特開 2024-51277 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024051277

(43)【公開日】2024-04-11

(54)【発明の名称】産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20240404BHJP

【ＦＩ】

B25J15/06 M

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022157341

(22)【出願日】2022-09-30

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

(72)【発明者】

【氏名】田中 宏治

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 優汰

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707BS15

3C707BS26

3C707CT05

3C707CV07

3C707CW07

3C707FS01

3C707FT02

3C707FT11

3C707NS12

3C707NS21

(57)【要約】

【課題】長方形の平板状に形成される搬送対象物の縁部分のみを把持する場合であっても、また、搬送対象物の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークに搬送対象物が載置される場合、および、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークに搬送対象物が載置される場合のいずれの場合であっても、搬送対象物を安定して把持することが可能なハンドを提供する。
【解決手段】ハンド３は、複数のフォーク２０の上面側に載置される搬送対象物２を吸着して把持するための第１把持機構２３および第２把持機構２４を備えている。フォーク２０には、一対の第１把持機構２３と一対の第２把持機構２４とが取り付けられており、一対の第２把持機構２４は、フォーク２０の長手方向において一対の第１把持機構２３の内側に配置されている。第２把持機構２４の上端は、第１把持機構２３の上端よりも下側に配置されている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

長方形の平板状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
上面側に前記搬送対象物が載置される直線状の複数のフォークと、複数の前記フォークの基端が繋がるハンド基部と、複数の前記フォークの上面側に載置される前記搬送対象物を吸着して把持するための複数の第１把持機構および第２把持機構とを備え、
前記フォークには、一対の前記第１把持機構と一対の前記第２把持機構とが取り付けられ、
一対の前記第２把持機構は、前記フォークの長手方向において一対の前記第１把持機構の内側に配置され、
前記第２把持機構の上端は、前記第１把持機構の上端よりも下側に配置されていることを特徴とするハンド。

【請求項2】

前記第１把持機構は、前記搬送対象物を下側から支えるための第１支持部材と、前記搬送対象物の下面を吸着する第１吸着パッドとを備え、
前記第２把持機構は、前記搬送対象物を下側から支えるための第２支持部材と、前記搬送対象物の下面を吸着する第２吸着パッドとを備え、
前記第１支持部材の上面および前記第２支持部材の上面には、前記搬送対象物が載置可能となっており、
前記第２支持部材の上面は、前記第１支持部材の上面よりも下側に配置され、
前記第２吸着パッドの上端は、前記第１吸着パッドの上端よりも下側に配置されていることを特徴とする請求項１記載のハンド。

【請求項3】

上面側に前記搬送対象物が載置される直線状の２本の第２フォークを備え、
前記第２フォークの基端は、前記ハンド基部に繋がり、
前記第２フォークの長さは、前記フォークの長さよりも短くなっており、
２本の前記第２フォークのそれぞれは、前記フォークの長手方向と上下方向とに直交する方向において複数の前記フォークの外側に配置され、
前記第２フォークには、一対の前記第２把持機構が取り付けられていることを特徴とする請求項１または２記載のハンド。

【請求項4】

請求項１または２記載のハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、このハンドを備える産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、長方形の平板状に形成される液晶ディスプレイのガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームを支持する本体部とを備えている。ハンドは、上面側にガラス基板が載置される直線状の４本のフォークと、４本のフォークの基端が繋がるハンド基部とを備えている。この産業用ロボットでは、長方形状に形成されるガラス基板の長辺の方向（長辺方向）とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側にガラス基板が載置される。

【0003】

なお、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、ハンドは、４本のフォークの上面側に載置されるガラス基板を吸着して把持するための複数の把持機構を備えている。この把持機構は、たとえば、ガラス基板が載置される支持部材と、支持部材に載置されるガラス基板の下面を吸着する吸着パッドとを備えている。支持部材および吸着パッドは、フォークの上面側に取り付けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－１０４００３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載の産業用ロボットによって搬送されるガラス基板の中には、特殊処理が施されたガラス基板がある。このガラス基板では、たとえば、ガラス基板の、縁以外の部分に特殊処理が施されており、このガラス基板を搬送する際には、特殊処理が施されていないガラス基板の縁部分のみを把持機構によって把持しなければならない。

【0006】

また、特殊処理が施されたガラス基板を搬送する産業用ロボットでは、上述のように、長方形状のガラス基板の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側にガラス基板が載置されるのに加えて、ガラス基板の短辺の方向（短辺方向）とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側にガラス基板が載置されることもある。この産業用ロボットでは、ガラス基板の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側にガラス基板が載置される場合、および、ガラス基板の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側にガラス基板が載置される場合のいずれの場合においてもガラス基板を把持機構によって安定して把持できることが好ましい。

【0007】

そこで、本発明の課題は、長方形の平板状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、搬送対象物の縁部分のみを把持する場合であっても、また、搬送対象物の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合、および、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合のいずれの場合であっても、搬送対象物を安定して把持することが可能なハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するため、本発明の一態様の産業用ロボットのハンドは、長方形の平板状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、上面側に搬送対象物が載置される直線状の複数のフォークと、複数のフォークの基端が繋がるハンド基部と、複数のフォークの上面側に載置される搬送対象物を吸着して把持するための複数の第１把持機構および第２把持機構とを備え、フォークには、一対の第１把持機構と一対の第２把持機構とが取り付けられ、一対の第２把持機構は、フォークの長手方向において一対の第１把持機構の内側に配置され、第２把持機構の上端は、第１把持機構の上端よりも下側に配置されていることを特徴とする。

【0009】

本態様のハンドでは、複数のフォークに、一対の第１把持機構と一対の第２把持機構とが取り付けられており、一対の第２把持機構は、フォークの長手方向において一対の第１把持機構の内側に配置されている。そのため、本態様では、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合に、複数のフォークに取り付けられた複数の第２把持機構によって搬送対象物の縁部分のみを把持することが可能になる。また、本態様では、第２把持機構の上端が第１把持機構の上端よりも下側に配置されているため、搬送対象物の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合に、複数のフォークに取り付けられた複数の第１把持機構によって搬送対象物の縁部分のみを把持することが可能になる。

【0010】

このように、本態様では、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合に、複数の第２把持機構によって搬送対象物の縁部分のみを把持することが可能になるとともに、搬送対象物の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合に、複数の第１把持機構によって搬送対象物の縁部分のみを把持することが可能になる。したがって、本態様では、搬送対象物の縁部分のみを把持する場合であっても、また、搬送対象物の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合、および、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合のいずれの場合であっても、搬送対象物を安定して把持することが可能になる。

【0011】

本態様において、たとえば、第１把持機構は、搬送対象物を下側から支えるための第１支持部材と、搬送対象物の下面を吸着する第１吸着パッドとを備え、第２把持機構は、搬送対象物を下側から支えるための第２支持部材と、搬送対象物の下面を吸着する第２吸着パッドとを備え、第１支持部材の上面および第２支持部材の上面には、搬送対象物が載置可能となっており、第２支持部材の上面は、第１支持部材の上面よりも下側に配置され、第２吸着パッドの上端は、第１吸着パッドの上端よりも下側に配置されている。

【0012】

本態様において、ハンドは、上面側に搬送対象物が載置される直線状の２本の第２フォークを備え、第２フォークの基端は、ハンド基部に繋がり、第２フォークの長さは、フォークの長さよりも短くなっており、２本の第２フォークのそれぞれは、フォークの長手方向と上下方向とに直交する方向において複数のフォークの外側に配置され、第２フォークには、一対の第２把持機構が取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合に、第２フォークに取り付けられる第２把持機構を用いて、搬送対象物をより安定して把持することが可能になる。

【0013】

本態様のハンドは、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、搬送対象物の縁部分のみを把持する場合であっても、また、搬送対象物の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合、および、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合のいずれの場合であっても、搬送対象物を安定して把持することが可能になる。

【発明の効果】

【0014】

以上のように、本発明では、長方形の平板状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、搬送対象物の縁部分のみを把持する場合であっても、また、搬送対象物の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合、および、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するようにフォークの上面側に搬送対象物が載置される場合のいずれの場合であっても、搬送対象物を安定して把持することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの側面図である。

【図3】図１に示すハンドに、搬送対象物の長辺方向とフォークの長手方向とが一致するように搬送対象物が搭載されている状態の平面図である。

【図4】図１に示すハンドに、搬送対象物の短辺方向とフォークの長手方向とが一致するように搬送対象物が搭載されている状態の平面図である。

【図5】（Ａ）は、図３に示す第１把持機構の構成を説明するための拡大側面図であり、（Ｂ）は、図３に示す第２把持機構の構成を説明するための拡大側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0017】

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。

【0018】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイのガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送する水平多関節型のロボットである。基板２は、長方形の平板状に形成されている。本形態の基板２は、特殊処理が施されたガラス基板である。基板２では、たとえば、基板２の、縁以外の部分に特殊処理が施されている。

【0019】

ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に回動可能に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４の基端側が回動可能に連結される本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース部材６とを備えている。本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート７と、アームサポート７を昇降可能に支持する支持フレーム８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース部材６に対して水平移動可能な基台９と、支持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回動可能な旋回フレーム１０とを備えている。

【0020】

アーム４は、第１アーム部１２と第２アーム部１３との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１２の基端側は、アームサポート７に回動可能に連結されている。第１アーム部１２の先端側には、第２アーム部１３の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１３の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。アーム４は、ハンド３が一定方向を向いた状態で略直線的に移動するように水平方向へ伸縮可能となっている。ロボット１は、アーム４を駆動するアーム駆動機構を備えている。

【0021】

支持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４を昇降可能に保持している。支持フレーム８は、アームサポート７を昇降可能に保持する柱状の第１支持フレーム１５と、第１支持フレーム１５を昇降可能に保持する柱状の第２支持フレーム１６とを備えている。ロボット１は、第１支持フレーム１５を上下方向に案内するガイド機構と、アームサポート７を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。また、ロボット１は、第１支持フレーム１５に対してアームサポート７を昇降させるとともに第２支持フレーム１６に対して第１支持フレーム１５を昇降させる昇降機構を備えている。

【0022】

旋回フレーム１０は、上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。また、旋回フレーム１０は、細長い略直方体状に形成されている。旋回フレーム１０の先端側の上面には、第２支持フレーム１６の下端部が固定されている。旋回フレーム１０の基端側は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように基台９に支持されている。旋回フレーム１０は、基台９よりも上側に配置されている。ロボット１は、基台９に対して旋回フレーム１０を回動させる回動機構を備えている。また、ロボット１は、ベース部材６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構と、基台９を水平方向へ案内するガイド機構とを備えている。

【0023】

（ハンドの構成）
図３は、図１に示すハンド３に、基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するように基板２が搭載されている状態の平面図である。図４は、図１に示すハンド３に、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するように基板２が搭載されている状態の平面図である。図５（Ａ）は、図３に示す把持機構２３の構成を説明するための拡大側面図であり、図５（Ｂ）は、図３に示す把持機構２４の構成を説明するための拡大側面図である。

【0024】

ハンド３は、上面側に基板２が載置される複数のフォーク２０、２１と、複数のフォーク２０、２１の基端が繋がるハンド基部２２とを備えている。本形態のハンド３は、４本のフォーク２０と２本のフォーク２１とを備えている。また、ハンド３は、複数のフォーク２０、２１の上面側に載置される基板２を吸着して把持するための複数の把持機構２３、２４を備えている。本形態のフォーク２１は第２フォークである。また、本形態の把持機構２３は第１把持機構であり、把持機構２４は第２把持機構である。

【0025】

ハンド基部２２は、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結されている。フォーク２０、２１は、直線状に形成されている。具体的には、フォーク２０、２１は、細長い中空の直方体状に形成されている。フォーク２０、２１は、ハンド基部２２から水平方向に伸びている。また、フォーク２０とフォーク２１とは、ハンド基部２２から同じ方向に伸びている。すなわち、フォーク２０の長手方向とフォーク２１の長手方向とは一致している。

【0026】

４本のフォーク２０は、一定の間隔をあけた状態で互いに平行になるように配置されている。２本のフォーク２１のそれぞれは、フォーク２０の長手方向と上下方向とに直交する方向において４本のフォーク２０の外側に配置されている。フォーク２１の長さは、フォーク２０の長さよりも短くなっている。フォーク２０とフォーク２１とは、上下方向において同じ位置に配置されている。また、フォーク２０の上面とフォーク２１の上面とは、上下方向において同じ位置に配置されている。

【0027】

上述のように、基板２は、特殊処理が施されたガラス基板であり、基板２では、たとえば、基板２の、縁以外の部分に特殊処理が施されている。本形態では、ロボット１による基板２の搬送時に、特殊処理が施されていない基板２の縁部分２ａ（図３、図４のハッチング部分）のみを把持機構２３、２４によって把持しなければならない。また、本形態では、ロボット１による基板２の搬送時に、図３に示すように、長方形状の基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０の上面側に基板２が載置される場合と、図４に示すように、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１の上面側に基板２が載置される場合とがある。

【0028】

把持機構２３は、フォーク２０に取り付けられている。把持機構２４は、フォーク２０、２１に取り付けられている。具体的には、フォーク２０には、一対の把持機構２３と一対の把持機構２４とが取り付けられ、フォーク２１には、一対の把持機構２４が取り付けられている。すなわち、１本のフォーク２０に、２個の把持機構２３と２個の把持機構２４とが取り付けられ、１本のフォーク２１に、２個の把持機構２４が取り付けられている。

【0029】

フォーク２０では、一対の把持機構２４は、フォーク２０の長手方向において一対の把持機構２３の内側に配置されている。フォーク２０に取り付けられる把持機構２４とフォーク２１に取り付けられる把持機構２４とは、フォーク２０の長手方向において同じ位置に配置されている。すなわち、フォーク２１に取り付けられる一対の把持機構２４は、フォーク２０の長手方向において一対の把持機構２３の内側に配置されている。

【0030】

把持機構２３は、基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０の上面側に基板２が載置されるときに、基板２の縁部分２ａを把持可能な位置に配置されている。把持機構２４は、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１の上面側に基板２が載置されるときに、基板２の縁部分２ａを把持可能な位置に配置されている。基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０に載置される基板２は、８個の把持機構２３に把持されている。基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１に載置される基板２は、１２個の把持機構２４に把持されている。

【0031】

図５（Ａ）に示すように、把持機構２３は、基板２を下側から支えるための支持部材２６と、基板２の下面を吸着する吸着パッド２７とを備えている。図５（Ｂ）に示すように、把持機構２４は、基板２を下側から支えるための支持部材２８と、基板２の下面を吸着する吸着パッド２９とを備えている。本形態の支持部材２６は第１支持部材であり、吸着パッド２７は第１吸着パッドである。また、支持部材２８は第２支持部材であり、吸着パッド２９は第２吸着パッドである。

【0032】

支持部材２６、２８は、樹脂で形成されている。たとえば、支持部材２６、２８は、ポリエーテルエーテルケトンで形成されている。支持部材２６、２８は、直方体状に形成されている。支持部材２６は、フォーク２０の上面に固定され、支持部材２８は、フォーク２０、２１の上面に固定されている。支持部材２６、２８の上面は、上下方向に略直交する平面となっている。支持部材２６、２８の上面には、基板２が載置可能となっている。支持部材２６の上面には、基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０に基板２が載置されるときに、基板２の下面（具体的には、縁部分２ａの下面）が接触する。支持部材２８の上面には、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１に基板２が載置されるときに、基板２の下面（具体的には、縁部分２ａの下面）が接触する。

【0033】

吸着パッド２７、２９は、ゴムで形成されている。たとえば、吸着パッド２７、２９は、フッ素ゴムで形成されている。吸着パッド２７は、フォーク２０の上面側に取り付けられている。吸着パッド２７の上端は、フォーク２０に対して上下方向に若干移動可能になっている。吸着パッド２９は、フォーク２０、２１の上面側に取り付けられている。吸着パッド２９の上端は、フォーク２０、２１に対して上下方向に若干移動可能になっている。吸着パッド２７は、支持部材２６の近傍に配置されており、基板２の縁部分２ａの、支持部材２６に載置された箇所の近傍を吸着する。吸着パッド２９は、支持部材２８の近傍に配置されており、基板２の縁部分２ａの、支持部材２８に載置された箇所の近傍を吸着する。

【0034】

吸着パッド２７、２９には、真空ポンプ等の吸引機構が配管を介して接続されている。本形態では、基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０に基板２が載置されるときに、吸着パッド２７のみが基板２を吸引して吸着し、かつ、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１に基板２が載置されるときに、吸着パッド２９のみが基板２を吸引して吸着するように、吸着パッド２７、２９に繋がる配管の経路等が設定されている。

【0035】

支持部材２６の上面は、吸着パッド２７の上端（具体的には、吸着パッド２７が基板２を吸着していないときの吸着パッド２７の上端）よりも上側に配置されている。支持部材２８の上面は、吸着パッド２９の上端（具体的には、吸着パッド２９が基板２を吸着していないときの吸着パッド２９の上端）よりも上側に配置されている。支持部材２８の上面は、支持部材２６の上面よりも下側に配置されている。吸着パッド２９の上端は、吸着パッド２７の上端よりも下側に配置されている。また、支持部材２８の上面は、吸着パッド２７の上端よりも下側に配置されている。すなわち、把持機構２４の上端は、把持機構２３の上端よりも下側に配置されている。

【0036】

たとえば、フォーク２０の上面に対する支持部材２８の上面の高さＨ１と、フォーク２０の上面に対する支持部材２６の上面の高さＨ２との差は、２．５（ｍｍ）程度となっており、フォーク２０の上面に対する吸着パッド２９の上端の高さ（具体的には、吸着パッド２９が基板２を吸着していないときの、フォーク２０の上面に対する吸着パッド２９の上端の高さ）Ｈ３と、フォーク２０の上面に対する吸着パッド２７の上端の高さ（具体的には、吸着パッド２７が基板２を吸着していないときの、フォーク２０の上面に対する吸着パッド２７の上端の高さ）Ｈ４との差は、２（ｍｍ）程度となっている。また、高さＨ１と高さＨ４との差は、０．５（ｍｍ）程度となっている。

【0037】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、フォーク２０に、一対の把持機構２３と一対の把持機構２４とが取り付けられ、フォーク２１に、一対の把持機構２４が取り付けられている。また、本形態では、一対の把持機構２４は、フォーク２０の長手方向において一対の把持機構２３の内側に配置されている。さらに、本形態では、把持機構２４は、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１の上面側に基板２が載置されるときに、基板２の縁部分２ａを把持可能な位置に配置されている。そのため、本形態では、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１の上面側に基板２が載置されるときに、４本のフォーク２０と２本のフォーク２１に取り付けられた複数の把持機構２４によって（具体的には、１２個の把持機構２４によって）基板２の縁部分２ａのみを把持することが可能になる。

【0038】

また、本形態では、把持機構２３は、基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０の上面側に基板２が載置されるときに、基板２の縁部分２ａを把持可能な位置に配置されるとともに、把持機構２４の上端は、把持機構２３の上端よりも下側に配置されているため、基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０の上面側に基板２が載置されるときに、４本のフォーク２０に取り付けられた複数の把持機構２３によって（具体的には、８個の把持機構２３によって）基板２の縁部分２ａのみを把持することが可能になる。

【0039】

このように、本形態では、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１の上面側に基板２が載置されるときに、複数の把持機構２４によって基板２の縁部分２ａのみを把持することが可能になるとともに、基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０の上面側に基板２が載置されるときに、複数の把持機構２３によって基板２の縁部分２ａのみを把持することが可能になる。したがって、本形態では、基板２の縁部分２ａのみを把持する場合であっても、また、基板２の長辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０の上面側に基板２が載置される場合、および、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１の上面側に基板２が載置される場合のいずれの場合であっても、基板２を安定して把持することが可能になる。

【0040】

本形態では、ハンド３は、フォーク２０の長手方向と上下方向とに直交する方向において４本のフォーク２０の外側に配置される２本のフォーク２１を備えている。また、本形態では、２本のフォーク２１に一対の把持機構２４が取り付けられている。そのため、本形態では、基板２の短辺方向とフォーク２０の長手方向とが一致するようにフォーク２０、２１の上面側に基板２が載置される場合に、フォーク２１に取り付けられる把持機構２４を用いて、基板２をより安定して把持することが可能になる。

【0041】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0042】

上述した形態において、支持部材２６の上面と吸着パッド２７の上端とが上下方向において同じ位置に配置されていても良いし、吸着パッド２７の上端が支持部材２６の上面より上側に配置されていても良い。また、上述した形態において、支持部材２８の上面と吸着パッド２９の上端とが上下方向において同じ位置に配置されていても良いし、吸着パッド２９の上端が支持部材２８の上面より上側に配置されていても良い。また、上述した形態において、把持機構２３、２４は、支持部材２６、２８を備えていなくても良い。

【0043】

上述した形態において、フォーク２１の長さとフォーク２０の長さとが等しくなっていても良い。また、上述したにおいて、ハンド３は、フォーク２１を備えていなくても良い。さらに、上述した形態において、ハンド３が有するフォーク２０の数は、２本または３本であっても良いし、５本以上であっても良い。また、上述した形態において、ロボット１が有するハンド３の数は１個であっても良い。この場合には、ロボット１は、１本のアーム４を備えている。

【0044】

上述した形態において、２個のハンド３が１本のアーム４の先端側に回動可能に連結されていても良い。この場合には、たとえば、特開２０２１－１３９６１号公報に開示されているように、アーム４は、２個の先端側アーム部と共通アーム部とによって構成されていても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、たとえば、特開２０１９－２５５８７号公報に開示されているように、水平方向へのハンド３の直線的なスライドが可能となるようにハンド３を保持するハンド保持部を備えていても良い。この場合には、ロボット１は、ハンド保持部に対してハンド３を水平方向へ直線的に移動させる水平駆動機構を備えている。

【0045】

上述した形態では、本体部５は、水平方向に移動可能となっているが、本体部５は、固定されていても良い。また、上述した形態において、アーム４は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、基板２以外の、長方形の平板状に形成される搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。

【0046】

（本技術の構成）
なお、本技術は以下のような構成を取ることが可能である。
（１）長方形の平板状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
上面側に前記搬送対象物が載置される直線状の複数のフォークと、複数の前記フォークの基端が繋がるハンド基部と、複数の前記フォークの上面側に載置される前記搬送対象物を吸着して把持するための複数の第１把持機構および第２把持機構とを備え、
前記フォークには、一対の前記第１把持機構と一対の前記第２把持機構とが取り付けられ、
一対の前記第２把持機構は、前記フォークの長手方向において一対の前記第１把持機構の内側に配置され、
前記第２把持機構の上端は、前記第１把持機構の上端よりも下側に配置されていることを特徴とするハンド。
（２）前記第１把持機構は、前記搬送対象物を下側から支えるための第１支持部材と、前記搬送対象物の下面を吸着する第１吸着パッドとを備え、
前記第２把持機構は、前記搬送対象物を下側から支えるための第２支持部材と、前記搬送対象物の下面を吸着する第２吸着パッドとを備え、
前記第１支持部材の上面および前記第２支持部材の上面には、前記搬送対象物が載置可能となっており、
前記第２支持部材の上面は、前記第１支持部材の上面よりも下側に配置され、
前記第２吸着パッドの上端は、前記第１吸着パッドの上端よりも下側に配置されていることを特徴とする（１）記載のハンド。
（３）上面側に前記搬送対象物が載置される直線状の２本の第２フォークを備え、
前記第２フォークの基端は、前記ハンド基部に繋がり、
前記第２フォークの長さは、前記フォークの長さよりも短くなっており、
２本の前記第２フォークのそれぞれは、前記フォークの長手方向と上下方向とに直交する方向において複数の前記フォークの外側に配置され、
前記第２フォークには、一対の前記第２把持機構が取り付けられていることを特徴とする（１）または（２）記載のハンド。
（４）（１）から（３）のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。

【符号の説明】

【0047】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
３ ハンド
４ アーム
５ 本体部
２０ フォーク
２１ フォーク（第２フォーク）
２２ ハンド基部
２３ 把持機構（第１把持機構）
２４ 把持機構（第２把持機構）
２６ 支持部材（第１支持部材）
２７ 吸着パッド（第１吸着パッド）
２８ 支持部材（第２支持部材）
２９ 吸着パッド（第２吸着パッド）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】