を向上させることができる。また、検査重視箇所では、解像度を上げたり、カメラ４３の移動の際の位置分解能を高めたりすることで、検査精度をさらに向上させることができる。

【0031】

つぎに、上述のような機能構成を実現する制御部６の処理手順について、図７を参照して説明する。

【0032】

図７に示すように、制御部６は、制御がスタートすると、検査開始操作の判断を繰り返し（Ｓ１０１：ＮＯ）、この判断結果がＹＥＳになると、変数Ｍ及び変数Ｎに１をセットした後（Ｓ１０２）、内視鏡４５を検査開始位置まで移動（下降）させる（Ｓ１０３）。

【0033】

つぎに、制御部６は、内視鏡４５を定速で移動させながら、カメラ４３の撮像データＡを取得するとともに（Ｓ１０４）、撮像時の位置情報Ｂを位置センサ４７から取得し、位置情報Ｂと撮像データＡをセットで記憶させる（Ｓ１０５）。制御部６は、その後、変数Ｍをインクリメントし（Ｓ１０６）、変数Ｍが１００になるまで（Ｓ１０８：ＹＥＳ）、穴内部撮像処理（Ｓ１０４、Ｓ１０５）を繰り返す。なお、変数Ｍが１００になる前に内視鏡４５が検査終了位置に到達したと判断した場合は（Ｓ１０７：ＹＥＳ）、ステップＳ１０８をスキップしてステップＳ１０９に移行する。

【0034】

制御部６は、ステップＳ１０８の判断結果がＹＥＳになると、複数の撮像データＡ及び位置情報をＮ台目のデータ処理装置７に転送し、ＳＦＭを用いた３次元形状データＣの生成処理を実行させる。制御部６は、その後、変数Ｎをインクリメントするとともに（Ｓ１１０）、変数Ｎがデータ処理装置７の台数ｎを超えたか否かを判断し（Ｓ１１１）、この判断結果がＹＥＳの場合は、変数Ｎに１をセットする（Ｓ１１２）。制御部６は、その後、内視鏡４５が検査終了位置に到達したか否かを判断し（Ｓ１１３）、この判断結果がＮＯの場合は、ステップＳ１０４に戻って穴内部撮像処理を繰り返す。

【0035】

一方、制御部６は、ステップＳ１１３の判断結果がＹＥＳになると、各データ処理装置７が生成した部分的な３次元形状データＣを取得し（Ｓ１１４）、これらの部分的な３次元形状データＣを合成して穴内部の全体的な３次元形状データＣを得る（Ｓ１１５）。つぎに、制御部６は、３次元形状データＣに基づいて穴内部の異常を判定した後（Ｓ１１６）、判定結果を出力して１回の検査工程を終了する（Ｓ１１７）。

【0036】

以上、各実施例について詳述したが、特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施例の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。

【0037】

例えば、上述した実施例では、制御部６は、位置センサ４７からのセンサ情報を利用して、３次元形状データをＳＦＭにより生成する際に用いるカメラ４３の位置（位置情報Ｂ）を算出しているが、これに代えて又は加えて、アクチュエータ４２の制御情報（例えばモータであれば回転角度指令値、シリンダであればピストン移動量指令値等）を利用してカメラ４３の位置（位置情報Ｂ）を算出してもよい。

【0038】

また、前述した実施例では、カメラ４３や内視鏡４５を垂直方向に移動させているが、カメラ４３や内視鏡４５の移動方向は、垂直方向、水平方向、斜め方向のいずれであってもよく、これらの任意の組み合わせであってもよい。

【0039】

また、前述した実施例では、１つの穴１０１の検査において、撮像枚数が所定数（例えば、１００）に達する毎に異なるデータ処理装置７に所定数の撮像データを送って処理するという態様で並列処理を行っているが、並列処理の態様はこれに限定されない。例えば、複数の穴１０１の検査を行う際、各穴１０１の撮像が完了する毎に、各穴１０１の撮像データを異なるデータ処理装置７に送って並列処理するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0040】

１ 検査装置
２ 土台
３ スタンド
４ 昇降ユニット
４１ ユニット本体
４２ アクチュエータ
４３ カメラ
４４ アダプタレンズ
４５ 内視鏡
４５ａ 照明光
４５ｂ 撮像光
４６ 照明
４７ 位置センサ
６ 制御部
７ データ処理装置
８ ネットワーク
１００ 検査対象物
１０１ 穴

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】